特許 7503170 挟持具組立品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-11

(45)【発行日】2024-06-19

(54)【発明の名称】挟持具組立品

(51)【国際特許分類】

   C25D 17/06 20060101AFI20240612BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240612BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240612BHJP

   C25D 17/08 20060101ALI20240612BHJP

【ＦＩ】

C25D17/06 C

H01L21/68 N

H01L21/304 648

C25D17/08 A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023069287

(22)【出願日】2023-04-20

(65)【公開番号】P2024001850

(43)【公開日】2024-01-10

【審査請求日】2023-05-26

(31)【優先権主張番号】111123310

(32)【優先日】2022-06-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】311005208

【氏名又は名称】▲き▼邦科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】110003214

【氏名又は名称】弁理士法人服部国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】陳 慶▲ぶん▼

(72)【発明者】

【氏名】▲でん▼ 振隆

(72)【発明者】

【氏名】林 恭安

(72)【発明者】

【氏名】王 晨聿

【審査官】関口 貴夫

(56)【参考文献】

【文献】特開２００５－１８７９１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０８４２１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０３９０３５９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２５Ｄ １７／００－１７／２８

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークピースを挟持するための少なくとも１つの挟持具を備えている挟持具組立品であって、
前記挟持具は、
キャリアに設置するために用いられているベースであって、前記ベースは、本体と、ガイド穴と、第一位置限定孔と、を有し、前記本体は第一挟持部を有し、前記ガイド穴及び前記第一位置限定孔は前記本体に設けられ、前記第一位置限定孔は前記ガイド穴に連通し、且つ前記第一位置限定孔と前記ガイド穴との間には夾角を有している前記ベースと、
ガイドロッドと、第二位置限定孔と、第二挟持部と、を有し、前記第二位置限定孔は前記ガイドロッドに設けられ、前記ガイドロッドは前記ガイド穴中に貫設されて前記第二位置限定孔を前記第一位置限定孔に連通させるために用いられている挟持部材と、
前記第一位置限定孔及び前記第二位置限定孔の中に貫設されて前記ベース及び前記挟持部材を一体に結合するために用いられ、且つ前記第二挟持部及び前記第一挟持部が前記ワークピースを挟持する位置限定部材と、を備えていることを特徴とする挟持具組立品。

【請求項2】

前記第一位置限定孔は第一部及び第二部を含み、前記第一部及び前記第二部は前記ガイド穴の両側にそれぞれ位置していると共に前記ガイド穴に連通し、前記位置限定部材は前記第一部及び前記第二位置限定孔の中に少なくとも貫設されていることを特徴とする請求項１に記載の挟持具組立品。

【請求項3】

前記ベースは前記第二挟持部を収容するための位置限定溝を更に有していることを特徴とする請求項１に記載の挟持具組立品。

【請求項4】

前記第一挟持部はパッドを有し、前記ワークピースは前記第二挟持部と前記第一挟持部の前記パッドとの間に挟持されることを特徴とする請求項１または３に記載の挟持具組立品。

【請求項5】

前記第一挟持部は凹部を更に有し、前記パッドは前記凹部に設置され、前記凹部の溝壁は前記ワークピースのエッジを当接させるために用いられていることを特徴とする請求項４に記載の挟持具組立品。

【請求項6】

前記挟持具は前記挟持部材に設置されている位置決め穴部材を更に備え、前記位置限定部材は前記位置決め穴部材を収容するための位置決め穴を有していることを特徴とする請求項１に記載の挟持具組立品。

【請求項7】

前記挟持具は前記挟持部材に設置されている弾性部材を更に備え、前記弾性部材は前記位置決め穴部材を押動し、前記位置決め穴部材を前記位置決め穴中に収容するために用いられていることを特徴とする請求項６に記載の挟持具組立品。

【請求項8】

前記キャリアに設置するためのストッパーを更に備え、前記ストッパーは前記ワークピースに接触するために用いられていることを特徴とする請求項１に記載の挟持具組立品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、挟持具組立品（ｃｌａｍｐ ａｓｓｅｍｂｌｙ）に関し、より詳しくは、ウェーハの化学めっき、エッチング、電気めっき、または洗浄等のプロセスを行うための挟持具組立品に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の特許文献では、例えば、特許文献１には電気めっき装置用ウェーハ固定具が開示されている。その中では、連動リング３及び電気めっきキャリア４はキャリア２に装設され、電気めっきキャリア４は不動に固定され、ウェーハＢは電気めっきキャリア４に載置され、上蓋５は電気めっきキャリア４に蓋をし、ウェーハＢが上蓋５と電気めっきキャリア４との間に位置している。作動ロッド６が連動リング３を回転するように駆動することで、連動リング３が上蓋５を回し締め、上蓋５をロックするように固定し、ウェーハＢが上蓋５と電気めっきキャリア４との間に固定される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】台湾特許出願公告第Ｉ６４１０７９号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、電気めっきまたは洗浄プロセスの後に、連動リング３、電気めっきキャリア４、上蓋５、及び作動ロッド６に電気めっき液または洗浄液が残留してしまい、ウェーハ挟持具を重複して使用すると、残留液が汚染問題を引き起こした。また、連動リング３が作動ロッド６により回転されて上蓋５に結合されると、操作者がウェーハＢを出し入れするのが面倒になった。

【0005】

そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に至った。

【0006】

本発明は、上述に鑑みてなされたものであり、その目的は、挟持具組立品を提供することにある。本発明に係る挟持具組立品は、ウェーハの化学めっき、エッチング、電気めっき、または洗浄等のプロセスに適用し、電気めっき液や洗浄液が挟持具組立品に残留する状況を回避する。また、挟持具組立品の挟持具は高速に組み立て及び分解が可能であり、操作者ワークピースの出し入れ作業フローチャートを簡略化する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一実施態様によれば、挟持具組立品が提供される。上記課題を解決する本発明は、以下の構成を主に備える。ワークピースを挟持するための少なくとも１つの挟持具を備え、前記挟持具は、ベースと、挟持部材と、位置限定部材と、を有している。前記ベースはキャリアに設置され、前記ベースは、本体と、ガイド穴と、第一位置限定孔と、を有し、前記本体は第一挟持部を有している。前記ガイド穴及び前記第一位置限定孔は前記本体に設置され、前記第一位置限定孔は前記ガイド穴に連通し、且つ前記第一位置限定孔と前記ガイド穴との間には夾角を有している。前記挟持部材は、ガイドロッドと、第二位置限定孔と、第二挟持部と、を有し、前記第二位置限定孔は前記ガイドロッドに設置され、前記ガイドロッドは前記ガイド穴中に貫設されている。前記第二位置限定孔は前記第一位置限定孔に連通し、前記位置限定部材が前記第一位置限定孔及び前記第二位置限定孔中に貫設されることで、前記ベース及び前記挟持部材が一体に結合され、且つ前記第二挟持部及び前記第一挟持部が前記ワークピースを挟持する。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、次のような効果がある。
本発明の位置限定部材は第一位置限定孔及び第二位置限定孔中に貫設され、操作者がベースと挟持部材とを高速に一体に結合または個別に分解できる。ベース、挟持部材、及び位置限定部材は構造が簡単であるため、電気めっき液や洗浄液が残留しにくく、残留液が引き起こす汚染問題を回避できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施例に係る挟持具組立品を示す平面図である。

【図2】本発明の一実施例に係る挟持具組立品の挟持具を示す分解斜視図である。

【図3】本発明の一実施例に係る挟持具組立品の挟持具のベースを示す正面図である。

【図4】本発明の一実施例に係る挟持具組立品の挟持具の挟持部材を示す背面図である。

【図5】本発明の一実施例に係る挟持具組立品の挟持具を示す分解断面図である。

【図6】図１のＡ－Ａ線に沿う断面図である。

【図7】図１のＢ－Ｂ線に沿う断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施形態について具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

【0011】

本発明に係る挟持具組立品１０はワークピース２０を挟持するための少なくとも１つの挟持具１００を備え、化学めっき、エッチング、電気めっき、または洗浄等のプロセスを実行する（図１及び図２参照）。ワークピース２０はウェーハであるが、これに限られない。好ましくは、挟持具組立品１０がストッパー２００を更に備えている。

【0012】

図１、図２及び図５を参照すれば、挟持具１００は、ベース１１０と、挟持部材１２０と、位置限定部材１３０と、を含んで構成されている。好ましくは、挟持具１００は位置決め穴部材１４０及び弾性部材１５０を更に備えている。ベース１１０及びストッパー２００はキャリア３０に設置され、且つキャリア３０と一体に結合されている。

【0013】

図２、図３及び図５を参照すれば、ベース１１０は、本体１１１と、ガイド穴１１２と、第一位置限定孔１１３と、を有し、本体１１１は第一挟持部１１１ａを有している。ガイド穴１１２及び第一位置限定孔１１３は本体１１１に設置され、第一位置限定孔１１３はガイド穴１１２に連通し、且つ第一位置限定孔１１３とガイド穴１１２との間には夾角Ｃを有している。ガイド穴１１２は円形穴または非真円形穴（例えば、楕円形穴、矩形穴、多辺形穴等）であり、本実施例では、ガイド穴１１２は円形穴である。第一位置限定孔１１３は第一部１１３ａ及び第二部１１３ｂを含み、第一部１１３ａ及び第二部１１３ｂはガイド穴１１２の両側にそれぞれ位置し、且つ第一部１１３ａ及び第二部１１３ｂはガイド穴１１２に連通している。

【0014】

図２、図４及び図５を参照すれば、挟持部材１２０は、ガイドロッド１２１と、第二位置限定孔１２２と、第二挟持部１２３と、を有し、第二位置限定孔１２２はガイドロッド１２１に設置されている。ガイドロッド１２１は円柱または非真円柱（例えば、楕円柱、矩形柱、多辺形柱等）であり、本実施例では、ガイドロッド１２１は円柱である。

【0015】

本実施例では、位置決め穴部材１４０及び弾性部材１５０は挟持部材１２０に設置され、弾性部材１５０は位置決め穴部材１４０を押動するために用いられている（図５参照）。他の実施例では、挟持具１００が弾性部材１５０を有せず、位置決め穴部材１４０は、球体であり、且つ挟持部材１２０に転動可能に結合されている。他の実施例では、位置決め穴部材１４０及び挟持部材１２０が一体成形されている。

【0016】

図１、図５及び図６を参照すれば、挟持具組立品１０を使用してワークピース２０を挟持し、化学めっき、エッチング、電気めっき、または洗浄等のプロセスを実行する前に、先にベース１１０及びストッパー２００をキャリア３０に設置し、且つワークピース２０をベース１１０に載置する。本実施例では、ワークピース２０は本体１１１の第一挟持部１１１ａに載置する。第一挟持部１１１ａは凹部１１１ｂ及びパッド１１１ｃを有し、パッド１１１ｃは凹部１１１ｂに設置され、ワークピース２０はパッド１１１ｃに載置され、且つワークピース２０のエッジ２１は凹部１１１ｂの溝壁１１１ｄに当接されている（図５参照）。

【0017】

ストッパー２００はワークピース２０に接触し、ワークピース２０の回転を防止する（図１及び図７参照）。本実施例では、ワークピース２０はウェーハであり、ストッパー２００はウェーハの切り欠き部のエッジに接触し、ウェーハの回転を防止する。

【0018】

図５及び図６に示すように、続いて、ベース１１０に向けて挟持部材１２０を移動させ、挟持部材１２０のガイドロッド１２１をベース１１０のガイド穴１１２中に貫設し、且つ第二位置限定孔１２２を第一位置限定孔１１３に位置を揃えて連通させる。位置限定部材１３０は第一位置限定孔１１３の開口部１１３ｃから第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２中に貫設させる。位置限定部材１３０は第一位置限定孔１１３の第一部１１３ａ及び第二位置限定孔１２２中に少なくとも貫設させ、ベース１１０及び挟持部材１２０を一体に結合し、且つ第二挟持部１２３及び第一挟持部１１１ａによりワークピース２０を挟持する。好ましくは、位置限定部材１３０も第一位置限定孔１１３の第二部１１３ｂ中に貫設させる。

【0019】

本実施例では、ワークピース２０が第二挟持部１２３と第一挟持部１１１ａのパッド１１１ｃとの間に挟持され、ワークピース２０がベース１１０から脱離する状況を防止している。好ましくは、パッド１１１ｃはシリコンやゴムのような軟質材料で製造され、第二挟持部１２３及び第一挟持部１１１ａによりワークピース２０を挟持する際に、パッド１１１ｃが圧縮され、復位する弾力が発生する。位置限定部材１３０が第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２に貫設された後、復位する弾力により第二挟持部１２３及びパッド１１１ｃがワークピース２０を挟持する際の挟持力が増加し、位置限定部材１３０を第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２中に位置させる。

【0020】

図５及び図６に示すように、位置限定部材１３０が第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２に貫設されると共に所定の位置に移動すると、位置決め穴部材１４０が位置限定部材１３０の位置決め穴１３１中に収容され、位置限定部材１３０が固定され、位置限定部材１３０が第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２から脱離する状況を回避する。

【0021】

図５及び図６に示すように、ワークピース２０を取り出す場合、まず、位置限定部材１３０を移動させ、位置決め穴１３１を位置決め穴部材１４０の制限から脱離させ、且つ位置限定部材１３０を第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２から脱離させる。次に、挟持部材１２０を分離し、ワークピース２０を取り出す。

【0022】

図２から図６に示すように、ベース１１０は位置限定溝１１１ｅを有し、挟持部材１２０がベース１１０に結合されると、第二挟持部１２３が位置限定溝１１１ｅ中に収容され、挟持部材１２０が回転しないようにしている。

【0023】

挟持部材１２０のガイドロッド１２１がガイド穴１１２中に貫設され、且つ位置限定部材１３０が第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２中に貫設されることで、挟持部材１２０がベース１１０に高速に一体に結合され、且つ挟持部材１２０がベース１１０から脱離する状況を防止している。第一位置限定孔１１３及び第二位置限定孔１２２から位置限定部材１３０を引き離した後、挟持部材１２０を分離させてワークピース２０を取り出す。本発明は挟持具１００の組み立て及び分解フローチャートが簡略化されている。また、ベース１１０、挟持部材１２０、及び位置限定部材１３０の構造が簡単であるため、電気めっき液や洗浄液が残留しにくく、残留液による汚染問題を回避している。

【0024】

以上、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施可能である。

【符号の説明】

【0025】

１０ 挟持具組立品
２０ ワークピース
２１ エッジ
３０ キャリア
１００ 挟持具
１１０ ベース
１１１ 本体
１１１ａ 第一挟持部
１１１ｂ 凹部
１１１ｃ パッド
１１１ｄ 溝壁
１１１ｅ 位置限定溝
１１２ ガイド穴
１１３ 第一位置限定孔
１１３ａ 第一部
１１３ｂ 第二部
１１３ｃ 開口部
１２０ 挟持部材
１２１ ガイドロッド
１２２ 第二位置限定孔
１２３ 第二挟持部
１３０ 位置限定部材
１３１ 位置決め穴
１４０ 位置決め穴部材
１５０ 弾性部材
２００ ストッパー
Ｃ 夾角

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】