特許 7513399 クリーンベンチ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-01

(45)【発行日】2024-07-09

(54)【発明の名称】クリーンベンチ装置

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20240702BHJP

   B01L 1/00 20060101ALI20240702BHJP

   H05F 3/04 20060101ALN20240702BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

B01L1/00 B

H05F3/04 D

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020008983

(22)【出願日】2020-01-23

(65)【公開番号】P2021116944

(43)【公開日】2021-08-10

【審査請求日】2022-11-21

(73)【特許権者】

【識別番号】390008235

【氏名又は名称】ファナック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(74)【代理人】

【識別番号】100160794

【弁理士】

【氏名又は名称】星野 寛明

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 堅一

(72)【発明者】

【氏名】土屋 均

(72)【発明者】

【氏名】永田 裕二

【審査官】広瀬 雅治

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－２９６０４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－３０９０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０３３４９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６１－０１０４４６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１５－１１１０３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２３８６６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１４５０５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０２９３２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－２２８２２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２５７６８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２９８３３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０４２６７７６９（ＵＳ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２００６－０１１６７７０（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ ７／０６

Ｂ０１Ｌ １／００

Ｈ０５Ｆ ３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１清浄室と、
前記第１清浄室の天井部に設けられ、該第１清浄室の内部に清浄化した空気を供給する第１清浄空気供給部と、
前記第１清浄室の内側に配設され、作業台を内部に有する第２清浄室と、
前記第２清浄室の天井部に設けられ、前記第１清浄空気供給部から供給される空気が導入されるとともに、前記第２清浄室の内部に清浄化した空気を送出する第２清浄空気供給部と、
前記第１清浄室の内側に形成される空気流路と、を備え、
前記空気流路は、前記第１清浄空気供給部から前記第２清浄空気供給部を通過して前記第２清浄室の内部に入り、さらに前記作業台の下方に出てから、前記第２清浄室の外側の空間であって前記第１清浄室の内側の空間を上昇して前記第２清浄空気供給部に再度導入される経路を有し、
前記第２清浄室の室内の環境をモニタする測定装置をさらに有し、前記第１清浄空気供給部および前記第２清浄空気供給部の運転状況が、前記測定装置の測定値をフィードバックしながら制御される、クリーンベンチ装置。

【請求項2】

前記作業台は、該作業台の上方の空間と下方の空間とを連通する多孔質プレートを含む、請求項１に記載のクリーンベンチ装置。

【請求項3】

前記第２清浄室に異物除去装置が設けられる、請求項１または２に記載のクリーンベンチ装置。

【請求項4】

前記第２清浄室に、前記作業台に供給される物品の電荷を中和させる除電装置が設けられる、請求項１～３のいずれかに記載のクリーンベンチ装置。

【請求項5】

前記除電装置は、直流電圧が印加される直流方式である、請求項４に記載のクリーンベンチ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリーンベンチ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体部品や光学機械部品等の精密部品を組み立てる際には、部品への異物の付着や浸入等を抑制して高品質を維持するために、クリーン環境下で組み立てを行う場合がある。クリーン環境としては、室内全体が所定レベルの清浄度に維持されるクリーンルームが一般的であるが、通常の室内の一部にクリーンエリアを局所的に形成してスペースやコストの効率化を図るいわゆるクリーンベンチも使用されている。

【0003】

上記クリーンベンチのような局所クリーン化を図る装置として、特許文献１には、クリーン作業を行うための上側の第１室と、隔壁によって第１室と仕切られるとともに第１室に連通する連通口を有し、連通口を通して第１室にワークを供給および搬出する搬送機構が設けられた下側の第２室と、を備えた装置が開示されている。当該装置においては、第２室にはワークを洗浄する洗浄ユニットが設けられ、その洗浄ユニットで洗浄されたワークが第２室から第１室に搬送される。また、第１室に設けられたクリーンユニットから第１室内に清浄な空気が供給され、その清浄な空気は、隔壁の連通口を通って搬送機構ないしは第２室に向かって流れるとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１０－１０１５２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記特許文献１に開示されるような装置においては、クリーン作業を行う第１室の清浄度は、第１室に清浄な空気を供給するクリーンユニットの性能に依存するとともに、その性能以上の空気清浄度は得にくい。よって第１室の空気清浄度を向上させるには、より高性能のクリーンユニットを第１室に設置すれば可能となる。しかし、そのようなクリーンユニットは高額であるため、クリーンベンチでありながらコストが掛かってしまうという不都合を招く。また、第１室の上に第２室が設けられる２段構造のため、コンパクトに構成することが難しいものである。したがって、低コスト化およびコンパクト化が図られながら高い空気清浄度が得られるクリーンベンチ装置が望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様に係るクリーンベンチ装置は、第１清浄室と、前記第１清浄室の天井部に設けられ、該第１清浄室の内部に清浄化した空気を供給する第１清浄空気供給部と、前記第１清浄室の内側に配設され、作業台を内部に有する第２清浄室と、前記第２清浄室の天井部に設けられ、前記第１清浄空気供給部から供給される空気が導入されるとともに、前記第２清浄室の内部に清浄化した空気を送出する第２清浄空気供給部と、前記第１清浄室の内側に形成される空気流路と、を備え、前記空気流路は、前記第１清浄空気供給部から前記第２清浄空気供給部を通過して前記第２清浄室の内部に入り、さらに前記作業台の下方に出てから、前記第２清浄室の外側の空間であって前記第１清浄室の内側の空間を上昇して前記第２清浄空気供給部に再度導入される経路を有する。

【発明の効果】

【0007】

一態様によれば、低コスト化およびコンパクト化が図られながら高い空気清浄度が得られるクリーンベンチ装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本開示の一実施形態に係るクリーンベンチ装置を示す正面図である。

【図2】図１のII－II矢視図である。

【図3】図２のIII－III矢視に対応する部分のクリーンベンチ装置の縦断面図であって、第１清浄室内の空気流路の経路を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（実施形態）
以下、本開示の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１～図３は、本開示の一実施形態に係るクリーンベンチ装置１を示している。図１に示すように、クリーンベンチ装置１は、例えば空気が清浄化されない通常の室内（一般室の室内）ＲのフロアＦに設置される。

【0010】

図１～図３に示すように、クリーンベンチ装置１は、第１清浄室１０と、第１清浄空気供給部１１と、第１清浄室１０の内側に配設される第２清浄室２０と、第２清浄空気供給部２１と、第１清浄室１０の内側に形成される空気流路３０と、を備える。また、クリーンベンチ装置１は、第１清浄室１０の内側に、組立部２、搬送部３および搬入出部４を備える。

【0011】

図１および図２に示すように、第１清浄室１０は、ラック部１２と、天井部１３と、ラック部１２の周囲を覆うカーテン部１４と、を有する。ラック部１２は、四隅に立設される柱部１２ａと、各柱部１２ａの下端を連結して矩形状の枠を形成する底部１２ｂと、底部１２ｂの四隅に設けられてフロアＦに接地する脚部１２ｃと、を有する。天井部１３は、四隅の各柱部１２ａの上端に固定されて設けられている。天井部１３は、フレーム１３ａと、フレーム１３ａに張られる透明なシート（不図示）と、を有する。カーテン部１４は、複数に分割された透明なシートで構成されている。カーテン部１４は、ラック部１２の柱部１２ａの間を覆う状態に設けられている。

【0012】

図１に示すように、カーテン部１４の下端とフロアＦとの間には、第１清浄室１０の室内１０ａの空気が排出される隙間１４ａが形成される。第１清浄室１０の室内１０ａは、天井部１３とカーテン部１４とにより室内Ｒとほぼ隔てられた内部空間を有する。カーテン部１４は、作業者Ｍが外部から腕を入れて第１清浄室１０の内部で手作業が行えるようにする作業者Ｍ用の手袋部を有していてもよい。

【0013】

図２に示すように、第１清浄室１０は、前側（図２で下側）の左右に、搬入出口１９をそれぞれ有する。左右の搬入出口１９は、後述するように組立部２で組み立てられた部品（不図示）を当該クリーンベンチ装置１の外部に搬出する部分である。

【0014】

第１清浄空気供給部１１は、第１清浄室１０の天井部１３の上に設けられている。第１清浄空気供給部１１は、ＦＦＵ（ファンフィルターユニット）等の電動式空気ろ過装置である。第１清浄空気供給部１１には、例えば空調機によって温度および湿度が制御された空気がダクトを通じて供給される。第１清浄空気供給部１１は、供給された空気中に存在する浮遊粒子等の有害な異物を除去して清浄化し、清浄化した空気を、第１清浄室１０の室内１０ａに下方に向けて吹き出して供給する。

【0015】

第２清浄室２０は、組立部２を構成する。組立部２は、第２清浄室２０の室内２０ａにおいて所定の部品を組立ロボット２９によって組み立てる場所である。

【0016】

図２に示すように、第２清浄室２０は、第１清浄室１０の室内１０ａの後側（図２で上側）に配置されている。図１および図２に示すように、後壁部２２ａと、左右の側壁部２２ｂと、天井部２３と、作業台２４と、を有する。天井部２３は、壁部２２の上端に固定されて設けられている。

【0017】

図３に示すように、作業台２４は、直方体の箱状の形状を有する架台２５の上に設置された状態で第２清浄室２０の室内２０ａに設けられている。架台２５は、脚部２５ｃを介してフロアＦに設置される。架台２５の底部には、開口部２５ｂが設けられている。第２清浄室２０の室内２０ａは、後壁部２２ａ、左右の側壁部２２ｂ、天井部２３および作業台２４によって区画される。第２清浄室２０は、前方に開口する前方開口部２０ｂを有する。

【0018】

作業台２４は、作業台２４の上方の空間（第２清浄室２０の室内２０ａ）と下方の空間（架台２５の内部空間２５ａ）とを連通する多孔質プレート２６を含んで構成される。多孔質プレート２６は、第２清浄室２０の室内２０ａと架台２５の内部空間２５ａとを連通する多数の孔２６ａを有する。

【0019】

図２に示すように、第２清浄室２０の室内２０ａにおける作業台２４の後部には、多関節アーム型の組立ロボット２９が配置されている。組立ロボット２９は、作業台２４の上に供給される部品を組み立てる。

【0020】

図１に示すように、第２清浄室２０の室内２０ａには、異物除去装置４０および除電装置（イオナイザ）５０が設けられている。

【0021】

異物除去装置４０としては、第２清浄室２０の室内に浸入したり、作業台２４に供給された部品に付着したりする塵埃等の異物を吸引して除去するバキュームブラシが挙げられる。異物除去装置４０は、作業者Ｍが操作するように設けられてもよく、また、組立ロボット２９に付随して設けられ、組立ロボット２９により操作可能なものであってもよい。異物除去装置４０は、イオナイザ等の除電機能を備えたものであってよい。その場合、部品に付着した異物を吸引して除去できるとともに、部品の電荷が中和されて異物の再付着が抑制される。

【0022】

除電装置５０は、作業台２４に供給される部品の電荷を中和させる装置であり、部品が静電気で帯電することを抑制する。除電装置５０としては、コロナ放電の発生により周囲の空気をイオン化して除電する一般周知の形式のものが用いられる。

【0023】

除電装置５０としては、直流電圧が印加されることにより放出されるイオンの極性が、プラスの電極とマイナスの電極を備えた直流方式と、交流電圧が印可されることによりプラスとマイナスの各イオンが１つの電極から交互に放出される交流方式がある。交流方式は、比較的局所的に除電する特性を有するため、本実施形態では、第２清浄室２０の室内２０ａを全体的にイオン化する直流方式のものが好ましく用いられる。

【0024】

図１に示すように、第２清浄空気供給部２１は、第２清浄室２０の天井部２３の上であって、第１清浄空気供給部１１の直下に配置されている。第２清浄空気供給部２１は、第１清浄空気供給部１１と同様の構成を有する電動式空気ろ過装置である。図３に示すように、天井部２３は、空気送出口２３ａを有する。第２清浄空気供給部２１は、第１清浄空気供給部から第１清浄室１０の室内１０ａに供給される空気（清浄化した空気）が導入されるとともに、第２清浄室２０の室内２０ａに清浄化した空気を下方に向けて噴出し供給する。

【0025】

空気流路３０は、図３の白抜き矢印で示す経路３１を有する。経路３１は、第１清浄空気供給部１１から第２清浄空気供給部２１を通過して第２清浄室２０の室内２０ａに入り、次いで作業台２４の下方に出てから、第２清浄室２０の外側であって第１清浄室１０の内側の空間を上昇して第２清浄空気供給部２１に再度導入される経路である。第１清浄空気供給部１１から第１清浄室１０の室内１０ａに供給される清浄な空気の一部は、第１清浄室１０の室内において経路３１をループ状に循環する。

【0026】

詳述すると経路３１を循環する空気は、次のように流れる。第１清浄空気供給部１１から第１清浄室１０の室内１０ａに供給される清浄な空気は、第１清浄空気供給部１１から第２清浄空気供給部２１に導入されて第２清浄空気供給部２１を通過することにより、第２清浄空気供給部２１によってさらに清浄化されて第２清浄室２０の室内２０ａに供給される。第２清浄室２０の室内２０ａ内に供給された空気は、その室内２０ａに充満した状態となる。第２清浄室２０の室内２０ａに充満した空気の一部は、作業台２４を構成する多孔質プレート２６の多数の孔２６ａを通過して架台２５の内部空間２５ａに入る。内部空間２５ａに入った空気は、架台２５の開口部２５ｂから架台２５の下方に流出して側方に流れ、その後、カーテン部１４と、架台２５および第２清浄室２０との間を上昇し、第２清浄空気供給部２１に再度導入される。また、第２清浄室２０の室内２０ａに充満した空気の一部は、第２清浄室２０の前方開口部２０ｂから第１清浄室１０の室内１０ａに排出される。

【0027】

第１清浄室１０の室内１０ａおよび第２清浄室２０の室内２０ａは、第１清浄空気供給部１１から供給される空気で加圧され、正圧の状態に維持される。このため、カーテン部１４の一部を開閉して部品や作業者Ｍが出入りした場合も、第１清浄室１０の室内１０ａに塵埃等の異物の浸入が抑えられるようになっている。第１清浄室１０の室内１０ａを正圧にする空気の一部は、カーテン部１４とフロアＦとの間の隙間１４ａから当該クリーンベンチ装置１の外部に流出する。

【0028】

搬送部３は、組立部２の作業台２４の上で組み立てられた部品を搬入出部４に搬送する部分である。図２に示すように、搬送部３は、組立部２から搬入出部４にわたって設けられた搬送テーブル６１を有する。搬送テーブル６１は、１軸の駆動機能を備えたＮＣテーブル等から構成される。組立部２の作業台２４の上で組み立てられた部品は、搬送テーブル６１に載せられ、部品と搬送テーブル６１が通過可能な前方開口部２０ｂを通過して搬入出部４に搬送される。

【0029】

搬入出部４は、搬送部３で搬送される部品を左右の搬入出口１９に搬出する部分である。図２に示すように、搬入出部４は、左右の搬入出テーブル６５と、搬送テーブル６１で搬送される部品を左右の搬入出テーブル６５に移す多関節アーム型の移送ロボット６６とを有する。搬入出テーブル６５は、ベルト式のコンベヤ等から構成される。搬入出部４は、搬送テーブル６１で搬送される部品を移送ロボット６６がいずれか一方の搬入出テーブル６５に移し換え、搬入出テーブル６５により搬入出口１９に搬出する。搬入出口１９において、部品が搬入出テーブル６５から作業者Ｍに受け渡される。図１に示すように、移送ロボット６６は、脚部６７ｃを介してフロアＦに設置されるロボット台６７の上に配置される。

【0030】

本実施形態に係るクリーンベンチ装置１では、組立部２において部品が組み立てられる。組み立て前の部品は、第１清浄室１０の外部から作業者Ｍにより搬入出口１９に供給され、搬入出テーブル６５で移送ロボット６６の稼動範囲に搬送された後に移送ロボット６６により搬入出部４に移送された後、搬送テーブル６１により組立ロボット２９の組立位置に供給される。上述したようにカーテン部１４が作業者Ｍ用の手袋部を有する場合、移送ロボット６６による作業を、当該手袋部に腕を入れた作業者Ｍによって手作業で行うようにしてもよい。部品を組み立てる際には、組立ロボット２９が異物除去装置４０を用いて部品を清浄にしながら、部品を組み立てる。作業台２４上で組み立てられた部品は、搬送部３の搬送テーブル６１により搬入出部４に搬送される。搬入出部４では、搬送テーブル６１で搬送される部品を移送ロボット６６がいずれか一方の搬入出テーブル６５に移し換え、搬入出テーブル６５により搬入出口１９に搬出する。搬入出口１９において、部品が搬入出テーブル６５から作業者Ｍに受け渡される。

【0031】

本実施形態のクリーンベンチ装置１は、第２清浄室２０の室内２０ａの環境をモニタできる各種測定装置を適宜設けることができる。そのような測定装置としては、室内２０ａに浮遊する塵埃や粉じん等の量を計測するダストカウンタ、温度計および湿度計、圧力測定装置などが挙げられる。例えば第１清浄空気供給部１１および第２清浄空気供給部２１の運転状況は、当該測定装置の測定値をフィードバックしながら制御される。

【0032】

以上の構成を備える本実施形態に係るクリーンベンチ装置１によれば、以下の効果が奏される。

【0033】

本実施形態に係るクリーンベンチ装置１は、第１清浄室１０と、第１清浄室１０の天井部１３に設けられ、第１清浄室１０の室内１０ａに清浄化した空気を供給する第１清浄空気供給部１１と、第１清浄室１０の室内１０ａに配設され、作業台２４を内部に有する第２清浄室２０と、第２清浄室２０の天井部２３に設けられ、第１清浄空気供給部１１から供給される空気が導入されるとともに、第２清浄室２０の室内２０ａに清浄化した空気を送出する第２清浄空気供給部２１と、第１清浄室１０の室内１０ａに形成される空気流路３０と、を備え、空気流路３０は、第１清浄空気供給部１１から第２清浄空気供給部２１を通過して第２清浄室２０の室内２０ａに入り、作業台２４の下方に出てから、第２清浄室２０の外側の空間であって第１清浄室１０の内側の空間を上昇して第２清浄空気供給部２１に再度導入される経路３１を有する。

【0034】

部品が組み立てられる第２清浄室２０の室内２０ａに供給される空気は、第１清浄空気供給部１１で清浄化された空気がさらに第２清浄空気供給部２１で清浄化されて第２清浄室２０に供給される。また、経路３１を循環する空気が、第２清浄空気供給部２１で常に清浄化されて第２清浄室２０に供給される。このため、第２清浄室２０の空気は高い清浄度が得られる。例えば、第１清浄空気供給部１１および第２清浄空気供給部２１の双方がともにクラス１０００（米国連邦規格）程度の清浄度の空気を供給可能な性能を備えたものである場合、第２清浄室２０の室内２０ａはクラス１００程度の空気清浄度が可能となる。したがって、クラス１００程度の清浄度が得られる高性能の空気清浄装置を用いることなく、低コストで高い清浄度の空気を第２清浄室２０の室内２０ａに供給することができる。また、このように第２清浄室２０の室内２０ａを高い空気清浄度に保持することができることから、搬送作業等の一部を作業者Ｍが行っても、クリーンベンチ装置１内の清浄度が低下することが抑制される。また、クリーンベンチ装置１は、第１清浄室１０の室内１０ａに第２清浄室２０が配設された二重構造となっている。これにより、装置全体のコンパクト化が図られる。すなわち本実施形態に係るクリーンベンチ装置１は、低コスト化およびコンパクト化が図られながら高い空気清浄度が得られる。

【0035】

本実施形態に係るクリーンベンチ装置１において、作業台２４は、作業台２４の上方の空間（第２清浄室２０の室内２０ａ）と下方の空間（架台２５の内部空間２５ａ）とを連通する多孔質プレート２６を含んで構成される。多孔質プレート２６は、第２清浄室２０の室内２０ａと架台２５の内部空間２５ａとを連通する多数の孔２６ａを有する。

【0036】

これにより、第２清浄室２０の室内２０ａに存在する異物は、下方に流れる空気の流れとともに多孔質プレート２６の孔２６ａを通過して架台２５の内部空間２５ａに流出する。このため、第２清浄室２０の室内２０ａから異物が速やかに除去され、第２清浄室２０の清浄な状態が保持される。

【0037】

本実施形態に係るクリーンベンチ装置１は、第２清浄室２０に異物除去装置４０が設けられる。

【0038】

これにより、第２清浄室２０の室内２０ａに存在する異物が異物除去装置４０で除去され、第２清浄室２０の清浄度の低下を抑制することができる。異物除去装置４０が上述したバキュームブラシの場合、作業台２４の上で組み立てられる部品にバキュームブラシを接触させて異物を除去することにより、部品に付着する異物を効果的に除去することができる。

【0039】

本実施形態に係るクリーンベンチ装置１は、第２清浄室２０に、作業台２４に供給される物品の電荷を中和させる除電装置５０が設けられる。

【0040】

除電装置５０により、第２清浄室２０の室内２０ａに供給された部品の電荷が中和され、部品が静電気で帯電することが抑えられる。このため、第２清浄室２０の室内２０ａに浸入した異物が静電気により部品に付着することが抑えられ、部品の汚染が抑制される。

【0041】

本実施形態に係るクリーンベンチ装置１において、除電装置５０は、直流電圧が印加される直流方式が好ましく用いられる。

【0042】

除電装置５０が直流方式である場合には、第２清浄室２０の室内２０ａが全体的にイオン化されて除電環境にすることができる。このため、第２清浄室２０の室内２０ａにおいて異物が部品に付着しにくくなり、異物は空気の流れにより多孔質プレート２６の孔２６ａを通過して第２清浄室２０から速やかに排除される。これにより第２清浄室２０の室内２０ａは高い清浄度が保持される。

【0043】

本開示は、上記実施形態に制限されることなく本開示の範囲内であれば適宜変更が可能である。
例えば、第１清浄室１０は周囲がカーテン部１４で覆われ、天井部１３もシートで覆われた形態であるが、第１清浄室１０を室内Ｒから区画する部材はカーテン部１４やシートに限定されず、透明なボード等の他の部材で構成してもよい。
第２清浄室２０は前方開口部２０ｂを有し前方に開口しているが、前方開口部２０ｂをドア等で開閉可能として密閉度を上げて、第２清浄室２０の室内２０ａの清浄度をさらに向上させるようにしてもよい。
異物除去装置４０としては上述したバキュームブラシに限定はされず、第２清浄室２０の室内２０ａ内に存在する塵埃等の異物を除去できるものであれば、いかなる態様のものであってよい。

【符号の説明】

【0044】

１ クリーンベンチ装置
１０ 第１清浄室
１１ 第１清浄空気供給部
１３ 天井部
２０ 第２清浄室
２１ 第２清浄空気供給部
２４ 作業台
２６ 多孔質プレート
３０ 空気流路
３１ 経路
４０ 異物除去装置
５０ 除電装置

【図1】

【図2】

【図3】