特許7489770半導体製造装置のパイプを通して流体の流れを測定するための装置

発明の名称　半導体製造装置のパイプを通して流体の流れを測定するための装置

出願人　ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング　（識別番号 591004412）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3945 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7489770

公報発行日　2024年5月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7489770

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