特許 7492221 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-21

(45)【発行日】2024-05-29

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20240522BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20240522BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 E

H01L21/52 F

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2024003906

(22)【出願日】2024-01-15

【審査請求日】2024-01-15

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002044

【氏名又は名称】弁理士法人ブライタス

(72)【発明者】

【氏名】増田 高之

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－１８７５９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１９０４８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１４／０８７４９１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１８／００５３６７１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１７－１０８０５４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品を吸着面で吸着保持する第１の保持部を有し、前記第１の保持部を円軌道に沿って移動させる第１の回転搬送部と、
前記電子部品を吸着面で吸着保持する第２の保持部を有し、前記第２の保持部を円軌道に沿って移動させる第２の回転搬送部と、
前記電子部品の搬送経路上において前記第１の回転搬送部と前記第２の回転搬送部との間に設けられ、前記第１の保持部から受け取った前記電子部品の位置を補正して前記第２の保持部へ受け渡す位置補正部と、
を備え、
前記位置補正部は、
前記電子部品を吸着保持する吸着面を有し、第１の受け渡し位置において前記第１の保持部と前記電子部品の受け渡しを行い、第２の受け渡し位置において前記第２の保持部と前記電子部品の受け渡しを行う吸着保持部と、
前記吸着保持部が設けられ、回転軸を中心とする円軌道に沿って前記吸着保持部を移動させる回転搬送テーブルと、
前記回転搬送テーブルを平行移動させ、前記吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する平行駆動部と、
を有し、
前記第２の受け渡し位置において、対向する前記吸着保持部の吸着面と前記第２の保持部の吸着面とは平行である、搬送装置。

【請求項2】

前記回転搬送テーブルは、前記第１の受け渡し位置と前記第２の受け渡し位置とで停止しながら、所定の回転ピッチで間欠移動し、
前記平行駆動部は、前記回転搬送テーブルの回転中に前記回転搬送テーブルを平行移動して、前記吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記第１の受け渡し位置において前記第１の保持部から前記吸着保持部へ電子部品を受け渡すタイミングと、前記第２の受け渡し位置において前記吸着保持部から前記第２の保持部へ電子部品を受け渡すタイミングとは、一致する、請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記第１の受け渡し位置において前記第１の保持部から前記吸着保持部へ電子部品を受け渡すタイミングと、前記第２の受け渡し位置において前記吸着保持部から前記第２の保持部へ電子部品を受け渡すタイミングとは、異なる、請求項２に記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品の搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体素子等の電子部品は、製造後に、外観検査、電気特性検査、マーキング処理等の工程を経て出荷される。これらの工程において電子部品は適正な姿勢とされている必要があり、各工程の処理を実施する前に電子部品の姿勢が補正される。

【0003】

例えば特許文献１には、電子部品を保持する第１保持部を有し、第１保持部を第１円軌道に沿って移動させる第１回転搬送部と、電子部品を保持する第２保持部を有し、第１保持部との間で電子部品の受け渡しが可能な受渡領域を通る第２円軌道に沿って第２保持部を移動させる第２回転搬送部と、受渡領域における第２保持部の位置を調節する位置調節部と、を備える電子部品の処理装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０２１－１８７５９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記特許文献１に記載の技術では、第２回転搬送部は、第１回転搬送部から受け取った電子部品を外観検査等の処理を施す中間処理部の位置まで移動させ、中間処理部により処理を施された電子部品を第１回転搬送部への受け渡し位置まで移動させる。このため、位置調節部は、中間処理部により処理を施している間は第２保持部の位置を調整することができず、電子部品の受け渡し時のアライメント処理を実施するための時間を別途確保する必要がある。

【0006】

また、電子部品は、例えば吸着コレット等の、吸着面にて電子部品を吸着し保持する保持部によって搬送される。電子部品を落下させたりすることなく安定して搬送するためには、保持部の吸着面に対して電子部品が傾くことなく保持されることが重要である。例えば、サイズが比較的大きい（例えば、長辺の長さが５～１０ｍｍ程度の）電子部品であれば、そもそも吸着面に対する傾きは生じにくい。しかし、サイズが比較的小さい（例えば、長辺の長さが０．５～１ｍｍ程度の）電子部品の場合には、保持部が搬送する電子部品をウェハシートからピックアップした際に、電子部品のバンプ（電極）が吸着面の吸引孔に入り込んでしまい、電子部品が傾いて吸着面に保持されることもあり得る。

【0007】

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、電子部品の搬送を効率的に、かつ確実に実施することが可能な、電子部品の搬送装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、電子部品を吸着面で吸着保持する第１の保持部を有し、第１の保持部を円軌道に沿って移動させる第１の回転搬送部と、電子部品を吸着面で吸着保持する第２の保持部を有し、第２の保持部を円軌道に沿って移動させる第２の回転搬送部と、電子部品の搬送経路上において第１の回転搬送部と第２の回転搬送部との間に設けられ、第１の保持部から受け取った電子部品の位置を補正して第２の保持部へ受け渡す位置補正部と、を備え、位置補正部は、電子部品を吸着保持する吸着面を有し、第１の受け渡し位置において第１の保持部と電子部品の受け渡しを行い、第２の受け渡し位置において第２の保持部と電子部品の受け渡しを行う吸着保持部と、吸着保持部が設けられ、回転軸を中心とする円軌道に沿って吸着保持部を移動させる回転搬送テーブルと、回転搬送テーブルを平行移動させ、吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する平行駆動部と、を有し、第２の受け渡し位置において、対向する吸着保持部の吸着面と第２の保持部の吸着面とは平行である、搬送装置が提供される。

【0009】

回転搬送テーブルは、第１の受け渡し位置と第２の受け渡し位置とで停止しながら、所定の回転ピッチで間欠移動し、平行駆動部は、回転搬送テーブルの回転中に回転搬送テーブルを平行移動して、吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正してもよい。

【0010】

搬送装置の動作において、第１の受け渡し位置において第１の保持部から吸着保持部へ電子部品を受け渡すタイミングと、第２の受け渡し位置において吸着保持部から第２の保持部へ電子部品を受け渡すタイミングとを、一致するようにしてもよい。

【0011】

あるいは、搬送装置の動作において、第１の受け渡し位置において第１の保持部から吸着保持部へ電子部品を受け渡すタイミングと、第２の受け渡し位置において吸着保持部から第２の保持部へ電子部品を受け渡すタイミングとが、異なるようにしてもよい。

【発明の効果】

【0012】

以上説明したように本発明によれば、電子部品の搬送を効率的に、かつ確実に実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施形態に係る搬送装置の構成を示す模式図であって、上側は平面視した状態を示し、下側が側面視した状態を示す。

【図2】第１の保持部と吸着保持部とによる電子部品の受け渡し時の状態を示す部分側面図である。

【図3】位置補正部の構成を示す側面図である。

【図4】動作パターン１における搬送装置の動作を示すタイミングチャートである。

【図5】動作パターン２における搬送装置の動作を示すタイミングチャートである。

【図6】搬送装置の構成の一変形例（変形例１）を示す模式図である。

【図7】搬送装置の構成の一変形例（変形例２）を示す模式図である。

【図8】搬送装置の構成の一変形例（変形例３）を示す模式図であって、第２の保持部の吸着面と吸着保持部の吸着面とが垂直方向に平行である場合を示す。

【図9】搬送装置の構成の一変形例（変形例３）を示す模式図であって、第２の保持部の吸着面と吸着保持部の吸着面とが水平方向に平行である場合を示す。

【図10】搬送装置の構成の他の変形例を示す模式図であって、第２の回転搬送部に電子部品の平面位置を補正する位置補正機構を設けた場合を示す。

【図11】図１０に示す搬送装置の第２の回転搬送部及び位置補正機構を示す模式図であって、図１０上側に示す状態をＸ方向から見た状態を示している。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

【0015】

［１．搬送装置］
まず、図１～図３を参照して、本発明の一実施形態に係る搬送装置１の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る搬送装置１の構成を示す模式図であって、上側は平面視した状態を示し、下側が側面視した状態を示す。図２は、第１の保持部１１０と吸着保持部２１０とによる電子部品Ｗの受け渡し時の状態を示す部分側面図である。図３は、位置補正部２０の構成を示す側面図である。図１～図３において、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向であり、ＸＹ平面を水平面ともいう。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する垂直方向である。ＺＸ平面を垂直面ともいう。

【0016】

本実施形態に係る搬送装置１は、電子部品Ｗを１つずつ吸着保持して搬送経路上を搬送する装置である。電子部品Ｗは、電気製品に使用される部品である。例えば、電子部品Ｗは、半導体素子、抵抗、コンデンサ等である。半導体素子は、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路であってもよく、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、コンデンサ及びサイリスタ等のディスクリート半導体であってもよい。

【0017】

搬送装置１は、図１に示すように、第１の回転搬送部１１と、第２の回転搬送部１２と、位置補正部２０とを有する。第１の回転搬送部１１及び第２の回転搬送部１２は、図１上側に示すようにＸ方向に沿って並列されており、図１下側に示すようにＹ方向に平行な回転軸Ａ１、Ａ２を中心として回転する。位置補正部２０は、図１下側に示すように、電子部品Ｗの搬送経路上において第１の回転搬送部１１と第２の回転搬送部１２との間に設けられ、Ｚ方向に平行な回転軸Ａ０を中心として回転する。

【0018】

（第１の回転搬送部）
第１の回転搬送部１１は、電子部品Ｗを吸着面で吸着保持する第１の保持部１１０を有し、第１の保持部１１０を円軌道Ｃ１に沿って移動させる。第１の回転搬送部１１は、図１下側に示すように、Ｙ方向に平行な回転軸Ａ１を中心として、回転軸Ａ１とともに回転する回転体１０１と、Ｙ方向に直交するＺＸ平面において回転体１０１から放射状に設けられた複数の第１の保持部１１０を備える。

【0019】

回転体１０１は、モータ等の駆動部（図示せず。）により回転される。複数の第１の保持部１１０は、回転軸Ａ１を中心とする仮想円の周方向に沿って所定の間隔で回転体１０１に設けられている。例えば図１に示す第１の回転搬送部１１は、８個の第１の保持部１１０が等間隔（すなわち４５°の設置間隔）で回転体１０１に設けられている。駆動部は、回転体１０１を第１の保持部１１０の設置間隔ずつ回転させ、間欠移動させる。回転体１０１が間欠移動する回転角度を、第１の回転搬送部１１の回転ピッチとする。

【0020】

第１の保持部１１０は、図２に示すように、それぞれ、吸着コレット１１１と進退駆動機構１１２とを有する。

【0021】

吸着コレット１１１は、先端の吸着面１１１ａにて電子部品Ｗを吸着し保持する。吸着コレット１１１は、例えばゴム、樹脂、金属等から形成される略円錐体の部材である。吸着面１１１ａは平坦面であり、面内には第１の保持部１１０の内部通路に連通する吸引孔（図示せず。）が形成されている。第１の保持部１１０の内部通路は、真空ポンプ、エジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。負圧発生装置が空気圧回路に負圧を発生させることにより、吸着コレット１１１は吸着面１１１ａで電子部品Ｗを保持することができる。また、負圧発生装置が真空破壊または大気解放により負圧による吸引力を解放することで、吸着コレット１１１は吸着面１１１ａで保持していた電子部品Ｗを解放する。

【0022】

進退駆動機構１１２は、吸着コレット１１１を、回転軸Ａ１を中心とする円の径方向（以下、「進退方向」ともいう。）に移動させる駆動機構である。進退駆動機構１１２は、シャフト１１３と、接続部材１１４と、コイルばね１１５とを有する。

【0023】

シャフト１１３は、進退方向に延びる棒状の部材である。シャフト１１３は、回転軸Ａ１側（以下、「内方側」ともいう。）で接続部材１１４を介して回転体１０１と接続されている。また、シャフト１１３は、回転軸Ａ１と反対側（以下、「外方側」ともいう。）の先端に、吸着コレット１１１を備えている。シャフト１１３の内部には、吸着コレット１１１の吸引孔に連通する内部通路が形成されている。接続部材１１４は、進退駆動機構１１２を回転体１０１に固定するための部材である。接続部材１１４の内部には、シャフト１１３を進退方向に移動させるためのモータ（図示せず。）が設けられている。コイルばね１１５は、内部にシャフト１１３が挿通された状態で、内方側の端部が接続部材１１４に固定され、外方側の端部がシャフト１１３の外面に固定されている。

【0024】

進退駆動機構１１２のモータ（図示せず。）が駆動しておらず、吸着コレット１１１が最も内方に位置する状態を基準としたとき、進退駆動機構１１２は、モータ（図示せず。）を駆動してシャフト１１３を回転体１０１から外方に向かって移動させることにより、吸着コレット１１１を外方に移動させる。また、進退駆動機構１１２は、モータ（図示せず。）の駆動を停止することで、外方に移動していたシャフト１１３をコイルばね１１５の圧縮力によって内方に移動させ、吸着コレット１１１を基準の位置まで移動させる。

【0025】

（第２の回転搬送部）
第２の回転搬送部１２は、電子部品Ｗを吸着面で吸着保持する第２の保持部１２０を有し、第２の保持部１２０を円軌道Ｃ２に沿って移動させる。第２の回転搬送部１２は、第１の回転搬送部１１と同一の構成としてもよい。

【0026】

第２の回転搬送部１２は、図１下側に示すように、Ｙ方向に平行な回転軸Ａ２を中心として、回転軸Ａ２とともに回転する回転体１０２と、Ｙ方向に直交するＺＸ平面において回転体１０２から放射状に設けられた複数の第２の保持部１２０を備える。複数の第２の保持部１２０は、回転軸Ａ２を中心とする仮想円の周方向に沿って所定の間隔で回転体１０２に設けられている。例えば図１に示す第２の回転搬送部１２は、８個の第２の保持部１２０が等間隔（すなわち４５°の設置間隔）で回転体１０２に設けられている。回転体１０２を回転させるモータ等の駆動部は、回転体１０２を第２の保持部１２０の設置間隔ずつ間欠移動させる。回転体１０２が間欠移動する回転角度を、第２の回転搬送部１２の回転ピッチとする。

【0027】

第２の保持部１２０は、図２に示した第１の保持部１１０と同様に構成されており、それぞれ、吸着コレットと、進退駆動機構とを有する。第２の保持部１２０は第１の保持部１１０と同一の構成であるため、ここでは詳細な説明は省略する。第２の保持部１２０は、進退移動機構によって先端に設けられた吸着コレットを進退方向に移動させる。

【0028】

（位置補正部）
位置補正部２０は、電子部品Ｗの搬送経路上において、第１の回転搬送部１１と第２の回転搬送部１２との間に設けられ、第１の保持部１１０から受け取った電子部品Ｗの位置を補正して第２の保持部１２０へ受け渡す。位置補正部２０は、図１及び図３に示すように、第１の保持部１１０及び第２の保持部１２０と電子部品Ｗの受け渡しを行う吸着保持部２１０と、回転搬送テーブル２２０と、回転搬送テーブル２２０を平行移動する平行駆動部２３０と、を有する。

【0029】

吸着保持部２１０は、電子部品Ｗを吸着保持する吸着面２１１ａを有し、第１の受け渡し位置Ｑ１において第１の保持部１１０と電子部品Ｗの受け渡しを行い、第２の受け渡し位置Ｑ２において第２の保持部１２０と電子部品Ｗの受け渡しを行う。吸着保持部２１０は、図１上側に示すように、後述する回転搬送テーブル２２０のテーブル２２１の上面２２１ａに、Ｚ方向に平行な回転軸Ａ０を中心とする仮想円の周方向に沿って所定の間隔で設けられている。例えば図１に示す位置補正部２０は、１８個の吸着保持部２１０が等間隔（すなわち２０°の設置間隔）でテーブル２２１に設けられている。吸着保持部２１０は、回転搬送テーブル２２０の回転に伴い、回転軸Ａ０を中心とする円軌道Ｃ０に沿って移動する。

【0030】

吸着保持部２１０は、例えば図２に示すように、吸着コレット２１１と、固定部材２１３とからなる。

【0031】

吸着コレット２１１は、先端の吸着面２１１ａにて電子部品Ｗを吸着し保持する。吸着コレット２１１は、第１の保持部１１０の吸着コレット１１１及び第２の保持部１２０の吸着コレットと同一であってもよい。すなわち、吸着コレット２１１は、例えばゴム、樹脂、金属等から形成される略円錐体の部材である。吸着面２１１ａは平坦面である。吸着コレット２１１は、吸着面２１１ａが回転軸Ａ０と直交するように設けられる。

【0032】

吸着面２１１ａの面内には吸着保持部２１０の内部通路に連通する吸引孔（図示せず。）が形成されている。吸着保持部２１０の内部通路は負圧発生装置の空気圧回路と連通している。負圧発生装置が空気圧回路に負圧を発生させることにより、吸着コレット２１１は吸着面２１１ａで電子部品Ｗを保持することができる。また、負圧発生装置が真空破壊または大気解放により負圧による吸引力を解放することで、吸着コレット２１１は吸着面２１１ａで保持していた電子部品Ｗを解放する。

【0033】

固定部材２１３は、吸着コレット２１１を回転搬送テーブル２２０のテーブル２２１の上面２２１ａに固定するための部材である。固定部材２１３の、テーブル２２１の上面２２１ａと接している面と反対側の面には、吸着コレット２１１が設けられている。固定部材２１３の内部には、吸着コレット２１１の吸引孔に連通する内部通路が形成されている。

【0034】

回転搬送テーブル２２０は、回転軸Ａ０を中心とする円軌道Ｃ０に沿って吸着保持部２１０を移動させる。回転搬送テーブル２２０は、図３に示すように、吸着保持部２１０が設けられるテーブル２２１と、回転軸Ａ０を中心としてテーブル２２１を回転させる回転駆動部２２３とを有する。テーブル２２１の上面２２１ａは平坦面であり、回転軸Ａ０に直交する。回転駆動部２２３は、例えばモータ等であり、回転軸Ａ０とともにテーブル２２１を回転軸Ａ０周りに回転させる。回転駆動部２２３は、テーブル２２１を吸着保持部２１０の設置間隔で間欠移動させる。テーブル２２１が間欠移動する回転角度を、回転搬送テーブル２２０の回転ピッチとする。

【0035】

平行駆動部２３０は、ＸＹ平面内で回転搬送テーブル２２０を平行移動させる。平行駆動部２３０は、図３に示すように、回転搬送テーブル２２０を載置する基台２３１と、基台２３１をＸ方向に移動させる第１駆動機構２３３と、基台２３１をＹ方向に移動させる第２駆動機構２３５と、を有する。

【0036】

基台２３１には回転搬送テーブル２２０の回転駆動部２２３が固定される。第１駆動機構２３３は、位置補正部２０が設置される設置台Ｂ上に固定されたＸ方向に平行な一対のガイド２３３ａと、ガイド２３３ａに沿ってＸ方向に移動するスライド部２３３ｂと、スライド部２３３ｂ上に固定され、スライド部２３３ｂとともにＸ方向に移動する天板２３３ｃとを有する。第２駆動機構２３５は、第１駆動機構２３３の天板２３３ｃ上に固定されたＹ方向に平行な一対のガイド２３５ａと、ガイド２３５ａに沿ってＹ方向に移動するスライド部２３５ｂとを有する。第２駆動機構２３５のスライド部２３５ｂには基台２３１が固定されている。第１駆動機構２３３及び第２駆動機構２３５は、それぞれ、モータ（図示せず。）によりスライド部２３３ｂ、２３５ｂを移動させる電動アクチュエータとして構成してもよい。

【0037】

平行駆動部２３０は、第１駆動機構２３３及び第２駆動機構２３５により、基台２３１に載置されている回転搬送テーブル２２０をＸＹ平面内で平行移動させる。これにより、回転搬送テーブル２２０の吸着保持部２１０によって吸着保持される電子部品Ｗの平面位置を調整する。

【0038】

また、位置補正部２０は、搬送する電子部品Ｗの位置を確認するための画像を撮像する撮像部２５０を有してもよい。撮像部２５０は、例えば、図１上側及び図３に示すように、第１の受け渡し位置Ｑ１と第２の受け渡し位置Ｑ２との間の電子部品Ｗの搬送経路の上方に設置される。撮像部２５０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサ等の撮像素子を備えるカメラであってもよい。撮像部２５０により撮像された画像は、搬送装置１を制御する制御部７０へ出力される。制御部７０は、例えば、撮像部２５０により撮像された画像に基づき平行駆動部２３０を制御して、電子部品Ｗの平面位置を調整する。

【0039】

図１に示す搬送装置１は、まず、第１の回転搬送部１１により、例えばウェハシートＳに貼り付けられている電子部品Ｗを１つずつ吸着保持し、位置補正部２０へ搬送する。第１の回転搬送部１１は、回転体１０１を一方向（例えば、図１下側に示すように側面視した状態では反時計回り）に回転させ、ピックアップ位置Ｑ０で第１の保持部１１０によりウェハシートＳから電子部品Ｗを１つ吸着保持する。

【0040】

例えば、ピックアップ位置Ｑ０には、ウェハシートＳに対して第１の回転搬送部１１と反対側に、ウェハシートＳに張り付けられている電子部品Ｗを第１の回転搬送部１１側へ突き出す突き出し装置３０が設置されている。突き出し装置３０は、ウェハシートＳの裏面から電子部品Ｗを突き出すピン３５と、ピン３５を突き出し方向に移動させるモータ（図示せず。）とを備える。突き出し方向は、ピックアップ位置Ｑ０での第１の保持部１１０の吸着面１１１ａに対して直交する方向である。なお、ウェハシートＳも、突き出し方向に対して直交するように設置する。図１に示す搬送装置１においては、突き出し方向は水平方向（Ｘ方向）である。

【0041】

突き出し装置３０は、第１の回転搬送部１１の第１の保持部１１０がピックアップ位置Ｑ０に位置するタイミングで、ウェハシートＳの裏面側から第１の保持部１１０に向かって搬送対象の電子部品Ｗを突き出すように、ピン３５を動作させる。第１の保持部１１０は、突き出された電子部品Ｗを吸着面１１１ａにて吸着保持する。ピックアップ位置Ｑ０での第１の保持部１１０の吸着面１１１ａとウェハシートＳとを平行とし、これらと直交する方向から電子部品Ｗをピン３５で突き出すことにより、電子部品Ｗを第１の保持部１１０の吸着面１１１ａに吸着させることができる。

【0042】

電子部品Ｗを保持した第１の保持部１１０は、回転体１０１の回転により円軌道Ｃ１に沿って垂直面内を移動する。電子部品Ｗを保持した第１の保持部１１０は、第１の受け渡し位置Ｑ１で、位置補正部２０の吸着保持部２１０と電子部品Ｗの受け渡しを行う。第１の受け渡し位置Ｑ１では、第１の保持部１１０の吸着面１１１ａと位置補正部２０の吸着面２１１ａとは平行となる。これにより、位置補正部２０の吸着面２１１ａは、第１の保持部１１０から受け取った電子部品Ｗを傾くことなく正しい姿勢で保持することができる。

【0043】

ウェハシートＳに貼り付けられている電子部品Ｗは、バンプ（電極）と反対側の平坦な面がウェハシートＳに接している。このため、第１の保持部１１０はバンプ側の面を吸着面１１１ａに吸着保持し、バンプと反対側の面が外部に向いている。したがって、第１の受け渡し位置Ｑ１において第１の保持部１１０と位置補正部２０の吸着保持部２１０とが電子部品Ｗの受け渡しを行う際、吸着保持部２１０は、電子部品Ｗのバンプと反対側の平坦な面を吸着保持する。このため、電子部品のサイズが小さい場合にも当該電子部品のバンプが吸着面２１１ａの吸引孔に入り込むことはなく、吸着保持部２１０の吸着面２１１ａに保持されるときに電子部品Ｗの姿勢は矯正される。第１の保持部１１０の吸着面１１１ａがピックアップ位置Ｑ０で電子部品Ｗを吸着保持した際に、バンプが吸引孔に入り込んで電子部品Ｗに傾きが生じていたとしても、第１の受け渡し位置Ｑ１では、吸引保持部２１０は電子部品Ｗのバンプと反対側の平坦な面を吸着面２１１ａにて保持するため、生じていた傾きは矯正される。

【0044】

このように、吸着保持部２１０の吸着面２１１ａに吸着保持された電子部品Ｗは、傾きのない適正な姿勢となる。第１の受け渡し位置Ｑ１で電子部品Ｗの姿勢が矯正されているため、第２の受け渡し位置Ｑ２において、吸着保持部２１０の吸着面２１１ａと第２の保持部１２０の吸着面とが平行であれば、電子部品Ｗの正しい姿勢を保持した状態でこれらの間で電子部品Ｗを受け渡すことができる。

【0045】

電子部品Ｗを吸着保持した吸着保持部２１０は、テーブル２２１の回転により円軌道Ｃ０に沿って、水平面内を第１の受け渡し位置Ｑ１から第２の受け渡し位置Ｑ２まで移動する。電子部品Ｗを保持した吸着保持部２１０は、第２の受け渡し位置Ｑ２で、第２の回転搬送部１２の第２の保持部１２０と電子部品Ｗの受け渡しを行う。第２の受け渡し位置Ｑ２では、第２の保持部１２０の吸着面と位置補正部２０の吸着面２１１ａとは平行となっている。これにより、第２の保持部１２０の吸着面は、位置補正部２０の吸着面２１１ａから電子部品Ｗを傾くことなく正しい姿勢で吸着保持することができる。

【0046】

電子部品Ｗを保持した第２の保持部１２０は、回転体１０２の回転により円軌道Ｃ２に沿って垂直面内を移動する。電子部品Ｗを保持した第２の保持部１２０は、次の工程を行う処理装置まで電子部品Ｗを搬送し、当該処理装置へ電子部品Ｗを渡す。例えば、図１に示すように、第２の回転搬送部１２はさらに第３の回転搬送部１３へ電子部品Ｗに渡した後、第３の回転搬送部１３によってキャリアテープ（図示せず。）を収容するテーピングユニット５０へ電子部品Ｗを搬送してもよい。

【0047】

第３の回転搬送部１３は、図１上側に示すように、第１の回転搬送部１１及び第２の回転搬送部１２とともにＸ方向に沿って並列されており、図１下側に示すようにＹ方向に平行な回転軸Ａ３を中心として回転する。第３の回転搬送部１３は、第１の回転搬送部１１及び第２の回転搬送部１２と同様に構成し得る。

【0048】

すなわち、第３の回転搬送部１３は、図１下側に示すように、Ｙ方向に平行な回転軸Ａ３を中心として、回転軸Ａ３とともに回転する回転体１０３と、Ｙ方向に直交するＺＸ平面において回転体１０３から放射状に設けられた複数の第３の保持部１３０を備える。複数の第３の保持部１３０は、回転軸Ａ３を中心とする仮想円の周方向に沿って所定の間隔で回転体１０３に設けられている。第３の保持部１３０は、図２に示した第１の保持部１１０と同様に構成されており、それぞれ、吸着コレットと、進退駆動機構とを有する。第３の保持部１３０は、進退移動機構によって先端に設けられた吸着コレットを進退方向に移動させる。

【0049】

第３の回転搬送部１３は、図１下側に示すように、第２の保持部１２０と第３の保持部１３０とがＸ方向に対応する第３の受け渡し位置Ｑ３で、第２の回転搬送部１２との電子部品Ｗの受け渡しを行う。第３の受け渡し位置Ｑ３において、第２の保持部１２０の吸着面と第３の保持部１３０の吸着面とは平行とする。電子部品Ｗを吸着保持している第２の保持部１２０は、第３の受け渡し位置Ｑ３に位置すると第２の保持部１２０を外方へ移動させて第３の保持部１３０の吸着面に電子部品Ｗを近づける。第３の保持部１３０は、近づけられた電子部品Ｗを吸着面で吸着保持し、第２の保持部１２０から電子部品Ｗを受け取る。

【0050】

電子部品Ｗを保持した第３の保持部１３０は、回転体１０３の回転により円軌道Ｃ３に沿って、垂直面内を第３の受け渡し位置Ｑ３からテーピングユニット５０へ電子部品Ｗを供給する供給位置Ｑ４まで移動する。テーピングユニット５０は、例えば第３の回転搬送部１３の下方に設置されており、供給位置Ｑ４において、第３の保持部１３０の吸着面とテーピングユニット５０とは垂直方向（Ｚ方向）に対向する。電子部品Ｗを保持した第３の保持部１３０は、供給位置Ｑ４に位置すると、吸着保持していた電子部品Ｗを解放する。解放された電子部品Ｗはテーピングユニット５０内のキャリアテープのポケット（図示せず。）に収容される。

【0051】

以上、搬送装置１の構成について説明した。

【0052】

［２．動作］
搬送装置１は、第１の回転搬送部１１の動作、第２の回転搬送部１２の動作、及び、位置補正部２０の動作のタイミングを合わせ、搬送対象の電子部品Ｗを搬送する。本実施形態に係る搬送装置１では、電子部品Ｗの搬送経路上において第１の回転搬送部１１と第２の回転搬送部１２との間に、電子部品Ｗの平面位置を補正する位置補正部２０を設けることで、電子部品Ｗの搬送工程の間に電子部品Ｗのアライメント処理を行う。これにより、電子部品Ｗのアライメント処理に要する時間を短縮する。以下、搬送装置１の動作について説明する。

【0053】

［２－１．動作パターン１］
まず、図４に基づいて、搬送装置１の動作パターンの一例として、第１の受け渡し位置Ｑ１での電子部品Ｗの受け渡しと第２の受け渡し位置Ｑ２での電子部品Ｗの受け渡しとを同一タイミングで行う場合（動作パターン１）について説明する。図４は、動作パターン１における搬送装置１の動作を示すタイミングチャートである。

【0054】

図４には、第１の回転搬送部１１の動作として、円軌道Ｃ１に沿って移動する回転移動動作及び進退動作を示し、第２の回転搬送部１２の動作として、円軌道Ｃ２に沿って移動する回転移動動作及び進退動作を示す。また、位置補正部２０の動作として、円軌道Ｃ０に沿って吸着保持部２１０を移動させる回転移動動作及び平行駆動部２３０の平行移動動作を図４に示す。図４において、横軸は時間ｔを示し、縦軸は動作速度Ｖを示している。動作速度Ｖについては０であるとき動作は停止しており、０を超える場合には動作中であることを表している。なお、位置補正部２０の平行移動動作については、Ｘ方向の位置補正動作及びＹ方向の位置補正動作をまとめて表している。

【0055】

動作パターン１において、搬送装置１は、第１の回転搬送部１１の回転ピッチと、第２の回転搬送部１２の回転ピッチと、位置補正部２０の回転搬送テーブル２２０の回転ピッチとを同期させて動作する。

【0056】

図４に示すように、第１の回転搬送部１１が回転体１０１を回転移動させて、第１の保持部１１０を１ピッチ分移動させるとき、同一のタイミングで、位置補正部２０の回転搬送テーブル２２０が１ピッチ分移動され、第２の回転搬送部１２の第２の保持部１２０も１ピッチ分移動される。このとき、位置補正部２０の回転移動動作が開始してから停止するまでの間に、位置補正部２０の平行移動動作を行う。

【0057】

この平行移動動作では、第２の受け渡し位置Ｑ２にて位置補正部２０の吸着保持部２１０から第２の保持部１２０へ受け渡す電子部品Ｗの平面位置を補正する。電子部品Ｗの原点位置からのＸ方向及びＹ方向の補正量は、例えば、撮像部２５０により撮像された画像中における電子部品Ｗの位置と原点位置からずれがない場合に電子部品Ｗが写る位置とを比較することにより求めることができる。制御部７０は、電子部品Ｗの原点位置からのＸ方向及びＹ方向の補正量を算出して、位置補正部２０による回転搬送テーブル２２０の回転移動動作が開始してから停止するまでの間に、回転搬送テーブル２２０を平行移動させて、第２の受け渡し位置Ｑ２における電子部品Ｗの平面位置を補正する。

【0058】

第１の回転搬送部１１の回転移動動作、第２の回転搬送部１２の回転移動動作、及び、位置補正部２０の回転移動動作と、位置補正部２０の平行移動動作が終わると、第１の受け渡し位置Ｑ１及び第２の受け渡し位置Ｑ２で電子部品Ｗの受け渡しが行われる。

【0059】

第１の受け渡し位置Ｑ１での進退動作では、まず、電子部品Ｗを吸着保持した第１の保持部１１０の吸着コレット１１１を位置補正部２０の吸着保持部２１０へ近づけて、吸着保持部２１０の吸着コレット２１１に電子部品Ｗを吸着保持させる。その後、吸着コレット１１１は電子部品Ｗの吸着保持を解放して元の位置まで退避する。同様に、第２の受け渡し位置Ｑ２での進退動作では、まず、第２の保持部１２０の吸着コレットを位置補正部２０の吸着保持部２１０へ近づけて、位置補正部２０の平行移動動作により平面位置が補正された、吸着保持部２１０が吸着保持する電子部品Ｗを吸着保持する。その後、吸着保持部２１０による電子部品Ｗの吸着保持が解放され、吸着コレットにより電子部品Ｗを吸着保持した第２の保持部１２０を元の位置まで退避する。

【0060】

第１の保持部１１０の進退動作及び第２の保持部１２０の進退動作を終えると、位置補正部２０は平行移動動作を行う。この平行移動動作では、第２の受け渡し位置Ｑ２で第２の保持部１２０に渡された電子部品Ｗの平面位置を補正するために移動された回転搬送テーブル２２０を、原点位置へ移動させる。これにより、回転搬送テーブル２２０を、次に第２の受け渡し位置Ｑ２で吸着保持部２１０と第２の保持部１２０との間で受け渡す電子部品Ｗの平面位置を補正するための初期位置に位置させる。かかる平行移動動作を終えると、１ピッチでの動作が完了する。

【0061】

このように、電子部品Ｗの平面位置の補正を、位置補正部２０の回転搬送テーブル２２０の回転ピッチの間に行うことで、効率よく電子部品Ｗのアライメント処理を実施することができる。

【0062】

［２－２．動作パターン２］
次に、図５に基づいて、搬送装置１の動作パターンの一例として、第１の受け渡し位置Ｑ１での電子部品Ｗの受け渡しと第２の受け渡し位置Ｑ２での電子部品Ｗの受け渡しとを異なるタイミングで行う場合（動作パターン２）について説明する。図５は、動作パターン２における搬送装置１の動作を示すタイミングチャートである。

【0063】

図５も、図４と同様に、第１の回転搬送部１１の動作として、円軌道Ｃ１に沿って移動する回転移動動作及び進退動作を示し、第２の回転搬送部１２の動作として、円軌道Ｃ２に沿って移動する回転移動動作及び進退動作を示す。また、位置補正部２０の動作として、円軌道Ｃ０に沿って吸着保持部２１０を移動させる回転移動動作及び平行駆動部２３０による平行移動動作を図５に示す。

【0064】

動作パターン２においては、搬送装置１は、第１の回転搬送部１１の回転ピッチと、第２の回転搬送部１２の回転ピッチと、１／２ピッチずらして、第１の受け渡し位置Ｑ１での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングと、第２の受け渡し位置Ｑ２での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングとをずらしている。位置補正部２０の回転搬送テーブル２２０は、第１の回転搬送部１１の回転移動動作及び第２の回転搬送部１２の回転移動動作、それぞれに同期して動作する。

【0065】

図５に示すように、第１の回転搬送部１１が回転体１０１を回転移動させて、第１の保持部１１０を１ピッチ分移動させるとき、同一のタイミングで、位置補正部２０の回転搬送テーブル２２０が１ピッチ分移動される。このとき、位置補正部２０の回転移動動作が開始してから停止するまでの間に、位置補正部２０の平行移動動作を行う。この平行移動動作では、１つ前のタイミングで第２の受け渡し位置Ｑ２で第２の保持部１２０に渡された電子部品Ｗの平面位置を補正するために移動された回転搬送テーブル２２０を、原点位置へ移動させる。これにより、回転搬送テーブル２２０を、次に第２の受け渡し位置Ｑ２で吸着保持部２１０と第２の保持部１２０との間で受け渡す電子部品Ｗの平面位置を補正するための初期位置に位置させる。位置補正部２０は、回転搬送テーブル２２０の回転移動動作が開始してから停止するまでの間に、回転搬送テーブル２２０を平行移動させて原点位置に位置させる。

【0066】

第１の回転搬送部１１の回転移動動作、及び、位置補正部２０の回転移動動作と、位置補正部２０の平行移動動作が終わると、第１の受け渡し位置Ｑ１で電子部品Ｗの受け渡しが行われる。第１の受け渡し位置Ｑ１での進退動作は、動作パターン１と同様、まず、電子部品Ｗを吸着保持した第１の保持部１１０の吸着コレット１１１を位置補正部２０の吸着保持部２１０へ近づけて、吸着保持部２１０の吸着コレット２１１に電子部品Ｗを吸着保持させる。その後、吸着コレット１１１は電子部品Ｗの吸着保持を解放して元の位置まで退避する。

【0067】

第１の保持部１１０の進退動作を終えると、第２の回転搬送部１２が回転体１０２を回転移動させて、第２の保持部１２０を１ピッチ分移動させる。第２の回転搬送部１２の回転移動動作と同一のタイミングで、位置補正部２０の回転搬送テーブル２２０が１ピッチ分移動される。このとき、位置補正部２０の回転移動動作が開始してから停止するまでの間に、位置補正部２０の平行移動動作を行う。この平行移動動作では、第２の受け渡し位置Ｑ２にて位置補正部２０の吸着保持部２１０から第２の保持部１２０へ受け渡す電子部品Ｗの平面位置を補正する。かかる平行移動動作は、動作パターン１と同様に、制御部７０は、撮像部２５０により撮像された画像を用いて電子部品Ｗの原点位置からのＸ方向及びＹ方向の補正量を算出し、位置補正部２０による回転搬送テーブル２２０の回転移動動作が開始してから停止するまでの間に、回転搬送テーブル２２０を平行移動させて、第２の受け渡し位置Ｑ２における電子部品Ｗの平面位置を補正する。

【0068】

第２の回転搬送部１２の回転移動動作、及び、位置補正部２０の回転移動動作と、位置補正部２０の平行移動動作が終わると、第２の受け渡し位置Ｑ２で電子部品Ｗの受け渡しが行われる。第２の受け渡し位置Ｑ２での進退動作は、動作パターン１と同様、まず、第２の保持部１２０の吸着コレットを位置補正部２０の吸着保持部２１０へ近づけて、位置補正部２０の平行移動動作により平面位置が補正された、吸着保持部２１０が吸着保持する電子部品Ｗを吸着保持する。その後、吸着保持部２１０による電子部品Ｗの吸着保持が解放され、吸着コレットにより電子部品Ｗを吸着保持した第２の保持部１２０を元の位置まで退避する。

【0069】

第２の保持部１２０の進退動作を終えると、第１の受け渡し位置Ｑ１での電子部品Ｗの受け渡しと、第２の受け渡し位置Ｑ２での電子部品Ｗの受け渡しが、それぞれ１回ずつ完了する。動作パターン２では以上の動作を繰り返し行う。

【0070】

このように、動作パターン２においても、電子部品Ｗの平面位置の補正を、位置補正部２０の回転搬送テーブル２２０の回転ピッチの間に行うことで、効率よく電子部品Ｗのアライメント処理を実施することができる。動作パターン２では、第１の受け渡し位置Ｑ１での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングと、第２の受け渡し位置Ｑ２での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングとをずらすことで、第１の回転搬送部１１の回転移動時に回転搬送テーブル２２０を平行移動させて原点位置に位置させる平行移動動作を行う。これにより、位置補正部２０の平行移動動作を効率よく行うことができ、搬送装置１による電子部品Ｗの搬送を高速化することが可能となる。

【0071】

［３．変形例］
［３－１．構成要素の配置の変更］
本発明に係る搬送装置１において、第１の回転搬送部１１、第２の回転搬送部１２、及び、位置補正部２０を含む搬送装置１の各構成要素の配置は、図１に示した構成に限定されない。例えば、搬送装置１は、図６～図９に示すように構成してもよい。

【0072】

（変形例１）
図６に示す搬送装置１は、図１に示す搬送装置１の構成と比較して、第３の回転搬送部１３の配置が異なり、第３の回転搬送部１３は回転軸Ａ３がＺ方向に沿うように設けられている。第３の回転搬送部１３は、第３の保持部１３０により、第３の受け渡し位置Ｑ３で電子部品Ｗを保持した第２の保持部１２０から電子部品Ｗを受け取り、円軌道Ｃ３に沿って電子部品Ｗを搬送する。そして、第３の保持部１３０は、搬送した電子部品Ｗを、例えば収納側のウェハシートＳと対向する供給位置Ｑ４でウェハシートＳに収納する。このように、搬送装置１は、第３の回転搬送部１３の配置の向きを変えて構成してもよい。

【0073】

（変形例２）
図７に示す搬送装置１は、図１に示す搬送装置１の構成と比較して、第１の回転搬送部１１の配置が異なり、第１の回転搬送部１１は位置補正部２０の回転軸Ａ０に対して９０°回転された状態で配置されている。第１の回転搬送部１１の回転軸Ａ１はＸ方向に平行である。図７に示す搬送装置１を平面視して電子部品Ｗの搬送経路をみると、電子部品Ｗは、第１の回転搬送部１１によりＹ方向に沿って移動された後、位置補正部２０により水平面（ＸＹ平面）を２７０°移動され、その後、第２の回転搬送部１２によりＸ方向に沿って移動される。このように、位置補正部２０の回転軸Ａ０に対する第１の回転搬送部１１と第２の回転搬送部１２との位置を変化させることで、電子部品Ｗの搬送方向を変化させることができる。

【0074】

図７に示す搬送装置１では、平面視して第１の回転搬送部１１と第２の回転搬送部１２とが９０°の角度で配置されている。このため、回転搬送テーブル２２０に吸着保持部２１０が２０°の設置間隔で設けられている場合には、第１の受け渡し位置Ｑ１での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングと、第２の受け渡し位置Ｑ２での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングとを一致させることができない。このような場合には、搬送装置１は図５に示した動作パターン２のように、第１の受け渡し位置Ｑ１での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングと、第２の受け渡し位置Ｑ２での電子部品Ｗの受け渡しのタイミングとをずらして動作させればよい。

【0075】

（変形例３）
図１に示す搬送装置１では、位置補正部２０の吸着保持部２１０は、吸着面２１１ａが常に水平面（ＸＹ平面）に平行となるように配置されているが、吸着面２１１ａは、第２の受け渡し位置Ｑ２において、対向する第２の保持部１２０の吸着面と平行であればよい。

【0076】

上述したように、第１の受け渡し位置Ｑ１において第１の保持部１１０と位置補正部２０の吸着保持部２１０とが電子部品Ｗの受け渡しを行う際、吸着保持部２１０は、電子部品Ｗのバンプと反対側の面を吸着保持する。このときバンプが吸着面２１１ａの吸引孔に入り込むことがないため、吸着保持部２１０の吸着面２１１ａに保持されるときに電子部品Ｗの姿勢は矯正される。すなわち、吸着保持部の吸着面２１１ａに吸着保持された電子部品Ｗは傾きのない適正な姿勢となっている。したがって、第２の受け渡し位置Ｑ２において、吸着保持部２１０の吸着面２１１ａと第２の保持部１２０の吸着面とが平行であれば、電子部品Ｗの正しい姿勢を保持した状態でこれらの間で電子部品Ｗを受け渡すことができる。

【0077】

例えば、図８に示すように、位置補正部２０を、水平面（ＸＹ平面）に対して４５°傾けて設置し、第１の受け渡し位置Ｑ１では第１の保持部１１０の吸着面１１１ａと吸着保持部２１０の吸着面２１１ａとが水平方向に平行となり、第２の受け渡し位置Ｑ２では第２の保持部１２０の吸着面と吸着保持部２１０の吸着面２１１ａとが垂直方向に平行となるようにしてもよい。この場合、第１の受け渡し位置Ｑ１において電子部品Ｗが吸着保持部２１０の吸着面２１１ａに保持されるときに電子部品Ｗの姿勢が矯正される。そして、回転搬送テーブル２２０の回転により移動された電子部品Ｗは、第２の受け渡し位置Ｑ２で、第２の保持部１２０の吸着面に吸着保持される。第２の受け渡し位置Ｑ２では第２の保持部１２０の吸着面と吸着保持部２１０の吸着面２１１ａとが平行であることから、電子部品Ｗの正しい姿勢を保持した状態で電子部品Ｗの受け渡しを行うことができる。

【0078】

また、例えば図９に示すように、位置補正部２０を、水平面（ＸＹ平面）に対して４５°傾けて設置し、第１の受け渡し位置Ｑ１では第１の保持部１１０の吸着面１１１ａと吸着保持部２１０の吸着面２１１ａとが垂直方向に平行となり、第２の受け渡し位置Ｑ２では第２の保持部１２０の吸着面と吸着保持部２１０の吸着面２１１ａとが水平方向に平行となるようにしてもよい。この場合にも、第１の受け渡し位置Ｑ１において電子部品Ｗが吸着保持部２１０の吸着面２１１ａに保持されるときに電子部品Ｗの姿勢が矯正される。そして、回転搬送テーブル２２０の回転により移動された電子部品Ｗは、第２の受け渡し位置Ｑ２で、第２の保持部１２０の吸着面に吸着保持される。第２の受け渡し位置Ｑ２では第２の保持部１２０の吸着面と吸着保持部２１０の吸着面２１１ａとが平行であることから、電子部品Ｗの正しい姿勢を保持した状態で電子部品Ｗの受け渡しを行うことができる。

【0079】

［３－２．回転搬送部における電子部品の位置補正］
また、本発明に係る搬送装置１において、位置補正部２０を設ける代わりに、第１の回転搬送部１１と第３の回転搬送部１３との間にある第２の回転搬送部１２に、電子部品Ｗの位置を補正する機能を設けてもよい。すなわち、第２の回転搬送部１２を、上述の実施形態における位置補正部２０として機能させる。

【0080】

図１０及び図１１に、本発明に係る搬送装置１の変形例として、第２の回転搬送部１２に電子部品Ｗの位置を補正する位置補正機構３００を設けた場合の搬送装置１の一構成例を示す。図１０では、上側に搬送装置１を平面視した状態を示し、下側に搬送装置１を側面視した状態を示している。図１１は、第２の回転搬送部１２及び位置補正機構３００を示す模式図であって、図１０上側に示す状態をＸ方向から見た状態を示している。

【0081】

図１０に示す搬送装置１は、第１の回転搬送部１１と、第２の回転搬送部１２と、第３の回転搬送部１３とを有する。第１の回転搬送部１１、第２の回転搬送部１２、及び、第３の回転搬送部１３は、図１０上側に示すようにＸ方向に沿って並列されており、図１０下側に示すようにＹ方向に平行な駆動部６１、６２、６３の回転軸Ａ１、Ａ２、Ａ３を中心として回転する。第１の回転搬送部１１、第２の回転搬送部１２、及び、第３の回転搬送部１３の構成は、図１の搬送装置１と同様である。

【0082】

本変形例における第２の回転搬送部１２は、第１の回転搬送部１１の第１の保持部１１０から受け取った電子部品Ｗの位置を補正して第３の回転搬送部１３の第３の保持部１３０へ受け渡すため、位置補正機構３００を備えている。位置補正機構３００は、第２の回転搬送部１２を平行移動させる機構である。位置補正機構３００による第２の回転搬送部１２の平行移動は、第１の保持部１１０から第２の保持部１２０へ電子部品Ｗを受け渡す第１の受け渡し位置Ｑ１、または、第２の保持部１２０から第３の保持部１３０へ電子部品Ｗを受け渡す第２の受け渡し位置Ｑ２で、第２の保持部１２０の吸着面と平行な面内で行われる。

【0083】

例えば、図１０に示す搬送装置１では、第１の受け渡し位置Ｑ１及び第２の受け渡し位置Ｑ２において、第２の保持部１２０の吸着面は、ＹＺ平面と平行となる。このため、図１１に示す位置補正機構３００は、第２の回転搬送部１２を回転軸に平行な方向であるＹ方向に移動させる第１駆動部３１０と、第２の回転搬送部１２を回転軸に直交する方向であるＺ方向に移動させる第２駆動部３２０とを有している。

【0084】

なお、第２の回転搬送部１２は、当該第２の回転搬送部１２が設置される支持基台３０５に対して、モータ支持板６２ａ、ブラケット７２、及び、位置補正機構３００を介して取り付けられている。モータ支持板６２ａは、回転体１０２を回転させるモータ等の駆動部６２に固定されており、第２の回転搬送部１２とともにＹＺ平面を平行移動する。ブラケット７２は、ＸＹ平面に平行な第１面７２ａとＺＸ平面に平行な第２面７２ｂとからなるＬ字型の部材である。ブラケット７２は、第２の回転搬送部１２とともにＹ方向へ移動する。

【0085】

第１駆動部３１０は、支持基台３０５に固定されている。第１駆動部３１０は、モータ３１１と、ボールねじ３１３と、一対のガイド３１５と、スライド部３１７ａ、３１７ｂとを有する。モータ３１１は、支持基台３０５にモータブラケット３１２を用いて固定されている。ボールねじ３１３は、モータ３１１の回転運動を直線運動に変換する。一対のガイド３１５は、支持基台３０５上にＹ方向に平行な状態で固定されている。スライド部３１７ａ、３１７ｂは、ボールねじ３１３の直線運動により、一対のガイド３１５に沿ってＹ方向に移動する。

【0086】

スライド部３１７ａ、３１７ｂには、ブラケット７２の第１面７２ａが固定されている。したがって、ブラケット７２は、スライド部３１７ａ、３１７ｂとともにＹ方向に移動する。ブラケット７２のＹ方向への移動に伴い、モータ支持板６２ａと後述する第２駆動部３２０を介してブラケット７２に支持されている第２の回転搬送部１２もＹ方向へ移動する。

【0087】

第２駆動部３２０は、ブラケット７２に固定されている。第２駆動部３２０は、モータ３２１と、ボールねじ３２３と、一対のガイド３２５と、スライド部３２７ａ、３２７ｂとを有する。モータ３２１は、ブラケット７２の第１面７２ａにモータブラケット３２２を用いて固定されている。ボールねじ３２３は、モータ３２１の回転運動を直線運動に変換する。一対のガイド３２５は、ブラケット７２の第２面７２ｂにＺ方向に平行な状態で固定されている。スライド部３２７ａ、３２７ｂは、ボールねじ３２３の直線運動により、一対のガイド３２５に沿ってＺ方向に移動する。

【0088】

スライド部３２７ａ、３２７ｂには、モータ支持板６２ａが固定されており、スライド部３２７ａ、３２７ｂとともにＺ方向に移動する。ここで、ブラケット７２の第２面７２ｂには、駆動部６２が挿通可能な大きさの貫通孔が設けられており、駆動部６２は、ブラケット７２には直接固定されていない。したがって、モータ支持板６２ａは、スライド部３２７ａ、３２７ｂとともにブラケット７２に対して相対的にＺ方向に移動することができる。モータ支持板６２ａのＺ方向への移動に伴い、モータ支持板６２ａに固定されている第２の回転搬送部１２もＺ方向へ移動する。

【0089】

位置補正機構３００は、第１駆動部３１０及び第２駆動部３２０により、第２の回転搬送部１２をＹＺ平面内で平行移動させる。これにより、第２駆動部３２０の第２の保持部１２０によって吸着保持される電子部品Ｗの平面位置を調整する。なお、第２の回転搬送部１２には、第１の受け渡し位置Ｑ１と第２の受け渡し位置Ｑ２との間の電子部品Ｗの搬送経路において、搬送する電子部品Ｗの位置を確認するための画像を撮像する撮像部（図示せず。）を設けてもよい。これにより、例えば、搬送装置１を制御する制御部（図示せず。）は、撮像部により撮像された画像に基づき位置補正機構３００を制御して、電子部品Ｗの平面位置を調整することができる。

【0090】

図１０に示す搬送装置１は、まず、第１の回転搬送部１１により、例えばウェハシートＳに貼り付けられている電子部品Ｗを１つずつ吸着保持し、第２の回転搬送部１２へ搬送する。第１の回転搬送部１１は、回転体１０１を一方向（例えば、図１０下側に示すように側面視した状態では反時計回り）に回転させ、ピックアップ位置Ｑ０で第１の保持部１１０によりウェハシートＳから電子部品Ｗを１つ吸着保持する。電子部品Ｗのピックアップは、図１に示した搬送装置１と同様に、例えば、ウェハシートＳに張り付けられている電子部品Ｗを突き出し装置３０により第１の回転搬送部１１側へ突き出し、第１の保持部１１０の吸着面１１１ａに吸着させてもよい。図１０に示す搬送装置１において、突き出し方向は水平方向（Ｘ方向）である。

【0091】

電子部品Ｗを保持した第１の保持部１１０は、回転体１０１の回転により円軌道Ｃ１に沿って垂直面内を移動する。電子部品Ｗを保持した第１の保持部１１０は、第１の受け渡し位置Ｑ１で、第２の回転搬送部１２の第２の保持部１２０と電子部品Ｗの受け渡しを行う。第１の受け渡し位置Ｑ１では、第１の保持部１１０の吸着面１１１ａと第２の保持部１２０の吸着面１２１ａとは平行となる。これにより、第２の保持部１２０の吸着面１２１ａは、第１の保持部１１０から受け取った電子部品Ｗを傾くことなく正しい姿勢で保持することができる。

【0092】

ウェハシートＳに貼り付けられている電子部品Ｗは、バンプ（電極）と反対側の平坦な面がウェハシートＳに接している。このため、第１の保持部１１０はバンプ側の面を吸着面１１１ａに吸着保持し、バンプと反対側の面が外部に向いている。したがって、第１の受け渡し位置Ｑ１において第１の保持部１１０と第２の保持部１２０とが電子部品Ｗの受け渡しを行う際、第２の保持部１２０は、電子部品Ｗのバンプと反対側の平坦な面を吸着保持する。このため、電子部品のサイズが小さい場合にも当該電子部品のバンプが吸着面１２１ａの吸引孔に入り込むことはなく、第２の保持部１２０の吸着面１２１ａに保持されるときに電子部品Ｗの姿勢は矯正される。第１の保持部１１０の吸着面１１１ａがピックアップ位置Ｑ０で電子部品Ｗを吸着保持した際に、バンプが吸引孔に入り込んで電子部品Ｗに傾きが生じていたとしても、第１の受け渡し位置Ｑ１では、第２の保持部１２０は電子部品Ｗのバンプと反対側の平坦な面を吸着面１２１ａにて保持するため、生じていた傾きは矯正される。

【0093】

このように、第２の保持部１２０の吸着面１２１ａに吸着保持された電子部品Ｗは、傾きのない適正な姿勢となる。第１の受け渡し位置Ｑ１で電子部品Ｗの姿勢が矯正されているため、第２の受け渡し位置Ｑ２において、第２の保持部１２０の吸着面１２１ａと第３の保持部１３０の吸着面１３１ａとが平行であれば、電子部品Ｗの正しい姿勢を保持した状態でこれらの間で電子部品Ｗを受け渡すことができる。

【0094】

電子部品Ｗを保持した第２の保持部１２０は、回転体１０２の回転により円軌道Ｃ２に沿って、垂直面内を第１の受け渡し位置Ｑ１から第２の受け渡し位置Ｑ２まで移動する。第２の保持部１２０の移動中に位置補正機構３００により第２の回転搬送部１２を平行移動して、第２の保持部１２０が吸着保持する電子部品Ｗの平面位置を補正する。そして、電子部品Ｗを保持した第２の保持部１２０は、第２の受け渡し位置Ｑ２で、第３の回転搬送部１３の第３の保持部１３０と電子部品Ｗの受け渡しを行う。

【0095】

第２の受け渡し位置Ｑ２では、第２の保持部１２０の吸着面１２１ａと第３の保持部１３０の吸着面１３１ａとは平行となっている。これにより、第３の保持部１３０の吸着面１３１ａは、第２の保持部１２０の吸着面１２１ａから電子部品Ｗを傾くことなく正しい姿勢で吸着保持することができる。第３の回転搬送部１３は、例えば、キャリアテープ（図示せず。）を収容するテーピングユニット５０へ電子部品Ｗを搬送し、供給位置Ｑ４で吸着保持していた電子部品Ｗを解放する。

【0096】

図１０及び図１１に示した搬送装置１では、第２の回転搬送部１２を上述の実施形態における位置補正部２０として機能させ、第２の回転搬送部１２において、吸着保持する電子部品Ｗの平面位置を位置補正機構３００によって補正する。このような搬送装置１によっても、上述の実施形態の搬送装置１と同様、第１の受け渡し位置Ｑ１において電子部品Ｗが第２の保持部１２０の吸着面１２１ａに保持されるときに電子部品Ｗの姿勢が矯正される。そして、第２の回転搬送部１２の回転体１０２の回転により移動された電子部品Ｗは、第２の受け渡し位置Ｑ２で、第３の保持部１３０の吸着面１３１ａに吸着保持される。第２の受け渡し位置Ｑ２では第２の保持部１２０の吸着面１２１ａと第３の保持部１３０の吸着面１３１ａとが平行であることから、電子部品Ｗの正しい姿勢を保持した状態で電子部品Ｗの受け渡しを行うことができる。

【0097】

［４．まとめ］
以上、本発明の一実施形態に係る搬送装置１の構成とその動作について説明した。本実施形態に係る搬送装置１は、電子部品Ｗの搬送経路上において第１の回転搬送部１１と第２の回転搬送部１２との間に、第１の保持部１１０から受け取った電子部品Ｗの位置を補正して第２の保持部１２０へ受け渡す位置補正部２０と、を備える。位置補正部２０は、回転搬送テーブル２２０の回転中に平行駆動部２３０により回転搬送テーブル２２０を平行移動して、吸着保持部２１０が吸着保持する電子部品Ｗの平面位置を補正する。これにより、電子部品Ｗのアライメント処理を効率よく実施することができる。また、第２の受け渡し位置Ｑ２において、対向する吸着保持部２１０の吸着面２１１ａと第２の保持部１２０の吸着面とが平行となるようにする。これにより、第１の受け渡し位置Ｑ１で吸着保持部２１０が電子部品Ｗを吸着した際に矯正された電子部品Ｗの正しい姿勢を保持した状態で電子部品Ｗの受け渡しを行うことができる。

【0098】

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

【0099】

例えば、上記実施形態では、搬送装置は搬送する電子部品の平面位置を補正したが、本発明はかかる例に限定されない。例えば、搬送装置は搬送する電子部品の平面位置の補正に加えて回転補正を行ってもよい。電子部品の回転補正は、電子部品を吸着保持する吸着コレットを吸着面に対して垂直な軸周りに回転させることにより行うことができる。電子部品の回転補正は、第１の回転搬送部、第２の回転搬送部、または、位置補正部のいずれかで行えばよい。

【符号の説明】

【0100】

１ 搬送装置
１１ 第１の回転搬送部
１２ 第２の回転搬送部
１３ 第３の回転搬送部
２０ 位置補正部
３０ 突き出し装置
３５ ピン
５０ テーピングユニット
７０ 制御部
１０１、１０２、１０３ 回転体
１１０ 第１の保持部
１１１ 吸着コレット
１１１ａ、１２１ａ、１３１ａ 吸着面
１１２ 進退駆動機構
１１３ シャフト
１１４ 接続部材
１２０ 第２の保持部
１３０ 第３の保持部
２１０ 吸着保持部
２１１ 吸着コレット
２１１ａ 吸着面
２１３ 固定部材
２２０ 回転搬送テーブル
２２１ テーブル
２２３ 回転駆動部
２３０ 平行駆動部
２３１ 基台
２３３ 第１駆動機構
２３３ａ、２３５ａ ガイド
２３３ｂ、２３５ｂ スライド部
２３３ｃ 天板
２３５ 第２駆動機構
２５０ 撮像部
Ｑ０ ピックアップ位置
Ｑ１ 第１の受け渡し位置
Ｑ２ 第２の受け渡し位置
Ｑ３ 第３の受け渡し位置
Ｑ４ 供給位置
Ｓ ウェハシート
Ｗ 電子部品

【要約】

【課題】電子部品の搬送を効率的にかつ確実に実施する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、電子部品を吸着保持する第１の保持部を円軌道に沿って移動させる第１の回転搬送部と、電子部品を吸着保持する第２の保持部を円軌道に沿って移動させる第２の回転搬送部と、電子部品の搬送経路上において第１の回転搬送部と第２の回転搬送部との間に設けられ、第１の保持部から受け取った電子部品の位置を補正して第２の保持部へ受け渡す位置補正部とを備える。位置補正部は、電子部品を吸着保持する吸着面を有し、第１の保持部及び第２の保持部と電子部品の受け渡しを行う吸着保持部と、円軌道に沿って吸着保持部を移動させる回転搬送テーブルと、回転搬送テーブルを平行移動させ、吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する平行駆動部とを有する。第２の受け渡し位置で対向する吸着保持部の吸着面と第２の保持部の吸着面とは平行である。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】