特許 7494838 有機溶剤回収システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-27

(45)【発行日】2024-06-04

(54)【発明の名称】有機溶剤回収システム

(51)【国際特許分類】

   B01D 53/44 20060101AFI20240528BHJP

   B01D 53/04 20060101ALI20240528BHJP

   B01D 5/00 20060101ALI20240528BHJP

【ＦＩ】

B01D53/44 110

B01D53/04 230

B01D5/00 E

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021512005

(86)(22)【出願日】2020-03-27

(86)【国際出願番号】 JP2020014037

(87)【国際公開番号】W WO2020203780

(87)【国際公開日】2020-10-08

【審査請求日】2023-02-20

(31)【優先権主張番号】P 2019067528

(32)【優先日】2019-03-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】722014321

【氏名又は名称】東洋紡エムシー株式会社

(72)【発明者】

【氏名】岡田 武将

【審査官】河野 隆一朗

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－０００３８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－００９９５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１９５９６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０２－１２９２４０（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０１Ｄ ５３／４４

Ｂ０１Ｄ ５３／０２ － ５３／１２

Ｂ０１Ｄ ５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

有機溶剤を含有する被処理ガスから有機溶剤を分離して回収する有機溶剤回収システムであって、
キャリアガスを循環通流させる循環経路と、
吸脱着素子を有し、前記被処理ガスの導入による前記有機溶剤の吸着と、前記キャリアガスの導入による前記有機溶剤の脱着とを交互に行う吸脱着処理装置と、
前記循環経路上で前記吸脱着処理装置の下流側に設けられ、当該吸脱着処理装置から排出された前記キャリアガスを冷却して当該キャリアガスに含有される有機溶剤を凝縮して回収する凝縮回収装置と、
前記循環経路上で前記吸脱着処理装置の上流側に設けられ、前記凝縮回収装置から排出された低温状態の前記キャリアガスを加熱する加熱部と、を備え、
前記凝縮回収装置は、当該凝縮回収装置から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が１１．４ｍｍＨｇ以下となるように、当該凝縮回収装置から排出されるキャリアガスの温度を調節する、ことを特徴とする有機溶剤回収システム。

【請求項2】

前記凝縮回収装置から排出されるキャリアガスの温度を測定する温度測定手段を備え、
前記凝縮回収装置は、前記温度測定手段の測定値を基に、前記蒸気圧が１１．４ｍｍＨｇ以下になるように、排出されるキャリアガスの温度を調節する請求項１に記載の有機溶剤回収システム。

【請求項3】

前記凝縮回収装置から排出されるキャリアガスの蒸気圧を測定する蒸気圧測定手段を備え、
前記凝縮回収装置は、前記蒸気圧測定手段の測定値を基に、前記蒸気圧が１１．４ｍｍＨｇ以下になるように、排出されるキャリアガスの温度を調節する請求項１に記載の有機溶剤回収システム。

【請求項4】

前記凝縮回収装置は、冷媒を用いた間接冷却によって前記キャリアガスを冷却する、請求項１から３のいずれか1項に記載の有機溶剤回収システム。

【請求項5】

前記冷媒は、水、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、エタノールのいずれかまたはその混合物である、請求項４に記載の有機溶剤回収システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、有機溶剤を含有する被処理ガスから有機溶剤を分離して被処理ガスを清浄化して排出すると共に、分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤回収システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、有機溶剤を含有する被処理ガスに吸着材を用いて有機溶剤の吸着処理および脱着処理を行なって、有機溶剤を被処理ガスからキャリアガスに移動させることにより、被処理ガスの清浄化と有機溶剤の回収とを可能にした有機溶剤含有ガス処理システムが知られている。

【0003】

この種の有機溶剤回収システムは、一般に有機溶剤を含有する被処理ガスおよび高温の状態にあるキャリアガスを時間的に交互に吸着材に接触させる吸脱着処理装置と、当該吸脱着処理装置から排出されるキャリアガスを冷却することによって有機溶剤を凝縮させて回収する凝縮回収装置とを備えている。

【0004】

このような有機溶剤回収システムの一つとして、特許文献１には、キャリアガスとして水蒸気を使用した有機溶剤含有ガス処理システムが開示されている。

【0005】

また、最近では回収した有機溶剤の高品質化や排水処理工程の簡略化を目的とした低排水量の有機溶剤回収システムが望まれており、特許文献２には、高温に間接加熱された吸着材にキャリアガスを供給する有機溶剤回収システムが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】日本国実用新案出願公報「実全平３－３２９２４」

【文献】日本国公開特許公報「特開平７－６８１２７」

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

このような有機溶剤回収システムにおいて、被処理ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率を向上させるためには、脱着処理における有機溶剤の脱着、すなわち吸着材の再生が、十分に行なわれることが必要になる。

【0008】

また、有機溶剤回収システムのランニングコストを抑制するためには、使用したキャリアガスを有機溶剤回収システム内で循環させて再利用するように構成することが好ましい。

【0009】

しかしながら、凝縮回収装置において有機溶剤をキャリアガスから完全に分離させることは困難である、そのため、凝縮回収装置から排出されるキャリアガスには、未凝縮の有機溶剤が含まれることになる。よって、キャリアガスを循環させて吸脱着処理装置に戻す構成の場合は吸着材の再生が不十分となる場合があり、被処理ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率に自ずと限界が生じるという問題があった。

【0010】

そこで、本発明は、上述した問題点を解決すべくなされ、ランニングコストが抑制できるとともに、被処理ガスの浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上がなされた有機溶剤回収システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明者は鋭意検討した結果、以下に示す手段により、上記課題を解決できることを見出し、本発明に到達した。すなわち、本発明は、以下の構成からなる。
１．有機溶剤を含有する被処理ガスから有機溶剤を分離して回収する有機溶剤回収システムであって、キャリアガスを循環通流させる循環経路と、吸脱着素子を有し、前記被処理ガスの導入による前記有機溶剤の吸着と、前記キャリアガスの導入による前記有機溶剤の脱着とを交互に行う吸脱着処理装置と、前記循環経路上で前記吸脱着処理装置の下流側に設けられ、当該吸脱着処理装置から排出された前記キャリアガスを冷却して当該キャリアガスに含有される有機溶剤を凝縮して回収する凝縮回収装置と、前記循環経路上で前記吸脱着処理装置の上流側に設けられ、前記凝縮回収装置から排出された低温状態の前記キャリアガスを加熱する加熱部と、を備え、前記凝縮回収装置は、当該凝縮回収装置から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下となるように、当該凝縮回収装置から排出されるキャリアガスの温度を調節する、ことを特徴とする有機溶剤回収システム。
上記構成によると、凝縮回収装置から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下となるように温度調整することで、排出されるキャアリアガス中の有機溶剤の濃度を一定以下にすることができ、凝縮回収装置と吸脱着処理装置との間にキャリアガス中の有機溶剤を吸着除去するための別の吸着装置を設置する必要等がなくなる。よって、システムを簡素な構成にでき小型化できる。
２．前記凝縮回収装置から排出されるキャリアガスの温度を測定する温度測定手段を備え、前記凝縮回収装置は、前記温度測定手段の測定値を基に、前記水蒸気圧が所定値以下になるように、排出されるキャリアガスの温度を調節する上記１に記載の有機溶剤回収システム。
３．前記凝縮回収装置から排出されるキャリアガスの蒸気圧を測定する蒸気圧測定手段を備え、前記凝縮回収装置は、前記蒸気圧測定手段の測定値を基に、前記蒸気圧が所定値以下になるように、排出されるキャリアガスの温度を調節する上記１に記載の有機溶剤回収システム。
４．前記凝縮回収装置は、冷媒を用いた間接冷却によって前記キャリアガスを冷却する、上記１から３のいずれか１つに記載の有機溶剤回収システム。
５．前記冷媒は、水、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、エタノールのいずれかまたはその混合物である、上記４に記載の有機溶剤回収システム。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、凝縮回収装置から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下となるように温度調整することで、排出されるキャアリアガス中の有機溶剤の濃度を一定以下にすることができ、凝縮回収装置と吸脱着処理装置との間にキャリアガス中の有機溶剤を吸着除去するための別の吸着装置を設置する必要等がなく、浄化能力が保つことができる。よって、システムを簡素な構成にでき小型化できる。このように、本発明によれば、ランニングコストが抑制できるとともに、被処理ガスの浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られた有機溶剤回収システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】実施の形態における有機溶剤回収システムの構造を示す図である。

【図2】実施の形態における有機溶剤回収システムにおいて、一対の吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。

【0015】

図１に示すように、本実施の形態における有機溶剤回収システム１００Ａは、キャリアガスが循環するように通流される循環経路Ｌ１と、循環経路Ｌ１上に設けられた吸脱着処理装置１０、凝縮回収装置２０、循環送風機４０と、被処理ガス送風機５０とを備えている。キャリアガスとしては、水蒸気、加熱空気、高温に加熱した不活性ガス等、様々な種類のガスを使用することが可能である。特に水分を含まないガスである不活性ガスを使用すれば、有機溶剤回収システム１００Ａをより簡素に構成することができる。

【0016】

循環経路Ｌ１は、図中に示す配管ラインＬ４～Ｌ７を備えている。循環送風機４０は、循環経路Ｌ１にキャリアガスを通流させるための送風手段であり、被処理ガス送風機５０は、配管ラインＬ２から吸脱着処置装置１０に被処理ガスを供給するための送風手段である。

【0017】

吸脱着処理装置１０は、吸脱着槽Ａ１１および吸脱着槽Ｂ１２と、温度調節手段であるヒーター３０とを備えている。吸脱着槽Ａ１１には有機溶剤を吸着および脱着する吸脱着素子Ａ１３が充填されており、吸脱着槽Ｂ１２には有機溶剤を吸着および脱着する吸脱着素子Ｂ１４が充填されている。本実施の形態では２つの吸脱着槽を備えているが、１であっても、３以上であってもよい。

【0018】

ヒーター３０は、吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２に供給されるキャリアガスを高
温の状態に温度調節する。より具体的には、ヒーター３０は、凝縮回収装置２０から排出されて循環送風機４０を経由したキャリアガスを高温の状態に温度調節して吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２に供給する。ここで、ヒーター３０は、吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４が所定の脱着温度に維持されるように、吸脱着槽Ａ１１および吸脱着槽Ｂ１２に導入されるキャリアガスを温度調節する。

【0019】

吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４は、被処理ガスを接触させることで被処理ガスに含有される有機溶剤を吸着する。したがって、脱着処理装置１０においては、吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２に被処理ガスを供給すると、有機溶剤が吸脱着素子Ａ１３または吸脱着素子Ｂ１４に吸着されて被処理ガスから有機溶剤が除去されて被処理ガスが清浄化され、清浄ガスとして吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２から排出される。

【0020】

また、吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４は、高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着した有機溶剤を脱着する。したがって、吸脱着処理装置１０においては、吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２に高温の状態にあるキャリアガスを供給すると、有機溶剤が吸脱着素子Ａ１３または吸脱着素子Ｂ１４から脱着され、有機溶剤を含有するキャリアガスが吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２から排出される。

【0021】

吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４は、粒状活性炭、活性炭素繊維、ゼオライト、シリカゲル、多孔質性高分子および金属有機構造体のいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用されるが、より好適には、活性炭素繊維が利用される。活性炭素繊維は、表面にミクロ孔を有する繊維状構造を有しているため、ガスとの接触効率が高く、他の吸着材に比べて高い吸着効率および脱着効率を実現する。

【0022】

吸脱着処理装置１０には、配管ラインＬ２，Ｌ３がそれぞれ接続されている。配管ラインＬ２は、被処理ガス送風機４０を経由して有機溶剤を含有する被処理ガスを吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２に供給するための配管ラインである。配管ラインＬ２は、バルブＶ１によって吸脱着槽Ａ１１に対する接続／非接続状態が切り替えられ、バルブＶ３によって吸脱着槽Ｂ１２に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬ３は、清浄ガスを吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２から排出するための配管ラインである。配管ラインＬ３は、バルブＶ２によって吸脱着槽Ａ１１に対する接続／非接続状態が切り替えられ、バルブＶ４によって吸脱着槽Ｂ１２に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

【0023】

さらに、吸脱着処理装置１０には、配管ラインＬ５，Ｌ６がそれぞれ接続されている。
配管ラインＬ５は、キャリアガスをヒーター３０を介して吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２に供給するための配管ラインである。配管ラインＬ５は、バルブＶ５によって吸脱着槽Ａ１１に対する接続／非接続状態が切り替えられ、バルブＶ７によって吸脱着槽Ｂ１２に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬ６は、キャリアガスを吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２から排出するための配管ラインである。配管ラインＬ６は、バルブＶ６よって吸着槽Ａ１１に対する接続／非接続状態が切り替えられ、Ｖ８によって吸脱着槽Ｂ１２に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

【0024】

吸脱着槽Ａ１１および吸脱着槽Ｂ１２のそれぞれには、上述したバルブＶ１～Ｖ８の開閉を操作することにより、被処理ガスと高温の状態にあるキャリアガスとが、時間的に交互に供給される。これにより、吸脱着槽Ａ１１および吸脱着槽Ｂ１２は、時間的に交互に吸着槽および脱着槽として機能することになり、これに伴って有機溶剤が被処理ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動する。なお、具体的には、吸脱着槽Ａ１１が吸着槽として機能している間には、吸脱着槽Ｂ１２が脱着槽として機能し、吸脱着槽Ａ１１が脱着槽として機能している間には、吸脱着槽Ｂ１２が吸着槽として機能する。

【0025】

凝縮回収装置２０は、コンデンサ（凝縮器）２１と、回収タンク２２とを備えている。コンデンサ２１は、吸脱着槽Ａ１１または吸脱着槽Ｂ１２から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することによって、キャリアガスに含有される有機溶剤を凝縮させるものである。コンデンサ２１は、具体的には、冷媒を用いてキャリアガスを間接冷却することで有機溶剤を液化させる。回収タンク２２は、コンデンサ２１にて液化された有機溶剤を凝縮液として貯留するものである。

【0026】

冷媒は、水、一級アルコール、二級アルコール、三級アルコール、ハイドロクロロフルオロカーボン類、ハイドロフルオロカーボン類、アンモニアのいずれかまたはそれらの混合物を用いることができるが、特に水、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、エタノールのいずれかまたはその混合物を用いれば、有機溶剤回収システム１００Ａをより簡素に構成することができる。

【0027】

凝縮回収装置２０には、配管ラインＬ６，Ｌ７がそれぞれ接続されている。配管ラインＬ６は、吸脱着処理装置１０から排出されたキャリアガスをコンデンサ２１に供給すための配管ラインである。配管ラインＬ７は、キャリアガスをコンデンサ２１から排出するための配管ラインである。

【0028】

また、コンデンサ２１には、配管ラインＬ９が接続されている。配管ラインＬ９は、コンデンサ２１で凝縮させた有機溶剤を回収タンク２２に導入するための配管ラインである。

【0029】

図２は、図１に示す有機溶剤回収システム１００Ａにおいて、吸脱着素子Ａ１３と吸着素子Ｂ１４とを用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。次に、この図２を参照して、本実施の形態における有機溶剤回収システム１００Ａを用いた被処理ガスの処理の詳細について、キャリアガスに不活性ガスを用いた場合を例にして説明する。

【0030】

有機溶剤回収システム１００Ａは、図２に示す１サイクルを単位期間として当該サイクルが繰り返し実施さることにより、被処理ガスの処理が連続して行なわれるものである。

【0031】

上記１サイクルの前半（図２中に示す時刻ｔ０～ｔ２の間）においては、吸脱着素子Ａ１３が充填された吸脱着処理装置１０の吸脱着槽Ａ１１において吸着処理が実施される。これと並行して、吸脱着素子Ｂ１４が充填された吸脱着処理装置１０の吸脱着槽Ｂ１２において吸脱着槽Ｂ１２内を不活性ガスで置換するパージ処理（図２中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）が実施された後、脱着処理（図２中に示す時刻ｔ１～ｔ２の間）が実施される。

【0032】

また、上記１サイクルの後半（図２中に示す時刻ｔ２～ｔ４の間）においては、吸脱着素子Ｂ１４が充填された吸脱着処理装置１０の吸脱着槽Ｂ１２において吸着処理が実施され、これと並行して、吸脱着素子Ａ１３が充填された吸脱着処理装置１０の吸脱着槽Ａ１１において吸脱着槽Ａ１１内を不活性ガスで置換するパージ処理（図２中に示す時刻ｔ２～ｔ３の間）が実施された後、脱着処理（図２中に示す時刻ｔ３～ｔ４の間）が実施される。

【0033】

凝縮回収装置２０において、吸脱着処理装置１０から排出された有機溶剤を含むキャリアガスをコンデンサ２１で間接冷却し、低温の状態に温度調節して有機溶剤を凝縮させ、有機溶剤が回収される。

【0034】

凝縮回収装置２０は、コンデンサ２１から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下となるよう温度調整する。例えば、コンデンサ２１の温度を調節する温度調節部（図示しない）を有していてもよい。コンデンサ２１の温度を調節することで、排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下になり、よって、排出されるキャアリアガス中の有機溶剤の濃度を一定以下にすることができる。そのため、吸脱着素子に吸着した有機溶剤を効率よく脱着させることができる。
例えば、後述の実施例のように、有機溶剤がｐ－キシレンである場合、凝縮処理において、コンデンサ２１から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が、１１．４ｍｍＨｇ以下となるようにキャリアガスを温度調節することが好ましく、さらに６．１ｍｍＨｇ以下となるようにキャリアガスを温度調整することがより好ましい。コンデンサ２１から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が１１．４ｍｍＨｇ以下の場合、循環して吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４に接触させられるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧もまた十分に低下するため、吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４の再生が効果的に促進される。一方、コンデンサ２１から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が１１．４ｍｍＨｇを超える場合、循環して吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４に接触させられるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧もまた高値のため、吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４の再生が十分に行われ難く、システムとして性能低下が生じる。この１１．４ｍｍＨｇ、６．１ｍｍＨｇという値は、後述の実施例における実験結果から導き出した値である。

【0035】

凝縮回収装置２０は、コンデンサ２１から排出されるキャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下となるように温度調節することで、排出されるキャアリアガス中の有機溶剤の濃度を一定以下にすることができ、コンデンサ２１と吸脱着処理装置１０との間にキャリアガス中の有機溶剤を吸着除去するための別の吸着装置を設置する必要等がなくなり、有機溶剤回収システム１００Ａを簡素な構成にでき小型化できる。

【0036】

また、凝縮回収装置２０は、コンデンサ２１から排出されるキャリアガスの温度を測定する温度測定器（図示無）を備えていてもよい。凝縮回収装置２０は、温度測定器の測定値を基に、キャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下となるように、コンデンサ２１から排出されるキャリアガスの温度を調節すれば、有機溶剤回収システム１００Ａをより簡素に構成することができる。

【0037】

また、凝縮回収装置２０は、コンデンサ２１から排出されるキャリアガスの蒸気圧を測定する水蒸気圧測定器（図示無）を備えていてもよい。凝縮回収装置２０は、水蒸気圧測定器の測定値を基に、キャリアガスに含有される有機溶剤の蒸気圧が所定値以下となるようにコンデンサ２１から排出されるキャリアガスの温度を調節すれば、有機溶剤回収システム１００Ａをより簡素に構成することができる。キャリアガスの蒸気圧を測定する方法は水素炎イオン化検出法、触媒酸化―非分散赤外線吸収法、光イオン化検出法、半導体センサを用いた検出法、干渉増幅反射法、検知管を用いた検出法、などがあげられるが、特に限定されるものではない。

【0038】

以上において説明した本実施の形態の有機溶剤回収システム１００Ａを用いることにより、脱着処理において吸脱着素子Ａ１３および吸脱着素子Ｂ１４の再生が促進される結果となり、その後に実施される吸着処理の際により効率的に被処理ガスから有機溶剤を吸着除去できるようになる。従って、有機溶剤回収システム１００Ａを用いることで、被処理ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られ、従来に比して高性能かつ簡素な構成のシステムとすることができる。

【0039】

また、本実施の形態の有機溶剤回収システム１００Ａは、循環経路を構築することでキャリアガスを繰り返し使用できるため、経済性にも優れる。従って、窒素ガス等に代表される不活性ガスをキャリアガスとして使用した場合に、特にランニングコストを抑制できる効果が得られる。

【0040】

（実施例）
以下の実施例では、上述した本発明の実施の形態における有機溶剤回収システム１００Ａを用いて被処理ガスの処理を行なった。

【0041】

実施例においては、有機溶剤としてｐ－キシレンを１５００ｐｐｍの濃度で含有する４０℃、相対湿度５０％ＲＨのガスを被処理ガスとして使用した。キャリアガスとして１２０℃の窒素ガスを使用した。また、吸脱着素子Ａ１２，吸脱着素子Ｂ１４として、ＢＥＴ比表面積が１５００ｍｇ／ｍ^２の活性炭素繊維を使用し、冷媒として５℃の水を使用した。

【0042】

まず、被処理ガス送風機５０を用いて吸脱着処理装置１０の吸脱着槽Ａ１２および吸脱着槽Ｂ１３のうち一方の吸脱着槽に風量１０Ｎｍ^３／ｍｉｎで１０分間送風することで上記一方の吸脱着槽を吸着槽として機能させ、吸着処理を実施した。

【0043】

上記吸着処理の終了後に、バルブを切り替え操作し、上記一方の吸脱着槽を脱着槽に切り替えると共に、他方の吸脱着槽を吸着槽とした。脱着槽においては脱着槽内を窒素ガスで置換するパージ処理を行った後、ヒーター３０で１２０℃に加熱した窒素ガスを風量１．５Ｎｍ^３／ｍｉｎで導入することで吸脱着素子の脱着処理を行った。吸着槽においては、上述した条件と同様の吸着処理を行った。凝縮回収装置２０では、コンデンサ２１に供給する冷媒量を調節し、脱着槽から排出されるｐ－キシレンを含有する窒素ガスの温度を１０℃に保った状態でｐ－キシレンを凝縮させ、回収タンク２２から回収した。

【0044】

以上において説明した１サイクルを連続的に繰り返し実施したところ、吸脱着処理装置１０から排出される清浄ガスに含有されるｐ－キシレンの濃度が、約１０ｐｐｍにまで低減されていることが確認された。すなわち、実施例においては、約９９％の高い除去率でキシレンを除去できることが確認された。

【0045】

また、上述した脱着処理において、凝縮回収装置２０に導入される部分の配管ラインＬ６を流通する窒素ガス中に含まれるｐ－キシレンの蒸気圧が平均１３．０ｍｍＨｇに上昇していることが確認され、凝縮回収装置２０から排出される部分の配管ラインＬ７を流通する窒素ガス中に含まれるｐ－キシレンの蒸気圧が常時３．６ｍｍＨｇにまで低下していることが確認された。本実施例は、冷媒の温度を変更して、配管ラインＬ７を流通する窒素ガス中に含まれるｐ－キシレンの蒸気圧が常時３．６ｍｍＨｇ以下となるよう、窒素ガスの温度を調整した。

【0046】

以上に開示した実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

【産業上の利用可能性】

【0047】

本発明は、例えば工場やビルから排出される有機溶剤を含有する被処理ガスを処理するシステム等に有効に利用することができる。

【符号の説明】

【0048】

１０ 吸脱着処理装置
１１ 吸脱着槽Ａ
１２ 吸脱着槽Ｂ
１３ 吸脱着素子Ａ
１４ 吸脱着素子Ｂ
２０ 凝縮回収装置
２１ コンデンサ
２２ 回収タンク
３０ ヒーター
４０ 循環送風機
５０ 被処理ガス送風機
１００Ａ 有機溶剤回収システム
Ｌ１ 循環経路
Ｌ２～Ｌ１１ 配管ライン
Ｖ１～Ｖ８ バルブ

【図1】

【図2】