特許 7500532 残留物回収装置および残留物回収方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-07

(45)【発行日】2024-06-17

(54)【発明の名称】残留物回収装置および残留物回収方法

(51)【国際特許分類】

   B08B 3/02 20060101AFI20240610BHJP

   G01N 1/04 20060101ALI20240610BHJP

【ＦＩ】

B08B3/02 A

G01N1/04 M

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2021191336

(22)【出願日】2021-11-25

(65)【公開番号】P2023077853

(43)【公開日】2023-06-06

【審査請求日】2023-11-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000132161

【氏名又は名称】株式会社スギノマシン

(74)【代理人】

【識別番号】110000165

【氏名又は名称】弁理士法人グローバル・アイピー東京

(72)【発明者】

【氏名】杉田 浩二

(72)【発明者】

【氏名】光江 豊彰

(72)【発明者】

【氏名】沢崎 富男

【審査官】東 勝之

(56)【参考文献】

【文献】実開昭５５－１７４９８７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００８－１０８７９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０７７２４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０３１６９５８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平１０－０００４３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２９６７２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５８－１０４６８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７３４１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－２０２３５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０８Ｂ ３／０２

Ｇ０１Ｎ １／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

洗浄液を貯留するタンクと、
下方に開放する上部カバーであって、
天井開口と、
壁面に配置された搬入口と、
を有する上部カバーと、
前記天井開口に配置され、前記上部カバー内へ清浄空気を送り出す清浄空気発生器と、
前記搬入口を遮蔽する遮蔽体と、
排出口を有し、前記上部カバーの下方に配置される流し台であって、下方に向けて断面が縮小する流し台と、
測定濾紙が装着される漏斗を有する濾紙装着部であって、漏斗が、
前記排出口と接続される注ぎ口と、
出口と、
を有する濾紙装着部と、
前記出口に接続される第１吸引口を有し、前記測定濾紙の裏面から濾液を吸引し、前記タンクへ戻す濾過ポンプと、
前記タンクに貯留された前記洗浄液を吐出する吐出口を有する洗浄ポンプと、
前記上部カバーの外部に配置された洗浄弁と、
前記上部カバー内に配置され、前記洗浄弁を介して前記吐出口と接続されるノズルであって、
第１濾過フィルタと、
前記第１濾過フィルタの下流に接続される噴口と、
を有するノズルと、
を有する、残留物回収装置。

【請求項2】

前記上部カバーを貫通して、前記洗浄弁と前記第１濾過フィルタとの間を接続するノズルチューブを更に有し、
前記ノズルは、前記ノズルチューブによって前記上部カバーの上方から吊り下げられる、
請求項１に記載の残留物回収装置。

【請求項3】

前記上部カバーの上部に配置された回転台と、
前記回転台から吊り下げられ、測定対象物が設置される測定皿と、
を更に有する、請求項１又は２に記載の残留物回収装置。

【請求項4】

前記出口と前記タンクとの間に配置された第２濾過フィルタを更に有する、
請求項１～３のいずれかに記載の残留物回収装置。

【請求項5】

前記洗浄弁を開閉させるフットスイッチを更に有する、
請求項１～４のいずれかに記載の残留物回収装置。

【請求項6】

前記流し台は、
前記排出口を有し、前記濾紙装着部に接続される漏斗部と、
前記漏斗部と前記上部カバーとの間に取り外し可能に設置された絞り袋と、
を有する、請求項１～５のいずれかに記載の残留物回収装置。

【請求項7】

前記絞り袋は、導電性プラスチックのシートで構成される、
請求項６に記載の残留物回収装置。

【請求項8】

前記濾紙装着部は、
前記排出口と接続される流入口を有する装着部ボディと、
前記排出口と離間して配置される支持プレートであって、垂直軸を中心に装着位置と濾過位置との間を旋回し、前記漏斗を支持する支持プレートと、
前記測定濾紙を保持する保持枠と、
を有し、
前記支持プレートが前記装着位置にあるとき、上方から見て、前記注ぎ口は前記流入口と重ならず、
前記支持プレートが前記濾過位置にあるとき、前記注ぎ口は前記流入口と接続される、
請求項１～７のいずれかに記載の残留物回収装置。

【請求項9】

前記支持プレートは、前記装着位置から前記濾過位置に向かうにつれて上昇し、前記濾過位置にあるときに、前記保持枠が前記流入口に密着する、
請求項８に記載の残留物回収装置。

【請求項10】

前記濾紙装着部は、
リード溝を有し、前記垂直軸を中心に前記装着部ボディに固定されるカム軸と、
フォロー溝と、接触子保持部とを有するスライダであって、前記カム軸が貫通して、前記カム軸の回りに旋回するスライダと、
前記装着部ボディに配置され、前記フォロー溝と接触する第１接触子を有する原動節と、
前記リード溝と前記接触子保持部との間に配置された第２接触子と、
を有し、
前記スライダは、前記原動節の移動によって上下方向に駆動し、前記第２接触子の前記リード溝に沿った移動によって前記カム軸の回りを旋回する、
請求項８又は９に記載の残留物回収装置。

【請求項11】

前記スライダは、中空円筒状であり、
前記フォロー溝は、前記スライダの外周に、周方向に延び、
前記原動節は、水平に延びるハンドル軸を中心に回転可能に前記装着部ボディに配置されたクランク軸であり、
前記第１接触子は、前記ハンドル軸と離間して配置され、前記ハンドル軸と平行に回転するローラである、
請求項１０に記載の残留物回収装置。

【請求項12】

前記リード溝は、Ｕ字状の横断面を有し、前記カム軸の外周面に配置され、
前記第２接触子は、ボールである、
請求項１０又は１１に記載の残留物回収装置。

【請求項13】

回収室内に清浄空気を送り、前記回収室内の内圧を周囲環境より高め、
測定対象物を前記回収室内に吊り下げ、
閉じたタンクの内部に貯留された洗浄液を加圧して、洗浄弁を通過した前記洗浄液をろ過して、前記回収室内で噴口から噴出し、
前記洗浄液の噴流を前記測定対象物にかけ流し、
前記測定対象物から流れ出た残留物を減圧ろ過し、
減圧濾過で得られた濾液をろ過して前記タンクへ戻す、
残留物回収方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、洗浄後の測定対象物に残留する異物を回収するための残留物回収装置及び残留物回収方法に関する。

【背景技術】

【0002】

洗浄後の測定対象物に残留する異物のサイズや質量を測定するために、洗浄後の測定対象物を洗浄液で洗い流し、フィルタに回収する残留物回収ユニットが知られている（株式会社スギノマシンが提供するカタログＮｏ．Ｑ２４２６Ｎ「汎用型高効率洗浄システム JCCシリーズ ジェットクリーンセンタシリーズ」１４頁に掲載の「残留物回収ユニット」）。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

洗浄後の測定対象物に残留する異物のサイズや質量の許容される限界値（清浄度規格）が小さいときがある。発明者らは、様々な洗浄方法により測定対象物を洗浄し、複数の手法による洗浄後の測定対象物に残留する異物の測定を繰り返した。また、発明者らは、残留物回収ユニットから異物が発生する可能性を考慮し、清浄な測定対象物に残留する異物の回収及び測定を何回も連続して行った。

【0004】

その結果、発明者らは、測定した異物の全てが測定対象物に由来するものではないことを見出した。具体的には、異物が残留物回収ユニットの外部から混入する場合や、残留物回収ユニットの内部で発生する場合があることを発見した。洗浄度規格が小さい場合、残留物回収ユニットの外部から混入した異物や、内部で発生した異物によって、容易に清浄度規格を超過し得る。
そこで、本発明は、残留物回収ユニットへの異物の混入や、残留物回収ユニットからの異物の発生を抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の第１の側面は、
洗浄液を貯留するタンクと、
下方に開放する上部カバーであって、
天井開口と、
壁面に配置された搬入口と、
を有する上部カバーと、
前記天井開口に配置され、前記上部カバー内へ清浄空気を送り出す清浄空気発生器と、
前記搬入口を遮蔽する遮蔽体と、
排出口を有し、前記上部カバーの下方に配置される流し台であって、下方に向けて断面が縮小する流し台と、
測定濾紙が装着される漏斗を有する濾紙装着部であって、漏斗が、
前記排出口と接続される注ぎ口と、
出口と、
を有する濾紙装着部と、
前記出口に接続される第１吸引口を有し、前記測定濾紙の裏面から濾液を吸引し、前記タンクへ戻す濾過ポンプと、
前記タンクに貯留された前記洗浄液を吐出する吐出口を有する洗浄ポンプと、
前記上部カバーの外部に配置された洗浄弁と、
前記上部カバー内に配置され、前記洗浄弁を介して前記吐出口と接続されるノズルであって、
第１濾過フィルタと、
前記第１濾過フィルタの下流に接続される噴口と、
を有するノズルと、
を有する、残留物回収装置である。

【0006】

本発明の第２の側面は、
回収室内に清浄空気を送り、前記回収室内の内圧を周囲環境より高め、
測定対象物を前記回収室内に吊り下げ、
閉じたタンクの内部に貯留された洗浄液を加圧して、洗浄弁を通過した前記洗浄液をろ過して、前記回収室内で噴口から噴出し、
前記洗浄液の噴流を前記測定対象物にかけ流し、
前記測定対象物から流れ出た残留物を減圧ろ過し、
減圧濾過で得られた濾液をろ過して前記タンクへ戻す、
残留物回収方法である。

【0007】

洗浄液は、例えば、水系洗浄液や、油剤である。水系洗浄液は、例えば、中性洗浄液や塩基性洗浄液である。油剤は、炭化水素やフッ素系溶剤である。油剤は、濾過された鉱物油や植物油でも良い。鉱物油は、例えば、灯油である。

【0008】

望ましくは、残留物回収装置は、クリーンブースやクリーンルームの内部に設置される。上部カバーと、遮蔽体と、流し台とは、回収室を構成する。ノズルから噴射した洗浄液は、回収室内で測定対象物に衝突し、流し台から測定濾紙に回収される。濾液は、タンクに回収される。

【0009】

ノズルは、例えば、直射ノズル、平射ノズル、円錐噴射ノズルである。ノズルは、弁やトリガーを有さない。好ましくは、ノズルは、握りも有さない。好ましくは、噴口と第１濾過フィルタのケーシングとは、一体に形成される。好ましくは、ケーシングから第１濾過フィルタを取り外しできる。例えば、配管、弁、ノズルの素材は、プラスチックである。ノズルチューブは、例えば、コイルチューブである。好ましくは、ノズルやコイルチューブの素材は、プラスチックである。

【0010】

遮蔽体は、搬入口に吊り下げられたカーテンでも良い。また、遮蔽体は、搬入口に配置された扉でも良い。残留物回収装置は、上部カバー又は扉に配置されたグローブ穴を有しても良い。
上部カバーと、流し台と、遮蔽体とは、発生した静電気を床やアース線を通して放電できる程度の導電性を有する。

【0011】

漏斗は、注ぎ口に配置された第１濾紙台を有しても良い。漏斗は、足（管部）を省いて良い。保持枠は、枠体と、第２濾紙台とを有して良い。第２濾紙台は、枠体の上方に設置されて良い。第１濾紙台や第２濾紙台は、メッシュや多孔質板でも良い。
第１測定濾紙は、第１濾紙台に載せられる。第２測定濾紙は、第２濾紙台に載せられる。保持枠は、それぞれの測定濾紙の上方に配置されて良い。フィルタ保持枠は、第１測定濾紙や第２測定濾紙と装着部ボディの流入口とを接続する。
漏斗の出口と、濾過ポンプの第１吸引口と、を接続しても良い。

【0012】

濾過ポンプは、タンクに接続される第２吐出口を有しても良い。このとき、第２濾過フィルタは、第２吐出口と前記タンクとの間に配置される。

【0013】

なお、濾過ポンプの第１吸引口は、タンクに接続され、タンク内を減圧しても良い。このとき、出口とタンクは、濾液流路で接続される。第２濾過フィルタは、濾液流路の内部に配置されて良い。
好ましくは、タンクは、閉じられている。

【0014】

濾紙装着部は、
リード溝を有し、前記垂直軸を中心に前記装着部ボディに固定されたカム軸と、
前記装着部ボディに回転可能に支持されて前記垂直軸を中心に延びる回転軸と、接触子保持部と、を有し、カム軸の回りに旋回するスライダと、
回転軸に接続されたハンドルと、
リード溝と接触子保持部との間に配置された第３接触子と、を有してもよい。
スライダは、ハンドルによって回転し、第３接触子がリード溝に沿って移動してカム軸に沿って昇降しても良い。

【0015】

残留物回収装置は、上部カバーの外側に配置された、手洗ノズルと、手洗弁と、手洗台と、を有しても良い。
手洗ノズルは、手洗台の上方に配置される。手洗ノズルは、手洗弁を介して、第１吐出口（吐出口）と接続されても良い。第４濾過フィルタは、洗浄ポンプと手洗弁との間に配置されても良い。洗浄ポンプの第１吐出口から分岐を設けて、手洗弁と洗浄弁に接続し、第４濾過フィルタを洗浄ポンプの第１吐出口と分岐との間に配置しても良い。

【0016】

望ましくは、手洗台は、回収室の外側に配置される。好ましくは、手洗台は、流し台の下方に配置される。手洗い台は、第２排出口を有する。手洗い台は、手洗いノズルから噴出された洗浄液を集め、第２排出口から排出する。残留物回収装置は、手洗台吸引ポンプと、第３濾過フィルタと、を有しても良い。手洗台吸引ポンプは、第２吸引口と第３吐出口を有する。第２吸引口は、第２排出口に接続される。第３吐出口は、第３濾過フィルタを介してタンクへ接続される。
残留物回収装置は、第４濾過フィルタを含んでも良い。第４濾過フィルタは、洗浄ポンプと、手洗ノズルとの間に配置される。

【0017】

なお、残留物回収装置は、手洗ポンプと、第５濾過フィルタとを含んでも良い。手洗ポンプは、第４吐出口と、第４吸引口を有する。第４吐出口は、手洗いノズルに接続される。第４吸引口は、タンクに接続される。第５濾過フィルタは、手洗ポンプと、手洗ノズルとの間に配置される。
残留物回収装置は、手洗弁を開閉する第２フットスイッチを含んでも良い。
また、残留物回収装置は、手洗ポンプと第２フットスイッチを有し、手洗弁を有さなくても良い。このとき、第２フットスイッチは、手洗ポンプの駆動と停止を制御する。

【0018】

測定皿は、ワイヤーを組んで構成されたワイヤーかごでも良い。
好ましくは、洗浄弁、手洗弁、濾過ポンプ、洗浄ポンプ、手洗台吸引ポンプ、タンク、第２濾過フィルタ、第３濾過フィルタや第４濾過フィルタは、流し台の下方に配置される。好ましくは、洗浄弁や手洗弁の駆動スイッチは、流し台の下方に配置される。

【0019】

例えば、濾過ポンプ、洗浄ポンプ、手洗台吸引ポンプは、ダイヤフラムポンプである。ダイヤフラムポンプの素材は、例えば、プラスチックである。

【発明の効果】

【0020】

本発明の残留物回収装置及び残留物回収方法によれば、残留物回収装置への外部からの異物の混入や、残留物回収ユニットからの異物の発生を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】実施形態１の残留物回収装置の正面図

【図2】実施形態１の残留物回収装置の空圧及び液圧回路図

【図3】図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線組み合わせ断面図

【図4】図３のＩＶ－ＩＶ線断面図

【図5】図１のＶ－Ｖ線断面図

【図6】図５のＶＩ－ＶＩ線断面図

【図7】実施形態１のカム曲線

【図8】実施形態２の残留物回収装置の一部を切断した正面図

【図9】図７のＩＸ－ＩＸ線断面図

【図10】図９のＸ－Ｘ線断面図

【図11】実施形態２のカム曲線

【発明を実施するための形態】

【0022】

（実施形態１）
図１及び図２に示すように、本実施形態の残留物回収装置１０は、回収室１８と、濾過ポンプ６５と、タンク６９と、洗浄ポンプ７１と、洗浄弁７５と、ノズル７９と、コイルチューブ（ノズルチューブ）７８と、を有する。回収室１８は、上部カバー１２と、下部フレーム１１と、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ、清浄度発生器）１３と、扉（遮蔽体）１４と、流し台１６と、濾紙装着部３５と、を有する。

【0023】

残留物回収装置１０は、圧縮空気源７０と、第２濾過フィルタ６７と、第４濾過フィルタ７２と、フットスイッチ７６と、手洗弁８３と、手洗ノズル８５と、手洗台８６と、手洗台吸引ポンプ８８と、第３濾過フィルタ９０と、フットスイッチ８４と、クランプ５４と、を有して良い。
更に、残留物回収装置１０は、流量計７３と、絞り７７と、絞り８９と、絞り６６と、絞り７４と、絞り９１と、を有して良い。

【0024】

上部カバー１２は、下方に開口する箱型のカバーである。上部カバー１２は、天井面に天井開口１２ａを有し、正面に搬入口１２ｂを有する。上部カバー１２は、下部フレーム１１に支持される。望ましくは、下部フレーム１１は、キャスター１１ａを有する。上部カバー１２は、透明でも良い。上部カバー１２は、ソケット６８を有する。ソケット６８は、上部カバー１２の上方、例えば天井面に配置される。

【0025】

ＦＦＵ１３は、天井開口１２ａに配置される。ＦＦＵ１３は、空気清浄フィルタとファンとを有する。ＦＦＵ１３は、外部から取り入れた空気を清浄化し、回収室１８の内部に吹き出す。

【0026】

扉１４は、搬入口１２ｂに配置される。扉１４は、透明である。扉１４は、例えば、両開き戸である。扉１４は、一対のグローブ穴１５を有する。グローブ穴１５は、扉１４の下方に配置される。グローブ穴１５は、筒部１５ａを有して良い。筒部１５ａは、例えば、０．１ｍ程度の長さを有する。作業者は、グローブ穴１５を通して、グローブを装着した手を上部カバー１２の内部へ挿入できる。なお、グローブ穴１５にグローブを装着しても良い。

【0027】

図３を合わせて参照して、流し台１６は、第１排出口（排出口）１７を有する。流し台１６は、上部カバー１２の下方に配置される。流し台１６は、下部フレーム１１に支持される。流し台１６は、例えばステンレス鋼板で構成され、研磨される。流し台１６は、第１排出口１７に向かうにつれて深くなるように、底面が傾斜している。流し台１６の底面は、例えば、３度～１５度傾斜する。第１排出口１７は、フランジ１７ａを有する。第１排出口１７には、濾紙装着部３５が接続される。

【0028】

上部カバー１２と、流し台１６と、扉１４は、下部フレーム１１を通して発生した静電気を放電できる程度の導電性を有する。望ましくは、下部フレーム１１は接地される。また、望ましくは、残留物回収装置１０は、金属床か、静電処理された床面に設置される。

【0029】

濾過ポンプ６５は、例えば、圧縮空気駆動式のダイヤフラムポンプである。濾過ポンプ６５は、回収室１８の外部に配置される。例えば、濾過ポンプ６５は、下部フレーム１１に配置される。好ましくは、濾過ポンプ６５は、流し台１６の下方に配置される。濾過ポンプ６５は、第１吸引口６５ａと、第２吐出口６５ｂと、を有する。第１吸引口６５ａは、濾紙装着部３５と接続される。第２吐出口６５ｂは、第２濾過フィルタ６７を介してタンク６９に接続される。

【0030】

タンク６９は、蓋を有する。好ましくは、タンク６９は、密閉できる。タンク６９は、例えば、円筒形である。タンク６９は、洗浄液３を貯留する。
タンク６９は、上方に流入口を有する。濾過ポンプ６５や手洗台吸引ポンプ８８からの液体は、流入口から流入する。好ましくは、流入口は、洗浄液３の液面よりも上方に配置される。

【0031】

洗浄ポンプ７１は、例えば、圧縮空気駆動式のダイヤフラムポンプである。洗浄ポンプ７１は、回収室１８の外部に配置される。例えば、洗浄ポンプ７１は、下部フレーム１１に配置される。望ましくは、洗浄ポンプ７１は、流し台１６の下方に配置される。洗浄ポンプ７１は、第３吸引口７１ａと、第１吐出口（吐出口）７１ｂと、を有する。第３吸引口７１ａは、タンク６９の底部に接続される。第１吐出口７１ｂは、洗浄弁７５を介してノズル７９に接続される。

【0032】

手洗台８６は、回収室１８の外部に配置される。例えば、手洗台８６は、下部フレーム１１や上部カバー１２の側方に配置される。手洗台８６は、第２排出口８６ａを有する。手洗ノズル８５は、手洗台８６の上方に配置される。手洗ノズル８５は、手洗弁８３と、絞り８９とを介して第１吐出口７１ｂと接続される。第１吐出口７１ｂからの流路は、分岐口９３で分岐する。第１の流路は、手洗ノズル８５へ接続される。第２の流路は、ノズル７９へ接続される。

【0033】

手洗台吸引ポンプ８８は、例えば、圧縮空気駆動式のダイヤフラムポンプである。手洗台吸引ポンプ８８は、第２吸引口８８ａと、第３吐出口８８ｂを有する。第２吸引口８８ａは、第２排出口８６ａに接続される。第３吐出口８８ｂは、第３濾過フィルタ９０を介してタンク６９と接続される。

【0034】

第４濾過フィルタ７２は、分岐口９３と第１吐出口７１ｂとの間に配置されて良い。なお、第４濾過フィルタ７２は、分岐口９３と手洗弁８３との間に配置されても良い。
流量計７３は、分岐口９３とノズル７９との間に配置される。好ましくは、流量計７３は、積算流量計である。

【0035】

ノズル７９は、噴口７９ａと、第１濾過フィルタ７９ｂと、を有する。ノズル７９は、円筒状のケーシングを有する。ケーシングの内部に、第１濾過フィルタ７９ｂが配置される。好ましくは、第１濾過フィルタ７９ｂは交換可能である。ノズル７９は、コイルチューブ７８によってソケット６８に接続され、上部カバー１２内に吊り下げられる。ノズル７９とコイルチューブ７８は、プラスチックで構成される。

【0036】

圧縮空気源７０は、例えば、空気圧縮機や圧縮空気供給口である。圧縮空気供給口は、残留物回収装置１０の外部に設置された空気圧縮機と接続される。圧縮空気源７０は、絞り６６を介して、濾過ポンプ６５と接続される。
圧縮空気源７０は、絞り７４を介して、洗浄ポンプ７１と接続される。圧縮空気源７０は、絞り９１を介して、手洗台吸引ポンプ８８と接続される。
圧縮空気源７０は、フットスイッチ７６を介して、洗浄弁７５と接続される。圧縮空気源７０は、フットスイッチ８４を介して、手洗弁８３に接続される。

【0037】

洗浄弁７５と手洗弁８３は、回収室１８の外部に配置される。例えば、洗浄弁７５と手洗弁８３は、空気圧駆動式の２方弁である。例えば、フットスイッチ７６とフットスイッチ８４は、３ポート流路切替弁である。
好ましくは、濾過ポンプ６５、タンク６９、洗浄ポンプ７１、洗浄弁７５、第２濾過フィルタ６７、第４濾過フィルタ７２、フットスイッチ７６と、手洗弁８３、手洗台吸引ポンプ８８、第３濾過フィルタ９０やフットスイッチ８４は、流し台１６の下方に配置される。

【0038】

図３及び図４に示すように、回収室１８は、梁２１と、回転台２２と、吊具２６と、ワイヤー２７と、測定皿２８と、を有して良い。梁２１は、上部カバー１２の天井面に、例えば上方から見てＸ字状に、配置される。
回転台２２は、梁２１に支持される。回転台２２は、ケース２３と、軸受２４と、回転シャフト２５と、を有する。ケース２３は、中空円筒状である。回転シャフト２５は、軸受２４を介して、ケース２３の内部に支持される。回転シャフト２５は、ケース２３の下方に突出する。

【0039】

吊具２６は、例えば、矩形の枠体であり、回転シャフト２５の下面に設置される。吊具２６は、回転シャフト２５と一体に回転する。
測定皿２８は、例えば、薄型のワイヤーかごである。測定皿２８は、ワイヤー２７によって吊具２６から吊り下げられる。測定対象物４は、測定皿２８の上面に載せられる。

【0040】

図３、図５及び図６に示すように、濾紙装着部３５は、装着部ボディ３６と、軸受３８と、カム軸４５と、スライダ４７と、ボール（第２接触子）４８と、クランク軸（原動節）３９と、ハンドル４０と、ローラ（第１接触子）４１と、支持プレート４９と、保持枠ガイド５０と、漏斗５５と、保持枠５６と、を有する。

【0041】

装着部ボディ３６は、継手部３６ａと、カムフレーム３６ｆと、を有する。継手部３６ａは、流入口３６ｂと、フランジ３６ｃと、接続面３６ｄと、を有する。継手部３６ａは、中空円筒状である。継手部３６ａは、上端に流入口３６ｂを有し、下端に接続面３６ｄを有する。
フランジ３６ｃは、流入口３６ｂの周囲に配置される。例えば、フランジ３６ｃは、フランジ１７ａにクランプ５４で着脱可能に固定される。接続面３６ｄは、例えば、平面である。接続面３６ｄは、保持枠５６に接続される。
カムフレーム３６ｆは、正面視でＣ字状であり、継手部３６ａに固定される。カムフレーム３６ｆは、軸受ケース３６ｇを有しても良い。軸受ケース３６ｇは、ハンドル軸４３を中心に軸受３８を支持する。ハンドル軸４３は、水平方向に延びる。好ましくは、カムフレーム３６ｆは、継手部３６ａと一体に構成される。

【0042】

カム軸４５は、垂直軸４６に沿って、カムフレーム３６ｆに固定される。カム軸４５は、円柱状であり、円筒面４５ａと、リード溝４５ｂとを有する。カム軸４５は、１本又は複数（例えば２本）のリード溝４５ｂを有する。リード溝４５ｂは、Ｕ字状断面を有し、円筒面４５ａに沿って形成される。リード溝４５ｂのカム曲線を図７に示す。図７は、スライダ４７のリフト量ｈ（ｍｍ）に対するスライダ４７の回転角θ（度）を示す。ここで、θ＝０度は装着位置６０に対応し、θ＝９０度は、濾過位置５９に対応する。リフト量ｈが０から最大リフト量ｈ０の６０％～８０％においてリフト量ｈと回転角θが比例し、回転角θが９０度に達する。その後、リフト量ｈが最大リフト量ｈ０に達するまで回転角θが９０度に保たれる。

【0043】

スライダ４７は、カム軸４５を中心に、カム軸４５がスライダ４７を貫通するように、配置される。スライダ４７は、胴部４７ａと、小径部４７ｂと、ボール保持穴（接触子支持部）４７ｃと、フォロー溝４７ｄと、内筒面４７ｆと、を有する。胴部４７ａは、円筒状である。胴部４７ａの下方に、小径部４７ｂが位置する。内筒面４７ｆは、円筒面４５ａと上下方向及び回転方向に摺動する。ボール保持穴４７ｃは、内筒面４７ｆの中央部に配置される。ボール４８は、ボール保持穴４７ｃの内部に保持され、スライダ４７の回転に伴ってリード溝４５ｂを転動する。フォロー溝４７ｄは、例えば、胴部４７ａの上端部に配置される。フォロー溝４７ｄは、円周方向に延びる。フォロー溝４７ｄの横断面は、矩形である。

【0044】

クランク軸３９は、軸受３８に支持される。クランク軸３９は、カムフレーム３６ｆを貫通して配置される。ハンドル４０は、カムフレーム３６ｆの外側のクランク軸３９の一端部に締結される。クランク軸３９は、ハンドル軸４３を中心に回転する。クランク軸３９は、ハンドル軸４３から距離５３だけずれた軸上にローラ４１を支持する。距離５３は、スライダ４７の最大リフト量ｈ０に等しい。クランク軸３９の他端部には、軸受４２を介してローラ４１が配置される。ローラ４１は、円筒形であり、フォロー溝４７ｄ内に配置される。ローラ４１は、クランク軸３９の回転に伴い、フォロー溝４７ｄ内を転動する。

【0045】

支持プレート４９は、矩形の平板であり、第１穴４９ａと、第２穴４９ｂとを有する。第１穴４９ａが小径部４７ｂに装着されて、支持プレート４９がスライダ４７に結合する。保持枠ガイド５０は、支持プレート４９の上面から、上方に延びる。例えば、複数（例えば３つ）の保持枠ガイド５０が、第２穴４９ｂを中心とする円周上に均等に配置される。

【0046】

漏斗５５は、注ぎ口５５ａと、出口５５ｃと、第１濾紙台５５ｂと、小径部５５ｄと、を有する。小径部５５ｄが第２穴４９ｂに挿入され、漏斗５５が支持プレート４９に結合される。第１濾紙台５５ｂは、注ぎ口５５ａに配置される。第１濾紙台５５ｂは、例えば、多孔質板やメッシュである。第１濾紙台５５ｂは、多数の孔が開けられた平板でも良い。測定濾紙１は、第１濾紙台５５ｂの上に載せられる。出口５５ｃは、第１吸引口６５ａと接続される。漏斗５５は、足（筒部）を有さなくても良い。

【0047】

保持枠５６は、上面５６ａと、下面５６ｂと、ガイド溝５６ｃ（図５参照）と、を有する中空円筒の枠体である。保持枠５６は、漏斗５５の上方に配置される。保持枠５６は、注ぎ口５５ａと実質的に同一の内径を有する。例えば、上面５６ａと、下面５６ｂと、は平面である。上面５６ａは、接続面３６ｄと接続される。下面５６ｂは、測定濾紙１を挟んで、漏斗５５の注ぎ口５５ａに接する。保持枠５６は、保持枠５６の重量により測定濾紙１を上方から押さえて保持する。ガイド溝５６ｃは、鉛直方向に延びる断面Ｕ字状であり、保持枠５６の外周に均等に配置される。ガイド溝５６ｃは、保持枠ガイド５０に案内されて、保持枠５６の位置を保持する。

【0048】

なお、保持枠５６は、封止体（不図示）を有して良い。封止体は、例えばＯリングであり、下面５６ｂに配置される。封止体は、下面５６ｂと注ぎ口５５ａとの間を封止する。

【0049】

好ましくは、複数（実施形態では３つ）の保持枠５６が重ねて配置される。このとき、保持枠５６は、第２濾紙台５６ｄを有する。第２濾紙台５６ｄは、保持枠５６の上面５６ａに沿って配置される。第２濾紙台５６ｄの上面には、第２測定濾紙２が載せられる。最上段の保持枠５６には、第２濾紙台５６ｄを設けなくても良い。第２測定濾紙２は、第１測定濾紙１よりも保持粒子径が大きい。

【0050】

支持プレート４９が装着位置６０にあるときに、作業者が向かって時計回りにハンドル４０を９０度回す。すると、スライダ４７は、リード溝４５ｂに沿って上昇しながら９０度旋回し、その後、上昇して濾過位置５９に達する。濾過位置５９において、保持枠５６と、漏斗５５と、継手部３６ａとが互いに密着し、測定濾紙１が流入口３６ｂに接続する。
支持プレート４９が濾過位置５９にあるときに、作業者がハンドルを反時計回りに９０度回す。すると、スライダ４７は、リード溝４５ｂに沿って一旦下降し、その後、９０度旋回しながら下降を続け、装着位置６０に達する。

【0051】

以下、作業方法を説明する。最初に、作業者は、手洗台８６で手やグローブを洗浄する。次に、作業者は、扉１４を開き、搬入口１２ｂから測定対象物４を測定皿２８に載せる。作業者は、支持プレート４９が装着位置６０にあるときに、測定濾紙１や測定濾紙２を第１濾紙台５５ｂや第２濾紙台５６ｄに装着する。

【0052】

次いで、支持プレート４９を濾過位置５９へ回転させる。作業者は、グローブ穴１５を通して、手やグローブを回収室１８内に入れる。作業者は、フットスイッチ７６により洗浄弁７５を開閉する。これにより、測定対象物４に向いたノズル７９から、洗浄液３を測定対象物４にかけ流す。このとき、作業者は、回転台２２により、測定皿２８を自在に回転できる。更に、作業者は、かけ流した洗浄液３の総量を、流量計７３で測定できる。

【0053】

測定対象物４に残留していた異物は、洗浄液３と共に流し台１６から濾紙装着部３５へ流れ、測定濾紙１や測定濾紙２に捕捉される。濾過ポンプ６５は、出口５５ｃから濾液を吸引するため、濾過速度が上昇する。測定対象物４への洗浄液３のかけ流しを終えた後、作業者は、支持プレート４９を装着位置６０に回転させる。最後に、作業者は、測定濾紙１や測定濾紙２を第１濾紙台５５ｂや第２濾紙台５６ｄから取り外す。

【0054】

本実施形態によれば、ＦＦＵ１３が回収室１８の内部に清浄空気を送り出し、周囲環境よりも回収室１８の圧力を高める。そのため、回収室１８の外部から異物が混入しにくい。

【0055】

上部カバー１２と、流し台１６と、扉１４は、下部フレーム１１を通して発生した静電気を放電する。そのため、測定対象物４や、測定対象物４から流された異物が、静電気によって残留物回収装置１０の内部に付着しにくい。そして、測定対象物４に付着した異物が、測定濾紙１、２へ回収されやすくなる。

【0056】

発明者らは、従来技術の残留物回収装置において、クーラントガンの内部から金属片が発生することを見出した。
本実施形態のノズル７９は、内部に洗浄弁７５やトリガーを有さないため、ノズル７９の内部から異物が発生しにくい。また、ノズル７９が滑らかな外観形状を有しているため、ノズル７９の周囲に異物が付着しにくい。このように、ノズル７９が清浄に保たれることにより、ノズル７９に由来する異物が測定濾紙１や測定濾紙２に回収されることを抑制する。

【0057】

ノズル７９、洗浄弁７５、洗浄ポンプ７１等がプラスチックスで構成される場合、ノズル７９、洗浄弁７５、洗浄ポンプ７１等から金属片が発生しない。機械部品において、測定対象となる異物は、金属であることが多い。ノズル７９、洗浄弁７５、洗浄ポンプ７１等をプラスチックス製とすることにより、問題となる異物がノズル７９から発生しない。

【0058】

洗浄弁７５を回収室１８の外側に配置することにより、洗浄弁７５の外部に付着した異物や、洗浄弁７５の外部で発生した異物が回収室１８に入りにくい。また、噴口７９ａの上流に第１濾過フィルタ７９ｂを配置することにより、噴口７９ａから噴出される洗浄液が清浄となる。仮に洗浄弁７５や洗浄ポンプ７１で異物が発生しても、第１濾過フィルタ７９ｂによって洗浄液が濾過される。

【0059】

洗浄弁７５や手洗弁８３が回収室１８の外部に配置される。これにより、洗浄弁７５や手洗弁８３で発生した異物や、洗浄弁７５や手洗弁８３に付着した異物が、測定濾紙１や測定濾紙２に回収されることを抑制する。

【0060】

従来技術では、流し台１６上に設置した測定台に、測定対象物４を設置していた。そのため、測定台と流し台１６との接触により、流し台１６に傷がつく場合があった。また、流し台１６の傷に、異物が溜まる場合があった。すると、異物が流出して、測定濾紙上に回収される場合がある。また、測定対象物４の姿勢や向きを変える際、測定台が流し台１６を削り、傷をつけたり、異物が発生したりする場合があった。また、回転台を流し台１６上に設置すると、回転台内からの異物が発生して測定濾紙上に回収される場合があった。

【0061】

本実施形態の測定皿２８は、ワイヤーかごである。そのため、測定対象物４と測定皿２８とは点接触する。接触面積が小さく、接触点が丸く緩やかであるため、測定対象物４と測定皿２８との接触によって、測定対象物４からのバリの脱落が少ない。また、測定皿２８に異物がたまりにくい。

【0062】

測定皿２８は、吊具２６やワイヤー２７で吊るされる。そのため、測定皿２８と流し台１６は接触しない。また、測定皿２８は、回転台２２によって滑らかに回転する。そのため、作業者は、測定皿２８と共に測定対象物４の姿勢を容易に変更できる。そして、測定皿２８の回転による異物の発生が抑制される。

【0063】

測定皿２８は、上方から吊るされており、ワイヤーで構成される。そのため、作業者が測定対象物４を洗い流したときに、測定対象物４から流出した異物が測定皿２８に溜まりにくい。したがって、測定対象物４から流出した異物は測定濾紙１，２に速やかに回収される。

【0064】

濾過ポンプ６５、タンク６９、洗浄ポンプ７１、洗浄弁７５、第２濾過フィルタ６７、第４濾過フィルタ７２、フットスイッチ７６と、手洗弁８３、手洗台吸引ポンプ８８、第３濾過フィルタ９０やフットスイッチ８４は、回収室１８の下方に配置される。そのため、これらの機器の周囲で発生した異物や、これらの機器に付着した異物が回収室１８の内部に入り込むことが抑制される。
タンク６９へ流入する洗浄液は、第２濾過フィルタ６７や第３濾過フィルタ９０によって濾過される。したがって、タンク６９内の洗浄液が清浄に保たれる。

【0065】

上面から見て、装着位置６０は排出口１７と重なっていない。そのため、測定濾紙を容易に脱着できる。保持枠５６が第２濾紙台５６ｄを有する。そのため、保持枠５６を重ねることにより、複数の測定濾紙１、２を重ねて残留物を採取できる。測定濾紙を上段から保持粒子径が大きい順に配置することで、残留物を大きさ毎に採取できる。保持枠５６は、測定濾紙１、２の上に載せられる。そのため、支持プレート４９が濾過位置５９に回転し、測定濾紙１、２が流入口３６ｂに接続される際に、測定濾紙１、２が第１濾紙台５５ｂ、第２濾紙台５６ｄの上でずれたり、折れたりせず、作業者が測定濾紙１、２をセットした位置に測定濾紙１、２が保持される。

【0066】

濾過ポンプ６５と、洗浄ポンプ７１と、手洗台吸引ポンプ８８と、洗浄弁７５と、手洗弁８３は、圧縮空気駆動式である。フットスイッチ７６とフットスイッチ８４は、流路切替弁である。ポンプや弁が電気式ではないため、可燃性の洗浄液３を利用できる。

【0067】

（実施形態２）
図８及び図９に示すように、本実施形態の残留物回収装置１００は、回収室１１８と、濾紙装着部１３５とを有する。回収室１１８は、カーテン（遮蔽体）１１４と、流し台１１６と、を有する。その他の残留物回収装置１００の構成は、第１実施形態の残留物回収装置１０と実質的に同じである。

【0068】

カーテン１１４は、搬入口１２ｂに吊り下げられる。例えば、カーテン１１４は、縦方向に延びるスリットを有し、複数枚に分割される。好ましくは、カーテン１１４は、一部が互いに重なりあう。カーテン１１４は、グローブ穴１５を有さなくて良い。好ましくは、カーテン１１４は、導電性のプラスチックシートで構成される。

【0069】

流し台１１６は、漏斗部１１６ａと、絞り袋１１６ｂと、を有する。漏斗部１１６ａは、上方に配置された円錐状のカップと、下方に配置された第１排出口１７とを有する。絞り袋１１６ｂは、シートで構成され、底が三角形状に尖った袋状である。絞り袋１１６ｂの底面には、穴が設けられる。絞り袋１１６ｂは、上部カバー１２の下方に吊り下げられる。絞り袋１１６ｂの底部は、漏斗部１１６ａのカップ内に挿入される。絞り袋１１６ｂは、取り外し可能である。好ましくは、絞り袋１１６ｂは、導電性のプラスチックで構成される。好ましくは、絞り袋１１６ｂは、使い捨てである。

【0070】

図９及び図１０に示すように、濾紙装着部１３５は、装着部ボディ１３６と、軸受１３８と、カム軸１４５と、スライダ１４７と、ハンドル１４０と、支持プレート４９と、漏斗１５５と、保持枠１５６と、保持枠１５８と、を有する。

【0071】

装着部ボディ１３６は、継手部３６ａと、カムフレーム１３６ｆと、を有する。カムフレーム１３６ｆは、正面視でＣ字状であり、継手部３６ａに固定される。カムフレーム１３６ｆは、軸受ケース１３６ｇを有しても良い。軸受ケース１３６ｇは、垂直軸４６を中心に軸受１３８を支持する。好ましくは、カムフレーム１３６ｆは、継手部１３６ａと一体に構成される。

【0072】

カム軸１４５は、垂直軸４６に沿って、カムフレーム１３６ｆに固定される。カム軸１４５は、円柱状であり、円筒面１４５ａと、リード溝１４５ｂとを有する。カム軸１４５は、カムフレーム１３６ｆの下端部から上下方向の中央部まで延び、上端部に接続しない。カム軸１４５には、１本又は複数（例えば２本）のリード溝１４５ｂが形成される。
リード溝１４５ｂは、Ｕ字状断面を有し、円筒面１４５ａに沿って配置される。リード溝１４５ｂのカム曲線を図１１に示す。図１１は、スライダ１４７の回転角θ（度）に対するスライダ１４７のリフト量ｈ（ｍｍ）を示す。ここで、θ＝０度は装着位置６０に対応し、θ＝９０度は、濾過位置５９に対応する。回転角θ（度）が０度から６０度ないし８０度までの区間において、リフト量ｈ＝０ｍｍである。その後、回転角θが９０度までの区間においてリフト量ｈが回転角θ（度）に比例し、リフト量ｈが最大リフト量ｈ０に達する。

【0073】

スライダ１４７は、カム軸１４５を中心に配置される。スライダ４７は、胴部１４７ａと、小径部１４７ｂと、ボール保持穴（接触子保持部）１４７ｃと、内筒面１４７ｆと、軸部１４７ｇと、を有する。胴部１４７ａは、円筒状である。胴部１４７ａの下方に、小径部１４７ｂが位置する。内筒面１４７ｆは、胴部１４７ａの下方から上部にかけて配置される。内筒面１４７ｆは、円筒面１４５ａと上下方向及び回転方向に摺動する。ボール保持穴１４７ｃは、内筒面１４７ｆの中央部に配置される。ボール４８は、ボール保持穴１４７ｃの内部に保持され、スライダ１４７の旋回に伴ってリード溝１４５ｂを転動する。軸部１４７ｇは、胴部１４７ａの上方に接続され、軸受１３８に支持される。軸部１４７ｇは、カムフレーム１３６ｆを貫通し、カムフレーム１３６ｆの上方に突出する。ハンドル１４０は、軸部１４７ｇの上端に配置される。ハンドル１４０とスライダ１４７は、一体として垂直軸４６の回りを回転しながら、リード溝１４５ｂに沿って上下方向に運動する。

【0074】

図９に示すように、漏斗１５５は、外枠部１５５ｄを有する。その他の漏斗１５５の構成は、第１実施形態の漏斗５５と実質的に同一である。外枠部１５５ｄは、漏斗１５５の上面から突出する。外枠部１５５ｄは、注ぎ口５５ａの外側に配置された中空円筒の枠である。

【0075】

保持枠１５６は、内枠部１５６ａと、外枠部１５６ｂと、第２濾紙台１５６ｄとを有する。保持枠１５６は、第１実施形態のガイド溝５６ｃを有さない。その他の保持枠１５６の構成は、第１実施形態の保持枠５６と実質的に同一である。内枠部１５６ａは、中空円筒であり、保持枠１５６の下面から下方に突出する。内枠部１５６ａの内径は、保持枠１５６の内径以上である。内枠部１５６ａの外径は、外枠部１５５ｄの内径に嵌り合う。外枠部１５６ｂは、保持枠１５６の上面から上方に突出する。外枠部１５６ｂの構成は、外枠部１５５ｄと実質的に同一である。第２濾紙台１５６ｄは、外枠部１５６ｂの下端に面して設置される。

【0076】

保持枠１５８は、内枠部１５６ａと、を有し、外枠部１５６ｂと、第２濾紙台１５６ｄと、を有さない。すなわち、保持枠１５８の上面は、平面である。その他の保持枠１５８の構成は、保持枠１５６と実施的に同一である。保持枠１５８は、保持枠１５６の最上段に配置される。

【0077】

支持プレート４９が装着位置６０にあるときに、作業者が上から向かって反時計回りにハンドル４０を９０度回す。すると、スライダ１４７は、リード溝１４５ｂに沿って６０度～８０度旋回し、その後、旋回しながら上昇して濾過位置５９に達する。濾過位置５９において、保持枠１５８と、保持枠１５６と、漏斗１５５と、継手部３６ａとが互いに密着し、測定濾紙１が流入口３６ｂに接続する。
支持プレート４９が濾過位置５９にあるときに、作業者が上から向かってハンドルを時計回りに９０度回す。すると、スライダ１４７はリード溝１４５ｂに沿って旋回しながら下降し、その後、旋回を続け、装着位置６０に達する。

【0078】

本実施形態によれば、流し台１１６の大部分を占める絞り袋１１６ｂが取り外し可能である。そのため、絞り袋１１６ｂが汚れたり、傷ついたりした時点で、容易に交換できる。このため、流し台１１６に残留物や汚れが付着して、流し台１１６由来の異物が測定濾紙１，２に回収されることを抑制できる。好ましくは、一度利用する毎に絞り袋１１６ｂが交換される。

【0079】

本発明は前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。前記実施形態は、好適な例を示したものであるが、当業者ならば、本明細書に開示の内容から、各種の代替例、修正例、変形例あるいは改良例を実現することができ、これらは添付の特許請求の範囲に記載された技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0080】

１ 測定濾紙
１０、１００ 残留物回収装置
１２ 上部カバー
１３ ＦＦＵ（清浄空気発生器）
１４ 扉（遮蔽体）
１１４ カーテン（遮蔽体）
１６、１１６ 流し台
１７ 第１排出口（排出口）
３５、１３５ 濾紙装着部
６５ 濾過ポンプ
６９ タンク
７１ 洗浄ポンプ
７５ 洗浄弁
７９ ノズル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】