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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-17
(45)【発行日】2024-06-25
(54)【発明の名称】熱処理装置
(51)【国際特許分類】
F27B 9/30 20060101AFI20240618BHJP
F27B 9/04 20060101ALI20240618BHJP
F27B 9/28 20060101ALI20240618BHJP
F27D 7/06 20060101ALI20240618BHJP
F27D 5/00 20060101ALI20240618BHJP
F27D 9/00 20060101ALN20240618BHJP
【ＦＩ】
F27B9/30
F27B9/04
F27B9/28
F27D7/06 A
F27D5/00
F27D9/00
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2024002835
(22)【出願日】2024-01-11
【審査請求日】2024-01-31
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000004293
【氏名又は名称】株式会社ノリタケカンパニーリミテド
(74)【代理人】
【識別番号】100117606
【弁理士】
【氏名又は名称】安部 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100121186
【弁理士】
【氏名又は名称】山根 広昭
(72)【発明者】
【氏名】中村 英紀
(72)【発明者】
【氏名】大威 英晃
(72)【発明者】
【氏名】飯田 雅己
【審査官】山下 浩平
(56)【参考文献】
【文献】特開昭５７－３２３３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平６－３４０９２８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－２１５０３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国公開実用新案第２０１４－０００５６４９（ＫＲ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ２７Ｂ ９／００ － ９／４０
Ｆ２７Ｄ ７／０６
Ｆ２７Ｄ ５／００
Ｆ２７Ｄ ９／００
Ｂ６５Ｈ ２０／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
帯状の被処理物を搬送する搬送装置と、前記被処理物が搬送されつつ処理される処理空間を内部に有する外壁と、
前記処理空間内に設けられ、前記被処理物を案内するガイドローラと
を備え、
前記ガイドローラは、
シャフトと、
前記シャフトの軸方向に間隔を空けて取り付けられた第１軸受および第２軸受と、
前記シャフトに対して前記第１軸受および前記第２軸受を介して回転可能に取り付けられた筒状のローラ本体と、
第１カバーおよび第２カバーと
を備え、
前記第１軸受および前記第２軸受は、
前記シャフトに装着される内輪と、
前記内輪の径方向において対向する外輪と、
前記内輪と前記外輪の間に配置された複数の転動体と、
前記内輪と前記外輪の間に配置され、前記複数の転動体を保持する保持器と
をそれぞれ備え、
前記第１カバーおよび前記第２カバーは、それぞれ前記シャフトの軸方向に沿った、前記第１軸受および前記第２軸受の外側において、前記内輪と前記外輪の間隙をそれぞれ塞いでいる、
熱処理装置。
【請求項2】
前記第１カバーと前記第２カバーのうち少なくとも一方は、コイルばねによって前記ローラ本体の端部に押し付けられている、請求項１に記載された熱処理装置。
【請求項3】
前記シャフトは、第１端部と、前記第１端部とは反対側の第２端部とを備え、前記第１カバーは、前記シャフト上において位置決めされており、
前記第２カバーは、前記コイルばねによって前記ガイドローラの前記第２端部に押し付けられている、請求項２に記載された熱処理装置。
【請求項4】
前記シャフトには、前記第２端部の外側にばね座部が設けられており、前記コイルばねは、前記ばね座部と前記第２端部の間に配置される、請求項３に記載された熱処理装置。
【請求項5】
前記シャフトには、前記第１軸受が取り付けられる位置よりも外側において段差部が設けられており、前記第１カバーは、前記段差部と前記ローラ本体の前記第１端部に挟まれている、請求項３または４に記載された熱処理装置。
【請求項6】
前記処理空間には、一対の支持板が設けられており、前記シャフトの前記第１端部と前記第２端部のうち一方は、前記一対の支持板のうち一方の支持板に取り付けられている、請求項３または４のいずれか一項に記載された熱処理装置。
【請求項7】
前記外壁には、前記処理空間を減圧する真空ポンプが接続される、請求項１～４のいずれか一項に記載された熱処理装置。
【請求項8】
前記第１軸受および前記第２軸受のうち少なくとも一方は、セラミック軸受である、請求項１～４のいずれか一項に記載された熱処理装置。
【請求項9】
前記ローラ本体と前記シャフトの間には、空間が形成されている、請求項１～４のいずれか一項に記載された熱処理装置。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、熱処理装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許第７２８５３６０号公報には、巻出部と、加熱処理部と、冷却部と、巻取部とを備えた熱処理装置が開示されている。巻出部からは、加熱処理前の帯状のシートが巻出される。加熱処理部では、シートが搬送されつつ加熱処理される。冷却部では、加熱処理部で加熱処理されたシートが搬送されつつ冷却される。巻取部では、冷却部で冷却された帯状のシートが巻取られる。巻出部、加熱処理部、冷却部および巻取部では、搬送されるシートは、ガイドローラによって案内される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第７２８５３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、本発明者は、被処理物が処理される処理空間の清浄度を向上させたいと考えている。
【課題を解決するための手段】
【0005】
ここで開示される熱処理装置は、搬送装置と、外壁と、ガイドローラとを備えている。搬送装置は、被処理物を搬送する。外壁は、被処理物が搬送されつつ処理される処理空間を内部に有する。ガイドローラは、処理空間内に設けられ、被処理物を案内する。ガイドローラは、シャフトと、第１軸受および第２軸受と、筒状のローラ本体と、第１カバーおよび第２カバーとを備えている。第１軸受および第２軸受は、シャフトの軸方向に間隔を空けて取り付けられている。ローラ本体は、シャフトに対して第１軸受および第２軸受を介して回転可能に取り付けられている。第１軸受および第２軸受は、内輪と、外輪と、転動体と、保持器とをそれぞれ備えている。第１カバーおよび第２カバーは、それぞれシャフトの軸方向に沿った、第１軸受および第２軸受の外側において、内輪と外輪の間隙をそれぞれ塞いでいる。かかる熱処理装置では、被処理物が処理される処理空間の清浄度が向上される。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下、本開示における実施形態の１つについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の図面においては、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明している。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚み等）は実際の寸法関係を反映するものではない。上、下、左、右、前、後の向きは、図中、Ｕ、Ｄ、Ｌ、Ｒ、Ｆ、Ｒｒの矢印でそれぞれ表されている。ここで、上、下、左、右、前、後の向きは、説明の便宜上、定められているに過ぎず、特に言及されない限りにおいて本願発明を限定しない。
【0008】
〈熱処理装置１０〉
図１は、熱処理装置１０を示す模式図である。熱処理装置１０は、帯状（シート状）の被処理物Ａを加熱処理するための設備である。この実施形態では、熱処理装置１０は、いわゆるロールｔｏロール方式で帯状の被処理物を搬送しつつ連続的に乾燥させるための装置である。被処理物Ａは、例えば、シート基材の両面にそれぞれ電極材料が塗工された二次電池の電極シート、フレキシブル銅張積層板ＦＣＣＬ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｃｕｐｐｅｒ Ｃｌａｄ Ｌａｍｉｎａｔｅ）、ポリイミドシートなど帯状のものであれば特に限定されない。熱処理装置１０は、帯状（シート状）の種々の被処理物の処理に用いられうる。
図１は、熱処理装置１０を示す模式図である。熱処理装置１０は、帯状（シート状）の被処理物Ａを加熱処理するための設備である。この実施形態では、熱処理装置１０は、いわゆるロールｔｏロール方式で帯状の被処理物を搬送しつつ連続的に乾燥させるための装置である。被処理物Ａは、例えば、シート基材の両面にそれぞれ電極材料が塗工された二次電池の電極シート、フレキシブル銅張積層板ＦＣＣＬ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｃｕｐｐｅｒ Ｃｌａｄ Ｌａｍｉｎａｔｅ）、ポリイミドシートなど帯状のものであれば特に限定されない。熱処理装置１０は、帯状（シート状）の種々の被処理物の処理に用いられうる。
【0009】
熱処理装置１０は、搬送装置２０，２２（図２参照）と、外壁４１（図１参照）と、ガイドローラ４５（図１参照）とを備えている。図１に示されているように、熱処理装置１０は、巻出部３０と、加熱処理部４０と、冷却部５０と、巻取部６０とを備えている。帯状の被処理物Ａは、巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０、巻取部６０の順で搬送されつつ処理される。被処理物Ａは、巻出部３０に設けられた巻出ロールＡ１から巻出され、加熱処理部４０で加熱処理され、冷却部５０で冷却された後、巻取部６０に設けられた巻取ロールＡ２に巻取られる。
【0010】
〈搬送装置２０，２２〉
図２は、被処理物Ａの駆動機構を示す模式図である。図２では、巻出部３０と巻取部６０の間の加熱処理部４０と冷却部５０は省略されている。搬送装置２０，２２は、被処理物Ａを搬送する装置である。被処理物Ａは、予め定められた搬送経路に沿って搬送される。図２に示されているように、搬送装置２０，２２は、それぞれ巻出部３０の巻出ロールＡ１が取り付けられている巻出軸３２、および、巻取部６０の巻取ロールＡ２が取り付けられている巻取軸６２をそれぞれ回転駆動する装置である。この実施形態では、搬送装置２０，２２としてモータが用いられている。搬送装置２０，２２は、被処理物Ａの搬送を制御する装置から構成されうる。搬送装置２０，２２としては、例えば、モータとインバータが用いられていてもよく、サーボモータ等が用いられていてもよい。また、搬送装置２０，２２は、被処理物Ａにかかる張力を制御する装置を含んでいてもよい。張力を制御する装置としては、例えば、パウダクラッチが用いられうる。搬送装置２０，２２は、搬送速度を制御する装置および張力を制御する装置が協働する一式の装置によって実現されていてもよい。
図２は、被処理物Ａの駆動機構を示す模式図である。図２では、巻出部３０と巻取部６０の間の加熱処理部４０と冷却部５０は省略されている。搬送装置２０，２２は、被処理物Ａを搬送する装置である。被処理物Ａは、予め定められた搬送経路に沿って搬送される。図２に示されているように、搬送装置２０，２２は、それぞれ巻出部３０の巻出ロールＡ１が取り付けられている巻出軸３２、および、巻取部６０の巻取ロールＡ２が取り付けられている巻取軸６２をそれぞれ回転駆動する装置である。この実施形態では、搬送装置２０，２２としてモータが用いられている。搬送装置２０，２２は、被処理物Ａの搬送を制御する装置から構成されうる。搬送装置２０，２２としては、例えば、モータとインバータが用いられていてもよく、サーボモータ等が用いられていてもよい。また、搬送装置２０，２２は、被処理物Ａにかかる張力を制御する装置を含んでいてもよい。張力を制御する装置としては、例えば、パウダクラッチが用いられうる。搬送装置２０，２２は、搬送速度を制御する装置および張力を制御する装置が協働する一式の装置によって実現されていてもよい。
【0011】
搬送装置２０，２２は、巻出部３０の外壁３１および巻取部６０の外壁６１にそれぞれ取り付けられている。巻出軸３２は、搬送装置２０に接続されている。搬送装置２０によって巻出軸３２が回転駆動され、巻出ロールＡ１から被処理物Ａが巻出される。巻取軸６２は、搬送装置２２に接続されている。搬送装置２２によって巻取軸６２が回転駆動され、巻取ロールＡ２に被処理物Ａが巻取られる。搬送装置２０，２２は、それぞれ外壁３１，６１に囲まれた空間内に設けられた大気ボックスに設置されていてもよい。
【0012】
熱処理装置１０は、被処理物Ａの処理効率を向上させるために、被処理物Ａを速い速度で搬送可能に構成されうる。特に限定されないが、被処理物Ａの搬送速度は、１ｍ／分～２００ｍ／分程度に設定されうる。この実施形態では、被処理物Ａの搬送速度は、１００ｍ／分程度に設定されている。熱処理装置１０では、被処理物Ａの搬送速度は、制御装置２４によって制御されている。
【0013】
〈制御装置２４〉
制御装置２４は、予め定められた搬送条件に応じて被処理物Ａが搬送されるように、被処理物Ａの搬送速度、被処理物Ａにかかる張力等を制御する。この実施形態では、制御装置２４は、被処理物Ａを巻出す時の巻出し張力と、処理されている被処理物Ａにかかる炉内張力と、処理された被処理物Ａを巻取る時の巻取り張力とをそれぞれ制御する。制御装置２４は、搬送装置２０，２２に接続されている。また、制御装置２４は、張力検出ローラ３５ｂ、フィードローラ３５ｃ、ダンサーローラ３５ｄ、張力検出ローラ６５ｃ等と接続されている。制御装置２４は、張力検出ローラ３５ｂが検出する巻出し張力を搬送装置２０にフィードバックし、巻出軸３２のトルクを制御する。これによって、巻出し張力が調整される。また、制御装置２４は、処理されている被処理物Ａが掛けられた張力検出ローラ３５ｂが検出する炉内張力をダンサーローラ３５ｄにフィードバックする。検出された炉内張力に応じてダンサーローラ３５ｄが移動する。これによって、炉内張力が調整される。なお、炉内張力が一定の状態でダンサーローラ３５ｄの位置が基準の位置に戻るように、フィードローラ３５ｃの回転速度が制御される。また、制御装置２４は、張力検出ローラ６５ｃが検出する巻取り張力を搬送装置２２にフィードバックし、巻取軸６２のトルクを制御する。これによって、巻取り張力が調整される。
制御装置２４は、予め定められた搬送条件に応じて被処理物Ａが搬送されるように、被処理物Ａの搬送速度、被処理物Ａにかかる張力等を制御する。この実施形態では、制御装置２４は、被処理物Ａを巻出す時の巻出し張力と、処理されている被処理物Ａにかかる炉内張力と、処理された被処理物Ａを巻取る時の巻取り張力とをそれぞれ制御する。制御装置２４は、搬送装置２０，２２に接続されている。また、制御装置２４は、張力検出ローラ３５ｂ、フィードローラ３５ｃ、ダンサーローラ３５ｄ、張力検出ローラ６５ｃ等と接続されている。制御装置２４は、張力検出ローラ３５ｂが検出する巻出し張力を搬送装置２０にフィードバックし、巻出軸３２のトルクを制御する。これによって、巻出し張力が調整される。また、制御装置２４は、処理されている被処理物Ａが掛けられた張力検出ローラ３５ｂが検出する炉内張力をダンサーローラ３５ｄにフィードバックする。検出された炉内張力に応じてダンサーローラ３５ｄが移動する。これによって、炉内張力が調整される。なお、炉内張力が一定の状態でダンサーローラ３５ｄの位置が基準の位置に戻るように、フィードローラ３５ｃの回転速度が制御される。また、制御装置２４は、張力検出ローラ６５ｃが検出する巻取り張力を搬送装置２２にフィードバックし、巻取軸６２のトルクを制御する。これによって、巻取り張力が調整される。
【0014】
〈巻出部３０〉
図１に示されているように、巻出部３０は、加熱処理前の被処理物Ａが巻付けられた状態の巻出ロールＡ１を収容している。巻出部３０は、内部の設備および巻出ロールＡ１を囲う外壁３１を有している。巻出部３０には、巻出軸３２と、複数のローラ３５とが内部に設けられている。巻出軸３２は、加熱処理前の被処理物Ａが巻かれた巻出ロールＡ１が取り付けられる軸である。この実施形態では、巻出軸３２が回転駆動されることによって、巻出軸３２に取り付けられた巻出ロールＡ１から被処理物Ａが巻出される。
図１に示されているように、巻出部３０は、加熱処理前の被処理物Ａが巻付けられた状態の巻出ロールＡ１を収容している。巻出部３０は、内部の設備および巻出ロールＡ１を囲う外壁３１を有している。巻出部３０には、巻出軸３２と、複数のローラ３５とが内部に設けられている。巻出軸３２は、加熱処理前の被処理物Ａが巻かれた巻出ロールＡ１が取り付けられる軸である。この実施形態では、巻出軸３２が回転駆動されることによって、巻出軸３２に取り付けられた巻出ロールＡ１から被処理物Ａが巻出される。
【0015】
巻出部３０の外壁３１で囲まれた空間内には、被処理物Ａの搬送経路を設定する複数のローラ３５が設けられている。巻出軸３２に取り付けられた巻出ロールＡ１から巻出された被処理物Ａは、複数のローラ３５に予め定められた順番で掛け廻され、加熱処理部４０に向けて搬送される。複数のローラ３５は、ガイドローラ３５ａと、張力検出ローラ３５ｂと、フィードローラ３５ｃと、ダンサーローラ３５ｄとを含んでいる。張力検出ローラ３５ｂは、被処理物Ａにかかる張力を検出するためのローラである。張力検出ローラ３５ｂには、図示しない張力検出器が取り付けられている。ダンサーローラ３５ｄは、予め定められた範囲を移動可能に構成されている。ダンサーローラ３５ｄが移動することによって、被処理物Ａの張力が調整される。フィードローラ３５ｃは、図示しない駆動装置によって回転駆動される。フィードローラ３５ｃの回転が制御されることによって、ダンサーローラ３５ｄの位置が調整される。
【0016】
〈加熱処理部４０〉
加熱処理部４０は、帯状の被処理物Ａが搬送されつつ加熱処理される設備である。加熱処理部４０は、連結部７０を介して巻出部３０と接続されている。連結部７０には、巻出部３０の出口と、加熱処理部４０の入口とが設けられている。連結部７０には、被処理物Ａが通る通り道が形成されている。被処理物Ａは、連結部７０を通って巻出部３０から加熱処理部４０に搬送される。連結部７０に形成された、被処理物Ａの通り道は、被処理物Ａの幅と厚みよりもわずかに大きい寸法に設定されている。これによって、加熱処理部４０の雰囲気と巻出部３０の雰囲気は、互いに干渉しにくくなっている。
加熱処理部４０は、帯状の被処理物Ａが搬送されつつ加熱処理される設備である。加熱処理部４０は、連結部７０を介して巻出部３０と接続されている。連結部７０には、巻出部３０の出口と、加熱処理部４０の入口とが設けられている。連結部７０には、被処理物Ａが通る通り道が形成されている。被処理物Ａは、連結部７０を通って巻出部３０から加熱処理部４０に搬送される。連結部７０に形成された、被処理物Ａの通り道は、被処理物Ａの幅と厚みよりもわずかに大きい寸法に設定されている。これによって、加熱処理部４０の雰囲気と巻出部３０の雰囲気は、互いに干渉しにくくなっている。
【0017】
加熱処理部４０は、外壁４１と、ヒータ４２と、ガイドローラ４５（４５ａ～４５ｄ）とを備えている。外壁４１は、被処理物Ａが搬送されつつ処理される処理空間４０ａを内部に有している。外壁４１は、ヒータ４２と、ガイドローラ４５とが配置された処理空間４０ａを囲っている。
【0018】
〈ガイドローラ４５〉
ガイドローラ４５は、処理空間４０ａ内に設けられている。ガイドローラ４５は、被処理物Ａを案内するローラである。被処理物Ａが搬送される搬送経路は、ガイドローラ４５によって設定される。ガイドローラ４５は、被処理物Ａの搬送に伴い、従動的に回転するように構成されている。この実施形態では、ガイドローラ４５は、略円筒状のローラである。ガイドローラ４５ａは、加熱処理部４０の入口（連結部７０）付近に設けられている。複数のガイドローラ４５ｂは、加熱処理部４０の下方において入口から出口に向かって予め定められたピッチで並べられている。複数のガイドローラ４５ｃは、加熱処理部４０の上方において、複数のガイドローラ４５ｂとは半ピッチずれて並べられている。ガイドローラ４５ｄは、加熱処理部４０の出口（連結部７２）付近に設けられている。
ガイドローラ４５は、処理空間４０ａ内に設けられている。ガイドローラ４５は、被処理物Ａを案内するローラである。被処理物Ａが搬送される搬送経路は、ガイドローラ４５によって設定される。ガイドローラ４５は、被処理物Ａの搬送に伴い、従動的に回転するように構成されている。この実施形態では、ガイドローラ４５は、略円筒状のローラである。ガイドローラ４５ａは、加熱処理部４０の入口（連結部７０）付近に設けられている。複数のガイドローラ４５ｂは、加熱処理部４０の下方において入口から出口に向かって予め定められたピッチで並べられている。複数のガイドローラ４５ｃは、加熱処理部４０の上方において、複数のガイドローラ４５ｂとは半ピッチずれて並べられている。ガイドローラ４５ｄは、加熱処理部４０の出口（連結部７２）付近に設けられている。
【0019】
被処理物Ａは、加熱処理部４０の入口付近のガイドローラ４５ａに掛けられ下方に搬送される。その後、被処理物Ａは、入口から出口に向かって、上下のガイドローラ４５ｂ，４５ｃに順に交互に掛け廻される。これにより、加熱処理部４０において被処理物Ａは、入口から出口に向かって上下に行ったり来たりしつつ進む。
【0020】
〈ヒータ４２〉
ヒータ４２は、被処理物Ａを加熱するための設備である。この実施形態では、ヒータ４２は、上下に折り返されつつ、入口から出口に向かって進む被処理物Ａの周りに設けられている。ヒータ４２は、ガイドローラ４５ｂ，４５ｃに掛けられて、上下に折り返される被処理物Ａの間隙にも配置されている。ヒータ４２は、被処理物Ａに対向するように配置されている。ヒータ４２は、例えば、ヒータホルダおよび支柱によって固定されてもよい。
ヒータ４２は、被処理物Ａを加熱するための設備である。この実施形態では、ヒータ４２は、上下に折り返されつつ、入口から出口に向かって進む被処理物Ａの周りに設けられている。ヒータ４２は、ガイドローラ４５ｂ，４５ｃに掛けられて、上下に折り返される被処理物Ａの間隙にも配置されている。ヒータ４２は、被処理物Ａに対向するように配置されている。ヒータ４２は、例えば、ヒータホルダおよび支柱によって固定されてもよい。
【0021】
この実施形態では、ヒータ４２として、遠赤外線加熱式の板状のプレートヒータが用いられている。ヒータ４２としては、加熱温度や加熱雰囲気等に応じて種々のヒータが用いられうる。ヒータ４２としては、例えば、板状のプレートヒータの他に、例えば、筒状のヒータが用いされてもよい。ヒータ４２の材質は特に限定されず、金属シースヒータ、セラミックヒータ、ランプヒータ等が用いられてもよい。また、ヒータ４２は、遠赤外線加熱式のヒータに限られない。雰囲気炉の場合は、ヒータ４２としては、例えば、被処理物に熱風が吹き付けられる熱風加熱式のヒータや赤外線加熱式のランプヒータが用いられてもよい。加熱処理された被処理物Ａは、出口付近に設けられたガイドローラ４５ｄを通して、冷却部５０に向けて搬出される。
【0022】
〈冷却部５０〉
冷却部５０は、加熱処理部４０で加熱処理された被処理物Ａが搬送されつつ冷却される設備である。冷却部５０は、連結部７２を介して加熱処理部４０と接続されている。連結部７２には、加熱処理部４０の出口と、冷却部５０の入口とが設けられている。連結部７２には、連結部７０と同様、被処理物Ａが通る通り道が形成されている。連結部７２の構成は、連結部７０の構成と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。
冷却部５０は、加熱処理部４０で加熱処理された被処理物Ａが搬送されつつ冷却される設備である。冷却部５０は、連結部７２を介して加熱処理部４０と接続されている。連結部７２には、加熱処理部４０の出口と、冷却部５０の入口とが設けられている。連結部７２には、連結部７０と同様、被処理物Ａが通る通り道が形成されている。連結部７２の構成は、連結部７０の構成と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。
【0023】
冷却部５０は、冷却ローラ５２と、複数のガイドローラ５５と、外壁５１とを備えている。外壁５１は、複数の冷却ローラ５２と、複数のガイドローラ５５とが配置された処理空間５０ａを囲っている。この実施形態では、冷却部５０には、複数の冷却ローラ５２が設けられている。複数の冷却ローラ５２と複数のガイドローラ５５は、冷却部５０において被処理物Ａが搬送される搬送経路を設定している。冷却ローラ５２は、単数でもよいが、複数であるほうが好ましい。
【0024】
〈冷却ローラ５２〉
冷却ローラ５２は、内部に冷媒が流通するように構成されたローラである。被処理物Ａは、冷却ローラ５２の表面に接することによって冷却される。冷却ローラ５２は、第１冷却ローラ５２ａと、第２冷却ローラ５２ｂとを備えている。第１冷却ローラ５２ａは、被処理物Ａの一方の面が接するように掛け廻される冷却ローラ５２である。第２冷却ローラ５２ｂは、被処理物Ａの他方の面が接するように掛け廻される冷却ローラ５２である。この実施形態では、冷却ローラ５２には、図示しない駆動装置が接続されている。冷却ローラ５２は、搬送方向に沿って、設定された搬送速度に合わせて回転する。この実施形態では、被処理物Ａは、冷却部５０において、室温程度まで冷却される。冷却される被処理物Ａの温度は、特に限定されない。
冷却ローラ５２は、内部に冷媒が流通するように構成されたローラである。被処理物Ａは、冷却ローラ５２の表面に接することによって冷却される。冷却ローラ５２は、第１冷却ローラ５２ａと、第２冷却ローラ５２ｂとを備えている。第１冷却ローラ５２ａは、被処理物Ａの一方の面が接するように掛け廻される冷却ローラ５２である。第２冷却ローラ５２ｂは、被処理物Ａの他方の面が接するように掛け廻される冷却ローラ５２である。この実施形態では、冷却ローラ５２には、図示しない駆動装置が接続されている。冷却ローラ５２は、搬送方向に沿って、設定された搬送速度に合わせて回転する。この実施形態では、被処理物Ａは、冷却部５０において、室温程度まで冷却される。冷却される被処理物Ａの温度は、特に限定されない。
【0025】
第１冷却ローラ５２ａおよび第２冷却ローラ５２ｂは、それぞれ複数（この実施形態では、４つずつ）設けられている。冷却ローラ５２の数は特に限定されない。第１冷却ローラ５２ａおよび第２冷却ローラ５２ｂは、例えば、それぞれ１つずつ設けられていてもよい。
【0026】
複数の第１冷却ローラ５２ａは、冷却部５０の前方（出口側）に高さ方向に沿って予め定められたピッチで一列に並べられている。複数の第２冷却ローラ５２ｂは、冷却部５０の後方（入口側）において、高さ方向に沿って予め定められたピッチで一列に並べられている。隣り合う第１冷却ローラ５２ａの間隔および隣り合う第２冷却ローラ５２ｂの間隔はそれぞれ、冷却ローラ５２の外径よりも狭くなるように設定されている。なお、第１冷却ローラ５２ａおよび第２冷却ローラ５２ｂの配置は、特に限定されない。
【0027】
ここでは、第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂは、同じピッチで並べられている。第２冷却ローラ５２ｂの高さは、下から順に、第１冷却ローラ５２ａよりも半ピッチ高い位置に配置されている。これにより、複数の第１冷却ローラ５２ａと複数の第２冷却ローラ５２ｂとは、冷却部５０の前後で順に高さがずれるように配置されている。換言すると、複数の第１冷却ローラ５２ａと複数の第２冷却ローラ５２ｂとは、千鳥に配置されている。これによって、冷却部５０を高さ方向に長い構造とすることができる。他方で、冷却部５０の専有面積を小さくすることができ、設備の省スペース化が図られる。
【0028】
〈ガイドローラ５５〉
ガイドローラ５５（５５ａ～５５ｄ）は、被処理物Ａを案内するローラである。この実施形態では、ガイドローラ５５は、略円筒状のローラである。冷却部５０には、複数のガイドローラ５５によって、入口（連結部７２）から複数の冷却ローラ５２を通り、出口（連結部７４）に向かうように、被処理物Ａの搬送経路が設定されている。複数のガイドローラ５５は、被処理物Ａにかかる張力を検出する張力検出ローラを含んでいてもよい。
ガイドローラ５５（５５ａ～５５ｄ）は、被処理物Ａを案内するローラである。この実施形態では、ガイドローラ５５は、略円筒状のローラである。冷却部５０には、複数のガイドローラ５５によって、入口（連結部７２）から複数の冷却ローラ５２を通り、出口（連結部７４）に向かうように、被処理物Ａの搬送経路が設定されている。複数のガイドローラ５５は、被処理物Ａにかかる張力を検出する張力検出ローラを含んでいてもよい。
【0029】
被処理物Ａは、冷却部５０の入口から、ガイドローラ５５ａを通って冷却部５０に導入される。被処理物Ａは、下方に搬送される。被処理物Ａは、ガイドローラ５５ｂを通って最下端に配置された第１冷却ローラ５２ａに搬送される。被処理物Ａは、第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂに下側から順に交互に掛け廻され、最上端の第２冷却ローラ５２ｂからガイドローラ５５ｃに向けて搬送される。被処理物Ａは、ガイドローラ５５ｃを通って下方に搬送され、ガイドローラ５５ｄを通して冷却部５０の出口から巻取部６０に搬送されている。ここでは、被処理物Ａは、第１冷却ローラ５２ａと第２冷却ローラ５２ｂに対して、被処理物Ａの異なる面が順に接触するように掛け廻される。
【0030】
冷却部５０は、連結部７４を介して巻取部６０と接続されている。連結部７４は、冷却部５０の出口と、巻取部６０の入口とを備えている。冷却された被処理物Ａは、連結部７４を通って巻取部６０に搬送される。
【0031】
〈巻取部６０〉
巻取部６０は、被処理物Ａを巻き取る設備である。巻取部６０は、冷却ローラ５２を通じて冷却された被処理物Ａを巻取るための巻取ロールＡ２を収容している。巻取部６０は、内部の設備および巻取ロールＡ２を囲う外壁６１を有している。巻取部６０には、巻取軸６２と、複数のローラ６５とが設けられている。巻取軸６２には、加熱処理部４０で加熱処理され、冷却部５０で冷却された被処理物Ａが巻き取られた巻取ロールＡ２が取り付けられている。巻取軸６２が回転駆動されることによって、巻取ロールＡ２に被処理物Ａが巻取られる。
巻取部６０は、被処理物Ａを巻き取る設備である。巻取部６０は、冷却ローラ５２を通じて冷却された被処理物Ａを巻取るための巻取ロールＡ２を収容している。巻取部６０は、内部の設備および巻取ロールＡ２を囲う外壁６１を有している。巻取部６０には、巻取軸６２と、複数のローラ６５とが設けられている。巻取軸６２には、加熱処理部４０で加熱処理され、冷却部５０で冷却された被処理物Ａが巻き取られた巻取ロールＡ２が取り付けられている。巻取軸６２が回転駆動されることによって、巻取ロールＡ２に被処理物Ａが巻取られる。
【0032】
巻取部６０の外壁６１で囲まれた空間内には、被処理物Ａの搬送経路を設定する複数のローラ６５が設けられている。複数のローラ６５は、巻取部６０において被処理物Ａが搬送される搬送経路を設定する。冷却部５０から搬送された被処理物Ａは、巻取部６０の入口（連結部７４）付近のローラ６５に掛けられた後に、複数のローラ６５に予め定められた順番に掛け廻され、巻取ロールＡ２に巻取られる。複数のローラ６５は、ガイドローラ６５ａと、ダンサーローラ６５ｂと、張力検出ローラ６５ｃと、フィードローラ６５ｄとを含んでいる。ダンサーローラ６５ｂは、予め定められた範囲を移動可能に構成されている。ダンサーローラ６５ｂは、例えば、巻取ロールＡ２が交換される際に、被処理物Ａの必要な余長を確保するために移動されうる。張力検出ローラ６５ｃには、図示しない張力検出器が取り付けられている。フィードローラ６５ｄは、巻取ロールＡ２を交換するときに交換後の巻取ロールＡ２に被処理物Ａを貼り付ける際、貼り付けに必要な余長を送り出す。
【0033】
〈真空ポンプ８０〉
熱処理装置１０は、真空ポンプ８０を備えている。上述した巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０の内部の空間は、それぞれ外壁３１，４１，５１，６１によって囲まれている。巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０の各部は、外壁３１，４１，５１，６１によってそれぞれ外部空間と隔離された空間を有している。外壁３１，４１，５１，６１の内部の空間は、被処理物Ａの処理時には、連通している。各部の外壁３１，４１，５１，６１にはそれぞれ真空ポンプ８０が接続されている。真空ポンプ８０は、巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０の内部の空間（加熱処理部４０、冷却部５０においては処理空間４０ａ，５０ａ）を減圧する。この実施形態では、被処理物Ａは、大気圧よりも低い予め定められた真空雰囲気下で処理される。
熱処理装置１０は、真空ポンプ８０を備えている。上述した巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０の内部の空間は、それぞれ外壁３１，４１，５１，６１によって囲まれている。巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０の各部は、外壁３１，４１，５１，６１によってそれぞれ外部空間と隔離された空間を有している。外壁３１，４１，５１，６１の内部の空間は、被処理物Ａの処理時には、連通している。各部の外壁３１，４１，５１，６１にはそれぞれ真空ポンプ８０が接続されている。真空ポンプ８０は、巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０の内部の空間（加熱処理部４０、冷却部５０においては処理空間４０ａ，５０ａ）を減圧する。この実施形態では、被処理物Ａは、大気圧よりも低い予め定められた真空雰囲気下で処理される。
【0034】
なお、真空ポンプ８０の接続形態は、特に限定されない。真空ポンプ８０が複数設けられており、複数の真空ポンプ８０は、巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０の各部にそれぞれ接続されていてもよい。ひとつの真空ポンプ８０から配管が分岐しており、巻出部３０、加熱処理部４０、冷却部５０および巻取部６０のうち複数の部の内部が減圧されてもよい。
【0035】
真空ポンプ８０の配管には、各部の真空度を調整するための真空バルブ８１～８４が設けられている。真空バルブ８１～８４は、各部と真空ポンプ８０の接続および各部と真空ポンプ８０の切断を切り替え可能に構成されている。各部の真空度を調整しない場合には、真空バルブ８１～８４の替わりに開閉バルブが用いられていてもよい。
【0036】
加熱処理部４０の入口（この実施形態では、連結部７０）には、扉７０ａが設けられている。扉７０ａは、巻出ロールＡ１を取り替える時等に閉じられる。巻出ロールＡ１を取り替える時等に扉７０ａが閉じられることによって、加熱処理部４０の雰囲気（この実施形態では、減圧状態）を保つことができる。扉７０ａは、巻出ロールＡ１を取り替える時等、被処理物Ａが連結部７０を通っている時に閉じられてもよい。巻出ロールＡ１に巻かれた被処理物Ａの残りが少なくなってきたとき、巻出ロールＡ１は、新しいものに交換される。交換後の巻出ロールＡ１の被処理物Ａの端部と、交換前の被処理物Ａの端部とは、繋ぎ合わせられる。被処理物Ａを処理空間４０ａに残した状態で、加熱処理部４０の雰囲気を保ったまま巻出ロールＡ１を交換することができ、巻出ロールＡ１交換後の装置の復旧が早くなる。
【0037】
また、冷却部５０の出口（この実施形態では、連結部７４）には、扉７４ａが設けられている。扉７４ａは、扉７０ａと同様、巻取ロールＡ２を取り替える時等に扉７４ａが閉じられることによって、冷却部５０の雰囲気（この実施形態では、減圧状態）を保つことができる。扉７４ａは、巻取ロールＡ２を取り替える時等、被処理物Ａが連結部７４を通っている時に閉じられてもよい。巻取ロールＡ２に巻かれた被処理物Ａが多くなってきたとき、巻取ロールＡ２は、新しいものに交換される。交換後の巻取ロールＡ２の端部と、被処理物Ａの端部とは、繋ぎ合わされる。被処理物Ａを処理空間５０ａに残した状態で、冷却部５０の雰囲気を保ったまま巻取ロールＡ２を交換することができ、巻取ロールＡ２交換後の装置の復旧が早くなる。
【0038】
ところで、帯状の被処理物が搬送されつつ処理される熱処理装置は、搬送装置と、処理空間を内部に有する外壁と、ガイドローラとを備えている。帯状の被処理物は、予め定められた搬送経路に沿って処理空間内を搬送される。換言すると、帯状の被処理物の搬送経路は、ガイドローラによって設定される。帯状の被処理物は、ガイドローラに掛けられた状態で搬送される。ガイドローラは、いわゆるフリーローラであり、帯状の被処理物の搬送に追従して回転するように構成されている。以下、ここで開示される熱処理装置について、加熱処理部の構成を例にして説明する。
【0039】
ここで開示される熱処理装置１０の加熱処理部４０には、帯状の被処理物Ａを案内するガイドローラ４５が設けられている。図３は、ガイドローラ４５の模式図である。図３では、ガイドローラ４５の軸方向に沿った断面が模式的に示されている。図３では、前方から見た、加熱処理部４０の下方に並べられたガイドローラ４５ｂ（以下、単に「ガイドローラ４５」とも称する。）の断面が示されている。図４は、第２支持部材４４ｂの模式図である。図４では、シャフト４６の軸方向外側から見た第２支持部材４４ｂの平面が模式的に示されている。
【0040】
〈ガイドローラ４５〉
ガイドローラ４５は、図３に示されているように、シャフト４６と、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂと、筒状のローラ本体４８と、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂとを備えている。ガイドローラ４５は、上述したように、外壁４１に囲まれた処理空間４０ａ内に設けられている。
ガイドローラ４５は、図３に示されているように、シャフト４６と、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂと、筒状のローラ本体４８と、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂとを備えている。ガイドローラ４５は、上述したように、外壁４１に囲まれた処理空間４０ａ内に設けられている。
【0041】
〈シャフト４６〉
シャフト４６は、ガイドローラ４５の回転軸中心となる部材である。シャフト４６は、略円柱状である。シャフト４６の材質は、被処理物Ａ（図１参照）の搬送によって掛かる張力および加熱処理部４０（図１参照）内の温度に耐えうる限り、特に限定されない。この実施形態では、シャフト４６は、ステンレス製である。
シャフト４６は、ガイドローラ４５の回転軸中心となる部材である。シャフト４６は、略円柱状である。シャフト４６の材質は、被処理物Ａ（図１参照）の搬送によって掛かる張力および加熱処理部４０（図１参照）内の温度に耐えうる限り、特に限定されない。この実施形態では、シャフト４６は、ステンレス製である。
【0042】
シャフト４６は、第１端部４６ａと、第２端部４６ｂとを備えている。第１端部４６ａは、シャフト４６の右側の端部である。第２端部４６ｂは、第１端部４６ａとは反対側の端部である。第２端部４６ｂは、シャフト４６の左側の端部である。
【0043】
シャフト４６の第１端部４６ａおよび第２端部４６ｂは、後述する第１支持部材４４ａ、第２支持部材４４ｂおよび一対の支持板９０ａ，９０ｂによって処理空間４０ａ内に固定されている。第１端部４６ａおよび第２端部４６ｂの間において、シャフト４６には、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂが取り付けられている。
【0044】
〈第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂ〉
第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、シャフト４６の軸方向において間隔を空けて取り付けられている。この実施形態では、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、内輪４７ａ１，４７ｂ１と、外輪４７ａ２，４７ｂ２と、複数の転動体４７ａ３，４７ｂ３と、保持器４７ａ４，４７ｂ４とをそれぞれ備えている。第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、いわゆる転がり軸受である。
第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、シャフト４６の軸方向において間隔を空けて取り付けられている。この実施形態では、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、内輪４７ａ１，４７ｂ１と、外輪４７ａ２，４７ｂ２と、複数の転動体４７ａ３，４７ｂ３と、保持器４７ａ４，４７ｂ４とをそれぞれ備えている。第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、いわゆる転がり軸受である。
【0045】
内輪４７ａ１，４７ｂ１は、シャフト４６に装着される部品である。外輪４７ａ２，４７ｂ２は、内輪４７ａ１，４７ｂ１と径方向において対向している。外輪４７ａ２，４７ｂ２は、ローラ本体４８に装着される部品である。複数の転動体４７ａ３，４７ｂ３は、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間に配置された部品である。複数の転動体４７ａ３，４７ｂ３は、内輪４７ａ１，４７ｂ１の外周面と、外輪４７ａ２，４７ｂ２の外周面との間で転動する。転動体４７ａ３，４７ｂ３としては、玉またはころが用いられる。ころとしては、円筒ころ、針状ころ、円錐ころ等が用いられうる。保持器４７ａ４，４７ｂ４は、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間に配置された部品である。保持器４７ａ４，４７ｂ４は、複数の転動体４７ａ３，４７ｂ３を、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間に保持する部品である。
【0046】
この実施形態では、内輪４７ａ１，４７ｂ１、外輪４７ａ２，４７ｂ２、複数の転動体４７ａ３，４７ｂ３および保持器４７ａ４，４７ｂ４は、セラミック製である。第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、セラミック軸受である。内輪４７ａ１，４７ｂ１、外輪４７ａ２，４７ｂ２、複数の転動体４７ａ３，４７ｂ３および保持器４７ａ４，４７ｂ４は、例えば、酸化物系セラミック、フッ化物系セラミック等から構成されうる。第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂとしてセラミック軸受を用いるによって、耐熱性が向上しうる。このため、加熱処理部４０内で用いられる場合にも、第１軸受４７ａ、第２軸受４７ｂの耐久性が良好でありうる。なお、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、セラミック軸受に限定されない。
【0047】
第１軸受４７ａは、第１軸受４７ａの内側および外側に取り付けられた一対のリング４７ａ５によって、ローラ本体４８の第１端部４８ａとシャフト４６に取り付けられている。第２軸受４７ｂは、第２軸受４７ｂの内側および外側に取り付けられた一対のリング４７ｂ５によって、ローラ本体４８の第２端部４８ｂとシャフト４６に取り付けられている。
【0048】
〈ローラ本体４８〉
ローラ本体４８は、筒状の部材である。ローラ本体４８は、シャフト４６に対して第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂを介して回転可能に取り付けられている。被処理物Ａは、ローラ本体４８の外周面４８ｃに沿って搬送される。ローラ本体４８は、第１端部４８ａと、第２端部４８ｂとを備えている。第１端部４８ａは、ローラ本体４８の右側の端部である。第２端部４８ｂは、ローラ本体４８の左側の端部である。第１端部４８ａおよび第２端部４８ｂには、それぞれ開口４８ａ１，４８ｂ１が形成されている。
ローラ本体４８は、筒状の部材である。ローラ本体４８は、シャフト４６に対して第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂを介して回転可能に取り付けられている。被処理物Ａは、ローラ本体４８の外周面４８ｃに沿って搬送される。ローラ本体４８は、第１端部４８ａと、第２端部４８ｂとを備えている。第１端部４８ａは、ローラ本体４８の右側の端部である。第２端部４８ｂは、ローラ本体４８の左側の端部である。第１端部４８ａおよび第２端部４８ｂには、それぞれ開口４８ａ１，４８ｂ１が形成されている。
【0049】
第１端部４８ａおよび第２端部４８ｂは、略円筒状のローラ本体４８から、それぞれ内径方向に延びている。このため、第１端部４８ａおよび第２端部４８ｂの内径は、第１端部４８ａと第２端部４８ｂの間の内径よりも小さくなっている。ローラ本体４８とシャフト４６の間には、空間４８ｄが形成されている。これによって、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂにかかる摩擦が低減されうる。また、ガイドローラ４５が軽量化されている。
【0050】
ローラ本体４８の第１端部４８ａ、第２端部４８ｂの開口４８ａ１，４８ｂ１には、それぞれ第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂが取り付けられている。これによって、ローラ本体４８は、処理空間４０ａ内に固定されたシャフト４６に対して、周方向に回転可能に支持されている。このため、被処理物Ａの搬送の際、ガイドローラ４５は、被処理物Ａの搬送に伴って回転する。ローラ本体４８の第１端部４８ａおよび第２端部４８ｂの外側には、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂが設けられている。この実施形態では、ローラ本体４８は、ステンレス製である。なお、ローラ本体４８の材質は、特に限定されない。
【0051】
〈第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂ〉
第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、それぞれシャフト４６の軸方向に沿った、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂの外側において、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間隙をそれぞれ塞いでいる。この実施形態では、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、板状の部材である。
第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、それぞれシャフト４６の軸方向に沿った、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂの外側において、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間隙をそれぞれ塞いでいる。この実施形態では、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、板状の部材である。
【0052】
この実施形態では、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、略円盤状である。第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、ローラ本体４８の第１端部４８ａ、第２端部４８ｂの開口４８ａ１，４８ｂ１の内径よりも大きい外径を有している。第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂには、シャフト４６が挿通される挿通孔４９ａ１，４９ｂ１がそれぞれ設けられている。挿通孔４９ａ１，４９ｂ１の内径は、シャフト４６の外形と、略同一である。この実施形態では、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、ステンレス製である。なお、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂの材質は、ステンレス製に限定されない。
【0053】
この実施形態では、シャフト４６には、段差部４６ｃが設けられている。段差部４６ｃは、第１軸受４７ａが取り付けられる位置よりも外側に設けられている。ローラ本体４８の第１端部４８ａと、段差部４６ｃとの間には、隙間が形成されている。第１カバー４９ａは、当該隙間と略同一の厚みを有している。これによって、第１カバー４９ａは、段差部４６ｃとローラ本体４８の第１端部４８ａに挟まれている。第１カバー４９ａは、段差部４６ｃとローラ本体４８の第１端部４８ａによって位置決めされた状態でローラ本体４８の第１端部４８ａを塞いでいる。
【0054】
この実施形態では、シャフト４６には、ばね座部４６ｄが設けられている。ばね座部４６ｄは、第２端部４８ｂよりも外側に設けられている。ばね座部４６ｄは、シャフト４６よりも外径が大きい円盤状の部材である。ばね座部４６ｄとしては、スリットが形成されたセットカラーが用いられている。ばね座部４６ｄは、図示しないボルトによってシャフト４６に着脱可能に取り付けられている。ボルトを緩めた状態でばね座部４６ｄをシャフト４６に沿って移動させることによって、ばね座部４６ｄの位置調整が可能である。ばね座部４６ｄと、第２カバー４９ｂの間には、シャフト４６が挿通された状態で、コイルばね４９ｃが配置される。コイルばね４９ｃは、シャフト４６の外形よりも大きな内径を有し、かつ、ばね座部４６ｄの外形よりも小さな外径を有している。
【0055】
ばね座部４６ｄと、第２カバー４９ｂの間隙をコイルばね４９ｃの自然長よりも狭くすることによって、コイルばね４９ｃの反発力が第２カバー４９ｂと第２端部４８ｂに作用する。これによって、第２カバー４９ｂは、コイルばね４９ｃによってローラ本体４８の第２端部４８ｂに押し付けられている。
【0056】
ところで、熱処理炉の外壁の内部の処理空間では、被処理物の搬送に伴い、被処理物を案内するガイドローラが回転する。ガイドローラのローラ本体は、第１軸受および第２軸受を介してシャフトに対して回転する。本発明者の知見では、この時、ガイドローラの部品間で摩擦が発生しうる。これによって、処理空間内の清浄度（クリーン度）が低下する懸念がある。例えば、第１軸受および第２軸受の、内輪、外輪、転動体および保持器の間で発生する摩擦によって、第１軸受および第２軸受から発塵しうる。搬送速度が早くなり摩擦が大きくなるほど、第１軸受および第２軸受から発塵は、多く発生しうる。また、第１軸受および第２軸受に充填されたグリスが飛散等した場合にも、処理空間内の清浄度が低下しうる。
【0057】
上述した実施形態では、熱処理装置１０は、搬送装置２０，２２と、外壁４１と、ガイドローラ４５とを備えている。搬送装置２０，２２は、被処理物Ａを搬送する。外壁４１は、被処理物Ａが搬送されつつ処理される処理空間４０ａを内部に有する。ガイドローラ４５は、処理空間４０ａ内に設けられ、被処理物Ａを案内する。ガイドローラ４５は、シャフト４６と、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂと、筒状のローラ本体４８と、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂとを備えている。第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、シャフト４６の軸方向に間隔を空けて取り付けられている。ローラ本体４８は、シャフト４６に対して第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂを介して回転可能に取り付けられている。第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、内輪４７ａ１，４７ｂ１と、外輪４７ａ２，４７ｂ２と、転動体４７ａ３，４７ｂ３と、保持器４７ａ４，４７ｂ４とをそれぞれ備えている。第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、それぞれシャフト４６の軸方向に沿った、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂの外側において、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間隙をそれぞれ塞いでいる。かかる構成によって、被処理物Ａの搬送時に第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂで発生しうる摩擦による発塵が、処理空間４０ａに出にくくなっている。また、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂにグリスが用いられている場合にも、グリスが処理空間４０ａに飛散しにくい。その結果、処理空間４０ａの清浄度が向上する。
【0058】
ガイドローラ４５の第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂ等の部品間の摩擦により、粉塵、グリスの飛散等が発生した場合にも、粉塵、飛散したグリス等は、ローラ本体４８内部の空間４８ｄに収められうる。ローラ本体４８の第１端部４８ａおよび第２端部４８ｂの外側に第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂが設けられていることによって、粉塵、飛散したグリス等が、ローラ本体４８内部の空間４８ｄから処理空間４０ａ内に出にくい。
【0059】
上述した実施形態では、第２カバー４９ｂは、コイルばね４９ｃによってローラ本体４８の第２端部４８ｂに押し付けられている。これによって、処理空間４０ａ内の温度変化によって、シャフト４６、ローラ本体４８等の寸法が変化した場合にも、第２カバー４９ｂが安定して第２端部４８ｂに押し付けられやすくなる。その結果、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂからの発塵等が抑えられうる。なお、上述した実施形態に限定されず、第１カバー４９ａがコイルばね４９ｃによってローラ本体４８の第１端部４８ａに押し付けられてもよい。第１カバー４９ａ、第２カバー４９ｂの両方がコイルばね４９ｃによってローラ本体４８の第１端部４８ａ、第２端部４８ｂにそれぞれ押し付けられてもよい。
【0060】
上述した実施形態では、シャフト４６には、第２端部４８ｂの外側にばね座部４６ｄが設けられている。コイルばね４９ｃは、ばね座部４６ｄと第２端部４８ｂの間に配置されている。ばね座部４６ｄによってコイルばね４９ｃの位置が調整されることによって、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂを押さえが安定し、処理空間４０ａ内に粉塵等が飛散しにくくなる。
【0061】
上述した実施形態では、シャフト４６には、第１軸受４７ａが取り付けられる位置よりも外側において段差部４６ｃが設けられている。第１カバー４９ａは、段差部４６ｃとローラ本体４８の第１端部４８ａに挟まれている。これによって、第１カバー４９ａがシャフト４６上に位置決めされ、第１端部４８ａが塞がれやすい。
【0062】
上述した実施形態では、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂは、セラミック軸受である。これによって、被処理物Ａの搬送に合わせてガイドローラ４５が回転する際に、第１軸受４７ａ、第２軸受４７ｂからの発塵が低減されうる。さらに、第１軸受４７ａ、第２軸受４７ｂとして、自己潤滑性が良好なセラミック材料を用いることによって、部品間に充填するグリスが不要となる。このため、グリスの飛散の懸念がなく、処理空間４０ａ内の清浄度が向上しやすい。
【0063】
上述した実施形態では、第１カバー４９ａは、シャフト４６上において位置決めされている。第２カバー４９ｂは、コイルばね４９ｃによってローラ本体４８の第２端部４８ｂに押し付けられている。これによって、ガイドローラ４５の位置が安定する。
【0064】
上述した実施形態では、外壁４１には、処理空間４０ａを減圧する真空ポンプ８０が接続されている。真空ポンプ８０によって処理空間４０ａが減圧される熱処理装置１０では、処理中にガイドローラ４５から発生しうる発塵が、処理空間４０ａの清浄度に大きく影響しうる。このため、上述したガイドローラ４５の構成を採用した場合に、清浄度を向上させる効果がより大きくなりうる。
【0065】
なお、熱処理装置１０では、ガイドローラ４５は、処理空間４０ａに設けられた一対の支持板９０ａ，９０ｂに支持されている。
【0066】
〈一対の支持板９０ａ，９０ｂ〉
一対の支持板９０ａ，９０ｂは、加熱処理部４０の処理空間４０ａに設けられている。詳細な図示は省略するが、一対の支持板９０ａ，９０ｂは、ガイドローラ４５ｂが並べられた方向（前後方向）に沿って延びる板状の部材である。一対の支持板９０ａ，９０ｂは、前後方向に並ぶ複数のガイドローラ４５ｂを支持している。一対の支持板９０ａ，９０ｂは、被処理物Ａの搬送経路を挟むように、被処理物Ａの幅よりも長い間隔が空けられて配置されている。一対の支持板９０ａ，９０ｂには、シャフト４６が挿通される挿通孔９０ａ１，９０ｂ１が設けられている。挿通孔９０ａ１，９０ｂ１は、略円形に開口している。挿通孔９０ａ１，９０ｂ１には、シャフト４６が挿通されている。この実施形態では、ガイドローラ４５は、第１支持部材４４ａおよび第２支持部材４４ｂを介して一対の支持板９０ａ，９０ｂに支持されている。
一対の支持板９０ａ，９０ｂは、加熱処理部４０の処理空間４０ａに設けられている。詳細な図示は省略するが、一対の支持板９０ａ，９０ｂは、ガイドローラ４５ｂが並べられた方向（前後方向）に沿って延びる板状の部材である。一対の支持板９０ａ，９０ｂは、前後方向に並ぶ複数のガイドローラ４５ｂを支持している。一対の支持板９０ａ，９０ｂは、被処理物Ａの搬送経路を挟むように、被処理物Ａの幅よりも長い間隔が空けられて配置されている。一対の支持板９０ａ，９０ｂには、シャフト４６が挿通される挿通孔９０ａ１，９０ｂ１が設けられている。挿通孔９０ａ１，９０ｂ１は、略円形に開口している。挿通孔９０ａ１，９０ｂ１には、シャフト４６が挿通されている。この実施形態では、ガイドローラ４５は、第１支持部材４４ａおよび第２支持部材４４ｂを介して一対の支持板９０ａ，９０ｂに支持されている。
【0067】
シャフト４６の第１端部４６ａには、第１支持部材４４ａが取り付けられている。第１端部４６ａよりも内側には、第１端部４６ａよりも径が大きい段差部４６ｃが設けられている。段差部４６ｃは、第１カバー４９ａの外側に設けられている。シャフト４６の第２端部４６ｂには、第２支持部材４４ｂが取り付けられている。第１支持部材４４ａ、第２支持部材４４ｂには、それぞれシャフト４６の軸に沿って貫通した挿通孔４４ａ１，４４ｂ１が形成されている。シャフト４６は、挿通孔４４ａ１，４４ｂ１に挿通された状態で第１支持部材４４ａ、第２支持部材４４ｂに取り付けられる。挿通孔４４ａ１，４４ｂ１の内径は、シャフト４６の第１端部４６ａ，第２端部４６ｂの外径と略同一に設定されている。
【0068】
〈第１支持部材４４ａ〉
第１支持部材４４ａは、挿通部４４ａ２と、フランジ部４４ａ３と、端部４４ａ４とを有している。挿通部４４ａ２と、フランジ部４４ａ３と、端部４４ａ４とは、異なる部材であってもよく、一体的に構成されていてもよい。挿通部４４ａ２、フランジ部４４ａ３および端部４４ａ４の外形は、略円環状である。挿通部４４ａ２は、支持板９０ａの挿通孔９０ａ１に挿通される部位である。フランジ部４４ａ３は、挿通部４４ａ２および端部４４ａ４よりも径が大きい部位である。端部４４ａ４はスリットが設けられたセットカラーでありうる。
第１支持部材４４ａは、挿通部４４ａ２と、フランジ部４４ａ３と、端部４４ａ４とを有している。挿通部４４ａ２と、フランジ部４４ａ３と、端部４４ａ４とは、異なる部材であってもよく、一体的に構成されていてもよい。挿通部４４ａ２、フランジ部４４ａ３および端部４４ａ４の外形は、略円環状である。挿通部４４ａ２は、支持板９０ａの挿通孔９０ａ１に挿通される部位である。フランジ部４４ａ３は、挿通部４４ａ２および端部４４ａ４よりも径が大きい部位である。端部４４ａ４はスリットが設けられたセットカラーでありうる。
【0069】
第１端部４６ａは、段差部４６ｃよりも径が細くなっている。第１支持部材４４ａの挿通部４４ａ２が段差部４６ｃに当たって位置決めされた状態で、第１支持部材４４ａは、シャフト４６に取り付けられる。第１支持部材４４ａの挿通孔４４ａ１は、シャフト４６の第１端部４６ａと略同一の長さである。このため、シャフト４６の第１端部４６ａと、第１支持部材４４ａの端部４４ａ４は、揃っている。第１支持部材４４ａは、端部４４ａ４がシャフト４６の第１端部４６ａに対して締め付けられることによって、シャフト４６の第１端部４６ａに取り付けられている。
【0070】
第１支持部材４４ａは、シャフト４６の第１端部４６ａに取り付けられた状態で、支持板９０ａに取り付けられている。換言すると、シャフト４６の第１端部４６ａは、第１支持部材４４ａを介して支持板９０ａに取り付けられている。ここでは、第１支持部材４４ａは、フランジ部４４ａ３が支持板９０ａの外側面に当接し、かつ、挿通部４４ａ２が支持板９０ａの挿通孔９０ａ１に挿通された状態で、支持板９０ａに取り付けられている。ここでは、第１支持部材４４ａのフランジ部４４ａ３がボルト（図示省略）によって支持板９０ａに取り付けられている。これによって、処理空間４０ａ内においてガイドローラ４５の位置が安定しうる。
【0071】
〈第２支持部材４４ｂ〉
第２支持部材４４ｂは、挿通部４４ｂ２と、フランジ部４４ｂ３と、端部４４ｂ４とを有している。挿通部４４ｂ２と、フランジ部４４ｂ３と、端部４４ｂ４とは、異なる部材であってもよく、一体的に構成されていてもよい。挿通部４４ｂ２および端部４４ｂ４の外形は、略円環状である。フランジ部４４ｂ３の外径は、角部が面取りされた略正方形状である（図４参照）。挿通部４４ｂ２は、支持板９０ｂの挿通孔９０ｂ１に挿通される部位である。フランジ部４４ｂ３は、挿通部４４ｂ２および端部４４ｂ４よりも径が大きい部位である。端部４４ｂ４はスリットが設けられたセットカラーでありうる。
第２支持部材４４ｂは、挿通部４４ｂ２と、フランジ部４４ｂ３と、端部４４ｂ４とを有している。挿通部４４ｂ２と、フランジ部４４ｂ３と、端部４４ｂ４とは、異なる部材であってもよく、一体的に構成されていてもよい。挿通部４４ｂ２および端部４４ｂ４の外形は、略円環状である。フランジ部４４ｂ３の外径は、角部が面取りされた略正方形状である（図４参照）。挿通部４４ｂ２は、支持板９０ｂの挿通孔９０ｂ１に挿通される部位である。フランジ部４４ｂ３は、挿通部４４ｂ２および端部４４ｂ４よりも径が大きい部位である。端部４４ｂ４はスリットが設けられたセットカラーでありうる。
【0072】
第２支持部材４４ｂは、支持板９０ｂに取り付けられた際に、端部４４ｂ４がシャフト４６の第２端部４６ｂと略揃う寸法に設定されている。第２支持部材４４ｂの挿通孔４４ｂ１には、シャフト４６の第２端部４６ｂが挿通されている。シャフト４６の第２端部４６ｂは、第２支持部材４４ｂの挿通孔４４ｂ１に対して固定されていない。被処理物Ａの処理時、温度変化によってシャフト４６の長さが変化した場合にも、シャフト４６は、第２支持部材４４ｂの挿通孔４４ｂ１の内周面を滑る。これによって、シャフト４６へ負荷がかかりにくい。
【0073】
第２支持部材４４ｂは、フランジ部４４ｂ３が支持板９０ｂの外側面に当接し、かつ、挿通部４４ｂ２が支持板９０ｂの挿通孔９０ｂ１に挿通された状態で、支持板９０ｂに取り付けられている。
【0074】
図４に示されているように、第２支持部材４４ｂのフランジ部４４ｂ３の四隅には、挿通孔４４ｂ５が設けられている。第２支持部材４４ｂは、挿通孔４４ｂ５に挿通されたボルト４４ｂ６によって支持板９０ｂ（図３参照）に取り付けられている。挿通孔４４ｂ５の内径は、ボルト４４ｂ６が挿通される部分の外形よりもわずかに大きい寸法に設定されている。このため、フランジ部４４ｂ３は、ボルト４４ｂ６が締められた状態でも、挿通孔４４ｂ５の内径と、ボルト４４ｂ６の外形との差だけ支持板９０ｂの外側面に沿って動く。第２支持部材４４ｂは、位置調整部材４４ｄによって支持板９０ｂの外側面に沿って位置調整可能に構成されている。
【0075】
位置調整部材４４ｄは、フランジ部４４ｂ３の下面４４ｂａと、前方側面４４ｂｂと、後方側面４４ｂｃとに近接して設けられている。位置調整部材４４ｄは、支持板９０ｂに取り付けられた基部４４ｄ１と、基部４４ｄ１に挿通された調整ねじ４４ｄ２とを備えている。調整ねじ４４ｄ２の先端部は、それぞれ基部４４ｄ１を貫通し、フランジ部４４ｂ３の各面４４ｂａ～４４ｂｃに達している。調整ねじ４４ｄ２を回すことによって、先端の位置を調整し、これによって、支持板９０ｂの外側面におけるフランジ部４４ｂ３の位置を調整することができる。
【0076】
この実施形態では、挿通孔９０ｂ１は、ローラ本体４８の外形よりも大きい（図３参照）。メンテナンス時等には、以下の要領でガイドローラ４５が取り外される。第２支持部材４４ｂを支持板９０ｂから取り外す。ローラ本体４８の外形よりも大きく、かつ、挿通孔９０ｂ１の内径よりも小さい円筒状の部材を挿通孔９０ｂ１に挿通する。シャフト４６の第１端部４６ａを第１支持部材４４ａから取り外す。ローラ本体４８が取り付けられたシャフト４６を、第２端部４６ｂ側から取り外す。円筒状の部材が支持板９０ｂの挿通孔９０ｂ１に挿通されていることによって、シャフト４６およびローラ本体４８が脱落しにくく、交換時の作業性が良好である。
【0077】
以上、ここで開示される熱処理装置が備えるガイドローラ等の構成について、加熱処理部に設けられている場合を例に説明した。しかしながら、上述したガイドローラは、加熱処理部以外の部位に設けられている場合にも、上述した効果を奏しうる。例えば、上述したガイドローラは、冷却部、巻出部、巻取部等に設けられていてもよい。
【0078】
以上、具体的な実施形態を挙げて詳細な説明を行ったが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。このように、請求の範囲に記載の技術には、以上に記載した実施形態を様々に変形、変更したものが含まれる。
【0079】
なお、本明細書は以下の項１～９を含んでいる。以下の項１～９は、上記した実施形態には限定されない。
【0080】
項１：
帯状の被処理物を搬送する搬送装置と、
前記被処理物が搬送されつつ処理される処理空間を内部に有する外壁と、
前記処理空間内に設けられ、前記被処理物を案内するガイドローラと
を備え、
前記ガイドローラは、
シャフトと、
前記シャフトの軸方向に間隔を空けて取り付けられた第１軸受および第２軸受と、
前記シャフトに対して前記第１軸受および前記第２軸受を介して回転可能に取り付けられた筒状のローラ本体と、
第１カバーおよび第２カバーと
を備え、
前記第１軸受および前記第２軸受は、
前記シャフトに装着される内輪と、
前記内輪の径方向において対向する外輪と、
前記内輪と前記外輪の間に配置された複数の転動体と、
前記内輪と前記外輪の間に配置され、前記複数の転動体を保持する保持器と
をそれぞれ備え、
前記第１カバーおよび前記第２カバーは、それぞれ前記シャフトの軸方向に沿った、前記第１軸受および前記第２軸受の外側において、前記内輪と前記外輪の間隙をそれぞれ塞いでいる、
熱処理装置。
帯状の被処理物を搬送する搬送装置と、
前記被処理物が搬送されつつ処理される処理空間を内部に有する外壁と、
前記処理空間内に設けられ、前記被処理物を案内するガイドローラと
を備え、
前記ガイドローラは、
シャフトと、
前記シャフトの軸方向に間隔を空けて取り付けられた第１軸受および第２軸受と、
前記シャフトに対して前記第１軸受および前記第２軸受を介して回転可能に取り付けられた筒状のローラ本体と、
第１カバーおよび第２カバーと
を備え、
前記第１軸受および前記第２軸受は、
前記シャフトに装着される内輪と、
前記内輪の径方向において対向する外輪と、
前記内輪と前記外輪の間に配置された複数の転動体と、
前記内輪と前記外輪の間に配置され、前記複数の転動体を保持する保持器と
をそれぞれ備え、
前記第１カバーおよび前記第２カバーは、それぞれ前記シャフトの軸方向に沿った、前記第１軸受および前記第２軸受の外側において、前記内輪と前記外輪の間隙をそれぞれ塞いでいる、
熱処理装置。
【0081】
項２：
前記第１カバーと前記第２カバーのうち少なくとも一方は、コイルばねによって前記ローラ本体の端部に押し付けられている、項１に記載された熱処理装置。
前記第１カバーと前記第２カバーのうち少なくとも一方は、コイルばねによって前記ローラ本体の端部に押し付けられている、項１に記載された熱処理装置。
【0082】
項３：
前記シャフトは、第１端部と、前記第１端部とは反対側の第２端部とを備え、
前記第１カバーは、前記シャフト上において位置決めされており、
前記第２カバーは、前記コイルばねによって前記ガイドローラの前記第２端部に押し付けられている、項２に記載された熱処理装置。
前記シャフトは、第１端部と、前記第１端部とは反対側の第２端部とを備え、
前記第１カバーは、前記シャフト上において位置決めされており、
前記第２カバーは、前記コイルばねによって前記ガイドローラの前記第２端部に押し付けられている、項２に記載された熱処理装置。
【0083】
項４：
前記シャフトには、前記第２端部の外側にばね座部が設けられており、
前記コイルばねは、前記ばね座部と前記第２端部の間に配置される、項３に記載された熱処理装置。
前記シャフトには、前記第２端部の外側にばね座部が設けられており、
前記コイルばねは、前記ばね座部と前記第２端部の間に配置される、項３に記載された熱処理装置。
【0084】
項５：
前記シャフトには、前記第１軸受が取り付けられる位置よりも外側において段差部が設けられており、
前記第１カバーは、前記段差部と前記ローラ本体の前記第１端部に挟まれている、項３または４に記載された熱処理装置。
前記シャフトには、前記第１軸受が取り付けられる位置よりも外側において段差部が設けられており、
前記第１カバーは、前記段差部と前記ローラ本体の前記第１端部に挟まれている、項３または４に記載された熱処理装置。
【0085】
項６：
前記処理空間には、一対の支持板が設けられており、
前記シャフトの前記第１端部と前記第２端部のうち一方は、前記一対の支持板のうち一方の支持板に取り付けられている、項３～５のいずれか一項に記載された熱処理装置。
前記処理空間には、一対の支持板が設けられており、
前記シャフトの前記第１端部と前記第２端部のうち一方は、前記一対の支持板のうち一方の支持板に取り付けられている、項３～５のいずれか一項に記載された熱処理装置。
【0086】
項７：
前記外壁には、前記処理空間を減圧する真空ポンプが接続される、項１～６のいずれか一項に記載された熱処理装置。
前記外壁には、前記処理空間を減圧する真空ポンプが接続される、項１～６のいずれか一項に記載された熱処理装置。
【0087】
項８：
前記第１軸受および前記第２軸受のうち少なくとも一方は、セラミック軸受である、項１～７のいずれか一項に記載された熱処理装置。
前記第１軸受および前記第２軸受のうち少なくとも一方は、セラミック軸受である、項１～７のいずれか一項に記載された熱処理装置。
【0088】
項９：
前記ローラ本体と前記シャフトの間には、空間が形成されている、項１～８のいずれか一項に記載された熱処理装置。
前記ローラ本体と前記シャフトの間には、空間が形成されている、項１～８のいずれか一項に記載された熱処理装置。
【符号の説明】
【0089】
Ａ 被処理物
Ａ１ 巻出ロール
Ａ２ 巻取ロール
１０ 熱処理装置
２０，２２ 搬送装置
２４ 制御装置
３０ 巻出部
３１，４１，５１，６１ 外壁
３２ 巻出軸
３５ ローラ
４０ 加熱処理部
４０ａ，５０ａ 処理空間
４２ ヒータ
４４ａ 第１支持部材
４４ｂ 第２支持部材
４４ａ１，４４ｂ１ 挿通孔
４４ａ２，４４ｂ２ 挿通部
４４ａ３，４４ｂ３ フランジ部
４４ａ４，４４ｂ４ 端部
４４ｂ５ 挿通孔
４４ｂ６ ボルト
４４ｄ 位置調整部材
４４ｄ１ 基部
４４ｄ２ 調整ねじ
４５，４５ａ～４５ｄ ガイドローラ
４６ シャフト
４６ａ 第１端部
４６ｂ 第２端部
４６ｃ 段差部
４６ｄ ばね座部
４７ａ 第１軸受
４７ｂ 第２軸受
４７ａ１，４７ｂ１ 内輪
４７ａ２，４７ｂ２ 外輪
４７ａ３，４７ｂ３ 転動体
４７ａ４，４７ｂ４ 保持器
４７ａ５，４７ｂ５ リング
４８ ローラ本体
４８ａ 第１端部
４８ｂ 第２端部
４８ａ１，４８ｂ１ 開口
４８ｃ 外周面
４８ｄ 空間
４９ａ 第１カバー
４９ｂ 第２カバー
４９ａ１，４９ｂ１ 挿通孔
４９ｃ コイルばね
５０ 冷却部
５２ 冷却ローラ
５５，５５ａ～５５ｄ ガイドローラ
６０ 巻取部
６２ 巻取軸
６５ ローラ
７０，７２，７４ 連結部
８０ 真空ポンプ
８１～８４ 真空バルブ
９０ａ，９０ｂ 支持板
９０ａ１，９０ｂ１ 挿通孔
Ａ１ 巻出ロール
Ａ２ 巻取ロール
１０ 熱処理装置
２０，２２ 搬送装置
２４ 制御装置
３０ 巻出部
３１，４１，５１，６１ 外壁
３２ 巻出軸
３５ ローラ
４０ 加熱処理部
４０ａ，５０ａ 処理空間
４２ ヒータ
４４ａ 第１支持部材
４４ｂ 第２支持部材
４４ａ１，４４ｂ１ 挿通孔
４４ａ２，４４ｂ２ 挿通部
４４ａ３，４４ｂ３ フランジ部
４４ａ４，４４ｂ４ 端部
４４ｂ５ 挿通孔
４４ｂ６ ボルト
４４ｄ 位置調整部材
４４ｄ１ 基部
４４ｄ２ 調整ねじ
４５，４５ａ～４５ｄ ガイドローラ
４６ シャフト
４６ａ 第１端部
４６ｂ 第２端部
４６ｃ 段差部
４６ｄ ばね座部
４７ａ 第１軸受
４７ｂ 第２軸受
４７ａ１，４７ｂ１ 内輪
４７ａ２，４７ｂ２ 外輪
４７ａ３，４７ｂ３ 転動体
４７ａ４，４７ｂ４ 保持器
４７ａ５，４７ｂ５ リング
４８ ローラ本体
４８ａ 第１端部
４８ｂ 第２端部
４８ａ１，４８ｂ１ 開口
４８ｃ 外周面
４８ｄ 空間
４９ａ 第１カバー
４９ｂ 第２カバー
４９ａ１，４９ｂ１ 挿通孔
４９ｃ コイルばね
５０ 冷却部
５２ 冷却ローラ
５５，５５ａ～５５ｄ ガイドローラ
６０ 巻取部
６２ 巻取軸
６５ ローラ
７０，７２，７４ 連結部
８０ 真空ポンプ
８１～８４ 真空バルブ
９０ａ，９０ｂ 支持板
９０ａ１，９０ｂ１ 挿通孔
【要約】
【課題】処理空間の清浄度の向上。
【解決手段】熱処理装置１０は、搬送装置２０，２２と、外壁４１と、ガイドローラ４５とを備えている。搬送装置２０，２２は、被処理物Ａを搬送する。外壁４１は、被処理物Ａが搬送されつつ処理される処理空間４０ａを内部に有する。ガイドローラ４５は、処理空間４０ａ内に設けられ、被処理物Ａを案内する。ガイドローラ４５は、シャフト４６と、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂと、筒状のローラ本体４８と、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂとを備えている。第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、それぞれシャフト４６の軸方向に沿った、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂの外側において、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間隙をそれぞれ塞いでいる。
【選択図】図３
【解決手段】熱処理装置１０は、搬送装置２０，２２と、外壁４１と、ガイドローラ４５とを備えている。搬送装置２０，２２は、被処理物Ａを搬送する。外壁４１は、被処理物Ａが搬送されつつ処理される処理空間４０ａを内部に有する。ガイドローラ４５は、処理空間４０ａ内に設けられ、被処理物Ａを案内する。ガイドローラ４５は、シャフト４６と、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂと、筒状のローラ本体４８と、第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂとを備えている。第１カバー４９ａおよび第２カバー４９ｂは、それぞれシャフト４６の軸方向に沿った、第１軸受４７ａおよび第２軸受４７ｂの外側において、内輪４７ａ１，４７ｂ１と外輪４７ａ２，４７ｂ２の間隙をそれぞれ塞いでいる。
【選択図】図３
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】