特許 7510976 イメージセンサとその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-26

(45)【発行日】2024-07-04

(54)【発明の名称】イメージセンサとその製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 27/146 20060101AFI20240627BHJP

【ＦＩ】

H01L27/146 D

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022123730

(22)【出願日】2022-08-03

(65)【公開番号】P2023152268

(43)【公開日】2023-10-16

【審査請求日】2022-08-03

(31)【優先権主張番号】17/710,238

(32)【優先日】2022-03-31

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】507296388

【氏名又は名称】采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＶｉｓＥｒａ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｃｏｍｐａｎｙ Ｌｉｍｉｔｅｄ

【住所又は居所原語表記】Ｎｏ．１２，Ｄｕｓｉｎｇ Ｒｄ．１， Ｈｓｉｎｃｈｕ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｐａｒｋ，Ｈｓｉｎ－Ｃｈｕ Ｃｉｔｙ，Ｔａｉｗａｎ

(74)【代理人】

【識別番号】100102532

【弁理士】

【氏名又は名称】好宮 幹夫

(74)【代理人】

【識別番号】100194881

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 俊弘

(74)【代理人】

【識別番号】100215142

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 徹

(72)【発明者】

【氏名】何偲瑜

(72)【発明者】

【氏名】鄭嶽青

(72)【発明者】

【氏名】張育淇

【審査官】渡邊 佑紀

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／１２４５６２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２１－０７２２９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０９２６３２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１４／０６５３７３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－２３８７７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２３２５３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０６８８５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０６８８１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０３３８６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１３４３６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２１８３５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－００９７０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０４６９６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１７４１５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１０９７２５０５（ＣＮ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０２２９８５２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２７／１４６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１のフォトダイオードと第２のフォトダイオードとを有する半導体基板と、
前記半導体基板上に配置され、前記第１のフォトダイオードの上方に配置された第１のピラーアレイと、前記第２のフォトダイオードの上方に配置された第２のピラーアレイとを有するピラーアレイ層と、
前記ピラーアレイ層上に配置された平面層と、
前記平面層上に配置されたマイクロレンズ層とを備える、イメージセンサであって、
前記第１のピラーアレイは、複数の第１のピラー構造を含み、前記第２のピラーアレイは、複数の第２のピラー構造を含み、前記第１のピラー構造の全てが第１の高さを有し、前記第２のピラー構造の全てが第２の高さを有し、かつ、前記ピラーアレイ層は、
前記第１のピラー構造のそれぞれの第１の高さが、前記第２のピラー構造のそれぞれの第２の高さと異なり、
それぞれの第１のピラー構造の底面は互いに接しており、それぞれの第２のピラー構造の底面は互いに接しており、
前記ピラーアレイ層の屈折率は前記半導体基板の屈折率未満であることを特徴とするイメージセンサ。

【請求項2】

前記第１のピラー構造のそれぞれの第１の高さは０．１μｍ～１．６μｍの範囲であり、前記第２のピラー構造のそれぞれの第２の高さは０．１μｍ～１．６μｍの範囲であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項3】

２つの前記第１のピラー構造の間のピッチは０．３μｍ～０．５μｍの範囲であり、２つの前記第２のピラー構造の間のピッチは０．３μｍ～０．５μｍの範囲であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項4】

第１の方向における２つの前記第１のピラー構造の間のピッチが、前記第１の方向における２つの前記第２のピラー構造の間のピッチよりも大きく、
第２の方向における２つの前記第１のピラー構造の間のピッチが、前記第２の方向における２つの前記第２のピラー構造の間のピッチよりも大きいか、同じか、または小さく、
前記第１の方向は、前記第２の方向に対して略垂直であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項5】

前記第１のピラーアレイの配置がＡ×Ｂ配列であり、前記第２のピラーアレイの配置がＣ×Ｄ配列であり、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが正の整数であり、ＡとＢとは同じか異なり、かつＣとＤとは同じか異なり、Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤは、４～９の範囲であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項6】

第１のピラー構造のそれぞれの上面の形状が矩形、円形、正方形、又は楕円形状であり、第２のピラー構造のそれぞれの上面の形状が矩形、円形、正方形、又は楕円形状であり、
第１のピラー構造のそれぞれの底面の形状が矩形、円形、正方形、又は楕円形状であり、第２のピラー構造のそれぞれの底面の形状が矩形、円形、正方形、又は楕円形状であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項7】

前記第１のピラー構造のそれぞれの上面の幅が前記第１のピラー構造のそれぞれの底面の幅未満であり、かつ、前記第２のピラー構造のそれぞれの上面の幅が前記第２のピラー構造のそれぞれの底面の幅未満であり、
前記第１のピラー構造のそれぞれの上面の幅が０．１６μｍ～０．４μｍの範囲であり、前記第１のピラー構造のそれぞれの底面の幅が０．２μｍ～０．５μｍの範囲であり、前記第２のピラー構造のそれぞれの上面の幅が０．１６μｍ～０．４μｍの範囲であり、前記第２のピラー構造のそれぞれの底面の幅が０．２μｍ～０．５μｍの範囲であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項8】

前記第１のピラー構造が全て同一であり、前記第２のピラー構造が全て同一であり、かつ前記第１のピラー構造が前記第２のピラー構造と異なり、
前記第１のピラー構造の屈折率は１．４～１．６の範囲であり、前記第２のピラー構造の屈折率は１．４～１．６の範囲であることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項9】

前記平面層の厚さが３．３μｍ～３．９μｍの範囲であり、前記ピラーアレイ層の材料が前記平面層の材料とは異なることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項10】

前記イメージセンサは、９２０ｎｍ～９６０ｎｍの範囲の波長を有する光を受光するように構成され、
前記半導体基板は、第３のフォトダイオードをさらに備え、前記第３のフォトダイオードの上方の前記ピラーアレイ層の部分は、いかなるピラー構造も含まないことを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサ。

【請求項11】

第１のフォトダイオード及び第２のフォトダイオードを有する半導体基板を調達し、
前記半導体基板上に光透過層を形成し、
ピラーアレイ層を形成するためにモールドによって前記光透過層をインプリントし、
前記ピラーアレイ層を形成するために前記モールドによって前記光透過層をインプリントした後、前記ピラーアレイ層を形成するために前記光透過層に硬化操作を実行し、
前記ピラーアレイ層上に平面層を形成し、
前記平面層上にマイクロレンズ層を形成することを含む、イメージセンサの製造方法であって、
前記ピラーアレイ層は前記第１のフォトダイオードの上方に配置された第１のピラーアレイと、前記第２のフォトダイオードの上方に配置された第２のピラーアレイとを有し、
前記第１のピラーアレイは複数の第１のピラー構造を含み、前記第２のピラーアレイは複数の第２のピラー構造を含み、全ての前記第１のピラー構造が第１の高さを有し、全ての前記第２のピラー構造が第２の高さを有し、かつ、前記ピラーアレイ層は、
前記第１のピラー構造のそれぞれの第１の高さが、前記第２のピラー構造のそれぞれの第２の高さと異なり、
それぞれの第１のピラー構造の底面は互いに接しており、それぞれの第２のピラー構造の底面は互いに接しており、
前記ピラーアレイ層の屈折率を前記半導体基板の屈折率未満とすることを特徴とするイメージセンサの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、イメージセンサ及びそのイメージセンサの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般的なイメージセンサは、通常、マイクロレンズ層と半導体基板とを有し、マイクロレンズ層は、半導体基板の上方に位置する。光はマイクロレンズ層を通過し、半導体基板内のフォトダイオードに吸収され得る。ただし、マイクロレンズ層と半導体基板とは屈折率が異なっている。また、光がマイクロレンズ層や半導体基板を通過する際に、光の反射が発生し得る。その結果、半導体基板中のフォトダイオードに吸収される光が減少する。また、光の回折により、光がマイクロレンズ層や半導体基板を通過する際にイメージセンサがペタルフレアを発生することがあり、これによりイメージセンサの性能が低下する。

【発明の概要】

【0003】

本開示の一態様は、イメージセンサを提供する。イメージセンサは、半導体基板、ピラーアレイ層、平面層、及びマイクロレンズ層を含む。半導体基板は、第１のフォトダイオード及び第２のフォトダイオードを含む。ピラーアレイ層は、半導体基板上に配置され、ピラーアレイ層は、第１フォトダイオードの上方に配置された第１ピラーアレイと、第２フォトダイオードの上方に配置された第２ピラーアレイとを含む。第１のピラーアレイは複数の第１のピラー構造を含み、第２のピラーアレイは複数の第２のピラー構造を含み、全ての第１のピラー構造は第１の高さを有し、全ての第２のピラー構造は第２の高さを有する。ピラーアレイ層は、以下の条件の少なくとも１つを満たす。（１）それぞれの第１のピラー構造の第１の高さが、それぞれの第２のピラー構造の第２の高さと異なる。（２）２つの第１のピラー構造の間のピッチが、２つの第２のピラー構造の間のピッチと異なる。（３）それぞれの第１のピラー構造の形状が、それぞれの第２のピラー構造の形状と異なる。平面層はピラーアレイ層上に配置される。マイクロレンズ層は平面層上に配置される。

【0004】

本開示のいくつかの実施形態によれば、それぞれの第１のピラー構造の第１の高さは、０．１μｍ～１．６μｍの範囲であり、それぞれの第２のピラー構造の第２の高さは、０．１μｍ～１．６μｍの範囲である。

【0005】

本開示のいくつかの実施形態によれば、２つの第１のピラー構造の間のピッチは、０．３μｍ～０．５μｍの範囲であり、２つの第２のピラー構造の間のピッチは、０．３μｍ～０．５μｍの範囲である。

【0006】

本開示のいくつかの実施形態によれば、第１の方向における２つの第１のピラー構造の間のピッチが、第１の方向における２つの第２のピラー構造の間のピッチよりも大きく、第２の方向における２つの第１のピラー構造の間のピッチが、第２の方向における２つの第２のピラー構造の間のピッチと同じであり、第１の方向は、第２の方向に対して略垂直である。

【0007】

本開示のいくつかの実施形態によれば、第１の方向における２つの第１のピラー構造の間のピッチが、第１の方向における２つの第２のピラー構造の間のピッチよりも大きく、第２の方向における２つの第１のピラー構造の間のピッチが、第２の方向における２つの第２のピラー構造の間のピッチよりも大きく、第１の方向は、第２の方向に対して略垂直である。

【0008】

本開示のいくつかの実施形態によれば、第１の方向における２つの第１のピラー構造の間のピッチが、第１の方向における２つの第２のピラー構造の間のピッチよりも大きく、第２の方向における２つの第１のピラー構造の間のピッチが、第２の方向における２つの第２のピラー構造の間のピッチよりも小さく、第１の方向は第２の方向に対して略垂直である。

【0009】

本開示のいくつかの実施形態によれば、第１のピラーアレイの配置はＡ×Ｂ配列であり、第２のピラーアレイの配置はＣ×Ｄ配列であり、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは正の整数であり、ＡとＢとは同じか異なり、かつＣとＤとは同じか異なる。

【0010】

本開示のいくつかの実施形態によれば、Ａ、Ｂ、Ｃ、及びＤは、４～９の範囲である。

【0011】

本開示のいくつかの実施形態によれば、第１のピラー構造のそれぞれの上面の形状は、矩形、円形、正方形、又は楕円形状であり、第２のピラー構造のそれぞれの上面の形状は、矩形、円形、正方形、又は楕円形状である。

【0012】

本開示のいくつかの実施形態によれば、第１のピラー構造のそれぞれの底面の形状は、矩形、円形、正方形、又は楕円形状であり、第２のピラー構造のそれぞれの底面の形状は、矩形、円形、正方形、又は楕円形状である。

【0013】

本開示のいくつかの実施形態によれば、それぞれの第１のピラー構造の上面の幅は、それぞれの第１のピラー構造の底面の幅未満であり、かつ、それぞれの第２のピラー構造の上面の幅は、それぞれの第２のピラー構造の底面の幅未満である。

【0014】

本開示のいくつかの実施形態によれば、それぞれの第１のピラー構造の上面の幅は、０．１６μｍ～０．４μｍの範囲であり、それぞれの第１のピラー構造の底面の幅は０．２μｍ～０．５μｍの範囲であり、それぞれの第２のピラー構造の上面の幅は、０．１６μｍ～０．４μｍの範囲であり、それぞれの第２のピラー構造の底面の幅は０．２μｍ～０．５μｍの範囲である。

【0015】

本開示のいくつかの実施形態によれば、全ての第１のピラー構造は同一であり、全ての第２のピラー構造は同一であり、第１のピラー構造は、第２のピラー構造と異なる。

【0016】

本開示のいくつかの実施形態によれば、第１のピラー構造の屈折率は、１．４～１．６の範囲にあり、第２のピラー構造の屈折率は、１．４～１．６の範囲である。

【0017】

本開示のいくつかの実施形態によれば、平面層の厚さは３．３μｍ～３．９μｍの範囲である。

【0018】

本開示のいくつかの実施形態によれば、ピラーアレイ層の材料は平面層の材料とは異なる。

【0019】

本開示のいくつかの実施形態によれば、イメージセンサは、９２０ｎｍ～９６０ｎｍの範囲の波長を有する光を受光するように構成される。

【0020】

本開示のいくつかの実施形態によれば、半導体基板は、第３のフォトダイオードをさらに含み、第３のフォトダイオードの上方のピラーアレイ層の部分は、いかなるピラー構造も含まない。

【0021】

本開示の一態様は、以下の工程を含むイメージセンサの製造方法を提供する。第１のフォトダイオード及び第２のフォトダイオードを含む半導体基板を調達する。光透過層を半導体基板上に形成する。光透過層を、ピラーアレイ層を形成するためにモールドによりインプリントする。ピラーアレイ層は、第１のフォトダイオードの上方に配置された第１のピラーアレイと、第２のフォトダイオードの上方に配置された第２のピラーアレイとを含む。第１のピラーアレイは複数の第１のピラー構造を含み、第２のピラーアレイは複数の第２のピラー構造を含み、全ての第１のピラー構造は第１の高さを有し、全ての第２のピラー構造は第２の高さを有する。ピラーアレイ層は、以下の条件の少なくとも１つを満たす。（１）それぞれの第１のピラー構造の第１の高さが、それぞれの第２のピラー構造の第２の高さと異なる。（２）２つの第１のピラー構造の間のピッチが、２つの第２のピラー構造の間のピッチと異なる。（３）それぞれの第１のピラー構造の形状が、それぞれの第２のピラー構造の形状と異なる。平面層をピラーアレイ層上に形成する。マイクロレンズ層を平面層上に形成する。

【0022】

本開示のいくつかの実施形態によれば、この方法は、ピラーアレイ層を形成するためにモールドによって光透過層をインプリントした後、ピラーアレイ層を形成するために光透過層に硬化操作を実行すること、をさらに含む。

【図面の簡単な説明】

【0023】

本開示の態様は、添付の図と共に読むと以下の詳細な説明から最もよく理解される。業界の標準的な慣行に従って、様々な構成が縮尺通りには描かれていないことに留意されたい。実際、様々な構成の寸法は、説明を明瞭にするために任意に拡大または縮小され得る。

【0024】

【図1A】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの断面図である。

【0025】

【図1B】図１Ａのピラーアレイ層の上面図である。

【0026】

【図2A】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの断面図である。

【0027】

【図2B】図２Ａのピラーアレイ層の上面図である。

【図2C】図２Ａのピラーアレイ層の上面図である。

【0028】

【図3A】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの断面図である。

【0029】

【図3B】図３Ａのピラーアレイ層の上面図である。

【0030】

【図4】本発明のいくつかの実施形態によるピラーアレイ層の上面図である。

【0031】

【図5A】本発明のいくつかの代替実施形態による第１のピラーアレイ又は第２のピラーアレイの上面図である。

【図5B】本発明のいくつかの代替実施形態による第１のピラーアレイ又は第２のピラーアレイの上面図である。

【0032】

【図6】本発明のいくつかの実施形態によるピラーアレイ層の上面図である。

【0033】

【図7】図６のピラーアレイ層を含むイメージセンサの断面図であり、図６のＡ－Ａ’線に沿う断面図である。

【0034】

【図8】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの製造方法のフローチャートである。

【0035】

【図9】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの製造方法の工程における断面図である。

【図10】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの製造方法の工程における断面図である。

【図11】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの製造方法の工程における断面図である。

【図12】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの製造方法の工程における断面図である。

【図13】本発明のいくつかの実施形態によるイメージセンサの製造方法の工程における断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0036】

以下の開示は、提供された主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態又は実施例を提供する。本開示を単純化するために構成要素および配置の具体例を以下に記載する。これらは、もちろん、単なる例であり、限定することを意図するものではない。
例えば、以下の説明における第２の構成の上またはそれをまたぐ第１の構成の形成は、第１および第２の構成が直接接触して形成される実施形態を含むことができ、また、第１および第２の構成が直接接触しないように、第１の構成と第２の構成との間に追加の構成が形成され得る実施形態を含んでもよい。加えて、本開示は、種々の実施例において参照番号および／または文字を繰り返してもよい。この繰り返しは、単純化および明瞭化を目的としており、それ自体では、説明される様々な実施形態および／または構成間の関係を示すものではない。任意の要素／構成要素の数は単なる例示のためのものであり、本開示を限定する意図はないことを理解されたい。

【0037】

さらに、上や下など（「下」、「下方」、「下部」、「上方」、「上部」など）の空間的に相対的な用語は、図に例示されるように、ある要素または構成と別の要素または構成との関係を記述するためのものであり、説明を容易にするために本明細書で使用され得る。空間的に相対的な用語は、図に描かれた向きに加えて、使用中または動作中の装置の異なる向きを包含することを意図する。装置は、他の方向を向いていてもよく（９０度または他の向きに回転してもよく）、本明細書で使用される空間的に相対的な記述子（ｄｅｓｃｒｉｐｔｏｒｓ）も同様に解されてもよい。

【0038】

本開示のイメージセンサは、複数のピラー構造を有するピラーアレイ層を含み、前記ピラー構造がテーパー構造を有する。これらのピラー構造の屈折率はスムーズに変化する。そのため、光Ｌがマイクロレンズとフォトダイオードとの間のピラーアレイ層を通ってイメージセンサに入射した後、光Ｌが反射しにくくなるため、光Ｌの経路を広げることができ、フォトダイオードの光吸収率やイメージセンサの性能を高めることができる。また、ピラーアレイ層の複数のピラーアレイ間で高さ、ピッチ、形状を異ならせることができるため、光Ｌの回折により発生するペタルフレアを低減することができる。

【0039】

図１Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるイメージセンサ１００の断面図である。イメージセンサ１００は、半導体基板１１０と、ピラーアレイ層１２０と、平面層１３０と、マイクロレンズ層１４０とを含む。半導体基板１１０は、第１のフォトダイオード１１２ａと第２のフォトダイオード１１２ｂとを含む。第２のフォトダイオード１１２ｂは、方向Ｘに沿って第１のフォトダイオード１１２ａの脇に配置されている。第１のフォトダイオード１１２ａと第２のフォトダイオード１１２ｂとは、シールド素子１１４によって分離されている。シールド素子１１４は、第１のフォトダイオード１１２ａと第２のフォトダイオード１１２ｂ間の光の干渉を回避するように構成されている。第１のフォトダイオード１１２ａおよび／または第２のフォトダイオード１１２ｂは、Ｓｉフォトダイオード、ＧｅオンＳｉフォトダイオード、または他の適切なフォトダイオードからなっていてもよい。ピラーアレイ層１２０は、半導体基板１１０上に配置されている。ピラーアレイ層１２０は、第１のピラーアレイ１２２ａと第２のピラーアレイ１２２ｂとを含むピラーアレイ１２２を含む。第２のピラーアレイ１２２ｂは、方向Ｘに沿って第１のピラーアレイ１２２ａの脇に配置されている。平面層１３０は、ピラーアレイ層１２０上に配置されている。具体的には、平面層１３０は、第１フォトダイオード１１２ａ、第２のフォトダイオード１１２ｂ、及び半導体基板１１０を覆っている。マイクロレンズ層１４０は、平面層１３０上に配置されている。つまり、ピラーアレイ層１２０は、平面層１３０に埋め込まれており、半導体基板１１０とマイクロレンズ層１４０との間にある。マイクロレンズ層１４０は、複数のマイクロレンズを含み、外部の光Ｌを受光するように構成されている。マイクロレンズ層１４０のそれぞれのマイクロレンズは、第１のピラーアレイ１２２ａおよび第１のフォトダイオード１１２ａと方向Ｚに整列し、マイクロレンズ層１４０のマイクロレンズのそれぞれは、方向Ｚにおいて、第２のピラーアレイ１２２ｂおよび第２のフォトダイオード１１２ｂと整列する。光Ｌは、マイクロレンズ層１４０、平面層１３０、及びピラーアレイ層１２０をＺ方向に沿って通過できて、半導体基板１１０内の第１のフォトダイオード１１２ａ及び第２のフォトダイオード１１２ｂに向かうことができる。いくつかの実施形態では、イメージセンサ１００は、９３０、９４０、または９５０ｎｍなどの９２０ｎｍ～９６０ｎｍの範囲の波長を有する光Ｌを受光するように構成されている。

【0040】

なお、図１Ａを参照されたい。ピラーアレイ層１２０の第１のピラーアレイ１２２ａは、第１のフォトダイオード１１２ａの上方に配置され、ピラーアレイ層１２０の第２のピラーアレイ１２２ｂは、第２のフォトダイオード１１２ｂの上方に配置されている。第１のピラーアレイ１２２ａは、複数の第１のピラー構造１２４ａを含み、全ての第１のピラー構造１２４ａは、第１の高さＨ１を有する。第２のピラーアレイ１２２ｂは、複数の第２のピラー構造１２４ｂを含み、全ての第２ピラー構造１２４ｂは、第２の高さＨ２を有する。一実施形態では、それぞれの第１のピラー構造１２４ａの第１の高さＨ１は、図１Ａに示すように、各第２のピラー構造１２４ｂの第２の高さＨ２とは異なる。本実施形態では、光Ｌの回折により発生するペタルフレアを低減できる。例えば、ピラーアレイ層１２０に印加される波長が約９４０ｎｍの場合、ペタルフレアを約２５％減少させ、イメージセンサ１００の量子効率を約２０％に維持できる。いくつかの実施形態では、第１の高さＨ１および第２の高さＨ２は、それぞれ、０．１２、０．１３、０．１４、または０．１５μｍなどの０．１μｍ～１．６μｍの範囲にある。

【0041】

いくつかの実施形態では、ピラーアレイ層１２０の第１のピラー構造１２４ａおよび第２のピラー構造１２４ｂの屈折率は、それぞれ１．４～１．６の範囲、例えば１．５である。図１Ａの光Ｌ（下記の図２Ａおよび図３Ａにおいても）は、単に説明を容易にするために示されているに過ぎず、光Ｌが、ある媒質から別の媒質に入射すると、光Ｌの進行方向が変化することが理解できる。いくつかの実施形態では、マイクロレンズ層１４０の屈折率が平面層１３０の屈折率未満であり、平面層１３０の屈折率がピラーアレイ層１２０の屈折率未満であり、かつピラーアレイ層１２０の屈折率が半導体基板１１０の屈折率未満である。具体的には、ピラー構造１２４ａ，１２４ｂがテーパー構造を有することにより、イメージセンサ１００の屈折率が上から下に向かって徐々に増加するため、半導体基板１１０内の第１フォトダイオード１１２ａ及び第２フォトダイオード１１２ｂに向かって、光Ｌがマイクロレンズ層１４０、平面層１３０、ピラーアレイ層１２０を通過する際に、光Ｌの反射の可能性を低減できる。また、それぞれの第１のピラー構造１２４ａの第１の高さＨ１は、それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの第２の高さＨ２と異なるため、光Ｌの回折はイメージセンサ１００のペタルフレアを低減するように改善でき、これによりイメージセンサ１００の性能を高めることができる。いくつかの実施形態では、ピラーアレイ層１２０の第１のピラー構造１２４ａおよび第２のピラー構造１２４ｂは、ＳｉＯ_２およびＳｉＮなどの誘電体材料を含む材料で構成してもよい。

【0042】

図１Ａに示すように、ピラーアレイ層１２０の第１のピラー構造１２４ａ及び第２のピラー構造１２４ｂはテーパーのついた形状である。具体的には、第１のピラー構造１２４ａの上面の幅Ｗａ１は、それぞれの第１のピラー構造１２４ａの底面の幅Ｗａ２よりも小さい。それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの上面の幅Ｗｂ１は、それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの底面の幅Ｗｂ２よりも小さい。第１のピラー構造１２４ａ及び第２のピラー構造１２４ｂはテーパのついた構造であるため、第１のピラー構造１２４ａ及び第２のピラー構造１２４ｂの屈折率（上から下へ）が滑らかに増加し、これにより、第１のピラー構造１２４ａ及び第２のピラー構造１２４ｂが反射防止効果を発揮し、光Ｌの経路を延長することができる。その結果、半導体基板１１０における第１のフォトダイオード１１２ａおよび第２のフォトダイオード１１２ｂは、所望の量の光Ｌを吸収してイメージセンサ１００の性能を高めることができる。いくつかの実施形態では、それぞれの第１のピラー構造１２４ａの上面の幅Ｗａ１は０．１６μｍ～０．４μｍの範囲であり、それぞれの第１のピラー構造１２４ａの底面の幅Ｗａ２は０．２μｍ～０．５μｍの範囲である。いくつかの実施形態では、それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの上面の幅Ｗｂ１は０．１６μｍ～０．４μｍの範囲であり、それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの底面の幅Ｗｂ２は０．２μｍ～０．５μｍの範囲である。

【0043】

図１Ａをもう一度参照されたい。いくつかの実施形態では、平面層１３０の厚さＴは、３．４、３．５、３．６、３．７、または３．８μｍなどの３．３μｍ～３．９μｍの範囲である。例えば、ピラーアレイ層１２０の印加波長が９４０ｎｍ、かつ、平面層１３０の厚さＴが３．５μｍの場合、ペタルフレアを約３２％減少させ、イメージセンサ１００の量子効率を２０％に維持することができる。いくつかの実施形態では、平面層１３０は、ポリマーを含む材料からなっていてもよい。いくつかの実施形態では、ピラーアレイ層１２０の材料は、平面層１３０の材料とは異なる。

【0044】

図１Ｂは、図１Ａのピラーアレイ層１２０の上面図である。第１のピラーアレイ１２２ａにおける第１のピラー構造１２４ａのそれぞれの上面は正方形状であり、第２のピラーアレイ１２２ｂにおける第２のピラー構造１２４ｂのそれぞれの上面は正方形状である。いくつかの実施形態では、第１のピラーアレイ１２２ａの配置はＡ×Ｂアレイであり、第２のピラーアレイ１２２ｂの配置はＣ×Ｄアレイである。Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは正の整数で、ＡはＢと異なるか等しく、ＣはＤと異なるか等しい。いくつかの実施形態では、Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤは、５、６、７、または８などの４～９の範囲にある。具体的には、ＡがＢに等しい場合（またはＣがＤに等しい場合）、４×４、５×５、６×６、７×７、８×８、または９×９の配列であってもよい。図１Ｂに示すように、第１のピラーアレイ１２２ａは４×４アレイであり、第２のピラーアレイ１２２ｂは４×４アレイである。一実施形態では、第１のピラーアレイ１２２ａの全ての第１のピラー構造１２４ａは同一であり、第２のピラーアレイ１２２ｂの全ての第２のピラー構造１２４ｂは同一であり、第１のピラー構造１２４ａは、第２のピラー構造１２４ｂと異なる。ＡがＢと異なる場合（またはＣがＤと異なる場合）、４×５、４×６、４×７、４×８、４×９、５×４、５×６、５×７、５×８、５×９、６×４、６×５、６×７、６×８、６×９、７×４、７×５、７×６、７×８、７×９、８×４、８×５、８×６、８×７、８×９、９×４、９×５、９×６、９×７、９×８アレイなどのランダムな配列であってもよい。本開示の第１のピラーアレイ１２２ａ及び第２のピラーアレイ１２２ｂのいくつかの実施形態について、以下に詳細に説明する。

【0045】

本明細書における「ピッチ」とは、方向Ｘのピッチと、方向Ｙのピッチとを含み、方向Ｘが方向Ｙに対して略垂直であることが理解される。図１Ａをもう一度参照されたい。本明細書における「ピッチ」とは、２つのピラー構造毎（例えば第１のピラー構造１２４ａ同士や第２のピラー構造１２４ｂ同士）の距離によって定義され、ピッチは、ピラーアレイ（第１のピラーアレイ１２２ａおよび第２のピラーアレイ１２２ｂなど）を形成するための繰り返し単位である。図１Ａ、図１Ｂをもう一度参照されたい。第１のピラーアレイ１２２ａと第２のピラーアレイ１２２ｂはいずれも４×４の配列であるため、方向Ｘにおける２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｘは、方向Ｘにおける２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｘと同じであり、方向Ｙにおける２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｙは、方向Ｙにおける２つの第２のピラー構造１２４ｂの間のピッチＰ２ｙと同じである。いくつかの実施形態では、２つの第１のピラー構造１２４ａの間のピッチ（方向ＸのピッチＰ１ｘおよび方向ＹのピッチＰ１ｙを含む）は、０．３μｍ～０．５μｍの範囲、例えば０．３５、０．４、または０．４５μｍである。いくつかの実施形態では、２つの第２のピラー構造１２４ｂの間のピッチ（方向ＸのピッチＰ２ｘおよび方向ＹのピッチＰ２ｙを含む）は、０．３μｍ～０．５μｍの範囲、例えば０．３５、０．４、または０．４５μｍである。

【0046】

図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃ、図３Ａ、図３Ｂ、図４、図５Ａ、図５Ｂ、図６、及び図７は、イメージセンサ１００の各種実施形態の断面図及び上面図を示す。なお、本明細書では、図１Ａ及び図１Ｂに示された同一又は類似の構成を示すために符号を繰り返して示すものであり、上記の説明は、以下に説明する実施形態にも同様にあてはまり、その詳細は繰り返し説明しない。

【0047】

図２Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるイメージセンサ１００Ａの断面図である。図２Ｂ及び図２Ｃは、図２Ａのピラーアレイ層１２０Ａの上面の上面図である。具体的には、図２Ｂのピラーアレイ層１２０Ａ１及び図２Ｃのピラーアレイ層１２０Ａ２はいずれも、図２Ａのイメージセンサ１００Ａの上面の上面図である。

【0048】

図２Ｂを参照されたい。ピラーアレイ層１２０Ａ１は、第１のピラーアレイ１２２ａ及び第２のピラーアレイ１２２ｂを含み、第１のピラーアレイ１２２ａの配置が４×４配列であり、第２のピラーアレイ１２２ｂの配置が７×４配列である。具体的には、方向Ｘにおける２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｘは、方向Ｘの２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｘよりも大きく、方向Ｙの２つの第１のピラー構造１２４ａの間のピッチＰ１ｙは、方向Ｙの２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｙと同じである。いくつかの実施形態では、図２Ｂに示すように、第１のピラーアレイ１２２ａにおける第１のピラー構造１２４ａの各上面は正方形状であり、第２のピラーアレイ１２２ｂにおける第２のピラー構造１２４ｂの各上面は、長方形状である。第１のピラー構造１２４ａの数と第２のピラー構造１２４ｂの数とが異なるため、イメージセンサ１００Ａ（図２Ａ参照）のペタルフレアを低減するために光Ｌの回折を改善できる。

【0049】

図２Ｃを参照されたい。ピラーアレイ層１２０Ａ２は、第１のピラーアレイ１２２ａ及び第２のピラーアレイ１２２ｂを含み、第１のピラーアレイ１２２ａの配置が４×４配列であり、第２のピラーアレイ１２２ｂの配置が７×６配列である。具体的には、方向Ｘにおける２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｘは、方向Ｘの２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｘよりも大きく、方向Ｙの２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｙは、方向Ｙの２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｙよりも大きい。第１のピラー構造１２４ａの数と第２のピラー構造１２４ｂの数とが異なるため、イメージセンサ１００Ａ（図２Ａ参照）のペタルフレアを低減するために光Ｌの回折を改善できる。

【0050】

図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃを参照すると、第１のピラー構造１２４ａの全てが第１の高さＨ１であり、第２のピラー構造１２４ｂの全てが第２の高さＨ２であり、第１の高さＨ１が第２の高さＨ２と同じである。ただし、２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチ（方向ＸのピッチＰ１ｘおよび／または方向ＹのピッチＰ１ｙを含む）は、２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチ（方向ＸのピッチＰ２ｘおよび／または方向ＹのピッチＰ２ｙを含む）とは異なる。

【0051】

図３Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるイメージセンサ１００Ｂの断面図である。図３Ｂは、図３Ａのピラーアレイ層１２０Ｂの上面の上面図である。

【0052】

図３Ｂを参照されたい。ピラーアレイ層１２０Ｂは、第１のピラーアレイ１２２ａ及び第２のピラーアレイ１２２ｂを含み、第１のピラーアレイ１２２ａの配置は５×５配列であり、第２のピラーアレイ１２２ｂの配置は７×４配列である。具体的には、方向Ｘにおける２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｘは、方向Ｘにおける２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｘよりも大きく、方向Ｙにおける２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｙは、方向Ｙにおける２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｙよりも小さい。第１のピラー構造１２４ａの数と第２のピラー構造１２４ｂの数とが異なるため、イメージセンサ１００Ｂ（図３Ａ参照）のペタルフレアを低減するために光Ｌの回折を改善できる。

【0053】

図３Ａ及び図３Ｂを参照して、全ての第１のピラー構造１２４ａは、第１の高さＨ１を有し、全ての第２のピラー構造１２４ｂは、第２の高さＨ２を有し、第１の高さＨ１は、第２の高さＨ２と同じである。ただし、２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチ（方向ＸのピッチＰ１ｘ及び方向ＹのピッチＰ１ｙを含む）は、２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチ（方向ＸのピッチＰ２ｘ及び方向ＹのピッチＰ２ｙを含む）とは異なる。

【0054】

図４は、本開示のいくつかの実施形態によるピラーアレイ層１２０Ｃの上面の上面図である。図４に示すように、第１のピラーアレイ１２２ａの配置は９×９配列であり、第２のピラーアレイ１２２ｂの配置は５×７の配列である。具体的には、方向Ｘにおける２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｘは、方向Ｘの２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｘよりも小さく、方向Ｙの２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチＰ１ｙは、方向Ｙの２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチＰ２ｙよりも小さい。

【0055】

図５Ａ及び図５Ｂは、本開示のいくつかの代替実施形態による第１のピラーアレイ１２２ａ又は第２のピラーアレイ１２２ｂの上面の上面図である。図５Ａを参照して、それぞれの第１のピラー構造１２４ａまたはそれぞれの第２のピラー構造１２４ｂの上面の形状は円形状である。図５Ｂを参照して、それぞれの第１のピラー構造１２４ａまたはそれぞれの第２のピラー構造１２４ｂの上面の形状は楕円形状である。それぞれの第１のピラー構造１２４ａおよび／またはそれぞれの第２のピラー構造１２４ｂの上面の形状は、矩形、円形、正方形、または楕円形状であり得ることが理解される。いくつかの実施形態では、それぞれの第１のピラー構造１２４ａおよび／またはそれぞれの第２のピラー構造１２４ｂの底面の形状は、矩形、円形、正方形、または楕円形状であり得る。いくつかの実施形態では、それぞれの第１のピラー構造１２４ａの形状は、それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの形状とは異なる。第１のピラー構造１２４ａの形状と第２のピラー構造１２４ｂの形状とが異なるため、イメージセンサのペタルフレアを低減するために光Ｌの回折を改善できる（図１Ａ、図２Ａ、図３Ａ参照）。

【0056】

図６は、本開示のいくつかの実施形態によるピラーアレイ層１２０Ｄの上面の上面図である。図６は、１６個の配列を示しており、これらの配列におけるそれぞれのピラー構造１２４の上面の形状は、矩形、円形、正方形、又は楕円形状である。ピラーアレイ層のいくつかの部分、例えば１２２ｂとピラーアレイ１２２ｄとの間の部分には、いかなるピラー構造も存在しないことがわかる。

【0057】

図７は、図６のピラーアレイ層１２０Ｄを含むイメージセンサ１００Ｃの断面図であり、図６のＡ－Ａ’線に沿った断面図である。図７に示すように、ピラーアレイ層１２０Ｄは、複数のピラーアレイ１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｄを含む。具体的には、ピラーアレイ１２２ａは、複数のピラー構造１２４ａを含み、ピラーアレイ１２２ｂは、複数のピラー構造１２４ｂを含み、ピラーアレイ１２２ｄは、複数のピラー構造１２４ｄを含む。第３のフォトダイオード１１２ｃの上方のピラーアレイ層１２０Ｄの部分には、いかなるピラー構造（例えば、ピラー構造１２４ａ、１２４ｂ、１２４ｄ）も含まれていないことを注目されたい。ピラー構造１２４ａの高さＨａと、ピラー構造１２４ｂの高さＨｂと、ピラー構造１２４ｄの高さＨｄとは、互いに異なっている。高さＨａ、高さＨｂ、および高さＨｄは、上で論じたのと同一または類似の特徴を有することが理解される。方向Ｘの２つのピラー構造１２４ａ間のピッチＰａｘと、方向Ｘの２つのピラー構造１２４ｂ間のピッチＰｂｘと、方向Ｘの２つのピラー構造１２４ｄ間のピッチＰｄｘとが互いに異なっている。ピッチＰａｘ、ピッチＰｂｘ、およびピッチＰｄｘは、上で論じたのと同一または類似の特徴を有することが理解される。

【0058】

図１Ａ、図２Ａ、図３Ａをもう一度参照されたい。イメージセンサ１００，１００Ａ，１００Ｂのピラーアレイ層１２０，１２０Ａ，１２０Ｂにおいて、第１のピラーアレイ１２２ａにおける全ての第１ピラー構造１２４ａは、同じ第１の高さＨ１を有し、第２のピラーアレイ１２２ｂにおける全ての第２ピラー構造１２４ｂは、同じ第２の高さＨ２を有する。ピラーアレイ層１２０は、以下の条件の少なくとも１つを満たす：
（１）それぞれの第１のピラー構造１２４ａの第１の高さＨ１が、それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの第２の高さＨ２と異なる（図１Ａ及び図１Ｂ参照）。
（２）２つの第１のピラー構造１２４ａ間のピッチ（方向ＸのピッチＰ１ｘおよび／または方向ＹのピッチＰ１ｙを含む）が、２つの第２のピラー構造１２４ｂ間のピッチ（方向ＸのピッチＰ２ｘおよび／または方向ＹのピッチＰ２ｙを含む）と異なる（図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃ、図３Ａ、図３Ｂ、および図４参照）。
（３）それぞれの第１のピラー構造１２４ａの形状が、それぞれの第２のピラー構造１２４ｂの形状と異なる（図２Ｂ、図２Ｃ、図３Ｂ、図４、図５Ａ、及び図５Ｂ参照）。

【0059】

図８は、本開示のいくつかの実施形態によるイメージセンサ１００を製造する方法８００のフローチャートである。図９～図１３は、本開示のいくつかの実施形態に係るイメージセンサ１００の製造方法８００の各工程における断面図である。

【0060】

方法８００は、ステップＳ１～ステップＳ５を含む。図８のステップＳ１では、第１のフォトダイオード１１２ａ及び第２のフォトダイオード１１２ｂを含む半導体基板１１０を調達する。図８のステップＳ２では、図９に示すように、半導体基板１１０上に光透過層９１０を形成する。いくつかの実施形態では、光透過層９１０は、感光性ベース樹脂を含む材料からなっていてもよい。図８のステップＳ３では、光透過層９１０をモールド１０１０によりインプリントしてピラーアレイ層１２０を形成する。ピラーアレイ層１２０は、図１０及び図１１に示すように、第１のフォトダイオード１１２ａの上方に配置された第１のピラーアレイ１２２ａ及び第２のフォトダイオード１１２ｂの上方に配置された第２のピラーアレイ１２２ｂを含む。いくつかの実施形態では、インプリントプロセスは、ナノインプリントリソグラフィ（ＮＩＬ）プロセスであってもよい。いくつかの実施形態では、モールド１０１０は、ポリマーを含む材料からなっていてもよい。図１０を参照して、モールド１０１０は、第１の凹部１０１２ａと第２の凹部１０１２ｂとを含み、第１の凹部１０１２ａの深さが第２の凹部１０１２ｂの深さとは異なる。モールド１０１０の第１の凹部１０１２ａおよび第２の凹部１０１２ｂは、リソグラフィー、レーザー直接描画リソグラフィー、エッチングおよびダイヤモンド旋削加工により形成することができる。いくつかの実施形態では、モールド１０１０の第１の凹部１０１２ａおよび第２の凹部１０１２ｂの形状は、矩形、円形、正方形、または楕円形状である。図１１を参照して、ステップＳ３の後、光透過層９１０に対して硬化操作を行い、第１のピラーアレイ１２２ａ及び第２のピラーアレイ１２２ｂを含むピラーアレイ層１２０を形成する。図１２を参照して、硬化操作後、ピラーアレイ層１２０及び半導体基板１１０からモールド１０１０を取り外す。つまり、モールド１０１０の形状がピラーアレイ層１２０上に転写される。図８のステップＳ４では、図１３に示すように、ピラーアレイ層１２０上に平面層１３０を形成する。具体的には、平面層１３０は、ピラーアレイ層１２０及び半導体基板１１０を被覆する。いくつかの実施形態では、平面層１３０は、コーティングプロセスによって形成される。図８のステップＳ５では、平面層１３０上にマイクロレンズ層１４０を形成する。

【0061】

本開示のイメージセンサは複数のピラー構造を含み、それぞれのピラーアレイは複数のピラー構造を有する。全てのピラー構造はテーパー構造であるため、テーパー構造の屈折率が滑らかに変化する。そのため、マイクロレンズとフォトダイオードとの間のピラーアレイ層を通ってイメージセンサに入射した光Ｌは、反射しにくくなるため、光の経路を広げることができ、フォトダイオードの光の吸収率やイメージセンサの性能が向上する。
それぞれのピラーアレイ内のすべてのピラー構造は同じ高さである。なお、ピラー構造の高さ、ピッチ（方向Ｘのピッチ及び方向Ｙのピッチを含む）、及び形状は、複数のピラーアレイ間で異ならせることにより、光Ｌの回折により発生するペタルフレアを削減できる。

【0062】

上記は、当業者が本開示の態様をよりよく理解し得るように、いくつかの実施形態の特徴を概説している。当業者は、本明細書で紹介した実施形態の同じ目的を実行し、かつ／または同じ利点を達成するために、他のプロセスおよび構造を設計または修正するための基礎として、本開示を容易に使用し得ることを理解すべきである。当業者はまた、そのような同等の構成が本開示の精神および範囲から逸脱しないこと、および同業者が本開示の精神および範囲から逸脱することなく、様々な変更、置換、および変更を行い得ることを認識すべきである。

【符号の説明】

【0063】

１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ イメージセンサ
１１０ 半導体基板
１１２ａ 第１のフォトダイオード
１１２ｂ 第２のフォトダイオード
１１２ｃ 第３のフォトダイオード
１２０、１２０Ａ、１２０Ａ１、１２０Ａ２、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄ ピラーアレイ層
１２２、１２２ｄ ピラーアレイ
１２２ａ 第１のピラーアレイ
１２２ｂ 第２のピラーアレイ
１２４、１２４ｄ ピラー構造
１２４ａ 第１のピラー構造
１２４ｂ 第２のピラー構造
１３０ 平面層
１４０ マイクロレンズ層
８００ 方法（イメージセンサの製造方法）
９１０ 光透過層
１０１０ モールド
Ｈ１、Ｈ２、Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｄ 高さ
Ｌ 光
Ｐ１ｘ、Ｐ２ｘ、Ｐ１ｙ、Ｐ２ｙ、Ｐａｘ、Ｐｂｘ、Ｐｄｘ ピッチ
Ｔ 厚さ
Ｗａ１ 第１のピラー構造の上面の幅
Ｗａ２ 第１のピラー構造の底面の幅
Ｗｂ１ 第２のピラー構造の上面の幅
Ｗｂ２ 第２のピラー構造の底面の幅
Ｘ、Ｙ、Ｚ 方向

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】