(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-10
(45)【発行日】2024-06-18
(54)【発明の名称】有軌道台車システム
(51)【国際特許分類】
B61B 3/02 20060101AFI20240611BHJP
B61B 13/00 20060101ALI20240611BHJP
B61B 13/06 20060101ALI20240611BHJP
【ＦＩ】
B61B3/02 C
B61B13/00 V
B61B13/06 H
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2023529562
(86)(22)【出願日】2022-03-16
(86)【国際出願番号】 JP2022012017
(87)【国際公開番号】W WO2022264579
(87)【国際公開日】2022-12-22
【審査請求日】2023-10-10
(31)【優先権主張番号】P 2021099980
(32)【優先日】2021-06-16
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100176245
【弁理士】
【氏名又は名称】安田 亮輔
(74)【代理人】
【識別番号】100180851
【弁理士】
【氏名又は名称】▲高▼口 誠
(72)【発明者】
【氏名】小川 佳祐
【審査官】志水 裕司
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２０－１４３９８３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－４９４４７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６１Ｂ ３／０２
Ｂ６１Ｂ １３／００
Ｂ６１Ｂ １３／０６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
走行方向の前方に位置する台車を検知する障害物検知部が設けられた複数の台車が軌道に沿って走行する、有軌道台車システムであって、所定位置に位置する前記台車の前方に配置されており、前記障害物検知部によって検知される被検知部と、
前記障害物検知部による前記被検知部の検知結果に基づいて、前記障害物検知部の状態を判定するコントローラと、を備え、
前記被検知部は、前記障害物検知部の動作を確認する検査時には前記台車の走行空間に進出すると共に、前記被検知部の進出位置を前記台車が通過する通過時には前記台車の走行空間から退避するように移動自在に設けられており、
前記軌道には、前記軌道の延在方向に沿って外部空間から区画された内部空間が形成されていると共に、前記被検知部が前記内部空間と前記外部空間との間で移動することを許容する切欠部が形成されており、
前記台車は、前記内部空間を走行する走行部を有し、
前記障害物検知部は、前記走行部に取り付けられており、
前記被検知部は、前記内部空間と前記外部空間との間で移動自在に設けられており、前記検査時には前記内部空間に進出し、前記通過時には前記外部空間に退避するように移動自在に設けられると共に、前記被検知部が前記内部空間に進出したときに、前記切欠部において前記被検知部が通過する領域を覆う蓋部が設けられている、有軌道台車システム。
【請求項2】
前記被検知部は、板状部材に取り付けられた投光器であり、前記障害物検知部は、前記板状部材に取り付けられた投光器から投光される光及び前記走行方向の前方に位置する前方台車に設けられた後方投光器から投光される光を受光する受光器であり、前記コントローラは、前記受光器による前記前方台車に設けられた投光器からの光の検知結果に基づいて前記走行方向の前方に位置する台車の有無を検知すると共に、前記受光器による前記板状部材に設けられた投光器からの光の検知結果に基づいて前記受光器の状態を判定する、請求項１記載の有軌道台車システム。
【請求項5】
前記台車は、前記軌道の後方に位置する前記台車に自台車が存在することを検知させる後方投光器を備えており、前記有軌道台車システムは、前記所定位置に位置する前記台車の後方に設けられると共に前記後方投光器から投光される光を検知する投光器検知部を更に備え、
前記投光器検知部は、前記後方投光器の動作を確認する検査時には前記台車の走行空間に進出すると共に、前記投光器検知部の進出位置を前記台車が通過する通過時には前記台車の走行空間から退避するように移動自在に設けられており、
前記コントローラは、前記投光器検知部による検知結果に基づいて、前記後方投光器の状態を判定する、請求項１又は２記載の有軌道台車システム。
【請求項7】
前記反射部材は、前記走行方向に前記台車が通過できるように前記台車の走行空間を囲う枠状本体部に対して移動自在に取り付けられており、前記反射部材は、前記検査時には前記台車の走行空間に進出し、前記通過時には前記台車の走行空間から退避するように移動自在に設けられている、請求項６記載の有軌道台車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の一側面は、有軌道台車システムに関する。
【背景技術】
【0002】
軌道を走行して物品を搬送する走行車が知られている。走行車には、軌道を走行する際に障害となる可能性のある障害物を検知する障害物検知センサが設けられており、障害物検知センサの検知の有無に基づいて走行車の走行が制御されることがある。しかしながら、走行車の適切な走行を維持するためには、障害物検知センサが適切に作動しているかを定期的に検査する必要がある。例えば、特許文献１には、自動運転中の走行車をホームポジションに移動させ、ホームポジションにて障害物検知センサの検査を自動的に実行する自動作動確認装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開平１０－１２４１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記特許文献１の自動作動確認装置は、地上を走行する台車に設けられた障害物検知部の検査をすることを目的としており、軌道を走行する台車に設けられた障害物検知部を検査することは想定されていない。
【0005】
そこで、本発明の一側面の目的は、軌道を走行する台車に設けられた障害物検知部の動作確認を自動で行うことができる有軌道台車システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一側面に係る有軌道台車システムは、走行方向の前方に位置する障害物を検知する障害物検知部が設けられた複数の台車が軌道に沿って走行する、有軌道台車システムであって、所定位置に位置する台車の前方に配置されており、障害物検知部によって検知される被検知部と、障害物検知部による被検知部の検知結果に基づいて、障害物検知部の状態を判定するコントローラと、を備え、被検知部は、障害物検知部の動作を確認する検査時には台車の走行空間に進出すると共に、被検知部の進出位置を台車が通過する通過時には台車の走行空間から退避するように移動自在に設けられている。
【0007】
この構成では、所定位置に位置する台車の障害物検知部の状態を確認するとき（検査時）には、台車の走行空間の前方に被検知部を進出させ、このときの障害物検知部による被検知部の検知結果に基づいて障害物検知部の状態が判定される。また、被検知部の進出位置を台車が通過するとき（通過時）には、台車の走行空間から被検知部を退避させるので、台車の走行を妨げない。これにより、軌道を走行する台車に設けられた障害物検知部の動作確認を自動で行うことができる。
【0008】
本発明の一側面に係る有軌道台車システムでは、障害物検知部は受光器であり、被検知部は板状部材に取り付けられた投光器であってもよい。この構成では、台車に設けられた受光器の動作確認を自動で行うことができる。
【0009】
本発明の一側面に係る有軌道台車システムでは、軌道は、外部空間から区画された内部空間が軌道の延在方向に沿って形成されており、台車は、内部空間を走行する走行部を有し、障害物検知部は、走行部に取り付けられ、投光器は、内部空間と外部空間との間で移動自在に設けられており、検査時には内部空間に進出し、通過時には外部空間に退避するように移動自在に設けられてもよい。この構成では、軌道の内部空間内を走行する走行部に取り付けられた投光器の動作確認を自動で行うことができる。
【0010】
本発明の一側面に係る有軌道台車システムでは、軌道には、投光器及び板状部材が内部空間と外部空間との間で移動することを許容する切欠部が形成されており、投光器が内部空間に進出したときに、切欠部において投光器が通過する領域を覆う蓋部が板状部材に形成されていてもよい。この構成では、投光器が内部空間に進出したときに切欠部が蓋部によって覆われ、内部空間に外部空間から外乱光等が侵入することが防止される。これにより、外乱光の影響を受けることなく、より確実に投光器の動作確認を行うことができる。
【0011】
本発明の一側面に係る有軌道台車システムでは、台車は、軌道の後方に位置する台車に自台車が存在することを検知させる後方投光器を備えており、有軌道台車システムは、所定位置に位置する台車の後方に設けられると共に後方投光器から投光される光を検知する投光器検知部を更に備え、投光器検知部は、後方投光器の動作を確認する検査時には台車の走行空間に進出すると共に、投光器検知部の進出位置を台車が通過する通過時には台車の走行空間から退避するように移動自在に設けられており、コントローラは、投光器検知部による検知結果に基づいて、後方投光器の状態を判定してもよい。所定位置に位置する台車の後方投光器の状態を確認するとき（検査時）には、台車の後方に投光器検知部を出現させ、このときの投光器検知部による検知結果に基づいて投後方投光器の状態が判定される。これにより、軌道を走行する台車に設けられた後方投光器の動作確認を自動で行うことができる。
【0012】
本発明の一側面に係る有軌道台車システムでは、障害物検知部は受光器及び投光器を含んで構成され、被検知部は投光器から投光される光を反射可能な反射部材であってもよい。この構成では、台車に設けられた投光器及び受光器の動作確認を自動で行うことができる。
【0013】
本発明の一側面に係る有軌道台車システムでは、反射部材は、走行方向に台車が通過できるように台車の走行空間を囲う枠状本体部に対して移動自在に取り付けられており、反射部材は、検査時には台車の走行空間に進出し、通過時には台車の走行空間から退避するように移動自在に設けられていてもよい。この構成では、台車が通過するときには台車走行の妨げとならないように、反射部材を台車の走行空間から退避させることができる。
【発明の効果】
【0014】
本発明の一側面によれば、軌道を走行する台車に設けられた障害物検知部の動作確認を自動で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図8】図８（Ａ）は、第一検査装置の配置位置における軌道を、走行方向の前方から見た断面図である。図８（Ｂ）は、第一検査装置の配置位置近傍における軌道に配置される第一誘導ガイド及び第二誘導ガイドの配置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【0017】
図１及び図２に示されるように、有軌道台車システム１は、軌道４に沿って移動可能な天井走行車（台車）６（以下、「走行車６」と称する。）を用いて、物品１０を搬送するためのシステムである。物品１０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。有軌道台車システム１は、軌道４と、複数の走行車６と、複数の載置部９と、検査ユニット１００と、搬送コントローラ９０と、を備える。
【0018】
軌道４は、例えば、作業者の頭上スペースである天井付近に敷設されている。軌道４は、例えば天井から吊り下げられている。軌道４は、走行車６を走行させるための予め定められた走行路である。軌道４は、支柱４０Ａ，４０Ａにより支持される。有軌道台車システム１の軌道４は、走行車６が所定のエリアを一方向Ｄ１に巡回する本線部４Ａと、走行車６を検査するための検査ユニット１００に走行車６を導入させる退避部４Ｂと、を有している。なお、退避部４Ｂにおいても、走行車６は、予め定められた一方向Ｄ１に移動する。
【0019】
軌道４は、一対の下面部４０Ｂ，４０Ｂと一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃと天面部４０Ｄとを有し、一部が開放された筒状のレール本体部４０と、給電部４０Ｅと、磁気プレート４０Ｆと、を有している。レール本体部４０は、外部空間Ａ２から区画された内部空間Ａ１を形成している。内部空間Ａ１は、軌道４の延在方向に沿って延在する。レール本体部４０は、後段にて詳述する走行車６の走行部５０を収容する。下面部４０Ｂは、走行車６の走行方向Ｄ１に延在し、レール本体部４０の下面を構成する。下面部４０Ｂは、走行車６の走行ローラ５１が転動して、走行車６が走行する板状部材である。側面部４０Ｃは、走行車６の走行方向Ｄ１に延在し、レール本体部４０の側面を構成する。天面部４０Ｄは、走行車６の走行方向Ｄ１に延在し、レール本体部４０の上面を構成する。
【0020】
給電部４０Ｅは、走行車６の給電コア５７に電力を供給すると共に、給電コア５７と信号の送受信を行う部位である。給電部４０Ｅは、一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃのそれぞれに固定され、走行方向Ｄ１に沿って延在している。給電部４０Ｅは、給電コア５７に対して非接触の状態で電力を供給する。磁気プレート４０Ｆは、走行車６のＬＤＭ（Linear DC Motor）５９に走行又は停止のための磁力を発生させる。磁気プレート４０Ｆは、天面部４０Ｄに固定され、走行方向Ｄ１に沿って延在している。
【0021】
走行車６は、軌道４に沿って走行し、物品１０を搬送する。走行車６は、物品１０を移載可能に構成されている。走行車６は、天井走行式無人走行車である。有軌道台車システム１が備える走行車６の台数は、特に限定されず、複数である。走行車６は、本体部７と、走行部５０と、本体コントローラ３５と、を有する。本体部７は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３と、衝突防止センサ（障害物検知部）３４Ａと、障害物センサ（障害物検知部）３４Ｂと、を有する。
【0022】
本体フレーム２２は、走行部５０と接続されており、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３とを支持する。横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、軌道４の延在方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、ワイヤ、ロープ及びベルト等の吊持材を巻取る又は繰出すことによって昇降台３０を昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。カバー３３は、例えば走行車６の走行方向Ｄ１の前後に一対設けられている。カバー３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。
【0023】
衝突防止センサ３４Ａは、一対のカバー３３，３３のうち前方のカバー３３の上方に設けられている。衝突防止センサ３４Ａは、走行方向Ｄ１の前方に向けて光を出射し、その反射光の検知の有無に基づいて、走行方向Ｄ１の前方に位置する別の走行車６の有無を検知する。すなわち、衝突防止センサ３４Ａは、投光部及び受光部を有する。障害物センサ３４Ｂは、一対のカバー３３，３３のうち前方のカバー３３の下方に設けられている。障害物センサ３４Ｂは、走行方向Ｄ１の前方に向けて光を出射し、その反射光の検知の有無に基づいて、走行方向Ｄ１の前方に位置する障害物の有無を検知する。すなわち、障害物センサ３４Ｂは、投光部及び受光部を有する。衝突防止センサ３４Ａ及び障害物センサ３４Ｂによる検知結果は、本体コントローラ３５によって取得される。
【0024】
走行部５０は、上述したように、軌道４に形成される内部空間Ａ１を走行する。走行部５０は、主に、走行ローラ５１、サイドローラ５２、受光器（障害物検知部）５４Ａ、投光器（後方投光器）５４Ｂ（図３及び図４参照）、給電コア５７及びＬＤＭ５９を有している。走行ローラ５１は、走行輪としての外輪及び走行補助輪としての内輪からなるローラ対である。走行ローラ５１は、走行部５０の前後の左右両端に配置されている。走行ローラ５１は、軌道４の一対の下面部４０Ｂ，４０Ｂを転動する。
【0025】
サイドローラ５２は、走行ローラ５１の外輪のそれぞれを前後方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、軌道４の側面部４０Ｃに接触可能に設けられている。給電コア５７は、走行部５０の前後に配置され、左右方向においてはＬＤＭ５９を挟むように配置されている。軌道４に配置された給電部４０Ｅは、給電コア５７との間で非接触による給電と、非接触による各種信号の送受信を行う。給電コア５７は本体コントローラ３５との間で信号もやりとりする。ＬＤＭ５９は、走行部５０の前後に設けられている。ＬＤＭ５９は、電磁石によって軌道４の上面に配置された磁気プレート４０Ｆとの間で、走行又は停止のための磁力を発生させる。
【0026】
受光器５４Ａは、走行部５０の前面に設けられている。受光器５４Ａは、自走行車６からの距離が所定範囲内に位置する前方走行車６に設けられている投光器５４Ｂから投光される光を受光する。言い換えれば、受光器５４Ａは、自走行車６からの距離が所定範囲外に位置する前方走行車６に設けられている投光器５４Ｂから投光される光は受光することができない。受光器５４Ａによる検知結果は、本体コントローラ３５によって取得される。本体コントローラ３５は、受光器５４Ａによって受光されたとき、自走行車６から所定距離前方の範囲内に走行車６が存在すると判定する。
【0027】
投光器５４Ｂは、走行部５０の後面に設けられている。投光器５４Ｂは、自走行車６の後方に向けて光を投光する。投光器５４Ｂの投光距離は、自走行車６からの距離が所定距離内に位置する後方走行車６に設けられている受光器５４Ａが受光できるように設定されている。投光器５４Ｂによる投光は、本体コントローラ３５によって制御されている。
【0028】
走行部５０は、後段にて詳述する搬送コントローラ（コントローラ）９０によって本体コントローラ３５を介した状態で制御される。具体的には、搬送コントローラ９０からの指令が本体コントローラ３５に送信され、当該指令を受信した本体コントローラ３５が走行部５０を制御する。
【0029】
載置部９は、軌道４に沿って配置され、走行車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられている。載置部９には、バッファ及び受渡ポートが含まれる。バッファは、物品１０が一時的に載置される載置部である。バッファは、例えば、目的とする受渡ポートに他の物品１０が載置されている等の理由により、走行車６が搬送している物品１０をその受渡ポートに移載できない場合に、物品１０が仮置きされる載置部である。受渡ポートは、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置（図示せず）に対して物品１０の受渡を行うための載置部である。なお、処理装置は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。
【0030】
例えば、載置部９は、軌道４の側方に配置されている。この場合、走行車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を僅かに昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。なお、図示はしないが載置部９は、軌道４の直下に配置されてもよい。この場合、走行車６は、昇降台３０を昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。
【0031】
本体コントローラ３５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。本体コントローラ３５は、走行車６における各種動作を制御する。具体的には、本体コントローラ３５は、走行部５０と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、を制御する。本体コントローラ３５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。本体コントローラ３５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。本体コントローラ３５は、軌道４の給電部４０Ｅ（給電線）等を利用して、搬送コントローラ９０と通信を行う。
【0032】
検査ユニット１００は、図１に示されるように、退避部４Ｂの一部に設けられ、図３及び図４に示されるように、走行車６に搭載される受光器５４Ａ、投光器５４Ｂ、衝突防止センサ３４Ａ及び障害物センサ３４Ｂの動作確認を行う装置群である。検査ユニット１００は、第一検査装置６０Ａと、第二検査装置６０Ｂと、第三検査装置８０と、を含んで構成されている。第一検査装置６０Ａと第二検査装置６０Ｂとは、軌道４の延在方向において、走行車６が検査ユニット１００において検査されるときに停止する位置である検査位置（所定位置）Ｐ１を挟むように配置されている。
【0033】
第一検査装置６０Ａは、上記検査位置Ｐ１に停止する走行車６から見て走行方向Ｄ１の前方となる位置に配置されている。検査位置Ｐ１と第一検査装置６０Ａとの距離は、例えば２ｍ程度である。第一検査装置６０Ａは、検査位置Ｐ１に停止する走行車６に搭載される受光器５４Ａの動作確認を行う装置である。第一検査装置６０Ａの投光器（被検知部）７０は、受光器５４Ａの動作を確認する検査時には走行車６の走行空間に進出すると共に、投光器７０の進出位置を走行車６が通過する通過時（受光器５４Ａの動作を確認しない通常時）には走行車６の走行空間から退避するように移動自在に構成されている。より詳細には、投光器７０は、内部空間Ａ１と外部空間Ａ２との間で移動可能に設けられており、図７（Ｂ）に示されるように、検査時には内部空間Ａ１に進出し、図７（Ａ）に示されるように、通過時（通常時）には外部空間Ａ２に退避するように第一駆動部６４（図５参照）によって駆動される。
【0034】
図５及び図６に示されるように、第一検査装置６０Ａは、板状部材６１と、スライド機構６３と、第一駆動部６４と、下部接続部材６５と、上部接続部材６６と、投光器７０と、を備える。以下、第一検査装置６０Ａを構成する各部について詳細に説明する。板状部材６１は、板状に形成されている。板状部材６１は、軌道４に形成されるＸ方向の隙間部４０Ｇを通過可能に設けられている。隙間部４０Ｇのサイズは、例えば５ｍｍであり、板状部材６１は、当該隙間部４０Ｇに挿入可能な厚みに形成されている。隙間部４０Ｇは、例えばＸ方向に隙間を空けた状態で軌道４，４を接続することによって形成されてもよい。軌道４，４の接続は、例えば、下部接続部材６５及び上部接続部材６６を用いて行われる。
【0035】
板状部材６１は、軌道４の天面部４０Ｄに配置されるスライド機構６３に接続されている。スライド機構６３は、例えばリニアガイドであり、Ｘ方向に主面を有する板状部材６１をＹ方向に移動可能に支持する。板状部材６１がＹ方向へ移動するとき、下部接続部材６５に設けられる一対のガイドローラ６５Ａ，６５Ａによってガイド（挟持）される。ガイドローラ６５Ａ，６５Ａは例えば樹脂によって形成されている。このようなガイドローラ６５Ａ，６５Ａを有する下部接続部材６５は、Ｙ方向に沿って三箇所に設けられているので、スライド機構６３によってＹ方向に移動される板状部材６１は、軌道４の隙間部４０Ｇをスムーズに移動することができる。なお、ガイドローラ６５Ａ，６５Ａを有さず、軌道４の接続機能のみを有する下部接続部材６５が更に一つ設けられている。スライド機構６３は、第一駆動部６４によって駆動される。第一駆動部６４は、搬送コントローラ９０（図１１参照）と通信可能に設けられており、搬送コントローラ９０によって制御される。
【0036】
投光器７０は、上述したような板状部材６１に取り付けられることにより、内部空間Ａ１と外部空間Ａ２との間で移動可能となっている。投光器７０は、検査位置Ｐ１に向けて突出するように取り付けられている。投光器７０は、ケーブルガイド７５に収容されたケーブル７２を介して軌道４の天面部４０Ｄ等に配置された制御ボックス（図示せず）に接続されている。制御ボックスは、搬送コントローラ９０と通信可能に設けられている。投光器７０は、ケーブル７２を介して作動に必要な電力が供給されると共に、ケーブル７２を介して搬送コントローラ９０との通信が行われる。
【0037】
図７（Ａ）に示されるように、軌道４の側面部４０Ｃには、板状部材６１に取り付けられた投光器７０の、内部空間Ａ１と外部空間Ａ２との間での移動を許容する切欠部４０Ｗが設けられている。また、図７（Ｂ）に示されるように、投光器７０が内部空間Ａ１に進出したときに、板状部材６１には、切欠部４０Ｗにおいて投光器７０が通過する領域を覆う蓋部６２が設けられている。すなわち、投光器７０が内部空間Ａ１に進出したときに、蓋部６２は、切欠部４０Ｗによって形成される、内部空間Ａ１と外部空間Ａ２との間を連通する空間を遮蔽する。これにより、走行車６と板状部材６１との間の空間（言い換えれば、投光器７０と受光器５４Ａとの間の空間において投光器７０から投光される光が通過する空間）に外部空間から外乱光が侵入することを防止できる。
【0038】
図８（Ａ）に示されるように、軌道４の側面部４０Ｃ（内面）には、第一誘導ガイド４０Ｋと第二誘導ガイド４０Ｌとが設けられている。第一誘導ガイド４０Ｋは、サイドローラ５２が接触する側面４０Ｋａが形成されている。第一誘導ガイド４０Ｋは、走行方向Ｄ１に向かって左側の側面部４０Ｃに設けられている。図８（Ｂ）に示されるように、側面４０Ｋａは、隙間部４０Ｇに向かって走行方向Ｄ１の右側にサイドローラ５２（すなわち走行車６）を誘導する部分と、隙間部４０Ｇから離れる方向に向かって走行方向Ｄ１の左側にサイドローラ５２を誘導する部分と、を有する。
【0039】
図８（Ａ）に示されるように、第二誘導ガイド４０Ｌは、サイドローラ５２に接触する側面４０Ｌａが形成されている。第二誘導ガイド４０Ｌは、走行方向Ｄ１（Ｘ方向）に向かって右側の側面部４０Ｃに設けられている。図８（Ｂ）に示されるように、第二誘導ガイド４０Ｌは、側面４０Ｋａによって走行方向Ｄ１の右側にサイドローラ５２を誘導し終えた位置から、側面４０Ｋａによって走行方向Ｄ１の左側にサイドローラ５２が誘導され始める位置まで延在している。
【0040】
このような、第一誘導ガイド４０Ｋ及び第二誘導ガイド４０Ｌを有する軌道４を走行する走行部５０は、検査位置Ｐ１において内部空間Ａ１の右側に誘導される。これにより、走行方向Ｄ１に向かって左側の側面部４０Ｃに設けられている切欠部４０Ｗからサイドローラ５２が飛び出すことが防止される。また、第一誘導ガイド４０Ｋ及び第二誘導ガイド４０Ｌは、投光器７０から投光される光が受光器５４Ａによって受光できるように走行部５０を誘導する（位置決めする）と共に、後段にて詳述する受光器（投光器検知部）７０Ｂに投光器５４Ｂから投光される光が受光されるように走行部５０を誘導する（位置決めする）。
【0041】
第一検査装置６０では、軌道４の内部空間Ａ１において板状部材６１の移動を阻害しないように、第一誘導ガイド４０Ｋ及び第二誘導ガイド４０Ｌが隙間部４０Ｇを挟んで分断されている（図８（Ｂ）参照）。また、給電部４０Ｅも同様の構成とする必要がある。本実施形態では、隙間部４０Ｇを挟んで給電部４０Ｅを分断すると共に、図４に示されるように、Ｘ方向において隙間部４０Ｇの前後にターミナルボックス４０Ｔを設けている。そして、給電部４０Ｅを構成するケーブルＣ等をターミナルボックス４０Ｔから軌道４の外部空間Ａ２に引き出し、これらのケーブルＣを外部空間Ａ２で接続している。
【0042】
図３及び図４に示されるように、第二検査装置６０Ｂは、上記検査位置Ｐ１に停止する走行車６から見て走行方向Ｄ１の後方となる位置に配置されている。検査位置Ｐ１と第二検査装置６０Ｂとの距離は、例えば２ｍ程度である。第二検査装置６０Ｂは、検査位置Ｐ１に停止する走行車６に搭載される投光器５４Ｂの動作確認を行う装置である。第二検査装置６０Ｂの受光器７０Ｂは、投光器５４Ｂの動作を確認する検査時には走行車６の走行空間に進出すると共に、受光器７０Ｂの進出位置を走行車６が通過する通過時（投光器５４Ｂの動作を確認しない通過時）には走行車６の走行空間から退避するように移動自在に構成されている。より詳細には、第二検査装置６０Ｂの受光器７０Ｂは、内部空間Ａ１と外部空間Ａ２との間で移動可能に設けられており、検査時には内部空間Ａ１に進出し、通過時には外部空間Ａ２に退避するように第二駆動部６４Ｂによって駆動される。
【0043】
第二検査装置６０Ｂの構成は、主に図５～図７を用いて説明した第一検査装置６０Ａの構成と類似する。すなわち、第二検査装置６０Ｂは、投光器７０の代わりに受光器７０Ｂが設けられている点で、第一検査装置６０Ａと異なるが、受光器７０Ｂを内部空間Ａ１と外部空間Ａ２との間で移動可能にする構成は、第一検査装置６０Ａと等しい。すなわち、第二検査装置６０Ｂは、板状部材６１Ｂと、スライド機構６３Ｂと、第二駆動部６４Ｂと、下部接続部材６５と、上部接続部材６６とを備える。また、第二検査装置６０Ｂは、受光器７０Ｂに接続されるケーブル７２及びケーブルガイド７５等も有している。第一検査装置６０Ａと第二検査装置６０Ｂとは、これらの構成要素が、側方（Ｙ方向）から見たときに左右の位置関係が逆（検査位置Ｐ１を中心線として左右対称）となっている点で異なっている。ここでは、第二検査装置６０Ｂを構成する各部の詳細な説明は省略する。
【0044】
このような第二検査装置６０Ｂの構成では、走行車６と第二検査装置６０Ｂの板状部材６１Ｂとの間の内部空間Ａ１（言い換えれば、投光器５４Ｂと受光器７０Ｂとの間の内部空間Ａ１において投光器５４Ｂから投光される光が通過する空間）に外部空間Ａ２から外乱光が侵入することを防止できる。より詳細には、第一検査装置６０Ａの板状部材６１と第二検査装置６０Ｂの板状部材６１Ｂとの間の内部空間Ａ１に外部空間Ａ２から外乱光が侵入することを防止できる。
【0045】
図３及び図４に示されるように、第三検査装置８０は、上記検査位置Ｐ１に停止する走行車６から見て走行方向Ｄ１の前方となる位置に配置されている。検査位置Ｐ１と第三検査装置８０との距離は、例えば３ｍ程度である。第三検査装置８０は、検査位置Ｐ１に停止する走行車６に搭載されている衝突防止センサ３４Ａ及び障害物センサ３４Ｂの動作確認を行う装置である。第三検査装置８０の第一ターゲットプレート（被検知部・反射部材）８４は、衝突防止センサ３４Ａの動作を確認する検査時に走行車６の走行空間に進出すると共に、第一ターゲットプレート８４の進出位置を走行車６が通過する通過時（衝突防止センサ３４Ａの動作を確認しない通常時）に走行車６の走行空間から退避するように移動自在に構成されている。第三検査装置８０の第二ターゲットプレート（被検知部・反射部材）８５は、障害物センサ３４Ｂの動作を確認する検査時に走行車６の走行空間に進出すると共に、第二ターゲットプレート８５の進出位置を走行車６が通過する通過時（障害物センサ３４Ｂの動作を確認しない通常時）に走行車６の走行空間から退避するように移動自在に構成されている。
【0046】
図９（Ａ）、図９（Ｂ）及び図１０に示されるように、第三検査装置８０は、固定部８１と、枠状本体部８２と、第一ターゲットプレート８４と、第二ターゲットプレート８５と、左スライド機構８７と、第三駆動部８８と、右スライド機構８７Ａと、第四駆動部８８Ａと、第三ターゲットプレート８９と、を備える。以下、第三検査装置８０を構成する各部について詳細に説明する。
【0047】
固定部８１は、天井又は軌道４に固定され、枠状本体部８２を吊り下げた状態で支持する。枠状本体部８２は、走行車６のＸ方向から見たときに走行車６が通過できるように、走行車６の走行空間を囲うように形成されている。第一ターゲットプレート８４には、走行車６の後面カバー３３の少なくとも一部に貼付されている反射シールと、同様の反射シールが貼付されている。第一ターゲットプレート８４は、反射シールによって衝突防止センサ３４Ａから投光される光を反射させる。なお、衝突防止センサ３４Ａから投光される光は、反射シールのみによって反射され、他の部材では反射されない。第二ターゲットプレート８５は、障害物センサ３４Ｂから投光される光を反射させる。
【0048】
第一ターゲットプレート８４は、検査位置Ｐ１から第三検査装置８０を見たときに、枠状本体部８２の左側に配置される左スライド機構８７に接続されている。左スライド機構８７は、例えばリニアガイドであり、第一ターゲットプレート８４をＺ方向に移動可能に支持する。左スライド機構８７は、第三駆動部８８によって駆動される。第三駆動部８８は、搬送コントローラ９０（図１１参照）と通信可能に設けられており、搬送コントローラ９０によって制御される。第一ターゲットプレート８４は、このような左スライド機構８７に取り付けられることにより、走行車６の走行空間に対する移動が可能となっている。第一ターゲットプレート８４は、走行空間の下方に退避する。
【0049】
第二ターゲットプレート８５は、検査位置Ｐ１から第三検査装置８０を見たときに、枠状本体部８２の右側に配置される右スライド機構８７Ａに接続されている。右スライド機構８７Ａは、例えばリニアガイドであり、第二ターゲットプレート８５をＺ方向に移動可能に支持する。右スライド機構８７Ａは、第四駆動部８８Ａによって駆動される。第四駆動部８８Ａは、搬送コントローラ９０（図１１参照）と通信可能に設けられており、搬送コントローラ９０によって制御される。第二ターゲットプレート８５は、このような右スライド機構８７Ａに取り付けられることにより、走行車６の走行空間に対する移動が可能となっている。第二ターゲットプレート８５は、走行空間の下方に退避する。
【0050】
何らかの原因（例えば、停電等）により第三検査装置８０に電力が供給されない事態となったとき、第一ターゲットプレート８４及び第二ターゲットプレート８５は、自重により走行空間の下方に退避するように構成されている。第一ターゲットプレート８４及び第二ターゲットプレート８５の退避位置には、第一ターゲットプレート８４及び第二ターゲットプレート８５の自重による落下時の衝撃を緩和する緩衝部材が設けられている。
【0051】
第三ターゲットプレート８９は、走行車６が進入する側に設けられている平板状の部材である。第三ターゲットプレート８９は、衝突防止センサ３４Ａからの投光される光を反射可能に構成されている。第三ターゲットプレート８９の少なくとも一部には、反射シールが貼付されている。
【0052】
位置検知センサ８３は、第一ターゲットプレート８４及び第二ターゲットプレート８５の位置を検知する。すなわち、位置検知センサ８３は、第一ターゲットプレート８４及び第二ターゲットプレート８５が走行車６の走行空間に進出しているか否かを検知する。位置検知センサ８３による検知結果は、搬送コントローラ９０によって取得される。
【0053】
図１１に示されるように、搬送コントローラ９０は、軌道４を走行する複数の走行車６を本体コントローラ３５を介して制御する。また、搬送コントローラ９０は、検査ユニット１００に含まれる投光器７０、受光器７０Ｂ、位置検知センサ８３、第一駆動部６４、第二駆動部６４Ａ、第三駆動部８８及び第四駆動部８８Ａを制御する。
【0054】
搬送コントローラ９０は、所定の条件をトリガとして走行車６を検査ユニット１００まで走行させる。所定の条件とは、例えば、図示しない入力部を介して作業者によって検査開始命令が入力されたとき、又は前回の検査から所定時間が経過した走行車６が出現したとき、又は前回の検査から所定距離を走行した走行車６が出現したとき等であり、搬送コントローラ９０は、条件に適合する走行車６を検査ユニット１００の検査位置Ｐ１まで走行させる。
【0055】
走行車６が検査位置Ｐ１に到着すると、搬送コントローラ９０は、第一駆動部６４を制御して、第一検査装置６０Ａの投光器７０を内部空間Ａ１に進出させると共に、第二駆動部６４Ａを制御して、第二検査装置６０Ｂの受光器７０Ｂを内部空間Ａ１に進出させる。搬送コントローラ９０は、第一検査装置６０Ａの投光器７０を制御して光を投光させる。搬送コントローラ９０は、このときの走行車６の受光器５４Ａによる検知結果に基づいて受光器５４Ａの状態を判定する。すなわち、光を検知できれば走行車６の受光器５４Ａに異常はないと判定し、光を検知できなければ走行車６の受光器５４Ａに異常があると判定する。
【0056】
搬送コントローラ９０は、本体コントローラ３５を介して走行車６の投光器５４Ｂを制御して光を投光させる。搬送コントローラ９０は、このときの第二検査装置６０Ｂの受光器７０Ｂによる検知結果に基づいて投光器５４Ｂの状態を判定する。すなわち、第二検査装置６０Ｂの受光器７０Ｂが光を検知できれば走行車６の投光器５４Ｂに異常はないと判定し、第二検査装置６０Ｂの受光器７０Ｂが光を検知できなければ走行車６の投光器５４Ｂに異常があると判定する。
【0057】
また、搬送コントローラ９０は、第三駆動部８８を制御して、第一ターゲットプレート８４を走行車６の走行空間に進出させると共に、第四駆動部８８Ａを制御して、第二ターゲットプレート８５を走行車６の走行空間に進出させる。搬送コントローラ９０は、走行車６の衝突防止センサ３４Ａを制御して光を投光させる。搬送コントローラ９０は、このときの衝突防止センサ３４Ａによる検知結果に基づいて衝突防止センサ３４Ａの状態を判定する。すなわち、光を検知できれば衝突防止センサ３４Ａに異常はないと判定し、光を検知できなければ衝突防止センサ３４Ａに異常があると判定する。
【0058】
衝突防止センサ３４Ａにおける光の受光量は、衝突防止センサ３４Ａから投光される光が第一ターゲットプレート８４と第三ターゲットプレート８９とによって反射される光の反射量によって変化する。搬送コントローラ９０は、衝突防止センサ３４Ａの当該受光量に基づいて、衝突防止センサ３４Ａの左右方向における光軸のずれの有無を判定する。
【0059】
搬送コントローラ９０は、走行車６の障害物センサ３４Ｂを制御して光を投光させる。搬送コントローラ９０は、このときの障害物センサ３４Ｂによる検知結果に基づいて障害物センサ３４Ｂの状態を判定する。すなわち、光を検知できれば障害物センサ３４Ｂに異常はないと判定し、光を検知できなければ障害物センサ３４Ｂに異常があると判定する。
【0060】
搬送コントローラ９０は、位置検知センサ８３の検知結果に基づいて第一ターゲットプレート８４及び第二ターゲットプレート８５の少なくとも一方が走行車６の走行空間に進出していると判定したときは、走行車６の第三検査装置８０への進入を禁止する。
【0061】
上記実施形態の有軌道台車システム１における作用効果について説明する。上記実施形態の有軌道台車システム１では、検査位置Ｐ１に位置する走行車６の受光器５４Ａの状態を確認する検査時には、走行車６の走行空間の前方に投光器７０を進出させ、このときの受光器５４Ａによる検知結果に基づいて受光器５４Ａの状態が判定される。また、投光器７０の進出位置を走行車６が通過する通過時には、走行車６の走行空間から投光器７０を退避させるので、走行車６の走行を妨げない。
【0062】
また、走行車６の衝突防止センサ３４Ａを検査するときも同様に、走行車６の走行空間の前方に第一ターゲットプレート８４を進出させ、このときの衝突防止センサ３４Ａによる検知結果に基づいて、衝突防止センサ３４Ａの状態が判定される。また、障害物センサ３４Ｂを検査するときも同様に、走行車６の走行空間の前方に第二ターゲットプレート８５を進出させ、このときの障害物センサ３４Ｂによる検知結果に基づいて、障害物センサ３４Ｂの状態が判定される。このため、軌道４を走行する走行車６に設けられた受光器５４Ａ、投光器５４Ｂ、衝突防止センサ３４Ａ及び障害物センサ３４Ｂの動作確認を自動で行うことができる。
【0063】
上記実施形態の有軌道台車システム１では、投光器７０は、内部空間Ａ１と外部空間Ａ２との間で移動可能に設けられており、検査時に内部空間Ａ１に進出し、通過時に外部空間Ａ２に退避する。このような構成によって、軌道４の内部空間Ａ１内を走行する走行部５０に取り付けられた投光器７０であっても、その動作確認を自動で行うことができる。
【0064】
上記実施形態の有軌道台車システム１では、投光器７０が軌道４の内部空間Ａ１に進出したときに切欠部４０Ｗが蓋部６２によって覆われるので、内部空間Ａ１に外部空間Ａ２から外乱光等が侵入することが防止される。これにより、外乱光の影響を受けることなく、より確実に投光器７０の動作確認を行うことができる。
【0065】
上記実施形態の有軌道台車システム１では、検査位置Ｐ１に位置する走行車６の投光器５４Ｂの状態を確認する検査時には、走行車６の後方に受光器７０Ｂを出現させ、このときの受光器７０Ｂによる検知結果に基づいて投光器５４Ｂの状態が判定される。これにより、軌道４を走行する走行車６に設けられた投光器５４Ｂの動作確認を自動で行うことができる。
【0066】
以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【0067】
上記実施形態の有軌道台車システム１においては、走行部５０の前面に、前方走行車６から投光される光を受光する受光器５４Ａが設けられている例を挙げて説明したが、受光器５４Ａに代えて、受光器及び投光器を有する前方センサが設けられてもよい。この場合には、第一検査装置６０Ａに備えられる投光器７０に代えて、前方センサから投光される光を反射可能なターゲットプレートが設けられる。また、当該前方センサと同様の構成のセンサが走行部５０の後面に設けられてもよい。また、走行部５０には、上述したセンサに代えて、距離センサ等が設けられてもよい。この場合も、第一検査装置６０Ａにはターゲットプレートが適用される。
【0068】
上記実施形態及び変形例の有軌道台車システム１においては、走行部５０は軌道４の内部空間Ａ１を走行する例を挙げて説明したが、走行部５０が外部空間Ａ２に露出されるような軌道４を走行してもよい。
【0069】
上記実施形態及び変形例の有軌道台車システム１においては、検査ユニット１００が本線部４Ａから退避した退避部４Ｂに配備されている例を挙げて説明したが、本線部４Ａに設けられてもよい。
【0070】
上記実施形態及び変形例の有軌道台車システム１においては、検査ユニット１００の各構成の制御を含め、検査時の走行車６の制御が搬送コントローラ９０によって実行される例を挙げて説明したが、例えば、検査ユニット１００の各構成の制御を含め、検査時の走行車６の制御を実行する専用のコントローラが設けられてもよい。
【0071】
上記実施形態及び変形例の有軌道台車システム１では、台車の一例として天井走行車６を挙げて説明したが、台車のその他の例には、床面又は架台に配設された軌道４を走行する無人走行車等が含まれる。
【符号の説明】
【0072】
１…有軌道台車システム、４…軌道、６…天井走行車（台車）、３４Ａ…衝突防止センサ（障害物検知部）、３４Ｂ…障害物センサ（障害物検知部）、３５…本体コントローラ、４０Ｗ…切欠部、５０…走行部、５４Ａ…受光器（障害物検知部）、５４Ｂ…投光器（後方投光器）、６０Ａ…第一検査装置、６０Ｂ…第二検査装置、６１…板状部材、６２…蓋部、７０…投光器（被検知部）、７０Ｂ…受光器（投光器検知部）、８０…第三検査装置、８２…枠状本体部、８４…第一ターゲットプレート（被検知部・反射部材）、８５…第二ターゲットプレート（被検知部・反射部材）、９０…搬送コントローラ（コントローラ）、１００…検査ユニット、Ａ１…内部空間、Ａ２…外部空間、Ｄ１…走行方向、Ｐ１…検査位置（所定位置）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】