特許 7501672 流体制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-10

(45)【発行日】2024-06-18

(54)【発明の名称】流体制御装置

(51)【国際特許分類】

   F04B 43/04 20060101AFI20240611BHJP

   F04B 45/047 20060101ALI20240611BHJP

【ＦＩ】

F04B43/04 B

F04B45/047 C

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2022573949

(86)(22)【出願日】2021-12-06

(86)【国際出願番号】 JP2021044618

(87)【国際公開番号】W WO2022149386

(87)【国際公開日】2022-07-14

【審査請求日】2023-06-12

(31)【優先権主張番号】P 2021001767

(32)【優先日】2021-01-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000970

【氏名又は名称】弁理士法人 楓国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】岡添 きよみ

(72)【発明者】

【氏名】安藤 禎憲

(72)【発明者】

【氏名】田中 伸拓

(72)【発明者】

【氏名】阿知波 寛基

【審査官】岸 智章

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／１２４０６０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】実開昭６３－００５６６３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開昭６３－１６００２０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開昭５６－０８１５８７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開昭５６－１３４７１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｂ ４３／０４

Ｆ０４Ｂ ４５／０４７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧電素子、および、前記圧電素子への駆動信号を印加する給電導体と、前記給電導体に接続する外部接続導体を備えるポンプ本体と、
前記外部接続導体が外部に露出し、前記圧電素子および前記給電導体を含む前記ポンプ本体における前記外部接続導体以外の部分を収容する筐体と、
前記筐体に前記ポンプ本体の一部を固定する接着剤と、
を備え、
前記筐体は、前記外部接続導体が表面に載置され、前記筐体の側壁から外方突出する形状の端子載置部を備え、
前記端子載置部の前記表面における前記外部接続導体の載置領域には、前記表面から凹む凹部が形成されており、
前記凹部は、前記端子載置部が突出する方向および前記端子載置部の厚み方向に直交する前記端子載置部の横方向に間隔を空けて設けられ、該凹部は、前記端子載置部の前記厚み方向に視て、前記外部接続導体の一部に重なる形状であり、前記外部接続導体の前記凹部に重ならない部分は、前記凹部の間に形成された島部に重なり、
前記外部接続導体は、並走する第１の外部接続導体と第２の外部接続導体とを備え、
前記端子載置部は、
前記第１の外部接続導体が配置される第１表面と、前記第２の外部接続導体が配置される第２表面とを備え、
前記第１表面と前記第２表面は、前記端子載置部の高さ方向において異なる位置にある、
流体制御装置。

【請求項2】

前記凹部は、前記外部接続導体の幅方向の両側に形成される第１凹部を備える、
請求項１に記載の流体制御装置。

【請求項3】

前記外部接続導体は、第１の外部接続導体と第２の外部接続導体とを有し、
前記第１の外部接続導体と前記第２の外部接続導体とは、並走して配置され、
前記第１の外部接続導体と前記第２の外部接続導体のそれぞれに第１凹部が形成され、
前記第１の外部接続導体に対する第１凹部と、前記第２の外部接続導体に対する第１凹部とを接続する第２凹部を備える、
請求項２に記載の流体制御装置。

【請求項4】

前記凹部は、前記外部接続導体の先端に形成される第３凹部を備える、
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の流体制御装置。

【請求項5】

前記凹部は、前記外部接続導体の外形形状に沿った形状を有する、
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の流体制御装置。

【請求項6】

前記凹部は、前記表面の平面視において、前記外部接続導体に重なる部分を有する、
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の流体制御装置。

【請求項7】

前記外部接続導体は、前記接着剤によって前記筐体に固定される箇所に、厚み方向に貫通する開口を有する、
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の流体制御装置。

【請求項8】

前記外部接続導体は、給電導体側基端の幅が給電導体と反対側の端の幅よりも大きい、
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の流体制御装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流体を制御するポンプ本体と、このポンプ本体が装着される筐体とを備える流体制御装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ポンプが記載されている。特許文献１に記載のポンプは、圧電素子を有する駆動部と、筐体とを備える。筐体は、上側ケース体と下側ケース体とを備える。上側ケース体と下側ケース体とが組み合わされることによって、筐体は、内部空間を有する。駆動部は、この筐体の内部空間に収容される。

【0003】

上側ケース体、下側ケース体、および、駆動部は、接着剤によって接合される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】国際公開第２０１９／１２４０６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に示すような従来のポンプの構造では、駆動部は、筐体の外部に露出する端子導体を備える。そして、端子導体は、筐体に接着剤によって接合される。

【0006】

端子導体が接着剤によって筐体に固定されていないと、駆動部の駆動時に端子導体が振動して、不快音が発生する問題や、端子導体とこれに接続する外部ケーブルとの接続が外れる等の接続信頼性の低下という問題が生じてしまう。

【0007】

一方、接着剤が多すぎると、接着剤が端子導体を不所望に覆ってしまい、外部ケーブルとの接続面積を十分に確保できないという問題が生じる。

【0008】

したがって、本発明の目的は、外部に接続する端子導体を筐体に、より確実に固定し、且つ、外部との接続をより確実に行うことができる流体制御装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

この発明の流体制御装置は、ポンプ本体、筐体、および、接着剤を備える。ポンプ本体は、圧電素子、および、圧電素子への駆動信号の入力用の外部接続導体を備える。筐体は、外部接続導体が外部に露出するようにポンプ本体を収容する。接着剤は、筐体にポンプ本体の一部を固定する。筐体は、外部接続導体が表面に載置される端子載置部を備える。端子載置部の表面における外部接続導体の載置領域の周囲には、表面から凹む凹部が形成されている。

【0010】

この構成では、外部接続導体と筐体の端子載置部との間の接着剤が、外部接続導体の外周からはみ出すような量であっても、このはみ出す余剰分は、凹部に収容される。これにより、外部接続導体と端子載置部との略全面に接着剤をほぼ確実に行き渡らせながら、余剰の接着剤が外部接続導体の上面側等に回り込むことが抑制される。

【発明の効果】

【0011】

この発明によれば、外部に接続する端子導体を筐体に、より確実に固定し、且つ、外部との接続をより確実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。

【図2】図２は、本発明の実施形態に係る流体制御装置のポンプ本体の分解斜視図である。

【図3】図３は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図4】図４は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図5】図５は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図6】図６（Ａ）は、端子載置部の平面図であり、図６（Ｂ）は、端子載置部の断面図である。

【図7】図７（Ａ）は、第１の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図７（Ｂ）は、第１の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図であり、図７（Ｃ）は、比較構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図７（Ｄ）は、比較構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図である。

【図8】図８は、本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図9】図９（Ａ）は、端子載置部の平面図であり、図９（Ｂ）、図９（Ｃ）は、端子載置部の断面図である。

【図10】図１０（Ａ）は、第２の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）は、第２の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図である。

【図11】図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の平面図である。

【図12】図１２は、本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図13】図１３は、本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図14】図１４（Ａ）は、第４の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図１４（Ｂ）は、第４の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図である。

【図15】図１５は、本発明の第５の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図16】図１６は、本発明の第６の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【図17】図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）、図１７（Ｃ）は、凹部の形状の派生例を示す平面図であり、図１７（Ｄ）は、外部接続導体の派生例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。なお、本実施形態を含む各実施形態に示す各図は、流体制御装置の構成を分かり易くするため、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載することがある。

【0014】

図１に示すように、流体制御装置１０は、ポンプ本体２０、下側ケース部材３０、おようび、上側ケース部材４０を備える。下側ケース部材３０と上側ケース部材４０とによって、本発明の「筐体」が構成される。

【0015】

（筐体の構成）
下側ケース部材３０は、主部材３１、ノズル３２１、および、ノズル３２２を備える。主部材３１、ノズル３２１、および、ノズル３２２は、例えば、絶縁性の樹脂材料によって一体成型されている。

【0016】

主部材３１は、底壁３１１と側壁３１２とを備える。主部材３１は、天面側から凹む凹部３３を備える。言い換えれば、主部材３１は、底壁３１１と側壁３１２とによって囲まれる凹部３３を備える。

【0017】

凹部３３は、三段階の深さを有しており、凹部３３１、凹部３３２、凹部３３３からなる。凹部３３２は、凹部３３１よりも深く、凹部３３３は、凹部３３２よりも深い。主部材３１を平面視して（底壁３１１に直交する方向に視て）、凹部３３３が、中央に配置され、凹部３３２が凹部３３３の外周に沿って配置され、凹部３３１が凹部３３２の外周に沿って配置される。

【0018】

さらに、主部材３１は、側壁３１２から外方に突出する端子載置部３５を備える。端子載置部３５の表面３５１は、凹部３３２の底面と面一である。主部材３１の側壁３１２における端子載置部３５が突出する箇所には、側壁３１２を厚み方向に貫く開口３４２と開口３４４が形成されている。

【0019】

ノズル３２１およびノズル３２２は、主部材３１の側壁３１２の外面における端子載置部３５が配置される位置と異なる位置に取り付けられている。ノズル３２１に設けられた貫通孔は、側壁３１２を厚み方向に貫通する貫通孔（図示を省略）を通じて、凹部３３３に連通する。ノズル３２２に設けられた貫通孔は、側壁３１２を厚み方向に貫通する貫通孔（図示を省略）を通じて、凹部３３２に連通する。

【0020】

上側ケース部材４０は、平板であり、例えば、絶縁性の樹脂材料からなる。上側ケース部材４０の外形形状は、下側ケース部材３０の側壁３１２の内側の形状、すなわち、凹部３３１の外形形状と略同じである。

【0021】

上側ケース部材４０が下側ケース部材３０の凹部３３１に嵌め込まれることによって、筐体が形成される。これにより、筐体は、凹部３３２および凹部３３３の開口を上側ケース部材４０によって蓋をすることによって実現される内部空間を有する。

【0022】

（ポンプ本体２０の構成）
図２は、本発明の実施形態に係る流体制御装置のポンプ本体の分解斜視図である。図２に示すように、ポンプ本体２０は、第１平板２１、圧電素子２２、第２平板２３、側壁部材２４、給電部材２５、および、絶縁層２６を備える。

【0023】

第１平板２１は、導電板であり、主面Ｆ２１１と主面Ｆ２１２を有する。第１平板２１は、中央平板２１１、枠体２１２、および、複数の連結部材２１３を備える。

【0024】

中央平板２１１は、平面視した形状（厚み方向に視た形状）が円形の平板である。

【0025】

枠体２１２は、平板であり、中央平板２１１の外縁よりも外側に配置されている。平面視において、枠体２１２は、中央平板２１１を囲んでいる。より具体的には、枠体２１２は、中央に円形の開口を有し、中央平板２１１は、この開口内に配置される。

【0026】

複数の連結部材２１３は、梁形状である。複数の連結部材２１３は、中央平板２１１と枠体２１２との間に配置されている。複数の連結部材２１３は、第１平板２１の外縁と枠体２１２の内縁とに接続する。複数の連結部材２１３は、第１平板２１の外縁に沿って、間隔を空けて配置されている。

【0027】

複数の空隙２１４は、第１平板２１を、主面Ｆ２１１から主面Ｆ２１２まで貫通する。複数の空隙２１４は、中央平板２１１と枠体２１２との間に配置されている。複数の空隙２１４は、中央平板２１１と枠体２１２との間の領域において、中央平板２１１と枠体２１２と複数の連結部材２１３に囲まれた部分である。

【0028】

圧電素子２２は、円板状の圧電体と駆動用電極とを備える。駆動用電極は、圧電体の両主面にそれぞれ形成されている。圧電素子２２は、第１平板２１の中央平板２１１における主面Ｆ２１１側に設置される。圧電素子２２は、中央平板２１１に物理的に固定されるとともに、中央平板２１１側の駆動電極は、中央平板２１１に電気的に接続する。

【0029】

給電部材２５は、第１の給電導体２５１、第１の外部接続導体２５２、第２の給電導体２５３、および、第２の外部接続導体２５４を備える。

【0030】

第１の給電導体２５１は、中央に開口２５０を有する環状であり、環状の延びる方向の途中位置が切れている形状である。言い換えれば、第１の給電導体２５１は、Ｃ環状である。第１の給電導体２５１を平面視した形状は、第１平板２１の枠体２１２の形状と略同じである。

【0031】

第１の外部接続導体２５２は、第１の給電導体２５１に接続する。例えば、第１の外部接続導体２５２と第１の給電導体２５１とは、導電性部材によって一体形成されている。第１の外部接続導体２５２は、第１の給電導体２５１の環状の外周から外方に突出する直線状である。

【0032】

第２の給電導体２５３は、途中に厚み方向に屈曲または湾曲する直線状である。第２の給電導体２５３は、第１の給電導体２５１の環状が切れている部分に配置される。第２の給電導体２５３は、第１の給電導体２５１の環状から内側に延びる形状である。

【0033】

第２の外部接続導体２５４は、第２の給電導体２５３の外側の端部に接続する。例えば、第２の外部接続導体２５４と第２の給電導体２５３とは、導電性部材によって一体形成されている。第２の外部接続導体２５４は、第１の給電導体２５１の環状の外周から外方に突出する直線状である。

【0034】

第１の外部接続導体２５２と第２の外部接続導体２５４とは、並走している。

【0035】

このような構成において、第１の給電導体２５１は、第１平板２１の枠体２１２における主面Ｆ２１１に配置される。第１の給電導体２５１は、枠体２１２へ物理的に固定されるとともに、枠体２１２へ電気的に接続する。

【0036】

第２の給電導体２５３は、枠体２１２における主面Ｆ２１１側に配置される。第２の給電導体２５３における内側の先端部は、圧電素子２２における第１平板２１側と反対側の面の駆動用電極に、物理的にも電気的にも接続する。第２の給電導体２５３における第２の外部接続導体２５４への接続側の部分、言い換えれば、平面視において、枠体２１２に重なる部分は、枠体２１２との間に絶縁層２６を挟んで配置される。

【0037】

第２平板２３は、第１平板２１における主面Ｆ２１２側に配置される。第２平板２３は、複数の貫通孔２３０を有する。

【0038】

側壁部材２４は、中空２４０を有する環状であり、第１平板２１と、第２平板２３との間に配置される。側壁部材２４は、第１平板２１の枠体２１２と、第２平板２３とに接続する。

【0039】

これにより、ポンプ本体２０は、第１平板２１、側壁部材２４、および、第２平板２３によって囲まれる空間からなるポンプ室を備える。ポンプ室は、複数の貫通孔２３０によって、ポンプ本体２０の第２平板２３側の外部空間に連通する。また、ポンプ室は、複数の空隙２１４によって、ポンプ本体２０の第１平板２１側の外部空間に連通する。

【0040】

そして、第１の給電導体２５１と第２の給電導体２５３とによって駆動信号が印加されることで、圧電素子２２の圧電体がひずみ、第１平板２１の中央平板２１１がベンディング振動する。このベンディング振動によってポンプ室内の圧力分布が変化し、流体は、複数の貫通孔２３０側から複数の空隙２１４側に、または、複数の空隙２１４側から複数の貫通孔２３０側に搬送される。

【0041】

（ポンプ本体２０の筐体への固定態様）
ポンプ本体２０は、凹部３３２に嵌め込まれる。したがって、ポンプ本体２０は、筐体内に収容される。この際、ポンプ本体２０は、第２平板２３が底壁３１１側になり、第１平板２１が上側ケース部材４０側になるように配置される。この際、複数の貫通孔２３０は、凹部３３３に連通する。これにより、ポンプ本体２０の複数の貫通孔２３０は、凹部３３３とポンプ本体２０の第２平板２３とに囲まれる空間を通じて、ノズル３２１の貫通孔に連通する。また、ポンプ本体２０の厚さは、凹部３３２の深さよりも小さい。これにより、ポンプ本体２０の複数の空隙２１４は、凹部３３２と上側ケース部材４０とに囲まれる空間を通じて、ノズル３２２の貫通孔に連通する。

【0042】

この構成によって、流体制御装置１０は、ポンプ本体２０を駆動させることで、ノズル３２１側からノズル３２２側に流体を搬送する、または、ノズル３２２側からノズル３２１側に流体を搬送する。

【0043】

そして、このような構造を実現するため、下側ケース部材３０と上側ケース部材４０とは、凹部３３１の底面に塗布された接着剤によって固定される。また、下側ケース部材３０とポンプ本体２０とは、凹部３３２の底面に塗布された接着剤によって固定される。

【0044】

この際、第１の外部接続導体２５２は、側壁３１２の開口３４２を通じて、筐体の外部へ露出され、端子載置部３５の表面３５１に載置される。第２の外部接続導体２５４は、側壁３１２の開口３４４を通じて、筐体の外部へ露出され、端子載置部３５の表面３５１に載置される。そして、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４は、接着剤６０（図７（Ａ）、図７（Ｂ）参照）によって、端子載置部３５の表面３５１に固定される。このように、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４が固定されることによって、ポンプ本体２０の振動が第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４に伝搬しても、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４が振動することを抑制できる。これにより、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４の振動による不快音の発生や、外部ケーブルとの接続信頼性の低下を抑制できる。

【0045】

（外部接続導体の具体的な固定態様）
図３、図４、図５は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。図３は、流体制御装置を示し、図４は、下側ケース部材のみを示し、図５は、下側ケース部材と外部接続導体とを示す。図６（Ａ）は、端子載置部の平面図であり、図６（Ｂ）は、端子載置部の断面図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＡ－Ａ断面を示す。図７（Ａ）は、第１の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図７（Ｂ）は、第１の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図である。図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＡ－Ａ断面を示す。図７（Ｃ）は、比較構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図７（Ｄ）は、比較構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図である。図７（Ｄ）は、図７（Ｃ）のＡ－Ａ断面を示す。

【0046】

図３、図４、図５、図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示すように、端子載置部３５は、側壁３１２から外方に突出する形状である。以下、この突出する方向を、端子載置部３５の縦方向とする。また、突出する方向および厚み方向に直交する方向（側壁３１２の周方向に平行な方向）を、端子載置部３５の横方向とする。

【0047】

端子載置部３５の表面３５１には、凹部５２および凹部５４が形成されている。凹部５２と凹部５４とは、端子載置部３５の横方向に、所定の間隔を空けて形成されている。凹部５２と凹部５４との配置間隔は、第１の外部接続導体２５２と第２の外部接続導体２５４との間隔に基づいている。

【0048】

凹部５２は、凹部５２１、凹部５２２、および、凹部５２０を備える。凹部５２１および凹部５２２は、端子載置部３５の縦方向に延びる形状である。凹部５２１および凹部５２２のそれぞれの延びる方向の一方端は、側壁３１２の開口３４２に達している。凹部５２１および凹部５２２のそれぞれの延びる方向の他方端は、端子載置部３５の縦方向の先端部付近に達している。凹部５２１、凹部５２２が、本発明の「第１凹部」に対応し、凹部５２０が、本発明の「第３凹部」に対応する。

【0049】

凹部５２１と凹部５２２とは、端子載置部３５の横方向に間隔を空けて配置され、並走している。凹部５２１と凹部５２２との配置間隔は、第１の外部接続導体２５２の幅に基づいている。

【0050】

凹部５２０は、端子載置部３５の横方向に延びる形状である。凹部５２０は、凹部５２１と凹部５２２との他方端に繋がる。

【0051】

凹部５４は、凹部５４１、凹部５４２、および、凹部５４０を備える。凹部５４１および凹部５４２は、端子載置部３５の縦方向に延びる形状である。凹部５４１および凹部５４２のそれぞれの延びる方向の一方端は、側壁３１２の開口３４４に達している。凹部５４１および凹部５４２のそれぞれの延びる方向の他方端は、端子載置部３５の縦方向の先端部付近に達している。凹部５４１、凹部５４２が、本発明の「第１凹部」に対応し、凹部５４０が、本発明の「第３凹部」に対応する。

【0052】

凹部５４１と凹部５４２とは、端子載置部３５の横方向に間隔を空けて配置され、並走している。凹部５４１と凹部５４２との配置間隔は、第２の外部接続導体２５４の幅に基づいている。

【0053】

凹部５４０は、端子載置部３５の横方向に延びる形状である。凹部５４０は、凹部５４１と凹部５４２との他方端に繋がる。

【0054】

図４、図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、第１の外部接続導体２５２は、凹部５２の凹部５２１、凹部５２２、および、凹部５２０によって囲まれる島部に重なるように配置される。これにより、平面視において、凹部５２は、第１の外部接続導体２５２を周囲の三方から囲むように配置される。第２の外部接続導体２５４は、凹部５４の凹部５４１、凹部５４２、および、凹部５４０によって囲まれる島部に重なるように配置される。これにより、平面視において、凹部５４は、第２の外部接続導体２５４を周囲の三方から囲むように配置される。

【0055】

このような構成によって、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、第１の外部接続導体２５２と島部との間の接着剤６０は、第１の外部接続導体２５２の外方に漏れ出しても、凹部５２１、凹部５２２、および、凹部５２０に収容される。これにより、漏れ出した接着剤６０が第１の外部接続導体２５２の上面に回り込むことは抑制される。

【0056】

同様に、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、第２の外部接続導体２５４と島部との間の接着剤６０は、第２の外部接続導体２５４の外方に漏れ出しても、凹部５４１、凹部５４２、および、凹部５４０に収容される。これにより、漏れ出した接着剤６０が第２の外部接続導体２５４の上面に回り込むことは抑制される。

【0057】

なお、図４、図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、凹部５２１、凹部５２２、および、凹部５２０は、平面視において、第１の外部接続導体２５２に部分的に重なることが好ましい。より具体的には、凹部５２１、および、凹部５２２は、第１の外部接続導体２５２における幅方向の両端に部分的に重なっており、凹部５２０は、第１の外部接続導体２５２における延びる方向の先端に部分的に重なっている。これにより、第１の外部接続導体２５２と端子載置部３５との間の接着剤６０は、第１の外部接続導体２５２の外縁に達する前に凹部５２に収容される。これにより、漏れ出した接着剤６０が第１の外部接続導体２５２の上面に回り込むことは、さらに抑制される。

【0058】

同様に、図４、図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、凹部５４１、凹部５４２、および、凹部５４０は、平面視において、第２の外部接続導体２５４に部分的に重なることが好ましい。より具体的には、凹部５４１、および、凹部５４２は、第２の外部接続導体２５４における幅方向の両端に部分的に重なっており、凹部５４０は、第２の外部接続導体２５４における延びる方向の先端に部分的に重なっている。これにより、第２の外部接続導体２５４と端子載置部３５との間の接着剤６０は、第２の外部接続導体２５４の外縁に達する前に凹部５４に収容される。これにより、漏れ出した接着剤６０が第２の外部接続導体２５４の上面に回り込むことは、さらに抑制される。

【0059】

そして、この構成によって、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４の上面、すなわち、外部への接続部が接着剤によって不所望に覆われることは抑制される。これにより、外部ケーブル等の外部との接続面積を、より確実に確保できる。

【0060】

なお、参考までに、図７（Ｃ）、図７（Ｄ）に示すように、比較構成では、凹部５２および凹部５４を形成していないことによって、接着剤６０が第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４の上面まで回り込んでしまう。したがって、外部への接続部が接着剤によって不所望に覆われ、外部ケーブル等の外部との接続面積が小さくなってしまう。

【0061】

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図８は、本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。図９（Ａ）は、端子載置部の平面図であり、図９（Ｂ）、図９（Ｃ）は、端子載置部の断面図である。図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＡ－Ａ断面を示し、図９（Ｃ）は、図９（Ａ）のＢ－Ｂ断面を示す。図１０（Ａ）は、第２の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）は、第２の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図である。図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のＡ－Ａ断面を示し、図１０（Ｃ）は、図１０（Ａ）のＢ－Ｂ断面を示す。

【0062】

図８、図９（Ａ）、図９（Ｂ）、図９（Ｃ）に示すように、第２の実施形態に係る流体制御装置は、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、凹部５５がさらに形成された点で異なる。凹部５５が、本発明の「第２凹部」に対応する。

【0063】

凹部５５は、端子載置部３５の表面３５１に形成されている。凹部５５は、端子載置部３５の横方向に延びる形状である。凹部５５は、凹部５２と凹部５４との間に形成されている。凹部５５の延びる方向の一方端は、凹部５２の凹部５２２に繋がる。凹部５５の延びる方向の他方端は、凹部５４の凹部５４１に繋がる。

【0064】

この構成では、第１の外部接続導体２５２の下から凹部５２２側にはみ出す接着剤６０、第２の外部接続導体２５４の下から凹部５４１にはみ出す接着剤６０が、凹部５５にも収容される。

【0065】

これにより、接着剤６０が第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４の上面に回り込むことは、さらに確実に抑制される。特に、第１の外部接続導体２５２と第２の外部接続導体２５４との間は、第１の外部接続導体２５２と第２の外部接続導体２５４との両方から接着剤６０が流れ出すため、接着剤６０が集中し易くなる。しかしながら、凹部５５が形成されていることによって、この集中し易い接着剤６０が凹部５５に収容される。したがって、接着剤６０が第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４の上面に回り込むことは、さらに確実に抑制される。

【0066】

［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の平面図である。図１１（Ａ）は、端子載置部のみを示し、図１１（Ｂ）は、端子載置部と外部接続導体とを示す。

【0067】

図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）に示すように、第３の実施形態に係る流体制御装置は、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、凹部５２Ａ、および、凹部５４Ａの形状において異なる。第３の実施形態に係る流体制御装置の他の構成は、第１の実施形態に係る流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

【0068】

第３の実施形態に係る流体制御装置は、凹部５２Ａおよび凹部５４Ａを備える。

【0069】

凹部５２Ａは、凹部５２１および凹部５２２によって構成される。すなわち、凹部５２Ａは、凹部５２の凹部５２０を省略した構成を備える。

【0070】

凹部５４Ａは、凹部５４１および凹部５４２によって構成される。すなわち、凹部５４Ａは、凹部５２の凹部５２０を省略した構成を備える。

【0071】

このような構成によって、第３の実施形態に係る流体制御装置は、第１の実施形態に係る流体制御装置と同様の作用効果を奏することが可能である。

【0072】

［第４の実施形態］
本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１２および図１３は、本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。図１２は、流体制御装置を示し、図１３は、下側ケース部材と外部接続導体とを示す。図１４（Ａ）は、第４の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す平面図であり、図１４（Ｂ）は、第４の実施形態の構成における外部端子導体の固定状態を示す断面図である。図１４（Ｂ）は、図１４（Ａ）のＣ－Ｃ断面を示す。

【0073】

第４の実施形態に係る流体制御装置は、第２の実施形態に係る流体制御装置に対して、第１の外部接続導体２５２に開口２９２が形成され、第２の外部接続導体２５４に開口２９４が形成される点で異なる。第４の実施形態に係る流体制御装置の他の構成は、第２の実施形態に係る流体制御装置と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

【0074】

第１の外部接続導体２５２には、開口２９２が形成されている。開口２９２は、第１の外部接続導体２５２を厚み方向に貫通する。開口２９２は、流体制御装置の平面視において、第１の外部接続導体２５２が凹部３３１および上側ケース部材４０に重なる領域に形成されている。

【0075】

第２の外部接続導体２５４には、開口２９４が形成されている。開口２９４は、第２の外部接続導体２５４を厚み方向に貫通する。開口２９４は、流体制御装置の平面視において、第２の外部接続導体２５４が凹部３３１および上側ケース部材４０に重なる領域に形成されている。

【0076】

このような構成では、第１の外部接続導体２５２の下側（端子載置部３５側）に塗布された接着剤６０は、第１の外部接続導体２５２の端子載置部３５への載置時に、開口２９２を通じて、第１の外部接続導体２５２の上面側（上側ケース部材４０側）に流れ出す。これにより、第１の外部接続導体２５２と上側ケース部材４０との間に接着剤６０が介在し、第１の外部接続導体２５２と上側ケース部材４０とは、接着剤６０によって固定される。

【0077】

同様に、第２の外部接続導体２５４の下側（端子載置部３５側）に塗布された接着剤６０は、第２の外部接続導体２５４の端子載置部３５への載置時に、開口２９４を通じて、第２の外部接続導体２５４の上面側（上側ケース部材４０側）に流れ出す。これにより、第２の外部接続導体２５４と上側ケース部材４０との間に接着剤６０が介在し、第２の外部接続導体２５４と上側ケース部材４０とは、接着剤６０によって固定される。

【0078】

このように、第４の実施形態の構成を用いることで、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４と上側ケース部材４０との固定のために、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４と端子載置部３５との固定用と別の接着剤６０を用意しなくてもよい。さらには、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４と上側ケース部材４０との固定用の接着剤６０の塗布を、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４と端子載置部３５との固定用の接着剤６０の塗布と別々に行わなくてもよい。これにより、流体制御装置の製造負荷は軽減できる。

【0079】

［第５の実施形態］
本発明の第５の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１５は、本発明の第５の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。図１５は、下側ケース部材と外部接続導体とを示す。

【0080】

第５の実施形態に係る流体制御装置は、第４の実施形態に係る流体制御装置に対して、第１の外部接続導体２５２および第２の外部接続導体２５４に形成する開口の形状において異なる。第５の実施形態に係る流体制御装置の他の構成は、第４の実施形態に係る流体制御装置と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

【0081】

第１の外部接続導体２５２には、開口２９６１および開口２９６２が形成されている。開口２９６１および開口２９６２は、第１の外部接続導体２５２を厚み方向に貫通する。開口２９６１は、第１の外部接続導体２５２の幅方向の一方端に係る形状であり、開口２９６２は、第１の外部接続導体２５２の幅方向の他方端に係る形状である。開口２９６１および開口２９６２は、流体制御装置の平面視において、第１の外部接続導体２５２が凹部３３１および上側ケース部材４０に重なる領域に形成されている。

【0082】

第２の外部接続導体２５４には、開口２９８１および開口２９８２が形成されている。開口２９８１および開口２９８２は、第２の外部接続導体２５４を厚み方向に貫通する。開口２９８１は、第２の外部接続導体２５４の幅方向の一方端に係る形状であり、開口２９８２は、第２の外部接続導体２５４の幅方向の他方端に係る形状である。開口２９８１および開口２９８２は、流体制御装置の平面視において、第２の外部接続導体２５４が凹部３３１および上側ケース部材４０に重なる領域に形成されている。

【0083】

このような構成によって、第５の実施形態に係る流体制御装置は、第４の実施形態に係る流体制御装置と同様の作用効果を奏することができる。

【0084】

なお、第４、第５の実施形態に示した外部接続導体に形成した開口の形状は一例である。例えば、流体制御装置の平面視において、外部接続導体が凹部３３１および上側ケース部材４０に重なる領域に、外部接続導体に対して平面面積の小さい部分を設ければ、同様の作用効果を奏することができる。

【0085】

［第６の実施形態］
本発明の第６の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１６は、本発明の第６の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した外観斜視図である。

【0086】

図１６に示すように、第６の実施形態に係る流体制御装置は、第２の実施形態に係る流体制御装置に対して、端子載置部３５Ｅの構成において異なる。第６の実施形態に係る流体制御装置の他の構成は、第２の実施形態に係る流体制御装置の構成と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

【0087】

図１６に示すように、端子載置部３５Ｅは、高さ方向に異なる二個の表面３５１１と表面３５１２とを備える。言い換えれば、端子載置部３５Ｅは、表面（外部接続導体２５２、２５４が配置される側の面）に段差３５９を有する。

【0088】

表面３５１２は、表面３５１１よりも高い位置に配置される。言い換えれば、端子載置部３５Ｅの底面は、平面であり、端子載置部３５Ｅにおける表面３５１２を有する部分は、端子載置部３５Ｅにおける表面３５１１を有する部分よりも厚い。

【0089】

第１の外部接続導体２５２は、表面３５１１に配置される、第２の外部接続導体２５４は、表面３５１２に配置される。

【0090】

このような構成とすることで、第６の実施形態に係る流体制御装置は、第２の実施形態に係る流体制御装置と同様の作用効果を奏することができる。

【0091】

さらに、第１の外部接続導体２５２が接合される表面３５１１と、第２の外部接続導体２５４が接合される表面３５１２とが高さ方向に異なる位置に配置されるので、第６の実施形態に係る流体制御装置は、第１の外部接続導体２５２と第２の外部接続導体２５４との不所望な導通（短絡）を抑制できる。

【0092】

また、第１の外部接続導体２５２を表面３５１１に接合する際、段差３５９の段差面が接着剤の流れ防止壁として作用する。これにより、接着剤の流れによる第１の外部接続導体２５２の表面３５１１への接合状態の低下を抑制できる。さらには、段差３５９の段差面を接合に利用でき、接合強度を向上できる。

【0093】

なお、この実施形態では、表面３５１２が表面３５１１よりも高い態様を示した。しかしながら、表面３５１１が表面３５１２よりも高くてもよい。ただし、表面３５１２が表面３５１１よりも高ければ、第２の給電導体２５３の屈曲回数を２回から１回にでき、屈曲加工時の破損の可能性を小さくできる。

【0094】

また、第６の実施形態の構成は、第２の実施形態に基づいているが、他の実施形態の構成に対しても、第６の実施形態の構成を適用することができる。

【0095】

［凹部の形状の派生例］
図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）、図１７（Ｃ）は、凹部の形状の派生例を示す平面図である。図１７（Ｄ）は、外部接続導体の派生例を示す平面図である。なお、図１７（Ｄ）では、外部接続導体の形状を分かり易くするために、外部接続導体にハッチングを行っている。

【0096】

図１７（Ａ）に示すように、凹部５２Ｂでは、凹部５２２Ｂの幅が、凹部５２１の幅および凹部５２０の幅よりも大きい。また、凹部５４Ｂでは、凹部５４１Ｂの幅が、凹部５２２の幅および凹部５４０の幅よりも大きい。

【0097】

図１７（Ｂ）に示すように、凹部５２Ｃでは、凹部５２０Ｃの幅が、凹部５２１の幅および凹部５２２の幅よりも小さい。また、凹部５４Ｃでは、凹部５４０Ｃの幅が、凹部５４１の幅および凹部５４２の幅よりも小さい。

【0098】

図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）に示すように、凹部は、所望の幅に適宜設定できる。

【0099】

図１７（Ｃ）に示すように、凹部５２Ｄでは、凹部５２１Ｄの幅および凹部５２２Ｄの幅は、端子載置部３５の先端に近づくほど小さくなる。また、凹部５４Ｄでは、凹部５４１Ｄの幅および凹部５４２Ｄの幅は、端子載置部３５の先端に近づくほど小さくなる。

【0100】

図１７（Ｃ）に示すように、個別の凹部の幅を、凹部の延びる方向の位置によって異ならせることもできる。

【0101】

図１７（Ｄ）に示すように、第１の外部接続導体２５２ＤＥおよび第２の外部接続導体２５４ＤＥでは、先端部の幅は、第１の給電導体２５１および第２の給電導体２５３に接続する根元部（給電導体側基端）の幅よりも小さい。言い換えれば、第１の外部接続導体２５２ＤＥおよび第２の外部接続導体２５４ＤＥでは、根元部の幅は先端部の幅よりも大きい。

【0102】

この際、例えば、図１７（Ｄ）に示すように、第１の外部接続導体２５２ＤＥおよび第２の外部接続導体２５４ＤＥは、延びる方向（根元部から先端部に向かう方向）において、徐々に幅が狭くなる形状であるとよい。

【0103】

これにより、接着剤６０（図示を省略）は、先端側に流れていき易くなる。したがって、第１の外部接続導体２５２ＤＥおよび第２の外部接続導体２５４ＤＥの端子載置部３５への固定の強度は向上する。さらに、第１の外部接続導体２５２ＤＥおよび第２の外部接続導体２５４ＤＥは、ポンプ本体２０側に流れ込み難くなる。

【0104】

図１７（Ｄ）では、根元部から先端部の距離に応じて線形に幅が狭くなる態様を示した。しかしながら、根元部の幅が先端部の幅よりも大きければ、延びる方向の途中で、段階的に幅が狭くなる形状、非線形に幅が狭くなる形状であってもよい。

【0105】

なお、上述の各実施形態の構成、外部接続導体の形状、および、凹部の形状は、適宜組合せが可能であり、それぞれの組合せに応じた作用効果を奏することができる。

【符号の説明】

【0106】

１０：流体制御装置
２０：ポンプ本体
２１：第１平板
２２：圧電素子
２３：第２平板
２４：側壁部材
２５：給電部材
２６：絶縁層
３０：下側ケース部材
３１：主部材
３３：凹部
３５、３５Ｅ：端子載置部
４０：上側ケース部材
５２、５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄ、５４、５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ、５４Ｄ、５５：凹部
６０：接着剤
２１１：中央平板
２１２：枠体
２１３：連結部材
２１４：空隙
２３０：貫通孔
２４０：中空
２５０：開口
２５１：第１の給電導体
２５２：第１の外部接続導体
２５３：第２の給電導体
２５４：第２の外部接続導体
２９２、２９４：開口
３１１：底壁
３１２：側壁
３２１、３２２：ノズル
３３１、３３２、３３３：凹部
３４２、３４４：開口
３５１、３５１１、３５１２：表面
５２０、５２０Ｃ、５２１、５２１Ｄ、５２２、５２２Ｂ、５２２Ｄ、５４０、５４０Ｃ、５４１、５４１Ｂ、５４１Ｄ、５４２、５４２Ｄ：凹部
２９６１、２９６２、２９８１、２９８２：開口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】