特許 7495092 高周波出力装置および高周波出力安定化方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-27

(45)【発行日】2024-06-04

(54)【発明の名称】高周波出力装置および高周波出力安定化方法

(51)【国際特許分類】

   H03F 1/30 20060101AFI20240528BHJP

   G01R 35/00 20060101ALI20240528BHJP

   H03F 3/189 20060101ALI20240528BHJP

   H03G 3/30 20060101ALI20240528BHJP

【ＦＩ】

H03F1/30 210

G01R35/00 Z

H03F3/189

H03G3/30 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019071229

(22)【出願日】2019-04-03

(65)【公開番号】P2020170941

(43)【公開日】2020-10-15

【審査請求日】2022-03-01

(73)【特許権者】

【識別番号】599161890

【氏名又は名称】ＮＥＣネットワーク・センサ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100080816

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 朝道

(74)【代理人】

【識別番号】100098648

【弁理士】

【氏名又は名称】内田 潔人

(72)【発明者】

【氏名】柿沼 真一

【審査官】工藤 一光

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－４９６３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２１７８１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３３３０２３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０３Ｆ１／００－３／７２

Ｈ０３Ｇ３／００－３／３４

Ｈ０４Ｂ１／０４

Ｇ０１Ｒ３５／００－３５／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

高周波信号を生成する信号生成部と、
前記信号生成部が生成した高周波信号に対して利得を変更し得る増幅を行い、高周波コンポーネントに入力する可変増幅器と、
前記高周波コンポーネントから出力端へ進行する高周波信号を前記高周波コンポーネントと前記出力端との間で分波する方向性結合器と、
前記信号生成部と前記可変増幅器との間、および前記高周波コンポーネントと前記方向性結合器との間に配置し、前記可変増幅器および前記高周波コンポーネントをバイパスする経路へ切り替えを行う一対の切替器と、
前記可変増幅器および前記高周波コンポーネントをバイパスする経路における前記方向性結合器で分波した高周波信号の周波数と出力レベルの常温時および使用時における測定結果の差に基づいて、前記可変増幅器および前記高周波コンポーネントをバイパスする経路における高周波信号の周波数と出力レベルの前記使用時の測定結果を補正し、前記可変増幅器における利得の調整量を演算する調整量演算部と、
を備えることを特徴とする高周波出力装置。

【請求項2】

前記調整量演算部は、前記方向性結合器から分波した高周波信号を対数増幅する対数増幅器を備えることを特徴とする請求項１に記載の高周波出力装置。

【請求項3】

前記調整量演算部は、A／D変換器と演算処理部とD／A変換器を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の高周波出力装置。

【請求項4】

高周波信号を空中伝搬させるためのアンテナを前記出力端に接続することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の高周波出力装置。

【請求項5】

前記出力端における出力を測定する出力計を前記出力端に接続することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の高周波出力装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、高周波出力装置および高周波出力安定化方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば無線装置など、無線周波数とも呼ばれる周波数の高い高周波を出力する装置において、周波数、温度、および出力レベルに依存せず安定した高周波を出力することは必須の課題である。しかしながら、増幅器や濾波器などのデバイスは、少なからず周波数特性や温度ドリフトを有しており、これらデバイスが多段構成であるほど出力の不確定性が高まる。そこで、高周波を出力する高周波出力装置では、出力を安定化するための構成を備えることも多い。

【0003】

特許文献１には、検出電力と基準電力とが一致するように利得を調節する利得調節部を備え、出力を安定させる構成の例が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００１－２１７８１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

なお、上記先行技術文献の開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。以下の分析は、本発明者らによってなされたものである。

【0006】

ところで、利得を安定化するための構成を備えたとしても、利得を安定化する構成自体が正確に機能するようにキャリブレーション（較正）を行う必要がある。周波数、温度、および出力レベルのすべての変化に対応するキャリブレーションを行うためには、これらすべての変化の影響を事前に測定することが原則である。

【0007】

しかしながら、周波数および出力レベルの変化の影響を事前に測定することは比較的に容易であっても、温度変化の影響を事前に測定することは容易ではない。温度変化の影響のキャリブレーションを行うには、高周波出力装置を恒温槽に入れて、温度を可変しながらキャリブレーションを行う必要がある。そして、恒温槽を用いたキャリブレーションは、一般に数時間以上の時間を要するので生産コストを圧迫してしまう。

【0008】

本発明の目的は、上述した課題を鑑み、温度変化に対するキャリブレーションの時間を排除することに寄与する高周波出力装置および高周波出力安定化方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の第１の視点は、高周波信号を生成する信号生成部と、前記信号生成部が生成した高周波信号に対して利得を変更し得る増幅を行い、高周波コンポーネントに入力する可変増幅器と、前記高周波コンポーネントから出力端へ進行する高周波信号を前記高周波コンポーネントと前記出力端との間で分波する方向性結合器と、前記方向性結合器で分波した高周波信号に基づいて、前記可変増幅器における利得の調整量を演算する調整量演算部と、前記信号生成部と前記可変増幅器との間、および前記高周波コンポーネントと前記方向性結合器との間に配置し、前記可変増幅器および前記高周波コンポーネントをバイパスする経路へ切り替えを行う一対の切替器と、を備えることを特徴とする高周波出力装置が提供される。

【0010】

本発明の第２の視点は、出力端付近の高周波信号を測定しながら高周波出力装置の出力を安定化する高周波出力安定化方法であって、周波数と出力レベルに関して前記高周波出力装置のキャリブレーションを行うステップと、常温時の周波数と出力レベルに関して、前記出力端付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定するステップと、使用時の周波数と出力レベルに関して、前記出力端付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定するステップと、前記常温時および前記使用時における前記測定系の特性の測定結果の違いに基づいて、前記高周波出力装置の出力を調整するステップと、を含む高周波出力安定化方法が提供される。

【発明の効果】

【0011】

本発明の各視点によれば、温度変化に対するキャリブレーションの時間を排除することに寄与する高周波出力装置および高周波出力安定化方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、第１実施形態に係る高周波出力装置の概要を示す図である。

【図2】図２は、第１実施形態に係る高周波出力装置のキャリブレーション時を示す図である。

【図3】図３は、第１実施形態に係る高周波出力装置の使用時を示す図である。

【図4】図４は、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法の概要を示すフローである。

【図5】図５は、第２実施形態に係る高周波出力装置の概要を示す図である。

【図6】図６は、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法の概要を示すフローである。

【図7】図７は、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法の概要を示すフローである。

【図8】図８は、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法の概要を示すフローである。

【図9】図９は、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法の概要を示すフローである。

【図10】図１０は、スロープおよびインターセプトの例を示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。ただし、以下に説明する実施形態により本発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一または対応する要素には適宜同一の符号を付している。さらに、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実のものとは異なる場合があることに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。

【0014】

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る高周波出力装置の概要を示す図である。図１に示すように、高周波出力装置１００は、信号生成部１０と可変増幅器２０と方向性結合器３０と調整量演算部４０と一対の切替器５１，５２とを備えている。

【0015】

信号生成部１０は、高周波信号を生成するユニットであり、高周波出力装置１００における高周波信号の経路の最上流に位置する。信号生成部１０は、搬送波としての高周波を生成する発振器などを備えることができるがこれに限定しない。信号生成部１０は、後段のデバイスが周波数、温度、および出力レベルに依存して変動する周波数の高周波を生成するもの全てを適切に採用し得る。

【0016】

可変増幅器２０は、信号生成部１０が生成した高周波信号を増幅した後に高周波コンポーネント２１に入力する。また、可変増幅器２０は、信号生成部１０が生成した高周波信号を増幅する際の利得を可変し得るものである。可変増幅器２０における利得の調整量は、調整量演算部４０の出力に従うように構成する。

【0017】

ここで、高周波コンポーネント２１は、温度、および出力レベルに依存して変動するデバイスの全てを適切に採用し得る。例えば、ハイパスフィルタやローパスフィルタやバンドパスフィルタなどの濾波器、増幅器、所望の信号を高周波にエンコードする変調器などを採用することができるがこれに限定しない。高周波コンポーネント２１は、高周波出力装置１００の目的に応じて適切に選択し得る構成である。

【0018】

方向性結合器３０は、高周波コンポーネント２１から出力端３１へ進行する高周波信号を分波するものである。方向性結合器３０は、高周波コンポーネント２１と出力端３１との間に配置されている。また、切替器５２が高周波コンポーネント２１と方向性結合器３０との間に配置されているので、方向性結合器３０は、切替器５２と出力端３１との間に配置されていることにもなる。

【0019】

調整量演算部４０は、方向性結合器３０で分波した高周波信号に基づいて、可変増幅器２０における利得の調整量を演算する。可変増幅器２０は、調整量演算部４０が演算した利得の調整量に基づいて、信号生成部１０が生成した高周波信号の増幅を調整する。

【0020】

一対の切替器５１，５２は、それぞれ信号生成部１０と可変増幅器２０との間、および高周波コンポーネント２１と方向性結合器３０との間に配置される。一対の切替器５１，５２は、信号生成部１０から方向性結合器３０までの高周波信号の経路を、通常の経路とバイパス経路とで切り替える。通常の送信経路とは、可変増幅器２０および高周波コンポーネント２１を通過する経路であり、バイパス経路とは、可変増幅器２０および高周波コンポーネント２１をバイパスする経路である。

【0021】

一対の切替器５１，５２によってバイパス経路が選択されている状態では、信号生成部１０が生成した高周波信号は、実質的に方向性結合器３０のみを通過することになる。つまり、調整量演算部４０は、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定することなる。第１実施形態に係る高周波出力装置１００は、一対の切替器５１，５２によってバイパス経路を選択し、常温における調整量演算部４０の測定結果を記憶しておき、これを基準として可変増幅器２０における利得の調整量を演算する。

【0022】

第１実施形態に係る高周波出力装置１００では、使用時においても、一時的に一対の切替器５１，５２によってバイパス経路を選択し、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定する。常温時および使用時における測定結果の違いは、測定系における温度変化の影響である。そして、使用時における通常経路の測定結果には、測定系における温度変化の影響が重畳して測定されている。そこで、第１実施形態に係る高周波出力装置１００では、重畳して測定されている測定系における温度変化の影響を考慮して可変増幅器２０における利得を調整する。これにより、第１実施形態に係る高周波出力装置１００では、温度変化に対するキャリブレーションを行わなくても、温度変化による影響を除外することが可能である。

【0023】

図２は、第１実施形態に係る高周波出力装置のキャリブレーション時を示す図である。また、図３は、第１実施形態に係る高周波出力装置の使用時を示す図である。また、図４は、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法の概要を示すフローである。

【0024】

図２に示すように、高周波出力装置１００のキャリブレーションをする際には、出力端３１における出力を測定する出力端３１に出力計６０を接続する。キャリブレーション時において出力計６０によって測定された出力端３１における出力は、自動または手動で調整量演算部４０に入力される。

【0025】

一方、図３に示すように、高周波出力装置１００の使用時には、例えば高周波信号を空中伝搬させるためのアンテナ６１を出力端３１に接続する。なお、高周波出力装置１００の使用時には、出力端３１にアンテナ６１以外のものを接続してもよい。例えば、高周波出力装置１００の出力端３１は、ケーブルを介し、またはケーブルを介さず、他の装置の入力端を接続してもよい。

【0026】

第１実施形態に係る高周波出力安定化方法は、図２に示すように出力端３１に出力計６０を接続した状態と、図３に示すように出力端３１に例えばアンテナ６１を接続した状態とで行う。ただし、以下では、高周波出力装置１００を用いて高周波出力安定化方法を実施するものとして説明を行うが、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法は高周波出力装置１００の構成に限定されるものではない。出力端付近の高周波信号を測定しながら高周波出力装置の出力を安定化する機能を備える高周波出力装置一般で実施することができる。

【0027】

図４に示すように、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法では、最初に周波数と出力レベルに関して高周波出力装置１００のキャリブレーションを行う（ステップＳ１０）。このステップＳ１０では、図２に示すように、出力端３１における出力を測定する出力端３１に出力計６０を接続した状態で、高周波出力装置１００のキャリブレーションを行う。

【0028】

次に、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法では、常温時の周波数と出力レベルに関して、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定する（ステップＳ２０）。このステップＳ２０では、高周波出力装置１００の構成であれば、一対の切替器５１，５２を、バイパス経路側に選択することで、信号生成部１０が出力する高周波信号を直接的に測定系で測定することになる。なお、このステップＳ２０では、図２に示すように、出力端３１における出力を測定する出力端３１に出力計６０を接続した状態で行うことが可能である。

【0029】

その後、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法では、使用時の周波数と出力レベルに関して、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定する（ステップＳ３０）。使用時では、図３に示すように、高周波出力装置１００の出力端３１にアンテナ６１が接続されている。また、高周波出力装置１００の構成であれば、一対の切替器５１，５２が可変増幅器２０および高周波コンポーネント２１を通過する経路側に選択されている。

【0030】

そこで、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法では、一時的に一対の切替器５１，５２を、バイパス経路側に選択する。この一時的な一対の切替器５１，５２の切り替えは、定期的に行ってもよく、温度変化を検知して自動または手動で行ってもよい。

【0031】

そして、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法では、常温時および使用時における測定系の特性の測定結果の違いに基づいて、高周波出力装置１００の出力を調整する（ステップ４０）。常温時および使用時における測定結果の違いは、測定系における温度変化の影響である。そして、使用時における通常経路の測定結果には、測定系における温度変化の影響が重畳して測定されている。そこで、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法では、重畳して測定されている測定系における温度変化の影響を考慮して高周波出力装置１００の出力を調整する。これにより、第１実施形態に係る高周波出力安定化方法では、温度変化に対するキャリブレーションを行わなくても、温度変化による影響を除外することが可能である。

【0032】

（第２実施形態）
図５は、第２実施形態に係る高周波出力装置の概要を示す図である。図５に示すように、高周波出力装置２００は、第１実施形態と同様に、信号生成部１０と可変増幅器２０と方向性結合器３０と調整量演算部４０と一対の切替器５１，５２とを備えている。高周波出力装置２００は、調整量演算部４０の内部構成の他、第１実施形態と同様の構成であるので共通する構成に関しては同一の符号を付すことで説明を省略する。また、説明の都合上、出力端３１に出力計６０を接続した状態を図示しているが、第１実施形態と同様に、使用時には出力端３１に例えばアンテナ６１を接続した状態とし得る。

【0033】

図５に示すように、調整量演算部４０は、方向性結合器３０から分波した高周波信号を対数増幅する対数増幅器４１を備えている。また、調整量演算部４０は、Ａ／Ｄ（アナログ－デジタル）変換器４２と演算処理部４３とＤ／Ａ（デジタル－アナログ）変換器４４を備えている。また、演算処理部４３は、比較器４５と記憶部４６を備えている。

【0034】

調整量演算部４０では、対数増幅器４１が方向性結合器３０から分波した高周波信号を対数増幅する。そして、Ａ／Ｄ変換器４２は、対数増幅器４１の出力をデジタル信号に変換する。演算処理部４３の比較器４５は、Ａ／Ｄ変換器４２から入力された値と記憶部４６に記憶されている値を比較して、可変増幅器２０における利得の調整量を演算する。Ｄ／Ａ変換器４４は、演算処理部４３が演算した可変増幅器２０における利得の調整量をアナログ信号に変換する。Ｄ／Ａ変換器４４が出力するアナログ信号は、可変増幅器２０における利得の制御信号として用いられる。

【0035】

第２実施形態に係る高周波出力装置２００でも、第１実施形態と同様に、重畳して測定されている測定系における温度変化の影響を考慮して可変増幅器２０における利得を調整する。これにより、第２実施形態に係る高周波出力装置２００でも、温度変化に対するキャリブレーションを行わなくても、温度変化による影響を除外することが可能である。

【0036】

図６から図９は、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法の概要を示すフローである。図６から図９の各図に示すフローは、図４に示した各ステップＳ１０からＳ４０の各ステップを、高周波出力装置２００の構成に合わせて詳述したものである。

【0037】

図６に示す各ステップは、周波数と出力レベルに関して高周波出力装置２００のキャリブレーションを行う処理の詳細を示している。図６に示すように、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、信号生成部１０の出力を最大付近として、出力計６０と調整量演算部４０における測定結果を記録する（ステップＳ１１）。さらに、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、信号生成部１０の出力を最小付近として、出力計６０と調整量演算部４０における測定結果を記録する（ステップＳ１２）。なお、ステップＳ１１とステップＳ１２は順不同である。

【0038】

ステップＳ１１およびステップＳ１２における調整量演算部４０における測定結果は、Ａ／Ｄ変換器４２によって変換された値である。したがって、対数増幅器４１を通過することで、対数変換されており、Ａ／Ｄ変換器４２によって変換された値は、いわゆるデシベル表現された値となっている。また、ステップＳ１１およびステップＳ１２の測定結果は、調整量演算部４０の記憶部４６としてもよいが、別途のキャリブレーション用の装置の記憶部やオペレーターの記録用紙であってもよい。

【0039】

次に、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、ステップＳ１１およびステップＳ１２によって得られた出力計６０と調整量演算部４０における測定結果からスロープとインターセプトを計算し、これを調整量演算部４０の記憶部４６に記憶する（ステップＳ１３）。ここで、スロープとインターセプトとは、図１０に示すように、出力計６０の変化に対する調整量演算部４０における測定結果の変化の比率と、出力計６０の値の軸に対する切片である。これらスロープおよびインターセプトは、その定義から解るように、出力レベルに関する高周波出力装置２００の特性を表している。

【0040】

そして、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、上記ステップＳ１１からステップＳ１３までの処理を使用予定している各周波数に対して行う（ステップＳ１４）。これにより、図１０に示すように、各周波数に対するスロープおよびインターセプトが得られる。

【0041】

次に、信号生成部１０の出力を規定値とする（ステップ１５）。

【0042】

そして、出力計６０における出力レベルがｈｉｇｈ（例えば－１０ｄＢｍ）となるときの、出力計６０の読み値（これをＰＷＲｈｉｇｈとする）と、Ａ／Ｄ変換器４２の読み値（これをＣＯＤＥｈｉｇｈとする）と、Ｄ／Ａ変換器４４の入力値（これをＤＡＣｈｉｇｈとする）とを取得し、これを記憶部４６に記憶する（ステップＳ１６）。具体的には、Ｄ／Ａ変換器４４の入力値をインクリメントまたはデクリメントしながら、出力計６０における出力レベルがＬｏｗとなったときの値をＤＡＣｈｉｇｈとする。そして、このときの出力計６０の読み値をＰＷＲｈｉｇｈとし、Ａ／Ｄ変換器４２の読み値をＣＯＤＥｈｉｇｈとする。

【0043】

同様に、出力計６０における出力レベルがｌｏｗ（例えば－２０ｄＢｍ）となるときの、出力計６０の読み値（これをＰＷＲｌｏｗとする）と、Ａ／Ｄ変換器４２の読み値（これをＣＯＤＥｌｏｗとする）と、Ｄ／Ａ変換器４４の入力値（これをＤＡＣｌｏｗとする）とを取得し、これを記憶部４６に記憶する（ステップＳ１７）。

【0044】

そして、上記ステップＳ１６およびステップＳ１７を使用予定している各周波数に対して行う（ステップＳ１８）。その後、各周波数に対して、ＰＷＲｈｉｇｈ，ＰＷＲｌｏｗ，ＣＯＤＥｈｉｇｈ，ＣＯＤＥｌｏｗからスロープおよびインターセプトを算出し、これを記憶部４６に記憶する（ステップＳ１９）。

【0045】

次に、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、常温時の周波数と出力レベルに関して、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定する。図７に示す各ステップは、常温時の周波数と出力レベルに関して、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定する処理の詳細を示している。

【0046】

図７に示すように、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、まず一対の切替器５１，５２を、バイパス経路側に選択する（ステップＳ２１）。これにより、信号生成部１０が出力する高周波信号を直接的に測定系で測定することになる。つまり、Ａ／Ｄ変換器４２の読み値は、測定系の特性を測定することになる。

【0047】

そこで、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、信号生成部１０の出力を規定値として、このときのＡ／Ｄ変換器４２の読み値（これをＣＡＬ＿ＣＯＤＥとする）を記憶部４６に記憶する（ステップＳ２２）。

【0048】

そして、上記ステップＳ２２を使用予定している各周波数に対して行う（ステップＳ２３）。

【0049】

次に、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、使用時の周波数と出力レベルに関して、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定する。図８に示す各ステップは、常温時の周波数と出力レベルに関して、出力端３１付近の高周波信号を測定する測定系の特性を測定する処理の詳細を示している。

【0050】

図８に示すように、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、まず一対の切替器５１，５２を、バイパス経路側に選択する（ステップＳ３１）。既に第１実施形態でも説明したように、使用時では、一対の切替器５１，５２が可変増幅器２０および高周波コンポーネント２１を通過する経路側に選択されている。そこで、ステップＳ３１では、一時的に一対の切替器５１，５２を、バイパス経路側に選択する。この切り替えは、例えば温度が高温（例えば摂氏５０度）になった時に行うこととしてもよい。

【0051】

そして、信号生成部１０の出力を規定値として、このときのＡ／Ｄ変換器４２の読み値（これをＣＡＬ＿ＣＯＤＥ′とする）を取得する（ステップＳ３２）。

【0052】

その後、一対の切替器５１，５２を、通常の送信経路側に戻す（ステップＳ３３）。

【0053】

次に、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、常温時および使用時における測定系の特性の測定結果の違いに基づいて、高周波出力装置２００の出力を調整する。図９に示す各ステップは、常温時および使用時における測定系の特性の測定結果の違いに基づいて、高周波出力装置２００の出力を調整する。

【0054】

図９に示すように、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、ステップＳ２２で記憶部４６に記憶されたＣＡＬ＿ＣＯＤＥと、ステップＳ３２で取得したＣＡＬ＿ＣＯＤＥ′とを用いて、ＣＡＬ＿ＣＯＤＥｄｉｆｆ＝ＣＡＬ＿ＣＯＤＥ－ＣＡＬ＿ＣＯＤＥ′を計算する（ステップＳ４１）。

【0055】

次に、ＣＡＬ＿ＣＯＤＥｄｉｆｆの使用時（例えば摂氏５０度）における調整量演算部４０のＡ／Ｄ変換器４２の読み値に加算する（これをＣＯＤＥ′とする）（ステップＳ４２）。つまり、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法は、常温時と使用時とにおける測定系の特性の測定結果の差を補正値として用いて、使用時における高周波出力装置２００の出力の測定結果を補正する。

【0056】

そして、ステップＳ４２のように補正された使用時における高周波出力装置２００の出力の測定結果が所定範囲内になるように高周波出力装置２００の出力を調整する（ステップＳ４３）。具体的には、比較器４５が、補正されたＣＯＤＥ′と記憶部４６に記憶されているスロープおよびインターセプトから定まる所定範囲とを比較する。補正されたＣＯＤＥ′が所定範囲外である場合、Ｄ／Ａ変換器への入力をインクリメントまたはデクリメントすることで、補正されたＣＯＤＥ′が所定範囲の収まるように可変増幅器２０における利得を調整する。これにより、第２実施形態に係る高周波出力安定化方法では、温度変化に対するキャリブレーションを行わなくても、温度変化による影響を除外することが可能である。

【0057】

以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明の全開示（請求の範囲を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の全開示の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせ、ないし、選択（少なくとも部分的な非選択を含む）が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、修正を含むことはもちろんである。特に、本書に記載した数値範囲について、当該範囲内に含まれる任意の数値ないし小範囲が別段の記載のない場合でも具体的に記載されているものと解釈されるべきである。また、引用した上記の特許文献等の各開示は、本書に引用をもって織り込むものとする。

【符号の説明】

【0058】

１００，２００ 高周波出力装置
１０ 信号生成部
２０ 可変増幅器
２１ 高周波コンポーネント
３０ 方向性結合器
３１ 出力端
４０ 調整量演算部
４１ 対数増幅器
４２ Ａ／Ｄ変換器
４３ 演算処理部
４４ Ｄ／Ａ変換器
４５ 比較器
４６ 記憶部
５１，５２ 切替器
６０ 出力計
６１ アンテナ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】