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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-07
(45)【発行日】2024-06-17
(54)【発明の名称】センサ
(51)【国際特許分類】
   G01F 1/20 20060101AFI20240610BHJP
   G01F 1/28 20060101ALI20240610BHJP
【FI】
G01F1/20 C
G01F1/28 Z
【請求項の数】 7
(21)【出願番号】P 2021041023
(22)【出願日】2021-03-15
(65)【公開番号】P2022140936
(43)【公開日】2022-09-29
【審査請求日】2023-02-14
(73)【特許権者】
【識別番号】000003078
【氏名又は名称】株式会社東芝
(74)【代理人】
【識別番号】110004026
【氏名又は名称】弁理士法人iX
(72)【発明者】
【氏名】山崎 宏明
【審査官】藤澤 和浩
(56)【参考文献】
【文献】特開2006-023240(JP,A)
【文献】特開2019-039835(JP,A)
【文献】特表2011-529574(JP,A)
【文献】特開2006-119021(JP,A)
【文献】特開2009-291030(JP,A)
【文献】特開2013-033026(JP,A)
【文献】特開2007-010484(JP,A)
【文献】国際公開第2011/053246(WO,A1)
【文献】国際公開第2014/048911(WO,A1)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G01F 1/00 ~ 1/30
G01F 1/34 ~ 1/54
G01F 3/00 ~ 9/02
G01P 5/00 ~ 5/26
G01L 7/00 ~ 23/32
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1部材面を含む第1部材と、
第1素子部と、
を備え、
前記第1素子部は、
前記第1部材面に固定され前記第1部材面に沿う第1固定電極と、
前記第1固定電極と対向する第1可動電極と、
を含み、
前記第1可動電極と前記第1固定電極との間に間隙が設けられ、
前記第1可動電極は、第1面及び第2面を含み、前記第1面は、前記第1固定電極と前記第2面との間にあり、
前記第1面及び前記第2面の少なくともいずれは、前記第1部材面に対して非平行であ
前記第1面は、凸状または凹状であり、
前記間隙を前記第1部材面に沿って流れる流体の流れに応じて、前記第1固定電極と前記第1可動電極との間の電気容量が変化し、
前記電気容量の変化を検出することで、前記流れを検出する、センサ。
【請求項2】
第1部材面を含む第1部材と、
第1素子部と、
を備え、
前記第1素子部は、
前記第1部材面に固定され前記第1部材面に沿う第1固定電極と、
前記第1固定電極と対向する第1可動電極と、
を含み、
前記第1可動電極と前記第1固定電極との間に間隙が設けられ、
前記第1可動電極は、第1面及び第2面を含み、前記第1面は、前記第1固定電極と前記第2面との間にあり、
前記第1面及び前記第2面の少なくともいずれは、前記第1部材面に対して非平行であ
前記第2面は、凸状または凹状であり、
前記間隙を前記第1部材面に沿って流れる流体の流れに応じて、前記第1固定電極と前記第1可動電極との間の電気容量が変化し、
前記電気容量の変化を検出することで、前記流れを検出する、センサ。
【請求項3】
前記第1可動電極は、複数の支持部材により支持された、請求項1または2に記載のセンサ。
【請求項4】
筐体をさらに備え、
前記筐体は、第1開口部及び第2開口部を含み、
前記第1開口部から前記第2開口部への第1方向は、前記第1部材面に沿い、
前記第1可動電極を前記第1部材面に対して垂直で前記第1方向に沿う第1切断面で切断したときに、前記第1面及び前記第2面の前記少なくともいずれかは、前記第1部材面に対して非平行である、請求項1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
【請求項5】
前記第1可動電極は、第1層と第2層とを含み、
前記第1層は、前記第1固定電極と前記第2層との間にあり、
前記第2層は、前記第1層の材料とは異なる材料を含む、請求項1~のいずれか1つに記載のセンサ。
【請求項6】
前記第1可動電極は、第1層と第2層と第3層とを含み、
前記第1層は、前記第1固定電極と前記第3層との間にあり、
前記第2層は、前記第1層と前記第3層との間にあり、
前記第1層の厚さは、前記第3層の厚さと異なる、請求項1~のいずれか1つに記載のセンサ。
【請求項7】
第2素子部をさらに備え、
前記第2素子部は、前記第1部材に設けられ、
前記第2素子部から得られる電気抵抗は、前記第2素子部を流れる流体に応じて変化する、請求項1~のいずれか1つに記載のセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、センサに関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)素子などを用いたセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特表2018-506042号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
実施形態は、特性の向上が可能なセンサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
実施形態によれば、センサは、第1部材面を含む第1部材と、第1素子部と、を含む。前記第1素子部は、前記第1部材面に固定され前記第1部材面に沿う第1固定電極と、前記第1固定電極と対向する第1可動電極と、を含む。前記第1可動電極と前記第1固定電極との間に間隙が設けられる。前記第1可動電極は、第1面及び第2面を含む。前記第1面は、前記第1固定電極と前記第2面との間にある。前記第1面及び前記第2面の少なくともいずれは、前記第1部材面に対して非平行である。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図2図2(a)及び図2(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図3図3(a)及び図3(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図4図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図5図5(a)及び図5(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図6図6(a)及び図6(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図7図7(a)及び図7(b)は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図8図8は、第2実施形態に係るセンサを例示する透過平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
(第1実施形態)
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図1(a)は、図1(b)の矢印AR1からみた透過平面図である。図1(b)は、図1(a)のA1-A2線断面図である。
【0009】
図1(a)及び図1(b)に示すように、実施形態に係るセンサ110は、第1部材41と、第1素子部10Aと、を含む。
【0010】
第1部材41は、例えば基体である。この例では、第1部材41は、基板41s及び絶縁層41iを含む。基板41sは、例えば、シリコン基板である。基板41sは、トランジスタなどの制御素子を含んでも良い。基板41sの上に絶縁層41iが設けられる。例えば、絶縁層41iの上に第1素子部10Aが設けられる。実施形態において、第1部材41は、配線など(図示しない)を含んでも良い。配線は、例えば、第1素子部10Aと基板41sとを電気的に接続する。配線は、コンタクトビアを含んでも良い。
【0011】
第1部材41は、第1部材面41Fを含む。第1部材面41Fは、例えば上面である。
【0012】
第1部材面41Fに対して垂直な方向をZ軸方向とする。Z軸方向に対して垂直な方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
【0013】
第1素子部10Aは、第1固定電極11と、第1可動電極25と、を含む。第1固定電極11は、第1部材面41Fに固定される。例えば、第1固定電極11は、絶縁層41iの上に設けられる。第1固定電極11は、第1部材面41Fに沿う。例えば、第1固定電極11の上面は、第1部材面41Fに対して実質的に垂直である。
【0014】
図1(b)に示すように、第1可動電極25は、第1固定電極11と対向する。第1可動電極25と第1固定電極11との間に間隙g1が設けられる。
【0015】
図1(a)に示すように、第1可動電極25は、支持部材(例えば、第1~第4支持部材21~24など)によって支持されても良い。例えば、第1~第4固定部材21S~24Sにより、第1~第4支持部材21~24がそれぞれ支持される。第1~第4支持部材21~24により、第1可動電極25は、第1固定電極11から離れるように、支持される。
【0016】
第1可動電極25は、第1面25f及び第2面25gを含む。第1面25fは、第1固定電極11と第2面25gとの間にある。第1面25fは、例えば、下面である。第2面25gは、例えば上面である。
【0017】
第1面25f及び第2面25gの少なくともいずれかは、第1部材面41Fに対して非平行である。例えば、第1面25fは、凸状または凹状である。例えば、第2面25gは、凸状または凹状である。この例では、第1面25fは、凹状である。この例では、第2面25gは凸状である。この例では、第1可動電極25の上の位置からみたときに、第1面25fは上に凸であり、第2面25gは上に凸である。
【0018】
図1(b)に示すように、間隙g1を第1部材面41Fに沿って流体35が流れることが可能である。流体35の流れに応じて、電気容量が変化する。例えば、間隙g1を第1部材面41Fに沿って流れる流体35の流れに応じて、第1固定電極11と第1可動電極25との間の距離d1が変化する。
【0019】
例えば、流体35が間隙g1を流れる際に、第1可動電極25にZ軸方向の成分を有する力(例えば揚力)が働く。これにより、第1可動電極25が、Z軸方向に沿って変位する。これにより、第1固定電極11と第1可動電極25との間の距離d1が変化する。その結果、第1固定電極11と第1可動電極25との間の電気容量が変化する。
【0020】
電気容量の変化を検出することで、流体35の流れに関する情報(例えば単位時間当たりの流量など)に関する情報が得られる。例えば、高い感度での検出が可能である。
【0021】
電気容量の変化の検出のための消費電力は小さい。実施形態においては、低消費電力である。低消費電力の流量センサが提供できる。実施形態においては、特性を向上できるセンサが提供できる。
【0022】
センサ110は、制御部70を含んでも良い。制御部70は、第1固定電極11及び第1可動電極25と電気的に接続される。制御部70は、電気容量を検出可能である。
【0023】
実施形態において、流体35は、第2面25gに沿って流れることが可能でも良い。第2面25gが曲面状または第1部材面41Fに対して傾斜していることで、第2面25gにZ軸方向の成分を含む力が作用する。これにより、第1可動電極25がZ軸方向に沿って変位しても良い。
【0024】
実施形態において、流体35は、気体または液体で良い。
【0025】
実施形態において、センサ110は、筐体30をさらに含んでも良い。筐体30は、第1開口部31及び第2開口部32を含む。第1開口部31から第2開口部32への第1方向は、第1部材面41Fに沿う。第1方向は、例えば、X軸方向である。流体35は、第1開口部31と第2開口部32との間の経路を通過可能である。経路は、間隙g1を含む。経路は、第2面25gに沿っても良い。
【0026】
図1(b)に示すように、第1可動電極25を、X-Z平面(第1部材面41Fに対して垂直で第1方向に沿う第1切断面)で切断したときに、第1面25f及び第2面25gの少なくともいずれかは、第1部材面41Fに対して非平行である。
【0027】
このような形状の第1面25f及び第2面25gに沿って流体35が流れることで、第1可動電極25がZ軸方向に沿って変位する。
【0028】
図1(b)に示すように、1つの例において、第1可動電極25は、第1層25a及び第2層25bを含んでも良い。第1層25aは、第1固定電極11と第2層25bとの間にある。第1層25aは、下側層である。第2層25bは、上側層である。第2層25bは、第1層25aの材料とは異なる材料を含む。例えば、異なる材料の複数の層が積層される。これにより、第1可動電極25に応力が生じ易くなる。これにより、第1可動電極25は、X-Y平面に対して非平行(例えば湾曲)になり易い。
【0029】
図1(a)に示すように、第1方向(この例ではX軸方向)に沿う第1可動電極25の長さを長さL25とする。長さL25は、例えば、100μm以上500μm以下である。第1面25fの第1反り量25fd(図1(b)参照)は、例えば、1μm以上30μm以下である。第2面25gの第2反り量25gd(図1(b)参照)は、例えば、1μm以上30μm以下である。
【0030】
第1面25fは、第1方向(この例ではX軸方向)における第1端部と、第1方向における第1中央部と、を含む。第1面25fの第1反り量25fdは、第1部材面に対して垂直な第2方向(Z軸方向)における第1端部の位置と、第2方向における第1中央部の位置と、の間の第2方向に沿う距離に対応する。
【0031】
第2面25gは、第1方向(この例ではX軸方向)における第2端部と、第1方向における第2中央部と、を含む。第2面25gの第2反り量25gdは、第1部材面に対して垂直な第2方向(Z軸方向)における第2端部の位置と、第2方向における第2中央部の位置と、の間の第2方向に沿う距離に対応する。
【0032】
実施形態において、第1反り量25fdの、第1可動電極25の長さL25に対する比は、例えば、0.002以上0.3以下である。第2反り量25gdの、第1可動電極25の長さL25に対する比は、例えば、0.002以上0.3以下である。
【0033】
図2(a)及び図2(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図2(a)は、図2(b)の矢印AR1からみた透過平面図である。図2(b)は、図2(a)のA1-A2線断面図である。
【0034】
図2(b)に示すように、実施形態に係るセンサ111においては、第1面25fが凸状で、第2面25gが凹状である。
【0035】
図3(a)及び図3(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図3(a)は、図3(b)の矢印AR1からみた透過平面図である。図3(b)は、図3(a)のA1-A2線断面図である。
【0036】
図3(b)に示すように、実施形態に係るセンサ112においては、第1面25fが実質的に平面で、第2面25gが凸状である。
【0037】
図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図4(a)は、図4(b)の矢印AR1からみた透過平面図である。図4(b)は、図4(a)のA1-A2線断面図である。
【0038】
図4(b)に示すように、実施形態に係るセンサ113においては、第1面25fが凸状で、第2面25gが実質的に平面である。
【0039】
図5(a)及び図5(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図5(a)は、図5(b)の矢印AR1からみた透過平面図である。図5(b)は、図5(a)のA1-A2線断面図である。
【0040】
図5(b)に示すように、実施形態に係るセンサ114においては、第1面25f及び第2面25gが実質的に平面である。第1面25f及び第2面25gは、第1部材面41Fに対して傾斜している。
【0041】
上記のセンサ111~114において、上記以外の構成は、センサ110の構成と同様で良い。センサ111~114においても、流体35の流れに応じた信号(例えば電気容量に応じた信号)が得られる。例えば、低消費電力の流量センサが提供できる。特性を向上できるセンサが提供できる。
【0042】
図6(a)及び図6(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図6(a)は、図6(b)の矢印AR1からみた透過平面図である。図6(b)は、図6(a)のA1-A2線断面図である。
【0043】
図6(a)に示すように、実施形態に係るセンサ115においては、第1可動電極25は、2つの支持部材(第1支持部材21及び第2支持部材22)により支持される。第1可動電極25の1つの端は、開放端である。センサ115においても、第1面25f及び第2面25gの少なくともいずれかは、第1部材面41Fに対して非平行である。例えば、第1面25fは凸状であり、第2面25gは、凹状である。センサ115においても、流体35の流れに応じた信号(例えば電気容量に応じた信号)が得られる。例えば、低消費電力の流量センサが提供できる。特性を向上できるセンサが提供できる。
【0044】
図7(a)及び図7(b)は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
これらの図は、第1可動電極25を例示している。図7(a)及び図7(b)に示すように、第1可動電極25は、第1層25aと第2層25bと第3層25cとを含んでも良い。第1層25aは、第1固定電極11と第3層25cとの間にある。第2層25bは、第1層25aと第3層25cとの間にある。
【0045】
第1層25aの厚さt1は、第3層25cの厚さt3と異なる。図7(a)の例では、厚さt1は、厚さt3よりも薄い。図7(b)の例では、厚さt1は、厚さt3よりも厚い。このような厚さの違いにより、第1可動電極25が曲がっても良い。例えば、第1面25fが凹状で第2面25gが凸状となる。または、第1面25fが凸状で第2面25gが凹状となる。
【0046】
例えば、第1層25aは、第3層25cに含まれる材料を含んで良い。1つの例において、第1層25a及び第3層25cは絶縁性であり、第2層25bは導電性である。例えば、第1層25a及び第3層25cは、シリコン及び窒素を含み、第2層25bは、チタン及び窒素を含む。
【0047】
1つの例において、第1可動電極25の厚さt25(図7(a)及び図7(b)参照)は、0.5μm以上20μm以下である。
【0048】
(第2実施形態)
図8は、第2実施形態に係るセンサを例示する透過平面図である。
図8に示すように、実施形態に係るセンサ120は、第1部材41及び第1素子部10Aに加えて、第2素子部10Bを含む。第2素子部10Bは、例えば、第1部材41に設けられる。第2素子部10Bから得られる電気抵抗は、第2素子部10Bを流れる流体35に応じて変化する。
【0049】
第2素子部10Bは、例えば、ヒータ46c、第1温度検知部46a及び第2温度検知部46bを含む。ヒータ46cは、X軸方向において、第1温度検知部46aと、第2温度検知部46bと、の間に設けられる。ヒータ46cによる熱の分布は、流体35に応じて変化する。第1温度検知部46aと第2温度検知部46bとの間における温度差により、流体35の流れの状態を検出できる。第2素子部10Bは、例えば、熱抵抗型の流量センサである。
【0050】
例えば、筐体30に第3開口部33及び第4開口部34が設けられる。第3開口部33及び第4開口部34の経路に流体35が流れる。第2素子部10Bは、流体35の流れに応じた電気抵抗の変化を出力可能である。
【0051】
例えば、流量が大きいときに第1素子部10Aから得られる信号が検出信号として用いられても良い。流量が小さいときに第2素子部10Bから得られる信号が検出信号として用いられても良い。広いダイナミックレンジの検出が可能である。
【0052】
例えば、第1可動電極25にZ軸方向に沿って流体35が入射する参考例の流量センサが考えられる。この参考例は、例えば、パドル型である。この参考例においては、第1可動電極25に入射した流体35が、第1部材41の穴を介して外部に流出する。参考例においては、穴の形成が複雑である。さらに、この参考例においては、多軸の検出が困難である。実施形態においては、簡単な構成が採用できる。多軸の検出も容易である。
【0053】
実施形態は、以下の構成(例えば技術案)を含んで良い。
(構成1)
第1部材面を含む第1部材と、
第1素子部と、
を備え、
前記第1素子部は、
前記第1部材面に固定され前記第1部材面に沿う第1固定電極と、
前記第1固定電極と対向する第1可動電極と、
を含み、
前記第1可動電極と前記第1固定電極との間に間隙が設けられ、
前記第1可動電極は、第1面及び第2面を含み、前記第1面は、前記第1固定電極と前記第2面との間にあり、
前記第1面及び前記第2面の少なくともいずれは、前記第1部材面に対して非平行である、センサ。
【0054】
(構成2)
前記第1面は、凸状または凹状である、構成1記載のセンサ。
【0055】
(構成3)
前記第2面は、凸状または凹状である、構成1または2に記載のセンサ。
【0056】
(構成4)
筐体をさらに備え、
前記筐体は、第1開口部及び第2開口部を含み、
前記第1開口部から前記第2開口部への第1方向は、前記第1部材面に沿い、
前記第1可動電極を前記第1部材面に対して垂直で前記第1方向に沿う第1切断面で切断したときに、前記第1面及び前記第2面の前記少なくともいずれかは、前記第1部材面に対して非平行である、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
【0057】
(構成5)
前記間隙を前記第1部材面に沿って流れる流体の流れに応じて、前記第1固定電極と前記第1可動電極との間の電気容量が変化する、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
【0058】
(構成6)
前記間隙を前記第1部材面に沿って流れる流体の流れに応じて、前記第1固定電極と前記第1可動電極との間の距離が変化する、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
【0059】
(構成7)
前記流体は、前記第2面に沿って流れることが可能である、構成5または6に記載のセンサ。
【0060】
(構成8)
前記流体は、気体または液体である、構成5~7のいずれか1つに記載のセンサ。
【0061】
(構成9)
筐体をさらに備え、
前記筐体の中に前記第1素子部があり、
前記筐体は、第1開口部及び第2開口部を含み、
前記第1開口部から前記第2開口部への第1方向は、前記第1部材面に沿い、
前記第1可動電極を前記第1部材面に対して垂直で前記第1方向に沿う第1切断面で切断したときに、前記第1面及び前記第2面の前記少なくともいずれかは、前記第1部材面に対して非平行である、構成5~8のいずれか1つに記載のセンサ。
【0062】
(構成10)
前記流体は、前記第1開口部と前記第2開口部との間の経路を通過可能である、構成9記載のセンサ。
【0063】
(構成11)
前記第1面の反り量の、前記第1方向に沿う前記第1可動電極の長さに対する比は、0.002以上0.3以下である、構成4または構成9または構成10に記載のセンサ。
【0064】
(構成12)
前記第2面の反り量の、前記第1方向に沿う前記第1可動電極の長さに対する比は、0.002以上0.3以下である、構成4または構成9または構成10に記載のセンサ。
【0065】
(構成13)
前記第1可動電極は、第1層と第2層とを含み、
前記第1層は、前記第1固定電極と前記第2層との間にあり、
前記第2層は、前記第1層の材料とは異なる材料を含む、構成1~12のいずれか1つに記載のセンサ。
【0066】
(構成14)
前記第1可動電極は、第1層と第2層と第3層とを含み、
前記第1層は、前記第1固定電極と前記第3層との間にあり、
前記第2層は、前記第1層と前記第3層との間にあり、
前記第1層の厚さは、前記第3層の厚さと異なる、構成1~12のいずれか1つに記載のセンサ。
【0067】
(構成15)
前記第1層は、前記第3層に含まれる材料を含む、構成14記載のセンサ。
【0068】
(構成16)
前記第1層及び前記第3層は、絶縁性であり、
前記第2層は、導電性である、構成14または15に記載のセンサ。
【0069】
(構成17)
前記第1層及び前記第3層は、シリコン及び窒素を含み、
前記第2層は、チタン及び窒素を含む、構成14~16のいずれか1つに記載のセンサ。
【0070】
(構成18)
第2素子部をさらに備え、
前記第2素子部は、前記第1部材に設けられ、
前記第2素子部から得られる電気抵抗は、前記第2素子部を流れる流体に応じて変化する、構成1~17のいずれか1つに記載のセンサ。
【0071】
実施形態によれば、特性の向上が可能なセンサが提供できる。
【0072】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる第1部材、素子部、固定電極、可動電極などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
【0073】
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【0074】
その他、本発明の実施の形態として上述したセンサを基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサも、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【0075】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【0076】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0077】
10A、10B…第1、第2素子部、 11…第1固定電極、 21~24…第1~第4支持部材、 21S~24S…第1~第4固定部材、 25…第1可動電極、 25a~25c…第1~第3層、 25f、25g…第1、第2面、 25fd、25gd…第1、第2反り量、 30…筐体、 31~34…第1~第4開口部、 35…流体、 41…第1部材、 41F…第1部材面、 41i…絶縁層、 41s…基板、 46a、46b…第1、第2温度検知部、 46c…ヒータ、 70…制御部、 110~115、120…センサ、 AR1…矢印、 L25…長さ、 d1…距離、 g1…間隙、 t1、t3、t25…厚さ
図1
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図3
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図8