特許 7501167 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-10

(45)【発行日】2024-06-18

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/046 20180101AFI20240611BHJP

【ＦＩ】

G01N23/046

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020115581

(22)【出願日】2020-07-03

(65)【公開番号】P2022013190

(43)【公開日】2022-01-18

【審査請求日】2023-05-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000002945

【氏名又は名称】オムロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】笠原 啓雅

【審査官】嶋田 行志

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－０４１９５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２８３１８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２０９０５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０６３１８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２１９０３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／０７７６２７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００－Ｇ０１Ｎ ２３／２２７６

Ｇ０１Ｂ １５／００－Ｇ０１Ｂ １５／０８

Ａ６１Ｂ ６／００－Ａ６１Ｂ ６／５８

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＪＳＴＣｈｉｎａ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ線を用いて撮像することにより検査対象を検査するＸ線検査装置であって、
前記検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線発生器と、
前記検査対象を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、
前記撮像に関する条件である撮像条件の設定を受け付ける設定受付部と、
前記Ｘ線検出器の視野に対応する前記検査対象の領域である単位撮像領域を設定する単位撮像領域設定部と、
Ｘ線を用いた前記検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間であって、設定された前記撮像条件に対する所要時間を推定する所要時間推定部と、
前記所要時間を表示する所要時間表示部と、
を備え、
前記設定受付部は、前記検査対象に含まれる被検査物に対して、前記撮像条件の設定を受け付け、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に対して設定された前記撮像条件に応じて、前記単位撮像領域を設定し、
前記撮像条件は、前記単位撮像領域を、前記Ｘ線発生器において発生したＸ線が照射する時間である露光時間と、前記単位撮像領域を撮像する回数である撮像回数とを含み、
前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間を含むことを特徴とするＸ線検査装置。

【請求項2】

前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間の、すべての前記単位撮像領域についての和を含み、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に応じて、該単位撮像領域の数が少なくなるように前記単位撮像領域を設定することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記所要時間は、前記検査対象を、検査のための所定位置に位置決めするための時間を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記所要時間は、前記検査対象を前記Ｘ線検査装置内に搬入する時間及び該Ｘ線検査装
置内から搬出する時間を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線の透過又はＣＴ（Computer Tomography）を用いるＸ線検査装置に関す
る。

【背景技術】

【0002】

従来、Ｘ線のＣＴを用いるＸ線検査装置（以下では、「Ｘ線ＣＴ装置」という。）では、複数（例えば、１５枚～５００枚程度）の投影データを用いて再構成処理を行ってＣＴ画像を取得する（特許文献１参照）。Ｘ線ＣＴ装置によってＣＴ撮像を行う場合には、１５枚と５００枚では撮像時間は、単純に計算すれば３０倍以上異なることになる。

【0003】

特に検査装置において撮像時間は、タクトタイム（検査対象の検査装置への搬入から搬出までの時間）に関わる。このタクトタイムは、検査装置において重要なファクターである。例えば、Ｘ線検査装置による検査工程を経て製品を出荷するように構成されたラインであれば、Ｘ線検査装置による１日当たりの検査可能な数によって、１日当たりの出荷数が制限されてしまうからである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６５１９６６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、従来、Ｘ線による撮像条件を決定する際に、タクトタイムを考慮しつつ適切な撮像条件を決定することは実現されていなかった。

【0006】

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、撮像を含む所定の処理に要する時間を表示することにより、処理に要する時間を考慮しつつ適切な撮像条件を決定できるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するための本発明は、
Ｘ線を用いて撮像することにより検査対象を検査するＸ線検査装置であって、
前記検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線発生器と、
前記検査対象を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、
前記撮像に関する条件である撮像条件の設定を受け付ける設定受付部と、
Ｘ線を用いた前記検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間であって、設定された前記撮像条件に対する所要時間を推定する所要時間推定部と、
前記所要時間を表示する所要時間表示部と、
を備えたことを特徴とする。

【0008】

本発明によれば、検査対象をＸ線で撮像する際の撮像条件を、設定受付部を用いて設定する際に、Ｘ線を用いた検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間であって、設定された撮像条件に対する所要時間が所要時間推定部によって推定され、所要時間表示部に表示されるので、処理に要する時間を考慮しつつ適切な撮像条件を決定できる。

【0009】

また、本発明において、
前記Ｘ線検出器の視野に対応する前記検査対象の領域である単位撮像領域を設定する単位撮像領域設定部を、備え、
前記設定受付部は、前記検査対象に含まれる被検査物に対して、前記撮像条件の設定を受け付け、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に対して設定された前記撮像条件に応じて、前記単位撮像領域を設定し、
前記撮像条件は、前記単位撮像領域を、前記Ｘ線発生器において発生したＸ線が照射する時間である露光時間と、前記単位撮像領域を撮像する回数である撮像回数とを含み、
前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間を含むようにしてもよい。

【0010】

このようにすれば、検査対象に含まれる被検査物に応じて設定された撮像条件に応じて、Ｘ線検出器の視野に対応する検査対象の領域である単位撮像領域が設定される。そして、露光時間に撮像回数を乗じた、単位撮像領域を撮像する時間を含む所要時間が推定され、表示される。すなわち、検査対象に対する検査に含まれる所定の処理のうち、とりわけＸ線ＣＴを用いた検査では主要な処理となる単位撮像領域の異なる角度からの複数の撮像に要する時間を含む所要時間が推定され、表示されるので、処理に要する時間をより的確に考慮しつつ適切な撮像条件を決定できる。

【0011】

また、本発明において、
前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間の、すべての前記単位撮像領域についての和を含み、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に応じて、該単位撮像領域の数が少なくなるように前記単位撮像領域を設定するようにしてもよい。

【0012】

このようにすれば、被検査対象に複数の単位撮像領域が設定される場合でも、検査対象に対する検査に含まれる所定の処理のうち、とりわけＸ線ＣＴを用いた検査では主要な処理となる単位撮像領域の異なる角度からの複数の撮像に要する時間の、すべての単位撮像領域についての和を含む所要時間が推定され、表示される。さらに、単位撮像領域は、被検査物に応じて、単位撮像領域の数が少なくなるように設定されるので、処理に要する時間を延ばすことなく、より的確に考慮しつつ適切な撮像条件を決定できる。

【0013】

また、本発明において、
前記所要時間は、前記検査対象を、検査のための所定位置に位置決めするための時間を含むようにしてもよい。

【0014】

これによれば、検査対象を検査のための所定位置に位置決めする処理に要する時間をも含めて考慮しつつ適切な撮像条件を決定できる。

【0015】

また、本発明において、
前記所要時間は、前記検査対象を前記Ｘ線検査装置内に搬入する時間及び該Ｘ線装置内から搬出する時間を含むようにしてもよい。

【0016】

これによれば、検査対象をＸ線検査装置内に搬入する処理及び該Ｘ線検査装置内から搬出する処理に要する時間をも含めて考慮しつつ適切な撮像条件を決定できる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、撮像を含む所定の処理に要する時間を表示することにより、処理に要する時間を考慮しつつ適切な撮像条件を決定できるＸ線検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施例１に係るＸ線検査装置の機能ブロック図である。

【図2】本発明の実施例１に係るＸ線検査装置の検査時間表示処理の手順を説明するフローチャートである。

【図3】本発明の実施例１に係る撮像条件設定ＵＩを例示する図である。

【図4】本発明の実施例１に係る撮像条件設定ＵＩの遷移を示す図である。

【図5】本発明の実施例１に係る撮像条件設定ＵＩの他の遷移を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

〔適用例〕
以下、本発明の適用例について、図面を参照しつつ説明する。

【0020】

図１は、本発明が適用されるＸ線検査装置１の機能ブロック図であり、図２は、Ｘ線検査装置１における検査時間表示処理の手順を説明するフローチャートである。

【0021】

Ｘ線検査装置１では、まず、ユーザは、撮像条件設定ＵＩ１３１によって、撮像条件を設定（変更）すべき、被検査物を選択する（ステップＳ１）。ここで、被検査物とは、基板等の検査対象に含まれる部品や領域である。

【0022】

次に、ユーザは、撮像条件設定ＵＩ１３１によって、選択された被検査物に対する撮像条件を設定又は変更する（ステップＳ２）。

【0023】

このように撮像条件が設定（変更）されると、画角割当部１２２によって、選択された被検査物に対応する画角が割り当てられる（ステップＳ３）。画角とは、Ｘ線発生器１１１から照射されたＸ線が透過する検査対象をＸ線検出器１１２が撮像する際の視野である。画角割当部１２２は、選択された被検査物に応じて、割り当てられる画角の数がより少なく、望ましくは最小となるように画角を割り当てる。例えば、図４に示す撮像条件設定ＵＩ１３１では、検査対象表示領域１３１１には、選択された被検査物として、Ｂ部品１３１１ｂ及びＥ部品１３１１ｅが四角形の太線枠で表示されている。そして、図５の部品一覧表示部１３１４に示すように、Ｂ部品及びＥ部品ともに撮像条件のうち分解能が３０から２５に、投影枚数が６４から２５６枚に変更されることにより、Ｂ部品１３１１ｂには画角１３１１３が、Ｅ部品には１３１１１が割り当てられる。

【0024】

次に、検査時間推定部が、検査時間を推定、すなわち、推定検査時間を算出する（ステップＳ４）。検査時間は、少なくともＸ線を用いた検査対象の撮像を含む所定の処理に要する時間であり、種々の算出方法が可能である。ここでは、２つの画角のそれぞれに対する撮像時間８５×２５６＝２１．７６秒の和である４３．５２秒に、撮像部１１が画角間の移動に要する時間と、位置決め部１１４が位置決めに要する時間と、検査対象のＸ線検査装置１内への搬入時間及びＸ線検査装置１内からの搬出時間とを加えた時間を推定検査時間として算出する。このため、検査時間推定部１２３は、推定検査時間を５４．５秒と算出している。

【0025】

ステップＳ４において算出された推定検査時間は、検査時間表示ＵＩ１３２に送信され表示され（ステップＳ５）、検査時間表示処理は終了する。例えば、図５に示す撮像条件設定ＵＩ１３１では、詳細情報表示部１３１３の推定検査時間表示部１３１３ｅに５４．５秒と表示される。

【0026】

このように、本発明によれば、撮像条件に対応した検査時間を推定し、リアルタイムで表示することにより、ユーザは、検査時間を考慮しつつ適切な撮像条件を決定することが
できる。

【0027】

〔実施例１〕
以下では、本発明の実施例１に係るＸ線検査装置１について、図面を用いて、より詳細に説明する。ただし、この実施の形態に記載されている装置の構成は各種条件により適宜変更されるべきものである。すなわち、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣旨のものではない。

【0028】

＜装置構成＞
図１は、Ｘ線検査装置１の概略構成を示す機能ブロック図である。ここでは、Ｘ線のＣＴ画像を用いるＸ線検査装置について説明する。
Ｘ線検査装置１は、検査対象を、複数の撮像位置から撮像して３次元データを取得する装置であり、主として、撮像部１１、演算部１２、ＵＩ部１３、検査対象搬送部１４及びバス１５を含んで構成される。バス１５は、各部を接続してデータが送受信される伝送路である。検査対象としては、例えば、基板が挙げられるがこれに限られない。

【0029】

撮像部１１は、Ｘ線発生器１１１、Ｘ線検出器１１２、ステージ１１３、位置決め部１１４及び撮像条件記憶部１１５を含む。
Ｘ線発生器１１１は、検査対象に対してＸ線を照射する装置である。
Ｘ線検出器１１２は、Ｘ線発生器１１１から出力され、検査対象を透過したＸ線を検出して画像化する２次元Ｘ線検出器であり、例えば、Ｉ．Ｉ．（Image Intensifier）管や
ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）を用いることができる。
ステージ１１３は、検査対象を複数の撮像位置から撮像するために、Ｘ線発生器１１１、Ｘ線検出器１１２及び検査対象の全部又は一部のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の相対位置を変更する機構である。
位置決め部１１４は、検査対象を検査のための所定位置に位置決めする手段であり、検査対象のＸＹ平面内の位置を検出するためのＣＣＤカメラ、このＸＹ平面に直交するＺ方向の位置を検出する変位センサ、及び、これらの検出結果を処理し、検査対象を所定の位置に位置決めする機構を含む。
撮像条件記憶部１１５は、メモリ（例えば、後述する補助記憶部によって構成される）の所定領域であり、撮像条件を、当該撮像条件のもとで検査を行ったときの検査時間と関連付けて記憶している。

【0030】

演算部１２は、検査対象情報記憶部１２１、画角割当部１２２、検査時間推定部１２３を含む。演算部１２は、Ｘ線ＣＴの計算や検査処理などの各種演算を行う装置であり、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）のような論理回路により構成されてもよい。また、ＣＰＵ（中央演算処理装置）と呼ばれる一般的な汎用演算装置、主記憶部及び補助記憶部を用いることができる。主記憶部としてＲＡＭなどのメモリを用いることができる。補助記憶部にはＲＯＭやＨＤＤやＳＳＤなどを用いることができる。

【0031】

検査対象情報記憶部１２１は、メモリ（例えば、補助記憶部によって構成される）の所定領域であり、検査対象のＣＡＤデータや、検査対象のサンプルにより、検査対象、これに含まれる被検査物（部品や領域）並びにそれらの形状及び配置（位置関係）に関する情報を記憶している。

【0032】

画角割当部１２２は、被検査物ごとに設定可能な撮像条件に応じて、検査対象をＸ線検出器１１２で撮像する際の視野に対応する領域である画角を割り当てる機能部である。画角割当部１２２は、被検査物に対して設定された撮像条件に応じて、検査対象に対して複数の画角を割り当てる場合に、画角の数がより少なく、望ましくは最小となるように割り
当てる。ここでは、画角は、本発明の単位撮像領域に対応し、画角割当部は、本発明の単位撮像領域設定部に対応する。

【0033】

検査時間推定部１２３は、設定された撮像条件及びこれに応じて割り当てられた画角に基づいて、検査対象の検査時間を推定する機能部である。ここで、検査時間は、Ｘ線を用いた検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間の例であり、本発明の所要時間に対応する。この検査時間は、Ｘ線検査装置１の所定の位置に位置決めされた検査対象をＸ線検出器１１２によって撮像した画像から再構成された三次元データについて所望の位置（領域）の検査用画像を取得し、被検査物の検査を行う時間とすることができる。検査時間は、さらに、Ｘ線検査装置１内に搬入された検査対象を、上述の位置決め部１１４によって位置決めするために要する時間を含むようにしてもよい。また、検査時間は、さらに、検査対象をＸ線検査装置１内に搬入し、検査が終了した検査対象をＸ線検査装置１内から搬出するために要する時間を含むようにしてもよい。このとき、検査時間推定部１２３は、本発明の所要時間推定部に対応する。

【0034】

ＵＩ部１３は、撮像条件設定ＵＩ１３１、検査時間表示ＵＩ１３２を含む。ＵＩ部１３は、ユーザとＸ線検査装置１の間で種々の情報の授受を行うインタフェースであり、例えば、入出力部を兼ねたタッチパネルディスプレイに表示されてもよいし、独立に構成されたディスプレイ等の出力部に表示され、マウス、キーボード等の入力部による入力を受け付けるものであってもよい。
撮像条件設定ＵＩ１３１は、検査対象に含まれる被検査物ごとの撮像条件の入力を受け付けるユーザインタフェースであり、例えば、図３に示すようなユーザインタフェースによって構成される。
検査時間表示ＵＩ１３２は、検査時間推定部１２３によって推定された検査時間を表示するユーザインタフェースである。検査時間表示ＵＩ１３２は、本発明の所要時間表示部に対応する。

【0035】

検査対象搬送部１４は、検査対象をＸ線検査装置１内に搬入するとともに、検査が終了した検査対象をＸ線検査装置１外に搬出する機構であり、例えば、コンベア等によって構成される。

【0036】

＜検査時間表示処理＞
次に、検査時間表示処理の手順について説明する。

【0037】

図３～５は、Ｘ線検査装置１のディスプレイに表示された撮像条件設定ＵＩ１３１の例を示す。ここでは、図３～５は、検査時間表示ＵＩ１３２の例でもある。

【0038】

図２に示すフローチャートを参照した検査時間表示処理の手順の説明に先立って、図３を参照して、撮像条件設定ＵＩ１３１の構成について説明する。
画面に左上部には、四角形状の検査対象表示領域１３１１が配置されている。この検査対象表示領域１３１１には、検査対象の所定領域を示す画像が表示される。検査対象表示領域１３１１に表示される所定領域は、検査対象の全部でもよいし一部でもよい。ここでは、検査対象である基板の所定領域を高さ方向（Ｚ方向）から見た状態を示す。検査対象表示領域１３１１に表示されるのは、検査対象のＣＡＤデータ又はこれに基づいて生成した画像でもよいし、検査対象のサンプルを撮影した画像であってもよい。

【0039】

また、検査対象表示領域１３１１には、検査対象である基板に実装された電子部品等の被検査物や、基板上に形成されたフィデューシャルマーク等も表示される。撮像条件設定ＵＩ１３１の説明では、被検査物とフィデューシャルマークを合わせて部品と称する。ここでは、検査対象表示領域１３１１には、Ａ部品１３１１ａ，Ｂ部品１３１１ｂ、Ｃ部品
１３１１ｃ、Ｄ部品１３１１ｄ、Ｅ部品１３１１ｅ、Ｆ部品１３１１ｆ、Ｇ部品１３１１ｇ、Ｈ部品１３１１ｈが表示されている。ここで、Ａ部品１３１１ａ，Ｂ部品１３１１ｂ、Ｅ部品１３１１ｅ、Ｆ部品１３１１ｆ、Ｇ部品１３１１ｇ、Ｈ部品１３１１ｈは、電子部品等の被検査物であり、Ｃ部品１３１１ｃ、Ｄ部品１３１１ｄは、位置決め部１１４のＣＣＤカメラにより撮像されるフィデューシャルマークである。

【0040】

また、検査対象である基板をＸ線によって撮像する際のＸ線検出器１１２の視野である画角１３１１１、画角１３１１２が四角形の枠として表示される。画角１３１１１は、Ａ部品１３１１ａ，Ｂ部品１３１１ｂ及びＥ部品１３１１ｅを含み、画角１３１１２は、Ｆ部品１３１１ｆ、Ｇ部品１３１１ｇ及びＨ部品１３１１ｈを含む。

【0041】

撮像条件設定ＵＩ１３１の画面右上部には、撮像条件設定部１３１２が配置される。撮像条件設定部１３１２は、撮像枚数を設定するためのプルダウンメニュー１３１２ａ、分解能（μｍ）を設定するためのプルダウンメニュー１３１２ｂ、照射角度（°）を設定するためのプルダウンメニュー１３１２ｃ、管電圧（ｋＶ）を設定するためのプルダウンメニュー１３１２ｄ、管電流（μＡ）を設定するためのプルダウンメニュー１３１２ｅ、露光時間（ｍｓｅｃ）を設定するためのプルダウンメニュー１３１２ｆが配置されている。ここでは、デフォルトの数値として、撮像枚数６４枚、分解能３０μｍ、照射角度４５°、管電圧１００ｋＶ、管電流２９５μＡ、露光時間８５ｍｓｅｃが選択されている。

【0042】

撮像条件設定ＵＩ１３１の画面右中部には、詳細情報表示部１３１３が配置される。詳細情報表示部１３１３には、総部品数表示部１３１３ａ、総画面数表示部１３１３ｂ、ＣＣＤ画面数表示部１３１３ｃ、Ｘ線画面数表示部１３１３ｄ、推定検査時間表示部１３１３ｅが含まれている。総部品数表示部１３１３ａは、検査対象表示領域１３１１に表示された検査対象に含まれる部品の数を表示する。ここでは、上述のように、検査対象には、Ａ部品１３１１ａ～Ｈ部品１３１１ｈの８個の部品が含まれるので、総部品数として８が表示されている。総画面数は、Ｘ線検出器１１２の画角の数であるＸ線画面数と、位置決め部１１４に含まれるＣＣＤカメラの画角の数であるＣＣＤ画面数との合計を示す。Ｘ線画面数は、検査対象表示領域１３１１に表示されているように、画角１３１１１と画角１３１１２の２つであり、ＣＣＤ画面数は、Ｃ部品１３１１ｃ、Ｄ部品１３１１ｄに対する画角の２つであるから、総画面数として４が表示されている。Ｘ線画面数表示部１３１３ｄは上述したＸ線画面数を表示し、ＣＣＤ画面数表示部１３１３ｃは上述したＣＣＤ画面数を表示する。

【0043】

推定検査時間表示部１３１３ｅは、図１における検査時間表示ＵＩ１３２である。検査時間推定部１２３によって推定された検査時間を表示する。ここでは、上述の撮像条件、Ｘ線画面数及びＣＣＤ画面数に基づいて推定された検査時間として３１．２秒が表示されている。

【0044】

撮像条件設定ＵＩ１３１の画面下部には、部品一覧表示部１３１４が配置されている。ここには、検査対象表示領域１３１１に表示された部品であるＡ部品～Ｈ部品のそれぞれについて、当該部品が存在する面と、撮像条件である照射角度、分解能、投影枚数、管電圧、管電流及び露光時間とが表示されている。フィデューシャルマークであるＣ部品及びＤ部品については、設定可能な撮像条件が分解能のみであるため、照射角度等の他の撮像条件については値が表示されていない。

【0045】

撮像条件設定ＵＩ１３１の画面右上隅には、確定ボタン１３１５及びキャンセルボタン１３１６が配置されている。推定検査時間の表示を確認したユーザが、検査時間が適切なものであると判断した場合には、確定ボタン１３１５にカーソルを合わせてマウスを左クリックする等により、設定又は変更された撮像条件を確定させることができる。ユーザが
、検査時間が適切でないと判断した場合には、キャンセルボタン１３１６を選択することにより、撮像条件を変更する。このとき、被検査物の選択からやり直してもよい。

【0046】

撮像条件設定ＵＩ１３１の画面中央上端には、基板表面表示１３１７及び基板裏面表示１３１８が配置さている。検査対象表示領域１３１１に、検査対象である基板の表面が表示されている場合には基板表面表示１３１７がアクティブに表示され、基板の裏面が表示されている場合には基板裏面表示１３１８がアクティブに表示される。ここでは、検査対象表示領域１３１１に基板の表面が表示され、基板表面表示１３１７がアクティブに表示されている。

【0047】

以下に、図２のフローチャートに戻って、検査時間表示処理の手順について説明する。

【0048】

検査時間表示処理が開始されると、ユーザは、被検査物を選択する（ステップＳ１）。具体的には、図３に示された撮像条件設定ＵＩ１３１において、ユーザが、画面上に表示されたカーソルを、検査対象表示領域１３１１のＢ部品１３１１ｂの位置まで移動させて、マウスを左クリックする等の操作により、Ｂ部品１３１１ｂを選択する。さらに、同様にして、Ｅ部品１３１１ｅを選択する。このように、Ｂ部品１３１１ｂ及びＥ部品１３１１ｅを選択すると、図４に示すように、選択された部品が太線で表示される。選択された部品の表示態様の変更は、これに限られず、表示色を変更する等の方法を適宜採用することができる。また、部品が選択されると、図４に示す要因、部品一覧表示部１３１４において、選択された部品の行の表示色が変更される。ここでは、Ｂ部品１３１１ｂ及びＥ部品１３１１ｅの行が灰色で表示されている。選択された部品の表示態様の変更は、これに限られず、反転表示させる等の方法を適宜採用することができる。

【0049】

次に、ユーザは、Ｘ線撮像条件を設定又は変更する（ステップＳ２）。具体的には、図４に示す状態の撮像条件設定ＵＩ１３１において、ユーザは、Ｘ線撮像条件を変更する。変更された撮像条件は、ステップＳ１において選択された被検査物と関連付けて、撮像条件記憶部１１５に記憶される。Ｘ線撮像条件の変更は、撮像条件設定部１３１２に配置されたプルダウンメニュー１３１２ａ～１３１２ｆのうち、変更すべき撮像条件を設定するためのプルダウンメニューを選択し、数値を変更する。ここでは、検査対象表示領域１３１１のＢ部品１３１１ｂを選択した状態で、撮像条件設定部１３１２の投影枚数を６４から２５６に、分解能を３０から２５に変更する。検査対象表示領域１３１１のＥ部品１３１１ｅについても、投影枚数を６４から２５６に、分解能を３０から２５に変更する。図５は、このように、撮像条件設定部１３１２により、投影枚数と分解能を変更した状態を示している。この撮像条件の変更に対応して、部品一覧表示部１３１４のＢ部品及びＥ部品の行では、分解能が２５に、投影枚数が２５６に変更されている。

【0050】

上述のように、撮像条件が設定又は変更されると、これに対応して、画角割当部１２２によって、画角が割り当てられる（ステップＳ３）。図５に示すように、撮像条件の変更に対応して、検査対象表示領域１３１１には、Ｅ部品１３１１ｅを含む画角１３１１１と、Ｆ部品１３１１ｆ、Ｇ部品１３１１ｇ及びＨ部品１３１１ｈを含む画角１３１１２に加えて、Ｂ部品１３１１ｂ及びＡ部品１３１１ａを含む画角１３１１３が新たに割り当てられている。また、詳細情報表示部１３１３のＸ線画面数表示部１３１３ｄには３が表示される。このとき、画角割当部１２２は、検査対象に対して複数の画角を割り当てる場合には、画角の数がより少なく、望ましくは最小となるように画角を割り当てる。このようにすれば、検査の際に撮像される画角の数が少なくなるので、撮像時間及び検査時間を短くすることができる。

【0051】

次に、ステップＳ２において設定又は変更された撮像条件と、ステップＳ３において割り当てられた画角に基づいて、検査時間推定部１２３が、検査時間を推定する、すなわち
、推定検査時間を算出する（ステップＳ４）。

【0052】

検査時間推定部１２３において推定する検査時間は、少なくともＸ線を用いた検査対象の撮像を含む所定の処理に要する時間であり、種々の算出方法が可能である。例えば、検査時間は、露光時間に撮像回数を乗じた画角の撮像時間を含む。また、検査時間は、露光時間に撮像回数を乗じた画角の撮像時間の、撮像したすべての画角についての和を含むようにしてもよい。検査時間は、このようにして算出された時間に、一つの画角から次の画角へと撮像部１１が移動する時間を加算した時間を含むようにしてもよい。また、検査時間には、位置決め部１１４による、検査対象の位置決めに要する時間、例えば、ＣＣＤカメラによる撮像時間や変位センサによる検出時間を含むようにしてもよい。また、検査対象搬送部１４によって、検査対象を、Ｘ線検査装置１内に搬入するのに要する搬入時間と、Ｘ線検査装置１内から搬出するのに要する搬出時間を含むようにしてもよい。
また、上述の画角間の移動、位置決め部１１４による位置決め、検査対象搬送部１４による検査対象の搬入及び搬出が、本発明の所定の処理の例である。

【0053】

図５に示す例では、Ｂ部品１３１１ｂ及びＥ部品１３１１ｅに対する撮像条件のうち、分解能が３０から２５へ、投影枚数が６４から２５６に変更されている。このように変更された撮像条件に対して、検査時間推定部１２３は、推定検査時間を６９．４秒と算出する。
詳細には、図５に示す例では、Ｂ部品１３１１ｂに対して、投影枚数が２５６枚であるから、画角１３１１３で示される画角について、異なる角度から２５６回撮像する。各撮像時のＸ線の露光時間が８５ｍｓｅｃであるから、Ｂ部品の撮像時間は露光時間に撮像回数を乗じた８５（ｍｓｅｃ）×２５６／１０００＝２１．８秒となる。同様に、Ｅ部品１３１１ｅに対して、投影枚数が２５６枚、であるから、画角１３１１１で示される画角について、異なる角度から２５６回撮像する。各撮像時のＸ線の露光時間が８５ｍｓｅｃであるから、Ｅ部品１３１１ｅの撮像時間は露光時間に撮像回数を乗じた８５（ｍｓｅｃ）×２５６／１０００＝２１．８秒となる。図４に示す例では、Ｂ部品１３１１ｂ及びＥ部品１３１１ｅを含む画角１３１１１について、Ｘ線の露光時間８５ｍｓｅｃで異なる角度から６４回撮像するので、撮像時間は８５（ｍｓｅｃ）×６４／１０００＝５．４秒である。このため、画角１３１１１について、図４に示す例から図５に示す例へと撮像条件を変更したことによる、撮像時間の増分は、２１．８－５．４＝１６．４秒となる。新たに割り当てられた画角１３１１３に対する上述の撮像時間２１．８秒を加えると、図４に示す例から図５に示す例のように撮像条件が変更されたことによる、撮像時間の増分は、３８．２秒となる。従って、撮像条件の変更後の推定検査時間は、撮像条件の変更前の推定検査時間３１．２秒から３８．２秒増加した６９．４秒となる。

【0054】

上述のように算出された推定検査時間は、検査時間表示ＵＩ１３２に送信され、推定検査時間表示部１３１３ｅに表示され（ステップＳ５）、検査時間表示処理は終了する。

【0055】

このように、撮像条件に対応した検査時間を推定し、リアルタイムで表示することにより、ユーザは、検査時間を考慮しつつ適切な撮像条件を決定することができる。

【0056】

なお、以下には本発明の構成要件と実施例の構成とを対比可能とするために、本発明の構成要件を図面の符号付きで記載しておく。
＜発明１＞
Ｘ線を用いて撮像することにより検査対象を検査するＸ線検査装置（１）であって、
前記検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線発生器（１１１）と、
前記検査対象を透過したＸ線を検出するＸ線検出器（１１２）と、
前記撮像に関する条件である撮像条件の設定を受け付ける設定受付部（１３１）と、
Ｘ線を用いた前記検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間であって、設定さ
れた前記撮像条件に対する所要時間を推定する所要時間推定部（１２３）と、
前記所要時間を表示する所要時間表示部（１３２）と、
を備えたことを特徴とするＸ線検査装置（１）。

【符号の説明】

【0057】

１ ：Ｘ線検査装置
１１１ ：Ｘ線発生器
１１２ ：Ｘ線検出器
１２３ ：検査時間推定部
１３１ ：撮像条件設定ＵＩ
１３２ ：検査時間表示ＵＩ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】