特許7491773給排気システム及びクリーンルームシステム

発明の名称　給排気システム及びクリーンルームシステム

出願人　株式会社日立プラントサービス　（識別番号 595145050）

　　　　特許公開件数ランキング 2825 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2357 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7491773

公報発行日　2024年5月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7491773

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