特許 7486959 液体吐出ヘッドおよび液体吐出モジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-10

(45)【発行日】2024-05-20

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび液体吐出モジュール

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/015 20060101AFI20240513BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20240513BHJP

   B41J 2/05 20060101ALI20240513BHJP

   B41J 2/155 20060101ALI20240513BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20240513BHJP

【ＦＩ】

B41J2/015

B41J2/14 605

B41J2/14 603

B41J2/14 201

B41J2/05

B41J2/155

B41J2/18

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2020011242

(22)【出願日】2020-01-27

(65)【公開番号】P2021115786

(43)【公開日】2021-08-10

【審査請求日】2023-01-23

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100126240

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 琢磨

(74)【代理人】

【識別番号】100223941

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 佳子

(74)【代理人】

【識別番号】100159695

【弁理士】

【氏名又は名称】中辻 七朗

(74)【代理人】

【識別番号】100172476

【弁理士】

【氏名又は名称】冨田 一史

(74)【代理人】

【識別番号】100126974

【弁理士】

【氏名又は名称】大朋 靖尚

(72)【発明者】

【氏名】中川 喜幸

【審査官】長田 守夫

(56)【参考文献】

【文献】特開平６－３０５１４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／１９３４４６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板と、前記基板の表面上に設けられた、第１の液体と第２の液体が流動する複数の圧
力室と、前記第１の液体を加圧する圧力発生素子と、前記圧力室と連通し前記第２の液体
を吐出する吐出口と、前記圧力室と連通する液流路と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液流路は、前記圧力室に前記第１の液体を供給する第１の供給流路と、前記圧力室
に前記第２の液体を供給する第２の供給流路と、前記圧力室から前記第１の液体を回収す
る第１の回収流路と、前記圧力室から前記第２の液体を回収する第２の回収流路と、を有
し、
前記基板内に、
前記第１の供給流路と第１の連通供給開口を介して連通し、前記第１の供給流路に前記第１の液体を供給する第１の連通供給流路と、
前記第２の供給流路と第２の連通供給開口を介して連通し、前記第２の供給流路に前記第２の液体を供給する第２の連通供給流路と、
前記第１の回収流路と第１の連通回収開口を介して連通し、前記第１の回収流路から前記第１の液体を回収する第１の連通回収流路と、
前記第２の回収流路と第２の連通回収開口を介して連通し、前記第２の回収流路から前記第２の液体を回収する第２の連通回収流路と、
複数の前記第１の連通供給流路と第１の共通供給開口を介して連通し、前記複数の第１の連通供給流路に前記第１の液体を供給する第１の共通供給流路と、
複数の前記第２の連通供給流路と第２の共通供給開口を介して連通し、前記複数の第２の連通供給流路に前記第２の液体を供給する第２の共通供給流路と、
複数の前記第１の連通回収流路と第１の共通回収開口を介して連通し、前記複数の第１の連通回収流路から前記第１の液体を回収する第１の共通回収流路と、
複数の前記第２の連通回収流路と第２の共通回収開口を介して連通し、前記複数の第２の連通回収流路から前記第２の液体を回収する第２の共通回収流路と、
が形成されており、
前記基板において、前記第１の連通供給開口の中心軸は前記第１の共通供給開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記第２の連通供給開口の中心軸は前記第２の共通供給開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記第１の連通回収開口の中心軸は前記第１の共通回収開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記第２の連通回収開口の中心軸は前記第２の共通回収開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、の少なくともいずれかの関係になっていることを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記第１の連通供給流路、前記第２の連通供給流路、前記第１の連通回収流路および前
記第２の連通回収流路のうち、前記第１の連通供給開口の中心軸が前記第１の共通供給開
口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記第２の連通供給開口の中心
軸は前記第２の共通供給開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記
第１の連通回収開口の中心軸は前記第１の共通回収開口の中心軸よりも前記圧力室側に位
置している、または、前記第２の連通回収開口の中心軸は前記第２の共通回収開口の中心
軸よりも前記圧力室側に位置している関係になっている供給流路または回収流路の断面積
は、前記液流路の断面積よりも大きい請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記第２の連通供給流路、前記第１の連通供給流路、前記第１の連通回収流路および前
記第２の連通回収流路の順に構成されており、
前記第２の連通供給開口の中心軸が、前記第２の共通供給開口の中心軸よりも前記圧力
室側に位置している請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記第２の連通供給開口の中心軸は、前記第２の共通供給流路の圧力室側の壁面の延長
線よりも圧力室側に位置している請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記第２の共通供給開口の中心軸は、前記第２の共通供給流路の中心軸よりも圧力室側
に位置している請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記第２の連通供給流路、前記第１の連通供給流路、前記第１の連通回収流路および前
記第２の連通回収流路の順に構成されており、
前記前記第２の連通回収開口の中心軸が、前記第２の共通回収開口の中心軸よりも前記
圧力室側に位置している請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記第１の連通供給流路、前記第２の連通供給流路、前記第１の連通回収流路および前
記第２の連通回収流路のうち、少なくともいずれか１つの流路が、屈曲しているクランク
流路となっている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記クランク流路は、１回屈曲しているクランク流路である請求項７に記載の液体吐出
ヘッド。

【請求項9】

前記第２の連通供給流路、前記第１の連通供給流路、前記圧力発生素子、前記第１の連
通回収流路および前記第２の連通回収流路の順に構成されており、
前記第２の連通供給流路および前記第２の連通回収流路が、屈曲しているクランク流路
となっている請求項７または８に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記第１の連通供給流路、前記第２の連通供給流路、前記第１の連通回収流路および前
記第２の連通回収流路のうち、少なくともいずれか１つの流路が、直線的な形状であって
、液流路に向かって傾いて延在している請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体吐
出ヘッド。

【請求項11】

前記第２の連通供給流路、前記第１の連通供給流路、前記圧力発生素子、前記第１の連
通回収流路および前記第２の連通回収流路の順に構成されており、
前記第２の連通供給流路および前記第２の連通回収流路が、直線的な形状であって、液
流路に向かって傾いて延在している請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

複数の前記圧力室は、前記圧力室が複数個配列された第１の圧力室列と、前記第１の圧
力室列と隣接して配置される、前記圧力室が複数個配列された第２の圧力室列と、を構成
しており、
前記第１の圧力室列を構成する第１の圧力室と連通する前記第１の共通供給流路、前記
第２の共通供給流路、前記第１の共通回収流路および第２の共通回収流路のうち、少なく
ともいずれか１つの流路が、前記第２の圧力室列を構成する第２の圧力室と連通している
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項13】

前記第１の圧力室列において、前記第２の連通供給流路、前記第１の連通供給流路、前
記圧力発生素子、前記第１の連通回収流路および前記第２の連通回収流路の順に構成され
ており、
前記第１の圧力室と連通する前記第２の共通供給流路および前記第２の共通回収流路が
、前記第２の圧力室と連通している請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項14】

前記第２の液体の粘度は、前記第１の液体の粘度よりも大きい請求項１ないし１３のい
ずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項15】

前記圧力室において、前記第１の液体と前記第２の液体は、前記第２の液体が吐出され
る方向に並んで流動している請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド
。

【請求項16】

前記圧力室において、前記第２の液体の流量は前記第１の液体の流量よりも大きい請求
項１ないし１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項17】

前記吐出口から吐出される液体に前記第１の液体は含まれない請求項１ないし１６のい
ずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項18】

前記圧力発生素子は、電圧が印加されることによって発熱して前記第１の液体に膜沸騰
を生じさせる請求項１ないし１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項19】

前記第１の液体と前記第２の液体との液液界面の位置は、前記吐出口と前記圧力発生素
子との間に形成されている請求項１ないし１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項20】

請求項１から１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを構成するための液体吐出モ
ジュールであって、
複数配列されることによって前記液体吐出ヘッドが構成されることを特徴とする液体吐
出モジュール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出モジュールに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、吐出媒体となる液体と発泡媒体となる液体を界面で接触させ、熱エネルギの付与によって発泡媒体内に生成させた泡の成長に伴って吐出媒体を吐出させる液体吐出ユニットが開示されている。特許文献１によれば、吐出媒体を吐出した後に、吐出媒体と発泡媒体を加圧して流れを形成することにより、吐出媒体と発泡媒体の界面を液流路内で安定させる方法が説明されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平６－３０５１４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１のように、吐出媒体と発泡媒体の２つの液体の流れを形成するためには、２種の液体を基板上の流路に供給する必要がある。２種の液体を基板上の流路に供給しようとすると、１種の液体を供給する場合と比較して、圧力室のより遠い位置から液体を供給しなければならない場合がある。そのため、１種の液体を供給する場合と異なり、流路の長さが長くなりやすい。流路の長さが長くなると、流路の流抵抗が大きくなるため、液体の供給効率が低下する。

【0005】

そこで、本発明は上記課題を鑑み、２種の液体の流れを形成しつつ、液体の供給効率が低下することを抑制することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題は、以下の本発明によって解決される。即ち本発明は、基板と、前記基板の表面上に設けられた、第１の液体と第２の液体が流動する複数の圧力室と、前記第１の液体を加圧する圧力発生素子と、前記圧力室と連通し前記第２の液体を吐出する吐出口と、前記圧力室と連通する液流路と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液流路は、前記圧力室に前記第１の液体を供給する第１の供給流路と、前記圧力室に前記第２の液体を供給する第２の供給流路と、前記圧力室から前記第１の液体を回収する第１の回収流路と、前記圧力室から前記第２の液体を回収する第２の回収流路と、を有し、前記基板内に、前記第１の供給流路と第１の連通供給開口を介して連通し、前記第１の供給流路に前記第１の液体を供給する第１の連通供給流路と、前記第２の供給流路と第２の連通供給開口を介して連通し、前記第２の供給流路に前記第２の液体を供給する第２の連通供給流路と、前記第１の回収流路と第１の連通回収開口を介して連通し、前記第１の回収流路から前記第１の液体を回収する第１の連通回収流路と、前記第２の回収流路と第２の連通回収開口を介して連通し、前記第２の回収流路から前記第２の液体を回収する第２の連通回収流路と、複数の前記第１の連通供給流路と第１の共通供給開口を介して連通し、前記複数の第１の連通供給流路に前記第１の液体を供給する第１の共通供給流路と、複数の前記第２の連通供給流路と第２の共通供給開口を介して連通し、前記複数の第２の連通供給流路に前記第２の液体を供給する第２の共通供給流路と、複数の前記第１の連通回収流路と第１の共通回収開口を介して連通し、前記複数の第１の連通回収流路から前記第１の液体を回収する第１の共通回収流路と、複数の前記第２の連通回収流路と第２の共通回収開口を介して連通し、前記複数の第２の連通回収流路から前記第２の液体を回収する第２の共通回収流路と、が形成されており、前記基板において、前記第１の連通供給開口の中心軸は前記第１の共通供給開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記第２の連通供給開口の中心軸は前記第２の共通供給開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記第１の連通回収開口の中心軸は前記第１の共通回収開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、または、前記第２の連通回収開口の中心軸は前記第２の共通回収開口の中心軸よりも前記圧力室側に位置している、の少なくともいずれかの関係になっていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、２つの液体の流れを形成しつつ、液体の供給効率が低下することを抑制することができる液体吐出ヘッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】吐出ヘッドの斜視図である。

【図2】液体吐出装置の制御構成を説明するためのブロック図である。

【図3】液体吐出モジュールにおける素子基板の断面斜視図である。

【図4】第１の実施形態における液流路及び圧力室の拡大詳細図である。

【図5】粘度比と水相厚比の関係、及び圧力室の高さと流速の関係を示す図である。

【図6】流量比と水相厚比の関係を示す図である。

【図7】吐出動作の過渡状態を模式的に示す図である。

【図8】水相厚比を変化させた場合の吐出液滴を示す図である。

【図9】水相厚比を変化させた場合の吐出液滴を示す図である。

【図10】水相厚比を変化させた場合の吐出液滴を示す図である。

【図11】流路（圧力室）の高さと水相厚比の関係を示す図である。

【図12】比較例の液流路の上面図と断面図を示す図である。

【図13】第１の実施形態の液流路の上面図と断面図を示す図である。

【図14】第２の実施形態の液流路の上面図と断面図を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（液体吐出ヘッドの構成）
図１は、本発明で使用可能な液体吐出ヘッド１の斜視図である。本実施形態の液体吐出ヘッド１は、複数の液体吐出モジュール１００がｘ方向に配列されて構成される。個々の液体吐出モジュール１００は、複数の圧力発生素子１２（図４参照）が配列された素子基板１０と、個々の吐出素子に電力と吐出信号を供給するためのフレキシブル配線基板４０とを有している。フレキシブル配線基板４０のそれぞれは、電力供給端子と吐出信号入力端子が配された電気配線基板９０に共通して接続されている。液体吐出モジュール１００は、液体吐出ヘッド１に対し簡易的に着脱することができる。よって、液体吐出ヘッド１には、これを分解することなく、任意の液体吐出モジュール１００を外部から容易に取りつけたり取り外したりすることができる。

【0010】

このように、液体吐出モジュール１００を長手方向に複数配列（複数個が配列）させて構成される液体吐出ヘッド１であれば、何れかの圧力発生素子１２等に吐出不良が生じた場合であっても、吐出不良が生じた液体吐出モジュール１００のみを交換すればよい。よって、液体吐出ヘッド１の製造工程における歩留まりを向上させるとともに、ヘッド交換時のコストを抑えることができる。

【0011】

（液体吐出装置の構成）
図２は、本発明に使用可能な液体吐出装置２の制御構成を示すブロック図である。ＣＰＵ５００は、ＲＯＭ５０１に記憶されているプログラムに従いＲＡＭ５０２をワークエリアとして使用しながら、液体吐出装置２の全体を制御する。ＣＰＵ５００は、例えば、外部に接続されたホスト装置６００より受信した吐出データに、ＲＯＭ５０１に記憶されているプログラムおよびパラメータに従って所定のデータ処理を施し、液体吐出ヘッド１が吐出可能な吐出信号を生成する。そして、この吐出信号に従って液体吐出ヘッド１を駆動しながら、搬送モータ５０３を駆動して液体の付与対象媒体を所定の方向に搬送することにより、液体吐出ヘッド１から吐出された液体を付与対象媒体に付着させる。

【0012】

液体循環ユニット５０４は、液体吐出ヘッド１に液体を循環させながら供給し、液体吐出ヘッド１における液体の流動制御を行うためのユニットである。液体循環ユニット５０４は、液体を貯留するサブタンク、サブタンクと液体吐出ヘッド１の間で液体を循環させる流路や、複数のポンプ、液体吐出ヘッド１内を流れる液体の流量を調整するための流量調整ユニットなどを備えている。そして、ＣＰＵ５００の指示の下、液体吐出ヘッド１において液体が所定の流量で流れるように、上記複数の機構を制御する。

【0013】

（素子基板の構成）
図３は、個々の液体吐出モジュール１００に備えられた素子基板１０の断面斜視図である。素子基板１０は、シリコン（Ｓｉ）基板１５上にオリフィスプレート１４（吐出口形成部材）が積層されて構成されている。図３では、ｘ方向に配列された吐出口１１は、同種類の液体（例えば共通のサブタンクや供給口から供給される液体）を吐出する。ここではオリフィスプレート１４が液流路１３も形成した例を示しているが、液流路１３は別の部材（流路壁部材）で形成し、その上に吐出口１１が形成されたオリフィスプレート１４が設けられた構成であってもよい。

【0014】

シリコン基板（以下、単に基板と称す）１５上の、個々の吐出口１１に対応する位置には圧力発生素子１２（図３では不図示）が配されている。吐出口１１と圧力発生素子１２とは、対向する位置に設けられている。吐出信号に応じて電圧が印加されると、圧力発生素子１２は、液体を流動方向（ｙ方向）と交差するｚ方向へ加圧し、圧力発生素子１２と対向する吐出口１１から、液体が液滴として吐出される。圧力発生素子１２への電力や駆動信号は、基板１５上に配された端子１７を介して、フレキシブル配線基板４０（図１参照）より供給される。

【0015】

オリフィスプレート１４には、ｙ方向に延在し、吐出口１１の夫々に個別に接続する複数の液流路１３が形成されている。また、ｘ方向に配列する複数の液流路１３は、詳しくは後述する複数の連通流路とそれぞれ連通している。そして、複数の連通流路は、第１の共通供給流路２３、第１の共通回収流路２４、第２の共通供給流路２８及び第２の共通回収流路２９と、連通している。以下、第１の共通供給流路２３、第１の共通回収流路２４、第２の共通供給流路２８及び第２の共通回収流路２９をまとめて示す場合には、単に、共通流路と称す。第１の共通供給流路２３、第１の共通回収流路２４、第２の共通供給流路２８及び第２の共通回収流路２９における液体の流れは、図２で説明した液体循環ユニット５０４によって制御されている。具体的には、第１の共通供給流路２３から液流路１３に流入した第１の液体が第１の共通回収流路２４に向かい、第２の共通供給流路２８から液流路１３に流入した第２の液体が第２の共通回収流路２９に向かうように制御されている。第１の共通供給流路２３、第１の共通回収流路２４、第２の共通供給流路２８及び第２の共通回収流路２９は、ｘ方向に配列する複数の液流路１３と接続されている。

【0016】

図３では、このようなｘ方向に配列する吐出口１１および液流路１３の組が、ｙ方向に２列配置された例を示している。なお、図３においては、圧力発生素子１２と対向する位置、すなわち気泡の成長方向に吐出口が配置される構成を示したが、本実施形態はこれに限られることはない。例えば、気泡の成長方向と直交するような位置に吐出口を設けてもよい。

【0017】

（液流路及びの構成）
図４（ａ）～（ｄ）は、基板１５の表面上に形成された１つの液流路１３及び圧力室１８の構成を詳しく説明するための図である。図４（ａ）は吐出口１１の側（＋ｚ方向側）から見た透視図、図４（ｂ）は図４（ａ）に示すＩＶｂ－ＩＶｂの断面図である。また、図４（ｃ）は図３で示した素子基板１０における１つの液流路１３近傍の拡大図である。更に、図４（ｄ）は、図４（ｂ）における吐出口近傍の拡大図である。

【0018】

液流路１３の底部に相当する基板内には、第２の連通供給流路２１、第１の連通供給流路２０、第１の連通回収流路２５、第２の連通回収流路２６が、ｙ方向においてこの順に形成されている。そして、吐出口１１と連通し、圧力発生素子１２を含む圧力室１８は、液流路１３中で第１の連通供給流路２０と第１の連通回収流路２５のほぼ中央に配されている。ここで、圧力室１８とは、圧力発生素子１２を内部に備え、圧力発生素子１２によって発生した圧力が作用する液体を格納している空間のことである。または、圧力室１８とは、圧力発生素子１２から吐出口１１までの長さをａとしたときに、圧力発生素子１２の中心を中心する半径ａの円の内側にある空間のことである。第２の連通供給流路２１は第２の共通供給流路２８に、第１の連通供給流路２０は第１の共通供給流路２３に、第１の連通回収流路２５は第１の共通回収流路２４に、第２の連通回収流路２６は第２の共通回収流路２９に、それぞれ接続している（図３参照）。以下、第１の連通供給流路２０、第２の連通供給流路２１、第１の連通回収流路２５および第２の連通回収流路２６をまとめて示す場合には、単に、連通流路と称す。

【0019】

以上の構成のもと、第１の共通供給流路２３より第１の連通供給流路２０を介して液流路１３に供給された第１の液体３１は、ｙ方向（矢印で示す方向）に流動し、圧力室１８を経由した後、第１の連通回収流路２５を介して第１の共通回収流路２４に回収される。また、第２の共通供給流路２８より第２の連通供給流路２１を介して液流路１３に供給された第２の液体３２は、ｙ方向（矢印で示す方向）に流動し、圧力室１８を経由した後、第２の連通回収流路２６を介して第２の共通回収流路２９に回収される。即ち、液流路１３のうち、第１の連通供給流路２０と第１の連通回収流路２５の間では第１の液体と第２の液体の両方が共にｙ方向に流動する。

【0020】

圧力室１８の中では、圧力発生素子１２は第１の液体３１と接触し、吐出口１１の近傍では大気に曝された第２の液体３２がメニスカスを形成している。圧力室１８の中では、圧力発生素子１２と、第１の液体３１と、第２の液体３２と、吐出口１１とが、この順で並ぶように、第１の液体３１と第２の液体３２とが流れている。即ち、圧力発生素子１２がある側が下方、吐出口１１がある側が上方とすると、第１の液体３１上に第２の液体３２が流れている。そして、第１の液体３１及び第２の液体３２は、下方の圧力発生素子１２によって加圧され、下方から上方に向けて吐出される。尚、この上下の方向が、圧力室１８及び液流路１３の高さ方向である。

【0021】

本実施形態では、第１の液体３１と第２の液体３２が、図４（ｄ）に示すように、圧力室１８の中で互いに接触しながら沿うように流れるように、第１の液体３１の流量と第２の液体の流量を、第１の液体３１の物性および第２の液体３２の物性に応じて調整する。なお、第１の実施形態及び第２の実施形態において、第１の液体及び第２の液体は同じ方向にそれぞれ流動させているが、本発明はこれに限られることはない。すなわち、第１の液体の流動方向に対して第２の液体が反対向きに流動してもよい。また、第１の液体３１の流れと第２の液体３２の流れが直交するように、流路を設けてもよい。また、液流路（圧力室）の高さ方向において、第１の液体３１の上に第２の液体３２が流動するように液体吐出ヘッド１を構成したが、本発明はこれに限られることはない。すなわち、液流路（圧力室）の底面に第１の液体及び第２の液体が共に接するように流動してもよい。

【0022】

このような２つの液体の流れとしては、図４（ｄ）に示すような２つの液体が同じ方向に流動する平行流だけでなく、第１の液体の流動方向に対して第２の液体が反対向きに流動する対向流、第１の液体の流れと第２の液体の流れが交差する液体の流れがある。以下、この中で平行流を例にとって説明する。

【0023】

平行流の場合、第１の液体３１と第２の液体３２の界面が乱れないこと、すなわち第１の液体３１と第２の液体３２が流動する圧力室１８内の流れが層流状態であること、が好ましい。特に、所定の吐出量を維持するなど、吐出性能を制御しようとする場合には、界面が安定している状態で圧力発生素子１２を駆動することが好ましい。但し、本発明はこれに限定されるものではない。圧力室１８内の流れが乱流状態となって２つの液体の界面が多少乱れたとしても、少なくとも圧力発生素子１２の側を主として第１の液体が流動し、吐出口１１の側を主として第２の液体が流動している状態であれば、圧力発生素子１２を駆動してもよい。以下では、圧力室内の流れが平行流であって、かつ、層流状態となっている例を中心に説明する。

【0024】

（層流となっている平行流の形成条件）
まず、管内において液体が層流となる条件について説明する。一般に、流れを評価する指標として、粘性力と界面張力の比を表すレイノルズ数Ｒｅが知られている。

【0025】

ここで、液体の密度をρ、流速をｕ、代表長さをｄ、粘度をηとすると、レイノルズ数Ｒｅは（式１）で表すことができる。
Ｒｅ＝ρｕｄ／η・・・（式１）

【0026】

ここで、レイノルズ数Ｒｅが小さいほど、層流が形成されやすいことが知られている。具体的には、例えばレイノルズ数Ｒｅが２２００程度より小さいと円管内の流れは層流となり、レイノルズ数Ｒｅが２２００程度より大きいと円管内の流れは乱流となることが知られている。

【0027】

流れが層流になるということは、流線が流れの進行方向に対して互いに平行となり交わらないことになる。従って、接触する２つの液体がそれぞれ層流であれば、２つの液体の界面が安定している平行流を形成することができる。ここで、一般的なインクジェット記録ヘッドについて考えると、液流路（圧力室）における吐出口近傍の流路高さ（圧力室の高さ）Ｈ［μｍ］は１０～１００μｍ程度である。よって、インクジェット記録ヘッドの液流路に水（密度ρ＝１．０×１０３ｋｇ／ｍ^３、粘度η＝１．０ｃＰ）を流速１００ｍｍ／ｓで流した場合、レイノルズ数はＲｅ＝ρｕｄ／η≒０．１～１．０＜＜２２００となり、層流が形成されるとみなすことができる。

【0028】

尚、図４に示すように、液流路１３や圧力室１８の断面が矩形であったとしても、液流路１３や圧力室１８は円管と同等に、即ち液流路１３や圧力室１８の有効形を円管の直径としてみなすことができる。

【0029】

（層流状態の平行流の理論的な形成条件）
次に、図４（ｄ）を参照しながら、液流路１３及び圧力室１８の中で２種類の液体の界面が安定している平行流を形成する条件について説明する。まず、基板１５からオリフィスプレート１４の吐出口面までの距離をＨ［μｍ］とする。そして、吐出口面から第１の液体３１と第２の液体３２との液液界面までの距離（第２の液体の相厚）をｈ_２［μｍ］、液液界面から基板１５までの距離（第１の液体の相厚）をｈ_１［μｍ］とする。即ち、Ｈ＝ｈ_１＋ｈ_２となる。

【0030】

ここで、液流路１３及び圧力室１８内の境界条件として、液流路１３及び圧力室１８の壁面における液体の速度はゼロとする。また、第１の液体３１と第２の液体３２との液液界面の速度とせん弾応力は、連続性を有するものと仮定する。この仮定において、第１の液体３１と第２の液体３２とが２層の平行な定常流を形成しているとすると、平行流区間では（式２）に示す４次方程式が成立する。

【0031】

【数1】

【0032】

尚、（式２）において、η_１は第１の液体３１の粘度、η_２は第２の液体３２の粘度、Ｑ_１は第１の液体３１の流量、Ｑ_２は第２の液体３２の流量をそれぞれ示す。すなわち、上記の４次方程式（式２）の成立範囲において、第１の液体と第２の液体は、それぞれの流量と粘度に応じた位置関係となるように流動し、界面が安定した平行流が形成される。本実施形態では、この第１の液体と第２の液体の平行流を、液流路１３内、少なくとも圧力室１８内で形成することが好ましい。このような平行流が形成された場合、第１の液体と第２の液体は、その液液界面において分子拡散による混合が起こるのみであり、実質的に交じり合うことなくｙ方向に平行に流れる。なお、本実施形態は、圧力室１８内の一部の領域における液体の流れが層流状態となっていなくてもよい。少なくとも圧力発生素子上の領域を流れる液体の流れが層流状態となっていることが好ましい。

【0033】

例えば、水と油のような不混和性溶媒を第１の液体と第２の液体として用いる場合であっても、（式２）が満足されれば、互いに不混和であることとは関係なく安定した平行流が形成される。また、水と油の場合であっても、前述したように、圧力室内の流れが多少乱流状態であって界面が乱れたとしても、少なくとも圧力発生素子上を主に第１の液体が流動し、吐出口内を主に第２の液体が流動していることが好ましい。

【0034】

図５（ａ）は、（式２）に基づいて、粘度比η_ｒ＝η_２／η_１と第１の液体の相厚比ｈ_ｒ＝ｈ_１／（ｈ_１＋ｈ_２）との関係を、流量比Ｑ_ｒ＝Ｑ_２／Ｑ_１を複数段階に異ならせた場合について示した図である。尚、第１の液体は水に限定されないが、「第１の液体の相厚比」を以下「水相厚比」と称する。横軸は粘度比η_ｒ＝η_２／η_１、縦軸は水相厚比ｈ_ｒ＝ｈ_１／（ｈ_１＋ｈ_２）をそれぞれ示している。流量比Ｑ_ｒが大きくなるほど、水相厚比ｈ_ｒは小さくなっている。また、いずれの流量比Ｑ_ｒについても、粘度比η_ｒが大きくなるほど水相厚比ｈ_ｒは小さくなっている。即ち、液流路１３（圧力室）における水相厚比ｈ_ｒ（第１の液体と第２の液体との界面位置）は、第１の液体と第２の液体との粘度比η_ｒ及び流量比Ｑ_ｒを制御することによって所定の値に調整することができる。その上で、図５（ａ）によれば、粘度比η_ｒと流量比Ｑ_ｒとを比較した場合、流量比Ｑ_ｒの方が粘度比η_ｒよりも水相厚比ｈ_ｒに大きく影響することがわかる。

【0035】

尚、水相厚比ｈ_ｒ＝ｈ_１／（ｈ_１＋ｈ_２）については、０＜ｈ_ｒ＜１（条件１）が満たされていれば、液流路（圧力室）の中において第１の液体と第２の液体との平行流は形成されていることになる。但し、後述するように、本実施形態では第１の液体を主に発泡媒体として機能させ、第２の液体を主に吐出媒体として機能させるようにし、吐出液滴に含まれる第１の液体と第２の液体とを所望の割合に安定させるようにしている。このような状況を考慮すると、水相厚比ｈ_ｒは、０．８以下（条件２）であることが好ましく、０．５以下（条件３）であることがさらに好ましい。

【0036】

ここで、図５（ａ）に示す状態Ａ、状態Ｂ、状態Ｃは、それぞれ以下の状態を示す。
状態Ａ）粘度比η_ｒ＝１及び流量比Ｑ_ｒ＝１の場合で水相厚比ｈ_ｒ＝０．５０
状態Ｂ）粘度比η_ｒ＝１０及び流量比Ｑ_ｒ＝１の場合で水相厚比ｈ_ｒ＝０．３９
状態Ｃ）粘度比η_ｒ＝１０及び流量比Ｑ_ｒ＝１０の場合で水相厚比ｈ_ｒ＝０．１２

【0037】

図５（ｂ）は、液流路１３（圧力室）の高さ方向（ｚ方向）における流速分布を上記状態Ａ、Ｂ、Ｃのそれぞれについて示した図である。横軸は状態Ａの流速最大値を１（基準）として規格化した規格化値Ｕｘを示している。縦軸は、液流路１３（圧力室）の高さＨを１（基準）とした場合の底面からの高さを示している。夫々の状態を示す曲線においては、第１の液体と第２の液体との界面位置をマーカーで示している。状態Ａの界面位置が状態Ｂや状態Ｃの界面位置よりも高いなど、界面位置が状態によって変化することがわかる。これは、異なる粘度を有する２種類の液体がそれぞれ層流となって（全体としても層流で）管内を平行に流れる場合、これら２つの液体の界面は、これら液体の粘度差に起因する圧力差と界面張力とに起因するラプラス圧が釣り合う位置に形成されるためである。

【0038】

（流量比と水相厚比の関係）
図６は、（式２）のもと、流量比Ｑ_ｒと水相厚比ｈ_ｒの関係を、粘度比がη_ｒ＝１の場合とη_ｒ＝１０の場合について示す図である。横軸は流量比Ｑ_ｒ＝Ｑ_２／Ｑ_１を示し、縦軸は水相厚比ｈ_ｒ＝ｈ_１／（ｈ_１＋ｈ_２）を示している。流量比Ｑ_ｒ＝０とはＱ_２＝０の場合に相当し、液流路は第１の液体のみで満たされ第２の液体が存在せず、水相厚比はｈ_ｒ＝１となる。図のＰ点がこの状態を示している。

【0039】

Ｐ点の位置よりＱ_ｒを大きく（即ち第２の液体の流量Ｑ_２を０よりも大きく）すると、水相厚比ｈ_ｒ即ち第１の液体の水相厚ｈ_１は小さくなり、第２の液体の水相厚ｈ_２は大きくなる。つまり、第１の液体のみが流れる状態から、第１の液体と第２の液体とが界面を介して平行に流れる状態に移行する。そしてこのような傾向は、第１の液体と第２の液体の粘度比がη_ｒ＝１の場合であってもη_ｒ＝１０の場合であっても、同様に確認することができる。

【0040】

すなわち、液流路１３において第１の液体と第２の液体が界面を介して沿うように流れる状態となるためには、Ｑ_ｒ＝Ｑ_２／Ｑ_１＞０であること、つまりＱ_１＞０且つＱ_２＞０が成立していることが求められる。これは、第１の液体と第２の液体が共にｙ方向へ同一方向に流動していることを意味している。

【0041】

（吐出動作の過渡状態）
次に、平行流が形成された液流路１３及び圧力室１８における吐出動作の過渡状態について説明する。図７（ａ）～（ｅ）は、粘度比がη_ｒ＝４の第１の液体と第２の液体で平行流を形成した状態で吐出動作を行った場合の過渡状態を模式的に示す図である。なお、図７（ａ）～（ｅ）に示す液流路１３（圧力室）の高さＨは、Ｈ［μｍ］＝２０μｍ、オリフィスプレートの厚みＴは、Ｔ［μｍ］＝６μｍである。

【0042】

図７（ａ）は、圧力発生素子１２に電圧が印加される前の状態を示している。ここでは、共に流動する第１の液体のＱ_１と第２の液体のＱ_２を調整することにより、水相厚比がη_ｒ＝０．５７（即ち第１の液体の水相厚がｈ_１［μｍ］＝６μｍ）となる位置で界面位置が安定した状態を示している。

【0043】

図７（ｂ）は、圧力発生素子１２に電圧が印加され始めた状態を示している。本実施形態の圧力発生素子１２は電気熱変換体（ヒータ）である。即ち、圧力発生素子１２は、吐出信号に応じて電圧パルスが印加されることにより急激に発熱し、接触する第１の液体中に膜沸騰を生じさせる。図では、膜沸騰によって泡１６が生成された状態を示している。泡１６が生成された分、第１の液体３１と第２の液体３２の界面はｚ方向（圧力室の高さ方向）に移動し、第２の液体３２は吐出口１１よりｚ方向に押し出されている。

【0044】

図７（ｃ）は、膜沸騰によって発生した泡１６の体積が増大し、第２の液体３２は吐出口１１より更にｚ方向に押し出された状態となっている。

【0045】

図７（ｄ）は、泡１６が大気に連通した状態を示している。本実施形態においては泡１６が最大に成長した後の収縮段階において、吐出口１１から圧力発生素子１２側に移動した気液界面と泡１６とが連通する。

【0046】

図７（ｅ）は、液滴３０が吐出された状態を示している。図７（ｄ）のように泡１６が大気に連通したタイミングにおいて既に吐出口１１より突出している液体は、その慣性力によって液流路１３から離脱し、液滴３０となってｚ方向へ飛翔する。一方、液流路１３においては、吐出によって消費された分の液体が、液流路１３の毛細管力によって吐出口１１の両側から供給され、吐出口１１には再びメニスカスが形成される。そして、再び図７（ａ）に示すような、ｙ方向に流動する第１の液体と第２の液体の平行流が形成される。

【0047】

このように、本実施形態においては、第１の液体と第２の液体が平行流として流動している状態で、図７（ａ）～（ｅ）に示す吐出動作を行う。再度図２を参照しながら具体的に説明すると、ＣＰＵ５００は、液体循環ユニット５０４を用いて、第１の液体の流量および第２の液体の流量を一定に保ちつつこれら液体を吐出ヘッド１内で循環させる。そして、そのような制御を持続しながら、ＣＰＵ５００は、吐出データに従って吐出ヘッド１に配された個々の圧力発生素子１２に電圧を印加する。なお、吐出される液体の量によっては、第１の液体の流量および第２の液体の流量は常に一定とは限られない場合もある。

【0048】

なお、液体が流動している状態で吐出動作を行う場合、液体の流動が吐出性能に影響を与えることが懸念される場合がある。しかし、一般的なインクジェット記録ヘッドにおいて、液滴の吐出速度は数ｍ／ｓ～十数ｍ／ｓのオーダーであり、数ｍｍ／ｓ～数ｍ／ｓのオーダーである液流路内の流動速度に比べて遥かに大きい。よって、第１の液体と第２の液体が数ｍｍ／ｓ～数ｍ／ｓで流動した状態で吐出動作が行われても、吐出性能が影響を受けるおそれは少ない。

【0049】

本実施形態では泡１６と大気とが圧力室１８内で連通する構成を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、泡１６が吐出口１１の外側（大気側）で大気と連通してもよく、また、泡１６が大気と連通することなく消泡する形態であってもよい。

【0050】

（吐出液滴に含まれる液体の割合）
図８（ａ）～（ｇ）は、流路（圧力室）高さがＨ［μｍ］＝２０μｍの液流路１３（圧力室）において、水相厚比ｈ_ｒを段階的に変化させた場合の吐出液滴を比較する図である。図８（ａ）～（ｆ）は水相厚比ｈ_ｒを０．１０ずつ増大させ、図８（ｆ）から（ｇ）においては水相厚比ｈ_ｒを０．５０増大させている。なお、図８における吐出液滴は、第１の液体の粘度を１ｃＰ、第２の液体の粘度を８ｃＰ、液滴の吐出速度を１１ｍ／ｓとして、シミュレーションを行った際に得られた結果をもとに示したものである。

【0051】

図４（ｄ）で示す水相厚比ｈ_ｒ（＝ｈ_１／（ｈ_１＋ｈ_２））が０に近いほど第１の液体３１の水相厚ｈ_１は小さく、水相厚比ｈ_ｒが１に近いほど第１の液体３１の水相厚ｈ_１は大きい。このため、吐出液滴３０に主として含まれるのは、吐出口１１に近い第２の液体３２であるが、水相厚比ｈ_ｒが１に近づくほど、吐出液滴３０に含まれる第１の液体３１の割合も増加する。

【0052】

流路（圧力室）高さがＨ［μｍ］＝２０μｍである図８（ａ）～（ｇ）の場合、水相厚比がｈ_ｒ＝０．００、０．１０、０．２０では第２の液体３２のみが吐出液滴３０に含まれ、第１の液体３１は吐出液滴３０に含まれない。しかし、水相厚比がｈ_ｒ＝０．３０以降では第２の液体３２とともに第１の液体３１も吐出液滴３０に含まれ、水相厚比がｈ_ｒ＝１．００（即ち第２の液体が存在しない状態）では第１の液体３１のみが吐出液滴３０に含まれる状態となる。このように、吐出液滴３０に含まれる第１の液体３１と第２の液体３２の割合は、液流路１３における水相厚比ｈ_ｒによって変化する。

【0053】

一方、図９（ａ）～（ｅ）は、流路（圧力室）高さがＨ［μｍ］＝３３μｍの液流路１３において、水相厚比ｈ_ｒを段階的に変化させた場合の吐出液滴３０を比較する図である。この場合、水相厚比がｈ_ｒ＝０．３６までは第２の液体３２のみが吐出液滴３０に含まれ、水相厚比がｈ_ｒ＝０．４８以降では第２の液体３２とともに第１の液体３１も吐出液滴３０に含まれている。

【0054】

また、図１０（ａ）～（ｃ）は、流路（圧力室）高さがＨ［μｍ］＝１０μｍの液流路１３において、水相厚比ｈ_ｒを段階的に変化させた場合の吐出液滴３０を比較する図である。この場合、水相厚比がｈ_ｒ＝０．１０であっても、第１の液体３１が吐出液滴３０に含まれてしまっている。

【0055】

図１１は、吐出液滴３０に第１の液体３１が含まれる割合Ｒを固定した場合の流路（圧力室）高さＨと水相厚比ｈ_ｒの関係を、上記割合Ｒを０％、２０％、４０％とした場合について示す図である。いずれの割合Ｒにおいても、流路（圧力室）高さＨが大きいほど求められる水相厚比ｈ_ｒも大きくなる。なお、ここで言う第１の液体３１が含まれる割合Ｒとは、吐出液滴のうち、液流路１３（圧力室）において第１の液体３１として流れていた液体が含まれる割合を示す。よって、第１の液体と第２の液体のそれぞれが例えば水のような同じ成分を含んでいたとしても、第２の液体に含まれていた水については上記割合に無論含まれない。

【0056】

吐出液滴３０に第２の液体３２のみを含ませ第１の液体を含ませないようにする場合（Ｒ＝０％）、流路（圧力室）高さＨ［μｍ］と水相厚比ｈ_ｒの関係は図の実線で示す軌跡となる。本発明者らの検討によれば、水相厚比ｈ_ｒは、（式３）に示す流路（圧力室）高さＨ［μｍ］の一次関数で近似することができる。
ｈ_ｒ＝－０．１３９０＋０．０１５５Ｈ・・・（式３）

【0057】

また、吐出液滴３０に第１の液体を２０％含ませようとする場合（Ｒ≦２０％）、水相厚比ｈ_ｒは、（式４）に示す流路（圧力室）高さＨ［μｍ］の一次関数で近似することができる。
ｈ_ｒ＝＋０．０９８２＋０．０１２８Ｈ・・・（式４）

【0058】

更に、吐出液滴３０に第１の液体を４０％含ませようとする場合（Ｒ＝４０％）、本発明者らの検討によれば、水相厚比ｈ_ｒは、（式５）に示す流路（圧力室）高さＨ［μｍ］の一次関数で近似することができる。
ｈ_ｒ＝＋０．３１８０＋０．００８７Ｈ・・・（式５）

【0059】

例えば、吐出液滴３０に第１の液体が含まれないようにする場合、流路（圧力室）高さＨ［μｍ］が２０μｍであれば水相厚比ｈ_ｒは０．２０以下に調整することが求められる。また、流路（圧力室）高さＨ［μｍ］が３３μｍであれば水相厚比ｈ_ｒは０．３６以下に調整することが求められる。更に、流路（圧力室）高さＨ［μｍ］が１０μｍであれば水相厚比ｈ_ｒはほぼゼロ（０．００）に調整することが求められる。

【0060】

但し、水相厚比ｈ_ｒをあまり小さくすると、第１の液体に対する第２の液体の粘度η_２や流量Ｑ_２を増大させる必要が生じ、圧力損失の増大に伴う弊害が懸念される。例えば、再度図５（ａ）を参照すると、水相厚比ｈ_ｒ＝０．２０を実現する場合、粘度比η_ｒ＝１０では流量比はＱ_ｒ＝５となる。また、同じインク（即ち同じ粘度比η_ｒ）を用いつつ、第１の液体を吐出させないことの確実性を得るために、水相厚比を仮にｈ_ｒ＝０．１０に設定すると、流量比はＱ_ｒ＝１５となる。即ち、水相厚比ｈ_ｒを０．１０に調整する場合は、水相厚比ｈ_ｒを０．２０に調整する場合に比べて流量比Ｑ_ｒを３倍にすることが必要となり、圧力損失の増加およびこれに伴う弊害が懸念される。

【0061】

以上のことより、圧力損失をなるべく小さく抑えながら、第２の液体３２のみを吐出させようとする場合、水相厚比ｈ_ｒは上記条件の下、なるべく大きな値に調整することが好ましい。再度図１１を参照して具体的に説明すると、例えば流路（圧力室）高さがＨ［μｍ］＝２０μｍの場合、水相厚比ｈ_ｒは０．２０よりも小さく、且つなるべく０．２０に近い値に調整することが好ましい。また、流路（圧力室）高さがＨ［μｍ］＝３３μｍの場合、水相厚比ｈ_ｒは０．３６よりも小さく、且つなるべく０．３６に近い値に調整することが好ましい。

【0062】

尚、上記（式３）、（式４）、（式５）は、一般的な液体吐出ヘッド、即ち吐出液滴の吐出速度が１０ｍ／ｓ～１８ｍ／ｓの範囲である液体吐出ヘッドにおける数値である。また、圧力発生素子と吐出口とが対向する位置にあり、圧力室の中で、圧力発生素子と第１の液体と第２の液体と吐出口とがこの順で並ぶように、第１の液体と第２の液体とが流れていることを前提とした数値である。

【0063】

このように、本実施形態によれば、液流路１３（圧力室）における水相厚比ｈ_ｒを所定の値に設定し界面を安定させることにより、第１の液体と第２の液体が一定の割合で含まれる液滴の吐出動作を安定して行うことが可能となる。

【0064】

ところで、以上のような吐出動作を安定した状態で繰り返し行うためには、目的の水相厚比ｈ_ｒを実現しつつ、この界面位置を吐出動作の頻度に関わらず安定させておくことが求められる。

【0065】

ここで、再度図４（ａ）～（ｃ）を参照しながら、このような状態を実現するための具体的方法を説明する。例えば、液流路１３（圧力室）における第１の液体の流量Ｑ_１を調整するためには、第１の連通回収流路２５の圧力が第１の連通供給流路２０の圧力よりも低くなるような第１の圧力差生成機構を用意すればよい。このようにすれば、第１の連通供給流路２０から第１の連通回収流路２５に（ｙ方向）に向かう第１の液体３１の流れを生成することができる。また、第２の連通回収流路２６の圧力が第２の連通供給流路２１の圧力よりも低くなるような第２の圧力差生成機構を用意すればよい。このようにすれば、第２の連通供給流路２１から第２の連通回収流路２６に（ｙ方向）に向かう第２の液体３２の流れを生成することができる。

【0066】

そして、液路内で逆流を生じさせないために（式６）の関係を維持した状態で、第１の圧力差生成機構と第２の圧力差生成機構を制御すれば、液流路１３において所望の水相厚比ｈ_ｒでｙ方向に流動する第１の液体と第２の液体の平行流を形成することができる。
Ｐ２ｉｎ≧Ｐ１ｉｎ＞Ｐ１ｏｕｔ≧Ｐ２ｏｕｔ・・・（式６）

【0067】

ここで、Ｐ１ｉｎは第１の連通供給流路２０の圧力、Ｐ１ｏｕｔは第１の連通回収流路２５の圧力、Ｐ２ｉｎは第２の連通供給流路２１の圧力、Ｐ２ｏｕｔは第２の連通回収流路２６の圧力、をそれぞれ示している。このように、第１及び第２の圧力差生成機構を制御することにより液流路（圧力室）において所定の水相厚比ｈ_ｒを維持することができれば、吐出動作に伴って界面位置が乱れても、短時間で好適な平行流を復元し次の吐出動作を即座に開始することが可能となる。

【0068】

（第１の液体と第２の液体の具体例）
以上説明した本実施形態の構成では、第１の液体は膜沸騰を生じさせるための発泡媒体、第２の液体は吐出口から外部に吐出するための吐出媒体、というようにそれぞれに求められる機能が明確になる。本実施形態の構成によれば、第１の液体および第２の液体に含有させる成分の自由度を従来よりも高めることができる。以下、このような構成における発泡媒体（第１の液体）と吐出媒体（第２の液体）について、具体例を挙げて詳しく説明する。

【0069】

本実施形態の発泡媒体（第１の液体）としては、電気熱変換体が発熱した際に発泡媒体中に膜沸騰が生じ、生成された気泡が急激に増大すること、即ち熱エネルギを効率的に発泡エネルギに変換可能な高い臨界圧力を有することが求められる。このような媒体としては、特に水が好適である。水は、分子量が１８と小さいにも関わらず高い沸点（１００℃）と高い表面張力（１００℃で５８．８５ｄｙｎｅ／ｃｍ）を有し、約２２ＭＰａと大きな臨界圧力を有する。即ち、膜沸騰時における発泡圧力も非常に大きい。一般に、膜沸騰を利用してインクを吐出する方式のインクジェット記録装置においても、染料や顔料のような色材を水に含有させたインクを好適に用いている。

【0070】

但し、発泡媒体は水に限定されるものではない。臨界圧力が２ＭＰａ以上であれば（好ましくは５ＭＰａ以上であれば）、発泡媒体としての機能を果すことはできる。水以外の発泡媒体の例としては、例えばメチルアルコールやエチルアルコールが挙げられ、水にこれら液体を混合させたものを発泡媒体として用いることもできる。また、上述のように染料や顔料などの色材や、その他の添加剤などを水に含有させたものも用いることができる。

【0071】

一方、本実施形態の吐出媒体（第２の液体）については、発泡媒体のように膜沸騰を生じさせるための物性は要求されない。また、電気熱変換体（ヒータ）上にコゲが付着すると、ヒータ表面の平滑性が損なわれたり熱伝導率が低下したりして発泡効率の低下が懸念されるが、吐出媒体はヒータに直に接触しないので、含有する成分が焦げるおそれも少ない。即ち、本実施形態の吐出媒体においては、従来のサーマルヘッドのインクに比べ膜沸騰を生じさせたりコゲを回避したりするための物性条件が緩和され、含有成分の自由度が増し、結果として吐出後の用途に適した成分をより積極的に含有させることが可能となる。

【0072】

例えば、ヒータ上で焦げ易いことを理由に従来は使用されていなかった顔料を、本実施形態では吐出媒体に積極的に含有させることができる。また、臨界圧力が非常に小さな水性インク以外の液体も、本実施形態では吐出媒体として使用することができる。更に、紫外線硬化型インク、導電性インク、ＥＢ（電子線）硬化型インク、磁性インク、ソリッド型インクなど、従来のサーマルヘッドでは対応困難であった特別な機能を有する様々なインクを、吐出媒体として用いることが可能となる。また、吐出媒体として血液や培養液中の細胞などを用いれば、本実施形態の液体吐出ヘッドを画像形成以外の様々な用途に利用することもできる。バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途にも有効である。

【0073】

特に、第１の液体（発泡媒体）を水又は水に類似した液体、第２の液体（吐出媒体）を水よりも粘度の高い顔料インクとして第２の液体のみを吐出させる形態は、本実施形態の有効な用途の１つである。このような場合も、図５（ａ）で示したように、流量比Ｑ_ｒ＝Ｑ_２／Ｑ_１をなるべく小さくして水相厚比ｈ_ｒを抑えることが有効である。尚、第２の液体については制限がないので、第１の液体で挙げたような液体と同じ液体を用いることもできる。例えば２つの液体がいずれも水を多く含有したインクであっても、例えば使用の形態といった状況に応じて、一方のインクを第１の液体、他方のインクを第２の液体として用いることができる。

【0074】

（吐出媒体の一例としての紫外線硬化型インク）
一例として、本実施形態の吐出媒体として使用可能な紫外線硬化型インクの好ましい成分構成について説明する。紫外線硬化型インクは１００％ソリッド型である、溶剤を含まず重合性反応成分からなるインクと、溶剤型である水または溶剤を希釈剤として含むインクに分類することができる。近年多く用いられている紫外線硬化型インクは、溶剤を含まず非水系の光重合性反応成分（モノマーもしくはオリゴマー）からなる１００％ソリッド型紫外線硬化型インクである。構成はモノマーを主要成分として含有し、これに光重合開始剤、色材、分散剤、界面活性剤などのその他添加剤を少量含む。その比率は概ねモノマーが８０～９０ｗｔ％、光重合開始剤が５～１０ｗｔ％、色材が２～５ｗｔ％、残りがその他添加剤という構成である。このように、従来のサーマルヘッドでは対応困難であった紫外線硬化型インクであっても、本実施形態の吐出媒体として用いれば、安定した吐出動作によって液体吐出ヘッドから吐出させることができる。これにより、従来よりも画像の堅牢性や耐擦過性に優れた画像を印刷することが可能となる。

【0075】

（吐出液滴を混合液とする例）
次に、吐出液滴３０に、第１の液体３１と第２の液体３２を所定の割合で混合した状態で吐出する場合について説明する。例えば、第１の液体３１と第２の液体３２を異なる色のインクとした場合、双方の液体の粘度及び流量に基づいて算出したレイノルズ数が所定の値より小さい関係を満たしていれば、これらインクは液流路１３及び圧力室１８の中で混色することなく層流となる。即ち、液流路及び圧力室の中における第１の液体３１と第２の液体３２の流量比Ｑ_ｒを制御することにより、水相厚比ｈ_ｒひいては吐出液滴における第１の液体３１と第２の液体３２の混合比を所望の割合に調整することができる。

【0076】

例えば、第１の液体をクリアインク、第２の液体をシアンインク（或はマゼンタインク）とすれば、流量比Ｑ_ｒを制御することにより様々な色材濃度のライトシアンインク（或はライトマゼンタインク）を吐出することができる。また、第１の液体をイエローインク、第２の液体をマゼンタインクとすれば、流量比Ｑ_ｒを制御することにより、色相が段階的に異なる複数種類のレッドインクを吐出することができる。即ち、第１の液体と第２の液体が所望の割合で混合された液滴を吐出することができれば、その混合比を調整することにより、印刷媒体で表現される色再現範囲を従来よりも拡大することができる。

【0077】

また、吐出直前まで混合させず吐出直後より混合させることが好ましい２種類の液体を用いる場合にも、本実施形態の構成は有効である。例えば、画像印刷においては、発色性に優れた高濃度顔料インクと、耐擦過性のような堅牢性に優れた樹脂ＥＭ（樹脂エマルジョン）を印刷媒体に同時に付与することが好ましい場合がある。しかしながら、顔料インクに含まれる顔料成分と樹脂ＥＭに含まれる固形分は粒子間距離が近接すると凝集しやすく分散性が損なわれる傾向がある。よって、本実施形態の第１の液体を高濃度樹脂ＥＭ（エマルジョン）とし、第２の液体を高濃度顔料インクとしながら、これら液体の流速を制御することによって平行流を形成すれば、２つの液体は吐出後の印刷媒体上で混合し凝集する。即ち、高い分散性の下で好適な吐出状態を維持しながら、着弾後においては高い発色性と高い堅牢性を有する画像を得ることが可能となる。

【0078】

なお、このような吐出後の混合を目的とする場合には、圧力発生素子の形態によらず、圧力室内において２つの液体を流動させることの有効性が発揮されることになる。即ち、例えば圧力発生素子としてピエゾ素子を用いる構成のように、臨界圧力の制限やコゲの問題がそもそも提起されないような構成であっても、本発明は有効に機能する。

【0079】

以上説明したように、本実施形態によれば、第１の液体と第２の液体を液流路（圧力室）において所定の水相厚比ｈ_ｒを保ちながら定常的に流動させる状態において、圧力発生素子１２を駆動することにより、良好な吐出動作を安定して行うことが可能となる。

【0080】

液体を定常的に流動させている状態で圧力発生素子１２を駆動することにより、液体の吐出の際には安定した界面を形成することができる。液体の吐出動作の際に液体が流動していないと、気泡の発生により界面が乱れやすく、記録品位にも影響が及ぶ。本実施形態のように、液体を流動させながら圧力発生素子１２を駆動することにより、気泡の発生による界面の乱れを抑制することできる。安定した界面が形成されることにより、例えば、吐出液体に含まれる各種液体の含有割合が安定し、記録品位も良好となる。また、圧力発生素子１２の駆動前から液体を流動させ、吐出の際においても液体を流動させているため、液体を吐出した後に液流路（圧力室）に再びメニスカスを形成するための時間を短縮することができる。また、液体の流動は、圧力発生素子１２の駆動信号が入力される前に、液体循環ユニット５０４に搭載されているポンプなどにより行う。従って、少なくとも液体の吐出直前には液体は流動している。

【0081】

圧力室の中を流れる第１の液体や第２の液体は、圧力室の外部との間で循環してもよい。循環を行わない場合には、液流路及び圧力室の中で平行流を形成した第１の液体及び第２の液体のうち、吐出されなかった液体が多く発生してしまう。この為、第１の液体や第２の液体を外部との間で循環させると、吐出されなかった液体を再び平行流を形成する為に使用することができる。

【0082】

（連通流路）
図１２および図１３を参照しながら、基板１５に形成された流路の構成について説明する。図１２（ａ）は、本発明に係る比較例の流路の構成を示す上面図である。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示すＡ－Ａ´断面を示す断面図である。図１３（ａ）は、本実施形態に係る流路の構成を示す上面図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示すＢ－Ｂ´断面を示す断面図である。図１３（ｃ）は、図１３（ｂ）に示す連通流路の変形例である。なお、図３においては、各吐出口１１に対してそれぞれ一つずつ第１の連通供給流路２０、第２の連通供給流路２１、第１の連通回収流路２５、第２の連通回収流路２６が形成されている。しかしながら、図１２、図１３においては、複数の吐出口に対して１つの第１の連通供給流路２０、第２の連通供給流路２１、第１の連通回収流路２５、第２の連通回収流路２６が形成されているが、本発明はどちらの形態であっても問題はない。後述する第２の実施形態に関する図１４も同様である。

【0083】

圧力室１８に連通する液流路１３内において、圧力室１８に第１の液体３１を供給する領域を第１の供給流路３と称し、第２の液体３２を供給する領域を第２の供給流路４と称する。また、圧力室１８に連通する液流路１３内において、圧力室１８から第１の液体３１を回収する領域を第１の回収流路５と称し、第２の液体３２を回収する領域を第２の回収流路６と称する。本実施形態において、第２の連通供給流路２１、第１の連通供給流路２０、第１の連通回収流路２５、および第２の連通回収流路２６の順になるように、連通流路が形成されている。尚、ｙ方向では、第２の連通供給流路２１、第１の連通供給流路２０、圧力発生素子１２、第１の連通回収流路２５、および第２の連通回収流路２６の順に並んでいる。

【0084】

第１の連通供給流路２０は、第１の連通供給開口５０を介して第１の供給流路３と、第１の共通供給開口５４を介して第１の共通供給流路２３と、それぞれ連通している。第２の連通供給流路２１は、第２の連通供給開口５１を介して第２の供給流路４と、第２の共通供給開口５５を介して第２の共通供給流路２８と、それぞれ連通している。第１の連通回収流路２５は、第１の連通回収給開口５２を介して第１の回収流路５と、第１の共通回収開口５６を介して第１の共通回収流路２４と、それぞれ連通している。第２の連通回収流路２６は、第２の連通回収開口５３を介して第２の回収流路６と、第２の共通回収開口５７を介して第２の共通回収流路２９と、それぞれ連通している。

【0085】

比較例である図１２においては、連通流路（第１の連通供給流路２０、第２の連通供給流路２１、第１の連通回収流路２５および第２の連通回収流路２６）のそれぞれが、共通流路から液流路１３に向かって垂直に延在して形成されている。そのため、液流路１３の長さが長くなりやすい。これにより、流抵抗が増加するため、液体の供給効率が低下することや、水相厚比ｈ_ｒを薄化することが困難になる。水相厚比ｈ_ｒを薄化するためには、流量比Ｑ_ｒを大きくする必要がある。しかしながら、流抵抗が増加する場合に流量比Ｑ_ｒを大きくするためには、より大きな圧力差を発生させる必要がある。

【0086】

そこで、本実施形態においては、基板１５において、連通流路の液流路１３側の開口の中心軸６０を、連通流路の共通流路側の開口の中心軸６０よりも圧力室側に位置するように、連通流路を屈曲させた流路（以下、クランク流路と称す。）としている。具体的に、図１３においては、第２の連通供給流路２１の第２の連通供給開口５１の中心軸６０を、第２の連通供給流路２１の第２の共通供給開口５５の中心軸６０よりも圧力室１８側に位置させている。同様に、第２の連通回収流路２６の第２の連通回収開口５３の中心軸６０を、第２の共通回収開口５７の中心軸６０よりも圧力室１８側に位置させている。これにより、比較例と比較して液流路１３の長さを短くすることができるため、液体の供給効率が低下することや、水相厚比ｈ_ｒを薄化することが困難となることを抑制することができる。なお、本実施形態のようなクランク流路は、複数の流路が形成されたシリコン基板を積層させることにより形成することができる。

【0087】

基板１５の強度の関係上、第２の共通供給流路２８を第１の共通供給流路２３に近づける程度には限界がある。そのため、第２の共通供給流路２８と第１の共通供給流路２３との間にはある厚さの基板１５が存在することとなる。そこで、本実施形態では、第２の連通供給開口５１の中心軸６０が、第２の共通供給流路２８の圧力室側の壁面５８の延長線６２よりも圧力室側になるよう、第２の連通供給開口５１の中心軸６０をずらすことがより好ましい。連通流路のうち、他の流路を本実施形態の構成とする場合であっても同様である。即ち、例えば、第２の連通回収流路２６がクランク流路となっている場合には、第２の連通回収開口５３の中心軸が第２の共通回収流路２９の圧力室側の壁面の延長線よりも圧力室側になるよう、第２の連通回収開口５３の中心軸をずらすことが好ましい。第１の連通供給流路２０がクランク流路となっている場合、第１の連通回収流路２５がクランク流路となっている場合においても同様である。

【0088】

また、図１３においては、第２の共通供給開口５５の中心軸６０が第２の共通供給流路２８の中心軸６１に対して圧力室側に位置するように、第２の共通供給開口５５が形成されている。しかしながら、実施形態はこれに限られない。即ち、第２の共通供給開口５５の中心軸６０が第２の共通供給流路２８の中心軸６１に対して圧力室側とは反対側に位置するように、第２の共通供給開口５５が形成されていてもよい。しかしながら、そのような場合には、第２の連通供給流路２１の長さが長くなり、第２の連通供給流路２１内での液体の供給効率が低下してしまう。そのため、第２の共通供給開口５５の中心軸６０が第２の共通供給流路２８の中心軸６１に対して圧力室側に位置するように、第２の共通供給開口５５が形成されていることが好ましい。

【0089】

なお、図１３に示すようなクランク流路の構成とする場合であっても、共通流路から圧力室１８までの流路の総距離は図１２に示す比較例とあまり変わらない。しかしながら、一般に、第２の連通供給流路２１および第２の連通回収流路２６は、液流路１３の断面積よりも大きな断面積を有している。ここで流路の断面積とは、流路の延在方向に直交する方向の流路の面積であり、流路の延在方向において無作為に選出した１０箇所の断面積の平均値とする。図１３のようなクランク流路とすることにより、断面積が大きく流抵抗が小さい箇所の流路は長くし、断面積が小さく流抵抗が大きい箇所の流路は短くすることができる。これにより、上述した効果（液体の供給効率低下の抑制、水相厚比ｈ_ｒの薄化困難の抑制）を得ることができる。

【0090】

図１３においては、連通流路のうち、第２の液体３２が流動する方の流路をクランク流路とする構成を図示したが、本発明はこれに限られない。即ち、連通流路のうち、少なくともいずれか１つの連通流路の圧力室側の開口の中心軸が共通流路側の開口の中心軸よりも圧力室側にずれるような関係になっていればよい。従って、第１の液体３１が流動する方の流路をクランク流路としてもよい。しかしながら、一般に、第２の液体３２の粘度の方が第１の液体３１の粘度よりも大きいため、第２の液体３２の液体の供給効率が低下しやすい。そのため、第２の液体３２が流動する方の連通流路をクランク流路とする方が好ましい。

【0091】

１つのクランク流路の屈曲の回数は、１回であることが好ましい。クランク流路が１回屈曲しているとは、第２の連通供給流路２１を例にすると、第２の共通供給流路２８側からみたときに、流路の延在方向が一度ｙ方向に変わり、その後－ｘ方向に流路の延在方向が変わることをいう。即ち、図１３に示すクランク流路は、１回屈曲している。本実施形態のクランク流路は、１回の屈曲に限られない。２回以上の複数回にわたって流路が屈曲していてもよい。しかしながら、屈曲する回数が多くなると、クランク流路を形成するのが複雑になるため、１回だけ屈曲するクランク流路とするのが形成の観点から好ましい。

【0092】

また、図１３においてはクランク流路を図示したが、本発明はこれに限られない。即ち、連通流路が屈曲しておらず直線的な形状であったとしても、液流路１３側の開口の中心軸６０が共通流路側の開口の中心軸６０よりも圧力室１８側に位置していればよい。このような連通流路の形状としては、図１３（ｃ）に示すように、直線的な形状であって、共通流路から液流路１３に向かって傾いた（基板表面の垂直方向に対して傾いた）流路が延在するような形状が挙げられる。

【0093】

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について、図１４を参照しながら説明する。なお、第１の実施形態と同様の箇所については同一の符号を付し、説明は省略する。図１４（ａ）は、本実施形態に係る流路の構成を示す上面図である。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）に示すＣ－Ｃ´断面を示す断面図である。圧力室１８はｘ方向に複数個配列されており、図１２中の左、図１４中の真ん中にｘ方向に配列されている複数の圧力室１８を第１の圧力室列７と称し、図１２中の右、図１４中の右にｘ方向に配列されている複数の圧力室１８を第２の圧力室列８と称する。なお、第２の圧力室列８は、第１の圧力室列７に隣接して配置されている圧力室列である。

【0094】

第１および第２の圧力室列のそれぞれに、第１の共通供給流路２３、第１の共通回収流路２４、第２の共通供給流路２８、第２の共通回収流路２９の４つの流路が設けられている。そのため、これらの各流路を基板１５に形成するために、第１の圧力室列７と第２の圧力室列８との間には十分なスペースを確保しなければならず、素子基板１０が大型化してしまう恐れがある。

【0095】

そこで、本実施形態においては、第１の圧力室列７と第２の圧力室列８との間に位置している共通流路のうち、他方の圧力室列により近い方の流路を、第１の圧力室列および第２の圧力室列のそれぞれに連通させている。具体的に、図１４においては、第２の共通回収流路２９を、第１の圧力室４５と連通している第２の連通回収流路２６および第２の圧力室４６と連通している第４の連通回収流路４４のそれぞれと連通させている。これにより、１つの共通流路で２つの圧力室から第２の液体３２を回収することができる。換言すれば、第１の圧力室４５と第２の圧力室４６とで共通流路を共通化している。そのため、図１２に係る比較例における第１の圧力室４５および第２の圧力室４６に連通していた共通流路の数よりも、本実施形態における共通流路の数を少なくすることができる。これにより、共通流路を形成するために第１の圧力室列７と第２の圧力室列８との間に設けなければならなかったスペースが小さくなり、素子基板１０を小型化することができる。具体的には、本実施形態により、図１２中における第１の圧力室列７と連通する第２の共通供給流路２８と第２の圧力室列８と連通する第２の共通供給流路２８との間にある基板９の分、素子基板１０を小さくすることができる。

【0096】

本実施形態により、素子基板に１０に形成されている第１の共通供給流路２３、第１の共通回収流路２４、第２の共通供給流路２８および第２の共通回収流路２９の数が、素子基板１０に形成されている吐出口列の数よりも少なくなっている。

【0097】

また、一般的に、流路の圧力損失ΔＰ［ｋＰａ］は、流量Ｑ［μｍ^３／μｓ］と流抵抗Ｒ［ｋＰａ＊μｍ／μｍ^３］を用いて、（式７）のように示される。
ΔＰ＝Ｑ×Ｒ・・・（式７）

【0098】

ここで、流抵抗Ｒ［ｋＰａ＊μｍ／μｍ^３］は、断面積Ｓ［μｍ^２］の自乗に影響することが知られている。即ち、
Ｒ∝（１／Ｓ^２）・・・（式８）
の関係となっている。そのため、図１４の第２の共通回収流路２９の断面積を図１２に示す第２の共通回収流路２９の２倍ではなく約１．４倍にするだけで、共通流路内の圧力損失を、図１２の構成において生じる圧力損失に抑えることができる。従って、本実施形態の構成とすることにより、図１２の基板９分、素子基板１０を小型化できるだけでなく、第２の共通回収流路２９の断面積を２つの流路の断面積の合算値よりも小さくすることができるため、素子基板１０の小型化により寄与する。

【0099】

なお、比較例である図１２においては、各圧力室内で液体が流動する方向は同一方向（Ｙ方向）である。しかしながら、本実施形態である図１４においては、共通流路を共通化させるため、流れる液体の流動方向は圧力室列で異なる。具体的に、第１の圧力室４５内を流動する液体の流れは正のＹ方向であるが、第２の圧力室４６内を流動する液体の流れは負のＹ方向である。従って、本実施形態における流路の構成においては、各圧力室列で液体の流動方向を適宜変更する必要がある。

【0100】

本実施形態は、第２の共通回収流路２９を共通化させることに限らず、図１４に示すように、第２の共通供給流路２８を第１の圧力室４５の第２の連通供給流路２１および第２の圧力室４６の第２の連通供給流路２１のそれぞれに連通させてもよい。更には、第１の共通供給流路２３、第２の共通供給流路２８、第２の共通回収流路２９及び第１の共通回収流路２４の順になるよう流路を構成し、第１の共通供給流路２３、第１の共通回収流路２４を共通化させる構成であってもよい。しかしながら、一般的に、第２の液体の粘度は第２の液体の粘度よりも大きいため、第２の液体が流動する第２の共通供給流路２８および第２の共通回収流路２９を流れる第２の液体３２の方が第１の液体３１よりも圧力損失が大きい。そのため、圧力損失を低減するために、第２の共通供給流路２８および第２の共通回収流路２９の断面積は、第１の共通供給流路２３および第１の共通回収流路２４の断面積よりも大きい。式（７）および式（８）より、断面積の大きい方の流路を共通化させる方が低減できる流路の幅が大きいことが分かる。そのため、第２の液体３２が流動する第２の共通供給流路２８または第２の共通回収流路２９を共通化させることが、素子基板１０の大型化を抑制する観点からより好ましい。

【符号の説明】

【0101】

１ 液体吐出ヘッド
３ 第１の供給流路
４ 第２の供給流路
５ 第１の回収流路
６ 第２の回収流路
１１ 吐出口
１２ 圧力発生素子
１３ 液流路
１５ 基板
１８ 圧力室
２０ 第１の連通供給流路
２１ 第２の連通供給流路
２３ 第１の共通供給流路
２４ 第１の共通回収流路
２５ 第１の連通回収流路
２６ 第２の連通回収流路
２８ 第２の共通供給流路
２９ 第２の共通回収流路
３１ 第１の液体
３２ 第２の液体
５０ 第１の連通供給開口
５１ 第２の連通供給開口
５２ 第１の連通回収開口
５３ 第２の連通回収開口
５４ 第１の共通供給開口
５５ 第２の共通供給開口
５６ 第１の共通回収開口
５７ 第２の共通回収開口
６０ 中心軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】