特許 7505907 接着シートおよび処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-17

(45)【発行日】2024-06-25

(54)【発明の名称】接着シートおよび処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240618BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20240618BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/02 A

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020073610

(22)【出願日】2020-04-16

(65)【公開番号】P2021170606

(43)【公開日】2021-10-28

【審査請求日】2023-02-10

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】丸山 孝之

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－２２２０２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－１４６６４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０４５８３０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

開口部を有するフレーム部材と前記開口部内に設けられた支持対象物とに貼付され、前記支持対象物を前記開口部内で支持する接着シートであって、
前記フレーム部材に貼付される部分よりも内側に位置し、支持面で前記支持対象物を支持する支持部と、
前記支持部の外側に形成され、前記支持部に対して折り曲げられ、所定の画像が表示された画像表示部とを備えていることを特徴とする接着シート。

【請求項2】

開口部を有するフレーム部材と前記開口部内に設けられた支持対象物とに貼付され、前記支持対象物を前記開口部内で支持する接着シートを処理する処理装置であって、
前記接着シートは、前記フレーム部材に貼付される部分よりも内側に位置し、支持面で前記支持対象物を支持する支持部と、前記支持部の外側に形成され、前記支持部に対して折り曲げられ、所定の画像が表示された画像表示部とを備え、
前記支持部に対して前記画像表示部を折り曲げる折曲手段を備えていることを特徴とする処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、接着シートおよび処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

支持面で支持対象物を支持する支持部を有する接着シートが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平９－７９７７号公報

【文献】特開２０１０－１３１７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された粘着テープＮ（接着シート）は、その支持面と平行な識別表示５表面にバーコード（所定の画像）が表示されているため、例えば、特許文献２に記載されたような収納ケース１０内に所定の間隔をあけて接着シートを積層収容し、当該積層収容状態の外側から所定の画像を読み取る場合、支持面を基準とした俯角が小さくなり、当該所定の画像の読み取りが困難になるという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、支持面を基準とした俯角が小さくても、所定の画像の読み取りを容易に行うことができる接着シートおよび処理装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シートにおける画像表示部が支持部に対して折り曲げられているため、支持面を基準とした俯角が小さくても、所定の画像の読み取りを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）は、本発明の一実施形態に係る接着シートの説明図。（Ｂ）～（Ｄ）は、本発明の一実施形態に係る処理装置の説明図。（Ｅ）～（Ｇ）は、本発明の変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明の接着シートとしての第１接着シートＡＳ１は、支持対象物ＷＫを支持するシートであって、支持面ＡＳ１２で支持対象物ＷＫを支持する支持部ＡＳ１１と、支持部ＡＳ１１に対して折り曲げられ、所定の画像としてのバーコードＢＣが表示された画像表示部ＡＳ１３とを備えている。なお、本実施形態では、支持対象物であってフレーム部材としてのリングフレームＲＦにその開口部ＲＦ１を覆うように第１接着シートＡＳ１が貼付されるとともに、第２接着シートＡＳ２が貼付された支持対象物ＷＫが開口部ＲＦ１内で第１接着シートＡＳ１に支持された一体物ＵＰが形成されている。
画像表示部ＡＳ１３は、支持対象物ＷＫの外縁と開口部ＲＦ１の内縁との間の第１接着シート部分に設けられた、環状でない形状（エンドレスでない形状）の切込ＣＵ（図１（Ａ）中ＡＡを付した部分平面図参照）の内側部分で形成されている。
バーコードＢＣは、画像表示部ＡＳ１３に設けられたシート部材としてのラベルＬＢの表面に形成されている。
第１接着シートＡＳ１を構成する材料は特に限定されないが、塑性を備えた材料で構成されるとよい。

【0011】

処理装置ＥＡは、支持対象物ＷＫを支持する第１接着シートＡＳ１を処理する装置であって、支持部ＡＳ１１に対して画像表示部ＡＳ１３を折り曲げる折曲手段１０を備え、一体物ＵＰを支持する支持手段２０の近傍に配置されている。

【0012】

折曲手段１０は、加圧ポンプやタービン等の気体供給手段１１Ａに配管１１Ｂを介して接続され、空気やガス等の気体を吹き付ける吹付管やノズル等の気体吹付手段１１と、駆動機器としてのリニアモータ１２Ａのスライダ１２Ｂに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ１２とを備えている。

【0013】

支持手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって一体物ＵＰの外縁部の吸着保持が可能な支持面２１Ａおよび上下方向に貫通した貫通孔２１Ｂを有する外側テーブル２１と、貫通孔２１Ｂ内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって一体物ＵＰにおける第１接着シートＡＳ１の吸着保持が可能な支持面２２Ａを有する内側テーブル２２とを備えている。

【0014】

以上の処理装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ｂ）で示す初期位置に各部材が配置された処理装置ＥＡに対し、当該処理装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）、または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、同図に示すように、一体物ＵＰを支持面２１Ａおよび支持面２２Ａ上の所定位置に載置する。すると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２１Ａおよび支持面２２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を開始する。

【0015】

次いで、折曲手段１０が気体供給手段１１Ａを駆動し、図１（Ｃ）に示すように、気体吹付手段１１からの気体吹付によって画像表示部ＡＳ１３を上方に折り曲げる。その後、折曲手段１０がリニアモータ１２Ａを駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ１２を左方に移動させ、当該押圧ローラ１２で画像表示部ＡＳ１３を左方に折り曲げつつリングフレームＲＦに押圧する。次に、押圧ローラ１２がリングフレームＲＦよりも左方の所定位置に到達し、画像表示部ＡＳ１３がその弾性復元力により起立すると、折曲手段１０が気体供給手段１１Ａおよびリニアモータ１２Ａの駆動を停止し、支持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、画像表示部ＡＳ１３が折り曲げられた一体物ＵＰを搬送し、図１（Ｄ）に示すように、開口部３１を有するカセット等の収容手段３０に収容する。収容手段３０に収容された一体物ＵＰは、開口部３１の外側からバーコードリーダーや撮像機器等の読取手段４０でバーコードＢＣが読み取られ、当該バーコードＢＣから取得した情報に応じて支持対象物ＷＫが処理される。この際、画像表示部ＡＳ１３が支持部ＡＳ１１に対して折り曲げられているため、支持面ＡＳ１２を基準とした俯角が小さくても、バーコードＢＣの読み取りを容易に行うことができる。次いで、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0016】

以上のような実施形態によれば、第１接着シートＡＳ１における画像表示部ＡＳ１３が支持部ＡＳ１１に対して折り曲げられているため、支持面ＡＳ１２を基準とした俯角が小さくても、バーコードＢＣの読み取りを容易に行うことができる。

【0017】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0018】

例えば、第１接着シートＡＳ１は、リングフレームＲＦの外周形状よりも大きく形成されていてもよい。
画像表示部ＡＳ１３は、第１接着シートＡＳ１に単数または複数形成されていてもよい。
所定の画像は、画像表示部ＡＳ１３に直接表示されていてもよいし、図１（Ｅ）に示すように、画像表示部ＡＳ１３における支持面ＡＳ１２に設けたシート部材に表示されていてもよいし、画像表示部ＡＳ１３における支持面ＡＳ１２と反対側の面に表示されていてもよいし、図１（Ｇ）に示すように、画像表示部ＡＳ１３における支持面ＡＳ１２と反対側の面に設けたシート部材に表示されていてもよいし、図１（Ｆ）に示すように、支持部ＡＳ１１に対して画像表示部ＡＳ１３が折り曲げられた後に表示されてもよい。
所定の画像は、例えば、支持対象物ＷＫの識別番号、品名、製造メーカ名、問い合せ先等の情報でもよいし、支持対象物ＷＫの製造日、賞味期限、消費期限等の情報でもよいし、支持対象物ＷＫの種類、材質、コード、寸法等の情報でもよいし、支持対象物ＷＫの配送先、取扱い方等の情報でもよいし、バーコード等の１次元コードの他、ＱＲコード（登録商標）やデータマトリックス等の２次元コード、文字の書体を決定するフォントや書体等のように、所定の規格で定められた形状や、メモリ等の記憶装置や図示しない制御装置に予め記憶された任意の記号、文字、図形、ロゴまたはこれらを組み合わせたものでもよいし、２つ以上表示されてもよいし、ラベルＬＢや画像表示部ＡＳ１３に印刷されたり記載されたり刻印されたりしてもよく、何ら限定されるものではない。
切込ＣＵは、例えば、平面視でＵ字状、Ｖ字状、円弧状、矩形状等どのような形状でもよいし、図１（Ｆ）、（Ｇ）に示すように、支持対象物ＷＫの外形形状よりも大きく形成した第１接着シートＡＳ１の外周部を画像表示部ＡＳ１３とし、当該画像表示部ＡＳ１３を支持部ＡＳ１１に対して折り曲げる場合、第１接着シートＡＳ１に形成されていなくてもよい。

【0019】

シート部材は、例えば、紙、樹脂、板材、金属等の部材から形成されてもよく、接着力がないものから形成された場合、例えば、第１接着シートＡＳ１の接着剤や粘着剤等の付着部材を利用して画像表示部ＡＳ１３に取り付けてもよいし、付着部材を塗布したり積層したりして画像表示部ＡＳ１３に取り付けてもよい。
第２接着シートＡＳ２は、支持対象物ＷＫに貼付されていてもよいし、貼付されていなくてもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよいし、一体物ＵＰに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0020】

折曲手段１０は、気体供給手段１１Ａおよび気体吹付手段１１に代えてまたは併用して、棒やブレード材等の押上部材を採用し、当該押上部材で第１接着シートＡＳ１の画像表示部ＡＳ１３を押し上げてもよいし、リニアモータ１２Ａおよび押圧ローラ１２に代えてまたは併用して気体供給手段および気体吹付手段を採用し、上方に折り曲げた画像表示部ＡＳ１３に気体を吹き付けて当該画像表示部ＡＳ１３をリングフレームＲＦに押圧してもよい。

【0021】

支持手段２０は、第１接着シートＡＳ１単体を支持するものであってもよいし、リングフレームＲＦに貼付され、支持対象物ＷＫを支持していない第１接着シートＡＳ１を支持するものであってもよいし、リングフレームＲＦに貼付されず、支持対象物ＷＫを支持している第１接着シートＡＳ１を支持するものであってもよいし、一体物ＵＰを第１接着シートＡＳ１側から支持してもよいし、一体物ＵＰを第２接着シートＡＳ２側から支持してもよいし、本発明の処理装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0022】

処理装置ＥＡは、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、駆動機器としての直動モータ５１の出力軸５１Ａにブラケット５２Ａを介して支持された切断刃５２を有する切断手段５０を備え、切断手段５０が直動モータ５１を駆動して切断刃５２で第１接着シートＡＳ１に切込ＣＵを形成してもよいし、インクジェットプリンタやレーザプリンタ等の印刷手段や画像を刻印する構成を備え、所定の画像を画像表示部ＡＳ１３やラベルＬＢに印刷したり刻印したりしてもよい。

【0023】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持部は、支持面で支持対象物を支持するものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0024】

第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ラベルＬＢおよび支持対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ラベルＬＢおよび支持対象物ＷＫは、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２およびラベルＬＢは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２およびラベルＬＢは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。また、支持対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0025】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0026】

ＥＡ…処理装置
１０…折曲手段
ＡＳ１…第１接着シート（接着シート）
ＡＳ１１…支持部
ＡＳ１２…支持面
ＡＳ１３…画像表示部
ＢＣ…バーコード（所定の画像）
ＷＫ…支持対象物

【図1】