特許 7487703 収容棚

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-13

(45)【発行日】2024-05-21

(54)【発明の名称】収容棚

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240514BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20240514BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65G1/00 521Z

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021075300

(22)【出願日】2021-04-27

(65)【公開番号】P2022169328

(43)【公開日】2022-11-09

【審査請求日】2023-01-30

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】大森 和哉

(72)【発明者】

【氏名】山下 亮

(72)【発明者】

【氏名】吉岡 晶広

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／０３８２６９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１５／１６６７１０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－１２７２２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１２９４００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１２０４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－４１９２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－３３７０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２２８８８７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｇ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚であって、
複数の前記収容部のそれぞれに配置され、前記収容部に収容された前記容器に第１ガス又は第２ガスを供給する供給口と、
複数の前記供給口のそれぞれに接続された分岐配管と、
複数の前記分岐配管に接続された供給配管と、
前記供給配管に前記第１ガスを供給する第１供給部と、
前記供給配管に前記第２ガスを供給する第２供給部と、
前記供給配管から前記第１ガス及び前記第２ガスを排出する排気部と、を備え、
前記第１供給部は、前記第１ガスの供給源である第１供給源と、前記第１供給源と前記供給配管とを接続する第１ガス配管と、前記第１ガス配管における前記第１ガスの流動を選択的に遮断する第１バルブと、を備え、
前記第２供給部は、前記第２ガスの供給源である第２供給源と、前記第２供給源と前記供給配管とを接続する第２ガス配管と、前記第２ガス配管における前記第２ガスの流動を選択的に遮断する第２バルブと、を備え、
前記排気部は、前記第１ガス及び前記第２ガスを排出するための排気口と、前記供給配管と前記排気口との間の前記第１ガス及び前記第２ガスの流動を選択的に遮断する排気バルブと、を備え、
前記第１バルブ、前記第２バルブ、及び前記排気バルブを制御する制御部を更に備え、
前記制御部は、
前記第１バルブを開放状態とすると共に、前記第２バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第１ガス供給モードと、
前記第２バルブを開放状態とすると共に、前記第１バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第２ガス供給モードと、
前記第１バルブ及び前記第２バルブを閉鎖状態とすると共に、前記排気バルブを開放状態とする排気モードと、を選択的に実行可能に構成され、
前記排気モードは、前記第１ガス供給モード及び前記第２ガス供給モードの一方から他方に切り替える場合に、前記第１ガス供給モードと前記第２ガス供給モードとの間に実行される、収容棚。

【請求項2】

前記排気部は、前記供給配管と前記排気口とを接続する排気管を更に備え、
前記供給配管と前記第１ガス配管との接続部を第１接続部とし、前記供給配管と前記第２ガス配管との接続部を第２接続部とし、前記供給配管と前記排気管との接続部を排気接続部とし、前記供給配管と複数の前記分岐配管のそれぞれとの接続部を分岐接続部として、
前記排気接続部は、前記第１接続部及び前記第２接続部のうちの下流側のものと同じ位置又はそれよりも下流側であって、複数の前記分岐接続部のうちの最も上流側のものと同じ位置又はそれよりも上流側に配置されている、請求項１に記載の収容棚。

【請求項3】

前記第１供給部は、大気圧よりも高い圧力で前記第１ガスの供給を行い、
前記第２供給部は、大気圧よりも高い圧力で前記第２ガスの供給を行い、
前記制御部は、前記供給配管の内部の圧力が大気圧と同等以下になるまでの期間、前記排気モードを実行する、請求項１に記載の収容棚。

【請求項4】

前記容器は、半導体基板を収容するように構成され、
前記第１ガスは、不活性ガスであり、
前記第２ガスは、清浄空気であり、
前記制御部は、少なくとも前記第１ガス供給モードから前記第２ガス供給モードへ切り替える場合に、前記排気モードを実行する、請求項１から３のいずれか一項に記載の収容棚。

【請求項5】

前記供給配管における酸素の濃度を検出する酸素濃度センサを更に備え、
前記酸素濃度センサは、前記供給配管における、前記第１バルブ及び前記第２バルブよりも下流側であって、前記排気バルブよりも上流側に配置され、
前記制御部は、前記第１ガス供給モードから前記第２ガス供給モードに切り替えた後、前記酸素濃度センサにより検出された前記濃度が規定の濃度閾値以上である場合に、前記第２ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号を出力する、請求項４に記載の収容棚。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚に関する。

【背景技術】

【0002】

このような収容棚の一例が、下記の特許文献１に開示されている。以下、背景技術の説明では、特許文献１における符号を括弧内に引用する。

【0003】

特許文献１の収容棚では、複数の収容部（３）のそれぞれに供給口（３０）が配置されている。そして、供給口（３０）を通して、収容部（３）に収容された容器（Ｆ）に、窒素等のパージガスが供給される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１６－２１８６０３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のような収容棚では、第１ガス及び第２ガスを含む複数種類のパージガスが用いられ、供給口に供給するパージガスを第１ガス及び第２ガスの一方から他方に切り替える場合がある。例えば、供給口に供給するパージガスを第１ガスから第２ガスに切り替える場合には、このような切り替えを行った後であっても、配管内に残留した第１ガスが供給口に供給される可能性があった。

【0006】

そこで、供給口に供給するパージガスを第１ガスと第２ガスとで切り替えた場合に、配管内に残留した切り替え前のパージガスが供給口に供給される量を適切に低減できる収容棚の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記に鑑みた、収容棚の特徴構成は、
それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚であって、
複数の前記収容部のそれぞれに配置され、前記収容部に収容された前記容器に第１ガス又は第２ガスを供給する供給口と、
複数の前記供給口のそれぞれに接続された分岐配管と、
複数の前記分岐配管に接続された供給配管と、
前記供給配管に前記第１ガスを供給する第１供給部と、
前記供給配管に前記第２ガスを供給する第２供給部と、
前記供給配管から前記第１ガス及び前記第２ガスを排出する排気部と、を備え、
前記第１供給部は、前記第１ガスの供給源である第１供給源と、前記第１供給源と前記供給配管とを接続する第１ガス配管と、前記第１ガス配管における前記第１ガスの流動を選択的に遮断する第１バルブと、を備え、
前記第２供給部は、前記第２ガスの供給源である第２供給源と、前記第２供給源と前記供給配管とを接続する第２ガス配管と、前記第２ガス配管における前記第２ガスの流動を選択的に遮断する第２バルブと、を備え、
前記排気部は、前記第１ガス及び前記第２ガスを排出するための排気口と、前記供給配管と前記排気口との間の前記第１ガス及び前記第２ガスの流動を選択的に遮断する排気バルブと、を備え、
前記第１バルブ、前記第２バルブ、及び前記排気バルブを制御する制御部を更に備え、
前記制御部は、
前記第１バルブを開放状態とすると共に、前記第２バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第１ガス供給モードと、
前記第２バルブを開放状態とすると共に、前記第１バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第２ガス供給モードと、
前記第１バルブ及び前記第２バルブを閉鎖状態とすると共に、前記排気バルブを開放状態とする排気モードと、を選択的に実行可能に構成され、
前記排気モードは、前記第１ガス供給モード及び前記第２ガス供給モードの一方から他方に切り替える場合に、前記第１ガス供給モードと前記第２ガス供給モードとの間に実行される点にある。

【0008】

この特徴構成によれば、複数の収容部のそれぞれに配置された供給口に供給するパージガスを、例えば第１ガスから第２ガスへ切り替える場合に、例えば第１バルブを閉鎖状態とした後に排気バルブを開放状態とすることで、供給配管及び分岐配管の内部に残留した第１ガスを排気口から適切に排出することができる。その後、第１バルブの閉鎖状態を維持しつつ第２バルブを開放状態とすることで、供給配管及び分岐配管の内部に残留した第１ガスが複数の供給口に供給される量を少なく抑えつつ、第２ガスを複数の供給口に適切に供給することができる。また、第２ガスから第１ガスへ切り替える場合においても、第１バルブ及び第２バルブの操作を上記と逆に行うことで、供給配管及び分岐配管の内部に残留した第２ガスが複数の供給口に供給される量を少なく抑えつつ、第１ガスを複数の供給口に適切に供給することができる。このように、本特徴構成によれば、供給口に供給するパージガスを第１ガスと第２ガスとで切り替えた場合に、配管内に残留した切り替え前のパージガスが供給口に供給される量を適切に低減することができる。
ここで、排気モードにおいて第１バルブ及び第２バルブの一方を解放状態とすると、供給配管の内部の圧力が低下し難いため、分岐配管の内部のガスが抜け難い場合がある。これに対して本特徴構成によれば、排気モードでは第１バルブ及び第２バルブの双方が閉鎖状態となる。そのため、排気モードにおいて第１バルブ及び第２バルブの一方を解放状態とする構成と比べて、供給配管及び分岐配管の双方のパージガスを排気口から排出し易い。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る収容棚の概略構成を示す模式図

【図2】実施形態に係る制御部の制御処理の一例を示すフローチャート

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下では、実施形態に係る収容棚１００について、図面を参照して説明する。図１に示すように、収容棚１００は、複数の収容部１と、複数の供給口２と、複数の分岐配管３と、供給配管４と、第１供給部５と、第２供給部６と、排気部７と、を備えている。本実施形態では、収容棚１００は、圧力センサ８と、酸素濃度センサ９と、を更に備えている。

【0011】

複数の収容部１のそれぞれは、容器Ｗを収容するように構成されている。容器Ｗは、内部にパージガスを供給可能に構成された密閉容器である。本実施形態では、容器Ｗは、半導体基板を収容するように構成されている。本例では、容器Ｗは、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称される正面開口式の密閉容器である。

【0012】

図示は省略するが、本実施形態では、複数の収容部１のそれぞれは、容器Ｗを下方から支持する支持部材を備えている。また、複数の収容部１は、鉛直方向及び水平方向に並んで配置されている。

【0013】

複数の供給口２のそれぞれは、複数の収容部１のそれぞれに配置されている。つまり、収容部１ごとに供給口２が配置されている。供給口２は、当該供給口２に対応する収容部１に収容された容器Ｗに、パージガスを供給するように構成されている。本実施形態では、容器Ｗに設けられたパージガスの導入口に接続可能に構成された供給ノズルが、供給口２として機能する。パージガスは、互いに異なる種類の第１ガス及び第２ガスを含む。本実施形態では、第１ガスは不活性ガスであり、第２ガスは清浄空気である。本例では、不活性ガスは窒素ガスであり、清浄空気は所謂、クリーンドライエアと呼ばれるものである。

【0014】

複数の分岐配管３及び供給配管４は、それらの内部をパージガスが流動するように構成されている。複数の分岐配管３と供給配管４とは、互いに連通するように接続されている。複数の分岐配管３のそれぞれは、複数の供給口２のそれぞれに接続されている。

【0015】

本実施形態では、複数の分岐配管３のそれぞれは、第１分岐管３１と、複数の第２分岐管３２と、複数の第３分岐管３３と、を含む。

【0016】

第１分岐管３１は、供給配管４から分岐するように供給配管４に接続されている。複数の第２分岐管３２は、第１分岐管３１から分岐するように第１分岐管３１に接続されている。複数の第３分岐管３３は、複数の第２分岐管３２のそれぞれから分岐するように当該第２分岐管３２に接続されている。また、複数の第３分岐管３３のそれぞれは、複数の供給口２のそれぞれに接続されている。このように、本実施形態では、供給配管４から複数の第１分岐管３１が分岐し、当該複数の第１分岐管３１のそれぞれから複数の第２分岐管３２が分岐し、当該複数の第２分岐管３２のそれぞれから複数の第３分岐管３３が分岐するように、分岐配管３が形成されている。

【0017】

本実施形態では、複数の第２分岐管３２のそれぞれに、通過させるパージガスの流量を制御する流量制御装置３４が配置されている。本例では、流量制御装置３４は、当該流量制御装置３４が配置された第２分岐管３２を流動するパージガスの質量流量を計測して、当該質量流量を制御するマスフローコントローラ（Mass Flow Controller）である。

【0018】

また、本実施形態では、供給配管４に、減圧弁４１が配置されている。減圧弁４１は、供給配管４の内部において、減圧弁４１に対して下流側のパージガスの圧力を、減圧弁４１に対して上流側のパージガスの圧力よりも減少させる調圧弁である。本実施形態では、減圧弁４１による調圧後のパージガスの圧力は、流量制御装置３４の作動に要するパージガスの圧力を下回らないように設定されている。

【0019】

第１供給部５は、供給配管４に第１ガスを供給するように構成されている。本実施形態では、第１供給部５は、大気圧よりも高い圧力で第１ガスの供給を行う。第１供給部５は、第１供給源５１と、第１ガス配管５２と、第１バルブ５３と、を備えている。

【0020】

第１供給源５１は、第１ガスの供給源である。第１供給源５１は、第１ガス配管５２に第１ガスを供給する。第１ガス配管５２は、第１供給源５１と供給配管４とを接続するように形成されている。つまり、第１ガス配管５２を介して、第１供給源５１と供給配管４とが互いに連通している。第１バルブ５３は、第１ガス配管５２における第１ガスの流動を選択的に遮断する弁である。本例では、第１バルブ５３は、圧縮空気を用いて開閉制御される空圧弁である。

【0021】

第２供給部６は、供給配管４に第２ガスを供給するように構成されている。本実施形態では、第２供給部６は、大気圧よりも高い圧力で第２ガスの供給を行う。第２供給部６は、第２供給源６１と、第２ガス配管６２と、第２バルブ６３と、を備えている。

【0022】

第２供給源６１は、第２ガスの供給源である。第２供給源６１は、第２ガス配管６２に第２ガスを供給する。第２ガス配管６２は、第２供給源６１と供給配管４とを接続するように形成されている。つまり、第２ガス配管６２を介して、第２供給源６１と供給配管４とが互いに連通している。第２バルブ６３は、第２ガス配管６２における第２ガスの流動を選択的に遮断する弁である。本例では、第２バルブ６３は、圧縮空気を用いて開閉制御される空圧弁である。

【0023】

排気部７は、供給配管４からパージガスを排出するように構成されている。排気部７は、排気口７１と、排気バルブ７２と、を備えている。本実施形態では、排気部７は、排気管７３と、逆止弁７４と、を更に備えている。

【0024】

排気口７１は、パージガスを排出するための開口部である。本実施形態では、排気口７１は、大気圧と同等の圧力の空間に配置されている。排気バルブ７２は、供給配管４と排気口７１との間のパージガスの流動を選択的に遮断するバルブである。本例では、排気バルブ７２は、電磁石を用いて開閉制御される電磁弁である。排気管７３は、供給配管４と排気口７１とを接続するように形成されている。つまり、排気管７３を介して、供給配管４と排気口７１とが互いに連通している。逆止弁７４は、一方向へのパージガスの流動を許容するが、その逆方向のパージガスの流動を規制する弁である。逆止弁７４は、排気管７３に配置されている。そのため、逆止弁７４は、排気管７３における供給配管４の側から排気口７１の側へのパージガスの流動を許容するが、その逆方向のパージガスの流動を規制する。本実施形態では、逆止弁７４は、排気管７３における排気バルブ７２よりも上流側に配置されている。

【0025】

圧力センサ８は、供給配管４を流動するパージガスの圧力であるガス圧Ｐを検出するセンサである。本実施形態では、圧力センサ８は、供給配管４における、第１バルブ５３及び第２バルブ６３よりも下流側であって、排気バルブ７２よりも上流側に配置されている。

【0026】

酸素濃度センサ９は、供給配管４における酸素の濃度である酸素濃度Ｃを検出するセンサである。つまり、酸素濃度センサ９は、供給配管４を流動するパージガスに含まれる酸素の濃度としての酸素濃度Ｃを検出する。本実施形態では、酸素濃度センサ９は、供給配管４における、第１バルブ５３及び第２バルブ６３よりも下流側であって、排気バルブ７２よりも上流側に配置されている。

【0027】

以下の説明では、供給配管４と第１ガス配管５２との接続部を「第１接続部Ｘ１」とする。そして、供給配管４と第２ガス配管６２との接続部を「第２接続部Ｘ２」とする。また、供給配管４と排気管７３との接続部を「排気接続部Ｘ３」とする。そして、供給配管４と複数の分岐配管３（ここでは、複数の第１分岐管３１）のそれぞれとの接続部を「分岐接続部Ｘ４」とする。

【0028】

本実施形態では、第１接続部Ｘ１と第２接続部Ｘ２とは同じ位置に配置されている。また、本実施形態では、複数の分岐接続部Ｘ４は、互いに異なる位置に配置されている。

【0029】

本実施形態では、排気接続部Ｘ３は、第１接続部Ｘ１及び第２接続部Ｘ２のうちの下流側のものと同じ位置又はそれよりも下流側であって、複数の分岐接続部Ｘ４のうちの最も上流側のものと同じ位置又はそれよりも上流側に配置されている。図１に示す例では、排気接続部Ｘ３は、第１接続部Ｘ１及び第２接続部Ｘ２の双方よりも下流側であって、複数の分岐接続部Ｘ４のうちの最も上流側のもの（図１における最も左側のもの）よりも上流側に配置されている。

【0030】

また、本実施形態では、減圧弁４１、圧力センサ８、及び酸素濃度センサ９が、供給配管４における第１接続部Ｘ１及び第２接続部Ｘ２の双方よりも下流側であって、排気接続部Ｘ３よりも上流側に配置されている。図１に示す例では、圧力センサ８は、供給配管４における排気接続部Ｘ３よりも上流側であって、減圧弁４１よりも下流側に配置されている。そのため、本実施形態では、圧力センサ８は、供給配管４における減圧弁４１よりも下流側のガス圧Ｐを検出する。また、酸素濃度センサ９は、供給配管４における第１接続部Ｘ１及び第２接続部Ｘ２の双方よりも下流側であって、減圧弁４１よりも上流側に配置されている。

【0031】

図１に示すように、本実施形態では、収容棚１００は、第１バルブ５３、第２バルブ６３、及び排気バルブ７２を制御する制御部１０を更に備えている。

【0032】

制御部１０は、第１バルブ５３、第２バルブ６３、及び排気バルブ７２のそれぞれを、開放状態及び閉鎖状態のいずれかに切り替える。本実施形態では、制御部１０は、圧力センサ８により検出されたガス圧Ｐを取得する。また、本実施形態では、制御部１０は、酸素濃度センサ９により検出された酸素濃度Ｃを取得する。

【0033】

制御部１０は、第１ガス供給モードと、第２ガス供給モードと、排気モードと、を選択的に実行可能に構成されている。第１ガス供給モードは、第１供給部５により第１ガスを供給配管４に供給するモードである。本実施形態の第１ガス供給モードでは、第１バルブ５３が開放状態とされると共に、第２バルブ６３及び排気バルブ７２が閉鎖状態とされる。第２ガス供給モードは、第２供給部６により第２ガスを供給配管４に供給するモードである。本実施形態の第２ガス供給モードでは、第２バルブ６３が開放状態とされると共に、第１バルブ５３及び排気バルブ７２が閉鎖状態とされる。排気モードは、排気部７により供給配管４からパージガスを排出するモードである。本実施形態の排気モードでは、第１バルブ５３及び第２バルブ６３が閉鎖状態とされると共に、排気バルブ７２が開放状態とされる。

【0034】

本実施形態では、排気モードは、第１ガス供給モード及び第２ガス供給モードの一方から他方に切り替える場合に、第１ガス供給モードと第２ガス供給モードとの間に実行される。なお、上述したように、本実施形態では、第１ガスは不活性ガスであり、第２ガスは清浄空気である。不活性ガスは酸素を含まないため、作業者が不活性ガスに暴露されること等を考慮して、少なくとも第１ガス供給モードから第２ガス供給モードへ切り替える場合に、排気モードを実行することが好ましい。この場合、制御部１０は、第１ガス供給モードから第２ガス供給モードに切り替えた後、酸素濃度センサ９により検出された酸素濃度Ｃが規定の濃度閾値ＴＨｃ以上である場合に、第２ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号を出力するとより好ましい。

【0035】

以下では、制御部１０の制御処理について、図２を参照して説明する。図２は、制御部１０の制御処理の一例を示すフローチャートである。なお、以下に示す制御部１０の制御処理は、第１バルブ５３が開放状態、かつ、第２バルブ６３及び排気バルブ７２の双方が閉鎖状態、つまり、第１ガス供給モードで動作中の状態から、第２ガス供給モードに切り替える場合に実行される制御処理である。

【0036】

図２に示すように、まず、制御部１０は、第１バルブ５３を開放状態から閉鎖状態に切り替える（ステップ＃１）。その結果、第１バルブ５３、第２バルブ６３、及び排気バルブ７２の全てが閉鎖状態となる。この状態では、供給配管４へのパージガスの供給も、供給配管４からパージガスの排出も行われない。

【0037】

次に、制御部１０は、排気バルブ７２を閉鎖状態から開放状態に切り替える（ステップ＃２）。つまり、制御部１０は、動作モードを排気モードに切り替える。上述したように、本実施形態では、第１ガス供給モードにて大気圧よりも高い圧力で第１ガスが供給配管４に供給されている。そのため、供給配管４及び分岐配管３におけるパージガスの圧力は、大気圧よりも高くなっている。また、上述したように、本実施形態では、大気圧と同等の圧力の空間に排気口７１が配置されている。そのため、第１バルブ５３及び第２バルブ６３が閉鎖状態で、排気バルブ７２が開放状態となることで、供給配管４及び分岐配管３の内部と排気口７１の外部との圧力差により、供給配管４及び分岐配管３の内部に残留した第１ガスが排気口７１から排出される。

【0038】

制御部１０は、この状態を維持しつつ、規定の時間Ｔ１が経過したか否かを判断する（ステップ＃３）。制御部１０は、時間Ｔ１が経過した場合に（ステップ＃３：Ｙｅｓ）、圧力センサ８により検出されたガス圧Ｐが、規定の圧力閾値ＴＨｐ未満であるか否かを判断する（ステップ＃４）。

【0039】

制御部１０は、ガス圧Ｐが圧力閾値ＴＨｐ以上である場合（ステップ＃４：Ｎｏ）、供給配管４及び分岐配管３の内部に残留した第１ガスが排気口７１から十分に排出されていないと判断して、上記のステップ＃３を再度行う。

【0040】

一方、制御部１０は、ガス圧Ｐが圧力閾値ＴＨｐ未満である場合（ステップ＃４：Ｙｅｓ）、供給配管４及び分岐配管３の内部に残留した第１ガスが排気口７１から十分に排出されたと判断して、制御部１０は、排気バルブ７２を開放状態から閉鎖状態に切り替える（ステップ＃５）。その結果、第１バルブ５３、第２バルブ６３、及び排気バルブ７２の全てが閉鎖状態となる。

【0041】

続いて、制御部１０は、第２バルブ６３を閉鎖状態から開放状態に切り替える（ステップ＃６）。つまり、制御部１０は、動作モードを第２ガス供給モードに切り替える。その結果、第２ガスが第２供給源６１から供給配管４に供給され、更に複数の分岐配管３を通って複数の供給口２に供給される。

【0042】

制御部１０は、この状態を維持しつつ、規定の時間Ｔ２が経過したか否かを判断する（ステップ＃７）。制御部１０は、時間Ｔ２が経過した場合に（ステップ＃７：Ｙｅｓ）、酸素濃度センサ９により検出された酸素濃度Ｃが、規定の濃度閾値ＴＨｃ以上であるか否かを判断する（ステップ＃８）。

【0043】

制御部１０は、酸素濃度Ｃが濃度閾値ＴＨｃ未満である場合（ステップ＃８：Ｎｏ）、供給口２に十分に酸素が供給されていないと判断して、上記のステップ＃７を再度行う。

【0044】

制御部１０は、酸素濃度Ｃが濃度閾値ＴＨｃ以上である場合（ステップ＃８：Ｙｅｓ）、供給口２に十分に酸素が供給されていると判断して、第２ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号であるモード切替完了信号を出力する（ステップ＃９）。本例では、複数の収容部１は密閉空間に配置されており、作業者が点検扉を通って当該密閉空間にアクセス可能となっている。そして、本例では、モード切替完了信号が出力されない限り、点検扉が開かないように構成されている。このように、モード切替完了信号に基づいて、作業者が酸素を含まない不活性ガスに暴露されることを回避する措置が執られている。

【0045】

〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、第１バルブ５３と第２バルブ６３とが互いに独立している構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第１バルブ５３及び第２バルブ６３が閉鎖状態である第１状態、第１バルブ５３が開放状態かつ第２バルブ６３が閉鎖状態である第２状態、及び第１バルブ５３が閉鎖状態かつ第２バルブ６３が開放状態である第３状態のいずれかに切り替え可能なように、第１バルブ５３と第２バルブ６３とが一体的に構成されていても良い。

【0046】

（２）上記の実施形態では、第１接続部Ｘ１と第２接続部Ｘ２とが同じ位置に配置された構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第１接続部Ｘ１と第２接続部Ｘ２とが異なる位置に配置されていても良い。

【0047】

（３）上記の実施形態では、供給配管４と排気管７３とが接続された構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、供給配管４と排気管７３とが接続されておらず、複数の分岐配管３の少なくとも１つに排気管７３が接続された構成としても良い。また、２つ以上の排気部７が設けられていても良い。

【0048】

（４）上記の実施形態では、排気部７が供給配管４と排気口７１とを接続する排気管７３を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、排気部７が排気管７３を備えておらず、排気口７１及び排気バルブ７２が供給配管４に直接設けられた構成としても良い。

【0049】

（５）上記の実施形態では、排気モードにて、第１バルブ５３及び第２バルブ６３が閉鎖状態とされる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第１ガス供給モードから第２ガス供給モードに切り替える場合において、第１バルブ５３が閉鎖状態かつ第２バルブ６３が開放状態で排気モードを実行しても良い。

【0050】

（６）上記の実施形態では、排気モードにおいて、供給配管４及び分岐配管３の内部と排気口７１の外部との圧力差により、供給配管４及び分岐配管３の内部に残留したパージガスを排気口７１から排出させる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、排気口７１に接続されたポンプ等の吸引装置を用いて、供給配管４及び分岐配管３の内部に残留したパージガスを吸引する構成としても良い。この構成では、第１供給部５及び第２供給部６が大気圧以下の圧力でパージガスの供給を行っても良いし、排気口７１が大気圧から大きく離れた圧力の空間に配置されていても良い。

【0051】

（７）上記の実施形態では、不活性ガスである第１ガスを供給配管４に供給する第１ガス供給モードから、清浄空気である第２ガスを供給配管４に供給する第２ガス供給モードへ切り替える場合に、排気モードを実行する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第１ガス供給モードから第２ガス供給モードへ切り替える場合に加えて、第２ガス供給モードから第１ガス供給モードへ切り替える場合においても、排気モードを実行しても良い。

【0052】

（８）上記の実施形態では、第１ガスが不活性ガスであり、第２ガスが清浄空気である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第１ガスが不活性ガスとしての窒素ガスであり、第２ガスが不活性ガスとしてのアルゴンガスであっても良い。このように、第１ガス及び第２ガスは、互いに異なる種類のパージガスであれば良く、用途に応じて適宜変更可能である。

【0053】

（９）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。したがって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0054】

〔上記実施形態の概要〕
以下では、上記において説明した収容棚の概要について説明する。

【0055】

収容棚は、
それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚であって、
複数の前記収容部のそれぞれに配置され、前記収容部に収容された前記容器に第１ガス又は第２ガスを供給する供給口と、
複数の前記供給口のそれぞれに接続された分岐配管と、
複数の前記分岐配管に接続された供給配管と、
前記供給配管に前記第１ガスを供給する第１供給部と、
前記供給配管に前記第２ガスを供給する第２供給部と、
前記供給配管から前記第１ガス及び前記第２ガスを排出する排気部と、を備え、
前記第１供給部は、前記第１ガスの供給源である第１供給源と、前記第１供給源と前記供給配管とを接続する第１ガス配管と、前記第１ガス配管における前記第１ガスの流動を選択的に遮断する第１バルブと、を備え、
前記第２供給部は、前記第２ガスの供給源である第２供給源と、前記第２供給源と前記供給配管とを接続する第２ガス配管と、前記第２ガス配管における前記第２ガスの流動を選択的に遮断する第２バルブと、を備え、
前記排気部は、前記第１ガス及び前記第２ガスを排出するための排気口と、前記供給配管と前記排気口との間の前記第１ガス及び前記第２ガスの流動を選択的に遮断する排気バルブと、を備えている。

【0056】

この構成によれば、複数の収容部のそれぞれに配置された供給口に供給するパージガスを、例えば第１ガスから第２ガスへ切り替える場合に、例えば第１バルブを閉鎖状態とした後に排気バルブを開放状態とすることで、供給配管及び分岐配管の内部に残留した第１ガスを排気口から適切に排出することができる。その後、第１バルブの閉鎖状態を維持しつつ第２バルブを開放状態とすることで、供給配管及び分岐配管の内部に残留した第１ガスが複数の供給口に供給される量を少なく抑えつつ、第２ガスを複数の供給口に適切に供給することができる。また、第２ガスから第１ガスへ切り替える場合においても、第１バルブ及び第２バルブの操作を上記と逆に行うことで、供給配管及び分岐配管の内部に残留した第２ガスが複数の供給口に供給される量を少なく抑えつつ、第１ガスを複数の供給口に適切に供給することができる。このように、本構成によれば、供給口に供給するパージガスを第１ガスと第２ガスとで切り替えた場合に、配管内に残留した切り替え前のパージガスが供給口に供給される量を適切に低減することができる。

【0057】

ここで、前記排気部は、前記供給配管と前記排気口とを接続する排気管を更に備え、
前記供給配管と前記第１ガス配管との接続部を第１接続部とし、前記供給配管と前記第２ガス配管との接続部を第２接続部とし、前記供給配管と前記排気管との接続部を排気接続部とし、前記供給配管と複数の前記分岐配管のそれぞれとの接続部を分岐接続部として、
前記排気接続部は、前記第１接続部及び前記第２接続部のうちの下流側のものと同じ位置又はそれよりも下流側であって、複数の前記分岐接続部のうちの最も上流側のものと同じ位置又はそれよりも上流側に配置されていると好適である。

【0058】

この構成によれば、供給配管及び分岐配管の内部に残留したパージガスを、複数の分岐配管に接続された供給配管と排気口とを接続するように配置された排気管を通して、排気口から適切に排出することができる。

【0059】

また、前記第１バルブ、前記第２バルブ、及び前記排気バルブを制御する制御部を更に備え、
前記制御部は、
前記第１バルブを開放状態とすると共に、前記第２バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第１ガス供給モードと、
前記第２バルブを開放状態とすると共に、前記第１バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第２ガス供給モードと、
前記第１バルブ及び前記第２バルブを閉鎖状態とすると共に、前記排気バルブを開放状態とする排気モードと、を選択的に実行可能に構成され、
前記排気モードは、前記第１ガス供給モード及び前記第２ガス供給モードの一方から他方に切り替える場合に、前記第１ガス供給モードと前記第２ガス供給モードとの間に実行されると好適である。

【0060】

ここで、排気モードにおいて第１バルブ及び第２バルブの一方を解放状態とすると、供給配管の内部の圧力が低下し難いため、分岐配管の内部のガスが抜け難い場合がある。これに対して本構成によれば、排気モードでは第１バルブ及び第２バルブの双方が閉鎖状態となる。そのため、排気モードにおいて第１バルブ及び第２バルブの一方を解放状態とする構成と比べて、供給配管及び分岐配管の双方のパージガスを排気口から排出し易い。

【0061】

また、前記第１供給部は、大気圧よりも高い圧力で前記第１ガスの供給を行い、
前記第２供給部は、大気圧よりも高い圧力で前記第２ガスの供給を行い、
前記制御部は、前記供給配管の内部の圧力が大気圧と同等以下になるまでの期間、前記排気モードを実行すると好適である。

【0062】

この構成によれば、排気モードにおいて、供給配管及び分岐配管の内部に残留したパージガスを、供給配管及び分岐配管の内部と排気口の外部との圧力差を利用して排出することができる。したがって、供給配管及び分岐配管の内部に残留したパージガスを適切に排出することができる。

【0063】

また、前記容器は、半導体基板を収容するように構成され、
前記第１ガスは、不活性ガスであり、
前記第２ガスは、清浄空気であり、
前記制御部は、少なくとも前記第１ガス供給モードから前記第２ガス供給モードへ切り替える場合に、前記排気モードを実行すると好適である。

【0064】

この構成によれば、複数の供給口に供給するパージガスを不活性ガスから清浄空気へ切り替える場合に排気モードを実行する。これにより、清浄空気の供給開始後に、供給配管及び分岐配管の内部に残留した不活性ガスが複数の供給口に供給される量を少なく抑えることができる。したがって、例えば、第２ガス供給モードへ切り替えた後に、複数の供給口に供給されたパージガスで満たされた空間で作業者が作業を行う場合に、作業者が酸素を含まない不活性ガスに暴露されることを回避し易い。

【0065】

また、前記供給配管における酸素の濃度を検出する酸素濃度センサを更に備え、
前記酸素濃度センサは、前記供給配管における、前記第１バルブ及び前記第２バルブよりも下流側であって、前記排気バルブよりも上流側に配置され、
前記制御部は、前記第１ガス供給モードから前記第２ガス供給モードに切り替えた後、前記酸素濃度センサにより検出された前記濃度が規定の濃度閾値以上である場合に、前記第２ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号を出力すると好適である。

【0066】

この構成によれば、排気モードにおいて供給配管における酸素の濃度が十分に高くなったと判断した場合に、第２ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号を出力する。したがって、例えば、第２ガス供給モードへ切り替えた後に、複数の供給口に供給されたパージガスで満たされた空間で作業者が作業を行う場合に、第２ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号に基づいて、作業者が酸素を含まない不活性ガスに暴露されることを回避する措置を執ることができる。

【産業上の利用可能性】

【0067】

本開示に係る技術は、それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚に利用することができる。

【符号の説明】

【0068】

１００ ：収容棚
１ ：収容部
２ ：供給口
３ ：分岐配管
４ ：供給配管
５ ：第１供給部
５１ ：第１供給源
５２ ：第１ガス配管
５３ ：第１バルブ
６ ：第２供給部
６１ ：第２供給源
６２ ：第２ガス配管
６３ ：第２バルブ
７ ：排気部
７１ ：排気口
７２ ：排気バルブ

【図1】

【図2】