特許 7502002 真空ポンプの製造方法、真空ポンプおよび真空ポンプ用のステータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-10

(45)【発行日】2024-06-18

(54)【発明の名称】真空ポンプの製造方法、真空ポンプおよび真空ポンプ用のステータ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20240611BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 F

F04D19/04 D

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2019128798

(22)【出願日】2019-07-10

(65)【公開番号】P2021014800

(43)【公開日】2021-02-12

【審査請求日】2022-05-06

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】508275939

【氏名又は名称】エドワーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100141829

【弁理士】

【氏名又は名称】山田 牧人

(72)【発明者】

【氏名】大立 好伸

(72)【発明者】

【氏名】前島 靖

(72)【発明者】

【氏名】高阿田 勉

【審査官】岸 智章

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－１４５９１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】独国実用新案第００００２９７１５０３５（ＤＥ，Ｕ１）

【文献】特開２０１４－０５９９５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－００２２３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６０８５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２６９３６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５９－０７３５９５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開昭５３－０６８４１１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

吸気口を有する第１ケーシングと、
排気口を有する第２ケーシングと、
少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、
前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、
前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、
前記シャフトを回転駆動する駆動部と、
前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプの製造方法であって、
金属板に切断加工を施すことにより、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を一体に形成するとともに、前記ステータの周方向における前記ステータ翼の端部であるステータ翼側端部を、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて直線状に形成するステップと、
前記金属板に曲げ加工を施すことにより、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度が前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線的に変化するように、前記ステータ翼を曲げるステップと、
前記ステータ翼の上流側に位置する前記ステータ翼側端部の上流側稜線を、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線としつつ、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定となるように配置するステップと、を有し、
前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする真空ポンプの製造方法。

【請求項2】

吸気口を有する第１ケーシングと、
排気口を有する第２ケーシングと、
少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、
前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、
前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、
前記シャフトを回転駆動する駆動部と、
前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプの製造方法であって、
金属板に切断加工を施すことにより、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を一体に形成するとともに、前記ステータの周方向における前記ステータ翼の端部であるステータ翼側端部を、内周側端から外周側端にかけて前記ステータ翼側端部が前記ステータ翼の前記内周リムに対する内側連結部の中心および前記外周リムに対する外側連結部の中心を通る傾斜中心線から離れる方向へ凹状となるように曲線状に形成するステップと、
前記金属板に曲げ加工を施すことにより、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度が前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて変化するように、前記ステータ翼を曲げるステップと、
前記ステータ翼の上流側に位置する前記ステータ翼側端部の上流側稜線を、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線としつつ、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定となるように配置するステップと、を有し、
前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする真空ポンプの製造方法。

【請求項3】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の隅部の曲率半径は、０．２ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項4】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の前記ステータの周方向における長さは、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて大きくなることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項5】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の前記ステータの周方向における長さは、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて等しいことを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項6】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の前記ステータの周方向における長さは、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて小さくなることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項7】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記外周リムに隣接するスリット穴の前記ステータの径方向における長さは、前記外周リムの前記径方向における長さよりも小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項8】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記内周リムに隣接するスリット穴の前記ステータの径方向における長さは、前記内周リムの前記径方向における長さよりも小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項9】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータの前記ステータ翼と前記外周リムとを連結する外側連結部の、前記ステータの径方向における長さは、前記外周リムの前記径方向における長さより小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項10】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータの前記ステータ翼と前記内周リムとを連結する内側連結部の、前記ステータの径方向における長さは、前記内周リムの前記径方向における長さより小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプの製造方法。

【請求項11】

吸気口を有する第１ケーシングと、
排気口を有する第２ケーシングと、
少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、
前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、
前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、
前記シャフトを回転駆動する駆動部と、
前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプであって、
前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、
前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、
前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線的に変化し、
前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、
前記金属板に切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする真空ポンプ。

【請求項12】

吸気口を有する第１ケーシングと、
排気口を有する第２ケーシングと、
少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、
前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、
前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、
前記シャフトを回転駆動する駆動部と、
前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプであって、
前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、
前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、
前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて変化し、
前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、
前記金属板に、前記ステータ翼側端部が前記ステータ翼の前記内周リムに対する内側連結部の中心および前記外周リムに対する外側連結部の中心を通る傾斜中心線から離れる方向へ凹状となる曲線状に形成されるように切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする真空ポンプ。

【請求項13】

吸気口を有する第１ケーシングと、
排気口を有する第２ケーシングと、
少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、
前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、
前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、
前記シャフトを回転駆動する駆動部と、
前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプに用いられるステータであって、
前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、
前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、
前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線的に変化し、
前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、
前記金属板に切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とするステータ。

【請求項14】

吸気口を有する第１ケーシングと、
排気口を有する第２ケーシングと、
少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、
前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、
前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、
前記シャフトを回転駆動する駆動部と、
前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプに用いられるステータであって、
前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、
前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、
前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて変化し、
前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、
前記金属板に、前記ステータ翼側端部が前記ステータ翼の前記内周リムに対する内側連結部の中心および前記外周リムに対する外側連結部の中心を通る傾斜中心線から離れる方向へ凹状となる曲線状に形成されるように切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とするステータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプの製造方法、真空ポンプおよび真空ポンプ用のステータに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置、液晶製造装置、電子顕微鏡、表面分析装置または微細加工装置等は、装置内の環境を高度の真空状態にすることが必要である。これらの装置の内部を高度の真空状態とするために、真空ポンプが用いられている。真空ポンプは、ロータ翼をステータ翼に対して相対的に回転させることで気体を外部へ排気して、上述した装置内を高真空に保持することができる。

【0003】

例えば特許文献１には、板状のディスクに、打ち抜き加工を施して周方向に並ぶステータ翼を形成し、ステータ翼を立ち上げる曲げ加工によって、ステータ翼を形成する方法が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００６－３４８９３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載の方法では、ステータ翼が軸方向へ立ち上がる長さ（寸法Ｔに相当）が、ステータ翼の内周側と外周側で異なる。このため、軸方向に並ぶロータ翼とステータ翼との間の隙間が、内周側と第周側で異なる。ロータ翼とステータ翼との間の軸方向における隙間が大きい場合、ロータ翼とステータ翼との間で気体の逆流が生じ、排気性能が低下する要因となる。

【0006】

本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、真空ポンプの排気性能を向上できる真空ポンプの製造方法、真空ポンプおよび真空ポンプ用のステータを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成する本発明に係る真空ポンプの製造方法の一態様は、吸気口を有する第１ケーシングと、排気口を有する第２ケーシングと、少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、前記シャフトを回転駆動する駆動部と、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプの製造方法であって、金属板に切断加工を施すことにより、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を一体に形成するとともに、前記ステータの周方向における前記ステータ翼の端部であるステータ翼側端部を、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて直線状に形成するステップと、前記金属板に曲げ加工を施すことにより、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度が前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線的に変化するように、前記ステータ翼を曲げるステップと、前記ステータ翼の上流側に位置する前記ステータ翼側端部の上流側稜線を、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線としつつ、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定となるように配置するステップと、を有し、前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする。

【0008】

上記目的を達成する本発明に係る真空ポンプの製造方法の他の態様は、吸気口を有する第１ケーシングと、排気口を有する第２ケーシングと、少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、前記シャフトを回転駆動する駆動部と、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプの製造方法であって、金属板に切断加工を施すことにより、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を一体に形成するとともに、前記ステータの周方向における前記ステータ翼の端部であるステータ翼側端部を、内周側端から外周側端にかけて前記ステータ翼側端部が前記ステータ翼の前記内周リムに対する内側連結部の中心および前記外周リムに対する外側連結部の中心を通る傾斜中心線から離れる方向へ凹状となるように曲線状に形成するステップと、前記金属板に曲げ加工を施すことにより、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度が前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて変化するように、前記ステータ翼を曲げるステップと、前記ステータ翼の上流側に位置する前記ステータ翼側端部の上流側稜線を、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線としつつ、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定となるように配置するステップと、を有し、前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする。

【0009】

上記目的を達成する本発明に係る真空ポンプの一態様は、吸気口を有する第１ケーシングと、排気口を有する第２ケーシングと、少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、前記シャフトを回転駆動する駆動部と、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプであって、前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線的に変化し、前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、前記金属板に切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする。

【0010】

上記目的を達成する本発明に係る真空ポンプの他の態様は、吸気口を有する第１ケーシングと、排気口を有する第２ケーシングと、少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、前記シャフトを回転駆動する駆動部と、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプであって、前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて変化し、前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、前記金属板に、前記ステータ翼側端部が前記ステータ翼の前記内周リムに対する内側連結部の中心および前記外周リムに対する外側連結部の中心を通る傾斜中心線から離れる方向へ凹状となる曲線状に形成されるように切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする。

【0011】

上記目的を達成する本発明に係る真空ポンプ用のステータの一態様は、吸気口を有する第１ケーシングと、排気口を有する第２ケーシングと、少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、前記シャフトを回転駆動する駆動部と、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプに用いられるステータであって、前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線的に変化し、前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、前記金属板に切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする。

【0012】

上記目的を達成する本発明に係る真空ポンプ用のステータの他の態様は、吸気口を有する第１ケーシングと、排気口を有する第２ケーシングと、少なくとも前記第１ケーシングおよび前記第２ケーシングによって密封される空間内に配置され、シャフトを有するロータと、前記ロータの外周面に固定または一体に形成された複数のロータ翼と、前記シャフトの軸方向において前記ロータ翼と交互に配置されたステータと、前記シャフトを回転駆動する駆動部と、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、を有する真空ポンプに用いられるステータであって、前記ステータは、前記ステータの外周側端に位置する外周リムと、前記ステータの内周側端に位置する内周リムと、前記外周リムおよび前記内周リムの間に位置する複数のステータ翼と、を有し、前記外周リム、前記内周リムおよび前記ステータ翼は金属板によって一体に形成されており、前記ステータ翼の前記外周リムに対する傾斜角度は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて変化し、前記ステータ翼の上流側に位置するステータ翼側端部の上流側稜線は、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて曲線であるとともに、当該上流側稜線と対向する前記ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して、前記軸方向における隙間が一定であり、前記金属板に、前記ステータ翼側端部が前記ステータ翼の前記内周リムに対する内側連結部の中心および前記外周リムに対する外側連結部の中心を通る傾斜中心線から離れる方向へ凹状となる曲線状に形成されるように切断加工によって形成される前記ステータ翼の間のスリット穴の延在方向と直交する方向の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上であることを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

上記のように構成した真空ポンプの製造方法は、ステータ翼の上流側稜線を、ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して高い寸法精度で一定の隙間で配置できる。このため、気体の逆流を抑制して、真空ポンプの排気性能を向上できる。

【0014】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の幅は、前記金属板の板厚の０．２倍以上である。これにより、スリット穴を形成する金型が薄くなり過ぎず、金型の破損を抑制できる。

【0015】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の隅部の曲率半径は、０．２ｍｍ以上であってもよい。これにより、隅部に応力が集中してステータに破損が生じることを抑制できる。

【0016】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の前記ステータの周方向における長さは、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて大きくなってもよい。これにより、ステータの周方向におけるステータ翼の長さを、ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて一定としやすくなる。このため、切断加工の後の曲げ加工によって、外周リムに対するステータ翼の傾斜角度を、内周側端から外周側端にかけて一定としつつ、ステータ翼の上流側稜線を、ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して隙間が一定となるように配置できる。

【0017】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の前記ステータの周方向における長さは、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて等しくてもよい。これにより、ステータの周方向におけるステータ翼の長さを、ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて大きくしやすくなる。このため、切断加工の後の曲げ加工によって、ステータ翼の外周リムに対する傾斜角度を、内周側端から外周側端にかけて変化させつつ、ステータ翼の上流側稜線を、ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して隙間が一定となるように配置できる。

【0018】

前記切断加工によって前記金属板に形成されるスリット穴の前記ステータの周方向における長さは、前記ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて小さくなってもよい。これにより、ステータの周方向におけるステータ翼の長さを、ステータ翼の内周側端から外周側端にかけて大きくしやすくなる。このため、切断加工の後の曲げ加工によって、ステータ翼の外周リムに対する傾斜角度を、内周側端から外周側端にかけて変化させつつ、ステータ翼の上流側稜線を、ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して隙間が一定となるように配置できる。また、スリット穴の周方向における長さが変化するため、スリット穴を形成する金型の全体が薄くなることを抑制でき、金型の破損を抑制できる。

【0019】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記外周リムに隣接するスリット穴の前記ステータの径方向における長さは、前記外周リムの前記径方向における長さよりも小さくてもよい。これにより、スリット穴を形成する切断加工において、スリット穴よりも径方向の外側に、金型によって挟持する部位を確保しやすい。このため、切断加工においてステータにスリット穴を適切に形成できる。

【0020】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記内周リムに隣接するスリット穴の前記ステータの径方向における長さは、前記内周リムの前記径方向における長さよりも小さくてもよい。これにより、スリット穴を形成する切断加工において、スリット穴よりも径方向の内側に、金型によって挟持する部位を確保しやすい。このため、切断加工においてステータにスリット穴を適切に形成できる。

【0021】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータの前記ステータ翼と前記外周リムとを連結する外側連結部の、前記ステータの径方向における長さは、前記外周リムの前記径方向における長さより小さくてもよい。これにより、スリット穴を形成する切断加工において、金型によって挟持する部位を確保しやすい。このため、切断加工においてステータにスリット穴を適切に形成できる。また、外側連結部が長くなり過ぎないため、ステータ翼の径方向の長さを確保しやすい。このため、真空ポンプの排気性能を高めることができる。

【0022】

前記切断加工によって前記金属板に形成される前記ステータの前記ステータ翼と前記内周リムとを連結する内側連結部の、前記ステータの径方向における長さは、前記内周リムの前記径方向における長さより小さくてもよい。これにより、スリット穴を形成する切断加工において、金型によって挟持する部位を確保しやすい。このため、切断加工においてステータにスリット穴を適切に形成できる。また、内側連結部が長くなり過ぎないため、ステータ翼の径方向の長さを確保しやすい。このため、真空ポンプの排気性能を高めることができる。

【0023】

上記のように構成した真空ポンプは、ステータ翼の上流側稜線が、ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して高い寸法精度で一定の隙間で配置される。このため、気体の逆流を抑制して、真空ポンプの排気性能を向上できる。

【0024】

上記のように構成した真空ポンプ用のステータは、真空ポンプに組み込むことで、ステータ翼の上流側稜線を、ロータ翼の下流側端部が配置される面に対して高い寸法精度で一定の隙間で配置できる。このため、気体の逆流を抑制して、真空ポンプの排気性能を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】第１実施形態に係る真空ポンプを示す断面図である。

【図2】ステータを示す平面図である。

【図3】ステータの一部を拡大した斜視図である。

【図4】切断加工を行う前の金属板を示す平面図である。

【図5】ステータの製造工程を説明するための図であり、（Ａ）は切断加工後の平面図、（Ｂ）は曲げ加工後の平面図である。

【図6】曲げ加工後のステータの一部を示す図であり、（Ａ）は図５（Ｂ）の矢線Ａから見た側面図、（Ｂ）は図５（Ｂ）の矢線Ｂから見た側面図、（Ｃ）は図５（Ｂ）の矢線Ｃから見た正面図である。

【図7】ステータが組み込まれた真空ポンプにおけるステータ翼とロータ翼の配置を示す図である。

【図8】第２実施形態に係る真空ポンプのステータの製造工程を示す図であり、（Ａ）は切断加工後の平面図、（Ｂ）は曲げ加工後の平面図である。

【図9】曲げ加工後のステータの一部を示す図であり、（Ａ）は図８（Ｂ）の矢線Ａから見た側面図、（Ｂ）は図８（Ｂ）の矢線Ｂから見た側面図、（Ｃ）は図８（Ｂ）の矢線Ｃから見た正面図である。

【図10】第３実施形態に係る真空ポンプのステータの製造工程を示す図であり、（Ａ）は切断加工後の平面図、（Ｂ）は曲げ加工後の平面図である。

【図11】曲げ加工後のステータの一部を示す図であり、（Ａ）は図１０（Ｂ）の矢線Ａから見た側面図、（Ｂ）は図１０（Ｂ）の矢線Ｂから見た側面図、（Ｃ）は図１０（Ｂ）の矢線Ｃから見た正面図である。

【図12】第４実施形態に係る真空ポンプのステータの製造工程を示す図であり、（Ａ）は切断加工後の平面図、（Ｂ）は曲げ加工後の平面図である。

【図13】第４実施形態におけるステータの変形例の切断加工後を示す平面図であり、（Ａ）は第１変形例、（Ｂ）は第２変形例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、図面の寸法は、説明の都合上、誇張されて実際の寸法とは異なる場合がある。また、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

【0027】

＜第１実施形態＞

【0028】

本発明の第１実施形態に係る真空ポンプ１は、図１に示すように、ロータ翼３２を備えたロータ３０が高速回転することで、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するターボ分子ポンプである。真空ポンプ１は、ガスを吸引して排気するための真空ポンプ本体２と、真空ポンプ本体２を制御する制御装置３とを有している。

【0029】

真空ポンプ本体２は、例えば半導体製造装置等のチャンバからガスを吸引して排気する。真空ポンプ本体２は、吸気口１１が形成される円筒状の第１ケーシング１０と、排気口２１が形成される第２ケーシング２０と、第２ケーシング２０に固定されるステータコラム２２と、静翼部４０と、ネジ付きスペーサ９０とを有している。さらに、真空ポンプ本体２は、回転するロータ３０と、ロータ３０を回転可能に支持する軸受と、ロータ３０の変位を検出する変位センサと、ロータ３０を回転駆動するモータ８０（駆動部）とを有している。

【0030】

第１ケーシング１０は、真空ポンプ本体２の上部に位置し、上端に吸気口１１が形成されている。第１ケーシング１０は、その底部に配設された第２ケーシング２０に対して、ボルト１２により固定されている。

【0031】

ロータ３０は、第１ケーシング１０の内方に回転可能に配置されている。ロータ３０は、シャフト３５と、軸方向に多段のロータ翼３２と、ロータ翼３２よりも下流に配置される円筒部３３とを有している。ロータ翼３２は、ターボ分子ポンプを構成し、ガスを吸引排気するためのブレードである。各段の複数のロータ翼３２は、周方向に放射状に並んでいる。

【0032】

ロータ３０は、略円筒形状であり、内側にシャフト３５が貫通固定されている。各々のロータ翼３２は、排気ガスの分子を衝突によって下方向へ移送するために、シャフト３５の軸方向に垂直な平面から所定の角度で傾斜して形成されている。ロータ翼３２は、ロータ３０の外周面に一体で形成されている。または、ロータ翼３２は、ロータ３０の外周面に固定されていてもよい。

【0033】

円筒部３３は、ロータ翼３２よりも下流に配置されて、円筒状に形成されている。この円筒部３３は、ネジ付きスペーサ９０の内周面に向かって張り出して形成されている。円筒部３３は、ネジ付きスペーサ９０の内周面と所定の隙間を隔てて近接している。

【0034】

シャフト３５は、ロータ３０の回転中心に配置される。シャフト３５は、円柱状の主軸部３６と、主軸部３６の下部に配置される円板状のディスク３７とを有している。主軸部３６およびディスク３７は、磁気によって吸引可能な高透磁率材（鉄等）により形成されている。主軸部３６は、後述する上流側径方向電磁石６１および下流側径方向電磁石６２の磁力により、吸引されて位置を制御される。

【0035】

軸受は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受であり、シャフト３５を浮上支持かつ位置制御する。軸受は、主軸部３６の上流側を吸引する上流側径方向電磁石６１と、主軸部３６の下流側を吸引する下流側径方向電磁石６２と、ディスク３７を吸引する軸方向電磁石６３Ａ、６３Ｂと、補助軸受６５とを有している。補助軸受６５は、ロータ３０の軸振れが大きくなった際に主軸部３６と接触して、ロータ３０が固定子側に直接接触して破損することを抑制する。

【0036】

上流側径方向電磁石６１は、回転軸と垂直な面で直交する２軸の各々において対をなして配置される４個の電磁石を有している。下流側径方向電磁石６２は、回転軸と垂直な面で直交する２軸の各々において対をなして配置される４個の電磁石を有している。軸方向電磁石６３Ａ、６３Ｂは、ディスク３７を上下に挟んで配置されている。

【0037】

変位センサは、ロータ３０の変位を検出するために、ステータコラム２２に配置されている。変位センサは、上流側径方向センサ７１と、下流側径方向センサ７２と、軸方向センサ７３とを有している。上流側径方向センサ７１は、４個の上流側径方向電磁石６１に近接かつ対応して配置される４個の非接触型のセンサである。上流側径方向センサ７１は、シャフト３５の主軸部３６の上部の径方向変位を検出し、その変位信号を制御装置３に送信するように構成されている。上流側径方向センサ７１として用いられるセンサの例としては、インダクタンス式センサや渦電流式センサなどがある。

【0038】

下流側径方向センサ７２は、４個の下流側径方向電磁石６２に近接かつ対応して配置される４個の非接触型のセンサである。下流側径方向センサ７２は、主軸部３６の下部の径方向変位を検出し、その変位信号を制御装置３に送信するように構成されている。下流側径方向センサ７２として用いられるセンサの例としては、インダクタンス式センサや渦電流式センサなどがある。

【0039】

軸方向センサ７３は、ディスク３７の下方に配置される。軸方向センサ７３は、シャフト３５の軸方向変位を検出し、その変位信号を制御装置３に送信するように構成されている。

【0040】

制御装置３は、上流側径方向センサ７１が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して上流側径方向電磁石６１を励磁制御し、主軸部３６の上流側の径方向位置を調整する。この調整は、回転軸と垂直な面で直交する２軸の各々において独立して行われる。

【0041】

また、制御装置３は、下流側径方向センサ７２が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して下流側径方向電磁石６２を励磁制御し、主軸部３６の下流側の径方向位置を調整する。この調整は、回転軸と垂直な面で直交する２軸の各々において独立して行われる。

【0042】

さらに、制御装置３では、軸方向センサ７３が検出した変位信号に基づき、軸方向電磁石６３Ａ、６３Ｂを励磁制御する。このとき、軸方向電磁石６３Ａは、磁力によりディスク３７を上方に吸引し、軸方向電磁石６３Ｂは、ディスク３７を下方に吸引する。このように、磁気軸受は、シャフト３５に及ぼす磁力を適当に調節することで、シャフト３５を磁気浮上させ、非接触で回転可能に支持することができる。

【0043】

モータ８０は、回転子側に配置される複数の永久磁石である磁極８１と、固定子側に配置されるモータ電磁石８２とを有している。磁極８１は、モータ電磁石８２から、シャフト３５を回転させるトルク成分を加えられる。これにより、ロータ３０が回転駆動される。

【0044】

また、モータ８０は、図示しない回転数センサ及びモータ温度センサが取り付けられている。回転数センサ及びモータ温度センサは、検出した結果を、検出信号として制御装置３へ送信する。制御装置３は、回転数センサ及びモータ温度センサから受信した信号を、シャフト３５の回転の制御に利用する。

【0045】

静翼部４０は、多段のステータ４１と、各段のステータ４１が挟持されるように段積みされた複数のステータ用スペーサ４２とを有している。各々のステータ４１は、複数のステータ翼４３を有している。

【0046】

ステータ翼４３は、ロータ翼３２と同様に、シャフト３５の軸方向に垂直な平面から所定の角度で傾斜して形成されている。ステータ翼４３は、第１ケーシング１０の内方に向けて、ロータ翼３２の段と互い違いに配設されている。ステータ翼４３の外周側の端部は、複数の段積みされたリング状のステータ用スペーサ４２の間に挟まれて支持されている。ステータ用スペーサ４２は、第１ケーシング１０の内側に段積みされて配置される。ステータ用スペーサ４２は、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅等の金属、又はこれらの金属を成分として含む合金等の金属によって構成されている。

【0047】

ネジ付きスペーサ９０は、ステータ用スペーサ４２の下部と第２ケーシング２０の間に配置されている。ネジ付きスペーサ９０は、ロータ３０の円筒状に配置される円筒部３３と所定の隙間を隔てて近接している。ネジ付きスペーサ９０の内周面には、螺旋状のネジ溝９１が複数条形成されている。このネジ溝９１の螺旋の方向は、ロータ３０の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口２１の方へ移送される方向である。ネジ付きスペーサ９０および円筒部３３は、ネジ溝ポンプを構成する。ネジ付きスペーサ９０は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金等の金属によって構成される。

【0048】

第２ケーシング２０は、真空ポンプ本体２の底部を構成する円盤状の部材である。第２ケーシング２０は、ネジ付きスペーサ９０の下部に、排気口２１が形成されている。排気口２１は、外部に連通されている。第２ケーシング２０は、一般には鉄、アルミニウム、ステンレス等の金属によって構成されている。第２ケーシング２０は、真空ポンプ本体２を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も備えることが好ましい。したがって、第２ケーシング２０の構成材料は、剛性があり、かつ熱伝導率が高い金属が好ましく、例えば鉄、アルミニウム、銅等を好適に使用できる。

【0049】

上述した真空ポンプ本体２は、シャフト３５がモータ８０により駆動されると、ロータ翼３２および円筒部３３が回転する。これにより、ロータ翼３２とステータ翼４３の作用により、吸気口１１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。

【0050】

吸気口１１から吸気された排気ガスは、ロータ翼３２とステータ翼４３によって、第２ケーシング２０へ移送される。このとき、排気ガスがロータ翼３２に接触する際に生ずる摩擦熱や、モータ８０で発生した熱の伝導等により、ロータ翼３２の温度は上昇する。しかしながら、この熱は輻射または排気ガスの気体分子等による伝導により、ステータ翼４３側に伝達される。さらに、ステータ用スペーサ４２は、外周部で互いに接合されている。このため、ステータ翼４３がロータ翼３２から受け取った熱や、排気ガスがステータ翼４３に接触する際に生ずる摩擦熱等は、ステータ用スペーサ４２を介して外部へ伝達される。

【0051】

また、第２ケーシング２０に移送されてきた排気ガスは、ネジ付きスペーサ９０のネジ溝９１に案内されつつ排気口２１へ移送される。
なお、本実施形態では、ネジ付きスペーサ９０は円筒部３３の外周に配置され、ネジ付きスペーサ９０の内周面にネジ溝９１が形成されている。しかしながら、これとは逆に、円筒部３３の外周面にネジ溝が形成され、その周囲に円筒状の内周面を有するスペーサが配置されてもよい。

【0052】

また、吸気口１１から吸引されたガスが、モータ８０、下流側径方向電磁石６２、下流側径方向センサ７２、上流側径方向電磁石６１、上流側径方向センサ７１等で構成される電装部側に侵入することのないよう、電装部の外周囲は、ステータコラム２２で覆われている。電装部を囲むステータコラム２２内は、パージガスによって所定圧に保たれている。第２ケーシング２０は、図示しない配管が配設され、この配管を通じてパージガスが導入される。この導入されたパージガスは、補助軸受６５とシャフト３５の間、モータ８０の間、ステータコラム２２とロータ翼３２の間の隙間を通じて排気口２１へ送出される。

【0053】

第２ケーシング２０等の外周には、図示しないヒータや環状の水冷管２３が巻着されている。また、第２ケーシング２０には、図示しない温度センサ（例えばサーミスタ）が埋め込まれている。そして、この温度センサの信号に基づき、第２ケーシング２０の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つように、ヒータの加熱や水冷管２３による冷却の制御が行われている。これにより、真空ポンプ本体２の内部に、プロセスガスが付着して堆積することを抑制する。

【0054】

プロセスガスは、反応性を高めるため高温の状態でチャンバに導入されることがある。これらのプロセスガスは、排気される際に冷却されてある温度になると固体となり、排気系に生成物を析出する場合がある。そして、この種のプロセスガスが真空ポンプ本体２内で低温となって固体状となり、真空ポンプ本体２の内部に付着して堆積する。

【0055】

例えば、Ａｌエッチング装置にプロセスガスとしてＳｉＣｌ₄が使用された場合、低真空（１×１０⁵［Ｐａ］～１［Ｐａ］）かつ低温（約２０［℃］）において、固体生成物（例えばＡｌＣｌ₃）が析出し、真空ポンプ本体２の内部に堆積する。真空ポンプ本体２の内部にプロセスガスの析出物が堆積すると、この堆積物がポンプの流路を狭め、真空ポンプ本体２の性能を低下させる原因となる。例えば、前述した生成物は、排気口２１付近の温度が低い部分、特に円筒部３３及びネジ付きスペーサ９０付近で凝固して付着しやすい。したがって、制御装置３は、温度センサの信号に基づき、第２ケーシング２０の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つように、ヒータの加熱や水冷管２３による冷却の制御を行う。これにより、真空ポンプ本体２の内部に、プロセスガスが付着して堆積することを抑制できる。

【0056】

少なくとも１つのステータ４１は、図２に示すように、軸方向に並ぶロータ翼３２の間に、径方向の外方から差し込んで配置できるように、リング形状を２分割して１８０度で形成される２つの分割ステータ４１Ａを有している。分割ステータ４１Ａは、１枚の金属板に、切断加工および曲げ加工を施すことで形成される。切断加工は、金型のダイおよびポンチを用いたせん断加工である。切断加工および曲げ加工は、別々に行われても、同時に行われてもよい。切断加工および曲げ加工は、順送型のプレス金型により、金属板を送りつつ連続して行われることが好ましい。分割ステータ４１Ａは、図２、３に示すように、内周側に位置する内周リム４４と、外周側に位置する外周リム４５と、内周リム４４と外周リム４５の間に配置される複数のステータ翼４３と、ステータ翼４３および内周リム４４を接続する内側連結部４６と、ステータ翼４３および外周リム４５を接続する外側連結部４７とを有している。内側連結部４６および外側連結部４７は、ステータ４１の周方向において、ステータ翼４３よりも短く形成されている。周方向に並ぶステータ翼４３の間には、切断加工により打ち抜かれたスリット穴４８が形成されている。ステータ４１を構成する金属板の材料は、アルミニウム等を好適に使用できる。スリット穴４８は、外周リム４５の内周側に周方向に延在する外側スリット４８Ａと、内周リム４４の外周側に周方向に延在する内側スリット４８Ｂと、外側スリット４８Ａおよび内側スリット４８Ｂの間で延在する中央スリット４８Ｃとを有している。中央スリット４８Ｃは、ステータ４１の周方向における外側スリット４８Ａの中央部と、ステータ４１の周方向における内側スリット４８Ｂの中央部とを連通させている。各々のスリットは、延在方向に長さを有し、延在方向と直交する方向に幅を有する。

【0057】

次に、ステータ４１の製造工程について説明する。まず、図４に示すように、素材となる半リング形状の金属板を準備する。半リング形状の金属板は、切断加工により形成されてもよいが、加工方法は特に限定されない。次に、一点鎖線で示す部位を、金型を用いた切断加工により切断する。これにより、図５（Ａ）に示すように、周方向に並ぶステータ翼４３の間に、スリット穴４８が形成される。スリット穴４８は、外周リム４５の内周側の端部である外端部４９と、内周リム４４の外周側の端部である内端部５０と、周方向における外側連結部４７の端部である２つの外側接続端部５１と、周方向における内側連結部４６の端部である２つの内側接続端部５２と、ステータ翼４３の端部である２つのステータ翼端部５３とを有している。各々のステータ翼端部５３は、ステータ翼４３の外周側に位置するステータ翼外端部５３Ａと、ステータ翼４３の内周側に位置するステータ翼内端部５３Ｂと、ステータ翼外端部５３Ａおよびステータ翼内端部５３Ｂの間で、ステータ４１の径方向へ延在するステータ翼側端部５３Ｃとを有している。スリット穴４８の幅および／または長さは、好ましくは、金属板の板厚の０．２倍以上であり、より好ましくは０．５倍以上、さらに好ましくは０．７倍以上、さらに好ましくは１倍以上である。これにより、スリット穴４８を切り抜く金型が薄くなり過ぎず、金型の破損を抑制できる。

【0058】

外端部４９と外側接続端部５１との間には、第１隅部Ｃ１が形成される。隅部とは、スリット穴４８を構成する壁面が凹部を形成する部位である。外側接続端部５１とステータ翼外端部５３Ａとの間には、第２隅部Ｃ２が形成される。ステータ翼内端部５３Ｂと内側接続端部５２との間には、第３隅部Ｃ３が形成される。内端部５０と内側接続端部５２との間には、第４隅部Ｃ４が形成される。第１隅部Ｃ１、第２隅部Ｃ２、第３隅部Ｃ３および第４隅部Ｃ４は、曲面で形成されることが好ましい。第１隅部Ｃ１、第２隅部Ｃ２、第３隅部Ｃ３および第４隅部Ｃ４の曲率半径は、好ましくは０．２ｍｍ以上であり、より好ましくは０．３ｍｍ以上、さらに好ましくは０．５ｍｍ以上である。これにより、各々の隅部に応力が集中してステータ４１に破損が生じることを抑制できる。

【0059】

ステータ翼外端部５３Ａとステータ翼側端部５３Ｃとの結合部には、第１角部Ｅ１が形成される。角部とは、スリット穴４８を構成する壁面が凸部を形成する部位である。ステータ翼内端部５３Ｂとステータ翼側端部５３Ｃとの結合部には、第２角部Ｅ２が形成される。第１角部Ｅ１および第２角部Ｅ２は、曲率を有さない尖った角で形成されることが好ましい。これにより、ステータ翼外端部５３Ａとロータ翼３２の間の隙間が大きくなることを抑制し、排気効率の低下を抑制できる。なお、第１角部Ｅ１および第２角部Ｅ２は、曲率半径を有して形成されてもよい。

【0060】

各々のステータ翼４３に配置される２つのステータ翼側端部５３Ｃは、金属板の面外方向から見て直線で形成され、かつ平行である。金属板の面外方向から見て、周方向における内側連結部４６の中心と、周方向における外側連結部４７の中心とを通る傾斜中心線Ｘは、各々のステータ翼４３の２つのステータ翼側端部５３Ｃと平行である。傾斜中心線Ｘから、各々のステータ翼側端部５３Ｃまでの距離Ｌ１は、一致しても異なってもよい。

【0061】

各々のスリット穴４８は、隣接する２つのステータ翼４３の間に位置する。したがって、各々のスリット穴４８に形成される２つのステータ翼側端部５３Ｃは、周方向に隣接する異なるステータ翼４３のステータ翼側端部５３Ｃである。各々のスリット穴４８において、ステータ４１の周方向における隣り合う２つのステータ翼側端部５３Ｃの間の長さＷは、ステータ翼４３の内周側から外周側へ向かって大きくなっている。

【0062】

外周リム４５に隣接するスリット穴４８の、ステータ４１の径方向における長さＬ３は、外周リム４５の径方向における長さＬ２よりも小さいことが好ましい。このため、スリット穴４８を形成する切断加工において、スリット穴４８よりも径方向の外側に、金型によって挟持する部位を十分に確保できる。なお、金型によって挟持する部位を十分に確保できない場合、スリット穴４８を形成することが困難な場合がある。このため、切断加工においてステータ４１にスリット穴４８（特に、外周リム４５に隣接する外側スリット４８Ａ）を適切に形成できる。

【0063】

また、内周リム４４に隣接するスリット穴４８の、ステータ４１の径方向における長さＬ４は、内周リム４４の径方向における長さＬ５よりも小さいことが好ましい。このため、スリット穴４８を形成する切断加工において、スリット穴４８よりも径方向の内側に、金型によって挟持する部位を十分に確保できる。なお、金型によって挟持する部位を十分に確保できない場合、スリット穴４８を形成することが困難な場合がある。このため、切断加工においてステータ４１にスリット穴４８（特に、内周リム４４に隣接する内側スリット４８Ｂ）を適切に形成できる。

【0064】

ステータ４１の径方向における外側連結部４７の長さＬ６は、外周リム４５の径方向における長さＬ２より小さいことが好ましい。これにより、スリット穴４８を形成する切断加工において、金型によって挟持する部位を十分に確保できる。このため、切断加工においてステータ４１にスリット穴４８を適切に形成できる。また、外側連結部４７が長くなり過ぎないため、ステータ翼４３の径方向の長さを十分に確保できる。このため、真空ポンプ１の排気性能を高めることができる。

【0065】

また、ステータ４１の径方向における内側連結部４６の長さＬ７は、内周リム４４の径方向における長さＬ５より小さいことが好ましい。これにより、スリット穴４８を形成する切断加工において、金型によって挟持する部位を十分に確保できる。このため、切断加工においてステータ４１にスリット穴４８を適切に形成できる。また、内側連結部４６が長くなり過ぎないため、ステータ翼４３の径方向の長さを十分に確保できる。このため、真空ポンプ１の排気性能を高めることができる。

【0066】

金属板にスリット穴４８を形成した後、金型を用いた曲げ加工を金属板に施す。これにより、図５（Ｂ）、６に示すように、外側連結部４７および内側連結部４６が傾斜中心線Ｘを中心に捩じれて、ステータ翼４３が外周リム４５および内周リム４４に対して傾斜する。ステータ翼４３の外周リム４５に対する傾斜角度θは、ステータ翼４３の外周側から内周側にかけて一定である。なお、ステータ翼４３の外側連結部４７および内側連結部４６に接続される部位における傾斜角度θは、外側連結部４７および内側連結部４６の捩れの影響を受けて、一定である傾斜角度θと多少異なってもよい。

【0067】

この後、ステータ４１は、図７に示すように、真空ポンプ１に組み込まれる。ステータ翼４３は、外周リム４５に対して傾斜しているため、外周リム４５よりも上流側に位置するステータ翼側端部５３Ｃには、外周リム４５が位置する面から遠い位置に上流側稜線５４が形成される。稜線は、スリット穴４８の壁面と、金属板の表面との境界に形成される。そして、上流側稜線５４は、外周リム４５および内周リム４４から上流側へ一定の高さＨで配置される。上流側稜線５４は、上流側に対向するロータ翼３２の下流側の端部が位置するロータ翼下側基準面Ｐ１に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、上流側稜線５４の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２との間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。また、ステータ翼４３が傾斜すると、外周リム４５よりも下流側に位置するステータ翼側端部５３Ｃには、外周リム４５が位置する面から遠い位置に下流側稜線５５が形成される。そして、下流側稜線５５は、外周リム４５および内周リム４４から下流側へ一定の高さＨで配置される。なお、上流側稜線５４の高さＨおよび下流側稜線５５の高さＨは、一致しても異なってもよい。下流側稜線５５は、下流側に対向するロータ翼３２の上流側の端部が位置するロータ翼上側基準面Ｐ２に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、下流側稜線５５の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２との間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。

【0068】

＜第２実施形態＞

【0069】

第２実施形態に係る真空ポンプ１は、図８、９に示すように、ステータ４１のスリット穴４８およびステータ翼４３の形状のみが、第１実施形態と異なる。第２実施形態では、金属板を切断加工する際に、図８（Ａ）に示すように、スリット穴４８の２つのステータ翼側端部５３Ｃを、金属板の面外方向から見て、平行な直線となるように形成する。したがって、各々のスリット穴４８において、ステータ４１の周方向における隣り合う２つのステータ翼側端部５３Ｃの間の長さＷは、ステータ翼４３の内周側から外周側へ向かって一定である。傾斜中心線Ｘから、ステータ翼側端部５３Ｃまでの距離Ｌ１は、ステータ翼４３の内周側から外周側へ向かって大きくなっている。

【0070】

金属板にスリット穴４８を形成した後、金型を用いた曲げ加工を金属板に施す。これにより、図８（Ｂ）、９に示すように、外側連結部４７および内側連結部４６が傾斜中心線Ｘを中心に捩じれて、ステータ翼４３が外周リム４５および内周リム４４に対して傾斜する。そして、ステータ翼側端部５３Ｃの上流側稜線５４は、外周リム４５および内周リム４４から上流側へ一定の高さＨで配置される。そして、上流側稜線５４は、曲線で形成される（図８（Ｂ）を参照）。ステータ４１が真空ポンプ１に組み込まれると、上流側稜線５４は、上流側に対向するロータ翼３２の下流側の端部が位置するロータ翼下側基準面Ｐ１（図７を参照）に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、上流側稜線５４の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２との間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。このようなステータ翼側端部５３Ｃを形成するために、ステータ翼４３の外周リム４５に対する傾斜角度θは、ステータ翼４３の外周側から内周側にかけて徐々に大きなっている。すなわち、傾斜中心線Ｘからステータ翼側端部５３Ｃまでの距離が短い内周側の方が、傾斜角度θが大きくなる。したがって、図９に示すように、ステータ翼側端部５３Ｃの内周側端における傾斜角θ１は、ステータ翼側端部５３Ｃの外周側端における傾斜角θ２よりも大きい。この時の傾斜角度θとしては、径方向に対して一次関数の正比例や曲線的に変化することが考えられる。

【0071】

また、ステータ翼側端部５３Ｃの下流側稜線５５は、外周リム４５および内周リム４４から下流側へ一定の高さＨで配置される。そして、下流側稜線５５は、曲線で形成される（図８（Ｂ）を参照）。下流側稜線５５は、下流側に対向するロータ翼３２の上流側の端部が位置するロータ翼上側基準面Ｐ２（図７を参照）に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、下流側稜線５５の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２との間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。

【0072】

＜第３実施形態＞

【0073】

第３実施形態に係る真空ポンプ１は、図１０、１１に示すように、ステータ４１のスリット穴４８およびステータ翼４３の形状のみが、第１実施形態と異なる。第３実施形態では、金属板を切断加工する際に、図１０（Ａ）に示すように、各々のスリット穴４８において、ステータ４１の周方向における隣り合う２つのステータ翼側端部５３Ｃの間の長さＷが、ステータ翼４３の内周側から外周側へ向かって小さくなるように加工する。傾斜中心線Ｘから、ステータ翼側端部５３Ｃまでの距離Ｌ１は、ステータ翼４３の内周側から外周側へ向かって大きくなっている。

【0074】

金属板にスリット穴４８を形成した後、金属板に金型を用いた曲げ加工を施す。これにより、図１０（Ｂ）、１１に示すように、外側連結部４７および内側連結部４６が傾斜中心線Ｘを中心に捩じれて、ステータ翼４３が外周リム４５および内周リム４４に対して傾斜する。ステータ翼側端部５３Ｃの上流側稜線５４は、外周リム４５および内周リム４４から上流側へ一定の高さＨで配置される。そして、上流側稜線５４は、曲線で形成される（図１０（Ｂ）を参照）。ステータ４１が、真空ポンプ１に組み込まれると、上流側稜線５４は、上流側に対向するロータ翼３２の下流側の端部が位置するロータ翼下側基準面Ｐ１（図７を参照）に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、上流側稜線５４の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２の間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。このようなステータ翼側端部５３Ｃを形成するために、ステータ翼４３の外周リム４５に対する傾斜角度θは、ステータ翼４３の外周側から内周側にかけて徐々に大きなっている。すなわち、傾斜中心線Ｘからステータ翼側端部５３Ｃまでの距離が短い内周側の方が、傾斜角度θが大きくなる。したがって、図１１に示すように、ステータ翼側端部５３Ｃの内周側端における傾斜角θ１は、ステータ翼側端部５３Ｃの外周側端における傾斜角θ２よりも大きい。この時の傾斜角度θとしては、径方向に対して一次関数の正比例や曲線的に変化することが考えられる。

【0075】

また、ステータ翼側端部５３Ｃの下流側稜線５５は、外周リム４５および内周リム４４から下流側へ一定の高さＨで配置される。そして、下流側稜線５５は、曲線で形成される（図１０（Ｂ）を参照）。下流側稜線５５は、下流側に対向するロータ翼３２の上流側の端部が位置するロータ翼上側基準面Ｐ２（図７を参照）に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、下流側稜線５５の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２の間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。

【0076】

＜第４実施形態＞

【0077】

第４実施形態に係る真空ポンプ１は、図１２に示すように、ステータ４１のスリット穴４８およびステータ翼４３の形状のみが、第１実施形態と異なる。第４実施形態では、金属板を切断加工する際に、図１２（Ａ）に示すように、スリット穴４８の２つのステータ翼側端部５３Ｃを、金属板の面外方向から見て、曲線となるように形成する。各々のスリット穴４８において、ステータ４１の周方向における隣り合う２つのステータ翼側端部５３Ｃの間の長さＷは、ステータ翼４３の内周側から外周側へ向かって変化する。また、傾斜中心線Ｘから、ステータ翼側端部５３Ｃまでの距離Ｌ１は、ステータ翼４３の内周側から外周側へ向かって変化する。ステータ翼側端部５３Ｃは、傾斜中心線Ｘから離れる方向へ凹状となる曲線である。なお、ステータ翼側端部５３Ｃは、図１３（Ａ）に示す第４実施形態の第1変形例のように、傾斜中心線Ｘから離れる方向へ凸状となる曲線であってもよい。また、図１３（Ｂ）に示す第４実施形態の第２変形例のように、スリット穴４８を形成する２つのステータ翼側端部５３Ｃのうちの一方が、傾斜中心線Ｘから離れる方向へ凹状となる曲線であって、他方が、傾斜中心線Ｘから離れる方向へ凸状となる曲線であってもよい。スリット穴４８を形成する２つの曲線状のステータ翼側端部５３Ｃは、平行であっても、平行でなくてもよい。

【0078】

第４実施形態において、図１２（Ａ）、１３に示すように金属板にスリット穴４８を形成した後、図１２（Ｂ）に示すように、金属板に金型を用いた曲げ加工を施す。これにより、外側連結部４７および内側連結部４６が傾斜中心線Ｘを中心に捩じれて、ステータ翼４３が外周リム４５および内周リム４４に対して傾斜する。ステータ翼側端部５３Ｃの上流側稜線５４は、外周リム４５および内周リム４４から上流側へ一定の高さＨで配置される。そして、上流側稜線５４は、曲線で形成される。なお、上流側稜線５４の一部または全てが、直線で形成されることもあり得る。ステータ４１が、真空ポンプ１に組み込まれると、上流側稜線５４は、上流側に対向するロータ翼３２の下流側の端部が位置するロータ翼下側基準面Ｐ１（図７を参照）に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、上流側稜線５４の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２の間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。このようなステータ翼側端部５３Ｃを形成するために、ステータ翼４３の外周リム４５に対する傾斜角度θは、ステータ翼４３の外周側から内周側にかけて変化している。

【0079】

また、ステータ翼側端部５３Ｃの下流側稜線５５は、外周リム４５および内周リム４４から下流側へ一定の高さＨで配置される。そして、下流側稜線５５は、曲線で形成される。なお、下流側稜線５５の一部または全てが、直線で形成されることもあり得る。下流側稜線５５は、下流側に対向するロータ翼３２の上流側の端部が位置するロータ翼上側基準面Ｐ２（図７を参照）に対して、軸方向へ一定の隙間Ｓで配置される。すなわち、下流側稜線５５の全体が、ロータ翼３２に対して高い寸法精度で適切な隙間Ｓで配置される。このため、ステータ翼４３とロータ翼３２の間でガスの逆流が生じ難くなり、真空ポンプ１の排気性能を向上できる。

【0080】

なお、本発明は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の技術的思想内において当業者により種々変更が可能である。例えば、軸受は、磁気軸受でなくてもよい。また、上述の実施形態では、ステータ翼４３は、外周リム４５よりも上流側に位置する部位と、下流側に位置する部位を有しているが、下流側に位置する部位を有さなくてもよい。

【符号の説明】

【0081】

１ 真空ポンプ
２ 真空ポンプ本体
１０ 第１ケーシング
１１ 吸気口
２０ 第２ケーシング
２１ 排気口
３０ ロータ
３２ ロータ翼
４０ 静翼部
４１ ステータ
４１Ａ 分割ステータ
４３ ステータ翼
４４ 内周リム
４５ 外周リム
４６ 内側連結部
４７ 外側連結部
４８ スリット穴
４９ 外端部
５０ 内端部
５１ 外側接続端部
５２ 内側接続端部
５３ ステータ翼端部
５３Ａ ステータ翼外端部
５３Ｂ ステータ翼内端部
５３Ｃ ステータ翼側端部
５４ 上流側稜線
５５ 下流側稜線
８０ モータ（駆動部）
Ｃ１ 第１隅部
Ｃ２ 第２隅部
Ｃ３ 第３隅部
Ｃ４ 第４隅部
Ｅ１ 第１角部
Ｅ２ 第２角部
Ｐ１ ロータ翼下側基準面
Ｐ２ ロータ翼上側基準面
θ 傾斜角度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】