特許 7512411 センサ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-28

(45)【発行日】2024-07-08

(54)【発明の名称】センサ装置

(51)【国際特許分類】

   G01H 3/00 20060101AFI20240701BHJP

   H04R 23/00 20060101ALI20240701BHJP

   G01H 17/00 20060101ALI20240701BHJP

【ＦＩ】

G01H3/00 Z

H04R23/00 320

G01H17/00 C

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2022559379

(86)(22)【出願日】2021-07-16

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-09-21

(86)【国際出願番号】 CN2021106947

(87)【国際公開番号】W WO2023283966

(87)【国際公開日】2023-01-19

【審査請求日】2022-09-28

(73)【特許権者】

【識別番号】521080118

【氏名又は名称】シェンツェン・ショックス・カンパニー・リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】▲デン▼ 文俊

(72)【発明者】

【氏名】袁 永▲帥▼

(72)【発明者】

【氏名】周 文兵

(72)【発明者】

【氏名】黄 雨佳

【審査官】佐々木 崇

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－１５００７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１０２７３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－３０１４３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１２６３７７３６（ＣＮ，Ａ）

【文献】中国実用新案第２１１９３０８７１（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特開平０７－２４４１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－００２９０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１８１８４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－００４０１６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｈ １／００－１７／００

Ｇ０１Ｌ ７／００－２３／３２

２７／００－２７／０２

Ｈ０４Ｒ１１／００－１１／０６

１１／１４－１５／０２

１９／００－１９／０４

２１／００－２１／０２

２３／００－２３／０２

３１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

弾性部品と、
センサキャビティの第１の側壁が前記弾性部品によって構成されるセンサキャビティと、
エネルギー変換部品であって、センサ信号を取得しかつ電気信号に変換するために用い、前記エネルギー変換部品は前記センサキャビティに連通し、前記弾性部品は、外部信号に応答して振動し、又は、弾性的に変形し、前記弾性部品の振動又は変形は、前記センサキャビティの体積を変化させ、前記センサキャビティ内の空気圧は変化して前記センサ信号を生成するようになる、エネルギー変換部品とを含み、
前記弾性部品の前記センサキャビティを向く側に突起構造が設置され、前記弾性部品は、前記外部信号に応答して前記突起構造を移動させ、前記突起構造の移動は、前記センサキャビティの体積を変化させる、センサ装置。

【請求項2】

前記突起構造は、前記センサキャビティの第２の側壁に当接し、前記第２の側壁は、前記第１の側壁に対向する、請求項１に記載のセンサ装置。

【請求項3】

前記突起構造は、弾性を有し、前記突起構造が移動するとき、前記突起構造は、弾性変形を生成し、前記弾性変形は、前記センサキャビティの体積を減少するように変化させる、請求項２に記載のセンサ装置。

【請求項4】

前記突起構造は、前記弾性部品の表面の少なくとも一部にアレイ状に設置される、請求項１～３のいずれか一項に記載のセンサ装置。

【請求項5】

前記突起構造の形状は、ピラミッド形状、半球状及びストライプ状のうちの少なくとも１種である、請求項１～４のいずれか一項に記載のセンサ装置。

【請求項6】

隣接する突起構造の間の間隔は、１μｍ～２０００μｍ又は１０μｍ～５００μｍである、請求項１～５のいずれか一項に記載のセンサ装置。

【請求項7】

前記突起構造の高さは、１μｍ～１０００μｍ又は１０μｍ～３００μｍである、請求項１～６のいずれか一項に記載のセンサ装置。

【請求項8】

前記弾性部品は、弾性薄膜及び弾性微細構造層を含み、前記突起構造は、前記弾性微細構造層上に設置される、請求項１に記載のセンサ装置。

【請求項9】

前記突起構造の高さと前記センサキャビティの高さとの差は、１０％以内である、請求項８に記載のセンサ装置。

【請求項10】

前記エネルギー変換部品は、音響トランスデューサである、請求項１に記載のセンサ装置。

【請求項11】

前記弾性部品は、前記音響トランスデューサの上方に設置され、かつ前記弾性部品と前記音響トランスデューサとの間に前記センサキャビティが形成される、請求項１０に記載のセンサ装置。

【請求項12】

弾性部品と、
センサキャビティの第１の側壁が前記弾性部品によって構成される第１のセンサキャビティとを含み、
前記弾性部品の前記第１のセンサキャビティを向く側に突起構造が設置され、前記弾性部品は、外部信号に応答して前記突起構造を移動させ、前記突起構造の移動は、前記第１のセンサキャビティの体積を変化させ、
前記弾性部品に対向して配置されて密閉センサキャビティを形成し、前記密閉センサキャビティの体積変化を電気信号に変換するトランスデューサと貼り合わせるように構成される、センサ素子。

【請求項13】

弾性部品と、
センサキャビティの第１の側壁が前記弾性部品によって構成されるセンサキャビティと、
エネルギー変換部品と、を含み、
前記弾性部品の前記センサキャビティを向く側の表面に突起構造が設置され、前記突起構造のヤング率は、１００ｋＰａ～１ＭＰａであり、前記弾性部品は、外部信号に応答して前記突起構造の移動及び変形のうちの少なくとも１種を引き起こし、前記突起構造の移動及び変形のうちの少なくとも１種は、前記センサキャビティの体積を変化させる、センサ素子であって、
前記センサ素子は、
前記弾性部品の他側の表面に設置され、前記弾性部品と共に外部信号に応答して振動を生成する質量ユニットと、
前記弾性部品、前記質量ユニット、前記センサキャビティ及び前記エネルギー変換部品を収容するハウジングとをさらに含む、センサ素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願は、センサの分野に関し、特に薄膜に突起構造が設置されたセンサ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

センサ装置は、一般的な検出装置の１つであり、その内部のエネルギー変換部品により、収集されたセンサ信号を電気信号又は所望の形式を有する他の所望の情報に変換して出力する。感度は、センサ装置の出力信号の強度と入力信号の強度との比率を表すことができ、感度が小さすぎると、ユーザの使用体験に影響を与える。センサ装置が動作するとき、センサ装置の感度は、センサ装置におけるセンサキャビティの体積及び体積変化量に関連する。

【0003】

本願は、信頼性を向上させるだけでなく、センサ装置の感度を効果的に向上させることができるセンサ装置を提供する。

【発明の概要】

【0004】

センサ装置は、弾性部品と、センサキャビティの第１の側壁が前記弾性部品によって構成されるセンサキャビティと、エネルギー変換部品であって、センサ信号を取得しかつ電気信号に変換するために用い、前記エネルギー変換部品は前記センサキャビティに連通し、前記センサ信号は前記センサキャビティの体積変化に関連するエネルギー変換部品とを含み、前記弾性部品の前記センサキャビティを向く側に突起構造が設置され、前記弾性部品は、外部信号に応答して前記突起構造を移動させ、前記突起構造の移動は、前記センサキャビティの体積を変化させる。

【0005】

いくつかの実施例において、前記突起構造は、前記センサキャビティの第２の側壁に当接し、前記第２の側壁は、前記第１の側壁に対向する。

【0006】

いくつかの実施例において、前記突起構造は、弾性を有し、前記突起構造が移動するとき、前記突起構造は、弾性変形を生成し、前記弾性変形は、前記センサキャビティの体積を減少するように変化させる。

【0007】

いくつかの実施例において、前記突起構造は、前記弾性部品の表面の少なくとも一部にアレイ状に設置される。

【0008】

いくつかの実施例において、前記突起構造の形状は、ピラミッド形状、半球状及びストライプ状のうちの少なくとも１種である。

【0009】

いくつかの実施例において、隣接する突起構造の間の間隔は、１μｍ～２０００μｍである。

【0010】

いくつかの実施例において、隣接する突起構造の間の間隔は、１０μｍ～５００μｍである。

【0011】

いくつかの実施例において、前記突起構造の高さは、１μｍ～１０００μｍである。

【0012】

いくつかの実施例において、前記突起構造の高さは、１０μｍ～３００μｍである。

【0013】

いくつかの実施例において、前記弾性部品は、弾性薄膜及び弾性微細構造層を含み、前記突起構造は、前記弾性微細構造層上に設置される。

【0014】

いくつかの実施例において、前記弾性微細構造層と前記弾性薄膜とは、同じ材料で製造される。

【0015】

いくつかの実施例において、前記弾性微細構造層と前記弾性薄膜とは、異なる材料で製造される。

【0016】

いくつかの実施例において、前記弾性薄膜の厚さは、０．１μｍ～５００μｍである。

【0017】

いくつかの実施例において、前記弾性薄膜の厚さは、１μｍ～２００μｍである。

【0018】

いくつかの実施例において、前記突起構造の高さと前記センサキャビティの高さとの差は、１０％以内である。

【0019】

いくつかの実施例において、前記センサ装置は、前記弾性部品の他側の表面に設置され、前記弾性部品と共に外部信号に応答して振動を生成する質量ユニットと、前記弾性部品、前記質量ユニット、前記センサキャビティ及び前記エネルギー変換部品を収容するハウジングとをさらに含む。

【0020】

いくつかの実施例において、前記エネルギー変換部品は、音響トランスデューサである。

【0021】

いくつかの実施例において、前記弾性部品は、前記音響トランスデューサの上方に設置され、かつ前記弾性部品と前記音響トランスデューサとの間に前記センサキャビティが形成される。

【0022】

いくつかの実施例において、前記弾性部品の外縁は、密封部品により前記音響トランスデューサに固定接続され、前記弾性部品、前記密封部品及び前記音響トランスデューサは、共に前記センサキャビティを形成する。

【0023】

いくつかの実施例において、前記弾性部品の外縁は、前記ハウジングに固定接続され、前記弾性部品、前記ハウジング及び前記音響トランスデューサは、共に前記センサキャビティを形成する。

【0024】

いくつかの実施例において、前記質量ユニットの厚さは、１μｍ～１０００μｍである。

【0025】

いくつかの実施例において、前記質量ユニットの厚さは、５０μｍ～５００μｍである。

【0026】

いくつかの実施例において、前記質量ユニットと前記弾性部品とで形成された共振システムの共振周波数は、１５００Ｈｚ～６０００Ｈｚである。

【0027】

いくつかの実施例において、前記質量ユニットと前記弾性部品とで形成された共振システムの共振周波数は、１５００Ｈｚ～３０００Ｈｚである。

【0028】

いくつかの実施例において、前記センサ装置は、前記質量ユニットの両側に前記弾性部品と対称的に設置され、前記ハウジングに固定接続される別の弾性部品をさらに含む。

【0029】

センサ素子は、弾性部品と、センサキャビティの第１の側壁が前記弾性部品によって構成される第１のセンサキャビティとを含み、前記弾性部品の前記第１のセンサキャビティを向く側に突起構造が設置され、前記弾性部品は、外部信号に応答して前記突起構造を移動させ、前記突起構造の移動は、前記第１のセンサキャビティの体積を変化させる。

【0030】

いくつかの実施例において、前記センサ素子は、前記弾性部品に対向して配置されて密閉センサキャビティを形成し、前記密閉センサキャビティの体積変化を電気信号に変換するトランスデューサと貼り合わせるように構成される。

【0031】

振動センサ装置は、振動膜を含む弾性振動部品と、前記弾性振動膜との間に音響キャビティを形成し、前記音響キャビティの体積変化に関連するセンサ信号を取得し、かつ電気信号に変換する音響トランスデューサとを含み、前記振動膜の前記音響キャビティを向く側に突起構造が設置され、前記弾性振動部品は、外部信号に応答して前記突起構造を移動させ、前記突起構造の移動は、前記音響キャビティの体積を変化させる。

【0032】

センサ素子は、弾性部品と、センサキャビティの第１の側壁が前記弾性部品によって構成されるセンサキャビティとを含み、前記弾性部品の前記センサキャビティを向く側の表面に弾性突起構造が設置され、前記弾性突起構造のヤング率は、１００ｋＰａ～１ＭＰａであり、前記弾性部品は、外部信号に応答して前記突起構造の移動及び変形のうちの少なくとも１種を引き起こし、前記突起構造の移動及び変形のうちの少なくとも１種は、前記センサキャビティの体積を変化させる。

【図面の簡単な説明】

【0033】

本願は、例示的な実施例の方式でさらに説明し、これらの例示的な実施例を図面により詳細に説明する。これらの実施例は、限定的なものではなく、これらの実施例において、同じ番号は同様の構造を表す。

【0034】

【図1】本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の構造ブロック図である。

【図2】本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。

【図3】本願のいくつかの実施例に係る突起構造がセンサキャビティの第２の側壁に当接する断面概略図である。

【図4】本願のいくつかの実施例に係る突起構造の構造概略図である。

【図5】本願の他のいくつかの実施例に係る突起構造の構造概略図である。

【図6】本願のさらなる実施例に係る突起構造の構造概略図である。

【図7】本願の他のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。

【図8】本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。

【図9】本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。

【図10】本願のいくつかの実施例に係るセンサ素子がハウジングに接続される概略図である。

【図11】本願のいくつかの実施例に係る弾性部品と質量ユニットとで構成されたシステムの簡略化された力学モデルの概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0035】

本願の実施例の技術手段をより明確に説明するために、以下、実施例の説明に必要な図面を簡単に説明する。明らかに、以下に説明される図面は、本願の例又は実施例の一部に過ぎず、当業者であれば、創造的な労力を要することなく、これらの図面に基づいて本願を他の類似するシナリオに応用することができる。これらの例示的な実施例は、当業者が本発明をよりよく理解して実施することを可能にするためのものに過ぎず、いかなる方法でも本発明の範囲を限定するものではないことが理解されたい。言語環境から明らかではないか又は明記しない限り、図面において同じ符号は同じ構造又は操作を表す。

【0036】

本願及び特許請求の範囲に示すように、文脈を通して明確に別段の指示をしない限り、「１つ」、「１個」、「１種」及び／又は「該」などの用語は、特に単数形を意味するものではなく、複数形を含んでもよい。一般的に、用語「含む」及び「含有」は、明確に特定されたステップ及び要素を含むことを提示するものに過ぎず、これらのステップ及び要素は、排他的な羅列ではなく、方法又は設備は、また他のステップ又は要素を含む可能性がある。用語「基づく」とは、「少なくとも部分的に基づく」ことである。用語「１つの実施例」は、「少なくとも１つの実施例」を表す。用語「他の実施例」は、「少なくとも１つの他の実施例」を表す。その他の用語の関連定義については後述する。

【0037】

本願のいくつかの実施例は、センサ装置に関する。上記センサ装置は、弾性部品、センサキャビティ及びエネルギー変換部品を含んでもよい。上記弾性部品は、上記センサキャビティの第１の側壁を構成する。上記エネルギー変換部品は、上記センサキャビティに連通し、上記センサキャビティの体積変化に関連するセンサ信号を取得し、かつ電気信号に変換するために用いられる。上記センサ装置の感度は、センサキャビティの体積の減少に伴って向上し、体積変化量の増加に伴って向上する。弾性部品のセンサキャビティに向う側に突起構造が設置される。突起構造は、センサキャビティの体積を減少させることにより、センサ装置の感度を向上させることができる。いくつかの実施例において、突起構造は、センサキャビティの第２の側壁に当接するように構成されてもよく、センサ装置が動作状態にあるとき、弾性部品は、突起構造を駆動して振動させ、かつセンサキャビティの第２の側壁に押し付けることにより、弾性変形を生成する。突起構造が弾性変形するとき、センサキャビティの体積変化量を増加させることにより、センサ装置の感度を向上させることができる。また、突起構造の存在により、弾性部品とセンサキャビティの第２の側壁との接触面積を効果的に減少させることができるため、センサキャビティを構成する第２の側壁との粘着を防止し、センサ装置の安定性及び信頼性を効果的に向上させることができる。

【0038】

図１は、本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。センサ装置１０は、外部信号を収集し、かつ外部信号に基づいて所望の信号（例えば、電気信号）を生成することができる。上記外部信号は、機械的振動信号、音響信号、光信号、電気信号などを含んでもよい。センサ装置１０のタイプは、圧力センサ装置、振動センサ装置、触覚センサ装置などを含むが、これらに限定されない。いくつかの実施例において、センサ装置１０は、モバイル装置、ウェアラブル装置、仮想現実装置、拡張現実装置など、又はそれらの任意の組み合わせに応用されてもよい。いくつかの実施例において、モバイル装置は、スマートフォン、タブレットコンピュータ、パーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）、ゲーム装置、ナビゲーション装置など、又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。いくつかの実施例において、ウェアラブル装置は、スマートブレスレット、イヤホン、補聴器、スマートヘルメット、スマートウォッチ、スマート衣類、スマートバックパック、スマートアクセサリなど、又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。いくつかの実施例において、仮想現実装置及び／又は拡張現実装置は、仮想現実ヘルメット、仮想現実メガネ、仮想現実パッチ、拡張現実ヘルメット、拡張現実メガネ、拡張現実パッチなど、又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。例えば、仮想現実装置及び／又は拡張現実装置は、Ｇｏｏｇｌｅ Ｇｌａｓｓ、Ｏｃｕｌｕｓ Ｒｉｆｔ、Ｈｏｌｏｌｅｎｓ、Ｇｅａｒ ＶＲなどを含んでもよい。

【0039】

図１に示すように、センサ装置１０は、弾性部品２０、エネルギー変換部品３０、ハウジング４０及びセンサキャビティ５０を含んでもよい。ハウジング４０の内部は、センサ装置１０の少なくとも１つの部品を収容する収容空間を有してもよい。例えば、ハウジング４０は、弾性部品２０及び他の部品（例えば、図２に示す質量ユニット２６０、密封ユニット２７０）を収容してもよい。いくつかの実施例において、ハウジング４０は、センサ装置１０の他の部品（例えば、弾性部品２０、エネルギー変換部品３０など）に接続されて上記収容空間を形成してもよい。例えば、図２に示す実施例において、ハウジング２４０は、エネルギー変換部品２３０に接続されて上記収容空間２４１を形成してもよい。

【0040】

いくつかの実施例において、ハウジング４０は、異なる形状に設定されてもよい。例えば、ハウジング４０は、立方体、直方体、略直方体（例えば、直方体の８つの角を円弧に置き換える構造）、楕円体、球体又は他の任意の形状に設定されてもよい。

【0041】

いくつかの実施例において、ハウジング４０は、センサ装置１０及びその内部素子（例えば、弾性部品２０）を保護するために、一定の硬度又は強度を有する材料で製造されてもよい。いくつかの実施例において、ハウジング４０を製造する材料は、ＰＣＢ基板（例えばＦＲ－１紙フェノール基板、ＦＲ－２紙フェノール基板、ＦＲ－３紙エポキシ基板、ＦＲ－４エポキシガラスクロスボード、ＣＥＭ－１エポキシガラスクロス－紙複合ボード、ＣＥＭ－３エポキシガラスクロス－ガラスボードなど）、アクリロニトリル－ブタジエン－スチレン共重合体（Ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ ｂｕｔａｄｉｅｎｅ ｓｔｙｒｅｎｅ、 ＡＢＳ）、ポリスチレン（Ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ、ＰＳ）、耐衝撃性ポリスチレン（Ｈｉｇｈ ｉｍｐａｃｔ ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ、ＨＩＰＳ）、ポリプロピレン（Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ、ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ、ＰＥＴ）、ポリエステル（Ｐｏｌｙｅｓｔｅｒ、ＰＥＳ）、ポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ、ＰＣ）、ポリアミド（Ｐｏｌｙａｍｉｄｅｓ、ＰＡ）、ポリ塩化ビニル（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ ｃｈｌｏｒｉｄｅ、ＰＶＣ）、ポリウレタン（Ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅｓ、ＰＵ）、ポリ塩化ビニリデン（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅ ｃｈｌｏｒｉｄｅ）、ポリエチレン（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＥ）、ポリメチルメタクリレート（Ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ、ＰＭＭＡ）、ポリエーテルエーテルケトン（Ｐｏｌｙ－ｅｔｈｅｒ－ｅｔｈｅｒ－ｋｅｔｏｎｅ、ＰＥＥＫ）、フェノール樹脂（Ｐｈｅｎｏｌｉｃｓ、ＰＦ）、尿素ホルムアルデヒド樹脂（Ｕｒｅａ－ｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ、ＵＦ）、メラミン－ホルムアルデヒド樹脂（Ｍｅｌａｍｉｎｅ ｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ、ＭＦ）、及びいくつかの金属、合金（例えばアルミニウム合金、クロムモリブデン鋼、スカンジウム合金、マグネシウム合金、チタン合金、マグネシウムリチウム合金、ニッケル合金など）、ガラス繊維もしくは炭素繊維のうちの任意の材料、又は上記任意の材料の組み合わせを含むが、これらに限定されない。いくつかの実施例において、ハウジング４０を製造する材料は、ガラス繊維及び炭素繊維とポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ、ＰＣ）及びポリアミド（Ｐｏｌｙａｍｉｄｅｓ、ＰＡ）などの材料との任意の組み合わせである。いくつかの実施例において、ハウジング４０を製造する材料は、炭素繊維及びポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ、ＰＣ）を一定の比率で混合して製造されてもよい。いくつかの実施例において、ハウジング４０を製造する材料は、炭素繊維、ガラス繊維及びポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ、ＰＣ）を一定の比率で混合して製造されてもよい。いくつかの実施例において、ハウジング４０を製造する材料は、ガラス繊維及びポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ、ＰＣ）を一定の比率で混合して製造されてもよく、ガラス繊維及びポリアミド（Ｐｏｌｙａｍｉｄｅｓ、ＰＡ）を一定の比率で混合して製造されてもよい。

【0042】

センサキャビティ５０は、センサ装置１０の内部に設置される。センサキャビティ５０は、エネルギー変換部品３０が取得したセンサ信号に関連してもよい。センサキャビティ５０は、センサ装置１０の１つ以上の部品で形成された密閉又は半密閉のキャビティであってもよい。いくつかの実施例において、センサキャビティ５０は、弾性部品２０と他の部品とで形成された密閉又は半密閉のキャビティであってもよい。例えば、センサキャビティ５０は、弾性部品２０、エネルギー変換部品３０及びハウジング４０で形成された密閉キャビティであってもよい。センサキャビティ５０は、一定の体積を有し、その内部に気体が充填されてもよい。上記気体は、性質が安定した気体（例えば、液化、燃焼、爆発しにくい気体）を選択してもよい。例えば、上記気体は、空気、窒素ガス、不活性ガスなどを含んでもよい。

【0043】

センサ装置１０が動作するとき、センサキャビティ５０の体積が変化する。センサキャビティ５０は、対向して設置された２つの側壁を少なくとも含む。上記対向して設置された２つの側壁は、第１の側壁及び第２の側壁を含む。センサ装置１０が動作するとき、センサキャビティ５０の第１の側壁（又はそれに設置された構造の一部）及び／又は第２の側壁（又はそれに設置された構造の一部）が相対的に変位することにより、センサキャビティ５０の体積が変化する。いくつかの実施例において、上記第１の側壁及び／又は第２の側壁は、センサ装置１０の１つ以上の部品で構成されてもよい。例示的には、第１の側壁は、弾性部品２０又はその１つ以上の素子／ユニットで構成されてもよい。上記第２の側壁は、エネルギー変換部品３０又はその１つ以上の素子／ユニットで構成されてもよい。例えば、センサ装置１０が動作する過程において、センサキャビティ５０の第１の側壁を構成する弾性部品２０（又は弾性部品２０のセンサキャビティ５０を向く表面（内面とも呼ばれる）に設置された微細構造、例えば、突起構造）及び／又はセンサキャビティ５０の第２の側壁を構成するエネルギー変換部品３０は、外部振動信号の駆動で相対的な移動（例えば、第１の側壁と第２の側壁の振動応答の不一致による相対的な移動）を生成し、上記第１の側壁と第２の側壁の内面との距離が変化し、さらにセンサキャビティ５０の体積が変化する。

【0044】

エネルギー変換部品３０とは、センサ信号を取得し、かつ所望の信号に変換することができる素子を指す。上記センサ信号は、音響信号を含んでもよい。いくつかの実施例において、エネルギー変換部品３０は、センサ信号を電気信号に変換してもよい。例えば、エネルギー変換部品３０は、音響信号（例えば音圧）を電気信号に変換してもよい。また例えば、エネルギー変換部品３０は、機械的振動信号を電気信号に変換してもよい。エネルギー変換部品３０は、センサキャビティ５０に連通し、かつセンサ信号を取得してもよい。例えば、エネルギー変換部品３０又はその素子／ユニット（例えば、エネルギー変換部品３０におけるセンサ信号を取得する素子）の１つの表面をセンサキャビティ５０の第２の側壁としてもよい。このとき、エネルギー変換部品３０は、センサキャビティ５０の内部に連通し、かつセンサ信号を取得する。上記センサ信号は、センサキャビティ５０の１つ以上のパラメータに関連してもよい。上記１つ以上のパラメータは、キャビティの高さ、体積の大きさ、体積変化、気圧などを含んでもよい。いくつかの実施例において、上記センサ信号は、センサキャビティ５０の体積変化に関連してもよい。例示的には、センサキャビティ５０の体積が変化するとき、センサキャビティ５０内に充填された気体（例えば、空気）の気圧が変化する。エネルギー変換部品３０におけるセンサ信号を取得する素子は、上記気圧の変化を取得し、かつ対応する電気信号を生成することができる。いくつかの実施例において、エネルギー変換部品３０は、音響トランスデューサであってもよい。例えば、エネルギー変換部品３０は、空気伝導マイクロフォン（気導マイクロフォンとも呼ばれる）であってもよい。上記気導マイクロフォンは、センサキャビティ５０の音圧変化を取得し、かつ電気信号に変換することができる。

【0045】

弾性部品２０は、外部信号（例えば、振動）に応答して、振動又は弾性変形することができる（弾性部品２０は、一定の弾性を有する）。上述したように、弾性部品２０は、センサキャビティ５０の第１の側壁を構成してもよい。弾性部品２０が振動又は弾性変形するとき、上記第１の側壁の内面の位置が変化する。いくつかの実施例において、センサキャビティ５０の第２の側壁の位置は、固定されるか又は基本的に固定されるように保持される。このとき、第１の側壁の内面と第２の側壁の内面との間の距離が相対的に変化し、センサキャビティ５０の体積が変化する（第１の側壁と第２の側壁との間の側壁が相対的に固定されるように保持されると仮定する）。いくつかの実施例において、センサキャビティ５０の第２の側壁の位置も変化する。例えば、センサキャビティ５０の第２の側壁と第１の側壁は、いずれも振動する。上記第２の側壁の振動位相が上記第１の側壁の振動位相とは異なると、第１の側壁の内面と第２の側壁の内面との間の距離が相対的に変化し、センサキャビティ５０の体積が変化する（第１の側壁と第２の側壁との間の側壁が相対的に固定されるように保持されると仮定する）。また例えば、センサキャビティ５０の第２の側壁と第１の側壁は、いずれも弾性変形する。上記第２の側壁の弾性変形量が上記第１の側壁の弾性変形量とは異なると、第１の側壁の内面と第２の側壁の内面との間の距離が相対的に変化し、センサキャビティ５０の体積が変化する（第１の側壁と第２の側壁との間の側壁が相対的に固定されるように保持されると仮定する）。

【0046】

例示的には、弾性部品２０とエネルギー変換部品３０又はその素子／ユニット（例えば、エネルギー変換部品３０におけるセンサ信号を取得する素子）は、それぞれセンサキャビティ５０の第１の側壁と第２の側壁を構成してもよい。上記外部信号は、機械的振動である。上記機械的振動は、ハウジング４０によりエネルギー変換部品３０及び弾性部品２０に伝達される。上記機械的振動に応答して、エネルギー変換部品３０と弾性部品２０は、いずれも振動する。エネルギー変換部品３０と弾性部品２０との振動位相が異なるため、第１の側壁及び第２の側壁の内面間の距離が変化し、センサキャビティ５０の体積が変化する。

【0047】

いくつかの実施例において、弾性部品２０の内面（即ち、センサキャビティ５０を向く側の表面）に突起構造２３（例えば、図２に示す突起構造２２３）が設置されてもよい。突起構造２３は、弾性部品２０の内面における少なくとも一部の領域に設置されてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３は、弾性部品２０の内面のすべての領域に設置されてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３は、弾性部品２０の内面の一部のみに設置されてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３の占める内面の面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、４分の３より小さくてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３の占める内面の面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、３分の２より小さくてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３の占める内面の面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、２分の１より小さくてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３の占める面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、３分の１より小さくてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３の占める面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、４分の１より小さくてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３の占める面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、５分の１より小さくてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３の占める面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、６分の１より小さくてもよい。例示的には、弾性部品２０の内面は、中心部分と周辺部分に分割されてもよい。突起構造２３は、中心部分に設置されず周辺部分に設置されてもよい。上記周辺部分の占める内面の面積と弾性部品２０の内面の面積との比率は、４分の３、３分の２、２分の１、３分の１、４分の１、５分の１、６分の１などより小さくてもよい。

【0048】

上記突起構造２３は、弾性部品２０の内面に均一に又は不均一に設置されてもよい。いくつかの実施例において、突起構造２３は、弾性部品２０の内面にアレイ状に設置されてもよい。例えば、隣接する突起構造２３は、弾性部品２０の内面に等間隔をおいて設置される。いくつかの実施例において、突起構造２３の弾性部品２０の内面での分布は、不均一であってもよい。例えば、隣接する突起構造２３の間の間隔は、突起構造２３が所在する位置に伴って変化する。

【0049】

突起構造２３は、特定の形状を有してもよい。いくつかの実施例において、上記特定の形状は、ピラミッド形状、半球状、ストライプ状、階段状、円柱状などの規則的な形状を含む。いくつかの実施例において、上記特定の形状は、任意の不規則な形状であってもよい。

【0050】

突起構造２３を含まない一般的な弾性部品は、センサキャビティ５０の第１の側壁として、振動の過程において、振動幅が大きいため、センサキャビティ５０の第２の側壁（例えば、エネルギー変換部品３０）と粘着され、センサ装置１０が正常に動作できないことを引き起こす可能性がある。突起構造２３の存在により、弾性部品２０とセンサキャビティ５０の第２の側壁との接触面積を効果的に減少させることができるため、センサキャビティ５０を構成する第２の側壁との粘着を防止し、センサ装置１０の安定性及び信頼性を効果的に向上させることができる。

【0051】

突起構造２３は、センサ装置１０の感度に影響を与えることができる。感度は、センサ装置１０の性能を反映する重要な指標である。感度は、センサ装置１０の動作中の特定の外部信号に対する応答の大きさとして理解されてもよい。センサ装置１０において、エネルギー変換部品３０は、センサキャビティ５０に連通する。エネルギー変換部品３０が取得したセンサ信号は、センサキャビティ５０の体積変化に関連する。センサ装置１０の感度は、センサキャビティ５０の体積の大きさ及び／又は体積変化に関連する。同じ外部信号に対して、センサキャビティ５０の体積変化が大きいほど、センサ装置１０の応答が大きくなり、それに応じて、センサ装置１０の感度が高くなり、センサキャビティ５０の体積が小さいほど、センサ装置１０の応答が大きくなり、それに応じて、センサ装置１０の感度が高くなる。したがって、センサキャビティ５０の体積及び／又はセンサ装置１０の動作過程におけるセンサキャビティ５０の体積の変化量を変化させることにより、センサ装置１０の感度を変化させることができる。突起構造２３がセンサキャビティ５０の内部に突出し、センサキャビティ５０の体積の一部を占めるため、センサキャビティ５０の体積は、突起構造２３が設置されない弾性部品２０ときの体積より小さいため、センサ装置１０は、より高い感度を有する。

【0052】

いくつかの実施例において、突起構造２３は、一定の弾性を有してもよい。突起構造２３は、弾性を有するため、外力で押し付けられるときに弾性変形する。いくつかの実施例において、突起構造２３は、センサキャビティ５０の第２の側壁（例えば、エネルギー変換部品３０又はその１つ以上の部品の表面）に当接してもよい。突起構造２３がセンサキャビティ５０の第２の側壁に当接すると、弾性部品２０の振動は、突起構造２３を移動するように駆動する。このとき、突起構造２３がセンサキャビティ５０の第２の側壁に押し付けられることにより、突起構造２３は弾性変形する。上記弾性変形により、突起構造２３をさらにセンサキャビティ５０の内部に突出させ、上記センサキャビティ５０の体積を減少させることができる。したがって、センサキャビティ５０の体積変化量をさらに増加させることにより、センサ装置１０の感度を向上させることができる。突起構造及び突起構造によるセンサ装置の感度の向上のより多くの詳細については、図２～図６の具体的な実施例を参照することができ、ここでは説明を省略する。

【0053】

いくつかの実施例において、弾性部品２０は、弾性薄膜２１を含んでもよい。突起構造２３は、弾性薄膜２１のセンサキャビティ５０に面する側の表面（即ち内面）に設置されてもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２１を製造する材料は、ポリイミド（Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ、ＰＩ）、ポリジメチルシロキサン（Ｐｏｌｙｄｉｍｅｔｈｙｌｓｉｌｏｘａｎｅ、ＰＤＭＳ）、ポリテトラフルオロエチレン（Ｐｏｌｙ ｔｅｔｒａ ｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）などのポリマー材料を含んでもよい。弾性薄膜のより多くの詳細については、図２及び図７の実施例を参照することができ、ここでは説明を省略する。

【0054】

以上のセンサ装置１０に対する説明は、具体的な例に過ぎず、唯一の実行可能な実施形態と見なされるべきではない。明らかに、当業者は、センサ装置１０の基本的な原理を理解した後、この原理から逸脱することなく、センサ装置１０を実装する具体的な方式及びステップの形態及び詳細に対して様々な修正及び変更を行うことができるが、これらの修正及び変更は、依然として以上に説明した範囲内にある。いくつかの実施例において、センサ装置１０は、１つ以上の他の部品、例えば、質量ユニット（図２に示す質量ユニット２６０）、密封ユニット（図２に示す密封ユニット２７０）など又はそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。いくつかの実施例において、センサ装置１０の複数の部品は、単一の部品に統合されてもよい。例えば、質量ユニットは、弾性部品２０に一体化され、弾性部品２０と共に共振システムを構成してもよい。上記共振システムは、外部信号に応答して振動する。いくつかの実施例において、センサ装置１０の１つの部品は、１つ以上のサブ部品に分割されてもよい。例えば、弾性部品２０は、弾性薄膜（図７に示す弾性薄膜７２１）と弾性微細構造層（図７に示す弾性微細構造層７２５）に分割されてもよい。突起構造２３は、上記弾性微細構造層上に設置される。

【0055】

図２は、本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。本実施例において、センサ装置２１０は、振動センサ装置であってもよい。上記振動センサ装置は、振動信号を収集し、かつ電気信号に変換することができる。例えば、センサ装置２１０は、骨伝導マイクロフォン（骨導マイクロフォンとも呼ばれる）のようなマイクロフォンの一部であってもよい。上記骨導マイクロフォンは、振動信号を音声信号に変換することができ、例えば、ユーザが話すときに顔の筋肉によって生成された振動信号を収集し、かつ振動信号を、音声情報を含む電気信号に変換する。

【0056】

図２に示すように、センサ装置２１０は、弾性部品２２０、エネルギー変換部品２３０、ハウジング２４０、質量ユニット２６０及び密封ユニット２７０を含んでもよい。ハウジング２４０は、センサ装置２１０の１つ以上の部品（例えば、弾性部品２２０、質量ユニット２６０及び密封ユニット２７０）を収容する収容空間２４１を有してもよい。いくつかの実施例において、ハウジング２４０は、半密閉ハウジングであり、エネルギー変換部品２３０との接続により、上記収容空間２４１を形成する。例えば、ハウジング２４０は、エネルギー変換部品２３０の上方をカバーし、収容空間２４１を形成する。

【0057】

いくつかの実施例において、図２に示すセンサ装置２１０は、振動センサ装置としてマイクロフォンの分野、例えば、骨導マイクロフォンに応用されてもよい。例えば、骨導マイクロフォンに応用されるとき、センサキャビティ２５０は、音響キャビティと呼ばれてもよく、エネルギー変換部品２３０は、音響トランスデューサであってもよい。音響トランスデューサは、音響キャビティの音圧変化を取得し、かつ電気信号に変換する。いくつかの実施例において、弾性部品２２０は、音響トランスデューサ（即ちエネルギー変換部品２３０）の上方に設置され、かつ弾性部品２２０と音響トランスデューサとの間にセンサキャビティ２５０が形成される。

【0058】

弾性部品２２０は、弾性薄膜２２１を含んでもよい。上記弾性薄膜２２１のエネルギー変換部品２３０に近接する側の表面（内面とも呼ばれる）に突起構造２２３が設置される。突起構造２２３及び（センサキャビティ２５０の第１の側壁を形成する）弾性薄膜２２１は、（センサキャビティ２５０の第２の側壁を形成する）エネルギー変換部品２３０と共にセンサキャビティ２５０を形成することができる。振動センサ装置において、センサキャビティ２５０は、音響キャビティと呼ばれてもよい。弾性薄膜２２１は、振動膜と呼ばれてもよい。

【0059】

図２に示すように、弾性薄膜２２１の外縁は、エネルギー変換部品２３０に物理的に接続されてもよい。上記物理的接続は、接着、釘接合、係止及び追加の接続部品（例えば、密封ユニット２７０）による接続を含んでもよい。例えば、弾性薄膜２２１の外縁は、上記センサキャビティ２５０を形成するために、接着剤でエネルギー変換部品２３０に接着されてもよい。しかしながら、接着剤による接着の密封性が低く、センサ装置２１０の感度をある程度で低下させる。いくつかの実施例において、突起構造２２３の先端は、上記エネルギー変換部品２３０の表面に当接する。上記先端とは、突起構造２２３の上記弾性薄膜２２１から離れる端部を指す。弾性薄膜２２１の外周に設置された突起構造２２３の先端とエネルギー変換部品２３０の表面との接続部は、突起構造２２３、弾性薄膜２２１、密封ユニット２７０及びエネルギー変換部品２３０が共に密閉したセンサキャビティ２５０を形成するために、密封ユニット２７０により密封されてもよい。理解されるように、密封部品２７０の設置位置は、上記説明に限定されない。いくつかの実施例において、密封部品２７０は、突起構造２２３の先端とエネルギー変換部品２３０の表面との接続部に設置されることに限定されず、センサキャビティ２５０を形成する突起構造２２３の外側（即ち突起構造２２３のセンサキャビティ２５０から離れる側）に設置されてもよい。いくつかの実施例において、密封性をさらに向上させるために、センサキャビティ２５０の内部にも密封構造を設置してもよい。密封ユニット２７０により弾性部品２２０とエネルギー変換部品２３０との接続部を密封することにより、センサキャビティ２５０全体の密封性を保証し、さらにセンサ装置２１０の信頼性及び安定性を効果的に向上させることができる。いくつかの実施例において、密封ユニット２７０は、密封ユニット２７０の密封性能をさらに向上させるために、シリカゲル、ゴムなどの材料で製造されてもよい。いくつかの実施例において、密封ユニット２７０の種類は、密封リング、密封ガスケット、密封ゴムストリップのうちの１種又は複数種を含んでもよい。

【0060】

いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１は、一定の厚さを有してもよく、弾性薄膜２２１の厚さとは、弾性薄膜２２１の第１の方向での寸法を指す。理解を容易にするために、弾性薄膜２２１の厚さは、図２におけるＨ３で表すことができる。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１の厚さＨ３は、０．１μｍ～５００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１の厚さＨ３は、０．２μｍ～４００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１の厚さＨ３は、０．４μｍ～３５０μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１の厚さＨ３は、０．６μｍ～３００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１の厚さＨ３は、０．８μｍ～２５０μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜の厚さＨ３は、１μｍ～２００μｍの範囲内にあってもよい。

【0061】

質量ユニット２６０は、弾性部品２２０に接続され、弾性部品２２０のセンサキャビティ２５０から離れる側に位置してもよい。例えば、質量ユニット２６０は、弾性薄膜２２１に設置され、センサキャビティ２５０から離れる側に位置してもよい。ハウジング２４０及び／又はエネルギー変換部品２３０の振動に応答して、質量ユニット２６０は、弾性部品２２０と共に共振システムを構成し、振動を生成することができる。質量ユニット２６０は、一定の質量を有するため、弾性部品２２０のハウジング２４０に対する振動幅を増大させて、センサキャビティ２５０の体積変化量を強度の異なる外部振動の作用でいずれも明らかに変化させ、さらにセンサ装置２１０の感度を向上させることができる。

【0062】

いくつかの実施例において、質量ユニット２６０は、円柱体、立方体、直方体などの規則的な構造体又は他の不規則な構造体であってもよい。図２に示すように、質量ユニット２６０は、円柱体構造であってもよい。

【0063】

いくつかの実施例において、質量ユニット２６０は、密度が高い材料で製造されてもよい。例示的には、質量ユニット２６０は、銅、鉄、ステンレス鋼、鉛、タングステン、モリブデンなどの材料を用いてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０は、銅で製造されてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０は、一定の弾性を有する材料で製造されてもよい。いくつかの実施例において、上記弾性材料で製造された質量ユニット２６０は、弾性部品２２０のエネルギー変換部品２３０を向く側に設置されてもよい。例えば、質量ユニット２６０のエネルギー変換部品２３０を向く側の表面に突起構造２２３が直接的に設置されてもよい（例えば、切削、射出成形、接着などの方式で加工される）。質量ユニット２６０自体が弾性を有するため、質量ユニット２６０に設置された突起構造２２３も弾性を有する。本実施例において、質量ユニット２６０は、センサキャビティ２５０の体積を減少させ、センサ装置２１０の感度をある程度で向上させることができる。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０に設置された突起構造２２３の先端は、上記エネルギー変換部品２３０の表面に当接してもよい。

【0064】

いくつかの実施例において、タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、弾性薄膜２２１のヤング率と質量ユニット２６０のヤング率は、異なる値を有してもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１のヤング率の数値は、５００ＭＰａより小さくてもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１のヤング率の数値は、３００ＭＰａより小さくてもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１のヤング率の数値は、２００ＭＰａより小さくてもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１のヤング率の数値は、１００ＭＰａより小さくてもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１のヤング率の数値は、８０ＭＰａより小さくてもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１のヤング率の数値は、６０ＭＰａより小さくてもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１のヤング率の数値は、４０ＭＰａより小さくてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０のヤング率は、１０Ｇｐａより大きくてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０のヤング率は、５０Ｇｐａより大きくてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０のヤング率は、８０Ｇｐａより大きくてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０のヤング率は、１００Ｇｐａより大きくてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０のヤング率は、２００Ｇｐａより大きくてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０のヤング率は、５００Ｇｐａより大きくてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０のヤング率は、１０００Ｇｐａより大きくてもよい。

【0065】

いくつかの実施例において、質量ユニット２６０は、一定の厚さを有する。質量ユニットの厚さとは、質量ユニット２６０の第１の方向での寸法を指してもよい。理解を容易にするために、質量ユニット２６０の厚さは、図２におけるＨ４で表すことができる。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４は、１μｍ～１０００μｍの範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４は、１０μｍ～９００μｍの範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４は、２０μｍ～８００μｍの範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４は、３０μｍ～７００μｍの範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４は、４０μｍ～６００μｍの範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４は、５０μｍ～５００μｍの範囲内にある。

【0066】

タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率又は差は、一定の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１～１０００００の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１～５００００の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１０～１００００の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１００～５０００の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１００～１０００の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１００～５０００の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の厚さＨ４と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、５００～２０００の範囲内にある。

【0067】

いくつかの実施例において、質量ユニット２６０は、弾性部品２２０（例えば、弾性薄膜２２１）の中部に位置してもよい。上記中部とは、弾性部品２２０の第２の方向での中間部分を指す。例えば、弾性薄膜２２１は、円形を呈し、質量ユニット２６０は、円柱体構造である。質量ユニット２６０は、弾性薄膜２２１の中間部分に設置されてもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の軸線と弾性薄膜２２１の中心点との第２の方向での距離は、閾値距離より小さくてもよい。上記閾値距離は、５０μｍ、０．１ｍｍ、０．５ｍｍ、１ｍｍ、２ｍｍなどであってもよい。いくつかの実施例において、弾性薄膜２２１の中心点は、質量ユニット２６０の軸線にある。質量ユニット２６０を弾性薄膜２２１の中部に設置することにより、質量ユニット２６０の第２の方向での変位を低減し、センサ装置２１０の感度を向上させることができる。

【0068】

図２に示すように、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積は、弾性部品２２０の第１の方向での投影面積より小さくてもよい。タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積と弾性部品２２０の第１の方向での投影面積との比率は、一定の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積と弾性部品２２０の第１の方向での投影面積との比率は、０．０５～０．９５の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積と弾性部品２２０の第１の方向での投影面積との比率は、０．１～０．９の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積と弾性部品２２０の第１の方向での投影面積との比率は、０．２～０．９の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積と弾性部品２２０の第１の方向での投影面積との比率は、０．３～０．８の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積と弾性部品２２０の第１の方向での投影面積との比率は、０．４～０．７の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積と弾性部品２２０の第１の方向での投影面積との比率は、０．５～０．６の範囲内にあってもよい。

【0069】

タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、一定の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．０５～０．９５の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．１～０．９の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．２～０．９の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．３～０．８の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．４～０．７の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．５～０．６の範囲内にあってもよい。

【0070】

本実施例において、弾性部品２２０（例えば、弾性薄膜２２１）はハウジング２４０に比べてより弾性変形しやすいため、弾性部品２２０はハウジング２４０に対して相対的に移動することができる。外部の振動がハウジング２４０に作用するとき、ハウジング２４０、エネルギー変換部品２３０、弾性部品２２０などの部品は、いずれも振動を生成する。弾性部品２２０の振動位相がエネルギー変換部品２３０の振動位相とは異なるため、センサキャビティ２５０（即ち音響キャビティ）の体積変化を引き起こし、音響キャビティの音圧を変化させ、かつエネルギー変換部品２３０によりそれを電気信号に変換し、骨導音へのピックアップを実現することができる。

【0071】

理解を容易にするために、弾性部品２２０（弾性薄膜２２１及び突起構造２２３を含む）及び質量ユニット２６０で構成された構造を、図１１に示すようなばね－質量－ダンパシステムモデルに簡略化して等価することができ、弾性部品２２０は、システムにばね及びダンパ作用を提供し、質量ユニット２６０は、システムに質量作用を提供する。該システムが動作するとき、ばね－質量－ダンパシステムモデルが加振力の作用で強制的に動かされ、その振動法則がばね－質量－ダンパシステムの法則に合致すると考えることができる。具体的には、該システムの動きは、式（１）の微分方程式で説明することができる。

【数1】

ここで、Ｍは、システムの質量であり、Ｒはシステムの減衰であり、Ｋはシステムの弾性係数であり、Ｆは駆動力の振幅であり、ｘはシステムの変位であり、ωは駆動力の角周波数である。式（１）に基づいて定常状態の変位を求めると、以下の式を得ることができる。

【数2】

ここで、

【数3】

である。

【0072】

さらに、式（１）及び式（２）に基づいて変位振幅比（正規化）方程式を得ることができる。

【数4】

ここで、ｆはシステムの周波数を表し、ｆ_０はシステムの共振周波数を表すことができ、

【数5】

、Ｑ_Ｍは力学的品質係数を表し、

【数6】

は静的変位振幅（又はω＝０ときの変位振幅と呼ばれる）を表すことができる。

【0073】

質量ユニット２６０が外部振動信号の励起で振動するとき、センサキャビティ２５０の体積Ｖ_０が圧縮又は拡張することを引き起こし、センサキャビティ２５０が圧縮又は拡張するときに体積変化量はΔＶである。センサ装置２１０の感度

【数7】

、即ちセンサ装置２１０の感度Ｓは、センサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶに比例し、センサキャビティ２５０の体積Ｖ_０に反比例する。上記原理に基づいて、いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶを増加させることによりセンサ装置２１０の感度を向上させることができ、及び／又はセンサキャビティ２５０の体積Ｖ_０を減少させることによりセンサ装置２１０の感度を向上させることができる。

【0074】

いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０は、弾性部品２２０、エネルギー変換部品２３０及び他の部品で構成される。例えば、センサキャビティ２５０は、弾性部品２２０、エネルギー変換部品２３０及び密封ユニット２７０で構成される。上記実施例において、弾性部品（例えば、弾性薄膜２２１及び突起構造２２３）とエネルギー変換部品（例えば、エネルギー変換部品２３０）は、それぞれセンサキャビティ２５０の第１の側壁と第２の側壁とする。したがって、弾性部品２２０及びエネルギー変換部品２３０の構造は、センサ装置２１０のセンサキャビティ２５０の体積Ｖ_０及びセンサ装置２１０が動作するときのセンサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶに影響を与える。弾性部品２２０に対して、弾性薄膜２２１の内面に突起構造２２３が設置され、かつ上記突起構造２２３がセンサキャビティ２５０内に突出し、センサキャビティ２５０の体積Ｖ_０を減少させるため、センサ装置２１０の感度を向上させることができる。

【0075】

いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０の体積Ｖ_０は、センサキャビティ２５０を構成する突起構造２２３の密度に関連する。理解されるように、隣接する突起構造２２３の間隔が小さいほど、突起構造２２３の密度が大きくなることを表すため、突起構造２２３で構成されたセンサキャビティ２５０の体積Ｖ_０も小さくなる。隣接する突起構造体２２３の間隔とは、隣接する突起構造体２２３の中心間の距離を指してもよい。ここでの中心は、突起構造２２３の断面上の図心として理解されてもよい。説明を容易にするために、隣接する突起構造２２３の間の間隔は、図２のＬ１、即ち隣接する突起構造の先端又は中心の間の距離で表すことができる。いくつかの実施例において、隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１は、１μｍ～２０００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１は、４μｍ～１５００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１は、８μｍ～１０００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１は、１０μｍ～５００μｍの範囲内にあってもよい。

【0076】

いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０の体積Ｖ_０は、突起構造２２３の幅に関連する。突起構造２２３の幅は、突起構造２２３の第２の方向での寸法として理解されてもよい。説明を容易にするために、突起構造２２３の第２の方向での寸法は、図２におけるＬ２で表すことができる。いくつかの実施例において、単一の突起構造２２３の幅Ｌ２は、１μｍ～１０００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、単一の突起構造２２３の幅Ｌ２は、２μｍ～８００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、単一の突起構造２２３の幅Ｌ２は、３μｍ～６００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、単一の突起構造２２３の幅Ｌ２は、６μｍ～４００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、単一の突起構造２２３の幅は、１０μｍ～３００μｍの範囲内にあってもよい。

【0077】

タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、突起構造２２３の幅Ｌ２と隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１との比率は、一定の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の幅Ｌ２と隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１との比率は、０．０５～２０の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の幅Ｌ２と隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１との比率は、０．１～２０の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の幅Ｌ２と隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１との比率は、０．１～１０の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の幅Ｌ２と隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１との比率は、０．５～８の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の幅Ｌ２と隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１との比率は、１～６の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の幅Ｌ２と隣接する突起構造２２３の間の間隔Ｌ１との比率は、２～４の範囲内にある。

【0078】

いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０の体積Ｖ_０は、突起構造２２３の高さＨ１に関連する。突起構造２２３の高さは、突起構造２２３が自然状態にあるとき（例えば、突起構造２２３が弾性変形を引き起こすような押し付けを受けない場合）の第１の方向での寸法として理解されてもよい。説明を容易にするために、突起構造２２３の第１の方向での寸法は、図２におけるＨ１で表すことができる。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１は、１μｍ～１０００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１は、２μｍ～８００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１は、４μｍ～６００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１は、６μｍ～５００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１は、８μｍ～４００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１は、１０μｍ～３００μｍの範囲内にあってもよい。

【0079】

いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０の高さと突起構造２２３の高さとの差は、一定の範囲内にある。例えば、突起構造２２３の少なくとも一部は、エネルギー変換部品２３０と接触しなくてもよい。このとき、突起構造２２３とエネルギー変換部品２３０の表面との間に一定の隙間が存在する。突起構造２２３とエネルギー変換部品２３０の表面との間の隙間とは、突起構造２２３の先端とエネルギー変換部品２３０の表面との間の距離を指す。該隙間は、突起構造２２３を加工したり、弾性部品２２０を取り付けたりする過程において形成されてもよい。センサキャビティ２５０の高さは、センサキャビティ２５０の自然状態（例えば、その第１の側壁及び第２の側壁に振動又は弾性変形が発生しない場合）での第１の方向での寸法として理解されてもよい。説明を容易にするために、センサキャビティ２５０の第１の方向での寸法は、図２におけるＨ２で表すことができる。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１とセンサキャビティ２５０の高さＨ２との差は、２０％以内であってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１とセンサキャビティ２５０の高さＨ２との差は、１５％以内であってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１とセンサキャビティ２５０の高さＨ２との差は、１０％以内であってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１とセンサキャビティ２５０の高さＨ２との差は、５％以内であってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３とエネルギー変換部品２３０の表面との間の隙間は、１０μｍ以内であってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３とエネルギー変換部品２３０の表面との間の隙間は、５μｍ以内であってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３とエネルギー変換部品２３０の表面との間の隙間は、１μｍ以内であってもよい。

【0080】

センサ装置２１０が動作する過程において、弾性部品２２０は、外部信号（例えば、振動信号）を受信して振動又は弾性変形を生成し、かつ突起構造２２３を図２に示す第１の方向に沿って移動するように駆動することにより、センサキャビティ２５０を収縮又は拡張させ、それによるセンサキャビティ２５０の体積変化量は、ΔＶ１として表すことができる。弾性部品２２０及び突起構造２２３の第１の方向での移動幅が小さく、例えば、突起構造２２３の第１の方向での移動幅が一般的に１μｍより小さく、この過程において、突起構造２２３がエネルギー変換部品２３０の表面と接触しない可能性があるため、ΔＶ１は突起構造２２３に関連せず、かつΔＶ１の値が小さい。

【0081】

タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率又は差は、一定の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、０．５～５００の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１～５００の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１～２００の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１～１００の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、１０～９０の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、２０～８０の範囲内にある。いくつかの実施例において、突起構造２２３の高さＨ１と弾性薄膜２２１の厚さＨ３との比率は、４０～６０の範囲内にある。

【0082】

いくつかの実施例において、突起構造２２３は、エネルギー変換部品２３０の表面と直接的に接触してもよい。このとき、突起構造２２３の高さＨ１は、センサキャビティ２５０の高さＨ２と同じであるか又は類似する。図３Ａ及び図３Ｂは、本願のいくつかの実施例に係る突起構造がセンサキャビティの第２の側壁に当接する断面概略図である。図３Ａに示すように、突起構造２２３は、センサキャビティ２５０の第２の側壁に当接してもよい。突起構造２２３は、一定の弾性を有してもよい。本実施例において、弾性部品２２０は、外力の励起を受けて移動するとき、突起構造２２３をエネルギー変換部品２３０の方向に移動するように駆動する。弾性部品２２０及び突起構造２２３が移動するとき、センサキャビティ２５０の体積を減少させ、それによるセンサキャビティ２５０の体積の変化量は、ΔＶ１として表すことができる。また、突起構造２２３自体がエネルギー変換部品２３０に当接するため、突起構造２２３は、外力の作用でエネルギー変換部品２３０に押し付けられる。突起構造２２３自体が一定の弾性を有するため、押し付けによる力により突起構造２２３が弾性変形する。突起構造２２３が弾性変形するとき、センサキャビティ２５０の体積をさらに縮小する。図３Ｂは、突起構造２２３が第１の方向に移動する振幅と発生した弾性変形を示す。実線Ｐ１は、押し付け後の突起構造２２３の形状の輪郭及び位置を示す。破線Ｐ２は、押し付け前の突起構造２２３の形状の輪郭及び位置を示す。図から分かるように、突起構造２２３の弾性変形により、センサキャビティ２５０の体積がさらに減少する。説明を容易にするために、突起構造２２３とセンサキャビティ２５０の第２の側壁との押し付けによるセンサキャビティ２５０の体積変化の値は、ΔＶ２として表すことができる。上記内容に基づいて、突起構造２２３がセンサキャビティ２５０の第２の側壁に当接すれば、センサ装置２１０が動作する過程において、センサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶは、ΔＶ１とΔＶ２との和である。したがって、センサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶはΔＶ１より大きく、センサ装置２１０の感度をさらに向上させることができる。また、突起構造２２３が変形するため、自然状態の場合に比べて、突起構造２２３の第１の方向での寸法が小さくなるため、センサキャビティ２５０の高さＨ２は、自然状態である突起構造２２３の第１の方向での寸法（即ちＨ１）より小さい。

【0083】

いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶ２は、突起構造２２３の材料に関連してもよい。突起構造２２３は、一定の特性を有する材料を選択してもよい。例えば、突起構造２２３は、特定のヤング率を有してもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率は、１０ｋＰａ～１０ＭＰａである。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率は、２０ｋＰａ～８ＭＰａである。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率は、５０ｋＰａ～５ＭＰａである。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率は、８０ｋＰａ～２ＭＰａである。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率は、１００ｋＰａ～１ＭＰａである。タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、突起構造２２３のヤング率と弾性薄膜２２１のヤング率との比率又は差は、一定の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率と弾性薄膜２２１のヤング率との比率は、０．００５～１の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率と弾性薄膜２２１のヤング率との比率は、０．０１～１の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率と弾性薄膜２２１のヤング率との比率は、０．０５～０．８の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率と弾性薄膜２２１のヤング率との比率は、０．１～０．６の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３のヤング率と弾性薄膜２２１のヤング率との比率は、０．２～０．４の範囲内にあってもよい。

【0084】

いくつかの実施例において、突起構造２２３が高い弾性を有し、同じ大きさの外力を受けるときの弾性変形量をより大きくし、さらにセンサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶ２をより大きくすることを確保するために、突起構造２２３を製造する材料は、シリカゲル、シリコンゲル、シリコンゴム、ポリジメチルシロキサン（Ｐｏｌｙｄｉｍｅｔｈｙｌｓｉｌｏｘａｎｅ、ＰＤＭＳ）、スチレン－ブタジエン－スチレンブロック共重合体（Ｓｔｙｒｅｎｉｃ Ｂｌｏｃｋ Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒｓ、ＳＢＳ）のうちの１種又は複数種を含んでもよい。

【0085】

いくつかの実施例において、センサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶ２は、さらに突起構造２２３の形状に関連してもよい。いくつかの実施例において、突起構造２２３の形状は、様々な形状であってもよい。図４～図６は、それぞれ３種類の形状の異なる突起構造を示す。図４における突起構造４２３は、形状がピラミッド状であり、弾性部品４２０の内面にドットアレイ状に分布する。図５における突起構造５２３は、形状が半球状であり、弾性部品５２０の内面にドットアレイ状に分布する。図６における突起構造６２３は、形状がストライプ状であり、弾性部品６２０の内面にラインアレイ状に分布する。理解されるように、これは、説明のためのものに過ぎず、突起構造２２３の形状を制限することを意図するものではない。突起構造２２３は、他の可能な形状であってもよい。例えば、階段状、円柱状、楕円球状などである。

【0086】

図４に示すように、突起構造２２３の形状は、ピラミッド状であり、他の形状（例えば、半球状）である場合に比べて、突起構造２２３が外力作用を受けるとき、ピラミッド状の突起構造２２３は、応力を先端に集中させる。形状の異なる突起構造２２３に対して、そのヤング率が同じである場合、ピラミッド状の突起構造２２３の等価剛性がより低く、弾性係数がより低く、弾性変形が発生する場合の変形量がより大きく、さらにセンサキャビティ２５０の体積変化量ΔＶ２がより大きく、センサ装置２１０の感度の向上幅がより大きい。

【0087】

いくつかの実施例において、センサ装置２１０の感度は、質量ユニット２６０及び弾性部品２２０で構成されたシステムの共振周波数ω_０（即ち式（３）におけるｆ_０）に関連する。具体的には、

【数8】

において、

【数9】

を減少させると、センサ装置２１０のセンサキャビティ２５０の音圧の変化量Δｐが大きくなり、同時にシステムの共振周波数ω_０が低下する。共振周波数ω_０は、システムの共振周波数の前後の一定の周波数範囲内のセンサ装置２１０の感度に影響を与える。したがって、センサ装置２１０の共振周波数を調整することによりセンサ装置２１０の感度を調整する過程において、周波数範囲がセンサ装置２１０の感度に与える影響を考慮する必要がある。いくつかの実施例において、センサ装置２１０の共振周波数は、１５００Ｈｚ～６０００Ｈｚの範囲内にある。いくつかの実施例において、センサ装置２１０の共振周波数は、１５００Ｈｚ～５０００Ｈｚの範囲内にある。いくつかの実施例において、センサ装置２１０の共振周波数は、１５００Ｈｚ～４０００Ｈｚの範囲内にある。いくつかの実施例において、センサ装置２１０の共振周波数は、１５００Ｈｚ～３０００Ｈｚの範囲内にある。

【0088】

図７は、本願の他のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。センサ装置２１０と同様に、センサ装置７１０は、エネルギー変換部品２３０、ハウジング２４０、センサキャビティ２５０、質量ユニット２６０、密封ユニット２７０及び弾性部品７２０を含んでもよい。ハウジング２４０は、エネルギー変換部品２３０の上方をカバーし、収容空間２４１を形成する。弾性部品７２０、質量ユニット２６０及び密封ユニット２７０は、収容空間２４１内に収容されてもよい。弾性部品７２０の外縁は、密封ユニット２７０によりエネルギー変換部品２３０に固定接続される。弾性部品７２０、エネルギー変換部品２３０及び密封ユニット２７０は、共にセンサキャビティ２５０を構成する。質量ユニット２６０は、弾性部品７２０のセンサキャビティ２５０から離れる側に設置され、弾性部品７２０の振動幅を増大させるために用いられる。

【0089】

いくつかの実施例において、図７に示すセンサ装置７１０は、振動センサ装置としてマイクロフォンの分野、例えば、骨導マイクロフォンに応用されてもよい。例えば、骨導マイクロフォンに応用されるとき、センサキャビティ２５０は、音響キャビティと呼ばれてもよく、エネルギー変換部品２３０は、音響トランスデューサであってもよい。音響トランスデューサは、音響キャビティの音圧変化を取得し、かつ電気信号に変換する。

【0090】

図２に示すセンサ装置２１０との相違点は、図７に示すセンサ装置７１０において、弾性部品７２０が弾性薄膜７２１及び弾性微細構造層７２５を含んでもよいことである。弾性微細構造層７２５の一側は、弾性薄膜７２１に接続され、他側の表面に突起構造２２３が設置される。例示的には、突起構造２２３は、２種類の方式で加工されてもよい。方式（１）において、シリコンウェハに溝をエッチングし、溝の形状を、製造しようとする突起構造２２３の形状に対応させる。次に、突起構造２２３を製造する材料（例えば、ＰＤＭＳ）をシリコンウェハに塗布し、ＰＤＭＳをシリコンウェハの溝に充填し、かつシリコンウェハの表面に１層のＰＤＭＳ薄膜を形成する。次に、溝内のＰＤＭＳ及びシリコンウェハの表面のＰＤＭＳ薄膜がまだ硬化しない前に、弾性薄膜７２１を製造する材料、例えば、ポリイミド（Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ、ＰＩ）をＰＤＭＳ薄膜の表面に塗布する。最後に、ＰＤＭＳ薄膜、弾性薄膜７２１及び突起構造２２３が硬化してから取り出す。方式（２）において、同様に、シリコンウェハに溝をエッチングする。次に、突起構造２２３を製造する材料（例えば、ＰＤＭＳ）をシリコンウェハに塗布し、溝内のＰＤＭＳ及びシリコンウェハの表面のＰＤＭＳ薄膜が硬化してから、弾性薄膜７２１を製造する材料（例えば、ＰＩ）をＰＤＭＳ薄膜の表面に塗布するか又は塗布前にグルーを添加する。最後に、弾性薄膜７２１が硬化してから取り出す。上記２種類の方式で加工された突起構造２２３と弾性薄膜７２１との間にいずれも１層のＰＤＭＳ薄膜が含まれ、該ＰＤＭＳ薄膜は、即ち弾性微細構造層７２５である。

【0091】

いくつかの実施例において、弾性微細構造層７２５と弾性薄膜７２１は、同じ材料で製造されてもよい。例えば、弾性微細構造層７２５と弾性薄膜７２１は、いずれもＰＤＭＳで製造されてもよい。具体的には、突起構造２２３を加工するとき、ＰＤＭＳ薄膜（即ち弾性微細構造層７２５）の表面に１層のＰＤＭＳ薄膜を弾性薄膜７２１として塗布してもよい。いくつかの実施例において、弾性微細構造層７２５と弾性薄膜７２１は、異なる材料で製造されてもよい。例えば、弾性微細構造層７２５は、ＰＤＭＳで製造されてもよいが、弾性薄膜７２１は、ＰＩで製造されてもよい。また例えば、弾性微細構造層７２５は、ＰＤＭＳで製造されてもよいが、弾性薄膜７２１は、ポリテトラフルオロエチレン（Ｐｏｌｙ ｔｅｔｒａ ｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）で製造されてもよい。

【0092】

いくつかの実施例において、弾性薄膜７２１の厚さは、上記実施例における弾性薄膜２２１の厚さと同じであってもよく、異なってもよい。弾性微細構造層７２５の厚さとは、弾性微細構造層７２５の第１の方向での寸法を指し、図７におけるＨ５で表すことができる。いくつかの実施例において、弾性微細構造層７２５の厚さＨ５は、１μｍ～１０００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性微細構造層７２５の厚さＨ５は、１０μｍ～２００μｍの範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性微細構造層７２５の厚さＨ５は、２０μｍ～１００μｍの範囲内にあってもよい。

【0093】

いくつかの実施例において、タイプ及び／又は寸法の異なるセンサ装置２１０に対して、弾性微細構造層７２５の厚さＨ５と弾性部品７２０の厚さ（即ちＨ５とＨ３との和）との比率は、０．５～１の範囲内にあってもよい。いくつかの実施例において、弾性微細構造層７２５の厚さＨ５と弾性部品７２０の厚さとの比率は、０．８～１の範囲内にある。いくつかの実施例において、弾性微細構造層７２５の厚さＨ５と弾性部品７２０の厚さとの比率は、０．９～１の範囲内にある。

【0094】

図８は、本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。図８に示すように、センサ装置８１０は、エネルギー変換部品２３０、ハウジング２４０、センサキャビティ２５０、質量ユニット２６０及び弾性部品８２０を含んでもよい。いくつかの実施例において、図８に示すセンサ装置８１０は、センサキャビティ２５０の密封方式が異なる以外、図７に示すセンサ装置７１０と同様である。センサ装置８１０の弾性部品８２０の外縁は、ハウジング２４０に直接的に固定接続され、さらにエネルギー変換部品２３０、ハウジング２４０及び弾性部品８２０により共にセンサキャビティ２５０を形成する。いくつかの実施例において、弾性部品８２０は、弾性薄膜８２１及び弾性微細構造層８２５を含んでもよい。突起構造２２３は、弾性微細構造層８２５の一部であってもよい。弾性微細構造層８２５のセンサキャビティ２５０から離れる側は、弾性薄膜８２１に接続される。弾性微細構造層８２５のセンサキャビティ２５０に近接する側は、突起構造２２３に設置される。弾性薄膜８２１及び／又は弾性微細構造層８２５は、ハウジング２４０に直接的に接続されてもよく、接続の方式は、接着、係止、リベット接合、釘接合などを含む。例示的には、図８に示すように、弾性薄膜８２１の縁部は、ハウジング２４０の側壁に直接的に嵌設されてもよく、弾性微細構造層８２５は、センサキャビティ２５０の密封性を保証するために、ハウジング２４０の内壁に密着されてもよい。本実施例において、弾性部品８２０は、ハウジング２４０に直接的に接続され、一方では、センサキャビティ２５０が高い密封性を有することを保証することができ、他方では、密封ユニットを省略し、センサ装置８１０の構造を簡略化し、センサ装置８１０の製造プロセスを簡略化する。

【0095】

いくつかの実施例において、弾性部品８２０がハウジング２４０に直接的に接続されるとき、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積は、センサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積より小さい。具体的には、弾性部品８２０（例えば、弾性部品８２０の弾性薄膜８２１、弾性微細構造層８２５）がハウジング２４０に直接的に固定接続されれば、センサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積は、質量ユニット２６０の縁部とハウジング２４０との間に一定の隙間を有して、質量ユニット２６０を上記第１の方向で振動させることができるようにするために、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積より大きい必要がある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．０５～０．９５の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．１～０．９の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．２～０．９の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．３～０．８の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．４～０．７の範囲内にある。いくつかの実施例において、質量ユニット２６０の第１の方向での投影面積とセンサキャビティ２５０の第１の方向での投影面積との比率は、０．５～０．６の範囲内にある。

【0096】

図９は、本願のいくつかの実施例に係るセンサ装置の概略図である。図９に示すセンサ装置９１０は、センサ装置９１０の弾性部品９２０が第１の弾性部品９２０－１及び第２の弾性部品９２０－２を含む以外は、図２に示すセンサ装置２１０と同様である。第１の弾性部品９２０－１及び第２の弾性部品９２０－２は、質量ユニット２６０の第１の方向の両側にそれぞれ設置される。第１の弾性部品９２０－１は、質量ユニット２６０のエネルギー変換部品２３０に近接する側に位置し、第２の弾性部品９２０－２は、質量ユニット２６０のエネルギー変換部品２３０から離れる側に位置する。図２に示す弾性部品２２０と同様に、第１の弾性部品９２０－１は、第１の弾性薄膜２２１－１と、第１の弾性薄膜２２１－１のセンサキャビティ２５０を向く側の表面（内面とも呼ばれる）に設置された第１の突起構造２２３－１とを含む。第１の突起構造２２３－１の縁部は、第１の密封ユニット２７０－１によりエネルギー変換部品２３０に密封接続されることにより、第１の弾性薄膜２２１－１、第１の突起構造２２３－１、第１の密封ユニット２７０－１及びエネルギー変換部品２３０は、共にセンサキャビティ２５０を形成する。第２の弾性部品９２０－２は、第２の弾性薄膜２２１－２と、第２の弾性薄膜２２１－２のセンサキャビティ２５０から離れる側に設置された第２の突起構造２２３－２とを含む。第２の突起構造２２３－２の縁部は、第２の密封ユニット２７０－２によりハウジング２４０の上壁（即ちハウジング２４０のエネルギー変換部品２３０から離れる側）に密封接続される。

【0097】

いくつかの実施例において、第１の弾性部品９２０－１及び第２の弾性部品９２０－２のうちの少なくとも１つは、弾性微細構造層（図示せず）を含んでもよい。第１の弾性部品９２０－１を例として、第１の弾性部品９２０－１は、第１の弾性薄膜２２１－１及び第１の弾性微細構造層を含んでもよく、第１の弾性微細構造層は、第１の弾性薄膜２２１－１のエネルギー変換部品２３０を向く側に設置される。第１の弾性微細構造層のエネルギー変換部品２３０を向く側に第１の突起構造２２３－１が含まれる。第１の突起構造２２３－１は、第１の弾性微細構造層の一部であってもよい。弾性微細構造層は、上記１つ以上の実施例における弾性微細構造層（例えば、図７に示す弾性微細構造層７２５）と同じであってもよく、類似してもよく、ここでは説明を省略する。

【0098】

図９に示すように、第１の弾性部品９２０－１及び第２の弾性部品９２０－２は、第１の方向に沿って質量ユニット２６０の対向する両側に分布する。ここで、第１の弾性部品９２０－１及び第２の弾性部品９２０－２を、ほぼ１つの弾性部品９２０としてもよい。説明を容易にするために、第１の弾性部品９２０－１と第２の弾性部品９２０－２とで一体的に形成された弾性部品９２０は、第３の弾性部品と呼ばれてもよい。第３の弾性部品の図心は、質量ユニット２６０の重心に重なるか又はほぼ重なり、かつ第２の弾性部品９２０－２は、ハウジング２４０の上壁（即ちハウジング２４０のエネルギー変換部品２３０から離れる側）に密封接続され、目標周波数範囲（例えば、３０００Ｈｚ以下）内において、ハウジング２４０の第１の方向での振動に対する第３の弾性部品の応答感度は、ハウジング２４０の第２の方向での振動に対する第３の弾性部品の応答感度より高い。

【0099】

いくつかの実施例において、第３の弾性部品（即ち弾性部品９２０）は、ハウジング２４０の振動に応答して第１の方向に振動を生成する。第１の方向での振動は、センサ装置９１０（例えば、振動センサ装置）がピックアップする目標信号として見なされてもよく、第２の方向での振動は、ノイズ信号として見なされてもよい。センサ装置９１０の動作過程において、第３の弾性部品が第２の方向で生成した振動を低減することによりハウジング２４０の第２の方向での振動に対する第３の弾性部品の応答感度を低下させ、さらにセンサ装置９１０の方向選択性を向上させ、ノイズ信号の音声信号に対する干渉を低減することができる。

【0100】

いくつかの実施例において、第３の弾性部品がハウジング２４０の振動に応答して振動を生成するとき、第３の弾性部品の図心が質量ユニット２６０の重心に重なるか又はほぼ重なり、かつ第２の弾性部品９２０－２がハウジング２４０の上壁（即ちハウジング２４０のエネルギー変換部品２３０から離れる側）に密封接続されると、ハウジング２４０の第１の方向での振動に対する第３の弾性部品の応答感度が基本的に変化しない前提で、質量ユニット２６０の第２の方向での振動を低減することにより、ハウジング２４０の第２の方向での振動に対する第３の弾性部品の応答感度を低下させ、さらにセンサ装置９１０の方向選択性を向上させることができる。なお、ここで第３の弾性部品の図心が質量ユニット２６０の重心にほぼ重なることは、第３の弾性部品が、密度が均一な規則的な幾何学的構造であるため、第３の弾性部品の図心がその重心にほぼ重なると理解されてもよい。第３の弾性部品の重心は、質量ユニット２６０の重心として見なされてもよい。このとき、第３の弾性部品の図心は、質量ユニット２６０の重心にほぼ重なると見なされてもよい。いくつかの実施例において、第３の弾性部品が不規則な構造体であるとき、又は密度が不均一であるとき、第３の弾性部品の実際の重心が質量ユニット２６０の重心にほぼ重なると見なされてもよい。ほぼ重なるとは、第３の弾性部品の実際の重心又は第３の弾性部品の図心と質量ユニット２６０の重心との距離が一定の範囲内にあり、例えば、１００μｍより小さく、５００μｍより小さく、１ｍｍより小さく、２ｍｍより小さく、３ｍｍより小さく、５ｍｍより小さく、１０ｍｍより小さいなどであることを意味してもよい。

【0101】

第３の弾性部品の図心が質量ユニット２６０の重心に重なるか又はほぼ重なるとき、第３の弾性部品の第１の方向での振動の共振周波数を変化させずに、第３の弾性部品の第２の方向での振動の共振周波数を高周波にシフトさせることができる。第３の弾性部品の第１の方向での振動の共振周波数は、基本的に変化しないように保持することができ、例えば、第３の弾性部品の第１の方向での振動の共振周波数は、人の耳による感知が比較的に強い周波数範囲（例えば、２０Ｈｚ～２０００Ｈｚ、２０００Ｈｚ～３０００Ｈｚなど）内の周波数であってもよい。第３の弾性部品の第２の方向での振動の共振周波数は、高周波にシフトし、人の耳による感知が比較的に弱い周波数範囲（例えば、５０００Ｈｚ～９０００Ｈｚ、１ｋＨｚ～１４ｋＨｚなど）内の周波数に位置してもよい。

【0102】

図１０は、本願のいくつかの実施例に係るセンサ素子の概略図である。センサ素子１０１０は、１つの独立したデバイスであってもよい。センサ素子１０１０は、特定のタイプのエネルギー変換部品（図示せず）と組み立てられる（例えば、グルーで貼り合わせられるか又は接着され、又は他の取り外し可能な方式で結合される）ことにより、高感度のセンサ装置（例えば、センサ装置１０、センサ装置２１０）を構成する。上記特定のタイプのエネルギー変換部品は、第１のセンサキャビティ１０５０の体積の変化に応答して、所望の信号（例えば、電気信号）を生成することができる。上記特定のタイプのエネルギー変換部品は、例えば、音響エネルギー変換部品、例えば気導マイクロフォンを含んでもよい。

【0103】

図１０に示すように、センサ素子１０１０は、ハウジング２４０、質量ユニット２６０、第１のセンサキャビティ１０５０及び弾性部品８２０を含んでもよい。図１０に示す弾性部品８２０、質量ユニット２６０及びハウジング２４０は、図８に示すセンサ装置８１０の対応する部品又はユニットと同じであってもよく、類似してもよく、ここでは説明を省略する。弾性部品８２０は、第１のセンサキャビティ１０５０の第１の側壁であり、ハウジング２４０と共に第１のセンサキャビティ１０５０を構成してもよい。第１のセンサキャビティ１０５０は、半密閉構造である。また、センサ素子１０１０の第１のセンサキャビティ１０５０が密閉されないため、輸送及び取り付け過程において塵埃及び不純物が第１のセンサキャビティ１０５０に入り、センサ素子１０１０の性能に影響を与える可能性がある。したがって、いくつかの実施例において、密閉されないセンサ素子１０１０の開口、即ち第１のセンサキャビティ１０５０の開口側に防塵構造が設置されてもよい。防塵構造の例は、防塵膜、防塵カバーなどを含んでもよい。

【0104】

センサ素子１０１０は、独立したデバイスであり、上記特定のタイプのエネルギー変換部品に接続されて、センサ装置（例えば、センサ装置１０、センサ装置２１０）を構成する。例えば、上記センサ素子１０１０は、エネルギー変換部品（例えば、音響トランスデューサを含む）と貼り合わせられ、上記エネルギー変換部品は、弾性部品８２０に対向して配置されて密閉センサキャビティを形成する。上記エネルギー変換部品は、上記密閉センサキャビティの体積変化を電気信号に変換する。いくつかの実施例において、上記エネルギー変換部品は、接続基板１０３１に接続される。例えば、上記エネルギー変換部品は、接続基板１０３１のセンサ素子１０１０から離れる側に接続される。接続基板１０３１は、プリント回路基板（ＰＣＢ基板）、例えば、ＰＣＢ紙フェノール基板、ＰＣＢ複合基板、ＰＣＢガラス繊維基板、ＰＣＢ金属基板、積層法によるＰＣＢ多層基板などであってもよい。いくつかの実施例において、接続基板１０３１は、エポキシガラスガラスクロスで製造されたＦＲ－４グレードのＰＣＢガラス繊維基板であってもよい。いくつかの実施例において、接続基板１０３１は、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）であってもよい。接続基板１０３１に（例えば、レーザエッチング、化学エッチング、埋設などの方式で）回路及び他のデバイス、例えば、プロセッサ、メモリなどが設置されてもよい。いくつかの実施例において、上記エネルギー変換部品は、固定接着剤又は金属ピンにより接続基板１０３１に固定接続されてもよい。いくつかの実施例において、固定接着剤は、導電性接着剤（例えば、導電性銀接着剤、銅粉末導電性接着剤、ニッケル炭素導電性接着剤、銀銅導電性接着剤など）であってもよい。上記導電性接着剤は、導電性グルー、導電性接着フィルム、導電性接着リング、導電性テープなどであってもよい。上記接続基板１０３１は、少なくとも１つの開口１０３３を含む。上記エネルギー変換部品におけるセンサ信号を取得する素子（例えば、気導マイクロフォンの振動膜）は、開口１０３３により上記第１のセンサキャビティ１０５０に連通してもよい。

【0105】

センサ素子１０１０のハウジング２４０を接続基板１０３１に接続することにより、センサ素子１０１０と、接続基板１０３１及びそれに接続されたエネルギー変換部品とはセンサ装置を構成してもよい。ハウジング２４０と接続基板１０３１との接続方式は、接着、係止、溶接、リベット接合、釘接合などを含んでもよい。このとき、弾性部品８２０、ハウジング２４０、接続基板１０３１及びエネルギー変換部品におけるセンサ信号を取得する素子は、共に密閉されたセンサキャビティ（例えばセンサキャビティ２５０）を構成してもよい。上記第１のセンサキャビティ１０５０は、該密閉センサキャビティの一部（例えば、サブキャビティ）である。接続基板１０３１及びエネルギー変換部品におけるセンサ信号を取得する素子は、上記密閉センサキャビティの第２の側壁を構成してもよい。

【0106】

弾性部品８２０で構成された第１の側壁に突起構造８２３が設置される。突起構造８２３は、センサキャビティ又はセンサキャビティ１０５０の一部の体積を減少させることにより、センサ装置の感度を向上させることができる。いくつかの実施例において、センサ素子１０１０と上記エネルギー変換部品がセンサ装置を構成するとき、突起構造は、センサキャビティの第２の側壁に当接するように構成されてもよい。センサ装置１０１０が動作状態にあるとき、弾性部品８２０は、突起構造２２３を駆動して振動させ、かつセンサキャビティの第２の側壁に押し付けることにより、弾性変形を生成する。突起構造が弾性変形するとき、センサキャビティの体積変化量を増加させることにより、センサ装置１０１０の感度を向上させることができる。また、突起構造の存在により、弾性部品８２０とセンサキャビティの第２の側壁との接触面積を効果的に減少させることができるため、センサキャビティを構成する第２の側壁との粘着を防止し、センサ装置１０１０の安定性及び信頼性を向上させることができる。

【0107】

なお、接続基板１０３１は、センサ素子１０１０の一部であってもよく、特定のタイプのエネルギー変換部品は、接続基板１０３１に接続されることにより、センサ素子１０１０と共にセンサ装置を構成する。このとき、弾性部品、ハウジング２４０及び接続基板１０３１は、センサキャビティ１０５０の一部を構成する。

【0108】

以上のセンサ素子１０１０の構造に対する説明は、具体的な例に過ぎず、唯一の実行可能な実施形態と見なされるべきではない。明らかに、当業者は、骨伝導スピーカの基本的な原理を理解した後、この原理から逸脱することなく、センサ素子１０１０を実装する具体的な方式及びステップの形態及び詳細に様々な修正及び変更を行うことができ、これらの修正及び変更は、依然として以上に説明した範囲内にある。例えば、センサ素子１０１０は、質量ユニット２６０を含まなくてもよい。また例えば、センサ素子１０１０が音響トランスデューサの接続基板１０３１に接続されるとき、突起構造２２３は、接続基板１０３１で構成された第２の側壁に当接しなくてもよい。

【0109】

上記で基本概念を説明してきたが、当業者にとっては、上記発明の開示は、単なる例として提示されているに過ぎず、本願を限定するものではないことは明らかである。本明細書において明確に記載されていないが、当業者は、本願に対して様々な変更、改良及び修正を行うことができる。これらの変更、改良及び修正は、本願において示唆されているため、本願の例示的な実施例の精神及び範囲内にある。

【0110】

さらに、本願の実施例を説明するために、本願において特定の用語が使用されている。例えば、「１つの実施例」、「一実施例」、及び／又は「いくつかの実施例」は、本願の少なくとも１つの実施例に関連した特定の特徴、構造又は特性を意味する。したがって、本明細書の様々な部分における２回以上言及した「一実施例」又は「１つの実施例」又は「１つの代替的な実施例」は、必ずしもすべてが同一の実施例を指すとは限らないことを強調し、理解されたい。また、本願の１つ以上の実施例における特定の特徴、構造、又は特性は、適切に組み合わせられてもよい。

【0111】

さらに、当業者には理解されるように、本願の各態様は、任意の新規かつ有用なプロセス、機械、製品又は物質の組み合わせ、又はそれらへの任意の新規かつ有用な改善を含むいくつかの特許可能なクラス又はコンテキストで、例示及び説明され得る。よって、本願の各態様は、完全にハードウェアによって実行されてもよく、完全にソフトウェア（ファームウェア、常駐ソフトウェア、マイクロコードなどを含む）によって実行されてもよく、ハードウェア及びソフトウェアの組み合わせによって実行されてもよい。以上のハードウェア又はソフトウェアは、いずれも「データブロック」、「モジュール」、「エンジン」、「ユニット」、「アセンブリ」又は「システム」と呼ばれてもよい。さらに、本願の各態様は、コンピュータ可読プログラムコードを含む１つ以上のコンピュータ可読媒体に具現化されたコンピュータプログラム製品の形態を取ることができる。

【0112】

さらに、特許請求の範囲に明確に記載されていない限り、本願に記載の処理要素又はシーケンスの列挙した順序、英数字の使用、又は他の名称の使用は、本願の手順及び方法の順序を限定するものではない。上記開示において、発明の様々な有用な実施例であると現在考えられるものを様々な例を通して説明しているが、そのような詳細は、説明のためのものに過ぎず、添付の特許請求の範囲は、単に、開示される実施例に限定されず、反対に、本願の実施例の趣旨及び範囲内にあるすべての修正及び等価な組み合わせを含むように意図されることが理解されたい。例えば、上述したシステムアセンブリは、ハードウェアデバイスにより実装されてもよいが、ソフトウェアのみの解決手段、例えば、既存のサーバ又はモバイル装置に説明されたシステムをインストールすることにより実装されてもよい。

【0113】

同様に、本願の実施例の前述の説明では、本願に開示されているものを簡略化して、１つ以上の発明の実施例への理解を容易にするために、様々な特徴は１つの実施例、図面又はその説明にまとめられることがあることが注意されたい。しかしながら、このような開示方法は、本願の対象が各請求項で列挙される特徴よりも多くの特徴を必要とすることを意味するものではない。実際に、実施例の特徴は、上記開示された単一の実施例のすべての特徴より少ない。

【0114】

いくつかの実施例において成分及び属性の数を説明する数字が使用されており、このような実施例を説明するための数字は、いくつかの例において修飾語「約」、「ほぼ」又は「実質的」などによって修飾されることが理解されるべきである。特に明記しない限り、「約」、「ほぼ」又は「実質的」は、上記数字が説明する値の±２０％の変動が許容されることを示す。よって、いくつかの実施例において、明細書及び特許請求の範囲において使用されている数値データは、いずれも特定の実施例に必要な特性に応じて変化し得る近似値である。いくつかの実施例において、数値データについては、規定された有効桁数を考慮すると共に、通常の丸め手法を適用するべきである。本願のいくつかの実施例におけるその範囲を決定するための数値範囲及びデータは近似値であるにもかかわらず、具体的な実施例では、このような数値は実現可能な範囲において可能な限り正確に設定される。

【0115】

最後に、本願に記載の実施例は、本願の実施例の原理を説明するものに過ぎないことが理解されたい。他の変形例も本願の範囲内に含まれる可能性がある。したがって、限定的なものではなく、例示的なものとして、本願の実施例の代替構成は、本願の教示と一致すると見なされてもよい。よって、本願の実施例は、本願において明確に紹介して説明された実施例に限定されない。

【符号の説明】

【0116】

１０、２１０、７１０、８１０、９１０ センサ装置
２０、２２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０ 弾性部品
２１、２２１、７２１、８２１ 弾性薄膜
２３、２２３、４２３、５２３、６２３、８２３ 突起構造
３０、２３０ エネルギー変換部品
４０、２４０ ハウジング
５０、２５０、１０５０ センサキャビティ
２６０ 質量ユニット
２７０ 密封ユニット
７２５、８２５ 弾性微細構造層
１０１０ センサ素子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】