特許 7490440 処理装置、開閉機構およびリンク機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-17

(45)【発行日】2024-05-27

(54)【発明の名称】処理装置、開閉機構およびリンク機構

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/3065 20060101AFI20240520BHJP

   H01L 21/205 20060101ALI20240520BHJP

【ＦＩ】

H01L21/302 101M

H01L21/205

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2020079959

(22)【出願日】2020-04-30

(65)【公開番号】P2021174952

(43)【公開日】2021-11-01

【審査請求日】2023-02-02

(73)【特許権者】

【識別番号】511265154

【氏名又は名称】ＳＰＰテクノロジーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(74)【代理人】

【識別番号】100155608

【弁理士】

【氏名又は名称】大日方 崇

(72)【発明者】

【氏名】太田 和也

【審査官】原島 啓一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－２１６１６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０２９８４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１８５５３４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｈ０１Ｌ ２１／２０５

Ｈ０１Ｌ ２１／３０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３１

Ｈ０１Ｌ ２１／３６５

Ｈ０１Ｌ ２１／４６１

Ｈ０１Ｌ ２１／４６９

Ｈ０１Ｌ ２１／６７－２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／８６

Ｂ０１Ｊ ３／００－３／０８

Ｃ２３Ｃ １６／００－１６／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を処理するチャンバ本体と、
前記チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、
前記蓋体を前記チャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、
前記開閉機構は、
前記蓋体が前記チャンバ本体を覆う下降位置と、前記蓋体が前記チャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に前記蓋体を上下移動させる昇降機構と、
前記蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、
前記蓋体および前記回転機構を前記チャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記回転機構に連結され、複数のジョイントと前記複数のジョイントを接続するリンクとを有し、前記回転機構のスライド移動に連動して前記蓋体を回転させるように前記回転機構を動作させるリンク機構と、を含む、処理装置。

【請求項2】

基板を処理するチャンバ本体と、
前記チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、
前記蓋体を前記チャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、
前記開閉機構は、
前記蓋体が前記チャンバ本体を覆う下降位置と、前記蓋体が前記チャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に前記蓋体を上下移動させる昇降機構と、
前記蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、
前記蓋体および前記回転機構を前記チャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記回転機構に連結され、前記回転機構のスライド移動に連動して前記蓋体を回転させるように前記回転機構を動作させるリンク機構と、を含み、
前記リンク機構は、前記蓋体のスライド方向の位置と回転量とが一対一で対応するように、前記回転機構のスライド移動に連動して前記回転機構を動作させる、処理装置。

【請求項3】

基板を処理するチャンバ本体と、
前記チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、
前記蓋体を前記チャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、
前記開閉機構は、
前記蓋体が前記チャンバ本体を覆う下降位置と、前記蓋体が前記チャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に前記蓋体を上下移動させる昇降機構と、
前記蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、
前記蓋体および前記回転機構を前記チャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記回転機構に連結され、前記回転機構のスライド移動に連動して前記蓋体を回転させるように前記回転機構を動作させるリンク機構と、を含み、
前記回転機構は、前記蓋体が取り付けられる取付部を有し、
前記回転軸と前記蓋体を含む回転部分の重心位置との間の第１距離が、前記回転軸と前記取付部との間の第２距離よりも小さい、処理装置。

【請求項4】

基板を処理するチャンバ本体と、
前記チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、
前記蓋体を前記チャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、
前記開閉機構は、
前記蓋体が前記チャンバ本体を覆う下降位置と、前記蓋体が前記チャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に前記蓋体を上下移動させる昇降機構と、
前記蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、
前記蓋体および前記回転機構を前記チャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記回転機構に連結され、前記回転機構のスライド移動に連動して前記蓋体を回転させるように前記回転機構を動作させるリンク機構と、を含み、
前記リンク機構は、前記回転機構の横方向へのスライド移動に連動して、回転するとともに上下に往復移動するように構成されたスライダクランク機構である、処理装置。

【請求項5】

前記回転機構は、前記回転軸が前記蓋体を含む回転部分の重心位置を通過するように設けられた回転軸部を有する、請求項１～４のいずれか１項に記載の処理装置。

【請求項6】

前記回転機構は、前記蓋体が取り付けられる取付部を有し、
前記回転軸と前記蓋体を含む回転部分の重心位置との間の第１距離が、前記回転軸と前記取付部との間の第２距離よりも小さい、請求項１、２または４に記載の処理装置。

【請求項7】

前記スライド機構は、前記蓋体が前記チャンバ本体の直上に位置する第１位置と、前記蓋体が前記チャンバ本体に対して横方向に退避した第２位置との間で、前記蓋体をスライド移動させ、
前記リンク機構は、前記蓋体が前記第１位置から前記第２位置に近付くに従って前記蓋体の回転量を増大させるように構成されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の処理装置。

【請求項8】

前記リンク機構は、前記回転機構の横方向へのスライド移動に連動して、回転するとともに上下に往復移動するように構成されたスライダクランク機構である、請求項１～３のいずれか１項に記載の処理装置。

【請求項9】

前記スライド機構は、前記蓋体が前記チャンバ本体の直上に位置する第１位置と、前記蓋体が前記チャンバ本体に対して横方向に退避した第２位置との間で、前記蓋体をスライド移動させ、
前記スライド機構は、スライド方向に固定された第１部材と、前記第１部材に対して前記第１位置側へ突出する位置と前記第２位置側へ退避した位置とにスライド可能に前記蓋体に取り付けられた第２部材と、を含む、請求項１～８のいずれか１項に記載の処理装置。

【請求項10】

前記上昇位置の前記蓋体がスライドおよび回転された状態で、前記蓋体を含む回転部分の下端部が前記チャンバ本体の上面よりも下方となる位置に配置される、請求項１～９のいずれか１項に記載の処理装置。

【請求項11】

容器本体を覆うように設けられる蓋体を前記容器本体から開閉する開閉機構であって、
前記蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、
前記蓋体および前記回転機構を前記容器本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記回転機構に連結され、複数のジョイントと前記複数のジョイントを接続するリンクとを有し、前記回転機構のスライド移動に連動して前記蓋体を回転させるように前記回転機構を動作させるリンク機構と、を備える、開閉機構。

【請求項12】

容器本体を覆うように設けられる蓋体を前記容器本体から開閉する開閉機構であって、
前記蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、
前記蓋体および前記回転機構を前記容器本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記回転機構に連結され、前記回転機構のスライド移動に連動して前記蓋体を回転させるように前記回転機構を動作させるリンク機構と、を備え、
前記リンク機構は、前記蓋体のスライド方向の位置と回転量とが一対一で対応するように、前記回転機構のスライド移動に連動して前記回転機構を動作させる、開閉機構。

【請求項13】

固定体を覆うように設けられる移動体を前記固定体から着脱するリンク機構であって、
前記移動体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、
前記移動体および前記回転機構を前記固定体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記回転機構に連結され、前記回転機構のスライド移動に連動して回転するとともに上下に往復移動することにより、前記移動体を回転させるように前記回転機構を動作させるスライダクランク機構と、を備える、リンク機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、処理装置、開閉機構およびリンク機構に関し、特に、蓋体（移動体）が開閉（着脱）される処理装置、開閉機構およびリンク機構に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、メンテナンス作業のために蓋体を開閉する処理装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

【0003】

上記特許文献１には、チャンバ本体と、チャンバ本体の上に開閉可能に設けられた蓋体と、蓋体を開閉する開閉装置とを備えた処理装置が開示されている。この処理装置の開閉装置は、蓋体がチャンバ本体に接触せずに垂直方向に回転可能な位置まで蓋体を上昇させる昇降機構と、蓋体を垂直方向に回転させる回転機構と、蓋体が垂直状態でチャンバ本体と重ならない位置まで蓋体をスライドさせるスライド機構と、を有する。昇降機構、回転機構およびスライド機構はそれぞれモータを有し、制御部により動作が制御される。

【0004】

処理装置のメンテナンスの際、まず、昇降機構により、チャンバ本体に接触せずに垂直方向に回転可能な位置まで蓋体が上昇される。この状態で、回転機構により、蓋体が１／４回転されて垂直な状態とされる。次に、スライド機構により蓋体がチャンバ本体から外れる位置までスライドされる。これにより、チャンバ本体の上方に蓋体が存在しない状態となってチャンバ本体の内部のメンテナンスが可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第５５９５２０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上記特許文献１では、蓋体をチャンバ本体から脱離させる際に、昇降機構によって、蓋体を回転させてもチャンバ本体に接触しない位置まで蓋体を上昇させる。このため、少なくとも回転機構による蓋体の回転半径よりも大きい距離だけ蓋体を移動させる必要がある。蓋体と一体で回転する付属物が蓋体に設けられている場合、蓋体を含む回転部分の回転半径は更に大きくなる。その結果、上記特許文献１では、蓋体の回転時の蓋体とチャンバ本体との接触を回避するために、蓋体の上方への移動量（すなわち、蓋体とチャンバ本体との上下方向の間隔）を大きく確保する必要があるという問題点がある。

【0007】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、蓋体（移動体）を開閉（着脱）する際に、蓋体を回転させる場合でも、蓋体（移動体）の上方への移動量を抑制することが可能な処理装置、開閉機構およびリンク機構を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による処理装置は、基板を処理するチャンバ本体と、チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、蓋体をチャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、開閉機構は、蓋体がチャンバ本体を覆う下降位置と、蓋体がチャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に蓋体を上下移動させる昇降機構と、蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、蓋体および回転機構をチャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、回転機構に連結され、複数のジョイントと複数のジョイントを接続するリンクとを有し、回転機構のスライド移動に連動して蓋体を回転させるように回転機構を動作させるリンク機構と、を含む。

【0009】

この発明の第１の局面による処理装置では、上記のように、上昇位置で蓋体を横方向にスライド移動させると、回転機構に連結されたリンク機構によって、蓋体がスライド移動に連動して回転する。これにより、蓋体をチャンバ本体から横方向に退避させながら蓋体を回転させることができる。つまり、単純にチャンバ本体の上方に停止した状態で蓋体を回転させる場合に蓋体の一部がチャンバ本体と接触する高さ位置でも、蓋体の横方向移動によって、回転する蓋体の一部をチャンバ本体から非接触となる側方位置へ逃がしつつ、蓋体を回転させることができる。この結果、蓋体を着脱する際に、蓋体を回転させる場合でも、蓋体の上方への移動量を抑制することができる。さらに、リンク機構によって蓋体がスライド移動と連動して回転するので、蓋体をスライド移動させた後に回転させる場合と異なり、蓋体をスライドさせるだけで容易かつ速やかに蓋体を回転させることができる。
この発明の第２の局面による処理装置は、基板を処理するチャンバ本体と、チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、蓋体をチャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、開閉機構は、蓋体がチャンバ本体を覆う下降位置と、蓋体がチャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に蓋体を上下移動させる昇降機構と、蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、蓋体および回転機構をチャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、回転機構に連結され、回転機構のスライド移動に連動して蓋体を回転させるように回転機構を動作させるリンク機構と、を含み、リンク機構は、蓋体のスライド方向の位置と回転量とが一対一で対応するように、回転機構のスライド移動に連動して回転機構を動作させる。
この発明の第３の局面による処理装置は、基板を処理するチャンバ本体と、チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、蓋体をチャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、開閉機構は、蓋体がチャンバ本体を覆う下降位置と、蓋体がチャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に蓋体を上下移動させる昇降機構と、蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、蓋体および回転機構をチャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、回転機構に連結され、回転機構のスライド移動に連動して蓋体を回転させるように回転機構を動作させるリンク機構と、を含み、回転機構は、蓋体が取り付けられる取付部を有し、回転軸と蓋体を含む回転部分の重心位置との間の第１距離が、回転軸と取付部との間の第２距離よりも小さい。
この発明の第４の局面による処理装置は、基板を処理するチャンバ本体と、チャンバ本体の上部を覆う蓋体と、蓋体をチャンバ本体から開閉する開閉機構とを備え、開閉機構は、蓋体がチャンバ本体を覆う下降位置と、蓋体がチャンバ本体から上方に離れた上昇位置と、に蓋体を上下移動させる昇降機構と、蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、蓋体および回転機構をチャンバ本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、回転機構に連結され、回転機構のスライド移動に連動して蓋体を回転させるように回転機構を動作させるリンク機構と、を含み、リンク機構は、回転機構の横方向へのスライド移動に連動して、回転するとともに上下に往復移動するように構成されたスライダクランク機構である。

【0010】

上記第１～第４の局面による処理装置において、好ましくは、回転機構は、回転軸が蓋体を含む回転部分の重心位置を通過するように設けられた回転軸部を有する。このように構成すれば、蓋体を回転軸回りに回転させる際の慣性モーメントやアンバランスを最小化できる。その結果、蓋体を容易に回転させることができる。

【0011】

上記第１、第２または第４の局面による処理装置において、好ましくは、回転機構は、蓋体が取り付けられる取付部を有し、回転軸と蓋体を含む回転部分の重心位置との間の第１距離が、回転軸と取付部との間の第２距離よりも小さい。これにより、重心位置が回転軸上にない場合でも、回転軸が重心位置に十分近付くので、蓋体を回転軸回りに回転させる際の慣性モーメントを効果的に低減できる。そのため、蓋体の回転を容易に行える。

【0012】

上記第１～第４の局面による処理装置において、好ましくは、スライド機構は、蓋体がチャンバ本体の直上に位置する第１位置と、蓋体がチャンバ本体に対して横方向に退避した第２位置との間で、蓋体をスライド移動させ、リンク機構は、蓋体が第１位置から第２位置に近付くに従って蓋体の回転量を増大させるように構成されている。なお、蓋体の回転量は、第１位置における蓋体を基準とした蓋体の回転角度である。これにより、スライド方向の特定の位置で急激に蓋体が回転するのではなく、蓋体のスライド移動に伴って徐々に蓋体を回転させることができる。その結果、蓋体を回転させるための負荷の急激な増大を抑制できる。

【0013】

上記第１～第３の局面による処理装置において、好ましくは、リンク機構は、回転機構の横方向へのスライド移動に連動して、回転するとともに上下に往復移動するように構成されたスライダクランク機構である。このように構成すれば、リンク機構が動作する方向を主として上下方向に向けることができるので、リンク機構が占めるスペースを蓋体の退避方向(スライド方向)に狭くすることができる。したがって、蓋体やチャンバ本体のメンテナンス作業時にリンク機構が邪魔になることを抑制できる。

【0014】

上記第１～第４の局面による処理装置において、好ましくは、スライド機構は、蓋体がチャンバ本体の直上に位置する第１位置と、蓋体がチャンバ本体に対して横方向に退避した第２位置との間で、蓋体をスライド移動させ、スライド機構は、スライド方向に固定された第１部材と、第１部材に対して第１位置側へ突出する位置と第２位置側へ退避した位置とにスライド可能に蓋体に取り付けられた第２部材と、を含む。このように構成すれば、第２部材を蓋体とともに第２位置側へ退避させることができる。これにより、退避状態での蓋体やチャンバ本体のメンテナンス作業時に、第１部材が第１位置付近で作業の邪魔になることが回避されるので、メンテナンス作業性を向上させることができる。

【0015】

上記第１～第４の局面による処理装置において、好ましくは、上昇位置の蓋体がスライドおよび回転された状態で、蓋体を含む回転部分の下端部がチャンバ本体の上面よりも下方となる位置に配置される。この構成による上昇位置では、仮に上昇位置の蓋体をその場で回転させた場合にチャンバ本体と接触することになる。これに対して、リンク機構によって蓋体のスライド移動と回転とを連動させる本発明によれば、回転部分の下端部をチャンバ本体に接触させることなく、チャンバ本体の上面よりも下方となる位置まで回転させることができる。したがって、昇降機構による蓋体の上方への移動量を効果的に抑制できる。

【0016】

この発明の第５の局面による開閉機構は、容器本体を覆うように設けられる蓋体を容器本体から開閉する開閉機構であって、蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、蓋体および回転機構を容器本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、回転機構に連結され、複数のジョイントと複数のジョイントを接続するリンクとを有し、回転機構のスライド移動に連動して蓋体を回転させるように回転機構を動作させるリンク機構と、を備える。

【0017】

この発明の第５の局面による開閉機構では、上記第１の局面と同様に、容器本体の上方に停止した状態で蓋体を回転させる場合に蓋体の一部が容器本体と接触する高さ位置でも、蓋体の横方向移動によって、回転する蓋体の一部を容器本体から非接触となる側方位置へ逃がしつつ、蓋体を回転させることができる。この結果、蓋体を着脱する際に、蓋体を回転させる場合でも、蓋体の上方への移動量を抑制することができる。さらに、リンク機構によって蓋体がスライド移動と連動して回転するので、蓋体をスライド移動させた後に回転させる場合と異なり、蓋体をスライドさせるだけで容易に蓋体を回転させることができる。
この発明の第６の局面による開閉機構は、容器本体を覆うように設けられる蓋体を容器本体から開閉する開閉機構であって、蓋体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、蓋体および回転機構を容器本体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、回転機構に連結され、回転機構のスライド移動に連動して蓋体を回転させるように回転機構を動作させるリンク機構と、を備え、リンク機構は、蓋体のスライド方向の位置と回転量とが一対一で対応するように、回転機構のスライド移動に連動して回転機構を動作させる。

【0018】

この発明の第７の局面によるリンク機構は、固定体を覆うように設けられる移動体を固定体から着脱するリンク機構であって、移動体を水平方向の回転軸回りに回転可能に支持する回転機構と、移動体および回転機構を固定体に対して横方向にスライド可能に支持するスライド機構と、回転機構に連結され、回転機構のスライド移動に連動して回転するとともに上下に往復移動することにより、移動体を回転させるように回転機構を動作させるスライダクランク機構と、を備える。

【0019】

この発明の第７の局面によるリンク機構では、上記第１の局面と同様に、固定体の上方に停止した状態で移動体を回転させる場合に移動体の一部が固定体と接触する高さ位置でも、移動体の横方向移動によって、回転する移動体の一部を固定体から非接触となる側方位置へ逃がしつつ、移動体を回転させることができる。この結果、移動体を着脱する際に、移動体を回転させる場合でも、移動体の上方への移動量を抑制することができる。さらに、スライダクランク機構によって移動体がスライド移動と連動して回転するので、移動体をスライド移動させた後に回転させる場合と異なり、移動体をスライドさせるだけで容易に移動体を回転させることができる。また、移動体を回転させるためにスライダクランク機構が動作する方向を主として上下方向に向けることができるので、スライダクランク機構が占めるスペースを移動体の退避方向である横方向(スライド方向)に狭くすることができる。したがって、スライダクランク機構を設ける場合でも、退避状態で固定体の上方領域周辺のスペースを大きく確保できる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、上記のように、蓋体（移動体）を着脱する際に、蓋体を回転させる場合でも、蓋体（移動体）の上方への移動量を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】処理装置の模式的な斜視図である。

【図2】蓋体をチャンバ本体に取り付けた状態の拡大側面図である。

【図3】蓋体を第１位置でチャンバ本体から上昇させた状態の拡大側面図である。

【図4】蓋体を第２位置へスライド移動させた状態の拡大側面図である。

【図5】スライド機構、回転機構およびリンク機構を示した拡大側面図である。

【図6】スライド機構、回転機構およびリンク機構を示した拡大斜視図である。

【図7】回転部分の重心位置と回転機構の回転軸との位置関係を説明するための図である。

【図8】第１位置におけるスライド機構、回転機構およびリンク機構を示した模式図である。

【図9】回転機構が第１位置と第２位置との間にある状態を示した模式図である。

【図10】第２位置におけるスライド機構、回転機構およびリンク機構を示した模式図である。

【図11】スライダクランク機構の構造を説明するための模式図である。

【図12】スライダクランク機構の構成例（変形例）を説明するための模式図である。

【図13】変形例による回転部分の重心位置と回転機構の回転軸との位置関係を説明するための図である。

【図14】変形例によるリンク機構の動作の流れを説明する図（Ａ）～（Ｃ）である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

【0023】

（処理装置の構成）
図１～図１２を参照して、本実施形態による処理装置１００の構成について説明する。なお、処理装置１００は、基板（図示せず）を搬送する搬送装置２００に隣り合うように設けられている。また、処理装置１００は、図示しない搬入出口を介して搬送装置２００により搬送された基板を処理するように構成されている。

【0024】

図１に示すように、処理装置１００は、チャンバ本体１０を備えている。チャンバ本体１０は、内部に略円筒状の空間１１が形成されている。但し、空間１１の形状は、矩形や多角形状であってもよい。チャンバ本体１０は、内部の空間１１において、基板を処理するように構成されている。また、チャンバ本体１０の外形は、略直方体形状を有する。なお、チャンバ本体１０は、特許請求の範囲の「容器本体」および「固定体」の一例である。

【0025】

また、処理装置１００は、蓋体２１を備えている。蓋体２１は、チャンバ本体１０の上方に配置されている。蓋体２１は、チャンバ本体１０の上部を覆うように設けられている。蓋体２１は、チャンバ本体１０の内部の空間１１を密閉するように構成されている。また、蓋体２１は、略円筒形状を有する。

【0026】

蓋体２１の内部の空間には、基板を処理するための構造が設けられている。たとえば、処理装置１００は、ドライエッチング装置であり、蓋体２１の内部にはプラズマを発生させるプラズマ源が収容されている。また、蓋体２１の後部には、電気回路を収容する収容部２２が設けられている、収容部２２には、たとえば高周波電源に接続された整合器が設けられている。整合器は、高周波電源とプラズマ源とのインピーダンス整合を行う。

【0027】

また、処理装置１００は、開閉機構３０を備えている。開閉機構３０は、蓋体２１をチャンバ本体１０から開閉（着脱）するように構成されている。開閉機構３０によって蓋体２１がチャンバ本体１０から取り外されることにより、チャンバ本体１０の内部の空間１１が開放される。図１は、開閉機構３０によって蓋体２１がチャンバ本体１０の直上位置へ移動された状態を示している。

【0028】

開閉機構３０は、主として、処理装置１００のメンテナンス作業の際に用いられる。蓋体２１がチャンバ本体１０から取り外された状態で、チャンバ本体１０の内部の空間１１のメンテナンスや、蓋体２１の内部の空間のメンテナンスなどが行われる。基板の処理時は、蓋体２１がチャンバ本体１０に取り付けられ空間１１が密閉された状態とされる。

【0029】

本明細書では、便宜的に、水平方向のうち、処理装置１００が搬送装置２００に向かうＹ１方向を処理装置１００の前方とし、Ｙ１方向の反対となるＹ２方向を処理装置１００の後方とし、前後方向をＹ方向とする。水平方向のうち、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。Ｘ方向およびＹ方向と直交するＺ方向が上下方向である。Ｙ方向が、基板の搬入出方向である。メンテナンス作業は、作業者が処理装置１００のＸ方向側からチャンバ本体１０や蓋体２１にアクセスすることにより実施される。

【0030】

（開閉機構の詳細な構成）
以下、開閉機構３０の詳細な構成について説明する。

【0031】

図１に示すように、開閉機構３０は、昇降機構４０と、回転機構５０と、スライド機構６０と、リンク機構７０と、を含む。開閉機構３０は、１つの昇降機構４０と、１つの回転機構５０と、１つのスライド機構６０と、１つのリンク機構７０とから構成されるユニットを、一対（２つ）有する。開閉機構３０は、蓋体２１に対してＸ方向の両側に配置された一対のユニットにより、蓋体２１をＸ方向両側から移動可能に支持している。一対のユニットの各昇降機構４０は、チャンバ本体１０が固定状態で設けられた処理装置１００の本体部５に設置されている。一対のユニットは、蓋体２１を中心にＸ方向に対称であるもの、構造は実質的に同一であるので、以下では、一方側のユニットについてのみ説明する。

【0032】

本実施形態では、開閉機構３０は、作業者が手動で操作することにより動作する。つまり、開閉機構３０（昇降機構４０、回転機構５０、スライド機構６０、リンク機構７０）には、電動モータなどの駆動源や駆動源の制御装置が設けられていない。

【0033】

〈昇降機構〉
昇降機構４０は、蓋体２１を上下移動させるように構成されている。昇降機構４０は、蓋体２１がチャンバ本体１０を覆う下降位置Ｐｚ１（図２参照）と、蓋体２１がチャンバ本体１０から上方に離れた上昇位置Ｐｚ２（図３、図４参照）と、に蓋体２１を移動させることが可能に構成されている。昇降機構４０は、スライド機構６０および回転機構５０を介して蓋体２１を上下方向に移動可能に支持している。

【0034】

図３に示すように、昇降機構４０は、直動機構によって構成される。昇降機構４０は、上下方向のガイド柱４１と、上下方向の駆動力を伝達するネジ軸４２とを有する。ガイド柱４１は、蓋体２１の移動を案内する。ネジ軸４２には、蓋体２１と連結されたナット部４３が取り付けられている。ネジ軸４２の回転により、ナット部４３が上下に移動する。

【0035】

昇降機構４０は、手動の入力機構４４を含む。図１の例では、入力機構４４は、ハンドル４４ａの回転をネジ軸４２の回転に変換する。なお、一対のユニットの入力機構４４同士は、ハンドル４４ａの回転を伝達するための伝達軸によって連結されている。Ｘ方向の一方側のユニットに設けられたハンドル４４ａを回転させることで、両方のユニットの昇降機構４０が動作する。なお、昇降機構４０の駆動源は、電動モータや油圧でも良い。

【0036】

また、昇降機構４０は、昇降機構４０による昇降動作をアシストする付勢部材４５を含む。付勢部材４５は、上下方向に延びるとともに、下端部が処理装置１００の本体部５（図１参照）に固定され、上端部がナット部４３に連結されている。付勢部材４５は、ナット部４３を上方向に付勢するように設けられている。付勢部材４５により、入力機構４４を動かす（ネジ軸４２を回転させる）際の作業者の負荷が軽減される。付勢部材４５は、たとえばガススプリングにより構成されている。

【0037】

〈スライド機構〉
図１に示すように、スライド機構６０は、重量物である蓋体２１および収容部２２を上下方向に支持する。また、スライド機構６０は、蓋体２１および回転機構５０をチャンバ本体１０に対して横方向にスライド可能に支持するように構成されている。横方向は、水平面内のどの方向でもよいが、本実施形態では、スライド機構６０は、処理装置１００の前後方向（Ｙ方向）に蓋体２１をスライドさせる。スライド機構６０は、蓋体２１を水平面内でスライドさせる。蓋体２１の位置が横方向に変化すればよいので、スライド機構６０は、蓋体２１を水平方向から上方または下方に傾いた方向にスライドさせてもよい。

【0038】

スライド機構６０は、蓋体２１がチャンバ本体１０の直上に位置する第１位置Ｐｙ１（図３参照）と、蓋体２１がチャンバ本体１０に対して横方向に退避した第２位置Ｐｙ２（図４参照）との間で、蓋体２１をスライド移動させるように構成されている。

【0039】

図５に示すように、スライド機構６０は、Ｙ方向に固定されたスライド部材６１と、スライド部材６１に対してスライド可能に蓋体２１に取り付けられたスライドレール６２と、を含む。スライド部材６１およびスライドレール６２は、それぞれ、特許請求の範囲の「第１部材」および「第２部材」の一例である。スライド部材６１は、スライドレール６２に係合状態で回転するローラである。スライド部材６１は、昇降機構４０のナット部４３に連結された支持部材６３に取り付けられている。図５の例では、スライド部材６１がＹ方向に沿って複数（４つ）並んで設けられている。支持部材６３には、ナット部４３が固定される接続部６３ａと、ガイド柱４１のガイド溝４１ａ内を転動する昇降用ローラ６３ｂとが取り付けられている。昇降用ローラ６３ｂとガイド柱４１とによって、支持部材６３（およびスライド部材６１）は、Ｙ方向に拘束されている（移動不能となっている）。

【0040】

スライドレール６２は、支持部材６３およびスライド部材６１とＸ方向に向かい合う（図６参照）ように設けられている。スライドレール６２は、Ｙ方向に沿って直線状に延びる。スライドレール６２はＹ方向に延びる凹溝６２ａを有し、凹溝６２ａ内に４つのスライド部材６１が係合状態で配置されている。スライドレール６２は、４つのスライド部材６１との係合によって、Ｚ方向およびＸ方向に拘束され、Ｙ方向に移動可能である。なお、スライドレール６２を支持部材６３に固定して、蓋体２１に取り付けたスライド部材６１をスライド可能に構成してもよい。

【0041】

スライド機構６０は、スライド可能範囲を決める図示しない規制部材（ストッパー）を有する。第１位置Ｐｙ１がＹ１方向側の移動端であり、第２位置Ｐｙ２がＹ２方向側の移動端である。また、スライド機構６０では、たとえばボールプランジャなどの図示しない係止部材により、第１位置Ｐｙ１、第２位置Ｐｙ２におけるスライドレール６２の位置決めと仮固定とが行われる。

【0042】

〈回転機構〉
図１に示したように、回転機構５０は、蓋体２１に対してＸ方向に隣り合うように配置され、Ｘ方向外側から蓋体２１に連結されている。蓋体２１は、一対のユニットの各回転機構５０によって、Ｘ方向両側から支持されている。回転機構５０は、蓋体２１を水平方向の回転軸ＲＡ（図５参照）回りに回転可能に支持するように構成されている。本実施形態では、回転軸ＲＡはＸ方向の軸線である。回転機構５０は、スライド機構６０に支持されており、昇降機構４０によってスライド機構６０と一体的にＺ方向に昇降し、スライドレール６２と一体的にＹ方向にスライド移動される。

【0043】

図５に示すように、回転機構５０は、回転軸部５１を有する。回転機構５０は、回転軸部５１においてスライド機構６０（スライドレール６２側）に対して回転可能に連結されている。回転軸部５１は、軸および軸受（ベアリング）を含む。回転機構５０は、蓋体２１が取り付けられる取付部５２を有する。回転機構５０が回転軸部５１を中心に回転することによって、取付部５２に固定された蓋体２１が回転機構５０と一体的に回転する。

【0044】

図６に示すように、取付部５２は、回転軸部５１とは異なる位置に設けられている。回転軸部５１と取付部５２とが回転板部５３によりつながっている。取付部５２および回転板部５３は回転軸部５１に対して一体的に回転する。

【0045】

図７に示すように、本実施形態では、回転軸部５１は、回転軸ＲＡが蓋体２１を含む回転部分２０の重心位置ＭＧを通過するように設けられている。回転部分２０とは、蓋体２１と、蓋体２１と一体的に回転する付属物とを含み、回転機構５０によって回転される構造全体を意味する。回転部分２０には、蓋体２１の後部に設けられた収容部２２が含まれる。回転軸ＲＡの位置および重心位置ＭＧは、数学的には一点に定まるが、実際上は公差などを考慮して、たとえば図７のように回転軸ＲＡに沿う方向（Ｘ方向）から見て、回転軸部５１の直径（外径）Ｄａの範囲内に重心位置ＭＧが収まっていれば、回転軸ＲＡが重心位置ＭＧを通過すると考えてよい。この場合でも、回転軸回りの慣性モーメントやアンバランスを十分に低減でき、蓋体２１を回転させるときに必要な回転トルクは大差ないためである。

【0046】

回転機構５０は、蓋体２１を、略１／４回転（約９０度回転）させるように構成されている。すなわち、回転機構５０は、蓋体２１（蓋体２１の下面）が水平面に沿う第１姿勢（図３参照）と、蓋体２１が垂直面（ＸＺ平面）に沿う第２姿勢（図４参照）と、の間で蓋体２１を回動させることが可能である。

【0047】

なお、図７に示したように、蓋体２１は、下側の第１部分２１ａと、上側の第２部分２１ｂとに分離可能に構成されている。回転機構５０の取付部５２は、蓋体２１のうち上側の第２部分２１ｂに接続されている。開閉機構３０は、第１部分２１ａと第２部分２１ｂとが結合された状態では、蓋体２１の全体を開閉させる。開閉機構３０は、第１部分２１ａと第２部分２１ｂとが分離可能な状態では、第２部分２１ｂを第１部分２１ａから分離させて開閉させる。これにより、第２部分２１ｂのメンテナンス作業を容易に行える。

【0048】

〈リンク機構〉
図６に示すように、リンク機構７０は、複数のジョイントと、複数のジョイントを接続するリンクとによって所望の動作を行うように構成された機構である。リンク機構７０は、回転機構５０に連結されている。リンク機構７０は、回転機構５０のスライド移動に連動して蓋体２１を回転させるように回転機構５０を動作させる。リンク機構７０は、回転機構５０のスライド移動に伴ってリンク機構７０自体が回転し、この回転によって回転機構５０の取付部５２を回転軸ＲＡ回りに回転させる。

【0049】

リンク機構７０は、蓋体２１が第１位置Ｐｙ１（図８参照）にあるとき、回転機構５０を介して蓋体２１を水平な第１姿勢にし、蓋体２１が第２位置Ｐｙ２（図１０参照）にあるとき、回転機構５０を介して蓋体２１を垂直な第２姿勢にするように構成されている。

【0050】

図８～図１０に示すように、リンク機構７０は、蓋体２１が第１位置Ｐｙ１から第２位置Ｐｙ２に近付くに従って蓋体２１の回転量θを増大させる。第１姿勢と第２姿勢との間の回転量は９０度である。つまり、第１位置Ｐｙ１における第１姿勢の蓋体２１を回転量θ＝０度とした場合に、第２位置Ｐｙ２に近付くほど回転量θがθ＝９０度に近付く。回転量θは、第２位置Ｐｙ２に向けて単調増加する。リンク機構７０は、蓋体２１が第２位置Ｐｙ２から第１位置Ｐｙ１に移動する場合、逆の経路で蓋体２１の回転量θを単調減少させる。リンク機構７０は、蓋体２１（すなわち、回転機構５０）のスライド方向（Ｙ方向）の位置と回転量とを一対一で対応させるように構成されている。

【0051】

リンク機構７０は、回転機構５０の横方向へのスライド移動に連動して、回転するとともに上下に往復移動するように構成されたスライダクランク機構である。

【0052】

具体的には、図８に示すように、リンク機構７０は、上下方向に延びるとともにスライド方向に固定されたスライダガイド部７１と、スライダガイド部７１に沿って往復動作するスライダ部７２と、一端が回転機構５０と連結され、他端がスライダ部７２に回動可能に連結されたリンク部７３とを含む。

【0053】

スライダガイド部７１は、スライド機構６０の支持部材６３（図５参照）に固定されている。スライダガイド部７１は、上下方向に直線状に延びるガイドロッドである。スライダガイド部７１は、ガイドレールまたはガイド溝、スリットなどでもよい。

【0054】

スライダ部７２は、スライダガイド部７１に対して摺動可能に取り付けられている。スライダ部７２（図５参照）は、ガイドロッドが挿通されたガイドブッシュ（筒状部材）である。スライダ部７２は、スライダガイド部７１に対してＺ方向に移動可能で、スライダガイド部７１に対してＸ方向およびＹ方向には移動不能である。リンク機構７０が動作する過程で、スライダ部７２はスライダガイド部７１に沿ってＺ方向に往復移動する。

【0055】

リンク部７３は、回転機構５０と一体的に回転するように回転機構５０に連結されている。具体的には、リンク部７３は、回転機構５０の回転軸部５１と取付部５２とを繋ぐ回転板部５３に設けられている。リンク部７３は、一端７３ａ側が回転板部５３および回転軸部５１を介してスライド機構６０（スライドレール６２側）に対して回転可能に接続し、Ｌ字状に屈曲し、他端７３ｂ側がスライダ部７２まで延びている。リンク部７３は、他端７３ｂ部において回転軸７４を介してスライダ部７２に接続している。

【0056】

図８～図１０は、リンク機構７０の動作の過程を示している。図８～図１０では、蓋体２１の姿勢を説明するため、便宜的に、取付部５２に取り付けられた蓋体２１を点線の矩形枠によって模式的に図示している。

【0057】

図８に示すように、第１位置Ｐｙ１では、蓋体２１が第１姿勢に保持され、リンク機構７０のスライダ部７２は上死点（ストロークの上限位置）に位置する。

【0058】

蓋体２１が第２位置Ｐｙ２へ向けてＹ２方向へ移動されると、リンク部７３の一端７３ａ側がＹ２方向へ動かされる。リンク部７３の他端７３ｂ側のスライダ部７２はＹ方向に移動しないので、リンク部７３がスライダ部７２を下方向に押し下げつつ回転軸７４回りに回転される。図９に示すように、第１位置Ｐｙ１と第２位置Ｐｙ２との間の第３位置で、リンク機構７０のスライダ部７２は下死点（ストロークの下限位置）に位置し、このとき蓋体２１は斜めに回転された状態となる。図９および図１０では、蓋体２１の回転途中の状態を二点鎖線で示している。

【0059】

蓋体２１が中間位置を越えてＹ２方向へ移動されると、リンク部７３の一端７３ａ側がさらにＹ２方向へ動かされる。これにより、リンク部７３がスライダ部７２を上方向に引き上げつつ回転軸７４回りに回転される。図１０に示すように、蓋体２１が第２位置Ｐｙ２に到達すると、リンク機構７０が９０度回転され、リンク機構７０のスライダ部７２は上死点に戻る。

【0060】

このようなリンク機構７０の構成は、いわゆる両スライダクランク連鎖機構に相当する。図１１に模式図で示すように、構造上、リンク機構７０は、リンク部７３の一端７３ａ側に、回転機構５０（回転軸部５１）により構成される第１ジョイントと、スライド機構６０により構成されるＹ方向の第１スライダとを有する。そして、リンク機構７０は、リンク部７３の他端７３ｂ側に、回転軸７４により構成される第２ジョイントと、スライダ部７２により構成される第２スライダとを有する。リンク部７３と回転機構５０とが連結されることにより、第１スライダの移動に連動して第１ジョイント（回転機構５０）およびこれに取り付けられた蓋体２１が回転する。リンク機構７０は、このような構造を有していればよく、たとえばリンク部７３の形状等は任意である。図１１において、ハッチングを付した部分は、第２スライダ（スライダ部７２）が下死点に達する第３位置である。

【0061】

図１１の例では、第１位置Ｐｙ１でリンク部７３が４５度に傾斜しており、第３位置で蓋体２１が４５度回転する。第１位置Ｐｙ１と第３位置との間の蓋体２１の移動距離と、第２位置Ｐｙ２と第３位置との間の蓋体２１の移動距離とは、等しい。第３位置は、第１位置Ｐｙ１と第２位置Ｐｙ２との中点になる。図１２の場合、第１位置Ｐｙ１でリンク部７３が３０度に傾斜しており、第３位置では蓋体２１が６０度回転する。第３位置は、第１位置Ｐｙ１よりも第２位置Ｐｙ２側に近い位置となる。リンク機構７０は、このような構成であってもよい。

【0062】

（回転部分と固定部分との位置関係）
以上の構成を有する開閉機構３０では、図３に示したように、昇降機構４０は、下降位置Ｐｚ１と上昇位置Ｐｚ２との間の距離Ｄ１１だけ蓋体２１を移動させる。本実施形態では、距離Ｄ１１は、回転部分２０のＹ２方向端部と回転軸ＲＡとの間のＹ方向距離Ｄ１２よりも小さい。上昇位置Ｐｚ２は、仮にチャンバ本体１０の直上（第１位置Ｐｙ１）で蓋体２１を回転させると、回転部分２０がチャンバ本体１０と接触する高さ位置である。図３の例では、上昇位置Ｐｚ２で蓋体２１をそのまま回転させた場合、蓋体２１の後部に設けられた収容部２２がチャンバ本体１０と接触する位置にある。

【0063】

図４に示したように、スライド機構６０は、第１位置Ｐｙ１と第２位置Ｐｙ２との間で、蓋体２１をスライド距離Ｄ１３だけ移動させる。スライド機構６０のスライド距離Ｄ１３は、距離Ｄ１１（図３参照）よりも大きい。

【0064】

本実施形態では、上昇位置Ｐｚ２の蓋体２１がスライドおよび回転された状態（第２位置Ｐｙ２かつ第２姿勢の状態）で、回転部分２０の下端部２０ａがチャンバ本体１０の上面１０ａよりも下方となる位置に配置される。第２姿勢における回転部分２０の下端部２０ａは、収容部２２の後部側面である。このように、昇降機構４０による上方移動の距離Ｄ１１が小さくても、回転部分２０がチャンバ本体１０に接触することなく、蓋体２１を第２姿勢まで回転させることが可能である。

【0065】

また、蓋体２１が第２姿勢で第２位置Ｐｙ２（図４参照）にあるとき、蓋体２１のＹ１方向端部２１ｃは、チャンバ本体１０のＹ２方向端部よりもＹ２方向に位置する。このため、チャンバ本体１０の直上空間から蓋体２１の全体がＹ２方向へ退避する。

【0066】

また、図３および図４に示したように、スライドレール６２は、第１位置Ｐｙ１（図３参照）ではＹ方向位置がチャンバ本体１０の上方まで第１位置Ｐｙ１側（Ｙ１方向側）へ突出する位置と、第２位置Ｐｙ２側（Ｙ２方向側）へ退避した位置とにスライドする。

【0067】

ここで、図１に示したように、メンテナンス時には、チャンバ本体１０の直上が作業者の作業空間となるが、作業空間のＸ方向側が作業者のアクセス経路となる。そのため、第１位置Ｐｙ１におけるスライドレール６２は、作業者のアクセス経路上に位置することになる。これに対して、図４のように第２位置Ｐｙ２におけるスライドレール６２は、作業者のアクセス経路上からＹ２方向に退避する。

【0068】

また、図１０に示すように、蓋体２１が第２位置Ｐｙ２にある状態で、リンク機構７０が、スライド方向においてスライドレール６２の第１位置Ｐｙ１側の端部よりも第２位置Ｐｙ２側に配置されている。このため、リンク機構７０がメンテナンス作業の邪魔になることはない。リンク機構７０が、第２位置Ｐｙ２のスライドレール６２よりも第１位置Ｐｙ１側に配置されていてもよい。

【0069】

（開閉機構の動作）
次に、開閉機構３０の動作を説明する。開閉機構３０により蓋体２１をチャンバ本体１０から取り外す場合、まず、昇降機構４０により蓋体２１が下降位置Ｐｚ１（図２参照）から上昇位置Ｐｚ２（図３参照）までＺ１方向へ移動される。作業者が入力機構４４のハンドル４４ａを操作（回転）させることにより、蓋体２１および収容部２２、スライド機構６０、回転機構５０、リンク機構７０が上方移動する。蓋体２１のＹ方向位置は、第１位置Ｐｙ１のままである。蓋体２１は、第１姿勢（回転量θ＝０度）を維持する。

【0070】

次に、蓋体２１が、スライド機構６０により第１位置Ｐｙ１（図３参照）から第２位置Ｐｙ２（図４参照）までＹ２方向にスライド移動される。作業者が蓋体２１の図示しない把持部を把持して第２位置Ｐｙ２へ向けて押すことにより、蓋体２１がＹ２方向に移動する。蓋体２１の回転を円滑にするため、作業者は、蓋体２１のうち、回転軸部５１よりも上方位置を、ややＺ１方向に向けて斜めに押すことが好ましい。蓋体２１および収容部２２、スライドレール６２、回転機構５０、リンク部７３が、Ｙ２方向に移動する。

【0071】

蓋体２１（回転機構５０）のスライド移動に連動して、リンク機構７０が回転機構５０を回転させる（図８～図１０参照）。蓋体２１および収容部２２がＹ２方向に退避しながら回転するので、回転部分２０（収容部２２）がチャンバ本体１０に対して非接触状態を維持しながら、移動軌跡Ｔｒに沿ってチャンバ本体１０のＹ２方向側の側方へ入り込むように回転する。蓋体２１が第２位置Ｐｙ２に到達する時、蓋体２１が垂直方向に向く第２姿勢（回転量θ＝９０度）になる。

【0072】

これにより、蓋体２１がチャンバ本体１０の直上領域から退避するとともに垂直方向を向いた第２姿勢（図４参照）とされる。作業者は、チャンバ本体１０の内部や、蓋体２１の内部のメンテナンス作業を行う。退避させた蓋体２１を閉じる（チャンバ本体１０に取り付ける）場合、上記した手順が逆に実行されるだけであるので、説明を省略する。

【0073】

（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0074】

本実施形態の処理装置１００（開閉機構、リンク機構）では、上記のように、上昇位置で蓋体２１（移動体）を横方向にスライド移動させると、回転機構５０に連結されたリンク機構７０によって、蓋体２１がスライド移動に連動して回転する。これにより、蓋体２１をチャンバ本体１０（容器本体、固定体）から横方向に退避させながら蓋体２１を回転させることができる。つまり、単純にチャンバ本体１０の上方に停止した状態で蓋体２１を回転させる場合に蓋体２１の一部がチャンバ本体１０と接触する高さ位置でも、蓋体２１の横方向移動によって、回転する蓋体２１の一部をチャンバ本体１０から非接触となる側方位置へ逃がしつつ、蓋体２１を回転させることができる。この結果、蓋体２１（移動体）を開閉（着脱）する際に、蓋体２１を回転させる場合でも、蓋体２１の上方への移動量を抑制することができる。さらに、リンク機構７０によって蓋体２１がスライド移動と連動して回転するので、蓋体２１をスライド移動させた後に回転させる場合と異なり、蓋体２１をスライドさせるだけで容易に蓋体２１を回転させることができる。

【0075】

また、本実施形態では、上記のように、回転機構５０は、蓋体２１を含む回転部分２０の重心位置ＭＧを通過する回転軸ＲＡ上に設けられた回転軸部５１を有する。これにより、蓋体２１を回転軸ＲＡ回りに回転させる際の慣性モーメントやアンバランスを最小化できる。その結果、蓋体２１を容易に回転させることができる。

【0076】

また、本実施形態では、上記のように、リンク機構７０は、蓋体２１が第１位置Ｐｙ１から第２位置Ｐｙ２に近付くに従って蓋体２１の回転量（角度）θを増大させるように構成されている。これにより、蓋体２１のスライド移動に伴って徐々に蓋体２１を回転させることができる。その結果、蓋体２１を回転させるための負荷の急激な増大を抑制できる。

【0077】

また、本実施形態では、上記のように、リンク機構７０は、回転機構５０の横方向へのスライド移動に連動して、回転するとともに上下に往復移動するように構成されたスライダクランク機構である。これにより、リンク機構７０が動作する方向を主として上下方向に向けることができるので、リンク機構７０が占めるスペースを蓋体２１の退避方向(スライド方向)に狭くすることができる。したがって、蓋体２１やチャンバ本体１０のメンテナンス作業時にリンク機構７０が邪魔になることを抑制できる。

【0078】

また、本実施形態では、上記のように、スライド機構６０は、スライド方向に固定されたスライド部材６１と、スライド部材６１に対して第１位置Ｐｙ１側へ突出する位置と第２位置Ｐｙ２側へ退避した位置とにスライド可能に蓋体２１に取り付けられたスライドレール６２と、を含む。これにより、蓋体２１を第１位置Ｐｙ１から第２位置Ｐｙ２へスライドさせた時に、スライドレール６２を蓋体２１とともに第２位置Ｐｙ２側へ退避させることができる。これにより、退避状態での蓋体２１やチャンバ本体１０のメンテナンス作業時に、スライドレール６２が第１位置Ｐｙ１付近で作業の邪魔になることが回避されるので、メンテナンス作業性を向上させることができる。

【0079】

また、本実施形態では、上記のように、上昇位置の蓋体２１がスライドおよび回転された状態で、蓋体２１を含む回転部分２０の下端部２０ａがチャンバ本体１０の上面１０ａよりも下方となる位置に配置される。これにより、回転部分２０の下端部２０ａをチャンバ本体１０に接触させることなく、チャンバ本体１０の上面１０ａよりも下方となる位置まで回転させることができる。したがって、昇降機構４０による蓋体２１の上方への移動量を効果的に抑制できる。

【0080】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0081】

たとえば、上記実施形態では、回転機構５０が、蓋体２１を含む回転部分２０の重心位置ＭＧを通過する回転軸ＲＡ上に設けられた回転軸部５１を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、回転軸部５１が、回転部分２０の重心位置ＭＧ付近を通過する回転軸ＲＡ上に設けられていてもよい。

【0082】

図１３に示す変形例では、回転軸部５１は、回転軸ＲＡが蓋体２１を含む回転部分２０の重心位置ＭＧ付近を通過するように設けられている。図１３に示す変形例では、回転軸ＲＡが重心位置ＭＧの上方の近傍位置に配置されている。回転軸ＲＡと重心位置ＭＧとの距離は小さいほど好ましい。

【0083】

これにより、蓋体２１を回転軸ＲＡ回りに回転させる際の慣性モーメントを低減できる。その結果、たとえばモータなどの駆動源を用いて蓋体２１を回転させなくても、作業者が手動で蓋体２１を容易に回転させることができる。

【0084】

また、この変形例では、回転軸ＲＡと重心位置ＭＧとの距離の所定範囲として、回転軸ＲＡと回転部分２０の重心位置ＭＧとの間の第１距離Ｄ１が、回転軸ＲＡと取付部５２との間の第２距離Ｄ２よりも小さい。これにより、重心位置ＭＧが回転軸ＲＡ上にない場合でも、回転軸ＲＡが重心位置ＭＧに十分近付くので、蓋体２１の回転を容易に行える。

【0085】

また、上記実施形態では、回転機構５０が、回転軸部５１とは異なる位置に、蓋体２１が取り付けられる取付部５２を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、蓋体２１が、回転機構５０の回転軸部５１に直接取り付けられていてもよい。つまり、回転軸部５１と取付部５２とが同じ位置（同軸）に設けられてもよい。

【0086】

また、上記実施形態では、蓋体２１が第１位置Ｐｙ１から第２位置Ｐｙ２に近付くに従って蓋体２１の回転量θを増大させるようにリンク機構７０を構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１位置Ｐｙ１と第２位置Ｐｙ２との間の所定位置に到達した時に蓋体２１を回転させるようにリンク機構７０を構成してもよい。

【0087】

また、上記実施形態では、蓋体２１が１／４回転（９０度回転）される例を示したが、本発明はこれに限られない。蓋体２１は、９０度以外の角度に回転されてもよい。たとえば蓋体２１は、７５度以上１８０度以下の範囲の所定角度まで回転されてもよい。なお、蓋体２１が回転される所定角度は、誤差を考慮して所定角度±５度程度の範囲でありうる。

【0088】

また、上記実施形態では、リンク機構７０がスライダクランク機構である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、リンク機構７０がスライダクランク機構以外の構造のリンク機構であってもよい。たとえば、リンク部７３の他端７３ｂにスライダ部７２およびスライダガイド部７１を設ける代わりに、リンク部７３の他端７３ｂは回転軸７４を介して固定部分に連結され、リンク部７３自体が伸縮可能な伸縮機構を備えていてもよい。

【0089】

また、上記実施形態では、リンク機構７０のスライダ部７２が、スライダガイド部７１に沿って上下方向に直線移動する例を示したが、本発明はこれに限られない。スライダガイド部が、オーバル（長円）軌道、楕円軌道、または円軌道で構成されてもよい。

【0090】

また、上記実施形態では、上昇位置の蓋体２１がスライドおよび回転された状態で、回転部分２０の下端部２０ａがチャンバ本体１０の上面１０ａよりも下方となる位置に配置される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、回転部分２０の下端部２０ａがチャンバ本体１０の上面１０ａと同じ高さ位置かまたは上方に配置されてもよい。

【0091】

また、上記実施形態では、蓋体２１に収容部２２を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、蓋体２１に収容部２２を設けなくてもよい。また、収容部２２は、蓋体２１の後部ではなく上部など蓋体２１の別の位置に設けられてもよい。収容部２２以外の付属物が蓋体２１に設けられていてもよい。

【0092】

また、上記実施形態では、スライド機構６０が蓋体２１を手動でスライドさせる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。スライド機構６０が、電動モータなどの駆動源により蓋体２１を電動でスライド移動させる構成であってもよい。

【0093】

また、上記実施形態では、処理装置１００の蓋体２１の開閉機構３０の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明の開閉機構は、蓋体と容器本体とを備えた構造における蓋体の開閉に適用可能であり、処理装置１００以外の蓋体の開閉に適用されてもよい。

【0094】

また、上記実施形態では、処理装置１００の蓋体２１の開閉機構３０に用いられるリンク機構７０の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明のリンク機構は、蓋体と容器本体とに限られず、固定体と固定体を覆う移動体とを備えた構造における移動体の着脱に適用可能であり、蓋体以外の他の移動体の開閉機構に適用されてもよい。

【0095】

上記実施形態では、リンク機構７０は、常時回転軸７４およびスライダ部７２を介して非回転側である支持部材６３に取り付けられたスライダガイド部７１に連結されるリンク部７３を用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば図１４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように、リンク機構７０は、第１位置Ｐｙ１において固定部８０と非接触であり、スライド機構６０により回転機構５０がスライドすると、リンク部７３の他端が固定部８０に接触（連結）するリンク機構であってもよい。リンク機構７０は、固定部８０によってリンク部７３のスライド移動が係止されることにより、さらに第２位置Ｐｙ２側へスライドされるとリンク部７３の一端側に接続した回転機構５０を動作させる。このリンク機構は、回転とスライドとの２自由度を有するジョイントを備えるリンク機構である。

【符号の説明】

【0096】

１０：チャンバ本体（容器本体、固定体）、１０ａ：上面、２０：回転部分、２０ａ：下端部、２１：蓋体（移動体）、３０：開閉機構、５０：回転機構、５１：回転軸部、５２：取付部、６０：スライド機構、６１：スライド部材（第１部材）、６２：スライドレール（第２部材）、７０：リンク機構、１００：処理装置、Ｄ１：第１距離、Ｄ２：第２距離、ＭＧ：重心位置、Ｐｙ１：第１位置、Ｐｙ２：第２位置、Ｐｚ１：下降位置、Ｐｚ２：上昇位置、ＲＡ：回転軸、θ：回転量

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】