特許 7496578 無線通信システム、搬送台車側の通信デバイス、及び通信方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-30

(45)【発行日】2024-06-07

(54)【発明の名称】無線通信システム、搬送台車側の通信デバイス、及び通信方法

(51)【国際特許分類】

   H04W 74/08 20240101AFI20240531BHJP

   B65G 1/04 20060101ALI20240531BHJP

   H01L 21/67 20060101ALI20240531BHJP

   H04W 4/35 20180101ALI20240531BHJP

   H04W 4/70 20180101ALI20240531BHJP

【ＦＩ】

H04W74/08

B65G1/04 543

B65G1/04 551A

H01L21/68 Z

H04W4/35

H04W4/70

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2021177548

(22)【出願日】2021-10-29

(65)【公開番号】P2023066763

(43)【公開日】2023-05-16

【審査請求日】2023-03-02

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】500112146

【氏名又は名称】サイレックス・テクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(72)【発明者】

【氏名】大島 宗訓

(72)【発明者】

【氏名】木股 友也

(72)【発明者】

【氏名】桑原 哲也

(72)【発明者】

【氏名】高原 弘慶

【審査官】桑江 晃

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／１３８８０２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１５／０５９８６１（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０４Ｗ ４／００ － ９９／００

Ｂ６５Ｇ １／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

３ＧＰＰ ＴＳＧ ＲＡＮ ＷＧ１－４

ＳＡ ＷＧ１－４

ＣＴ ＷＧ１，４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

軌道に沿って走行することにより搬送物を搬送する搬送台車と、
前記搬送台車に接続される搬送台車側の通信デバイスと、
前記搬送台車により前記搬送物が移載されるポートに接続され、前記搬送台車側の通信デバイスからペアリング信号を受信することをトリガとして、前記搬送台車側の通信デバイスとの間で、前記ポート及び前記搬送台車の間で前記搬送物を移載するためのインターロック通信を所定の周期で無線通信により行うポート側の通信デバイスと、を備え、
前記搬送台車側の通信デバイスは、
前記ペアリング信号の送信前に、前記ポート側の通信デバイスとの間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車が前記インターロック通信を行っているか否かを判断する判断部と、
前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する処理部と、を備える、
無線通信システム。

【請求項2】

前記処理部は、
前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記ペアリング信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する、
請求項１に記載の無線通信システム。

【請求項3】

前記搬送台車側の通信デバイスは、
前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る無線通信の信号強度を検出する検出部を備え、
前記処理部は、前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記インターロック通信を行っている前記他の搬送台車が複数存在すると判断した場合、前記検出部が検出した前記信号強度に基づいて、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングをずらす対象となる前記他の搬送台車である優先ターゲットを決定する、
請求項１又は２に記載の無線通信システム。

【請求項4】

前記処理部は、
前記検出部が検出した前記信号強度が大きい前記他の搬送台車から優先的に前記優先ターゲットに決定する、
請求項３に記載の無線通信システム。

【請求項5】

前記処理部は、
前記検出部が検出した前記信号強度が最も大きい前記他の搬送台車を前記優先ターゲットに決定する、
請求項４に記載の無線通信システム。

【請求項6】

前記処理部は、
前記検出部が検出した前記信号強度が所定の閾値以上となる前記他の搬送台車を前記優先ターゲットに決定する、
請求項３に記載の無線通信システム。

【請求項7】

前記処理部は、
前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記インターロック通信を行っている前記他の搬送台車が複数存在すると判断した場合、前記他の搬送台車における前記インターロック通信の進行状況に基づいて、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングをずらす対象となる前記他の搬送台車である優先ターゲットを決定する、
請求項１～６のいずれか１項に記載の無線通信システム。

【請求項8】

前記進行状況は、前記搬送物を移載する前の移載前手順、前記搬送物を移載している途中である移載中手順、及び前記搬送物を移載した後の移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階であって、
前記処理部は、
前記進行状況が前記移載前手順の実行段階である前記他の搬送台車を優先的に前記優先ターゲットに決定する、
請求項７に記載の無線通信システム。

【請求項9】

前記進行状況は、前記搬送物を移載する前の移載前手順、前記搬送物を移載している途中である移載中手順、及び前記搬送物を移載した後の移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階であって、
前記処理部は、
前記進行状況が前記移載前手順の実行段階である前記他の搬送台車、及び前記進行状況が前記移載中手順の実行段階である前記他の搬送台車を優先的に前記優先ターゲットに決定する、
請求項７に記載の無線通信システム。

【請求項10】

前記進行状況は、前記搬送物を移載する前の移載前手順、前記搬送物を移載している途中である移載中手順、及び前記搬送物を移載した後の移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階であって、
前記処理部は、
前記進行状況が前記移載後手順の実行段階である前記他の搬送台車を前記優先ターゲットから除外する、
請求項７に記載の無線通信システム。

【請求項11】

軌道に沿って走行することにより搬送物を搬送する搬送台車に接続される搬送台車側の通信デバイスであって、
前記搬送台車により前記搬送物が移載されるポートに接続されるポート側の通信デバイスが、前記搬送台車側の通信デバイスとの間で、前記ポート及び前記搬送台車の間で前記搬送物を移載するためのインターロック通信を所定の周期で無線通信により行うトリガとなるペアリング信号の送信前に、前記ポート側の通信デバイスとの間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車が前記インターロック通信を行っているか否かを判断する判断部と、
前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する処理部と、を備える、
搬送台車側の通信デバイス。

【請求項12】

軌道に沿って走行することにより搬送物を搬送する搬送台車に接続される搬送台車側の通信デバイスの通信方法であって、
前記搬送台車により前記搬送物が移載されるポートに接続されるポート側の通信デバイスが、前記搬送台車側の通信デバイスとの間で、前記ポート及び前記搬送台車の間で前記搬送物を移載するためのインターロック通信を所定の周期で無線通信により行うトリガとなるペアリング信号の送信前に、前記ポート側の通信デバイスとの間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車が前記インターロック通信を行っているか否かを判断し、
前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する、
通信方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、無線通信システム、搬送台車側の通信デバイス、及び通信方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、搬送物が載置される複数のポートのそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムが開示されている。この搬送システムでは、搬送台車と、ポートに一対一で接続されている通信デバイスとの間で、ポートに搬送物を移載するためのインターロック通信を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１９／２４４４６６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示されている搬送システムでは、以下のような課題が生じ得る。例えば、複数の搬送台車と複数の通信デバイスとの間でそれぞれ同一のチャネルでインターロック通信を行っていることとする。この場合、複数の通信デバイスが互いに比較的近い間隔で設置されていると、複数の搬送台車の各々から送信された複数の通信データが互いに衝突して通信エラーが発生する可能性がある。

【0005】

本発明は、上記の課題に鑑みてなされており、搬送台車とポート側の通信デバイスとの間のインターロック通信における通信エラーを低減することができる無線通信システム、搬送台車側の通信デバイス、及び通信方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る無線通信システムは、軌道に沿って走行することにより搬送物を搬送する搬送台車と、前記搬送台車に接続される搬送台車側の通信デバイスと、前記搬送台車により前記搬送物が移載されるポートに接続され、前記搬送台車側の通信デバイスからペアリング信号を受信することをトリガとして、前記搬送台車側の通信デバイスとの間で、前記ポート及び前記搬送台車の間で前記搬送物を移載するためのインターロック通信を所定の周期で無線通信により行うポート側の通信デバイスと、を備える。前記搬送台車側の通信デバイスは、前記ペアリング信号の送信前に、前記ポート側の通信デバイスとの間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車が前記インターロック通信を行っているか否かを判断する判断部と、前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する処理部と、を備える。

【0007】

本態様によれば、比較的近傍に同一のチャネルを用いてインターロック通信を行う複数の搬送台車が存在する場合でも、インターロック通信に係る信号の送信タイミングが互いにずれることで、無線通信の干渉が生じにくい。つまり、本態様によれば、搬送台車とポート側の通信デバイスとの間のインターロック通信における通信エラーを低減することができる。

【0008】

例えば、前記処理部は、前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記ペアリング信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御するように構成してもよい。

【0009】

本態様によれば、比較的近傍に同一のチャネルを用いてインターロック通信を行う複数の搬送台車が存在する場合でも、ペアリング信号の送信タイミングが互いにずれることで、無線通信の干渉が生じにくくすることができる。

【0010】

例えば、前記搬送台車側の通信デバイスは、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る無線通信の信号強度を検出する検出部を備え、前記処理部は、前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記インターロック通信を行っている前記他の搬送台車が複数存在すると判断した場合、前記検出部が検出した前記信号強度に基づいて、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングをずらす対象となる前記他の搬送台車である優先ターゲットを決定するように構成してもよい。

【0011】

本態様によれば、無線干渉が発生する可能性を示す指標となる信号強度に基づいて優先ターゲットを決定するので、無線干渉の発生を効果的に抑制できる。

【0012】

例えば、前記処理部は、前記検出部が検出した前記信号強度が大きい前記他の搬送台車から優先的に前記優先ターゲットに決定するように構成してもよい。

【0013】

本態様によれば、無線干渉が発生する可能性が比較的高い他の搬送台車を優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0014】

例えば、前記処理部は、前記検出部が検出した前記信号強度が最も大きい前記他の搬送台車を前記優先ターゲットに決定するように構成してもよい。

【0015】

本態様によれば、無線干渉が発生する可能性が最も高い他の搬送台車を優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0016】

例えば、前記処理部は、前記検出部が検出した前記信号強度が所定の閾値以上となる前記他の搬送台車を前記優先ターゲットに決定するように構成してもよい。

【0017】

本態様によれば、無線干渉が発生する可能性のある他の搬送台車に絞って優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0018】

例えば、前記処理部は、前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記インターロック通信を行っている前記他の搬送台車が複数存在すると判断した場合、前記他の搬送台車における前記インターロック通信の進行状況に基づいて、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングをずらす対象となる前記他の搬送台車である優先ターゲットを決定するように構成してもよい。

【0019】

本態様によれば、無線通信の干渉が発生し得る期間の長さを示す指標となるインターロック通信の進行状況に基づいて優先ターゲットを決定するので、無線干渉の発生を効果的に抑制できる。

【0020】

例えば、前記進行状況は、前記搬送物を移載する前の移載前手順、前記搬送物を移載している途中である移載中手順、及び前記搬送物を移載した後の移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階であって、前記処理部は、前記進行状況が前記移載前手順の実行段階である前記他の搬送台車を優先的に前記優先ターゲットに決定するように構成してもよい。

【0021】

本態様によれば、インターロック通信の完了までに比較的時間を要する、つまり無線干渉が発生し得る期間が比較的長い他の搬送台車を優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0022】

例えば、前記進行状況は、前記搬送物を移載する前の移載前手順、前記搬送物を移載している途中である移載中手順、及び前記搬送物を移載した後の移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階であって、前記処理部は、前記進行状況が前記移載前手順の実行段階である前記他の搬送台車、及び前記進行状況が前記移載中手順の実行段階である前記他の搬送台車を優先的に前記優先ターゲットに決定するように構成してもよい。

【0023】

本態様によれば、インターロック通信の完了までに比較的時間を要する、つまり無線干渉が発生し得る期間が比較的長い他の搬送台車を優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0024】

例えば、前記進行状況は、前記搬送物を移載する前の移載前手順、前記搬送物を移載している途中である移載中手順、及び前記搬送物を移載した後の移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階であって、前記処理部は、前記進行状況が前記移載後手順の実行段階である前記他の搬送台車を前記優先ターゲットから除外するように構成してもよい。

【0025】

本態様によれば、インターロック通信の完了までに要する時間が比較的短い、つまり無線干渉が発生し得る期間が比較的短い他の搬送台車を優先ターゲットから除外するので、無線干渉が発生する可能性が比較的高い他の搬送台車を優先ターゲットに決定しやすくなり、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0026】

本発明の一態様に係る搬送台車側の通信デバイスは、軌道に沿って走行することにより搬送物を搬送する搬送台車に接続される搬送台車側の通信デバイスであって、前記搬送台車により前記搬送物が移載されるポートに接続されるポート側の通信デバイスが、前記搬送台車側の通信デバイスとの間で、前記ポート及び前記搬送台車の間で前記搬送物を移載するためのインターロック通信を所定の周期で無線通信により行うトリガとなるペアリング信号の送信前に、前記ポート側の通信デバイスとの間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車が前記インターロック通信を行っているか否かを判断する判断部と、前記判断部が前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する処理部と、を備える。

【0027】

本態様によれば、比較的近傍に同一のチャネルを用いてインターロック通信を行う複数の搬送台車が存在する場合でも、インターロック通信に係る信号の送信タイミングが互いにずれることで、無線通信の干渉が生じにくい。つまり、本態様によれば、搬送台車とポート側の通信デバイスとの間のインターロック通信における通信エラーを低減することができる。

【0028】

本発明の一態様に係る通信方法は、軌道に沿って走行することにより搬送物を搬送する搬送台車に接続される搬送台車側の通信デバイスの通信方法であって、前記搬送台車により前記搬送物が移載されるポートに接続されるポート側の通信デバイスが、前記搬送台車側の通信デバイスとの間で、前記ポート及び前記搬送台車の間で前記搬送物を移載するためのインターロック通信を所定の周期で無線通信により行うトリガとなるペアリング信号の送信前に、前記ポート側の通信デバイスとの間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車が前記インターロック通信を行っているか否かを判断し、前記同一のチャネルを用いて前記他の搬送台車が前記インターロック通信を行っていると判断した場合、前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、前記他の搬送台車の前記インターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する。

【0029】

本態様によれば、比較的近傍に同一のチャネルを用いてインターロック通信を行う複数の搬送台車が存在する場合でも、インターロック通信に係る信号の送信タイミングが互いにずれることで、無線通信の干渉が生じにくい。つまり、本態様によれば、搬送台車とポート側の通信デバイスとの間のインターロック通信における通信エラーを低減することができる。

【0030】

なお、本発明は、装置として実現できるだけでなく、その装置を構成する処理手段をステップとする方法として実現したり、それらステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現したり、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体として実現したり、そのプログラムを示す情報、データ又は信号として実現したりすることもできる。そして、それらプログラム、情報、データ及び信号は、インターネット等の通信ネットワークを介して配信してもよい。

【発明の効果】

【0031】

本発明の一態様に係る無線通信システム等によれば、搬送台車とポート側の通信デバイスとの間のインターロック通信における通信エラーを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0032】

【図1】図１は、実施の形態に係る無線通信システムの概要を示す図である。

【図2】図２は、ＦＯＵＰを荷掴みする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。

【図3】図３は、ＦＯＵＰを荷降ろしする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。

【図4】図４は、実施の形態に係る無線通信システムの機能構成を示すブロック図である。

【図5】図５は、インターロック通信に係る通信フレームの一例を示す図である。

【図6】図６は、管理テーブルの一例を示す図である。

【図7】図７は、実施の形態に係る無線通信システムにおけるモニタリング動作の一例を示すフローチャートである。

【図8】図８は、実施の形態に係る無線通信システムにおけるターゲットの決定動作の一例を示すフローチャートである。

【図9】図９は、実施の形態に係る無線通信システムにおけるインターロック通信動作の一例を示すフローチャートである。

【図10】図１０は、実施の形態に係る無線通信システムの動作の具体例を説明するための図である。

【図11】図１１は、実施の形態に係る無線通信システムの動作の具体例の流れを示すシーケンス図である。

【図12】図１２は、実施の形態に係る無線通信システムの利点を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0033】

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

【0034】

（実施の形態）
［１．無線通信システムの概要］
まず、図１～図３を参照しながら、実施の形態に係る無線通信システム１０の概要について説明する。図１は、実施の形態に係る無線通信システム１０の概要を示す図である。図２は、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）５を荷掴みする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。図３は、ＦＯＵＰ５を荷降ろしする際におけるＥ８４インターロックシーケンスの一例を示す図である。ここで、「Ｅ８４インターロックシーケンス」とは、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）に関するＥ８４規格に規定されたシーケンスである。

【0035】

図１に示すように、無線通信システム１０は、例えば半導体製造工場内に構築されたシステムである。図１に示す例では、無線通信システム１０が構築された半導体製造工場内には、第１の搬送台車１ａと、第２の搬送台車１ｂと、第１の半導体処理装置２ａと、第２の半導体処理装置２ｂと、が設けられている。また、第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂには、それぞれ第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ及び第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂと、が搭載されている。さらに、第１の半導体処理装置２ａ及び第２の半導体処理装置２ｂには、それぞれ第１のポート側の通信デバイス３ａ及び第２のポート側の通信デバイス３ｂが搭載されている。

【0036】

なお、半導体製造工場には、実際には多数（例えば数百台）の搬送台車が配置されているが、説明の都合上、図１では第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂのみを図示している。また、半導体製造工場には、実際には多数（例えば数千台）の半導体処理装置が設置されているが、説明の都合上、図１では第１の半導体処理装置２ａ及び第２の半導体処理装置２ｂのみを図示している。

【0037】

第１の搬送台車１ａは、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ５を搬送するための天井走行式の搬送台車であり、いわゆるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ）である。ここで、ＦＯＵＰ５は、搬送台車１（後述する）が搬送する対象の物品の一例である。以下では、特に断りのない限り、搬送物がＦＯＵＰ５であることとして説明する。第１の搬送台車１ａは、半導体製造工場の天井側に設置された軌道Ｌに沿って無人走行する。この軌道Ｌは、例えば半導体製造工場の天井から吊り下げられて設けられている。なお、実施の形態の軌道Ｌは、図１に示すとおり直線形状で示しているが、これに限られない。例えば、軌道Ｌは、直線及び曲線から成る形状であってもよいし、格子状であってもよい。

【0038】

第１の搬送台車１ａの内部には、ＦＯＵＰ５を把持するための把持部１４ａが搭載されている。把持部１４ａは、第１の搬送台車１ａに対して昇降可能である。例えば第１の搬送台車１ａと第１の半導体処理装置２ａの第１のポート４ａ（後述する）との間でＦＯＵＰ５を移載する際には、第１の搬送台車１ａが第１のポート４ａの直上の位置で停止している状態で、把持部１４ａは、第１の搬送台車１ａの内部に格納されている位置から第１のポート４ａの近傍位置まで下降する。また、ＦＯＵＰ５の移載が完了した際には、把持部１４ａは、第１のポート４ａの近傍位置から第１の搬送台車１ａまで上昇して、第１の搬送台車１ａの内部に格納される。

【0039】

また、第１の搬送台車１ａの側面には、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａが配置されている。第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａは、第１のポート側の通信デバイス３ａ及び第２のポート側の通信デバイス３ｂの各々との間で無線通信するように構成されている。

【0040】

第２の搬送台車１ｂは、第１の搬送台車１ａと同様に、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ５を搬送するための天井走行式の搬送台車である。第２の搬送台車１ｂは、第１の搬送台車１ａと同様に、半導体製造工場の天井に設置された軌道Ｌに沿って無人走行する。なお、第１の搬送台車１ａの走行する軌道と、第２の搬送台車１ｂの走行する軌道とは互いに異なっていてもよい。さらに言えば、第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂは、同じ軌道を走行することもあれば、互いに異なる軌道を走行することもあり、複数の軌道が交差する箇所で走行する軌道を変更することが可能である。

【0041】

第２の搬送台車１ｂの内部には、第１の搬送台車１ａと同様に、ＦＯＵＰ５を把持するための把持部１４ｂが搭載されている。把持部１４ｂは、第２の搬送台車１ｂに対して昇降可能である。

【0042】

また、第２の搬送台車１ｂの側面には、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂが配置されている。第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂは、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａと同様に、第１のポート側の通信デバイス３ａ及び第２のポート側の通信デバイス３ｂの各々との間で無線通信するように構成されている。

【0043】

なお、後述するように、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａは、他の搬送台車すなわち当該第１の搬送台車１ａ以外の搬送台車と、第１のポート４ａ又は第２のポート４ｂとの間で行われている無線通信を傍受するように構成されている。

【0044】

第１の半導体処理装置２ａ及び第２の半導体処理装置２ｂは、いずれもＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハを処理又は仮置き等するための装置である。図１に示す例では、第１の半導体処理装置２ａ及び第２の半導体処理装置２ｂは、軌道Ｌの直下にて並ぶように設置されている。なお、第１の半導体処理装置２ａ及び第２の半導体処理装置２ｂは、互いに異なる軌道の直下にそれぞれ設置されていてもよい。

【0045】

第１の半導体処理装置２ａは、ＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハを半導体処理装置に対して搬入及び搬出するための第１の搬入出口４０ａと、第１の搬入出口４０ａの近傍に配置された第１のポート４ａと、を有している。また、第２の半導体処理装置２ｂは、ＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハを半導体処理装置に対して搬入及び搬出するための第２の搬入出口４０ｂと、第２の搬入出口４０ｂの近傍に配置された第２のポート４ｂと、を有している。

【0046】

第１のポート４ａは、ＦＯＵＰ５を載置するためのロードポートである。第１の搬送台車１ａの把持部１４ａ（又は第２の搬送台車１ｂの把持部１４ｂ）は、第１のポート４ａとの間でＦＯＵＰ５を移載する。第１のポート４ａは、第１の搬入出口４０ａを通して第１の半導体処理装置２ａとの間でＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハの受け渡しを行う。

【0047】

第２のポート４ｂは、第１のポート４ａと同様に、ＦＯＵＰ５を載置するためのロードポートである。第１の搬送台車１ａの把持部１４ａ（又は第２の搬送台車１ｂの把持部１４ｂ）は、第２のポート４ｂとの間でＦＯＵＰ５を移載する。第２のポート４ｂは、第２の搬入出口４０ｂを通して第２の半導体処理装置２ｂとの間でＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハの受け渡しを行う。

【0048】

第１のポート側の通信デバイス３ａは、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ及び第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂの各々と、第１の半導体処理装置２ａの第１のポート４ａとの間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。第１のポート側の通信デバイス３ａは、第１の半導体処理装置２ａの天面に配置されており、パラレルケーブルＣａを介して、第１の半導体処理装置２ａの第１のポート４ａと接続されている。これにより、第１のポート側の通信デバイス３ａは、パラレルケーブルＣａを介して、第１の半導体処理装置２ａの第１のポート４ａと有線通信することができる。また、第１のポート側の通信デバイス３ａは、例えばＢＬＥ（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標） Ｌｏｗ Ｅｎｅｒｇｙ）による近距離無線通信等により、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ及び第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂの各々と無線通信することができる。実施の形態では、無線通信に用いる周波数帯は、例えば２．４ＧＨｚ帯又は５．８ＧＨｚ帯である。また、当該近距離無線通信等には、マスタ及びスレーブ間でペアリングを確立し、無線通信を行う無線通信規格が含まれてもよい（例えば、ＡＮＴ通信など）。

【0049】

第２のポート側の通信デバイス３ｂは、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ及び第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂの各々と、第２の半導体処理装置２ｂの第２のポート４ｂとの間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。第２のポート側の通信デバイス３ｂは、第２の半導体処理装置２ｂの天面に配置されており、パラレルケーブルＣｂを介して、第２の半導体処理装置２ｂの第２のポート４ｂと接続されている。これにより、第２のポート側の通信デバイス３ｂは、パラレルケーブルＣｂを介して、第２の半導体処理装置２ｂの第２のポート４ｂと有線通信することができる。また、第２のポート側の通信デバイス３ｂは、例えばＢＬＥによる近距離無線通信等により、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ及び第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂの各々と無線通信することができる。

【0050】

ここで、例えば、第１のポート４ａに載置されたＦＯＵＰ５を第１の搬送台車１ａにより荷掴みする場合、及び、第１の搬送台車１ａから第１のポート４ａにＦＯＵＰ５を荷降ろしする場合について説明する。この場合、上述した無線通信システム１０では、ＳＥＭＩのＥ８４インターロックシーケンスに係るインターロック通信により、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａと、第１のポート側の通信デバイス３ａとの間で制御信号（以下、「通信データ」ともいう）が授受される。ここで、インターロック通信は、ポート（第１のポート４ａ又は第２のポート４ｂ）及び搬送台車（第１の搬送台車１ａ又は第２の搬送台車１ｂ）の間で搬送物（ＦＯＵＰ）５を移載するための通信である。Ｅ８４インターロックシーケンスでは、第１の搬送台車１ａと第１のポート４ａとの間でＦＯＵＰ５を移載する際に、特定の制御信号（例えば「Ｌ＿ＲＥＱ」）がオフとならないと次の手順には移行しないような、複数の手順からなるインターロックシーケンスが採用されている。

【0051】

図２に示すように、ＦＯＵＰ５を荷掴みする際におけるＥ８４インターロックシーケンスは、移載前手順、移載中手順及び移載後手順の３つのステップから成り立っている。また、図３に示すように、ＦＯＵＰ５を荷降ろしする際におけるＥ８４インターロックシーケンスは、図２と同様に、移載前手順、移載中手順及び移載後手順の３つのステップから成り立っている。なお、移載前手順、移載中手順及び移載後手順は、例えば第１の搬送台車１ａがＦＯＵＰ５を移載すべき第１のポート４ａの直上の位置に到着した後に、当該位置で停止した状態で実行される。あるいは、移載前手順は、第１の搬送台車１ａがＦＯＵＰ５を移載すべき第１のポート４ａの直上よりも手前（上流）側の位置を走行しながら実行されるものであってもよい。また、移載後手順は、第１の搬送台車１ａがＦＯＵＰ５を移載すべき第１のポート４ａの直上よりも後方（下流）側の位置を走行しながら実行されるものであってもよい。

【0052】

図２及び図３に示すように、移載前手順では、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａと第１のポート側の通信デバイス３ａ（第１のポート４ａ）との間で、これからＦＯＵＰ５の移載を開始する旨を示す制御信号が授受される。移載中手順では、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａと第１のポート側の通信デバイス３ａ（第１のポート４ａ）との間で、ＦＯＵＰ５の移載を実行するための制御信号が授受され、実際にＦＯＵＰ５の移載が行われる。移載後手順では、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａと第１のポート側の通信デバイス３ａ（第１のポート４ａ）との間で、ＦＯＵＰ５の移載が完了した旨を示す制御信号が授受される。

【0053】

［２．無線通信システムの機能構成］
以下、図４～図６を参照しながら、実施の形態に係る無線通信システム１０の機能構成について説明する。図４は、実施の形態に係る無線通信システム１０の機能構成を示すブロック図である。図５は、インターロック通信に係る通信フレーム６１の一例を示す図である。図６は、管理テーブル６２の一例を示す図である。

【0054】

なお、以下の説明において、第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂ等を特に区別しない場合には、「搬送台車１」と称する。また、以下の説明において、第１の搬送台車１ａの把持部１４ａ及び第２の搬送台車１ｂの把持部１４ｂ等を特に区別しない場合には、「把持部１４」と称する。また、以下の説明において、第１の半導体処理装置２ａ及び第２の半導体処理装置２ｂ等を特に区別しない場合には、「半導体処理装置２」と称する。また、以下の説明において、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ及び第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂ等を特に区別しない場合には、「搬送台車側の通信デバイス１１」と称する。また、以下の説明において、第１のポート側の通信デバイス３ａ及び第２のポート側の通信デバイス３ｂ等を特に区別しない場合には、「ポート側の通信デバイス３」と称する。また、以下の説明において、第１のポート４ａ及び第２のポート４ｂ等を特に区別しない場合には、「ポート４」と称する。

【0055】

図４に示すように、無線通信システム１０は、機能構成として、搬送台車１と、搬送台車側の通信デバイス１１と、ポート側の通信デバイス３と、を備えている。なお、図４では、搬送台車側の通信デバイス１１は、搬送台車１の構成要素に含まれているが、搬送台車１と別体である。もちろん、搬送台車側の通信デバイス１１は、搬送台車１と一体に構成されていてもよい。また、図４では、ポート側の通信デバイス３は、半導体処理装置２の構成要素に含まれているが、半導体処理装置２とは別体である。もちろん、ポート側の通信デバイス３は、半導体処理装置２と一体に構成されていてもよい。

【0056】

ここでは、１つの搬送台車１及び１つのポート４に焦点を当てて説明するが、無線通信システム１０が対象とする搬送台車１及びポート４は複数であってもよい。この場合、無線通信システム１０は、複数の搬送台車１と、複数の搬送台車側の通信デバイス１１と、複数のポート側の通信デバイス３と、を備えることになる。

【0057】

搬送台車側の通信デバイス１１は、搬送台車１に接続され、ポート側の通信デバイス３との間で、無線通信によりインターロック通信に係る通信データを送受信する。

【0058】

ここで、一例として、搬送台車側の通信デバイス１１とポート側の通信デバイス３との間で授受されるインターロック通信に係る通信データについて説明する。このインターロック通信に係る通信データは、例えば図５に示すような通信フレーム６１である。図５に示す通信フレーム６１は、「ＳＹＮＣ」、「Ｍｅｓｓａｇｅ Ｌｅｎｇｔｈ」、「Ｍｅｓｓａｇｅ ＩＤ」、「搬送台車側無線ＩＤ」、「半導体処理装置側無線ＩＤ」、「Ｏｐｔｉｏｎ／Ｍｅｓｓａｇｅ Ｓｔａｔｕｓ」、「ＰＩ／Ｏ ＩＮ ８ｂｉｔ」、「ＰＩ／Ｏ ＯＵＴ ８ｂｉｔ」、及び、「ＣＨＥＣＫ ＳＵＭ」の各フィールドを含む。

【0059】

「ＳＹＮＣ」は、通信フレーム６１のＳＹＮＣ部である。「Ｍｅｓｓａｇｅ Ｌｅｎｇｔｈ」は、通信フレーム６１の「Ｍｅｓｓａｇｅ ＩＤ」から「ＰＩ／Ｏ ＯＵＴ ８ｂｉｔ」までのデータ長である。「Ｍｅｓｓａｇｅ ＩＤ」は、通信フレーム６１のユニークな識別子である。「搬送台車側無線ＩＤ」は、搬送台車側の通信デバイス１１の識別情報、言い換えれば搬送台車１の識別情報である。「半導体処理装置側無線ＩＤ」は、ポート側の通信デバイス３の識別情報、言い換えれば半導体処理装置２のポートの識別情報である。「Ｏｐｔｉｏｎ／Ｍｅｓｓａｇｅ Ｓｔａｔｕｓ」は、オプション指示、及び、通信フレーム６１の送信方向（搬送台車側の通信デバイス１１→ポート側の通信デバイス３、又は、ポート側の通信デバイス３→搬送台車側の通信デバイス１１）である。「ＰＩ／Ｏ ＩＮ ８ｂｉｔ」は、ポート４に入力されるパラレルＩ／Ｏデータである。「ＰＩ／Ｏ ＯＵＴ ８ｂｉｔ」は、ポート４から出力されるパラレルＩ／Ｏデータである。「ＣＨＥＣＫ ＳＵＭ」は、通信フレーム６１のＣＨＥＣＫ ＳＵＭ部である。

【0060】

図４に戻って、搬送台車側の通信デバイス１１は、判断部１１１と、処理部１１２と、検出部１１３と、を備えている。なお、判断部１１１、処理部１１２、及び検出部１１３は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。

【0061】

判断部１１１は、ペアリング信号の送信前に、ポート側の通信デバイス３との間での無線通信に用いる予定のチャネル（無線チャネル）と同一のチャネルを用いて他の搬送台車１がインターロック通信を行っているか否かを判断する。ここで、ペアリング信号は、搬送台車側の通信デバイス１１とポート側の通信デバイス３との間で同期方式の無線通信を確立するための信号である。搬送台車側の通信デバイス１１は、ポート側の通信デバイス３に向けてペアリング信号を送信し、ポート側の通信デバイス３との無線通信を確立させた後に、搬送台車１とポート４との間でのＦＯＵＰ５の移載に関する各種通信を実行する。

【0062】

また、ここでいう「他の搬送台車１がインターロック通信を行っている」とは、具体的には、他の搬送台車１に設けられた他の搬送台車側の通信デバイス１１が送信及び受信するインターロック通信に係る信号と、搬送台車（自車）側の通信デバイス１１が送信及び受信するインターロック通信に係る信号とが干渉し得る状態にある、ことをいう。

【0063】

つまり、判断部１１１は、ペアリング信号を送信する前段階において、同一のチャネルを用いてインターロック通信を行っている他の搬送台車側の通信デバイス１１が、無線通信が干渉し得る範囲内に存在するか否かをモニタリングする。判断部１１１の動作については、後述する［３．無線通信システムの動作］にて詳細に説明する。

【0064】

処理部１１２は、判断部１１１が同一のチャネルを用いて他の搬送台車１がインターロック通信を行っていると判断した場合、インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、他の搬送台車１のインターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する。ここで、インターロック通信に係る信号は、搬送台車側の通信デバイス１１とポート側の通信デバイス３との間での無線通信が確立している状態において、搬送台車側の通信デバイス１１から送信されるコマンド信号、及びコマンド信号を受信したポート側の通信デバイス３から送信される応答信号を含む。

【0065】

処理部１１２は、判断部１１１が他の搬送台車１がインターロック通信を行っていないと判断した場合、ペアリング信号を送信し、モニタリングが終了してから既定の送信タイミング時間である所定時間が経過すると、所定の周期でコマンド信号の送信を開始する。一方、処理部１１２は、判断部１１１が他の搬送台車１がインターロック通信を行っていると判断した場合、ペアリング信号を送信した後に、ターゲットである他の搬送台車１の送信タイミングから所定の遅延時間の経過を待った後、所定の周期でコマンド信号の送信を開始する。ここでいう「ターゲット」は、インターロック通信に係る信号の送信タイミングをずらす対象となる他の搬送台車１（他の搬送台車側の通信デバイス１１）である。つまり、処理部１１２は、他の搬送台車１がインターロック通信を行っていると判断した場合、インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、当該他の搬送台車１のインターロック通信に係る信号の送信タイミングから所定の遅延時間だけずらす。

【0066】

実施の形態では、処理部１１２は、判断部１１１が同一のチャネルを用いてインターロック通信を行っている他の搬送台車１が複数存在すると判断した場合、所定のアルゴリズムに基づいて優先ターゲットを決定する。ここでいう「優先ターゲット」は、同一のチャネルを用いてインターロック通信を行っている他の搬送台車１が複数存在する場合におけるターゲットに相当する。優先ターゲットとなる他の搬送台車１は、例えば複数の他の搬送台車１のうち、無線通信の干渉が生じる可能性が最も高い搬送台車１である。

【0067】

なお、実施の形態では、処理部１１２は、判断部１１１が他の搬送台車１がインターロック通信を行っていると判断した場合、ペアリング信号の送信タイミングもずらしている。処理部１１２の動作については、後述する［３．無線通信システムの動作］にて詳細に説明する。

【0068】

検出部１１３は、他の搬送台車１のインターロック通信に係る無線通信（同一チャネル）の信号強度を検出する。実施の形態では、検出部１１３は、搬送台車側の通信デバイス１１が受信した無線信号のうち、他のポート側の通信デバイス３が送信した無線信号のＲＳＳＩ（Ｒｅｃｅｉｖｅｄ Ｓｉｇｎａｌ Ｓｔｒｅｎｇｔｈ Ｉｎｄｉｃａｔｏｒ）値を検出する。

【0069】

搬送台車１は、制御部１２と、記憶部１３と、把持部１４と、を備えている。

【0070】

制御部１２は、記憶部１３を参照し、かつ、搬送台車側の通信デバイス１１を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部１２は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。

【0071】

記憶部１３は、管理テーブル６２を記憶するメモリである。管理テーブル６２は、例えば図６に示すように、半導体処理装置２ごとに（言い換えれば、ポート４ごとに）、半導体処理装置２のステーション番号と、ポート側の通信デバイス３の無線チャネルと、ポート側の通信デバイス３のデバイス番号（識別情報）との対応関係を示すデータテーブルである。図６に示す例では、管理テーブル６２の１行目には、半導体処理装置２のステーション番号「００００１」と、ポート側の通信デバイス３の無線チャネル「００１」と、ポート側の通信デバイス３のデバイス番号「００００１」とが対応付けられて格納されている。

【0072】

ポート側の通信デバイス３は、ポート４に有線接続される。ポート側の通信デバイス３は、搬送台車側の通信デバイス１１からペアリング信号を受信することをトリガとして、搬送台車側の通信デバイス１１との間でインターロック通信を所定の周期で無線通信により行う。これにより、通信デバイス３に有線接続されたポート４と搬送台車側の通信デバイス１１との間でインターロック通信が行われる。ポート側の通信デバイス３は、通信部３１と、制御部３２と、を有している。

【0073】

通信部３１は、搬送台車側の通信デバイス１１との間で、無線通信によりインターロック通信に係る通信データを送信及び受信する。具体的には、通信部３１は、搬送台車側の通信デバイス１１から送信されるコマンド信号を受信し、かつ、搬送台車側の通信デバイス１１に向けて応答信号を送信する。また、通信部３１は、パラレルケーブルを介して、ポート４との間で通信データを送信及び受信する。

【0074】

制御部３２は、通信部３１を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部３２は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。

【0075】

ポート４は、搬送台車１により搬送物（ＦＯＵＰ）５が移載される。ポート４は、通信部４１と、制御部４２と、を有している。

【0076】

通信部４１は、パラレルケーブルを介して、ポート側の通信デバイス３との間で通信データを送信及び受信する。

【0077】

制御部４２は、通信部４１を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部４２は、ポート側の通信デバイス３からの通信データに基づいて、搬送台車１との間でＦＯＵＰ５を移載するためのインターロック処理を実行する。また、制御部４２は、搬入出口を通して半導体処理装置２との間でＦＯＵＰ５に格納される半導体ウエハの受け渡しを行うための処理を実行する。なお、制御部４２は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。

【0078】

［３．無線通信システムの動作］
以下、実施の形態に係る無線通信システム１０、特には搬送台車側の通信デバイス１１の動作について説明する。

【0079】

［３－１．基本動作］
まず、無線通信システム１０（搬送台車側の通信デバイス１１）の基本動作について、図７～図９を参照しながら説明する。図７は、実施の形態に係る無線通信システム１０におけるモニタリング動作の一例を示すフローチャートである。図８は、実施の形態に係る無線通信システム１０におけるターゲットの決定動作の一例を示すフローチャートである。図９は、実施の形態に係る無線通信システム１０におけるインターロック通信動作の一例を示すフローチャートである。

【0080】

搬送台車側の通信デバイス１１の判断部１１１は、対象とするポート４との間でのＦＯＵＰ５の移載を開始する前段階、例えば搬送台車１が対象とするポート４の手前の位置又は直上の位置まで移動してきた段階で、図７に示すモニタリング動作を開始する。モニタリング動作を開始するに際し、判断部１１１は、最初に搬送台車側の通信デバイス１１に内蔵されたメモリにおけるモニタリング記録エリアをクリア（リセット）する（Ｓ１１）。そして、判断部１１１は、ソフトウェアタイマを起動する（Ｓ１２）。これにより、判断部１１１によるモニタリング動作が開始される。

【0081】

モニタリング動作において、判断部１１１は、他の搬送台車１と他のポート（対象とするポート４以外のポート）側の通信デバイス３との間の無線通信の有無を判断する（Ｓ１３）。無線通信がある場合（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、取得した通信フレーム６１に含まれる他の搬送台車のＩＤ（「搬送台車側無線ＩＤ」）が新規であれば（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、判断部１１１は、当該搬送台車側無線ＩＤをモニタリング記録エリアに書き込む（Ｓ１５）。一方、搬送台車側無線ＩＤが既にモニタリング記録エリアに書き込まれている場合（Ｓ１４：Ｎｏ）、判断部１１１はステップＳ１５を実行しない。

【0082】

次に、判断部１１１は、搬送台車側無線ＩＤごとに、モニタリング動作の経過時間と、検出部１１３が検出したＲＳＳＩ値とをモニタリング記録エリアに書き込む（Ｓ１６）。さらに、判断部１１１は、搬送台車側無線ＩＤごとに、モニタリング動作の経過時間と、取得した通信フレーム６１のＰＩ／Ｏ ＩＮ（８ｂｉｔ）値及びＰＩ／Ｏ ＯＵＴ（８ｂｉｔ）値とをモニタリング記録エリアに書き込む（Ｓ１７）。なお、他の搬送台車側の通信デバイス１１と他のポート側の通信デバイス３との間の無線通信が無い場合（Ｓ１３：Ｎｏ）、判断部１１１は、ステップＳ１４～Ｓ１７を実行しない。

【0083】

以下、ソフトウェアタイマを起動してからモニタリング時間が経過するまでの間（Ｓ１８：Ｎｏ）、判断部１１１はステップＳ１３～Ｓ１７を繰り返す。そして、ソフトウェアタイマを起動してからモニタリング時間が経過すると（Ｓ１８：Ｙｅｓ）、判断部１１１は、モニタリング動作を終了する。

【0084】

このようにして、判断部１１１は、他の搬送台車１ごとに、インターロック通信に係る信号の送信タイミング、受信タイミング、所定の周期、インターロック通信の進行状況、及びＲＳＳＩ値を取得する。ここでいう「インターロック通信の進行状況」は、他の搬送台車側の通信デバイス１１と他のポート側の通信デバイス３との間の通信に基づく、他の搬送台車１と他のポート４との間で行われる搬送物（ＦＯＵＰ）５の移載の進捗をいう。実施の形態では、インターロック通信の進行状況は、搬送物５を移載する前の移載前手順、搬送物５を移載している途中である移載中手順、及び搬送物５を移載した後の移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階である。

【0085】

次に、搬送台車側の通信デバイス１１の処理部１１２は、図８に示すターゲットの決定動作を開始する。まず、処理部１１２は、判断部１１１の判断結果に基づいて、インターロック通信中の他の搬送台車１の有無を確認する（Ｓ２１，Ｓ２２）。インターロック通信中の他の搬送台車１が存在しない場合（Ｓ２１：Ｎｏ）、処理部１１２は、ターゲットを決定せずに、ターゲットの決定動作を終了する。この場合、処理部１１２は、後述するインターロック通信動作におけるステップＳ３６を実行する。

【0086】

インターロック通信中の他の搬送台車１が１台である場合（Ｓ２１：Ｙｅｓ、Ｓ２２：Ｎｏ）、処理部１１２は、当該他の搬送台車１をターゲットに決定し（Ｓ２８）、ターゲットの決定動作を終了する。一方、インターロック通信中の他の搬送台車１が２台以上である場合（Ｓ２２：Ｙｅｓ）、処理部１１２は、以下のステップＳ２３～Ｓ２７を実行することにより、優先ターゲットを決定する。

【0087】

まず、処理部１１２は、検出部１１３が検出したＲＳＳＩ値が高い上位２つの搬送台車側無線ＩＤをモニタリング記録エリアから読み出す（Ｓ２３）。つまり、処理部１１２は、インターロック通信中の複数の他の搬送台車１のうち、最もＲＳＳＩ値の高い他の搬送台車１と、２番目にＲＳＳＩ値の高い他の搬送台車１とを選択する。なお、インターロック中の複数の他の搬送台車１が２台である場合、処理部１１２は、これら２台の搬送台車側無線ＩＤをモニタリング記録エリアから読み出すことになる。

【0088】

次に、処理部１１２は、選択した上位２つの搬送台車１から取得した通信フレーム６１のうち、最後（つまり最新）の通信フレーム６１に含まれるＰＩ／Ｏ ＩＮ（８ｂｉｔ）値及びＰＩ／Ｏ ＯＵＴ（８ｂｉｔ）値と、をモニタリング記録エリアから読み出す（Ｓ２４）。

【0089】

ここで、ＰＩ／Ｏ ＩＮ（８ｂｉｔ）値及びＰＩ／Ｏ ＯＵＴ（８ｂｉｔ）値には、インターロック通信の進行状況を示す情報が含まれている。具体的には、図２及び図３に示すように、Ｅ８４インターロックシーケンスにおける特定の制御信号（ここでは、「ＣＳ＿０」、「ＢＵＳＹ」、及び「ＣＯＭＰＴ」）に基づいて、他の搬送台車１が移載前手順、移載中手順、及び移載後手順のうちのいずれかの手順の実行段階にあることが判断可能である。例えば、「ＣＳ＿０」がオン、「ＢＵＳＹ」がオフ、及び「ＣＯＭＰＴ」がオフの場合、処理部１１２は、他の搬送台車１が移載前手順の実行段階にあると判断する。また、例えば、「ＣＳ＿０」がオン、「ＢＵＳＹ」がオン、及び「ＣＯＭＰＴ」がオフの場合、処理部１１２は、他の搬送台車１が移載中手順の実行段階にあると判断する。また、例えば、「ＣＳ＿０」がオン、「ＢＵＳＹ」がオフ、及び「ＣＯＭＰＴ」がオンの場合、処理部１１２は、他の搬送台車１が移載後手順の実行段階にあると判断する。なお、「ＣＳ＿０」、「ＢＵＳＹ」、及び「ＣＯＭＰＴ」がいずれもオフである場合、処理部１１２は、他の搬送台車１によるＦＯＵＰ５の移載が完了していると判断する。

【0090】

そして、処理部１１２は、選択した上位２つの搬送台車１のうち一方の搬送台車１の手順の進行が他方の搬送台車１の手順よりも前の状態にあれば（Ｓ２５：Ｙｅｓ）、一方の搬送台車１を優先ターゲットに決定する（Ｓ２６）。また、処理部１１２は、選択した上位２つの搬送台車１のうち他方の搬送台車１の手順の進行が一方の搬送台車１の手順よりも前の状態にあれば（Ｓ２５：Ｎｏ）、他方の搬送台車１を優先ターゲットに決定する（Ｓ２７）。ここで、移載前手順は、移載中手順の前の手順であり、移載中手順は、移載後手順の前の手順である。つまり、処理部１１２は、ＦＯＵＰ５の移載を完了するまでに要する時間が長い他の搬送台車１を、無線通信が干渉し得る期間が長い、つまり無線通信が干渉する可能性が高いと判断し、このような他の搬送台車１を優先ターゲットに決定する。処理部１１２は、優先ターゲットを決定すると、ターゲットの決定動作を終了する。

【0091】

次に、処理部１１２は、図９に示すインターロック通信動作を開始する。処理部１１２は、ターゲット又は優先ターゲットを決定している場合、つまりインターロック通信中の他の搬送台車１が存在する場合、以下のステップＳ３１～Ｓ３４を実行した後に、ステップＳ３５，Ｓ３７～Ｓ３９を実行する。

【0092】

まず、処理部１１２は、ターゲット又は優先ターゲットの送信タイミングまでの時間に所定の遅延時間を加算した送信時間を設定する（Ｓ３１）。次に、処理部１１２は、ソフトウェアタイマを起動し（Ｓ３２）、ペアリング信号を送信することでポート側の通信デバイス３とのペアリングを実行する（Ｓ３３）。

【0093】

ソフトウェアタイマを起動してから（つまり、ペアリング信号を送信してから）送信時間が経過するまでの間（Ｓ３４：Ｎｏ）、処理部１１２は、特に何も実行せずに待機する。そして、ソフトウェアタイマを起動してから送信時間が経過すると（Ｓ３４：Ｙｅｓ）、処理部１１２は、コマンド信号をポート側の通信デバイス３に向けて送信する（Ｓ３５）。これにより、搬送台車側の通信デバイス１１は、ポート側の通信デバイス３との間でインターロック通信を開始する。コマンド信号の通信フレーム６１には、搬送台車１の制御部１２から受信した制御データが「ＰＩ／Ｏ ＩＮ ８ｂｉｔ」に書き込まれる。

【0094】

処理部１１２は、コマンド信号の送信後、ポート側の通信デバイス３からの応答信号を受信するまでの間（Ｓ３７：Ｎｏ）、応答信号を待ち受ける。そして、ポート側の通信デバイス３からの応答信号を受信すると（Ｓ３７：Ｙｅｓ）、処理部１１２は、受信した応答信号に含まれる「ＰＩ／Ｏ ＯＵＴ ８ｂｉｔ」のデータを読み出し、搬送台車１の制御部１２へ送信する（Ｓ３８）。

【0095】

以下、ポート側の通信デバイス３との間のインターロック通信が終了するまでの間（Ｓ３９：Ｎｏ）、処理部１１２はステップＳ３５，Ｓ３７～Ｓ３９を繰り返す。そして、ポート側の通信デバイス３との間のインターロック通信が終了すると（Ｓ３９：Ｙｅｓ）、処理部１１２は、インターロック通信動作を終了する。

【0096】

なお、処理部１１２は、ターゲット又は優先ターゲットを決定していない場合、つまりインターロック通信中の他の搬送台車１が存在しない場合（Ｓ２１：Ｎｏ）、ステップＳ３１～Ｓ３４を実行せずに、ペアリング信号を送信することでポート側の通信デバイス３とのペアリングを実行する（Ｓ３６）。そして、処理部１１２は、ターゲット又は優先ターゲットを決定している場合と同様に、ステップＳ３５，Ｓ３７～Ｓ３９を実行する。

【0097】

［３－２．具体例］
以下、実施の形態に係る無線通信システム１０（搬送台車側の通信デバイス１１）の動作の具体例について、図１０及び図１１を参照しながら説明する。図１０は、実施の形態に係る無線通信システム１０の動作の具体例を説明するための図である。図１１は、実施の形態に係る無線通信システム１０の動作の具体例の流れを示すシーケンス図である。

【0098】

以下、図１０に示すように、半導体製造工場内に、第１の半導体処理装置２ａ、第２の半導体処理装置２ｂ、及び第３の半導体処理装置２ｃがこの順に並んで設置されている場合を考える。なお、半導体製造工場内には、これらの半導体処理装置２ａ～２ｃの他にも半導体処理装置２が設置されている。以下の説明において、第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂ、第１の半導体処理装置２ａ及び第２の半導体処理装置２ｂ、第１のポート側の通信デバイス３ａ及び第２のポート側の通信デバイス３ｂ、並びに第１のポート４ａ及び第２のポート４ｂについては、既に図１を参照して説明しているため、ここでは説明を省略する。

【0099】

図１０に示す例では、半導体製造工場内には、第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂの他に、第３の搬送台車１ｃが更に設けられている。また、第３の半導体処理装置２ｃは、第３のポート４ｃを有している。第３のポート４ｃには、第３のポート側の通信デバイス３ｃが接続されている。

【0100】

第３の搬送台車１ｃは、図１に示した他の搬送台車１ａ、１ｂと同様に、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ５を搬送するための天井走行式の搬送台車である。第３の搬送台車１ｃは、他の搬送台車１ａ、１ｂと同様に、半導体製造工場の天井に設置された軌道Ｌに沿って無人走行する。なお、各搬送台車１ａ～１ｃが走行する軌道は、互いに異なっていてもよい。さらに言えば、各搬送台車１ａ～１ｃは、同じ軌道を走行することもあれば、互いに異なる軌道を走行することもあり、複数の軌道が交差する箇所で走行する軌道を変更することが可能である。

【0101】

第３の搬送台車１ｃの内部には、他の搬送台車１ａ、１ｂと同様に、ＦＯＵＰ５を把持するための把持部（図示せず）が搭載されている。把持部は、第３の搬送台車１ｃに対して昇降可能である。

【0102】

また、第３の搬送台車１ｃの側面には、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃが配置されている。第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、他の搬送台車側の通信デバイス１１ａ、１１ｂと同様に、各ポート側の通信デバイス３ａ～３ｃとの間で無線通信するように構成されている。

【0103】

なお、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、他の搬送台車すなわち当該第３の搬送台車１ｃ以外の搬送台車と、いずれかのポート４ａ～４ｃとの間で行われている無線通信を傍受するように構成されている。

【0104】

第３の半導体処理装置２ｃは、図１に示した他の半導体処理装置２ａ、２ｂと同様に、ＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハを処理又は仮置き等するための装置である。図１０に示す例では、第３の半導体処理装置２ｃは、軌道Ｌの直下にて並ぶように設置されている。なお、各半導体処理装置２ａ～２ｃは、互いに異なる軌道の直下にそれぞれ設置されていてもよい。

【0105】

第３の半導体処理装置２ｃは、ＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハを半導体処理装置に対して搬入及び搬出するための第３の搬入出口と、搬入出口の近傍に配置された第３のポート４ｃと、を有している。

【0106】

第３のポート４ｃは、ＦＯＵＰ５を載置するためのロードポートである。各搬送台車１ａ～１ｃの把持部は、第３のポート４ｃとの間でＦＯＵＰ５を移載する。第３のポート４ｃは、第３の搬入出口を通して第３の半導体処理装置２ｃとの間でＦＯＵＰ５に格納された半導体ウエハの受け渡しを行う。

【0107】

第３のポート側の通信デバイス３ｃは、各搬送台車側の通信デバイス１１ａ～１１ｃと、第３の半導体処理装置２ｃの第３のポート４ｃとの間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。第３のポート側の通信デバイス３ｃは、第３の半導体処理装置２ｃの天面に配置されており、パラレルケーブルを介して、第３の半導体処理装置２ｃの第３のポート４ｃと接続されている。これにより、第３のポート側の通信デバイス３ｃは、パラレルケーブルを介して、第３の半導体処理装置２ｃの第３のポート４ｃと有線通信することができる。また、第３のポート側の通信デバイス３ｃは、例えばＢＬＥ（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標） Ｌｏｗ Ｅｎｅｒｇｙ）による近距離無線通信等により、各搬送台車側の通信デバイス１１ａ～１１ｃの各々と無線通信することができる。

【0108】

また、以下では、第１の搬送台車１ａ、第２の搬送台車１ｂ、及び第３の搬送台車１ｃが、上位コントローラ（図示せず）より、ＦＯＵＰ５を移載するように指示された場合について説明する。

【0109】

具体的には、第１の搬送台車１ａは、軌道Ｌに沿って走行し、ＦＯＵＰ５を移載すべき第１のポート４ａの直上の位置で停止している。第２の搬送台車１ｂは、軌道Ｌに沿って走行し、ＦＯＵＰ５を移載すべき第２のポート４ｂの直上の位置で停止している。第３の搬送台車１ｃは、軌道Ｌに沿って走行し、ＦＯＵＰ５を移載すべき第３のポート４ｃの直上の位置で停止している。第１の搬送台車１ａ、第２の搬送台車１ｂ、及び第３の搬送台車１ｃは、それぞれ第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂ、及び第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃを備えている。

【0110】

さらに、以下では、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａと第１のポート側の通信デバイス３ａとの間のインターロック通信、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂと第２のポート側の通信デバイス３ｂとの間のインターロック通信、及び第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃと第３のポート側の通信デバイス３ｃとの間のインターロック通信には、いずれも同一の無線チャネルを使用することとして説明する。つまり、これらのインターロック通信は、場合によっては干渉し得ることになる。なお、図１０では、第１の搬送台車１ａ、第２の搬送台車１ｂ、及び第３の搬送台車１ｃが同時にインターロック通信を行っている状態を表している。

【0111】

図１１に示す例では、まず、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａ（図示では、「第１通信デバイス１１ａ」）が第１のポート側の通信デバイス３ａ（図示では、「第１通信デバイス３ａ」）との間でのインターロック通信を開始する。続いて、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂ（図示では、「第２通信デバイス１１ｂ」）が第２のポート側の通信デバイス３ｂ（図示では、「第２通信デバイス３ｂ」）との間でのインターロック通信を開始する。最後に、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃ（図示では、「第３通信デバイス１１ｃ」）が第３のポート側の通信デバイス３ｃ（図示では、「第３通信デバイス３ｃ」）との間でのインターロック通信を開始する。

【0112】

まず、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａは、モニタリング時間ＴＭの間、モニタリングを実行する（Ｓ１０１）。モニタリング時間ＴＭは、例えば数百ｍｓである。ここでは、インターロック通信中の他の搬送台車１が存在しないので、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａは、モニタリングが終了すると、ペアリング信号Ｐ１を送信し（Ｓ１０２）、所定時間の経過後、コマンド信号Ｃ１を送信する（Ｓ１０３）。これにより、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａは、第１のポート側の通信デバイス３ａとの間でインターロック通信を開始する。インターロック通信中においては、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａは、コマンド信号Ｃ１を送信し（Ｓ１０３）、一定時間Ｔ１後に第１のポート側の通信デバイス３ａからの応答信号Ｒ１を受信する（Ｓ１０４）という一連の通信を、所定の周期Ｔ２で繰り返す。一定時間Ｔ１は、遅延時間Ｔ３（後述する）よりも短い時間であって、例えば数百μｓである。また、所定の周期Ｔ２は、遅延時間Ｔ３よりも長く、モニタリング時間ＴＭよりも短い時間であって、例えば数十ｍｓである。

【0113】

次に、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂは、モニタリング時間ＴＭの間、モニタリングを実行する（Ｓ２０１）。ここでは、インターロック通信中の他の搬送台車１（第１の搬送台車１ａ）が存在するので、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂは、第１の搬送台車１ａをターゲットに決定する。そして、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂは、ペアリング信号Ｐ２を送信した後（Ｓ２０２）、第１の搬送台車側の通信デバイス１１ａによるコマンド信号Ｃ１の送信タイミングから遅延時間Ｔ３だけずらしたタイミングで、コマンド信号Ｃ２を送信する（Ｓ２０３）。遅延時間Ｔ３は、一定時間Ｔ１よりも長く、所定の周期Ｔ２よりも短い時間であって、例えば１ｍｓである。これにより、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂは、第２のポート側の通信デバイス３ｂとの間でインターロック通信を開始する。なお、ここでは、ペアリング信号Ｐ２の送信タイミングとコマンド信号Ｃ２の送信タイミングとの間隔は一定であるため、コマンド信号Ｃ２の送信タイミングをずらすのに呼応して、結果的にペアリング信号Ｐ２の送信タイミングもずらしている。

【0114】

インターロック通信中においては、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂは、コマンド信号Ｃ２を送信し（Ｓ２０３）、一定時間Ｔ１後に第２のポート側の通信デバイス３ｂからの応答信号Ｒ２を受信する（Ｓ２０４）という一連の通信を、所定の周期Ｔ２で繰り返す。このため、第１の搬送台車１ａにおけるインターロック通信に係る信号の送信タイミングと、第２の搬送台車１ｂにおけるインターロック通信に係る信号の送信タイミングとは、基本的に遅延時間Ｔ３だけずれることになり、無線通信の干渉が生じにくい。

【0115】

最後に、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、モニタリング時間ＴＭの間、モニタリングを実行する（Ｓ３０１）。ここでは、インターロック通信中の他の搬送台車１が２台（第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂ）存在する。したがって、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、第１の搬送台車１ａ及び第２の搬送台車１ｂのいずれか一方を優先ターゲットに決定する。ここでは、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、第２の搬送台車１ｂを優先ターゲットに決定したこととして説明する。

【0116】

そして、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、ペアリング信号Ｐ３を送信した後（Ｓ３０２）、第２の搬送台車側の通信デバイス１１ｂによるコマンド信号Ｃ２の送信タイミングから遅延時間Ｔ３だけずらしたタイミングで、コマンド信号Ｃ３を送信する（Ｓ３０３）。これにより、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、第３のポート側の通信デバイス３ｃとの間でインターロック通信を開始する。なお、ここでは、ペアリング信号Ｐ３の送信タイミングとコマンド信号Ｃ３の送信タイミングとの間隔は一定であるため、コマンド信号Ｃ２の送信タイミングをずらすのに呼応して、結果的にペアリング信号Ｐ３の送信タイミングもずらしている。

【0117】

インターロック通信中においては、第３の搬送台車側の通信デバイス１１ｃは、コマンド信号Ｃ３を送信し（Ｓ３０３）、一定時間Ｔ１後に第３のポート側の通信デバイス３ｃからの応答信号Ｒ３を受信する（Ｓ３０４）という一連の通信を、所定の周期Ｔ２で繰り返す。このため、第２の搬送台車１ｂにおけるインターロック通信に係る信号の送信タイミングと、第３の搬送台車１ｃにおけるインターロック通信に係る信号の送信タイミングとは、基本的に遅延時間Ｔ３だけずれることになり、無線通信の干渉が生じにくい。

【0118】

なお、搬送台車１の所定の周期Ｔ２と、ターゲット又は優先ターゲットである他の搬送台車１の所定の周期Ｔ２とが互いに異なる場合、複数回のインターロック通信のいずれかのタイミングで無線通信の干渉が生じ得る。しかしながら、複数回のインターロック通信において１回の無線通信の干渉が生じても、連続して無線通信の干渉が生じるわけではなく、インターロック通信全体としては支障はない。

【0119】

［４．利点］
以下、実施の形態に係る無線通信システム１０（特に、搬送台車側の通信デバイス１１）の利点について、図１２を参照して説明する。図１２は、実施の形態の無線通信システムの利点を説明するための図である。図１２に示す例では、複数の半導体処理装置２が半導体製造工場内に配置されており、各半導体処理装置２が４つのポート側の通信デバイス３を有している（言い換えれば、各半導体処理装置２が４つのポート４（図示せず）を有している）。各通信デバイス３を示す矩形の内側に記載されている数字は、当該通信デバイス３が使用する無線チャネルを表している。図１２に示す例では、同一の無線チャネルを用いる複数のポート側の通信デバイス３を、互いに所定距離以上離れるように設置している。具体的には、無線チャネル「１」を用いるポート側の通信デバイス３が設置されている領域Ａ１，Ａ２，Ａ３は、互いに所定距離以上離れるように設置し、これにより無線通信の干渉を防ぐように試みている。以下、領域Ａ１と領域Ａ３との間の距離を「第１所定距離」、領域Ａ１と領域Ａ２との間の距離を「第２所定距離」と称する。

【0120】

なお、図１２において、例えば領域Ａ１のように同一の無線チャネルを用いる２つのポート側の通信デバイス３が隣接して設置されている箇所が存在するが、これは、隣接する２つのポート側の通信デバイス３が同時に無線通信を行うことがなく、無線通信の干渉が起こらないためである。

【0121】

例えば、隣接する２つのポート側の通信デバイス３のうちの一方のポート側の通信デバイス３の上方に搬送台車１（図示せず）が配置されている、と仮定する。この場合、当該搬送台車１の寸法に起因して、他方のポート側の通信デバイス３の上方に他の搬送台車１を配置するためのスペースが確保できない。つまり、隣接する２つのポート側の通信デバイス３の各々の上方に搬送台車１が２台並んで配置されることがない。このため、隣接する２つのポート側の通信デバイス３のうちの一方のポート側の通信デバイス３が無線通信を行っている状態では、他方のポート側の通信デバイス３が無線通信を行うことができず、隣接する２つのポート側の通信デバイス３が同時に無線通信を行うことがない。

【0122】

ここで、第１所定距離程度、複数のポート側の通信デバイス３を離して設置することができれば、無線通信の干渉を防ぐことが可能である。しかしながら、半導体製造工場内に設置可能なスペース如何によっては、全てのポート側の通信デバイス３について第１所定距離程度、離して設置することが難しい場合もある。例えば、図１２に示す例では、複数のポート側の通信デバイス３を第２所定距離（＜第１所定距離）程度しか離して設置できない場合があり、無線通信の干渉が生じる可能性がある。なお、使用する無線チャネルの数を増やすことで上記課題を解消することが考えられるが、使用可能な無線チャネルの数にも限りがあることから、やはり無線通信の干渉を防ぎきれない、という課題がある。

【0123】

そこで、実施の形態に係る無線通信システム１０では、搬送台車側の通信デバイス１１は、ポート側の通信デバイス３との間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車１がインターロック通信を行っているか否かを判断している。そして、搬送台車側の通信デバイス１１は、同一のチャネルを用いて他の搬送台車１がインターロック通信を行っていると判断した場合、インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、他の搬送台車１のインターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御している。

【0124】

このため、実施の形態に係る無線通信システム１０では、比較的近傍に同一のチャネルを用いてインターロック通信を行う複数の搬送台車１（言い換えれば、複数のポート側の通信デバイス３）が存在する場合でも、インターロック通信に係る信号の送信タイミングが互いにずれることで、無線通信の干渉が生じにくい。つまり、実施の形態に係る無線通信システム１０では、搬送台車１（つまり、搬送台車側の通信デバイス１１）とポート側の通信デバイス３との間のインターロック通信における通信エラーを低減することができる。

【0125】

換言すると、実施の形態に係る無線通信システム１０では、複数のポート側の通信デバイス３を互いに第１所定距離以上離す必要がないため、ポート側の通信デバイス３の台数を増やしても半導体製造工場内のスペースを有効に利用しやすい。さらに、実施の形態に係る無線通信システム１０では、チャネルの数を増やす必要がないため、使用するチャネルの数を抑えることができ、使用可能なチャネルを有効に利用しやすい。

【0126】

また、実施の形態に係る無線通信システム１０では、搬送台車側の通信デバイス１１は、同一のチャネルを用いて他の搬送台車１がインターロック通信を行っていると判断した場合、ペアリング信号の送信タイミングも、他の搬送台車１のインターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御している。このため、実施の形態に係る無線通信システム１０では、比較的近傍に同一のチャネルを用いてインターロック通信を行う複数の搬送台車１が存在する場合でも、ペアリング信号の送信タイミングが互いにずれることで、無線通信の干渉が生じにくくすることができる。その結果、搬送台車側の通信デバイス１１とポート側の通信デバイス３との間のペアリングが失敗しにくい。

【0127】

また、実施の形態に係る無線通信システム１０では、搬送台車側の通信デバイス１１は、同一のチャネルを用いてインターロック通信を行っている他の搬送台車１が複数存在すると判断した場合、検出部１１３が検出した信号強度に基づいて優先ターゲットを決定している。このため、実施の形態に係る無線通信システム１０では、無線干渉が発生する可能性を示す指標となる信号強度に基づいて優先ターゲットを決定するので、無線干渉の発生を効果的に抑制できる。

【0128】

また、実施の形態に係る無線通信システム１０では、搬送台車側の通信デバイス１１は、検出部１１３が検出した信号強度が大きい他の搬送台車１（ここでは、特に信号強度の大きい上位２つの他の搬送台車１）から優先的に優先ターゲットに決定している。このため、実施の形態に係る無線通信システム１０では、無線干渉が発生する可能性が比較的高い他の搬送台車１を優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0129】

また、実施の形態に係る無線通信システム１０では、搬送台車側の通信デバイス１１は、同一のチャネルを用いてインターロック通信を行っている他の搬送台車１が複数存在すると判断した場合、他の搬送台車１におけるインターロック通信の進行状況に基づいて優先ターゲットを決定している。このため、実施の形態に係る無線通信システム１０では、無線通信の干渉が発生し得る期間の長さを示す指標となるインターロック通信の進行状況に基づいて優先ターゲットを決定するので、無線干渉の発生を効果的に抑制できる。

【0130】

（その他の変形例等）
以上、本発明の無線通信システム及び通信方法について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態、及び、上記実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。

【0131】

実施の形態において、搬送台車側の通信デバイス１１は、検出部１１３が検出した信号強度が最も大きい他の搬送台車１を優先ターゲットに決定してもよい。これによれば、無線干渉が発生する可能性が最も高い他の搬送台車１を優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。この場合、搬送台車側の通信デバイス１１は、インターロック通信の進行状況に基づいて優先ターゲットを決定せずともよい。

【0132】

また、実施の形態において、搬送台車側の通信デバイス１１は、検出部１１３が検出した信号強度が所定の閾値以上となる他の搬送台車１を優先ターゲットに決定してもよい。これによれば、無線干渉が発生する可能性のある他の搬送台車１に絞って優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0133】

実施の形態において、搬送台車側の通信デバイス１１は、インターロック通信の進行状況が移載前手順の実行段階である他の搬送台車１を優先ターゲットに決定してもよい。また、実施の形態において、搬送台車側の通信デバイス１１は、インターロック通信の進行状況が移載前手順の実行段階である他の搬送台車１、及び移載中手順の実行段階である他の搬送台車１を優先ターゲットに決定してもよい。これらによれば、インターロック通信の完了までに比較的時間を要する、つまり無線干渉が発生し得る期間が比較的長い他の搬送台車１を優先ターゲットに決定するので、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0134】

また、実施の形態において、搬送台車側の通信デバイス１１は、インターロック通信の進行状況が移載後手順の実行段階である他の搬送台車１を優先ターゲットから除外してもよい。これによれば、インターロック通信の完了までに要する時間が比較的短い、つまり無線干渉が発生し得る期間が比較的短い他の搬送台車１を優先ターゲットから除外するので、無線干渉が発生する可能性が比較的高い他の搬送台車１を優先ターゲットに決定しやすくなり、無線干渉の発生をより効果的に抑制できる。

【0135】

ところで、実施の形態において、搬送台車側の通信デバイス１１は、無線通信システム１０の構成要素の１つであるが、これに限られない。例えば、搬送台車側の通信デバイス１１は、単独で市場に流通可能である。すなわち、搬送台車側の通信デバイス１１は、軌道Ｌに沿って走行することにより搬送物５を搬送する搬送台車１に接続される通信デバイスである。そして、搬送台車側の通信デバイス１１は、判断部１１１と、処理部１１２と、を備える。判断部１１１は、搬送台車１により搬送物５が移載されるポート４に接続されるポート側の通信デバイス３が、ペアリング信号の送信前に、ポート側の通信デバイス３との間での無線通信に用いる予定のチャネルと同一のチャネルを用いて他の搬送台車１がインターロック通信を行っているか否かを判断する。ペアリング信号は、搬送台車側の通信デバイス１１との間で、ポート４に対して搬送物５を移載するためのインターロック通信を所定の周期で無線通信により行うトリガとなる信号である。処理部１１２は、判断部１１１が同一のチャネルを用いて他の搬送台車１がインターロック通信を行っていると判断した場合、インターロック通信に係る信号の送信タイミングを、他の搬送台車１のインターロック通信に係る信号の送信タイミングからずらすように制御する。

【0136】

実施の形態では、半導体処理装置２が１つのポート４を有する場合について説明したが、これに限られない。例えば、半導体処理装置２は、複数のポート４を有していてもよい。この場合、複数のポート４に対して複数のポート側の通信デバイス３がそれぞれ一対一で接続される。

【0137】

実施の形態では、搬送台車側の通信デバイス１１は、信号強度及びインターロック通信の進行状況の両方を参照して優先ターゲットを決定しているが、これに限られない。例えば、搬送台車側の通信デバイス１１は、信号強度のみを参照して優先ターゲットを決定してもよいし、インターロック通信の進行状況のみを参照して優先ターゲットを決定してもよい。後者の場合、搬送台車側の通信デバイス１１は、検出部１１３を備えていなくてもよい。

【0138】

実施の形態において、優先ターゲットとなる他の搬送台車１の台数は、１台に限らず、複数台であってもよい。この場合、遅延時間Ｔ３は、優先ターゲットである複数の他の搬送台車１の送信タイミングと重ならないように設定される。一例として、優先ターゲットである他の搬送台車１が２台存在する場合、一方の搬送台車１についての遅延時間と、他方の搬送台車１についての遅延時間との最小公倍数に基づいて、遅延時間Ｔ３が設定される。

【0139】

なお、上記実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0140】

本発明に係る無線通信システムは、例えば天井に設置された軌道に沿って走行する搬送台車によりＦＯＵＰを搬送するための半導体製造システム等に適用することができる。

【符号の説明】

【0141】

１，１ａ～１ｃ 搬送台車
１０ 無線通信システム
１１，１１ａ～１１ｃ 搬送台車側の通信デバイス
１１１ 判断部
１１２ 処理部
１１３ 検出部
１２，３２，４２ 制御部
１３ 記憶部
１４，１４ａ，１４ｂ 把持部
２，２ａ～２ｃ，１００ 半導体処理装置
３，３ａ～３ｃ ポート側の通信デバイス
３１，４１ 通信部
４，４ａ～４ｃ ポート
４０ａ，４０ｂ 搬入出口
５ ＦＯＵＰ（搬送物）
６１ 通信フレーム
６２ 管理テーブル
Ａ１～Ａ３ 領域
Ｌ 軌道

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】