特許 7506581 静圧気体軸受用気体絞り構造および静圧気体軸受

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-18

(45)【発行日】2024-06-26

(54)【発明の名称】静圧気体軸受用気体絞り構造および静圧気体軸受

(51)【国際特許分類】

   F16C 32/06 20060101AFI20240619BHJP

【ＦＩ】

F16C32/06 Z

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020183083

(22)【出願日】2020-10-30

(65)【公開番号】P2022073230

(43)【公開日】2022-05-17

【審査請求日】2023-10-27

(73)【特許権者】

【識別番号】000103644

【氏名又は名称】オイレス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002343

【氏名又は名称】弁理士法人 東和国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 彰彦

(72)【発明者】

【氏名】冨田 博嗣

【審査官】大山 広人

(56)【参考文献】

【文献】実開昭６０－１６２７３２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開昭６３－２０７５８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第１０５５７５０１（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｃ ３２／０６

Ｂ２３Ｑ １／３８

Ｈ０２Ｋ ７／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

管状気体流路に形成して支持対象物と対向する静圧気体軸受用気体絞り構造であって、
前記管状気体流路の上流側から下流側に向かって積層される多数の気体絞り層が、前記管状気体流路を形成する管壁部分と該管壁部分の内壁面に架橋して一体に形成する多数のリブ部分とでそれぞれ構成され、
前記気体絞り層のリブ部分が、前記気体絞り層の管壁部分の流路断面を所定のリブ配置間隔で平行に分断して遮断し、
前記気体絞り層が、前記管状気体流路に沿って隣接する前記管壁部分および前記リブ部分で相互に一体化され、
前記隣接する気体絞り層のリブ部分が、前記隣接する気体絞り層の相互間で異なった架橋方向に配置されていることを特徴とする気体絞り構造。

【請求項2】

前記支持対象物と対向する最表面に設けた気体絞り層が、前記リブ部分を所定の間隔で連結する連結部分を有し、
前記最表面に設けた気体絞り層の総流路断面積が、該最表面に設けた気体絞り層以外の前記気体絞り層の総流路断面積よりも少なく、
前記最表面に設けた気体絞り層の管壁部分が、前記最表面に設けた気体絞り層と対向して隣接する気体絞り層の管壁部分と一体化され、
前記最表面に設けた気体絞り層の連結部分が、前記最表面に設けた気体絞り層と対向して隣接する気体絞り層のリブ部分と一体化されていることを特徴とする請求項１に記載の気体絞り構造。

【請求項3】

給気源と連通して管状気体流路の入口端を形成する給気孔と該管状気体流路の出口端を形成する流出孔とが形成されたベースプレートと、該ベースプレートの表面に形成された前記流出孔に挿入して密着した気体絞り部材とを備えた静圧気体軸受であって、
前記気体絞り部材が、請求項１または請求項２に記載の気体絞り構造を有していることを特徴とする静圧気体軸受。

【請求項4】

前記気体絞り部材の出口面が、前記ベースプレートの表面と面一または前記ベースプレートの表面より落ち込んでいることを特徴とする請求項３に記載の静圧気体軸受。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、静圧気体軸受用気体絞り構造および静圧気体軸受に関する。

【背景技術】

【0002】

軸受外から軸受内に導入した加圧流体の圧力を利用して支持対象物を支持する静圧気体軸受において、絞りと呼ばれる気体流の抵抗となる部分が支持対象物と静圧気体軸受との間の隙間（軸受すきま）の手前に設けられている。
静圧気体軸受に絞りを設けると、軸受すきまが小さくなると軸受すきま内全体に満たされている気体（気体膜）の圧力が上昇し、軸受すきまが大きくなると軸受すきま内の気体膜の圧力が低下するため、静圧気体軸受に加わる負荷加重と軸受すきま内の気体膜の圧力が釣り合う位置で支持対象物を静圧気体軸受から浮き上がった状態で保持することができる。

【0003】

このような静圧気体軸受用気体絞り構造の１つとして、従来、通気性を有する多孔質を利用した多孔質絞りが知られている。
多孔質絞りとは、多孔質体に形成された微細孔を絞りとして利用すると共に多孔質体の表面を軸受すきま内への給気面として活用するものであり、多孔質体としては、金属粉体を焼結したものが知られている（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平１０－２９９７７９号公報（特に、［００２５］）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

多孔質絞りにおいては、多孔質体の通気性が静圧気体軸受の負荷容量（静圧気体軸受の耐荷重）の大小に直結していることから、多孔質体の通気性の制御は極めて重要である。
しかしながら、上述したような焼結金属を用いた多孔質体は、通気性の個体差が大きく、通気性の制御には更なる改善の余地があった。

【0006】

そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、軸受すきま内への面給気を実現しつつ通気性を容易に調整可能な静圧気体軸受用気体絞り構造および静圧気体軸受を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

請求項１に係る発明は、管状気体流路に形成して支持対象物と対向する静圧気体軸受用気体絞り構造であって、前記管状気体流路の上流側から下流側に向かって積層される多数の気体絞り層が、前記管状気体流路を形成する管壁部分と該管壁部分の内壁面に架橋して一体に形成する多数のリブ部分とでそれぞれ構成され、前記気体絞り層のリブ部分が、前記気体絞り層の管壁部分の流路断面を所定のリブ配置間隔で平行に分断して遮断し、前記気体絞り層が、前記管状気体流路に沿って隣接する前記管壁部分および前記リブ部分で相互に一体化され、前記隣接する気体絞り層のリブ部分が、前記隣接する気体絞り層の相互間で異なった架橋方向に配置されていることにより、前述した課題を解決するものである。

【0008】

請求項２に係る発明は、請求項１に記載された気体絞り構造の構成に加えて、前記支持対象物と対向する最表面に設けた気体絞り層が、前記リブ部分を所定の間隔で連結する連結部分を有し、前記最表面に設けた気体絞り層の総流路断面積が、該最表面に設けた気体絞り層以外の前記気体絞り層の総流路断面積よりも少なく、前記最表面に設けた気体絞り層の管壁部分が、前記最表面に設けた気体絞り層と対向して隣接する気体絞り層の管壁部分と一体化され、前記最表面に設けた気体絞り層の連結部分が、前記最表面に設けた気体絞り層と対向して隣接する気体絞り層のリブ部分と一体化されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0009】

請求項３に係る発明は、給気源と連通して管状気体流路の入口端を形成する給気孔と該管状気体流路の出口端を形成する流出孔とが形成されたベースプレートと、該ベースプレートの表面に形成された前記流出孔に挿入して密着した気体絞り部材とを備えた静圧気体軸受であって、前記気体絞り部材が、請求項１または請求項２に記載の気体絞り構造を有していることにより、前述した課題を解決するものである。

【0010】

請求項４に係る発明は、請求項３に記載された静圧気体軸受の構成に加えて、前記気体絞り部材の出口面が、前記ベースプレートの表面と面一または前記ベースプレートの表面より落ち込んでいることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【発明の効果】

【0011】

請求項１に係る発明は、管状気体流路に形成されて支持対象物と対向する静圧気体軸受用気体絞り構造であることにより、支持対象物との間の軸受すきまに対して面給気となるため、気体絞り構造を組み込んだ静圧気体軸受の耐荷重、すなわち、静圧気体軸受の負荷容量を高めることができるとともに、以下のような本発明に特有の効果を奏することができる。
すなわち、管状気体流路の上流側から下流側に向かって積層される多数の気体絞り層が、管状気体流路を形成する管壁部分とこの管壁部分の内壁面に架橋して一体に形成する多数のリブ部分とでそれぞれ構成され、気体絞り層のリブ部分が、気体絞り層の管壁部分の流路断面を所定のリブ配置間隔で平行に分断して遮断し、気体絞り層が、管状気体流路に沿って隣接する管壁部分およびリブ部分で相互に一体化され、隣接する気体絞り層のリブ部分が、隣接する気体絞り層の相互間で異なった架橋方向に配置されていることにより、気体絞り構造内に多数の微細流路が形成されて気体絞り構造が擬似的な多孔質として機能して軸受すきま内への面給気を実現するため、リブ部分のリブ配置間隔や気体絞り層の積層数を調整するだけで気体絞り構造の通気性を容易に調整することができる。

【0012】

請求項２に係る発明の気体絞り構造によれば、請求項１に係る発明の気体絞り構造が奏する効果に加えて、支持対象物と対向する最表面に設けた気体絞り層が、リブ部分を所定の間隔で連結する連結部分を有し、最表面に設けた気体絞り層の総流路断面積が、この最表面に設けた気体絞り層以外の気体絞り層の総流路断面積よりも少なく、最表面に設けた気体絞り層の管壁部分が、最表面に設けた気体絞り層と対向して隣接する気体絞り層の管壁部分と一体化され、最表面に設けた気体絞り層の連結部分が、最表面に設けた気体絞り層と対向して隣接する気体絞り層のリブ部分と一体化されていることにより、最表面に設けた気体絞り層の気体の通過量がこの最表面に設けた気体絞り層以外の気体絞り層の気体の通過量よりも小さくなり、多孔質絞りにおける表面目詰まりのような機能を奏するため、気体の圧縮性に起因して支持対象物が振動してしまう自励振動現象の発生を抑制することができる

【0013】

請求項３に係る発明の静圧気体軸受によれば、気体絞り部材が、請求項１または請求項２に記載の気体絞り構造を有していることにより、気体絞り部材が擬似的な多孔質として機能するため、リブ部分のリブ配置間隔や気体絞り層の積層数を調整するだけで気体絞り部材の通気性を容易に調整することができる。

【0014】

請求項４に係る発明の静圧気体軸受によれば、請求項３に係る発明の静圧気体軸受が奏する効果に加えて、気体絞り部材の出口面が、ベースプレートの表面と面一またはベースプレートの表面より落ち込んでいることにより、気体絞り部材の出口面が支持対象物と当接しにくくなるため、気体絞り部材の損傷を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施例である静圧気体軸受の斜視図。

【図2】図１のＩＩ－ＩＩ断面図。

【図3】ベースプレートの断面構造を示す図１のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図。

【図4】図１に示す気体絞り部材の斜視図。

【図5】図１に示す気体絞り部材の平面図。

【図6】図５のＶＩ－ＶＩ断面図。

【図7】本発明の一実施例である静圧気体軸受用気体絞り構造の積層状態を説明する模式図。

【図8】図６のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ断面図。

【図9】図５のＩＸ－ＩＸ断面図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明は、管状気体流路に形成して支持対象物と対向する静圧気体軸受用気体絞り構造であって、管状気体流路の上流側から下流側に向かって積層される多数の気体絞り層が、管状気体流路を形成する管壁部分とこの管壁部分の内壁面に架橋して一体に形成する多数のリブ部分とでそれぞれ構成され、気体絞り層のリブ部分が、気体絞り層の管壁部分の流路断面を所定のリブ配置間隔で平行に分断して遮断し、気体絞り層が、管状気体流路に沿って隣接する管壁部分および前記リブ部分で相互に一体化され、隣接する気体絞り層のリブ部分が、隣接する気体絞り層の相互間で異なった架橋方向に配置され、軸受すきま内への面給気を実現しつつ通気性を容易に調整可能なものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

【0017】

例えば、本発明における気体は、如何なる気体であってもよいが、空気であることが好ましい。

【0018】

例えば、本発明の気体絞り構造を形成するための材料は、樹脂や金属、セラミックス等、いかなるものであってもよい。

【実施例1】

【0019】

以下、図１乃至図９に基づいて、本発明の一実施例である気体絞り構造を備えた静圧気体軸受１００を説明する。

【0020】

＜１．静圧気体軸受１００の概要＞
まず、図１および図２に基づいて、静圧気体軸受１００の概要について説明する。
図１は本発明の一実施例である静圧気体軸受の斜視図であり、図２は図１のＩＩ－ＩＩ断面図である。

【0021】

静圧気体軸受１００は、図１に示すように、円柱状のベースプレート１１０と、このベースプレート１１０に圧入嵌合された樹脂製の気体絞り部材１２０とを備えている。
また、ベースプレート１１０には、給気源と接続された空気配管Ｔと接続するための継手Ｊが取り付けられている。

【0022】

したがって、外部の給気源から供給された圧縮空気Ｇは、図２に示すように、ベースプレート１１０および気体絞り部材１２０によって構成される管状気体流路を通り、気体絞り部材１２０に形成された無数の噴出孔から噴出される。
よって、静圧気体軸受１００は、支持対象物に対して面給気となる。

【0023】

＜２．ベースプレート＞
次に、図１乃至図３に基づいて、ベースプレート１１０について説明する。
図３は、ベースプレートの断面構造を示す図１のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。

【0024】

ベースプレート１１０は、図１に示すように、円柱状の下部プレート１１１と、この下部プレート１１１に載置される円柱状の上部プレート１１２とから構成されている。
下部プレート１１１と上部プレート１１２とは、図示されない結合手段により、空気が下部プレート１１１と上部プレート１１２との間から漏れないように結合されている。

【0025】

下部プレート１１１の側面には、継手Ｊの雄ネジと螺合する雌ネジが形成された給気孔１１１ａが等間隔に４つ形成されている。
下部プレート１１１の上面には、出口孔１１１ｂが等間隔に４つ形成されている。

【0026】

給気孔１１１ａは、下部プレート１１１の中心方向に向かって伸びており、出口孔１１１ｂは下部プレート１１１の鉛直下方に向かって伸びている。
給気孔１１１ａと出口孔１１１ｂとは、下部プレート１１１の内部で連通して、静圧気体軸受１００の管状気体流路の一部となる下部流路１１１ｃを形成している。
したがって、給気孔１１１ａは、管状気体流路の入口端を形成している。

【0027】

上部プレート１１２には、下部プレート１１１の出口孔１１１ｂと対向する位置に静圧気体軸受１００の管状気体流路の出口端を形成する流出孔１１２ａが形成されている。
流出孔１１２ａは、上部プレート１１２の下面側に形成された大径の入口部１１２ａ１と、上部プレート１１２の上面側に形成された小径の出口部１１２ａ２とから形成された、鉛直方向に伸びる段付き孔である。
入口部１１２ａ１の直径は、下部プレート１１１の出口孔１１１ｂよりも大径となっている。

【0028】

＜３．気体絞り部材＞
次に、図１、図２、図４乃至図９に基づいて、気体絞り部材１２０について説明する。

【0029】

＜３．１．気体絞り部材の外部構造＞
まず、図１、図２、図４、図５に基づいて、気体絞り部材１２０の外部構造について説明する。
図４は図１に示す気体絞り部材の斜視図である、図５は図１に示す気体絞り部材の平面図である。

【0030】

気体絞り部材１２０は、図２および図４に示すように、円筒状の部材であり、ベースプレート１１０の表面に形成された流出孔１１２ａに挿入される。
気体絞り部材１２０は、流出孔１１２ａの出口部１１２ａ２に挿入される円筒状の小径部１２１と、流出孔１１２ａの入口部１１２ａ１に挿入される円筒状の大径部１２２とから構成されている。
したがって、気体絞り部材１２０は、大径部１２２から圧縮空気Ｇが流入し、小径部１２１から圧縮空気Ｇが流出する。

【0031】

小径部１２１の直径φｓ（図４参照）は、流出孔１１２ａの出口部１１２ａ２の直径Ｄｏ（図３参照）よりも僅かに大きくなっている。
また、大径部１２２の直径φｂ（図４参照）は、流出孔１１２ａの入口部１１２ａ１の直径Ｄｉ（図３参照）よりも僅かに大きくなっている。
したがって、気体絞り部材１２０を上部プレート１１２に挿入する際は、気体絞り部材１２０を上部プレート１１２に対して圧入嵌合する必要がある。
気体絞り部材１２０が上部プレート１１２に圧入嵌合されることで、気体絞り部材１２０と上部プレート１１２の流出孔１１２ａとの間から空気が漏れないようになっている。

【0032】

気体絞り部材１２０が上部プレート１１２に圧入嵌合された状態において、大径部１２２の上面１２２ａは、図２に示すように、上部プレート１１２の流出孔１１２ａのプレート内部上壁１１２ａ３（図３参照）と当接する。
また、気体絞り部材１２０が上部プレート１１２に圧入嵌合された状態において、小径部１２１の出口面１２１ａは、図１および図２に示すように、上部プレート１１２の表面１１２ｂと面一になっており、支持対象物と対向する。

【0033】

＜３．２．気体絞り部材の内部構造（気体絞り構造）＞
次に、図２、図４乃至図９に基づいて、気体絞り部材１２０の内部構造、すなわち、本発明の一実施例である気体絞り構造について説明する。
図６は、図５のＶＩ－ＶＩ断面図であり、図７は、本発明の一実施例である静圧気体軸受用気体絞り構造の積層状態を説明する模式図であり、図８は、図６のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ断面図であり、図９は、図５のＩＸ－ＩＸ断面図である。
なお、図７については、リブ部分の配置関係を明示するために、管壁部分の図示を省略している。

【0034】

気体絞り部材１２０には、図６に示すように、静圧気体軸受１００の管状気体流路の一部となる円筒状の内部流路１２３が形成されている。
内部流路１２３は、小径部１２１の出口面１２１ａと大径部１２２の下面１２２ｂとを繋ぐ鉛直方向に延びる流路であり、内部流路１２３の出口側には、内部流路１２３に流入した気体を絞る気体絞り構造１２４が形成されている。

【0035】

気体絞り構造１２４は、図７に示すように、内部流路１２３の上流側（大径部１２２の下面１２２ｂ）から下流側（小径部１２１の出口面１２１ａ）に向かって積層される多数の気体絞り層１２４ａおよび最表面に設けた気体絞り層１２４ｂにより構成されている。

【0036】

気体絞り層１２４ａは、図８に示すように、内部流路１２３を形成する管壁部分１２４ａ１と、この管壁部分１２４ａ１の内壁面に架橋して一体に形成されるリブ部分１２４ａ２とで構成されている。
気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２は、図７に示すように、断面形状が矩形状になっている。
また、この気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２は、図８に示すように、気体絞り層１２４ａの管壁部分１２４ａ１の流路断面を所定のリブ配置間隔Ｌ１で平行に分断して遮断している。

【0037】

ベースプレート１１０に圧入嵌合した際に支持対象物と対向する最表面に設けた気体絞り層１２４ｂは、内部流路１２３を形成する管壁部分１２４ｂ１（図５参照）と、この管壁部分１２４ｂ１の内壁面に架橋して一体に形成されるリブ部分１２４ｂ２（図７参照）と、このリブ部分１２４ｂ２を所定の接続間隔Ｌ２で連結する連結部分１２４ｂ３とで形成されている。

【0038】

連結部分１２４ｂ３は、図７に示すように、断面形状が矩形状になっている。
また、連結部分１２４ｂ３の接続間隔Ｌ２は、本実施例において、リブ配置間隔Ｌ１と等しくなっている。
したがって、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂには、平面視でリブ配置間隔Ｌ１（＝接続間隔Ｌ２）を４辺の長さとする正方形状の噴出孔１２４ｂ４が形成されている。
よって、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂにおける総流路断面積（噴出孔１２４ｂ４の開口面積の総和）は、気体絞り層１２４ａにおける総流路断面積（リブ部分１２４ａ２によって形成される隙間の総和）よりも小さくなっている。
すなわち、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂにおける管壁部分１２４ｂ１の流路断面は、この最表面に設けた気体絞り層１２４ｂ以外の気体絞り層１２４ａにおける管壁部分１２４ａ１の流路断面よりも閉塞されている。

【0039】

次に、隣接する気体絞り層１２４ａの関係および最表面に設けた気体絞り層１２４ｂと最表面に設けた気体絞り層１２４ｂに隣接する気体絞り層１２４ａとの関係について説明する。

【0040】

上流側と下流側とで隣接する気体絞り層１２４ａは、図６および図７に示すように、互いに積層方向で対向している。
そして、この上流側と下流側とで対向して隣接する気体絞り層１２４ａは、図６に示すように、管壁部分１２４ａ１およびリブ部分１２４ａ２で相互に一体化されている。
さらに、ｎ（＝１、２、３・・・）層目の気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２と、ｎ＋２層目の気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２は、図７に示すように、同方向に延びているが、平面視における架橋位置が水平方向（積層方向と直交する方向）にずれている。
また、上流側と下流側とで対向して隣接する気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２は、図７に示すように、積層方向で相互に捩れて（本実施例においては、約９０度捩れて）、すなわち、隣接する気体絞り層１２４ａの相互間で異なった架橋方向に配置されている。

【0041】

最表面に設けた気体絞り層１２４ｂとこの最表面に設けた気体絞り層１２４ｂに隣接する気体絞り層１２４ａも、図６および図７に示すように、互いに積層方向で対向している。
そして、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂの管壁部分１２４ｂ１は、図６に示すように、この最表面に設けた気体絞り層１２４ｂに対向して隣接する気体絞り層１２４ａの管壁部分１２４ａ１と一体化されている。
また、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂのリブ部分１２４ｂ２とこの最表面に設けた気体絞り層１２４ｂに隣接する気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２も、図７に示すように、積層方向で相互に捩れて（本実施例においては、約９０度捩れて）配置されている。
したがって、本実施例においては、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂの連結部分１２４ｂ３は、この最表面に設けた気体絞り層１２４ｂに隣接する気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２の直上に配置されている。
そして、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂの連結部分１２４ｂ３は、図６に示すように、この最表面に設けた気体絞り層１２４ｂに対向して隣接する気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２と一体化されている。

【0042】

また、本実施例では、気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２の幅ｗ１（図８参照）は、全層で等しくなっていると共に、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂのリブ部分１２４ｂ２の幅および連結部分１２４ｂ３の幅ｗ２（図７参照）とも等しくなっている。

【0043】

このように気体絞り構造１２４が形成されていることにより、図９に示すような微細流路Ｃが無数に気体絞り構造１２４の内部に形成され、本実施例の気体絞り構造は多孔質体と同様の気体絞り構造となる。

【0044】

＜３．静圧気体軸受１００が奏する効果＞
以上説明した本実施例の気体絞り構造を備えた静圧気体軸受１００によれば、管状気体流路（ベースプレート１１０の下部流路１１１ｃ、流出孔１１２ａ、気体絞り部材１２０の内部流路１２３）の上流側から下流側に向かって積層される多数の気体絞り層１２４ａ（本段落では、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂも含む）が、管状気体流路を形成する管壁部分１２４ａ１とこの管壁部分１２４ａ１の内壁面に架橋して一体に形成される多数のリブ部分１２４ａ２とでそれぞれ構成され、気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２が、気体絞り層１２４ａの管壁部分１２４ａ１の流路断面を所定のリブ配置間隔で平行に分断して遮断し、気体絞り層１２４ａが、管状気体流路に沿って隣接する管壁部分１２４ａ１およびリブ部分１２４ａ２で相互に一体化され、隣接する気体絞り層１２４ａのリブ部分１２４ａ２が、隣接する気体絞り層１２４ａの相互間で異なった架橋方向に配置されていることにより、気体絞り構造１２４内に多数の微細流路Ｃが形成されて気体絞り構造１２４が擬似的な多孔質として機能するため、リブ部分１２４ａ２のリブ配置間隔や気体絞り層１２４ａの積層数を調整するだけで気体絞り構造１２４の通気性を容易に調整することができる。

【0045】

また、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂの総流路断面積が、この最表面に設けた気体絞り層１２４ｂ以外の前記気体絞り層１２４ａの総流路断面積よりも少なくなっていることにより、最表面に設けた気体絞り層１２４ｂの気体の通過量がこの最表面に設けた気体絞り層１２４ｂ以外の気体絞り層１２４ａの気体の通過量よりも小さくなり、多孔質絞りにおける表面目詰まりのような機能を奏するため、気体の圧縮性に起因して支持対象物が振動してしまう自励振動現象の発生を抑制することができる。

【0046】

また、気体絞り部材１２０の出口面１２１ａが、ベースプレート１１０の表面１１２ｂと面一であることにより、気体絞り部材１２０の出口面１２１ａが支持対象物と当接しにくくなるため、気体絞り部材１２０の損傷を防ぐことができる。

【0047】

＜変形例＞
以上、本発明の一実施例である静圧気体軸受１００について説明したが、本発明の静圧気体軸受は、上述した実施例の静圧気体軸受１００に限定されるものではない。

【0048】

例えば、本実施例において、気体絞り部材はベースプレートの表面に形成された流出孔に圧入嵌合されていたが、気体絞り部材が流出孔に挿入された後に流出孔と密着し、気体絞り部材と流出孔との間の隙間から空気が漏れなければ、流出孔に対する気体絞り部材の挿入形態はいかなるものであってもよく、例えば、接着剤により気体絞り部材を流出孔に固定してもよい。

【0049】

例えば、本実施例において、ベースプレートに圧入嵌合される気体絞り部材は、樹脂製であったが、気体絞り部材の素材は、気体絞り構造を形成できるものであれば、樹脂に限定されるものではない。

【0050】

例えば、本実施例において、ベースプレートに圧入嵌合される気体絞り部材の個数は、４つに限定されるものではない。
また、下部プレートに形成される給気孔の個数は、ベースプレートに圧入嵌合される気体絞り部材の個数と同数であれば、その数は、如何なるものであってもよい。
さらに、下部プレートの給気孔および出口孔の位置は、如何なる位置であってもよい。

【0051】

例えば、本実施例において、上部プレート１１２の流出孔１１２ａの入口部１１２ａ１の直径Ｄｉは、下部プレート１１１の出口孔１１１ｂの直径よりも大径であったが、入口部１１２ａ１の直径Ｄｉは、出口孔１１１ｂの直径と同径であってもよいし、出口孔１１１ｂの直径よりも小径であってもよい。

【0052】

例えば、本実施例において、気体絞り部材の出口面が、ベースプレートの表面と面一であったが、気体絞り部材の出口面が、ベースプレートの表面より落ち込んでいてもよい。
この場合、気体絞り部材の出口面がベースプレートの表面と面一である場合よりも気体絞り部材の出口面が支持対象物と当接しにくくなるため、気体絞り部材の損傷をさらに防ぐことができる。

【0053】

例えば、本実施例において、気体絞り層のリブ部分の断面形状は矩形状であったが、気体絞り層のリブ部分の断面形状は円形状等、いかなる形状であってもよい。

【0054】

例えば、本実施例において、最表面に設けた気体絞り層の架橋部分の断面形状は矩形状であったが、気体絞り層の架橋部分の断面形状は円形状等、いかなる形状であってもよい。

【0055】

例えば、本実施例において、上流側と下流側とで対向して隣接する気体絞り層のリブ部分は、積層方向で相互に９０度捩れて配置されていたが、上流側と下流側とで対向して隣接する気体絞り層のリブ部分の相互の捩れ角は、９０度に限定されるものではなく、如何なる捩れ角であってもよい。

【0056】

例えば、本実施例において、気体絞り層のリブ部分のリブ配置間隔は、等間隔となっていたが、気体絞り層のリブ部分のリブ配置間隔は、これに限定されるものではなく、等間隔でなくてもよい。

【0057】

例えば、本実施例において、最表面に設けた気体絞り層の連結部分の接続間隔は、リブ部分のリブ配置間隔と等しくなっていたが、最表面に設けた気体絞り層の連結部分の接続間隔は、これに限定されるものではない。

【符号の説明】

【0058】

１００ ・・・ 静圧気体軸受
１１０ ・・・ ベースプレート
１１１ ・・・ 下部プレート
１１１ａ ・・・ 給気孔
１１１ｂ ・・・ 出口孔
１１１ｃ ・・・ 下部流路（管状気体流路）
１１２ ・・・ 上部プレート
１１２ａ ・・・ 流出孔（管状気体流路）
１１２ａ１・・・ 入口部
１１２ａ２・・・ 出口部
１１２ａ３・・・ プレート内部上壁
１１２ｂ ・・・ 表面

１２０ ・・・ 気体絞り部材
１２１ ・・・ 小径部
１２１ａ ・・・ 出口面
１２２ ・・・ 大径部
１２２ａ ・・・ 上面
１２２ｂ ・・・ 下面
１２３ ・・・ 内部流路（管状気体流路）
１２４ ・・・ 気体絞り構造
１２４ａ ・・・ 気体絞り層
１２４ａ１・・・ 管壁部分
１２４ａ２・・・ リブ部分
１２４ｂ ・・・ 最表面に設けた気体絞り層
１２４ｂ１・・・ 管壁部分
１２４ｂ２・・・ リブ部分
１２４ｂ３・・・ 連結部分
１２４ｂ４・・・ 噴出孔

Ｊ ・・・ 継手
Ｔ ・・・ 空気配管
Ｇ ・・・ 圧縮空気
Ｃ ・・・ 微細流路

Ｄｏ ・・・ 出口部直径
Ｄｉ ・・・ 入口部直径
Φｓ ・・・ 小径部直径
Φｂ ・・・ 大径部直径

Ｌ１ ・・・ リブ配置間隔
Ｌ２ ・・・ 接続間隔
ｗ１ ・・・ リブ部分の幅
ｗ２ ・・・ 連結部分の幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】