特許 7503636 プラズマヘッド用の制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-12

(45)【発行日】2024-06-20

(54)【発明の名称】プラズマヘッド用の制御装置

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/24 20060101AFI20240613BHJP

   H05K 7/02 20060101ALI20240613BHJP

【ＦＩ】

H05H1/24

H05K7/02 Q

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2022541052

(86)(22)【出願日】2020-08-06

(86)【国際出願番号】 JP2020030242

(87)【国際公開番号】W WO2022029967

(87)【国際公開日】2022-02-10

【審査請求日】2022-12-08

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】土田 紘佑

【審査官】山口 敦司

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１４／００８３７３４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】欧州特許出願公開第０３０４３６２８（ＥＰ，Ａ１）

【文献】特開２００８－０４７２９２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｈ １／２４

Ｈ０５Ｋ ５／０２

Ｈ０５Ｋ ７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

筐体と、
前記筐体の内部に設けられ前記筐体の外部に設けられるプラズマヘッドに電力を供給する電源装置と、
前記電源装置から前記電力が供給される内部ケーブルと、
前記筐体に設けられる第一引き込み口と、
一端側が前記プラズマヘッドに接続され他端側が前記第一引き込み口から前記筐体の内部に引き込まれ前記筐体の内部において引き回される外部ケーブルと、
前記筐体から絶縁する絶縁部材に設けられ前記内部ケーブルの一端側および前記外部ケーブルの前記他端側が接続される端子台と、
前記外部ケーブルを前記筐体の内部において案内するケーブルガイドと、
を備えるプラズマヘッド用の制御装置であって、
前記ケーブルガイドは、前記筐体の内部に設置されたときに、前記筐体に設けられる前記第一引き込み口から前記筐体の内部に引き込まれた前記外部ケーブルが前記筐体の内部において引き回される領域である第一領域と、前記外部ケーブルと干渉する可能性がある前記筐体の内部に設けられる干渉部材が配置される領域である第二領域とに隔てる隔壁部を備え、
前記筐体は、
前記第一引き込み口が設けられる第一面部と、
前記第一面部に対向する第二面部と、
を備え、
前記第二面部には、前記第一引き込み口から前記筐体の内部に引き込まれ前記筐体の内部において引き回された前記外部ケーブルの前記他端側と前記端子台との作業者による着脱作業が可能な開口部が形成されているプラズマヘッド用の制御装置。

【請求項2】

筐体と、
前記筐体の内部に設けられ前記筐体の外部に設けられるプラズマヘッドに電力を供給する電源装置と、
前記電源装置から前記電力が供給される内部ケーブルと、
前記筐体に設けられる第一引き込み口と、
一端側が前記プラズマヘッドに接続され他端側が前記第一引き込み口から前記筐体の内部に引き込まれ前記筐体の内部において引き回される外部ケーブルと、
前記筐体から絶縁する絶縁部材に設けられ前記内部ケーブルの一端側および前記外部ケーブルの前記他端側が接続される端子台と、
前記外部ケーブルを前記筐体の内部において案内するケーブルガイドと、
を備えるプラズマヘッド用の制御装置であって、
前記ケーブルガイドは、前記筐体の内部に設置されたときに、前記筐体に設けられる前記第一引き込み口から前記筐体の内部に引き込まれた前記外部ケーブルが前記筐体の内部において引き回される領域である第一領域と、前記外部ケーブルと干渉する可能性がある前記筐体の内部に設けられる干渉部材が配置される領域である第二領域とに隔てる隔壁部を備え、
前記第一引き込み口、前記ケーブルガイド、前記内部ケーブルが引き込まれる第二引き込み口および前記端子台の順に前記筐体に配置され、
前記端子台は、前記外部ケーブルの前記他端側が接続される出力側端子部よりも前記内部ケーブルの前記一端側が接続される入力側端子部が前記ケーブルガイドに近いプラズマヘッド用の制御装置。

【請求項3】

前記ケーブルガイドは、前記筐体の内部に設置されたときに、前記第一引き込み口から前記筐体の内部に向かって前記外部ケーブルを案内する導入部を備える請求項１または請求項２に記載のプラズマヘッド用の制御装置。

【請求項4】

前記ケーブルガイドのうちの少なくとも前記隔壁部は、樹脂製である請求項１～請求項３のいずれか一項に記載のプラズマヘッド用の制御装置。

【請求項5】

前記干渉部材には、前記内部ケーブルが含まれる請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のプラズマヘッド用の制御装置。

【請求項6】

前記ケーブルガイドは、前記筐体の内部に設置されたときに、前記第一引き込み口から前記筐体の内部に向かって前記外部ケーブルを案内する導入部を備え、
前記隔壁部は、前記干渉部材である前記内部ケーブルの引き回し方向に沿って、前記導入部に対して傾斜している請求項１～請求項５のいずれか一項に記載のプラズマヘッド用の制御装置。

【請求項7】

前記筐体は、
前記第一引き込み口が設けられる第一面部と、
前記第一面部に対向する第二面部と、
前記第一面部および前記第二面部と垂直に設けられ前記内部ケーブルが引き回される側と反対側に設けられる第三面部と、
を備え、
前記隔壁部は、前記第三面部の側に前記外部ケーブルの少なくとも一部を寄せるように形成されている請求項６に記載のプラズマヘッド用の制御装置。

【請求項8】

前記電源装置は、
直流電力を供給する直流電源と、
前記直流電源から出力された前記直流電力を交流電力に変換する電力変換器と、
前記電力変換器から出力された前記交流電力を平滑する平滑器と、
前記平滑器によって平滑された前記交流電力を昇圧して前記電力を生成する昇圧器と、
を備え、
前記内部ケーブルの他端側は、前記昇圧器の出力側に接続されている請求項１～請求項７のいずれか一項に記載のプラズマヘッド用の制御装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、ケーブルガイドおよびプラズマヘッド用の制御装置に関する技術を開示する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載の大気圧プラズマ装置は、ガイド部材を備えている。ガイド部材は、装置内外を連通する開口部から空気を吸気する吸気部に向かう空気の流れを形成する。また、ガイド部材は、プラズマを発生させる電極に通電するための給電線の通路を兼ねている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－０３３０５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

プラズマ発生装置では、制御装置の筐体の内部に設けられる電源装置から筐体の外部に設けられるプラズマヘッドに外部ケーブルによって電力が供給される。外部ケーブルの一端側は、プラズマヘッドに接続される。外部ケーブルの他端側は、筐体の内部に引き込まれ筐体の内部において引き回される。そのため、筐体の内部において引き回される外部ケーブルと、筐体の内部に設けられる部材とが干渉する可能性がある。

【0005】

このような事情に鑑みて、本明細書は、制御装置の筐体の内部に設けられる電源装置から筐体の外部に設けられるプラズマヘッドに電力を供給する外部ケーブルと、筐体の内部に設けられる部材との間の干渉を抑制可能なケーブルガイドおよびプラズマヘッド用の制御装置を開示する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書は、筐体と、前記筐体の内部に設けられ前記筐体の外部に設けられるプラズマヘッドに外部ケーブルによって電力を供給する電源装置と、を備えるプラズマヘッド用の制御装置に用いられるケーブルガイドを開示する。前記ケーブルガイドは、前記筐体の内部に設置されたときに、第一領域と第二領域とに隔てる隔壁部を備える。前記第一領域は、前記筐体に設けられる第一引き込み口から前記筐体の内部に引き込まれた前記外部ケーブルが前記筐体の内部において引き回される領域である。前記第二領域は、前記外部ケーブルと干渉する可能性がある前記筐体の内部に設けられる干渉部材が配置される領域である。

【0007】

また、本明細書は、筐体と、電源装置と、前記電源装置から電力が供給される内部ケーブルと、前記筐体に設けられる第一引き込み口と、外部ケーブルと、端子台と、前記外部ケーブルを前記筐体の内部において案内する前記ケーブルガイドとを備えるプラズマヘッド用の制御装置を開示する。前記電源装置は、前記筐体の内部に設けられ前記筐体の外部に設けられるプラズマヘッドに電力を供給する。前記外部ケーブルは、一端側が前記プラズマヘッドに接続され他端側が前記第一引き込み口から前記筐体の内部に引き込まれ前記筐体の内部において引き回される。前記端子台は、前記筐体から絶縁する絶縁部材に設けられ前記内部ケーブルの一端側および前記外部ケーブルの前記他端側が接続される。

【発明の効果】

【0008】

上記のケーブルガイドによれば、隔壁部を備える。よって、ケーブルガイドは、筐体の内部に設置されたときに、外部ケーブルが筐体の内部において引き回される領域（第一領域）と、筐体の内部に設けられる干渉部材が配置される領域（第二領域）とに隔てることができる。ケーブルガイドについて上述されていることは、ケーブルガイドを備えるプラズマヘッド用の制御装置についても同様に言える。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】プラズマ発生装置の構成例を示す模式図である。

【図2】外部ケーブルが接続される接続部の構成例を示す透視図である。

【図3】図２において第一フレームおよび第二フレームが取り外された状態を示す斜視図である。

【図4】接続部における内部ケーブルおよび外部ケーブルの引き回し状態の一例を示す平面図である。

【図5】ケーブルガイドの一例を示す斜視図である。

【図6】比較形態に係り、内部ケーブルおよび外部ケーブルの引き回し状態の一例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

１．実施形態
１－１．プラズマ発生装置１００の構成例
プラズマ発生装置１００は、原料ガス中で放電させることにより、プラズマを発生させる。プラズマ発生装置１００は、例えば、部材の表面加工、洗浄、接着、殺菌、空気浄化などに用いられる。図１に示すように、プラズマ発生装置１００は、プラズマヘッド９０用の制御装置８０と、プラズマヘッド９０とを備えている。

【0011】

プラズマヘッド９０は、プラズマヘッド９０用の制御装置８０から供給された電力を用いて、プラズマを発生させる。プラズマヘッド９０は、本体部９１と、一対の電極９２，９２と、置換部９３とを備えている。本体部９１は、一対の電極９２，９２および置換部９３を収容し、外部からこれらを隔離する。一対の電極９２，９２は、本体部９１の内部において、対向して配置される。

【0012】

一対の電極９２，９２に上記電力が供給されて、プラズマが発生する。つまり、一対の電極９２，９２の間に、プラズマの発生領域９４が生じる。置換部９３は、発生領域９４に大気圧の原料ガスを導入すると共に、発生領域９４において発生したプラズマを移動させる。プラズマは、本体部９１の内部で使用されても良く、本体部９１から移動されて使用されても良い。原料ガスは、プラズマを発生させることができれば良く、限定されない。例えば、酸素ガス、空気は、原料ガスに含まれる。

【0013】

１－２．プラズマヘッド９０用の制御装置８０の構成例
図１～図５に示すように、プラズマヘッド９０用の制御装置８０は、筐体１０と、電源装置２０と、内部ケーブル３０と、引き込み口４０と、外部ケーブル５０と、端子台６０と、ケーブルガイド７０とを備えている。図２に示すように、筐体１０は、ベース板１０ａと、第一フレーム１０ｂと、第二フレーム１０ｃとを備えている。

【0014】

ベース板１０ａは、板状に形成されている。ベース板１０ａは、電源装置２０が設けられる電源部ＰＵ０と、外部ケーブル５０が接続される接続部ＪＴ０とに筐体１０の内部を区画する。第一フレーム１０ｂおよび第二フレーム１０ｃは、ベース板１０ａ側が開口する箱状に形成されている。ベース板１０ａ、第一フレーム１０ｂおよび第二フレーム１０ｃによって囲まれる領域に接続部ＪＴ０が設けられている。

【0015】

電源装置２０は、筐体１０の内部に設けられ筐体１０の外部に設けられるプラズマヘッド９０に電力を供給する。電力は、外部ケーブル５０によって供給される。図１に示すように、電源装置２０は、直流電源２１と、電力変換器２２と、平滑器２３と、昇圧器２４とを備えている。直流電源２１は、直流電力を供給する。電力変換器２２は、直流電源２１から出力された直流電力を交流電力に変換する。平滑器２３は、電力変換器２２から出力された交流電力を平滑する。昇圧器２４は、平滑器２３によって平滑された交流電力を昇圧して電力（プラズマヘッド９０に供給する電力）を生成する。

【0016】

電源装置２０は、プラズマヘッド９０がプラズマを発生可能な電力を供給することができれば良く、公知の機器を用いることができる。例えば、平滑器２３は、コイルおよびコンデンサを備える平滑器を用いることができる。また、昇圧器２４は、トランスを用いることができる。図１に示すように、トランスは、一次側巻線２４ａと、二次側巻線２４ｂとを備えている。

【0017】

トランスは、一次側巻線２４ａに入力された交流電力（平滑器２３によって平滑された交流電力）を昇圧して、二次側巻線２４ｂから昇圧した交流電力を出力する。例えば、二次側巻線２４ｂから出力される交流電力の出力電圧は、最大１５ｋＶ程度である。また、放電時には電圧が降下するため、二次側巻線２４ｂから出力される交流電力の出力電圧は、８～９ｋＶ程度である。なお、本明細書では、上記の出力電圧に相当する電圧レベルを高電圧という。

【0018】

内部ケーブル３０には、電源装置２０から電力が供給される。図１に示すように、内部ケーブル３０の一端側は、端子台６０に接続されている。内部ケーブル３０の他端側は、昇圧器２４の出力側に接続されている。本実施形態では、内部ケーブル３０の他端側は、トランスの二次側巻線２４ｂに接続されている。内部ケーブル３０は、高電圧を印加可能な公知のケーブルを用いることができる。内部ケーブル３０は、例えば、キャブタイヤケーブルなどを用いることができる。

【0019】

引き込み口４０は、第一引き込み口４１と、二つの第二引き込み口４２，４２とを備えている。引き込み口４０は、筐体１０に設けられている。具体的には、図２に示すように、第一引き込み口４１は、筐体１０の第一フレーム１０ｂに形成されている。第一引き込み口４１は、二本の外部ケーブル５０を引き込み可能に、二本の外部ケーブル５０の直径より大径の円形状に形成されている。

【0020】

二つの第二引き込み口４２，４２は、筐体１０のベース板１０ａに形成されている。二つの第二引き込み口４２，４２の各々は、内部ケーブル３０を引き込み可能に、内部ケーブル３０の直径より大径の円形状に形成されている。図２および図３に示すように、二本の内部ケーブル３０の各々は、第二引き込み口４２から引き込まれて、一端側が端子台６０に接続されている。

【0021】

外部ケーブル５０は、一端側がプラズマヘッド９０に接続される。図１に示すように、外部ケーブル５０の一端側は、プラズマヘッド９０の電極９２に接続される。また、図４に示すように、外部ケーブル５０は、他端側が第一引き込み口４１から筐体１０の内部に引き込まれ筐体１０の内部において引き回される。外部ケーブル５０は、高電圧を印加可能な公知のケーブルを用いることができる。また、外部ケーブル５０は、プラズマヘッド９０の移動に伴って移動されるので、例えば、キャブタイヤケーブルなどを用いると良い。

【0022】

既述したように、内部ケーブル３０および外部ケーブル５０には、高電圧が印加される。そのため、例えば、内部ケーブル３０と外部ケーブル５０をコネクタによって接続する形態では、高電圧に対する絶縁性の確保の観点から、コネクタが高コスト化する可能性がある。そこで、本実施形態では、内部ケーブル３０と外部ケーブル５０との接続が端子台６０によって行われる。

【0023】

端子台６０は、筐体１０から絶縁する絶縁部材ＩＳ０に設けられ、内部ケーブル３０の一端側および外部ケーブル５０の他端側が接続される。図２および図３に示すように、絶縁部材ＩＳ０は、円柱状に形成されている。端子台６０は、絶縁部材ＩＳ０の上面部に設けられている。これにより、内部ケーブル３０の一端側および外部ケーブル５０の他端側は、端子台６０に接続されたときに、筐体１０のベース板１０ａから所定距離、離間される。

【0024】

端子台６０は、入力側端子部６１と、出力側端子部６２とを備えている。入力側端子部６１には、内部ケーブル３０の一端側が接続される。出力側端子部６２には、外部ケーブル５０の他端側が接続される。図２～図４に示すように、入力側端子部６１は、出力側端子部６２よりもケーブルガイド７０に近い。

【0025】

ケーブルガイド７０は、外部ケーブル５０を筐体１０の内部において案内する。図４に示すように、ケーブルガイド７０は、第一引き込み口４１から筐体１０の内部に引き込まれた外部ケーブル５０を端子台６０の側方に向かって案内する。外部ケーブル５０は、端子台６０を迂回するように引き回されて、入力側端子部６１よりも遠方に設けられている出力側端子部６２に接続される。

【0026】

図２～図５に示すように、ケーブルガイド７０は、隔壁部７１を備えている。ケーブルガイド７０は、導入部７２を備えることもできる。本実施形態のケーブルガイド７０は、隔壁部７１と、導入部７２とを備えている。なお、ケーブルガイド７０は、支持部材７３によって筐体１０のベース板１０ａに支持されている。

【0027】

隔壁部７１は、筐体１０の内部に設置されたときに、第一領域ＡＲ１と第二領域ＡＲ２とに隔てる。第一領域ＡＲ１は、筐体１０に設けられる第一引き込み口４１から筐体１０の内部に引き込まれた外部ケーブル５０が筐体１０の内部において引き回される領域である。第二領域ＡＲ２は、外部ケーブル５０と干渉する可能性がある筐体１０の内部に設けられる干渉部材ＩＦ０が配置される領域である。これにより、ケーブルガイド７０は、筐体１０の内部に設置されたときに、外部ケーブル５０と干渉部材ＩＦ０との間の干渉を抑制することができる。

【0028】

干渉部材ＩＦ０は、外部ケーブル５０と干渉する可能性がある筐体１０の内部に設けられる部材であれば良く、限定されない。例えば、筐体１０の内部の柱部材、壁部材などの造営材は、干渉部材ＩＦ０になり得る。また、電気機器、ケーブルなどの筐体１０の内部に設置されている物品は、干渉部材ＩＦ０になり得る。例えば、図４において、ケーブルガイド７０が設置されていないと、第一引き込み口４１から筐体１０の内部に引き込まれた外部ケーブル５０は、筐体１０の中心部に向かって直進するように引き回され、内部ケーブル３０と干渉する可能性がある。そのため、干渉部材ＩＦ０には、内部ケーブル３０が含まれる。

【0029】

本実施形態のケーブルガイド７０は、筐体１０の内部に設置されたときに、外部ケーブル５０が筐体１０の内部において引き回される領域（第一領域ＡＲ１）と、干渉部材ＩＦ０である内部ケーブル３０が配置される領域（第二領域ＡＲ２）とに隔てることができる。つまり、本実施形態のケーブルガイド７０は、筐体１０の内部に設置されたときに、外部ケーブル５０と内部ケーブル３０との間の干渉を、少なくとも抑制することができる。

【0030】

導入部７２は、筐体１０の内部に設置されたときに、第一引き込み口４１から筐体１０の内部に向かって外部ケーブル５０を案内する。図２～図４に示すように、第一フレーム１０ｂのうち、第一引き込み口４１が設けられる部位を第一面部１１とする。図４に示すように、導入部７２は、第一面部１１に対して、垂直に配置されている。よって、第一引き込み口４１から筐体１０の内部に引き込まれた外部ケーブル５０は、導入部７２に沿って直進するように引き回される。

【0031】

なお、ケーブルガイド７０は、支持部材７３によって筐体１０のベース板１０ａに支持されている。図２および図３に示すように、本実施形態の支持部材７３は、Ｌ字形状に形成されている。また、図５に示すように、ケーブルガイド７０には、ボルトなどの固定部材を挿通可能な複数の孔部７０ａが形成されている。ケーブルガイド７０および支持部材７３は、固定部材を用いてベース板１０ａに固定される。具体的には、Ｌ字形状の支持部材７３の一の面が隔壁部７１または導入部７２に固定され、支持部材７３の他の一の面が筐体１０のベース板１０ａに固定される。

【0032】

既述したように、内部ケーブル３０および外部ケーブル５０には、高電圧が印加される。そのため、例えば、ケーブルガイド７０が金属製であると、内部ケーブル３０または外部ケーブル５０と、ケーブルガイド７０との間で、部分放電が生じ、オゾンが発生する可能性がある。部分放電およびオゾンの発生は、内部ケーブル３０または外部ケーブル５０との離間距離が短くなり易い隔壁部７１において生じ易い。

【0033】

そこで、少なくとも隔壁部７１は、樹脂製であると良い。これにより、内部ケーブル３０または外部ケーブル５０と、ケーブルガイド７０との間で生じる部分放電およびオゾンの発生を抑制することができる。なお、本実施形態のケーブルガイド７０は、隔壁部７１および導入部７２が樹脂製である。支持部材７３は、隔壁部７１と比べて、内部ケーブル３０および外部ケーブル５０から離間しているので、金属製である。

【0034】

図２および図４に示すように、筐体１０は、第一面部１１と、第二面部１２と、第三面部１３と、第四面部１４とを備えている。第一面部１１には、第一引き込み口４１が設けられる。第二面部１２は、第一面部１１に対向する。第三面部１３は、第一面部１１および第二面部１２と垂直に設けられ、内部ケーブル３０が引き回される側と反対側に設けられる。第四面部１４は、第一面部１１および第二面部１２と垂直に設けられ、内部ケーブル３０が引き回される側に設けられる。

【0035】

外部ケーブル５０は、プラズマヘッド９０に接続されており、例えば、プラズマヘッド９０のメンテナンスなどのために端子台６０から取り外される場合がある。そのため、第二面部１２には、第一引き込み口４１から筐体１０の内部に引き込まれ筐体１０の内部において引き回された外部ケーブル５０の他端側と端子台６０との作業者による着脱作業が可能な開口部１２ａが形成されていると良い。

【0036】

本実施形態では、第二面部１２に開口部１２ａが形成されている。具体的には、開口部１２ａは、第一フレーム１０ｂに接する側と反対側の第二フレーム１０ｃの端部によって形成されている。よって、作業者は、開口部１２ａを介して、外部ケーブル５０の他端側と端子台６０との着脱作業を行うことができる。つまり、作業者は、第二面部１２に開口部１２ａが設けられていない場合と比べて、外部ケーブル５０の他端側と端子台６０との着脱作業を容易に行うことができる。

【0037】

既述したように、ケーブルガイド７０は、筐体１０の内部に設置されたときに、第一引き込み口４１から筐体１０の内部に向かって外部ケーブル５０を案内する導入部７２を備えている。また、図２～図４に示すように、隔壁部７１は、干渉部材ＩＦ０である内部ケーブル３０の引き回し方向に沿って、導入部７２に対して傾斜している。

【0038】

具体的には、図４に示すように、二本の内部ケーブル３０，３０のうちの隔壁部７１に近い側の内部ケーブル３０が、第二引き込み口４２から端子台６０に向かって引き回されている引き回し方向は、隔壁部７１と平行になっている。これにより、干渉部材ＩＦ０である内部ケーブル３０と、隔壁部７１との間の離間距離を保持し易くなる。なお、本実施形態のケーブルガイド７０は、隔壁部７１と導入部７２とのなす角度が１３５°に設定されている。導入部７２に対する隔壁部７１の傾斜角度は、干渉部材ＩＦ０の配置に合わせて適宜、変更することができる。

【0039】

また、導入部７２に対する隔壁部７１の傾斜方向は、次のように表すこともできる。図４に示すように、隔壁部７１は、第三面部１３の側に外部ケーブル５０の少なくとも一部を寄せるように形成されている。これにより、干渉部材ＩＦ０である内部ケーブル３０から外部ケーブル５０が離間され易くなる。また、外部ケーブル５０は、第三面部１３に沿って案内され易くなる。

【0040】

図２～図４に示すように、本実施形態では、第一引き込み口４１、ケーブルガイド７０、内部ケーブル３０が引き込まれる第二引き込み口４２および端子台６０の順に筐体１０に配置されている。また、端子台６０は、外部ケーブル５０の他端側が接続される出力側端子部６２よりも内部ケーブル３０の一端側が接続される入力側端子部６１がケーブルガイド７０に近い。

【0041】

つまり、第二引き込み口４２がケーブルガイド７０と端子台６０の間に配置され、出力側端子部６２よりも入力側端子部６１がケーブルガイド７０に近い。そのため、第二引き込み口４２から引き込まれた内部ケーブル３０を端子台６０の入力側端子部６１に接続し易い。また、第一引き込み口４１から筐体１０の内部に引き込まれた外部ケーブル５０を、ケーブルガイド７０によって端子台６０を迂回するように引き回し易い。

【0042】

なお、図６に示す比較形態では、第一引き込み口４１、端子台６０および第二引き込み口４２の順に筐体１０に配置されている。この形態では、端子台６０は、入力側端子部６１よりも出力側端子部６２が第一引き込み口４１に近い。よって、同図に示すように、外部ケーブル５０が内部ケーブル３０と干渉し難い。そのため、図６に示す比較形態では、ケーブルガイド７０を具備していない。

【0043】

しかしながら、例えば、筐体１０の内部に設けられる機器の配置の都合などによって、第一引き込み口４１、第二引き込み口４２および端子台６０の配置が制限される場合がある。この場合、干渉部材ＩＦ０が生じ易い。そのため、本実施形態のケーブルガイド７０を具備すると好適である。

【0044】

２．実施形態の効果の一例
ケーブルガイド７０によれば、隔壁部７１を備える。よって、ケーブルガイド７０は、筐体１０の内部に設置されたときに、外部ケーブル５０が筐体１０の内部において引き回される領域（第一領域ＡＲ１）と、筐体１０の内部に設けられる干渉部材ＩＦ０が配置される領域（第二領域ＡＲ２）とに隔てることができる。つまり、ケーブルガイド７０は、筐体１０の内部に設置されたときに、外部ケーブル５０と干渉部材ＩＦ０との間の干渉を抑制することができる。ケーブルガイド７０について上述されていることは、ケーブルガイド７０を備えるプラズマヘッド９０用の制御装置８０についても同様に言える。

【符号の説明】

【0045】

１０：筐体、１１：第一面部、１２：第二面部、１２ａ：開口部、
１３：第三面部、２０：電源装置、２１：直流電源、２２：電力変換器、
２３：平滑器、２４：昇圧器、３０：内部ケーブル、
４１：第一引き込み口、４２：第二引き込み口、５０：外部ケーブル、
６０：端子台、６１：入力側端子部、６２：出力側端子部、
７０：ケーブルガイド、７１：隔壁部、７２：導入部、８０：制御装置、
９０：プラズマヘッド、ＡＲ１：第一領域、ＡＲ２：第二領域、
ＩＦ０：干渉部材、ＩＳ０：絶縁部材。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】