特許 7495977 圧電同軸センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-28

(45)【発行日】2024-06-05

(54)【発明の名称】圧電同軸センサ

(51)【国際特許分類】

   H10N 30/60 20230101AFI20240529BHJP

   H10N 30/30 20230101ALI20240529BHJP

   H10N 30/857 20230101ALI20240529BHJP

   H10N 30/098 20230101ALI20240529BHJP

   G01L 1/16 20060101ALI20240529BHJP

【ＦＩ】

H10N30/60

H10N30/30

H10N30/857

H10N30/098

G01L1/16 B

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2022505959

(86)(22)【出願日】2021-03-03

(86)【国際出願番号】 JP2021008071

(87)【国際公開番号】W WO2021182210

(87)【国際公開日】2021-09-16

【審査請求日】2022-09-06

(31)【優先権主張番号】P 2020039919

(32)【優先日】2020-03-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000005186

【氏名又は名称】株式会社フジクラ

(73)【特許権者】

【識別番号】517069066

【氏名又は名称】ロボセンサー技研株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100143764

【弁理士】

【氏名又は名称】森村 靖男

(72)【発明者】

【氏名】上田 祥

(72)【発明者】

【氏名】田中 雄気

(72)【発明者】

【氏名】大村 昌良

【審査官】加藤 俊哉

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－１８２００９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１１９２４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０３７７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第６６１０８１７（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】特開２００７－２７３４７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ１０Ｎ ３０／６０

Ｈ１０Ｎ ３０／３０

Ｈ１０Ｎ ３０／８５７

Ｈ１０Ｎ ３０／０９８

Ｇ０１Ｌ １／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

導線を含む中心導体と、
前記中心導体の外周面を被覆する高分子圧電体層と、
前記高分子圧電体層の外周面を囲う第１外部導体と、
前記第１外部導体の外周面を被覆する第１ジャケット層と、
前記第１ジャケット層の外周面を囲う第２外部導体と、
前記第１ジャケット層の外周面を囲うように、前記第２外部導体の外側に巻かれる第２金属箔層と、
を備え、
前記高分子圧電体層に生じる誘導電荷に基づいて前記中心導体と前記第１外部導体との間に電圧が生じ、
前記第２外部導体は、複数の導線が前記第１ジャケット層の外周面を囲うように同一方向に螺旋状に巻かれて成る
ことを特徴とする圧電同軸センサ。

【請求項2】

前記第２金属箔層の外周面を被覆する第２ジャケット層を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電同軸センサ。

【請求項3】

前記第２金属箔層は、前記第２外部導体に接する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電同軸センサ。

【請求項4】

導線を含む中心導体と、
前記中心導体の外周面を被覆する高分子圧電体層と、
前記高分子圧電体層の外周面を囲う第１外部導体と、
前記第１外部導体の外周面を被覆する第１ジャケット層と、
前記第１ジャケット層の外周面を囲う第２外部導体と、
前記第１ジャケット層の外周面を囲うように、前記第２外部導体の外側に巻かれ、樹脂から成るテープ状のフィルムの少なくとも一方の面に金属膜が設けられる第２金属膜付フィルムと、
を備え、
前記高分子圧電体層に生じる誘導電荷に基づいて前記中心導体と前記第１外部導体との間に電圧が生じ、
前記第２外部導体は、複数の導線が前記第１ジャケット層の外周面を囲うように同一方向に螺旋状に巻かれて成る
ことを特徴とする圧電同軸センサ。

【請求項5】

前記第２金属膜付フィルムの外周面を被覆する第２ジャケット層を備える
ことを特徴とする請求項４に記載の圧電同軸センサ。

【請求項6】

前記金属膜は、前記フィルムの前記一方の面と他方の面とに設けられ、
前記第２金属膜付フィルムが周方向に１周以上巻かれて、前記一方の面に設けられる前記金属膜が前記他方の面に設けられる前記金属膜に接する
ことを特徴とする請求項４または５に記載の圧電同軸センサ。

【請求項7】

前記第２金属膜付フィルムの前記フィルムの前記一方の面に設けられる前記金属膜は、前記第２外部導体に接する
ことを特徴とする請求項４から６のいずれか１項に記載の圧電同軸センサ。

【請求項8】

前記第２金属膜付フィルムの前記金属膜が単層の金属膜である
ことを特徴とする請求項４から７のいずれか１項に記載の圧電同軸センサ。

【請求項9】

前記第２金属膜付フィルムの前記金属膜が多層の金属膜である
ことを特徴とする請求項４から７のいずれか１項に記載の圧電同軸センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、外来ノイズを抑制する特性である耐ノイズ特性に優れる圧電同軸センサに関する。

【背景技術】

【0002】

同軸ケーブルの中心導体と外部導体との間に圧電素子が配置された圧電同軸センサが知られている。圧電同軸センサは、当該センサの外周面から力が加わる場合に生じる圧電素子の電圧を中心導体と外部導体とを介して検知することで、当該力を検出する。この性質を利用して、圧電同軸センサが設けられる被測定物の変形や被測定物に加わる力、振動等を検出する。このような圧電同軸センサの圧電素子には、一般的に高分子圧電体が用いられる。

【0003】

下記特許文献１には、このような圧電同軸センサである圧電同軸ケーブルが記載されている。この圧電同軸ケーブルは、中心導体と、中心導体の外周面を被覆する高分子圧電体層と、高分子圧電体層の外周面を囲う外部導体と、外部導体の外周面を被覆するジャケット層と、から構成される。

【0004】

【文献】特開２０１７－１８３５７０号公報

【発明の概要】

【0005】

しかし、上記特許文献１に記載の圧電同軸センサは、外部の電磁場等の影響を受け易く、より高い耐ノイズ特性を有する圧電同軸センサが求められている。

【0006】

そこで、本発明は、優れた耐ノイズ特性を有する圧電同軸センサを提供することを目的とする。

【0007】

上記課題を解決するため、本発明の圧電同軸センサは、導線を含む中心導体と、前記中心導体の外周面を被覆する高分子圧電体層と、前記高分子圧電体層の外周面を囲う第１外部導体と、前記第１外部導体の外周面を被覆する第１ジャケット層と、前記第１ジャケット層の外周面を囲う第２外部導体と、を備え、前記高分子圧電体層に生じる誘導電荷に基づいて前記中心導体と前記第１外部導体との間に電圧が生じることを特徴とするものである。

【0008】

このような圧電同軸センサによれば、第２外部導体がシールド層として作用し、外部の電磁場等の影響が中心導体や第１外部導体に届くことを抑制することができる。従って、外部の電磁場等により、中心導体や第１外部導体にノイズが重畳することを抑制することができる。このため、本発明の圧電同軸センサは、優れた耐ノイズ特性を有することができる。

【0009】

また、上記圧電同軸センサは、前記第２外部導体の外周面を被覆する第２ジャケット層を備えることが好ましい。

【0010】

第２ジャケット層により、シールド層として作用する第２外部導体の外周面を外部と絶縁し得る。従って、第２外部導体を介して中心導体や第１外部導体にノイズが重畳することをより抑制することができる。

【0011】

また、前記第１外部導体は、複数の導線が前記高分子圧電体層の外周面を囲うように巻かれて成り、前記高分子圧電体層と前記第１外部導体との間において、前記高分子圧電体層の外周面を囲うように巻かれ、前記高分子圧電体層と前記第１外部導体とに接する第１金属箔層を更に備えることが好ましい。

【0012】

この場合、第１外部導体を構成する導線が偏る場合であっても、高分子圧電体層に第１金属箔層が接触するので、周方向の電気的な抵抗の偏りを抑制することができる。

【0013】

或いは、前記第１外部導体は、複数の導線が前記高分子圧電体層の外周面を囲うように巻かれて成り、前記第１外部導体の外周面を囲うように巻かれる第１金属箔層を更に備えることが好ましい。

【0014】

このような構成で、第１外部導体と第１金属箔層とが接する場合には、第１外部導体の電気抵抗と第１金属箔層の電気抵抗との合成抵抗が、第１外部導体単体の電気抵抗よりも低いため、圧電同軸センサの性能を向上することができる。また、この場合、第１外部導体を構成する導線が偏っても、周方向の電気の流れの偏りを第１金属箔層により抑制することができ、性能の安定化を図ることができる。また、第１外部導体を構成する導線が偏り隙間ができる場合であっても、全周に亘り第１金属箔層により覆われることで、外来電磁波等によるノイズが重畳することを抑制することができる。

【0015】

この場合、前記第１金属箔層は、前記第１外部導体に接することが好ましい。

【0016】

第１金属箔層が第１外部導体に接することで、第１外部導体を構成する導線が偏る場合であっても、第１外部導体と第１金属箔層とにより、周方向の電気的な抵抗の偏りを抑制することができる。

【0017】

或いは、前記第１外部導体は、複数の導線が前記高分子圧電体層の外周面を囲うように巻かれて成り、前記第１外部導体の外周面を囲うように巻かれ、樹脂から成るテープ状のフィルムの少なくとも一方の面に金属膜が設けられる第１金属膜付フィルムを更に備えることが好ましい。

【0018】

この場合、金属膜が第１外部導体に接する場合には、第１外部導体の電気抵抗と第１金属膜付フィルムの金属膜の電気抵抗との合成抵抗が、第１外部導体単体の電気抵抗よりも低いため、圧電同軸センサの性能を向上することができる。また、この場合、第１外部導体を構成する導線が偏っても、周方向の電気の流れの偏りを第１金属膜付フィルムの金属膜により抑制することができ、性能の安定化を図ることができる。また、第１外部導体を構成する導線が偏り微細な隙間ができる場合であっても、全周に亘り金属膜により覆われることで、外来電磁波等によるノイズが重畳することを抑制することができる。

【0019】

また、第１金属膜側が第１外部導体側を向き、フィルム側が第１ジャケット層側を向いた状態で、第１金属膜付フィルムが第１外部導体上に巻かれることにより、第一外部導体と金属膜とを覆う絶縁体が、第１金属膜付フィルムのフィルムと第１ジャケット層との二重となることで、第１外部導体と第２外部導体間の絶縁間容量を減少し得る。このため、圧電同軸センサにおける計測信号の伝送上有利となり、特に高周波側の伝送特性の向上が期待できる。

【0020】

この場合、前記第１金属膜付フィルムの前記フィルムの一方の面に設けられる前記金属膜は、前記第１外部導体に接することが好ましい。

【0021】

第１金属膜付フィルムの金属膜が第１外部導体に接することで、第１外部導体１３を構成する導線が偏る場合であっても、第１外部導体と金属膜とにより、周方向の電気的な抵抗の偏りを抑制することができる。

【0022】

また、この場合、前記第１金属膜付フィルムの前記金属膜が単層の金属膜であってもよい。

【0023】

この場合、金属膜が多層の金属膜である場合と比べて、第１金属膜付フィルムの膜厚を薄くすることができ、圧電同軸センサの外径を小さくすることができる。更に、金属膜が多層の場合と比べて、圧電同軸センサを軽量化、柔軟化し易く、小さく、軽量な圧電同軸センサとし得る。このような圧電同軸センサは、自重が軽いため振動体の振動の阻害を抑制することができ、その振動をより正確に計測することができる。また、このような圧電同軸センサは、柔軟なため、付着させる被計測物の形状を多様化することができ、被計測物の動きに応じた高性能な計測を期待できる。

【0024】

或いは、この場合、前記第１金属膜付フィルムの前記金属膜が多層の金属膜であってもよい。

【0025】

この場合、金属膜が単層の場合と比べて、電気抵抗の調整や、金属膜とフィルムとの密着性の調整を容易にすることができる。また、金属層の一部に銅のように表面の錆び易い金属が用いられる場合であっても、表面に露出する金属層に錆びにくい金属が用いられることで、表面保護をすることができる。

【0026】

また、一部の金属膜にピンホールが形成されたり、一部の金属膜の膜厚が設計値より薄いといった不具合があっても、他の金属膜によりその不具合を改善し得、周方向の膜抵抗のばらつきを抑制し得、不具合による圧電同軸センサの性能の低下を抑制することができる。

【0027】

また、前記第２外部導体は、複数の導線が前記第１ジャケット層の外周面を囲うように巻かれて成り、前記第１ジャケット層の外周面を囲うように、前記第２外部導体の内側または外側に巻かれる第２金属箔層を更に備えることが好ましい。

【0028】

この場合、第２外部導体を構成する導線が偏る場合であっても、第２外部導体間を通過しようとする電磁波等を第２金属箔層により抑制し得る。従って、ノイズをより低減し得る。

【0029】

この場合、前記第２金属箔層は、前記第２外部導体に接することが好ましい。

【0030】

第２金属箔層が第２外部導体に接することで、第２金属箔層と第２外部導体とを個別にグランドに接続しなくても、一方をグランドに接続することで、第２外部導体と第２金属箔層とをシールドとすることができる。

【0031】

或いは、前記第２外部導体は、複数の導線が前記第１ジャケット層の外周面を囲うように巻かれて成り、前記第１ジャケット層の外周面を囲うように、前記第２外部導体の内側または外側に巻かれ、樹脂から成るテープ状のフィルムの少なくとも一方の面に金属膜が設けられる第２金属膜付フィルムを更に備えることが好ましい。

【0032】

この場合、第２外部導体を構成する導線が偏る場合であっても、第２外部導体の導線間を通過しようとする電磁波等を第２金属膜付フィルムの金属膜により抑制し得る。従って、ノイズをより低減し得る。

【0033】

この場合、前記第２金属膜付フィルムの前記フィルムの一方の面に設けられる前記金属膜は、前記第２外部導体に接することが好ましい。

【0034】

第２金属膜付フィルムの金属膜が第２外部導体に接することで、当該金属膜と第２外部導体とを個別にグランドに接続しなくても、一方をグランドに接続することで、第２外部導体と当該金属膜とをシールドとすることができる。

【0035】

この場合、前記第２金属膜付フィルムの前記金属膜が単層の金属膜であってもよい。

【0036】

この場合、金属膜が多層の金属膜である場合と比べて、第２金属膜付フィルムの膜厚を薄くすることが可能で、圧電同軸センサの外径を小さくすることができる。更に、金属膜が多層の場合と比べて、圧電同軸センサを軽量化、柔軟化し易く、小さく、軽量な圧電同軸センサとし得る。このような圧電同軸センサは、自重が軽いため振動体の振動の阻害を抑制することができ、その振動をより正確に計測することができる。また、圧電同軸センサは、柔軟なため、付着させる被計測物の形状を多様化することができ、被計測物の動きに応じた高性能な計測を期待できる。

【0037】

或いは、前記第２金属膜付フィルムの前記金属膜が多層の金属膜であってもよい。

【0038】

この場合、金属膜が単層の場合と比べて、電気抵抗の調整や、金属膜とフィルムとの密着性の調整を容易にすることができる。また、金属層の一部に銅のように表面の錆び易い金属が用いられる場合であっても、表面に露出する金属層に錆びにくい金属が用いられることで、表面保護をすることができる。

【0039】

また、一部の金属膜にピンホールが形成されたり、一部の金属膜の膜厚が設計値より薄いといった不具合があっても、他の金属膜によりその不具合を改善し得、周方向の膜抵抗のばらつきを抑制し得、不具合による圧電同軸センサの性能の低下を抑制することができる。

【0040】

以上のように、本発明によれば、優れた耐ノイズ特性を有する圧電同軸センサが提供される。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】本発明の第１実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。

【図2】図１の圧電同軸センサの長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。

【図3】本発明の第２実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。

【図4】本発明の第３実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。

【図5】第３実施形態における第１金属膜付フィルムの変形例を示す図である。

【図6】実施例におけるオシロスコープの波形を示す図である。

【図7】比較例におけるオシロスコープの波形を示す図である。

【図8】実施例の圧電同軸センサを叩いた際のオシロスコープの波形を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0042】

以下、本発明に係る圧電同軸センサを実施するための形態が添付図面とともに例示される。以下に例示する実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、以下の実施形態から変更、改良することができる。また、本明細書では、理解を容易にするために、各部材の寸法が誇張して示されている場合がある。

【0043】

（第１実施形態）
図１は、本実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。図１に示すように、本実施形態の圧電同軸センサ１は、中心導体１１と、高分子圧電体層１２と、第１外部導体１３と、第１ジャケット層１４と、第２外部導体１５と、第２ジャケット層１６と、を備える。

【0044】

中心導体１１は、複数の導線の撚り線から成る。この中心導体１１に含まれる導線は、導体から成り特に制限されないが、このような導体として、例えば、銅、アルミニウム、錫めっき軟銅合金等から成る導線が挙げられる。なお、図１では、中心導体１１が上述のように複数の導線の撚り線から成る例が示されているが、中心導体１１は、導電性の単線から成っても良い。また、それぞれの導線の断面の形状は、円形に限らず、矩形であってもよい。また、中心導体１１は、導線と絶縁性の線材との撚り線であってもよい。

【0045】

高分子圧電体層１２は、中心導体１１の外周面を被覆する層である。本実施形態では、高分子圧電体層１２は、中心導体１１の外周面に接している。高分子圧電体層１２は、圧電性を示す高分子から成り、このような高分子としては、例えば、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリ乳酸、ポリ尿素等を挙げることができる。高分子圧電体層１２は、押し出し成形等により、断面の外形が略円形状に形成されている。なお、高分子圧電体層１２は、高分子圧電体から成るテープ状のフィルムが中心導体１１に巻かれることで構成されてもよい。この場合、当該フィルムは、螺旋巻きで巻かれても縦添え巻きで巻かれてもよい。

【0046】

第１外部導体１３は、高分子圧電体層１２の外周面を囲う導体である。本実施形態では、第１外部導体１３は、高分子圧電体層１２の外周面に接している。第１外部導体１３は、複数の導線が同一方向に螺旋状に巻かれた構成とされる。このような第１外部導体１３は、導体から成れば特に制限されないが、例えば、中心導体１１と同様の導体から成る。なお、図１では、第１外部導体１３として複数の導線が螺旋状に巻かれた例が示されるが、第１外部導体１３は、複数の導線が編まれた網線であってもよい。

【0047】

上記のように、高分子圧電体層１２は中心導体１１の外周面に接し、第１外部導体１３は高分子圧電体層１２の外周面に接している。このため、圧電同軸センサ１に加わる外力が高分子圧電体層１２に伝達され当該高分子圧電体層１２に誘導電荷が生じる場合に、中心導体１１と第１外部導体１３との間には、高分子圧電体層１２に生じる誘導電荷に基づいて電圧が生じる。このため、中心導体１１と第１外部導体１３との間の電圧を該圧電同軸センサ１の外側に誘引し計測することで、該圧電同軸センサ１に加わる力を計測することが可能となる。

【0048】

図２は、図１の圧電同軸センサ１の長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。第１ジャケット層１４は、第１外部導体１３の外周面を被覆する層である。図１、図２に示すように、本実施形態では、第１ジャケット層１４は、内側第１ジャケット層１４ａと外側第１ジャケット層１４ｂとから成る。

【0049】

内側第１ジャケット層１４ａは、樹脂から成るテープ状のフィルム１４ａｔから成り、フィルム１４ａｔは、第１外部導体１３の外周面上に螺旋状に巻かれている。フィルム１４ａｔのいずれの面にも接着層が設けられておらず、内側第１ジャケット層１４ａは、第１外部導体１３に非接着である。フィルム１４ａｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等の絶縁性の樹脂を挙げることができる。なお、フィルム１４ａｔの一方の面上に接着層が設けられてもよいが、第１外部導体１３を口出しする際に、内側第１ジャケット層１４ａと第１外部導体１３とが容易に剥離可能となる観点から、上記のようにフィルム１４ａｔのいずれの面にも、接着層が設けられないことが好ましい。

【0050】

外側第１ジャケット層１４ｂは、図２に示すように、樹脂から成るテープ状のフィルム１４ｂｔと、フィルム１４ｂｔの一方の面上に設けられる接着層１４ｂａとから成る。フィルム１４ｂｔは、接着層１４ｂａが内側第１ジャケット層１４ａ側を向き、内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に螺旋状に巻かれている。なお、図１の例では、外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔは、内側第１ジャケット層１４ａのフィルム１４ａｔと同一方向に巻かれているが、外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔと内側第１ジャケット層１４ａのフィルム１４ａｔとが逆方向に巻かれてもよい。また、フィルム１４ａｔ及びフィルム１４ｂｔの少なくとも一方が縦添え巻きに巻かれてもよい。フィルム１４ｂｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、フィルム１４ａｔと同様の材料を挙げることができる。接着層１４ｂａに用いられる接着剤としては、特に限定されないが、アクリル系接着剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤等を挙げることができる。接着層１４ｂａが設けられなくてもよいが、圧電同軸センサ１が繰り返し屈曲される場合におけるフィルム１４ｂｔが解けること抑制する観点から、上記のように接着層１４ｂａが設けられることが好ましい。

【0051】

なお、内側第１ジャケット層１４ａ及び外側第１ジャケット層１４ｂのいずれか一方が省略され、第１ジャケット層１４が内側第１ジャケット層１４ａ及び外側第１ジャケット層１４ｂの他方から構成されてもよい。ただし、第１ジャケット層１４と第１外部導体１３とが容易に剥離可能としつつ、第１ジャケット層１４が解けることを抑制する観点から、第１ジャケット層１４は、上記のように非接着の内側第１ジャケット層１４ａと、接着層１４ｂａを有する外側第１ジャケット層１４ｂとから構成されることが好ましい。

【0052】

第２外部導体１５は、第１ジャケット層１４の外周面を囲う導体である。第２外部導体１５は、複数の導線が同一方向に螺旋状に巻かれた構成とされる。このような第２外部導体１５は、導体から成れば特に制限されないが、例えば、第１外部導体１３と同様の導体から成る。なお、図１では、第２外部導体１５として複数の導線が螺旋状の巻かれた例が示されるが、第２外部導体１５は、複数の導線が編まれた網線であってもよい。

【0053】

第２ジャケット層１６は、第２外部導体１５の外周面を被覆する層である。本実施形態では、第２ジャケット層１６は、内側第２ジャケット層１６ａと外側第２ジャケット層１６ｂとから成る。

【0054】

内側第２ジャケット層１６ａは、樹脂から成るテープ状のフィルム１６ａｔから成り、フィルム１６ａｔは、第２外部導体１５の外周面上に螺旋状に巻かれている。フィルム１６ａｔのいずれの面にも接着層が設けられておらず、内側第２ジャケット層１６ａは、第２外部導体１５に非接着である。フィルム１６ａｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、フィルム１４ａｔと同様の材料を挙げることができる。なお、フィルム１６ａｔの一方の面上に接着層が設けられてもよいが、第２外部導体１５を口出しする際に、内側第２ジャケット層１６ａと第２外部導体１５とが容易に剥離可能となる観点から、上記のようにフィルム１６ａｔのいずれの面にも、接着層が設けられないことが好ましい。

【0055】

外側第２ジャケット層１６ｂは、図２に示すように、樹脂から成るテープ状のフィルム１６ｂｔと、フィルム１６ｂｔの一方の面上に設けられる接着層１６ｂａとから成る。フィルム１６ｂｔは、接着層１６ｂａが内側第２ジャケット層１６ａ側を向き、内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に螺旋状に巻かれている。なお、図１の例では、外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔは、内側第２ジャケット層１６ａのフィルム１６ａｔと同一方向に巻かれているが、外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔと内側第２ジャケット層１６ａのフィルム１６ａｔとが逆方向に巻かれてもよい。また、フィルム１６ａｔ及びフィルム１６ｂｔの少なくとも一方が縦添え巻きに巻かれてもよい。フィルム１６ｂｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、フィルム１６ａｔと同様の材料を挙げることができる。接着層１６ｂａに用いられる接着剤としては、特に限定されないが、接着層１４ｂａに用いられる接着剤と同様の接着剤を挙げることができる。

【0056】

なお、内側第２ジャケット層１６ａが省略され、第２ジャケット層１６が外側第２ジャケット層１６ｂから構成されてもよい。ただし、第２ジャケット層１６と第２外部導体１５とが容易に剥離可能としつつ、第２ジャケット層１６が解けることを抑制する観点から、第２ジャケット層１６は、上記のように非接着の内側第２ジャケット層１６ａと、接着層１６ｂａを有する外側第２ジャケット層１６ｂとから構成されることが好ましい。

【0057】

以上説明したように、本実施形態の圧電同軸センサ１は、導線を含む中心導体１１と、中心導体１１の外周面を被覆する高分子圧電体層１２と、高分子圧電体層１２の外周面を囲う第１外部導体１３と、第１外部導体１３の外周面を被覆する第１ジャケット層１４と、第１ジャケット層１４の外周面を囲う第２外部導体１５と、を備える。また、高分子圧電体層１２に生じる誘導電荷に基づいて中心導体１１と第１外部導体１３との間に電圧が生じる。

【0058】

このような圧電同軸センサ１によれば、第２外部導体１５がシールド層として作用し、外部の電磁場等の影響が中心導体１１や第１外部導体１３に届くことを抑制することができる。従って、外部の電磁場等により、中心導体１１や第１外部導体１３にノイズが重畳することを抑制することができる。このため、本実施形態の圧電同軸センサ１は、優れた耐ノイズ特性を有することができる。

【0059】

また、本実施形態の圧電同軸センサ１は、前記第２外部導体１５の外周面を被覆する第２ジャケット層１６を備える。

【0060】

第２ジャケット層１６により、シールド層として作用する第２外部導体１５の外周面を外部と絶縁し得る。従って、第２外部導体１５を確実に接地することが出来るため第２外部導体１５はシールド層として作用し、中心導体１１や第１外部導体１３にノイズが重畳することをより抑制することができる。なお、第２ジャケット層１６は必須の構成ではないが、上記のように中心導体１１や第１外部導体１３にノイズが重畳することをより抑制する観点から、圧電同軸センサ１は第２ジャケット層１６を備えることが好ましい。

【0061】

なお、本実施形態において、第１外部導体１３及び第２外部導体１５が、金属箔から成り、当該金属箔が巻かれてもよい。

【0062】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の参照符号を付して特に説明する場合を除き重複する説明は省略する。

【0063】

図３は、本実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。図３に示すように、本実施形態の圧電同軸センサ１は、内側第１ジャケット層１４ａの代わりに第１金属箔層２１を備え、内側第２ジャケット層１６ａの代わりに第２金属箔層２２を備える点において、第１実施形態の圧電同軸センサ１と異なる。

【0064】

本実施形態の第１金属箔層２１は、第１外部導体１３の外周面に接して、第１外部導体１３を囲うように巻かれている。従って、第１金属箔層２１は第１外部導体１３と電気的に接続されている。第１金属箔層２１を構成する金属としては、金属であれば特に限定されないが、銅、アルミニウム等を挙げることができる。また、第１金属箔層２１には接着層が設けられておらず、第１金属箔層２１は、第１外部導体１３に非接着である。

【0065】

また、本実施形態の第２金属箔層２２は、第２外部導体１５の外周面に接して、第２外部導体１５を囲うように巻かれている。従って、第２金属箔層２２は第２外部導体１５と電気的に接続されている。第２金属箔層２２を構成する金属としては、第１金属箔層２１を構成する金属と同様の金属を挙げることができる。また、第２金属箔層２２には接着層が設けられておらず、第２金属箔層２２は、第２外部導体１５に非接着である。

【0066】

以上説明したように、本実施形態の圧電同軸センサ１では、第１外部導体１３が複数の導線が高分子圧電体層１２の外周面を囲うように巻かれて成り、圧電同軸センサ１は、第１外部導体１３の外周面を囲うように巻かれる第１金属箔層２１を備え、第１金属箔層２１は、第１外部導体１３に接する。このような圧電同軸センサ１によれば、第１外部導体１３を構成する導線が偏る場合であっても、第１外部導体１３と第１金属箔層２１とにより、周方向の電気的な抵抗の偏りを抑制することができる。

【0067】

なお、特に図示しないが、第１金属箔層２１は、高分子圧電体層１２と第１外部導体１３との間に設けられてもよい。この場合、第１金属箔層２１は、高分子圧電体層１２の外周面を囲うように巻かれ、高分子圧電体層１２と第１外部導体１３とに接するように設けられる。この場合、第１外部導体１３を構成する導線が偏る場合であっても、高分子圧電体層１２とは第１金属箔層２１が接触するので、周方向の電気的な抵抗の偏りをより抑制することができる。

【0068】

また、特に図示しないが、第１金属箔層２１が第１外部導体１３の外周面を囲うように巻かれる場合、第１金属箔層２１は、第１外部導体１３と離間して、第１外部導体１３と電気的に接続されなくてもよい。この場合、第１金属箔層２１がグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより抑制することができる。

【0069】

また、本実施形態の圧電同軸センサ１では、第２外部導体１５が、複数の導線が第１ジャケット層１４の外周面を囲うように巻かれて成り、圧電同軸センサ１は、第１ジャケット層１４の外周面を囲うように、第２外部導体１５の外側に巻かれる第２金属箔層２２を備え、第２金属箔層２２は、第２外部導体１５に接する。このように構成されることで、第２外部導体１５を構成する導線が偏る場合であっても、第２外部導体１５の導線間を通過しようとする電磁波等を第２金属箔層２２により抑制し得る。従って、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより低減し得る。また、第２金属箔層２２が第２外部導体１５に接することで、第２金属箔層２２と第２外部導体１５とを個別にグランドに接続しなくても、一方をグランドに接続することで、第２外部導体１５と第２金属箔層２２とをシールドとすることができる。

【0070】

また、特に図示しないが、第２金属箔層２２は、第２外部導体１５の内側に設けられ、第２外部導体１５と接してもよい。この場合であっても、第２外部導体１５の導線間を通過しようとする電磁波等を第２金属箔層２２により抑制し得る。従って、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより低減し得る。また、第２金属箔層２２が第２外部導体１５に接することで、第２金属箔層２２と第２外部導体１５とを個別にグランドに接続しなくても、一方をグランドに接続することで、第２外部導体１５と第２金属箔層２２とをシールドとすることができる。

【0071】

なお、特に図示しないが、第２金属箔層２２が第２外部導体１５の外側、内側に設けられるいずれの場合であっても、第２金属箔層２２は、第２外部導体１５と離間して、第２外部導体１５と電気的に接続されなくてもよい。この場合、第２金属箔層２２がグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより抑制することができる。

【0072】

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の参照符号を付して特に説明する場合を除き重複する説明は省略する。

【0073】

図４は、本実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。図４に示すように、本実施形態の圧電同軸センサ１は、内側第１ジャケット層１４ａの代わりに第１金属膜付フィルム２３を備え、内側第２ジャケット層１６ａの代わりに第２金属膜付フィルム２４を備える点において、第１実施形態の圧電同軸センサ１と異なる。

【0074】

第１金属膜付フィルム２３は、樹脂から成るテープ状のフィルム２３ｔの一方の面に内側第１金属膜２３ｍｉが設けられ、他方の面に外側第１金属膜２３ｍｏが設けられている。フィルム２３ｔは、例えば、内側第１ジャケット層１４ａのフィルム１４ａｔと同様の構成とされる。また、内側第１金属膜２３ｍｉ、外側第１金属膜２３ｍｏは、例えば、互いに同様の構成とされ、銅やアルミニウム等の金属が、蒸着やスパッタ等で積層されて成る単層の膜である。

【0075】

本実施形態では、第１金属膜付フィルム２３は、第１外部導体１３の外周面を囲うように巻かれ、内側第１金属膜２３ｍｉは第１外部導体１３に接しており、外側第１金属膜２３ｍｏは第１外部導体１３に非接触である。但し、本実施形態では、第１金属膜付フィルム２３が周方向に１周以上巻かれており、第１金属膜付フィルム２３が二重になっている部位がある。このため、この部位で、外側第１金属膜２３ｍｏは、内側第１金属膜２３ｍｉに接している。従って、外側第１金属膜２３ｍｏは、内側第１金属膜２３ｍｉを介して、第１外部導体１３に電気的に接続されている。また、第１金属膜付フィルム２３には接着層が設けられておらず、第１金属膜付フィルム２３は、第１外部導体１３に非接着である。

【0076】

第２金属膜付フィルム２４は、樹脂から成るテープ状のフィルム２４ｔの一方の面に内側第２金属膜２４ｍｉが設けられ、他方の面に外側第２金属膜２４ｍｏが設けられている。フィルム２４ｔは、例えば、第１金属膜付フィルム２３のフィルム２３ｔと同様の構成とされる。また、内側第２金属膜２４ｍｉ及び外側第２金属膜２４ｍｏは、例えば、内側第１金属膜２３ｍｉ及び外側第１金属膜２３ｍｏと同様の構成とされる。また、第２金属膜付フィルム２４には接着層が設けられておらず、第２金属膜付フィルム２４は、第２外部導体１５に非接着である。

【0077】

本実施形態では、第２金属膜付フィルム２４は、第２外部導体１５の外周面を囲うように巻かれ、内側第２金属膜２４ｍｉは第２外部導体１５に接しており、外側第２金属膜２４ｍｏは第２外部導体１５に非接触である。但し、本実施形態では、第２金属膜付フィルム２４が周方向に１周以上巻かれており、第２金属膜付フィルム２４が二重になっている部位がある。このため、この部位で、外側第２金属膜２４ｍｏは、内側第２金属膜２４ｍｉに接している。従って、外側第２金属膜２４ｍｏは、内側第２金属膜２４ｍｉを介して、第２外部導体１５に電気的に接続されている。

【0078】

以上説明したように、本実施形態の圧電同軸センサ１では、第１外部導体１３は、複数の導線が高分子圧電体層１２の外周面を囲うように巻かれて成り、圧電同軸センサ１は、第１外部導体１３の外周面を囲うように巻かれ、樹脂から成るテープ状のフィルム２３ｔの両面に金属膜が設けられ第１金属膜付フィルム２３を備え、第１金属膜付フィルム２３のフィルム２３ｔの一方の面に設けられる内側第１金属膜２３ｍｉは、第１外部導体１３に接する。このような圧電同軸センサ１によれば、第１外部導体１３を構成する導線が偏る場合であっても、第１外部導体１３と内側第１金属膜２３ｍｉとにより、周方向の電気的な抵抗の偏りを抑制することができる。

【0079】

また、本実施形態では、内側第１金属膜２３ｍｉと外側第１金属膜２３ｍｏとが接している。このような構成では、内側第１金属膜２３ｍｉの電気抵抗と外側第１金属膜２３ｍｏの電気抵抗との合成抵抗が、内側第１金属膜２３ｍｉ単体の抵抗よりも低いため、内側第１金属膜２３ｍｉと外側第１金属膜２３ｍｏとが接しない場合よりも電気抵抗を低下させることができ、圧電同軸センサ１の性能を向上させ得る。

【0080】

また、内側第１金属膜２３ｍｉあるいは外側第１金属膜２３ｍｏにピンホールが形成されたり、内側第１金属膜２３ｍｉあるいは外側第１金属膜２３ｍｏの膜厚が設計値よりも薄い等の不具合があっても、不具合のある一方の金属膜が他方の金属膜と対向し、これら一方の金属膜と他方の金属膜とが互いに重なることで、上記不具合をカバーし得、周方向の金属膜の抵抗のバラツキを抑えることができる。また、上記のピンホールが他の金属膜により覆われることで、外来電磁波等によるノイズが重畳することを抑制することができる。また、周方向の電気の流れの偏りを抑制することができる。このため、圧電同軸センサの性能の向上、安定化を期待できる。

【0081】

なお、特に図示しないが、内側第１金属膜２３ｍｉが、第１外部導体１３と離間して、第１外部導体１３と電気的に接続されなくてもよい。この場合、内側第１金属膜２３ｍｉ、外側第１金属膜２３ｍｏがグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより抑制することができる。

【0082】

また、特に図示しないが、内側第１金属膜２３ｍｉまたは外側第１金属膜２３ｍｏが省略されてもよい。この場合、金属膜が第１外部導体１３と接しない場合であっても、当該金属膜がグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、よりノイズを抑制することができる。

【0083】

また、本実施形態の圧電同軸センサ１では、第２外部導体１５は、複数の導線が第１ジャケット層１４の外周面を囲うように巻かれて成り、圧電同軸センサ１は、第２外部導体１５の外周面を囲うように巻かれ、樹脂から成るテープ状のフィルム２４ｔの両面に金属膜が設けられ第２金属膜付フィルム２４を備え、第２金属膜付フィルム２４のフィルム２４ｔの一方の面に設けられる内側第２金属膜２４ｍｉは、第２外部導体１５に接する。このような圧電同軸センサ１によれば、第２外部導体１５を構成する導線が偏る場合であっても、第２外部導体１５の導線間を通過しようとする電磁波等を第２金属膜付フィルムの内側第２金属膜２４ｍｉや外側第２金属膜２４ｍｏにより抑制し得る。従って、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより低減し得る。また、第２金属膜付フィルム２４の内側第２金属膜２４ｍｉが第２外部導体に接することで、内側第２金属膜２４ｍｉと第２外部導体１５とを個別にグランドに接続しなくても、一方をグランドに接続することで、第２外部導体１５と内側第２金属膜２４ｍｉとをシールドとすることができる。

【0084】

また、本実施形態では、内側第２金属膜２４ｍｉと外側第２金属膜２４ｍｏとが接している。このため、内側第２金属膜２４ｍｉと外側第２金属膜２４ｍｏの一方がグランドと接続されることで、内側第２金属膜２４ｍｉと外側第２金属膜２４ｍｏとをシールドとすることができる。

【0085】

なお、特に図示しないが、内側第２金属膜２４ｍｉが、第２外部導体１５と離間して、第２外部導体１５と電気的に接続されなくてもよい。この場合、内側第２金属膜２４ｍｉ、外側第２金属膜２４ｍｏがグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより抑制することができる。

【0086】

また、特に図示しないが、内側第２金属膜２４ｍｉまたは外側第２金属膜２４ｍｏが省略されてもよい。この場合、金属膜が第２外部導体１５と接しない場合であっても、当該金属膜がグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、ノイズを抑制することができる。

【0087】

また、特に図示しないが、第２金属膜付フィルム２４は、第２外部導体１５の内側に設けられ、第２外部導体１５と外側第２金属膜２４ｍｏとが接してもよい。この場合であっても、第２外部導体１５の導線間を通過しようとする電磁波等を第２金属膜付フィルムの内側第２金属膜２４ｍｉや外側第２金属膜２４ｍｏにより抑制し得る。従って、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより低減し得る。また、第２金属膜付フィルム２４の外側第２金属膜２４ｍｏが第２外部導体に接することで、外側第２金属膜２４ｍｏと第２外部導体１５とを個別にグランドに接続しなくても、一方をグランドに接続することで、第２外部導体１５と外側第２金属膜２４ｍｏとをシールドとすることができる。

【0088】

なお、特に図示しないが、第２金属膜付フィルム２４が第２外部導体１５の内側に設けられる場合であっても、第２金属膜付フィルム２４の外側第２金属膜２４ｍｏは、第２外部導体１５と離間して、第２外部導体１５と電気的に接続されなくてもよい。この場合、外側第２金属膜２４ｍｏ及び内側第２金属膜２４ｍｉがグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、第１実施形態の圧電同軸センサ１と比べて、ノイズをより抑制することができる。なお、第２金属膜付フィルム２４が第２外部導体１５の内側に設けられる場合に外側第２金属膜２４ｍｏが省略されてもよい。この場合、内側第２金属膜２４ｍｉは、第２外部導体１５と非接触であるが、内側第２金属膜２４ｍｉがグランドに接続されることで、シールドとして作用し得、ノイズを抑制することができる。

【0089】

なお、本実施形態の第１金属膜付フィルム２３では、フィルム２３ｔの両面に単層の内側第１金属膜２３ｍｉ及び単層の外側第１金属膜２３ｍｏが設けられる構成を例示した。しかし、内側第１金属膜２３ｍｉ及び外側第１金属膜２３ｍｏは多層の金属膜であってもよい。図５は、このような変形例を示す図である。図５の例では、内側第１金属膜２３ｍｉが３つの金属層２３ｍｉ_１～２３ｍｉ_３から成り、外側第１金属膜２３ｍｏが３つの金属層２３ｍｏ_１～２３ｍｏ_３から成る。このように、内側第１金属膜２３ｍｉ及び外側第１金属膜２３ｍｏが多層の金属膜から成ることで、内側第１金属膜２３ｍｉ及び外側第１金属膜２３ｍｏがそれぞれ単層の金属膜から成る場合と比べて、電気抵抗を小さくすることができる。従って、圧電同軸センサ１の性能を向上させ得る。

【0090】

また、内側第１金属膜２３ｍｉの金属層２３ｍｉ_１～２３ｍｉ_３の一部の金属層あるいは外側第１金属膜２３ｍｏの金属層２３ｍｏ_１～２３ｍｏ_３の一部の金属層にピンホールが形成されたり、一部の金属層の厚みが設計値より薄い等の不具合があっても、他の金属層によりその不具合を改善し得、周方向の膜抵抗のばらつきを抑制し得る。従って、不具合による圧電同軸センサ１の性能の低下を抑制することができる。また、このようなピンホールが他の金属層により覆われることで、外来電磁波等によるノイズが重畳することを抑制し得る。

【0091】

また、内側第１金属膜２３ｍｉや外側第１金属膜２３ｍｏが単層の場合と比べて、電気抵抗の調整や、これら金属膜とフィルムとの密着性の調整を容易にすることができる。例えば、フィルム２３ｔ上に銅の金属層を直接形成し難い場合には、密着層としてフィルム２３ｔ上にニッケルやアルミニウムといった樹脂と密着性の良い金属層を形成し、その上に更に銅の金属層を形成することで、膜剥がれの起きにくい多層の金属膜を形成することができる。また、内側第１金属膜２３ｍｉの金属層２３ｍｉ_１～２３ｍｉ_３の一部や外側第１金属膜２３ｍｏの金属層２３ｍｏ_１～２３ｍｏ_３の一部に銅のように表面の錆び易い金属が用いられる場合であっても、表面に露出する金属層に錆びにくい金属が用いられることで、表面保護をすることができる。例えば、銅の金属層を形成した場合にはその表面が酸化されやすいため、表面にアルミニウムやニッケル、錫といった金属層を形成することで、銅を錆から保護し得る。このようにすると銅を保護しつつ、銅から成る金属層の電気抵抗と銅の上に形成されたアルミニウムや錫等から成る金属層の電気抵抗との合成抵抗が単一の銅から成る金属層よりも低下することで、圧電同軸センサ１性能の向上が期待できる。

【0092】

なお、金属層の数は、２つ以上であれば３つに限らない。

【0093】

また、特に図示しないが、図５を用いて説明した内側第１金属膜２３ｍｉ及び外側第１金属膜２３ｍｏが多層の金属膜である例と同様にして、第２金属膜付フィルム２４の内側第２金属膜２４ｍｉ及び外側第２金属膜２４ｍｏが多層の金属膜から成ってもよい。この場合、内側第２金属膜２４ｍｉ及び外側第２金属膜２４ｍｏがそれぞれ単層の金属膜から成る場合と比べて、電気抵抗を小さくすることができる。従って、圧電同軸センサ１の性能を向上させ得る。

【0094】

また、内側第２金属膜２４ｍｉのいずれかの金属層や外側第２金属膜２４ｍｏのいずれかの金属層にピンホールが形成されたり、内側第２金属膜２４ｍｉのいずれかの金属層や外側第２金属膜２４ｍｏのいずれかの金属層の層厚が設計値よりも薄く形成されてしまうといった不具合がある場合であっても、当該不具合のある金属層と他の層が重なることで、これらの不具合を是正し得る。また、このようなピンホールが他の金属層により覆われることで、外来電磁波等によるノイズがピンホールを介して侵入することを抑制し得る。

【0095】

また、外側第２金属膜２４ｍｏと内側第２金属膜２４ｍｉとが重なり合うことで、周方向の膜抵抗のバラツキを抑えることができ圧電同軸センサ１の性能の向上が期待できる。また、第２金属膜付フィルム２４の内側第２金属膜２４ｍｉの電気抵抗と外側第２金属膜２４ｍｏの電気抵抗との合成抵抗が、内側第２金属膜２４ｍｉの電気抵抗及び外側第２金属膜２４ｍｏの電気抵抗のそれぞれと比べて低くなり得る。従って、圧電同軸センサ性能の向上を期待できる。

【0096】

この場合においても、なお、金属層の数は、２つ以上であれば３つに限らない。

【0097】

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明の内容をより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは無い。

【0098】

（実施例）
図１、図２に示す圧電同軸センサ１と概ね同様の構成で長さが１００ｃｍの圧電同軸センサを準備した。中心導体１１は、素線外径が概ね０．０５ｍｍの導線７本から成り外径が概ね０．１５ｍｍである撚り線を用いた。高分子圧電体層１２は、図１、図２と異なり、ＰＶＤＦから成るテープ状のフィルムを中心導体１１の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。この際、フィルムの一部が２重に重なるように当該フィルムを巻いた。高分子圧電体層１２の外径は０．３ｍｍであった。第１外部導体１３は、素線外径が０．０３ｍｍの複数本の導線を高分子圧電体層１２の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。第１外部導体１３の外径は０．３６ｍｍであった。第１ジャケット層１４は、上記実施形態と同様に内側第１ジャケット層１４ａと外側第１ジャケット層１４ｂとで構成した。内側第１ジャケット層１４ａは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）から成るフィルム１４ａｔを第１外部導体１３の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。この際、フィルム１４ａｔの一部が２重に重なるようにフィルム１４ａｔを巻いた。内側第１ジャケット層１４ａの外径は０．３８ｍｍであった。外側第１ジャケット層１４ｂは、一方の面に接着層１４ｂａが設けられ、ＰＥＴから成るフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。この際、フィルム１４ｂｔの一部が２重に重なるようにフィルム１４ｂｔを巻いた。外側第１ジャケット層１４ｂの外径は０．３９ｍｍであった。第２外部導体１５は、素線外径が０．０３ｍｍの複数本の導線を第１ジャケット層１４の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。第２外部導体１５の外径は０．４５ｍｍであった。第２ジャケット層１６は、上記実施形態と同様に内側第２ジャケット層１６ａと外側第２ジャケット層１６ｂとで構成した。内側第２ジャケット層１６ａは、ＰＥＴから成るフィルム１６ａｔを第２外部導体１５の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。この際、フィルム１６ａｔの一部が２重に重なるようにフィルム１６ａｔを巻いた。内側第２ジャケット層１６ａの外径は０．４７ｍｍであった。外側第２ジャケット層１６ｂは、一方の面に接着層１６ｂａが設けられ、ＰＥＴから成るフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。この際、フィルム１６ｂｔの一部が２重に重なるようにフィルム１６ｂｔを巻いた。外側第２ジャケット層１６ｂの外径は０．５４ｍｍであった。

【0099】

（比較例）
第２外部導体１５及び第２ジャケット層１６が設けられないことを除き、実施例と同様の圧電同軸センサを準備した。

【0100】

準備した実施例の圧電同軸センサをテーブル上に配置して、圧電同軸センサの中心導体１１と第１外部導体１３との間に生じる電圧を２０倍に増幅してオシロスコープで読み取った。この際、第２外部導体１５を接地した。オシロスコープで示される波形を図６に示す。図６に示すように、波形に変化は見られなかった。

【0101】

次に準備した比較例の圧電同軸センサを実施例と同様にテーブル上に配置して、圧電同軸センサの中心導体と第１外部導体との間に生じる電圧を２０倍に増幅してオシロスコープで読み取った。オシロスコープで示される波形を図７に示す。図７に示すように比較例の圧電同軸センサからは概ね５０Ｈｚ波形が出力されている結果となった。これは、測定室内における交流電源の周波数と同一であることから、電源から発生する電磁場が圧電同軸センサの中心導体１１と第１外部導体１３とに重畳したためと考えられる。

【0102】

以上より、本発明の圧電同軸センサによれば、外来ノイズを抑制する特性に優れＳ／Ｎ比が高い、耐ノイズ特性が向上した圧電同軸センサを得られることが示された。

【0103】

次に実施例の圧電同軸センサを叩き衝撃を与えた。このときオシロスコープが示す波形を図８に示す。図８に示すように、実施例の圧電同軸センサは、テーブルの衝撃を検知した。従って、第２外部導体１５を備える圧電同軸センサであっても、衝撃を検知できることが示された。

【0104】

以上説明したように、本発明によれば、優れた耐ノイズ特性を有する圧電同軸センサが提供され、機器の測定等の分野で利用することが期待される。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】