特許 7500487 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-07

(45)【発行日】2024-06-17

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20180101AFI20240610BHJP

   H05K 7/20 20060101ALI20240610BHJP

【ＦＩ】

G01N23/04

H05K7/20 G

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021063031

(22)【出願日】2021-04-01

(65)【公開番号】P2022158264

(43)【公開日】2022-10-17

【審査請求日】2023-04-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000000572

【氏名又は名称】アンリツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100067323

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 教光

(74)【代理人】

【識別番号】100124268

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 典行

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 直也

(72)【発明者】

【氏名】野田 昭裕

(72)【発明者】

【氏名】成田 幹

【審査官】嶋田 行志

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－０８８１９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１０／０４７０６７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－１０９４８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６０－００９２９５（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００―Ｇ０１Ｎ ２３／２２７６

Ｆ２５Ｄ １／００―Ｆ２５Ｄ ３１／００

Ｈ０５Ｋ ７／００―Ｈ０５Ｋ ７／２０

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０／ＪＳＴＣｈｉｎａ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

その内部が正面側の第１室（Ｒ１）と背面側の第２室（Ｒ２）に分離された筐体（４）と、前記第１室に配置されたＸ線発生器（２）と、前記第２室に配置されたＸ線検出器（３）と、前記筐体の背面に配置されて前記筐体内に冷気を供給する冷却器（１２）とを有するＸ線検査装置（１，１ａ ）であって、
前記冷却器の吹出口１３から供給される冷気の供給方向を分岐させて前記第１室と前記第２室にそれぞれ冷気を供給する冷気案内路（２０，２１，２２）と、
前記Ｘ線発生器（２）と前記Ｘ線検出器（３）で生じた温気が前記冷却器（１２）の吸込口（１４）に戻る温気案内路（３０）と、
を有することを特徴とするＸ線検査装置（１）。

【請求項2】

前記冷気案内路は、
前記筐体（４）の外側に設けられ、前記冷気を案内して前記第１室（Ｒ１）に供給する外部冷気案内路（２０）を有することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置（１）。

【請求項3】

前記冷気案内路は、
前記筐体（４）の内部に設けられ、前記冷気を案内して前記第１室（Ｒ１）に供給する内部冷気案内路（２２）を有することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置（１ａ）。

【請求項4】

前記Ｘ線発生器（２）と前記Ｘ線検出器（３）で冷気が温められて生じた温気が前記冷却器（１２）の前記吸込口（１４）に戻る前記温気案内路（３０）が、前記冷気案内路（２０，２１，２２）とは異なる経路で構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記載のＸ線検査装置（１，１ａ）。

【請求項5】

前記冷却器（１２）は、温風を外部に吹き出す排気口（１５）と、外部から外気を採り入れる吸気口（１６）を有しており、
外部に面する前記冷却器の背面側に設けられ、前記排気口と前記吸気口を外部に連通するように覆うとともに前記排気口と前記吸気口を遮断する被覆体（４０）を有し、
前記被覆体（４０）には、外部に温気を排出する出口（４４）が背面側に設けられ、外部から外気を吸引する入口（４６）が正面側に設けられることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一つに記載のＸ線検査装置（１，１ａ）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、筐体の内部にＸ線発生器を含む複数の熱源を有しており、筐体の外部に設けられた冷却器によって各熱源を冷却するＸ線検査装置に係り、特にＸ線発生器を含む各熱源に冷却器からの冷気を効率よく導いて冷却を行うことができるＸ線検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、Ｘ線検査装置の発明が開示されている。このＸ線検査装置の第１筐体３の内部は、隔壁16によって使用制限温度等に基づき複数の冷却区画C1,C2,C3,C4 に仕切られており、各区画C2,C3,C4には各々固有の使用制限温度を有する熱源17,18,19,20 が収納されている。使用制限温度が低い熱源19,20 が使用制限温度が高い熱源17,18 の上流に配置されるように空気の流路Ｂが設定されているので冷却効率が良い。熱交換器15の吸熱部15a は第１筐体３内にあり、放熱部は外気に連通した第２筐体内にある。この発明によれば、高価なエアコンを用いずに高い冷却効果を実現できるものとされている。

【0003】

下記特許文献２には、Ｘ線異物検出装置の発明が開示されている。このＸ線異物検出装置１は、温度センサ１４で検出した筐体３内の温度が所定温度以上である時、制御手段１０が制御弁１３を開とし、筐体３の上面に設けられたボルテックスチューブ１１を作動させて筐体３内に冷却空気を供給し、Ｘ線発生手段７を冷却する。同時にアクチュエータ２０が作動されて扉１６が駆動され、筐体３の排気口１５が開放される。この発明によれば、筐体内の圧力上昇が抑えられ、排気によって冷却効率が向上するものとされている。また、この特許文献２には、図１４において、Ｘ線異物検出装置１００の筐体１０１の背面側にエアコン１０２を設け、筐体の内部を冷却する例が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１６－１０９４８８号公報

【文献】特開２００９－３００３７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記特許文献１に開示されたＸ線検査装置の発明によれば、使用制限温度が低い熱源が高い熱源の上流に配置されるように空気の流路が筐体内に設けられているので、一定の冷却効果は得られるものの、冷却器を用いた場合のような高い冷却効果が得られないという問題があった。

【0006】

上記特許文献２に開示されたＸ線異物検出装置の発明によれば、筐体の上面に設けられたボルテックスチューブによって、一つの空間である筐体内に冷却空気を流入させている。また同文献の図１４に開示されたＸ線異物検出装置では、筐体の背面にあるエアコンから供給される冷気は、筐体の背面側から一つの空間である筐体内に直接供給されていた。何れの構成も、Ｘ線発生器のような主たる熱源に冷気を導くことを優先すれば、これら以外の熱源、例えばＸ線検出器や電源部等には冷気が届きにくくなり、これらＸ線検出器等のような熱源に対する冷却効率が良くないという問題があった。

【0007】

また、近年進展しているＸ線検査装置の高性能化に伴い、冷却すべき機器の種類が増加する傾向にある。例えば、制御部は、画像処理用の第１制御部と、検査データおよび画像データの外部機器への出力や周辺機器との連動を制御する第２制御部のように複数化しており、Ｘ線検査装置では多くの冷却対象について各々適切な冷却性能が求められるようになっている。特に、前述した制御部については、Ｘ線検査装置の高性能化の一例として、透過画像の分解能の向上が求められており、高分解能のために従来よりも素子数の大きいＸ線検出器が使用されるようになり、画像処理に要する制御部のＣＰＵの負荷が増大している。ＣＰＵの性能は温度の上昇によって低下するため、制御部のＰＣ（ＣＰＵ）近傍は特に冷却の効果に留意しなければならない。さらに、Ｘ線検査装置の高性能化の他の例として、深層学習の付加が求められる場合があり、その場合には深層学習に必要な要素としてＧＰＵを使用するため、さらに熱源が増加し、効率的な冷却が一層求められる状況となっている。

【0008】

本発明は、以上の課題に鑑みてなされたものであり、Ｘ線発生器を含む複数の熱源に冷却器からの冷気を導いて効率よく冷却を行うことができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

請求項１に記載されたＸ線検査装置１，１ａは、
その内部が正面側の第１室Ｒ１と背面側の第２室Ｒ２に分離された筐体４と、前記第１室Ｒ１に配置されたＸ線発生器２と、前記第２室Ｒ２に配置されたＸ線検出器３と、前記筐体４の背面に配置されて前記筐体４内に冷気を供給する冷却器１２とを有するＸ線検査装置１，１ａであって、
前記冷却器１２の吹出口１３から供給される冷気の供給方向を分岐させて前記第１室Ｒ１と前記第２室Ｒ２にそれぞれ冷気を供給する冷気案内路２０，２１，２２と、
前記Ｘ線発生器２と前記Ｘ線検出器３で生じた温気が前記冷却器１２の吸込口１４に戻る温気案内路３０と、
を有することを特徴としている。

【0010】

請求項２に記載されたＸ線検査装置１は、請求項１記載のＸ線検査装置において、
前記冷気案内路は、
前記筐体４の外側に設けられ、前記冷気を案内して前記第１室Ｒ１に供給する外部冷気案内路２０を有することを特徴としている。

【0011】

請求項３に記載されたＸ線検査装置１ａは、請求項１記載のＸ線検査装置において、
前記冷気案内路は、
前記筐体４の内部に設けられ、前記冷気を案内して前記第１室Ｒ１に供給する内部冷気案内路２２を有することを特徴としている。

【0012】

請求項４に記載されたＸ線検査装置１，１ａは、請求項１乃至３の何れか一つに記載のＸ線検査装置において、
前記Ｘ線発生器２と前記Ｘ線検出器３で冷気が温められて生じた温気が前記冷却器１２の前記吸込口１４に戻る前記温気案内路３０が、前記冷気案内路２０，２１，２２とは異なる経路で構成されていることを特徴としている。

【0013】

請求項５に記載されたＸ線検査装置１，１ａは、請求項１乃至４の何れか一つに記載のＸ線検査装置において、
前記冷却器１２は、温風を外部に吹き出す排気口１５と、外部から外気を採り入れる吸気口１６を有しており、
外部に面する前記冷却器１２の背面側に設けられ、前記排気口１５と前記吸気口１６を外部に連通するように覆うとともに前記排気口１５と前記吸気口１６を遮断する被覆体４０を有し、前記被覆体４０には、外部に温気を排出する出口４４が背面側に設けられ、外部から外気を吸引する入口４６が正面側に設けられることを特徴としている。

【発明の効果】

【0014】

請求項１に記載されたＸ線検査装置によれば、冷却器の吹出口から供給される冷気の供給方向を冷気案内路によって分岐させ、第１室と第２室にそれぞれ冷気を供給してＸ線発生器とＸ線検出器をそれぞれ確実に冷却することができる。また、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器で生じた温気を前記冷却器の吸込口に戻すことができる。

【0015】

請求項２に記載されたＸ線検査装置によれば、外部冷気案内路は筐体の外側に設けられているため、外部冷気案内路で導かれる冷気は、筐体内の熱源であるＸ線発生器とＸ線検出器から離れた経路を通り、低温のままで第１室に供給されるため、特にＸ線発生器に関して高い冷却効率が得られる。

【0016】

請求項３に記載されたＸ線検査装置によれば、筐体内に配置された内部冷気案内路で導かれる冷気は、筐体の背面側にある冷却器から、筐体の正面側にある筐体内の第１室に最短距離で供給されるため、特にＸ線発生器に関して高い冷却効率が得られる。

【0017】

請求項４に記載されたＸ線検査装置によれば、Ｘ線発生器とＸ線検出器で生じる温気は、冷気案内路とは異なる経路で構成された前記温気案内路を経て冷却器の前記吸込口に戻るため、冷気と温気の混合による冷却効率の低下を確実に回避できる。

【0018】

請求項５に記載されたＸ線検査装置によれば、冷却器の背面側に設けられた排気口と吸気口は被覆体に覆われているため、清掃時に排気口や吸気口から水が内部に浸入することを防止できる。また、排気口と吸気口は、遮蔽体で遮断されているため、排気口から外部に排出された暖気が、吸気口から冷却器に吸い込まれて冷却効率を低下させる不都合は未然に防止できる。また、新規に吸引する外気と、排出する温気とが混じり合う可能性は小さく、排気口から外部に排出された暖気が、吸気口から冷却器に吸い込まれて冷却効率を低下させる不都合は未然に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】第１実施形態のＸ線検査装置の縦断面図である。

【図2】第１実施形態のＸ線検査装置の横断面図である。

【図3】第１実施形態のＸ線検査装置の一部を切り欠いて示した斜視図である。

【図4】第２実施形態のＸ線検査装置の縦断面図である。

【図5】第２実施形態のＸ線検査装置の横断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

本発明の第１実施形態のＸ線検査装置１について図１～図３を参照して説明する。
実施形態のＸ線検査装置１は、Ｘ線発生器２から被検査物にＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線検出器３で検出することにより、被検査物に含まれる異物の有無や被検査物の材質等についての検査を行う装置である。

【0021】

図１～図３に示すように、Ｘ線検査装置１は、上述した機能を発揮するために必要な各種の構成を収納する筐体４を備えている。筐体４は、その背面側を構成する縦長の基部５と、基部５の正面上部に設けられた大箱型の上部６と、前記上部６に対して縦方向に間隔をおいて、基部５の正面下部に設けられた薄い小箱型の下部７を有しており、図１に示すように全体としては正面（図中左側）の下方に被検査物が配置される凹部を備えた略コ字形の全体形状となっている。

【0022】

図１～図３に示すように、筐体４の内部には、基部５と上部６の境界に、縦方向に平行な仕切板８が設けられている。この仕切板８は、基部５と上部６の間を仕切っているが、基部５と下部７の間には存在せず、従って筐体４の内部は、上部６の内部空間である第１室Ｒ１と、連通した基部５と下部７の内部空間である第２室Ｒ２とに分離されている。

【0023】

図１～図３に示すように、第１室Ｒ１の内部にはＸ線発生器２が配置されている。Ｘ線発生器２は、絶縁油に浸漬された図示しないＸ線発生源を収納する容器２ａと、容器２ａの上面に設けられて絶縁油から伝導する熱を放散する放熱部２ｂを有している。

【0024】

図１～図３に示すように、第１室Ｒ１の内部の正面側には第１制御部９が配置されている。第１制御部９は、画像処理用のＣＰＵを備えている。なお、第１制御部９に隣接した筐体４の上部６の正面外側には、操作パネル１０が設けられている。

【0025】

図１に示すように、第２室Ｒ２の下部７の内部にはＸ線検出器３が配置されている。また、第２室Ｒ２の基部５の内部には第２制御部１１が配置されている。第２制御部１１は、画像情報・検査情報等のデータを通信回線を介して外部機器とやり取りするデータ通信を行い、また周辺機器との連動を制御するための制御部であり、Ｘ線センサを駆動させる電源部等を有してもよい。

【0026】

なお、図１において、筐体４の下部７の上面中央が被検査物の検査位置となる。図示はしないが、筐体４の下部７の上面において、図１の紙面に直交する搬送方向に沿って被検査物を搬送する搬送手段（ベルトコンベア等）を設ければ、被検査物を搬送手段で搬送しながら上部６のＸ線発生器２によってＸ線を下方に照射し、被検査物を透過したＸ線を下部７のＸ線検出器３で検出して被検査物の検査を行うことができる。

【0027】

次に、このＸ線検査装置１における冷却システム、特に冷気と温気が流通する案内路乃至経路の構造を説明する。なお、ここで冷気とは、冷却器から送り出される外気よりも低温の空気である。また温気とは、冷却器から供給された冷気が冷却対象の熱を奪った結果、温度が高くなった空気であり、又は冷却器から外部に排出される温度が高い空気を指している。また、以下の説明で参照する図においては、冷気を実線で示し、温気を点線で示し、外部から冷却器に取り入れられる外気を一点鎖線で示すものとする。図中で冷気等を示す線種は、第２実施形態の説明においても同様である。

【0028】

図１～図３に示すように、筐体４の背面、すなわち基部５の背面側（図１において右側）には、筐体４内に冷気を供給する縦長薄型であるパネル状の冷却器１２が設けられている。冷却器１２の基部５側には、冷気を筐体４内に供給する吹出口１３が設けられており、吹出口１３の下方には被冷却対象から戻ってきた温気が吸い込まれる吸込口１４が設けられている。また、基部５とは反対側である冷却器１２の背面側の下方には、装置１の外部に温風を吹き出す排気口１５が設けられており、排気口１５の下方には装置１の外部から外気を採り入れる吸気口１６が設けられている。

【0029】

図１～図３に示すように、Ｘ線検査装置１は、冷却器１２から供給される冷気の供給方向を分岐させて第１室Ｒ１と第２室Ｒ２にそれぞれ供給する冷気案内路を有している。冷気案内路には、図１～図３に示す外部冷気案内路２０と、図１及び図２に示す第１内部冷気案内路２１がある。

【0030】

図１～図３に示すように、外部冷気案内路２０は、筐体４の基部５及び上部６の一側面に取り付けられたダクト状の部材であり、第２室Ｒ２と第１室Ｒ１を連通させている。外部冷気案内路２０の第２室Ｒ２の開口には、冷却器１２の吹出口１３に取り付けられた吹出ダクト２３の一方の出口が接続されている。冷却器１２の吹出口１３から出た冷気は、吹出ダクト２３を経て筐体４外の外部冷気案内路２０に入り、筐体４の内部を迂回して第１室Ｒ１へ向かう。外部冷気案内路２０の第１室Ｒ１の開口には、ファン２４が設けられ、その下流側には偏向板２５が設けられている。ファン２４の吹き付け方向の下流近傍には、Ｘ線発生器２の放熱部２ｂがある。また、偏向板２５による冷気の偏向方向には、第１制御部９がある。ファン２４と偏向板２５の配置関係及び偏向板の傾斜角度を適宜に設定することにより、外部冷気案内路２０を流れてきた冷気の風量を、放熱部２ｂと第１制御部９がそれぞれ必要とする冷却の度合いに応じた適宜の比率で２方向に分岐させ、放熱部２ｂと第１制御部９をそれぞれ適切に冷却する。例えば、ｎ対１の割合で放熱部２ｂにより多くの冷気が向かうようにする。

【0031】

図１に示すように、第１内部冷気案内路２１は、筐体４の基部５内の第２室Ｒ２に縦方向に設けられている。第１内部冷気案内路２１の上端は、冷却器１２の吹出口１３に取り付けられた吹出ダクト２３の他方の出口に接続されている。第１内部冷気案内路２１の下端は、第２室Ｒ２の下端で正面側に直角に屈曲し、Ｘ線検出器３に冷気を供給できるようになっている。なお、図１には示していないが、第１内部冷気案内路２１の略中央部に前面に向けた分岐部を設け、第２制御部１１に冷気の一部が吹き付けられるようにしてもよい。

【0032】

図２及び図３に示すように、Ｘ線検査装置１は、Ｘ線発生器２から戻ってくる温気を、冷却器１２の吸込口１４に接続された吸込ダクト２６に戻すための温気案内路３０を有している。温気案内路３０は、筐体４の基部５及び上部６の他側面（外部冷気案内路２０が取り付けられている側面とは反対側の側面）に取り付けられたダクト状の部材であり、第１室Ｒ１と第２室Ｒ２を連通させている。図２に示すように、温気案内路３０の第１室Ｒ１及び第２室Ｒ２の開口には、それぞれファン２４が設けられている。Ｘ線発生器２の放熱部２ｂ及び第１制御部９を通過して生成された第１室Ｒ１内の温気は、第１室Ｒ１内のファン２４によって温気案内路３０に入り、さらに第２室Ｒ２内のファン２４によって第２室Ｒ２内に引き込まれる。図１に示すように、冷却器１２の吸込口１４に接続された吸込ダクト２６は、開口を上に向けているので、第２室Ｒ２内に戻った温気はそのまま吸込ダクト２６に入る。温気は冷却器１２に入って再び冷気となり、吹出口１３から筐体４内に供給される循環を繰り返す。

【0033】

図１に示すように、第１内部冷気案内路２１からＸ線検出器３に供給された冷気は、温気となって基部５の第２室Ｒ２の内部を上昇し、吸込ダクト２６から吸い込まれて冷却器１２に入る。筐体４内の空間である第２室Ｒ２の縦長の部分も、温気を冷却器１２に戻す経路である点において温気案内路であると言える。

【0034】

このように、このＸ線検査装置１では、冷気案内路（外部冷気案内路２０及び第１内部冷気案内路２１）と、温気案内路３０は、異なる経路で構成されている。特に、外部冷気案内路２０と温気案内路３０は、筐体４の一側面と他側面にそれぞれ隔離して構成され、第１内部冷気案内路２１と温気案内路３０は、それぞれ筐体４の第２室Ｒ２内と筐体４外側の他側面に隔離して構成されている。

【0035】

以上説明したように、第１実施形態のＸ線検査装置１によれば、冷却器１２から供給される冷気の供給方向を外部冷気案内路２０と第１内部冷気案内路２１によって分岐させ、第１室Ｒ１と第２室Ｒ２にそれぞれ冷気を供給し、複数の熱源、すなわち第１室Ｒ１のＸ線発生器２及び第１制御部９と、第２室Ｒ２のＸ線検出器３（及び、必要に応じて第１制御部９）を確実に冷却することができる。なお、外部冷気案内路２０と第１内部冷気案内路２１は内径（又は断面積）が異なるが、冷却器１２が供給できる冷気の量は一定であるため、より高い冷却効果が必要な冷却対象物へ冷気を導く冷却案内路の内径（又は断面積）を必要に応じてより大きく設定すればよい。

【0036】

また、外部冷気案内路２０は、筐体の側面から外に突出するような形態で筐体４の外側に設けられているため、これによって導かれる冷気は、筐体４内の熱源であるＸ線発生器２から離れた経路を通り、低温のままで第１室Ｒ１に供給されて直接Ｘ線発生器２及び第１制御部９に吹き付けられるため、高い冷却効率が得られる。

【0037】

また、このＸ線検査装置１によれば、Ｘ線発生器２及び第１制御部９で生じる温気と、Ｘ線検出器３で生じる温気は、外部冷気案内路２０及び第１内部冷気案内路２１とは異なり、かつ隔離された経路である温気案内路３０等を経て冷却器１２に戻るため、冷気と温気の混合による冷却効率の低下は確実に回避できる。

【0038】

図１に示すように、筐体４の基部５の背面には、冷却器１２を覆う被覆体４０が設けられている。被覆体４０は、冷却器１２との間に空気の流路となる隙間が生じるように、冷却器１２の全体を覆うだけのサイズを有する箱型の部材である。被覆体４０は、冷却器１２の全体を覆う吸気箱４１と、吸気箱４１の背面側に取り付けられた排気箱４２を有している。

【0039】

図１に示すように、排気箱４２は、比較的厚みのある箱部材であり、相当量の空気を吸引する排気流路を内部に設けられるだけの体積を有している。排気流路４３は、冷却器１２の排気口１５を外部に連通させる出口４４を備えている。

【0040】

図１に示すように、吸気箱４１は、全体として薄型であるが、その下端部は、筐体４の基部５の下方に突出しているため、相当量の空気を吸引する吸気流路４５を設けられるだけの体積を有している。吸気流路４５は、冷却器１２の吸気口１６を外部に連通させて外気を採り入れる入口４６を備えている。なお、入口４６には網を設けて清掃時に水が浸入しにくい構造としてもよい。入口４６は、吸気箱４１の正面側（基部５側）の下端部に開口しており、吸気流路４５は入口４６から水平方向に延設され、真上方向に偏向し、冷却器１２の吸気口１６に接続されている。

【0041】

図１に示すように、被覆体４０の排気箱４２の内部には、複数（図示例では３）の偏向板５０が種々の異なる角度で設けられており、屈曲した形状の排気流路４３を構成している。また、被覆体４０の吸気箱４１の内部の吸気流路４５の角部には、少なくとも１枚の偏向板５０が設けられており、排気流路４３の一部を空気の流通に影響がない程度に閉鎖している。

【0042】

以上説明したように、図１に示した被覆体４０の構造によれば、冷却器１２の排気口１５と吸気口１６は遮断されている。すなわち、外気を採り入れる入口４６から冷却器１２の吸気口１６に至る吸気流路４５と、冷却器１２の排気口１５から温気を排出する出口４４に至る排気流路４３は、互いに隔絶されている。しかも、入口４６と出口４４は互いに反対向きである。従って、新規に吸引する外気と、排出する温気とが混じり合う可能性は小さく、排気口１５から外部に排出された暖気が、吸気口１６から冷却器１２に吸い込まれて冷却効率を低下させる不都合は未然に防止できる。

【0043】

また、吸気流路４５と排気流路４３には偏向板５０が設けられているため、清掃時に出口４４から排気口１５に水が浸入し、また入口４６から吸気口１６に水が内部に浸入することを防止できる。

【0044】

本発明の第２実施形態のＸ線検査装置１ａについて、図４及び図５を参照して説明する。
第２実施形態のＸ線検査装置１ａは、冷気案内路として、前述した外部冷気案内路２０に替えて、筐体４内に第２内部冷気案内路２２を有する点と、筐体４の外部ではなく、筐体４内に温気案内路が設けられている点において、第１実施形態のＸ線検査装置１と異なる。以下の説明では、これらの相違点を中心に説明し、第１実施形態と同一乃至実質的に同一の部分については、第１実施形態の図に付した符号と同一の符号を図４及び図５の各部に付して説明を適宜省略し、第１実施形態での説明を援用する。

【0045】

図４及び図５に示すように、Ｘ線検査装置１ａは、冷却器１２から供給される冷気の供給方向を分岐させて第１室Ｒ１と第２室Ｒ２にそれぞれ供給する冷気案内路として、第２内部冷気案内路２２と、第１内部冷気案内路２１を有している。第１内部冷気案内路２１は、第１実施形態のＸ線検査装置１ａのものと同一である。

【0046】

図４に示すように、筐体４の内部を、第１室Ｒ１と第２室Ｒ２とに分離している仕切板８ａは、第１実施形態とは異なり、基部５と上部６を完全には分離しておらず、仕切板８の上端縁は、概ねＸ線発生器２の容器２ａの上面（従って放熱部２ｂの下端）の高さにあり、これより上の高さでは第１室Ｒ１と第２室Ｒ２は連通している。

【0047】

図４及び図５に示すように、第２内部冷気案内路２２は、角筒状をなすダクト状の部材であり、仕切板８ａの上端縁に接した状態で第２室Ｒ２と第１室Ｒ１に跨がって配置され、両室Ｒ１，Ｒ２を連通させている。第２内部冷気案内路２２の第２室Ｒ２の端部は、冷却器１２の吹出口１３に取り付けられた吹出ダクト２３の一方の出口が接続されている。図５を参照して説明すると、第２内部冷気案内路２２の第１室Ｒ１の端部には、詳細は図示しないが、実線の矢印で示す冷気の流れから分かるように、Ｘ線発生器２の放熱部２ｂと第１制御部９に対応する２つの開口がある。また、第２内部冷気案内路２２の内部であって、放熱部２ｂよりも第２室Ｒ２側に、第１室Ｒ１に向けて送風するファン２４が設けられている。さらに、第２内部冷気案内路２２の内部であって、放熱部２ｂに対応する開口の最も下流側には、ファン２４による送風の一部を放熱部２ｂに向かわせる偏向板２５が設けられている。従って、冷却器１２の吹出口１３から出た冷気は、吹出ダクト２３を経て第２内部冷気案内路２２に入り、その一部がＸ線発生器２の放熱部２ｂに当たってこれを冷却し、残りの冷気が第１制御部９に当たってこれを冷却する。

【0048】

図４及び図５に示すように、Ｘ線検査装置１ａは、Ｘ線発生器２及び第１制御部９から戻ってくる温気を、冷却器１２の吸込口１４に接続された吸込ダクト２６に戻すための温気案内路を有している。温気案内路は、仕切板８の上端縁を越えて第１室Ｒ１から第２室Ｒ２に至る経路である。特に図５に示すように、温気案内路の略中央である仕切板８ａの上端縁の近傍には、第１室Ｒ１から第２室Ｒ２に送風するファン２４が設けられている。Ｘ線発生器２の放熱部２ｂ及び第１制御部９を通過して生成された第１室Ｒ１内の温気は、第１室Ｒ１内のファン２４に引かれ、第２室Ｒ２に入り、そのまま吸込ダクト２６に入る。この温気の流れが本実施形態の温気案内路である。温気は冷却器１２に入って再び冷気となり、図５に示すように吹出口１３から筐体４内に供給される循環を繰り返す。なお、筐体４内の空間である第２室Ｒ２の縦長の部分も、Ｘ線検出器３からの温気を冷却器１２に戻す経路である点において温気案内路であることは、第１実施形態と同一である。

【0049】

第２実施形態のＸ線検査装置１ａによれば、第１実施形態と同様の効果が得られる他、筐体４内に配置された第２内部冷気案内路２２で導かれる冷気は、筐体４の背面側にある冷却器１２から筐体４内の第１室Ｒ１に最短距離で供給されるため、送風のロスが少なく、特にＸ線発生器２に関して高い冷却効率が得られる。
なお、以上説明した第２実施形態では、図５において、左側には、実線の矢印で冷気の移動方向を示すように第２内部冷気案内路２２を設け、右側には、第１室Ｒ１から第２室Ｒ２にかけて破線の矢印で温気の移動方向を示すように温気案内路を配置した。すなわち、空気の流通は概ね反時計周り方向となっている。しかしながら、図５の視点で見た場合において、右側に図中下向きで冷気が流れる第２内部冷気案内路を設け、左側に図中上向きで温気が流れる温気案内路を配置し、概ね時計周り方向に空気が流通するように構成することも可能であり、その場合にも同様の冷却効果が得られる。

【符号の説明】

【0050】

１，１ａ…Ｘ線検査装置
２…Ｘ線発生器
３…Ｘ線検出器
４…筐体
１２…冷却器
１５…冷却器の排気口
１６…冷却器の吸気口
２０…冷気案内路としての外部冷気案内路
２１…冷気案内路としての第１内部冷気案内路
２２…冷気案内路としての第２内部冷気案内路
３０…温気案内路
４０…被覆体
Ｒ１…第１室
Ｒ２…第２室

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】