特許 7501153 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-10

(45)【発行日】2024-06-18

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240611BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 305

B41J2/14 611

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2020110253

(22)【出願日】2020-06-26

(65)【公開番号】P2022007337

(43)【公開日】2022-01-13

【審査請求日】2023-04-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】山崎 泰志

【審査官】中村 博之

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０８３７３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０１８５５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０９４６８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０８４７８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１０３７７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００５／０１３４１４４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

配列方向に沿って配列された複数の圧電体と、
前記複数の圧電体に対して個別に設けられ、前記配列方向と直交する延在方向に延在す
る個別電極と、
前記複数の圧電体に対して共通に設けられた共通電極と、
前記個別電極と前記共通電極とを介して前記圧電体が電気的に駆動されることにより振
動する振動板と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記複数の圧電体のそれぞれは、前記配列方向と前記延在方向のうち、前記延在方向を
長手方向として延在しており、
前記圧電体と、前記個別電極と、前記共通電極と、前記振動板と、は積層方向に積層さ
れており、
前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれた部
分を能動部とし、
前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれない
部分を非能動部とし、
前記圧電体のうち、前記積層方向に沿って見たときに、前記延在方向における前記能動
部の端と前記非能動部との境界を含む領域を第１領域とし、
前記圧電体のうち、前記第１領域と異なる領域を第２領域としたとき、
前記振動板の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記振動板の前記第２領域と
重なる位置における厚さよりも小さく、
前記圧電体の前記第１領域における厚さは、前記圧電体の前記第２領域における厚さよ
りも厚いことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記振動板は、弾性層と、前記積層方向において前記弾性層よりも前記圧電体側に位置
する絶縁層と、を有し、
前記弾性層の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記弾性層の前記第２領域と
重なる位置における厚さよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド
。

【請求項3】

前記絶縁層の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記絶縁層の前記第２領域と
重なる位置における厚さと等しいことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

複数の圧電体と、
前記複数の圧電体に対して個別に設けられた個別電極と、
前記複数の圧電体に対して共通に設けられた共通電極と、
前記個別電極と前記共通電極とを介して前記圧電体が電気的に駆動されることにより振
動する振動板と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記圧電体と、前記個別電極と、前記共通電極と、前記振動板と、は積層方向に積層さ
れており、
前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれた部
分を能動部とし、
前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれない
部分を非能動部とし、
前記圧電体のうち、前記積層方向に沿って見たときに、前記個別電極の延在方向におけ
る前記能動部の端と前記非能動部との境界を含む領域を第１領域とし、
前記圧電体のうち、前記第１領域と異なる領域を第２領域としたとき、
前記圧電体の前記第１領域における厚さは、前記圧電体の前記第２領域における厚さよ
りも厚く、
前記振動板の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記振動板の前記第２領域と
重なる位置における厚さよりも小さく、
前記振動板は、弾性層と、前記積層方向において前記弾性層よりも前記圧電体側に位置
する絶縁層と、を有し、
前記弾性層の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記弾性層の前記第２領域と
重なる位置における厚さよりも小さく、
前記絶縁層の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記絶縁層の前記第２領域と
重なる位置における厚さと等しいことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記圧電体は、前記積層方向における前記振動板側の端面である第１端面と反対側の第
２端面を有し、
前記第１領域における前記第２端面は、前記第２領域における前記第２端面と、前記積
層方向において同じ位置に位置することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記
載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記振動板は、前記積層方向における前記圧電体側の端面である第３端面と反対側の第
４端面を有し、
前記第１領域と重なる位置における前記第４端面は、前記第２領域と重なる位置におけ
る前記第４端面と、前記積層方向において同じ位置に位置することを特徴とする請求項１
から５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記積層方向に沿って、前記共通電極と、前記圧電体と、前記個別電極と、前記振動板
と、がこの順に積層されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の
液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記積層方向に沿って、前記個別電極と、前記圧電体と、前記共通電極と、前記振動板
と、がこの順に積層されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の
液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記複数の圧電体は、前記延在方向に直交する配列方向に沿って配列されていることを
特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記第１領域の前記配列方向における幅は、
前記圧電体の前記配列方向における幅と等しいことを特徴とする請求項１、２、３、９
のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記第１領域の前記配列方向における幅は、
前記圧電体の前記配列方向における幅より小さいことを特徴とする請求項１、２、３、
９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

請求項１から１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備えることを特徴とする液
体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体吐出ヘッドに関して、特許文献１には、個別電極上に設けられた圧電体層と、圧電体層上に設けられた共通電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドは、例えば、プリンター等の液体吐出装置に備えられ、電圧印加によって生じる圧電体の変位を利用して、インク等の液体を吐出する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１６－５８４６７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のような液体吐出ヘッドでは、電圧印加時に、圧電体層のうち、共通電極及び個別電極によって挟まれた能動部と、共通電極及び個別電極によって挟まれていない非能動部との間で変位の差が生じる。そのため、能動部と非能動部との境界において、変位の差に起因する応力が生じ、圧電素子にクラックが生じる虞があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の第１の形態によれば、複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対して個別に設けられた個別電極と、前記複数の圧電体に対して共通に設けられた共通電極と、前記個別電極と前記共通電極とを介して前記圧電体が電気的に駆動されることにより振動する振動板と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体と、前記個別電極と、前記共通電極と、前記振動板と、は積層方向に積層されており、前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれた部分を能動部とし、前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれない部分を非能動部とし、前記圧電体のうち、前記積層方向に沿って見たときに、前記個別電極の延在方向における前記能動部の端と前記非能動部との境界を含む領域を第１領域とし、前記圧電体のうち、前記第１領域と異なる領域を第２領域としたとき、前記圧電体の前記第１領域における厚さは、前記圧電体の前記第２領域における厚さよりも厚い。

【0006】

本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、前記第１の形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備える。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施形態としての液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。

【図2】本実施形態の液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。

【図3】液体吐出ヘッドの要部のＹＺ平面に沿った断面を示す概略図である。

【図4】圧電部の概略構成を説明する図である。

【図5】図４における圧力室及び圧電部のＶ－Ｖ断面図である。

【図6】第２実施形態における圧電部の概略構成を説明する図である。

【図7】図６における圧電部のＶＩＩ－ＶＩＩ断面図である。

【図8】第３実施形態における圧力室及び圧電部のＸＺ平面に沿った断面を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態としての液体吐出ヘッド２００を備える液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。図１には、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が表されている。Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、互いに直交する３つの空間軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿った方向であり、それぞれ、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿う一方側の方向と、その反対方向とを、両方含む。具体的には、前記Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に沿った正の方向が、それぞれ＋Ｘ方向，＋Ｙ方向，＋Ｚ方向であり、前記Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に沿った負の方向が、それぞれ－Ｘ方向，－Ｙ方向，－Ｚ方向である。Ｘ方向及びＹ方向に沿った平面をＸＹ平面と呼び、Ｘ方向及びＺ方向に沿った平面をＸＺ平面と呼び、Ｙ方向及びＺ方向に沿った平面をＹＺ平面と呼ぶこともある。なお、図１において、Ｘ軸およびＹ軸は水平面に沿った軸であり、Ｚ軸は鉛直線に沿った軸である。従って、本実施形態では、－Ｚ方向は、重力方向である。他の図においても、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が、適宜、表されている。図１におけるＸ，Ｙ，Ｚ方向と、他の図におけるＸ，Ｙ，Ｚ方向とは、同じ方向を表している。また、本明細書中で、直交とは、９０°±１０°の範囲を含む。

【0009】

本実施形態の液体吐出装置１００は、液体としてインクを吐出することによって印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する、インクジェットプリンターである。液体吐出装置１００は、印刷媒体Ｐにおけるドットのオン・オフを示す印刷データに基づいて紙等の印刷媒体Ｐ上にインクを噴射し、印刷媒体Ｐ上の様々な位置にドットを形成することにより、印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する。なお、印刷媒体Ｐとしては、紙の他に、例えば、プラスチック、フィルム、繊維、布帛、皮革、金属、ガラス、木材、セラミックスなど、液体を保持できるものを用いることができる。また、液体吐出装置１００の液体としては、インクの他に、種々の色材、電極材、生体有機物や無機物等の試料、潤滑油、樹脂液、エッチング液など、任意の液体を用いることができる。

【0010】

液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッド２００と、キャリッジ４０と、キャリッジ４０を駆動させる駆動モーター４６と、印刷媒体Ｐを搬送する搬送モーター５１と、インクカートリッジ８０と、制御部１１０とを、備える。

【0011】

制御部１１０は、１以上のプロセッサーと、主記憶装置と、外部との信号の入出力を行う入出力インターフェースとを備えるコンピューターによって構成されている。制御部１１０は、印刷データに従って、液体吐出装置１００に備えられた各機構を制御することによって、液体吐出ヘッド２００から印刷媒体Ｐ上にインクを吐出し、印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する。すなわち、制御部１１０は、液体吐出ヘッド２００の、液体を吐出する吐出動作を制御する。

【0012】

インクカートリッジ８０は、液体吐出ヘッド２００へ供給される液体としてのインクを貯留する。本実施形態では、４つのインクカートリッジ８０が、キャリッジ４０に着脱可能に構成され、４つのインクカートリッジ８０内には、液体として、それぞれ異なる色彩を有する４種類のインクが貯留されている。なお、インクカートリッジ８０は、例えば、キャリッジ４０に装着されることなく、液体吐出装置１００本体に装着されてもよい。また、他の実施形態では、インクを貯留する機構は、例えば、インクタンクや、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パック等であってもよく、インクを貯留する機構の種類や数、及び、貯留されるインクの種類や数は特に限定されない。

【0013】

本実施形態の液体吐出ヘッド２００は、キャリッジ４０に保持され、駆動モーター４６から駆動ベルト４７を介してキャリッジ４０に伝達される駆動力によって、キャリッジ４０とともに主走査方向に往復移動する。液体吐出ヘッド２００は、主走査方向に往復移動しながら、搬送モーター５１と図示しないローラーとによって主走査方向と交差する副走査方向に沿って搬送される印刷媒体Ｐ上に、インクカートリッジ８０から供給されたインクを液滴状の形態で吐出する。本実施形態では、主走査方向はＸ方向に沿った方向である。副走査方向は主走査方向にＹ方向に沿った方向であり、主走査方向と直交している。他の実施形態では、主走査方向と副走査方向とは互いに直交しなくてもよい。液体吐出ヘッド２００は、フレキシブルケーブル４１を介して、制御部１１０と電気的に接続されている。なお、液体吐出ヘッド２００の詳細については後述する。また、液体吐出装置１００は、２つ以上の複数の液体吐出ヘッド２００を備えていてもよい。

【0014】

図２は、本実施形態の液体吐出ヘッド２００の構成を示す分解斜視図である。本実施形態における液体吐出ヘッド２００は、ノズル板２１０と、圧力室基板２２０と、圧電部２３０と、封止部２５０とが、Ｚ方向に積層されることによって、構成されている。また、封止部２５０の＋Ｚ方向側の面には、駆動回路９０が設けられている。

【0015】

本実施形態のノズル板２１０は、薄板状の部材であり、ＸＹ平面に沿って配置されている。ノズル板２１０には、多数のノズル２１１がＸ軸方向に沿って１列に並んで形成されている。液体吐出ヘッド２００は、このノズル２１１から液体を噴射する。本実施形態では、ノズル板２１０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されている。なお、ノズル板２１０は、ステンレス鋼に限らず、例えば、ニッケル（Ｎｉ）合金などの他の種類の金属、または、ポリイミドやドライフィルムレジストなどの樹脂材料、シリコン（Ｓｉ）の単結晶基板やガラスセラミックスなどの無機材料等により形成されていてもよい。また、他の実施形態では、ノズル板２１０に２列以上のノズル２１１が形成されていてもよい。

【0016】

圧力室基板２２０は、圧力室２２１を区画する板状の部材である。圧力室基板２２０は、例えば、接着剤や熱溶着フィルム等を介してノズル板２１０の＋Ｚ方向の面に接合される。圧力室基板２２０には、圧力室２２１、インク供給路２２３、及び、連通部２２５を形成するための、圧力室基板２２０をＺ方向に貫通する孔ＨＬが形成されている。なお、例えば、圧力室基板２２０上に振動板２３１を積層した後に、孔ＨＬの一部や全部を形成してもよい。本実施形態において、圧力室基板２２０は、Ｓｉの単結晶基板によって形成されている。他の実施形態では、圧力室基板２２０は、例えば、Ｓｉを主成分とする他の材料や、他のセラミックス材料、ガラス材料等により形成された基板であってもよい。

【0017】

本実施形態では、複数の圧力室２２１は、Ｘ方向に沿って並んで配列するように形成されている。ノズル板２１０に圧力室基板２２０が積層されることによって、複数の圧力室２２１それぞれは、ノズル２１１と連通する。それぞれの圧力室２２１は、Ｚ方向から見て、Ｙ方向を長手方向とする略平行四辺形状を有している。

【0018】

連通部２２５は、複数の圧力室２２１それぞれに共通な空部である。連通部２２５は、インク供給路２２３を介して、複数の圧力室２２１それぞれと連通する。インク供給路２２３は、圧力室２２１よりも狭い幅で形成されており、連通部２２５から圧力室２２１に流入するインクに対して流路抵抗となる。

【0019】

圧電部２３０は、圧力室基板２２０上に、振動板２３１及び圧電素子２４０が積層されることによって構成されている。圧電部２３０は、圧電素子２４０の変形によって、圧電素子２４０と圧力室基板２２０との間に設けられた振動板２３１を振動させることで、圧力室２２１の容積を変化させることができる。なお、圧電部２３０をアクチュエーターと呼ぶこともある。また、圧電部２３０や圧電素子２４０の詳細については、後述する。

【0020】

封止部２５０は、圧電部２３０上に接着剤を介して接合される。封止部２５０は、圧電素子２４０を保持する圧電素子保持部２５１と、圧力室基板２２０の連通部２２５と連通するマニホールド部２５２とを、有している。本実施形態では、封止部２５０は、Ｓｉ単結晶基板を用いて形成されている。なお、封止部２５０は、他のセラミックス材料やガラス材料等によって形成されていてもよい。この場合、封止部２５０は、圧力室基板２２０の熱膨張率と略同一の熱膨張率を有する材料によって形成されていると好ましい。

【0021】

駆動回路９０は、圧電素子２４０を駆動するための駆動信号を、圧電素子２４０に供給する。駆動回路９０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。駆動回路９０と圧電素子２４０とは、リード電極２９５及び図示しない電気配線を介して電気的に接続されている。また、駆動回路９０と制御部１１０とは、図示しない電気配線を介して電気的に接続されている。

【0022】

図３は、液体吐出ヘッド２００の要部のＹＺ平面に沿った断面を示す概略図である。図３に示すように、上述した各部材が積層されることによって、マニホールド部２５２と連通部２２５とが連通し、複数の圧力室２２１それぞれの共通の液体室となるマニホールド２９３が形成される。更に、ノズル２１１、圧力室２２１、インク供給路２２３、及び、マニホールド２９３が連通し、インクの流路が形成される。液体吐出ヘッド２００は、圧電部２３０によって圧力室２２１の容積を変化させることで、上述の流路を介して圧力室２２１に供給された液体を、ノズル２１１から吐出する。なお、マニホールド２９３を、共通液室やリザーバーと呼ぶこともある。

【0023】

図４は、圧電部２３０の概略構成を説明する図である。図４には、ＸＹ平面において圧力室２２１が形成されている部分が、破線によって示されている。図４には、その他にも、ＸＹ平面において、後述する圧電素子２４０を構成する各部材が設けられている部分が示されている。

【0024】

図５は、図４における圧力室２２１及び圧電部２３０のＶ－Ｖ断面図である。上述したように、圧電部２３０は、振動板２３１と、圧電素子２４０とを、備えている。圧電素子２４０は、複数の圧電体２６０と、共通電極２７０と、複数の個別電極２８０とを、有している。振動板２３１と、圧電体２６０と、共通電極２７０と、個別電極２８０とは、積層方向に積層されている。具体的には、本実施形態では、これらの部材は、積層方向に沿って、＋Ｘ方向から順に共通電極２７０、圧電体２６０、個別電極２８０、振動板２３１の順に積層されている。積層方向は、同じ軸に沿う一方側の方向とその反対方向とを両方含み、本実施形態では、Ｚ方向に沿った方向である。積層方向の正負の向きと、Ｚ方向の正負の向きとは一致する。

【0025】

振動板２３１は、上述したように、圧電素子２４０の変形によって振動するように構成されている。具体的には、振動板２３１は、個別電極２８０と共通電極２７０とを介して圧電体２６０が電気的に駆動されることによって振動する。図５に示すように、本実施形態の振動板２３１は、弾性層２３２と、Ｚ方向において弾性層２３２よりも圧電体２６０側に位置する絶縁層２３３とを有している。弾性層２３２は圧力室基板２２０上および圧力室２２１上に形成され、絶縁層２３３は弾性層２３２上に形成されている。本実施形態では、弾性層２３２は、二酸化シリコンによって形成された弾性膜であり、絶縁層２３３は、酸化ジルコニウムによって形成された絶縁膜である。

【0026】

本実施形態において、圧電体２６０は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成されている。なお、圧電体２６０は、ＰＺＴに代えて、ＡＢＯ_３型で表されるいわゆるペロブスカイト構造を有する他の種類のセラミックス材料、例えば、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等によって形成されてもよい。また、圧電体２６０は、セラミックス材料に限らず、ポリフッ化ビニリデン、水晶など、圧電効果を有する任意の材料により形成されてもよい。

【0027】

共通電極２７０は、複数の圧電体２６０に対して共通に設けられた電極を指す。本実施形態の共通電極２７０は圧電体２６０の上部に積層されており、上部電極と呼ばれることもある。個別電極２８０は、複数の圧電体２６０に対して個別に設けられた電極を指す。本実施形態の個別電極２８０は圧電体２６０の下部に積層されており、下部電極と呼ばれることもある。共通電極２７０や個別電極２８０は、例えば、白金、イリジウム、チタン、タングステン、タンタル、等の各種金属や、ニッケル酸ランタン（ＬａＮｉＯ_３）等の導電性金属酸化物等によって形成される。

【0028】

図４に示すように、個別電極２８０それぞれは、Ｙ方向を長手方向とし、Ｙ方向に沿って延在している。個別電極２８０が延在する方向を、延在方向と呼ぶこともある。延在方向は、同じ軸に沿う一方側の方向とその反対方向とを両方含み、本実施形態において、延在方向の正負の向きと、Ｙ方向の正負の向きとは一致する。また、複数の個別電極２８０は、延在方向であるＹ方向に直交する配列方向に沿って配列されている。配列方向は、同じ軸に沿う一方側の方向とその反対方向とを両方含み、本実施形態では、Ｘ方向に沿った方向である。配列方向の正負の向きと、Ｘ方向の正負の向きとは一致する。

【0029】

図４では、圧電素子２４０のうち、ＸＹ平面において圧電体２６０が設けられている部分の外縁が、一点鎖線によって示されている。図４に示すように、圧電体２６０それぞれは、個別電極２８０と対応して、延在方向であるＹ方向に沿って延在している。また、複数の圧電体２６０は、個別電極２８０に対応して、配列方向であるＸ方向に沿って配列されている。なお、圧電体２６０同士は、Ｚ方向に沿って見たときに、互いの間に空隙Ｇｐを介して配置されている。

【0030】

図４には、圧電素子２４０のうち、ＸＹ平面において共通電極２７０が設けられている部分に右下がりのハッチングが付されている。また、図４および図５に示すように、共通電極２７０のＹ方向における外縁である端部Ｅｇが示されている。図４および図５に示すように、共通電極２７０は、端部Ｅｇの－Ｙ方向の全体に亘って設けられており、端部Ｅｇの＋Ｙ方向には設けられていない。

【0031】

図４および図５には、能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとが示されている。なお、図４には、ＸＹ平面における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの境界Ｂｒが太線によって示されている。能動部Ａｃとは、圧電体２６０のうち、共通電極２７０と個別電極２８０とによってＺ方向に挟まれた部分である。非能動部ＮＡｃとは、圧電体２６０のうち、共通電極２７０と個別電極２８０とによってＺ方向に挟まれない部分である。従って、非能動部ＮＡｃは、圧電体２６０のうち、圧電体２６０のＺ方向に共通電極２７０と個別電極２８０との両方が設けられていない部分、もしくは、共通電極２７０と個別電極２８０とのいずれか一方のみが設けられている部分である。

【0032】

圧電体２６０の能動部Ａｃでは、共通電極２７０及び個別電極２８０を介して圧電体２６０に電圧が印加された際に、圧電歪みが生じる。圧電素子２４０は、この圧電歪みに起因する変位によって、圧力室２２１の容積を変化させる。具体的には、圧電素子２４０は、圧電体２６０の圧電歪みによって振動板２３１を変形させて、圧力室２２１の容積を変化させる。なお、圧電体２６０の非能動部ＮＡｃでは、圧電体２６０に電圧が印加された場合でも、圧電歪みが生じない。

【0033】

図４および図５には、Ｙ方向における能動部Ａｃの端と非能動部ＮＡｃとの境界である、境界Ｂｒ１が示されている。一般に、境界Ｂｒ１のような、延在方向における能動部Ａｃの端と非能動部ＮＡｃとの境界では、能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差によるクラック等が生じやすい。すなわち、圧電体２６０の能動部Ａｃは、延在方向であるＹ方向を長手方向としているため、圧電体２６０に電圧が印加された際、能動部Ａｃは、Ｘ方向において変位するよりも、Ｙ方向において大きく変位する。これに対して、非能動部ＮＡｃは、上述したように、圧電体２６０に電圧が印加された場合であっても、圧電歪みを生じない。従って、境界Ｂｒ１のような境界では、能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力によって、クラック等が生じやすい。

【0034】

圧電体２６０は、Ｚ方向に沿って見たときに、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とを有する。第１領域Ｒ１は、Ｚ方向に沿って見たときに、境界Ｂｒ１を含む領域である。図４において、第１領域Ｒ１には、網点模様のハッチングが付されている。第２領域Ｒ２は、第１領域Ｒ１と異なる領域である。従って、第２領域Ｒ２は、Ｚ方向に沿って見たときに境界Ｂｒ１を含まない領域である。第２領域Ｒ２は、図４において、圧電体２６０が設けられている部分のうち、網点模様のハッチングが付されていない領域である。図５に示すように、圧電体２６０の第１領域Ｒ１における厚さは、圧電体２６０の第２領域Ｒ２における厚さよりも厚い。すなわち、第１領域Ｒ１は、Ｚ方向に沿って見たときに境界Ｂｒ１を含む領域であり、かつ、圧電体２６０が第２領域Ｒ２よりも厚く形成されている領域である。

【0035】

圧電体２６０の第１領域Ｒ１における厚さが、圧電体２６０の第２領域Ｒ２における厚さよりも厚いことによって、例えば、第１領域Ｒ１における圧電体２６０の厚さが第２領域Ｒ２における圧電体２６０の厚さと等しい場合と比較して、第１領域Ｒ１において生じる負荷が圧電体２６０の厚み方向であるＺ方向に分散しやすい。そのため、上述した、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減する。また、境界Ｂｒ１における圧電体２６０の厚さが厚いことによって、境界Ｂｒ１における圧電体２６０に生じる電界強度が小さくなり、圧電体２６０により高い電圧を印加した場合であっても圧電体２６０が破損しにくくなる。そのため、例えば、圧電体２６０をより高い電圧で駆動させることができ、液体吐出ヘッド２００による液体の吐出量を向上させることができる。

【0036】

なお、第１領域Ｒ１における厚さが第２領域Ｒ２における圧電体２６０の厚さと等しい場合であっても、例えば、両者の厚さをともに厚くすることによって、両者の厚さがともに薄い場合と比較して、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減すると考えられる。しかしながら、この場合、第１領域Ｒ１と比較してクラック等が生じにくい第２領域Ｒ２においても、圧電体２６０の厚みが増して電界強度が小さくなり、圧電体２６０の変位が生じにくくなる虞がある。そのため、液体吐出ヘッド２００による液体の吐出特性が低下する虞がある。本実施形態では、上述したように、第１領域Ｒ１の厚さを第２領域Ｒ２の厚さよりも厚くすることによって、例えば、第２領域Ｒ２の厚さを薄く保ったまま第１領域Ｒ１の厚さを厚くできるため、このような液体の吐出特性の低下を抑制しつつ、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力を低減できる。

【0037】

第１領域Ｒ１の範囲は、圧電体２６０の厚さが異なる部分の範囲によって定まる。本実施形態では、第１領域Ｒ１のＸ方向における幅は、圧電体２６０のＸ方向における幅と等しい。従って、第１領域Ｒ１が、Ｘ方向において他の領域と隣接しないため、第１領域Ｒ１と他の領域とのＸ方向における境界が生じず、圧電体２６０のＸ方向における耐久性が向上する。また、第１領域Ｒ１のＹ方向における幅は、振動板２３１に設けられた、後述する溝ＧａのＹ方向における幅と等しい。

【0038】

図４および図５に示すように、本実施形態の振動板２３１には、複数の圧電体２６０に亘るように、Ｘ方向に沿って１条の溝Ｇａが設けられている。本実施形態では、圧電体２６０のうち溝Ｇａと重なる領域における厚さは、溝Ｇａと重ならない領域における厚さよりも厚く形成されている。つまり、圧電体２６０のうち溝Ｇａと重なる領域が第１領域Ｒ１に相当し、溝Ｇａと重ならない領域が第２領域Ｒ２に相当する。なお、振動板２３１のうち溝Ｇａが設けられている部分では、振動板２３１のうち溝Ｇａが形成されていない部分と比較して、振動板２３１の厚みが小さい。従って、第１領域Ｒ１と重なる位置における振動板２３１の厚さは、第２領域Ｒ２と重なる位置における振動板２３１の厚さよりも小さい。

【0039】

本実施形態の溝Ｇａは、振動板２３１のうち、弾性層２３２の上面の一部を切り欠くことによって形成されている。従って、図５に示すように、弾性層２３２の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、弾性層２３２の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さよりも小さい。また、絶縁層２３３の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、絶縁層２３３の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さと等しい。なお、両者の厚さは完全に等しくなくてもよく、絶縁層２３３の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さが、絶縁層２３３の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さの±１０％の範囲に含まれる厚さであればよい。一般に、弾性層２３２は絶縁層２３３よりも厚く形成されるため、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とで弾性層２３２の厚さを異ならせることによって、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とにおける振動板２３１の厚さの差異の幅を大きくできる。

【0040】

図５に示すように、圧電体２６０は、第１端面２６１と第２端面２６２とを有している。第１端面２６１は、圧電体２６０のＺ方向における振動板２３１側の端面であり、本実施形態では、圧電体２６０の下面である。第２端面２６２は、圧電体２６０のＺ方向における第１端面２６１と反対側の端面であり、本実施形態では、圧電体２６０の上面である。本実施形態では、第１領域Ｒ１における第２端面２６２は、第２領域Ｒ２における第２端面２６２と、Ｚ方向において同じ位置に位置している。なお、両者は完全に同じ位置に位置していなくてもよく、第１領域Ｒ１における第２端面２６２のＺ方向における位置と、第２領域Ｒ２における第２端面２６２のＺ方向における位置とが、略同じ位置であれば良い。

【0041】

図５に示すように、振動板２３１は、第３端面２３６と第４端面２３７とを有している。第３端面２３６は、振動板２３１のＺ方向における圧電体２６０側の端面であり、本実施形態では、振動板２３１の上面である。第４端面２３７は、振動板２３１のＺ方向における第３端面２３６と反対側の端面であり、本実施形態では、振動板２３１の下面である。すなわち、振動板２３１の絶縁層２３３が第３端面２３６を有し、弾性層２３２が第４端面２３７を有している。本実施形態では、第１領域Ｒ１と重なる位置における第４端面２３７は、第２領域Ｒ２と重なる位置における第４端面２３７と、Ｚ方向において同じ位置に位置している。従って、本実施形態では、第１領域Ｒ１と重なる位置および第２領域Ｒ２と重なる位置において、振動板２３１の厚さは異なり、また、圧電体２６０の厚さは異なるが、振動板２３１と個別電極２８０と圧電体２６０との合計の厚さは等しい。なお、他の実施形態では、第１領域Ｒ１と重なる位置と第２領域と重なる位置で、振動板２３１と個別電極２８０と圧電体２６０の合計の厚さは等しくなくてもよい。

【0042】

本実施形態の圧電部２３０を、例えば、フォトレジストによるマスキングを利用したエッチング等を用いて作成することができる。以下では、圧電部２３０の製造方法の一例を説明する。まず、振動板２３１の弾性層２３２を、熱酸化やＣＶＤ法等によって、圧力室基板２２０上に形成する。次に、エッチング等によって、形成した弾性層２３２に溝Ｇａを形成するための切欠をパターニングして形成し、ＣＶＤ法等によって、弾性層２３２上に絶縁層２３３を形成する。上述したように、本実施形態では、振動板２３１には、溝Ｇａとして１条の溝を形成するため、複数条の溝を形成する場合よりも簡易に溝Ｇａを形成できる。そして、絶縁層２３３上に、下部電極としての個別電極２８０を、例えば、白金等の材料をターゲット材としたスパッタリング、および、エッチングによってパターニングして形成する。更に、ゾルゲル法等によって作成した圧電体２６０の前駆体を、振動板２３１の絶縁層２３３上および個別電極２８０上にスピンコート法等によってコーティングし、焼成等によって圧電体２６０を形成する。本実施形態では、振動板２３１には溝Ｇａが形成されているため、このような溶液プロセスを利用することで、溝Ｇａに対応する部分の圧電体２６０の厚さを容易に厚くでき、圧電体２６０の第１領域Ｒ１における厚さを、圧電体２６０の第２領域Ｒ２における厚さよりも容易に厚くできる。その後、圧電体２６０上に、上部電極としての共通電極２７０を、例えば、白金等の材料をターゲット材としたスパッタリング、および、エッチングによってパターニングして形成する。なお、上記の各工程において、例えば、各部材の表面の平滑化や、厚みの調整のために、適宜、エッチング等を行ってもよい。

【0043】

以上で説明した第１実施形態の液体吐出ヘッド２００によれば、圧電体２６０の第１領域Ｒ１における厚さは、圧電体２６０の第２領域Ｒ２における厚さよりも厚い。これによって、第１領域Ｒ１において生じる負荷が、圧電体２６０の厚み方向であるＺ方向に分散しやすい。そのため、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減し、境界Ｂｒ１におけるクラック等の発生が抑制される。

【0044】

また、本実施形態では、振動板２３１の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、振動板２３１の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さよりも小さい。そのため、例えば、振動板２３１の、第１領域Ｒ１と重なる位置および第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さの差異の分、圧電体２６０の厚さを異ならせて圧電体２６０を形成することによって、圧電体２６０の第１領域Ｒ１における厚さを圧電体２６０の第２領域Ｒ２における厚さよりも容易に厚くできる。

【0045】

また、本実施形態では、弾性層２３２の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、弾性層２３２の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さよりも小さい。そのため、弾性層２３２の厚さを調整することによって、振動板２３１の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さを、振動板２３１の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さよりも厚くできる。

【0046】

また、本実施形態では、絶縁層２３３の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、絶縁層２３３の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さと等しい。そのため、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とで絶縁層２３３の厚さを変化させることなく、振動板２３１の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さを、振動板２３１の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さよりも厚くできる。

【0047】

また、本実施形態では、第１領域Ｒ１における圧電体２６０の第２端面２６２は、第２領域Ｒ２における第２端面２６２と、積層方向において同じ位置に位置する。そのため、圧電体２６０の第２端面２６２が平滑になる。

【0048】

また、本実施形態では、第１領域Ｒ１と重なる位置における振動板２３１の第４端面２３７は、第２領域Ｒ２と重なる位置における第４端面２３７と、積層方向において同じ位置に位置する。そのため、振動板２３１の第４端面２３７が平滑になる。

【0049】

また、本実施形態では、積層方向に沿って、共通電極２７０と、圧電体２６０と、個別電極２８０と、振動板２３１とが、この順に積層されている。そのため、共通電極２７０が上部電極として設けられ、個別電極２８０が下部電極として設けられている場合であっても、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減し、境界Ｂｒ１におけるクラック等の発生が抑制される。そのため、圧電素子２４０の構成の自由度が高まる。

【0050】

また、本実施形態では、第１領域Ｒ１の配列方向における幅は、圧電体２６０の配列方向における幅と等しい。これによって、第１領域Ｒ１が、配列方向において他の領域と隣接しないため、圧電体２６０の配列方向における耐久性が向上する。

【0051】

Ｂ．第２実施形態：
図６は、第２実施形態における圧電部２３０ｂの概略構成を説明する図である。図６には、ＸＹ平面において圧力室２２１が形成されている部分や、後述する圧電素子２４０ｂを構成する各部材が設けられている部分が、図４に示した第１実施形態の場合と同様に示されている。本実施形態の第１領域Ｒ１は、第１実施形態と異なり、第１領域Ｒ１のＸ方向における幅は、圧電体２６０ｂのＸ方向における幅よりも小さい。なお、第２実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第１実施形態と同様である。

【0052】

図７は、図６における圧電部２３０ｂのＶＩＩ－ＶＩＩ断面図である。上述したように、本実施形態の第１領域Ｒ１のＸ方向における幅は、圧電体２６０ｂのＸ方向における幅よりも小さいため、第１領域Ｒ１の＋Ｘ方向と－Ｘ方向とには、第１領域Ｒ１と異なる領域が位置している。具体的には、本実施形態では、第１領域Ｒ１の＋Ｘ方向と－Ｘ方向とには、第２領域Ｒ２が位置している。本実施形態においても、第１領域Ｒ１において生じる負荷が圧電体２６０ｂの厚み方向であるＺ方向に分散しやすいため、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減する。また、第１領域Ｒ１のＸ方向における幅が圧電体２６０ｂのＸ方向における幅よりも小さいことによって、第１領域Ｒ１と他の領域とのＹ方向における境界のＸ方向における寸法が、圧電体２６０ｂのＸ方向における幅よりも小さくなるため、第１領域Ｒ１と他の領域とのＹ方向における境界において、クラック等の発生が抑制される。そのため、圧電体２６０ｂのＹ方向における耐久性が向上する。

【0053】

本実施形態の振動板２３１ｂには、第１実施形態と異なり、複数の圧電体２６０ｂに対応して、複数の溝Ｇｂが個別に形成されている。本実施形態の溝ＧｂのＸ方向における寸法は、圧電体２６０ｂのＸ方向における寸法よりも小さい。本実施形態においても、第１実施形態と同様に、圧電体２６０ｂのうち溝Ｇｂと重なる領域における厚さが、溝Ｇｂと重ならない領域における厚さよりも厚く形成されている。つまり、本実施形態では、圧電体２６０ｂのうち溝Ｇｂと重なる領域が第１領域Ｒ１に相当し、溝Ｇｂと重ならない領域が第２領域Ｒ２に相当する。なお、本実施形態では、第１領域Ｒ１のＸ方向およびＹ方向における寸法は、溝ＧｂのＸ方向およびＹ方向における寸法と等しい。また、本実施形態の溝Ｇｂは、第１実施形態と同様に、弾性層２３２ｂの上面の一部を切り欠くことによって形成されている。

【0054】

複数の溝Ｇｂが、複数の圧電体２６０ｂに対応して個別に設けられていることによって、１条の溝が複数の圧電体２６０ｂに亘って形成されている場合と比較して、振動板２３１ｂの耐久性が向上する。また、下部電極としての個別電極２８０をエッチングによってパターニングする際、複数の溝Ｇｂが複数の圧電体２６０ｂに対応して個別に形成されていることによって、複数の圧電体２６０ｂに対応する個別電極２８０それぞれを個別にパターニングしやすい。そのため、個別電極２８０を形成する効率を高めることができる。

【0055】

以上で説明した第２実施形態の液体吐出ヘッド２００によっても、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減し、境界Ｂｒ１におけるクラック等の発生が抑制される。特に、本実施形態では、第１領域Ｒ１の配列方向における幅は、圧電体２６０ｂの配列方向における幅より小さい。これによって、第１領域Ｒ１と他の領域との延在方向における境界の配列方向における寸法が、圧電体２６０ｂの配列方向における幅よりも小さくなるため、圧電体２６０ｂの延在方向における耐久性が向上する。

【0056】

Ｃ．第３実施形態：
図８は、第３実施形態における圧力室２２１及び圧電部２３０ｃのＸＺ平面に沿った断面を示す図である。図７には、図５に示した第１実施形態の場合と同様に、振動板２３１と圧電素子２４０ｃとが示されている。本実施形態では、第１実施形態と異なり、積層方向であるＺ方向に沿って、＋Ｚ方向から個別電極２８０ｃと、圧電体２６０と、共通電極２７０ｃと、振動板２３１とが、この順に積層されている。すなわち、共通電極２７０ｃは、圧電体２６０の下部に積層されている下部電極であり、個別電極２８０ｃは、圧電体２６０の上部に積層されている上部電極である。なお、第３実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第１実施形態と同様である。

【0057】

以上で説明した第３実施形態の液体吐出ヘッド２００によっても、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減し、境界Ｂｒ１におけるクラック等の発生が抑制される。特に、本実施形態では、Ｚ方向に沿って、個別電極２８０ｃと、圧電体２６０と、共通電極２７０ｃと、振動板２３１とが、この順に積層されている。そのため、共通電極２７０ｃが下部電極として設けられ、個別電極２８０ｃが上部電極として設けられている場合であっても、境界Ｂｒ１における能動部Ａｃと非能動部ＮＡｃとの変位の差に起因する応力が低減し、境界Ｂｒ１におけるクラック等の発生が抑制される。そのため、圧電素子２４０ｃの構成の自由度が高まる。

【0058】

Ｄ．他の実施形態：
（Ｄ－１）上記実施形態において、振動板２３１の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、振動板２３１の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さよりも小さい。これに対して、振動板２３１の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、振動板２３１の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さと同じであってもよいし、振動板２３１の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さより厚くてもよい。例えば、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とにおいて、振動板２３１の厚さが同じに構成され、圧電体２６０の厚さが異なるように構成されていてもよい。従って、圧電体２６０の第１領域Ｒ１における厚さが、圧電体２６０の第２領域Ｒ２における厚さよりも厚ければ、振動板２３１の厚みが異なる領域と圧電体２６０の厚みが異なる領域とが、それぞれ対応していなくてもよい。例えば、上記の第１実施形態から第３実施形態のように、振動板２３１に溝が設けられている場合、第１領域Ｒ１の範囲は、圧電体２６０のうち溝と重なる領域より小さい領域であってもよい。

【0059】

（Ｄ－２）上記実施形態において、弾性層２３２の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、弾性層２３２の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さよりも小さい。これに対して、弾性層２３２の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、弾性層２３２の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さと同じであってもよいし、第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さより厚くてもよい。

【0060】

（Ｄ－３）上記実施形態において、絶縁層２３３の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、絶縁層２３３の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さと等しい。これに対して、絶縁層２３３の第１領域Ｒ１と重なる位置における厚さは、絶縁層２３３の第２領域Ｒ２と重なる位置における厚さより厚くてもよいし、小さくてもよい。

【0061】

（Ｄ－４）上記実施形態において、第１領域Ｒ１における圧電体２６０の第２端面２６２は、第２領域Ｒ２における第２端面２６２と、積層方向において同じ位置に位置している。これに対して、第１領域Ｒ１における第２端面２６２は、第２領域Ｒ２における第２端面２６２と、積層方向において同じ位置に位置していなくてもよい。

【0062】

（Ｄ－５）上記実施形態において、第１領域Ｒ１と重なる位置における振動板２３１の第４端面２３７は、第２領域Ｒ２と重なる位置における第４端面２３７と、積層方向において同じ位置に位置している。これに対して、第１領域Ｒ１と重なる位置における第４端面２３７は、第２領域Ｒ２と重なる位置における第４端面２３７と、積層方向において同じ位置に位置していなくてもよい。

【0063】

Ｅ．他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【0064】

（１）本開示の第１の形態によれば、複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対して個別に設けられた個別電極と、前記複数の圧電体に対して共通に設けられた共通電極と、前記個別電極と前記共通電極とを介して前記圧電体が電気的に駆動されることにより振動する振動板と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体と、前記個別電極と、前記共通電極と、前記振動板と、は積層方向に積層されており、前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれた部分を能動部とし、前記圧電体のうち、前記個別電極と前記共通電極とによって前記積層方向に挟まれない部分を非能動部とし、前記圧電体のうち、前記積層方向に沿って見たときに、前記個別電極の延在方向における前記能動部の端と前記非能動部との境界を含む領域を第１領域とし、前記圧電体のうち、前記第１領域と異なる領域を第２領域としたとき、前記圧電体の前記第１領域における厚さは、前記圧電体の前記第２領域における厚さよりも厚い。
このような形態によれば、第１領域において生じる負荷が圧電体の厚み方向に分散しやすい。そのため、延在方向における能動部の端と非能動部との境界における、能動部と非能動部との変位の差に起因する応力が低減し、クラック等の発生が抑制される。

【0065】

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記振動板の前記第２領域と重なる位置における厚さよりも小さくてもよい。このような形態によれば、例えば、振動板の、第１領域と重なる位置および第２領域と重なる位置における厚さの差異の分、圧電体の厚さを異ならせて圧電体を形成することによって、圧電体の第１領域における厚さを圧電体の第２領域における厚さよりも容易に厚くできる。

【0066】

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板は、弾性層と、前記積層方向において前記弾性層よりも前記圧電体側に位置する絶縁層と、を有し、前記弾性層の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記弾性層の前記第２領域と重なる位置における厚さよりも小さくてもよい。このような形態によれば、弾性層の厚さを調整することによって、振動板の第１領域と重なる位置における厚さを、振動板の第２領域と重なる位置における厚さよりも厚くできる。

【0067】

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記絶縁層の前記第１領域と重なる位置における厚さは、前記絶縁層の前記第２領域と重なる位置における厚さと等しくてもよい。このような形態によれば、第１領域と第２領域とで絶縁層の厚さを変化させることなく、振動板の第１領域と重なる位置における厚さを、振動板の第２領域と重なる位置における厚さよりも厚くできる。

【0068】

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体は、前記積層方向における前記振動板側の端面である第１端面と反対側の第２端面を有し、前記第１領域における前記第２端面は、前記第２領域における前記第２端面と、前記積層方向において同じ位置に位置していてもよい。このような形態によれば、圧電体の第２端面が平滑になる。

【0069】

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板は、前記積層方向における前記圧電体側の端面である第３端面と反対側の第４端面を有し、前記第１領域と重なる位置における前記第４端面は、前記第２領域と重なる位置における前記第４端面と、前記積層方向において同じ位置に位置していてもよい。このような形態によれば、振動板の第４端面が平滑になる。

【0070】

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記積層方向に沿って、前記共通電極と、前記圧電体と、前記個別電極と、前記振動板と、がこの順に積層されていてもよい。このような形態によれば、共通電極が上部電極として設けられ、個別電極が下部電極として設けられている場合であっても、クラック等の発生が抑制される。そのため、共通電極や個別電極の構成の自由度が高まる。

【0071】

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記積層方向に沿って、前記個別電極と、前記圧電体と、前記共通電極と、前記振動板と、がこの順に積層されていてもよい。このような形態によれば、共通電極が下部電極として設けられ、個別電極が上部電極として設けられている場合であっても、クラック等の発生が抑制される。そのため、共通電極や個別電極の構成の自由度が高まる。

【0072】

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記複数の圧電体は、前記延在方向に直交する配列方向に沿って配列されていてもよい。

【0073】

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１領域の前記配列方向における幅は、前記圧電体の前記配列方向における幅と等しくてもよい。このような形態によれば、第１領域が、配列方向において他の領域と隣接しないため、圧電体の配列方向における耐久性が向上する。

【0074】

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１領域の前記配列方向における幅は、前記圧電体の前記配列方向における幅より小さくてもよい。このような形態によれば、第１領域と他の領域との延在方向における境界の配列方向における寸法が、圧電体の配列方向における幅よりも小さくなるため、圧電体の延在方向における耐久性が向上する。

【0075】

（１２）本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備える。
このような形態によれば、第１領域において生じる負荷が圧電体の厚み方向に分散しやすい。そのため、延在方向における能動部の端と非能動部との境界における、能動部と非能動部との変位の差に起因する応力が低減し、クラック等の発生が抑制される。

【0076】

本開示は、上述した液体吐出ヘッド、液体吐出装置としての形態に限らず、液体吐出システムや、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。

【符号の説明】

【0077】

４０…キャリッジ、４１…フレキシブルケーブル、４６…駆動モーター、４７…駆動ベルト、５１…搬送モーター、８０…インクカートリッジ、９０…駆動回路、１００…液体吐出装置、１１０…制御部、２００…液体吐出ヘッド、２１０…ノズル板、２１１…ノズル、２２０…圧力室基板、２２１…圧力室、２２３…インク供給路、２２５…連通部、２３０，２３０ｂ，２３０ｃ…圧電部、２３１，２３１ｂ…振動板、２３２，２３２ｂ…弾性層、２３３…絶縁層、２３６…第３端面、２３７…第４端面、２４０，２４０ｂ，２４０ｃ…圧電素子、２５０…封止部、２５１…圧電素子保持部、２５２…マニホールド部、２６０，２６０ｂ…圧電体、２６１…第１端面、２６２…第２端面、２７０，２７０ｃ…共通電極、２８０，２８０ｃ…個別電極、２９３…マニホールド、２９５…リード電極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】