(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-20
(45)【発行日】2024-06-28
(54)【発明の名称】物品搬送システム及び物品搬送システムの運営方法
(51)【国際特許分類】
G05D 1/43 20240101AFI20240621BHJP
B65G 1/00 20060101ALI20240621BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20240621BHJP
B65G 1/137 20060101ALI20240621BHJP
【ＦＩ】
G05D1/43
B65G1/00 501C
H01L21/68 A
B65G1/137 A
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2022207823
(22)【出願日】2022-12-26
(65)【公開番号】P2023098688
(43)【公開日】2023-07-10
【審査請求日】2022-12-26
(31)【優先権主張番号】10-2021-0189974
(32)【優先日】2021-12-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(31)【優先権主張番号】10-2022-0158084
(32)【優先日】2022-11-23
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】598123150
【氏名又は名称】セメス株式会社
【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
(74)【代理人】
【識別番号】110000671
【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】ジン，メイ シャン
(72)【発明者】
【氏名】キム，シク
【審査官】岩▲崎▼ 優
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２００７／１３２６５１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００７－１４１０１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１９１３６１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－０２６４２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１１－１０２９５３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０５Ｄ １／００ ー １／８７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
物品搬送システムの運営方法において、前記物品搬送システムは、
基板処理装置の上側に設置されるレールと、
前記レールに沿って走行し、前記基板処理装置に物品を搬送する搬送車両と、を含み、
前記運営方法は、
前記物品搬送システムを運営して運営データを収集するデータ収集段階と、
前記運営データに基づいて前記基板処理装置の予測搬送要請時点を導出し、導出された前記予測搬送要請時点より以前時点である前記搬送車両に対する先呼出時点を導出する先呼出時点演算段階と、
先呼出の可否判断段階と、
搬送段階と、を含み、
前記先呼出時点演算段階においては、
前記運営データに基づいて前記基板処理装置の予測搬送時間間隔を導出し、
実際の搬送要請時点に前記予測搬送時間間隔を加えて前記予測搬送要請時点を導出し、
前記運営データに基づいて前記搬送車両が前記基板処理装置に到着するのに所要される予測到着所要時間及び／又は前記搬送車両が前記基板処理装置に到着する時まで移動した予測移動距離を導出し、
前記予測搬送要請時点から前記予測到着所要時間を引いた時点と同一であるか、或いはそれより早い時点を前記先呼出時点で指定し、
前記先呼出の可否判断段階においては、
指定された前記先呼出時点が現在時点を過ぎたか、又は前記現在時点を過ぎていないかを判断して前記搬送車両の先呼出を進行するかどうかを判断し、指定された前記先呼出時点が前記現在時点を過ぎていない場合、第１搬送モデルに基づいて前記搬送段階を遂行し、
前記搬送段階においては、
前記先呼出の可否判断段階で判断された結果に基づいて、前記第１搬送モデルと前記第１搬送モデルと異なる第２搬送モデルの中で選択された搬送モデルを利用して物品を搬送し、
前記第１搬送モデルは、
前記搬送車両の中でいずれか１つを選択して選択された前記搬送車両と前記基板処理装置の距離を確認し、
測定された前記距離に基づいて、選択された前記搬送車両の予約が可能であるかどうかを判断する、運営方法。
【請求項2】
前記第１搬送モデルは、前記予測移動距離に対する測定された前記距離との比率を利用して前記搬送車両の予約可能可否を決定する請求項１に記載の運営方法。
【請求項3】
前記第１搬送モデルは、予約された前記搬送車両が前記基板処理装置に移動する途中前記基板処理装置の実際の搬送要請が発生する場合、前記搬送車両の予約を確定して搬送を遂行する請求項２に記載の運営方法。
【請求項4】
前記第１搬送モデルは、予約された前記搬送車両が前記基板処理装置に移動する途中、前記基板処理装置の実際の搬送要請が発生しない場合、前記基板処理装置の上側で待機する請求項２に記載の運営方法。
【請求項5】
前記基板処理装置の上側で前記搬送車両が待機する間に、前記搬送車両の回避が必要である場合、前記第２搬送モデルを適用して他の搬送車両を呼び出す請求項４に記載の運営方法。
【請求項6】
前記第２搬送モデルは、前記基板処理装置が実際の搬送要請を発生させ、
その後、前記基板処理装置の前記実際の搬送要請を遂行することができる前記搬送車両を検索し、
検索された前記搬送車両に制御装置が課題を割当し、
前記制御装置から課題が割当された前記搬送車両が搬送を遂行する請求項１に記載の運営方法。
【請求項7】
半導体製造ラインに物品を搬送する物品搬送システムにおいて、基板処理装置の上側に設置されるレールと、
前記レールに沿って走行し、前記基板処理装置に物品を搬送する搬送車両と、
前記搬送車両の走行を制御する制御装置と、を含み、
前記制御装置は、
前記搬送車両が前記基板処理装置に物品を搬送しながら、獲得される運営データを収集するデータ収集部と、
前記運営データに基づいて搬送要請時間間隔を予測し、実際の搬送要請が発生した搬送要請時点に前記搬送要請時間間隔を加えて前記基板処理装置の予測搬送要請時点を導出し、導出された予測搬送時点より以前時点である前記搬送車両の中で第１搬送車両に対する先呼出時点を導出し、前記運営データに基づいて前記搬送車両が前記基板処理装置に到着するのに所要される予測到着所要時間及び／又は前記搬送車両が前記基板処理装置に到着する時まで移動した予測移動距離を導出し、前記予測搬送要請時点から前記予測到着所要時間を引いた時点と同一であるか、或いはそれより早い時点を前記先呼出時点で指定する先呼出時点演算部と、
導出された前記先呼出時点が現在時点を過ぎたか、又は前記現在時点を過ぎていないかを判断して前記第１搬送車両の先呼出を進行するかどうかを判断し、指定された前記先呼出時点が前記現在時点を過ぎていない場合、第１搬送モデルに基づいて搬送を遂行する先呼出の可否判断部と、
前記先呼出の可否判断部で前記先呼出を進行することと判断した場合、前記第１搬送モデルに基づいて物品を搬送し、前記先呼出を進行しないことと判断した場合、前記第１搬送モデルと異なる第２搬送モデルに基づいて物品を搬送するように前記搬送車両に制御信号を伝送する搬送遂行部と、を含み、
前記第１搬送モデルは、前記搬送車両の中でいずれか１つを選択して選択された前記搬送車両と前記基板処理装置の距離を確認し、測定された前記距離に基づいて、選択された前記搬送車両の予約が可能であるかどうかを判断する、物品搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は物品搬送システム及び物品搬送システムの運営方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体素子を製造するためにウエハのような基板には写真、蝕刻、アッシング、イオン注入、そして薄膜蒸着等の様々な工程が遂行される。各々の工程を遂行することができる基板処理装置（半導体装備）は半導体製造ラインに配置される。半導体製造ラインには物品を搬送する搬送車両が提供される。例えば、半導体製造ラインには、半導体製造ラインの天井に設置されたレールに沿って走行するオーバーヘッドトランスポート（Ｏｖｅｒ Ｈｅａｄ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ：ＯＨＴ）、半導体製造ラインの底に沿って自律走行するオートビヒクルロボット（Ａｕｔｏ Ｖｅｈｉｃｌｅ Ｒｏｂｏｔ：ＡＶＲ）が提供されることができる。ＯＨＴとＡＶＲは工程を遂行するのに必要である物品を搬送する。工程を遂行するのに必要である物品は被処理物であるウエハ、ガラス等の基板であるか、又は工程に使用されるマスクや、フォーカスリングのようなプロセスキット（Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｋｉｔ）であり得る。
【0003】
半導体製造ラインはＯＨＴのような搬送車両を制御する制御装置を具備する。制御装置は搬送車両の走行速度、搬送車両の走行方向、搬送車両が物品を搬送する搬送目的地等のような運行情報を収集することができる。また、制御装置は搬送車両を制御するための制御信号を発生させることができる。一般的な搬送システムの運営方法に対して説明すれば、まず基板処理装置で物品が必要である場合、基板処理装置が物品搬送要請信号を発生させる。例えば、基板処理装置が伝達されたウエハに対する処理を完了した場合、基板処理装置は未処理ウエハを搬送するように要求された物品搬送要請信号を発生させる。物品搬送要請信号は有線／無線通信等の方式に搬送システムが具備する構成を制御する制御装置に伝送される。物品搬送要請信号が伝送されれば、制御装置は物品搬送要請信号を発生させた基板処理装置に関する識別情報（識別情報は基板処理装置の位置情報を含む）、必要である物品の種類、及び必要である物品の数に関する情報を課題リーストに追加する。即ち、課題リーストには搬送システムが搬送しなければならない搬送課題がリーストアップ（Ｌｉｓｔ Ｕｐ）される。その後、制御装置は該当搬送課題を遂行することができる搬送車両を探索し、探索された搬送車両の中で課題を遂行するのに適合な搬送車両に上の搬送課題を割当する。課題が割当された搬送車両は搬送を遂行する。
【0004】
しかし、このような運営方法は、基板処理装置での搬送要請が発生した後に搬送課題がリーストに追加される。言い換えれば、搬送システムの搬送車両の制御は基板処理装置の搬送要請が発生した後に行われる。したがって、一般的な搬送システムの運営方法は後続的であり、受動的である。また、一般的な搬送システムの運営方法は搬送車両が搬送を要請した後、搬送車両が基板処理装置に到着するのに所要される時間を短縮させることに限界がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】国際公開第２０１２／０６０２９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は物品を効果的に搬送することができる物品搬送システム及び物品搬送システムの運営方法を提供することにある。
【0007】
また、本発明の目的は物品搬送の時、所要される時間を短縮することができる物品搬送システム及び物品搬送システムの運営方法を提供することにある。
【0008】
また、本発明の目的は物品搬送の時、ターゲット装置の搬送要請時点を予測して、搬送車両を先行的、そして能動的に制御することができる物品搬送システム及び物品搬送システムの運営方法を提供することにある。
【0009】
また、本発明の目的は物品搬送に所要される時間を最小化して、ターゲット装置の稼動率を改善することができる物品搬送システム及び物品搬送システムの運営方法を提供することにある。
【0010】
本発明が解決しようとする課題が上述した課題に限定されることはなく、言及されなかった課題は本明細書及び添付された図面から本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解されるべきである。
【課題を解決するための手段】
【0011】
本発明は物品搬送システムの運営方法を提供する。運営方法は、予め収集された前記物品搬送システムの運営データからターゲット装置の予測搬送要請時点を導出し、導出された前記予測搬送要請時点より以前に前記物品搬送システムが有する搬送車両を呼び出して前記ターゲット装置に移動させることができる。
【0012】
一実施形態によれば、前記運営データに基づいて、前記搬送車両を呼び出す時、前記ターゲット装置に前記搬送車両が到着するのに所要される予測到着所要時間を導出し、導出された前記予測搬送要請時点と前記予測到着所要時間に基づいて搬送車両を呼び出す搬送車両先呼出時点を導出することができる。
【0013】
一実施形態によれば、前記搬送車両先呼出時点は、前記予測搬送要請時点から前記予測到着所要時間を引いた時点と同一であるか、或いはそれより早い時点で指定されることができる。
【0014】
一実施形態によれば、前記物品搬送システムを設定する期間の間に運営して、ａ）前記ターゲット装置の搬送要請時間間隔、ｂ）搬送車両呼出の時、搬送車両が前記ターゲット装置に到着するのに所要される到着所要時間、及び／又はｃ）搬送車両呼出の時、搬送車両が前記ターゲット装置まで移動する移動距離に関するデータを収集することができる。
【0015】
一実施形態によれば、収集された前記データの代表値を前記運営データに追加することができる。
【0016】
一実施形態によれば、前記運営データに格納された前記代表値に各々加重値を掛けて、前記予測搬送要請時間間隔、前記予測到着所要時間、及び／又は搬送車両の予測移動距離を導出することができる。
【0017】
一実施形態によれば、最近に前記運営データに追加された前記代表値であるほど、前記加重値のサイズを大きくすることができる。
【0018】
一実施形態によれば、前記加重値の和は１であり得る。
【0019】
また、本発明は物品搬送システムの運営方法を提供する。運営方法は、前記物品搬送システムは、基板処理装置の上側に設置されるレール、及び前記レールに沿って走行し、前記基板処理装置に物品を搬送する搬送車両を含み、前記運営方法は、前記物品搬送システムを運営して運営データを収集するデータ収集段階、及び
前記運営データに基づいて前記基板処理装置の予測搬送要請時点を導出し、導出された前記予測搬送要請時点より以前時点である前記搬送車両に対する先呼出時点を導出する先呼出時点演算段階を含むことができる。
前記運営データに基づいて前記基板処理装置の予測搬送要請時点を導出し、導出された前記予測搬送要請時点より以前時点である前記搬送車両に対する先呼出時点を導出する先呼出時点演算段階を含むことができる。
【0020】
一実施形態によれば、前記先呼出時点演算段階には、前記運営データに基づいて前記基板処理装置の予測搬送時間間隔を導出し、実際の搬送要請時点に前記予測搬送時間間隔を加えて前記予測搬送要請時点を導出することができる。
【0021】
一実施形態によれば、前記先呼出時点演算段階には、前記運営データに基づいて前記搬送車両が前記基板処理装置に到着するのに所要される予測到着所要時間及び／又は前記搬送車両が前記基板処理装置に到着する時まで移動した予測移動距離を導出し、
前記予測搬送要請時点から前記予測到着所要時間を引いた時点と同一であるか、或いはそれより早い時点を前記先呼出時点で指定することができる。
前記予測搬送要請時点から前記予測到着所要時間を引いた時点と同一であるか、或いはそれより早い時点を前記先呼出時点で指定することができる。
【0022】
一実施形態によれば、指定された前記先呼出時点が現在時点を過ぎたか、又は前記現在時点を過ぎていないかを判断して前記搬送車両の先呼出を進行するかどうかを判断する先呼出の可否判断段階をさらに含むことができる。
【0023】
一実施形態によれば、前記先呼出の可否判断段階で判断された結果に基づいて、第１搬送モデルと前記第１搬送モデルと異なる第２搬送モデルの中で選択された搬送モデルを利用して物品を搬送する搬送段階を含むことができる。
【0024】
一実施形態によれば、指定された前記先呼出時点が前記現在時点を過ぎていない場合、前記第１搬送モデルに基づいて前記搬送段階を遂行し、前記第１搬送モデルは、前記搬送車両の中でいずれか１つを選択して選択された前記搬送車両と前記基板処理装置の距離を確認し、測定された前記距離に基づいて、選択された前記搬送車両の予約が可能であるかどうかを判断することができる。
【0025】
一実施形態によれば、前記第１搬送モデルは、前記予測移動距離に対する測定された前記距離との比率を利用して前記搬送車両の予約可能可否を決定することができる。
【0026】
一実施形態によれば、前記第１搬送モデルは、予約された前記搬送車両が前記基板処理装置に移動する途中に前記基板処理装置の実際の搬送要請が発生する場合、前記搬送車両の予約を確定して搬送を遂行することができる。
【0027】
一実施形態によれば、前記第１搬送モデルは、予約された前記搬送車両が前記基板処理装置に移動する途中に前記基板処理装置の実際の搬送要請が発生しない場合、前記基板処理装置の上側で待機することができる。
【0028】
一実施形態によれば、前記基板処理装置の上側で前記搬送車両が待機する間に、前記搬送車両の回避が必要である場合、前記第２搬送モデルを適用して他の搬送車両を呼び出すことができる。
【0029】
一実施形態によれば、前記第２搬送モデルは、前記基板処理装置が実際の搬送要請を発生させた後、前記基板処理装置の前記実際の搬送要請を遂行することができる前記搬送車両を検索し、検索された前記搬送車両に制御装置が課題を割当し、前記制御装置から課題が割当された前記搬送車両が搬送を遂行することができる。
【0030】
また、本発明は物品搬送システムを提供する。物品搬送システムは、半導体製造ラインに物品を搬送する物品搬送システムにおいて、基板処理装置の上側に設置されるレール、前記レールに沿って走行し、前記基板処理装置に物品を搬送する搬送車両、前記搬送車両の走行を制御する制御装置を含み、前記制御装置は、前記搬送車両が前記基板処理装置に物品を搬送しながら、獲得される運営データを収集するデータ収集部、前記運営データに基づいて前記基板処理装置の予測搬送要請時点を導出し、導出された予測搬送時点より以前時点である前記搬送車両の中で第１搬送車両に対する先呼出時点を導出する先呼出時点演算部、導出された前記先呼出時点が現在時点を過ぎたか、又は前記現在時点を過ぎていないかを判断して前記第１搬送車両の先呼出を進行するかどうかを判断する先呼出の可否判断部、及び前記先呼出の可否判断部で前記先呼出を進行することと判断した場合、第１搬送モデルに基づいて物品を搬送し、前記先呼出を進行しないことと判断した場合、前記第１搬送モデルと異なる第２搬送モデルに基づいて物品を搬送するように前記搬送車両に制御信号を伝送する搬送遂行部を含むことができる。
【発明の効果】
【0031】
本発明の一実施形態によれば、物品を効果的に搬送することができる。
【0032】
また、本発明の一実施形態によれば、物品搬送の時、所要される時間を短縮することができる。
【0033】
また、本発明の一実施形態によれば、物品搬送の時、ターゲット装置の搬送要請時点を予測して、搬送車両を先行的、そして能動的に制御することができる。
【0034】
また、本発明の一実施形態によれば、物品搬送に所要される時間を最小化して、ターゲット装置の稼働率を改善することができる。
【0035】
本発明の効果が上述した効果によって限定されることではなく、言及されない効果は本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】本発明の一実施形態による物品搬送システムを概略的に示した説明図である。
【図5】本発明の一実施形態による運営方法の予測モデルを概略的に示した説明図である。
【図6】本発明の一実施形態による運営方法を概略的に示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0037】
以下では添付した図面を参考として本発明の実施形態に対して本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。しかし、本発明は様々な異なる形態に具現されることができ、ここで説明する実施形態に限定されない。また、本発明の好ましい実施形態を詳細に説明することにおいて、関連された公知機能又は構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曖昧にすることができていると判断される場合にはその詳細な説明を省略する。また、類似な機能及び作用をする部分に対しては図面の全体に亘って同一な符号を使用する。
【0038】
異なりに定義されない限り、技術的であるか、或いは科学的な用語を含んで、ここで使用されるすべての用語は本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されることと同一な意味である。一般的に使用される事前に定義されていることと同一の用語は関連技術の文脈の上に有する意味と一致する意味であることと解析されるべきであり、本出願で明確に定義しない限り、理想的であるか、或いは過度に形式的な意味として解釈されない。
【0039】
以下では説明する物品搬送システムは半導体素子及び／又は平板表示パネルを製造する製造ライン上で物品を搬送するシステムであり得る。以下では説明する物品搬送システムはウエハ、マスク、ガラス、フォーカスリングのようなプロセスキット（Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｋｉｔ）のような物品を搬送するシステムであり得る。物品はカセット（Ｃａｓｓｅｔｔｅ）、フープ（ＦＯＵＰ）、ポッド（ＰＯＤ）、マガジン（ＭＡＧＡＺＩＮＥ）、トレイ（ＴＲＡＹ）である容器に収納されて搬送されることができる。
【0040】
以下では、説明する搬送車両は半導体製造ラインの天井に設置されたレールに沿って走行するオーバーヘッドトランスポート（ＯｖｅｒＨｅａｄ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）であることを例として説明する。また、以下では、物品搬送システムがウエハのような基板をフープ（ＦＯＵＰ）に収納し、フープ（ＦＯＵＰ）に収納された基板を搬送することを例として説明する。また、以下では、搬送車両が物品を搬送するターゲット装置が基板に対する写真、蝕刻、アッシング、イオン注入、そして薄膜蒸着等の半導体素子製造工程を遂行する基板処理装置であることを例として説明する。
【0041】
図１は本発明の一実施形態による物品搬送システムを概略的に示した説明図である。
【0042】
図１を参照すれば、本発明の一実施形態による物品搬送システム１０は物品の搬送が必要であるターゲット装置である基板処理装置ＡＰに物品を搬送することができる。半導体製造ラインには複数の基板処理装置ＡＰが配置されることができる。例えば、半導体製造ラインには第１基板処理装置ＡＰ－Ａ乃至第１２基板処理装置ＡＰ－Ｌが配置されることができる。しかし、これは例示に過ぎなく、半導体製造ラインにはこれより多い基板処理装置ＡＰが配置されることができる。
【0043】
物品搬送システム１０はレール１００、搬送車両２００、及び制御装置３００を含むことができる。
【0044】
レール１００は半導体製造ラインの天井に設置されることができる。レール１００は半導体製造ラインの天井に金属素材の懸垂棒を通じて懸垂される形態に設置されることができる。レール１００は半導体製造ラインの天井に設置され、搬送車両２００が基板処理装置ＡＰの上方を通過できるように設置されることができる。例えば、レール１００は上方で基板処理装置ＡＰを見る時、基板処理装置ＡＰが有するロードポートと重畳されるように設置されることができる。ロードポートは搬送車両１００が搬送する容器がローディング又はアンローディングされることができる基板処理装置ＡＰの一部を構成するユニットであり得る。ロードポートは搬送車両２００が搬送する容器が安着されるように構成されることができる。ロードポートに容器が置かれれば、容器内に収納された物品、例えばウエハのような基板は基板処理装置ＡＰの内部に搬送されることができる。基板処理装置ＡＰの内部に搬送された基板には処理工程が遂行されることができる。
【0045】
搬送車両２００はレール１００に沿って走行することができる。物品搬送システム１０は複数の搬送車両２００を有することができる。例えば、物品搬送システム１０は第１搬送車両２００Ａ乃至第１２搬送車両２００Ｌを有することができる。しかし、これは例示に過ぎなく、物品搬送システム１０はこれより多い搬送車両２００を具備することができる。
【0046】
搬送車両２００はレール１００に沿って走行しながら、物品を搬送することができる。搬送車両２００は後述する制御装置３００から制御信号が伝送されて物品を搬送することができる。搬送車両２００は後述する制御装置３００から物品搬送に関する搬送課題が割当されて基板処理装置ＡＰに物品を搬送することができる。また、搬送車両２００が物品を搬送することは、基板処理装置ＡＰに物品を持って下ろすことだけでなく、基板処理装置ＡＰから物品を回収することも含む概念として解釈されるべきである。
【0047】
【0048】
図１乃至図３を参照すれば、本発明の一実施形態による搬送車両２００は上述した走行レール１００に沿って走行可能に構成されることができる。搬送車両２００は容器Ｃを把持可能に構成されることができる。搬送車両２００は容器Ｃを把持した状態にレール１００を走行可能に構成されることができる。搬送車両２００はボディー２１０、走行ホイール２２０、ステアリング器具２３０、フレーム２４０、ネック２５０、スライダー２６０、昇降器具２７０、グリップ器具２８０、そして制御ユニット２９０を含むことができる。
【0049】
ボディー２１０には走行ホイール２２０、ステアリング器具２３０、そしてネック２５０が結合されることができる。ボディー２１０には走行ホイール２２０が回転可能に結合されることができる。また、ボディー２１０には走行ホイール２２０を回転させる走行駆動器２１１が具備されることができる。また、ボディー２１０には搬送車両２００の動作を制御する、制御ユニット２９０が具備されることができる。また、ステアリング器具２３０はボディー２１０の上面に提供されることができる。また、ボディー２１０にはネック２５０が回転可能に結合されることができる。
【0050】
走行駆動器２１１は走行ホイール２２０に動力を伝達して走行ホイール２２０を回転させることができる。また、ボディー２１０は複数に提供されることができる。各々のボディー２１０は上述した走行駆動器２１１を有することができる。また、各々のボディー２１０には上述した走行ホイール２２０、ステアリング器具２３０、そしてネック２５０が結合されることができる。
【0051】
走行ホイール２２０はボディー２１０に回転可能に結合されることができる。走行ホイール２２０は走行駆動器２１１から動力が伝達されて回転されることができる。走行ホイール２２０は走行レール１００と接触して回転されることができる。走行ホイール２２０はボディー２１０に結合されることができる。走行ホイール２２０はボディー２１０に回転可能に結合されることができる。走行ホイール２２０は走行レール１００と接触され、回転されて走行レール３１０を走行することができる。走行ホイール２２０は複数に提供されることができる。走行ホイール２２０は一対で提供されることができる。走行ホイール２２０の中でいずれか１つはボディー２１０の一面に回転可能に結合され、走行ホイール２２０の中で他の１つはボディー２１０の一面と対向される他面に回転可能に結合されることができる。
【0052】
ステアリング器具２３０はボディー２１０の上部に設置されることができる。ステアリング器具２３０は複数のステアリングホイール２３２、そしてステアリングレール２３４を含むことができる。ステアリングホイール２３２は、上部から見る時、搬送車両ト２００の走行方向と平行である方向に沿って配置されることができる。また、ステアリングレール２３４はその長さ方向が、上部から見る時、搬送車両２００の走行方向と垂直になる方向と平行することができる。また、ステアリングホイール２３２はステアリングレール２３４の長さ方向に沿ってその位置が変更されることができる。
【0053】
フレーム２４０は内部空間を有することができる。フレーム２４０の内部空間には後述するスライダー２６０、昇降器具２７０、そしてグリップ器具２８０が提供されることができる。また、フレーム２４０は両側面及び下面が開放された六面体形状を有することができる。即ち、フレーム２４０の前面及び背面はブロッキングプレート（Ｂｌｏｃｋｉｎｇ Ｐｌａｔｅ）で提供されることができる。したがって、搬送車両２００が走行する時、空気抵抗によって把持された容器Ｃが揺れることを防止することができる。また、フレーム２４０はネック２５０を媒介でボディー２１０に結合されることができる。ネック２５０はボディー２１０、そしてフレーム２４０に対して回転可能に提供されることができる。フレーム２４０は少なくとも１つ以上のネック２５０を媒介で少なくとも１つ以上のボディー２１０に結合されることができる。例えば、フレーム２４０は１つが提供され、１つのフレーム２４０には２つのネック２５０が結合されることができる。そして、２つのネック２５０は互いに異なるボディー２１０に各々結合されることができる。
【0054】
スライダー２６０はフレーム２４０に結合されることができる。スライダー２６０は昇降器具２７０の位置を変更させることができる。スライダー２６０は昇降器具２７０を搬送車両２００の走行方向に垂直になる方向に移動させることができる。即ち、スライダー２６０はグリップ器具２８０がグリップする容器Ｃを搬送車両２００の走行方向に対して左右側方にその位置を変更させることができる。
【0055】
昇降器具２７０はボディー２１０、そしてグリップ器具２８０の間に提供されることができる。昇降器具２７０はグリップ器具２８０を上下方向に移動させることができる。昇降器具２７０はグリップ器具２８０を上昇又は下降させることができる。昇降器具２７０は昇降駆動器２７１とベルト２７２を含むことができる。昇降器具２７０はホイスト（Ｈｏｉｓｔ）装置と称されることができる。昇降駆動器２７１はベルト２７２を巻くか、或いは緩めて懸垂されるベルト２７２の長さを変更させることができる。例えば、昇降駆動器５７１がベルト２７２を緩めると、ベルト５７２の長さは長くなり、昇降駆動器２７１がベルト２７２を巻くと、ベルト２７２の長さは短くなることができる。また、ベルト２７２は複数に提供されることができる。複数のベルト２７２の一端は、各々グリップ器具２８０と連結されることができる。
【0056】
グリップ器具２８０は容器Ｃを把持することができる。グリップ器具２８０がクローズ（Ｃｌｏｓｅ）される場合、グリップ器具２８０は容器Ｃを把持することができる。グリップ器具２８０がオープン（Ｏｐｅｎ）される場合、グリップ器具２８０は容器Ｃを置くことができる。即ち、グリップ器具２８０は容器Ｃを着脱可能に把持することができる。グリップ器具２８０は容器Ｃを基板処理装置ＡＰのロードポートからアンローディングすることができる。
【0057】
制御ユニット２９０は上述したようにボディー２１０に具備されることができる。制御ユニット２９０はボディー２１０が有する内部空間に具備されることができる。制御ユニット２９０は搬送車両２００が有する構成、例えば走行駆動器２１１、昇降駆動器２７１、そしてスライダー２６０の中で少なくとも１つ以上を制御することができる。制御ユニット２９０は走行駆動器２１１、昇降駆動器２７１、そしてスライダー２６０を制御することができる制御信号を発生させることができるプロセッサを含むことができる。プロセッサは演算及び信号処理のための１つ、又はその以上のプロセシング回路で構成されることができる。
【0058】
また、制御ユニット２９０は後述する制御装置３００と無線通信が可能に無線ＬＡＮカード（ＬＡＮ Ｃａｒｄ）を含むことができる。制御ユニット２９０は制御装置３００に搬送車両２００の走行速度、走行方向、搬送目的地、搬送車両２００の現在位置、搬送車両２００と搬送目的地までの距離、搬送車両２００が搬送目的地まで到着するのに所要される到着所要時間、搬送物品の種類、搬送物品の数等のようなデータを制御装置３００に伝送することができる。
【0059】
再び図１を参照すれば、制御装置３００は物品搬送システム１０を制御することができる。制御装置３００は搬送車両２００を制御することができる。制御装置３００は搬送車両２００を制御して半導体製造ラインに配置される基板処理装置ＡＰに物品が収納された容器を搬送することができる。制御装置３００は搬送車両２００の走行を制御することができる。制御装置３００は搬送車両２００を制御する制御信号（命令）を搬送車両２００に伝送することができる。制御装置３００は搬送車両２００と無線通信方式に接続されることができる。制御装置３００の制御信号（命令）にしたがって搬送車両２００は制御装置３００が指令する出発位置から目的地位置に物流を移送することができる。制御装置３００はＯＣＳ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ：ＯＣＳ）であり得る。
【0060】
制御装置３００は物品搬送システム１０の構成の制御を実行するマイクロプロセッサー（コンピュータ）で行われるプロセスコントローラと、オペレータが物品搬送システム１０を管理するためにコマンド入力操作等を行うキーボードや、基板処理装置の稼動状況を可視化して表示するディスプレー等で成されるユーザインターフェイスと、物品搬送システム１０で実行される処理をプロセスコントローラの制御で実行するための制御プログラムを記憶する記憶媒体を具備することができる。また、ユーザインターフェイス及び格納媒体はプロセスコントローラに接続されていることができる。記憶媒体は、ハードディスクであってもよく、ＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ等の可搬性ディスクや、フラッシュメモリ等の半導体メモリであってもよい。
【0061】
【0062】
図１及び図４を参照すれば、制御装置３００の機能的構成を説明すれば、制御装置３００はデータ収集部３１０、先呼出時点演算部３２０、先呼出の可否判断部３３０、及び搬送遂行部３４０を含むことができる。データ収集部３１０は搬送車両２００がレール１００に沿って走行して基板処理装置ＡＰに物品を搬送しながら、獲得する運営データを収集することができる。即ち、データ収集部３１０は後述するデータ収集段階（Ｓ１０）を遂行することができる。
【0063】
先呼出時点演算部３２０はデータ収集部３１０が収集した運営データに基づいて、基板処理装置ＡＰの予測搬送要請時点を導出し、導出された予測搬送時点より以前に搬送車両ＡＰの中でいずれか１つ、例えば第１搬送車両ＡＰ－Ａに対する先呼出を進行する先呼出時点を導出することができる。即ち、先呼出時点演算部３２０は後述する先呼出時点演算段階（Ｓ２０）を遂行することができる。
【0064】
先呼出の可否判断部３３０は先呼出時点演算段階（Ｓ２０）で導出された先呼出時点が、現在時点を過ぎたか、又は現在時点を過ぎていないかを判断して、搬送車両ＡＰの中でいずれか１つ、例えば第１搬送車両ＡＰ－Ａに対する先呼出を進行するかどうかを判断することができる。即ち、先呼出の可否判断部３３０は後述する先呼出の可否判断段階（Ｓ３０）を遂行することができる。
【0065】
搬送遂行部３４０は後述する第１搬送モデルＰＭと、第２搬送モデルＢＭを記憶することができる。第１搬送モデルＰＭと第２搬送モデルＢＭは予め設定されたアルゴリズムであり得る。第１搬送モデルＰＭと第２搬送モデルＢＭは互いに異なる搬送アルゴリズムであり得る。先呼出の可否判断部３３０で先呼出を進行することと判断した場合、搬送遂行部３４０は第１搬送モデルＰＭに基づいて物品搬送システム１０を運営することができる。先呼出の可否判断部３３０で先呼出を進行しないことと判断した場合、搬送遂行部３４０は第２搬送モデルＢＭに基づいて物品搬送システム１０を運営することができる。即ち、搬送遂行部３４０は先呼出進行の可否にしたがって搬送車両２００に制御信号を伝送することができる。搬送遂行部３４０は後述する搬送段階（Ｓ４０）を遂行することができる。
【0066】
図５は本発明の一実施形態による運営方法の予測モデルを概略的に示した説明図である。
【0067】
図１及び図５を参照すれば、一般的に搬送車両２００に物品を搬送するという課題を割当することは、まず基板処理装置ＡＰで物品を搬送してもらうという搬送要請信号を発生させ、その後に制御装置３００が該当搬送要請信号に合致する課題を遂行することができる搬送車両２００を検索する。そして、制御装置３００は検索された搬送車両２００に課題を割当する。課題が割当された搬送車両２００は基板処理装置ＡＰに物品を搬送する搬送を遂行する。しかし、このような方式は基板処理装置ＡＰの搬送要請信号が発生された後に搬送車両２００に対する課題割当が行われるので、物品搬送時間を短縮させるのに限界がある。
【0068】
したがって、本発明の一実施形態によれば、図５に図示されたような物品搬送システム１０に予測モデルを適用して物品を搬送する。
【0069】
基板処理装置ＡＰは一般的に同一な処理工程を反復的に遂行する。したがって、基板処理装置ＡＰが物品の搬送を要請する搬送要請時点も反復される。基板処理装置ＡＰは同一な工程を反復的に遂行するので、搬送要請時点もある程度一定である。即ち、物品搬送システム１０を運営して獲得される運営データの統計的処理を通じて、基板処理装置ＡＰの搬送要請時間間隔ＴＦを高い確率で予測することができる。搬送要請時間間隔ＴＦを予測できるようになれば、搬送要請時点ｔ０の後、その次の搬送要請時点として予測される、予測搬送要請時点ｔＰを導出することができる。
【0070】
また、物品搬送システム１０を運営して獲得される運営データから、搬送車両２００が搬送要請を発生させた基板処理装置ＡＰに到着する到着所要時間を高い確率で予測することができる。搬送車両２００の予測到着所要時間と、予測搬送要請時点ｔＰを導出できるようになれば、搬送車両２００に対する先呼出時点ｔｎｅｘｔを導出することができる。先呼出時点ｔｎｅｘｔは実際の搬送要請が発生した搬送要請時点ｔ０と予測搬送要請時点ｔＰとの間の時点であり得る。先呼出時点ｔｎｅｘｔに搬送車両２００を先呼び出すようになれば、搬送車両２００は高い確率でその次の搬送要請時点として予測される予測搬送要請時点ｔＰに基板処理装置ＡＰに到着することができる。
【0071】
以下では、図５で説明した予測モデルを適用した物品搬送システム１０の運営方法をより詳細に説明する。
【0072】
図６は本発明の一実施形態による運営方法を概略的に示したフローチャートである。
【0073】
図１及び図６を参照すれば、本発明の一実施形態による物品搬送システム１０の運営方法は、データ収集段階（Ｓ１０）、先呼出時点演算段階（Ｓ２０）、先呼出の可否判断段階（Ｓ３０）、及び搬送段階（Ｓ４０）を含むことができる。データ収集段階（Ｓ１０）、先呼出時点演算段階（Ｓ２０）、先呼出の可否判断段階（Ｓ３０）、及び搬送段階（Ｓ４０）は順次的に遂行されることができる。データ収集段階（Ｓ１０）、先呼出時点演算段階（Ｓ２０）、先呼出の可否判断段階（Ｓ３０）、及び搬送段階（Ｓ４０）は上述した制御装置３００によって遂行されることができる。
【0074】
【0075】
図１、図６、及び図７を参照すれば、ステップＳ１１では、物流ラインを運営する。物流ラインを運営することは物品搬送システム１０を通じてターゲット装置、例えば基板処理装置ＡＰに物品を伝達し、基板処理装置ＡＰから物品を回収することを意味することができる。上述したように物品搬送システム１０を運営すれば、様々なデータを収集することができる。
【0076】
データとは基板処理装置ＡＰが物品の搬送を要請する搬送要請時間間隔、制御装置３００が基板処理装置ＡＰの搬送要請に基づいて搬送車両２００を呼び出す時、搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するのに所要される時間、制御装置３００が基板処理装置ＡＰを呼び出す時、搬送車両２００が基板処理装置ＡＰまで移動する移動距離であり得る。
【0077】
例えば、基板処理装置ＡＰの中で第１基板処理装置ＡＰ－Ａの搬送要請時間間隔は１０分、１０分１５秒、９分５８秒、１０分１２秒等のように大略１０分程度の時間間隔に物品の搬送を繰り返して要請することができる。
【0078】
例えば、第１基板処理装置ＡＰ－Ａが発生させる各々の物品搬送要請信号に対応して、制御装置３００が搬送車両２００を呼び出す時、搬送車両２００の中でいずれか１つが選択されて第１基板処理装置ＡＰ－Ａに到着するのに掛かる時間は５分、５分３秒、４分３５秒、４分５９秒等のように大略５分程度が所要されることができる。
【0079】
例えば、制御装置３００が搬送車両２００を呼び出す時、搬送車両２００の中で選択されたいずれか１つが第１基板処理装置ＡＰ－Ａに到着するまで移動する移動距離は、５０ｍ、５２ｍ、４８ｍ、５１ｍ等のように大略５０ｍ程度を移動することができる。
【0080】
即ち、搬送要請時間間隔、到着所要時間、及び移動距離のようなデータは継続して収集されて制御装置３００に格納される。
【0081】
また、ステップＳ１１は、設定期間の間に行われることができる。設定期間は１ヶ月、１週、１日、数時間、または数分等の多様に指定されることができる。設定期間間にデータの収集が行われれば、制御装置３００は格納されたデータを利用して搬送要請時間間隔、到着所要時間、及び移動距離各々の予測値を導出することができる。
【0082】
ステップＳ１２、Ｓ１３、Ｓ１４では、ステップＳ１１で収集されたデータに対する確率分布フィッティング（Ｆｉｔｔｉｎｇ）を遂行することができる。確率分布フィッティングとは、一定値に収集されたデータを非線形関数の形態で近似することを意味することができる。確率分布フィッティングを通じて最も高い確率で発生することができる基板処理装置ＡＰの搬送要請時間間隔、最も高い確率で発生することができる搬送車両２００の基板処理装置ＡＰヘの到着所要時間、及び最も高い確率で発生することができる搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するまで移動した移動距離を導出することができる。
【0083】
例えば、最も高い確率で発生することができる基板処理装置ＡＰの搬送要請時間間隔、最も高い確率で発生することができる搬送車両２００の基板処理装置ＡＰヘの到着所要時間、及び最も高い確率で発生することができる搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するまで移動した移動距離は、データの代表値であり得る。
【0084】
例えば、最も高い確率で発生することができる第１基板処理装置ＡＰ－Ａの搬送要請時間間隔は、ステップＳ１１が遂行される間に収集された第１基板処理装置ＡＰ－Ａの搬送要請時間間隔の平均値Ｔであり得る。
【0085】
また、最も高い確率で発生することができる搬送車両２００の基板処理装置ＡＰヘの到着所要時間は、搬送車両２００の中で選択された搬送車両が第１基板処理装置ＡＰ－Ａに到着するのに所要された時間の平均値△ｔであり得る。
【0086】
また、最も高い確率で発生することができる搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するまで移動した距離は、選択された搬送車両２００が第１基板処理装置ＡＰ－Ａに到着するまで移動した移動距離の平均値ｄであり得る。
【0087】
上述した例ではステップＳ１１が設定期間の間に運営された後、ステップＳ１２、Ｓ１３、Ｓ１４を遂行することを例として説明したが、これに限定されることではない。例えば、ステップＳ１１が遂行される間に、実時間にステップＳ１２、Ｓ１３、Ｓ１４が行われることができる。そして、設定期間の間に、実時間に累積されたデータに基づいて、以下では説明する平均値を設定期間単位に運営データに追加することができる。
【0088】
ステップＳ１５、Ｓ１６、Ｓ１７では、このように収集されたデータの代表値を運営データに追加することができる。
【0089】
運営データは搬送要請時間間隔に対する平均値Ｔの集合ＭＴと、搬送車両到着所要時間に対する平均値△ｔの集合Ｍ△ｔと、搬送車両移動距離に対する平均値ｄの集合Ｍｄを含むことができる。
【0090】
例えば、ＭＴはＴ１、Ｔ２、…、Ｔｎを含むことができる。第１期間の間に収集された搬送要請時間間隔の平均値をＴ１とし、第２期間の間に収集された搬送要請時間間隔の平均値をＴ２とし、第ｎ期間の間に収集された搬送要請時間間隔の平均値をＴｎとすることができる。ここで、下付き文字の数字が小さいほど、より最近に収集されたデータに基づいて運営データに追加された代表値であり得る。例えば、Ｔ１は最も最近に収集されたデータに基づいて、最も最近に運営データに追加された代表値であり得る。
【0091】
また、Ｍ△ｔは△ｔ１、△ｔ２、…、△ｔｎを含むことができる。第１期間の間に収集された搬送車両２００の中で選択された搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するのに所要された到着所要時間の平均値を△ｔ１とし、第２期間の間に収集された搬送車両２００の中で選択された搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するのに所要された到着所要時間の平均値を△ｔ２とし、第ｎ期間の間に収集された搬送車両２００の中で選択された搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するのに所要された到着所要時間の平均値を△ｔｎとし、ここで、下付き文字の数字が小さいほど、さらに最近に収集されたデータに基づいて運営データに追加された代表値であり得る。例えば、△ｔ１は最も最近に収集されたデータに基づいて、最も最近に運営データに追加された代表値であり得る。
【0092】
また、Ｍｄはｄ１、ｄ２、…、ｄｎを含むことができる。第１期間の間に収集された選択された搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに移動した距離の平均値をｄ１とし、第２期間の間に選択された搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに移動した距離の平均値をｄ２とし、第ｎ期間の間に収集された選択された搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに移動した距離の平均値をｄｎとすることができる。ここで、下付き文字の数字が小さいほど、さらに最近に収集されたデータに基づいて運営データに追加された代表値であり得る。例えば、ｄ１は最も最近に収集されたデータに基づいて、最も最近に運営データに追加された代表値であり得る。
【0093】
制御装置３００は運営データを記憶することができる。制御装置３００は予め収集されて記憶された運営データから基板処理装置ＡＰの予測搬送要請時点と、搬送車両先呼出時点を演算して導出することができる。
【0094】
【0095】
図１、図６、及び図８を参照すれば、ステップＳ２１では搬送要請時間間隔を予測する。例えば、第１基板処理装置ＡＰ－Ａの予測される搬送要請時間間隔を予測することができる。より詳細には、運営データには上述したＴ１、Ｔ２、…、Ｔｎ－が予め記憶されている。Ｔ１は最も最近に収集されたデータに基づいて追加された搬送要請時間間隔の平均値である。最も最近に収集されたデータであるほど、物品搬送システム１０の状態及び基板処理装置ＡＰの状態を最も良く反映しているので、最も最近に収集されたデータに基づいて最も最近に追加された搬送要請時間間隔の平均値であるほど、加重値をさらに大きくして予測搬送時間間隔ＴＦを導出することができる。
【0096】
例えば、予測搬送時間間隔ＴＦは以下のような数式１を通じて求めることができる。
【0097】
【数1】
【0098】
ステップＳ２２では搬送車両２００の中で選択された搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するのに所要される時間を予測する。例えば、第１基板処理装置ＡＰ－Ａに搬送車両２００の中で制御装置３００から呼出信号が伝達された選択された搬送車両２００が第１基板処理装置ＡＰ－Ａに到着するのに所要される時間を予測することができる。より詳細には、運営データには上述した△ｔ１、△ｔ２、…、△ｔｎ－が予め記憶されている。△ｔ１は最も最近に収集されたデータに基づいて追加された搬送要請時間間隔の平均値である。最も最近に収集されたデータであるほど、物品搬送システム１０の状態及び基板処理装置ＡＰの状態を最も良く反映しているので、最も最近に収集されたデータに基づいて最も最近に追加された到着所要時間の平均値であるほど、加重値をさらに大きくして予測到着所要時間（△ｔＦ）を導出することができる。
【0099】
例えば、予測到着所要時間△ｔＦは以下のような数式２を通じて求めることができる。
【0100】
【数2】
【0101】
ステップＳ２３では搬送車両２００の移動距離を予測する。例えば、第１基板処理装置ＡＰ－Ａが搬送要請信号を発生させれば、搬送車両２００の中で選択された搬送車両２００が第１基板処理装置ＡＰ－Ａに到着するまで移動した距離を予測することができる。より詳細には、運営データには上述したｄ１、ｄ２、…、ｄｎ－が予め記憶されている。ｄ１は最も最近に収集されたデータに基づいて追加された移動距離の平均値である。最も最近に収集されたデータであるほど、物品搬送システム１０の状態及び基板処理装置ＡＰの状態を最も良く反映しているので、最も最近に収集されたデータに基づいて最も最近に追加された移動距離の平均値であるほど、加重値をさらに大きくして予測移動距離ｄＦを導出することができる。
【0102】
例えば、予測移動距離ｄＦは以下のような数式３を通じて求めることができる。
【0103】
【数3】
【0104】
ステップＳ２４では、上述したステップＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３予測搬送要請時間間隔ＴＦ－を利用して基板処理装置ＡＰの搬送要請時点を予測することができる。例えば、第１基板処理装置ＡＰ－Ａの実際の搬送要請がｔ０に発生すれば、その次の搬送要請時点（予測搬送要請時点）であるｔｐは以下のような数式４を通じて導出されることができる。
【0105】
【数4】
【0106】
ステップＳ２５では、予測搬送要請時点ｔＰから搬送車両の先呼出時点であるｔｎｅｘｔを導出することができる。先呼出時点ｔｎｅｘｔは実際の搬送要請時点ｔ０よりは遅く、予測搬送要請時点ｔＰより以前の時点であり得る。先呼出時点ｔｎｅｘｔは下の数式５を通じて導出されることができる。
【0107】
【数5】
【0108】
一方、先呼出時点ｔｎｅｘｔは必要によって、予測搬送要請時点ｔＰから予測到着所要時間△ｔＦを引いた時点より設定時間くらい早い時点と指定されることができる。設定時間は５秒から３０秒程度に予め設定されることができる。予測搬送要請時点ｔＰから予測到着所要時間△ｔＦを引いた時点より設定時間くらい早い時点で先呼出時点ｔｎｅｘｔを指定する場合、搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに向かう途中に基板処理装置ＡＰで実際の搬送要請信号を発生させるかを確認することができる。仮に実際の搬送要請信号が発生しない場合、制御装置３００は搬送車両２００の呼出を取り消すことができるので、搬送車両２００の運営上の長所がある。
【0109】
再び図１及び図６を参照すれば、先呼出の可否判断段階（Ｓ３０）には搬送車両２００に対する先呼出を進行するかどうかを判断することができる。具体的に、先に導出された先呼出時点ｔｎｅｘｔが現在時点ｔｃｕｒを過ぎたか、又は過ぎていないかに基づいて搬送車両２００に対する先呼出を進行するかどうかを判断することができる。先呼出時点ｔｎｅｘｔが現在時点ｔｃｕｒを過ぎていない場合には、第１搬送モデルＰＭに基づいて搬送段階（Ｓ４０）を遂行することができる。先呼出時点ｔｎｅｘｔが現在時点ｔｃｕｒを過ぎた場合には、第２搬送モデルＢＭに基づいて搬送段階（Ｓ４０）を遂行することができる。
【0110】
搬送段階（Ｓ４０）は先呼出の進行の可否にしたがって選択される搬送モデルに基づいて搬送車両２００による物品搬送を遂行することができる。搬送段階（Ｓ４０）に適用されることができるモデルは、第１搬送モデルＰＭと第２搬送モデルＢＭであり得る。第１搬送モデルＰＭは先呼出を進行する場合選択される予測モデルであり得る。第２搬送モデルＢＭは先呼出を進行しない場合に選択される基本モデルであり得る。搬送段階（Ｓ４０）で遂行された物品搬送に関するデータ（例えば、搬送要請時間間隔、到着所要時間、移動距離等）は制御装置３００が収集することができる。
【0111】
【0112】
図１、図６、及び図９を参照すれば、第１搬送モデルＰＭは予測モデルを適用した制御装置３００に予め記憶されたアルゴリズムであり得る。ステップＰＭ１では、予約することができる搬送車両２００を選定し、選定された搬送車両２００と基板処理装置ＡＰとの間の実際の距離ｄｃｕｒを測定することができる。
【0113】
ステップＰＭ２では、予測移動距離ｄＦと、実際の距離ｄｃｕｒの比率を利用して搬送車両２００の予約可能可否を決定することができる。例えば、搬送車両２００の予約可能の可否は下の数式６によって判断することができる。
【0114】
【数6】
【0115】
ｔｃｕｒは現在時点、ｔｐは予測搬送要請時点、ｄｃｕｒは選定された搬送車両２００と搬送要請信号を発生させた基板処理装置ＡＰとの間の距離、△ｔＦは選択された搬送車両２００の予測到着所要時間であり得る。［ｔｐ－ｄｃｕｒ／ｄＦ＊△ｔＦ］は選定された搬送車両２００に適用される先呼出時点であり得る。
【0116】
ｄｃｕｒが大き過ぎる場合（即ち、選定された搬送車両２００と搬送要請信号を発生させた基板処理装置ＡＰがあまりにも遠く離れている場合）、該当搬送車両２００を選定する時、搬送車両２００が基板処理装置ＡＰに到着するまであまりにも多い時間が所要されることができる。
【0117】
例えば、第１基板処理装置ＡＰ－Ａに物品を搬送する搬送車両として第１２搬送車両２００Ｌを選定したが、第１２搬送車両２００Ｌは第１基板処理装置ＡＰ－Ａとあまりにも遠く離れているので、第１基板処理装置ＡＰ－Ａに対する搬送を遂行する搬送車両２００として適合でない。即ち、選定された第１２搬送車両２００Ｌに適用される先呼出時点を導出し、該当先呼出時点が現在時点ｔｃｕｒを過ぎた場合には、第１２搬送車両２００Ｌは予約が不可能である搬送車両２００として判断して、他の搬送車両２００を選定する。
【0118】
例えば、第１基板処理装置ＡＰ－Ａに物品を搬送する車両として第１搬送車両２００Ａを選定した場合には、第１搬送車両２００Ａが第１基板処理装置ＡＰ－Ａと隣接するように位置するので、第１基板処理装置ＡＰ－Ａに対する搬送を遂行する搬送車両２００として適合することができる。即ち、選定された第１搬送車両２００Ａに適用される先呼出時点を導出し、該当先呼出時点が現在時点ｔｃｕｒ－を過ぎていない場合には、第１搬送車両２００Ａは予約が可能な搬送車両として判断する。
【0119】
ステップＰＭ３では、予約が可能な搬送車両２００に対する仮予約を進行する。仮予約を進行すれば、制御装置３００は予約された搬送車両２００に対して呼出信号を伝達し、呼出信号が伝達された搬送車両２００は搬送課題を遂行するために基板処理装置ＡＰに向かって移動することができる。例えば、第１搬送車両２００Ａが予約可能な搬送車両２００として判断されれば、第１搬送車両２００Ａに対する仮予約を進行する。予約された第１搬送車両２００Ａは搬送課題を遂行するために第１基板処理装置ＡＰ－Ａに向かって移動することができる。
【0120】
ステップＰＭ４では、搬送車両２００が搬送課題を遂行するために基板処理装置ＡＰに移動する途中（場合によって、移動を完了した場合）に基板処理装置ＡＰの実際の搬送要請が発生したか否かを判断する。
【0121】
実際の搬送要請が発生した場合には、ステップＰＭ５で該当搬送車両２００に対する搬送予約を確定し、ステップＰＭ６で搬送車両２００による実際の搬送を遂行する。例えば、第１搬送車両２００Ａが第１基板処理装置ＡＰ－Ａに対する搬送課題を遂行するために、第１基板処理装置ＡＰ－Ａに移動する途中、第１基板処理装置ＡＰ－Ａで実際の物品搬送要請信号を発生させた場合、制御装置３００は第１搬送車両２００Ａに対する予約を確定し、第１搬送車両２００Ａが実際の搬送を遂行する。
【0122】
言い換えれば、予測搬送要請時点ｔＰは予測時点に過ぎないので、基板処理装置ＡＰの実際の搬送要請信号が発生しなければ、搬送車両２００は物品を下ろすか、或いは物品を回収する等の搬送動作を遂行しない。
【0123】
実際の搬送要請が発生しない場合には、ステップＰＭ４１で搬送車両２００は目的地である基板処理装置ＡＰに到着する。例えば、第１搬送車両２００Ａは第１基板処理装置ＡＰ－Ａの上方に到着することができる。
【0124】
ステップＰＭ４２では、搬送車両２００は基板処理装置ＡＰの上方で、基板処理装置ＡＰで実際の物品搬送要請信号を発生させる時まで待機する。例えば、第１搬送車両２００Ａは第１基板処理装置ＡＰ－Ａの実際の搬送要請信号が発生する時まで待機する。
【0125】
ステップＰＭ４３では、搬送車両２００が基板処理装置ＡＰの上方で待機する間に、回避が必要か否かを継続して確認する。回避が必要でない場合、搬送車両２００は基板処理装置ＡＰの上方で待機する。
【0126】
反面、回避が必要である場合には、搬送車両２００に対する仮予約を取り消し、ステップＰＭ４４に応じて第２搬送モデルＢＭに基づいて搬送車両２００を予約することができる。例えば、第１搬送車両２００Ａが第１基板処理装置ＡＰ－Ａの上方で待機する間に、第２搬送車両（２００Ｂ）の搬送課題が遂行され、第２搬送車両２００Ｂが搬送課題を遂行するために移動する経路と第１搬送車両２００Ａが待機する位置が重畳される場合、回避が必要であることと判断することができる。この場合、第１搬送車両２００Ａに対する仮予約を取り消し、第２搬送モデルＢＭに基づいて搬送車両２００に対する課題割当を実行することができる。
【0127】
【0128】
図１、図６、及び図１０を参照すれば、第２搬送モデルＢＭは第１搬送モデルＰＭと異なるモデルであり得る。第２搬送モデルＢＭは予測モデルを適用しない、基本モデルであり得る。第２搬送モデルＢＭは予測モデルを適用しない、制御装置３００に予め記憶されたアルゴリズムであり得る。
【0129】
ステップＢＭ１では、基板処理装置ＡＰが実際の物品の搬送要請信号を発生させることができる。
【0130】
ステップＢＭ２では制御装置３００が基板処理装置ＡＰに対する搬送課題を課題リーストに追加することができる。
【0131】
ステップＢＭ３では課題リーストに追加された課題を遂行する搬送車両２００を検索することができる。
【0132】
ステップＢＭ４では検索された搬送車両２００が課題を遂行するのに適合な場合、制御装置３００は該当搬送車両２００に搬送課題を割当することができる。搬送課題を遂行するのに適合であるかどうかは、搬送車両２００と搬送要請信号を発生させた基板処理装置ＡＰとの距離、搬送車両２００が把持している容器Ｃ内の物品の種類及び数量等を考慮して選択されることができる。
【0133】
ステップＢＭ５では搬送課題が割当された搬送車両２００が搬送を遂行することができる。
【0134】
第２搬送モデルＢＭは、先呼出の可否判断段階（Ｓ３０）で先呼出を進行しないことと判断される場合や、又は第１搬送モデルＰＭのステップＰＭ４３で回避が必要であることと判断される場合に選択されることができる。
【0135】
上述したように、本発明の一実施形態によれば、基板処理装置ＡＰで実際の物品搬送要請信号が発生する前に、搬送車両２００を先呼出して基板処理装置ＡＰに向かって移動させる。即ち、本発明の一実施形態による物品搬送システム１０の運営方法は先行的であり、能動的である。本発明の一実施形態による運営方法によれば、搬送車両２００による物品搬送の効率性を改善することができ、基板処理装置ＡＰで物品搬送要請信号が発生した時点と概ね同一な時点に物品の搬送を完了することができるので、全体物品搬送に所要される時間を短縮させることができる。
【0136】
以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、前述した内容は本発明の好ましい実施形態を例として説明することであり、本発明は多様な他の組合、変更、及び環境で使用することができる。即ち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、前述した開示内容と均等な範囲、及び／又は当業界の技術又は知識の範囲内で変更又は修正が可能である。前述した実施形態は本発明の技術的思想を具現するための最善の状態を説明することであり、本発明の具体的な適用分野及び用途で要求される様々な変更も可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態に本発明を制限しようとする意図ではない。添付された請求の範囲は他の実施状態も含むことと解析されなければならない。
【符号の説明】
【0137】
ＡＰ 基板処理装置
１０ 物品搬送システム
１００ レール
２００ 搬送車両
３００ 制御装置
３１０ データ収集部
３２０ 先呼出時点演算部
３３０ 先呼出の可否判断部
３４０ 搬送遂行部
Ｓ１０ データ収集段階
Ｓ２０ 先呼出時点演算段階
Ｓ３０ 先呼出の可否判断段階
Ｓ４０ 搬送段階
ＰＭ 第１搬送モデル
ＢＭ 第２搬送モデル
１０ 物品搬送システム
１００ レール
２００ 搬送車両
３００ 制御装置
３１０ データ収集部
３２０ 先呼出時点演算部
３３０ 先呼出の可否判断部
３４０ 搬送遂行部
Ｓ１０ データ収集段階
Ｓ２０ 先呼出時点演算段階
Ｓ３０ 先呼出の可否判断段階
Ｓ４０ 搬送段階
ＰＭ 第１搬送モデル
ＢＭ 第２搬送モデル
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
