知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-03
(45)【発行日】2024-06-11
(54)【発明の名称】圧力センサおよびその組立方法
(51)【国際特許分類】
G01L 19/14 20060101AFI20240604BHJP
【ＦＩ】
G01L19/14
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020065782
(22)【出願日】2020-04-01
(65)【公開番号】P2021162500
(43)【公開日】2021-10-11
【審査請求日】2023-03-24
(73)【特許権者】
【識別番号】000006666
【氏名又は名称】アズビル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100098394
【弁理士】
【氏名又は名称】山川 茂樹
(74)【代理人】
【識別番号】100064621
【弁理士】
【氏名又は名称】山川 政樹
(72)【発明者】
【氏名】森 雷太
【審査官】大森 努
(56)【参考文献】
【文献】特表２００８－５４１０４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０７－２８６９２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０８－０７５５８５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭５４－０１１７７９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－２２９８０５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２４９４９９（ＪＰ，Ａ）
【文献】中国特許出願公開第１０５６９８９８３（ＣＮ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第２０１６－０１４３１８７（ＫＲ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｌ ７／００－２３／３２，２７／００－２７／０２
Ｈ０５Ｋ ５／００
Ｇ０１Ｄ
Ｇ０１Ｆ
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被測定流体の圧力を電気信号として検出する圧力センサ素子を含むセンサユニットと、前記被測定流体が流出入する配管と同一の軸心を有しこの配管と接続する筒状の継手とが一体となって接合されたセンサ本体と、
前記センサ本体の少なくとも一部を内側に収容する筐体と、
を備え、
前記筐体は、複数の分割筐体から構成され、
前記筐体には、前記センサユニットと前記継手との接合部が貫通する第１の貫通孔が開口し、
前記第１の貫通孔の壁面は、前記複数の分割筐体のうちの少なくとも２つの分割筐体の端面が組合わさって形成され、
前記センサユニットには、接続端子を通じて前記電気信号を外部へ送信するケーブルが取付けられ、
前記筐体には、前記ケーブルが貫通する第２の貫通孔が開口し、
前記第２の貫通孔の壁面は、前記複数の分割筐体のうちの少なくとも２つの分割筐体の端面が組合わさって形成される圧力センサ。
【請求項2】
請求項１に記載の圧力センサにおいて、
前記少なくとも２つの分割筐体における合わせ面の少なくとも一部は、前記軸心に平行に形成されている圧力センサ。
【請求項3】
請求項１または２に記載の圧力センサにおいて、
前記接続端子は、前記軸心と交わる面の上に配設され、
前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とは、いずれも前記軸心を内側に含む位置に形成されている圧力センサ。
【請求項4】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧力センサにおいて、
前記筐体は前記第２の貫通孔において前記ケーブルの一部を挟持して前記ケーブルの移動を規制する挟持機構を有する圧力センサ。
【請求項5】
被測定流体の圧力を電気信号として検出する圧力センサ素子を含むセンサユニットと前記被測定流体が流出入する配管と同一の軸心を有しこの配管に接続する筒状の継手とが一体となって接合されたセンサ本体の少なくとも一部が筐体で覆われた圧力センサを組立てる方法において、
前記継手と前記センサユニットの下部ハウジングとを接合するステップＡと、
前記継手と接合した前記下部ハウジングに前記圧力センサ素子を組入れたのち上部ハウジングを被せ、さらに、前記下部ハウジングと前記上部ハウジングとを接合することで前記センサ本体を組上げるステップＢと、
少なくとも２つの分割筐体のうちの１つである第１の分割筐体を、前記軸心に沿った方向と異なる第１の方向から前記センサ本体に組付けるステップＣと、
前記少なくとも２つの分割筐体のうちの前記第１の分割筐体と異なる第２の分割筐体を、前記第１の方向と異なる第２の方向から前記センサ本体に組付けるステップＤと、
前記ステップＢとステップＣとの間で実施されるステップであって前記電気信号を外部へ送信するケーブルを前記センサユニットに取付けるステップＥと、
を含み、
前記センサユニットと前記継手との接合部が、前記第１の分割筐体と前記第２の分割筐体の端面が組み合わさることで形成される第１の貫通孔を貫通するように組立てられ、前記ケーブルが、前記第１の分割筐体と前記第２の分割筐体の端面が組み合わさることで形成される第２の貫通孔を貫通するように組立てられる圧力センサ組立方法。
【請求項6】
請求項５に記載の圧力センサ組立方法において、
前記ステップＣの後に前記ケーブルの一部を所定の力で挟持して前記ケーブルの移動を規制するための挟持機構を配設するステップＦをさらに含む圧力センサ組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、流体等の圧力を検出する圧力センサおよびその組立方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
流体の圧力を測定するためのセンサとして、ダイアフラムを備えた圧力センサが広く用いられている。当該圧力センサにおいては、測定対象となっている流体（以下、「被測定流体」と称する。）の圧力変化を、ダイアフラムを通じて機械的変位の形で捉え、さらにこの機械的変位を電気信号として検出することで被測定流体の圧力を測定するように構成されている。
上記ダイアフラムは、例えば、互いに非連通の状態で隔離され２つの空間に面するように配設され、これら２つの空間の一方に被測定流体が流出入することで生じる圧力差によって、上記機械的変位がもたらされるように構成されている。
また、上記電気信号を通じた圧力の検出方法（センシング原理）として、例えば、静電容量式や半導体式が知られている。静電容量式の圧力センサは、ダイアフラムの変形（機械的変位）を一対の電極間の静電容量の変化として検出し、この静電容量の変化に基づいて、被測定流体の圧力を測定するように構成された圧力センサ素子を備える。また、静電容量式の圧力センサは、上記ダイアフラムの変形（機械的変位）を、Ｓｉ等の半導体材料からなる基板の上に形成されたホイートストンブリッジ回路からなるひずみゲージを通じて電圧信号の形で検出し、この電圧信号の変化に基づいて、被測定流体の圧力を測定するように構成された圧力センサ素子を備える。
上記ダイアフラムは、例えば、互いに非連通の状態で隔離され２つの空間に面するように配設され、これら２つの空間の一方に被測定流体が流出入することで生じる圧力差によって、上記機械的変位がもたらされるように構成されている。
また、上記電気信号を通じた圧力の検出方法（センシング原理）として、例えば、静電容量式や半導体式が知られている。静電容量式の圧力センサは、ダイアフラムの変形（機械的変位）を一対の電極間の静電容量の変化として検出し、この静電容量の変化に基づいて、被測定流体の圧力を測定するように構成された圧力センサ素子を備える。また、静電容量式の圧力センサは、上記ダイアフラムの変形（機械的変位）を、Ｓｉ等の半導体材料からなる基板の上に形成されたホイートストンブリッジ回路からなるひずみゲージを通じて電圧信号の形で検出し、この電圧信号の変化に基づいて、被測定流体の圧力を測定するように構成された圧力センサ素子を備える。
【0003】
上記ダイアフラムを用いた圧力センサにおいては、ダイアフラムとこのダイアフラムの変形（機械的変位）を電気信号として検出する電気要素からなる圧力センサ素子を含んだセンサユニットを備え、このセンサユニットから出力される電気信号は、ケーブルを通じて外部装置へ送信されるように構成されている。ここで、上記センサユニットは、ハウジング内に収容され、好適には、センサユニット全体を水滴や粉塵等から保護するために、その周囲が筐体によって覆われている。
【0004】
例えば、特許文献１には、ダイアフラム部（１２６ａ１）およびひずみケージを備えた半導体センサチップ（１２６）からなる圧力センサ素子を含んだセンサユニット（圧力検出部１２０）と、センサユニットから出力される電気信号を外部へ送信する複数の電線（１３０）と、センサユニットを覆うケース（１４１）とから構成された半導体式の圧力センサ（１００）が開示されている。
【0005】
上記圧力センサ（１００）においては、センサユニットが、同一の軸心（例えば、被測定流体が流出入する配管およびこれと接続する継手（１１１）の軸心）をもつ円筒状を呈したハウジング（１２１）および端子台（１３１）と端子台（１３１）を塞ぐように被せられた端子台キャップ（１４２）とで囲まれ、さらに、その周囲を上記ハウジング（１２１）と同心の円筒状を呈したケース（１４１）によって覆われるように構成されている。また、上記軸心と同心の筒状の継手（１１１）が、同じく同心の貫通孔が中央に開口する円板状のベースプレート（１１２）に接合され、さらに、当該ベースプレート（１１２）の外周縁部とハウジング（１２１）の下面とが溶接等によって接合されるように構成されている。加えて、ケース（１４１）の下部開口周縁には内側へ向かって延在するリング状のフランジ部が設けられており、当該フランジ部とベースプレート（１１２）の外周縁とが当接するように構成されている。
このように、特許文献１に記載の圧力センサ（１００）は、センサユニットの外枠を形成する円筒状のハウジング（１２１）等が同一の軸心に沿って積層され、さらに、センサユニットの外側に配設される円板状のベースプレート（１１２）および円筒状のケース（１４１）もまた上記軸心に沿って積層された構造となっている。当該構造を有することで、各部品を積み重ねるようにして圧力センサを組立てることが可能になっている。
このように、特許文献１に記載の圧力センサ（１００）は、センサユニットの外枠を形成する円筒状のハウジング（１２１）等が同一の軸心に沿って積層され、さらに、センサユニットの外側に配設される円板状のベースプレート（１１２）および円筒状のケース（１４１）もまた上記軸心に沿って積層された構造となっている。当該構造を有することで、各部品を積み重ねるようにして圧力センサを組立てることが可能になっている。
【0006】
また、上記圧力センサ（１００）においては、センサユニットから出力される電気信号を外部に送信する複数の電線（１３３）が、センサユニットに設けられた接続端子に半田付け等によって接合され、これら複数の電線（１３０）は、ポリ塩化ビニル等で形成された保護チューブで覆われながらケース（１４１）から引き出されるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【文献】特開２０１９－１０９１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
上記特許文献１に記載の圧力センサ（１００）においては、例えば以下に示すような問題がある。
すなわち、圧力センサ（１００）を組立てるにあたり、継手（１１１）をベースプレート（１１２）に接合した後、このベースプレート（１１２）をハウジング（１２１）の下面に接合し、さらにその後、ケース（１４１）を外から組付けるといった工順をとるとした場合、ケース（１４１）に形成された上記フランジ部の開口幅（開口径）を、継手（１１１）の最外形（最外径）、より具体的には、上記軸心に垂直な面に投影した継手（１１１）の形状における最外形（最外径）よりも大きく設定しなければ構造的に組立てることができなくなる。ここで、多様な環境下で使用され圧力センサにおいては、種々のサイズ（呼び径）の配管と接続できるように、様々なサイズ（呼び径）の継手が接合される。このため、上記工順で、センサユニットをケース（１４１）で覆われた圧力センサ（１００）を組立てるには、継手のサイズ（呼び径）ごとに異なる寸法のケース（１４１）を設けるか、または、想定される最大サイズ（最大呼び径）の継手にあわせてケース（１４１）の寸法を設定する必要がある。前者においては、ケースの仕様が多くなるため部品のコストが高騰し、また、生産性が低下することで生産コストが増大するといた問題が生じる。また、後者においては、圧力センサが大型化することで使用できる環境が限定されるといった問題が生じる。
他方、圧力センサ（１００）の組立工順を、継手（１１１）が接合されていないベースプレート（１１２）をハウジング（１２１）の下面に接合した後、ケース（１４１）を外側から被せ、さらにその後、継手（１１１）をベースプレート（１１２）へ溶接等によって接合するといった組立工順をとれば上記問題を回避することができる。しかし、このような組立工順においては、接続される配管のサイズ（呼び径）に応じて異なるサイズ（呼び径）の継手がセンサユニットに接合されるとした場合、製品仕様の仕分け等の管理が煩雑となり、また、最終製品を製造する工程のリードタイムが長くなるといった問題が生じる。すなわち、上記組立工順をとった場合、製造工程の最後に継手を接合することになるため、上記仕分けが製品製造の最終工程で行われることになり、また、当該最終工程において、溶接等の機械加工を行う工程が伴うことになる。このような最終工程を含む組立工順にあっては、例えば、センサユニットと継手とが接合されたサブアセンブリを予め中間工程で製造したのちこのサブアセンブリを部品在庫として管理することで上記製品仕様の仕分け等を行い、さらに機械加工を伴わない組立工程のみで最終工程が構成された組立工順に比べて、上記仕分け作業等が煩雑となり、製品製造のリードタイムも長くなる。
すなわち、圧力センサ（１００）を組立てるにあたり、継手（１１１）をベースプレート（１１２）に接合した後、このベースプレート（１１２）をハウジング（１２１）の下面に接合し、さらにその後、ケース（１４１）を外から組付けるといった工順をとるとした場合、ケース（１４１）に形成された上記フランジ部の開口幅（開口径）を、継手（１１１）の最外形（最外径）、より具体的には、上記軸心に垂直な面に投影した継手（１１１）の形状における最外形（最外径）よりも大きく設定しなければ構造的に組立てることができなくなる。ここで、多様な環境下で使用され圧力センサにおいては、種々のサイズ（呼び径）の配管と接続できるように、様々なサイズ（呼び径）の継手が接合される。このため、上記工順で、センサユニットをケース（１４１）で覆われた圧力センサ（１００）を組立てるには、継手のサイズ（呼び径）ごとに異なる寸法のケース（１４１）を設けるか、または、想定される最大サイズ（最大呼び径）の継手にあわせてケース（１４１）の寸法を設定する必要がある。前者においては、ケースの仕様が多くなるため部品のコストが高騰し、また、生産性が低下することで生産コストが増大するといた問題が生じる。また、後者においては、圧力センサが大型化することで使用できる環境が限定されるといった問題が生じる。
他方、圧力センサ（１００）の組立工順を、継手（１１１）が接合されていないベースプレート（１１２）をハウジング（１２１）の下面に接合した後、ケース（１４１）を外側から被せ、さらにその後、継手（１１１）をベースプレート（１１２）へ溶接等によって接合するといった組立工順をとれば上記問題を回避することができる。しかし、このような組立工順においては、接続される配管のサイズ（呼び径）に応じて異なるサイズ（呼び径）の継手がセンサユニットに接合されるとした場合、製品仕様の仕分け等の管理が煩雑となり、また、最終製品を製造する工程のリードタイムが長くなるといった問題が生じる。すなわち、上記組立工順をとった場合、製造工程の最後に継手を接合することになるため、上記仕分けが製品製造の最終工程で行われることになり、また、当該最終工程において、溶接等の機械加工を行う工程が伴うことになる。このような最終工程を含む組立工順にあっては、例えば、センサユニットと継手とが接合されたサブアセンブリを予め中間工程で製造したのちこのサブアセンブリを部品在庫として管理することで上記製品仕様の仕分け等を行い、さらに機械加工を伴わない組立工程のみで最終工程が構成された組立工順に比べて、上記仕分け作業等が煩雑となり、製品製造のリードタイムも長くなる。
【0009】
また、接続端子に半田付け等によって接合されているのみの上記複数の電線（１３３）にあっては、大きな引張荷重が加わったとき容易に外れる（または断線する）ことが想定される。このため、特許文献１に記載の圧力センサ（１００）においては、外力に対する耐性が低く、信頼性が低いといった問題がある。
【0010】
本発明は、上記問題に鑑み創作された発明であって、その目的とするところは、センサユニットを覆う筐体を備えることで粉塵等に対する耐性が高くかつ小型で、また、継手のサイズ（呼び径）のみを任意に変えるだけで種々のサイズの配管に接続可能であり、さらに、生産性に優れた圧力センサを提供することにある。また、このような圧力センサを短いリードタイムで製造できる方法を提案することにある。さらに、好ましくは、外力に対する耐性に優れた信頼性の高い圧力センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記課題を解決するための本発明に係る圧力センサ（１Ａ、１Ｂ）は、被測定流体の圧力を電気信号として検出する圧力センサ素子を含むセンサユニット（１０）と、前記被測定流体が流出入する配管と同一の軸心（ＣＬ）を有しこの配管と接続する筒状の継手（２００）とが一体となって接合されたセンサ本体（４００）と、前記センサ本体の少なくとも一部を内側に収容する筐体（１００）と、を備え、前記筐体は、複数の分割筐体（１１０、１２０）から構成され、前記筐体には、前記センサユニットと前記継手との接合部（ＣＰ）が貫通する第１の貫通孔（１０３）が開口し、前記第１の貫通孔の壁面は、前記複数の分割筐体のうちの少なくとも２つの分割筐体の端面（１１３ａ、１２３ａ）によって形成されていることを特徴とする。
【0012】
また、前記圧力センサにおいて、前記センサユニットには、接続端子（５０）を通じて前記電気信号を外部へ送信するケーブル（３００）が取付けられ、前記筐体には、前記ケーブルが貫通する第２の貫通孔（１０４）が開口し、前記第２の貫通孔の壁面は、前記複数の分割筐体のうちの少なくとも２つの分割筐体の端面（１１４ａ、１２４ａ）によって形成されるように構成してもよい。
【0013】
さらに、前記圧力センサにおいて、前記少なくとも２つの分割筐体における合わせ面の少なくとも一部（１１０ａ、１２０ａ）は、前記軸心に平行に形成されるように構成してもよい。
【0014】
また、前記圧力センサにおいて、前記接続端子は、前記軸心と交わる面の上に配設され、前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とは、いずれも前記軸心を内側に含む位置に形成されるように構成してもよい。
【0015】
さらに、前記圧力センサにおいて、前記筐体部は前記第２の貫通孔に前記ケーブルの一部を挟持して前記ケーブルの移動を規制する挟持機構（Ｍ）を有していてもよい。
【0016】
また、上記課題を解決するための本発明に係る圧力センサを組立てる方法は、被測定流体の圧力を電気信号として検出する圧力センサ素子を含むセンサユニットと前記被測定流体が流出入する配管と同一の軸心をもちこの配管に接続する筒状の継手とが一体となって接合されたセンサ本体の少なくとも一部が筐体で覆われた上記圧力センサを組立てる方法であって、前記継手と前記センサユニットの下部ハウジングとを接合するステップＡ（ステップＳ２）と、前記継手と接合した前記下部ハウジングに前記圧力センサ素子を組入れたのち上部ハウジングを被せ、さらに、前記下部ハウジングと前記上部ハウジングとを接合することで前記センサ本体を組上げるステップＢ（ステップＳ４）と、少なくとも２つの分割筐体のうちの１つである第１の分割筐体を、前記軸心に垂直な第１の方向から前記センサ本体に組付けるステップＣ（ステップＳ６）と、前記少なくとも２つの分割筐体のうちの前記第１の分割筐体と異なる第２の分割筐体を、前記軸心および前記第１の方向に垂直な第２の方向から前記センサ本体に組付けるステップＤ（ステップＳ７）を含み、前記センサユニットと前記継手との接合部が、前記第１の分割筐体と前記第２の分割筐体の端面によって形成された第１の貫通孔を貫通するように組立てることを特徴とする。
【0017】
さらに、前記圧力センサを組立てる方法において、前記電気信号を外部へ送信するケーブルを前記センサユニットに取付けるステップＥ（ステップＳ５）をさらに含み、前記ステップＥは、前記ステップＢとステップＣとの間で実施され、これにより、前記ケーブルが、前記第１の分割筐体と前記第２の分割筐体の端面によって形成された第２の貫通孔を貫通するように組立てられるように構成してもよい。
【0018】
また、前記圧力センサを組立てる方法において、前記ステップＣの後に前記ケーブルの一部を所定の力で挟持して前記ケーブルの移動を規制するための挟持機構を配設するステップＦ（ステップＳ９およびステップＳ１０）をさらに含むように構成してもよい。
【0019】
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の参照符号を、括弧を付して記している。
【発明の効果】
【0020】
圧力センサに係る本発明によれば、 小型かつセンサユニットを覆う筐体を備えることで粉塵等に対する耐性も高く、継手のサイズのみを任意に変えることで種々のサイズの配管に接続可能であり、さらに生産性に優れた圧力センサを提供することができる。また、圧力センサを製造する方法に係る本発明によれば、このような圧力センサを短いリードタイムで製造することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本発明の好ましい実施の形態である第１の実施の形態および第２の実施の形態を、図１ないし図１０に基づいて説明する。ここで、各実施の形態において共通する構成要素については、同一の符号を付するとともに繰り返しの説明は割愛する。
なお、説明文中の前後、左右および上下は、各図に示された座標軸の±Ｘ（＋Ｘ方向が後方向、－Ｘ方向が前方向）、±Ｙ（＋Ｙ方向が左方向、－Ｙ方向が右方向）および±Ｚ（＋Ｚ方向が上方向、－Ｚ方向が下方向）としてそれぞれ定義する。また、各図は概念図であって、それぞれに示された内容は、実際の圧力センサと必ずしも一致するものではない。
なお、説明文中の前後、左右および上下は、各図に示された座標軸の±Ｘ（＋Ｘ方向が後方向、－Ｘ方向が前方向）、±Ｙ（＋Ｙ方向が左方向、－Ｙ方向が右方向）および±Ｚ（＋Ｚ方向が上方向、－Ｚ方向が下方向）としてそれぞれ定義する。また、各図は概念図であって、それぞれに示された内容は、実際の圧力センサと必ずしも一致するものではない。
【0023】
≪第１の実施の形態≫
はじめに、本発明の第１の実施の形態に係る圧力センサ１Ａを、図１ないし図５に基づいて説明する。ここで、圧力センサ１Ａは、静電容量式の圧力センサ素子を備えた真空計として用いられ、また、圧力センサ素子からの電気信号を増幅するアンプが自身の外部に配設された、いわゆる分離型の圧力センサ（分離型の真空計）として構成されている。
はじめに、本発明の第１の実施の形態に係る圧力センサ１Ａを、図１ないし図５に基づいて説明する。ここで、圧力センサ１Ａは、静電容量式の圧力センサ素子を備えた真空計として用いられ、また、圧力センサ素子からの電気信号を増幅するアンプが自身の外部に配設された、いわゆる分離型の圧力センサ（分離型の真空計）として構成されている。
【0024】
＜圧力センサ１Ａの構成＞
最初に、圧力センサ１Ａの構成を、図１ないし図３に基づいて説明する。
圧力センサ１Ａは、図１（ａ）、（ｂ）の斜視図、および図２（ａ）、（ｂ）の分解斜視図に示すように、センサユニット１０と、このセンサユニット１０を内部に収容する筐体１００と、被測定流体が流出入する配管と接続する機械要素である継手２００と、センサユニット１０から出力される電気信号を外部に送信するケーブル３００とから主に構成されている。
最初に、圧力センサ１Ａの構成を、図１ないし図３に基づいて説明する。
圧力センサ１Ａは、図１（ａ）、（ｂ）の斜視図、および図２（ａ）、（ｂ）の分解斜視図に示すように、センサユニット１０と、このセンサユニット１０を内部に収容する筐体１００と、被測定流体が流出入する配管と接続する機械要素である継手２００と、センサユニット１０から出力される電気信号を外部に送信するケーブル３００とから主に構成されている。
【0025】
〔センサユニット１０〕
センサユニット１０は、図３に示すように、圧力センサ素子１１と、ケーシング２０と、ケーシング２０内に収容された台座プレート３０と、この台座プレート３０に接合しかつケーシング２０に橋架された支持ダイアフラム４０と、ケーシング２０内外を導通接続する電極リード部５０（この電極リード部５０は、特許請求の範囲に記載の「接続端子」に相当する。）とから主に構成されている。
センサユニット１０は、図３に示すように、圧力センサ素子１１と、ケーシング２０と、ケーシング２０内に収容された台座プレート３０と、この台座プレート３０に接合しかつケーシング２０に橋架された支持ダイアフラム４０と、ケーシング２０内外を導通接続する電極リード部５０（この電極リード部５０は、特許請求の範囲に記載の「接続端子」に相当する。）とから主に構成されている。
【0026】
[圧力センサ素子１１]
圧力センサ素子１１は、被測定流体の圧力変化を機械的変位の形で捉え、さらにこの機械的変位を電気信号（例えば、電圧信号）として検出する要素であって、上述したように、例えば、静電容量式の圧力センサ素子として構成されている。この圧力センサ素子１１は、例えば、平面視において１ｃｍ角の略正方形を呈した薄板形状を有し、薄板状のダイアフラム１２と、このダイアフラム１２と連接して容量室Ｃ１を形成する円板状の台座１３と、容量室Ｃ１の内部に収容された一対のセンサ電極部１４、１４と、後述する電極リードピン５１との間で電気的に接続するコンタクトパッド１５とを備える。
圧力センサ素子１１は、被測定流体の圧力変化を機械的変位の形で捉え、さらにこの機械的変位を電気信号（例えば、電圧信号）として検出する要素であって、上述したように、例えば、静電容量式の圧力センサ素子として構成されている。この圧力センサ素子１１は、例えば、平面視において１ｃｍ角の略正方形を呈した薄板形状を有し、薄板状のダイアフラム１２と、このダイアフラム１２と連接して容量室Ｃ１を形成する円板状の台座１３と、容量室Ｃ１の内部に収容された一対のセンサ電極部１４、１４と、後述する電極リードピン５１との間で電気的に接続するコンタクトパッド１５とを備える。
【0027】
ダイアフラム１２は、その一表面（受圧面）に導入部２０Ｖに流入した被測定流体が接触することで、例えば図３の上方（＋Ｚ方向）に向けて中央部が凸となるように変形する。このダイアフラム１２の変形は、容量室Ｃ１内に配設された一対のセンサ電極部１４、１４の距離を変化させ、結果としてこれら電極間の静電容量を上記変形量に応じて変化させる。このようにして、圧力センサ素子１１は、被測定流体の圧力の変化を静電容量の変化として検出する。
【0028】
[ケーシング２０]
ケーシング２０は、センサユニット１０の外枠を構成するとともに、後述する台座プレート３０および支持ダイアフラム４０を介して圧力センサ素子１１を支持し、また、被測定流体が流出入する導入部２０Ｖを画成し、さらに、継手２００と連結する部位を形成する。ケーシング２０は、ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３から構成され、これらケーシング要素は、例えば、耐食性の金属であるインコネルからそれぞれ形成されている。ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３は、例えば後述する継手２００の軸心ＣＬ２００（被測定流体が流出入する配管の軸心）に沿って当該順序で下から上に積み上げられるようにして構成されており、それぞれの合わせ面は、例えば、後述する継手２００の軸心ＣＬ２００（被測定流体が流出入する配管の軸心と同一であってＺ軸に相当する）に垂直な平面（ＸＹ平面）上に形成され、対向する部位同士が、例えば溶接により接合されている。
ケーシング２０は、センサユニット１０の外枠を構成するとともに、後述する台座プレート３０および支持ダイアフラム４０を介して圧力センサ素子１１を支持し、また、被測定流体が流出入する導入部２０Ｖを画成し、さらに、継手２００と連結する部位を形成する。ケーシング２０は、ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３から構成され、これらケーシング要素は、例えば、耐食性の金属であるインコネルからそれぞれ形成されている。ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３は、例えば後述する継手２００の軸心ＣＬ２００（被測定流体が流出入する配管の軸心）に沿って当該順序で下から上に積み上げられるようにして構成されており、それぞれの合わせ面は、例えば、後述する継手２００の軸心ＣＬ２００（被測定流体が流出入する配管の軸心と同一であってＺ軸に相当する）に垂直な平面（ＸＹ平面）上に形成され、対向する部位同士が、例えば溶接により接合されている。
【0029】
ロアハウジング２１は、径の大きな大径円筒部２１ａと径の小さな小径円筒部２１ｂとから形成され、かつこれら２つの部分が同軸となるように連結する円筒状の部位である。大径円筒部２１ａの上部開口端には、支持ダイアフラム４０を介してアッパーハウジング２２の下部開口端が接続している。また、小径円筒部２１ｂの内周壁は、被測定流体が流入する導入部２０Ｖを画成している。小径円筒部２１ｂは、後述する継手２００の継手接合部２２０と例えば溶接によって接合される部位を形成する。
【0030】
アッパーハウジング２２ は、ロアハウジング２１とカバー２３との間に介在する略円筒体形状を呈した部位であり、その下部開口端は、上述したように、支持ダイアフラム４０を介してロアハウジング２１の上部開口端と接続し、その上部開口端は、カバー２３と接続している。アッパーハウジング２２の径（内径および外径）および軸心は、ロアハウジング２１の大径円筒部２１ａの径（内径および外径）および軸心と略同値および同一である。また、アッパーハウジング２２は、カバー２３、支持ダイアフラム４０、台座プレート３０及び圧力センサ素子１１とともにケーシング２０内に独立した真空の基準真空室２０Ｗを画成している。なお、基準真空室２０Ｗには、所望の真空度を維持するために、いわゆるゲッター（ 図示せず） と呼ばれる気体吸着物質が充填されている。また、下部開口端近傍における内周側壁面の適所には、ストッパ２２ａが突設されている。ストッパ２２ａが設けられていることで、被測定流体の急激な圧力上昇により台座プレート３０ が過度に変移することが規制されている。
【0031】
カバー２３は、略円盤状のプレートからなり、所定の位置に電極リード挿通孔２３ａが形成されている。この電極リード挿通孔２３ａに、ハーメチックシール６０を介して電極リード部５０が埋め込まれることで、所定の電気的シール性が確保されている。
【0032】
このように、ケーシング２０は、軸心ＣＬ２００に沿ってロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３が積層され、当該軸心ＣＬ２００をもつ直径の異なる２つの円柱が連接した外形を呈している。
【0033】
[台座プレート３０]
台座プレート３０は、圧力センサ素子１１を支持する構成要素であって、第１の台座プレート３１と第２の台座プレート３２とから構成されている。台座プレート３０は、後述する支持ダイアフラム４０を通じてケーシング２０ に橋架されるように支持されている。
台座プレート３０は、圧力センサ素子１１を支持する構成要素であって、第１の台座プレート３１と第２の台座プレート３２とから構成されている。台座プレート３０は、後述する支持ダイアフラム４０を通じてケーシング２０ に橋架されるように支持されている。
【0034】
第１の台座プレート３１および第２の台座プレート３２は、例えば、酸化アルミニウムの単結晶体であるサファイアからなる。第１の台座プレート３１および第２の台座プレート３２は、いずれもケーシング２０の内面から離間した位置にあって、前者は支持ダイアフラム４０の上面に接合され、後者は支持ダイアフラム４０の下面に接合されている。ここで、第１および第２の台座プレート３１、３２は、支持ダイアフラム４０の厚さに対して十分に厚くなっており、これにより、台座プレート３０の熱膨張率と支持ダイアフラム４０の熱膨張率との相違に起因した熱応力によって、台座プレート３０が反るのを防止している。
【0035】
第１の台座プレート３１および第２の台座プレート３２は、その略中央に、圧力センサ素子１１が備えるダイアフラム１２の受圧面が対向する空間Ｃ２と被測定流体Ｌが流入する導入部２０Ｖとを連通させるための導入孔３１ａおよび導入孔３２ａが開口している。また、第２の台座プレート３２の下面には、導入孔３２ａと空間Ｃ２とが連通するように、酸化アルミニウムベースの接合材を介して圧力センサ素子１１が接合されている。なお、第２の台座プレート３２と圧力センサ素子１１との接合は、周知の方法によって行われる。
【0036】
[支持ダイアフラム４０]
支持ダイアフラム４０は、上述したように、ケーシング２０を通じて台座プレート３０を橋架するために設けられた要素であって、インコネルの薄板からなり、その形状は、ケーシング２０の外周縁形状、具体的には、アッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端の外周縁形状と整合した形状を有する。支持ダイアフラム４０は、上面に第１の台座プレート３１が接合され下面に第２の台座プレート３２が接合された状態で、その外周部（周囲縁部）がアッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端に挟まれながら溶接等により接合されている。なお、支持ダイアフラム４０の厚さは、例えば本実施形態の場合数十ミクロンであって、第１および第２の台座プレート３１、３２より十分に薄い厚さとなっている。また、支持ダイアフラム４０の中央部には、導入孔３１ａおよび導入孔３２ａとともに、ダイアフラム１２の受圧面が対向する空間Ｃ２と被測定流体Ｌが流入する導入部２０Ｖとを連通させるための導入孔４０ａが開口している。
支持ダイアフラム４０は、上述したように、ケーシング２０を通じて台座プレート３０を橋架するために設けられた要素であって、インコネルの薄板からなり、その形状は、ケーシング２０の外周縁形状、具体的には、アッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端の外周縁形状と整合した形状を有する。支持ダイアフラム４０は、上面に第１の台座プレート３１が接合され下面に第２の台座プレート３２が接合された状態で、その外周部（周囲縁部）がアッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端に挟まれながら溶接等により接合されている。なお、支持ダイアフラム４０の厚さは、例えば本実施形態の場合数十ミクロンであって、第１および第２の台座プレート３１、３２より十分に薄い厚さとなっている。また、支持ダイアフラム４０の中央部には、導入孔３１ａおよび導入孔３２ａとともに、ダイアフラム１２の受圧面が対向する空間Ｃ２と被測定流体Ｌが流入する導入部２０Ｖとを連通させるための導入孔４０ａが開口している。
【0037】
[電極リード部５０]
電極リード部５０は、電極リードピン５１と金属製のシールド５２とを備え、電極リードピン５１は金属製のシールド５２にガラスなどの絶縁性材料からなるハーメチックシール５３によってその中央部分が埋設され、電極リードピン５１の両端部間で気密状態を保っている。電極リードピン５１およびシールド５２の一端は、カバー２３の上面から軸心ＣＬ２００に沿って外部へ突出し、後述するケーブル３００が備えるコネクタ部３２０と接続するように構成され、これにより、圧力センサ１Ａの出力を、外部に配設された増幅器（アンプ）および信号処理部に伝達するように構成されている。なお、シールド５２とカバー２３との間にも上述の通りハーメチックシール５３が介在している。また、電極リードピン５１の他方の端部には導電性を有するコンタクトバネ５５、５６が接続されている。
電極リード部５０は、電極リードピン５１と金属製のシールド５２とを備え、電極リードピン５１は金属製のシールド５２にガラスなどの絶縁性材料からなるハーメチックシール５３によってその中央部分が埋設され、電極リードピン５１の両端部間で気密状態を保っている。電極リードピン５１およびシールド５２の一端は、カバー２３の上面から軸心ＣＬ２００に沿って外部へ突出し、後述するケーブル３００が備えるコネクタ部３２０と接続するように構成され、これにより、圧力センサ１Ａの出力を、外部に配設された増幅器（アンプ）および信号処理部に伝達するように構成されている。なお、シールド５２とカバー２３との間にも上述の通りハーメチックシール５３が介在している。また、電極リードピン５１の他方の端部には導電性を有するコンタクトバネ５５、５６が接続されている。
【0038】
コンタクトバネ５５、５６は、導入部２０Ｖ から被測定流体Ｌが急に流れ込むことで生じる急激な圧力上昇に起因して圧力センサ素子１１が変移した場合（より具体的には、上記圧力上昇により支持ダイアフラム４０を通じてケーシング２０に橋架されている台座プレート３０が変移し、これに支持された圧力センサ素子１１が変移した場合）、この変移を吸収して圧力センサ素子１１の測定精度に影響が及ばないように設けられた弾性要素である。
【0039】
〔筐体１００〕
筐体１００は、センサユニット１０を収容する空間が内側に形成されたケーシング要素であって、例えば、ステンレス製の薄板材を折り曲げまたは接合等することで、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、その外形が八角柱体を呈するように形成されている。具体的には、長方形の薄板からなる８つの側面部と、略正八角形の薄板からなる略同一形態の下面部１０１および上面部１０２とから構成された１０面体として形成されている。筐体１００の軸心ＣＬは、例えば、小径円筒部２１ｂの軸心、または継手２００の軸心ＣＬ２００（被測定流体が流出入する配管の軸心）に一致するように構成されており、これにより、上記８側面部は、軸心ＣＬに対して平行な側面をもつ部位として形成され、上面部１０２および下面部１０１は、軸心ＣＬに対して垂直な面（ＸＹ平面に平行な面）をもつ部位として形成されている。
筐体１００は、センサユニット１０を収容する空間が内側に形成されたケーシング要素であって、例えば、ステンレス製の薄板材を折り曲げまたは接合等することで、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、その外形が八角柱体を呈するように形成されている。具体的には、長方形の薄板からなる８つの側面部と、略正八角形の薄板からなる略同一形態の下面部１０１および上面部１０２とから構成された１０面体として形成されている。筐体１００の軸心ＣＬは、例えば、小径円筒部２１ｂの軸心、または継手２００の軸心ＣＬ２００（被測定流体が流出入する配管の軸心）に一致するように構成されており、これにより、上記８側面部は、軸心ＣＬに対して平行な側面をもつ部位として形成され、上面部１０２および下面部１０１は、軸心ＣＬに対して垂直な面（ＸＹ平面に平行な面）をもつ部位として形成されている。
【0040】
筐体１００の下面部１０１および上面部１０２には、それぞれ貫通孔が形成されている。例えば、下面部１０１には、図１(ｂ)に示すように、センサユニット１０と継手２００との接合部ＣＰ（小径円筒部２１ｂと後述する継手接合部２２０とが接合してなる部分）が貫通する第１の貫通孔１０３が形成されており、また、上面部１０２には、図１(ａ)に示すように、ケーブル３００が貫入する第２の貫通孔１０４が形成されている。これら２つの貫通孔は、いずれも軸心ＣＬを内側に含む位置（軸心ＣＬが貫通する位置）に形成されている。
【0041】
筐体１００は、センサユニット１０の全方位（上下方向、左右方向および前後方向）を覆うべく、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、２つの分割筐体から構成されている。この２つの分割筐体は、例えば、軸心ＣＬに平行な面（例えばＸＺ平面に平行な面）に沿って筐体１００を分割するようにして形成された第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０からなる。当該第１の分割筐体１１０と第２の分割筐体１２０においては、互いの合わせ面が軸心ＣＬに沿って形成され、当該合わせ面（後述する端面１１０ａ、１２０ａ）によって囲まれた開口が、軸心ＣＬに平行な面内に形成されることになる。
【0042】
[第１の分割筐体１１０]
第１の分割筐体１１０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの５つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第１の分割下面部１１１と、同上面部１０２の一部をなす第１の分割上面部１１２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
第１の分割筐体１１０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの５つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第１の分割下面部１１１と、同上面部１０２の一部をなす第１の分割上面部１１２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
【0043】
上記５つの側面部は、いずれも側面視が長方形の薄板部材からなり、隣接する部位同士が互いに連結し、端部に位置する側面部が備える端面１１０ａによって第２の分割筐体１２０との合わせ面の一部が形成されている。当該合わせ面は、軸心ＣＬに平行な面（ＸＺ平面に平行な面）として形成され、これにより、第１の分割筐体１１０の開口部が、軸心ＣＬに平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして形成されることになる。
【0044】
第１の分割下面部１１１は、図２（ｂ）に示すように、底面視が略正八角形の薄板にＵ字状の切欠き凹部（以下、この切欠き凹部を「第１の分割下面切欠部１１３」と称する。）が設けられた部位として形成されている。この第１の分割下面切欠部１１３は、その開口端が八辺のうちの一辺、具体的には、後述する第２の分割筐体１２０を構成する第２の分割下面部１２１と対向する一辺を含む位置にあって、当該一辺から第１の分割下面部１１１の中心に向けて延在する（例えば＋Ｙ方向へ延在する）空間として形成されている。また、この第１の分割下面切欠部１１３は、接合部ＣＰが貫通する第１の貫通孔１０３の一部を形成している。すなわち、第１の分割下面切欠部１１３を画成する周縁側壁面１１３ａ（この周縁側壁面１１３ａは、特許請求の範囲に記載の「少なくとも２つの分割筐体の端面」に相当する。）は、第１の貫通孔１０３の壁面１０３ａの一部を形成している（図１（ｂ）を参照）。このため、第１の分割下面切欠部１１３の開口端の幅は、接合部ＣＰの最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0045】
第１の分割上面部１１２は、図２（ａ）に示すように、その平面視が正八角形を画成する８辺のうちの５辺と２端点を結んだ対角線とによって囲まれた六角状の薄板部材からなり、さらに、Ｕ字状の切欠き凹部（以下、この切欠き凹部を「第１の分割上面切欠部１１４」と称する。）が設けられている。この第１の分割上面切欠部１１４は、上記対角線の略中央に開口端をもち、当該開口端から中心部に向かって延在する（例えば＋Ｙ方向へ延在する）空間として形成されている。第１の分割上面切欠部１１４は、ケーブル３００が貫入する第２の貫通孔１０４の一部を形成している。すなわち、第１の分割上面切欠部１１４を画成する周縁側壁面１１４ａ（この周縁側壁面１１４ａは、特許請求の範囲に記載の「少なくとも２つの分割筐体の端面」に相当する。）は、第２の貫通孔１０４の壁面１０４ａの一部を形成している（図１（ａ）を参照）。第１の分割上面切欠部１１４の開口端の幅は、例えば、ケーブル３００（より具体的には、後述するケーブル本体部３１０）の最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0046】
[第２の分割筐体１２０]
第２の分割筐体１２０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの３つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第２の分割下面部１２１と、同上面部１０２の一部をなす第２の分割上面部１２２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
第２の分割筐体１２０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの３つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第２の分割下面部１２１と、同上面部１０２の一部をなす第２の分割上面部１２２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
【0047】
上記３つの側面部は、いずれも側面視が長方形の薄板部材からなり、隣接する部位同士が互いに連結し、端部に位置する側面部が備える端面１２０ａによって第１の分割筐体１１０との合わせ面の一部が形成されている。当該合わせ面は、軸心ＣＬに平行な面（例えばＸＺ平面）に沿って形成され、これにより、第２の分割筐体１２０の開口部が、軸心ＣＬに平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして形成されることとなる。
【0048】
第２の分割下面部１２１は、図２（ｂ）に示すように、底面視が正八角形の一辺と略同じ長さの４辺によって形成された略矩形状の薄板からなる。より具体的には、上記３側面部のうちの中央に位置する側面部の下端から筐体１００の中心部に向けて延在する（例えば＋Ｙ方向へ延在する）底面視略矩形状の凸状部（以下、この凸状部を「第２の分割下面凸部１２３」と称することがある。本実施の形態では、この第２の分割下面凸部１２３と第２の分割下面部１２１とが実質的に同一部位を表すことになる。）として形成されている。第２の分割下面凸部１２３（第２の分割下面部１２１）の周縁を画成する周縁側壁面のうち、第１の分割下面部１１１に形成された第１の分割下面切欠部１１３と対向する周縁側壁面１２３ａ（この周縁側壁面１２３ａは、特許請求の範囲に記載の「少なくとも２つの分割筐体の端面」に相当する。）は、接合部ＣＰが貫通する第１の貫通孔１０３の壁面１０３ａの一部を形成している（図１（ｂ）を参照）。このため、周縁側壁面１２３ａの幅（Ｘ軸に沿った方向の長さ）は、接合部ＣＰの最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0049】
第２の分割上面部１２２は、図２（ａ）に示すように、平面視略正八角形状の薄板部材から４等分した部分（具体的には、正八角形状を形成する８辺のうちの互いが直交する２組の辺にそれぞれ平行な２つの分割線によって４等分した部分）を取除いた形態にＵ字状の切欠き凹部（以下、「第２の分割上面切欠部１２４」と称する。）が形成された薄板部材からなる。第２の分割上面切欠部１２４は、上記２つの分割線が交差する位置に設けられた空間であって、ケーブル３００が貫入する第２の貫通孔１０４の一部を形成する（図１（ａ）を参照）。すなわち、第２の分割上面切欠部１２４を画成する周縁側壁面１２４ａ（この周縁側壁面１２４ａは、特許請求の範囲に記載の「少なくとも２つの分割筐体の端面」に相当する。）は、第２の貫通孔１０４の壁面１０４ａの一部を形成する。このため、第２の分割上面切欠部１２４の開口端の幅は、ケーブル３００（より具体的には、後述するケーブル本体部３１０）の最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0050】
〔継手２００〕
継手２００は、被測定流体が流出入する配管と圧力センサ１Ａとが連接するための接続要素であって、例えば、互いが一体となって連結する継手本体部２１０と継手接合部２２０とから構成されている。
継手本体部２１０は、上記配管と同一の軸心をもつステンレス製の六角筒状部材から構成され、上記配管と螺合するためのネジ山（雌ネジ）が内側壁面に形成されている。また、平面視形状（横断面形状）が略正六角形を呈している継手本体部２１０の外周側壁には、例えばスパナが係合するように構成されている。
継手接合部２２０は、センサユニット１０が備える小径円筒部２１ｂと、例えば溶接により接合される部位であって、内側に導入部２０Ｖと連通する通路が内側に形成された管状部材から構成されている。小径円筒部２１ｂと接合された当該継手接合部２２０は、上述したように、接合部ＣＰを形成している。
継手２００は、被測定流体が流出入する配管と圧力センサ１Ａとが連接するための接続要素であって、例えば、互いが一体となって連結する継手本体部２１０と継手接合部２２０とから構成されている。
継手本体部２１０は、上記配管と同一の軸心をもつステンレス製の六角筒状部材から構成され、上記配管と螺合するためのネジ山（雌ネジ）が内側壁面に形成されている。また、平面視形状（横断面形状）が略正六角形を呈している継手本体部２１０の外周側壁には、例えばスパナが係合するように構成されている。
継手接合部２２０は、センサユニット１０が備える小径円筒部２１ｂと、例えば溶接により接合される部位であって、内側に導入部２０Ｖと連通する通路が内側に形成された管状部材から構成されている。小径円筒部２１ｂと接合された当該継手接合部２２０は、上述したように、接合部ＣＰを形成している。
【0051】
〔ケーブル３００〕
ケーブル３００は、例えば、センサユニット１０から出力される電気信号（例えば電圧値を含む電気信号）を増幅するために圧力センサ１Ａの外部に配置されたアンプと電気的に接続するための部位あって、ケーブル本体部３１０とコネクタ部３２０とから構成されている。
ケーブル本体部３１０は、導電性材料からなる複数の導線３１０ａと、これら複数の導線３１０ａを覆う導電材料からなるシールド部材３１０ｂおよび非導電性材料からなる被覆材３１０ｃとから構成されている。また、ケーブル本体部３１０の先端部には、アンプと接続するコネクタが取付けられている。
コネクタ部３２０は、センサユニット１０に設けられた電極リード部５０と接続する部位であって、電極リード部５０（より具体的には、電極リードピン５１）と着脱自在に係合する端子が設けられている。
ケーブル３００は、例えば、センサユニット１０から出力される電気信号（例えば電圧値を含む電気信号）を増幅するために圧力センサ１Ａの外部に配置されたアンプと電気的に接続するための部位あって、ケーブル本体部３１０とコネクタ部３２０とから構成されている。
ケーブル本体部３１０は、導電性材料からなる複数の導線３１０ａと、これら複数の導線３１０ａを覆う導電材料からなるシールド部材３１０ｂおよび非導電性材料からなる被覆材３１０ｃとから構成されている。また、ケーブル本体部３１０の先端部には、アンプと接続するコネクタが取付けられている。
コネクタ部３２０は、センサユニット１０に設けられた電極リード部５０と接続する部位であって、電極リード部５０（より具体的には、電極リードピン５１）と着脱自在に係合する端子が設けられている。
【0052】
＜圧力センサ１Ａの組立工順＞
つぎに、圧力センサ１Ａの組立工順を、図４および図５に基づいて説明する。
はじめに、継手２００を治具（図示せず）に設置する。このとき、継手２００は、自身の軸心ＣＬ２００が垂直となる向きに配置される（ステップＳ１、組立態様１）。なお、継手２００の大きさ（呼び径）は、被測定流体が流出入する配管の大きさ（呼び径）に応じて適宜変更される。
つぎに、圧力センサ１Ａの組立工順を、図４および図５に基づいて説明する。
はじめに、継手２００を治具（図示せず）に設置する。このとき、継手２００は、自身の軸心ＣＬ２００が垂直となる向きに配置される（ステップＳ１、組立態様１）。なお、継手２００の大きさ（呼び径）は、被測定流体が流出入する配管の大きさ（呼び径）に応じて適宜変更される。
【0053】
つづいて、継手２００とロアハウジング２１とを接合する。具体的には、継手接合部２２０（継手２００側）と小径円筒部２１ｂ（ロアハウジング２１側）とを、例えば、溶接によって接合する（ステップＳ２、組立態様２）。
【0054】
つぎに、ロアハウジング２１の内側に、圧力センサ素子１１等を組み入れる。具体的には、ロアハウジング２１の内側に、圧力センサ素子１１が載置された台座プレート３０およびこの台座プレート３０と接合しこれを支持する支持ダイアフラム４０を組み入れる（ステップＳ３）。このとき、支持ダイアフラム４０の下面をロアハウジング２１の上端面に載置する。
【0055】
つづいて、ロアハウジング２１の上にアッパーハウジング２２およびカバー２３を被せる（ステップＳ４、組立態様３）。具体的には、ロアハウジング２１の上端面に載置された支持ダイアフラム４０の上面にアッパーハウジング２２の下端面を載置し、さらにアッパーハウジング２２の上端面にカバー２３の下端面を載置する。その後、それぞれの合わせ面を、例えば溶接によって接合する。
【0056】
以上のステップＳ１ないしステップＳ４を経ることで、センサユニット１０と継手２００とが一体となったサブアセンブリ４００（このサブアセンブリ４００は、特許請求の範囲に記載の「センサ本体」に相当する。）が組立てられる。ステップＳ１ないしステップＳ４は、後述するステップＳ５ないしステップＳ７と独立して実施してもよい。例えば、種々のサイズ（呼び径）の配管に対応すべく、異なるサイズ（呼び径）の継手２００がセンサユニット１０に接合された複数の仕様のサブアセンブリ４００を、生産計画に基づいて予め作り溜めしておいてよい。
【0057】
ステップＳ１ないしステップＳ４を通じて組立てられたサブアセンブリ４００には、ステップＳ５を通じてケーブル３００が取付けられる（組立態様４）。具体的には、センサユニット１０に配設された電極リード部５０とケーブル３００が備えるコネクタ部３２０とを接続する。
【0058】
つづいて、ケーブル３００が取付けられたサブアセンブリ４００に、第１の分割筐体１１０を組付ける（ステップＳ６、組立態様５）。具体的には、第１の分割筐体１１０を、例えば左方向から右方向（＋Ｙ方向から－Ｙ方向）へ移動させながら治具に固定されたサブアセンブリ４００に組付ける。このとき、第１の分割筐体１１０の第１の分割下面部１１１に形成された第１の分割下面切欠部１１３にサブアセンブリ４００に形成された接合部ＣＰを係合させ、第１の分割筐体１１０の第１の分割上面部１１２に形成された第１の分割上面切欠部１１４にケーブル３００を係合させる（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
その後、第１の分割下面部１１１に形成された３つの穴Ｈ１にボルトＢ１を挿入し、センサユニット１０に形成された穴Ｈ１´（穴Ｈ１´は、サブアセンブリ４００に第１の分割筐体１１０が組付けられた際に穴Ｈと連通する位置に配設されている）の内側壁面に形成された雌ネジとボルトＢ１とを螺合させて、第１の分割筐体１１０とサブアセンブリ４００とを結合する。
その後、第１の分割下面部１１１に形成された３つの穴Ｈ１にボルトＢ１を挿入し、センサユニット１０に形成された穴Ｈ１´（穴Ｈ１´は、サブアセンブリ４００に第１の分割筐体１１０が組付けられた際に穴Ｈと連通する位置に配設されている）の内側壁面に形成された雌ネジとボルトＢ１とを螺合させて、第１の分割筐体１１０とサブアセンブリ４００とを結合する。
【0059】
つづいて、第２の分割筐体１２０を組付ける（ステップＳ７、組立態様６）。具体的には、第２の分割筐体１２０を、例えば右方向から左方向（－Ｙ方向から＋Ｙ方向）へ移動させながら治具に固定されたサブアセンブリ４００に組付ける。このとき、第２の分割筐体１２０に形成された第２の分割下面凸部１２３（第２の分割下面部１２１）の周縁側壁面１２３ａをサブアセンブリ４００に形成された接合部ＣＰに当接させ（または近接させ）、第２の分割筐体１２０における第２の分割上面部１２２に形成された第２の分割上面切欠部１２４に、ケーブル３００を係合させる（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
【0060】
以上のステップを経ることで、サブアセンブリ４００にケーブル３００、第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０が組付けられる。その後、第２の分割上面部１２２に開口する貫通孔Ｈ２´にボルトＢ２を貫通させ、さらに、第１の分割上面部１１２に開口する貫通孔Ｈ２の内側壁面に形成された雌ネジにボルトＢ２を螺合させる。これにより、圧力センサ１Ａの組立が完了する（ステップＳ８、組立態様６）。
【0061】
＜第１の実施の形態に係る圧力センサ１Ａの効果＞
上記構成の圧力センサ１Ａによれば、以下の効果がもたらされる。
<効果１> ハウジングによって保護されたセンサユニットをさらに筐体で覆うことで、粉塵等に対して耐性の高い圧力センサを提供することができる。
<効果２> 種々のサイズの配管との接続を可能にすべく異なるサイズ（呼び径）の継手２００が接合された仕様の異なる圧力センサを製造する場合において、筐体の形態（サイズ）を変更する必要がないことから、部品コストおよび生産コストを抑えることができる。
<効果３> 筐体の形態（サイズ）が継手のサイズ（呼び径）に左右されないことから、必要最小限の大きさ、例えば、センサユニット１０が収容できる必要最小限の大きさに抑えることができるため、小型の圧力センサを提供することができる。
<効果４> 種々のサイズの配管との接続を可能にすべく異なるサイズ（呼び径）の継手２００が接合された仕様の異なるサブアセンブリ４００を中間工程で予め作り溜めしておくことができる。これにより、サブアセンブリ４００の状態で仕様別に仕分けしながら部品在庫として保管・管理することができるようになる。また、筐体の組立のみの最終工程（溶接等の機械加工を伴わない最終工程）によって製品を製造することができるようになるため、製品製造リードタイムを短縮することができる。
<効果５> 筐体１００を構成する第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０においては、互いの合わせ面が、ケーブル３００が伸長する方向、すなわち、軸心ＣＬが延在する方向に沿って形成される。これにより、当該合わせ面によって囲まれたそれぞれの開口部が、上述したように、軸心ＣＬに平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして形成されることになる。このため、組立の際に実施される筐体内でのケーブル３００の取り回し作業が容易になり、組立性が向上する。さらに、ケーブル３００の取り回し作業が容易になることで、上述した本実施の形態と異なる組立工順も可能になる。例えば、第１の分割筐体１１０を組付ける工程を経た後、ケーブル３００をサブアセンブリ４００に取付ける工程を経ることも可能になる。当該組立工順によれば、例えばケーブル３００の重量が大きい場合に、第２の貫通孔１０４の壁面を形成する第１の分割上面切欠部１１４の周縁側壁面１１４ａを支持面として活用して組立てることができるため、センサユニット１０側の接続端子に過度な負荷がかかることを防止できる。このように、本実施の形態によれば、組立工順の自由度が広がり、状況に応じて効率的な組立工順を適宜とることができるようになる。さらに、ケーブル３００の先端部に配設された増幅器（アンプ）と接続するためのコネクタが、例えばその外形寸法が第２の貫通孔１０４の開口寸法より大きく、かつケーブル本体部３１０と一体となって接合している場合であっても、筐体の形態を変更し、および／または工順を変更することなく容易に取付けることができるようになる。
上記構成の圧力センサ１Ａによれば、以下の効果がもたらされる。
<効果１> ハウジングによって保護されたセンサユニットをさらに筐体で覆うことで、粉塵等に対して耐性の高い圧力センサを提供することができる。
<効果２> 種々のサイズの配管との接続を可能にすべく異なるサイズ（呼び径）の継手２００が接合された仕様の異なる圧力センサを製造する場合において、筐体の形態（サイズ）を変更する必要がないことから、部品コストおよび生産コストを抑えることができる。
<効果３> 筐体の形態（サイズ）が継手のサイズ（呼び径）に左右されないことから、必要最小限の大きさ、例えば、センサユニット１０が収容できる必要最小限の大きさに抑えることができるため、小型の圧力センサを提供することができる。
<効果４> 種々のサイズの配管との接続を可能にすべく異なるサイズ（呼び径）の継手２００が接合された仕様の異なるサブアセンブリ４００を中間工程で予め作り溜めしておくことができる。これにより、サブアセンブリ４００の状態で仕様別に仕分けしながら部品在庫として保管・管理することができるようになる。また、筐体の組立のみの最終工程（溶接等の機械加工を伴わない最終工程）によって製品を製造することができるようになるため、製品製造リードタイムを短縮することができる。
<効果５> 筐体１００を構成する第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０においては、互いの合わせ面が、ケーブル３００が伸長する方向、すなわち、軸心ＣＬが延在する方向に沿って形成される。これにより、当該合わせ面によって囲まれたそれぞれの開口部が、上述したように、軸心ＣＬに平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして形成されることになる。このため、組立の際に実施される筐体内でのケーブル３００の取り回し作業が容易になり、組立性が向上する。さらに、ケーブル３００の取り回し作業が容易になることで、上述した本実施の形態と異なる組立工順も可能になる。例えば、第１の分割筐体１１０を組付ける工程を経た後、ケーブル３００をサブアセンブリ４００に取付ける工程を経ることも可能になる。当該組立工順によれば、例えばケーブル３００の重量が大きい場合に、第２の貫通孔１０４の壁面を形成する第１の分割上面切欠部１１４の周縁側壁面１１４ａを支持面として活用して組立てることができるため、センサユニット１０側の接続端子に過度な負荷がかかることを防止できる。このように、本実施の形態によれば、組立工順の自由度が広がり、状況に応じて効率的な組立工順を適宜とることができるようになる。さらに、ケーブル３００の先端部に配設された増幅器（アンプ）と接続するためのコネクタが、例えばその外形寸法が第２の貫通孔１０４の開口寸法より大きく、かつケーブル本体部３１０と一体となって接合している場合であっても、筐体の形態を変更し、および／または工順を変更することなく容易に取付けることができるようになる。
【0062】
さらに、筐体１００が八角柱を呈していることで、以下のような効果がもたらされる。
<効果６> 圧力センサが、例えば半導体デバイス等の製造装置の成膜・エッチングプロセスにおける真空計として使用される場合、被測定流体に含まれる成膜物質がダイアフラムの受圧面に付着することが想定される。成膜物質が付着すると、成膜過程で生じる膜の内部応力によってダイアフラムが変形させられて測定誤差が生じる。このため、上記使用環境下では、筐体の外周面を取り囲むようにヒータブロックを設けて筐体内を加熱し、これによりダイアフラムの周辺の温度を成膜物質が析出することのない高温度に保つことで、成膜物質がダイアフラムに堆積しないように構成されている。具体的には、圧力センサの周囲に空気層が形成されるように円筒状の開口空間を有するヒータブロックが設置される。しかし、圧力センサの周囲にヒータブロックを設置する際、加工精度や取付精度等が適切でないことで圧力センサの外枠を形成する筐体（特に筐体の側面）の一部とヒータブロック（より具体的には、上記開口空間を画成する円筒状の内周側壁面）とが接触することがある。ここで、筐体が円筒状を呈している従来品にあっては、上記接触状態にあるとき、接触部近傍の領域、すなわち、曲率半径の大きな円（上記円筒状の内周側壁面）に曲率半径の小さな円（筐体側面）が内接する部分の近傍において広範囲にわたって空気層が薄くなる。このため、従来品においては、上記接触状態にあるとき、熱流束の乱れ（ムラ）が顕著に生じて圧力センサに温度分布（各所の温度のバラツキ）を生じさせる。この温度分布は、測定誤差を生じさせる要因となる。これに対し、八角柱を呈する筐体１００を備え圧力センサ１Ａにおいては、上記接触状態にあるとき、接触部近傍の空気層が薄くなる領域を、円筒状の筐体からなる従来品に比べて小さくすることができる。これにより、熱流束の乱れ（ムラ）およびこれに起因した圧力センサの温度分布（各所の温度のバラツキ）を小さく抑えることができ、結果として測定誤差を小さくすることができる。
<効果７> 筐体１００を八角柱としたことで、圧力センサ素子１１（センサユニット１０）を収容する内部空間が適切に確保されるとともに、上記接触状態にあるときの接触部分近傍の空気層Ａを適度に確保することができる。すなわち、スペースユーティリティと上記効果（効果６）とを高い次元で両立することができる。
<効果８> 円筒状の筐体をもつ圧力センサの場合、転がって床等に落とすことがあるが、本実施の形態に係る圧力センサ１によれば、八角柱の筐体１００を備えることで転がりによる落下を防止することができる。これにより、取付作業等を容易かつ安全・確実に行うことが出来るようになるなど、扱いやすく実用性の高い圧力センサを提供することができる。
<効果６> 圧力センサが、例えば半導体デバイス等の製造装置の成膜・エッチングプロセスにおける真空計として使用される場合、被測定流体に含まれる成膜物質がダイアフラムの受圧面に付着することが想定される。成膜物質が付着すると、成膜過程で生じる膜の内部応力によってダイアフラムが変形させられて測定誤差が生じる。このため、上記使用環境下では、筐体の外周面を取り囲むようにヒータブロックを設けて筐体内を加熱し、これによりダイアフラムの周辺の温度を成膜物質が析出することのない高温度に保つことで、成膜物質がダイアフラムに堆積しないように構成されている。具体的には、圧力センサの周囲に空気層が形成されるように円筒状の開口空間を有するヒータブロックが設置される。しかし、圧力センサの周囲にヒータブロックを設置する際、加工精度や取付精度等が適切でないことで圧力センサの外枠を形成する筐体（特に筐体の側面）の一部とヒータブロック（より具体的には、上記開口空間を画成する円筒状の内周側壁面）とが接触することがある。ここで、筐体が円筒状を呈している従来品にあっては、上記接触状態にあるとき、接触部近傍の領域、すなわち、曲率半径の大きな円（上記円筒状の内周側壁面）に曲率半径の小さな円（筐体側面）が内接する部分の近傍において広範囲にわたって空気層が薄くなる。このため、従来品においては、上記接触状態にあるとき、熱流束の乱れ（ムラ）が顕著に生じて圧力センサに温度分布（各所の温度のバラツキ）を生じさせる。この温度分布は、測定誤差を生じさせる要因となる。これに対し、八角柱を呈する筐体１００を備え圧力センサ１Ａにおいては、上記接触状態にあるとき、接触部近傍の空気層が薄くなる領域を、円筒状の筐体からなる従来品に比べて小さくすることができる。これにより、熱流束の乱れ（ムラ）およびこれに起因した圧力センサの温度分布（各所の温度のバラツキ）を小さく抑えることができ、結果として測定誤差を小さくすることができる。
<効果７> 筐体１００を八角柱としたことで、圧力センサ素子１１（センサユニット１０）を収容する内部空間が適切に確保されるとともに、上記接触状態にあるときの接触部分近傍の空気層Ａを適度に確保することができる。すなわち、スペースユーティリティと上記効果（効果６）とを高い次元で両立することができる。
<効果８> 円筒状の筐体をもつ圧力センサの場合、転がって床等に落とすことがあるが、本実施の形態に係る圧力センサ１によれば、八角柱の筐体１００を備えることで転がりによる落下を防止することができる。これにより、取付作業等を容易かつ安全・確実に行うことが出来るようになるなど、扱いやすく実用性の高い圧力センサを提供することができる。
【0063】
≪第２の実施の形態≫
つぎに、本発明の第２の実施の形態に係る圧力センサ１Ｂを、図６ないし図１０に基づいて説明する。この圧力センサ１Ｂは、ケーブル３００を挟持する機構Ｍが設けられている点が上述した第１の実施の形態に係る圧力センサ１Ａと相違し、これ以外の構成は圧力センサ１Ａと同一である。以下、ケーブル３００を挟持する機構Ｍについて説明する。
つぎに、本発明の第２の実施の形態に係る圧力センサ１Ｂを、図６ないし図１０に基づいて説明する。この圧力センサ１Ｂは、ケーブル３００を挟持する機構Ｍが設けられている点が上述した第１の実施の形態に係る圧力センサ１Ａと相違し、これ以外の構成は圧力センサ１Ａと同一である。以下、ケーブル３００を挟持する機構Ｍについて説明する。
【0064】
〔ケーブル３００を挟持する機構Ｍ〕
ケーブル３００を挟持する機構Ｍは、図６および図８に示すように、第１の分割筐体１１０の第１の分割上面部１１２に配設されたクリップ受け１５０と、これと協働してケーブル３００を挟持するクリップ５００と、クリップ受け１５０とクリップ５００とを所定の軸力で連結させるボルトＢ５００とから構成されている。
ケーブル３００を挟持する機構Ｍは、図６および図８に示すように、第１の分割筐体１１０の第１の分割上面部１１２に配設されたクリップ受け１５０と、これと協働してケーブル３００を挟持するクリップ５００と、クリップ受け１５０とクリップ５００とを所定の軸力で連結させるボルトＢ５００とから構成されている。
【0065】
[クリップ受け１５０]
クリップ受け１５０は、例えば、略矩形状の断面をもつステンレス製の角材を略コの字状に折り曲げることで形成される。当該形態のクリップ受け１５０においては、図８に示すように、互いが対向しながら所定の方向、例えば左右方向（Ｙ軸に沿った方向）へ平行に延在する部分によって固定部１５１、１５２が形成され、また、固定部１５１、１５２と直交する方向（Ｘ軸に沿った方向）へ延在しながらこれらと連接する部分によって受け部１５３が形成されている。このうち受け部１５３には、クリップ５００が挿入される方向、例えば右から左に向かう方向（Ｙ軸に沿った方向）へ伸長する一対の貫通孔１５４、１５４が設けられている。これら貫通孔１５４、１５４の内側壁面には、取付ボルトＢ５００が螺合する雌ネジが形成されている。
クリップ受け１５０は、例えば、略矩形状の断面をもつステンレス製の角材を略コの字状に折り曲げることで形成される。当該形態のクリップ受け１５０においては、図８に示すように、互いが対向しながら所定の方向、例えば左右方向（Ｙ軸に沿った方向）へ平行に延在する部分によって固定部１５１、１５２が形成され、また、固定部１５１、１５２と直交する方向（Ｘ軸に沿った方向）へ延在しながらこれらと連接する部分によって受け部１５３が形成されている。このうち受け部１５３には、クリップ５００が挿入される方向、例えば右から左に向かう方向（Ｙ軸に沿った方向）へ伸長する一対の貫通孔１５４、１５４が設けられている。これら貫通孔１５４、１５４の内側壁面には、取付ボルトＢ５００が螺合する雌ネジが形成されている。
【0066】
上記構成のクリップ受け１５０は、例えば、第１の分割筐体１１０が備える第１の分割上面部１１２に、受け部１５３が左方向外側（＋Ｙ方向の側）を向くように載置され、かつ固定部１５１、１５２が、第１の分割筐体１１０が備える５つの側面部のうちの平行に配置されている２つの側面部１１５、１１６の上端部（この上端部は、第１の分割上面部１１２よりも上方（＋Ｚ方向）へ突出するように形成されている）の内側面と対向するように載置されている。固定部１５１、１５２と２つの側面部１１５、１１６の上端部とは、例えば、溶接や接着剤によって一体的に接合されている。
三方（＋Ｙ、＋Ｘおよび－Ｘ方向）が固定部１５１、１５２および受け部１５３によって囲まれかつ下方（－Ｚ方向）が第１の分割上面部１１２によって囲まれた領域には、クリップ５００が挿入される。なお、当該領域の下方、すなわち、第１の分割上面部１１２には、上述したように、ケーブル３００が貫入する第２の貫通孔１０４の一部をなす第１の分割上面切欠部１１４が形成されている。
三方（＋Ｙ、＋Ｘおよび－Ｘ方向）が固定部１５１、１５２および受け部１５３によって囲まれかつ下方（－Ｚ方向）が第１の分割上面部１１２によって囲まれた領域には、クリップ５００が挿入される。なお、当該領域の下方、すなわち、第１の分割上面部１１２には、上述したように、ケーブル３００が貫入する第２の貫通孔１０４の一部をなす第１の分割上面切欠部１１４が形成されている。
【0067】
[クリップ５００]
クリップ５００は、図８に示すように、例えば、略直方体を呈したステンレス製の部材から形成され、上記領域に嵌入可能な形態（大きさおよび形状）を有している。具体的には、短辺を含む２つの垂直側壁５０１、５０２と長辺を含む２つの垂直側壁５０３、５０４とを備える。
クリップ５００は、図８に示すように、例えば、略直方体を呈したステンレス製の部材から形成され、上記領域に嵌入可能な形態（大きさおよび形状）を有している。具体的には、短辺を含む２つの垂直側壁５０１、５０２と長辺を含む２つの垂直側壁５０３、５０４とを備える。
【0068】
垂直側壁５０１、５０２は、クリップ受け１５０の固定部１５１、１５２と対向し、互いの間隔は、固定部１５１、１５２のそれよりも小さく設定されている。なお、クリップ５００の動き（例えば前後方向／±Ｘ方向の動き）が固定部１５１、１５２によって規制されるよう、垂直側壁５０１、５０２の間隔は、固定部１５１、１５２のそれよりも僅かに小さく設定されることが好ましい。
【0069】
垂直側壁５０３、５０４のうちの１つ、例えば垂直側壁５０３は、クリップ受け１５０にクリップ５００が組付けられた際に受け部１５３と対向し、その略中央に、凹状部５０５が形成されている。この凹状部５０５は、クリップ５００がクリップ受け１５０に挿入された際に第１の分割上面切欠部１１４と連通する位置にあって、クリップ受け１５０（より具体的には受け部１５３）と協働することでケーブル３００が貫入される貫通孔を形成する。凹状部５０５は、例えば平面視において略正方形を呈し、その一辺の長さがケーブル３００の直径よりも小さくなるように設定されている。このため、クリップ受け１５０の受け部１５３とクリップ５００の垂直側壁５０３とが当接する位置まで双方が組付けられると、ケーブル３００の直径よりも小さな一辺からなる平面視略正方形状の上記貫通孔が形成されることになる。
【0070】
さらに、クリップ５００には、垂直側壁５０３、５０４を貫く一対の貫通孔５０６、５０６が設けられている。この一対の貫通孔５０６、５０６は、クリップ５００がクリップ受け１５０に挿入されたときクリップ受け１５０に設けられた一対の貫通孔１５４、１５４と連通する位置にあって、かつ軸心が一致するように形成されている。
【0071】
＜圧力センサ１Ｂの組立工順＞
つぎに、圧力センサ１Ｂの組立工順を、図９および図１０に基づいて説明する。この圧力センサ１Ｂの組立工順は、ステップＳ１ないしステップＳ８からなる圧力センサ１Ａの組立工順に、ケーブル３００を挟持する機構Ｍを組立てる工順（ステップＳ９およびステップＳ１０）が追加されたものである。
つぎに、圧力センサ１Ｂの組立工順を、図９および図１０に基づいて説明する。この圧力センサ１Ｂの組立工順は、ステップＳ１ないしステップＳ８からなる圧力センサ１Ａの組立工順に、ケーブル３００を挟持する機構Ｍを組立てる工順（ステップＳ９およびステップＳ１０）が追加されたものである。
【0072】
ケーブル３００を挟持する機構Ｍを組立てるにあたり、先ずは第１の分割筐体１１０が備えるクリップ受け１５０の上記領域にクリップ５００を組付ける（ステップＳ９、組立態様７）。具体的には、互いが対向する受け部１５３（クリップ受け１５０側）と垂直側壁５０３（クリップ５００側）とがケーブル３００と当接し、こられ２つの部位によってケーブル３００を挟み込む位置までクリップ５００を上記領域に挿入する。
【0073】
その後、クリップ５００に設けられた一対の貫通孔５０６、５０６にボルトＢ５００、Ｂ５００を嵌入させ、さらに、クリップ受け１５０に設けられた一対の貫通孔１５４、１５４の内側壁面に形成された雌ネジにボルトＢ５００、Ｂ５００を螺合させる。これにより、ケーブル３００は、所定の軸力によってクリップ受け１５０とクリップ５００とによって挟持される（より具体的には、受け部１５３（クリップ受け１５０側）と垂直側壁５０３（クリップ５００側）とによって挟持される）こととなる。以上により、圧力センサ１Ｂの組立てが完了する（ステップＳ１０、組立態様８）。
【0074】
＜第２の実施の形態に係る圧力センサ１Ｂの効果＞
上記構成の圧力センサ１Ｂによれば、圧力センサ１Ａによってもたらされる上記効果に加え、以下の効果がもたらされる。
<効果９> 挟持機構Ｍが設けられることで、ケーブル３００に大きな引張荷重が加わっても、センサユニット１０からケーブル３００が外れることを防止することができる。また、上記引張荷重を複数の導線から構成されるケーブル３００全体で受けることで特定の導線が断線することを防止することができる。これにより、外力に対する耐性が高く信頼性に優れた圧力センサを提供することができる。
上記構成の圧力センサ１Ｂによれば、圧力センサ１Ａによってもたらされる上記効果に加え、以下の効果がもたらされる。
<効果９> 挟持機構Ｍが設けられることで、ケーブル３００に大きな引張荷重が加わっても、センサユニット１０からケーブル３００が外れることを防止することができる。また、上記引張荷重を複数の導線から構成されるケーブル３００全体で受けることで特定の導線が断線することを防止することができる。これにより、外力に対する耐性が高く信頼性に優れた圧力センサを提供することができる。
【0075】
以上、本発明の好ましい実施の形態に関して、第１の実施の形態に係る圧力センサ１Ａおよび第２の実施の形態に係る圧力センサ１Ｂついて説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、明細書および図面に直接記載のない構成であっても、本発明の作用・効果を奏する以上、本発明の技術的思想の範囲内である。さらに、上記記載および各図に示した実施の形態は、その目的および構成等に矛盾がない限り、互いの記載内容を組み合わせることも可能である。
【0076】
例えば、第１の実施の形態に係る圧力センサ１Ａおよび第２の実施の形態に係る圧力センサ１Ｂにおいては、筐体１００が２つの分割筐体（第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０）とから構成されているが、これを３つの分割筐体から構成されるとしてもよい。このとき、接合部ＣＰが貫通する第１の貫通孔１０３が開口する下面部１０１を、２つの分割筐体（第１の分割筐体および第２の分割筐体）から形成されるように構成し、この２つの分割筐体の上に、筒状の第の分割筐体が載置される構成されてもよい。
【0077】
また、圧力センサ１Ｂにおけるクリップ５００を、第２の分割筐体１２０と一体的に形成してもよい。当該変形例によれば、第１の分割筐体１１０と第２の分割筐体１２０との結合を簡易化することができる。例えば、圧力センサ１Ｂにおいては、第１の分割筐体１１０と第２の分割筐体１２０との結合を圧力センサ１Ａと同様の方法、すなわち、第２の分割上面部１２２に形成された穴Ｈ２´にボルトＢ２を挿入した後、第１の分割上面部１１２に形成された穴Ｈ２の内側壁面に形成された雌ネジとボルトＢ２とを螺合させて双方を結合するといった結合方法が採られている。これに対し、上記変形例においては、クリップ受け１５０とクリップ５００とを結合するボルトＢ５００の軸力によって、第１の分割筐体１１０と第２の分割筐体１２０とを結合することができる。このため、上記第２の実施の形態に係る圧力センサ１Ｂから上記穴Ｈ２、穴Ｈ２´およびボルトＢ２を廃することができる。
【0078】
さらに、別の変形例として、ケーブル３００が貫入する第２の貫通孔１０４を、上面部１０２ではなく、筐体１００の側面に形成してもよい。このとき、第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０の合わせ面の一部を、例えば軸心ＣＰと垂直な面内に形成されるように構成し、当該合わせ面を含む面内に第２の貫通孔１０４が形成されるよう、第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０のそれぞれに、第２の貫通孔１０４の周縁を画成する切欠き等を設けてもよい。
【0079】
また、上記実施の形態では、圧力センサ素子１１およびこれを備える圧力センサ１Ａ、１Ｂが静電容量式の圧力センサ素子および真空計を構成するものとして説明したが、本発明は、当該仕様に限定されるわけではない。例えば、抵抗ゲージを貼り付け又はスパッタ等により成膜した歪ゲージ式や半導体ピエゾ抵抗式等、ダイアフラムの変形を電気信号として検出するセンシング方式を備えた全ての圧力センサ素子及びこれを備える圧力センサに対して適用され得る。
【符号の説明】
【0080】
１Ａ…圧力センサ、１Ｂ…圧力センサ、１０…センサユニット、２１ｂ…小径円筒部、５０…電極リード部、１００…筐体、１０１…下面部、１０２…上面部、１０３…第１の貫通孔、１０３ａ…壁面、１０４…第２の貫通孔、１０４ａ…壁面、１１０…第１の分割筐体、１１０ａ…端面、１２０ａ…端面、１１１…第１の分割下面部、１１２…第１の分割上面部、１１３…第１の分割下面切欠部、１１３ａ…周縁側壁面、１１４…第１の分割上面切欠部、１１４ａ…周縁側壁面、１２０…第２の分割筐体、１２１…第２の分割下面部、１２２…第２の分割上面部、１２３…第２の分割下面凸部、１２３ａ…周縁側壁面、１２４…第２の分割上面切欠部、１２４ａ…周縁側壁面、２００…継手、２１０…継手本体部、２２０…継手接合部、３００…ケーブル、３１０…ケーブル本体部、３２０…コネクタ部、４００…サブアセンブリ、ＣＰ…接合部、Ｍ…機構、ＣＬ…軸心、ＣＬ２００…軸心。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】