特許 7510628 制振装置および可動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-26

(45)【発行日】2024-07-04

(54)【発明の名称】制振装置および可動装置

(51)【国際特許分類】

   F16F 15/02 20060101AFI20240627BHJP

   F16F 15/04 20060101ALI20240627BHJP

【ＦＩ】

F16F15/02 C

F16F15/04 A

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2021043979

(22)【出願日】2021-03-17

(65)【公開番号】P2022143466

(43)【公開日】2022-10-03

【審査請求日】2023-10-11

(73)【特許権者】

【識別番号】504147254

【氏名又は名称】国立大学法人愛媛大学

(73)【特許権者】

【識別番号】000102212

【氏名又は名称】ウシオ電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109380

【弁理士】

【氏名又は名称】小西 恵

(74)【代理人】

【識別番号】100109036

【弁理士】

【氏名又は名称】永岡 重幸

(72)【発明者】

【氏名】水上 孝一

(72)【発明者】

【氏名】千賀 岳人

【審査官】正木 裕也

(56)【参考文献】

【文献】実開昭５８－１３６６３６（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｆ １５／０２

Ｆ１６Ｆ １５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

質量体と、
前記質量体と離間して互いに異なる位置に設けられた第１端部から第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に変位可能となるように前記質量体を支持する支持部材とを備え、
前記支持部材は、
前記第１端部に対する角度が可変な第１可変部と、
前記第２端部に対する角度が可変な第２可変部と、
前記質量体に対する角度が可変な第３可変部と、
前記質量体に対する角度が可変な第４可変部と、
前記第１可変部および前記第３可変部を連結し、前記第１可変部および前記第３可変部の角度の変化に応じて回転可能な第１連結部と、
前記第２可変部および前記第４可変部を連結し、前記第２可変部および前記第４可変部の角度の変化に応じて回転可能な第２連結部とを備え、
前記第１可変部は、前記第１端部と前記第１連結部との間に取り付けられ、
前記第２可変部は、前記第２端部と前記第２連結部との間に取り付けられ、
前記第３可変部は、前記質量体と前記第１連結部との間に取り付けられ、
前記第４可変部は、前記質量体と前記第２連結部との間に取り付けられ、
前記第１端部および前記第２端部の変位がないときに、前記第１端部および前記第２端部の取り付け面に対し、前記第１連結部および前記第２連結部は平行であり、前記第１可変部および前記第２可変部は、前記第３可変部および前記第４可変部より遠い位置にあることを特徴とする制振装置。

【請求項2】

質量体と、
前記質量体と離間して互いに異なる位置に設けられた第１端部から第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に変位可能となるように前記質量体を支持する支持部材とを備え、
前記支持部材は、
前記第１端部に対する角度が可変な第１可変部と、
前記第２端部に対する角度が可変な第２可変部と、
前記質量体に対する角度が可変な第３可変部と、
前記質量体に対する角度が可変な第４可変部と、
前記第１可変部および前記第３可変部を連結し、前記第１可変部および前記第３可変部の角度の変化に応じて回転可能な第１連結部と、
前記第２可変部および前記第４可変部を連結し、前記第２可変部および前記第４可変部の角度の変化に応じて回転可能な第２連結部とを備え、
前記第１可変部は、前記第１端部と前記第１連結部との間に取り付けられ、
前記第２可変部は、前記第２端部と前記第２連結部との間に取り付けられ、
前記第３可変部は、前記質量体と前記第１連結部との間に取り付けられ、
前記第４可変部は、前記質量体と前記第２連結部との間に取り付けられ、
前記第１端部および前記第２端部の変位がないときに、前記第１端部および前記第２端部の取り付け面に対し、前記第１連結部および前記第２連結部は平行であり、前記第１可変部および前記第２可変部は、前記第３可変部および前記第４可変部より近い位置にあることを特徴とする制振装置。

【請求項3】

質量体と、
前記質量体と離間して互いに異なる位置に設けられた第１端部から第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に変位可能となるように前記質量体を支持する支持部材とを備え、
前記支持部材は、
前記第１端部に取り付けられ、前記第１端部に対する角度が可変な第１可変部と、
前記第２端部に取り付けられ、前記第２端部に対する角度が可変な第２可変部と、
前記質量体に取り付けられ、前記質量体に対する角度が可変な第３可変部と、
前記質量体に取り付けられ、前記質量体に対する角度が可変な第４可変部と、
前記第１可変部および前記第３可変部を連結し、前記第１可変部および前記第３可変部の角度の変化に応じて回転可能な第１連結部と、
前記第２可変部および前記第４可変部を連結し、前記第２可変部および前記第４可変部の角度の変化に応じて回転可能な第２連結部とを備え、
前記第１可変部、前記第２可変部、前記第３可変部および前記第４可変部が前記第１連結部および前記第２連結部よりも曲がりやすいことを特徴とする制振装置。

【請求項4】

前記第１可変部は、前記第１端部と前記第１連結部との間に取り付けられ、
前記第２可変部は、前記第２端部と前記第２連結部との間に取り付けられ、
前記第３可変部は、前記質量体と前記第１連結部との間に取り付けられ、
前記第４可変部は、前記質量体と前記第２連結部との間に取り付けられ、前記第３可変部に直接連結されておらず、
前記第１端部および前記第２端部の変位がないときに、前記第１端部および前記第２端部の取り付け面に対し、前記第１連結部および前記第２連結部は傾いていることを特徴とする請求項３に記載の制振装置。

【請求項5】

前記支持部材は、前記第１端部および前記第２端部の変位に基づいて前記質量体を支持する角度を変化させることで、前記第１端部から前記第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に前記質量体を変位させることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の制振装置。

【請求項6】

前記第１連結部および前記第２連結部の材料は、炭素繊維強化プラスチックであることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の制振装置。

【請求項7】

前記第１可変部、前記第２可変部、前記第３可変部および前記第４可変部の材料は、弾性部材であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の制振装置。

【請求項8】

前記質量体を前記支持部材が支持する支持部は、前記第１端部から前記第２端部に伝わる変位が減少するように前記質量体を変位させることを特徴とする請求項５に記載の制振装置。

【請求項9】

前記質量体を前記支持部材が支持する支持部は、前記第１端部の変位の方向と反対の方向に前記第２端部が変位するように前記質量体を変位させることを特徴とする請求項５に記載の制振装置。

【請求項10】

請求項１から９のいずれか１項に記載の制振装置が移動可能な部材に取り付けられていることを特徴とする可動装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、制振装置および可動装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置などの可動装置では、可動体が移動したり停止したりすることで振動が発生することがある。例えば、レーザ加工装置および露光装置などでは、搬送機構により被処理物（例えば、基板）を外部からステージ上に搬送し、ステージ上で精密加工が実施される。このとき、搬送機構が基板を保持して移動したり停止したりする際に発生する振動がステージに伝わると、ステージの振動が十分に小さくなるまで待機しないと、加工精度の低下を招く。振動が収束するまでの時間は、実質的に装置の停止時間となり、生産性の低下を招く。

【0003】

ここで、振動の周波数が高い場合、可動装置を構成する材料を適宜選択することにより、振動の伝達を減衰させることができる。一方、振動の周波数が低い場合（特に、１００Ｈｚから５００Ｈｚの範囲）、材料を適宜選択しても、振動の伝達を減衰させることが難しい。例えば、可動装置の耐久性を向上させるために、剛性の高い材料を使用すると、周波数の低い振動を減衰させるのが難しい。また、低い周波数であるほど、振幅が大きくなる傾向があるとともに、振動が収束するまでの時間が長くなる。

【0004】

非特許文献１には、振動を減衰させるための制振装置として、ばねと重りを組み合わせた動吸振器が開示されている。
この動吸振器が吸収する振動数νは、以下の式で表される。
ν＝√（ｋ／ｍ）
ただし、ｋはばね定数、ｍは重りの質量である。
この動吸振器の場合、周波数の低い振動を吸収しようとすると、ばね定数ｋを小さく（ばねを小さく）し、重りを重くすることになる。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0005】

【文献】谷田宏次、吉田靖夫、松本亙平、近藤潔 「動吸振器について」 日本造船学会誌 第707号 昭和63年5月 P19－P26

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、重いおもりを小さなばねで支えるには限界がある。従って、従来の動吸振器を用いて周波数の低い振動を減衰させるのは困難である。
また、動吸振器の重りを重くすると、その重り自体で可動装置の重量の増大を招くとともに、その重りを支持する頑丈なフレームが必要となり、可動装置のさらなる重量の増大を引き起こす上に、コストアップを招く。

【0007】

そこで、本発明の目的は、重量の増大を抑制しつつ、制振可能な周波数を低下させることが可能な制振装置および可動装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様に係る制振装置によれば、質量体と、前記質量体と離間して互いに異なる位置に設けられた第１端部から第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に変位可能となるように前記質量体を支持する支持部材とを備える。

【0009】

これにより、第１端部が変位したときに、第１端部の変位が第２端部に伝わるのを抑制可能となるように、質量体の変位の振幅および方向を適宜設定することができる。このため、制振装置の重量の増大を抑制しつつ、制振可能な周波数を低下させることが可能となる。

【0010】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記支持部材は、前記第１端部および前記第２端部の変位に基づいて前記質量体を支持する角度を変化させることで、前記第１端部から前記第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に前記質量体を変位させる。

【0011】

これにより、制振装置の構成の複雑化を抑制しつつ、第１端部から第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に質量体を変位させることができ、制振装置の重量の増大を抑制しつつ、制振可能な周波数を低下させることが可能となる。

【0012】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記支持部材は、前記第１端部に対する角度が可変な第１可変部と、前記第２端部に対する角度が可変な第２可変部と、前記質量体に対する角度が可変な第３可変部と、前記質量体に対する角度が可変な第４可変部と、前記第１可変部および前記第３可変部を連結し、前記第１可変部および前記第３可変部の角度の変化に応じて回転可能な第１連結部と、前記第２可変部および前記第４可変部を連結し、前記第２可変部および前記第４可変部の角度の変化に応じて回転可能な第２連結部とを備える。

【0013】

これにより、第１端部の変位が第２端部に伝わるのを抑制する方向に質量体を変位させることが可能となるとともに、第１連結部および第１連結部の寸法を変えることで制振可能な周波数領域を変化させることができる。このため、制振装置の構成の複雑化を抑制しつつ、第１連結部および第１連結部の寸法を変えるという比較的簡易な方法で制振可能な周波数領域を適宜設定することが可能となる。

【0014】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記第１可変部は、前記第１端部と前記第１連結部との間に取り付けられ、前記第２可変部は、前記第２端部と前記第２連結部との間に取り付けられ、前記第３可変部は、前記質量体と前記第１連結部との間に取り付けられ、前記第４可変部は、前記質量体と前記第２連結部との間に取り付けられ、前記第１端部および前記第２端部の変位がないときに、前記第１端部および前記第２端部の取り付け面に対し、前記第１連結部および前記第２連結部は平行であり、前記第１可変部および前記第２可変部は、前記第３可変部および前記第４可変部より遠い位置にある。

【0015】

これにより、第１端部が変位したときに第１連結部および第２連結部に力のモーメントを発生させることが可能となるとともに、第１連結部および第２連結部の寸法を変えることで第１端部の変位量に応じた力のモーメントの大きさを変化させることができる。このため、第１可変部および第２可変部を第１端部および第２端部の取り付け面から遠い位置に設けるという比較的簡易な構成により、第１端部が変位したとき第１連結部および第２連結部の角度を変化させることができ、第１端部の変位が第２端部に伝わるのを抑制する方向に質量体を変位させることが可能となるとともに、第１連結部および第２連結部の寸法を変えるという比較的簡易な方法により、制振可能な周波数領域を適宜設定することが可能となる。

【0016】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記第１可変部は、前記第１端部と前記第１連結部との間に取り付けられ、前記第２可変部は、前記第２端部と前記第２連結部との間に取り付けられ、前記第３可変部は、前記質量体と前記第１連結部との間に取り付けられ、前記第４可変部は、前記質量体と前記第２連結部との間に取り付けられ、前記第１端部および前記第２端部の変位がないときに、前記第１端部および前記第２端部の取り付け面に対し、前記第１連結部および前記第２連結部は平行であり、前記第１可変部および前記第２可変部は、前記第３可変部および前記第４可変部より近い位置にある。

【0017】

これにより、第１端部が変位したときに第１連結部および第２連結部に力のモーメントを発生させることが可能となるとともに、第１連結部および第２連結部の寸法を変えることで第１端部の変位量に応じた力のモーメントの大きさを変化させることができる。このため、第１可変部および第２可変部を第１端部および第２端部の取り付け面から近い位置に設けるという比較的簡易な構成により、第１端部が変位したとき第１連結部および第２連結部の角度を変化させることができ、第１端部の変位が第２端部に伝わるのを抑制する方向に質量体を変位させることが可能となるとともに、第１連結部および第２連結部の寸法を変えるという比較的簡易な方法により、制振可能な周波数領域を適宜設定することが可能となる。

【0018】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記第１可変部は、前記第１端部と前記第１連結部との間に取り付けられ、前記第２可変部は、前記第２端部と前記第２連結部との間に取り付けられ、前記第３可変部は、前記質量体と前記第１連結部との間に取り付けられ、前記第４可変部は、前記質量体と前記第２連結部との間に取り付けられ、前記第１端部および前記第２端部の変位がないときに、前記第１端部および前記第２端部の取り付け面に対し、前記第１連結部および前記第２連結部は傾いている。

【0019】

これにより、第１端部が変位したときに第１連結部および第２連結部に力のモーメントを発生させることが可能となるとともに、第１連結部および第２連結部の寸法を変えることで第１端部の変位量に応じた力のモーメントの大きさを変化させることができる。このため、第１連結部および第２連結部を傾けるという比較的簡易な構成により、第１端部が変位したとき第１連結部および第２連結部の角度を変化させることができ、第１端部の変位が第２端部に伝わるのを抑制する方向に質量体を変位させることが可能となるとともに、第１連結部および第２連結部の寸法を変えるという比較的簡易な方法により、制振可能な周波数領域を適宜設定することが可能となる。

【0020】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記第１連結部および前記第２連結部の材料は、炭素繊維強化プラスチックである。

【0021】

これにより、第１連結部および第２連結部の軽量化を図りつつ、第１連結部および第２連結部の剛性を高めることができる。このため、第１連結部および第２連結部の重量の増大を抑制しつつ第１連結部および第２連結部が変形しにくくすることが可能となり、一端で受けた力をそのまま他端に伝えることが可能となるとともに、制振装置の重量の増大を抑制することができる。

【0022】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記第１可変部、前記第２可変部、前記第３可変部および前記第４可変部の材料は、弾性部材である。

【0023】

これにより、第１端部および第２端部の変位に応じて、第１可変部、第２可変部、第３可変部および第４可変部は自由に変形させることができる。このため、支持部材は、第１端部から第２端部への変位の伝達方向と異なる方向に変位可能となるように質量体を支持することができる。

【0024】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記質量体を前記支持部材が支持する支持部は、前記第１端部から前記第２端部に伝わる変位が減少するように前記質量体を変位させる。

【0025】

これにより、第１端部が変位した場合においても、第２端部の変位を抑制することができ、第１端部に加わった振動を第２端部で減衰させることが可能となる。

【0026】

また、本発明の一態様に係る制振装置によれば、前記質量体を前記支持部材が支持する支持部は、前記第１端部の変位の方向と反対の方向に前記第２端部が変位するように前記質量体を変位させる。

【0027】

これにより、支持部は、第１端部から第２端部に伝わる変位を減少させることができ、第１端部に加わった振動を第２端部で減衰させることが可能となる。

【0028】

また、本発明の一態様に係る可動装置によれば、上述したいずれかの制振装置が移動可能な部材に取り付けられている。

【0029】

これにより、可動装置を構成する移動可能な部材に制振装置を取り付けることで、可動装置を構成する部材の移動および停止に伴う振動が収束するまでの時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。このとき、可動装置を構成する移動可能な部材に制振装置を取り付けるスペースが可動装置にあればよく、制振装置の取り付け位置に関する制約を軽減し、制振が必要な様々な部材に制振装置を容易に取り付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】第１実施形態に係る制振装置の構成を示す斜視図である。

【図2】第１実施形態に係る制振装置の構成を示す側面図である。

【図3】第１実施形態に係る制振装置の動作を示す側面図である。

【図4】第２実施形態に係る制振装置の装着例を示す側面図である。

【図5】図４の連結部材の厚さを変化させたときの振動の伝達性と周波数との関係を示す図である。

【図6】図４の連結部材の厚さを変化させたときの振動の伝達性と周波数との関係を示す図である。

【図7】図４の連結部材の厚さを変化させたときの振動の伝達性と周波数との関係を示す図である。

【図8】第２実施形態に係る制振装置の装着時の水平方向における振動の変位分布を示す図である。

【図9】第３実施形態に係る制振装置の構成を示す側面図である。

【図10】第４実施形態に係る制振装置の構成を示す側面図である。

【図11】第５実施形態に係る制振装置が装着された可動装置を示す側面図である。

【図12】第６実施形態に係る制振装置が装着された可動装置を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、以下の実施形態は本発明を限定するものではなく、実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の構成に必須のものとは限らない。実施形態の構成は、本発明が適用される装置の仕様や各種条件（使用条件、使用環境等）によって適宜修正または変更され得る。本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって確定され、以下の個別の実施形態によって限定されない。また、以下の説明に用いる図面は、各構成を分かり易くするため、実際の構造と縮尺および形状などを異ならせることがある。

【0032】

図１は、第１実施形態に係る制振装置の構成を示す斜視図、図２は、第１実施形態に係る制振装置の構成を示す側面図である。

【0033】

図１および図２において、制振装置１Ａは、質量体Ｍおよび支持部ＰＡ、ＰＢを備える。制振装置１Ａは、制振対象ＪＡに取り付けられる。このとき、制振装置１Ａは、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに取り付けることができる。取り付け面ＭＪは、平面であってもよいし、曲面であってもよいし、凹凸があってもよい。制振装置１Ａは、制振対象ＪＡに複数取り付けてもよい。例えば、制振対象ＪＡの両面に制振装置１Ａを取り付けてもよいし、制振対象ＪＡの上下面および側面に制振装置１Ａを取り付けてもよい。

【0034】

質量体Ｍは、ある程度の重さを有する重り部材として用いることができる。質量体Ｍの材料は、例えば、鉄または鉛などの金属を用いることができる。質量体Ｍの形状は、円柱であってよいし、球体であってもよい。

【0035】

支持部材ＰＡは、制振装置１Ａの第１端部ＴＡ側で質量体Ｍを支持し、支持部材ＰＢは、制振装置１Ａの第２端部ＴＢ側で質量体Ｍを支持する。このとき、質量体Ｍは、取り付け面ＭＪ、第１端部ＴＡおよび第２端部ＴＢと離間した状態で第１端部ＴＡと第２端部ＴＢの中央に位置することができる。また、支持部材ＰＡ、ＰＢは、質量体Ｍに対して制振装置１Ａの長さ方向ＤＬに対称となるように構成することができる。

【0036】

ここで、支持部材ＰＡ、ＰＢは、第１端部ＴＡから第２端部ＴＢへの変位の伝達方向と異なる方向に変位可能となるように質量体Ｍを支持する。このとき、支持部材ＰＡ、ＰＢは、第１端部ＴＡおよび第２端部ＴＢの変位に基づいて質量体Ｍを支持する角度を変化させることで、第１端部ＴＡから第２端部ＴＢへの変位の伝達方向と異なる方向に質量体Ｍを変位させることができる。例えば、支持部材ＰＡ、ＰＢは、第１端部ＴＡから第２端部ＴＢに伝わる変位が減少するように、第１端部ＴＡから第２端部ＴＢへの変位の伝達方向と異なる方向に質量体Ｍを変位させることができる。支持部材ＰＡ、ＰＢは、第１端部ＴＡから第２端部ＴＢに伝わる変位を減少させるために、第１端部ＴＡの変位の方向と反対の方向に第２端部ＴＢが変位するように、第１端部ＴＡから第２端部ＴＢへの変位の伝達方向と異なる方向に質量体Ｍを変位させるようにしてもよい。

【0037】

なお、第１端部ＴＡおよび第２端部ＴＢの変位の方向は、制振装置１Ａの長さ方向ＤＬであってもよいし、制振装置１Ａの幅方向ＤＷであってもよいし、制振装置１Ａの高さ方向ＤＨであってもよい。また、第１端部ＴＡおよび第２端部ＴＢの変位の方向は、制振装置１Ａの幅方向ＤＷを軸とする回転方向（ピッチング方向）であってもよい。

【0038】

ここで、支持部材ＰＡ、ＰＢは、第１端部ＴＡから第２端部ＴＢへの変位の伝達方向と異なる方向に変位可能となるように質量体Ｍを支持することにより、第１端部ＴＡが変位したときに、第１端部ＴＡの変位が第２端部ＴＢに伝わるのを抑制可能となるように、質量体Ｍの変位の振幅および方向を適宜設定することができる。このため、制振装置１Ａの重量の増大を抑制しつつ、制振可能な周波数を低下させることが可能となる。

【0039】

支持部材ＰＡは、取り付け部２Ａ、可変部３Ａ、５Ａおよび連結部４Ａを備える。支持部材ＰＢは、取り付け部２Ｂ、可変部３Ｂ、５Ｂおよび連結部４Ｂを備える。

【0040】

各可変部５Ａ、５Ｂは、質量体Ｍに対する角度が可変である。各可変部５Ａ、５Ｂは、質量体Ｍと各連結部４Ａ、４Ｂとの間に取り付けられる。このとき、制振装置１Ａの長さ方向ＤＬにおいて、各可変部５Ａ、５Ｂの一端を質量体Ｍに取り付け、各可変部５Ａ、５Ｂの他端を各連結部４Ａ、４Ｂに取り付けることができる。各可変部５Ａ、５Ｂの材料は、制振対象ＪＡの振動の方向に合わせて自由に変形可能とするために、ナイロン系の樹脂などの弾性体を用いることができる。各可変部５Ａ、５Ｂを質量体Ｍと各連結部４Ａ、４Ｂとの間に取り付けるために、接着剤を用いるようにしてもよいし、ボルトなどの締結部材を用いるようにしてもよい。

【0041】

連結部４Ａは、可変部３Ａ、５Ａを連結し、連結部４Ｂは、可変部３Ｂ、５Ｂを連結する。このとき、制振装置１Ａの長さ方向ＤＬにおいて、各連結部４Ａ、４Ｂの一端を各可変部３Ａ、３Ｂに取り付け、各連結部４Ａ、４Ｂの他端を各可変部５Ａ、５Ｂに取り付けることができる。各連結部４Ａ、４Ｂは変形することなく、各可変部３Ａ、３Ｂから受けた力をそのまま各可変部５Ａ、５Ｂに伝える。そのため、各連結部４Ａ、４Ｂの材料は、剛性が高いことが好ましい。また、各連結部４Ａ、４Ｂは、自重でたわみが生じないように軽量であることが好ましい。さらに、各連結部４Ａ、４Ｂ、実質的に制振装置１Ａの大部分を占めるため、制振装置１Ａ全体が重くならないように軽量であることが好ましい。そのため、各連結部４Ａ、４Ｂの材料は、繊維方向が一方向の炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ：Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）を用いるのが好ましい。各連結部４Ａ、４Ｂの形状は、矩形状であってもよいし、棒状であってもよい。

【0042】

各可変部３Ａ、３Ｂは、各取り付け部２Ａ、２Ｂに対する角度が可変である。各可変部３Ａ、３Ｂは、各取り付け部２Ａ、２Ｂと各連結部４Ａ、４Ｂとの間に取り付けられる。このとき、制振装置１Ａの長さ方向ＤＬにおいて、各可変部３Ａ、３Ｂの一端を各取り付け部２Ａ、２Ｂに取り付け、各可変部３Ａ、３Ｂの他端を各連結部４Ａ、４Ｂに取り付けることができる。各可変部３Ａ、３Ｂの材料は、制振対象ＪＡの振動の方向に合わせて自由に変形可能とするために、ナイロン系の樹脂などの弾性体を用いることができる。各可変部３Ａ、３Ｂを各取り付け部２Ａ、２Ｂと各連結部４Ａ、４Ｂとの間に取り付けるために、接着剤を用いるようにしてもよいし、ボルトなどの締結部材を用いるようにしてもよい。

【0043】

なお、可変部３Ａ、５Ａ、３Ｂ、５Ｂおよび連結部４Ａ、４Ｂは、３Ｄプリントなどの方法により、ナイロン系の樹脂などを母材として一体的に構成してもよい。このとき、連結部４Ａ、４Ｂの剛性を向上させるために、３Ｄプリントで連結部４Ａ、４Ｂを構成するときに、炭素繊維強化プラスチックを添加するようにしてもよい。また、可変部３Ａ、５Ａ、３Ｂ、５Ｂは、弾性体を用いた構成の他、開閉可能なヒンジを用いて構成するようにしてもよい。このとき、ヒンジを構成する２枚の羽根および２枚の羽根を開閉可能に連結するピンは、金属などの硬質材料で構成してもよい。また、可変部３Ａ、５Ａ、３Ｂ、５Ｂの部材は、自由な方向に曲がればよく、例えば、球体を利用した自由関節（ジョイント）であってもよい。

【0044】

取り付け部２Ａ、２Ｂは、制振装置１Ａを制振対象ＪＡに取り付けるために設ける台座である。このとき、各取り付け部２Ａ、２Ｂの一端を各可変部３Ａ、３Ｂに取り付け、各取り付け部２Ａ、２Ｂの他端を制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに取り付けることができる。取り付け部２Ａ、２Ｂは、制振対象ＪＡと間隔をあけて質量体Ｍおよび支持部ＰＡ、ＰＢを取り付け面ＭＪ上に保持する。取り付け部２Ａ、２Ｂは、変形の必要がなく、特別な材質である必要はない。取り付け部２Ａ、２Ｂを取り付け面ＭＪに取り付けるために、接着剤を用いるようにしてもよいし、ボルトなどの締結部材を用いるようにしてもよい。

【0045】

ここで、図２に示すように、第１端部ＴＡおよび第２端部ＴＢの変位がないときに、各連結部４Ａ、４Ｂは、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに対し平行である。また、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに対し、各可変部５Ａ、５Ｂは、各可変部３Ａ、３Ｂより遠い位置にある。すなわち、制振装置１Ａの高さ方向ＤＨにおいて、各可変部５Ａ、５Ｂと取り付け面ＭＪとの距離をｈ１、各可変部３Ａ、３Ｂと取り付け面ＭＪとの距離をｈ２とすると、ｈ１＞ｈ２である。
ここで、ｈ１＞ｈ２とすることにより、制振対象ＪＡのＡ点に押す力が加わった場合は、質量体Ｍを取り付け面ＭＪから離れる方向に移動させる力を生じさせ、制振対象ＪＡのＡ点に引く力が加わった場合は、質量体Ｍを取り付け面ＭＪに接近させる方向に移動させる力を生じさせることができる。これにより、制振対象ＪＡのＡ点に押す力が加わった場合は、制振対象ＪＡのＢ点に引く力を作用させ、制振対象ＪＡのＡ点に引く力が加わった場合は、制振対象ＪＡのＢ点に押す力を作用させることができ、制振対象ＪＡのＡ点の振動がＢ点に伝わるのを抑制することができる。

【0046】

図３は、第１実施形態に係る制振装置の動作を示す側面図である。なお、図３（ａ）は、制振装置１Ａの取り付け前の制振対象ＪＡ、図３（ｂ）は、制振装置１Ａの取り付け後の制振対象ＪＡ、図３（ｃ）および図３（ｄ）は、制振対象ＪＡに振動が発生したときの制振装置１Ａの挙動を示す。

【0047】

図３（ａ）において、制振対象ＪＡに振動が発生し、制振対象ＪＡの一端（Ａ点）に押す力が加わったものとする。このとき、制振装置１Ａが制振対象ＪＡに取り付けられていなければ、制振対象ＪＡの他端（Ｂ点）も、Ａ点に加わった力の方向と同じ方向に移動する。すなわち、Ａ点に加わった振動は減衰することなくＢ点に伝えられる。

【0048】

図３（ｂ）において、制振対象ＪＡには制振装置１Ａが取り付けられる。制振装置１Ａが制振対象ＪＡに取り付けられた状態は、図１および図２の制振装置１Ａの状態と同様である。

【0049】

図３（ｃ）において、制振対象ＪＡに振動が発生し、制振対象ＪＡの一端（Ａ点）に押す力が加わったものとする（Ｐ１）。このとき、Ａ点に加わった力の方向と同一の方向の力が取り付け部２Ａに加わる（Ｐ２）。これにより、取り付け部２Ａは、可変部３Ａを介して取り付け部２Ａに加わった力の方向と同一の方向に連結部４Ａを押す（Ｐ３）。連結部４Ａは高剛性の材料で構成されているため、連結部４Ａが押されても縮まない。従って、連結部４Ａは、連結部４Ａに加わったそのままの力で可変部５Ａを押す（Ｐ４）。

【0050】

一方、可変部３Ａ、５Ａは弾性を有する樹脂構成されているため、可変部３Ａ、５Ａに加わった力に応じて変形可能である。ここで、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに対し、可変部５Ａは、可変部３Ａより遠い位置にある。また、連結部４Ａが可変部５Ａを押すと、その反作用として連結部４Ａは可変部５Ａから押し返される。このとき、連結部４Ａは、可変部３Ａ、５Ａから押されると、連結部４Ａに力のモーメントが働き、図１の幅方向ＤＷを軸とする回転方向に回転し、取り付け面ＭＪに対する連結部４Ａの角度が変化する。可変部３Ａ、５Ａは、連結部４Ａの角度の変化に応じて変形し、連結部４Ａとともに質量体Ｍに対して取り付け面ＭＪから離れる方向に移動させる力を加える。質量体Ｍは、連結部４Ａの角度の変化に応じて働く力に基づいて、取り付け面ＭＪから離れる方向に移動する（Ｐ５）。

【0051】

取り付け面ＭＪから離れる方向に質量体Ｍが移動すると、質量体Ｍは、可変部５Ｂを介して取り付け面ＭＪから離れる方向に連結部４Ｂを引く（Ｐ６）。連結部４Ｂは高剛性の材料で構成されているため、連結部４Ｂが引かれても伸びない。従って、連結部４Ｂは、連結部４Ｂに加わったそのままの力で可変部３Ｂを引く（Ｐ７）。

【0052】

一方、可変部３Ｂ、５Ｂは弾性を有する樹脂構成されているため、可変部３Ｂ、５Ｂに加わった力に応じて変形可能である。ここで、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに対し、可変部５Ｂは、可変部３Ｂより遠い位置にある。また、連結部４Ｂが可変部３Ｂを引くと、その反作用として連結部４Ｂは可変部３Ｂから引き返される。このとき、連結部４Ｂは、可変部３Ｂ、５Ｂから引かれると、連結部４Ｂに力のモーメントが働き、図１の幅方向ＤＷを軸とする回転方向に回転し、取り付け面ＭＪに対する連結部４Ｂの角度が変化する。可変部３Ｂ、５Ｂは、連結部４Ｂの角度の変化に応じて変形し、連結部４Ｂとともに取り付け部２Ｂに対してＡ点に加わった力の方向と反対の方向の力を加える（Ｐ８）。これにより、制振装置１Ａは、取り付け部２Ｂを介してＡ点の移動方向と反対の方向にＢ点を移動させ（Ｐ９）、Ａ点に加わった振動をＢ点で減衰させることができる。

【0053】

図３（ｄ）において、制振対象ＪＡの一端（Ａ点）に引く力が加わったものとする（Ｑ１）。このとき、Ａ点に加わった力の方向と同一の方向の力が取り付け部２Ａに加わる（Ｑ２）。これにより、取り付け部２Ａは、可変部３Ａを介して取り付け部２Ａに加わった力の方向と同一の方向に連結部４Ａを引く（Ｑ３）。そして、連結部４Ａは、連結部４Ａに加わったそのままの力で可変部５Ａを引く（Ｑ４）。

【0054】

このとき、連結部４Ａが可変部５Ａを引くと、その反作用として連結部４Ａは可変部５Ａから引き返される。そして、連結部４Ａは、可変部３Ａ、５Ａから引かれると、連結部４Ａに力のモーメントが働き、図１の幅方向ＤＷを軸とする回転方向に回転し、取り付け面ＭＪに対する連結部４Ａの角度が変化する。可変部３Ａ、５Ａは、連結部４Ａの角度の変化に応じて変形し、連結部４Ａとともに質量体Ｍに対して取り付け面ＭＪに接近する方向に移動させる力を加える。質量体Ｍは、連結部４Ａの角度の変化に応じて働く力に基づいて、取り付け面ＭＪに接近する方向に移動する（Ｑ５）。

【0055】

取り付け面ＭＪに接近する方向に質量体Ｍが移動すると、質量体Ｍは、可変部５Ｂを介して取り付け面ＭＪに接近する方向に連結部４Ｂを押す（Ｑ６）。このとき、連結部４Ｂは、連結部４Ｂに加わったそのままの力で可変部３Ｂを押す（Ｑ７）。

【0056】

このとき、連結部４Ｂが可変部３Ｂを押すと、その反作用として連結部４Ｂは可変部３Ｂから押し返される。そして、連結部４Ｂは、可変部３Ｂ、５Ｂから押されると、連結部４Ｂに力のモーメントが働き、図１の幅方向ＤＷを軸とする回転方向に回転し、取り付け面ＭＪに対する連結部４Ｂの角度が変化する。可変部３Ｂ、５Ｂは、連結部４Ｂの角度の変化に応じて変形し、連結部４Ｂとともに取り付け部２Ｂに対してＡ点に加わった力の方向と反対の方向の力を加える（Ｑ８）。これにより、制振装置１Ａは、取り付け部２Ｂを介してＡ点の移動方向と反対の方向にＢ点を移動させ（Ｑ９）、Ａ点に加わった振動をＢ点で減衰させることができる。

【0057】

このように、制振装置１Ａは、制振対象ＪＡの一端に生じた振動の方向に対して、制振対象ＪＡの他端において反対方向の動きを生じさせることにより、制振対象ＪＡの一端から他端に伝わる振動を減衰させることができる。

【0058】

なお、図３の説明では、制振対象ＪＡの一端が長さ方向ＤＬに変位するときに高さ方向ＤＨに質量体Ｍが変位することで、制振対象ＪＡの一端から他端に伝わる振動を減衰させる場合を例にとった。制振装置１Ａは、制振対象ＪＡの一端が幅方向ＤＷまたは高さ方向ＤＨに変位する場合においても、制振対象ＪＡの一端から他端に伝わる振動の伝達方向と異なる方向に質量体Ｍを変位させることにより、制振対象ＪＡの一端から他端に伝わる振動を減衰させることができる。また、制振装置１Ａは、制振対象ＪＡの一端にピッチングが発生する場合においても、制振対象ＪＡの一端から他端に伝わる振動の伝達方向と異なる方向に質量体Ｍを変位させることにより、制振対象ＪＡの一端から他端に伝わる振動を減衰させることができる。

【0059】

図４は、第２実施形態に係る制振装置の装着例を示す側面図である。
図４において、制振装置１Ａ、１Ａ´を平板状の制振対象ＪＡの両面に設けた。制振装置１Ａ´の構成は、制振装置１Ａの構成と同様である。なお、図４では、図２の構成に対し、取り付け部２Ａ、２Ｂ、可変部３Ａ、３Ｂ、５Ａ、５Ｂおよび連結部４Ａ、４Ｂの寸法を異ならせて示した。
図４の構成について、制振対象ＪＡのＡ点に水平方向の振動を加えたときのＢ点の振動について連結部４Ａ、４Ｂの厚さｔを変えてシミュレーションした。なお、制振対象ＪＡは、長さ＝１５０ｍｍ、厚さ＝５ｍｍの樹脂を想定した。

【0060】

図５から図７は、図４の連結部材の厚さを変化させたときの振動の伝達性と周波数との関係を示す図である。なお、図５から図７において、横軸は振動の周波数であり、縦軸は振動の伝達率である。伝達率は、制振装置１Ａ、１Ａ´が装着されている場合、制振装置１Ａ、１Ａ´が装着されてない場合に比べて、Ｂ点での振動が大きくなれば正の値、Ｂ点での振動が小さくなれば負の値、Ｂ点での振動に変化がなければ０であることを示す。すなわち、Ｂ点での振動が負の値を取っている領域が、振動が減衰している周波数範囲である。また、図５は、ｔ＝１０ｍｍの場合、図６は、ｔ＝１２ｍｍの場合、図７は、ｔ＝１４ｍｍの場合を示す。

【0061】

図５に示すように、ｔ＝１０ｍｍの場合、およそ２２０Ｈｚ～３００Ｈｚの周波数範囲Ｒ１の振動が減衰した。図６に示すように、ｔ＝１２ｍｍの場合、およそ２４０Ｈｚ～３５０Ｈｚの周波数範囲Ｒ２の振動が減衰した。図７に示すように、ｔ＝１４ｍｍの場合、およそ２７０Ｈｚ～４００Ｈｚの周波数範囲Ｒ３の振動が減衰した。

【0062】

このように、連結部４Ａ、４Ｂの厚さｔを変えると、振動が減衰する周波数範囲が変化することが確かめられた。すなわち、連結部４Ａ、４Ｂの厚さｔを適宜調整すれば、所望の周波数範囲の振動を減衰させることができる。
なお、図５～図７にも示されるとおり、制振装置１Ａ、１Ａ´を設けることにより、振動が増大する周波数領域が存在する。これは、制振装置１Ａ、１Ａ´を含む構造物全体の共振によるものである。構造物である以上、共振は必ず存在するので、このように振動が増大する領域が生じる。

【0063】

ここで、制振装置１Ａ、１Ａ´を制振対象ＪＡに装着することにより、１００Ｈｚから５００Ｈｚという低い周波数の振動の減衰領域を設けることが可能となるとともに、連結部４Ａ、４Ｂの厚さｔを変えるという比較的簡単な方法で、振動の減衰領域を適宜設定することができる。
ただし、連結部４Ａ、４Ｂの重さが重くなると共振を生じやすくなり、振動が増大する周波数領域が広がる。そのため、連結部４Ａ、４Ｂの材料は比重の小さいものが好ましく、ＣＦＲＰは好適である。

【0064】

なお、上述したシミュレーションでは、振動の減衰領域を適宜設定するために、連結部４Ａ、４Ｂの厚さｔを変化させたが、質量体Ｍを重くすると、低い周波数の振動の伝達を減衰させることができる。また、連結部４Ａ、４Ｂの長さを長くすることにより、低い周波数の振動の伝達を減衰させることができる。

【0065】

図８は、第２実施形態に係る制振装置の装着時の水平方向における振動の変位分布を示す図である。なお、図８の変位の数値の単位はメートルである。
図８において、図４の構成について制振対象ＪＡのＡ点に水平方向の振動を加えたときのＢ点の２４０Ｈｚでの振動の変位分布についてシミュレーションした。このとき、振動の変位は、水平方向において同一位相かつ同一周期で発生し、Ａ点からＢ点に向かって減衰する。

【0066】

図９は、第３実施形態に係る制振装置の構成を示す側面図である。
図９において、制振装置１Ｂは、質量体ＭＢおよび支持部ＰＡＢ、ＰＢＢを備える。制振装置１Ｂは、制振対象ＪＡに取り付けられる。なお、支持部ＰＡＢ、ＰＢＢは、制振対象ＪＡのＡ点に加わる力の方向に対して、図２の支持部ＰＡ、ＰＢと反対方向に回転し、図２の質量体Ｍの移動方向に対して質量体ＭＢを反対方向に移動させる。

【0067】

支持部材ＰＡＢは、取り付け部２ＡＢ、可変部３ＡＢ、５ＡＢおよび連結部４ＡＢを備える。支持部材ＰＢＢは、取り付け部２ＢＢ、可変部３ＢＢ、５ＢＢおよび連結部４ＢＢを備える。ここで、制振装置１Ｂの第１端部ＴＡＢおよび第２端部ＴＢＢの変位がないときに、各連結部４ＡＢ、４ＢＢは、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに対し平行である。また、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに対し、各可変部５ＡＢ、５ＢＢは、各可変部３ＡＢ、３ＢＢより近い位置にある。すなわち、制振装置１Ｂの高さ方向ＤＨにおいて、各可変部５ＡＢ、５ＢＢと取り付け面ＭＪとの距離をｈ１、各可変部３ＡＢ、３ＢＢと取り付け面ＭＪとの距離をｈ２とすると、ｈ１＜ｈ２である。取り付け部２ＡＢ、２ＢＢ、可変部３ＡＢ、３ＢＢ、５ＡＢ、５ＢＢおよび連結部４ＡＢ、４ＢＢのそれ以外の構成については、図２の取り付け部２Ａ、２Ｂ、可変部３Ａ、３Ｂ、５Ａ、５Ｂおよび連結部４Ａ、４Ｂと同様に構成することができる。

【0068】

ここで、ｈ１＜ｈ２とすることにより、制振対象ＪＡのＡ点に押す力が加わった場合は、質量体Ｍを取り付け面ＭＪに接近させる方向に移動させる力を生じさせ、制振対象ＪＡのＡ点に引く力が加わった場合は、質量体Ｍを取り付け面ＭＪから離れる方向に移動させる力を生じさせることができる。これにより、制振対象ＪＡのＡ点に押す力が加わった場合は、制振対象ＪＡのＢ点に押す力を作用させ、制振対象ＪＡのＡ点に引く力が加わった場合は、制振対象ＪＡのＢ点に引く力を作用させることができ、制振対象ＪＡのＡ点の振動がＢ点に伝わるのを抑制することができる。

【0069】

図１０は、第４実施形態に係る制振装置の構成を示す側面図である。
図１０において、制振装置１Ｃは、質量体ＭＣおよび支持部ＰＡＣ、ＰＢＣを備える。制振装置１Ｃは、制振対象ＪＡに取り付けられる。なお、支持部ＰＡＣ、ＰＢＣは、制振対象ＪＡのＡ点に加わる力の方向に対して、図２の支持部ＰＡ、ＰＢと同一方向に回転し、図２の質量体Ｍの移動方向と同一方向に質量体ＭＣを移動させる。

【0070】

支持部材ＰＡＣは、取り付け部２ＡＣ、可変部３ＡＣ、５ＡＣおよび連結部４ＡＣを備える。支持部材ＰＢＣは、取り付け部２ＢＣ、可変部３ＢＣ、５ＢＣおよび連結部４ＢＣを備える。ここで、各連結部４ＡＣ、４ＢＣは、制振装置１Ｃの第１端部ＴＡＣおよび第２端部ＴＢＣの変位がないときに、質量体ＭＣが取り付け面ＭＪから離れる方向に取り付け面ＭＪに対し傾いている。このとき、各連結部４ＡＣ、４ＢＣの傾きは、質量体ＭＣに対して対称になるように設定することができる。この場合、可変部３ＡＣ、５ＡＣは、連結部４ＡＣの両端に直線上に配置してもよいし、可変部３ＢＣ、５ＢＣは、連結部４ＢＣの両端に直線上に配置してもよい。取り付け部２ＡＣ、２ＢＣ、可変部３ＡＣ、３ＢＣ、５ＡＣ、５ＢＣおよび連結部４ＡＣ、４ＢＣのそれ以外の構成については、図２の取り付け部２Ａ、２Ｂ、可変部３Ａ、３Ｂ、５Ａ、５Ｂおよび連結部４Ａ、４Ｂと同様に構成することができる。

【0071】

ここで、制振対象ＪＡの取り付け面ＭＪに対し質量体ＭＣが取り付け面ＭＪから離れる方向に各連結部４ＡＣ、４ＢＣを傾けて設置することにより、制振対象ＪＡのＡ点に押す力が加わった場合は、質量体ＭＣを取り付け面ＭＪから離れる方向に移動させる力を生じさせ、制振対象ＪＡのＡ点に引く力が加わった場合は、質量体ＭＣを取り付け面ＭＪに接近させる方向に移動させる力を生じさせることができる。これにより、制振対象ＪＡのＡ点に押す力が加わった場合は、制振対象ＪＡのＢ点に引く力を作用させ、制振対象ＪＡのＡ点に引く力が加わった場合は、制振対象ＪＡのＢ点に押す力を作用させることができ、制振対象ＪＡのＡ点の振動がＢ点に伝わるのを抑制することができる。

【0072】

なお、図１０では、各連結部４ＡＣ、４ＢＣは、制振装置１Ｃの第１端部ＴＡＣおよび第２端部ＴＢＣの変位がないときに、質量体ＭＣが取り付け面ＭＪから離れる方向に取り付け面ＭＪに対し傾いている例を示した。各連結部４ＡＣ、４ＢＣは、制振装置１Ｃの第１端部ＴＡＣおよび第２端部ＴＢＣの変位がないときに、質量体ＭＣが取り付け面ＭＪに接近する方向に取り付け面ＭＪに対し傾いていてもよい。

【0073】

図１１は、第５実施形態に係る制振装置が装着された可動装置を示す側面図である。なお、図１１では、制振装置が装着された可動装置として基板搬送装置を例にとった。
図１１において、基板搬送装置１０は、プリント基板や液晶パネル用のガラス基板等を真空吸着にて保持し搬送する。

【0074】

基板搬送装置１０は、基板の上面側を吸着する吸着部２２を備える。吸着部２２は、複数の吸着パッド１９、吸着パッド１９を支持するパッド支持部２０および吸着パッド１９に陰圧を与える真空配管２１を備える。吸着パッド１９は、変形可能な樹脂で構成され、その内部に真空供給路が形成されている。吸着パッド１９は、搬送される基板に合わせて２次元平面上に複数配置される。パッド支持部２０は、２次元平面上に配置された複数の吸着パッド１９を同一水平面内で保持可能なように平板状に形成される。パッド支持部２０は、例えば、金属の板材からなるプレート状の支持具である。

【0075】

また、基板搬送装置１０は、吸着部２２を垂直方向および水平方向に移動させるために、垂直駆動部１４および水平駆動部１５を備える。垂直駆動部１４は、垂直駆動部１４を垂直方向に案内する垂直案内部１２にて支持される。垂直案内部１２は、基台１１上に支持される。水平駆動部１５は、水平駆動部１５を水平方向に案内する水平案内部１３にて支持される。水平案内部１３は、垂直駆動部１４にて水平方向に支持される。

【0076】

パッド支持部２０は、連結部材１６～１８を介して水平駆動部１５にて支持される。連結部材１６～１８は、吸着パッド１９が基台１１側を向くようにパッド支持部２０を基台１１上に保持する。このとき、連結部材１８は、パッド支持部２０上の真空配管２１の邪魔にならない位置に設けられる。連結部材１８上には、図２の制振装置１Ａが装着される。図２の制振装置１Ａの代わりに、図９の制振装置１Ｂまたは図１０の制振装置１Ｃを装着してもよい。

【0077】

例えば、基板搬送装置１０が露光装置に適用される場合、吸着パッド１９を基板に接触させた後、吸着パッド１９を真空引きして基板を吸着パッド１９に吸着させる。そして、垂直駆動部１４および水平駆動部１５を動作させて吸着部２２を移動させることで基板をワークステージ上まで搬送し、ワークステージ上に基板を載置した後、吸着パッド１９の真空引きを解除して吸着部２２をワークステージ上から退避させる。

【0078】

ここで、ワークステージ上に基板が載置されるときに、基板の搬送に用いられた吸着部２２および連結部材１６の移動がワークステージ上で停止される。このとき、吸着部２２および連結部材１６の移動の停止時に発生する振動がワークステージに伝わると、ワークステージの振動が十分に小さくなるまで待機される。ここで、連結部材１８上には制振装置１Ａが装着されているので、制振装置１Ａが装着されていない場合に比べて、吸着部２２および連結部材１６の移動の停止時に発生する振動をより速やかに減衰させることができる。このため、ワークステージの振動が十分に小さくなるまで待機時間を短くすることができ、生産性を向上させることができる。ワークステージの振動が十分に小さくなると、ワークステージ上で基板の露光処理が行われる。

【0079】

図１２は、第６実施形態に係る制振装置が装着された可動装置を示す斜視図である。なお、図１２では、制振装置が装着された可動装置として、多関節型の基板搬送ロボットを例にとった。
図１２において、基板搬送ロボット３０は、半導体ウエハ、ディスプレイ用のガラス基板または実装用のプリント基板等を真空吸着にて保持し搬送する。

【0080】

基板搬送ロボット３０は、アーム３３～３５を備える。各アーム３３～３５は、例えば、アルミナなどのセラミックスで構成され、長尺な平板状である。アーム３３は支持軸３２を介して基台上に３１に支持される。アーム３３の一端は関節部３６を介して支持軸３２に連結され、アーム３３の他端は関節部３７を介してアーム３４の一端に連結され、アーム３４の他端は関節部３８を介してアーム３５の一端に連結されている。アーム３５の他端はフォーク状に形成され、フォークの先端には突出部４０が設けられ、フォークの付け根には吸着穴３９が設けられている。

【0081】

基板搬送ロボット３０は、支持軸３２および各関節部３６～３８が駆動されることによるアーム３３～３５の伸縮運動、支持軸３２の回りにアーム３３～３５が全体として回転する回転運動およびアーム３３～３５が全体に上下に移動する上下運動が可能である。

【0082】

各アーム３３～３５は内部に吸引路を有し、吸着穴３９を真空引きすることができる。突出部４０は、例えば、コムなどの弾性部材で柱状に構成される。基板搬送ロボット３０にて基板を搬送する場合、基板の中心が吸着穴３９上に位置し、基板の周辺が突出部４０上に位置するようにアーム３５上に基板が保持される。ここで、吸着穴３９を介して基板が吸着されたときに、基板が突出部４０を圧縮することで基板と突出部４０との間に摩擦力を働かせ、基板に反りがある場合においても、基板がアーム３５上から脱落するのを抑制することができる。

【0083】

アーム３５上には、図２の制振装置１Ａが装着される。制振装置１Ａは、アーム３５上での基板の保持の邪魔にならない位置に設置される。図２の制振装置１Ａの代わりに、図９の制振装置１Ｂまたは図１０の制振装置１Ｃを装着してもよい。

【0084】

例えば、基板搬送ロボット３０が露光装置に適用される場合、基板下にアーム３５を挿入した後、吸着穴３９を真空引きして基板を吸着穴３９に吸着させる。そして、支持軸３２および各関節部３６～３８を駆動させてアーム３３～３５を移動させることで基板をワークステージ上まで搬送し、ワークステージ上に基板を載置した後、吸着穴３９の真空引きを解除してアーム３３～３５をワークステージ上から退避させる。

【0085】

ここで、ワークステージ上に基板が載置されるときに、基板の搬送に用いられたアーム３３～３５の移動がワークステージ上で停止される。このとき、アーム３３～３５の移動の停止時に発生する振動がワークステージに伝わると、ワークステージの振動が十分に小さくなるまで待機される。ここで、アーム３５上には制振装置１Ａが装着されているので、制振装置１Ａが装着されていない場合に比べて、アーム３３～３５の移動の停止時に発生する振動をより速やかに減衰させることができる。このため、ワークステージの振動が十分に小さくなるまで待機時間を短くすることができ、生産性を向上させることができる。ワークステージの振動が十分に小さくなると、ワークステージ上で基板の露光処理が行われる。

【0086】

なお、上述した実施形態では、基板搬送アームおよび多関節型ロボットアームに制振装置を装着した例を示したが、振動が発生する可動装置ならば任意の可動装置に制振装置を装着可能である。例えば、放電加工装置、切削加工装置、レーザ加工装置または露光装置などのステージに制振装置を装着してもよいし、部品のハンドラなどに制振装置を装着してもよい。また、地震による建築物、棚または家具などの揺れを低減させるために、建築物、棚または家具などに制振装置を装着してもよい。このとき、制振装置の制振周波数を地震の揺れの周波数に対応させることができる。

【符号の説明】

【0087】

１Ａ 制振装置、ＰＡ、ＰＢ 支持部、２Ａ、２Ｂ 取り付け部、３Ａ、３Ｂ、５Ａ、５Ｂ 可変部、４Ａ、４Ｂ 連結部、Ｍ 質量体、ＪＡ 制振対象

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】