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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-28
(45)【発行日】2024-07-08
(54)【発明の名称】フィルム加工装置
(51)【国際特許分類】
B23K 26/08 20140101AFI20240701BHJP
B23K 26/10 20060101ALI20240701BHJP
B65H 23/02 20060101ALI20240701BHJP
B23K 26/00 20140101ALI20240701BHJP
【ＦＩ】
B23K26/10
B65H23/02
B23K26/00 G
【請求項の数】
11
(21)【出願番号】P 2021518406
(86)(22)【出願日】2020-05-08
(86)【国際出願番号】 JP2020018713
(87)【国際公開番号】W WO2020226179
(87)【国際公開日】2020-11-12
【審査請求日】2023-02-07
(31)【優先権主張番号】P 2019088469
(32)【優先日】2019-05-08
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000002174
【氏名又は名称】積水化学工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(74)【代理人】
【識別番号】100152272
【弁理士】
【氏名又は名称】川越 雄一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100147267
【弁理士】
【氏名又は名称】大槻 真紀子
(74)【代理人】
【識別番号】100188592
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 洋
(72)【発明者】
【氏名】会田 哲也
(72)【発明者】
【氏名】功刀 俊介
(72)【発明者】
【氏名】真弓 聡
(72)【発明者】
【氏名】武田 直樹
【審査官】松林 芳輝
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－２０１２０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭５６－０５２７８２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０１－０２８１５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－０７２２９０（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開平０１－０８８６６０（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１６－０１６５２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０１－２４６５３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－０３６１０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－６１５０６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２３Ｋ ２６／００－２６／７０
Ｂ６５Ｈ ２３／００－２３／１６
Ｂ６５Ｈ ２３／２４－２３／３４
Ｂ６５Ｈ ２７／００
Ｂ４１Ｊ １１／００－１１／７０
Ｂ４１Ｊ １５／００－１５／１４
Ｈ０１Ｌ ３１／００－３１／０２
Ｈ０１Ｌ ３１／０４－３１／０６
Ｈ０１Ｌ ３１／０８－３１／１８
Ｈ０２Ｓ １０／００－１０／４０
Ｈ０２Ｓ ３０／００－９９／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式の搬送手段により長手方向に搬送されるフィルムの幅方向を、吸着ステージの吸着面に均一に吸着し、前記吸着面上で前記フィルムを加工するフィルム加工装置であって、前記フィルムの幅方向の両端部を、前記フィルムの幅方向の中央部に対して相対的に鉛直下方に下げる逆反り冶具を有し、
前記フィルムは、モノシリック構造のフィルムデバイスに用いられる積層フィルムであり、前記積層フィルムは、金属箔または樹脂フィルム上に、電極層、半導体層または発電層が設けられた積層体であるフィルム加工装置。
【請求項2】
前記逆反り冶具は、前記フィルムと接触する面が鉛直上方に膨出するように湾曲した形状をなしている請求項１に記載のフィルム加工装置。
【請求項3】
前記逆反り冶具は、前記フィルムを搬送する複数の搬送ローラーを含み、前記搬送ローラーは、前記フィルムの厚さ方向に沿って高さを調整可能に配置されている請求項１に記載のフィルム加工装置。
【請求項4】
前記逆反り冶具は、前記フィルムを通過させるスリットを有する板状部材を含み、前記スリットが、鉛直上方に膨出するように湾曲した形状を有する請求項１に記載のフィルム加工装置。
【請求項5】
前記逆反り冶具は、前記フィルムに気体を吹き付ける複数の気体吹付部を含む請求項１に記載のフィルム加工装置。
【請求項6】
前記逆反り冶具は、前記フィルムの裏面側において、前記フィルムの幅方向の中央部を上方に押し上げる押上部材と、前記フィルムの表面側において、前記フィルムの幅方向の両端部を下方に押し下げる押下部材とを含む請求項１に記載のフィルム加工装置。
【請求項7】
前記逆反り冶具は、前記フィルムの表面側において、前記フィルムの幅方向の両端部を、前記フィルムの幅方向に引っ張る引張部材を含む請求項１に記載のフィルム加工装置。
【請求項8】
前記逆反り冶具は、前記フィルムをその幅方向の両端から挟み、かつ、前記両端に接するように配置され、前記フィルムの厚さ方向に沿って延在する複数のガイドローラーを含む請求項１に記載のフィルム加工装置。
【請求項9】
前記吸着ステージの吸着面と対向して配置され、前記フィルムの表面にレーザー光を照射し、前記フィルムの表面を加工するレーザー照射手段を有する請求項１～８のいずれか１項に記載のフィルム加工装置。
【請求項10】
ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式の搬送手段により長手方向に搬送されるフィルムを、吸着ステージの吸着面に吸着し、前記吸着面上で前記フィルムを加工するフィルム加工装置であって、
前記フィルムの幅方向の両端部を、前記フィルムの幅方向の中央部に対して相対的に鉛直下方に下げる逆反り冶具を有し、
前記逆反り冶具は、前記フィルムと接触する面が鉛直上方に膨出するように湾曲した形状をなしており、
前記逆反り冶具は、前記フィルムを搬送する複数の搬送ローラーを含み、前記搬送ローラーは、前記フィルムの厚さ方向に沿って高さを調整可能に配置されており、
前記複数の搬送ローラーの高さの差が、前記フィルムの搬送方向と鉛直方向の断面図において両端の搬送ローラーの中心軸同士を結ぶ直線を基準とした中央のローラーの中心軸の高さが、両端の搬送ローラーの中心軸間の距離の２／１０００～５０／１０００である太陽電池用フィルム加工装置。
【請求項11】
前記吸着ステージの吸着面と対向して配置され、前記フィルムの表面にレーザー光を照射し、前記フィルムの表面を加工するレーザー照射手段を有する請求項１０に記載の太陽電池用フィルム加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、フィルム加工装置に関する。
本願は、２０１９年５月８日に、日本に出願された特願２０１９－０８８４６９号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本願は、２０１９年５月８日に、日本に出願された特願２０１９－０８８４６９号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【0002】
近年、種々の電子機器において、薄型でかつ可撓性を有する部品が求められている。そのような部品を実現するためには、基材としてフィルムが用いられている。フィルムの表面には、目的とする機能を付与するために、種々の加工が施される。ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式でフィルムを搬送しながら、フィルムの表面を加工する場合には、フィルムの搬送を一時停止して、フィルムを平坦なステージ（加工台）上に固定する。このようなフィルムの加工方法としては、例えば、フィルムの一面側を外周面で支持するローラー状の支持手段に支持されたフィルムの他面側からレーザー光を照射して、フィルム基板の主面をパターニングする装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、フィルムをステージ上に固定する方法としては、例えば、真空吸着が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開平１０－２７９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
フィルムに応力があり、フィルムが反っている（フィルムの幅方向の両端部がステージとは反対側に反っている）場合、ステージ上に大面積のフィルムを配置し、フィルムを真空吸着してステージ上に吸着（固定）する際に、フィルムの幅方向（フィルムの搬送方向（長手方向）に直交する方向）の中央部はステージに接するものの、フィルムの幅方向の両端部はステージから浮き上がる。従って、ステージにフィルムを真空吸着しようとしても、フィルムの幅方向の両端部がステージの吸着穴に密着せず、フィルムの幅方向の両端部を真空吸着できないという課題があった。
【0005】
ステージにフィルムの両端部を真空吸着できないと、ステージ上において、フィルムの平面度が低下し、フィルムの表面に対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができなかった。特に、前記フィルムが、フィルムデバイス等の半導体デバイスの基板である場合、フィルムの僅かな凹凸がデバイスの歩留まりの低下を招くこともあり、フィルムを平坦に保ったまま加工することを可能にする技術の開発が望まれていた。
【0006】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送するフィルムの反りを緩和して、フィルムをステージ上に均一に真空吸着することができるフィルム加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、以下の態様を有する。
［１］ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式の搬送手段により長手方向に搬送されるフィルムを、吸着ステージの吸着面に吸着し、前記吸着面上で前記フィルムを加工するフィルム加工装置であって、前記フィルムの幅方向の両端部を、前記フィルムの幅方向の中央部に対して相対的に鉛直下方に下げる逆反り冶具を有するフィルム加工装置。
［２］前記逆反り冶具は、前記フィルムと接触する面が鉛直上方に膨出するように湾曲した形状をなしている［１］に記載のフィルム加工装置。
［３］前記逆反り冶具は、前記フィルムを搬送する複数の搬送ローラーを含み、前記搬送ローラーは、前記フィルムの厚さ方向に沿って高さを調整可能に配置されている［１］に記載のフィルム加工装置。
［４］前記逆反り冶具は、前記フィルムを通過させるスリットを有する板状部材を含み、前記スリットが、鉛直上方に膨出するように湾曲した形状を有する［１］に記載のフィルム加工装置。
［５］前記逆反り冶具は、前記フィルムに気体を吹き付ける複数の気体吹付部を含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［６］前記逆反り冶具は、前記フィルムの裏面側において、前記フィルムの幅方向の中央部を上方に押し上げる押上部材と、前記フィルムの表面側において、前記フィルムの幅方向の両端部を下方に押し下げる押下部材とを含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［７］前記逆反り冶具は、前記フィルムの表面側において、前記フィルムの幅方向の両端部を、前記フィルムの幅方向に引っ張る引張部材を含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［８］前記逆反り冶具は、前記フィルムをその幅方向の両端から挟み、かつ、前記両端に接するように配置され、前記フィルムの厚さ方向に沿って延在する複数のガイドローラーを含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［９］前記吸着ステージの吸着面と対向して配置され、前記フィルムの表面にレーザー光を照射し、前記フィルムの表面を加工するレーザー照射手段を有する［１］～［８］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
［１０］フィルムデバイスに用いられるフィルム用である［１］～［９］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
［１１］モノシリック構造のフィルムデバイスに用いられるフィルム用である［１］～［９］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
［１２］太陽電池に用いられるフィルム用である［１］～［９］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
［１］ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式の搬送手段により長手方向に搬送されるフィルムを、吸着ステージの吸着面に吸着し、前記吸着面上で前記フィルムを加工するフィルム加工装置であって、前記フィルムの幅方向の両端部を、前記フィルムの幅方向の中央部に対して相対的に鉛直下方に下げる逆反り冶具を有するフィルム加工装置。
［２］前記逆反り冶具は、前記フィルムと接触する面が鉛直上方に膨出するように湾曲した形状をなしている［１］に記載のフィルム加工装置。
［３］前記逆反り冶具は、前記フィルムを搬送する複数の搬送ローラーを含み、前記搬送ローラーは、前記フィルムの厚さ方向に沿って高さを調整可能に配置されている［１］に記載のフィルム加工装置。
［４］前記逆反り冶具は、前記フィルムを通過させるスリットを有する板状部材を含み、前記スリットが、鉛直上方に膨出するように湾曲した形状を有する［１］に記載のフィルム加工装置。
［５］前記逆反り冶具は、前記フィルムに気体を吹き付ける複数の気体吹付部を含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［６］前記逆反り冶具は、前記フィルムの裏面側において、前記フィルムの幅方向の中央部を上方に押し上げる押上部材と、前記フィルムの表面側において、前記フィルムの幅方向の両端部を下方に押し下げる押下部材とを含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［７］前記逆反り冶具は、前記フィルムの表面側において、前記フィルムの幅方向の両端部を、前記フィルムの幅方向に引っ張る引張部材を含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［８］前記逆反り冶具は、前記フィルムをその幅方向の両端から挟み、かつ、前記両端に接するように配置され、前記フィルムの厚さ方向に沿って延在する複数のガイドローラーを含む［１］に記載のフィルム加工装置。
［９］前記吸着ステージの吸着面と対向して配置され、前記フィルムの表面にレーザー光を照射し、前記フィルムの表面を加工するレーザー照射手段を有する［１］～［８］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
［１０］フィルムデバイスに用いられるフィルム用である［１］～［９］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
［１１］モノシリック構造のフィルムデバイスに用いられるフィルム用である［１］～［９］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
［１２］太陽電池に用いられるフィルム用である［１］～［９］のいずれかに記載のフィルム加工装置。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送するフィルムの反りを緩和して、フィルムをステージ上に均一に真空吸着することができるフィルム加工装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置の概略構成を示す斜視図である。
【図4】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面図である。
【図6】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。
【図7】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。
【図8】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。
【図9】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本発明のフィルム加工装置の実施形態について説明する。
なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
【0011】
（１）第１実施形態
［フィルム加工装置］
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルムを真空吸着する吸着ステージを備え、吸着ステージの吸着面にフィルムを吸着（固定）する装置である。
以下、図１および図２を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
［フィルム加工装置］
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルムを真空吸着する吸着ステージを備え、吸着ステージの吸着面にフィルムを吸着（固定）する装置である。
以下、図１および図２を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
【0012】
図１は、本実施形態のフィルム加工装置の概略構成を示す斜視図である。図２は、図１におけるフィルムの搬送方向（Ｘ方向）と鉛直方向の断面図である。なお、図１において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態のフィルム加工装置１は、吸着ステージ１０と、レーザー照射手段２０と、リニアガイド３０と、搬送手段４０とを備える。
本実施形態のフィルム加工装置１は、吸着ステージ１０と、レーザー照射手段２０と、リニアガイド３０と、搬送手段４０とを備える。
【0013】
吸着ステージ１０は、長尺のフィルム１００の一部、すなわち、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上に配置されたフィルム１００を真空吸着する。
吸着ステージ１０は、天板と、底板と、天板と底板の間に介在する外枠とを有する。天板には、天板を厚さ方向に貫通する複数の吸引孔を有する。天板、底板および外枠で形成される内空間を、真空ポンプにより真空引きすることにより、天板にフィルム１００を吸着する。
吸着ステージ１０の大きさ、すなわち、吸着ステージ１０の吸着面１０ａの面積は、フィルム１００の幅に応じて適宜調整されるが、例えば、縦４００ｍｍ×横４００ｍｍであることが好ましい。
吸着ステージ１０は、天板と、底板と、天板と底板の間に介在する外枠とを有する。天板には、天板を厚さ方向に貫通する複数の吸引孔を有する。天板、底板および外枠で形成される内空間を、真空ポンプにより真空引きすることにより、天板にフィルム１００を吸着する。
吸着ステージ１０の大きさ、すなわち、吸着ステージ１０の吸着面１０ａの面積は、フィルム１００の幅に応じて適宜調整されるが、例えば、縦４００ｍｍ×横４００ｍｍであることが好ましい。
【0014】
本実施形態のフィルム加工装置１は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、図２に示すような逆反り冶具６０を有する。逆反り冶具６０は板状の部材からなり、上面（吸着ステージ１０の吸着面１０ａ側の面）６０ａが上方に膨出するように湾曲している。すなわち、フィルム１００の幅方向（Ｙ方向）の断面において、逆反り冶具６０の上面６０ａは両端から中央に向かうに従い、鉛直上方に膨出する円弧とされている。搬送中のフィルム１００を、吸着ステージ１０の前段にて、逆反り冶具６０の上面６０ａに接触させて逆反りさせることにより、反りを緩和してから、フィルム１００を吸着ステージ１０の吸着面１０ａに配置する。
なお、本願発明において「鉛直上方に膨出するように湾曲した形状」とは、例えば、逆反り冶具は板状の部材からなる場合、その厚さ方向の断面が弧形であることを意味するが、具体的な形状については特に制限はなく、真円の弧であっても楕円の弧であってもよい。また、上記断面の中央部は直線状で、両端部のみが曲線状となっていてもよい。
また、「湾曲」の程度についても本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、例えば、孤の両端を結ぶ直線を基準とした孤の高さが、孤の幅の２／１０００～５０／１０００であることが好ましく、５／１０００～１５／１０００であることがより好ましい。
なお、本願発明において「鉛直上方に膨出するように湾曲した形状」とは、例えば、逆反り冶具は板状の部材からなる場合、その厚さ方向の断面が弧形であることを意味するが、具体的な形状については特に制限はなく、真円の弧であっても楕円の弧であってもよい。また、上記断面の中央部は直線状で、両端部のみが曲線状となっていてもよい。
また、「湾曲」の程度についても本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、例えば、孤の両端を結ぶ直線を基準とした孤の高さが、孤の幅の２／１０００～５０／１０００であることが好ましく、５／１０００～１５／１０００であることがより好ましい。
【0015】
逆反り冶具６０の上面６０ａの形状は、図２に示すように湾曲していることが好ましいが、上面６０ａの中央部とその近傍が平坦（平面）の形状であってもよい。
【0016】
逆反り冶具６０は、フィルム１００の搬送方向において、少なくとも吸着ステージ１０の前段に設けられていればよいが、吸着ステージ１０の後段にも設けてもよい。すなわち、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段および後段にそれぞれ逆反り冶具６０を設け、吸着ステージ１０を挟んで、一対の逆反り冶具６０に設けてもよい。なお、逆反り冶具６０は、吸着ステージ１０の前段または後段に設けられていればよい。吸着ステージ１０の前段または後段に逆反り冶具６０が設けられていれば、吸着ステージ１０の幅方向の中央部において、フィルム１００に平坦な部分ができるため、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を吸着し易くなる。
逆反り冶具６０は、板状の部材に限らず、同様の形状をなすように配置されたガイドローラーであってもよい。
逆反り冶具６０は、板状の部材に限らず、同様の形状をなすように配置されたガイドローラーであってもよい。
【0017】
レーザー照射手段２０は、吸着ステージ１０の吸着面１０ａと対向して配置され、フィルム１００の表面１００ａにレーザー光を照射し、フィルム１００の表面１００ａを加工する。
図１に示すように、レーザー照射手段２０は、本体部２１と、レーザー照射部２２と、アライメントカメラ２３とを有する。
本体部２１は、レーザー発振器やレーザー光学系を備える。
レーザー照射部２２は、レーザー発振器から発振されたレーザーを走査するガルバノスキャナ、レーザーの光路を曲げるミラー、レーザーを集光して照射するレンズ等を備える。
アライメントカメラ２３は、フィルム１００の表面（加工面）１００ａを撮影し、画像中から特定部位や印を見付けて、位置を検出し、レーザーを照射する位置を決める。
図１に示すように、レーザー照射手段２０は、本体部２１と、レーザー照射部２２と、アライメントカメラ２３とを有する。
本体部２１は、レーザー発振器やレーザー光学系を備える。
レーザー照射部２２は、レーザー発振器から発振されたレーザーを走査するガルバノスキャナ、レーザーの光路を曲げるミラー、レーザーを集光して照射するレンズ等を備える。
アライメントカメラ２３は、フィルム１００の表面（加工面）１００ａを撮影し、画像中から特定部位や印を見付けて、位置を検出し、レーザーを照射する位置を決める。
【0018】
リニアガイド３０は、レーザー照射手段２０を、図１に示すＸ方向またはＹ方向に直線的に移動させて、レーザー照射手段２０を所定の位置に配置する。
リニアガイド３０は、吸着ステージ１０を、その吸着面１０ａ側から跨ぐように配置されている。リニアガイド３０は、門型の形状をなしている。リニアガイド３０は、図１に示すＸ方向に移動可能となっている。これにより、レーザー照射手段２０を、吸着ステージ１０の吸着面１０ａに吸着されたフィルム１００の表面１００ａのＸ方向における所定の位置に配置できる。
リニアガイド３０は、吸着ステージ１０を、その吸着面１０ａ側から跨ぐように配置されている。リニアガイド３０は、門型の形状をなしている。リニアガイド３０は、図１に示すＸ方向に移動可能となっている。これにより、レーザー照射手段２０を、吸着ステージ１０の吸着面１０ａに吸着されたフィルム１００の表面１００ａのＸ方向における所定の位置に配置できる。
【0019】
レーザー照射手段２０は、門型のリニアガイド３０における吸着ステージ１０の吸着面１０ａを跨ぐ部分の側面３０ａに設けられている。レーザー照射手段２０は、側面３０ａ上において、図１に示すＹ方向に移動可能となっている。これにより、レーザー照射手段２０を、吸着ステージ１０の吸着面１０ａに吸着されたフィルム１００の表面１００ａのＹ方向における所定の位置に配置できる。
【0020】
搬送手段４０は、フィルム１００を巻き取る巻き取り用のロール４１と、フィルム１００を送り出す送り出し用のロール４２とを有する。すなわち、搬送手段４０は、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式により、フィルム１００を長手方向に搬送するフィルム搬送手段である。
【0021】
フィルム１００は、搬送手段４０によってステップ搬送される。詳細には、フィルム１００は、搬送手段４０によって、１度に、吸着ステージ１０の吸着面１０ａのＸ方向の長さに相当する長さ分だけ搬送される。
【0022】
本実施形態のフィルム加工装置１は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、逆反り冶具６０を有する。そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具６０で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
【0023】
なお、本実施形態では、逆反り冶具６０としては、上面６０ａが上方に膨出するように湾曲している板状の部材を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明では、逆反り冶具としてクラウンロールを用いてもよい。
また、本実施形態では、フィルム加工装置１がレーザー照射部２２を有し、そのレーザー照射部２２によりレーザー加工を施す場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明のフィルム加工装置では、吸着ステージの吸着面に吸着されたフィルムにフォトリソグラフィによる加工を施してもよい。
また、本実施形態では、フィルム加工装置１がレーザー照射部２２を有し、そのレーザー照射部２２によりレーザー加工を施す場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明のフィルム加工装置では、吸着ステージの吸着面に吸着されたフィルムにフォトリソグラフィによる加工を施してもよい。
【0024】
［フィルムの加工方法］
本実施形態のフィルム加工装置１を用いたフィルムの加工方法を説明する。
搬送手段４０により搬送されているフィルム１００を、逆反り冶具６０の上面６０ａに接触させて逆反りさせる。
次いで、搬送手段４０により、フィルム１００を所定の長さ搬送して、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上に、フィルム１００の加工対象領域を配置する。
次いで、図示しない真空ポンプにより、吸着ステージ１０の内空間を真空引きすることにより、内空間内を負圧にして、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を吸着する。
次いで、リニアガイド３０により、吸着ステージ１０の吸着面１０ａに吸着したフィルム１００の所定の位置にレーザー照射手段２０のレーザー照射部２２を配置するとともに、レーザー照射部２２からフィルム１００の表面１００ａにレーザーを照射して、レーザー加工を施す。
加工が終了した後、搬送手段４０により、フィルム１００を所定の長さ搬送して、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上に、未加工のフィルム１００の加工対象領域を配置する。
なお、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上に配置されるフィルム１００は、吸着ステージ１０の前段で逆反り冶具６０の上面６０ａに接触して、逆反りする。
以上の操作を繰り返すことにより、フィルム１００の表面１００ａにレーザー加工を施す。
本実施形態のフィルム加工装置１を用いたフィルムの加工方法を説明する。
搬送手段４０により搬送されているフィルム１００を、逆反り冶具６０の上面６０ａに接触させて逆反りさせる。
次いで、搬送手段４０により、フィルム１００を所定の長さ搬送して、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上に、フィルム１００の加工対象領域を配置する。
次いで、図示しない真空ポンプにより、吸着ステージ１０の内空間を真空引きすることにより、内空間内を負圧にして、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を吸着する。
次いで、リニアガイド３０により、吸着ステージ１０の吸着面１０ａに吸着したフィルム１００の所定の位置にレーザー照射手段２０のレーザー照射部２２を配置するとともに、レーザー照射部２２からフィルム１００の表面１００ａにレーザーを照射して、レーザー加工を施す。
加工が終了した後、搬送手段４０により、フィルム１００を所定の長さ搬送して、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上に、未加工のフィルム１００の加工対象領域を配置する。
なお、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上に配置されるフィルム１００は、吸着ステージ１０の前段で逆反り冶具６０の上面６０ａに接触して、逆反りする。
以上の操作を繰り返すことにより、フィルム１００の表面１００ａにレーザー加工を施す。
【0025】
このようにして加工されたフィルム１００は、フィルム型の半導体デバイス（フィルムデバイス）として太陽電池、ディスプレイ、センサーなどに用いられる。特に、モノリシック構造の太陽電池のようにフィルムの片側に薄膜を積層している場合、反りが発生しやすい。モノシリック構造の太陽電池の場合、積層フィルムを搬送し、吸着ステージ１０の吸着面１０ａ上でパターニングを行う。積層フィルムとしては、金属箔、樹脂フィルム上に、電極層、半導体層、発電層などの薄膜からなる積層体が挙げられる。
【0026】
（２）第２実施形態
［フィルム加工装置］
図１および図３を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図３は、図１におけるフィルムの搬送方向と鉛直方向の断面図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２００の構造が第１実施形態と異なっている。
［フィルム加工装置］
図１および図３を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図３は、図１におけるフィルムの搬送方向と鉛直方向の断面図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２００の構造が第１実施形態と異なっている。
【0027】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、図３に示すような、フィルム１００を搬送する複数の搬送ローラー２０１を含む逆反り冶具２００を有する。搬送ローラー２０１は、回転しながらフィルム１００を下から支えて、フィルム１００を搬送する。搬送ローラー２０１は、図３に示す構造のものに限定されず、円盤状の基台と、基台の中央に形成した穴の中に、回転自在に収容された球体（ボール）とを有するものであってもよい。搬送ローラー２０１は、フィルム１００の裏面１００ａ側に配置されている。搬送ローラー２０１は、フィルム１００の幅方向に沿って、所定の間隔を置いて配置されている。搬送ローラー２０１は、フィルム１００の反り量に応じて、フィルム１００の厚さ方向に沿う高さを調整可能となっている。搬送ローラー２０１の高さを調整することにより、フィルム１００の反り量を調整する。具体的には、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂが高くなるように、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂに配置された搬送ローラー２０１Ｃをフィルム１００の厚さ方向において高い位置に配置する。また、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが低くなるように、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａに配置された搬送ローラー２０１Ａ，２０１Ｅをフィルム１００の厚さ方向において低い位置に配置する。フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂと両端部１００Ａ，１００Ａの間に配置された搬送ローラー２０１Ｂ，２１０Ｄを、搬送ローラー２０１Ｃと搬送ローラー２０１Ａ，２０１Ｅの間の位置に配置する。これにより、搬送中のフィルム１００を、吸着ステージ１０の前段にて、搬送ローラー２０１で逆反りさせることにより、反りを緩和してから、フィルム１００を吸着ステージ１０の吸着面１０ａに配置する。
【0028】
搬送ローラー２０１は、フィルム１００を厚さ方向の上下から挟み込むように設けられていてもよい。また、搬送ローラー２０１は、フィルムの搬送方向に沿って複数設けてもよい。複数の搬送ローラー２０１の高さをフィルムの搬送方向に沿って少しずつ変えることにより、吸着ステージ１０に近付くに従って、フィルム１００の反り量を大きくする。これにより、フィルム１００に急激に力が加わることがなく、フィルム１００に皺や割れが発生することを抑制できる。
なお、搬送ローラー２０１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも３個であり、３個～５０個であることが好ましく、５個～１０個であることがより好ましい。
複数の搬送ローラー２０１の高さの差についても、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、例えば、図３に示す断面において両端の搬送ローラー（２０１Ａ、２０１Ｅ）の中心軸同士を結ぶ直線を基準とした中央のローラー（２０１Ｃ）の中心軸の高さが、両端の搬送ローラーの中心軸間の距離の２／１０００～５０／１０００であることが好ましく、５／１０００～１５／１０００であることがより好ましい。
なお、搬送ローラー２０１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも３個であり、３個～５０個であることが好ましく、５個～１０個であることがより好ましい。
複数の搬送ローラー２０１の高さの差についても、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、例えば、図３に示す断面において両端の搬送ローラー（２０１Ａ、２０１Ｅ）の中心軸同士を結ぶ直線を基準とした中央のローラー（２０１Ｃ）の中心軸の高さが、両端の搬送ローラーの中心軸間の距離の２／１０００～５０／１０００であることが好ましく、５／１０００～１５／１０００であることがより好ましい。
【0029】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００を搬送する複数の搬送ローラー２０１を含む逆反り冶具２００を有する。そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具２００で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
【0030】
（３）第３実施形態
［フィルム加工装置］
図１および図４を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図４は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図４（ａ）において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２１０の構造が第１実施形態と異なっている。
［フィルム加工装置］
図１および図４を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図４は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う断面図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図４（ａ）において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２１０の構造が第１実施形態と異なっている。
【0031】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段および後段に、図４に示すような逆反り冶具２１０を有する。逆反り冶具２１０は、フィルム１００を通過させるスリット２１１を有する板状の部材を含む。スリット２１１が、鉛直上方に膨出するように湾曲した形状を有する。スリット２１１の形状は、逆反り冶具２１０の両端（フィルム１００の搬送方向とは垂直方向の両端）から中央に向かうに従い、鉛直上方に膨出する円弧とされている。スリット２１１は、逆反り冶具２１０を厚さ方向（フィルム１００の搬送方向）に貫通している。搬送中のフィルム１００を、吸着ステージ１０の前段および後段にて、スリット２１１内を通過させて逆反りさせることにより、反りを緩和する。スリット２１１を有する逆反り冶具２１０は、少なくとも吸着ステージ１０の前段に設けられていればよい。
なお、スリット２１１が有する「鉛直上方に膨出するように湾曲した形状」についても、上で説明した第１実施形態の場合と同様である。
なお、スリット２１１が有する「鉛直上方に膨出するように湾曲した形状」についても、上で説明した第１実施形態の場合と同様である。
【0032】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段および後段に、フィルム１００を通過させるスリット２１１を有する板状部材を含む逆反り冶具２１０を有する。そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具２１０で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
【0033】
（４）第４実施形態
［フィルム加工装置］
図１および図５を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図５は、図１におけるフィルムの搬送方向と鉛直方向の側面図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２２０の構造が第１実施形態と異なっている。
［フィルム加工装置］
図１および図５を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図５は、図１におけるフィルムの搬送方向と鉛直方向の側面図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２２０の構造が第１実施形態と異なっている。
【0034】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００に空気を吹き付ける複数の気体吹付部２２１を含む逆反り冶具２２０を有する（図５）。気体吹付部２２１は、フィルム１００の裏面１００ｂ側において、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂに設けられ、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａに設けられている。気体吹付部２２１は、吹付口２２１ａからフィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂおよび両端部１００Ａ，１００Ａに空気を吹き付けることにより、フィルム１００を逆反りさせる。これにより、吸着ステージ１０の前段にて、気体吹付部２２１から吹き付けた空気で、搬送中のフィルム１００を逆反りさせることにより、反りを緩和してから、フィルム１００を吸着ステージ１０の吸着面１０ａに配置する。
なお、フィルム１００に吹き付ける空気の温度については、フィルム１００の物性に影響を与えないような温度であれば特に制限はなく、例えば、気体吹付部２２１の吹出し口付近における温度が１０℃～５０℃であることが好ましく、２０℃～３０℃であることがより好ましい。
なお、気体吹付部２２１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも３個であり、３個～２０個であることが好ましく、５個～１０個であることがより好ましい。
なお、フィルム１００に吹き付ける空気の温度については、フィルム１００の物性に影響を与えないような温度であれば特に制限はなく、例えば、気体吹付部２２１の吹出し口付近における温度が１０℃～５０℃であることが好ましく、２０℃～３０℃であることがより好ましい。
なお、気体吹付部２２１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも３個であり、３個～２０個であることが好ましく、５個～１０個であることがより好ましい。
【0035】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段および後段に、フィルム１００に空気を吹き付けるための複数の気体吹付部２２１を含む逆反り冶具２２０を有する。そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具２２０で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
【0036】
なお、逆反り冶具２２０は、フィルム１００の裏面１００ｂ側において、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂに設けられているか、あるいは、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａに設けられていればよい。
【0037】
（５）第５実施形態
［フィルム加工装置］
図１および図６を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図６は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図６において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２３０の構造が第１実施形態と異なっている。
［フィルム加工装置］
図１および図６を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図６は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図６において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２３０の構造が第１実施形態と異なっている。
【0038】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００の裏面１００ｂ側において、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを上方に押し上げる押上部材２３１と、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを下方に押し下げる押下部材２３２とを含む逆反り冶具２３０を有する（図６）。押上部材２３１によりフィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを上方に押し上げ、押下部材２３２によりフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを下方に押し下げることにより、フィルム１００を逆反りさせる。これにより、吸着ステージ１０の前段にて、押上部材２３１および押下部材２３２で、搬送中のフィルム１００を逆反りさせることにより、反りを緩和してから、フィルム１００を吸着ステージ１０の吸着面１０ａに配置する。
なお、押上部材２３１と押下部材２３２の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はない。例えば、押上部材２３１は、通常、少なくとも１個であり、１個～１０個であることが好ましく、２個～５個であることがより好ましい。押下部材２３２は、通常、少なくとも２個であり、２個～２０個であることが好ましく、４個～１０個であることがより好ましい。
なお、押上部材２３１と押下部材２３２の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はない。例えば、押上部材２３１は、通常、少なくとも１個であり、１個～１０個であることが好ましく、２個～５個であることがより好ましい。押下部材２３２は、通常、少なくとも２個であり、２個～２０個であることが好ましく、４個～１０個であることがより好ましい。
【0039】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを上方に押し上げる押上部材２３１と、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを下方に押し下げる押下部材２３２とを含む逆反り冶具２３０を有する。そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具２３０で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
【0040】
また、押上部材２３１の代わりに、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを上方に引き上げる（引っ張り上げる）部材を用い、押下部材２３２の代わりに、フィルム１００の裏面１００ｂ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを下方に引き下げる（引っ張って下げる）部材が設けられていてもよい。フィルム１００を引き上げるには、引き上げる部材にフィルムを吸着し、フィルム１００を引き下げるには、引き下げる部材にフィルムを吸着する。
また、押上部材２３１の代わりに、フィルム１００の裏面１００ｂ側からフィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを押し上げる風船を用い、押下部材２３２の代わりに、フィルム１００の表面１００ａ側からフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを押し上げる風船を用いてもよい。
また、押上部材２３１の代わりに、フィルム１００の裏面１００ｂ側からフィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを押し上げる風船を用い、押下部材２３２の代わりに、フィルム１００の表面１００ａ側からフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを押し上げる風船を用いてもよい。
【0041】
なお、逆反り冶具２３０は、フィルム１００の裏面１００ｂ側において、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂに設けられているか、あるいは、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａに設けられていればよい。
【0042】
（６）第６実施形態
［フィルム加工装置］
図１および図７を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図７は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図７において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２４０の構造が第１実施形態と異なっている。
［フィルム加工装置］
図１および図７を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図７は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図７において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２４０の構造が第１実施形態と異なっている。
【0043】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを、フィルム１００の幅方向に引っ張る引張部材２４１を含む逆反り冶具２４０を有する（図７）。引張部材２４１によりフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａをフィルム１００の幅方向に引っ張ることにより、フィルム１００を逆反りさせる。これにより、反りを緩和してから、フィルム１００を吸着ステージ１０の吸着面１０ａに配置する。
なお、引張部材２４１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも１対であり、１対～５対であることが好ましく、２対～４対であることがより好ましい。
なお、引張部材２４１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも１対であり、１対～５対であることが好ましく、２対～４対であることがより好ましい。
【0044】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００の表面１００ａ側において、フィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを、フィルム１００の幅方向に引っ張る引張部材２４１を含む逆反り冶具２４０を有する。そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具２４０で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
【0045】
（７）第７実施形態
［フィルム加工装置］
図１および図８を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図８は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図８において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２５０の構造が第１実施形態と異なっている。
［フィルム加工装置］
図１および図８を参照して、本実施形態のフィルム加工装置を説明する。
図８は、本実施形態のフィルム加工装置における吸着ステージおよび逆反り冶具を示す斜視図である。本実施形態において、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付しその説明を省略する。なお、図８において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
本実施形態の加工装置は、逆反り冶具２５０の構造が第１実施形態と異なっている。
【0046】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００をその幅方向の両端１００ｃ，１００ｃから挟み、かつ、前記両端１００ｃ，１００ｃに接するように配置され、フィルム１００の厚さ方向に沿って延在する複数のガイドローラー２５１を含む逆反り冶具２５０を有する（図８）。ガイドローラー２５１により、フィルム１００を両端１００ｃ，１００ｃから幅方向の中央部１００Ｂ側に押すことにより、フィルム１００を逆反りさせる。なお、吸着ステージ１０の吸着面１０ａとは反対側に反っているフィルム１００を、ガイドローラー２５１により、フィルム１００を両端１００ｃ，１００ｃから幅方向の中央部１００Ｂ側に押す場合には、ガイドローラー２５１の前段にて、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを上方に押し上げてから、フィルム１００を押す。これにより、反りを緩和してから、フィルム１００を吸着ステージ１０の吸着面１０ａに配置する。また、ガイドローラー２５１を回転させながら、フィルム１００を押すことにより、フィルム１００がガイドローラー２５１と接することによって傷付くことを抑制できる。
なお、ガイドローラー２５１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも１対であり、１対～１０対であることが好ましく、３対～６対であることがより好ましい。
なお、ガイドローラー２５１の数については、本発明の効果が得られる限り特に制限はないが、通常、少なくとも１対であり、１対～１０対であることが好ましく、３対～６対であることがより好ましい。
【0047】
本実施形態のフィルム加工装置は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の前段に、フィルム１００をその幅方向の両端１００ｃ，１００ｃから挟み、かつ、両端１００ｃ，１００ｃに接するように配置され、フィルム１００の厚さ方向に沿って延在する複数のガイドローラー２５１を含む逆反り冶具２５０を有する。
そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具２５０で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
そのため、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送されるフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａが反っていても、その反りを逆反り冶具２５０で緩和して、そのフィルム１００の幅方向の両端部１００Ａ，１００Ａを吸着ステージ１０の吸着面１０ａに接近させることができる。従って、吸着ステージ１０の吸着面１０ａにフィルム１００を均一に真空吸着させて、フィルム１００の表面１００ａに対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができる。
【0048】
なお、本発明のフィルム加工装置は、逆反り冶具が、フィルムの搬送方向において、吸着ステージの前段または後段に設けられていればよい。この場合、例えば、図９に示すように、逆反り冶具２６０は、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の後段に設けられ、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを裏面側から押し上げる押上部材や、フィルム１００の幅方向の中央部１００Ｂを裏面側から気体を吹き付ける気体吹付部であることが好ましい。このように、逆反り冶具２６０が、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の後段に設けられていれば、フィルム１００の搬送方向において、吸着ステージ１０の中間部にて、フィルム１００の反りの向きが反転する際に、フィルム１００の中央部（吸着ステージ１０上にあるフィルム１００の搬送方向と垂直方向の中央部）１００Ｂに平坦な部分が生じる。その結果、その平坦な部分にて、フィルム１００を吸着ステージ１０の吸着面１０ａに吸着し易くなる。なお、図９において、フィルムの長手方向に沿う矢印はフィルムの搬送方向を示す。
【産業上の利用可能性】
【0049】
本発明のフィルム加工装置は、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ－ｔｏ－ｒｏｌｌ）方式で搬送するフィルムの反りを緩和して、フィルムをステージ上に均一に真空吸着することができる。そのため、本発明のフィルム加工装置で加工されたフィルムを電子機器に適用した場合に、設計通りに機能する電子機器が得られる。
【符号の説明】
【0050】
１ フィルム加工装置
１０ 吸着ステージ
２０ レーザー照射手段
２１ 本体部
２２ レーザー照射部
２３ アライメントカメラ
３０ リニアガイド
４０ 搬送手段
４１ 巻き取り用のロール
４２ 送り出し用のロール
６０，２００，２１０，２２０，２３０，２４０，２５０，２６０ 逆反り冶具
１００ フィルム
２０１ 搬送ローラー
２１１ スリット
２２１ 気体吹付部
２３１ 押上部材
２３２ 押下部材
２４１ 引張部材
２５１ ガイドローラー
１０ 吸着ステージ
２０ レーザー照射手段
２１ 本体部
２２ レーザー照射部
２３ アライメントカメラ
３０ リニアガイド
４０ 搬送手段
４１ 巻き取り用のロール
４２ 送り出し用のロール
６０，２００，２１０，２２０，２３０，２４０，２５０，２６０ 逆反り冶具
１００ フィルム
２０１ 搬送ローラー
２１１ スリット
２２１ 気体吹付部
２３１ 押上部材
２３２ 押下部材
２４１ 引張部材
２５１ ガイドローラー
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】