特許 7500216 ワイヤソー

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-07

(45)【発行日】2024-06-17

(54)【発明の名称】ワイヤソー

(51)【国際特許分類】

   B24B 27/06 20060101AFI20240610BHJP

   B28D 5/04 20060101ALI20240610BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240610BHJP

【ＦＩ】

B24B27/06 F

B28D5/04 C

H01L21/304 611W

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020025852

(22)【出願日】2020-02-19

(65)【公開番号】P2021130151

(43)【公開日】2021-09-09

【審査請求日】2022-12-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000152675

【氏名又は名称】コマツＮＴＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001807

【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 靖夫

(72)【発明者】

【氏名】河津 知之

(72)【発明者】

【氏名】中村 哲也

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開平１０－１８０６０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０７０４５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－２７６２１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１５６６９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－０１１０４７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ２７／０６

Ｂ２８Ｄ５／０４

Ｈ０１Ｌ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記ワークを昇降させる昇降装置と、
前記ワイヤによって前記ワークを切断加工した後、前記昇降装置によって前記ワークを上昇させた際に、前記ワイヤが前記ワークに引っ掛かって上昇したことを検出するワイヤ上昇検出手段と、
前記ワイヤ上昇検出手段が前記ワイヤの上昇を検出したことに応じて警報を発する警報手段と、
前記ワイヤ上昇検出手段に設けられて、前記ワイヤが上昇した際に、前記ワイヤによって押し上げられるワイヤ上昇検出用の棒状部材またはローラと、
前記ワイヤを所定のピッチ間隔で巻き掛けた加工用ローラと、
前記加工用ローラの延在する方向に延設されて、前記ワイヤに加工液を供給するための加工液供給ノズルと、
前記加工液供給ノズルと、前記棒状部材または前記ローラとの間に介在されて、前記棒状部材または前記ローラを前記ワイヤの上方に上下動可能に弾性的に支持する付勢部材と、
を備えている
ことを特徴とするワイヤソー。

【請求項2】

前記棒状部材または前記ローラは、装置本体に対して回転自在に支持されている
ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。

【請求項3】

ワイヤ上昇検出手段は、前記ワイヤがワークに引っ掛かって上昇したことを検出するフォトカプラを備えている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。

【請求項4】

前記棒状部材または前記ローラは、前記ワイヤを所定のピッチ間隔で巻き掛けた加工用ローラの延在する方向に延設されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のワイヤソー。

【請求項5】

前記ワイヤ上昇検出手段は、前記棒状部材または前記ローラが上昇したことを検出するリミットスイッチを備えている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。

【請求項6】

前記棒状部材または前記ローラは、前記加工用ローラが延在する全域に亘る長さに形成されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のワイヤソー。

【請求項7】

前記ワイヤ上昇検出手段が前記ワイヤの上昇を検出した際に、前記昇降装置を駆動させる制御手段を備え、
前記制御手段は、前記ワイヤ上昇検出手段が前記ワイヤの上昇を検出した際に、前記昇降装置を停止、または、下降駆動させる
ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のワイヤソー。

【請求項8】

前記ワイヤ上昇検出手段が前記ワイヤの上昇を検出した際に、前記昇降装置を下降駆動させた後に、上昇駆動させる制御手段を備え、
前記制御手段は、前記ワイヤ上昇検出手段が前記ワイヤの上昇を複数回検出した際に、前記警報手段を駆動させる
ことを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のワイヤソー。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワイヤソーに関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、半導体材料や磁性材料等のワークをワイヤによって切断するワイヤソーは、複数のローラに所定間隔で巻き付けたワイヤを高速走行させて、そのワイヤにワークを押し当てることで切断している（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

図３は、従来のワイヤソー１００を示す図であり、（ａ）はローラ４１０，４２０に巻き掛けたワイヤ４３０でワークＷを切断する前の状態を示す概略図、（ｂ）はワイヤ４３０でワークＷを切断した後の状態を示す概略図である。

【0004】

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、従来のワイヤソー１００は、切断加工の際に、昇降装置３００によってワークＷを下降させて加工部４００のワイヤ４３０で切断後、昇降装置３００でワークＷを上昇させたときに、ワイヤ４３０がワークＷに引っ掛かって一緒に上昇することがある。

【0005】

図３（ｂ）に仮想線で示すワイヤ４３０の上昇を防止するために、特許文献１に記載のワイヤソーでは、ワイヤ（８）の浮き上がりを規制する規制部材（４９Ｌ，４９Ｒ）を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開平８－１１０４７号公報（図１）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーは、ワイヤ（８）の浮き上がりを規制する規制部材（４９Ｌ，４９Ｒ）を備えていても、ワイヤ（８）がワーク（Ｗ）に引っ掛かる場合がある。ワーク（Ｗ）に引っ掛かったワイヤ（８）は、ワーク（Ｗ）から外れ難い。このため、ワイヤ（８）がワーク（Ｗ）に引っ掛かった場合は、作業員が引っ掛かったワイヤ（８）をワーク（Ｗ）から落とすか、または、作業員がワーク（Ｗ）に引っ掛かったワイヤ（８）を切断していた。

【0008】

このようなことから、ワーク（Ｗ）をワイヤ（８）で切断して上昇させる際に、作業員は、ワイヤ（８）がワーク（Ｗ）に引っ掛かっているか、否かを目視で確認する必要がある。このため、ワイヤソーでは、加工完了後に、ワーク（Ｗ）を上昇させるときの作業員によるチェック作業の効率化が望まれていた。

【0009】

本発明は、前記した問題点を解決して、ワイヤがワークに引っ掛かったことを目視による確認を必要とせず、作業を効率化することができるワイヤソーを提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

前記課題を解決するために、本発明に係るワイヤソーは、ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、前記ワークを昇降させる昇降装置と、前記ワイヤによって前記ワークを切断加工した後、前記昇降装置によって前記ワークを上昇させた際に、前記ワイヤが前記ワークに引っ掛かって上昇したことを検出するワイヤ上昇検出手段と、前記ワイヤ上昇検出手段が前記ワイヤの上昇を検出したことに応じて警報を発する警報手段と、前記ワイヤ上昇検出手段に設けられて、前記ワイヤが上昇した際に、前記ワイヤによって押し上げられるワイヤ上昇検出用の棒状部材またはローラと、前記ワイヤを所定のピッチ間隔で巻き掛けた加工用ローラと、前記加工用ローラの延在する方向に延設されて、前記ワイヤに加工液を供給するための加工液供給ノズルと、前記加工液供給ノズルと、前記棒状部材または前記ローラとの間に介在されて、前記棒状部材または前記ローラを前記ワイヤの上方に上下動可能に弾性的に支持する付勢部材と、を備えていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、ワイヤがワークに引っ掛かったことを目視による確認を必要とせず、作業を効率化することができるワイヤソーを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す概略図である。

【図2】本発明の実施形態に係るワイヤソーの要部概略斜視図である。

【図3】従来のワイヤソーを示す図であり、（ａ）はワイヤでワークを切断する前の状態を示す概略図、（ｂ）はワイヤでワークを切断した後の状態を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態に係るワイヤソー１を図１及び図２を参照して説明する。
なお、本発明のワイヤソー１の実施形態を説明するのにあたり、便宜上、図１に示す加工用ローラ４１，４２を前側から見た状態の方向側を正面として説明する。

【0014】

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置４のワイヤ４３に押し当てることで切削して切断される。

【0015】

≪ワイヤソー≫
ワイヤソー１は、加工装置４の加工用ローラ４１，４２間における加工部４０のワイヤ４３によってワークＷを切断する切断装置である。ワイヤソー１は、クランプ装置２と、昇降装置３と、加工装置４と、ワイヤ上昇検出手段５と、加工液供給装置６と、装置本体７（図２参照）と、制御手段８と、警報手段９と、を備えて構成されている。

【0016】

≪クランプ装置≫
クランプ装置２は、加工装置４でワークＷを加工する際に、ワークＷをクランプするための保持機構である。クランプ装置２は、加工室に搬入されたワークＷを、ワーク治具２１を介在して間接的にクランプしてから、そのワークＷを加工装置４のワイヤ４３に押し当てて加工する。

【0017】

図２に示すように、ワークＷの上面には、ガラスプレート、金属プレート等の板状部材を介在してワーク治具２１が着脱可能に装着されている。ワーク治具２１の上面には、クランプ装置２のワーク保持部材（図示省略）に着脱可能に連結される複数の被クランプ部２１ａが設けられている。

【0018】

≪昇降装置≫
図１に示すように、昇降装置３は、下端部にワーク治具２１等を介在してワークＷを保持するクランプ装置２を備えて、ワークＷを昇降させるための装置である。昇降装置３は、ワークＷを加工装置４のワイヤ４３に下降させて押し付けて加工したり、ワークＷを昇降させたりする。昇降装置３は、例えば、クランプ装置２を上下させるボールねじ等を備えて成る移動機構（図示省略）と、その移動機構を作動させるサーボモータ等から成る移動用駆動モータ（図示省略）等と、を備えて構成されている。

【0019】

≪加工装置≫
図１及び図２に示すように、加工装置４は、クランプ装置２にクランプされたワークＷを加工する切削機構である。加工装置４は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ４１，４２と、加工用ローラ４１と加工用ローラ４２とに巻き掛けられたワイヤ４３と、加工用ローラ４１，４２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて構成されている。加工装置４は、装置本体７の支持フレーム７１に設けられている。

【0020】

加工装置４の上方には、ワークＷを支持するクランプ装置２が昇降装置３によって昇降可能に配置されている。加工装置４は、ワイヤソー１の運転時に、ワイヤ４３が加工用ローラ４１，４２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、昇降装置３によって下降されて加工部４０のワイヤ４３に押し付けられることで切断する。

【0021】

加工用ローラ４１，４２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ４３を加工用ローラ４１，４２間で走行させるように構成されている。加工用ローラ４１，４２は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。以下、加工用ローラ４１，４２が二つの場合を例に挙げて説明する。

【0022】

ワイヤ４３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ４３は、加工用ローラ４１，４２によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。

【0023】

≪ワイヤ上昇検出手段≫
図１に示すように、ワイヤ上昇検出手段５は、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かって上昇したことを検出するための検出装置である。なお、ワイヤ上昇検出手段５は、ワイヤ４３の上昇を検出可能なものであれば、その構成は特に限定されない。以下、ワイヤ上昇検出手段５の一例として、リミットスイッチ５２を備えて構成されたものを例に挙げて説明する。

【0024】

ワイヤ上昇検出手段５は、ワイヤ上昇検出用の棒状部材またはローラ５１と、リミットスイッチ５２と、支持部材５３と、付勢部材５４と、を備えて構成されている。

【0025】

＜棒状部材またはローラ＞
ワイヤ上昇検出用の棒状部材またはローラ５１は、ワイヤ４３が上昇した際に、ワイヤ４３によって押し上げられる部材である。図２に示すように、棒状部材またはローラ５１は、ワイヤ４３を所定のピッチ間隔で巻き掛けた加工用ローラ４１，４２の延在する方向に延設された回転可能な丸棒状の部材、あるいは、円筒状部材から成る。棒状部材またはローラ５１は、加工用ローラ４１，４２が延在する全域に亘る長さＬ１と、加工液供給ノズル６１が延在する全域に亘る長さＬ３と、と略同じ長さＬ２に形成されている。このため、棒状部材またはローラ５１の長さＬ２は、加工用ローラ４１，４２にそれぞれ巻回されて軸方向に延在するワイヤ４３の全域に亘る長さＬ４よりも長く形成されている。

【0026】

＜リミットスイッチ＞
図１に示すように、リミットスイッチ５２は、棒状部材またはローラ５１が上昇したことを検出する検出器である。リミットスイッチ５２は、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かって上昇した際に、ワイヤ４３が棒状部材またはローラ５１を押し上げたときに、支持部材５３が上昇したことを検出することで、ワイヤ４３の上昇を間接的に検出する開閉器である。リミットスイッチ５２は、固定接点（図示省略）と、支持部材５３が上昇したときに固定接点に接触してＯＮ、支持部材５３が下降したしたときに固定接点から離間してＯＦＦ状態になる可動接点と、を備えている。リミットスイッチ５２は、加工液供給ノズル６１の下面等に取り付けされている。リミットスイッチ５２は、制御手段８の制御部８１に接続されている。

【0027】

＜支持部材＞
支持部材５３は、棒状部材またはローラ５１を回転自在に軸支するための部材である。つまり、棒状部材またはローラ５１は、装置本体７に対して回転自在に支持されている。支持部材５３は、一端部が棒状部材またはローラ５１を回転自在に支持し、他端部が加工液供給ノズル６１に設けられた保持部６３に取り付けられている。支持部材５３は、棒状部材またはローラ５１が上昇・下降すると、基端部が保持部６３を中心として上方向及び下方向に回動するように設けられている。図２に示すように、支持部材５３は、棒状部材またはローラ５１の前後端部と、保持部６３の前後端部と、をそれぞれ連結するリンク状の部材から成る。

【0028】

図１に示すように、付勢部材５４は、加工液供給ノズル６１と、棒状部材またはローラ５１との間に介在されて、棒状部材またはローラ５１を加工液供給ノズル６１に弾性的に連結する部材である。付勢部材５４は、加工用ローラ４１と加工用ローラ４２との間のワイヤ４３の上方に適宜な隙間を介して配置されている。付勢部材５４は、棒状部材またはローラ５１をワイヤ４３の上方に上下動可能に弾性的に支持する弾性体である。付勢部材５４は、上端部が、加工液供給ノズル６１の下面に連結され、下端部が、棒状部材またはローラ５１に連結されている。

【0029】

付勢部材５４は、平常時に、棒状部材またはローラ５１をワイヤ４３の上側の所定位置に支持している。付勢部材５４は、棒状部材またはローラ５１がワイヤ４３によって押し上げられて予め設定した所定の高さまで上昇したとき、支持部材５３がリミットスイッチ５２を押圧してＯＮさせるように、弾性変形する。

【0030】

≪加工液供給装置≫
加工液供給装置６は、ワイヤ４３に加工液を供給するための供給装置である。加工液供給装置６は、加工液貯留タンク（図示省略）と、加工液供給ポンプ６０と、加工液供給ノズル６１と、加工液供給管６２と、保持部６３と、を備えて構成されている。

【0031】

加工液貯留タンク（図示省略）は、ワイヤ４３でワークＷを切削加工するときに、ワイヤ４３に供給する加工液を貯留するタンクである。加工液貯留タンク（図示省略）は、基台（図示省略）上に載置されている。
加工液供給ポンプ６０は、加工液貯留タンク（図示省略）内の加工液を、加工液供給管６２を介して加工液供給ノズル６１に送るためのポンプである。

【0032】

加工液供給ノズル６１は、加工用ローラ４１，４２に巻き掛けられたワイヤ４３に加工液を放出する装置である。加工液供給ノズル６１は、左側に加工用ローラ４１の近傍位置にあるワイヤ４３と、右側に加工用ローラ４１の近傍位置にあるワイヤ４３と、にそれぞれ加工液を放出する左右一対のノズルから成る。加工液供給ノズル６１は、加工用ローラ４１，４２の延在する方向に延設されて、加工用ローラ４１，４２に所定間隔で巻き掛けられてワイヤ４３の全てに加工液を供給可能になっている。加工液供給ノズル６１は、ブラケット（図示省略）によって、支持フレーム７１に固定されている。

【0033】

図１に示すように、加工液供給管６２は、加工液供給ポンプ６０と、左右の加工液供給ノズル６１と、を連結するチューブ等から成る。
図１及び図２に示すように、保持部６３は、支持部材５３の基端部を加工液供給ノズル６１に支持させるための部材である。保持部６３は、加工液供給ノズル６１の基端部側の下面に固定されている。

【0034】

≪装置本体≫
図２に示すように、装置本体７は、ワイヤソー１の基台の上部に設置されたコラム等から成る。装置本体７は、加工用ローラ４１，４２を支持する支持フレーム７１を固定した固定フレーム等を備えている。

【0035】

≪制御手段≫
図１に示すように、制御手段８は、クランプ装置２、昇降装置３、加工装置４、加工液供給装置６、及び、警報手段９を駆動させるための制御装置である。制御手段８は、制御部８１と、警報装置駆動部８２と、加工装置駆動部８３と、昇降装置駆動部８４と、加工液供給ポンプ駆動部８５と、を備えて構成されている。また、制御手段８は、不図示の制御盤を介して電源に接続されている。

【0036】

＜制御部＞
制御部８１は、各種のデータを記憶する記憶部を有し、その記憶部にはワイヤソー１全体の動作を制御するためのプログラムが記憶されている。また、制御部８１は、警報装置駆動部８２と、加工装置駆動部８３と、昇降装置駆動部８４と、加工液供給ポンプ駆動部８５と、にそれぞれ接続されている。

【0037】

＜警報装置駆動部＞
警報装置駆動部８２は、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を検出した際に、リミットスイッチ５２のＯＮ信号を、制御部８１を介して受信した場合に、アラーム等の警報手段９を駆動させる装置である。警報装置駆動部８２は、警報手段９を駆動させることで、作業者に、ワイヤ４３がワークＷによって引き上げられたことを知らせることができる。

【0038】

＜加工装置駆動部＞
加工装置駆動部８３は、制御部８１に記憶されているプログラムに基づいて、加工装置４の駆動用モータ（図示省略）を駆動させる装置である。加工装置駆動部８３は、その駆動用モータ（図示省略）を駆動させることによって、加工用ローラ４１，４２を回転させて、ワイヤ４３を走行させる。

【0039】

＜昇降装置駆動部＞
昇降装置駆動部８４は、制御部８１に記憶されているプログラムに基づいて、昇降装置３を駆動させる装置である。昇降装置駆動部８４は、昇降装置３の駆動モータ（図示省略）を駆動させることによって、クランプ装置２に保持したワークＷを上昇、下降させる。また、昇降装置駆動部８４は、ワイヤ上昇検出手段５（リミットスイッチ５２）がワイヤ４３の上昇を検出した際に、制御部８１を介して、昇降装置３を駆動させて、ワークＷを上昇・下降させる機能も備えている。

【0040】

＜加工液供給ポンプ駆動部＞
加工液供給ポンプ駆動部８５は、制御部８１に記憶されている各種データやプログラムに基づいて、加工液供給ポンプ６０を駆動させる装置である。加工液供給ポンプ駆動部８５は、加工液供給ポンプ６０を駆動させることによって、加工液供給ノズル６１から加工液を放出させる。

【0041】

＜警報手段＞
警報手段９は、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を検出したことに応じて、制御部８１を介して、警報を発する警報装置である。警報手段９は、例えば、アラーム音を発生させる警報器から成る。

【0042】

［ワイヤソーの作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１の作用を、図１及び図２を参照しながら作業工程順に説明する。

【0043】

図１または図２に示すように、ワークＷに取り付けたワーク治具２１を介してクランプ装置２でクランプしたワークＷを昇降装置３で下降させることによって、加工装置４のワイヤ４３に押し当ててワークＷを切削加工する。

【0044】

ワークＷの切削加工が終了後に、昇降装置３でワークＷを上昇させる際に、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かってワークＷによって引き上げられることがある。その場合、引き上げられたワイヤ４３は、付勢部材５４に抗して棒状部材またはローラ５１を、上昇させる。

【0045】

棒状部材またはローラ５１が上昇することで、支持部材５３は、基端部を中心として上方向（矢印ａ方向）に回動して、リミットスイッチ５２を押圧してＯＮさせる。このリミットスイッチ５２のＯＮ信号は、制御部８１を介して、警報装置駆動部８２及び昇降装置駆動部８４に送られる。

【0046】

警報装置駆動部８２は、警報手段９を駆動させて作業者に、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かって引き上げられたことを知らせる。作業者は、常に、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かったかを監視することなく、警報手段９を駆動したときだけ、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かったことを確認して、ワイヤ４３に引っ掛かりを外せばよい。このため、ワイヤ４３の監視作業を簡素化して、効率よくワイヤ４３を監視することができる。

【0047】

また、昇降装置駆動部８４は、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かって引き上げられた場合、警報手段９の駆動と共に、駆動して上昇している昇降装置３を上昇途中で停止させ、さらに、下降させる。これにより、ワイヤ４３が引っ掛かったワークＷを、それ以上上方に上昇しないので、ワイヤ４３が切断するのを防止することができると共に、引っ掛かったワイヤ４３をワークＷから外し易い状態にすることができる。このため、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かったことを確認するチェック作業、及び、ワークＷに引っ掛かったワイヤ４３を取り外す取り外し作業の作業効率を向上させることができる。

【0048】

このように、本発明のワイヤソー１は、ワイヤ４３によってワークＷを切断するワイヤソー１において、ワークＷを昇降させる昇降装置３と、を備え、ワイヤ４３によってワークＷを切断加工した後、昇降装置３によってワークＷを上昇させた際に、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かって上昇したことを検出するワイヤ上昇検出手段５と、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を検出したことに応じて警報を発する警報手段９と、を備えている。

【0049】

かかる構成によれば、ワイヤソー１は、ワイヤ上昇検出手段５と、警報手段９と、を備えていることで、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かって上昇した場合に、ワイヤ４３の上昇をワイヤ上昇検出手段５で検出して、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かっていることを警報手段９で作業者に知らせて呼ぶことができる。このため、作業者は、警報手段９の警報で知らされたときだけ、ワイヤ４３がワークに引っ掛かったことを確認するチェック作業を行ったり、引っ掛かったワイヤ４３の取り外し作業を行ったりすればよい。つまり、作業者は、ワイヤソー１に付きっ切りで、ワイヤ４３を長時間に亘って常に視認しながら監視する必要がない。その結果、ワイヤがワークに引っ掛かったことを確認するチェック作業及びワイヤ４３の取り外し作業の作業効率を向上させて効率化を図ることができる。

【0050】

また、図１及び図２に示すように、ワイヤ上昇検出手段５は、ワイヤ４３が上昇した際にワイヤ４３によって押し上げられるワイヤ上昇検出用の棒状部材またはローラ５１を備え、棒状部材またはローラ５１は、ワイヤ４３を所定のピッチ間隔で巻き掛けた加工用ローラ４１，４２の延在する方向に延設されている。

【0051】

かかる構成によれば、ワイヤ上昇検出手段５は、ワークＷに引っ掛かったワイヤ４３が上昇した際に、押し上げられる棒状部材またはローラ５１が、加工用ローラ４１，４２の延在する方向に延設されている。このため、加工用ローラ４１，４２に巻き掛けられたワイヤ全体を、最小限の部材で監視することができる。

【0052】

また、図１に示すように、ワイヤ上昇検出手段５は、棒状部材またはローラ５１が上昇したことを検出するリミットスイッチ５２を備えている。

【0053】

かかる構成によれば、ワイヤ上昇検出手段５は、リミットスイッチ５２から成ることで、ワイヤ上昇検出手段５を小型化することができる。このため、リミットスイッチ５２は、加工液供給装置６等に容易に設置することができると共に、棒状部材またはローラ５１の上昇を検出することで、ワイヤ４３の上昇を間接的に検出することができる。

【0054】

また、図２に示すように、棒状部材またはローラ５１は、加工用ローラ４１，４２が延在する全域に亘る長さＬ２に形成されている。

【0055】

かかる構成によれば、棒状部材またはローラ５１は、加工用ローラ４１，４２が延在する全域に亘って配置されていることで、加工用ローラ４１，４２に適宜な間隔で巻き掛けられた多数のワイヤ４３全体の上昇を監視して検出することが可能となる。

【0056】

また、図１に示すように、本発明のワイヤソー１は、加工用ローラ４１，４２の延在する方向に延設されて、ワイヤ４３に加工液を供給するための加工液供給ノズル６１と、加工液供給ノズル６１と、棒状部材またはローラ５１との間に介在されて、棒状部材またはローラ５１をワイヤ４３の上方に上下動可能に弾性的に支持する付勢部材５４と、を備えている。

【0057】

かかる構成によれば、ワイヤソー１は、加工液供給ノズル６１と、棒状部材またはローラ５１との間に付勢部材５４を配置していることで、棒状部材またはローラ５１を付勢部材５４によってワイヤ４３の昇降に応じて上下動するように弾性支持することができる。このため、横方向に長い棒状部材またはローラ５１であっても、ワイヤ４３の上下動に的確に応じて作動するように配置することができる。

【0058】

また、棒状部材またはローラ５１は、装置本体７に対して回転自在に支持されている。

【0059】

かかる構成によれば、棒状部材またはローラ５１は、装置本体７に対して回転自在に支持されていることで、ワークＷに引っ掛かったワイヤ４３が昇降装置３によって上昇した際に、棒状部材またはローラ５１がワイヤ４３に押されて、装置本体７に対して回動するように支持させることができる。このため、ワイヤ４３は、棒状部材またはローラ５１を押し上げた際に、棒状部材またはローラ５１が回転するので、ワイヤ４３にかかる負荷を低減させて、ワイヤ４３が切断されるのを抑制することができる。

【0060】

［第１変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。

【0061】

例えば、前記実施形態では、ワイヤ上昇検出手段５の一例として、棒状部材またはローラ５１が上昇したことを検出するリミットスイッチ５２を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。
ワイヤ上昇検出手段５は、ワイヤ４３がワークＷに引っ掛かって上昇したことを検出するフォトカプラを備えたものであってもよい。

【0062】

かかる構成によれば、ワイヤソー１は、フォトカプラの発光素子と受光素子とでワイヤ４３の上昇を検出することができるので、前記実施形態で説明した加工液供給装置６、棒状部材またはローラ５１、リミットスイッチ５２、支持部材５３、及び、付勢部材５４が不要となる。このため、ワイヤソー１の部品点数及び組付工数を削減してコストダウンを図ることができる。

【0063】

［第２変形例］
また、ワイヤ上昇検出手段５は、棒状部材またはローラ５１と、リミットスイッチ５２とを備えたものに限定されるものではない。ワイヤ上昇検出手段５は、ワイヤ４３が上昇したときに接触するように、加工用ローラ４１，４２の延在する方向に配線された電線と、この電線に電流を流してワイヤ４３が接触したときに変化する電流値からワイヤ４３の上昇を検出する検出器と、を備えたものであってもよい。

【0064】

ワイヤ上昇検出手段５は、このように構成しても、前記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。この場合は、棒状部材またはローラ５１と、リミットスイッチ５２とは不要である。

【0065】

［第３変形例］
また、ワイヤソー１は、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を検出した際に、昇降装置３を駆動させる制御手段８を備え、制御手段８は、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を検出した際に、昇降装置３を停止、または、下降駆動させてもよい。

【0066】

かかる構成によれば、制御手段８は、ワイヤ上昇検出手段５のリミットスイッチ５２がワイヤ４３の上昇を検出した際に、昇降装置３を駆動させるので、ワイヤ４３がワークＷに確実に引っ掛かって上昇した場合に、昇降装置３を下降させて、ワイヤ４３をワークＷから外し易くすることができる。

【0067】

［第４変形例］
また、ワイヤソー１は、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を検出した際に、昇降装置３を下降駆動させた後に、上昇駆動させる制御手段８を備え、制御手段８は、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を複数回（例えば、２～４回）検出した際に、警報装置９を駆動させるようにしてもよい。

【0068】

かかる構成によれば、制御手段８は、ワイヤ上昇検出手段５がワイヤ４３の上昇を複数回検出した際に、警報装置駆動部８２を駆動させて、警報手段９でワイヤ４３がワークＷによって引き上げられたことを報知する。このようにすることで、ワイヤ４３がワークＷによって確実に引き上げられたときに、警報手段９で警報させて作業者に知らせることができる。

【0069】

［その他の変形例］
また、図１に示す付勢部材５４は、リミットスイッチ５２の可動接点を付勢する接点ばねを共用したものであってもよい。

【0070】

また、リミットスイッチ５２は、ワイヤ４３が上昇したのに応じてＯＮするその他の種類のスイッチ（例えば、プッシュスイッチ等）でもよい。

【符号の説明】

【0071】

１ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 昇降装置
４ 加工装置
５ ワイヤ上昇検出手段
６ 加工液供給装置
７ 装置本体
８ 制御手段
９ 警報手段
４１，４２ 加工用ローラ
４３ ワイヤ
５１ 棒状部材またはローラ
５２ リミットスイッチ
５４ 付勢部材
６１ 加工液供給ノズル
Ｌ１ 加工用ローラの長さ
Ｌ２ 棒状部材またはワイヤ上昇検出用ローラの長さ
Ｌ３ 加工液供給ノズルの長さ
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】