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好ましいナノ光学（ｎａｎｏ－ｏｐｔｉｃａｌ）及び分光測定（ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ）を行うことに関し、特に好ましくは、異種システム（ｈｅｔｅｒｏｇｅｎｏｕｓ ｓｙｓｔｅｍ）における化学成分の分布を示す情報を得るためにＡＦＭ－ＩＲを使用すること

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

これらの技術的な問題のいくつかは、底面照明の構成で解決されたが、底面照明に必要な特殊サンプル準備及び転送メカニズムは、依然として制限事項である。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

上述した欠点を解決するために、新しい機器及び対応する方法が好ましい実施形態で開発された。本明細書に記述されたシステム及び方法は、制御されたプロービング深さ及び体積で、ナノメートルスケールの厚さを有するサンプルに対して化学分光法を実行するために提供され得る。この方法は、非常に厚いサンプルでも、表面感度（ｓｕｒｆａｃｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）を使用して表面下の特性に関連するデータから最表面層・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 従来技術によるＡＦＭ－ＩＲシステムの簡略化された概略図を示す。
【図1B】 従来技術によるＡＦＭ－ＩＲシステムの簡略化された概略図を示す。
【図2A】 好ましい実施形態による、プロービング深さ感知ＡＦＭ－ＩＲシステム（図２Ａ）の簡略化された概略図であり、図２Ｂは、サンプル測定を行う動作中のシステムを示す。
【図2B】 好ましい実施形態による、プロービング深さ感知ＡＦＭ－ＩＲシステム（図２Ａ）の簡略化された概略図であり、図２Ｂは、サンプル測定を行う動作中のシステムを示す。
【図3】 ピエゾ構成要素を使用しないプローブ変調の代替方法を用いた、別の実施形態による深さ感知ＡＦＭ－ＩＲシステムの代替実装を示す図である。
【図4】 深さ感知ＡＦＭ－ＩＲシステムのさらに別の代替実装を示し、この場合はサンプル変調を使用する。
【図5】 例示的な実施形態によるＡＦＭ－ＩＲ方法のフローチャートである。
【図6A】 従来技術の伝統的なＡＦＭ－ＩＲ技術を使用して、上面及び表面下からの混合スペクトルを有する測定データを示し、ＩＲ信号は波数の関数としてプロットされる。
【図6B】 従来技術の伝統的なＡＦＭ－ＩＲ技術を使用して、上面及び表面下からの混合スペクトルを有する測定データを示し、ＩＲ信号は波数の関数としてプロットされる。
【図6C】 従来技術の伝統的なＡＦＭ－ＩＲ技術を使用して、上面及び表面下からの混合スペクトルを有する測定データを示し、ＩＲ信号は波数の関数としてプロットされる。
【図7A】 好ましい実施形態を使用して除去された表面下からの寄与度を有する表面感度測定データを示し、ＩＲ信号は波数の関数としてプロットされる。
【図7B】 好ましい実施形態を使用して除去された表面下からの寄与度を有する表面感度測定データを示し、ＩＲ信号は波数の関数としてプロットされる。
【図7C】 好ましい実施形態を使用して除去された表面下からの寄与度を有する表面感度測定データを示し、ＩＲ信号は波数の関数としてプロットされる。
【図8A】 好ましい実施形態を使用した場合の、異なるレーザ変調周波数ｆＬにおける上面対表面下スペクトル特徴の異なる比率を、結果として得られる画像（図８Ａ）及び波数の関数としてプロットされたＩＲ信号（図８Ｂ）と共に示す。
【図8B】 好ましい実施形態を使用した場合の、異なるレーザ変調周波数ｆＬにおける上面対表面下スペクトル特徴の異なる比率を、結果として得られる画像（図８Ａ）及び波数の関数としてプロットされたＩＲ信号（図８Ｂ）と共に示す。
【図9】 ウェッジサンプル（ｗｅｄｇｅｄ ｓａｍｐｌｅ）で収集されたレーザ変調周波数ｆＬに対するプロービング深さの依存性を示す。
【図10A】 プローブサンプルのＩＲ励起とそれによる音波伝播（図１０Ａ及び１０Ｂ）及び異なる変調周波数で深さの関数として表示された出力信号（図１０Ｃ）を含む、変調周波数ｆＬを使用して制御されたプロービング深さを有する好ましい実施形態によるＡＦＭ－ＩＲの動作原理を示す。
【図10B】 プローブサンプルのＩＲ励起とそれによる音波伝播（図１０Ａ及び１０Ｂ）及び異なる変調周波数で深さの関数として表示された出力信号（図１０Ｃ）を含む、変調周波数ｆＬを使用して制御されたプロービング深さを有する好ましい実施形態によるＡＦＭ－ＩＲの動作原理を示す。
【図10C】 プローブサンプルのＩＲ励起とそれによる音波伝播（図１０Ａ及び１０Ｂ）及び異なる変調周波数で深さの関数として表示された出力信号（図１０Ｃ）を含む、変調周波数ｆＬを使用して制御されたプロービング深さを有する好ましい実施形態によるＡＦＭ－ＩＲの動作原理を示す。
【図11A】 好ましい実施形態の深さ制御技術を使用して改善された横空間分解能（図１１Ａ（接触共振モード）及び図１１Ｂ（ピエゾ混合モード）のデータ画像を示す。
【図11B】 好ましい実施形態の深さ制御技術を使用して改善された横空間分解能（図１１Ａ（接触共振モード）及び図１１Ｂ（ピエゾ混合モード）のデータ画像を示す。
【図11C】 好ましい実施形態の深さ制御技術を使用して改善された横空間分解能（図１１Ａ（接触共振モード）及び図１１Ｂ（ピエゾ混合モード）のデータ画像を示す。
【図12】 液中測定に適した好ましい実施形態のＡＦＭ－ＩＲシステムの概略図である。
【図13】 ボトムアップＩＲ照明を使用して液中測定に適した好ましい実施形態のＡＦＭ－ＩＲシステムの概略図である。

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