特許 7501166 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-10

(45)【発行日】2024-06-18

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/046 20180101AFI20240611BHJP

【ＦＩ】

G01N23/046

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020115517

(22)【出願日】2020-07-03

(65)【公開番号】P2022013150

(43)【公開日】2022-01-18

【審査請求日】2023-05-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000002945

【氏名又は名称】オムロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】笠原 啓雅

【審査官】嶋田 行志

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－０４１９５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１６４６１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１１２８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１０／１３７２５７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－２０９０５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／０７７６２７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００－Ｇ０１Ｎ ２３／２２７６

Ｇ０１Ｂ １５／００－Ｇ０１Ｂ １５／０８

Ａ６１Ｂ ６／００－Ａ６１Ｂ ６／５８

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＪＳＴＣｈｉｎａ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ線を用いて撮像することにより対象物を検査するＸ線検査装置であって、
前記対象物のＸ線画像を撮像する時間を含み、所定の撮像条件のもとで前記対象物を検査する際に要する時間である検査時間に関する条件のユーザからの入力を受け付ける検査時間条件取得部と、
前記撮像条件を特定する複数の撮像パラメータからなる撮像パターンであって、前記検査時間に関する条件に関連付けられた撮像パターンを記憶する撮像条件記憶部と、
前記入力された前記検査時間に関する条件に関連付けられた前記撮像パターンに基づいて撮像されたＸ線画像から画質を判定するための判定用画像を取得する判定用画像取得部と、
前記判定用画像の画質を計測する画質計測部と、
計測された前記判定用画像の画質が判定基準を満たすか否かを判定する画質判定部と、を備え、
前記画質判定部は、前記判定基準を満たすと判定された前記判定用画像を取得する際の前記Ｘ線画像に対する前記撮像パターンに含まれる前記撮像パラメータを前記撮像条件と決定することを特徴とするＸ線検査装置。

【請求項2】

前記検査時間に関する条件は、前記ユーザに提示された所定の前記検査時間に対して、前記検査時間が変動するか又は変動しないかを含むことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記検査時間に関する条件は、前記判定基準を満たすと判定された前記判定用画像を生成する際の前記Ｘ線画像に対する前記撮像パターンに関連付けられた前記検査時間のうち、最短の前記検査時間に関連付けられた前記撮像パターンに含まれる前記撮像パラメータを前記撮像条件と決定することである請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記検査時間に関する条件は、前記検査時間として時間又は範囲を特定することである請求項１に記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線の透過又はＣＴ（Computer Tomography）を用いるＸ線検査装置に関す
る。

【背景技術】

【0002】

従来、Ｘ線の透過又はＣＴを用いるＸ線検査装置においては、撮像条件の設定項目が多く、作業に手間がかかっていた。また、経験の浅いユーザには、最適な条件設定を判断することも難しかった。

【0003】

そこで、Ｘ線ＣＴ装置における撮像条件の設定について、特許文献１に記載のような技術が提案されている。ここでは、ユーザは、モニタの撮像条件設定画面を通して、検査対象物の樹脂等の材質や、コントラスト及び画角という画質に関する２次元の指標のような簡単な入力を求められる。そして、この撮像条件設定画面を通してユーザが入力した情報に基づいて予めプリセットされた撮像条件を選択し、選択された撮像条件に対応したプレビュー画像をモニタに表示する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６５１９６６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、上述の技術では、ユーザが撮像条件に関する情報を入力する際に、検査時間（タクトタイム）については言及されていない。Ｘ線検査装置においては、検査時間は重要なファクターである。Ｘ線検査装置による検査工程を経て製品を出荷するように構成されたラインであれば、Ｘ線検査装置による１日当たりの検査可能な数によって、１日当たりの出荷数が制限されてしまうからである。

【0006】

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、適切な検査時間で良好な画質が得られる撮像条件を簡便に設定できるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するための本発明は、
Ｘ線を用いて撮像することにより対象物を検査するＸ線検査装置であって、
検査時間に関する条件の入力を受け付ける検査時間条件取得部と、
撮像条件を特定する複数の撮像パラメータからなる撮像パターンであって、前記検査時間に関する条件に関連付けられた撮像パターンを記憶する撮像条件記憶部と、
前記入力された前記検査時間に関する条件に関連付けられた前記撮像パターンに基づいて撮像されたＸ線画像から画質を判定するための判定用画像を取得する判定用画像取得部と、
前記判定用画像の画質を計測する画質計測部と、
計測された前記判定用画像の画質が判定基準を満たすか否かを判定する画質判定部と、を備え、
前記画質判定部は、前記判定基準を満たすと判定された前記判定用画像を生成する際の前記Ｘ線画像に対する前記撮像パターンに含まれる前記撮像パラメータを撮像条件と決定することを特徴とする。

【0008】

本発明によれば、検査時間条件取得部により、検査時間に関する条件の入力が受け付けられる。そして、入力された検査時間に関する条件に関連付けられた撮像パターンに基づいて撮像されたＸ線画像から判定用画像を取得し、判定用画像の計測された画質が判定基準を満たす場合に、判定用画像を取得する際のＸ線画像に対する撮像パターンに含まれる撮像パラメータを撮像条件として決定する。このため、本発明によれば、検査時間に関する条件を入力することができるので、画質が良好な画像が得られるだけではなく、検査時間が適切なものとなる撮像条件を簡便に設定することができるＸ線検査装置を提供することができる。

【0009】

また、本発明において、
前記検査時間に関する条件は、前記検査時間が変動するか又は変動しないかを含むようにしてもよい。

【0010】

プリセットされた撮像条件に対応する検査時間のような基準となる所定の検査時間をユーザに提示し、このような所定の検査時間から検査時間が変動する範囲で撮像条件を設定するか、変動しない範囲で撮像条件を設定するかを選択させることができる。このように、検査時間に関する条件して、検査時間が変動するか又は検査時間が変動しないかを入力させることにより、検査時間を重視する場合と、画質を重視する場合のそれぞれの要求を満たす撮像条件の設定を簡便に行うことができる。ここで、検査時間が変動しない場合には、所定の検査時間以下の時間を含む範囲での変動は許容する、すなわち、所定の検査時間を上限と考えて、この上限を超えないような変動は許容するようにしてもよい。検査時間が変動する場合は、所定の検査時間以上の時間となる場合と、所定の検査時間以下の時間となる場合の両者を許容するようにしてもよい。

【0011】

また、本発明において、
前記検査時間に関する条件は、前記判定基準を満たすと判定された前記判定用画像を生成する際の前記Ｘ線画像に対する前記撮像パターンに関連付けられた前記検査時間のうち、最短の前記検査時間に関連付けられた前記撮像パターンに含まれる前記撮像パラメータを撮像条件と決定することであるようにしてもよい。

【0012】

このようにすれば、判定基準を満たす撮像条件のうち、検査時間が最短となるような撮像条件を簡便に設定することができる。

【0013】

また、本発明は、
前記検査時間に関する条件は、前記検査時間として時間又は範囲を特定することであるようにしてもよい。

【0014】

このようにすれば、検査時間が特定の時間や特定の時間範囲となり、良好な画質が得られる撮像条件を簡便に設定することができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、適切な検査時間で良好な画質が得られる撮像条件を簡便に設定できるＸ線検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の実施例１に係るＸ線検査装置の機能ブロック図である。

【図2】本発明の実施例１に係るＸ線検査装置の撮像条件自動設定処理の手順を説明するフローチャートである。

【図3】本発明の実施例１に係る外部要件ＵＩを例示する図である。

【図4】本発明の実施例１に係るＵＩを例示する図である。

【図5】プロジェクション数と画質との関係を示す図である。

【図6】プロジェクション数と画質との関係を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0017】

〔適用例〕
以下、本発明の適用例について、図面を参照しつつ説明する。

【0018】

まず、本発明の背景となるＣＴを用いたＸ線検査装置（「Ｘ線ＣＴ装置」ともいう。）における撮像条件の設定について説明する。

【0019】

Ｘ線ＣＴ装置は、複数（例えば１５枚～５００枚程度）の投影データを用いて再構成処理を行ってＣＴ画像を取得する。Ｘ線ＣＴ装置によってＣＴ撮像を行う場合には、ＣＴ撮像が終了し、かつ再構成処理が終了した後でないと、再構成画像が最適な画像であるか否かを確認することができない。従って、ＣＴ撮像条件が適切でなかった場合には、ＣＴ撮像及び再構成処理を最初からやり直さなければならない。ＣＴ撮像を再度行ったとしても、再設定されたＣＴ撮像条件が最適であるか否かは、再撮像後の再構成画像を確認しないとわからず、場合によっては、最適な再構成画像が得られるまでＣＴ撮像を何回も繰り返さなければならない。

【0020】

このようなＸ線ＣＴ装置では、さまざまな材質や構造を撮像対象とし、画像に求められる分解能（空間分解能や濃度分解能）、撮像時間もさまざまであるので、撮像条件の自由度が高く、表１の左欄に記載された、角度、管電圧、管電流、露光時間、プロジェクション数、分解能のような撮像条件を対象物ごとに設定する必要がある。

【表1】

【0021】

上述の撮像パラメータのうち、プロジェクション数を変更した場合の画質の違いを示す。ただし、管電圧、管電流及び露光時間は変更せず、コントラストが同じになるように設定している。図５（Ａ）～図５（Ｈ）は、プロジェクション数をそれぞれ１、２、４、８、１６、３２、６４、１２８と設定した場合の撮像画像を示す。図６は、このプロジェクション数と画質との関係を示すグラフである。ここでは、縦軸の画質の数値は、信号レベルと雑音レベルの比をパーセンテージで評価した数値を示す。図５（Ａ）～図５（Ｄ）から分かるように、プロジェクション数の増加に応じて、画質が向上しているが、図５（Ｅ）～図５（Ｈ）から分かるようにプロジェクション数が１６を超えると、プロジェクション数が増加しても画質はさほど向上しない。このことは、図６からも明らかであり、プロジェクション数に応じて画質は指数関数的に向上するが、ある程度プロジェクション数が増加すると画質は収束する傾向にある。一方で、プロジェクション数の増加に比例して、タクトタイムも延びる。

【0022】

上述のように、Ｘ線ＣＴ装置において、撮像条件によっては検査時間（タクトタイム）
が延びる可能性があるため、本発明では、最適な画質と検査時間とをバランスよく実現できるよう撮像条件を設定する。

【0023】

図１は、本発明が適用されるＸ線検査装置１の機能ブロック図であり、図２は、Ｘ線検査装置１における撮像条件自動設定処理のフローチャートである。

【0024】

Ｘ線検査装置は、外部要件ＵＩ１３１を含む。この外部要件ＵＩ１３１は、図３に示すように、検査時間が変動しないか検査時間が変動するかを選択して入力できるように構成されている。検査時間が変動しないを選択すると（ステップＳ１）、撮像条件記憶部１１４に記憶された設定条件のうち、検査時間が変動しない撮像パターンが順次設定される（ステップＳ３）。そして、それぞれの撮像条件に従って撮像されたＸ線画像から検査対象物の三次元データ再構成される（ステップＳ４、Ｓ５）。三次元データから取得された判定用画像について画質が計測され（ステップＳ６、Ｓ７）、判定基準を満たすか否かが判定される（ステップＳ８）。そして、判定基準を満たすと判定された判定用画像に対応する撮像条件を、検査に使用する撮像条件に決定する（ステップＳ１０）。

【0025】

このように、本発明によれば、適切な検査時間で最適な画質が得られる撮像条件を簡便に設定できる。

【0026】

〔実施例１〕
以下では、本発明の実施例１に係るＸ線検査装置１について、図面を用いて、より詳細に説明する。ただし、この実施の形態に記載されている装置の構成は各種条件により適宜変更されるべきものである。すなわち、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣旨のものではない。

【0027】

＜装置構成＞
図１は、Ｘ線検査装置１の概略構成を示す機能ブロック図である。ここでは、Ｘ線のＣＴ画像を用いるＸ線検査装置について説明する。
Ｘ線検査装置１は、検査対象物を、複数の撮像位置から撮像して３次元データを取得する装置であり、主として、撮像部１１、演算部１２、ＵＩ部１３及びバス１４を含んで構成される。バス１４は、各部を接続してデータが送受信される伝送路である。

【0028】

撮像部１１は、Ｘ線発生器１１１、Ｘ線検出器１１２、ステージ１１３及び撮像条件記憶部１１４を含む。
Ｘ線発生器１１１は、検査対象物に対してＸ線を照射する装置である。
Ｘ線検出器１１２は、Ｘ線発生器１１１から出力され、検査対象物を透過したＸ線を検出して画像化する２次元Ｘ線検出器であり、例えば、Ｉ．Ｉ．（Image Intensifier）管
やＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）を用いることができる。
ステージ１１３は、検査対象物を複数の撮像位置から撮像するために、Ｘ線発生器１１１、Ｘ線検出器１１２及び検査対象物の全部又は一部のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の相対位置を変更する機構である。
撮像条件記憶部１１４は、メモリ（例えば、後述する補助記憶部によって構成される）の所定領域であり、撮像条件を、当該撮像条件のもとで検査を行ったときの検査時間と関連付けて記憶している。

【0029】

演算部１２は、三次元データ作成部１２１、Ｚ位置取得部１２２、ＸＹ位置取得部１２３、判定用画像取得部１２４、画質計測部１２５、画質判定部１２６及びＸＹＺ位置情報記憶部１２７を含む。演算部１２は、Ｘ線ＣＴの計算や検査処理などの各種演算を行う装置であり、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）のような論理回路により構成されてもよい。また、ＣＰＵ（中
央演算処理装置）と呼ばれる一般的な汎用演算装置、主記憶部及び補助記憶部を用いることができる。主記憶部としてＲＡＭなどのメモリを用いることができる。補助記憶部にはＲＯＭやＨＤＤやＳＳＤなどを用いることができる。

【0030】

三次元データ作成部１２１は、Ｘ線検出器１１２によって撮像された複数のＸ線透過画像から三次元データを生成する機能部である。
Ｚ位置取得部１２２は、三次元データ作成部１２１によって生成された三次元データのＺ位置を取得する機能部である。
ＸＹ位置取得部１２３は、三次元データ作成部１２１によって生成された三次元データのうち、Ｚ位置取得部１２２によって取得された領域のＸＹ位置を取得する機能部である。
判定用画像取得部１２４は、ＸＹＺ位置情報記憶部１２７から取得されたＸＹＺ位置情報に基づいて、三次元データ作成部１２１によって作成された三次元データの対応する領域の画像について、画質を判定するための判定用画像を取得する機能部である。
画質計測部１２５は、判定用画像取得部１２４において取得された判定用画像について、画質を計測する機能部である。
画質判定部１２６は、判定用画像取得部１２４において取得された判定用画像について、画質計測部１２５における計測結果に基づいて、画質が判定基準を満たすか否かを判定する機能部である。
ＸＹＺ位置情報記憶部１２７は、メモリ（例えば、補助記憶部によって構成される）の所定領域であり、ＵＩ部１３を通じて、画質を判定するための画像の、検査対象物の三次元データにおけるＸＹＺ位置情報を記憶している。

【0031】

ＵＩ部１３は、外部要件ＵＩ１３１、ＸＹＺ位置ＵＩ１３２、検査対象部品（領域）位置ＵＩ１３３及び結果表示ＵＩ１３４を含む。ＵＩ部１３は、ユーザとＸ線検査装置の間で種々の情報の授受を行うインタフェースであり、例えば、入出力部を兼ねたタッチパネルディスプレイに表示されてもよいし、独立に構成されたディスプレイ等の出力部に表示され、マウス、キーボード等の入力部による入力を受け付けるものであってもよい。
外部要件ＵＩ１３１は、外部要件として、検査時間に関する条件の入力を受け付けるユーザインタフェースであり、例えば、図３に示すようなユーザインタフェースによって構成される。ここでは、外部要件ＵＩ１３１が、本発明の検査時間条件取得部に対応する。
ＸＹＺ位置ＵＩ１３２は、検査対象物の三次元データのうち、画質判定に用いる領域のＸＹＺ位置を入力するユーザインタフェースである。
検査対象部品（領域）位置ＵＩ１３３は、検査対象物のうちの検査対象となる部品（検査対象部品）又は検査対象となる領域（検査対象領域）の位置を入力するユーザインタフェースである。以下、検査対象部品及び／又は検査対象領域を「検査対象部品（領域）」と略記する。
結果表示ＵＩ１３４は、撮像条件の自動設定処理の結果を表示するユーザインタフェースである。

【0032】

＜撮像条件自動設定処理＞
次に、図２を参照して、撮像条件自動設定処理の手順について説明する。

【0033】

撮像条件の自動設定処理に先立って、検査対象物の撮像画像に対して、撮像画像に含まれる検査対象部品（領域）のそれぞれにウィンドウを設定する。ウィンドウを設定する際に、標準の撮像条件もプリセットされる。

【0034】

そして、ウィンドウを設定した検査対象部品（領域）のいずれかを選択し、自動設定ボタンを押下することによって、撮像条件の自動設定処理が開始する。このとき、後述する画質を計測する場所を決めてもよい。

【0035】

まず、ディスプレイに外部要件ＵＩ１３１を表示し、ユーザの入力を受け付ける（ステップＳ１）。このとき、例えば、図３に示すようなダイアログをディスプレイに表示する。ここには、撮像条件の自動設定であること案内する「自動調整」との表示に加えて、「検査時間が変動しない」及び「検査時間が変動する」のいずれかを選択するための２つのラジオボタンが表示される。「検査時間が変動しない」を選択した場合には、検査時間が変動しないような外部要件（撮像条件の調整パラメータ）が設定され、「検査時間が変動する」を選択した場合には、検査時間の変動を許容する外部要件が設定される。また、このとき、プリセットされた標準の撮像条件による検査時間（例えば、６．０秒）をダイアログの中又は外に表示する。ここで表示される検査時間は、検査領域全体に対するものであっても、検査対象部品だけに対するものであってもよい。そして、ダイアログには、「確定」ボタンと「キャンセル」ボタンが表示される。「確定」ボタンが押下されると、ユ
ーザのラジオボタンによる選択が、入力として確定する。「キャンセル」ボタンが押下されると、ユーザのラジオボタンによる選択がキャンセルされ、ラジオボタンの選択をやり直す。

【0036】

次に、検査対象物の三次元データのうち、画質を計測するための場所を設定する（ステップＳ２）。ウィンドウ設定時に決定している場合、又は、後の工程で設定する場合には、この工程は省略してもよい。

【0037】

次に、ステップＳ１において設定した外部条件に基づいて、撮像条件の自動設定処理に使用するＸ線撮像パラメータの撮像パターンを設定する（ステップＳ３）。
撮像パターンを構成するＸ線撮像パラメータの例を表２に示す。

【表2】

【0038】

ここでは、Ｘ線撮像パラメータとして、角度、管電圧、管電流、露光時間、プロジェクション数、分解能が例示されているが、撮像条件の自動設定に使用するＸ線撮像パラメータはこれらに限られない。

【0039】

これらのＸ線撮像パラメータのうち、タクトタイムに影響を与えるものは、角度、露光時間、プロジェクション数及び分解能であり、タクトタイムに影響を与えないものは、管電圧及び管電流である。このうち、分解能を変更しても、解像度が変わるだけで画質には影響しないため、分解能は、撮像条件の自動設定には使用しない。ここでは、タクトタイムは、設定された撮像条件のもとで検査対象物を検査する際に要する時間（検査時間）である。

【0040】

ステップＳ１において、外部条件として、「検査時間が変動しない」が選択された場合には、管電圧及び管電流をＸ線撮像パラメータとして使用して、撮像条件の自動設定のための撮像パターンを設定する。
また、ステップＳ１において、外部条件として、「検査時間が変動する」が選択された
場合には、角度、管電圧、管電流、露光時間及びプロジェクション数をＸ線撮像パラメータとして使用して、撮像条件の自動設定のための撮像パターンを設定する。
撮像条件の自動設定ための撮像パターンは、これらに限られない。

【0041】

次に、後述するステップＳ４からステップＳ９までの処理を、全撮像パターンに対して繰り返す（ループＬ１）。このとき、全撮像パターンについて撮像を繰り返す際に、撮像パターンに含まれる複数の撮像パラメータをどのような優先順位で変更するかは、適宜設定することができるが、ステップＳ１において、「検査時間が変動する」を選択した場合であれば、角度、管電圧、管電流の順に、値を変更するようにしてもよい。

【0042】

一つの撮像パターンに対して、まず、Ｘ線発生器１１１及びＸ線検出器１１２を制御して、検査対象物のＸ線撮像を行う（ステップＳ４）。

【0043】

次に、三次元データ作成部１２１が、ステップＳ４において撮像されたＸ線画像に基づいて、三次元データを作成する（ステップＳ５）。

【0044】

次に、判定用画像取得部１２４が、ステップＳ２において設定された画質を計測する断層を特定するＸＹＺ位置をＸＹＺ位置情報記憶部１２７から取得し、ＸＹＺ位置に対応する画質判定用画像を抽出する（ステップＳ６）。ステップＳ２では、画質を計測する場所を特定するＸＹＺ位置を設定しない場合には、この工程で設定してもよい。

【0045】

次に、画質計測部１２５が画質を計測する（ステップＳ７）。画質の計測方法は、特に限定されないが、例えば、ＳＮ比、平均二乗誤差（ＭＳＥ）、詳細分散と背景分散等の適宜の方法を採用することできる。画質の計測には、自動設定処理に先立って設定したウィンドウを使用してもよい。

【0046】

次に、画質判定部１２６がステップＳ７における画質の計測結果について、画質について内部で設定された判定基準を満たしているか否かを判定する（ステップＳ８）。

【0047】

ステップＳ８において、画質が判定基準を満たしている場合には、ステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、画質判定部１２６が、ステップＳ８において基準を満たすと判断された撮像に対する撮像条件を、設定すべき撮像条件であると決定する。ステップＳ１０において決定された撮像条件及び当該撮像条件での検査時間をダイアログ等の結果表示ＵＩ１３４の形でディスプレイに表示するとともに（ステップＳ１１）その際の撮像条件及び検査時間を設定し、自動設定処理を終了する。
ステップＳ８において、画質が基準を満たしていない場合には、次の撮像パターンに対する処理に進み（ステップＳ９）、具体的には、Ｘ線撮像（ステップＳ４）以下の処理を繰り返す。

【0048】

すべての撮像パターンについて、ステップＳ８において画質が基準を満たさなかった場合には、画質判定部１２６は、図４に示すようなダイアログをディスプレイに表示して、ユーザにその旨を報知する（ステップＳ１２）。ここでは、「基準を満たしませんでしたが、最も画質が良い撮像条件を設定します。」とのメッセージとともに、「ＯＫ」ボタンが表示される。ここで、ユーザが「ＯＫ」ボタンを押下すると、最も画質が良い撮像条件が、設定すべき撮像条件であると決定され（ステップＳ１３）、ステップＳ１１と同様の処理が行われる。ユーザが「ＯＫ」ボタンを押下せずに所定時間が経過した場合には、自動設定処理を終了する。

【0049】

画角に、複数の検査対象部品（領域）が含まれる場合には、他の検査対象部品（領域）に対しても、同様に撮像条件を自動設定する。

【0050】

このように、本実施例に係るＸ線検査装置１では、適切な検査時間で最適な画質が得られる撮像条件を簡便に設定することができる。

【0051】

〔変形例〕
上述の実施例１では、外部要件ＵＩ１３１として、検査時間に関して、検査時間が変動するか、検査時間が変動しないか、を選択して入力できるようにしている。外部要件ＵＩ１３１によって入力し得る、検査時間に関する条件は、これに限られない。例えば、判定基準を満たす撮像条件が複数存在する場合に、検査時間が最短となる撮像条件を検査に使用する撮像条件に決定するようにしてもよい。また、検査時間が特定の時間又は特定の時間の範囲となるような条件を入力できるようにしてもよい。このようにすれば、ユーザの希望に沿った検査時間で良好な画質が得られる撮像条件を簡便に設定することができる。

【0052】

なお、以下には本発明の構成要件と実施例の構成とを対比可能とするために、本発明の構成要件を図面の符号付きで記載しておく。
＜発明１＞
Ｘ線を用いて撮像することにより対象物を検査するＸ線検査装置（１）であって、
検査時間に関する条件の入力を受け付ける検査時間条件取得部（１３１）と、
撮像条件を特定する複数の撮像パラメータからなる撮像パターンであって、前記検査時間に関する条件に関連付けられた撮像パターンを記憶する撮像条件記憶部（１１４）と、
前記入力された前記検査時間に関する条件に関連付けられた前記撮像パターンに基づいて撮像されたＸ線画像から画質を判定するための判定用画像を取得する判定用画像取得部（１２４）と、
前記判定用画像の画質を計測する画質計測部（１２５）と、
計測された前記判定用画像の画質が判定基準を満たすか否かを判定する画質判定部（１２７）と、
を備え、
前記画質判定部（１２６）は、前記判定基準を満たすと判定された前記判定用画像を取得する際の前記Ｘ線画像に対する前記撮像パターンに含まれる前記撮像パラメータを撮像条件と決定することを特徴とするＸ線検査装置（１）。

【符号の説明】

【0053】

１ ：Ｘ線検査装置
１１４ ：撮像条件記憶部
１２４ ：判定用画像取得部
１２５ ：画質計測部
１２６ ：画質判定部
１３１ ：外部要件ＵＩ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】