特許 7492024 サーボ制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-20

(45)【発行日】2024-05-28

(54)【発明の名称】サーボ制御装置

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/18 20060101AFI20240521BHJP

   G05D 3/12 20060101ALI20240521BHJP

【ＦＩ】

G05B19/18 W

G05D3/12 305Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022559074

(86)(22)【出願日】2021-10-21

(86)【国際出願番号】 JP2021038960

(87)【国際公開番号】W WO2022091941

(87)【国際公開日】2022-05-05

【審査請求日】2023-05-12

(31)【優先権主張番号】P 2020180253

(32)【優先日】2020-10-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】390008235

【氏名又は名称】ファナック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(74)【代理人】

【識別番号】100160794

【弁理士】

【氏名又は名称】星野 寛明

(72)【発明者】

【氏名】寳澤 駿

(72)【発明者】

【氏名】猪飼 聡史

【審査官】臼井 卓巳

(56)【参考文献】

【文献】特開平０２－０９３７１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０５８２７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０７９８４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２２１６１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２１２８１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／００３９６６６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０５Ｂ １９／１８－１９／４０４

Ｂ２３Ｑ １５／１２

Ｇ０５Ｄ ３／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

工作機械または産業機械の駆動軸を駆動するモータのサーボ制御装置において、
移動指令に基づいてモータ駆動を制御する制御部と、
前記駆動軸の反転時に生ずるバックラッシ量を測定するバックラッシ量測定部と、を備え、
前記バックラッシ量測定部は、
位置指令、速度指令、位置の検出値又は速度の検出値に基づいて、前記駆動軸の反転開始を検出する反転検出部と、
指令又は検出値に基づいて、前記駆動軸の前記反転開始からバックラッシ端に到達したことを検出する到達検出部と、
前記反転検出部が前記反転開始を検出してから、前記到達検出部が前記バックラッシ端に到達したことを検出するまでの時間、または、距離を測定する時間・距離測定部と、を備え、
前記時間・距離測定部の測定周期は、１ｍｓ以下であるサーボ制御装置。

【請求項2】

前記バックラッシ量測定部においてバックラッシ量を測定するために必要とされるモータの位置または速度の検出器は、モータの位置または速度の1つの検出器のみである請求項１のサーボ制御装置。

【請求項3】

前記反転検出部は、速度指令の反転または速度フィードバックの反転により検出する請求項１または２のサーボ制御装置。

【請求項4】

前記到達検出部は、トルク指令もしくはトルクフィードバックの変化、または、加速度指令もしくは加速度フィードバックの変化から検出する請求項１～３のいずれかのサーボ制御装置。

【請求項5】

工作機械または産業機械の駆動軸を駆動するモータのサーボ制御装置において、
移動指令に基づいてモータ駆動を制御する制御部と、
前記駆動軸の反転時に生ずるバックラッシ量を測定するバックラッシ量測定部と、を備え、
前記バックラッシ量測定部は、
位置指令、速度指令、位置の検出値又は速度の検出値に基づいて、前記駆動軸の反転開始を検出する反転検出部と、
指令又は検出値に基づいて、前記駆動軸の前記反転開始からバックラッシ端に到達したことを検出する到達検出部と、
前記反転検出部が前記反転開始を検出してから、前記到達検出部が前記バックラッシ端に到達したことを検出するまでの時間、または、距離を測定する時間・距離測定部と、を備え、
前記時間・距離測定部の測定周期は、バックラッシ量測定時にのみ短くするサーボ制御装置。

【請求項6】

工作機械または産業機械の駆動軸を駆動するモータのサーボ制御装置において、
移動指令に基づいてモータ駆動を制御する制御部と、
前記駆動軸の反転時に生ずるバックラッシ量を測定するバックラッシ量測定部と、を備え、
前記バックラッシ量測定部は、
位置指令、速度指令、位置の検出値又は速度の検出値に基づいて、前記駆動軸の反転開始を検出する反転検出部と、
指令又は検出値に基づいて、前記駆動軸の前記反転開始からバックラッシ端に到達したことを検出する到達検出部と、
前記反転検出部が前記反転開始を検出してから、前記到達検出部が前記バックラッシ端に到達したことを検出するまでの時間、または、距離を測定する時間・距離測定部と、を備え、
前記時間・距離測定部のバックラッシ量測定時における測定周期は、サーボモータ駆動制御の制御周期以下であるサーボ制御装置。

【請求項7】

前記時間・距離測定部のバックラッシ量測定時における測定周期は、サーボモータ駆動制御の制御周期の半分以下である請求項６のサーボ制御装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、モータ駆動軸のサーボ制御装置に関し、特に、サーボモータで駆動制御されるモータ駆動軸におけるバックラッシ量の測定の機能を備えたサーボ制御に関する。

【背景技術】

【0002】

工作機械や産業機械の駆動軸の駆動制御においては、駆動軸の反転時に生じるバックラッシが制御の精度を低下させる１つの要因となっている。そこで、軸駆動の制御の精度を向上させるため、従来より、駆動軸の反転時のバックラッシ量を測定し、バックラッシ量を考慮した駆動制御がなされてきた。

【0003】

特許文献１には、数値制御装置において、位置制御部が軸を往復させるための移動指令に従って機械可動部の位置検出データとモータの回転位置検出データを読み出して、各データを記憶部に格納し、一連の往復移動が終了するときに、両者を比較することによりバックラッシ量を自動的に測定することが記載されている。

【0004】

特許文献２には、駆動対象物の反転開始時点から、駆動対象物が移動を開始する時点を計測し、この時間からバックラッシュ駆動時間を決定した後、その時間だけモータを駆動してバックラッシュを除去した後、実質的な駆動制御を開始することが記載されている。

【0005】

特許文献３には、ロボット制御装置において、各アクチュエータのエンコーダより検出されるエンコーダ値から求められた各関節の角度と、保持ツールに取り付けられた慣性センサにより検出される慣性力から求められた保持ツールの角度に対応した各関節の角度との差からバックラッシュ量を検出することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開平４－２５０９５０号公報

【文献】特開２００３－２２４９９４号公報

【文献】特開２０１１－４２０２２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

上記のように、工作機械や産業機械の駆動軸制御において、駆動軸に生じる反転時のバックラッシ量を検出し、バックラッシ量を考慮して駆動軸制御を行うことにより、駆動制御の精度を向上させようとするものは知られている。しかしながら、上記の特許文献１ないし特許文献３のバックラッシ量の検出においては、いくつもの検出器を必要とし、検出のシステムが大掛かりとなって装置が大型化するとともに、コストも嵩むものであった。従来のものに比べて、より簡易なシステムで、バックラッシ量を正確に測定できるシステムが求められている。

【0008】

したがって、本開示は、工作機械や産業機械のサーボモータ制御装置において、検出器の数を減らして、より簡易なシステムで、駆動軸の反転時のバックラッシ量を正確に測定できるシステムを構築することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するため、本開示のサーボ制御装置は、工作機械または産業機械の駆動軸を駆動するモータのサーボ制御装置において、移動指令に基づいてモータ駆動を制御する制御部と、前記駆動軸の反転時に生ずるバックラッシ量を測定するバックラッシ量測定部と、を備え、前記バックラッシ量測定部は、位置指令、速度指定、位置の検出値又は速度の検出値に基づいて、前記駆動軸の反転開始を検出する反転検出部と、指令又は検出値に基づいて、前記駆動軸の前記反転開始からバックラッシ端に到達したことを検出する到達検出部と、前記反転検出部が前記反転開始を検出してから、前記到達検出部が前記バックラッシ端に到達したことを検出するまでの時間、または、距離を測定する時間・距離測定部と、を備えるサーボ制御装置である。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、工作機械や産業機械の駆動モータのサーボ制御装置が備えるバックラッシ量測定システムにおいて、少ない数の検出器で、より簡易な構成のバックラッシ量測定システムで、正確に駆動軸の反転時のバックラッシ量を測定することができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本開示のサーボ制御装置とモータ装置の間での信号の流れを示すブロック線図である。

【図2】反転開始とバックラッシ端の定義を説明する図である。

【図3】バックラッシ端到達の検出のしかたを説明する図である。

【図4】本開示のバックラッシ量の測定方法を説明するフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

【0013】

図１は、本開示の一実施形態のサーボ制御装置１０とモータ装置２０の間での信号の流れを示すブロック線図である。図１に示すように、モータを駆動制御するサーボ制御装置１０からモータ装置２０へ駆動指令の信号が送られ、モータ装置２０からフィードバック信号や検出情報の信号がサーボ制御装置１０へ戻される。

【0014】

サーボ制御装置１０は、トルク・位置・速度指令生成部１１、加算器１２、制御部１３及びバックラッシ量測定部３０を具備する。トルク・位置・速度指令生成部１１は、ユーザプログラムにおける規定や上位の制御装置からの指令に基づいて、モータ駆動のための、トルク・位置・速度の指令値を算出する。なお、速度指令は、位置指令を時間で微分して算出したものを用いることもでき、また、トルク指令は速度指令を時間微分して求めた加速度指令にモータ装置２０や駆動軸等の慣性を積算した慣性（イナーシャ）を乗じて算出したものを用いることもできる。

【0015】

トルク・位置・速度指令生成部１１で算出され、生成されたトルク・位置・速度の指令値は、加算器１２に出力され、モータ装置２０において検出され、フィードバックされたトルク・位置・速度の値が減算されて、指令値と検出値の偏差が求められる。加算器１２から出力された、トルク・位置・速度の指令値と検出値の偏差による指令値は、制御部１３に入力される。制御部１３では、モータ装置２０の特性や、要請される制御の精度や特性に応じて、従来より公知の制御、例えば、ＰＩＤ制御や学習制御などが適用され、モータ装置２０に出力される。

【0016】

モータ装置２０は、モータ駆動部２１、モータ本体２２、位置・速度検出器２３を有する。モータ駆動部２１では、サーボ制御装置１０から出力された指令値を受けて、モータごとに規定される起動電力を生じさせ、モータ本体２２を回転駆動する。モータ本体２２の回転については、位置・速度検出器２３により、その回転位置や回転速度（回転数）の検出が行われる。なお、検出されたモータの速度を時間で微分することにより加速度が算出され、算出された加速度にモータ装置２０や駆動軸等の慣性（イナーシャ）を乗じてモータ装置２０等において生じている実トルク値を求めることができる。

【0017】

位置・速度検出器２３で検出されたモータ本体２２の位置・速度（回転数）、及び、位置・速度検出器２３で検出されたモータ本体２２の位置・速度（回転数）から算出された実トルク値は、前述のように、サーボ制御装置１０にフィードバックされて、加算器１２に出力されるとともに、バックラッシ量測定部３０にも送信される。

【0018】

バックラッシ量測定部３０は、反転検出部３１、到達検出部３２、及び、時間・距離測定部３３を備える。そして、トルク・位置・速度指令生成部１１からの信号や、モータ装置２０の位置・速度検出器２３からの検出信号を受けて、反転検出部３１において反転開始を検出し、また、到達検出部３２においてバックラッシ端への到達を検出し、それらの検出結果を、時間・距離測定部３３の時間・距離測定手段に用いてバックラッシ量を算出する。その具体的手法については、後で詳細に述べる。

【0019】

次に、本開示におけるバックラッシ量の定義について図２を用いて説明する。図２の上段は、テーブル２０２に対してボール軸受を介したねじ（ボールねじ２０１）がモータ装置２０により回転駆動され、テーブル２０２が進行方向に向かって移動している状態から、ボールねじ２０１が反転して、テーブル２０２が逆方向に移動し始めるまでの、テーブル２０２とボールねじ２０１の相対的位置関係の状態を、時系列に沿って図示したものである。

【0020】

図２の上段のテーブル２０２とボールねじ２０１の相対的位置関係を時系列に沿って示した５つの図において、左端の（１）は、ボールねじ２０１の回転により、テーブル２０２が進行方向に移動する状態を示している。テーブル２０２とボールねじ２０１のねじ部の間で軸受の機能を有するボールは、テーブル２０２及びねじ部と密着して、進行方向に力を伝達するための負荷を受けており、そのことを示すために、楕円形に描かれている。

【0021】

図２の上段の左から２番目の（２）の状態は、ボールねじ２０１の反転が開始され、テーブル２０２とねじ部の間のボールが、進行方向に無負荷となった状態を示す。すなわち、モータ装置２０に対するトルク・位置・速度の移動指令による、テーブル２０２のボールねじ２０１に対する相対速度が０となった時点であり、本開示では、この状態の時点を反転開始時点と定義する。したがって、反転検出部３１は、テーブル２０２のボールねじ２０１に対する相対速度が０となったことを検出することにより、速度指令の反転またはフィードバックの反転を検出したものとし、反転開始が検出される。

【0022】

図２の上段の中央の（３）の状態は、反転開始が検出されてから、バックラッシ端に到達するまでの途中の状態であり、テーブル２０２とねじ部の間のボールが進行方向に無負荷となった状態が継続し、バックラッシの発生が継続している状態である。そして、ボールねじ２０１がバックラッシ端に到達して、右から２番目の（４）の状態に至り、ボールは進行方向と反対の方向に負荷を受けて、以降、右端の（５）の状態になって、ボールねじ２０１の反転方向の回転により、テーブル２０２が進行方向と反対方向に移動する。

【0023】

したがって、バックラッシは、図２の左から２番目の、速度指令または速度フィードバックの反転開始によって、テーブル２０２のボールねじ２０１に対する相対速度が０となった時点に始まり、図２の右から２番目の、ボールねじ２０１がバックラッシ端に到達した時点で終了するものであると定義される。そして、その間の、ボールねじ２０１に対するテーブル２０２の相対的移動距離またはテーブル２０２に対するボールねじ２０１の相対的移動距離が、バックラッシ量であり、それは、テーブル２０２とねじ部の間のボール移動距離であり、図２の下段の右図においてΔｘとして示される距離である。

【0024】

すなわち、バックラッシ量は、図２の上段の左から２番目の反転開始時点と、右から２番目のバックラッシ端到達時点を検出し、その間の距離を求めることによって得られる。左から２番目の反転開始時点は、前述のように、テーブル２０２のボールねじ２０１に対する相対速度が０となった時点を検知することによって検出することができる。次に、ボールねじ２０１がバックラッシ端に到達した時点の検知について、図２及び図３を参照して詳述する。

【0025】

本開示においては、ボールねじ２０１がバックラッシ端に到達した時点を、ボールねじ２０１がバックラッシ端に到達したことによるトルク指令の変化または加速度の変化で検知することを考える。ここで、図２、図３のモータ装置２０でボールねじ２０１を回転させ、テーブル２０２を移動させている系（モデル）において、モータ装置２０、ボールねじ２０１及びテーブル２０２からなる系が有しているイナーシャ（慣性）について、モデルを簡単にするために、モータ装置２０、ボールねじ２０１及びテーブル２０２の、それぞれのイナーシャを等しくＪ_Ｍであるとする。

【0026】

バックラッシが生じて、バックラッシ端に到達する前の状態、すなわち、図２の上段の中央の（３）の状態においては、この系のモデルでは、モータ装置２０及びボールねじ２０１の２要素にのみ動きが生じ、この系の全イナーシャＪ_Σは、
［数１］
Ｊ_Σ＝２Ｊ_Ｍ・・・式（１）
となる。これに対して、ボールねじ２０１がバックラッシ端に到達した状態、すなわち、図２の上段の右から２番目の（４）の状態においては、この系のモデルでは、モータ装置２０、ボールねじ２０１及びテーブル２０２の３要素に動きが生じ、この系の全イナーシャＪ_Σは、
［数２］
Ｊ_Σ＝３Ｊ_Ｍ・・・式（２）
となる。

【0027】

トルク指令Ｔｃｍｄと実トルクＴの関係については、次の式（３）で表されることが知られている。
［数３］
Ｔ_ｃｍｄ［％］＝（Ｔ×１００）／（Ｋ_ｔ×Ｉ_ｍａｘ）・・・式（３）
ここで、Ｔ_ｃｍｄ［％］はトルク指令、Ｔ［Ｎｍ］は実トルク、Ｋ_ｔ［Ｎｍ／Ａｐ］はモータのトルク定数、Ｉ_ｍａｘ［Ａｐ］はアンプ最大電流である。
また、実トルクＴ［Ｎｍ］は、次の式（４）で定義される。
［数４］
Ｔ［Ｎｍ］＝Ｊ_Σ×（ｄω／ｄｔ）・・・式（４）
ここで、ωは角速度であり、ｄω／ｄｔは、角加速度となる。

【0028】

そうすると、角加速度（ｄω／ｄｔ）が一定になるように制御した場合、ボールねじ２０１がバックラッシ端に到達する前の状態から、バックラッシ端に到達した状態への変化したことは、式（３）に式（４）及び式（１）を代入したバックラッシ端に到達する前のトルク指令の値と、式（３）に式（４）及び式（１）を代入した場合のバックラッシ端に到達する前のトルク指令の値の変化を検知することによって検出することができる。角加速度ｄω／ｄｔが一定である前提においては、式（３）に式（４）及び式（２）を代入した値は、式（３）に式（４）及び式（１）を代入した値の１．５倍になるから、トルク指令値が１．５倍になったことを検知することによって、バックラッシ端への到達を検出できる。逆にトルク指令が一定になるように制御した場合には、角加速度が２／３倍になったことを検知して、バックラッシ端への到達を検出できる。

【0029】

反転開始検出からバックラッシ端到達検出までの時間ｔが経過してトルク指令値が１．５倍になったことをグラフに示すと、図３の下段右の左側のグラフのようになる。図３の下段右の左側のグラフにおいて、縦軸はトルク指令値ＴＣＭＤ、横軸は時間を表す。反転開始検出からバックラッシ端到達検出までの時間ｔが経過して加速度が２／３倍になったことをグラフに示すと、図３の下段右の右側のグラフのようになる。図３の下段右の右側のグラフにおいて、縦軸は加速度、横軸は時間を表す。

【0030】

また、ボールねじ２０１の角加速度（ｄω／ｄｔ）とテーブル２０２の並進加速度ａとの関係については、次の式（５）で表されることが知られている。
［数５］
ｄω／ｄｔ［ｒａｄ／ｓ^２］＝（２π／（Ｌ×１０^－３））×ａ・・・式（５）
ここで、Ｌ［ｍｍ］はボールねじ２０１のリードであり、ａ［ｍ／ｓ^２］は、ボールねじ２０１の並進加速度である。
さらに、並進加速度ａとバックラッシ量Δｘとの関係については、次の式（６）で表されることが知られている。
［数６］
ａ［ｍ／ｓ^２］＝２×１０^－６×（Δｘ／ｔ^２）・・・式（６）

【0031】

そうすると、バックラッシ量は、バックラッシが生じている間においては、系のモデルは式（１）のイナーシャを有するのであるから、式（１）と式（３）～式（６）から、バックラッシ量Δｘは、次の式（７）で表されることになる。
［数７］
Δｘ＝（１／（８π×１０^１１））×（Ｋ_ｔ×Ｉ_ｍａｘ×Ｌ／Ｊ_Ｍ）×Ｔ_ｃｍｄ×ｔ^２・・・式（７）

【0032】

式（７）から、トルク指令Ｔ_ｃｍｄ一定の制御を行い、反転開始を検知した時点からバックラッシ端への到達を検知した時点までの時間を計測すれば、バックラッシ量を検出することができる。または、距離の測定を行うことができる場合には、反転開始を検知した時点からバックラッシ端への到達を検知した時点まで移動距離を計測することにより、直接にバックラッシ量が求まる。

【0033】

式（７）を用いてバックラッシ量を測定するためには、モータの制御周期以下の高速な測定周期が必要となる。さらに高精度な測定のためには、例えば、モータの制御周期の半分以下の周期で測定を行うことがより好ましい。一般的な制御周期の目安として１ｍｓがあり、サーボ制御装置の高速な制御周期を利用することで高精度な測定が可能となる。

【0034】

次に、本開示のサーボ制御装置におけるバックラッシ量測定方法の１つの実施形態について、図４のフロー図を用いて説明する。初めに、サーボ制御装置で駆動制御されるモータ装置によるボールねじ駆動の制御が、ａ．加速度一定制御であるか、または、ｂ．トルク指令一定制御であるかを判定する（ステップＳｔ１０）。判定結果がａ．の加速度一定制御である場合には、ステップＳｔ２１に進み、判定結果がｂ．のトルク指令一定制御である場合には、ステップＳｔ２２に進む。

【0035】

ステップＳｔ２１では、ボールねじの反転開始を検出する。具体的には、ボールねじの速度が０となったことを検知して、ボールねじの反転開始を検出する。そして、次に、ステップＳｔ３１に進み、ボールねじがバックラッシ端に到達したかを検出する。具体的には、加速度一定制御では、トルク指令が１．５倍になるタイミングを検知してボールねじがバックラッシ端に到達したことを検出する。同様に、ステップＳｔ２２では、ボールねじの反転開始を検出する。具体的には、ボールねじの速度が０となったことを検知して、ボールねじの反転開始を検出する。そして、次に、ステップＳｔ３２に進み、ボールねじがバックラッシ端に到達したかを検出する。具体的には、トルク指令一定制御では、加速度が２／３倍になるタイミングを検知してボールねじがバックラッシ端に到達したことを検出する。

【0036】

ステップＳｔ３１及びステップＳｔ３２の後は、ともに、ステップＳｔ４０に進む。ステップＳｔ４０では、ボールねじの距離の測定が可能かを判定する。ボールねじの距離の測定は、例えば、ボールねじの位置の検出が可能であれば、ボールねじの反転開始の位置と、ボールねじがバックラッシ端に到達した位置の差分から求めることが可能である。判定結果がＹｅｓのとき、すなわち、ボールねじの距離の測定が可能であるときには、ステップＳｔ５１に進み、判定結果がＮｏのとき、すなわち、ボールねじの距離の測定が可能でないときには、ステップＳｔ５２に進む。

【0037】

ステップＳｔ５１では、ボールねじの反転開始の位置と、ボールねじがバックラッシ端に到達した位置の間の距離から、バックラッシ量を測定する。そして、測定されたボールねじの反転開始の位置から、ボールねじがバックラッシ端に到達した位置までの移動距離がバックラッシ量である。バックラッシ量が測定されれば、本開示の目的は達成され、このフローは終了する。ステップＳｔ５２では、ボールねじの反転開始から、ボールねじがバックラッシ端に到達するまでの時間から、バックラッシ量を測定する。ステップＳｔ５１の場合と同様に、バックラッシ量が測定されれば、本開示の目的は達成され、このフローは終了する。

【0038】

上記のとおり、本開示においては、ボールねじのバックラッシ量の測定について、ボールねじの反転開始の検出と、バックラッシ端への到達の検出から測定するもので、ボールねじの反転開始は、ボールねじの速度が０となったことを検知することによって検出し、バックラッシ端への到達は、トルク指令又は加速度の変化を検知することで検出するものである。そのため、位置または速度（回転数）の検出器は、モータ装置に備えられる検出器１つのみが必要となるだけで、別値の検出器を必要としない。したがって、従来のバックラッシ量測定システムに比べて、必要となる検出器の数を減少することができ、より簡易な構成で正確にバックラッシ量を測定することができるようになった。

【0039】

また、ボールねじ駆動制御が加速度一定制御である場合にも、トルク指令一定制御である場合にも対応でき、さらに、ボールねじの反転開始とバックラッシ端への到達の検知後に、その距離からも、時間からもバックラッシ量を測定することができ、汎用性が高く、種々の条件に対しても応用が利くというメリットも挙げられる。

【0040】

以上、本発明の実施に関して、実施態様について説明したが、本発明はこうした実施態様に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々なる態様で実施できるものであることは勿論である。

【符号の説明】

【0041】

１０ サーボ制御装置
１１ トルク・位置・速度指令生成部
１２ 加算器
１３ 制御部
２０ モータ装置
２０１ ボールねじ
２０２ テーブル
２１ モータ駆動部
２２ モータ本体
２３ 位置・速度検出器
３０ バックラッシ量測定部
３１ 反転検出部
３２ 到達検出部
３３ 時間・距離測定部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】