特許 7510288 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-25

(45)【発行日】2024-07-03

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/06 20060101AFI20240626BHJP

【ＦＩ】

B25J9/06 D

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020119165

(22)【出願日】2020-07-10

(65)【公開番号】P2022015959

(43)【公開日】2022-01-21

【審査請求日】2023-06-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】栗林 保

(72)【発明者】

【氏名】風間 俊道

【審査官】臼井 卓巳

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／０２１８３３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－０３５４０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０３６１８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国実用新案第２０６４９３５２３（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特開２０１３－１０３３３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０１７３５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１６／０８４１７８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】中国実用新案第２０５４１５６９５（ＣＮ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ ９／００－１９／００

Ｂ２９Ｃ ４５／１７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

水平多関節型の産業用ロボットにおいて、
アームの一部を構成する中空状のアーム部と、モータ本体部および前記モータ本体部から水平方向に突出する出力軸を有し前記アーム部の内部に配置されるモータとを備え、
前記出力軸の軸方向は、上下方向に直交する前記アーム部の長手方向と一致しており、
前記アーム部は、前記アーム部の上面を構成する上壁部と、前記アーム部の下面を構成する下壁部と、上下方向と前記アーム部の長手方向とに直交する前記アーム部の短手方向における前記アーム部の側面を構成する２個の側壁部とを備え、
前記モータは、前記アーム部の短手方向における前記アーム部の中心位置に配置され、
少なくとも前記モータ本体部が配置される箇所では、前記上壁部の下面に、上側に向かって窪む上側凹部が形成されるとともに、前記下壁部の上面に、下側に向かって窪む下側凹部が形成され、
前記アーム部の長手方向において前記上側凹部が形成された箇所では、前記上壁部の、前記アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、前記上壁部の、前記上側凹部が形成された部分の上下方向の厚さよりも厚くなっており、
前記アーム部の長手方向において前記下側凹部が形成された箇所では、前記下壁部の、前記アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、前記下壁部の、前記下側凹部が形成された部分の上下方向の厚さよりも厚くなっていることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記アーム部の長手方向において前記上側凹部が形成された箇所では、前記上壁部の、前記アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、互いに等しくなっており、
前記アーム部の長手方向において前記下側凹部が形成された箇所では、前記下壁部の、前記アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、互いに等しくなっていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記アーム部の長手方向において前記上側凹部および前記下側凹部の少なくともいずれか一方が形成された範囲では、２個の前記側壁部の、前記アーム部の短手方向の厚さは、互いに等しくなっていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記モータは、前記アーム部の長手方向における前記アーム部の中間位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、水平多関節型の産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送する水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部と、第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部とから構成されている。第３アーム部の先端側には、２個のハンドが回動可能に連結されている。

【0003】

また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、第２アーム部に対して第３アーム部を回動させる第３アーム部回動機構を備えている。第３アーム部回動機構は、中空状に形成される第２アーム部の内部に配置されるモータを備えている。モータは、モータ本体部と、モータ本体部から水平方向に突出する出力軸とを備えている。モータの出力軸の軸方向は、上下方向に直交する第２アーム部の長手方向と一致している。

【0004】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第２アーム部は、第２アーム部の上面を構成する上壁部と、第２アーム部の下面を構成する下壁部と、上下方向とアーム部の長手方向とに直交するアーム部の短手方向における第２アーム部の側面を構成する２個の側壁部とを備えている。上壁部の下面には、上壁部とモータ本体部との干渉を防止するための凹部が形成され、下壁部の上面には、下壁部とモータ本体部との干渉を防止するための凹部が形成されている。そのため、この産業用ロボットでは、中空状の第２アーム部の内部に、アーム部の長手方向と出力軸の軸方向とが一致するようにモータが配置されていても、第２アーム部を薄型化すること（すなわち、上下方向で小型化すること）が可能になっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１５－３６１８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第２アーム部を薄型化するために、第２アーム部の上壁部および下壁部に凹部が形成されており、第２アーム部の上壁部および下壁部の、凹部が形成された部分の厚さ（上下方向の厚さ）が薄くなっている。そのため、この産業用ロボットでは、第２アーム部の強度が低下するおそれがある。また、第２アーム部の強度が低下すると、産業用ロボットの動作時に第２アーム部が変形して、第２アーム部の動作が不安定になるおそれがある。

【0007】

そこで、本発明の課題は、アームの一部を構成する中空状のアーム部の内部に、アーム部の長手方向と出力軸の軸方向とが一致するようにモータが配置されていても、アーム部を薄型化すること、および、アーム部の動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、水平多関節型の産業用ロボットにおいて、アームの一部を構成する中空状のアーム部と、モータ本体部およびモータ本体部から水平方向に突出する出力軸を有しアーム部の内部に配置されるモータとを備え、出力軸の軸方向は、上下方向に直交するアーム部の長手方向と一致しており、アーム部は、アーム部の上面を構成する上壁部と、アーム部の下面を構成する下壁部と、上下方向とアーム部の長手方向とに直交するアーム部の短手方向におけるアーム部の側面を構成する２個の側壁部とを備え、モータは、アーム部の短手方向におけるアーム部の中心位置に配置され、少なくともモータ本体部が配置される箇所では、上壁部の下面に、上側に向かって窪む上側凹部が形成されるとともに、下壁部の上面に、下側に向かって窪む下側凹部が形成され、アーム部の長手方向において上側凹部が形成された箇所では、上壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、上壁部の、上側凹部が形成された部分の上下方向の厚さよりも厚くなっており、アーム部の長手方向において下側凹部が形成された箇所では、下壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、下壁部の、下側凹部が形成された部分の上下方向の厚さよりも厚くなっていることを特徴とする。

【0009】

本発明の産業用ロボットでは、少なくともモータ本体部が配置される箇所において、上壁部の下面に、上側に向かって窪む上側凹部が形成されるとともに、下壁部の上面に、下側に向かって窪む下側凹部が形成されている。そのため、本発明では、中空状のアーム部の内部に、アーム部の長手方向と出力軸の軸方向とが一致するようにモータが配置されていても、アーム部を薄型化することが可能になる。

【0010】

また、本発明では、モータは、アーム部の短手方向におけるアーム部の中心位置に配置されている。また、本発明では、アーム部の長手方向において上側凹部が形成された箇所では、上壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、上壁部の、上側凹部が形成された部分の上下方向の厚さよりも厚くなり、かつ、アーム部の長手方向において下側凹部が形成された箇所では、下壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、下壁部の、下側凹部が形成された部分の上下方向の厚さよりも厚くなっている。

【0011】

そのため、本発明では、上壁部に上側凹部が形成され、かつ、下壁部に下側凹部が形成されていても、アーム部の長手方向において上側凹部、下側凹部が形成された箇所では、上壁部と２個の側壁部との境界部分の強度、および、下壁部と２個の側壁部との境界部分の強度を確保することが可能になるとともに、アーム部の短手方向におけるアーム部の強度のバランスを保つことが可能になる。

【0012】

したがって、本発明では、アーム部を薄型化するために、上壁部に上側凹部が形成され、かつ、下壁部に下側凹部が形成されていても、産業用ロボットが動作したときのアーム部の変形を抑制することが可能になり、その結果、アーム部の動作を安定させることが可能になる。すなわち、本発明では、アームの一部を構成する中空状のアーム部の内部に、アーム部の長手方向と出力軸の軸方向とが一致するようにモータが配置されていても、アーム部を薄型化することが可能になるとともに、アーム部の動作を安定させることが可能になる。

【0013】

本発明において、アーム部の長手方向において上側凹部が形成された箇所では、上壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、互いに等しくなっており、アーム部の長手方向において下側凹部が形成された箇所では、下壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さは、互いに等しくなっていることが好ましい。このように構成すると、アーム部の長手方向において上側凹部、下側凹部が形成された箇所では、アーム部の短手方向におけるアーム部の強度のバランスを良くすることが可能になる。したがって、アーム部を薄型化するために、上壁部に上側凹部が形成され、かつ、下壁部に下側凹部が形成されていても、産業用ロボットが動作したときのアーム部の変形をより抑制することが可能になり、その結果、アーム部の動作をより安定させることが可能になる。

【0014】

本発明において、アーム部の長手方向において上側凹部および下側凹部の少なくともいずれか一方が形成された範囲では、２個の側壁部の、アーム部の短手方向の厚さは、互いに等しくなっていることが好ましい。このように構成すると、アーム部の長手方向において上側凹部、下側凹部が形成された箇所では、アーム部の短手方向におけるアーム部の強度のバランスを良くすることが可能になる。したがって、アーム部を薄型化するために、上壁部に上側凹部が形成され、かつ、下壁部に下側凹部が形成されていても、産業用ロボットが動作したときのアーム部の変形をより抑制することが可能になり、その結果、アーム部の動作をより安定させることが可能になる。

【0015】

本発明において、モータは、アーム部の長手方向におけるアーム部の中間位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、上壁部に上側凹部が形成され、かつ、下壁部に下側凹部が形成されていても、アーム部の長手方向におけるアーム部の強度のバランスを保つことが可能になる。また、アーム部の長手方向におけるアーム部内部の重量のバランスを良くすることが可能になる。したがって、アーム部を薄型化するために、上壁部に上側凹部が形成され、かつ、下壁部に下側凹部が形成されていても、産業用ロボットが動作したときのアーム部の変形をより抑制することが可能になり、その結果、アーム部の動作をより安定させることが可能になる。

【発明の効果】

【0016】

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、アームの一部を構成する中空状のアーム部の内部に、アーム部の長手方向と出力軸の軸方向とが一致するようにモータが配置されていても、アーム部を薄型化することが可能になるとともに、アーム部の動作を安定させることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図3】図１に示すアーム部の内部の構成を説明するための図である。

【図4】図３のＥ部の構成を説明するための図である。

【図5】図４のＦ－Ｆ方向からアーム部の内部の構成を示す図である

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0019】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図３は、図１に示すアーム部１１の内部の構成を説明するための図である。

【0020】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２を搬送するための水平多関節型のロボットであり、半導体製造システムに組み込まれて使用される。ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。

【0021】

アーム６は、３個のアーム部１０～１２によって構成されている。アーム部１０の基端部は、本体部７に回動可能に連結されている。アーム部１１の基端部は、アーム部１０の先端部に回動可能に連結されている。アーム部１２の基端部は、アーム部１１の先端部に回動可能に連結されている。アーム部１０～１２は、上下方向を回動の軸方向として回動する。アーム部１０～１２は、中空状に形成されている。本体部７とアーム部１０とアーム部１１とアーム部１２とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。

【0022】

ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端部は、アーム部１２の先端部に回動可能に連結されている。ハンド４、５は、上下方向を回動の軸方向として回動する。ハンド４の基端部とハンド５の基端部とは上下方向で重なっている。本形態では、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。ハンド４、５は、アーム部１２よりも上側に配置されている。

【0023】

本体部７は、筐体１３と、アーム部１０の基端部が回動可能に連結される柱状部材（図示省略）とを備えている。アーム部１０の基端部は、柱状部材の上端部に回動可能に連結されている。筐体１３の内部には、柱状部材を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。アーム昇降機構は、柱状部材が筐体１３に収容される位置と、柱状部材が筐体１３から上側に突出する位置との間で、アーム６および柱状部材を昇降させる。

【0024】

また、ロボット１は、アーム部１０、１１を回動させてアーム部１０とアーム部１１とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム駆動機構と、アーム部１１に対してアーム部１２を回動させるアーム部回動機構１５と、アーム部１２に対してハンド４を回動させるハンド駆動機構（図示省略）と、アーム部１２に対してハンド５を回動させるハンド駆動機構（図示省略）とを備えている。

【0025】

アーム駆動機構は、筐体１３の内部に配置されるモータ（図示省略）、モータの動力を減速してアーム部１０に伝達するための減速機（図示省略）、および、モータの動力を減速してアーム部１１に伝達するための減速機１７等を備えている。減速機１７は、アーム部１０とアーム部１１とを繋ぐ関節部の一部を構成している（図３参照）。減速機１７は、たとえば、径方向の中心に貫通孔が形成された中空状の中空波動歯車装置（ハーモニックドライブ（登録商標））である。ハンド駆動機構は、アーム部１２の内部に配置されている。ハンド駆動機構は、モータ、および、モータの動力を減速してハンド４、５に伝達するための減速機等を備えている。

【0026】

アーム部回動機構１５は、モータ２０と、モータ２０の動力を減速してアーム部１２に伝達するための減速機２１とを備えている。以下、アーム部１１およびアーム部回動機構１５の具体的な構成について説明する。

【0027】

（アーム部およびアーム部回動機構の構成）
図４は、図３のＥ部の構成を説明するための図である。図５は、図４のＦ－Ｆ方向からアーム部１１の内部の構成を示す図である。

【0028】

アーム部１１は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となる箱状に形成されている。また、アーム部１１の先端部とアーム部１１の後端部とを除いたアーム部１１の大半部分は、上下方向の厚さが薄い扁平な四角筒状に形成されている。以下では、説明の便宜上、上下方向に直交する方向のうちの、長円形状をなすアーム部１１の長手方向（図３等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交するアーム部１１の短手方向（図５等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、以下の説明では、前後方向の一方側である図３等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図３等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。本形態では、前側（Ｘ１方向側）がアーム部１１の先端側となっており、後ろ側（Ｘ２方向側）がアーム部１１の基端側となっている。

【0029】

アーム部回動機構１５は、上述のように、モータ２０と減速機２１とを備えている。モータ２０は、ステータ等を有するモータ本体部２４と、モータ本体部２４から突出する出力軸２５とを備えている。モータ２０は、アーム部１１の内部に配置されている。また、モータ２０は、アーム部１１の内部に固定されている。具体的には、モータ２０は、アーム部１１の内部に固定されるモータ固定部材２６に固定されている。すなわち、モータ２０は、モータ固定部材２６を介してアーム部１１の内部に固定されている。なお、図５では、モータ固定部材２６の図示を省略している。

【0030】

出力軸２５は、モータ本体部２４から水平方向に突出している。具体的には、出力軸２５は、モータ本体部２４から前側に突出しており、出力軸２５の軸方向は、前後方向（すなわち、アーム部１１の長手方向）と一致している。図５に示すように、モータ２０は、左右方向（アーム部１１の短手方向）におけるアーム部１１の中心位置に配置されている。本形態では、モータ２０の左右方向の中心とアーム部１１の左右方向の中心とが左右方向において全く同じ位置に配置されている。なお、本明細書では、モータ２０の左右方向の中心とアーム部１１の左右方向の中心とが左右方向においてずれていても、そのずれ量が非常に小さい場合には、左右方向におけるアーム部１１の中心位置にモータ２０が配置されているものとする。

【0031】

図３に示すように、モータ２０は、前後方向（アーム部１１の長手方向）におけるアーム部１１の中間位置に配置されている。具体的には、モータ２０は、前後方向におけるアーム部１１の略中心位置に配置されている。より具体的には、モータ本体部２４の前端部とアーム部１１の前後方向の中心とが前後方向において同じ位置に配置されており、モータ本体部２４の前後方向の中心は、アーム部１１の前後方向の中心よりも後ろ側に配置されている。

【0032】

減速機２１は、アーム部１１とアーム部１２とを繋ぐ関節部の一部を構成している。減速機２１は、たとえば、径方向の中心に貫通孔が形成された中空状の中空波動歯車装置（ハーモニックドライブ（登録商標））である。減速機２１の入力軸には、かさ歯車２７が固定されている。かさ歯車２７は、カップリングおよび回転軸を介して出力軸２５に取り付けられるかさ歯車２８と噛み合っている。モータ２０の動力は、かさ歯車２７、２８等を介して減速機２１に伝達される。

【0033】

上述のように、アーム部１１は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となる箱状に形成されている。また、アーム部１１の先端部とアーム部１１の後端部とを除いたアーム部１１の大半部分は、上下方向の厚さが薄い扁平な四角筒状に形成されている。また、アーム部１１は、左右方向において対称な形状となっている。アーム部１１は、上面に開口部が形成されるとともに下面の一部に開口部が形成されるアーム部本体３０と、アーム部本体３０の上面に形成される開口部の一部を塞ぐ上カバー３１と、アーム部本体３０の下面に形成される開口部の一部を塞ぐ下カバー３２とを備えている。

【0034】

アーム部本体３０の下面に形成される開口部は、アーム部本体３０の前端部と後端部との２箇所に形成されている。アーム部本体３０の下面の前端部の開口部と、アーム部本体３０の下面の後端部の開口部との間の部分は、アーム部本体３０の下面を構成する平板状の底面部３０ａとなっている。底面部３０ａは、底面部３０ａの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、図５に示すように、アーム部本体３０は、アーム部本体３０の左右方向の側面を構成する平板状の２個の側面部３０ｂを備えている。側面部３０ｂは、側面部３０ｂの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。

【0035】

上カバー３１は、薄板状に形成されている。上カバー３１は、アーム部本体３０に固定されている。上カバー３１は、上カバー３１の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。アーム部本体３０の上面に形成される開口部の前端部は、減速機２１によって塞がれている。上カバー３１は、アーム部本体３０の上面に形成される開口部の、減速機２１で塞がれる部分を除いた箇所を塞いでいる。

【0036】

下カバー３２は、略薄板状に形成されている。下カバー３２は、アーム部本体３０に固定されている。下カバー３２は、下カバー３２の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。下カバー３２は、アーム部本体３０の前端部に形成される開口部を塞いでいる。アーム部本体３０の後端部に形成される開口部は、減速機１７によって塞がれている。

【0037】

本形態では、上カバー３１が、アーム部１１の上面を構成する上壁部１１ａとなっている。また、本形態では、アーム部本体３０の底面部３０ａと下カバー３２とによって、アーム部１１の下面を構成する下壁部１１ｂが構成されている。また、本形態では、アーム部本体３０の側面部３０ｂが、左右方向におけるアーム部１１の側面を構成する２個の側壁部１１ｃとなっている。

【0038】

図４等に示すように、少なくともモータ本体部２４が配置される箇所では、上カバー３１の下面に、上側に向かって窪む上側凹部３１ａが形成され、底面部３０ａの上面に、下側に向かって窪む下側凹部３０ｃが形成されている。すなわち、少なくともモータ本体部２４が配置される箇所では、上壁部１１ａの下面に、上側に向かって窪む上側凹部３１ａが形成され、下壁部１１ｂの上面に、下側に向かって窪む下側凹部３０ｃが形成されている。上側凹部３１ａは、上壁部１１ａとモータ本体部２４との干渉を防止するために形成され、下側凹部３０ｃは、下壁部１１ｂとモータ本体部２４との干渉を防止するために形成されている。

【0039】

上側凹部３１ａおよび下側凹部３０ｃは、長方形状の窪みである。上下方向から見たときに、上側凹部３１ａの外形を形成する４つの辺は、前後方向または左右方向と平行になっている。同様に、上下方向から見たときに、下側凹部３０ｃの外形を形成する４つの辺は、前後方向または左右方向と平行になっている。左右方向において、上側凹部３１ａの左右方向の中心とアーム部１１の左右方向の中心とは一致している。また、左右方向において、下側凹部３０ｃの左右方向の中心とアーム部１１の左右方向の中心とは一致している。

【0040】

上側凹部３１ａの左右方向の幅および下側凹部３０ｃの左右方向の幅は、モータ本体部２４の左右方向の幅よりも広くなっている。また、上側凹部３１ａの左右方向の幅および下側凹部３０ｃの左右方向の幅は、上カバー３１の左右方向の幅、および、２個の側壁部１１ｃの左右方向の間隔よりも狭くなっている。下側凹部３０ｃの左右方向の幅は、上側凹部３１ａの左右方向の幅よりも広くなっている。

【0041】

上側凹部３１ａの前後方向の幅および下側凹部３０ｃの前後方向の幅は、モータ本体部２４の前後方向の長さよりも広くなっている。また、下側凹部３０ｃの前後方向の幅は、上側凹部３１ａの前後方向の幅よりも広くなっている。上側凹部３１ａの前端および下側凹部３０ｃの前端は、モータ本体部２４の前端よりも前側に配置され、上側凹部３１ａの後端および下側凹部３０ｃの後端は、モータ本体部２４の後端よりも後ろ側に配置されている。また、上側凹部３１ａの前端は、下側凹部３０ｃの前端よりも前側に配置されている。

【0042】

前後方向において上側凹部３１ａが形成された箇所では、上壁部１１ａの左右方向の両端部（すなわち、上カバー３１の左右方向の両端部）の上下方向の厚さ（肉厚）ｔ１、ｔ２（図５参照）は、上壁部１１ａの、上側凹部３１ａが形成された部分の上下方向の厚さｔ３（図５参照）よりも厚くなっている。また、上述のように、アーム部１１は、左右方向において対称な形状となっており、前後方向において上側凹部３１ａが形成された箇所では、上壁部１１ａの左右方向の両端部の上下方向の厚さｔ１、ｔ２は、互いに等しくなっている。すなわち、前後方向において上側凹部３１ａが形成された箇所では、上壁部１１ａの左右方向の一端部の上下方向の厚さｔ１と、上壁部１１ａの左右方向の他端部の上下方向の厚さｔ２とが等しくなっている。

【0043】

同様に、前後方向において下側凹部３０ｃが形成された箇所では、下壁部１１ｂの左右方向の両端部（すなわち、底面部３０ａの左右方向の両端部）の上下方向の厚さｔ４、ｔ５（図５参照）は、下壁部１１ｂの、下側凹部３０ｃが形成された部分の上下方向の厚さｔ６（図５参照）よりも厚くなっている。また、前後方向において下側凹部３０ｃが形成された箇所では、下壁部１１ｂの左右方向の両端部の上下方向の厚さｔ４、ｔ５は、互いに等しくなっている。すなわち、前後方向において下側凹部３０ｃが形成された箇所では、下壁部１１ｂの左右方向の一端部の上下方向の厚さｔ４と、下壁部１１ｂの左右方向の他端部の上下方向の厚さｔ５とが等しくなっている。

【0044】

また、前後方向において上側凹部３１ａおよび下側凹部３０ｃの少なくともいずれか一方が形成された範囲では、２個の側壁部１１ｃ（すなわち、側面部３０ｂ）の左右方向の厚さｔ７、ｔ８（図５参照）は、互いに等しくなっている。すなわち、前後方向における上側凹部３１ａの前端と下側凹部３０ｃの後端との間の範囲では、一方の側壁部１１ｃの左右方向の厚さｔ７と、他方の側壁部１１ｃの左右方向の厚さｔ８とが等しくなっている。

【0045】

本形態では、厚さｔ３と厚さｔ６とが等しくなっている。厚さｔ３、ｔ６は、たとえば、３（ｍｍ）程度である。また、厚さｔ４、ｔ５は、厚さｔ１、ｔ２よりも厚くなっている。また、厚さｔ４、ｔ５と厚さｔ７、ｔ８とが等しくなっている。

【0046】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、少なくともモータ本体部２４が配置される箇所において、上壁部１１ａの下面に、上側に向かって窪む上側凹部３１ａが形成され、下壁部１１ｂの上面に、下側に向かって窪む下側凹部３０ｃが形成されている。そのため、本形態では、中空状のアーム部１１の内部に、出力軸２５の軸方向と前後方向とが一致するようにモータ２０が配置されていても、アーム部１１を薄型化することが可能になる。

【0047】

本形態では、前後方向（アーム部１１の長手方向）において上側凹部３１ａが形成された箇所では、上壁部１１ａの左右方向の両端部の上下方向の厚さｔ１、ｔ２は、上壁部１１ａの、上側凹部３１ａが形成された部分の上下方向の厚さｔ３よりも厚くなっている。また、本形態では、前後方向において下側凹部３０ｃが形成された箇所では、下壁部１１ｂの、左右方向の両端部の上下方向の厚さｔ４、ｔ５は、下壁部１１ｂの、下側凹部３０ｃが形成された部分の上下方向の厚さｔ６よりも厚くなっている。すなわち、本形態では、上壁部１１ａに上側凹部３１ａが形成され、かつ、下壁部１１ｂに下側凹部３０ｃが形成されていても、前後方向において上側凹部３１ａ、下側凹部３０ｃが形成された箇所では、図５に示すように、アーム部１１の左右方向の両端部に、四角溝状（コの字状）の厚肉部分が形成されている。

【0048】

そのため、本形態では、上壁部１１ａに上側凹部３１ａが形成され、かつ、下壁部１１ｂに下側凹部３０ｃが形成されていても、前後方向において上側凹部３１ａ、下側凹部３０ｃが形成された箇所では、上壁部１１ａと２個の側壁部１１ｃとの境界部分の強度、および、下壁部１１ｂと２個の側壁部１１ｃとの境界部分の強度を確保することが可能になるとともに、左右方向におけるアーム部１１の強度のバランスを保つことが可能になる。したがって、本形態では、アーム部１１を薄型化するために、上壁部１１ａに上側凹部３１ａが形成され、かつ、下壁部１１ｂに下側凹部３０ｃが形成されていても、ロボット１が動作したときのアーム部１１の変形を抑制することが可能になり、その結果、アーム部１１の動作を安定させることが可能になる。

【0049】

本形態では、前後方向において上側凹部３１ａが形成された箇所では、上壁部１１ａの左右方向の両端部の上下方向の厚さｔ１、ｔ２が互いに等しくなっており、前後方向において下側凹部３０ｃが形成された箇所では、下壁部１１ｂの左右方向の両端部の上下方向の厚さｔ４、ｔ５が互いに等しくなっている。また、本形態では、前後方向において上側凹部３１ａおよび下側凹部３０ｃの少なくともいずれか一方が形成された範囲では、２個の側壁部１１ｃの左右方向の厚さｔ７、ｔ８は、互いに等しくなっている。

【0050】

そのため、本形態では、前後方向において上側凹部３１ａ、下側凹部３０ｃが形成された箇所では、左右方向におけるアーム部１１の強度のバランスを良くすることが可能になる。したがって、本形態では、上壁部１１ａに上側凹部３１ａが形成され、かつ、下壁部１１ｂに下側凹部３０ｃが形成されていても、ロボット１が動作したときのアーム部１１の変形をより抑制することが可能になり、その結果、アーム部１１の動作をより安定させることが可能になる。

【0051】

本形態では、モータ２０は、前後方向におけるアーム部１１の略中心位置に配置されている。そのため、本形態では、上壁部１１ａに上側凹部３１ａが形成され、かつ、下壁部１１ｂに下側凹部３０ｃが形成されていても、前後方向（アーム部１１の長手方向）におけるアーム部１１の強度のバランスを保つことが可能になるとともに、前後方向におけるアーム部１１の内部の重量のバランスを良くすることが可能になる。したがって、本形態では、上壁部１１ａに上側凹部３１ａが形成され、かつ、下壁部１１ｂに下側凹部３０ｃが形成されていても、ロボット１が動作したときのアーム部１１の変形をより抑制することが可能になり、その結果、アーム部１１の動作をより安定させることが可能になる。

【0052】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0053】

上述した形態において、上壁部１１ａの左右方向の一端部の上下方向の厚さｔ１と、上壁部１１ａの左右方向の他端部の上下方向の厚さｔ２とが異なっていても良い。また、上述した形態において、下壁部１１ｂの左右方向の一端部の上下方向の厚さｔ４と、下壁部１１ｂの左右方向の他端部の上下方向の厚さｔ５とが異なっていても良い。さらに、上述した形態において、一方の側壁部１１ｃの左右方向の厚さｔ７と、他方の側壁部１１ｃの左右方向の厚さｔ８とが異なっていても良い。

【0054】

上述した形態において、モータ２０が前後方向におけるアーム部１１の中間位置に配置されているのであれば、モータ本体部２４の前後方向の中心とアーム部１１の前後方向の中心とが前後方向において同じ位置に配置されていても良いし、モータ本体部２４の前後方向の中心がアーム部１１の前後方向の中心より前側に配置されていても良い。

【0055】

上述した形態において、アーム部１２に代えて、アーム部１１の先端部に１個のハンドが連結されていても良い。この場合には、ロボット１は、アーム部１１に対してハンドを回動させるハンド駆動機構を備えており、このハンド駆動機構は、アーム部回動機構１５と同様に構成されている。

【0056】

上述した形態において、アーム６は、２個のアーム部によって構成されていても良いし、４個以上のアーム部によって構成されていても良い。また、上述した形態において、アーム部１２の先端側に取り付けられるハンドの数は１個であっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、半導体ウエハ２以外の搬送対象物を搬送するためのロボットであっても良いし、その他の用途で使用される水平多関節型のロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0057】

１ ロボット（産業用ロボット）
６ アーム
１１ アーム部
１１ａ 上壁部
１１ｂ 下壁部
１１ｃ 側壁部
２０ モータ
２４ モータ本体部
２５ 出力軸
３０ｃ 下側凹部
３１ａ 上側凹部
ｔ１、ｔ２ 上壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さ
ｔ３ 上壁部の、上側凹部が形成された部分の上下方向の厚さ
ｔ４、ｔ５ 下壁部の、アーム部の短手方向の両端部の上下方向の厚さ
ｔ６ 下壁部の、下側凹部が形成された部分の上下方向の厚さ
ｔ７、ｔ８ 側壁部の、アーム部の短手方向の厚さ
Ｘ アーム部の長手方向
Ｙ アーム部の短手方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】