特許 7503108 液貯蔵ユニット及び基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-11

(45)【発行日】2024-06-19

(54)【発明の名称】液貯蔵ユニット及び基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240612BHJP

   B65D 25/04 20060101ALI20240612BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 648K

H01L21/304 643A

B65D25/04 F

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2022144469

(22)【出願日】2022-09-12

(65)【公開番号】P2023044654

(43)【公開日】2023-03-30

【審査請求日】2022-09-12

(31)【優先権主張番号】10-2021-0124786

(32)【優先日】2021-09-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】518162784

【氏名又は名称】セメス カンパニー，リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100114775

【弁理士】

【氏名又は名称】高岡 亮一

(74)【代理人】

【識別番号】100121511

【弁理士】

【氏名又は名称】小田 直

(74)【代理人】

【識別番号】100202751

【弁理士】

【氏名又は名称】岩堀 明代

(74)【代理人】

【識別番号】100208580

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 玲奈

(74)【代理人】

【識別番号】100191086

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 香元

(72)【発明者】

【氏名】チョイ，ムン スン

(72)【発明者】

【氏名】リム，チャエ ヨン

(72)【発明者】

【氏名】ハ，ド ギョン

(72)【発明者】

【氏名】アン，グ ヨル

【審査官】平野 崇

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／１３５０６４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００７－２５８６４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１１４２１１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ６５Ｄ ２５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記第１案内面は、前記収容空間を定義する底面として定義されることを特徴とする液貯蔵ユニット。

【請求項2】

前記第１案内面は流入口から流入された液の流れを前記流出口から遠くなる方向に案内するように形状付けられたことを特徴とする請求項１に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項3】

内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記第１案内面は前記流出口が提供される部分で前記流入口が提供される部分を向ける方向に行くほど高さが低くなるように提供されることを特徴とする液貯蔵ユニット。

【請求項4】

前記流入口の一部または全部は、上部から眺める時前記第１案内面と重畳されることを特徴とする請求項１または３に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項5】

前記流出口は、前記第１案内面を上下方向に投映した領域の外に位置されることを特徴とする請求項１または３に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項6】

内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記第１案内面は前記収容空間を定義する底面のうちで一部領域であり、
前記底面は、
中間が上部に突き出され、前記の中間から縁方向に行くほど高さが低くなって、
前記第１案内面は前記高さが低くなる面で定義され、
前記液流出管は、
前記突き出された中間領域を通じて貫入されて提供されることを特徴とする液貯蔵ユニット。

【請求項7】

前記第１案内面はラウンドになった形状で提供されることを特徴とする請求項１、３、または６に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項8】

前記底面は、
前記第１案内面の縦端から縁方向に行くほど高さが高くなるように形成される第２案内面を含むことを特徴とする請求項１または６に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項9】

前記第２案内面はラウンドになった形状で提供されることを特徴とする請求項８に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項10】

前記液流入管の前記流入口は収容空間の底面に隣接するように位置されることを特徴とする請求項１または６に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項11】

内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記流入口は前記第１案内面の上端より位置が低く位置されるか、または同一な水位に位置されることを特徴とする液貯蔵ユニット。

【請求項12】

内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記流出口は前記第１案内面の上部より位置が高く位置されるか、または同一な水位に位置されることを特徴とする液貯蔵ユニット。

【請求項13】

内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記流入口は前記第１案内面の上端より位置が低く位置されるか、または同一な水位に位置され、
前記流出口は前記第１案内面の上部より位置が高く位置されるか、または同一な水位に位置されることを特徴とする液貯蔵ユニット。

【請求項14】

内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記流入口は前記第１案内面の上端より位置が低く位置され、
前記流出口が位置される水位は、前記流入口が位置される水位より高いことを特徴とする液貯蔵ユニット。

【請求項15】

前記液流出管と前記液流入管を連結する第１ラインをさらに含むことを特徴とする請求項１、３、６、または１１－１４のいずれかに記載の液貯蔵ユニット。

【請求項16】

前記第１ラインに提供されて前記液流出管から前記液流入管に液の流れを起こすポンプを含むことを特徴とする請求項１５に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項17】

液供給源と第２ラインを通じて連結され、前記タンクハウジングの内部に貫入されて提供される液充填管をさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載の液貯蔵ユニット。

【請求項18】

基板を支持する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットに支持された基板に対して液を供給するノズルと、及び
流体移送可能な第１ラインを通じて前記ノズルと連結される液貯蔵ユニットを含み、
前記液貯蔵ユニットは、
内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成され、前記第１ラインは流体移送可能になるように連結される液流出管と、
前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成され、前記流入口が収容空間の底面に隣接するように提供される液流入管と、
液供給源と第２ラインを通じて連結され、前記タンクハウジングの内部に貫入されて提供される液充填管と、
前記液流出管と前記液流入管を連結する連結管と、及び
前記連結管に提供されて前記液流出管から前記液流入管に液の流れを起こすポンプを含み、
前記流出口と前記流入口との間には第１案内面が提供され、
前記第１案内面は前記収容空間を定義する底面のうちで一部領域であり、
前記底面は、
中間が上部に突き出され、前記突き出された部分から縁方向に行くほど高さが低くなるようにラウンドになって形成され、
前記第１案内面は前記高さが低くなる面で定義され、
前記液流出管は、
前記突き出された中間領域を通じて貫入されて提供され、
前記流入口は前記第１案内面の上端より位置が低く位置されるか、または同一な水位に位置され、
前記流出口は前記第１案内面の上部より位置が高く位置されるか、または同一な水位に位置されることを特徴とする基板処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液貯蔵ユニットと基板処理装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体素子または液晶ディスプレイを製造するため、基板にフォトリソグラフィー、蝕刻、アッシング、イオン注入、そして、薄膜蒸着等の多様な工程らが遂行される。それぞれの工程で生成された汚染物及びパーティクルを除去するためにそれぞれの工程が進行される前または後段階には基板を洗浄する洗浄工程が実施される。

【0003】

洗浄工程では液供給システムから処理装置に薬液を供給し、供給された薬液を利用して基板を処理する工程が遂行される。液供給システムには薬液を貯蔵する薬液貯蔵タンクが提供され、薬液貯蔵タンクはこれに連結され、温度調節部材が設置された循環ラインに沿って薬液を循環させて薬液を混合し、薬液の温度を調節する構造を有する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】日本国特許公開第2018-0005112号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

循環ラインに沿って循環されて帰って来た薬液は液貯蔵ユニット内で気泡を発生させるが、本発明は循環されて帰って来た薬液による気泡発生を最小化させることができる液貯蔵ユニット及び基板処理装置を提供することを一目的とする。

【0006】

循環ラインに沿って循環されて帰って来た薬液は液貯蔵ユニット内で吸入口に沿って見えない流路を発生させ、装置内で循環流れを起こすことができずに、一部位置では薬液が停滞される問題があるが、本発明は液貯蔵ユニット内で薬液を均一に混合し、温度分布が安定化されることができる液貯蔵ユニット及び基板処理装置を提供することを一目的とする。

【0007】

本発明が解決しようとする課題が上述した課題らに限定されるものではなくて、言及されない課題らは本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に明確に理解されることができるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、液貯蔵ユニットを提供する。一実施例において、液貯蔵ユニットは、内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、前記流出口と前記流入口との間には第１安内面が提供される。

【0009】

一実施例において、前記第１安内面は流入口で流入された液の流れを前記流出口から遠くなる方向に案内するように形状付けられることができる。

【0010】

一実施例において、前記第１安内面は前記収容空間を定義する底面に定義されることができる。

【0011】

一実施例において、前記第１安内面は前記流出口が提供される部分で前記流入口が提供される部分を向ける方向に行くほど高さが低くなるように提供されることができる。

【0012】

一実施例において、前記流入口の一部または全部は、上部から眺める時前記第１安内面と重畳されることができる。

【0013】

一実施例において、前記流出口は、前記第１安内面を上下方向に投映した領域の外に位置されることができる。

【0014】

一実施例において、前記第１安内面は前記収容空間を定義する底面のうちで一部領域であり、前記底面は、中間が上部に突き出され、前記の中から縁方向に行くほど高さが低くなって、前記第１安内面は前記高さが低くなる面で定義され、前記液流出管は、前記突き出された中間領域を通じて貫入されて提供されることができる。

【0015】

一実施例において、前記第１安内面はラウンドになった形状で提供されることができる。

【0016】

一実施例において、前記底面は、前記第１安内面の縦端で前記縁方向に行くほど高さが高くなるように形成される第２安内面を含むことができる。

【0017】

一実施例において、前記第２安内面はラウンドになった形状で提供されることができる。

【0018】

一実施例において、前記液流入管の前記流入口は収容空間の底面に隣接するように位置されることができる。

【0019】

一実施例において、前記流入口は前記第１安内面の上端より位置が低く位置されるか、または同一な水位に位置されることができる。

【0020】

一実施例において、前記流出口は前記第１安内面の上部より位置が高く位置されるか、または同一な水位に位置されることができる。

【0021】

一実施例において、前記流入口は前記第１安内面の上端より位置が低く位置されるか、または同一な水位に位置され、前記流出口は前記第１安内面の上部より位置が高く位置されるか、または同一な水位に位置されることができる。

【0022】

一実施例において、前記流出口が位置される水位は、前記流入口が位置される水位より高いことがある。

【0023】

本発明の他の観点による実施例の液貯蔵ユニットは、内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成される液流出管と、及び前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成される液流入管を含み、前記流出口は前記流入口より高い位置に位置される。

【0024】

一実施例において、前記液流出管と前記液流入管を連結する第１ラインをさらに含むことができる。

【0025】

一実施例において、前記第１ラインに提供されて前記液流出管で前記液流入管に液の流れを起こすポンプを含むことができる。

【0026】

一実施例において、液供給源と第２ラインを通じて連結され、前記タンクハウジングの内部に貫入されて提供される液充電管をさらに含むことができる。

【0027】

本発明は、基板を処理する装置を提供する。一実施例において、基板処理装置は、基板を支持する基板支持ユニットと、前記基板支持ユニットに支持された基板に対して液を供給するノズルと、及び流体移送可能な第１ラインを通じて前記ノズルと連結される液貯蔵ユニットを含み、前記液貯蔵ユニットは、内部に収容空間を定義するタンクハウジングと、前記タンクハウジングの内部に貫入されて流出口が形成され、前記第１ラインは流体移送可能になるように連結される液流出管と、前記タンクハウジングの内部に貫入されて流入口が形成され、前記流入口が収容空間の底面に隣接するように提供される液流入管と、液供給源と第２ラインを通じて連結され、前記タンクハウジングの内部に貫入されて提供される液充電管と、前記液流出管と前記液流入管を連結する連結管と、前記連結管に提供されて前記液流出管で前記液流入管で液の流れを起こすポンプを含み、前記流出口と前記流入口との間には第１安内面が提供され、前記第１安内面は前記収容空間を定義する底面のうちで一部領域であり、前記底面は、中間が上部に突き出され、前記突き出された部分から縁方向に行くほど高さが低くなるようにラウンドになって形成され、前記第１安内面は前記高さが低くなる面に定義され、前記液流出管は、前記突き出された中間領域を通じて貫入されて提供され、前記流入口は前記第１安内面の上端より位置が低く位置されるか、または同一な水位に位置され、前記流出口は前記第１安内面の上部より位置が高く位置されるか、または同一な水位に位置される。

【発明の効果】

【0028】

本発明の多様な実施例によれば、循環されて帰って来た薬液による気泡発生を最小化させることができる。

【0029】

本発明の多様な実施例によれば、液貯蔵ユニット内で薬液を均一に混合し、温度分布が安定化されることができる。

【0030】

本発明の効果が上述した効果らに限定されるものではなくて、言及されない効果らは本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に明確に理解されることができるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0031】

【図1】本発明の実施例による基板処理設備を見せてくれる平面図である。

【図2】液供給システム５１００を含む基板処理装置３００を見せてくれる断面図である。

【図3】液供給システム５１００を拡大した図面である。

【図4】本発明の一実施例による液貯蔵ユニット５００の断面斜視図である。

【図5】図３の実施例で液流出管と液流入管の相関関係及び第１壁面を説明するための拡大断面図である。

【図6】図３乃至図５で説明した実施例の液貯蔵ユニットで流体の流れシミュレーションである。

【図7】本発明の他の実施例(第２実施例)による液貯蔵ユニットの液流入管と液流出管の相関関係及び第１壁面を説明するための拡大断面図である。

【図8】本発明の他の実施例(第３実施例)による液貯蔵ユニットの液流入管と液流出管の相関関係及び第１壁面を説明するための拡大断面図である。

【図9】本発明の他の実施例(第４実施例)による液貯蔵ユニットの液流入管と液流出管の相関関係を説明するための拡大断面図である。

【図10】本発明の他の実施例(第５実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。

【図11】本発明の他の実施例(第６実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。

【図12】本発明の他の実施例(第７実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。

【図13】本発明の他の実施例(第８実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。

【図14】第２実施例の液供給システム５２００を含む基板処理装置３００を見せてくれる断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0032】

以下では添付した図面を参照にして本発明の実施例に対して本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者が容易に実施できるように詳しく説明する。しかし、本発明はいろいろ相異な形態で具現されることができるし、ここで説明する実施例で限定されない。また、本発明の望ましい実施例を詳細に説明するにおいて、関連される公知機能または構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曇ることがあると判断される場合にはその詳細な説明を略する。また、類似機能及び作用をする部分に対しては図面全体にかけて等しい符号を使用する。

【0033】

ある構成要素を‘包含'するということは、特別に反対される記載がない限り他の構成要素を除くことではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。具体的に，“含む”または“有する”などの用語は明細書上に記載した特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとすることであって、一つまたはその以上の他の特徴らや数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものなどの存在または付加可能性をあらかじめ排除しないものとして理解されなければならない。

【0034】

単数の表現は文脈上明白に異なるように志さない限り、複数表現を含む。また、図面で要素らの形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。

【0035】

用語“及び/または”は該当列挙された項目のうちで何れか一つ及び一つ以上のすべての組合を含む。また、本明細書で“連結される”という意味はA部材とB部材が直接連結される場合だけではなく、A部材とB部材との間にC部材が介在されてA部材とB部材が間接連結される場合も意味する。

【0036】

本発明の実施例はさまざまな形態で変形することができるし、本発明の範囲が下の実施例らに限定されることで解釈されてはいけない。本実施例は当業界で平均的な知識を有した者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状はより明確な説明を強調するために誇張された。

【0037】

図１は、本発明の実施例による基板処理設備を見せてくれる平面図である。図１を参照すれば、基板処理設備１はインデックスモジュール１０と工程処理モジュール２０を有する。インデックスモジュール１０はロードポート１２０及び移送フレーム１４０を有する。ロードポート１２０、移送フレーム１４０、そして、工程処理モジュール２０は順次に一列で配列される。以下、ロードポート１２０、移送フレーム１４０、そして、工程処理モジュール２０が配列された方向を第１方向１２といって、上部から眺める時、第１方向１２と垂直な方向を第２方向１４といって、第１方向１２と第２方向１４を含んだ平面に垂直である方向を第３方向１６と称する。

【0038】

ロードポート１４０には基板(W)が収納されたキャリア１３０が安着される。ロードポート１２０は複数個が提供され、これらは第２方向１４に沿って一列で配置される。ロードポート１２０の個数は工程処理モジュール２０の工程効率及びフットプリント条件などによって増加するか、または減少することもある。キャリア１３０には基板(W)らを地面に対して水平に配置した状態で収納するための複数のスロット(図示せず)が形成される。キャリア１３０としては、前面開放一体型ポッド (Front Opening Unified Pod：FOUP)が使用されることがある。

【0039】

工程処理モジュール２０はバッファーユニット２２０、移送チャンバ２４０、そして、工程チャンバ２６０を有する。移送チャンバ２４０はその長さ方向が第１方向１２と平行に配置される。移送チャンバ２４０の両側にはそれぞれ基板処理部３００a、２６０らが配置される。移送チャンバ２４０の一側及び他側で基板処理部３００a、２６０らは移送チャンバ２４０を基準に対称されるように提供される。移送チャンバ２４０の一側には複数個の基板処理部３００a、２６０らが提供される。工程チャンバ２６０らのうちで一部は移送チャンバ２４０の長さ方向に沿って配置される。また、工程チャンバ２６０らのうちで一部はお互いに積層されるように配置される。すなわち、移送チャンバ２４０の一側には工程チャンバ２６０らがAXBの配列で配置されることができる。ここで、Aは第１方向１２に沿って一列に提供された工程チャンバ２６０の数であり、Bは第３方向１６に沿って一列に提供された工程チャンバ２６０の数である。移送チャンバ２４０の一側に工程チャンバ２６０が４個または６個提供される場合、工程チャンバ２６０らは２X２または３X２の配列で配置されることができる。工程チャンバ２６０の個数は増加するか、または減少することもある。前述したところと異なり、工程チャンバ２６０は移送チャンバ２４０の一側だけに提供されることができる。また、工程チャンバ２６０は移送チャンバ２４０の一側及び両側に単層で提供されることができる。

【0040】

バッファーユニット２２０は移送フレーム１４０と移送チャンバ２４０との間に配置される。バッファーユニット２２０は移送チャンバ２４０と移送フレーム１４０との間に基板(W)が返送される前に基板(W)がとどまる空間を提供する。バッファーユニット２２０の内部には基板(W)が置かれるスロット(図示せず)が提供される。スロット(図示せず)らはお互いの間に第３方向１６に沿って離隔されるように複数個が提供される。バッファーユニット２２０は移送フレーム１４０と見合わせる面及び移送チャンバ２４０と見合わせる面が開放される。

【0041】

移送フレーム１４０はロードポート１２０に安着されたキャリア１３０とバッファーユニット２２０との間に基板(W)を返送する。移送フレーム１４０にはインデックスレール１４２とインデックスロボット１４４が提供される。インデックスレール１４２はその長さ方向が第２方向１４と並んで提供される。インデックスロボット１４４はインデックスレール１４２上に設置され、インデックスレール１４２に沿って第２方向１４に直線移動される。インデックスロボット１４４はベース１４４a、胴体１４４b、そして、インデックスアーム１４４cを有する。ベース１４４aはインデックスレール１４２に沿って移動可能になるように設置される。胴体１４４bはベース１４４aに結合される。胴体１４４bはベース１４４a上で第３方向１６に沿って移動可能になるように提供される。また、胴体１４４bはベース１４４a上に回転可能になるように提供される。インデックスアーム１４４cは胴体１４４bに結合され、胴体１４４bに対して前進及び後進移動可能になるように提供される。インデックスアーム１４４cは複数個提供されてそれぞれ個別駆動されるように提供される。インデックスアーム１４４cらは第３方向１６に沿ってお互いに離隔された状態で積層されるように配置される。インデックスアーム１４４cらのうちで一部は工程処理モジュール２０からキャリア１３０に基板(W)を返送する時使用され、これの他の一部はキャリア１３０から工程処理モジュール２０に基板(W)を返送する時使用されることができる。これはインデックスロボット１４４が基板(W)を搬入及び搬出する過程で工程処理前の基板(W)から発生されたパーティクルが工程処理後の基板(W)に付着されることを防止することができる。

【0042】

移送チャンバ２４０はバッファーユニット２２０と工程チャンバ２６０との間に、そして、工程チャンバ２６０らの間に基板(W)を返送する。移送チャンバ２４０にはガイドレール２４２とメインロボット２４４が提供される。ガイドレール２４２はその長さ方向が第１方向１２と並んであるように配置される。メインロボット２４４はガイドレール２４２上に設置され、ガイドレール２４２上で第１方向１２に沿って直線移動される。メインロボット２４４はベース２４４a、胴体２４４b、そして、メインアーム２４４cを有する。ベース２４４aはガイドレール２４２に沿って移動可能になるように設置される。胴体２４４bはベース２４４aに結合される。胴体２４４bはベース２４４a上で第３方向１６に沿って移動可能になるように提供される。また、胴体２４４bはベース２４４a上で回転可能になるように提供される。メインアーム２４４cは胴体２４４bに結合され、これは胴体２４４bに対して前進及び後進移動可能になるように提供される。メインアーム２４４cは複数個提供されてそれぞれ個別駆動されるように提供される。メインアーム２４４cらは第３方向１６に沿ってお互いに離隔された状態で積層されるように配置される。

【0043】

工程処理チャンバ２６０は基板(W)に対して液処理工程を遂行する基板処理装置（図２参照)３００が提供される。基板処理装置３００は遂行する液処理工程の種類によって相異な構造を有することができる。一実施例において、基板処理装置３００は洗浄工程を遂行する。これと他にそれぞれの工程処理チャンバ２６０内の基板処理装置３００は同一な構造を有することができる。選択的に工程チャンバ２６０らは複数個のグループに区分され、同一なグループに属する工程チャンバ２６０内に基板処理装置３００らはお互いに等しくて、お互いに相異なグループに属する工程チャンバ２６０内に基板処理装置３００の構造はお互いに相異に提供されることができる。

【0044】

図２は、液供給システム５１００を含む基板処理装置３００を見せてくれる断面図である。図３は液供給システム５１００を拡大した図面である。図２を参照すれば、基板処理装置３００は処理ユニット３１０を含む。処理ユニット３１０はハウジング３２０、スピンヘッド３４０、そして、昇降ユニット３６０、そして、ノズルユニット３８０を含む。

【0045】

ハウジング３２０は上部が開放された筒形状を有する。ハウジング３２０は内部回収筒３２２及び外部回収筒３２６を有する。それぞれの回収筒３２２、３２６は工程に使用された薬液らのうちでお互いに相異な薬液を回収する。内部回収筒３２２はスピンヘッド３４０を囲む環形のリング形状で提供され、外部回収筒３２６は内部回収筒３２６を囲む環形のリング形状で提供される。内部回収筒３２２の内側空間３２２a及び内部回収筒３２２と外部回収筒３２６との間空間３２６aはそれぞれ内部回収筒３２２及び外部回収筒３２６で薬液が流入される流入口として機能する。一例によれば、それぞれの流入口はお互いに相異な高さで位置されることができる。それぞれの回収筒３２２、３２６の底面の下には回収ライン３２２b、３２６bが連結される。それぞれの回収筒３２２、３２６に流入された薬液らは回収ライン３２２b、３２６bを通じて外部の薬液再生システム(図示せず)に提供されて再使用されることができる。

【0046】

スピンヘッド３４０は工程進行中に基板(W)を支持して基板(W)を回転させる。スピンヘッド３４０は胴体３４２、支持ピン３４４、チャックピン３４６、そして、支持軸３４８を有する。胴体３４２は上部から眺める時概して円形で提供される上部面を有する。胴体３４２の底面には駆動部３４９によって回転可能な支持軸３４８が固定結合される。

【0047】

支持ピン３４４は複数個提供される。支持ピン３４４は胴体３４２の上部面の縁部に所定間隔で離隔されるように配置されて胴体３４２で上部に突き出される。支持ピン３４４らはお互いの間に組合によって全体的に環形のリング形状を有するように配置される。支持ピン３４４は胴体３４２の上部面から基板(W)が一定距離で離隔されるように基板(W)の後面縁を支持する。

【0048】

チャックピン３４６は複数個提供される。チャックピン３４６は胴体３４２の中心で支持ピン３４４より遠く離れるように配置される。チャックピン３４６は胴体３４２で上部に突き出されるように提供される。チャックピン３４６はスピンヘッド３４０が回転される時基板(W)が正位置から側方向に離脱されないように基板(W)の側部を支持する。チャックピン３４６は胴体３４２の半径方向に沿って待機位置と支持位置との間に直線移動が可能になるように提供される。待機位置は支持位置に比べて胴体３４２の中心から遠く離れた位置である。基板(W)がスピンヘッド３４０にローディングまたはアンローディング時チャックピン３４６は待機位置に位置され、基板(W)に対して工程遂行時チャックピン３４６は支持位置に位置される。支持位置でチャックピン３４６は基板(W)の側部と接触される。

【0049】

昇降ユニット３６０はハウジング３２０を上下方向に直線移動させる。ハウジング３２０が上下に移動されることによって、スピンヘッド３４０に対するハウジング３２０の相対高さが変更される。昇降ユニット３６０はブラケット３６２、移動軸３６４、そして、駆動機３６６を有する。ブラケット３６２はハウジング３２０の外壁に固定設置され、ブラケット３６２には駆動機３６６によって上下方向に移動される移動軸３６４が固定結合される。基板(W)がスピンヘッド３４０に置かれるか、または、スピンヘッド３４０から持ち上げられる時スピンヘッド３４０がハウジング３２０の上部に突き出されるようにハウジング３２０は下降される。また、工程が進行される時には基板(W)に供給された薬液の種類によって薬液が既設定された回収筒３６０に流入されることができるようにハウジング３２０の高さが調節される。選択的に、昇降ユニット３６０はスピンヘッド３４０を上下方向に移動させることができる。

【0050】

ノズルユニット３８０は支持軸３８６、支持台３８２、そして、ノズル３９０を含む。ノズルユニット３８０は基板(W)上に薬液らを噴射する。ノズルユニット３８０は複数個で提供されることができる。支持軸３８６はハウジング３２０の一側に配置される。支持軸３８６はその長さ方向が上下方向に提供されるロード形状を有する。支持軸３８６は駆動部材３８８によって回転及び昇降運動が可能である。これと他に支持軸３８６は駆動部材３８８によって水平方向に直線移動及び昇降運動することができる。支持台３８２はノズル３９０を支持する。支持台３８２は支持軸３８６に結合され、末端底面にはノズル３９０が固定結合される。ノズル３９０は支持軸３８６の回転によってスイング移動されることができる。

【0051】

図３を参照して液供給システム５１００を説明する。
液供給システム５１００は液貯蔵ユニット５００を含む。液貯蔵ユニット５００は薬液供給源７００と供給ライン(L４))を通じて連結される。液貯蔵ユニット５００はノズル３９０と供給ライン(L２)を通じて連結される。ノズル３９０は基板(W)に対して薬液を吐出する構成である。

【0052】

液貯蔵ユニット５００はタンクハウジング５１０を含む。タンクハウジング５１０は収容空間５１２を定義する。一例で、タンクハウジング５１０は収容空間５１２を形成する。収容空間５１２には処理液が収容される。

【0053】

タンクハウジング５１０は循環ライン(L３)と連結される。タンクハウジング５１０は流出ライン(L２)を通じて循環ライン(L３)と連結される。循環ライン(L３)はタンクハウジング５１０の上側に結合される。循環ライン(L３)は収容空間５１２内で上側から下側に延長されて液流入管５２３を形成し、流入口５２３aは液流入管５２３の端部に提供される。循環ライン(L３)には第３バルブ(V３)が設置される。第３バルブ(V３)は循環ライン(L３)の流路を開閉する。

【0054】

循環ライン(L３)は流出ライン(L２)と連結される。流出ライン(L２)はタンクハウジング５１０の底側に結合される。流出ライン(L２)は収容空間５１２内で下側から上側に延長されて液流出管５２１を形成し、流出口５２１aは液流出管５２１の端部に提供される。

【0055】

流出ライン(L２)にはポンプ６００が設置される。ポンプ６００は流出ライン(L２)の流出口５２１aで循環ライン(L３)を通じて流入口５２３a)に、または供給ライン(L１)を通じてノズル３９０に薬液の流れが発生するように流動圧を提供する。一方、図示されなかったが、循環ライン(L３)上には循環ライン(L３)を流れる処理液を加熱するヒーターが提供されることができる。

【0056】

タンクハウジング５１０は充電ライン(L４)と連結される。充電ライン(L４)はタンクハウジング５１０の上側に結合される。充電ライン(L４)の吐出口５２５aは収容空間５１２の上部に位置される。薬液供給源７００に貯蔵された薬液は充電ライン(L４)を通じて収容空間５１２に伝送される。吐出口５２５aを通じて吐出される薬液は落下して収容空間５１２を満たす。充電ライン(L４)には第４バルブ(V４)が設置される。第４バルブ(V４)は収容空間５１２に向ける薬液の流れを開閉する。

【0057】

供給ライン(L１)は流出ライン(L２)のポンプ６００下流で流出ライン(L２)から分岐される。供給ライン(L１)には第１バルブ(V１)が設置される。第１バルブ(V１)はノズル３９０を向ける薬液の流れを開閉する。

【0058】

図４は、本発明の一実施例による液貯蔵ユニット５００の断面斜視図である。図５は図３の実施例で液流出管５２１と液流入管５２３の相関関係及び第１壁面を説明するための拡大断面図である。図３に図４及び図５をさらに参照して説明する。

【0059】

液流出管５２１はタンクハウジングの内部に貫入される。液流出管５２１の端部は流出口５２１aに提供される。液流入管５２３はタンクハウジングの内部に貫入される。液流入管５２３の端部は流入口５２３aに提供される。液流出管５２１を通じて流出された液は流出ライン(L２)及び循環ライン(L３)を流れて液流入管５２３に流れることができる。

【0060】

収容空間５１２を定義する壁面５１１のうちで底面は、中間が突き出され、円周方向に行くほど下向き傾いてから再び上向き傾くように形成される。一例で、収容空間５１２を定義する壁面５１１のうちで底面は、ドーナツ(doughnut)で押した形状で形成されることができる。

【0061】

液流出管５２１は底面のうちで突き出された中間領域に貫入されて提供される。収容空間５１２を定義する壁面５１１のうちで流出口５２１aと流入口５２３aが上下方向に投影された間領域の壁面のうちで一部領域は、第１壁面５１１aで定義する。第１壁面５１１aは流入口５２３aに向ける方向に対して下向き傾くように形成される。第１壁面５１１aは下に行くほど傾斜角が小くなるラウンド形状で形成されることができる。また、第１壁面５１１aの縦端に上昇傾くように形成される第２壁面５１１bが形成される。第２壁面５１１bは上昇されるほど傾斜角が大きくなるラウンド形状で形成されることができる。第１壁面５１１aは流入口５２３aを通じて流入される薬液を案内する安内面で機能する。第１壁面５１１aによって、流入口５２３aを通じて流入された薬液が直ちに流出口５２１aで流れないで、第１壁面５１１aに乗って案内されて流入口５２３aから流出口５２１aに向ける見えない直線の流路が形成されることを１次的に防止することができる。

【0062】

液流入管５２３の流入口５２３aを上下方向に投映した一部または全部が第１壁面５１１aを上下方向に投映した領域(A１)の内に位置されるようにする。液流出管５２１の流出口５２１aを上下方向に投映したことは、第１壁面５１１aを上下方向に投映した領域(A１)の外に位置されるようにする。

【0063】

液流入管５２３の流入口５２３aは収容空間５１２の底面に接するように位置する。実施例において、第１壁面５１１aの最上部の高さ(h１)より流入口５２３aの位置が低く設定されることができる。実施例において、流入口５２３aの位置は流出口５２１aの位置より低く設定される。流入口５２３aの位置が流出口５２１aの位置より低く設定されれば、流入口５２３aから流出口５２１aに向ける見えない流路が形成されることを１次的に防止することができる。

【0064】

液流出管５２１は収容空間５１２の底面に貫入されることができる。液流出管５２１の流出口５２１aは第１壁面５１１aの最上部の高さ(h１)より高く設定されることができる。

【0065】

液流入管５２３は落差による気泡発生を防止するために収容空間５１２を定義する底面に最大限近く挿入されるようになる。液流出管５２１は薬液を円滑に吸入するために、収容空間５１２を定義する底面に提供される。本発明の実施例によれば、液流入管５２３が底面に近く提供されるようにして落差による気泡発生を防止し、液流出管５２１への薬液吸入が円滑に遂行されることができるようにしながらも、流入口５２３aから流出口５２１aに細い流体の流れが流入口５２３aから流出口５２１aに直線流れが発生することを防止して収容空間５１２内の薬液を均一に混合することができる。また、流入口５２３aで吐出された薬液が底面にぶつからないで流れを維持するようにガイドして吐出される薬液が底面にぶつかって発生する圧力変化を低減させることができる。

【0066】

図６は、図３乃至図５で説明した実施例の液貯蔵ユニットで流体の流れシミュレーションである。本発明の実施例のように構成する場合流体の流動が図示されるように改善されながら収容空間内部の循環流れが活発になる。循環流れが活発になれば、薬液が均一に混合されることができるし、温度分布が安定化されることができる。

【0067】

図７は、本発明の他の実施例(第２実施例)による液貯蔵ユニットの液流入管と液流出管の相関関係及び第１壁面を説明するための拡大断面図である。図４を参照して説明する。説明において、図３乃至図５で説明した実施例と同一な構成は上述した説明で替える。第１壁面１５１１aを成す一部領域が一定な角度で維持されるように形成されることもできる。そして、流出口５２１aは第１壁面１５１１aの最上部の高さ(h１)と同じであるように設定されることができる。

【0068】

図８は、本発明の他の実施例(第３実施例)による液貯蔵ユニットの液流入管と液流出管の相関関係及び第１壁面を説明するための拡大断面図である。図８を参照して説明する。説明において、図３乃至図５で説明した実施例と同一な構成は上述した説明で替える。液流入管５２３の流入口５２３aは第１壁面５１１aの最上部の高さ(h１)と同じであるように設定されることができる。

【0069】

図９は、本発明の他の実施例(第４実施例)による液貯蔵ユニットの液流入管と液流出管の相関関係を説明するための拡大断面図である。説明において、図３乃至図５で説明した実施例と同一な構成は上述した説明で替える。前述して説明したところのような第１壁面の高さ(h１)に寄り掛からないで、流入口５２３aは流出口５２１aの位置よりさらに低い位置に位置されることができる。

【0070】

図１０は、本発明の他の実施例(第５実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。液貯蔵ユニット２５００はタンクハウジング２５１０を含む。タンクハウジング２５１０は収容空間２５１２を含む。収容空間２５１２はタンクハウジング２５１０の内壁によって定義される。タンクハウジング２５１０は隔壁２５３１を含む。隔壁２５３１は液流入管５２３の流入口５２３aと液流出管５２１の流出口５２１a間を横切る。隔壁２５３１は流入口５２３aと流出口５２１aとの間に提供され、流入口５２３aから流入された液が直ちに流出口５２１aに流れないように案内する安内面で機能する。隔壁２５３１によって薬液は収容空間２５１２を流動するようになる。隔壁２５３１は一側に上向き傾くように形成されることができる。実施例において、隔壁２５３１は流入された液が上方に流動されるように開放された側が上方に向けるように傾くように提供される。

【0071】

図１１は、本発明の他の実施例(第６実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。図１１を参照して説明する。説明において、図１０で説明した実施例と同一な構成は上述した説明で替える。隔壁２５３２は水平に形成されることができる。薬液が流動する流動性は図１０で説明した実施例より減ることができるが、隔壁２５３２によって発生する落差が減少される。

【0072】

図１２は、本発明の他の実施例(第７実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。図１２を参照して説明する。説明において、図１０で説明した実施例と同一な構成は上述した説明で替える。隔壁２５３３は一側に下向き傾くように形成されることができる。実施例において、隔壁２５３３は開放された側が下方に向けるように傾くように提供される。薬液が流動する流動性は図１０で説明した実施例により減ることができるが、隔壁２５３３によって発生する落差が減少される。

【0073】

図１３は、本発明の他の実施例(第８実施例)による液貯蔵ユニットの断面図である。液貯蔵ユニット３５００はタンクハウジング３５１０を含む。タンクハウジング３５１０は収容空間３５１２を含む。収容空間３５１２はタンクハウジング３５１０の内壁によって定義される。タンクハウジング３５１０は隔壁３５３０を含む。隔壁３５３０は円筒状で形成される。隔壁３５３０は流入口５２３a周りを囲む。隔壁２５３１は流入口５２３a周りを囲んで、流入口５２３aから流入された液が直ちに流出口５２１aに流れないように案内する安内面で機能する。隔壁２５３１によって流入された薬液は上方に流れながら収容空間２５１２を流動するようになる。

【0074】

図１４は、第２実施例の液供給システム５２００を含む基板処理装置３００を見せてくれる断面図である。基板処理装置３００は図２で説明したものと等しくて、図２での説明で替える。第２実施例の液供給システム５２００は２個のタンクハウジング５１０を含む。２個のタンクハウジング５１０はお互いに同一な構造を有する。

【0075】

それぞれのタンクハウジング５１０は収容空間５１２を定義する。一例で、タンクハウジング５１０は収容空間５１２を形成する。収容空間５１２には処理液が収容される。

【0076】

それぞれのタンクハウジング５１０は循環ライン(L５)と連結される。循環ライン(L５)は統合循環ライン(L６)を含む。統合循環ライン(L６)には第１ポンプ６１０が設置される。第１ポンプ６１０は処理液の循環のための流動圧を提供する。統合循環ライン(L６)上には統合循環ライン(L６)を流れる処理液を加熱するヒーター(図示せず)が提供されることができる。

【0077】

循環ライン(L５)の一端はタンクハウジング５１０の上側に結合される。循環ライン(L５)は収容空間５１２内で上側から下側に延長されて液流入管５２３を形成し、流入口５２３aは液流入管５２３の端部に提供される。また、循環ライン(L５)の他端はタンクハウジング５１０の下側に結合される。循環ライン(L５)は収容空間５１２内で下側から上側に延長されて第１液流出管５２１を形成し、第１流出口５２１aは第１液流出管５２１の端部に提供される。第１ポンプ６１０は第１流出口５２１aから流入口５２３a方向に処理液が流れるように圧力を提供する。

【0078】

循環ライン(L５)には第２バルブ(V２)が設置される。第２バルブ(V２)は循環ライン(L５)の流路を開閉する。第２バルブ(V２)の開放と第１ポンプ６１０の動作によって収容空間５１２に収容された処理液が循環ライン(L５)と統合循環ライン(L６)を循環する。

【0079】

第２液流出管５３１は収容空間５１２内で下側から上側に延長されて提供される。第２液流出管５３１は第１液流出管５２１の周辺に提供されることができる。一例で第１液流出管５２１が収容空間５１２の底面中央に提供されたら、第２液流出管５３１は中央からオフセットされた位置に提供されることができる。第２液流出管５３１が底面から所定高さで突き出されて延長されるように提供される場合、収容空間５１２の底面に沈んだ浮遊物が基板処理装置３００に供給されることを防止することができる。第２液流出管５３１はそれぞれ供給ライン(L１)と連結される。供給ライン(L１)には第２ポンプ６２０が設置される。第２ポンプ６２０は処理液がノズル３９０に供給されるように圧力を提供する。

【0080】

タンクハウジング５１０は充電ライン(L４)と連結される。充電ライン(L４)はタンクハウジング５１０の上側に結合される。充電ライン(L４)の吐出口５２５aは収容空間５１２の上部に位置される。薬液供給源７００に貯蔵された薬液は充電ライン(L４)を通じて収容空間５１２に伝送される。吐出口５２５aを通じて吐出される薬液は落下して収容空間５１２を満たす。充電ライン(L４)には第４バルブ(V４)が設置される。第４バルブ(V４)は収容空間５１２に向ける薬液の流れを開閉する。

【0081】

以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、前述した内容は本発明の望ましい実施形態を示して説明するものであり、本発明は多様な他の組合、変更及び環境で使用することができる。すなわち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、著わした開示内容と均等な範囲及び/または当業界の技術または知識の範囲内で変更または修正が可能である。著わした実施例は本発明の技術的思想を具現するための最善の状態を説明するものであり、本発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態で本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付された請求範囲は他の実施状態も含むことで解釈されなければならない。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】