特許 7496772 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-30

(45)【発行日】2024-06-07

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/00 20060101AFI20240531BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240531BHJP

【ＦＩ】

B25J9/00 B

H01L21/68 A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020218959

(22)【出願日】2020-12-28

(65)【公開番号】P2022104002

(43)【公開日】2022-07-08

【審査請求日】2023-11-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

(72)【発明者】

【氏名】荒川 洋

【審査官】稲垣 浩司

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－２５５８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平３－１８４７３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００ － ２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドの基端部が固定されるハンド支持部材と、前記ハンド支持部材が水平方向へ直線的に往復移動可能となるように前記ハンド支持部材を保持するアームと、前記アームが連結される本体部と、前記アームに対して前記ハンド支持部材を往復移動させる駆動機構とを備え、
前記本体部は、前記アームが固定される回動軸と、前記回動軸を回動させる回動機構とを備え、
前記アームに対する前記ハンド支持部材の往復移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記アームは、前記アームの中心部を構成するとともに前記回動軸に固定されるブロック状のアーム本体と、前記アーム本体の左右方向の側面のそれぞれに固定される平板状の第１平板部材と、前記アーム本体の前後方向の両側に配置される平板状の複数の第２平板部材とを備え、
前記第１平板部材の厚さ方向は、左右方向と一致し、
前記第１平板部材の前後方向の長さは、前記アーム本体の前後方向の長さよりも長くなっており、
前記第１平板部材の前端は、前記アーム本体の前端よりも前側に配置され、
前記アームは、複数の前記第２平板部材として、上下方向を厚さ方向として配置され前記第１平板部材に固定される複数の第３平板部材と、前後方向を厚さ方向として配置され前記第１平板部材に固定される複数の第４平板部材と、左右方向を厚さ方向として配置され前記第３平板部材および前記第４平板部材の少なくともいずれか一方に固定される複数の第５平板部材とを備えることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記第１平板部材は、前記アームの前後方向の全域に配置されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記ハンドの先端は、前記ハンド支持部材が前記アームに対して前側に移動するにしたがって前記本体部から離れ、
前記アーム本体は、前記アーム本体の前後方向の中心よりも後ろ側で前記回動軸に固定されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記アーム本体には、前記アーム本体の下面から上側に向かって窪む複数の凹部が形成され、
上下方向から見たときに、前記アーム本体の前後方向の中心よりも前側に配置される複数の前記凹部の総面積は、前記アーム本体の前後方向の中心よりも後ろ側に配置される複数の前記凹部の総面積よりも広くなっていることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。

【請求項5】

前記アームは、２枚の前記第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに上下方向を厚さ方向として配置され前記第１平板部材に固定される平板状の複数の第６平板部材と、２枚の前記第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに前後方向を厚さ方向として配置され前記第１平板部材に固定される平板状の複数の第７平板部材と、２枚の前記第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに左右方向を厚さ方向として配置され前記第６平板部材および前記第７平板部材の少なくともいずれか一方に固定される平板状の複数の第８平板部材とを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項6】

前記ハンドとしての第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドの基端部が固定される前記ハンド支持部材としての第１ハンド支持部材と、前記第２ハンドの基端部が固定される前記ハンド支持部材としての第２ハンド支持部材と、前記アームに対して前記第１ハンド支持部材を往復移動させる前記駆動機構としての第１駆動機構と、前記アームに対して前記第２ハンド支持部材を往復移動させる前記駆動機構としての第２駆動機構と、前記第１ハンド支持部材を前後方向に案内する第１ガイド機構と、前記第２ハンド支持部材を前後方向に案内する第２ガイド機構とを備え、
前記第１ガイド機構は、前記アームの上面側に配置され、
前記第２ガイド機構は、左右方向における前記アームの両側に配置されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項7】

前記第１ガイド機構は、前後方向を長手方向とする４本の第１ガイドレールと、前記第１ガイドレールに上側から係合する第１ガイドブロックとを備え、
前記第２ガイド機構は、前後方向を長手方向とする４本の第２ガイドレールと、前記第２ガイドレールに左右方向の外側から係合する第２ガイドブロックとを備え、
４本の前記第２ガイドレールのうちの２本の前記第２ガイドレールは、前記アームの右側に配置され、残りの２本の前記ガイドレールは、前記アームの左側に配置されていることを特徴とする請求項６記載の産業用ロボット。

【請求項8】

前記アームは、２枚の前記第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに上下方向を厚さ方向として配置され前記第１平板部材に固定される平板状の複数の第６平板部材と、２枚の前記第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに前後方向を厚さ方向として配置され前記第１平板部材に固定される平板状の複数の第７平板部材と、２枚の前記第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに左右方向を厚さ方向として配置され前記第６平板部材および前記第７平板部材の少なくともいずれか一方に固定される平板状の複数の第８平板部材とを備え、
前記アームの、２枚の前記第１平板部材の左右方向の内側部分の高さは、前記アームの、２枚の前記第１平板部材の左右方向の外側部分の高さよりも低くなっており、
前記第１駆動機構の一部および前記第１ガイド機構は、２枚の前記第１平板部材の上端側部分の左右方向の内側に配置されていることを特徴とする請求項６または７記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送するための産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、真空中でガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される２個のハンドと、ハンドが固定される２個のハンド支持部材と、２個のハンド支持部材を保持するアームと、アームが連結される本体部とを備えている。アームは、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。ハンド支持部材は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。本体部は、アームの中心部が固定される円筒状の昇降部材を備えている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームは、中空状に形成されるアームのフレームとなるアームフレームと、アームの上下、左右および前後の側面を構成するカバー部材と、アームの中心部に配置されるモータ収容部材と、モータ収容部材の上面に固定される上面カバーとを備えている。アームフレームは、アームフレームの右側面を構成する右側板部と、アームフレームの左側面を構成する左側板部と、アームフレームの上側面を構成する上側板部と、アームフレームの下側面を構成する下側板部とを備えている。

【0004】

モータ収容部材は、上面が開口する箱状に形成されている。モータ収容部材には、アームフレームの中心部が固定されており、モータ収容部材とアームフレームとによってアームの骨格が形成されている。モータ収容部材は、昇降部材の上端面に固定されている。なお、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、モータ収容部材と右側板部との間、および、モータ収容部材と左側板部との間に隙間が形成されており、右側板部および左側板部は、モータ収容部材に固定されていない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１９－２５５８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載の産業用ロボットのようにガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットの場合、産業用ロボットが使用される用途等に応じて、ハンドに搭載される搬送対象物の搬送距離が長くなるとともに、搬送対象物の重量が重くなることがある。搬送対象物の搬送距離が長くなると、アームに対するハンドおよびハンド支持部材の移動距離が長くなるため、アームの前後方向の長さが長くなってアームが大型化し、その結果、アームの重量が重くなるおそれがある。また、アームが大型化するとともに、ハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなると、ハンドおよびハンド支持部材を移動可能に保持するアームの剛性および強度を確保できなくなるおそれがある。

【0007】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、箱状に形成されるモータ収容部材とアームフレームとによってアームの骨格が形成されているため、アームの前後方向の長さが長くなってアームが大型化しても、アームを軽量化することが可能である。一方で、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、モータ収容部材と右側板部との間、および、モータ収容部材と左側板部との間に隙間が形成されていて、右側板部および左側板部がモータ収容部材に固定されていないため、アームが大型化するとともに、ハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなると、アームの剛性および強度が確保できなくなるおそれがある。

【0008】

そこで、本発明の課題は、搬送対象物が搭載されるとともにアームに対して前後方向へ直線的に往復移動するハンドを備える産業用ロボットにおいて、アームに対するハンドの移動距離が長くなってアームが大型化しても、また、ハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなっても、アームを軽量化しつつ、アームの剛性および強度を確保することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドの基端部が固定されるハンド支持部材と、ハンド支持部材が水平方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材を保持するアームと、アームが連結される本体部と、アームに対してハンド支持部材を往復移動させる駆動機構とを備え、本体部は、アームが固定される回動軸と、回動軸を回動させる回動機構とを備え、アームに対するハンド支持部材の往復移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、アームは、アームの中心部を構成するとともに回動軸に固定されるブロック状のアーム本体と、アーム本体の左右方向の側面のそれぞれに固定される平板状の第１平板部材と、アーム本体の前後方向の両側に配置される平板状の複数の第２平板部材とを備え、第１平板部材の厚さ方向は、左右方向と一致し、第１平板部材の前後方向の長さは、アーム本体の前後方向の長さよりも長くなっており、第１平板部材の前端は、アーム本体の前端よりも前側に配置され、アームは、複数の第２平板部材として、上下方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される複数の第３平板部材と、前後方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される複数の第４平板部材と、左右方向を厚さ方向として配置され第３平板部材および第４平板部材の少なくともいずれか一方に固定される複数の第５平板部材とを備えることを特徴とする。

【0010】

本発明の産業用ロボットでは、アームは、アームの中心部を構成するブロック状のアーム本体と、アーム本体の左右方向の側面のそれぞれに固定される平板状の第１平板部材と、アーム本体の前後方向の両側に配置される平板状の複数の第２平板部材とを備えている。そのため、本発明では、アームの、中心部以外の部分を平板状の部材で構成することが可能になる。したがって、本発明では、アームに対するハンドおよびハンド支持部材の移動距離が長くなってアームが大型化しても、ブロック状のアーム本体によってアームの全体が構成されている場合と比較して、アームを軽量化することが可能になる。

【0011】

また、本発明では、ブロック状に形成されていて強度および剛性が比較的高いアーム本体がアームの中心部を構成するとともに回動軸に固定されている。また、本発明では、前後方向の長さがアーム本体の長さよりも長い第１平板部材がブロック状のアーム本体の左右方向の側面のそれぞれに固定されるとともに、アーム本体の前後方向の両側に、上下方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される複数の第３平板部材と、前後方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される複数の第４平板部材と、左右方向を厚さ方向として配置され第３平板部材および第４平板部材の少なくともいずれか一方に固定される複数の第５平板部材とが配置されている。

【0012】

そのため、本発明では、アームが前後方向で大型化するとともに、アームに対するハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなっても、アームの剛性および強度を確保することが可能になる。すなわち、本発明では、アームが大型化しても、また、ハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなっても、アームを軽量化しつつ、アームの剛性および強度を確保することが可能になる。

【0013】

本発明において、第１平板部材は、アームの前後方向の全域に配置されていることが好ましい。このように構成すると、アームの剛性および強度を高めることが可能になる。

【0014】

本発明において、ハンドの先端は、ハンド支持部材がアームに対して前側に移動するにしたがって本体部から離れ、アーム本体は、アーム本体の前後方向の中心よりも後ろ側で回動軸に固定されていることが好ましい。このように構成すると、アームの、回動軸よりも前側部分の剛性を高めることが可能になる。したがって、ハンドおよびハンド支持部材がアームに対して前側に移動したときの、回動軸を支点とするアームの撓みを抑制することが可能になる。

【0015】

本発明において、アーム本体には、アーム本体の下面から上側に向かって窪む複数の凹部が形成され、上下方向から見たときに、アーム本体の前後方向の中心よりも前側に配置される複数の凹部の総面積は、アーム本体の前後方向の中心よりも後ろ側に配置される複数の凹部の総面積よりも広くなっていることが好ましい。このように構成すると、アーム本体の前後方向の中心よりも後ろ側の部分（すなわち、アーム本体の、回動軸が固定される部分）の剛性および強度を確保しつつ、アーム本体の重量を効果的に軽減することが可能になる。

【0016】

本発明において、アームは、２枚の第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに上下方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される平板状の複数の第６平板部材と、２枚の第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに前後方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される平板状の複数の第７平板部材と、２枚の第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに左右方向を厚さ方向として配置され第６平板部材および第７平板部材の少なくともいずれか一方に固定される平板状の複数の第８平板部材とを備えることが好ましい。このように構成すると、アームの左右方向の幅が広くなっても（すなわち、アームが左右方向で大型化しても）、アームを軽量化しつつ、アームの剛性および強度を確保することが可能になる。

【0017】

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、ハンドとしての第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドの基端部が固定されるハンド支持部材としての第１ハンド支持部材と、第２ハンドの基端部が固定されるハンド支持部材としての第２ハンド支持部材と、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる駆動機構としての第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる駆動機構としての第２駆動機構と、第１ハンド支持部材を前後方向に案内する第１ガイド機構と、第２ハンド支持部材を前後方向に案内する第２ガイド機構とを備え、第１ガイド機構は、アームの上面側に配置され、第２ガイド機構は、左右方向におけるアームの両側に配置されている。この場合には、第１ガイド機構がアームの上面側に配置され、第２ガイド機構が左右方向におけるアームの両側に配置されているため、第１ガイド機構および第２ガイド機構を設置しやすくなる。

【0018】

本発明において、たとえば、第１ガイド機構は、前後方向を長手方向とする４本の第１ガイドレールと、第１ガイドレールに上側から係合する第１ガイドブロックとを備え、第２ガイド機構は、前後方向を長手方向とする４本の第２ガイドレールと、第２ガイドレールに左右方向の外側から係合する第２ガイドブロックとを備え、４本の第２ガイドレールのうちの２本の第２ガイドレールは、アームの右側に配置され、残りの２本のガイドレールは、アームの左側に配置されている。

【0019】

この場合には、第１ガイド機構が４本の第１ガイドレールを備えているため、第１ハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなっても、比較的小型の第１ガイドレールおよび第１ガイドブロックを設置することが可能になる。したがって、第１ガイドレールおよび第１ガイドブロックを設置しやすくなる。また、この場合には、第２ガイド機構が４本の第２ガイドレールを備えているため、第２ハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなっても、比較的小型の第２ガイドレールおよび第２ガイドブロックを設置することが可能になる。したがって、第２ガイドレールおよび第２ガイドブロックを設置しやすくなる。

【0020】

本発明において、アームは、２枚の第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに上下方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される平板状の複数の第６平板部材と、２枚の第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに前後方向を厚さ方向として配置され第１平板部材に固定される平板状の複数の第７平板部材と、２枚の第１平板部材の左右方向の両側に配置されるとともに左右方向を厚さ方向として配置され第６平板部材および第７平板部材の少なくともいずれか一方に固定される平板状の複数の第８平板部材とを備え、アームの、２枚の第１平板部材の左右方向の内側部分の高さは、アームの、２枚の第１平板部材の左右方向の外側部分の高さよりも低くなっており、第１駆動機構の一部および第１ガイド機構は、２枚の第１平板部材の上端側部分の左右方向の内側に配置されていることが好ましい。

【0021】

このように構成すると、アームの左右方向の幅が広くなっても、アームを軽量化しつつ、アームの剛性および強度を確保することが可能になる。また、このように構成すると、第１駆動機構の一部および第１ガイド機構がアームの上面側に配置されていても、第１駆動機構の一部および第１ガイド機構がアームの上面から上側に突出するのを防止することが可能になる。

【発明の効果】

【0022】

以上のように、本発明では、搬送対象物が搭載されるとともにアームに対して前後方向へ直線的に往復移動するハンドを備える産業用ロボットにおいて、アームに対するハンドの移動距離が長くなってアームが大型化しても、また、ハンドに搭載される搬送対象物の重量が重くなっても、アームを軽量化しつつ、アームの剛性および強度を確保することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの側面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボットの背面図である。

【図4】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するための平面図である。

【図5】（Ａ）は、図４に示すアームの平面図であり、（Ｂ）は、図４に示すアームの側面図である。

【図6】図５に示すアームの底面図である。

【図7】（Ａ）は、図５に示すアームの背面図であり、（Ｂ）は、図５（Ａ）のＥ－Ｅ断面の断面図である。

【図8】（Ａ）は、図５に示すアーム本体の平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＦ－Ｆ断面の断面図である。

【図9】図８に示すアーム本体の底面図である。

【図10】図４のＧ部の拡大図である。

【図11】図１０に示す第１駆動機構および第１ガイド機構の構成を説明するための側面図である。

【図12】図１０に示す第２駆動機構および第２ガイド機構の構成を説明するための側面図である。

【図13】図１０に示す第１ガイド機構および第２ガイド機構の構成を説明するための背面図である。

【図14】図１０に示す第１駆動機構、第２駆動機構、第１ガイド機構および第２ガイド機構の構成を説明するための背面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0025】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するための平面図である。

【0026】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物２（以下、「ワーク２」とする。）を搬送するためのロボットである。本形態のロボット１は、真空中でワーク２を搬送する。ロボット１によって搬送されるワーク２の重量は、比較的重くなっている。たとえば、ワーク２の重量は、２７０ｋｇ程度となっている。ワーク２は、長方形の平板状に形成されている。

【0027】

ロボット１は、ワーク２が搭載される２個のハンド５、６と、ハンド５の基端部が固定されるハンド支持部材７（図１３参照）と、ハンド６の基端部が固定されるハンド支持部材８と、ハンド支持部材７、８を保持するアーム９と、アーム９が連結される本体部１０とを備えている。本形態のハンド５は第１ハンドであり、ハンド６は第２ハンドであり、ハンド支持部材７は第１ハンド支持部材であり、ハンド支持部材８は第２ハンド支持部材である。

【0028】

本体部１０は、アーム９が固定される回動軸１１と、回動軸１１を回動させる回動機構１２と、回動軸１１および回動機構１２を昇降させる昇降機構と、これらの構成が収容されるケース体１３とを備えている。回動軸１１は、細長い円筒状に形成されている。回動軸１１は、回動軸１１の軸方向と上下方向とが一致するように配置されており、上下方向を回動の軸方向として回動可能になっている。回動機構１２は、たとえば、回動軸１１を回動させるためのモータと、モータの動力を回動軸１１に伝達するプーリおよびベルト等を備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。フランジ１４には、回動軸１１の上端側部分が配置される貫通穴が形成されている。

【0029】

ハンド５、６、ハンド支持部材７、８およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。上述のように、ロボット１は、真空中でワーク２を搬送する。本形態では、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分が真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド５、６、ハンド支持部材７、８およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。

【0030】

アーム９は、ハンド支持部材７、８が水平方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材７、８を保持している。具体的には、アーム９は、ハンド支持部材７とハンド支持部材８とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように（すなわち、ハンド５とハンド６とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように）ハンド支持部材７、８を保持している。本形態では、アーム９に対するハンド支持部材７、８の移動距離が比較的長くなっている。たとえば、アーム９に対するハンド支持部材７、８の移動距離は、４７００ｍｍとなっている。

【0031】

以下の説明では、アーム９に対するハンド支持部材７、８の往復移動方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「左」側とする。

【0032】

ロボット１は、アーム９に対してハンド支持部材７を往復移動させる駆動機構１７と、アーム９に対してハンド支持部材８を往復移動させる駆動機構１８と、ハンド支持部材７を前後方向に案内するガイド機構１９と、ハンド支持部材８を前後方向に案内するガイド機構２０とを備えている（図４参照）。本形態の駆動機構１７は第１駆動機構であり、駆動機構１８は第２駆動機構であり、ガイド機構１９は第１ガイド機構であり、ガイド機構２０は第２ガイド機構である。

【0033】

また、ロボット１は、アーム９の後端部に固定されるリンク支持部材２１と、一端部がリンク支持部材２１に回動可能に連結されるとともに他端部がハンド５の後端部に回動可能に連結されるリンク機構２２と、一端部がリンク支持部材２１に回動可能に連結されるとともに他端部がハンド６の後端部に回動可能に連結されるリンク機構２３と、リンク機構２２、２３に沿ってリンク支持部材２１とハンド５、６との間で引き回される配線（ケーブル）２４とを備えている。

【0034】

（アームの構成）
図５（Ａ）は、図４に示すアーム９の平面図であり、図５（Ｂ）は、図４に示すアーム９の側面図である。図６は、図５に示すアーム９の底面図である。図７（Ａ）は、図５に示すアーム９の背面図であり、図７（Ｂ）は、図５（Ａ）のＥ－Ｅ断面の断面図である。図８（Ａ）は、図５に示すアーム本体２７の平面図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＦ－Ｆ断面の断面図である。図９は、図８に示すアーム本体２７の底面図である。

【0035】

アーム９は、ハンド５、６の下側に配置されている。アーム９は、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。上述のように、本形態では、アーム９に対するハンド支持部材７、８の移動距離が比較的長くなっているため、アーム９の前後方向の長さは比較的長くなっている。アーム９は、アーム９の中心部を構成するブロック状のアーム本体２７と、アーム本体２７の左右方向の側面のそれぞれに固定される平板状の平板部材２８とを備えている。

【0036】

また、アーム９は、アーム本体２７の前後方向の両側に配置される平板状の複数の平板部材２９～３２と、アーム本体２７の後ろ側に配置される平板状の平板部材３３と、２枚の平板部材２８の左右方向の両側に配置される平板状の複数の平板部材３４～３６と、アーム本体２７と平板部材３２とを繋ぐための固定用部材とを備えている。本形態のアーム９は、アーム本体２７と、平板部材２８～３６と、固定用部材と、これらの部材を繋ぐ複数のボルトとによって構成されている。

【0037】

アーム本体２７は、アルミニウム合金で形成されている。また、アーム本体２７は、直方体状のアルミニウム合金に切削加工を行うことで形成されている。アーム本体２７は、前後方向に細長い直方体状に形成されている。また、アーム本体２７は、上下方向の厚さが薄い扁平な直方体状に形成されている。アーム本体２７の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。また、アーム本体２７の前後の両側面は、前後方向に直交する平面となっており、アーム本体２７の上下の両面は、上下方向に直交する平面となっている。アーム本体２７の前後方向の長さは、アーム９の前後方向の長さの１／３～１／２程度となっている。

【0038】

アーム本体２７は、回動軸１１に固定されている。具体的には、アーム本体２７の左右方向の中心部分が回動軸１１の上端面に固定されている。また、アーム本体２７は、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側で回動軸１１に固定されている。すなわち、アーム本体２７の、前後方向の中心よりも後ろ側の部分が回動軸１１に固定されている。本形態では、アーム本体２７の前後方向の長さの約１／５だけ、アーム本体２７の後側面から離れた位置において、アーム本体２７が回動軸１１に固定されている。

【0039】

アーム本体２７の、回動軸１１が固定される位置には、上下方向でアーム本体２７を貫通する貫通穴２７ａが形成されている。貫通穴２７ａは、円筒状に形成される回動軸１１の軸心を中心とする円形状に形成されている。図８（Ｂ）に示すように、アーム本体２７の前後方向の両方の端部２７ｂの上面の高さは、アーム本体２７の、端部２７ｂを除いた部分である中央部２７ｃの上面の高さよりも低くなっている。具体的には、端部２７ｂの上面の高さは、平板部材２９の厚さ分だけ中央部２７ｃの上面の高さよりも低くなっている。また、中央部２７ｃでは、左右方向の両方の端部２７ｄの上面の高さが、中央部２７ｃの、端部２７ｄを除いた部分の上面の高さよりもわずかに高くなっている。

【0040】

アーム本体２７の下面には、上側に向かって窪む複数の凹部２７ｅが形成されている。図８（Ｂ）に示すように、凹部２７ｅは、アーム本体２７の上面の近傍まで窪んでいる。図９に示すように、上下方向から見たときに、アーム本体２７の前後方向の中心よりも前側に配置される大半の凹部２７ｅの面積は、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側に配置される凹部２７ｅの面積よりも広くなっている。また、上下方向から見たときに、アーム本体２７の前後方向の中心よりも前側に配置される複数の凹部２７ｅの総面積は、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側に配置される複数の凹部２７ｅの総面積よりも広くなっている。すなわち、アーム本体２７の前後方向の中心よりも前側の部分の密度は、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側の部分の密度よりも低くなっている。

【0041】

平板部材２８～３６は、アルミニウム合金で形成されている。平板部材２８～３６のそれぞれの厚さは、互いに略等しくなっている。平板部材２８は、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されている。平板部材２８の厚さ方向は左右方向と一致している。平板部材２８の前後方向の長さは、アーム本体２７の前後方向の長さよりも長くなっている。本形態では、平板部材２８の前後方向の長さは、アーム本体２７の前後方向の長さの２倍～３倍程度となっている。また、平板部材２８の高さ（上下方向の幅）は、アーム本体２７の高さよりも高くなっている。本形態では、平板部材２８の高さは、アーム本体２７の高さの約１．５倍程度となっている。

【0042】

平板部材２８は、アーム本体２７の左右方向の側面のそれぞれに複数のボルトによって固定されており、アーム本体２７の左右方向の側面に直接固定されている。また、平板部材２８の前後方向の中心部分がアーム本体２７の左右方向の側面に固定されており、平板部材２８の前端面は、アーム本体２７の前面よりも前側に配置され、平板部材２８の後端面は、アーム本体２７の後面よりも後ろ側に配置されている。

【0043】

すなわち、平板部材２８の前端は、アーム本体２７の前端よりも前側に配置され、平板部材２８の後端は、アーム本体２７の後端よりも後ろ側に配置されている。平板部材２８の下端面は、上下方向においてアーム本体２７の下面と同じ位置に配置されている。平板部材２８の上端面は、アーム本体２７の上面よりも上側に配置されている。また、平板部材２８は、アーム９の前後方向の全域に配置されている。すなわち、平板部材２８は、アーム９の前後方向の全域でアーム９の一部を構成している。

【0044】

平板部材２９は、前後方向を長辺方向とする長方形の平板状に形成されている。平板部材２９の厚さ方向は上下方向と一致している。平板部材２９は、アーム本体２７の前後方向の両側に配置されている。アーム本体２７の前側に配置される平板部材２９の後端部は、アーム本体２７の前側の端部２７ｂの上面に複数のボルトによって固定され、アーム本体２７の後ろ側に配置される平板部材２９の前端部は、アーム本体２７の後ろ側の端部２７ｂの上面に複数のボルトによって固定されている。アーム本体２７の前側に配置される平板部材２９の後端面は、中央部２７ｃの前端面に接触し、アーム本体２７の後ろ側に配置される平板部材２９の前端面は、中央部２７ｃの後端面に接触している。

【0045】

アーム本体２７の前側に配置される平板部材２９の前端面は、前後方向において平板部材２８の前端面とほぼ同じ位置に配置され、アーム本体２７の後ろ側に配置される平板部材２９の後端面は、前後方向において平板部材２８の後端面とほぼ同じ位置に配置されている。平板部材２９の左右方向の幅は、アーム本体２７の左右方向の幅と等しくなっており、平板部材２９の左右方向の両端面は、左右方向における平板部材２８の内側面に接触している。平板部材２９は、複数のボルトによって平板部材２８にも固定されている。平板部材２９の上面は、中央部２７ｃの上面と同一平面上に配置されており、平板部材２９の左右方向の両端部の上面の高さは、平板部材２９の、左右方向の両端部を除いた部分の上面の高さよりもわずかに高くなっている（図７参照）。

【0046】

平板部材３２は、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されている。平板部材３２の厚さ方向は左右方向と一致している。平板部材３２は、アーム本体２７の前後方向の両側に配置されるとともに、アーム９の左右方向の中心位置に配置されている。平板部材３２の前後方向の一方の端面は、アーム本体２７の前後の側面に接触している。平板部材３２の前後方向の他方の端面は、前後方向において平板部材２８の前後方向の端面と同じ位置に配置されている。

【0047】

平板部材３２の下端面は、上下方向において平板部材２８の下端面と同じ位置に配置されている。平板部材３２の上端面は、平板部材２９の下面に接触している。平板部材３２は、複数のボルトによって平板部材２９に固定されている。また、平板部材３２の前後方向の一端部には、四角柱状の固定用部材が複数のボルトによって固定されており、固定用部材は、複数のボルトによってアーム本体２７の前後の側面に固定されている。すなわち、平板部材３２は、固定用部材を介してアーム本体２７にも固定されている。

【0048】

平板部材３０は、左右方向を長辺方向とする長方形の平板状に形成されている。平板部材３０の厚さ方向は前後方向と一致している。平板部材３０は、アーム本体２７の前後方向の両側に配置されるとともに、平板部材３２の左右方向の両側に配置されている。また、複数の平板部材３０が前後方向において一定の間隔をあけた状態で配置されている。本形態では、アーム本体２７の前後方向の両側、かつ、平板部材３２の左右方向の両側において、２枚の平板部材３０が前後方向において一定の間隔をあけた状態で配置されている。

【0049】

平板部材３０の下端面は、上下方向において平板部材２８の下端面と同じ位置に配置されている。平板部材３２の上端面は、平板部材２９の下面に接触している。平板部材３０は、複数のボルトによって平板部材２９に固定されている。また、平板部材３０の左右方向の両端面は、平板部材２８、３２に接触しており、平板部材３０は、複数のボルトによって平板部材２８、３２にも固定されている。

【0050】

平板部材３４は、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されている。平板部材３４の厚さ方向は上下方向と一致している。平板部材３４は、２枚の平板部材２８の左右方向の両側に配置されている。平板部材３４の前後方向の長さは、平板部材２８の前後方向の長さとほぼ等しくなっている。平板部材３４の前端面は、前後方向において平板部材２８の前端面と略同じ位置に配置され、平板部材３４の後端面は、前後方向において平板部材２８の後端面と略同じ位置に配置されている。平板部材３４の左右方向の内端面は、左右方向において平板部材２８の左右方向の内側面と同じ位置に配置されている。平板部材３４の下面は、平板部材２８の上端面に接触している。平板部材３４は、複数のボルトによって平板部材２８に固定されている。

【0051】

平板部材３６は、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されている。平板部材３４の厚さ方向は左右方向と一致している。平板部材３６は、２枚の平板部材２８の左右方向の両側に配置されている。平板部材３６は、アーム９の左右方向の側面を構成している。平板部材３６の前後方向の長さは、平板部材３４の前後方向の長さと等しくなっている。平板部材３６の前端面は、前後方向において平板部材３４の前端面と同じ位置に配置され、平板部材３６の後端面は、前後方向において平板部材３４の後端面と同じ位置に配置されている。

【0052】

平板部材３６の下端面は、上下方向において平板部材２８の下端面と同じ位置に配置され、平板部材３６の上端面は、上下方向において平板部材２８の上端面と同じ位置に配置されている。平板部材３６の左右方向の外側面は、左右方向において平板部材３４の左右方向の外端面と同じ位置に配置されている。平板部材３６の上端面は、平板部材３４の下面に接触している。平板部材３６は、複数のボルトによって平板部材３４に固定されている。

【0053】

平板部材３５は、上下方向を長辺方向とする長方形の平板状に形成されている。平板部材３５の厚さ方向は前後方向と一致している。平板部材３５は、２枚の平板部材２８の左右方向の両側に配置されている。また、複数の平板部材３５が前後方向において一定の間隔をあけた状態で配置されている。本形態では、２枚の平板部材２８の左右方向の両側において、１０枚の平板部材３５が前後方向において一定の間隔をあけた状態で配置されている。

【0054】

平板部材３５の下端面は、上下方向において平板部材２８の下端面と同じ位置に配置されている。平板部材３５の上端面は、平板部材３４の下面に接触している。平板部材３５は、複数のボルトによって平板部材３４に固定されている。また、平板部材３５の左右方向の両端面は、平板部材２８、３６に接触しており、平板部材３５は、複数のボルトによって平板部材２８、３６にも固定されている。

【0055】

平板部材３１は、左右方向を長辺方向とする略長方形の平板状に形成されている。また、平板部材３１は、左右方向の中心部が下側に向かって窪む凹形状に形成されている。平板部材３１の厚さ方向は前後方向と一致している。平板部材３１は、アーム本体２７の前後方向の両側に配置されている。平板部材３１は、アーム９の前後方向の側面を構成している。平板部材３１の外形は、平板部材２８、２９、３４、３６によって形成される輪郭に応じた形状になっている（図７（Ａ）参照）。

【0056】

平板部材３１の下端面は、上下方向において平板部材２８の下端面と同じ位置に配置されている。平板部材３１の前後方向の内側面は、平板部材２８、３２の前後方向の外側面に接触している。平板部材３１の上端面は、平板部材２９、３４の下面に接触している。平板部材３１の左右方向の外側面は、平板部材３６の左右方向の内側面に接触している。平板部材３１は、複数のボルトによって、平板部材２８、２９、３２、３４、３６に固定されている。

【0057】

平板部材３３は、左右方向を長辺方向とする長方形の平板状に形成されている。平板部材３３の厚さ方向は上下方向と一致している。平板部材３３の下面は、平板部材２８の下端面よりも上側に配置されている。平板部材３３は、アーム９の後端部において、複数のボルトによって平板部材２８、３１、３２に固定されている。

【0058】

上述のように、平板部材２８の上端面は、アーム本体２７の上面よりも上側に配置されている。また、平板部材３６の上端面は、上下方向において平板部材２８の上端面と同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、図７に示すように、アーム９の、２枚の平板部材２８の左右方向の内側部分の高さは、アーム９の、２枚の平板部材２８の左右方向の外側部分の高さよりも低くなっている。

【0059】

本形態の平板部材２８は、第１平板部材である。また、本形態の平板部材２９～３２は、アーム本体２７の前後方向の両側に配置される第２平板部材である。また、本形態では、平板部材２９は、上下方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される第３平板部材であり、平板部材３０、３１は、前後方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される第４平板部材であり、平板部材３２は、左右方向を厚さ方向として配置され平板部材２９～３１に固定される第５平板部材である。

【0060】

また、本形態では、平板部材３４は、２枚の平板部材２８の左右方向の両側に配置されるとともに上下方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される第６平板部材であり、平板部材３５は、２枚の平板部材２８の左右方向の両側に配置されるとともに前後方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される第７平板部材であり、平板部材３６は、２枚の平板部材２８の左右方向の両側に配置されるとともに左右方向を厚さ方向として配置され平板部材３４、３５に固定される第８平板部材である。

【0061】

（ハンドおよびハンド支持部材の構成）
ハンド５は、ワーク２が搭載される複数のフォーク４０と、複数のフォーク４０の基端部が固定されるハンド基部４１とを備えている。ハンド６は、ハンド５と同様に、ワーク２が搭載される複数のフォーク４０と、複数のフォーク４０の基端部が固定されるハンド基部４２とを備えている。本形態のハンド５、６は、４本のフォーク４０を備えている。フォーク４０は、前後方向に細長い直線状に形成されている。ハンド基部４１、４２には、フォーク４０の後端部が固定されている。ハンド基部４１は、ハンド５の後端部を構成し、ハンド基部４２は、ハンド６の後端部を構成している。

【0062】

ハンド基部４１、４２は、左右方向に細長い略長方形状の平板状に形成されている。ハンド基部４１の長さ（左右方向の長さ）は、ハンド基部４２の長さ（左右方向の長さ）よりも短くなっている。ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、上下方向で互いに重なるように配置されている。本形態では、前後方向から見たときに、ハンド６が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。ハンド５、６の左右方向の幅は、アーム９の左右方向の幅よりも広くなっている。図３に示すように、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド５の中心とハンド６の中心とが左右方向において一致するように配置されている。また、ハンド５、６は、前後方向から見たときに、ハンド５、６の中心とアーム９の中心とが左右方向において一致するように配置されている。

【0063】

フォーク４０の先端（前端）は、アーム９に対してハンド５、６が最も後ろ側に移動しているときでも、本体部１０よりも前側に配置されている（図１参照）。すなわち、ハンド５、６の先端は、アーム９に対してハンド支持部材７、８が最も後ろ側に移動しているときでも、本体部１０よりも前側に配置されている。そのため、ハンド５、６の先端は、ハンド支持部材７、８がアーム９に対して前側に移動するにしたがって本体部１０から離れる。

【0064】

ハンド支持部材７は、ハンド基部４１の下側に配置される２個のスライド部材４３によって構成されている（図１３参照）。２個のスライド部材４３は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。また、２個のスライド部材４３は、左右方向において２枚の平板部材２８の間に配置されている。前後方向から見たときのスライド部材４３の形状は略Ｌ形状となっている。ハンド基部４１は、スライド部材４３の上端面に固定されている。

【0065】

ハンド支持部材８は、ハンド基部４２の下側に配置される２個のスライド部材４４によって構成されている。２個のスライド部材４４は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。また、２個のスライド部材４４は、左右方向においてアーム９の外側に配置されている。前後方向から見たときのスライド部材４４の形状は略Ｌ形状となっている。ハンド基部４２は、スライド部材４４の上端面に固定されている。

【0066】

（駆動機構およびガイド機構の構成）
図１０は、図４のＧ部の拡大図である。図１１は、図１０に示す駆動機構１７およびガイド機構１９の構成を説明するための側面図である。図１２は、図１０に示す駆動機構１８およびガイド機構２０の構成を説明するための側面図である。図１３は、図１０に示すガイド機構１９、２０の構成を説明するための背面図である。図１４は、図１０に示す駆動機構１７、１８およびガイド機構１９、２０の構成を説明するための背面図である。

【0067】

駆動機構１７は、モータ４６と、モータ４６の動力をハンド支持部材７に伝達するためのプーリ４７～５２およびベルト５３～５５とを備えている。モータ４６は、アーム９の後面に固定されるモータ収容部材５６の中に収容されている。プーリ４７は、モータ４６の出力軸に固定されている。図１１に示すように、プーリ４８は、回転軸５７の上端部に固定され、プーリ４９は、回転軸５７の下端部に固定されている。回転軸５７は、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になるようにモータ収容部材５６に回転可能に保持されている。ベルト５３は、プーリ４７とプーリ４８とに掛け渡されている。

【0068】

図１１に示すように、プーリ５０は、回転軸５８の下端部に固定され、プーリ５１は、回転軸５８の上端部に固定されている。回転軸５８は、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になるように、後ろ側に配置される平板部材２９の後端部および平板部材３３に回転可能に保持されている。プーリ５２は、回転軸の上端部に固定されている。この回転軸は、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になるように、前側に配置される平板部材２９の前端部に回転可能に保持されている。プーリ５０、５１は、アーム９の後端部に配置され、プーリ５２は、アーム９の前端部に配置されている。

【0069】

プーリ５０は、アーム９の内部に配置されている。プーリ５１、５２は、平板部材２９の上側に配置されている。ベルト５４は、プーリ４９とプーリ５０とに掛け渡されている。ベルト５５は、プーリ５１とプーリ５２とに掛け渡されている。ベルト５５には、ハンド支持部材７が固定されている。具体的には、左側に配置されるスライド部材４３がベルト５５に固定されている。ベルト５５は、アーム本体２７および平板部材２９の上側に配置されている。また、プーリ５１、５２およびベルト５５は、２枚の平板部材２８の上端部の左右方向の内側に配置されている。すなわち、駆動機構１７の一部は、２枚の平板部材２８の上端部の左右方向の内側に配置されている。

【0070】

駆動機構１８は、モータ６１と、モータ６１の動力をハンド支持部材８に伝達するためのプーリ６２～６７およびベルト６８～７０とを備えている。モータ６１は、アーム９の後面の右端部に固定されるモータ収容部材７１の中に収容されている。プーリ６２は、モータ６１の出力軸に固定されている。図１０に示すように、プーリ６３は、回転軸７２の右端部に固定され、プーリ６４は、回転軸７２の左端部に固定されている。回転軸７２は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能になるようにモータ収容部材７１に回転可能に保持されている。ベルト６８は、プーリ６２とプーリ６３とに掛け渡されている。

【0071】

図１４に示すように、プーリ６５は、回転軸７３に固定されている。プーリ６６は、回転軸７３の左右方向の両端部のそれぞれに固定されている。回転軸７３は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能になるように２枚の平板部材３６の後端部に回転可能に保持されている。プーリ６７は、回転軸の左右方向の両端部のそれぞれに固定されている。この回転軸は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能になるように２枚の平板部材３６の前端部に回転可能に保持されている。プーリ６５、６６は、アーム９の後端部に配置され、プーリ６７は、アーム９の前端部に配置されている。

【0072】

プーリ６５は、アーム９の内部に配置されている。プーリ６６、６７は、アーム９の左右方向の外側に配置されている。ベルト６９（図１０参照）は、プーリ６４とプーリ６５とに掛け渡されている。ベルト７０は、プーリ６６とプーリ６７とに掛け渡されている。ベルト７０には、ハンド支持部材８が固定されている。具体的には、２本のベルト７０のそれぞれに、２個のスライド部材４４のそれぞれが固定されている。ベルト７０は、アーム９の左右方向の外側に配置されている。

【0073】

ガイド機構１９は、アーム９の上面側に配置されている。また、ガイド機構１９は、２枚の平板部材２８の上端部の左右方向の内側に配置されている。ガイド機構１９は、前後方向を長手方向とする４本のガイドレール７６と、ガイドレール７６に上側から係合するガイドブロック７７とを備えている。本形態では、１本のガイドレール７６に４個のガイドブロック７７が係合している。本形態のガイドレール７６は第１ガイドレールであり、ガイドブロック７７は第１ガイドブロックである。

【0074】

４本のガイドレール７６は、アーム本体２７および平板部材２９の上面に固定されている。４本のガイドレール７６のうちの２本のガイドレール７６は、アーム本体２７および平板部材２９の上面の右端側に固定され、残りの２本のガイドレール７６は、アーム本体２７および平板部材２９の上面の左端側に固定されている。ガイドブロック７７は、スライド部材４３の下端面に固定されている。本形態では、８個のガイドブロック７７が１個のスライド部材４３に固定されている。なお、アーム９には、プーリ５１、５２、ベルト５５およびガイド機構１９を上側から覆うカバー７８が固定されている。カバー７８は、ハンド基部４１よりも下側に配置されている。

【0075】

ガイド機構２０は、左右方向におけるアーム９の両側に配置されている。ガイド機構２０は、前後方向を長手方向とする４本のガイドレール８０と、ガイドレール８０に左右方向の外側から係合するガイドブロック８１とを備えている。本形態では、１本のガイドレール８０に４個のガイドブロック８１が係合している。本形態のガイドレール８０は第２ガイドレールであり、ガイドブロック８１は第２ガイドブロックである。

【0076】

４本のガイドレール８０のうちの２本のガイドレール８０は、右側に配置される平板部材３６の右面に固定され、残りの２本のガイドレール８０は、左側に配置される平板部材３６の左面に固定されている。すなわち、４本のガイドレール８０のうちの２本のガイドレール８０は、アーム９の右側に配置され、残りの２本のガイドレール８０は、アーム９の左側に配置されている。また、アーム９の左右の両側のそれぞれに配置される２本のガイドレール８０は、上下方向に間隔をあけた状態で配置されており、この２本のガイドレール８０の間には、ベルト７０が配置されている。ガイドブロック８１は、左右方向におけるスライド部材４４の内側面に固定されている。本形態では、８個のガイドブロック８１が１個のスライド部材４４に固定されている。なお、アーム９には、プーリ６６、６７、ベルト７０およびガイド機構２０を左右方向の外側から覆うとともに上下方向の両側から覆うカバー８２が固定されている。

【0077】

（リンク支持部材およびリンク機構の構成、配線の引き回し）
リンク支持部材２１は、アーム９の後面に固定されている。リンク支持部材２１は、アーム９の後面から後ろ側に向かって伸びる第１支持部２１ａと、第１支持部２１ａの後端から右側に向かって伸びる第２支持部２１ｂと、第２支持部２１ｂの右端から上側に向かって伸びる第３支持部２１ｃとから構成されている。前後方向から見たときに、リンク機構２２は、リンク機構２３の下側に配置されている。リンク機構２２、２３は、基端部がリンク支持部材２１に回動可能に連結されるリンク部材８５と、先端部がハンド５、６の後端部に回動可能に連結されるリンク部材８６とを備えている。

【0078】

リンク部材８５の基端部は、リンク支持部材２１に対して上下方向を回動の軸方向とするリンク部材８５の回動が可能となるように、リンク支持部材２１に連結されている。また、リンク部材８５の基端部は、第３支持部２１ｃの後面側に回動可能に連結されている。リンク部材８６の先端部は、ハンド５、６に対して上下方向を回動の軸方向とするリンク部材８６の回動が可能となるように、ハンド基部４１、４２の後面側に連結されている。また、リンク部材８６の先端部は、ハンド基部４１、４２の右端側に回動可能に連結されている。

【0079】

リンク部材８６の基端部は、リンク部材８５に対して上下方向を回動の軸方向とするリンク部材８６の回動が可能となるように、リンク部材８５の先端部に連結されている。リンク部材８５とリンク部材８６との連結部は、リンク部材８５とリンク支持部材２１との連結部、および、リンク部材８６とハンド基部４１、４２との連結部よりも左側に配置されている。図１の二点鎖線で示すように、ハンド５、６が本体部１０に対して前側に移動すると、リンク機構２２、２３は伸び、図１の実線で示すように、ハンド５、６が本体部１０に対して後ろ側に移動すると、リンク機構２２、２３は折れ曲がって縮む。リンク部材８５、８６は、細長い角溝状に形成されている。

【0080】

なお、本形態では、ハンド５、６が本体部１０に対して最も後ろ側まで移動している状態（図１の実線で示す状態）で回動軸１１が回動して、ハンド５、６およびアーム９が回動する。すなわち、リンク機構２２、２３は折れ曲がっている状態でハンド５、６およびアーム９が回動する。このときの最大旋回半径Ｒ１（図１参照）は、ロボット１がリンク機構２２、２３を備えていないときの最大旋回半径とほぼ等しくなっている。

【0081】

配線２４は、本体部１０の内部からハンド５、６まで引き回されている。配線２４の一端は、ハンド５、６に設置されるセンサに接続されている。配線２４の一部は、回動軸１１の内周側およびアーム本体２７の貫通穴２７ａの中に配置されている。また、配線２４は、貫通穴２７ａから後ろ側に向かって、アーム本体２７および平板部材２９の上面に沿って引き回された後、第１支持部２１ａの上面、第２支持部２１ｂの前面および第３支持部２１ｃの前面に沿って引き回されている。また、配線２４は、リンク機構２２、２３に沿ってハンド基部４１、４２まで引き回されている。配線２４の一部は、細長い角溝状に形成されるリンク部材８５、８６の内側に収容されている。

【0082】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アーム９の中心部は、ブロック状のアーム本体２７によって構成されているが、アーム９の、中心部以外の部分は、平板状の平板部材２８～３６によって構成されている。そのため、本形態では、アーム９に対するハンド５、６およびハンド支持部材７、８の移動距離が長くなってアーム９が前後方向で大型化しても、ブロック状のアーム本体２７によってアーム９の全体が構成されている場合と比較して、アーム９を軽量化することが可能になる。

【0083】

また、本形態では、ブロック状に形成されていて強度および剛性が比較的高いアーム本体２７がアーム９の中心部を構成するとともに回動軸１１に固定されている。また、本形態では、前後方向の長さがアーム本体２７の長さよりも長い平板部材２８がアーム本体２７の左右方向の側面のそれぞれに固定されるとともに、アーム本体２７の前後方向の両側に、上下方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される平板部材２９と、前後方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される平板部材３０、３１と、左右方向を厚さ方向として配置され平板部材２９～３１に固定される平板部材３２とが配置されている。

【0084】

そのため、本形態では、アーム９が前後方向で大型化するとともに、ハンド５、６に搭載されるワーク２の重量が重くなっても、アーム９の剛性および強度を確保することが可能になる。すなわち、本形態では、アーム９が大型化しても、また、ハンド５、６に搭載されるワーク２の重量が重くなっても、アーム９を軽量化しつつ、アーム９の剛性および強度を確保することが可能になる。また、本形態では、平板部材２８がアーム９の前後方向の全域に配置されているため、アーム９の剛性および強度を高めることが可能になる。

【0085】

本形態では、アーム９の、２枚の平板部材２８の左右方向の両側は、上下方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される平板状の平板部材３４と、前後方向を厚さ方向として配置され平板部材２８に固定される平板状の平板部材３５と、左右方向を厚さ方向として配置され平板部材３４、３５に固定される平板状の平板部材３６とによって構成されている。そのため、本形態では、アーム９の左右方向の幅が広くなっても（すなわち、アーム９が左右方向で大型化しても）、アーム９を軽量化しつつ、アーム９の剛性および強度を確保することが可能になる。

【0086】

本形態では、アーム本体２７は、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側で回動軸１１に固定されている。そのため、本形態では、アーム９の、回動軸１１よりも前側部分の剛性を高めることが可能になる。したがって、本形態では、ハンド５、６およびハンド支持部材７、８がアーム９に対して前側に移動したときの、回動軸１１を支点とするアーム９の撓みを抑制することが可能になる。また、本形態では、比較的重量の重いモータ４６、６１がアーム９の後ろ側に配置されているが、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側でアーム本体２７が回動軸１１に固定されており、アーム本体２７の、回動軸１１の前側に配置される部分の重量が重くなっているため、回動軸１１の上端に載置される全ての構成の、回動軸１１に対する重量バランスを保つことが可能になる。

【0087】

本形態では、上下方向から見たときに、アーム本体２７の前後方向の中心よりも前側に配置される複数の凹部２７ｅの総面積は、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側に配置される複数の凹部２７ｅの総面積よりも広くなっている。そのため、本形態では、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側の部分（すなわち、アーム本体２７の、回動軸１１が固定される部分）の剛性および強度を確保しつつ、アーム本体２７の重量を効果的に軽減することが可能になる。

【0088】

本形態では、ガイド機構１９は、アーム９の上面側に配置され、ガイド機構２０は、左右方向におけるアーム９の両側に配置されている。そのため、本形態では、ガイド機構１９、２０を設置しやすくなる。また、本形態では、ガイド機構１９、２０が４本のガイドレール７６、８０を備えているため、ハンド５、６に搭載されるワーク２の重量が重くなっても、比較的小型のガイドレール７６、８０およびガイドブロック７７、８１を設置することが可能になる。したがって、本形態では、ガイド機構１９、２０をより設置しやすくなる。

【0089】

本形態では、駆動機構１７の一部（具体的には、プーリ５１、５２およびベルト５５）およびガイド機構１９は、２枚の平板部材２８の上端側部分の左右方向の内側に配置されているが、アーム９の、２枚の平板部材２８の左右方向の内側部分の高さは、アーム９の、２枚の平板部材２８の左右方向の外側部分の高さよりも低くなっている。そのため、本形態では、駆動機構１７の一部およびガイド機構１９がアーム９の上面側に配置されていても、駆動機構１７の一部およびガイド機構１９がアーム９の上面から上側に突出するのを防止することが可能になる。

【0090】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0091】

上述した形態において、平板部材３２は、平板部材２９または平板部材３０、３１に固定されていなくても良い。また、上述した形態において、平板部材３６は、平板部材３４または平板部材３５に固定されていなくても良い。さらに、上述した形態において、アーム９の、２枚の平板部材２８の左右方向の内側部分の高さと、アーム９の、２枚の平板部材２８の左右方向の外側部分の高さとが同じ高さになっていても良い。また、上述した形態において、平板部材２８は、アーム９の前後方向の全域に配置されていなくても良い。また、上述した形態において、アーム９は、平板部材３４～３６を備えていなくても良い。

【0092】

上述した形態において、アーム本体２７の前後方向の中心部が回動軸１１に固定されていても良い。また、上述した形態において、アーム本体２７の前後方向の中心よりも前側に配置される複数の凹部２７ｅの総面積と、アーム本体２７の前後方向の中心よりも後ろ側に配置される複数の凹部２７ｅの総面積とが等しくなっていても良い。さらに、上述した形態において、アーム本体２７に凹部２７ｅが形成されていなくても良い。また、上述した形態において、アーム本体２７は、鋳造品であっても良い。

【0093】

上述した形態において、プーリ５１、５２、ベルト５５およびガイド機構１９が、左右方向におけるアーム９の両側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ガイド機構１９が備えるガイドレール７６の本数は２本であっても良い。同様に、ガイド機構２０が備えるガイドレール８０の本数は２本であっても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１が備えるハンドの数は、１個であっても良い。また、上述した形態において、ボールネジを用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させても良い。また、ロボット１は、大気中でワーク２を搬送しても良い。

【符号の説明】

【0094】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ワーク（搬送対象物）
５ ハンド（第１ハンド）
６ ハンド（第２ハンド）
７ ハンド支持部材（第１ハンド支持部材）
８ ハンド支持部材（第２ハンド支持部材）
９ アーム
１０ 本体部
１１ 回動軸
１２ 回動機構
１７ 駆動機構（第１駆動機構）
１８ 駆動機構（第２駆動機構）
１９ ガイド機構（第１ガイド機構）
２０ ガイド機構（第２ガイド機構）
２７ アーム本体
２７ｅ 凹部
２８ 平板部材（第１平板部材）
２９ 平板部材（第２平板部材、第３平板部材）
３０、３１ 平板部材（第２平板部材、第４平板部材）
３２ 平板部材（第２平板部材、第５平板部材）
３４ 平板部材（第６平板部材）
３５ 平板部材（第７平板部材）
３６ 平板部材（第８平板部材）
７６ ガイドレール（第１ガイドレール）
７７ ガイドブロック（第１ガイドブロック）
８０ ガイドレール（第２ガイドレール）
８１ ガイドブロック（第２ガイドブロック）
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】