特許 7489445 加圧装置及び減光液供給システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-15

(45)【発行日】2024-05-23

(54)【発明の名称】加圧装置及び減光液供給システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20240516BHJP

   F04B 43/02 20060101ALI20240516BHJP

【ＦＩ】

H01L21/30 564C

F04B43/02 L

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2022188021

(22)【出願日】2022-11-25

(65)【公開番号】P2023082673

(43)【公開日】2023-06-14

【審査請求日】2022-11-25

(31)【優先権主張番号】10-2021-0171318

(32)【優先日】2021-12-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】518162784

【氏名又は名称】セメス カンパニー，リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100114775

【弁理士】

【氏名又は名称】高岡 亮一

(74)【代理人】

【識別番号】100121511

【弁理士】

【氏名又は名称】小田 直

(74)【代理人】

【識別番号】100202751

【弁理士】

【氏名又は名称】岩堀 明代

(74)【代理人】

【識別番号】100208580

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 玲奈

(74)【代理人】

【識別番号】100191086

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 香元

(72)【発明者】

【氏名】キム，ヘ キュン

(72)【発明者】

【氏名】キム，デ サン

(72)【発明者】

【氏名】ジュン，ウー シン

【審査官】小林 幹

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１６－５２１８１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１１／０００４１５８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０２０－１２８７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０２８０８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｆ０４Ｂ ４３／００－４３／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部空間を定義する壁面を含むハウジングと、
前記内部空間を第１空間と第２空間で分離する膜と、
前記第１空間と連通される第１インレットと、
前記第１空間と連通される第１アウトレットと、
前記第１空間と連通される第２アウトレットと、及び
前記第２空間と連通される加圧ガス用インレットと、を含み、
前記ハウジングは:
前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記第１方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、
前記第２方向による前記内部空間の幅は、前記第１方向による一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなる区間を含む加圧装置。

【請求項2】

前記第１インレットは、
前記ハウジングの第１側に隣接した上部に提供される請求項１に記載の加圧装置。

【請求項3】

前記第１アウトレットは、
前記ハウジングの前記第１側に隣接した下部に提供される請求項１に記載の加圧装置。

【請求項4】

前記第２アウトレットは、
前記ハウジングの前記第２側に隣接した下部に提供される請求項１に記載の加圧装置。

【請求項5】

前記膜は、
前記壁面のうちで前記第１側から前記第２側に行く壁面に提供される請求項１に記載の加圧装置。

【請求項6】

前記ハウジングの上側に前記第１空間と連通する気泡排出用アウトレットをさらに含む請求項１に記載の加圧装置。

【請求項7】

前記気泡排出用アウトレットは前記第２側に接するように提供される請求項６に記載の加圧装置。

【請求項8】

前記第２アウトレットの直径は、前記第１アウトレットの直径より小さな請求項１に記載の加圧装置。

【請求項9】

前記第２アウトレットはドレインラインと連結される請求項１に記載の加圧装置。

【請求項10】

前記ハウジングの上側に第２インレットと、及び
一端が第２アウトレットと連結されて他端が前記第２インレットと連結される循環ラインをさらに含む請求項１に記載の加圧装置。

【請求項11】

前記ハウジングの上側に第２インレットをさらに含み、
前記第２インレットは前記第１インレットより直径が小さな請求項１に記載の加圧装置。

【請求項12】

前記循環ラインと連結されるドレインラインをさらに含む請求項１０に記載の加圧装置。

【請求項13】

前記ハウジングの外側で前記膜と重畳されない位置に提供される一つ以上のレベルセンサーをさらに含む請求項１に記載の加圧装置。

【請求項14】

液を臨時貯蔵するバッファータンクと、
液を基板に吐出するノズルと、
前記バッファータンクと前記ノズルを引き継ぐ供給ライン上に提供される加圧装置を含み、
前記加圧装置は:
内部空間を定義する壁面を含み、前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記第１方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、前記第２方向による前記内部空間の幅は、前記第１方向による一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなる、ハウジングと、
前記壁面のうちで前記第１側から前記第２側に行く壁面に提供されて前記内部空間を第１空間と第２空間で分離する膜と、
前記第１側に隣接した上側に提供され、前記第１空間と連通して前記バッファータンクと連結される供給ラインと連結される第１インレットと、
前記第１側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通して前記ノズルと連結される供給ラインと連結される第１アウトレットと、
前記第２側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通してドレインラインと直接または間接的に連結される第２アウトレットと、及び
前記第２空間と連通して加圧ガスを供給する加圧ガス供給ラインと連結される加圧ガス用インレットと、を含む
減光液供給システム。

【請求項15】

前記ハウジングの上側に連結される気泡排出用ラインをさらに含む請求項１４に記載の減光液供給システム。

【請求項16】

前記第２アウトレットの直径は、前記第１アウトレットの直径より小さな請求項１４に記載の減光液供給システム。

【請求項17】

前記ハウジングの上側に前記第１空間と連通する第２インレットと、及び
一端が第２アウトレットと連結されて他端が前記第２インレットと連結される循環ラインをさらに含み、
前記ドレインラインは前記循環ラインと連結される請求項１４に記載の減光液供給システム。

【請求項18】

前記ハウジングの上側に第２インレットをさらに含み、
前記第２インレットは前記第１インレットより直径が小さな請求項１４に記載の減光液供給システム。

【請求項19】

制御機をさらに含み、
前記制御機は:
前記バッファータンクに貯蔵された液が前記加圧装置に満たされる時、前記加圧ガスを供給しない状態にして、
前記加圧装置が液で満たされた以後から前記加圧ガスを前記第２空間に供給して液を加圧する請求項１４に記載の減光液供給システム。

【請求項20】

液を臨時貯蔵するバッファータンクと、
液を基板に吐出するノズルと、及び
前記バッファータンクと前記ノズルを引き継ぐ供給ライン上に提供される加圧装置を含み、
前記加圧装置は:
内部空間を定義する壁面を含み、前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記第１方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、前記第２方向による前記内部空間の幅は、前記第１方向による一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなる、ハウジングと、
前記壁面のうちで前記第１側から前記第２側に行く壁面に提供されて前記内部空間を第１空間と第２空間で分離する膜と、
前記第１側に隣接した上側に提供され、前記第１空間と連通して前記バッファータンクと連結される供給ラインと連結される第１インレットと、
前記ハウジングの上側に前記第１空間と連通する第２インレットと、
前記第１側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通して前記ノズルと連結される供給ラインと連結される第１アウトレットと、
前記第２側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通してドレインラインと直接または間接的に連結される第２アウトレットと、
前記第２空間と連通して加圧ガスを供給する加圧ガス供給ラインと連結される加圧ガス用インレットと、及び
ハウジングの上側に連結される気泡排出用ラインを含み、
前記第２インレットは前記第１インレットより直径が小さく、
前記第２アウトレットの直径は、前記第１アウトレットの直径より小さい、
減光液供給システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、減光液を加圧する装置及びこれを含む減光液供給システムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

一般に半導体装置は、半導体基板で使用されるシリコンウェハー上に電気的な回路を形成するファブ(Fab)工程と、前記ファブ工程で形成された半導体装置らの電気的な特性を検査するEDS(electrical die sorting)工程と、前記半導体装置らをそれぞれエポキシ樹脂に封止して個別化させるためのパッケージ組み立て工程を通じて製造される。

【0003】

ファブ工程は半導体基板上に膜を形成するための蒸着工程と、膜を平坦化するための化学的機械的研磨工程と、膜上にフォトレジストパターンを形成するためのフォトリソグラフィ工程と、フォトレジストパターンを利用して膜を電気的な特性を有するパターンで形成するための蝕刻工程と、半導体基板の所定領域に特定イオンを注入するためのイオン注入工程と、半導体基板上の不純物を除去するための洗浄工程と、膜またはパターンが形成された半導体基板の表面を検査するための検査工程などを含む。

【0004】

前記のような単位工程らのうちででフォトリソグラフィ工程は半導体基板上に減光膜(photoresist film)を形成し、これを硬化させる工程と、半導体基板上に形成された減光膜を所望の感光パターンで形成するために所定部位を除去する露光工程及び現像工程を含む。

【0005】

一般に減光膜は、次のように形成される。先ず、半導体基板を回転チャック上に載せた後、前記半導体基板上の中心部位に減光液を供給し、半導体基板を回転させる。半導体基板の回転力によって半導体基板上の中心部位に供給された減光液は半導体基板の周縁部位に押し出され、これによって、減光膜が形成される。

【0006】

減光液は減光液供給システムによって供給される。減光液供給システムの減光液供給距離は実際半導体装置の製造工程で約４乃至５m程度の長さを有する。減光液供給距離は供給ラインの長さに対応されることができるし、供給ライン、各種バルブら及びポンプを通過する間に減光液には微細な気泡が発生される。発生された微細な気泡らは供給ラインを通過する間に核拡散され、初期に約１mm以下で約１００mm程度の大きさを有する気泡で成長する。気泡を有する減光液が半導体基板に供給される場合、半導体基板上に不均一な減光膜が形成され、これは感光パターンの不良を引き起こし、後続工程での追加的な工程不良を発生させる。

【0007】

これに供給ライン上に設置されて減光液を加圧する加圧装置が提供される。加圧装置は、内部に空間を有して、膜によって空間が分離される。一空間は減光液が満たされ、他の空間は減光液を加圧する加圧ガスが満たされる空間である。加圧装置は一方向に長いパイプ形態を有していることによって、減光液を加圧する膜の収縮及び膨張範囲が狭くて、パイプ形状の端部には膜が結合される構造が提供されなければならないことによって、供給ラインと連結される部分に特殊仕様のフィッティングを適用しなければならなかったし、一つのインレット、一つのアウトレットのみを有することができる。また、加圧装置内部のバブルを除去する効率が低く、加圧装置内部に満たされた減光液の容量を測定することが難しい。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は、基板を効率的に処理することができる加圧装置及び減光液供給システムを提供することを一目的とする。

【0009】

本発明は、加圧装置内部のバブル除去効率が高い加圧装置を提供することを一目的とする。

【0010】

本発明は、加圧装置の内部容量測定のためのレベルセンサーの付着が可能であることで、加圧装置内部に収容された減光液の容量測定の不確実性を改善することができる加圧装置を提供することを一目的とする。

【0011】

本発明は、加圧装置の内部容量が拡大され、設置空間の活用度が増加されることができる加圧装置を提供することを一目的とする。

【0012】

本発明は、複数個のインレットと複数個のアウトレットを提供可能な加圧装置を提供することを一目的とする。

【0013】

本発明の目的はこれに制限されないし、言及されなかったまた他の目的らは下の記載から当業者に明確に理解されることができるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明は、減光液を加圧する加圧装置を提供する。一実施例において、加圧装置は、内部空間を定義する壁面を含むハウジングと、前記内部空間を第１空間と第２空間で分離する膜と、前記第１空間と連通される第１インレットと、前記第１空間と連通される第１アウトレットと、前記第１空間と連通される第２アウトレットと、及び前記第２空間と連通される加圧ガス用インレットと、を含み、前記ハウジングは:前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記第１方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、前記第２方向による前記内部空間の幅は、前記第１方向による一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなる区間を含む。

【0015】

一実施例において、前記第１インレットは、前記ハウジングの第１側に隣接した上部に提供されることができる。

【0016】

一実施例において、前記第１アウトレットは、前記ハウジングの前記第１側に隣接した下部に提供されることができる。

【0017】

一実施例において、前記第２アウトレットは、前記ハウジングの前記第２側に隣接した下部に提供されることができる。

【0018】

一実施例において、前記膜は、前記壁面のうちで前記第１側から前記第２側に行く壁面に提供されることができる。

【0019】

一実施例において、前記ハウジングの上側に前記第１空間と連通する気泡排出用アウトレットをさらに含むことができる。

【0020】

一実施例において、前記気泡排出用アウトレットは前記第２側に接するように提供されることができる。

【0021】

一実施例において、前記第２アウトレットの直径は、前記第１アウトレットの直径より小さいことがある。

【0022】

一実施例において、前記第２アウトレットはドレインラインと連結されることができる。

【0023】

一実施例において、前記ハウジングの上側に第２インレットと、及び一端が第２アウトレットと連結されて他端が前記第２インレットと連結される循環ラインをさらに含むことができる。

【0024】

一実施例において、前記ハウジングの上側に第２インレットをさらに含み、前記第２インレットは前記第１インレットより直径が小さいことがある。

【0025】

一実施例において、前記循環ラインと連結されるドレインラインをさらに含むことができる。

【0026】

一実施例において、前記ハウジングの外側で前記膜と重畳されない位置に提供される一つ以上のレベルセンサーをさらに含むことができる。

【0027】

また、本発明は減光液供給システムを提供する。一実施例において、減光液供給システムは、液を臨時貯蔵するバッファータンクと、液を基板に吐出するノズルと、前記バッファータンクと前記ノズルを引き継ぐ供給ライン上に提供される加圧装置を含み、前記加圧装置は:内部空間を定義する壁面を含み、前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記一方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、前記第２方向による幅は一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなるハウジングと、前記壁面のうちで前記第１側から前記第２側に行く壁面に提供されて前記内部空間を第１空間と第２空間で分離する膜と、前記第１側に隣接した上側に提供され、前記第１空間と連通して前記バッファータンクと連結される供給ラインと連結される第１インレットと、前記第１側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通して前記ノズルと連結される供給ラインと連結される第１アウトレットと、前記第２側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通してドレインラインと直接または間接的に連結される第２アウトレットと、及び前記第２空間と連通して加圧ガスを供給する加圧ガス供給ラインと連結される加圧ガス用インレットと、を含み、前記ハウジングは:前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記第１方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、前記第２方向による前記内部空間の幅は、前記第１方向による一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなる区間を含む。

【0028】

一実施例において、前記ハウジングの上側に連結される気泡排出用ラインをさらに含むことができる。

【0029】

一実施例において、前記第２アウレットの直径は、前記第１アウレットの直径より小さいことがある。

【0030】

一実施例において、前記ハウジングの上側に前記第１空間と連通する第２インレットと、及び一端が第２アウトレットと連結されて他端が前記第２インレットと連結される循環ラインをさらに含み、前記ドレインラインは前記循環ラインと連結されることができる。

【0031】

一実施例において、前記ハウジングの上側に第２インレットをさらに含み、前記第２インレットは前記第１インレットより直径が小さいことがある。

【0032】

一実施例において、制御機をさらに含み、前記制御機は:前記バッファータンクに貯蔵された液が前記加圧装置に満たされる時、前記加圧ガスを供給しない状態にして、前記加圧装置が液で満たされた以後から前記加圧ガスを前記第２空間に供給して液を加圧することができる。

【0033】

本発明の他の観点による実施例の減光液供給システムは、液を臨時貯蔵するバッファータンクと、液を基板に吐出するノズルと、及び前記バッファータンクと前記ノズルを引き継ぐ供給ライン上に提供される加圧装置を含み、前記加圧装置は:内部空間を定義する壁面を含み、前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記一方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、前記第２方向による幅は一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなるハウジングと、前記壁面のうちで前記第１側から前記第２側に行く壁面に提供されて前記内部空間を第１空間と第２空間で分離する膜と、前記第１側に隣接した上側に提供され、前記第１空間と連通して前記バッファータンクと連結される供給ラインと連結される第１インレットと、前記ハウジングの上側に前記第１空間と連通する第２インレットと、前記第１側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通して前記ノズルと連結される供給ラインと連結される第１アウトレットと、前記第２側に隣接した下側に提供され、前記第１空間と連通してドレインラインと直接または間接的に連結される第２アウトレットと、前記第２空間と連通して加圧ガスを供給する加圧ガス供給ラインと連結される加圧ガス用インレットと、及びハウジングの上側に連結される気泡排出用ラインを含み、前記第２インレットは前記第１インレットより直径が小さく、前記第２アウレットの直径は、前記第１アウレットの直径より小さく、前記ハウジングは:前記内部空間の横断面は第１方向の幅が広くて、前記一方向と垂直な第２方向の幅が狭くて、前記第２方向による前記内部空間の幅は、前記第１方向による一側である第１側から他側である第２側に行くほど細くなる区間を含む。

【発明の効果】

【0034】

本発明の多様な実施例によれば、基板を効率的に処理することができる。

【0035】

本発明の多様な実施例によれば、加圧装置内部のバブル除去効率が高い。

【0036】

本発明の多様な実施例によれば、加圧装置の内部容量測定のためのレベルセンサーの付着が可能なことで、加圧装置内部に収容された減光液の容量測定の不確実性を改善することができる。

【0037】

本発明の多様な実施例によれば、加圧装置の内部容量拡がって、設置空間の活用度が増加されることができる。

【0038】

本発明の多様な実施例によれば、加圧装置に複数個のインレットと複数個のアウトレットを提供することができる。

【0039】

本発明の効果が上述した効果らに限定されるものではなくて、言及されない効果らは本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に明確に理解されることができるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0040】

【図1】本発明の一実施例による減光液供給システムを表現する図面である。

【図2】本発明の第１実施例による加圧装置の側面図である。

【図3】図２の加圧装置の断面図である。

【図4】加圧装置に減光液が満たされる状態の図面である。

【図5】加圧装置に減光液がいっぱい満たされた状態の図面である。

【図6】加圧装置に減光液が満たされるうちに膜の位置と第１空間及び第２空間の容積を表現した図面である。

【図7】加圧装置に減光液が満たされた状態で第１空間を加圧する状態の図面である。

【図8】加圧装置に減光液が満たされた状態で第１空間を加圧することによって変化した第１空間及び第２空間の容積を表現した図面である。

【図9】ノズルを通じて減光液を基板に供給する状態の図面である。

【図10】加圧装置に満たされた減光液をドレインする状態の図面である。

【図11】ノズルに供給される時の減光液が流れるルートとドレインされる時減光液が流れるルートを説明する。

【図12】ドレインになる時減光液が流れる方向によって減光液に圧力が加えられる原理を説明する図面である。

【図13】本発明の第２実施例による加圧装置とこれを含む一実施例による減光液供給システムを表現した図面である。

【図14】本発明の第２実施例による加圧装置の側面図である。

【図15】本発明の第２実施例による加圧装置とこれを含む他の実施例による減光液供給システムを表現した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0041】

以下では添付した図面を参照にして本発明の実施例に対して本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者が容易に実施できるように詳しく説明する。しかし、本発明はいろいろ相異な形態で具現されることができるし、ここで説明する実施例で限定されない。また、本発明の望ましい実施例を詳細に説明するにおいて、関連される公知機能または構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曇ることがあると判断される場合にはその詳細な説明を略する。また、類似機能及び作用をする部分に対しては図面全体にかけて等しい符号を使用する。

【0042】

ある構成要素を‘包含'するということは、特別に反対される記載がない限り他の構成要素を除くことではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。具体的に，“含む”または“有する”などの用語は明細書上に記載した特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとすることであって、一つまたはその以上の他の特徴らや数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものなどの存在または付加可能性をあらかじめ排除しないものとして理解されなければならない。

【0043】

第１、第２などの用語は、多様な構成要素らを説明することに使用されることができるが、前記構成要素らは前記用語らによって限定されてはいけない。前記用語らは一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的だけで使用される。例えば、本発明の権利範囲を脱しないのに第１構成要素は、第２構成要素で命名されることができるし、類似に第２構成要素も第１構成要素で命名されることができる。

【0044】

単数の表現は文脈上明白に異なるように志さない限り、複数表現を含む。また、図面で要素らの形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。

【0045】

図１は、本発明の一実施例による減光液供給システムを表現する。

【0046】

減光液供給システム１０００はバッファータンク２０と加圧装置１００と第１供給ライン５１、第２供給ライン５２及び第３供給ライン５３を含む供給ラインを含む。

【0047】

バッファータンク２０はボトル１０に貯蔵された減光液を臨時貯蔵する構成である。バッファータンク２０の一側には水位感知センサー(図示せず)らが設置されて減光液の水位を感知して適正水位まで減光液が継続的に充電されるようにする。バッファータンク２０とボトル１０は第１供給ライン５１によって連結される。第１供給ライン５１の端部はボトル１０の底面まで延長されて減光液の水位より低く位置される。ボトル１０には第１加圧ガス供給ライン１１が結合される。第１加圧ガス供給ライン１１は第１加圧ガス供給源１５とボトル１０を連結する。第１加圧ガス供給ライン１１には第１バルブ１３が設置されることができる。第１バルブ１３は第１加圧ガス供給ライン１１を通じる加圧ガスの流れを制御することができる。例えば、第１バルブ１３は加圧ガスの流れを開閉するか、または、加圧ガスが流れる量を調節することができる。第１加圧ガス供給ライン１１の端部は減光液がいっぱいになる水位より高く位置される。第１加圧ガス供給ライン１１を通じて供給される加圧ガスは減光液の表面を加圧する。減光液が加圧されれば圧力差によって第１供給ライン５１を通じて減光液が排出される。

【0048】

加圧装置１００はバッファータンク２０からノズル３０に向ける供給系統を流れる減光液を加圧する構成である。例えば、加圧装置１００は第２供給ライン５２と第３供給ライン５３を通じる減光液を加圧する。第２供給ライン５２はバッファータンク２０と加圧装置１００を引き継ぐ。第３供給ライン５３は加圧装置１００とノズル３０を引き継ぐ。第２供給ライン５２には第２バルブ５２aが設置される。第２バルブ５２aは第２供給ライン５２を通じる減光液の流れを制御することができる。例えば、第２バルブ５２aは減光液の流れを開閉するか、または、減光液が流れる量を調節することができる。第３供給ライン５３には第３バルブ５３aが設置される。第３バルブ５３aは第３供給ライン５３を通じる減光液の流れを制御することができる。例えば、第３バルブ５３aは減光液の流れを開閉するか、または、減光液が流れる量を調節することができる。第３供給ライン５３にはポンプ５３bが設置される。ポンプ５３bは吸入及び排出動作によって発生される流動圧によって加圧装置１００に貯蔵されている減光液をノズル３０に定量供給する。ポンプ５３bは加圧装置１００からウェハー１回分の減光液をポンプ室(図示せず)に吸入しておいて、塗布処理時にノズル３０に一定な圧力及び流量で減光液を排出するものである。実施例において、ポンプ５３bは液体定量ポンプ(Metering pump)であることがある。

【0049】

ノズル３０は基板(S)に対して減光液を供給する構成である。ノズル３０は第３供給ライン５３と連結されてポンプ５３bによって定量供給される減光液を基板(S)に吐出する。

【0050】

図２は、本発明の第１実施例による加圧装置の側面図である。図３は図２の加圧装置の断面図である。図１に図２及び図３をさらに参照して、加圧装置１００を詳細に説明する。

【0051】

実施例の加圧装置１００はハウジング１１０、膜１３０、第１インレット１５１、第１アウトレット１５２、気泡排出用アウトレット１５３、第２アウトレット１５４、加圧ガス用インレット１５５、レベルセンサー１９０を含む。

【0052】

ハウジング１１０は内部空間を形成する。内部空間はハウジング１１０による内壁面１１０aによって定義される。内部空間は膜１３０によって第１空間１１１と第２空間１１２で分離される。膜１３０は第１空間１１１と第２空間１１２を流体の移動が不可能になるように完全に分離する。膜１３０は第１膜１３１と第２膜１３２を含むことができる。本実施例による加圧装置１００はハウジング１１０の側面がパイプ型より横幅が広い形状であり、これによってパイプ型より長さをつづめることができることで、設置が易しくて加圧することができる容量が大きい。また、パイプ型の場合には膜が接合する部分のために特殊フィッティングを使用しなければならないが、本実施例の場合ハウジング１１０の上部及び下部に所望のサイズのインレットとアウトレットを設定することができる。

【0053】

ハウジング１１０の内壁面１１０aによって定義される内部空間は、その横断面を見る時、第１方向(x)の幅が広くて、第１方向(x)と垂直な第２方向(y)の幅が狭い。第２方向(y)による内部空間の幅は、第１方向(x)による一側である第１側(A)で他側である第２側(B)にいくほど細くなる第１区間(Section１)を含む。膜１３０は第１区間(Section１)に提供される。実施例において、第１膜１３１は第１区間(Section１)のうちで第２方向(y)による上側内壁面に提供され、第２膜１３２は第１区間(Section１)のうちで第２方向(y)による下側内壁面に提供される。

【0054】

第１インレット１５１はハウジング１１０の上部に提供される。第１インレット１５１は第１空間１１１と連通する。第１インレット１５１はハウジング１１０で第１側(A)と隣接した上部に提供される。第１インレット１５１は第２供給ライン５２と連結される。

【0055】

第１アウトレット１５２はハウジング１１０の下部に提供される。第１アウトレット１５２はハウジング１１０で第１側(A)と隣接した上部に提供される。第１アウトレット１５２は第１空間１１１と連通する。第１アウトレット１５２は第３供給ライン５３と連結される。

【0056】

気泡排出用アウトレット１５３はハウジング１１０の上側に提供される。気泡排出用アウトレット１５３は第２側(B)に接するように提供される。気泡排出用アウトレット１５３は気泡排出用ライン６３と連結される。気泡排出用アウトレット１５３は気泡排出用ライン６３と連結される。気泡排出用ライン６３には気泡排出バルブ６３aが設置される。気泡排出バルブ６３aは気泡排出用ライン６３の開閉を制御する。気泡排出用ライン６３を開放して加圧装置１００の第１空間１１１で生成される気泡を加圧装置１００の外部に排出することができる。

【0057】

第２アウトレット１５４はハウジング１１０の下部に提供される。第２アウトレット１５４はハウジング１１０で第２側(B)と隣接した上部に提供される。第２アウトレット１５４は第１空間１１１と連通する。第２アウトレット１５４の流体が通じる直径(d４)は第１アウトレット１５２の流体が通じる直径(d２)より小さい。第２アウトレット１５４はドレインライン６１と連結される。ドレインライン６１にはドレインバルブ６１aが設置される。ドレインバルブ６１aはドレインライン６１の開閉を制御する。ドレインバルブ６１aを開放して加圧装置１００の第１空間１１１に満たされた減光液をドレインすることができる。

【0058】

加圧ガス用インレット１５５はハウジング１１０の側部に提供される。加圧ガス用インレット１５５は第２空間１１２と連通する。加圧ガス用インレット１５５は第２加圧ガス供給ライン７１と連結される。第２加圧ガス供給ライン７１は加圧装置１００と第２加圧ガス供給源７５を引き継ぐ。第２加圧ガス供給ライン７１には第４バルブ７１a及びレギュレーター７１bが設置される。第４バルブ７１aは第２加圧ガス供給ライン７１を通じる加圧ガスの流れを制御することができる。例えば、第４バルブ７１aは加圧ガスの流れを開閉するか、または、加圧ガスが流れる量を調節することができる。第４バルブ７１aは三方バルブで提供されることができる。第４バルブ７１aはベントライン７２と連結される。ベントライン７２は第４バルブ７１aによって開閉が制御されることができる。レギュレーター７１bは第２空間１１２に供給される加圧ガスの圧力を一定に維持させる。実施例において、第２空間１１２は第１膜１３１と第２膜１３２によって２ヶ所に形成されることができるし、第２加圧ガス供給ライン７１は第２-１加圧ガス供給ライン７１１と第２-２加圧ガス供給ライン７１２に分岐されてそれぞれの第２空間１１２に連結される。

【0059】

レベルセンサー１９０は膜１３０がない位置に提供される。実施例において、レベルセンサー１９０は第２側(B)に複数個提供される。レベルセンサー１９０は加圧装置１００内部に充電された減光液の容量を測定する構成である。膜１３０は収縮及び膨脹することによってレベルセンサー１９０が水位を測定することを邪魔する。レベルセンサー１９０が膜１３０と重ならない位置に提供されることによって、膜１３０によって影響を受けないで減光液の水位を測定することができる。

【0060】

図４乃至図１０は、本発明の第１実施例による加圧装置を含む一実施例による減光液供給システムの使用方法を説明する図面であり、時間によって順次に並べたものである。

【0061】

図４は、加圧装置に減光液が満たされる状態の図面である。図５は、加圧装置に減光液がいっぱい満たされた状態の図面である。減光液が加圧装置にいっぱい満たされるまで、[表１]のように制御する。

【表1】

【0062】

図６は、加圧装置に減光液が満たされるうちに膜の位置と第１空間及び第２空間の容積を表現したものである。第４バルブ７１aの加圧ガス供給源７５側が閉鎖され、ドレインライン７２側が開放されることで、第１空間１１１に減光液が満たされることによって第１空間１１１の容積が大きくなる。

【0063】

図７は、加圧装置に減光液が満たされた状態で第１空間を加圧する状態の図面である。加圧装置１００に減光液が満たされた状態で[表２]のように制御する。

【表2】

【0064】

図８は、加圧装置に減光液が満たされた状態で第１空間を加圧することによって変化した第１空間及び第２空間の容積を表現したものである。第２空間１１２には加圧ガスが満たされて容積が大きくなるようになって、これによって第１空間１１１は加圧されて容積が減る。第１空間１１１の内部容積が減りながら圧力が上昇するようになることによって減光液は加圧される。

【0065】

図９は、ノズルを通じて減光液を基板に供給する状態の図面である。加圧装置１００を通じて減光液が陽圧で維持された状態でポンプ５３bによって第３供給ライン５３に乗ってノズル３０に伝達された減光液は基板(S)に液が供給される。減光液が加圧装置１００で排出されることによって減光液が減っても加圧ガスの供給によって第２空間１１２の容積が広くなりながら、減光液は持続的に加圧される。基板(S)に減光液が供給される状態では[表３]のように制御する。

【表3】

【0066】

図１０は、加圧装置に満たされた減光液をドレインする状態の図面である。加圧装置１００で減光液がドレインされる状態では[表４]のように制御する。

【表4】

【0067】

実施例によれば、第１インレット１５１を通じて早く減光液を満たすことができるし、減光液をノズル３０に送る時は、第１アウトレット１５２を通じて排出して流速が低い状態で減光液の安全性を確保した状態で充電と吐出することができる。反面、ドレインをする時は第１アウトレット１５２より直径が小さな第２アウトレット１５４を通じて減光液をドレインして、第２アウトレット１５４は第２側(B)に提供されるので、第１インレット１５１から第２アウトレット１５４に流れる過程で減光液の圧力が変化されることができるので、バブル(Bubble)の活性度を高めてバブル排出が容易になる。すなわち、第１側(A)と第２側(B)のハウジング１１０内部形状が非対称であるために圧力変化を起こすことができるし、バブル排出が容易である。図１１は、ノズルに供給される時の減光液が流れるルート(Route１)とドレインされる時減光液が流れるルート(Route２)とを説明する。図１２は、ドレインになる時減光液が流れる方向によって減光液に圧力が加えられる原理を説明する図面である。減光液がドレインされる時にバブル排出が容易な事項は図１１及び図１２を通じて説明される。

【0068】

図１３は、本発明の第２実施例による加圧装置とこれを含む一実施例による減光液供給システムを表現した図面である。図１４は、本発明の第２実施例による加圧装置の側面図である。図１３及び図１４を参照して第２実施例による加圧装置１１００と減光液供給システム２０００を説明する。第２実施例に対する説明で、第１実施例と等しい構成は、第１実施例での図面符号と等しい符号を使って、第１実施例での説明で替える。

【0069】

第２実施例による加圧装置１１００は、第２インレット１５６をさらに含む。第２インレット１５６はハウジング１１０の上側に第１空間１１１と連通するように提供される。第２インレット１５６の直径(d５)は第１インレット１５１の直径(d１)より小さい。第２供給ライン５２には三方バルブ５２bが設置される。三方バルブ５２bの１次側はバッファータンク２０と連結される。三方バルブ５２bの２次側のうちで一つは加圧装置１１００の第１インレット１５１と連結される。また、三方バルブ５２bの２次側のうちで他の一つは加圧装置１１００の第２インレット１５６と連結される。これで、加圧装置１００に減光液を満たすことにおいて、直径がお互いに相異な第１インレット１５１と第２インレット１５６のうちで何れか一つを選択することができる。例えば、初期セットアップ時には直径が小さな第２インレット１５６を利用して流速が早い形態で減光液を充電して一定時間加圧して上部にバブルを移動させた後、第１インレット１５１を通じて減光液を追加供給することができる。

【0070】

図１５は、本発明の第２実施例による加圧装置とこれを含む他の実施例による減光液供給システムを表現した図面である。図１５を参照して減光液供給システム３０００を説明する。本説明で、前述した実施例と等しい構成は、前述した実施例での図面符号と等しい符号を使って、前述した実施例での説明で替える。

【0071】

加圧装置１１００の第２インレット１５６は循環ライン６５の一端と連結される。循環ライン６５の他端は第２アウトレット１５４と連結される。ドレインライン６１は循環ライン６５と連結される。循環ライン６５には循環ポンプ６５aが設置される。循環ポンプ６５aは循環ライン６５を通じて減光液が循環されるように圧力を提供する。ドレインライン６１と循環ライン６５が連結される部分には三方バルブ６１bが設置される。三方バルブ６１bは第２アウトレット１５４で加圧装置１１００から排出された減光液をドレインライン６１にドレインさせることと、循環ライン６５に循環させることのうちで何れか一つを選択するようにすることができる。加圧装置１１００は第２インレット１５６と第２アウトレット１５４を提供することによって循環ライン６５を連結することができて、減光液を循環させる機能を具現することができる。

【0072】

一方、前述して説明した実施例だけではなく、第１膜１３１と第２膜１３２の収縮と膨張程度をお互いに異なるようにすることができる。例えば、第１膜１３１と第２膜１３２をお互いに異なる素材を使用するか、または選択的に加圧する方法を適用することができる。これを通じて、加圧装置内部についているバブルを除去する方案を多様に具現することができる。

【0073】

以上の実施例らは本発明の理解を助けるために提示されたものであり、本発明の範囲を制限しないし、これから多様な変形可能な実施例らも本発明の範囲に属するものであることを理解しなければならない。本発明で提供される図面は本発明の最適の実施例を図示したものに過ぎない。本発明の技術的保護範囲は特許請求範囲の技術的思想によって決まらなければならないし、本発明の技術的保護範囲は特許請求範囲の文言的記載その自体で限定されるものではなく、実質的には技術的価値が均等な範疇の発明まで及ぶものであることを理解しなければならない。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】