特許 7489435 タワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-15

(45)【発行日】2024-05-23

(54)【発明の名称】タワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240516BHJP

   B65G 1/04 20060101ALI20240516BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G1/04 561

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2022132179

(22)【出願日】2022-08-23

(65)【公開番号】P2023037589

(43)【公開日】2023-03-15

【審査請求日】2022-08-23

(31)【優先権主張番号】10-2021-0117728

(32)【優先日】2021-09-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】518162784

【氏名又は名称】セメス カンパニー，リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100114775

【弁理士】

【氏名又は名称】高岡 亮一

(74)【代理人】

【識別番号】100121511

【弁理士】

【氏名又は名称】小田 直

(74)【代理人】

【識別番号】100202751

【弁理士】

【氏名又は名称】岩堀 明代

(74)【代理人】

【識別番号】100208580

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 玲奈

(74)【代理人】

【識別番号】100191086

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 香元

(72)【発明者】

【氏名】イ，ナ ヒョン

(72)【発明者】

【氏名】キム，サン－オ

(72)【発明者】

【氏名】イ，ミョン ジン

(72)【発明者】

【氏名】ビョン，ヒ ジェ

【審査官】井上 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開平０４－１６７５３８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ １／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ボディーと、
前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成され、搬送対象物を各々支持する第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールと、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトを含む駆動ユニットと、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、
前記間隔調節ユニットは、
前記駆動ベルトに装着されるベースプレートと、
前記ベースプレート上で前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールの中でいずれか１つを他の１つに対して相対移動させる駆動部と、を含む
タワーリフト。

【請求項2】

前記間隔調節ユニットは、
前記ベースプレート上に提供され、前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールが搭載される駆動レールをさらに含み、
前記駆動部は、
前記駆動レール上で前記第１キャリッジモジュールを移動させる第１駆動装置と、
前記駆動レール上で前記第２キャリッジモジュールを移動させる第２駆動装置と、を含む請求項１に記載のタワーリフト。

【請求項3】

ボディーと、
前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成され、搬送対象物を各々支持する第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールと、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトを含む駆動ユニットと、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、
前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールの中で１つが前記駆動ベルトに固定され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールに連結されるペンタグラフ構造体と、
前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールに装着されて前記ペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータと、を含むタワーリフト。

【請求項4】

ボディーと、
前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成され、搬送対象物を各々支持する第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールと、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトを含む駆動ユニットと、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、
前記第１キャリッジモジュールは、前記駆動ベルトに固定され、
前記第１キャリッジモジュールは、前記第２キャリッジモジュールより上部に位置され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールに連結されるサブベルトと、
前記第１キャリッジモジュールに固定され前記サブベルトが結合されるサブプーリーと、
前記サブプーリーを回転させるための回転部と、を含むタワーリフト。

【請求項5】

ボディーと、
前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成され、搬送対象物を各々支持する第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールと、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトを含む駆動ユニットと、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、
前記駆動ユニットは、
前記ボディーの上部に提供され、前記駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、
前記メーンプーリーを回転させるための回転装置と、をさらに含むタワーリフト。

【請求項6】

ボディーと、
前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成され、搬送対象物を各々支持する第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールと、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトを含む駆動ユニットと、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールの上下方向移動を案内するガイドレールをさらに含み、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールには前記ガイドレールと接触されるガイドホイールが提供されるタワーリフト。

【請求項7】

前記搬送対象物は、基板が収納された容器である請求項１乃至請求項６のいずれかの一項に記載のタワーリフト。

【請求項8】

１つ以上の目的地に基板を保管する容器を搬送するタワーリフトを含み、
前記タワーリフトは、
ボディーと、
駆動ベルトによって前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成された第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールと、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、
前記間隔調節ユニットによって前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔は、変更可能に提供され、
前記１つ以上の目的地間の同一であるか、或いは間隔は、異なる物流システム。

【請求項9】

前記間隔調節ユニットは、
前記駆動ベルトに装着されるベースプレートと、
前記ベースプレート上で前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールの中でいずれか１つを他の１つに対して相対移動させる駆動部と、を含む請求項８に記載の物流システム。

【請求項10】

前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールの中で１つが前記駆動ベルトに固定され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールに連結されるペンタグラフ構造体と、
前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールに装着されて前記ペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータと、を含む請求項８に記載の物流システム。

【請求項11】

前記第１キャリッジモジュールは、前記駆動ベルトに固定され、
前記第１キャリッジモジュールは、前記第２キャリッジモジュールより上部に位置され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールに連結されるサブベルトと、
前記第１キャリッジモジュールに固定され、前記サブベルトが結合されるサブプーリーと、
前記サブプーリーを回転させるための回転部と、を含む請求項８に記載の物流システム。

【請求項12】

前記ボディーの上部に提供され、前記駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、
前記メーンプーリーを回転させるための回転装置と、をさらに含む請求項８に記載の物流システム。

【請求項13】

前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールの上下方向移動を案内するガイドレールをさらに含み、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールには前記ガイドレールと接触されるガイドホイールが提供される請求項８に記載の物流システム。

【請求項14】

前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールは、
内部に基板を保管する容器を支持する支持台と、
前記支持台を前記目的地が提供された方向に伸張させるか、又はその反対方向に収縮させる移動装置と、をさらに含む請求項８乃至請求項１３のいずれかの一項に記載の物流システム。

【請求項15】

目的地間の距離が第１距離である隣接する目的地に同時に搬送対象物を各々搬送する場合には、
搬送対象物を各々支持する第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールとの間の距離を前記第１距離に調節した状態で前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールを駆動ユニットに昇降させ、
目的地間の距離が第２距離である隣接する目的地と同時に搬送対象物を各々搬送する場合には、
前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の距離を前記第２距離に調節した状態で前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールを前記駆動ユニットに昇降させ、
前記第１距離と前記第２距離は、互いに異なり、
前記搬送対象物は、基板が収納された容器であり、
前記目的地の各々には基板を処理する装置又は基板を収納する容器を貯蔵するストッカーが提供される
搬送方法。

【請求項16】

前記駆動ユニットは、
前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第１キャリッジモジュール又は前記第２キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトと、
前記駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、
前記メーンプーリーを回転させるための回転装置と、を含む請求項１５に記載の搬送方法。

【請求項17】

前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールは、ベースプレートに設置され、前記ベースプレートが前記駆動ベルトによって昇下降されることによって前記第１キャリッジモジュール及び前記第２キャリッジモジュールは、前記駆動ユニットによって同時に昇降され、
前記ベースプレート上で前記第１キャリッジモジュールと前記第２キャリッジモジュールとの間の間隔が調節される請求項１６に記載の搬送方法。

【請求項18】

前記第１キャリッジモジュールは、前記駆動ベルトによって直接昇下降され、前記第２キャリッジモジュールは、前記第１キャリッジモジュールと共に昇下降可能するように前記第１キャリッジモジュールに結合され、
前記第２キャリッジモジュールは、前記第１キャリッジモジュールに対して間隔調節が可能するように前記第１キャリッジモジュールに結合される請求項１６に記載の搬送方法。

【請求項19】

前記第２キャリッジモジュールは、サブベルトによって前記第１キャリッジモジュールと連結され、
前記サブベルトは、前記第１キャリッジモジュールに固定され、前記サブベルトが結合されるサブプーリー及び前記サブプーリーを回転させる回転部によって前記駆動ユニットと別に作動するように提供される請求項１８に記載の搬送方法。

【請求項20】

前記第２キャリッジモジュールは、ペンタグラフ構造体によって前記第１キャリッジモジュールと連結され、
前記ペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータによって前記第２キャリッジモジュールが前記第１キャリッジモジュールに対して昇下降される請求項１８に記載の搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はタワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法に関する。より詳細には、キャリッジモジュール（Ｃａｒｒｉａｇｅ Ｍｏｄｕｌｅ）を利用して搬送対象物を垂直方向に移送するためのタワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送対象物の搬送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般的に、半導体又はディスプレー製造工場の製造ラインは複層で構成され、各層には蒸着、露光、蝕刻、イオン注入、洗浄等の工程を遂行するための設備が配置されることができ、半導体基板として使用される半導体ウエハ又はディスプレー基板として使用されるガラス基板に対して一連の単位工程を反復的に遂行することによって半導体装置又はディスプレー装置が製造されることができる。

【0003】

一方、前記各層の間での資材移送、即ち半導体ウエハ又はガラス基板のような資材の移送は前記各層を通じて垂直方向に設置されるタワーリフト（Ｔｏｗｅｒ Ｌｉｆｔ）によって行われることができる。図１は、基板を処理するための製造ラインが具備されたタワー１で資材を移送する一般的なタワーリフト１００の構成を示す図面である。

【0004】

図１を参照すれば、タワーリフト１００は、メーンフレーム１０２、キャリッジモジュール１１０、そして駆動モジュール等を含む。メーンフレーム１０２は垂直方向に延長する。キャリッジモジュール１１０はメーンフレーム１０２の前方に配置され、メーンフレーム１０２に沿って垂直方向に移動可能に構成される。キャリッジモジュール１１０は内部に資材を載せ、資材を基板を処理するための製造ラインが具備されたタワー１の各層１－ａ、１－ｂ、１－ｃに対応される位置に資材を移送する。例えば、キャリッジモジュール１１０は基板を保管する容器１０を積載することができる。一例で、キャリッジモジュール１１０には上下方向に２つの容器１０が積載される。キャリッジモジュール１１０は駆動ベルト１４２に連結され、駆動モジュール１４０は駆動ベルト１４２によってキャリッジモジュール１１０が移動されるようにする。例えば、駆動モジュール１４０はキャリッジモジュール１１０が駆動ベルト１４２と結合される駆動プーリー及び駆動プーリーを回転させるための駆動ユニット等を含むことができる。

【0005】

但し、各キャリッジモジュール１１０が同一な駆動ベルト１４２上で一律に移動されることによって、いずれか１つの容器１０の位置は他のいずれか容器１０の位置を制限することになる。したがって、基板の移送量が限定されて多量の基板を移送するために長い時間が所要される問題がある。

【0006】

また、キャリッジモジュール１１０の数を増やしても、各キャリッジモジュール１１０は同一な駆動ベルト１４２に固定されるので、各キャリッジモジュール１１０の間の間隔も固定される。したがって、各層１－ａ、１－ｂ、１－ｃの高さが異なりに提供される場合、複数層１－ａ、１－ｂ、１－ｃに容器１０を同時に搬送できない問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】国際特許公開第ＷＯ２０１７０８５７７４Ａ１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明の目的は基板の移送量を増やすことができるタワーリフトを提供することにある。

【0009】

本発明が解決しようとする課題は以上で言及された課題に制限されない。言及されない他の技術的課題は以下の記載から本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解されるべきである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

一実施形態で、間隔調節ユニットは、駆動ベルトに装着されるベースプレートと、ベースプレート上で第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールの中でいずれか１つを他の１つに対して相対移動させる駆動部と、を含むことができる。

【0011】

一実施形態で、間隔調節ユニットは、ベースプレート上に提供され、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールが搭載される駆動レールをさらに含み、駆動部は、駆動レール上で第１キャリッジモジュールを移動させる第１駆動装置と、駆動レール上で第２キャリッジモジュールを移動させる第２駆動装置と、を含むことができる。

【0012】

一実施形態で、第１キャリッジモジュール又は第２キャリッジモジュールの中で１つが駆動ベルトに固定され、間隔調節ユニットは、第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールに連結されるペンタグラフ構造体と、第１キャリッジモジュール又は第２キャリッジモジュールに装着されてペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータと、を含むことができる。

【0013】

一実施形態で、第１キャリッジモジュールは駆動ベルトに固定され、第１キャリッジモジュールは第２キャリッジモジュールより上部に位置され、間隔調節ユニットは、第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールに連結されるサブベルトと、第１キャリッジモジュールに固定され、サブベルトが結合されるサブプーリーと、サブプーリーを回転させるための回転部と、を含むことができる。

【0014】

一実施形態で、駆動ユニットは、ボディーの上部に提供され、駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、メーンプーリーを回転させるための回転装置と、をさらに含むことができる。

【0015】

一実施形態で、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールの上下方向移動を案内するガイドレールをさらに含み、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールにはガイドレールと接触されるガイドホイールが提供されることができる。

【0016】

一実施形態で、搬送対象物は基板が収納された容器であり得る。

【0017】

また、本発明は物流システムを提供する。一実施形態で、物流システムは、１つ以上の目的地に基板を保管する容器を搬送するタワーリフトを含み、タワーリフトは、ボディーと、駆動ベルトによってボディーに沿って上下方向に移動可能に構成された第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールと、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、間隔調節ユニットによって第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールとの間の間隔は、変更可能に提供され、１つ以上の目的地間の間隔は異なることができる。

【0018】

一実施形態で、間隔調節ユニットは、駆動ベルトに装着されるベースプレートと、ベースプレート上で第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールの中でいずれか１つを他の１つに対して相対移動させる駆動部と、を含むことができる。

【0019】

一実施形態で、第１キャリッジモジュール又は第２キャリッジモジュールの中で１つが駆動ベルトに固定され、間隔調節ユニットは、第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールに連結されるペンタグラフ構造体と、第１キャリッジモジュール又は第２キャリッジモジュールに装着されてペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータと、を含むことができる。

【0020】

一実施形態で、第１キャリッジモジュールは駆動ベルトに固定され、第１キャリッジモジュールは第２キャリッジモジュールより上部に位置され、間隔調節ユニットは、第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールに連結されるサブベルトと、第１キャリッジモジュールに固定され、サブベルトが結合されるサブプーリーと、サブプーリーを回転させるための回転部と、を含むことができる。

【0021】

一実施形態で、ボディーの上部に提供され、駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、メーンプーリーを回転させるための回転装置と、をさらに含むことができる。

【0022】

一実施形態で、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールの上下方向移動を案内するガイドレールをさらに含み、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールにはガイドレールと接触されるガイドホイールが提供されることができる。

【0023】

一実施形態で、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールは、内部に基板を保管する容器を支持する支持台とと、支持台を目的地が提供された方向に伸張させるか、又はその反対方向に収縮させる移動装置と、をさらに含むことができる。

【0024】

また、本発明は搬送方法を提供する。一実施形態で、搬送方法は、目的地間の距離が第１距離である隣接する目的地に同時に搬送対象物を各々搬送する場合には、搬送対象物を各々支持する第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールとの間の距離を第１距離に調節した状態で第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールを駆動ユニットに昇降させ、目的地間の距離が第２距離である隣接する目的地と同時に搬送対象物を各々搬送する場合には、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールとの間の距離を第２距離に調節した状態で第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールを駆動ユニットに昇降させ、第１距離と第２距離は同一であるか、或いは互いに異なることができる。

【0025】

一実施形態で、搬送対象物は基板が収納された容器であり、目的地各々には基板を処理する装置又は基板を収納する容器を貯蔵するストッカーを提供されることができる。

【0026】

一実施形態で、駆動ユニットは、第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、第１キャリッジモジュール又は第２キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトと、駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、メーンプーリーを回転させるための回転装置と、を含むことができる。

【0027】

一実施形態で、第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールはベースプレートに設置され、ベースプレートが駆動ベルトによって昇下降されることによって第１キャリッジモジュール及び第２キャリッジモジュールは駆動器によって同時に昇降され、ベースプレート上で第１キャリッジモジュールと第２キャリッジモジュールとの間の間隔が調節されることができる。

【0028】

一実施形態で、第１キャリッジモジュールは駆動ベルトによって直接昇下降され、第２キャリッジモジュールは第１キャリッジモジュールと共に昇下降可能するように第１キャリッジモジュールに結合され、第２キャリッジモジュールは第１キャリッジモジュールに対して間隔調節が可能するように第１キャリッジモジュールに結合されることができる。

【0029】

一実施形態で、第２キャリッジモジュールはサブベルトによって第１キャリッジモジュールと連結され、サブベルトは、第１キャリッジモジュールに固定され、サブベルトが結合されるサブプーリー及びサブプーリーを回転させる回転部によって駆動ユニットと別に作動するように提供されることができる。

【0030】

一実施形態で、第２キャリッジモジュールはペンタグラフ構造体によって第１キャリッジモジュールと連結され、ペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータによって第２キャリッジモジュールが第１キャリッジモジュールに対して昇下降されることができる。

【発明の効果】

【0031】

本発明の一実施形態によれば、タワーリフトで基板の移送量を増やすことができる長所がある。

【0032】

本発明の効果は上述した効果によって制限されない。上述されない効果は本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解されるべきである。

【図面の簡単な説明】

【0033】

【図1】一般的なタワーリフトの概略的な形状を示す図面である。

【図2】本発明の一実施形態によるタワーリフトの概略的な形状を示す図面である。

【図3】本発明の他の実施形態による間隔調節ユニットを有するタワーリフトを示す。

【図4】図３の間隔調節ユニットを示す。

【図5】図３の間隔調節ユニットを示す。

【図6】本発明の他の実施形態による間隔調節ユニットを有するタワーリフトを示す。

【図7】図６の間隔調節ユニットを示す。

【図8】本発明の一実施形態によって搬送対象物を半導体製造ラインに搬送する形状を示す。

【図9】本発明の一実施形態によって搬送対象物を半導体製造ラインに搬送する形状を示す。

【図10】本発明の一実施形態によって搬送対象物を半導体製造ラインに搬送する形状を示す。

【図11】本発明の一実施形態によって搬送対象物を半導体製造ラインに搬送する形状を示す。

【図12】本発明の一実施形態によって搬送対象物を半導体製造ラインに搬送する形状を示す。

【発明を実施するための形態】

【0034】

本発明の他の長所及び特徴、そしてそれらを達成する方法は添付される図面と共に詳細に後述される実施形態を参照すれば、明確になる。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されることではなく、互いに異なる様々な形態に具現されることができ、単なる本実施形態は本発明の開示が完全するようにし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されることであり、本発明は請求項の範疇によって定義されるだけである。

【0035】

もし定義されなくても、ここで使用されるすべての用語（技術或いは科学用語を含む）は本発明が属する従来技術で普遍的技術によって一般的に収容されることと同一な意味がある。一般的な辞書によって定義された用語は関連された技術及び／或いは本出願の本文に意味することと同一な意味を有することと解釈されることができ、そしてここで明確に定義された表現ではなくても概念化されるか、或いは過度に形式的に解釈されないものである。本明細書で使用された用語は実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限しようとすることではない。

【0036】

本明細書で、単数形は文句で特別に言及しない限り、複数形も含む。明細書で使用される‘含む’及び／又はこの動詞の様々な活用形、例えば‘含む’、‘含み’、等は言及された組成、成分、構成要素、段階、動作及び／又は素子は１つ以上の他の組成、成分、構成要素、段階、動作及び／又は素子の存在又は追加を排除しない。また、‘具備する’、‘有する’等もこれと同様に解析されなければならない。

【0037】

図２は本発明の一実施形態によるタワーリフトを説明するための概略的な構成図である。本発明の一実施形態によるタワーリフト２００は垂直方向に物を移送するために使用されることができる。例えば、半導体又はディスプレー製造設備が配置された複層の製造工場で各層への資材を移送するために使用されることができる。

【0038】

図２を参照すれば、タワーリフト２００はボディー２０２、キャリッジモジュール２２０、駆動ユニット２４０、ガイドレール２０４、そして間隔調節ユニット３００を含む。

【0039】

ボディー２０２は上下方向に延長される。キャリッジモジュール２２０はボディー２０２に沿って上下方向に移動可能するように提供される。一例で、キャリッジモジュール２２０はボディー２０２の前方に置かれる。一例で、キャリッジモジュール２２０は複数に提供される。例えば、キャリッジモジュール２２０は第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４を含む。これと異なりに、キャリッジモジュール２２０はさらに多い数に提供されることができる。

【0040】

キャリッジモジュール２２０はガイドホイール２０５、支持台２２、移動装置２４を具備する。ガイドホイール２０５は後述するガイドレール２０４に装着されてキャリッジモジュール２２０がボディー２０２と平行に移動されるようにする。支持台２２には搬送対象物が搭載される。一例で、搬送対象物は、半導体ウエハ、ガラス基板又はレチクル（Ｒｅｔｉｃｌｅ）のような資材が収容される容器２０である。一例で、容器２０はフープ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ：ＦＯＵＰ）であり得る。選択的に、容器２０はポッド（ＰＯＤ）であり得る。また、容器２０は複数の印刷回路基板を収納するためのマガジン、複数の半導体パッケージを収納するためのトレイ等であり得る。移動装置２４は支持台２２を伸張又は収縮させることができるロボットで提供される。キャリッジモジュール２２０は容器２０を把持するロボットを有してもよい。キャリッジモジュール２０は容器２０を移動させることができる様々な構造で変形されることができる。

【0041】

駆動ユニット２４０は、キャリッジモジュール２２０を上下方向に移動させる。一例で、駆動ユニット２４０は、駆動ベルト２４２、メーンプーリー２４１、そして回転装置２４３を含む。

【0042】

駆動ベルト２４２はボディー２０２に沿ってキャリッジモジュール２２０が移動されるようにする。第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４の中でいずれか１つは駆動ベルト２４２に直接又は間接的に装着されて駆動ベルト２４２と一体に移動する。メーンプーリー２４１と回転装置２４３は駆動ベルト２４２によってキャリッジモジュール２２０を上下方向に移動させることができるようにする。メーンプーリー２４１には駆動ベルト２４２が装着される。一例で、駆動ベルト２４２はタイミングベルト（Ｔｉｍｉｎｇ ｂｌｅｔ）で提供される。回転装置２４３はメーンプーリー２４１を回転させる。メーンプーリー２４１の回転によって駆動ベルト２４２が回転によってキャリッジモジュール２２０が上下方向に移動される。

【0043】

ガイドレール２０４は、キャリッジモジュール２２０がボディー２０２と並べた方向にボディー２０２を追従して移動されるようにする。ガイドレール２０４はボディー２０２に沿って上下方向にボディー２０２と互いに平行に延長される。キャリッジモジュール２２０にはガイドホイール２０５が提供されることができる。ガイドホイール２０５はガイドレール２０４に裝着され、キャリッジモジュール２２０をガイドレール２０４に沿って上下方向に案内する。例えば、キャリッジモジュール２２０にはガイドレール２０４に結合される２つのガイドホイール２０５がキャリッジモジュール２２０を２点支持するように裝着されることができる。

【0044】

一例で、駆動ユニット２４０はブレーキモジュール２５０そしてウェイトモジュール２４４（Ｗｅｉｇｈｔ Ｍｏｄｕｌｅ）をさらに含むことができる。ブレーキモジュール２５０は、駆動ベルト２４２が破断される場合、キャリッジモジュール２２０の墜落を防止するために提供される。一例で、ブレーキモジュール２５０は、ディスク等を利用してボディー２０２とディスクの摩擦力を利用してキャリッジモジュール２２０の墜落を防止するように構成されることができる。ウェイトモジュール２４４は駆動ベルト２４２に重量を課してキャリッジモジュール２２０の安定的な移送を図る。例えば、駆動ベルト２４２の一端にキャリッジモジュール２２０が連結され、駆動ベルト２４２の他端部にはウェイトモジュール２４４（Ｗｅｉｇｈｔ Ｍｏｄｕｌｅ）が連結されることができる。キャリッジモジュール２２０とウェイトモジュール２４４にはブレーキモジュール２５０に連結される均衡ベルト２４６が連結されることができる。

【0045】

間隔調節ユニット３００は、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔を調節する。以下、キャリッジモジュール２２０は第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４を有し、間隔調節ユニット３００は第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔を調節することと説明する。しかし、これと異なりに、キャリッジモジュール２２０はさらに多い数に提供されることができ、間隔調節ユニット３００は各キャリッジモジュール２２０の間隔を調節するように提供されることができる。以下、図２乃至図７を参照して間隔調節ユニット３００の実施形態に対して詳細に説明する。

【0046】

（実施例１）
図２は本発明の一実施形態による間隔調節ユニット３００ａを有するタワーリフト２００を示す。図２を参照すれば、間隔調節ユニット３００ａは、ベースプレート３２１と駆動部を有する。

【0047】

ベースプレート３２１は駆動ベルト２４２に装着される。駆動部はベースプレート３２１上で第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４の中でいずれか１つを他の１つに対して相対移動させる。一例で、駆動部は、駆動レール３２３と第１駆動装置３２２及び第２駆動装置３２４を有する。駆動レール３２３はベースプレート３２１上に提供される。駆動レール３２３上に第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４が搭載される。駆動レール３２３は駆動ベルト２４２と平行である方向に提供される。第１駆動装置３２２は第１キャリッジモジュール２２２を駆動レール３２３上で上下方向に移動させる。第２駆動装置３２４は第２キャリッジモジュール２２４を駆動レール３２３の上から上下方向に移動させる。一例で、第１駆動装置３２２と第２駆動装置３２４は各々モーターで提供される。しかし、第１駆動装置３２２と第２駆動装置３２４はこれに限定されななく、レールに沿って第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４を移動させることができる他の駆動装置で提供されることができる。上述した例では第１駆動装置３２２と第２駆動装置３２４が各々具備されることと説明した。しかし、これと異なりに第１駆動装置３２２と第２駆動装置３２４の中でいずれか１つのみが提供されて第１キャリッジモジュール２２２又は第２キャリッジモジュール２２４の中でいずれか１つを他の１つに相対移動させるように構成されることができる。

【0048】

第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４はベースプレート３２１に駆動レール３２３を媒介で結合される。即ち、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４はベースプレート３２１そして駆動レール３２３によって駆動ベルト２４２と間接的に結合される。駆動ベルト２４２が駆動されれば、ベースプレート３２１は駆動プレートによって上下方向に移動する。ベースプレート３２１が移動されることによって第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４は同時に上下方向に移動されるようになる。但し、第１駆動装置３２２と第２駆動装置３２４が提供されることによって、ベースプレート３２１上で第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４は独立的に移動されることができる。

【0049】

（実施例２）
図３は本発明の他の実施形態による間隔調節ユニット３００ｂを有するタワーリフト２００を示し、図４乃至図５は各々図３のペンタグラフ構造体３４４を示す。図３乃至図５を参照すれば、間隔調節ユニット３００ｂは、ペンタグラフ構造体３４４を有する。

【0050】

実施例２では、第１キャリッジモジュール２２２は駆動ベルト２４２に固定される。反面、第２キャリッジモジュール２２４は駆動ベルト２４２に固定されなく、後述するペンタグラフ（Ｐａｎｔｏｇｒａｐｈ）構造体３４４によって駆動ベルト２４２に間接的に結合される。第２キャリッジモジュール２２４は、駆動ベルト２４２に固定されないが、ガイドホイールによってガイドレール上に搭載されているので、上下方向の移動においてボディーと平行である方向を追従できるように提供される。

【0051】

ペンタグラフ構造体３４４は第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４を連結する。ペンタグラフ構造体３４４は、図４乃至図５に図示されたようにＸ字形の複数のリンクで構成される。ペンタグラフ構造体３４４は収縮又は伸張されて第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４の中でいずれか１つを他の１つに対して相対移動させる。ペンタグラフ構造体３４４はアクチュエータ３４２を有する。アクチュエータ３４２は第１キャリッジモジュール２２２又は第２キャリッジモジュール２２４に装着される。一例で、アクチュエータ３４２は第１キャリッジモジュール２２２に装着される。アクチュエータ３４２はペンタグラフ構造体３４４を図４のように伸張させるか、或いは図５のように収縮させることによって第２キャリッジモジュール２２４を第１キャリッジモジュール２２２に対して相対移動させる。

【0052】

第１キャリッジモジュール２２２は駆動ベルト２４２に固定され、第２キャリッジモジュール２２４はペンタグラフ構造体３４４を通じて駆動ベルト２４２に間接的に結合される。駆動ベルト２４２が駆動されれば、第１キャリッジモジュール２２２が上下方向に移動される。そして、第１キャリッジモジュール２２２とペンタグラフ構造体３４４を通じて結合された第２キャリッジモジュール２２４が第１キャリッジモジュール２２２と共に上下方向に移動される。但し、ペンタグラフ構造体３４４は、伸張又は収縮することによって第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔を調節することができる。したがって、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４は駆動ベルト２４２によって共に昇下降されるが、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔はペンタグラフ構造体３４４が最大の長さに伸張される時と最小の長さに収縮される時の長さ範囲に調節されることができる。

【0053】

（実施例３）
図６は本発明の他の実施形態による間隔調節ユニット３００ｃを有するタワーリフト２００を示し、図７は図６の間隔調節ユニット３００ｃを示す。図６乃至図７を参照すれば、間隔調節ユニット３００ｃは、連結部３６６、サブベルト３６４、サブプーリー３６２、そして回転部３６３を有する。

【0054】

実施例３では、第１キャリッジモジュール２２２は駆動ベルト２４２に固定される。反面、第２キャリッジモジュール２２４は駆動ベルト２４２に固定されなく、後述するサブベルト３６４によって駆動ベルト２４２に間接的に結合される。第２キャリッジモジュール２２４は、駆動ベルト２４２に固定されないが、ガイドホイールによってガイドレール上に搭載されているので、上下方向の移動においてボディーと平行である方向を追従できるように提供される。

【0055】

サブベルト３６４は、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４に装着されて第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４を連結する。サブベルト３６４はサブプーリー３６２に裝着され、回転部３６３はサブプーリー３６２を回転させてサブベルト３６４を移動させる。一例で、サブプーリー３６２は連結部３６６を通じて第１キャリッジモジュール２２２に装着される。一例で、サブベルト３６４は、一端がサブプーリー３６２に巻かれ、他端が結合部３６８によって第２キャリッジモジュール２２４と結合されることができる。サブプーリー３６２の一方向回転に応じて第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔を広げ、サブプーリー３６２の反対方向回転に応じて第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔を狭めるように提供されることができる。サブベルト３６４は、サブプーリー３６２と回転部３６３によって駆動ベルト２４２とは別に作動される。

【0056】

第１キャリッジモジュール２２２は駆動ベルト２４２に固定され、第２キャリッジモジュール２２４はサブベルト３６４を通じて駆動ベルト２４２に間接的に結合される。駆動ベルト２４２が駆動されれば、第１キャリッジモジュール２２２が上下方向に移動される。そして、第１キャリッジモジュール２２２とサブベルト３６４を通じて結合された第２キャリッジモジュール２２４が第１キャリッジモジュール２２２と共に上下方向に移動される。但し、サブベルト３６４は駆動ベルト２４２と別に作動されるので、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔を調節することができる。したがって、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４は駆動ベルト２４２によって共に昇下降されるが、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔はサブベルト３６４によって独立的に調節されることができる。

【0057】

以下、図８乃至図１２を参照して、本発明の半導体製造ライン８００に搬送対象物を搬送する方法に対して説明する。以下、実施形態１の間隔調節ユニット３００を利用して半導体製造ライン８００に搬送対象物を搬送することを例として説明する。しかし、これと異なりに、実施例２又は実施形態３の間隔調節ユニット３００を利用して搬送対象物を搬送することができる。

【0058】

以下、搬送対象物が搬送される目的地は複層構造を有する半導体製造ライン８００であることと説明する。しかし、これと異なりに目的地は半導体製造ラインではない複数の工程チャンバー等のような他の対象に提供されることができる。

【0059】

図８を参照すれば、半導体製造ライン８００は複層構造を有することができる。例えば、半導体製造ライン８００は第１層、第２層、第３層、そして第４層を有することができる。しかし、これに限定されることではなく、半導体製造ライン８００が有する複層構造は多様に変形されることができる。半導体製造ライン８００には半導体製造工程を遂行する半導体製造装置（図示せず）が提供されることができる。一例で、搬送対象物は基板が収納された容器２０であり、層の各々には基板を処理する装置又は基板を収納する容器２０を貯蔵するストッカーを提供されることができる。一例で、タワーリフト２００は半導体製造ライン８００の各層との間に物品が収納された容器２０を搬送することができる。

【0060】

半導体製造ライン８００の隣接する層間の距離の中でいずれか１つの距離は他の１つの距離と異なることができる。例えば、各層の高さは異なりに提供されることができる。第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４の全てが駆動ベルト２４２に直接結合されれば、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔は調節されることができない。したがって、各層の高さが異なりに提供される場合、いずれか１つのキャリッジモジュール２２０が搬送対象物を搬送する間に、他の１つのキャリッジモジュール２２０は搬送対象物を搬送することができない。これを防止するために、本発明は間隔調節ユニット３００が第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４との間の間隔を調節する。

【0061】

一例で、第１キャリッジモジュール２２２は４層と２層に各々容器２０を搬送し、第２キャリッジモジュール２２４は３層及び１層に容器２０を搬送する。

【0062】

以下、第１キャリッジモジュール２２２は４層及び２層に容器２０を搬送し、第２キャリッジモジュール２２４は３層及び１層に容器２０を搬送することと説明する。しかし、これに限定されななく、第１キャリッジモジュール２２２が第２キャリッジモジュール２２４より高い層に容器２０を搬送する様々な順序に容器２０を搬送することができる。

【0063】

先ず、図９に図示されたように駆動ベルト２４２を駆動して第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４を同時に昇降させる。第１キャリッジモジュール２２２が４層に対応される位置に置かれるか、又は第２キャリッジモジュール２２４が３層に対応される位置に置かれる場合、駆動ベルト２４２の駆動を停止する。一例で、第１キャリッジモジュール２２２が４層に対応される位置に置かれる場合、駆動ベルト２４２の駆動を停止することと説明する。その後、間隔調節モジュールに提供された第２駆動装置によって第２キャリッジモジュール２２４が３層に対応される位置に移動される。したがって、図１０に図示されたように、第１キャリッジモジュール２２２が４層に容器２０を搬送する間に第２キャリッジモジュール２２４は３層に容器２０を搬送することができる。

【0064】

選択的に、第２キャリッジモジュール２２４が３層に対応される位置に置かれる場合、駆動ベルト２４２の駆動を停止する。その後、間隔調節モジュールに提供された第１駆動装置によって第１キャリッジモジュール２２２が４層に対応される位置に移動されることができる。又は、これと異なりに、ベースプレート３２１が３層と４層に隣接する位置に移動された後に、第１駆動装置によって第１キャリッジモジュール２２２が４層に対応される位置に移動され、第２駆動装置によって第２キャリッジモジュール２２４が３層に対応される位置に移動されることができる。

【0065】

その後、第１キャリッジモジュール２２２は２層に容器２０を搬送し、第２キャリッジモジュール２２４は１層に容器２０を搬送する。図１１を参照すれば、駆動ベルト２４２を駆動して第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４を同時に下降させる。第１キャリッジモジュール２２２が２層に対応される位置に置かれるか、又は第２キャリッジモジュール２２４が１層に対応される位置に置かれる場合、駆動ベルト２４２の駆動を停止する。一例で、第１キャリッジモジュール２２２が２層に対応される位置に置かれる場合、駆動ベルト２４２の駆動を停止することと説明する。その後、間隔調節モジュールに提供された第２駆動装置によって第２キャリッジモジュール２２４が１層に対応される位置に移動される。したがって、図１２に図示されたように、第１キャリッジモジュール２２２が２層に容器２０を搬送する間に第２キャリッジモジュール２２４は１層に容器２０を搬送することができる。

【0066】

選択的に、第２キャリッジモジュール２２４が３層に対応される位置に置かれる場合、駆動ベルト２４２の駆動を停止する。その後、間隔調節モジュールに提供された第１駆動装置によって第１キャリッジモジュール２２２が４層に対応される位置に移動されることができる。又は、これと異なりに、ベースプレート３２１が３層と４層に隣接する位置に移動された後に、第１駆動装置によって第１キャリッジモジュール２２２が４層に対応される位置に移動され、第２駆動装置によって第２キャリッジモジュール２２４が３層に対応される位置に移動されることができる。

【0067】

上述した例では、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４が３層及び４層に容器２０を搬送した後に、１層及び２層に容器２０を搬送することと説明した。しかし、これと異なりに、１層及び２層に容器２０を搬送した後に、３層及び４層に容器２０を搬送することができる。

【0068】

上述した例では、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４は隣接する層に容器２０を搬送することと説明した。しかし、これと異なりに、第１キャリッジモジュール２２２が４層に容器２０を搬送する間に、第２キャリッジモジュール２２４は１層又は２層に容器２０を搬送することができる。又は、第１キャリッジモジュール２２２が３層に容器２０を搬送する間に第２キャリッジモジュール２２４は１層に容器２０を搬送することができる。

【0069】

本発明によれば、第１キャリッジモジュール２２２と第２キャリッジモジュール２２４間の間隔が調節されるので、搬送対象物の物動量を増加させることができる長所がある。

【0070】

以上の実施形態は本発明の理解を助けるために提示されたことであって、本発明の範囲を制限しなく、これから多様な変形可能な実施形態も本発明の範囲に属することであることを理解しなければならない。本発明の技術的保護範囲は特許請求範囲の技術的思想によって定められなければならないものであり、本発明の技術的保護範囲は特許請求範囲の文言的記載そのものに限定されることではなく、実質的には技術的価値が均等な範疇の発明に対してまで及ぶことであるを理解しなければならない。

【符号の説明】

【0071】

２０ 容器
２２ 支持台
２４ 移動装置
２００ ワーリフト
２０２ ボディー
２０４ ガイドレール
２０５ ガイドホイール
２２０ キャリッジモジュール
２４０ 駆動ユニット
２４１ メーンプーリー
２４２ 駆動ベルト
２４３ 回転装置
２４４ ウェイトモジュール
２４６ 均衡ベルト
２５０ ブレーキモジュール
３００ 間隔調節ユニット
３２１ ベースプレート
３２２、３２４ 駆動装置
３２３ 駆動レール
３４２ アクチュエータ
３４４ ペンタグラフ構造体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】