特許 7514128 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-02

(45)【発行日】2024-07-10

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/06 20060101AFI20240703BHJP

【ＦＩ】

B25J9/06 D

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020119166

(22)【出願日】2020-07-10

(65)【公開番号】P2022015960

(43)【公開日】2022-01-21

【審査請求日】2023-06-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】栗林 保

(72)【発明者】

【氏名】風間 俊道

【審査官】臼井 卓巳

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１１／１３５９８６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平０５－３１８３７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１５６７７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０６９５６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－００６０８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－２６６９６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０５１５０２４０（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ ９／０６－１７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

水平多関節型の産業用ロボットにおいて、
アームの一部を構成する中空状のアーム部と、前記アーム部の先端部に回動可能に連結される２個の回動部と、２個の前記回動部のそれぞれを回動させる２個の駆動機構とを備え、
２個の前記回動部は、上下方向を回動の軸方向として回動し、
２個の前記回動部の回動中心は、一致しており、
２個の前記駆動機構のそれぞれは、駆動源としてのモータと前記モータ側に固定される駆動プーリとを含む駆動部と、前記回動部側に固定される従動プーリと、前記駆動プーリと前記従動プーリとに掛け渡されるベルトとを備えるとともに、前記アーム部の内部に配置され、
２個の前記従動プーリは、上下方向で重なり、
２個の前記従動プーリの軸心は、前記回動部の回動中心と一致しており、
２個の前記駆動部は、上下方向に直交する前記アーム部の長手方向において互いにずれた位置に配置され、
２個の前記ベルトは、上下方向において互いにずれた位置に配置され、
２個の前記駆動機構のうちの、最も前記アーム部の先端側に配置される前記駆動部を有する前記駆動機構を第１駆動機構とし、前記第１駆動機構を除いた残りの前記駆動機構を第２駆動機構とすると、
前記第２駆動機構は、前記第１駆動機構の前記駆動部と、前記第２駆動機構の前記ベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリを備え、
複数の前記アイドルプーリは、前記ベルトの内周側に配置され、前記アーム部の長手方向と上下方向とに直交する前記アーム部の幅方向における前記ベルトの間隔を広げているとともに、前記アーム部の長手方向において、前記第１駆動機構の前記駆動部と前記従動プーリとの間に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記第２駆動機構は、２個の前記アイドルプーリを備え、
２個の前記アイドルプーリは、前記アーム部の幅方向の外側に向かって互いに異なる方向へ前記ベルトを押していることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記回動部は、搬送対象物が搭載されるハンドであることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記第２駆動機構の前記駆動プーリのピッチ円径は、前記第１駆動機構の前記駆動プーリの前記ピッチ円径よりも大きくなっていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、水平多関節型の産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、２個のハンドのうちの一方のハンドを回動させる第１ハンド駆動機構と、他方のハンドを回動させる第２ハンド駆動機構とを備えている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームは、第１アーム部と第２アーム部と第３アーム部とから構成されている。本体部には、第１アーム部の基端側が回動可能に連結され、第１アーム部の先端側には、第２アーム部の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部の先端側には、第３アーム部の基端側が回動可能に連結され、第３アーム部の先端側には、２個のハンドが回動可能に連結されている。２個のハンドは、上下方向を回動の軸方向として回動する。２個のハンドの回動中心は一致している。

【0004】

第１ハンド駆動機構および第２ハンド駆動機構は、中空状に形成される第３アーム部の内部に配置されている。第１ハンド駆動機構は、駆動源となる第１モータと、第１モータに連結される第１減速機と、第１減速機の出力軸に取り付けられる第１駆動プーリと、一方のハンド側に固定される第１従動プーリと、第１駆動プーリと第１従動プーリとに掛け渡される第１ベルトとを備えている。第２ハンド駆動機構は、駆動源となる第２モータと、第２モータに連結される第２減速機と、第２減速機の出力軸に取り付けられる第２駆動プーリと、他方のハンド側に固定される第２従動プーリと、第２駆動プーリと第２従動プーリとに掛け渡される第２ベルトとを備えている。

【0005】

第１従動プーリと第２従動プーリとは、上下方向で重なっており、第１従動プーリの軸心と第２従動プーリの軸心とは一致している。第１モータ、第１減速機および第１駆動プーリは、第２モータ、第２減速機および第２駆動プーリよりも第３アーム部の先端側に配置されている。第２ベルトは、第１ベルトよりも上側に配置されている。第２ベルトの一部は、第１減速機の側方に配置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２０１１－２３０２５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第２ベルトの一部が第１減速機の側方に配置されているため、第２ベルトと第１減速機との隙間を確保して、第２ベルトと第１減速機との干渉を防止する必要がある。一方で、図７の概略平面図に示すように、第２アーム部に対する第３アーム部の回動中心と第２アーム部に対するハンドの回動中心との距離を保ちつつ、第２ベルト１０１と第１減速機１０２との隙間を広げていくと、第２従動プーリ１０３のピッチ円径が大きくなる（図７の破線参照）。そのため、第２ベルト１０１と第１減速機１０２との隙間を確保しようとすると、第２従動プーリ１０３が配置される第３アーム部の先端部の幅が広くなるおそれがある。なお、図７において、第２ベルト１０１は、第２駆動プーリ１０４と第２従動プーリ１０３とに掛け渡されている。

【0008】

そこで、本発明の課題は、アーム部の先端部に回動可能に連結される２個のハンド等の２個の回動部と、２個の回動部のそれぞれを回動させる２個の駆動機構とを備える水平多関節型の産業用ロボットにおいて、中空状に形成されるアーム部の内部に、ベルトを有する２個の駆動機構が配置されていても、一方の駆動機構のベルトと他方の駆動機構との干渉を確実に防止しつつ、アーム部の先端部の幅を狭めることが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、水平多関節型の産業用ロボットにおいて、アームの一部を構成する中空状のアーム部と、アーム部の先端部に回動可能に連結される２個の回動部と、２個の回動部のそれぞれを回動させる２個の駆動機構とを備え、２個の回動部は、上下方向を回動の軸方向として回動し、２個の回動部の回動中心は、一致しており、２個の駆動機構のそれぞれは、駆動源としてのモータとモータ側に固定される駆動プーリとを含む駆動部と、回動部側に固定される従動プーリと、駆動プーリと従動プーリとに掛け渡されるベルトとを備えるとともに、アーム部の内部に配置され、２個の従動プーリは、上下方向で重なり、２個の従動プーリの軸心は、回動部の回動中心と一致しており、２個の駆動部は、上下方向に直交するアーム部の長手方向において互いにずれた位置に配置され、２個のベルトは、上下方向において互いにずれた位置に配置され、２個の駆動機構のうちの、最もアーム部の先端側に配置される駆動部を有する駆動機構を第１駆動機構とし、第１駆動機構を除いた残りの駆動機構を第２駆動機構とすると、第２駆動機構は、第１駆動機構の駆動部と、第２駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリを備え、複数のアイドルプーリは、ベルトの内周側に配置され、アーム部の長手方向と上下方向とに直交するアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げているとともに、アーム部の長手方向において、第１駆動機構の駆動部と従動プーリとの間に配置されていることを特徴とする。

【0010】

本発明の産業用ロボットでは、中空状のアーム部の内部に配置される２個の駆動機構のうちの、最もアーム部の先端側に配置される駆動部を有する駆動機構を第１駆動機構とし、第１駆動機構を除いた残りの駆動機構を第２駆動機構とすると、第２駆動機構は、第１駆動機構の駆動部と、第２駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリを備えており、ベルトの内周側に配置される複数のアイドルプーリは、アーム部の長手方向と上下方向とに直交するアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げている。

【0011】

したがって、本発明では、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保するために、アイドルプーリによってアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げつつ、アイドルプーリよりもアーム部の先端側では、アイドルプーリが配置されていない場合よりも、アーム部の幅方向におけるベルトの間隔を狭めていく度合いを大きくすることが可能になる。

【0012】

そのため、本発明では、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保しつつ、アーム部の先端部に配置される第２駆動機構の従動プーリのピッチ円径を小さくすることが可能になる。その結果、本発明では、中空状のアーム部の内部に、ベルトを有する２個の駆動機構が配置されていても、一方の駆動機構のベルトと他方の駆動機構との干渉を確実に防止しつつ、アーム部の先端部の幅を狭めることが可能になる。また、本発明では、アイドルプーリは、アーム部の長手方向において、第１駆動機構の駆動部と従動プーリとの間に配置されているため、アイドルプーリが、アーム部の長手方向において、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構の駆動部との間に配置されている場合と比較して、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保しやすくなる。

【0013】

本発明において、第２駆動機構は、２個のアイドルプーリを備え、２個のアイドルプーリは、アーム部の幅方向の外側に向かって互いに異なる方向へベルトを押していることが好ましい。このように構成すると、２個のアイドルプーリを用いた簡易な構成でアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げることが可能になる。

【0014】

本発明において、たとえば、回動部は、搬送対象物が搭載されるハンドである。

【0016】

本発明において、第２駆動機構の駆動プーリのピッチ円径は、第１駆動機構の駆動プーリのピッチ円径よりも大きくなっていることが好ましい。このように構成すると、第２駆動機構の駆動プーリのピッチ円径が比較的大きくなるため、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保しやすくなる。

【発明の効果】

【0017】

以上のように、本発明では、アーム部の先端部に回動可能に連結される２個のハンド等の２個の回動部と、２個の回動部のそれぞれを回動させる２個の駆動機構とを備える水平多関節型の産業用ロボットにおいて、中空状に形成されるアーム部の内部に、ベルトを有する２個の駆動機構が配置されていても、一方の駆動機構のベルトと他方の駆動機構との干渉を確実に防止しつつ、アーム部の先端部の幅を狭めることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図3】図１に示すアーム部の内部の構成を説明するための断面図である。

【図4】図１に示すアーム部の内部の構成を説明するための平面図である。

【図5】図４のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。

【図6】図１に示す産業用ロボットの効果を説明するための平面図である。

【図7】従来技術の問題点を説明するための概略平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0020】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図３は、図１に示すアーム部１２の内部の構成を説明するための断面図である。

【0021】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２を搬送するための水平多関節型のロボットであり、半導体製造システムに組み込まれて使用される。ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。

【0022】

アーム６は、３個のアーム部１０～１２によって構成されている。アーム部１０の基端部は、本体部７に回動可能に連結されている。アーム部１１の基端部は、アーム部１０の先端部に回動可能に連結されている。アーム部１２の基端部は、アーム部１１の先端部に回動可能に連結されている。アーム部１０～１２は、上下方向を回動の軸方向として回動する。アーム部１０～１２は、中空状に形成されている。本体部７とアーム部１０とアーム部１１とアーム部１２とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。

【0023】

ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端部は、アーム部１２の先端部に回動可能に連結されている。ハンド４、５は、上下方向を回動の軸方向として回動する。ハンド４の基端部とハンド５の基端部とは上下方向で重なっている。本形態では、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。ハンド４の回動中心とハンド５の回動中心とは一致している。すなわち、２個のハンド４、５の回動中心は一致している。ハンド４、５は、アーム部１２よりも上側に配置されている。本形態のハンド４、５は、アーム部１２の先端部に回動可能に連結される回動部であり、ロボット１は、２個の回動部を備えている。

【0024】

本体部７は、筐体１３と、アーム部１０の基端部が回動可能に連結される柱状部材（図示省略）とを備えている。アーム部１０の基端部は、柱状部材の上端部に回動可能に連結されている。筐体１３の内部には、柱状部材を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。アーム昇降機構は、柱状部材が筐体１３に収容される位置と、柱状部材が筐体１３から上側に突出する位置との間で、アーム６および柱状部材を昇降させる。

【0025】

また、ロボット１は、アーム部１０、１１を回動させてアーム部１０とアーム部１１とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム駆動機構（図示省略）と、アーム部１１に対してアーム部１２を回動させるアーム回動機構（図示省略）とを備えている。さらに、ロボット１は、アーム部１２に対してハンド４を回動させるハンド駆動機構１６と、アーム部１２に対してハンド５を回動させるハンド駆動機構１７とを備えている。すなわち、ロボット１は、２個のハンド４、５のそれぞれを回動させる２個のハンド駆動機構１６、１７を備えている。以下、アーム部１２およびハンド駆動機構１６、１７の具体的な構成について説明する。

【0026】

（アーム部およびハンド駆動機構の構成）
図４は、図１に示すアーム部１２の内部の構成を説明するための平面図である。図５は、図４のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。

【0027】

アーム部１２は、上下方向から見たときの形状が略長円形状となる箱状に形成されている。また、アーム部１２は、上下方向の厚さが薄い扁平な箱状に形成されている。アーム部１２は、上下の両面に開口部が形成されるアーム部本体２０と、アーム部本体２０の上面の開口部を塞ぐ上カバー２１と、アーム部本体２０の下面の開口部を塞ぐ下カバー２２とを備えている。図４では、上カバー２１が取り外された状態のアーム部１２が図示されている。

【0028】

以下では、説明の便宜上、上下方向に直交する方向のうちの、略長円形状をなすアーム部１２の長手方向（図４等のＸ方向）を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交するアーム部１２の幅方向（アーム部１２の短手方向、図４等のＹ方向）を「前後方向」とする。また、以下の説明では、左右方向の一方側である図４等のＸ１方向側を「右」側とし、その反対側である図４等のＸ２方向側を「左」側とする。本形態では、右側（Ｘ１方向側）がアーム部１２の基端側となっており、左側（Ｘ２方向側）がアーム部１２の先端側となっている。

【0029】

ハンド駆動機構１６は、アーム部１２の内部に配置されている。ハンド駆動機構１６は、駆動源としてのモータ２５と、モータ２５側に固定される駆動プーリ２６と、ハンド４側に固定される従動プーリ２７と、駆動プーリ２６と従動プーリ２７とに掛け渡されるベルト２８とを備えている。また、ハンド駆動機構１６は、モータ２５の出力軸に連結される減速機２９を備えている。

【0030】

ハンド駆動機構１７は、アーム部１２の内部に配置されている。ハンド駆動機構１７は、ハンド駆動機構１６と同様に、駆動源としてのモータ３０と、モータ３０側に固定される駆動プーリ３１と、ハンド５側に固定される従動プーリ３２と、駆動プーリ３１と従動プーリ３２とに掛け渡されるベルト３３とを備えている。また、ハンド駆動機構１７は、モータ３０の出力軸に連結される減速機３４を備えている。

【0031】

従動プーリ２７、３２は、アーム部１２の先端部の内部に配置されている。従動プーリ２７と従動プーリ３２とは、上下方向で重なっている。本形態では、従動プーリ２７が従動プーリ３２の下側に配置されている。従動プーリ２７の軸心と従動プーリ３２の軸心とは一致している。また、従動プーリ２７、３２の軸心は、ハンド４、５の回動中心と一致している。従動プーリ２７のピッチ円径（ピッチ円外径）と従動プーリ３２のピッチ円径とは等しくなっている。

【0032】

従動プーリ２７は、中空状の回動軸３５の下端部に固定されている。回動軸３５の上端部は、ハンド４の基端部の下側に固定されている。すなわち、従動プーリ２７は、回動軸３５を介してハンド４に固定されている。従動プーリ３２は、中空状の回動軸３６の下端部に固定されている。回動軸３６は、回動軸３５の外周側に配置されている。回動軸３６の上端部は、ハンド５の基端部の下側に固定されている。すなわち、従動プーリ３２は、回動軸３６を介してハンド５に固定されている。

【0033】

モータ２５は、アーム部本体２０に固定されている。具体的には、図５に示すように、モータ２５は、アーム部本体２０に固定されるモータ固定部材３９に固定されている。すなわち、モータ２５は、モータ固定部材３９を介してアーム部本体２０に固定されている。同様に、モータ３０は、アーム部本体２０に固定されるモータ固定部材４０（図４参照）に固定されており、モータ３０は、モータ固定部材４０を介してアーム部本体２０に固定されている。モータ２５、３０の出力軸は、下側に向かって突出している。モータ２５とモータ３０とは、同じモータである。

【0034】

減速機２９、３４は、径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。具体的には、減速機２９、３４は、中空状に形成される中空波動歯車装置（ハーモニックドライブ（登録商標））である。減速機２９と減速機３４とは、同じ減速機である。減速機２９の入力軸は、モータ２５の出力軸に連結されている。モータ２５の出力軸と減速機２９の入力軸とは同軸上に配置されている。同様に、減速機３４の入力軸は、モータ３０の出力軸に連結されている。モータ３０の出力軸と減速機３４の入力軸とは同軸上に配置されている。

【0035】

駆動プーリ２６は、減速機２９の出力軸に固定されている。モータ２５の出力軸と駆動プーリ２６とは同軸上に配置されている。同様に、駆動プーリ３１は、減速機３４の出力軸に固定されている。モータ３０の出力軸と駆動プーリ３１とは同軸上に配置されている。駆動プーリ３１のピッチ円径（ピッチ円外径）は、駆動プーリ２６のピッチ円径よりも大きくなっている。また、駆動プーリ２６のピッチ円径および駆動プーリ３１のピッチ円径は、従動プーリ２７、３２のピッチ円径よりも大きくなっている。

【0036】

本形態では、モータ２５、駆動プーリ２６、減速機２９およびモータ固定部材３９等によって、モータ２５および駆動プーリ２６を含む駆動部４２が構成されている。また、本形態では、モータ３０、駆動プーリ３１、減速機３４およびモータ固定部材４０等によって、モータ３０および駆動プーリ３１を含む駆動部４３が構成されている。

【0037】

２個の駆動部４２、４３は、左右方向（アーム部１２の長手方向）において互いにずれた位置に配置されている。具体的には、駆動部４２は、駆動部４３よりも左側に配置されている。すなわち、駆動部４２は、駆動部４３よりもアーム部１２の先端側に配置されている。駆動部４２と駆動部４３は、上下方向において同じ位置に配置されている。また、駆動部４２と駆動部４３は、前後方向において同じ位置に配置されている。

【0038】

本形態のハンド駆動機構１６、１７は、２個のハンド４、５のそれぞれを回動させる駆動機構であり、ロボット１は、２個の駆動機構を備えている。また、本形態のハンド駆動機構１６は、２個の駆動機構（ハンド駆動機構１６、１７）のうちの、最もアーム部１２の先端側に配置される駆動部４２を有する駆動機構である第１駆動機構となっており、
ハンド駆動機構１７は、第１駆動機構であるハンド駆動機構１６を除いた残りの駆動機構である第２駆動機構となっている。

【0039】

ベルト２８、３３は、環状に形成される無端ベルトである。また、ベルト２８、３３は、内周側に歯が形成される歯付きベルトである。２個のベルト２８、３３は、上下方向において互いにずれた位置に配置されている。具体的には、ベルト２８がベルト３３よりも下側に配置されている。すなわち、駆動プーリ２６の、ベルト２８が係合する部分は、駆動プーリ３１の、ベルト３３が係合する部分よりも下側に配置されている。ベルト３３の一部は、駆動部４２の側方に配置されている。具体的には、ベルト３３の一部は、モータ固定部材３９の前後方向の外側に配置されている（図５参照）。

【0040】

ハンド駆動機構１７は、上記の構成に加えて、駆動部４２とベルト３３との隙間（具体的には、モータ固定部材３９とベルト３３との隙間）を確保するための複数のアイドルプーリ４５を備えている。すなわち、ハンド駆動機構１７は、ハンド駆動機構１７の駆動部４３よりもアーム部１２の先端側に配置される駆動部４２を有するハンド駆動機構１６の駆動部４２と、ハンド駆動機構１７のベルト３３との隙間を確保するための複数のアイドルプーリ４５を備えている。本形態のハンド駆動機構１７は、２個のアイドルプーリ４５を備えている。アイドルプーリ４５は、アーム部本体２０に回転可能に保持されている。アイドルプーリ４５は、上下方向を回転の軸方向として回転可能になっている。

【0041】

図４に示すように、２個のアイドルプーリ４５は、ベルト３３の内周側に配置されている。また、２個のアイドルプーリ４５は、左右方向において同じ位置に配置されている。さらに、２個のアイドルプーリ４５は、前後方向において間隔をあけた状態で配置されており、前後方向（アーム部１２の幅方向）におけるベルト３３の間隔を広げている。すなわち、前側に配置されるアイドルプーリ４５の前端および後ろ側に配置されるアイドルプーリ４５の後端は、２個のアイドルプーリ４５が配置されていない状態で駆動プーリ３１と従動プーリ３２とに掛け渡されているとした場合のベルト３３の内周面の位置よりも前後方向の外側に配置されており、２個のアイドルプーリ４５は、前後方向の外側に向かって互いに異なる方向へベルト３３を押している。

【0042】

また、アイドルプーリ４５は、左右方向において、駆動部４２と従動プーリ３２との間に配置されている。具体的には、アイドルプーリ４５は、駆動部４２と従動プーリ３２との間の左右方向の中心位置よりも右側に配置されている。すなわち、アイドルプーリ４５は、駆動部４２と従動プーリ３２との間の左右方向の中心位置より駆動部４２側に配置されている。前側に配置されるアイドルプーリ４５の前端と、後ろ側に配置されるアイドルプーリ４５の後端との前後方向の距離は、駆動プーリ３１のピッチ円径よりも短くなっている。

【0043】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド駆動機構１７は、ハンド駆動機構１７の駆動部４３よりもアーム部１２の先端側に配置される駆動部４２を有するハンド駆動機構１６の駆動部４２と、ハンド駆動機構１７のベルト３３との隙間を確保するための２個のアイドルプーリ４５を備えており、ベルト３３の内周側に配置される２個のアイドルプーリ４５がアーム部１２の幅方向（前後方向）におけるベルト３３の間隔を広げている。

【0044】

したがって、本形態では、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保するために、アイドルプーリ４５によってアーム部１２の幅方向におけるベルト３３の間隔を広げつつ、アイドルプーリ４５よりもアーム部１２の先端側では、アイドルプーリ４５が配置されていない場合よりも、アーム部１２の幅方向におけるベルト３３の間隔を狭めていく度合いを大きくすることが可能になる。そのため、本形態では、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しつつ、従動プーリ３２のピッチ円径を小さくすることが可能になる。

【0045】

すなわち、アイドルプーリ４５を使用せずに、駆動部４２とベルト３３との間に、アイドルプーリ４５を使用した場合と同程度の隙間を確保しようとすると、アーム部１２の先端側において、図６の二点鎖線で示すように、アイドルプーリ４５が配置されている場合よりも、アーム部１２の幅方向におけるベルト３３の間隔を狭めていく度合いが小さくなり、その結果、従動プーリ３２のピッチ円径が大きくなる。

【0046】

これに対して、本形態では、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しつつ、アーム部１２の先端部に配置される従動プーリ３２のピッチ円径を小さくすることが可能になる。したがって、本形態では、中空状のアーム部１２の内部に２個のハンド駆動機構１６、１７が配置されていても、ハンド駆動機構１７のベルト３３とハンド駆動機構１６との干渉を確実に防止しつつ、アーム部１２の先端部の幅を狭めることが可能になる。

【0047】

本形態では、アイドルプーリ４５は、左右方向（アーム部１２の長手方向）において駆動部４２と従動プーリ３２との間に配置されている。そのため、本形態では、アイドルプーリ４５が左右方向において駆動部４２と駆動部４３との間に配置されている場合と比較して、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しやすくなる。また、本形態では、駆動プーリ３１のピッチ円径が駆動プーリ２６のピッチ円径よりも大きくなっており、駆動プーリ３１のピッチ円径が比較的大きくなっているため、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しやすくなる。

【0048】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0049】

上述した形態において、駆動プーリ２６は、減速機２９を介さずにモータ２５の出力軸に連結されていても良い。すなわち、駆動部４２は、減速機２９を備えていなくても良い。同様に、駆動プーリ３１は、減速機３４を介さずにモータ３０の出力軸に連結定されていても良い。すなわち、駆動部４３は、減速機３４を備えていなくても良い。また、上述した形態において、モータ２５は、アーム部本体２０に直接固定されていても良い。すなわち、駆動部４２は、モータ固定部材３９を備えていなくても良い。同様に、モータ３０は、アーム部本体２０に直接固定されていても良い。すなわち、駆動部４３は、モータ固定部材４０を備えていなくても良い。

【0050】

上述した形態において、２個のアイドルプーリ４５は、左右方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、アイドルプーリ４５は、左右方向において駆動部４２と駆動部４３との間に配置されていても良い。また、上述した形態において、駆動プーリ３１のピッチ円径は、駆動プーリ２６のピッチ円径以下となっていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド駆動機構１７は、３個以上のアイドルプーリ４５を備えていても良い。ただし、上述した形態のように、ハンド駆動機構１７が有するアイドルプーリ４５の数が２個である場合には、２個のアイドルプーリ４５を用いた簡易な構成で前後方向におけるベルト３３の間隔を広げることが可能になる。

【0051】

上述した形態において、ロボット１は、回動中心が一致する３個以上のハンドと、３個以上のハンドのそれぞれを回動させる３個以上のハンド駆動機構とを備えていても良い。たとえば、ロボット１は、回動中心が一致する３個のハンドと、３個のハンドのそれぞれを回動させる３個のハンド駆動機構とを備えていても良い。この場合には、３個のハンド駆動機構の駆動部が左右方向において互いにずれた位置に配置され、３本のベルトが上下方向において互いにずれた位置に配置されている。

【0052】

また、この場合には、３個のハンド駆動機構のうちの、最も左側（アーム部１２の先端側）に配置される駆動部を有するハンド駆動機構が第１駆動機構となり、残りの２個のハンド駆動機構が第２駆動機構となる。３個のハンド駆動機構のうちで、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構は、最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部と、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリ（たとえば、２個のアイドルプーリ）を備えている。

【0053】

また、３個のハンド駆動機構のうちで、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構は、最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部と、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトとの隙間、および、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部と、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリ（たとえば、２個のアイドルプーリ）を備えている。

【0054】

この場合には、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトと最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部との干渉、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトと最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部との干渉、および、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトと左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部との干渉を確実に防止しつつ、アーム部１２の先端部の幅を狭めることが可能になる。

【0055】

上述した形態において、２個のハンド４、５に代えて、アーム部１２の先端部に２個のアーム部が回動可能に連結されていても良い。この場合には、２個のアーム部の回動中心は一致している。また、この場合には、ロボット１は、２個のアーム部のうちの一方のアーム部を回動させる第１駆動機構と、他方のアーム部を回動させる第２駆動機構とを備えており、第１駆動機構は、ハンド駆動機構１６と同様に構成され、第２駆動機構は、ハンド駆動機構１７と同様に構成されている。また、この場合には、アーム部１２の先端部に連結されるアーム部が回動部となる。

【0056】

上述した形態において、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、半導体ウエハ２以外の搬送対象物を搬送するためのロボットであっても良いし、その他の用途で使用される水平多関節型のロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0057】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５ ハンド（回動部）
６ アーム
１２ アーム部
１６ ハンド駆動機構（駆動機構、第１駆動機構）
１７ ハンド駆動機構（駆動機構、第２駆動機構）
２５、３０ モータ
２６、３１ 駆動プーリ
２７、３２ 従動プーリ
２８、３３ ベルト
４２、４３ 駆動部
４５ アイドルプーリ
Ｘ アーム部の長手方向
Ｙ アーム部の幅方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】