特許 7503897 高効率キャパシタ構造体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-13

(45)【発行日】2024-06-21

(54)【発明の名称】高効率キャパシタ構造体

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/822 20060101AFI20240614BHJP

   H01L 27/04 20060101ALI20240614BHJP

   H01L 21/82 20060101ALI20240614BHJP

【ＦＩ】

H01L27/04 C

H01L21/82 W

H01L27/04 D

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2019183192

(22)【出願日】2019-10-03

(65)【公開番号】P2020102611

(43)【公開日】2020-07-02

【審査請求日】2022-08-16

(31)【優先権主張番号】10-2018-0166408

(32)【優先日】2018-12-20

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】390019839

【氏名又は名称】三星電子株式会社

【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．

【住所又は居所原語表記】１２９，Ｓａｍｓｕｎｇ－ｒｏ，Ｙｅｏｎｇｔｏｎｇ－ｇｕ，Ｓｕｗｏｎ－ｓｉ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ－ｄｏ，Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110000671

【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】洪 赫 基

(72)【発明者】

【氏名】金 載 興

(72)【発明者】

【氏名】姜 誠 贊

(72)【発明者】

【氏名】尹 容 燮

(72)【発明者】

【氏名】李 忠 鎬

【審査官】西村 治郎

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０２２８８９４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特表２０１２－５０９５９３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２７／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／８２２

Ｈ０１Ｌ ２１／８２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに交互に積層される少なくとも１層の第１層、及び少なくとも１層の第２層を含み、
前記第１層は、第１方向に沿ってこの順に配置される第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極を含み、
前記第２層は、第２方向に沿って配置され、前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極と電気的に連結される第５電極、第６電極、第７電極及び第８電極を含み、
前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極は、それぞれベース部と、前記ベース部から突出するように設けられる複数のブランチ部と、を含み、
前記第５電極及び前記第７電極は、前記第２電極及び前記第４電極のブランチ部に対応し、前記第６電極及び前記第８電極は、前記第１電極及び前記第３電極のブランチ部に対応して設けられ、
前記第１電極は、前記第１層の水平方向に、前記第２電極と電気容量的にカップリングされると共に、前記第１層の垂直方向に、前記第６電極、第７電極及び第８電極と電気容量的にカップリングされるキャパシタ構造体。

【請求項2】

互いに交互に積層される少なくとも１層の第１層、及び少なくとも１層の第２層を含み、
前記第１層は、第１方向に沿ってこの順に配置される第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極を含み、
前記第２層は、第２方向に沿って配置され、前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極と電気的に連結される第５電極、第６電極、第７電極及び第８電極を含み、
前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極は、それぞれベース部と、前記ベース部から突出するように設けられる複数のブランチ部と、を含み、
前記第５電極及び前記第７電極は、前記第２電極及び前記第４電極のブランチ部に対応し、前記第６電極及び前記第８電極は、前記第１電極及び前記第３電極のブランチ部に対応して設けられ、
前記第２電極は、前記第１層の水平方向に、前記第１電極及び前記第３電極と電気容量的にカップリングされると共に、前記第１層の垂直方向に、前記第５電極、前記第７電極及び前記第８電極と電気容量的にカップリングされるキャパシタ構造体。

【請求項3】

前記第１電極は、前記第１層の水平方向に、前記第２電極と電気容量的にカップリングされると共に、前記第１層の垂直方向に、前記第６電極、第７電極及び第８電極と電気容量的にカップリングされることを特徴とする請求項２に記載のキャパシタ構造体。

【請求項4】

前記第２方向は、前記第１方向に対して垂直であることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のキャパシタ構造体。

【請求項5】

前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極それぞれのベース部は、前記第２方向に沿って延長され、前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極それぞれのブランチ部は、前記ベース部から、前記第１方向に突出するように設けられることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のキャパシタ構造体。

【請求項6】

前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極それぞれのブランチ部は、前記第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶように設けられることを特徴とする請求項５に記載のキャパシタ構造体。

【請求項7】

前記第１電極のブランチ部は、前記第２電極のブランチ部間に配置され、前記第２電極のブランチ部は、前記第３電極のブランチ部間に配置され、前記第３電極のブランチ部は、前記第４電極のブランチ部間に配置され、前記第４電極のブランチ部は、前記第１電極のブランチ部間に配置されるように設けられることを特徴とする請求項６に記載のキャパシタ構造体。

【請求項8】

前記第１電極と第５電極との間に設けられる少なくとも１つの第１コンタクト要素、前記第２電極と第６電極との間に設けられる少なくとも１つの第２コンタクト要素、前記第３電極と第７電極との間に設けられる少なくとも１つの第３コンタクト要素、及び前記第４電極と第８電極との間に設けられる少なくとも１つの第４コンタクト要素をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のキャパシタ構造体。

【請求項9】

前記第１コンタクト要素、第２コンタクト要素、第３コンタクト要素及び第４コンタクト要素は、前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極それぞれのベース部に対応する位置に設けられることを特徴とする請求項８に記載のキャパシタ構造体。

【請求項10】

前記少なくとも１層の第１層は、複数の第１層を含み、前記少なくとも１層の第２層は、前記複数の第１層間に設けられることを特徴とする請求項１～９のいずれか一項に記載のキャパシタ構造体。

【請求項11】

前記第１層の外側には、前記第１電極が位置し、前記第２層の外側には、前記第５電極が位置することを特徴とする請求項１０に記載のキャパシタ構造体。

【請求項12】

前記複数の第１層の外部を覆うように設けられることにより、前記第１電極と電気的に連結される第１プレート電極及び第２プレート電極をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のキャパシタ構造体。

【請求項13】

前記第２電極と、前記第４電極及び前記第８電極とは、電気容量的にカップリングされないように設けられることを特徴とする請求項１に記載のキャパシタ構造体。

【請求項14】

互いに交互に積層される少なくとも１層の第１層、及び少なくとも１層の第２層を含み、
前記第１層は、第１方向に沿ってこの順に配置される第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極を含み、
前記第２層は、第２方向に沿って配置され、前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極と電気的に連結される第５電極、第６電極、第７電極及び第８電極を含み、
前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極は、それぞれベース部と、前記ベース部から突出するように設けられる複数のブランチ部と、を含み、
前記第５電極及び前記第７電極は、前記第２電極及び前記第４電極のブランチ部に対応し、前記第６電極及び前記第８電極は、前記第１電極及び前記第３電極のブランチ部に対応して設けられ、
前記第１電極のベース部は、前記第１層の垂直方向に、前記第７電極と電気容量的にカップリングされ、前記第２電極のベース部は、前記第１層の垂直方向に、前記第８電極と電気容量的にカップリングされ、前記第３電極のベース部は、前記第１層の垂直方向に、前記第５電極と電気容量的にカップリングされ、前記第４電極のベース部は、前記第１層の垂直方向に、前記第６電極と電気容量的にカップリングされるキャパシタ構造体。

【請求項15】

互いに交互に積層される少なくとも１層の第１層、及び少なくとも１層の第２層を含み、
前記第１層は、第１方向に沿ってこの順に配置される第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極を含み、
前記第２層は、第２方向に沿って配置され、前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極と電気的に連結される第５電極、第６電極、第７電極及び第８電極を含み、
前記第１電極、第２電極、第３電極及び第４電極は、それぞれベース部と、前記ベース部から突出するように設けられる複数のブランチ部と、を含み、
前記第５電極及び前記第７電極は、前記第２電極及び前記第４電極のブランチ部に対応し、前記第６電極及び前記第８電極は、前記第１電極及び前記第３電極のブランチ部に対応して設けられ、
前記第６電極及び前記第８電極は、前記第１方向に沿って離隔され、互いに並ぶように設けられているキャパシタ構造体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、キャパシタ構造体に係り、詳細には、集積回路内の狭い面積に高集積度を具現することができる高効率のキャパシタ構造体に関する。

【背景技術】

【0002】

キャパシタは、センサ（sensor）、アンプ（Ａｍｐ）、フィルタ（filter）、アナログ・デジタルコンバータ（ＡＤＣ：analog-digital converter）、位相固定ループ（ＰＬＬ：phase-locked loop）、電力管理集積回路（ＰＭＩＣ：power management integrated circuit）のような集積回路において、必須的な素子である。そのようなキャパシタは、集積回路において、相対的に広い面積を占めているので、高集積度具現の構造体が要求される。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

本発明が解決しようとする課題は、集積回路内の狭い面積に高集積度を具現することができる高効率のキャパシタ構造体を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0004】

一側面において、
互いに交互に積層される少なくとも１層の第１層、及び少なくとも１層の第２層を含み、
前記第１層は、第１方向に沿って交互に配置される第１電極及び第２電極を含み、
前記第２層は、第２方向に沿って交互に配置され、前記第１電極及び第２電極と電気的に連結される第３電極及び第４電極を含み、
前記第１電極及び第２電極は、それぞれベース部（base portion）と、前記ベース部から突出するように設けられる複数のブランチ部（branch portion）と、を含み、
前記第３電極及び第４電極は、前記複数のブランチ部に対応し、互いに並ぶように設けられるキャパシタ構造体が提供される。

【0005】

前記第１電極は、前記第１層の水平方向に、前記第２電極と電気容量的にカップリングされると共に、前記第１層の垂直方向に、前記第４電極と電気容量的にもカップリングされる。また、前記第２電極は、前記第１層の水平方向に、前記第１電極と電気容量的にカップリングされると共に、前記第１層の垂直方向に、前記第３電極と電気容量的にもカップリングされる。

【0006】

前記第２方向は、前記第１方向に対して垂直にもなる。

【0007】

前記ベース部は、前記第２方向に沿って延長され、前記複数のブランチ部は、前記ベース部から、前記第１方向に突出するようにも設けられる。

【0008】

前記複数のブランチ部は、前記第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶようにも設けられる。ここで、前記第１電極のブランチ部は、前記第２電極のブランチ部間に配置されるようにも設けられる。

【0009】

前記第３電極は、前記第２電極のブランチ部と対応する位置に設けられ、前記第４電極は、前記第１電極のブランチ部と対応する位置にも設けられる。

【0010】

前記キャパシタ構造体は、前記第１電極と第３電極との間に設けられる少なくとも１つの第１コンタクト要素、及び前記第２電極と第４電極との間に設けられる少なくとも１つの第２コンタクト要素をさらに含んでもよい。ここで、前記第１コンタクト要素及び第２コンタクト要素は、前記ベース部に対応する位置にも設けられる。

【0011】

前記少なくとも１層の第１層は、複数の第１層を含み、前記少なくとも１層の第２層は、前記複数の第１層間にも設けられる。ここで、前記第１層の外側には、前記第１電極が位置し、前記第２層の外側には、前記第３電極が位置することができる。前記キャパシタ構造体は、前記複数の第１層の外部を覆うように設けられることにより、前記第１電極と電気的に連結される第１プレート電極及び第２プレート電極をさらに含んでもよい。

【0012】

他の側面において、
互いに交互に積層される少なくとも１層の第１層、及び少なくとも１層の第２層を含み、
前記第１層は、第１方向に沿って配置される複数の電極を含み、
前記第２層は、前記第１層の電極と電気的に連結される複数の電極を含み、
前記第１層の電極は、それぞれベース部と、前記ベース部から突出するように設けられる複数のブランチ部と、を含み、
前記第２層の電極は、前記複数のブランチ部に対応して設けられるキャパシタ構造体が提供される。

【0013】

互いに電気的に連結されていない前記第１層の電極と、前記第２層の電極とは、電気容量的にカップリングされるようにも設けられる。ここで、前記第２層の電極は、前記複数のブランチ部に対応し、互いに並ぶようにも設けられる。

【0014】

互いに電気的に連結されていない前記第１層の電極と、前記第２層の電極とのうち一部は、電気容量的にカップリングされないようにも設けられる。

【0015】

前記ベース部は、前記第１方向に垂直である第２方向に沿って延長され、前記複数のブランチ部は、前記ベース部から、前記第１方向に突出するようにも設けられる。

【0016】

前記複数のブランチ部は、前記第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶようにも設けられる。

【0017】

前記キャパシタ構造体は、互いに電気的に連結される前記第１層の電極と、前記第２層の電極との間に設けられる少なくとも１つのコンタクト要素をさらに含んでもよい。

【発明の効果】

【0018】

例示的な実施形態によるキャパシタ構造体によれば、電気容量のカップリング面積が向上することにより、単位面積当たりの電気容量値を向上させることができ、集積回路において、高集積度を有するキャパシタ構造体を狭い面積に具現することができる。また、キャパシタ構造体の電極と、外部ラインとの電気的な連結性が向上し、ラウティングのための面積を縮めることができるので、集積効率を高めることができ、コストを節減することができ、内部抵抗も減らすことができる。そして、キャパシタ構造体の一部分が損傷される場合にも、全体電気容量にはほとんど変化がない強靭な構造を具現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】例示的な実施形態によるキャパシタ構造体の分離斜視図である。

【図2A】図１に図示されたキャパシタ構造体の第１層を図示した斜視図である。

【図2B】図１に図示されたキャパシタ構造体の第２層を図示した斜視図である。

【図3A】図１に図示されたキャパシタ構造体の第１層を図示した平面図である。

【図3B】図１に図示されたキャパシタ構造体の第２層を図示した平面図である。

【図4A】図１のＩ－Ｉ’線に沿って切り取った断面図である。

【図4B】図１のＩＩ－ＩＩ’線に沿って切り取った断面図である。

【図5A】既存キャパシタ構造体の一例を図示した平面図である。

【図5B】例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【図6】他の例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【図7】さらに他の例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【図8】さらに他の例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、添付された図面を参照し、例示的な実施形態について詳細に説明する。以下の図面において、同一参照符号は、同一構成要素を称し、図面上において、各構成要素の大きさは、説明の明瞭性及び便宜性のために誇張されてもいる。一方、以下に説明される実施形態は、単に例示的なものに過ぎず、そのような実施形態から多様な変形が可能である。

【0021】

以下において、「上部」や「上」と記載されたものは、接触して真上にあるものだけではなく、非接触で上にあるものも含んでもよい。単数の表現は、文脈上明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。また、ある部分がある構成要素を「含む」とするとき、それは、特別に反対となる記載がない限り、他の構成要素を除くものではなく、他の構成要素をさらに含んでもよいということを意味する。

【0022】

「前記」の用語、及びそれと類似した指示用語の使用は、単数及び複数のいずれにも該当する。方法を構成する段階について、明白に順序を記載するか、あるいはそれと反対になる記載がなければ、前記段階は、適切な順序で遂行される。必ずしも前記段階の記載順序に限定されるものではない。全ての例、または例示的な用語の使用は、単に技術的思想について詳細に説明するためのものであり、特許請求の範囲によって限定されない以上、当該例、または例示的な用語によって範囲が限定されるものではない。

【0023】

図１は、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体の分離斜視図である。図２Ａ及び図２Ｂは、図１に図示された第１層及び第２層の斜視図であり、図３Ａ及び図３Ｂは、図１に図示された第１層及び第２層の平面図である。

【0024】

図１ないし図３Ｂを参照すれば、キャパシタ構造体１００は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に交互に積層される少なくとも１層の第１層Ｍ１と、少なくとも１層の第２層Ｍ２と、を含む。図１には、第１層Ｍ１ないし第５層Ｍ５がｚ方向に順次に積層されたキャパシタ構造体が例示的に図示されている。ここで、第３層Ｍ３及び第５層Ｍ５は、第１層Ｍ１と同一層であり、第４層Ｍ４は、第２層Ｍ２と同一層である。従って、図１においては、３層の第１層Ｍ１と、２層の第２層Ｍ２とがｚ方向に交互に積層されていると見ることができる。

【0025】

第１層Ｍ１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に沿って交互に配置される少なくとも１つの第１電極１１０、及び少なくとも１つの第２電極１２０を含んでもよい。ここで、第１電極１１０及び第２電極１２０には、互いに異なる電圧が印加される。図２Ａ及び図３Ａには、第１層Ｍ１において、２個の第１電極１１０と、２個の第２電極１２０とがｙ方向に沿って交互に配置される場合が例示的に図示されている。しかし、それに限定されるものではなく、第１層Ｍ１に設けられる第１電極１１０及び第２電極１２０の個数は、多様にも変形される。そのような第１電極１１０及び第２電極１２０は、導電性にすぐれる金属物質を含む。

【0026】

第１電極１１０は、ベース部（base portion）１１１と、該ベース部１１１から突出するように設けられる複数のブランチ部（branch portion）１１２と、を含んでもよい。ベース部１１１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に垂直である第２方向（例えば、ｘ方向）に延長されるように設けられ、複数のブランチ部１１２は、ベース部１１１から第１方向に突出するようにも設けられる。ここで、複数のブランチ部１１２は、第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶようにも設けられる。

【0027】

第１層Ｍ１のエッジ部分に位置する第１電極１１０においては、複数のブランチ部１１２が、ベース部１１１の一側から突出するように設けられ、第１層Ｍ１の中間部分に位置する第１電極１１０においては、複数のブランチ部１１２が、ベース部１１１の両側から突出するようにも設けられる。図２Ａ及び図３Ａには、第１電極１１０のベース部１１１一方から、４個のブランチ部１１２が、第１方向（例えば、ｙ方向）に突出するように設けられた場合が例示的に図示されている。

【0028】

第２電極１２０は、第１電極１１０と同様に、ベース部１２１と、該ベース部１２１から突出するように設けられる複数のブランチ部１２２と、を含んでもよい。ベース部１２１は、第１方向に垂直である第２方向に延長されるように設けられ、複数のブランチ部１２２は、ベース部１２１から第１方向に突出するようにも設けられる。複数のブランチ部１２２は、第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶようにも設けられる。ここで、第２電極１２０のブランチ部１２２は、第１電極１１０のブランチ部１１２間にも配置される。

【0029】

第１層Ｍ１のエッジ部分に位置する第２電極１２０においては、複数のブランチ部１２２が、ベース部１２１の一側から突出するように設けられ、第１層Ｍ１の中間部分に位置する第２電極１２０においては、複数のブランチ部１２２が、ベース部１２１の両側から突出するようにも設けられる。図２Ａ及び図３Ａには、第２電極１２０のベース部１２１一方から４個のブランチ部１２２が、ｙ方向に突出するように設けられた場合が例示的に図示されている。

【0030】

第１層Ｍ１には、複数のコンタクト要素（contact element）１５１，１５２が設けられてもよい。具体的には、複数のコンタクト要素１５１，１５２は、第１電極１１０に設けられる少なくとも１つの第１コンタクト要素１５１と、第２電極１２０に設けられる少なくとも１つの第２コンタクト要素１５２と、を含んでもよい。

【0031】

第１コンタクト要素１５１は、第１層Ｍ１の第１電極１１０と、第２層Ｍ２の第３電極１３０とを電気的に連結するものであり、導電性物質を含んでもよい。そのような第１コンタクト要素１５１は、第１電極１１０のベース部１１１に設けられてもよい。しかし、必ずしもそれに限定されるものではなく、第１コンタクト要素１５１は、第１電極１１０のブランチ部１１２にも設けられる。

【0032】

第２コンタクト要素１５２は、第１層Ｍ１の第２電極１２０と、第２層Ｍ２の第４電極１４０とを電気的に連結するものであり、導電性物質を含んでもよい。そのような第２コンタクト要素１５２は、第２電極１２０のベース部１２１に設けられてもよい。しかし、必ずしもそれに限定されるものではなく、第２コンタクト要素１５２は、第２電極１２０のブランチ部１２２にも設けられる。

【0033】

第２層Ｍ２は、第２方向（例えば、ｘ方向）に沿って交互に配置される少なくとも１つの第３電極１３０、及び少なくとも１つの第４電極１４０を含んでもよい。第３電極１３０及び第４電極１４０には、互いに異なる電圧が印加される。ここで、第３電極１３０は、第１コンタクト要素１５１により、第１電極１１０と電気的に連結されることにより、第１電極１１０と同一電圧が印加される。そして、第４電極１４０は、第２コンタクト要素１５２により、第２電極１２０と電気的に連結されることにより、第２電極１２０と同一電圧が印加される。従って、第１電極１１０及び第４電極１４０には、互いに異なる電圧が印加され、第２電極１２０及び第３電極１３０には、互いに異なる電圧が印加される。

【0034】

図２Ｂ及び図３Ｂには、第２層Ｍ２において、４個の第３電極１３０と、４個の第４電極１４０とがｘ方向に沿って交互に配置される場合が例示的に図示されている。しかし、それに限定されるものではなく、第２層Ｍ２に設けられる第３電極１３０及び第４電極１４０の個数は、多様にも変形される。そのような第３電極１３０及び第４電極１４０は、導電性にすぐれる金属物質を含む。ここで、第３電極１３０及び第４電極１４０は、それぞれ第１方向（例えば、ｙ方向）に延長されたライン形態を有することができ、そのようなライン形態の第３電極１３０及び第４電極１４０は、互いに並ぶようにも配置される。

【0035】

第１層Ｍ１に設けられた第１電極１１０のブランチ部１１２は、第２層Ｍ２の第４電極１４０に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第４電極１４０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極１１０のブランチ部１１２と垂直方向（例えば、ｚ方向）に一致するようにも配置される。そして、第１電極１１０のベース部１１１に設けられた第１コンタクト要素１５１により、第１電極１１０と第３電極１３０とが電気的に連結されることができる。

【0036】

第１層Ｍ１に設けられた第２電極１２０のブランチ部１２２は、第２層Ｍ２の第３電極１３０に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第３電極１３０は、第１層Ｍ１に設けられた第２電極１２０のブランチ部１２２と垂直方向に一致するようにも配置される。そして、第２電極１２０のベース部１２１に設けられた第２コンタクト要素１５２により、第２電極１２０と第４電極１４０とが電気的に連結される。

【0037】

第２層Ｍ２には、複数のコンタクト要素１５１，１５２が設けられてもよい。具体的には、第３電極１３０には、少なくとも１つの第１コンタクト要素１５１が設けられており、そのような第１コンタクト要素１５１は、第１層Ｍ１に設けられる第１電極１１０のベース部１１１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第１コンタクト要素１５１は、第３電極１３０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第１電極１１０との電気的連結のためのものである。

【0038】

第４電極１４０には、少なくとも１つの第２コンタクト要素１５２が設けられており、そのような第２コンタクト要素１５２は、第１層Ｍ１に設けられる第２電極１２０のベース部１２１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第２コンタクト要素１５２は、第４電極１４０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第２電極１２０との電気的連結のためのものである。

【0039】

第２層Ｍ２上には、第１層Ｍ１と同一の第３層Ｍ３が積層されており、第３層Ｍ３上には、第２層Ｍ２と同一の第４層Ｍ４が積層されている。そして、第４層Ｍ４上には、第１層Ｍ１と同一の第５層Ｍ５が積層されている。

【0040】

図４Ａは、図１に図示されたキャパシタ構造体のＩ－Ｉ’線に沿って切り取った断面図である。

【0041】

図４Ａを参照すれば、第１電極１１０のブランチ部１１２と、第２電極１２０のブランチ部１２２は、第２方向（例えば、ｘ方向）に沿って交互に配置されており、第３電極１３０と第４電極１４０は、第２方向（例えば、ｘ方向）に沿って交互に配置されている。

【0042】

そして、第１電極１１０のブランチ部１１２と、第４電極１４０は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に交互に配置されており、第２電極１２０のブランチ部１２２と、第３電極１３０は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に交互に配置されている。

【0043】

前述のように、第１電極１１０及び第２電極１２０には、互いに異なる電圧が印加され、第３電極１３０及び第４電極１４０には、互いに異なる電圧が印加される。そして、第１及び第３電極１１０，１３０には、同一電圧が印加されるので、第１電極１１０及び第４電極１４０には、互いに異なる電圧が印加され、第２電極１２０及び第４電極１４０には、同一電圧が印加されるので、第２電極１２０及び第３電極１３０には、互いに異なる電圧が印加される。

【0044】

第１電極１１０のブランチ部１１２は、第１層Ｍ１の水平方向に、第２電極１２０のブランチ部１２２と電気容量的に（in capacitance）カップリングされると共に、第１層Ｍ１の垂直方向に、第４電極１４０と電気容量的にもカップリングされる。また、第２電極１２０のブランチ部１２２は、第１層Ｍ１の水平方向に、第１電極１１０のブランチ部１１２と電気容量的にカップリングされると共に、第１層Ｍ１の垂直方向に、第３電極１３０と電気容量的にもカップリングされる。それにより、電気容量のカップリング面積を増大させることができる。

【0045】

図４Ｂは、図１に図示されたキャパシタ構造体のＩＩ－ＩＩ’線に沿って切り取った断面図である。

【0046】

図４Ｂを参照すれば、第３電極１３０と第４電極１４０は、第２方向（例えば、ｘ方向）に沿って交互に配置されている。そして、第１電極１１０のベース部１１１と、第４電極１４０は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に交互に配置されている。一方、図面には図示されていないが、第２電極１２０のベース部１２１と、第３電極１３０は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に交互に配置されている。

【0047】

第１電極１１０のベース部１１１は、第１層Ｍ１の水平方向に、第２電極１２０のブランチ部１２２と電気容量的にカップリングされると共に、第１層Ｍ１の垂直方向に、第４電極１４０と電気容量的にもカップリングされる。また、第２電極１２０のベース部１２１は、第１層Ｍ１の水平方向に、第１電極１１０のブランチ部１１２と電気容量的にカップリングされると共に、第１層Ｍ１の垂直方向に、第３電極１３０と電気容量的にもカップリングされる。従って、第１電極１１０のベース部１１１と第４電極１４０との間、及び第２電極１２０のベース部１２１と第３電極１３０との間にも、電気容量のカップリングが形成されることにより、カップリング面積を向上させることができる。

【0048】

以上では、３層の第１層Ｍ１と、２層の第２層Ｍ２とが交互に積層される場合について説明した。しかし、それらに限定されるものではなく、３層の第２層Ｍ２と、２層の第１層Ｍ１とが交互に積層されてもよい。また、以上では、５層の層が積層された場合について説明したが、キャパシタ構造体を構成する層の層数は、多様にも変形される。

【0049】

図５Ａは、既存キャパシタ構造体の一例を図示した平面図である。

【0050】

図５Ａを参照すれば、既存キャパシタ構造体２００は、同一形状を有する複数の層が積層された構造を有しており、この複数の層それぞれは、第１電極２１０及び第２電極２２０を含む。第１電極２１０は、ベース部２１１と、該ベース部２１１から突出された複数のブランチ部２１２と、を含み、第２電極２２０は、ベース部２２１と、該ベース部２２１から突出された複数のブランチ部２２２と、を含む。ここで、第１電極２１０のブランチ部２１２と、第２電極２２０のブランチ部２２２とは、交互に配置されている。

【0051】

図５Ａにおいて、Ｂ領域は、Ａ領域が損傷されても、正常に作動する領域を示す。図５Ａに図示されているように、既存キャパシタ構造体２００においては、Ａ領域が損傷される場合、Ｂ領域だけが正常に作動することができるので、全体電気容量（capacitance）に大きな損失を被ってしまう。

【0052】

図５Ｂは、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【0053】

図５Ｂを参照すれば、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００は、少なくとも１層の第１層Ｍ１（図１）、及び少なくとも１層の第２層Ｍ２（図１）が交互に積層された構造を有している。このキャパシタ構造体１００については説明したので、詳細な説明は、省略する。第１層Ｍ１は、第１方向に交互に配置される第１電極１１０及び第２電極２１０を含み、第２層Ｍ２は、第２方向に交互に配置される第３電極１３０及び第４電極１４０を含む。第１電極１１０及び第２電極１２０それぞれは、ベース部１１１，２１１、及びこのベース部１１１，２１１から突設される複数のブランチ部１１２，２１２を含む。ここで、第１電極１１０のブランチ部１１２と、第２電極２１０のブランチ部２１２とは、交互に配置されている。そして、第３電極１３０及び第４電極１４０は、互いに並んだライン形態を有している。

【0054】

図５ＢにおいてＤ領域は、Ｃ領域が損傷されても、正常に作動する領域を示す。図５Ｂに図示されているように、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００においては、Ｃ領域が損傷される場合にも、キャパシタ構造体１００の大部分を占めるＤ領域が正常に作動することにより、全体電気容量には、大きい影響を及ぼさないということが分かる。そのように、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００は、一部領域が損傷されても、全体電気容量には大きい影響を及ぼさない強靭な構造を具現することができる。

【0055】

図５Ａに図示された既存キャパシタ構造体２００と、図５Ｂに図示された例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００とを同一面積（１．９ｘ１２．９μｍ^２）で製作し、電気容量値を、シミュレーションを利用して測定した。ここで、電極の幅、及び電極間の間隔は、同一にし、いずれも５層構造で製作した。

【0056】

図５Ａに図示された既存キャパシタ構造体２００の電気容量値は、およそ３１．７５ｆＦ（femto Farad）であり、図５Ｂに図示された例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００の電気容量値は、およそ３９．３８ｆＦであった。従って、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００は、既存キャパシタ構造体２００に比べ、およそ２４％ほど電気容量値が向上したということが分かる。

【0057】

図５Ａに図示された既存キャパシタ構造体２００においては、Ａ領域が損傷される前後での電気容量値が、それぞれ３１．７５ｆＦ及び１３．６１ｆＦと測定され、およそ５７％ほど電気容量値が低減した。それに反して、図５Ｂに図示された例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００においては、Ｃ領域が損傷される前後の電気容量値が、それぞれ３９．３８ｆＦ及び３７．３９ｆＦと測定され、およそ５％ほど電気容量値が低減した。そのように、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００は、一部領域が損傷されても、全体電気容量にはほとんど変化がない強靭な構造を有しているということが分かる。

【0058】

既存のキャパシタ構造体２００においては、同一形状を有する複数の層が積層されることにより、単位面積当たりの電気容量値が小さく、大きい電気容量値を得るために、面積を増加させることになれば、コストが増大し、内部抵抗（intrinsic resistance）も上昇するという問題が発生してしまう。また、キャパシタ構造体２００の電極と外部ラインとの電気的な連結性が落ちるために、ラウティング（routing）のために、追加的な面積が必要になり、それにより、コストが増大してしまう。そして、キャパシタ構造体２００の一部分が損傷される場合には、全体電気容量に大きな損失を被ってしまう。

【0059】

それに反して、例示的な実施形態によるキャパシタ構造体１００においては、第１電極１１０は、水平方向に、第２電極１２０と電気容量的にカップリングされると共に、垂直方向に、第４電極１４０にも電気容量的にカップリングされる。また、第２電極１２０は、水平方向に、第１電極１１０と電気容量的にカップリングされると共に、垂直方向に、第３電極１３０にも電気容量的にカップリングされる。そして、第１電極１１０のベース部１１１と、第４電極１４０との間、及び第２電極１２０のベース部１１１と、第３電極１３０との間にも、電気容量のカップリングが形成される。そのように、電気容量のカップリング面積が向上するので、単位面積当たりの電気容量値が向上し、集積回路において、高集積度を有するキャパシタ構造体１００を狭い面積に具現することができる。

【0060】

また、キャパシタ構造体１００の電極と、外部ラインとの電気的な連結性が向上し、ラウティングのための面積を減らすことができるので、集積効率を高めることができ、コストを節減することができ、内部抵抗も、減らすことができる。そして、キャパシタ構造体１００の一部分が損傷される場合にも、全体電気容量には、ほとんど変化がない強靭な構造を有することができる。

【0061】

図６は、他の例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【0062】

図６を参照すれば、キャパシタ構造体３００は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に交互に積層される少なくとも１層の第１層Ｍ１と、少なくとも１層の第２層Ｍ２と、を含む。図６には、ｚ方向に順次に積層された第１層Ｍ１、第２層Ｍ２及び第３層Ｍ３それぞれの平面図が図示されている。ここで、第３層Ｍ３は、第１層Ｍ１と同一層であるので、図６においては、２層の第１層Ｍ１と、１層の第２層Ｍ２とがｚ方向に交互に積層されていると見ることができる。

【0063】

第１層Ｍ１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に沿って周期的に配置される少なくとも１つの第１電極３１０、少なくとも１つの第２電極３２０、少なくとも１つの第３電極３３０、及び少なくとも１つの第４電極３４０を含んでもよい。図６には、第１層Ｍ１の両側エッジ部分に、それぞれ第１電極３１０が設けられ、第１層Ｍ１の真ん中部分に、第２電極３２０、第３電極３３０及び第４電極３４０が設けられる場合が例示的に図示されている。しかし、第１層Ｍ１に設けられる第１電極３１０、第２電極３２０、第３電極３３０及び第４電極３４０の個数は、多様にも変形される。ここで、第１電極３１０、第２電極３２０、第３電極３３０及び第４電極３４０には、それぞれ異なる電圧が印加される。そのような第１電極３１０、第２電極３２０、第３電極３３０及び第４電極３４０は、導電性にすぐれる金属物質を含む。

【0064】

第１電極３１０、第２電極３２０、第３電極３３０及び第４電極３４０それぞれは、ベース部３１１，３２１，３３１，３４１と、該ベース部３１１，３２１，３３１，３４１から突出するように設けられる複数のブランチ部３１２，３２２，３３２，３４２と、を含んでもよい。ここで、ベース部３１１，３２１，３３１，３４１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に垂直である第２方向（例えば、ｘ方向）に延長されるように設けられ、複数のブランチ部３１２，３２２，３３２，３４２は、ベース部３１１，３２１，３３１，３４１から第１方向に突出するようにも設けられる。ここで、複数のブランチ部３１２，３２２，３３２，３４２は、第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶようにも設けられる。ここで、各電極のブランチ部３１２，３２２，３３２，３４２は、隣接する他の電極のブランチ部３１２，３２２，３３２，３４２間にも配置される。

【0065】

第１層Ｍ１には、複数のコンタクト要素３５１，３５２，３５３，３５４が設けられてもよい。具体的には、第１電極３１０、第２電極３２０、第３電極３３０及び第４電極３４０には、それぞれ第１コンタクト要素３５１、第２コンタクト要素３５２、第３コンタクト要素３５３及び第４コンタクト要素３５４が設けられてもよい。第１コンタクト要素３５１は、第１層Ｍ１の第１電極３１０と、第２層Ｍ２の第５電極３５０とを電気的に連結するものであり、第１電極３１０のベース部３１１に設けられてもよい。第２コンタクト要素３５２は、第１層Ｍ１の第２電極３２０と、第２層Ｍ２の第６電極３６０とを電気的に連結するものであり、第２電極３２０のベース部３２１に設けられてもよい。

【0066】

第３コンタクト要素３５３は、第１層Ｍ１の第３電極３３０と、第２層Ｍ２の第７電極３７０とを電気的に連結するものであり、第３電極３３０のベース部３３１に設けられてもよい。第４コンタクト要素３５４は、第１層Ｍ１の第４電極３４０と、第２層Ｍ２の第８電極３８０とを電気的に連結するものであり、第４電極３４０のベース部３４１に設けられてもよい。

【0067】

第２層Ｍ２は、第２方向（例えば、ｘ方向）に沿って交互に配置される少なくとも１つの第５電極３５０、少なくとも１つの第６電極３６０、少なくとも１つの第７電極３７０、及び少なくとも１つの第８電極３８０を含んでもよい。第５電極３５０、第６電極３６０、第７電極３７０及び第８電極３８０には、互いに異なる電圧が印加される。

【0068】

第５電極３５０は、第１コンタクト要素３５１により、第１電極３１０と電気的に連結されることにより、第１電極３１０と同一電圧が印加される。第６電極３６０は、第２コンタクト要素３５２により、第２電極３２０と電気的に連結されることにより、第２電極３２０と同一電圧が印加される。第７電極３７０は、第３コンタクト要素３５３により、第３電極３３０と電気的に連結されることにより、第３電極３３０と同一電圧が印加される。第８電極３８０は、第４コンタクト要素３５４により、第４電極３４０と電気的に連結されることにより、第４電極３４０と同一電圧が印加される。

【0069】

図６には、第２層Ｍ２に、２個の第５電極３５０、２個の第６電極３６０、第２個の第７電極３７０、及び２個の第８電極３８０が、ｘ方向に沿って周期的に配置される場合が例示的に図示されている。しかし、それに限定されるものではなく、第２層Ｍ２に設けられる第５電極３５０、第６電極３６０、第７電極３７０及び第８電極３８０の個数は、多様にも変形される。そのような第５電極３５０、第６電極３６０、第７電極３７０及び第８電極３８０は、導電性にすぐれる金属物質を含む。ここで、第５電極３５０、第６電極３６０、第７電極３７０及び第８電極３８０は、それぞれ第１方向（例えば、ｙ方向）に延長されたライン形態を有することができ、そのようなライン形態の第５電極３５０、第６電極３６０、第７電極３７０及び第８電極３８０は、互いに並ぶようにも配置される。

【0070】

第２層Ｍ２の第５電極３５０は、第１層Ｍ１に設けられた第２電極３２０及び第４電極３４０のブランチ部３２２，３４２に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第５電極３５０は、第１層Ｍ１に設けられた第２電極３２０及び第４電極３４０のブランチ部３２２，３４２と垂直方向（例えば、ｚ方向）に一致するようにも配置される。ここで、第１電極３１０のベース部３１１に設けられた第１コンタクト要素３５１により、第１電極３１０と第５電極３５０とが電気的に連結される。

【0071】

第２層Ｍ２の第６電極３６０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極３１０及び第３電極３３０のブランチ部３１２，３３２に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第６電極３６０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極３１０及び第３電極３３０のブランチ部３１２，３３２と垂直方向に一致するようにも配置される。ここで、第２電極３２０のベース部３２１に設けられた第２コンタクト要素３５２により、第２電極３２０と第６電極３６０とが電気的に連結される。

【0072】

第２層Ｍ２の第７電極３７０は、第１層Ｍ１に設けられた第２電極３２０及び第４電極３４０のブランチ部３２２，３４２に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第７電極３７０は、第１層Ｍ１に設けられた第２電極３２０及び第４電極３４０のブランチ部３２２，３４２と垂直方向に一致するようにも配置される。ここで、第３電極３３０のベース部３３１に設けられた第３コンタクト要素３５３により、第３電極３３０と第７電極３７０とが電気的に連結される。

【0073】

第２層Ｍ２の第８電極３８０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極３１０及び第３電極３３０のブランチ部３１２，３３２に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第８電極３８０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極３１０及び第３電極３３０のブランチ部３１２，３３２と垂直方向に一致するようにも配置される。ここで、第４電極３４０のベース部３４１に設けられた第４コンタクト要素３５４により、第４電極３４０と第８電極３８０とが電気的に連結される。

【0074】

第２層Ｍ２には、複数のコンタクト要素３５１，３５２，３５３，３５４が設けられてもよい。具体的には、第５電極３５０には、少なくとも１つの第１コンタクト要素３５１が設けられており、第１コンタクト要素３５１は、第１層Ｍ１に設けられる第１電極３１０のベース部３１１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第１コンタクト要素３５１は、第５電極３５０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第１電極３１０との電気的連結のためのものである。

【0075】

第６電極３６０には、少なくとも１つの第２コンタクト要素３５２が設けられており、第２コンタクト要素３５２は、第１層Ｍ１に設けられる第２電極３２０のベース部３２１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第２コンタクト要素３５２は、第６電極３６０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第２電極３２０との電気的連結のためのものである。

【0076】

第７電極３７０には、少なくとも１つの第３コンタクト要素３５３が設けられており、第３コンタクト要素３５３は、第１層Ｍ１に設けられる第３電極３３０のベース部３３１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第３コンタクト要素３５３は、第７電極３７０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第３電極３３０との電気的連結のためのものである。第８電極３８０には、少なくとも１つの第４コンタクト要素３５４が設けられており、そのような第４コンタクト要素３５４は、第１層Ｍ１に設けられる第４電極３４０のベース部３４１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第４コンタクト要素３５４は、第８電極３８０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第４電極３４０との電気的連結のためのものである。第２層Ｍ２上には、第１層Ｍ１と同一の第３層Ｍ３が積層されている。

【0077】

以上のようなキャパシタ構造体３００においては、例えば、第１層Ｍ１に設けられた第２電極３２０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極３１０及び第３電極３３０と電気容量的にカップリングされると共に、第２層Ｍ２に設けられた第５電極３５０、第７電極３７０及び第８電極３８０とも電気容量的にカップリングされるので、多数のカップリングを形成することができる。また、本実施形態によるキャパシタ構造体３００は、前述の実施形態によるキャパシタ構造体１００において、コンタクト要素１５１，１５２の位置を調整することにより、容易に具現される。

【0078】

以上においては、２層の第１層Ｍ１、及び１層の第２層Ｍ２が交互に積層された３層構造のキャパシタ構造体３００について説明したが、本実施形態は、それに限定されるものではなく、第１層Ｍ１及び第２層Ｍ２の層数は、多様にも変形される。

【0079】

図７は、さらに他の例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【0080】

図７を参照すれば、キャパシタ構造体４００は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に交互に積層される少なくとも１層の第１層Ｍ１と、少なくとも１層の第２層Ｍ２と、を含む。図７には、ｚ方向に順次に積層された第１層Ｍ１、第２層Ｍ２及び第３層Ｍ３それぞれの平面図が図示されている。ここで、第３層Ｍ３は、第１層Ｍ１と同一層であるので、図７においては、２層の第１層Ｍ１と、１層の第２層Ｍ２とがｚ方向に交互に積層されていると見ることができる。

【0081】

第１層Ｍ１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に沿って周期的に配置される少なくとも１つの第１電極４１０、少なくとも１つの第２電極４２０、少なくとも１つの第３電極４３０、及び少なくとも１つの第４電極４４０を含んでもよい。図７には、第１層Ｍ１の両側エッジ部分に、それぞれ第１電極４１０が設けられ、第１層Ｍ１の真ん中部分に、第２電極４２０、第３電極４３０及び第４電極４４０が設けられる場合が例示的に図示されている。ここで、第１電極４１０、第２電極４２０、第３電極４３０及び第４電極４４０には、それぞれ異なる電圧が印加される。

【0082】

第１電極４１０、第２電極４２０、第３電極４３０及び第４電極４４０それぞれは、ベース部４１１，４２１，４３１，４４１と、該ベース部４１１，４２１，４３１，４４１から突出するように設けられる複数のブランチ部４１２，４２２，４３２，４４２とを含んでもよい。ここで、ベース部４１１，４２１，４３１，４４１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に垂直である第２方向（例えば、ｘ方向）に延長されるように設けられ、複数のブランチ部４１２，４２２，４３２，４４２は、ベース部４１１，４２１，４３１，４４１から第１方向に突出するようにも設けられる。ここで、複数のブランチ部４１２，４２２，４３２，４４２は、第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶようにも設けられる。ここで、各電極４１０，４２０，４３０，４４０のブランチ部４１２，４２２，４３２，４４２は、隣接する他の電極４１０，４２０，４３０，４４０のブランチ部４１２，４２２，４３２，４４２間にも配置される。

【0083】

第１層Ｍ１には、複数のコンタクト要素４５１，４５２，４５３，４５４が設けられてもよい。具体的には、第１電極４１０、第２電極４２０、第３電極４３０及び第４電極４４０には、それぞれ第１コンタクト要素４５１、第２コンタクト要素４５２、第３コンタクト要素４５３及び第４コンタクト要素４５４が設けられてもよい。第１コンタクト要素４５１は、第１層Ｍ１の第１電極４１０と、第２層Ｍ２の第５電極４５０とを電気的に連結するものであり、第１電極４１０のベース部４１１に設けられてもよい。第２コンタクト要素４５２は、第１層Ｍ１の第２電極４２０と、第２層Ｍ２の第６電極４６０とを電気的に連結するものであり、第２電極４２０のベース部４２１に設けられてもよい。

【0084】

第３コンタクト要素４５３は、第１層Ｍ１の第３電極４３０と、第２層Ｍ２の第７電極４７０とを電気的に連結するものであり、第３電極４３０のベース部４３１に設けられてもよい。第４コンタクト要素４５４は、第１層Ｍ１の第４電極４４０と、第２層Ｍ２の第８電極４８０とを電気的に連結するものであり、第４電極４４０のベース部４４１に設けられてもよい。

【0085】

第２層Ｍ２は、第２方向（例えば、ｘ方向）に沿って配置される少なくとも１つの第５電極４５０、少なくとも１つの第６電極４６０、少なくとも１つの第７電極４７０、及び少なくとも１つの第８電極４８０を含んでもよい。第５電極４５０、第６電極４６０、第７電極４７０及び第８電極４８０には、互いに異なる電圧が印加される。

【0086】

第５電極４５０は、第１コンタクト要素４５１により、第１電極４１０と電気的に連結されることにより、第１電極４１０と同一電圧が印加される。第６電極４６０は、第２コンタクト要素４５２により、第２電極４２０と電気的に連結されることにより、第２電極４２０と同一電圧が印加される。第７電極４７０は、第３コンタクト要素４５３により、第３電極４３０と電気的に連結されることにより、第３電極４３０と同一電圧が印加される。第８電極４８０は、第４コンタクト要素４５４により、第４電極４４０と電気的に連結されることにより、第４電極４４０と同一電圧が印加される。

【0087】

第５電極４５０及び第７電極４７０は、第１方向（例えば、ｙ方向）に延長されたライン形態を有することができる。そして、第６電極４６０は、第１層Ｍ１の第１電極４１０及び第２電極４２０が設けられる領域に対応する領域にライン形態に配置され、第８電極４８０は、第１層の第１電極４１０及び第４電極４４０が設けられる領域に対応する領域にライン形態にも配置される。第２層Ｍ２に設けられた電極４５０，４６０，４７０，４８０は、第１層Ｍ１に設けられた電極４１０，４２０，４３０，４４０のブランチ部４１２，４２２，４３２，４４２に対応するようにも設けられる。

【0088】

第２層Ｍ２には、複数のコンタクト要素４５１，４５２，４５３，４５４が設けられてもよい。具体的には、第５電極４５０には、少なくとも１つの第１コンタクト要素４５１が設けられており、第１コンタクト要素４５１は、第１層Ｍ１に設けられる第１電極４１０のベース部４１１に対応する位置にも設けられる。第６電極４６０には、少なくとも１つの第２コンタクト要素４５２が設けられており、第２コンタクト要素４５２は、第１層Ｍ１に設けられる第２電極４２０のベース部４２１に対応する位置にも設けられる。

【0089】

第７電極４７０には、少なくとも１つの第３コンタクト要素４５３が設けられており、第３コンタクト要素４５３は、第１層Ｍ１に設けられる第３電極４３０のベース部４３１に対応する位置にも設けられる。第８電極４８０には、少なくとも１つの第４コンタクト要素４５４が設けられており、第４コンタクト要素４５４は、第１層Ｍ１に設けられる第４電極４４０のベース部４４１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２上には、第１層Ｍ１と同一の第３層Ｍ３が積層されている。

【0090】

以上のようなキャパシタ構造体４００においては、例えば、第１層Ｍ１に設けられた第２電極４２０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極４１０及び第３電極４３０と電気容量的にカップリングされると共に、第２層Ｍ２に設けられた第５電極４５０及び第７電極４７０にも電気容量的にカップリングされる。しかし、第２電極４２０は、第４電極４４０及び第８電極４８０とは、電気容量的に孤立し、カップリングが形成されない。そのように、電極のうち一部においては、カップリングを強化し、他の一部においては、カップリングを形成しないことにより、カップリング程度を調節することができる。以上においては、２層の第１層Ｍ１、及び１層の第２層Ｍ２が交互に積層された３層構造のキャパシタ構造体４００について説明したが、本実施形態は、それに限定されるものではなく、第１層Ｍ１及び第２層Ｍ２の層数は、多様にも変形される。

【0091】

図８は、さらに他の例示的な実施形態によるキャパシタ構造体を図示した平面図である。

【0092】

図８を参照すれば、キャパシタ構造体５００は、垂直方向（例えば、ｚ方向）に互いに離隔して設けられる第１プレート電極Ｐ１及び第２プレート電極Ｐ２と、第１プレート電極Ｐ１及び第２プレート電極Ｐ２の間に垂直方向に交互に積層される少なくとも１層の第１層Ｍ１と、少なくとも１層の第２層Ｍ２と、を含む。図８には、ｚ方向に順次に積層された第１プレート電極Ｐ１、第１層Ｍ１、第２層Ｍ２、第３層Ｍ３及び第２プレート電極Ｐ２それぞれの平面図が図示されている。ここで、第３層Ｍ３は、第１層Ｍ１と同一層であるので、図８においては、第１プレート電極Ｐ１及び第２プレート電極Ｐ２の間に、２層の第１層Ｍ１と、１層の第２層Ｍ２とがｚ方向に交互に積層されていると見ることができる。

【0093】

第１プレート電極Ｐ１は、第１層Ｍ１の下部を覆うように設けられている。第１プレート電極Ｐ１は、導電性にすぐれる金属物質を含む。第１プレート電極Ｐ１には、第１プレート電極Ｐ１と、第１層Ｍ１の第１電極５１０とを電気的に連結する少なくとも１つの第１コンタクト要素５５１が設けられてもよい。第１コンタクト要素５５１は、第１電極５１０のベース部５１１に対応する位置にも設けられる。

【0094】

第１プレート電極Ｐ１上に、第１層Ｍ１が設けられている。第１層Ｍ１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に沿って交互に配置される少なくとも１つの第１電極５１０、及び少なくとも１つの第２電極５２０を含んでもよい。ここで、第１層Ｍ１の外側には、第１電極５１０が配置される。図８においては、第１層Ｍ１の外側に第１電極５１０が位置し、第１層Ｍ１の内側に、１つの第２電極５２０が位置する場合が例示的に図示されている。一方、第１層Ｍ１に設けられる第１電極５１０及び第２電極５２０の個数は、多様にも変形される。そのような第１電極５１０及び第２電極５２０は、導電性にすぐれる金属物質を含む。

【0095】

第１電極５１０及び第２電極５２０には、互いに異なる電圧が印加される。第１電極５１０は、第１プレート電極Ｐ１に設けられた第１コンタクト要素５５１を介して、第１プレート電極Ｐ１と電気的に連結されているので、第１電極５１０は、第１プレート電極Ｐ１と同一電圧が印加される。

【0096】

第１電極５１０及び第２電極５２０は、それぞれベース部５１１，５２１と、該ベース部５２１，５２２から突出するように設けられる複数のブランチ部５１２，５２２と、を含んでもよい。ベース部５１１，５２１は、第１方向（例えば、ｙ方向）に垂直である第２方向（例えば、ｘ方向）に延長されるように設けられ、複数のブランチ部５１２，５２２は、ベース部５１１，５２１から第１方向に突出するようにも設けられる。複数のブランチ部５１２，５２２は、第２方向に沿って離隔され、互いに並ぶようにも設けられる。ここで、第２電極５２０のブランチ部５２２は、第１電極５１０のブランチ部５１２間にも配置される。

【0097】

第１層Ｍ１には、複数のコンタクト要素５５１，５５２が設けられてもよい。具体的には、複数のコンタクト要素５５１，５５２は、第１電極５１０に設けられる少なくとも１つの第１コンタクト要素５５１と、第２電極５２０に設けられる少なくとも１つの第２コンタクト要素５５２と、を含んでもよい。第１コンタクト要素５５１は、第１層Ｍ１の第１電極５１０と、第２層Ｍ２の第３電極５３０と、を電気的に連結するものであり、第１電極５１０のベース部５１１に設けられてもよい。第２コンタクト要素５５２は、第１層Ｍ１の第２電極５２０と、第２層Ｍ２の第４電極５４０と、を電気的に連結するものであり、第２電極５２０のベース部５２１に設けられてもよい。

【0098】

第２層Ｍ２は、第２方向（例えば、ｘ方向）に沿って交互に配置される少なくとも１つの第３電極５３０、及び少なくとも１つの第４電極５４０を含んでもよい。第３電極５３０及び第４電極５４０は、それぞれ第１方向（例えば、ｙ方向）に延長されたライン形態を有して互いに並ぶようにも配置される。ここで、第２層Ｍ２の外側には、第３電極５３０が配置される。図８においては、３個の第３電極５３０と、２個の第４電極５４０とが交互に配置される場合が例示的に図示されている。第３電極５３０及び第４電極５４０の個数は、多様にも変形される。そのような第３電極５３０及び第４電極５４０は、導電性にすぐれる金属物質を含む。

【0099】

第３電極５３０及び第４電極５４０には、互いに異なる電圧が印加される。第３電極５３０は、第１層Ｍ１に設けられた第１コンタクト要素５５１により、第１電極５１０と電気的に連結されることにより、第１電極５１０と同一電圧が印加される。また、第４電極５４０は、第１層Ｍ１に設けられた第２コンタクト要素５５２により、第２電極５２０と電気的に連結されることにより、第２電極５２０と同一電圧が印加される。

【0100】

第２層Ｍ２の第４電極５４０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極５１０のブランチ部５１２に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第４電極５４０は、第１層Ｍ１に設けられた第１電極５１０のブランチ部５１２と垂直方向（例えば、ｚ方向）に一致するようにも配置される。第１電極５１０のベース部５１１に設けられた第１コンタクト要素５５１により、第１電極５１０と第３電極５３０とは、電気的に連結される。

【0101】

第２層Ｍ２の第３電極５３０は、第１層Ｍ１に設けられた第２電極５２０のブランチ部５２２に対応して設けられてもよい。具体的には、第２層Ｍ２の第３電極５３０は、第１層Ｍ１に設けられた第２電極５２０のブランチ部５２２と垂直方向に一致するようにも配置される。第２電極５２０のベース部５２１に設けられた第２コンタクト要素５５２により、第２電極５２０と第４電極５４０とは、電気的に連結される。

【0102】

第２層Ｍ２には、複数のコンタクト要素５５１，５５２が設けられてもよい。具体的には、第３電極５３０には、少なくとも１つの第１コンタクト要素５５１が設けられており、そのような第１コンタクト要素５５１は、第１層Ｍ１に設けられる第１電極５１０のベース部５１１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第１コンタクト要素５５１は、第３電極５３０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第１電極５１０との電気的連結のためのものである。

【0103】

第４電極５４０には、少なくとも１つの第２コンタクト要素５５２が設けられており、そのような第２コンタクト要素５５２は、第１層Ｍ１に設けられる第２電極５２０のベース部５２１に対応する位置にも設けられる。第２層Ｍ２に設けられる第２コンタクト要素５５２は、第４電極５４０と、その上の第３層Ｍ３（第１層Ｍ１と同一である）に設けられた第２電極５２０との電気的連結のためのものである。

【0104】

第２層Ｍ２上には、第１層Ｍ１と同一の第３層Ｍ３が積層されている。第３層Ｍ３において、第１電極５１０のベース部５１１には、第１コンタクト要素５５１が設けられており、該第１コンタクト要素５５１は、第３層Ｍ３の第１電極５１０と、その上の第２プレート電極Ｐ２とを電気的に連結することができる。第２プレート電極Ｐ２は、第３層Ｍ３の上部を覆うように設けられている。第２プレート電極Ｐ２は、導電性にすぐれる金属物質を含む。

【0105】

以上のようなキャパシタ構造体５００においては、第１プレート電極Ｐ１及び第２プレート電極Ｐ２が、第１層Ｍ１、第２層Ｍ２及び第３層Ｍ３の下部及び上部を覆うように設けられており、第１Ｍ１及び第３層Ｍ３の外側には、第１電極５１０が配置され、第２層Ｍ２の外側には、第３電極５３０が配置されている。ここで、第１プレート電極Ｐ１、第１電極５１０、第３電極５３０及び第２プレート電極Ｐ２は、第１コンタクト要素５５１を介して互いに電気的に連結されているので、第１プレート電極Ｐ１、第１電極５１０、第３電極５３０及び第２プレート電極Ｐ２には、同一電圧が印加される。

【0106】

そのように、キャパシタ構造体５００の外側に配置される互いに電気的に連結された第１プレート電極Ｐ１、第１電極５１０、第３電極５３０及び第２プレート電極Ｐ２がキャパシタ構造体５００の内側にある第２電極５２０及び第４電極５４０を取り囲んでいるので、第２電極５２０及び第４電極５４０が、外部のノイズ信号（noise signal）に影響を受けることを防止することができる。

【0107】

以上においては、第１プレート電極Ｐ１及び第２プレート電極Ｐ２の間に、２層の第１層Ｍ１と、１層の第２層Ｍ２とが交互に積層される場合について説明された。しかし、第１層Ｍ１及び第２層Ｍ２の層数は、多様にも変形される。

【0108】

例示的な実施形態によるキャパシタ構造体によれば、電気容量のカップリング面積が向上することにより、単位面積当たり電気容量値が向上することができ、集積回路において、高集積度を有するキャパシタ構造体を狭い面積に具現することができる。また、キャパシタ構造体の電極と、外部ラインとの電気的な連結性が向上し、ラウティングのための面積を減らすことができるので、集積効率を高めることができ、コストを節減することができ、内部抵抗も減らすことができる。そして、キャパシタ構造体の一部分が損傷される場合にも、全体電気容量には、ほとんど変化がない強靭な構造を具現することができる。以上において実施形態について説明されたが、それらは例示的なものに過ぎず、当該分野で当業者であるならば、それらから多様な変形が可能であろう。

【産業上の利用可能性】

【0109】

本発明の高効率キャパシタ構造体は、例えば、集積回路関連の技術分野に効果的に適用可能である。

【符号の説明】

【0110】

１００，２００，３００，４００，５００ キャパシタ構造体
１１０，２１０，３１０，４１０，５１０ 第１電極
１１１，２１１，３１１，４１１，５１１ 第１電極のベース部
１１２，２１２，３１２，４１２，５１２ 第１電極のブランチ部
１２０，２２０，３２０，４２０，５２０ 第２電極
１２１，２２１，３２１，４２１，５２１ 第２電極のベース部
１２２，２２２，３２２，４２２，５２２ 第２電極のブランチ部
１３０，３３０，４３０，５３０ 第３電極
１４０，３４０，４４０，５４０ 第４電極
１５１，３５１，４５１，５５１ 第１コンタクト要素
１５２，３５２，４５２，５５２ 第２コンタクト要素
３３１，４３１ 第３電極のベース部
３３２，４３２ 第３電極のブランチ部
３４１，４４１ 第４電極のベース部
３４２，４４２ 第４電極のブランチ部
３５０，４５０ 第５電極
３５３，４５３ 第３コンタクト要素
３５４，４５４ 第４コンタクト要素
３６０，４６０ 第６電極
３７０，４７０ 第７電極
３８０，４８０ 第８電極
５７１ 第１プレート電極
５７２ 第２プレート電極
Ｍ１ 第１層
Ｍ２ 第２層
Ｍ３ 第３層
Ｍ４ 第４層
Ｍ５ 第５層

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7】

【図8】