特許7499788雰囲気が制御される処理チャンバを自動管理するための装置及び方法

発明の名称　雰囲気が制御される処理チャンバを自動管理するための装置及び方法

出願人　イ・エメ・ア，インドゥストリア・マキーネ・オートマティーク・ソシエタ・ペル・アチオニ　（識別番号 500361593）

　　　　特許公開件数ランキング 1310 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2289 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7499788

公報発行日　2024年6月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7499788

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