特許 7488031 作業機、および部品装着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-13

(45)【発行日】2024-05-21

(54)【発明の名称】作業機、および部品装着方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20240514BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019121330

(22)【出願日】2019-06-28

(65)【公開番号】P2021009863

(43)【公開日】2021-01-28

【審査請求日】2022-06-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】大嶋 寛之

【審査官】大塚 多佳子

(56)【参考文献】

【文献】特開平０９－３０７２８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２２４０８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の吸着部を有するひとつの部品保持具と、
前記部品保持具を、工具を用いることなく着脱可能な作業ヘッドと
を備え、
前記複数の吸着部の各々は、流路を介してひとつの負圧源に連通しており、
前記複数の吸着部の各々に連通する流路には、所定の内径の第１の流路と前記所定の内径より細い内径の第２の流路とがあり、
前記作業ヘッドが備えた前記ひとつの部品保持具の複数の吸着部のうちの一部の吸着部を用いて部品を保持する場合に、前記一部の吸着部は前記第１の流路と連通する作業機。

【請求項2】

前記複数の吸着部の各々は、ひとつの部品の保持が可能である請求項１に記載の作業機。

【請求項3】

前記複数の吸着部の下端面への開口が同じ寸法である請求項１または請求項２に記載の作業機。

【請求項4】

前記複数の吸着部の各々の吸着面積は、各吸着部に連通する流路の断面積より大きい請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の作業機。

【請求項5】

基板を保持する基板保持装置と、部品を保持する複数種類の部品保持具と、前記複数種類の部品保持具のうちから任意の部品保持具を選択して自動で保持する作業ヘッドとを備えた作業機において、前記作業ヘッドが前記複数種類の部品保持具のうちから複数の吸着部を備え、前記複数の吸着部の各々は、流路を介してひとつの負圧源に連通しており、前記複数の吸着部の各々に連通する流路には、所定の内径の第１の流路と前記所定の内径より細い内径の第２の流路とがある部品保持具を選択して保持した場合に、前記複数の吸着部を備えた部品保持具のうちの一部の吸着部を用いて部品を保持する際に、前記一部の吸着部は前記第１の流路と連通しており、前記一部の吸着部を用いて保持した部品を、前記基板保持装置が保持した基板に装着する部品装着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品保持具により保持された部品の装着作業を行う作業機、および、部品装着方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献には、部品保持具により部品を保持し、その部品の装着作業を行う作業機に関する技術が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平１０－１０００２６号公報

【文献】特開２００２－１２７０６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本明細書では、部品保持具により適切に部品を保持することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するために、本明細書は、複数の吸着部を有するひとつの部品保持具と、前記部品保持具を、工具を用いることなく着脱可能な作業ヘッドとを備え、前記複数の吸着部の各々は、流路を介してひとつの負圧源に連通しており、前記複数の吸着部の各々に連通する流路には、所定の内径の第１の流路と前記所定の内径より細い内径の第２の流路とがあり、前記作業ヘッドが備えた前記ひとつの部品保持具の複数の吸着部のうちの一部の吸着部を用いて部品を保持する場合に、前記一部の吸着部は前記第１の流路と連通する作業機を開示する。

【0006】

上記課題を解決するために、本明細書は、基板を保持する基板保持装置と、部品を保持する複数種類の部品保持具と、前記複数種類の部品保持具のうちから任意の部品保持具を選択して自動で保持する作業ヘッドとを備えた作業機において、前記作業ヘッドが前記複数種類の部品保持具のうちから複数の吸着部を備え、前記複数の吸着部の各々は、流路を介してひとつの負圧源に連通しており、前記複数の吸着部の各々に連通する流路には、所定の内径の第１の流路と前記所定の内径より細い内径の第２の流路とがある部品保持具を選択して保持した場合に、前記複数の吸着部を備えた部品保持具のうちの一部の吸着部を用いて部品を保持する際に、前記一部の吸着部は前記第１の流路と連通しており、前記一部の吸着部を用いて保持した部品を、前記基板保持装置が保持した基板に装着する部品装着方法を開示する。

【発明の効果】

【0007】

本開示では、ひとつの部品保持具が複数の吸着部を有しており、その部品保持具が作業ヘッドに工具を用いることなく着脱可能とされている。そして、複数の吸着部のうちから選択された吸着部により保持された部品の装着作業が実行される。また、複数の吸着部のうちの１以上の吸着部を用いることなく保持された部品の装着作業が実行される。これにより、部品保持具により適切に部品を保持することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】電子部品装着装置を示す斜視図である。

【図2】吸着ノズルを示す斜視図である。

【図3】制御装置を示すブロック図である。

【図4】マルチ吸着ノズルを示す斜視図である。

【図5】図４のＡＡ線における断面図である。

【図6】大型部品を保持した状態のマルチ吸着ノズルを示す斜視図である。

【図7】小型部品を保持した状態のマルチ吸着ノズルを示す斜視図である。

【図8】中型部品を保持した状態のマルチ吸着ノズルを示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

【0010】

図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

【0011】

各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２７、マークカメラ（図３参照）２８、パーツカメラ２９、ノズルステーション３０、制御装置（図３参照）３１を備えている。装着機本体２０は、フレーム３２と、そのフレーム３２に上架されたビーム３４とによって構成されている。

【0012】

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図３参照）４６によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図３参照）４８によって固定的に保持される。

【0013】

移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図３参照）５２と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図３参照）５４とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータ５２，５４の作動によって、フレーム３２上の任意の位置に移動させられる。

【0014】

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、１つの装着ユニット（図示省略）を備えており、装着ユニットの先端部に、吸着ノズル６０が装着される。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６２とフランジ部６４と吸着管６６とによって構成されている。胴体筒６２は、円筒状をなし、フランジ部６４は、胴体筒６２の外周面に張り出すようにして固定されている。また、吸着管６６は、細いパイプ状をなし、胴体筒６２の下端部から下方に向かって延び出した状態で胴体筒６２に連結されている。一方、装着ヘッド２６の装着ユニットには、フランジ部６４に応じた形状の装着面が形成されており、その装着面にエアを吸引するための吸引口が開口している。そして、吸着ノズル６０のフランジ部６４が、装着ユニットの装着面に密着した状態において、吸引口からエアが吸引されることで、吸着ノズル６０が、フランジ部６４において、装着ユニットの装着面に工具を用いることなくワンタッチで着脱可能に装着される。この際、装着ユニットに装着された吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図３参照）７０に連通する。これにより、吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ユニットは、ユニット昇降装置（図３参照）７１によって昇降する。これにより、吸着ノズル６０に吸着保持された電子部品の上下方向の位置が変更される。

【0015】

供給装置２７は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送り装置（図３参照）７４によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２７は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。

【0016】

マークカメラ（図３参照）２８は、移動装置２４のスライダ５０に下を向いた状態で固定されており、移動装置２４の作動により任意の位置に移動する。これにより、マークカメラ２８は、フレーム３２の任意の位置を撮像する。また、パーツカメラ２９は、フレーム３２の上面において、搬送装置２２と供給装置２７との間に、上を向いた状態で配設されている。これにより、パーツカメラ２９は、吸着ノズル６０に保持された部品などを撮像する。

【0017】

ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、吸着ノズルを収容するための収容部７８が複数、形成されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６の装着ユニットに装着されている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６の収容部７８に収容されている吸着ノズルとの交換等が、自動的にワンタッチで行われる。なお、ワンタッチでの吸着ノズルの交換とは、工具等が用いられることなく行われる吸着ノズルの交換を意味する。ちなみに、ノズルトレイ７６には、吸着ノズル６０とノズル径の異なる吸着ノズル、具体的には、例えば、吸着ノズル６０より大径のノズル径を有する吸着ノズル（以下、「大径吸着ノズル」と記載する），吸着ノズル６０より小径のノズル径を有する吸着ノズル（以下、「小径吸着ノズル」と記載する）、複数の吸着部を有するノズルなど複数種類のノズルが収容されている。また、吸着ノズル６０を、大径吸着ノズルおよび、小径吸着ノズルと区別するべく、中径吸着ノズル６０と記載する場合がある。

【0018】

制御装置３１は、図３に示すように、コントローラ１００と、複数の駆動回路１０２とを備えている。複数の駆動回路１０２は、上記電磁モータ４６，５２，５４、基板保持装置４８、正負圧供給装置７０、ユニット昇降装置７１、送り装置７４に接続されている。コントローラ１００は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１０２に接続されている。これにより、搬送装置２２、移動装置２４等の作動が、コントローラ１００によって制御される。また、コントローラ１００は、画像処理装置１０６にも接続されている。画像処理装置１０６は、マークカメラ２８及びパーツカメラ２９により撮像された撮像データを処理するための装置である。これにより、コントローラ１００は、撮像データから各種情報を取得する。

【0019】

装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、コントローラ１００の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、回路基板が、基板保持装置４８によって固定的に保持される。次に、マークカメラ２８が、コントローラ１００の指令により、回路基板の上方に移動し、回路基板を撮像する。これにより、回路基板の保持位置等に関する情報が得られる。また、テープフィーダ７２は、コントローラ１００の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。

【0020】

そして、装着ヘッド２６が、コントローラ１００の指令により、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６が、パーツカメラ２９の上方に移動し、吸着ノズルによって保持された電子部品が、パーツカメラ２９によって撮像される。これにより、部品の保持姿勢等に関する情報が得られる。そして、装着ヘッド２６が、回路基板の上方に移動し、回路基板の保持位置，電子部品の保持姿勢等に基づいて、電子部品を回路基板に装着する。

【0021】

なお、回路基板に装着される電子部品のサイズ，形状等に応じて、装着ヘッド２６に装着される吸着ノズルが交換される。具体的には、例えば、小さなサイズの電子部品の装着作業時には、小径吸着ノズルが用いられ、大きなサイズの電子部品の装着作業時には、大
径吸着ノズルが用いられ、中間程度のサイズの電子部品の装着作業時には、中径吸着ノズル６０が用いられる。このため、装着対象の部品のサイズが変わるごとに、装着ヘッド２６がノズルステーション３０に移動して、吸着ノズルの交換作業を行う必要がある。このように、装着対象の部品のサイズが変わるごとに、吸着ノズルの交換作業が実行されると、サイクルタイムの遅延が生じる虞がある。

【0022】

また、吸着ノズルの交換作業を行うことなく、サイズの異なる電子部品の装着作業を行うために、複数台の装着機１４を用いて、装着作業を行うことはできる。具体的には、例えば、３台の装着機１４により装着システムを構成し、１台目の装着機１４では、装着ヘッド２６に小径吸着ノズルを装着し、２台目の装着機１４では、装着ヘッド２６に中径吸着ノズル６０を装着し、３台目の装着機１４では、装着ヘッド２６に大径吸着ノズルを装着しておく。そして、１台目の装着機１４において、小さなサイズの電子部品の装着作業を実行し、２台目の装着機１４では、中間程度のサイズの電子部品の装着作業を実行し、３台目の装着機１４では、大きなサイズの電子部品の装着作業を実行する。これにより、吸着ノズルの交換作業を行うことなく、サイズの異なる電子部品の装着作業を行うことができる。しかしながら、３台の装着機１４により装着システムを構成する必要があり、占有スペースの増大，設備投資の増大等を招く虞がある。

【0023】

このようなことに鑑みて、装着機１４では、サイズの異なる電子部品を保持可能な吸着ノズル（図４参照）（以下、「マルチ吸着ノズル」と記載する）１１０が用意されている。マルチ吸着ノズル１１０は、図４及び図５に示すように、ノズル本体１１２と、フランジ部１１４と、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４とにより構成されている。なお、図４は、マルチ吸着ノズル１１０の斜視図であり、図５は、図４のＡＡ線における断面図である。

【0024】

ノズル本体１１２は、胴体筒１３０と、４本の支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８とにより構成されている。胴体筒１３０は、概して四角柱形状とされており、胴体筒１３０には、上端面と下端面とに開口するメイン流路１４０が形成されている。また、４本の支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８は、胴体筒１３０の４つの側面から側方に向って延び出した後に、下方に向って延び出している。なお、４本の支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８は、胴体筒１３０の下端面と同じ高さとなる位置まで、下方に向って延び出している。つまり、胴体筒１３０の下端面と、４つの支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８の下端面とは、面一とされている。また、４本の支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８には、胴体筒１３０のメイン流路１４０に連通するとともに、４本の支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８の下端面に開口する４本のサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６が形成されている。なお、４本のサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６の内径は同じとされているが、各サブ流路１５０，１５２，１５４，１５６の内径は、メイン流路１４０の内径の１／１０程度とされている。

【0025】

また、フランジ部１１４は、装着ヘッド２６への取り付けに互換性があるように、中径吸着ノズル６０等、他の種類の吸着ノズルのフランジ部６４と同じ形状とされており、胴体筒１３０の上端面に固定されている。そのフランジ部１１４には、胴体筒１３０のメイン流路１４０と同じ内径の貫通穴１６０が形成されている。そして、フランジ部１１４の貫通穴１６０と、胴体筒１３０のメイン流路１４０とが、同軸的に連通している。

【0026】

また、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４は、弾性変形可能な素材により形成されており、同寸法とされている。各吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４は、内部が空洞とされており、上端面及び下端面に開口している。そして、各吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４は、上端部から下端部に向うほど内径が広くなるラッパ形状とされている。なお、各吸着パッド１１６，１１８，１２
０，１２２，１２４の上端面への開口は、メイン流路１４０の内径と略同じとされており、各吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４の下端面への開口は、上端面への開口の略２倍とされている。

【0027】

そして、吸着パッド１１６は、胴体筒１３０の下端面に固定されており、吸着パッド１１６の内部がメイン流路１４０に連通している。また、吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４は、４本の支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８の下端面に固定されており、吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４の内部がサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６に連通している。なお、胴体筒１３０の下端面と、４つの支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８の下端面とは、上述したように、同一高さとされている。そして、胴体筒１３０及び、４つの支持アーム１３２，１３４，１３６，１３８の下端面に同寸法の５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４が固定されている。このため、それら５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４の下端面も同一高さとされている。また、メイン流路１４０に連通する吸着パッド１１６を、メイン吸着パッド１１６と記載し、サブ流路１５０，１５２，１５４，１５６に連通する吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４を、サブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４と記載する場合がある。

【0028】

このような構造のマルチ吸着ノズル１１０は、ノズルステーション３０のノズルトレイ７６に収容されており、吸着ノズル６０と同様に、自動で装着ヘッド２６の装着ユニットに装着される。つまり、マルチ吸着ノズル１１０のフランジ部１１４が、装着ヘッド２６の装着ユニットの装着面に密着した状態において、吸引口からエアが吸引されることで、マルチ吸着ノズル１１０が、フランジ部１１４において、装着ユニットの装着面に自動的にワンタッチで装着される。この際、装着ユニットに装着されたマルチ吸着ノズル１１０では、フランジ部１１４の貫通穴１６０が、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図３参照）７０に連通する。これにより、マルチ吸着ノズル１１０のメイン流路１４０に、負圧と正圧とが選択的に供給される。

【0029】

このように、装着ヘッド２６に装着されたマルチ吸着ノズル１１０は、サイズや形状の異なる電子部品を保持することが可能とされている。具体的には、図６に示すように、大きなサイズの部品（以下、「大型部品」と記載する）１７０が、保持対象の部品である場合には、メイン吸着パッド１１６の下端面の全体が大型部品１７０の略中央部に密着し、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４の下端面の全体が、大型部品１７０の略中央を囲む４等配の部分に密着する。つまり、メイン吸着パッド１１６及び、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４の下端面の開口が大型部品１７０により密閉される。そして、メイン流路１４０に負圧が供給されることで、メイン吸着パッド１１６と、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４とにより、大型部品１７０が吸着保持される。つまり、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４のうちの全てのものが、ひとつの部品に密着し、それら５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４のうちの全てのものにより、ひとつの部品が吸着保持される。この際、大型部品１７０が、５個の吸着パッド１１６、１１８，１２０，１２２，１２４により均等に保持されるため、大きなサイズの部品であっても、マルチ吸着ノズル１１０により適切に保持される。

【0030】

また、図７に示すように、小さなサイズの部品（以下、「小型部品」と記載する）１７６が、保持対象の部品である場合には、メイン吸着パッド１１６の下端面の全体が小型部品１７６に密着するが、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４の下端面の全体は、小型部品１７６に密着しない。つまり、メイン吸着パッド１１６の下端面の開口が小型部品１７６により密閉されるが、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４の下端面の開口の少なくとも一部が解放され、大気と連通した状態となる。そし
て、メイン流路１４０に負圧が供給されることで、メイン吸着パッド１１６により、小型部品１７６が吸着保持される。一方で、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４の下端面の開口の少なくとも一部が解放されているため、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４から負圧がリークする。しかしながら、各サブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４に連通するサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６の内径は、メイン流路１４０の内径の１／１０程度とされている。このため、サブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４からの負圧のリークによる圧力損失は、メイン吸着パッド１１６が大気と連通した場合に比べて小さく、メイン吸着パッド１１６による吸引力はあまり低下しない。これにより、メイン吸着パッド１１６の下端面の開口が小型部品１７６により密閉されるが、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４の下端面の開口の少なくとも一部が解放された状態においても、小型部品１７６は、マルチ吸着ノズル１１０により適切に保持される。つまり、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４を用いることなく、メイン吸着パッド１１６を用いて小型部品１７６が保持される場合においても、小型部品１７６がマルチ吸着ノズル１１０により適切に保持される。

【0031】

また、図８に示すように、大型部品１７０と小型部品１７６との間のサイズの部品（以下、「中型部品」と記載する）１７８が、保持対象の部品である場合には、メイン吸着パッド１１６及び２個のサブ吸着パッド１２０，１２２の下端面の全体が中型部品１７８に密着するが、残りの２個のサブ吸着パッド１１８，１２４の下端面の全体は、中型部品１７８に密着しない。つまり、メイン吸着パッド１１６及び２個のサブ吸着パッド１２０，１２２の下端面の開口が中型部品１７８により密閉されるが、残りの２個のサブ吸着パッド１１８，１２４の下端面の開口の少なくとも一部が解放された状態となる。そして、メイン流路１４０に負圧が供給されることで、メイン吸着パッド１１６及び２個のサブ吸着パッド１２０，１２２により、中型部品１７８が吸着保持される。この際、残りの２個のサブ吸着パッド１１８，１２４から負圧がリークするが、上述したように、負圧のリークによる圧力損失は、小さい。これにより、メイン吸着パッド１１６及び２個のサブ吸着パッド１２０，１２２の下端面の開口が中型部品１７８により密閉されるが、残りの２個のサブ吸着パッド１１８，１２４の下端面の開口の少なくとも一部が解放された状態においても、中型部品１７８は、マルチ吸着ノズル１１０により適切に保持される。つまり、２個のサブ吸着パッド１１８，１２４を用いることなく、メイン吸着パッド１１６及び２個のサブ吸着パッド１２０，１２２を用いて中型部品１７８が保持される場合においても、中型部品１７８がマルチ吸着ノズル１１０により適切に保持される。

【0032】

このように、マルチ吸着ノズル１１０では、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４のうちから選択された吸着パッドによる部品の保持作業を行うことで、サイズの異なる電子部品を適切に保持することができる。これにより、１台の装着機１４において、サイズの異なる電子部品の装着作業が実行される際に、吸着ノズルの交換作業を抑制し、サイクルタイムの遅延を防止することが可能となる。また、少ない台数の装着機１４であっても、吸着ノズルの交換作業を抑制しつつ、サイズの異なる電子部品の装着作業を行うことができるため、装着機１４の占有スペースの抑制，設備投資の抑制等を図ることが可能となる。

【0033】

なお、小型部品１７６若しくは中型部品１７８がマルチ吸着ノズル１１０により保持される際において、メイン吸着パッド１１６は部品により密閉されるが、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４のうちの少なくとも１個以上のものが解放された状態となっている。ただし、各サブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４に連通するサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６の内径は、メイン吸着パッド１１６に連通するメイン流路１４０の内径の１／１０程度とされている。このため、サブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４からの負圧のリークによる圧力損失は、比較的小さなものであ
り、メイン吸着パッド１１６による吸引力は部品の保持が不可能な程度には低下しない。これにより、メイン吸着パッド１１６が部品に密着していれば、４個のサブ吸着パッド１１８，１２０，１２２，１２４のうちの１個以上のものが解放された状態であっても、部品の適切な保持が担保される。

【0034】

また、部品に密着する吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４は、吸着面に近いほど、内径が大きくされている。つまり、各吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４の吸着面積は、各吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４に連通するメイン流路１４０若しくはサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６の断面積より大きくされている。これにより、大きな面積において部品を吸着保持することで、吸引力を増大させ、部品を適切に保持することが可能となる。

【0035】

ちなみに、上記実施例において、装着機１４は、作業機の一例である。搬送装置２２は、基板保持装置の一例である。装着ヘッド２６は、作業ヘッドの一例である。正負圧供給装置７０は、負圧源の一例である。マルチ吸着ノズル１１０は、部品保持具の一例である。吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４は、吸着部の一例である。メイン流路１４０及びサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６は、流路の一例である。

【0036】

また、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、部品を吸着する吸着部として、吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４が採用されているが、エアを吸引するための開口が形成されていればよく、吸着菅，吸着面，吸引口などを、吸着部として採用することができる。例えば、図２に示したような一般的な部品吸着ノズルに準じた形状であってもよい。また、材質も弾性変形可能な素材である必要もなく、一般的な部品吸着ノズルのように、鋼などの剛体で形成されていてもよい。

【0037】

また、上記実施例では、メイン流路１４０が、負圧エア，正圧エア通路を介して正負圧供給装置７０に連通し、サブ流路１５０，１５２，１５４，１５６は、メイン流路１４０から枝分かれしているが、メイン流路１４０及びサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６が、負圧エア，正圧エア通路を介して正負圧供給装置７０に連通してもよい。つまり、メイン流路１４０及びサブ流路１５０，１５２，１５４，１５６は、吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４からエアを吸引することが可能な経路であればよい。

【0038】

また、上記実施形態では、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４から選択された吸着パッドを用いて、１個の部品が保持されているが、複数の部品が保持されてもよい。つまり、例えば、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４の各々が１個の部品を保持することで、マルチ吸着ノズル１１０により５個の部品が保持されてもよい。また、例えば、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４のうちの３個の吸着パッドの各々が１個の部品を保持することで、マルチ吸着ノズル１１０により３個の部品が保持されてもよい。このような場合には、２個の吸着パッドが開放された状態となる。そして、マルチ吸着ノズル１１０に保持された３個の部品のサイズや種類は異なっていてもよい。なお、複数の吸着ノズルを備える装着ヘッドでは、各吸着ノズルが１個の部品を保持して、複数の部品を保持する。そして、全ての吸着ノズルが部品を保持した状態の装着ヘッドで、基板への部品の装着作業が実行されるときに、各吸着ノズルから保持された部品は開放される。つまり、複数の吸着ノズルを備える装着ヘッドの運用において、部品の装着作業前には、大気に開放された吸着ノズルはないことが多く、また、保持した部品の装着作業時において、それぞれの吸着ノズルは、順次、大気に開放される。しかしながら、このような複数の吸着ノズルを備える装着ヘッドにおいても、実施例におけるマルチ吸着ノズルと同様に、部品を吸着し、その部品を基板に装着す
る場合には、複数の吸着ノズルを備えるという点においては同様であることから、さまざまな態様を採用することができる。一方で、５個の吸着パッド１１６，１１８，１２０，１２２，１２４のうちの３個の吸着パッドの各々が１個の部品を保持することで、マルチ吸着ノズル１１０により３個の部品が保持される場合には、装着作業前において、２個の吸着ノズルが開放されていることとなる。

【0039】

また、上記実施例では、負圧源として正負圧供給装置７０が採用されているが、負圧を供給可能、つまり、エアを吸引可能なものであれば、種々のものを負圧源として採用することができる。

【符号の説明】

【0040】

１４：装着機（作業機） ２２：搬送装置（基板保持装置） ２６：装着ヘッド（作業ヘッド） ７０：正負圧供給装置（負圧源） １１０：マルチ吸着ノズル（部品保持具） １１６：吸着パッド（吸着部） １１８：吸着パッド（吸着部） １２０：吸着パッド（吸着部） １２２：吸着パッド（吸着部） １２４：吸着パッド（吸着部） １４０：メイン流路（流路） １５０：サブ流路（流路） １５２：サブ流路（流路） １５４：サブ流路（流路） １５６：サブ流路（流路）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】