特許 7514420 工業炉

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-03

(45)【発行日】2024-07-11

(54)【発明の名称】工業炉

(51)【国際特許分類】

   F27B 5/18 20060101AFI20240704BHJP

   F27B 5/06 20060101ALI20240704BHJP

   F27D 21/00 20060101ALI20240704BHJP

【ＦＩ】

F27B5/18

F27B5/06

F27D21/00 G

F27D21/00 A

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2023077917

(22)【出願日】2023-05-10

【基礎とした実用新案登録】

【原出願日】2020-05-12

(65)【公開番号】P2023095992

(43)【公開日】2023-07-06

【審査請求日】2023-05-10

(73)【特許権者】

【識別番号】591159619

【氏名又は名称】島津産機システムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100206151

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 惇志

(74)【代理人】

【識別番号】100218187

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 治子

(72)【発明者】

【氏名】小縁 悟

【審査官】柏原 郁昭

(56)【参考文献】

【文献】登録実用新案第３２２５８５１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００４－２３１４６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／１８０１５５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１７／０５６１８８（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２７Ｂ ５／１８

Ｆ２７Ｂ ５／０６

Ｆ２７Ｄ ２１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

容器と、
前記容器の内部空間に配置された断熱体と、
前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、
ポンプと、
前記容器とポンプとをつなげる排気パイプと、
前記排気パイプのガスの温度を計測する温度計と、
前記温度計で計測された温度によってヒーターの温度を制御する制御装置と、
を備えた工業炉。

【請求項2】

前記温度計が排気パイプ内部のガスの温度を計測する請求項１の工業炉。

【請求項3】

前記制御装置が温度計で計測された温度が所定値よりも高ければ断熱体の内部空間の温度が維持されるようにヒーターを制御する請求項１または２の工業炉。

【請求項4】

容器と、
前記容器の内部空間に配置された断熱体と、
前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、
ポンプと、
前記容器とポンプとをつなげる排気パイプと、
前記排気パイプのガスの圧力を計測する圧力計と、
前記圧力計で計測された圧力によってヒーターの温度を制御する制御装置と、
を備えた工業炉。

【請求項5】

前記圧力計が排気パイプ内部のガスの圧力を計測する請求項４の工業炉。

【請求項6】

前記制御装置が圧力計で計測された圧力が所定値よりも高ければ断熱体の内部空間の温度が維持されるようにヒーターを制御する請求項４または５の工業炉。

【請求項7】

容器と、
前記容器の内部空間に配置された断熱体と、
前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、
ポンプと、
前記容器とポンプとをつなげる排気パイプと、
前記排気パイプの途中に設けられ、被処理物から発生した放出物を捕捉する捕捉装置と、
前記排気パイプのガスの温度を計測する温度計と、
前記排気パイプのガスの圧力を計測する圧力計と、
前記温度計で計測された温度および圧力計で計測された圧力によってヒーターの温度を制御する制御装置と、
を備えた工業炉。

【請求項8】

前記温度計が排気パイプ内部のガスの温度を計測し、前記圧力計が排気パイプ内部のガスの圧力を計測する請求項７の工業炉。

【請求項9】

前記制御装置が温度計で計測された温度が所定値よりも高い、圧力計で計測された圧力が所定値よりも高い、またはその両方であれば断熱体の内部空間の温度を維持するようにヒーターを制御する請求項７または８の工業炉。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、工業炉に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、金属または磁性材料などからなる被処理物を真空または加圧環境下で熱処理している。たとえば、下記の特許文献１は、真空チャンバ、その真空チャンバの中の断熱容器、その断熱容器の中の加熱ヒーターを備える。断熱容器の中に被処理物を配置する。加熱ヒーターで断熱容器の内部空間を昇温し、被処理物が脱脂および加熱処理される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開番号 WO２０１６／１５８０２９

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

被処理物が完全に脱脂される前に加熱処理されると、被処理物の加熱処理が不完全になる。工業炉の操作者の目視による確認という経験によって脱脂されたか否かを判断している。操作者によって脱脂の程度が異なり、加熱処理された製品の品質にばらつきが生じる。操作者が退職すると、同品質の製品を製造できなくなるおそれがある。

【0005】

そこで本発明の目的は、均一な脱脂処理が可能な工業炉を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

以上の課題を解決すべく、本発明に係る工業炉は、以下に述べるような構成を有する。

【0007】

本発明の工業炉は、容器と、前記容器の内部空間に配置された断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ポンプと、前記容器とポンプとをつなげる排気パイプと、前記排気パイプのガスの温度を計測する温度計と、前記温度計で計測された温度によってヒーターの温度を制御する制御装置とを備える。

【0008】

また、前記排気パイプのガスの圧力を計測する圧力計を備えてもよい。温度計と圧力計の両方を備えてもよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明は温度計で排気されるガスの温度を測定することで脱脂の完了を判断することができる。また、ガスの圧力を測定することでも脱脂の完了を判断することができる。誰が工業炉を操作しても均質に脱脂できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の温度を計測する工業炉の構成を示す図である。

【図2】ヒーターに電力を供給するための構成を示す図である。

【図3】圧力を計測する工業炉の構成を示す図である。

【図4】温度と圧力を計測する工業炉の構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明の工業炉について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。

【0012】

[実施形態１]
図１に示す本願の工業炉１０は、容器１２、その容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６、その断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒーター２０、被処理物２２が収容されるタイトボックス（インナーケース）２４、ガス源２６、そのガス源２６から容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ供給パイプ３０、ポンプ３２、そのポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８をつなぐ第１排気パイプ３４、ポンプ３２と容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８をつなぐ第２排気パイプ３６、第１排気パイプ３４の途中に設けられた捕捉装置３８、第１排気パイプ３４を流れるガスの温度を計測する第１温度計４０を備える。

【0013】

工業炉１０は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための炉である。

【0014】

[容器]
容器１２は容器本体４２および容器蓋４４を備える。容器本体４２は円筒形状になっている。容器蓋４４は容器本体４２の両端を開閉するものである。容器本体４２の両端を容器蓋４４で閉じると、容器１２の内部空間１４は気密にされた空間になる。容器１２の内部空間１４は減圧されたり、加圧されたりする。容器１２の耐圧はたとえば約１０ＭＰａであり、各種設計によって変更できる。容器１２は内壁４６と外壁４８からなる二重構造であり、内壁４６と外壁４８の間を冷却液が流れる。内部空間１４の温度を下げるときに、冷却液によって下げることができる。

【0015】

[断熱体]
断熱体１６は容器１２の内部空間１４に配置されている。断熱体１６は断熱体本体５０および断熱体蓋５２を備える。断熱体本体５０は筒状になっている。断熱体蓋５２は断熱体本体５０の両端を開閉するものである。容器蓋４４が閉じた状態で断熱体蓋５２が開閉できるように、断熱体蓋５２の開閉装置（図示省略）を備える。断熱体１６はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。

【0016】

[ヒーター]
断熱体１６の内部空間１８にヒーター２０が配置されている。ヒーター２０としてグラファイト製のロッドヒーターが挙げられる。ヒーター２０はタイトボックス２４に対して平行に配置されている。また、タイトボックス２４の周囲を回るように複数のヒーター２０が配置されている。図２に示す電力供給回路５４がヒーター２０に電力供給し、ヒーター２０が発熱する。

【0017】

[電力供給回路]
電力供給回路５４は三相交流の電力をヒーター２０に供給する回路である。三相交流の３つの端子はＲ、Ｓ、Ｔである。電力供給回路５４は各端子Ｒ、Ｓ、Ｔにつながる配線５６、その配線５６に流れる電流を測定する電流計５８、電力供給する配線５６を選択するスイッチ６０、電力変換するトランス６２、スイッチ６０をオン・オフ制御する制御装置６４を備える。スイッチ６０はサイリスタなどの素子を使用できる。

【0018】

制御装置６４には電流計５８で測定された電流値および第２温度計６６で測定された温度が入力される。第２温度計６６は断熱体１６の内部空間１８の温度を計測する。断熱体１６の内部空間１８の温度が所定温度になるように制御装置６４がスイッチ６０のオン・オフを制御する。制御装置６４はプログラム温度調整計またはＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などの回路である。スイッチ６０がオンになるとトランス６２を介してヒーター２０に電力供給される。

【0019】

[タイトボックス]
断熱体１６の内部空間１８の中にタイトボックス２４が配置されている。タイトボックス２４はグラファイトなどで構成されている。タイトボックス２４はタイトボックス本体６８とタイトボックス蓋７０を備える。タイトボックス本体６８は筒状になっている。タイトボックス蓋７０はタイトボックス本体６８の両端を開閉する。タイトボックス蓋７０が開閉できるように、タイトボックス蓋７０の開閉装置（図示省略）を備える。タイトボックス本体６８の両端をタイトボックス蓋７０で閉じることで、タイトボックス２４の内部空間２８が密閉される。

【0020】

[被処理物]
タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２が配置される。被処理物２２の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物２２は、粉体または所定形状を有した固体である。タイトボックス２４の中に被処理物２２が収容されることで、被処理物２２を脱脂処理したときに被処理物２２から放出される放出物がタイトボックス２４の外に放出されるのを防ぐことができる。容器１２の内壁４６、断熱体１６およびヒーター２０などが汚染されることを防止できる。

【0021】

[ガス源]
ガス源２６は窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。ガス源２６と容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８は供給パイプ３０で接続されている。供給パイプ３０は分岐しており、それぞれにバルブ７２、７４が設けられている。バルブ７２、７４の開閉によってガスの流量を制御できる。ガス源２６から供給パイプ３０を介して容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスが導入される。ガス源２６を複数にして、複数種のガスを容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に供給してもよい。供給パイプ３０を複数設け、複数種のガスが供給されるようにする。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方にガスを導入することで、他方にもガスを導入することができる。

【0022】

[ポンプ]
ポンプ３２は容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８に対して排気をおこなう。ポンプ３２とタイトボックス２４の内部空間２８は第１排気パイプ３４で接続されている。ポンプ３２と容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８は第２排気パイプ３６で接続されている。ポンプ３２によって、容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８が減圧される。第１排気パイプ３４と第２排気パイプ３６にはそれぞれバルブ７６、７８が備えられていて、バルブ７６、７８の開閉によっても排気を制御することができる。なお、断熱体１６は完全に気密にされていないため、容器１２の内部空間１４または断熱体１６の内部空間１８の一方からガスを排気することで、他方もガスが排気される。

【0023】

[捕捉装置]
被処理物２２が脱脂された際に、被処理物から放出されたガス状のバインダー、粒子状のダスト、またはその両方を含む放出物が放出される。第１排気パイプ３４に放出物を捕捉する捕捉装置３８が備えられている。捕捉装置３８はワックスタンク８０およびワックスフィルター８２を含む。ワックスタンク８０はバインダーを液状にして溜める装置である。ワックスフィルター８２は粒子状のダストを集塵する装置である。放出物がポンプ３２まで到達されない。

【0024】

[温度計]
第１温度計４０が第１排気パイプ３４に備えられる。第１温度計４０は第１排気パイプ３４を流れるガスの温度を計測する。第１温度計４０は熱電対を用いた温度計である。放出物が含まれるガスは含まれないガスと比較して温度が高い。脱脂が終了すると、放出物に含まれる熱がなくなるためである。ガスの温度を計測することで、ガスに放出物が含まれているか否かを判定できる。第１温度計４０は捕捉装置３８よりも上流でガスの温度を計測する。捕捉装置３８で放出物が捕捉される前に温度を計測することで、ガスに放出物が含まれているか否かを判定できる。

【0025】

[制御装置]
制御装置６４は第１温度計４０の温度が入力される。温度が所定値よりも高ければ、脱脂工程を継続する。制御装置６４は断熱体１６の内部空間１８の温度を保つようにスイッチ６０のオン・オフを制御する。温度が所定値よりも低ければ、脱脂工程を終了して次の工程に進む。たとえば、熱処理工程のために断熱体１６の内部空間１８を昇温するようにスイッチ６０のオン・オフを制御する。

【0026】

[その他]
容器１２の内部空間１４にファン８４が備えられてもよい。ファン８４は、容器蓋４４が閉じられ、断熱体蓋５２が開けられたときに回転する。容器１２の内部空間１４および断熱体１６の内部空間１８をガスが循環する。タイトボックス蓋７０が開けられる場合もある。ファン８４を回転させるためのモーター８６が容器蓋４４に取り付けられている。

【0027】

断熱体本体５０からファン８４につながるガイド８８を設けてもよい。ガイド８８によって循環するガスの方向を定める。ガスの方向を定められればガイド８８の形状は限定されない。容器１２は二重構造になっており、その内部に冷却液が流れるため、その冷却液によって循環するガスが冷却される。ファン８４と断熱体１６の間に水冷式の熱交換器９０を配置し、その熱交換器９０でもガスを冷却してもよい。

【0028】

[熱処理]
次に本願の工業炉１０を使用した熱処理について説明する。なお、説明する熱処理は一例であり、被処理物２２の種類および処理方法に応じて適宜変更される。

【0029】

（１）タイトボックス２４の内部空間２８に被処理物２２を収容し、タイトボックス蓋７０、断熱体蓋５２および容器蓋４４を閉じる。

【0030】

（２）ポンプ３２により排気をおこない、容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力に制御する。この排気と同時に、ガス源２６から容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入し、それらの空間１４、１８、２８を所定のガスで満たす。

【0031】

（３）制御装置６４がスイッチ６０を制御してヒーター２０に電流を流し、断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。断熱体１６の内部空間１８に配置されたタイトボックス２４が加熱され、さらに被処理物２２が加熱される。

【0032】

タイトボックス２４の内部空間２８にある被処理物２２の温度が上昇し、被処理物２２が脱脂される。脱脂するときに、ポンプ３２を駆動させ、被処理物２２から生じた放出物は第１排気パイプ３４の途中にあるワックスタンク８０とワックスフィルター８２に溜められる。必要に応じてガス源２６からタイトボックス２４の内部空間２８にガスを供給する。吸気と排気によってタイトボックス２４の内部空間２８を所定の圧力にする。タイトボックス２４の内部空間２８以外に容器１２の内部空間１４と断熱体１６の内部空間１８にもガス源２６からガスを供給してもよい。

【0033】

第１排気パイプ３４の途中にある第１温度計４０が第１排気パイプ３４を流れるガスの温度を計測する。第１温度計４０で計測された温度は制御装置６４に入力される。

【0034】

制御装置６４は入力された温度が所定値よりも高ければ、断熱体１６の内部空間１８の温度が維持されるようにスイッチ６０をオン・オフ制御する。ガスの温度が所定値よりも高い場合、ガスに放出物が含まれていて、脱脂が完了していない。断熱体１６の内部空間１８の温度を維持して脱脂を継続する。制御装置６４に入力された温度が所定値に満たなければ、断熱体１６の内部空間１８の温度を変更するようにスイッチ６０をオン・オフ制御する。ガスの温度が所定値未満の場合、ガスに放出物が含まれず、脱脂が終了している。次の工程に進むことができる。たとえば、ヒーター２０に流れる電流を増加させ、被処理物２２の温度を高める。たとえば、約１５００℃以上で被処理物２２を焼結させる。

【0035】

脱脂を開始してから制御装置６４に温度が入力される。脱脂を開始した後、定期的に温度が制御装置６４に入力されてもよいし、常に温度が制御装置６４に入力されてもよい。また、脱脂を開始してから一定時間経過後に温度が制御装置６４に入力されてもよい。

【0036】

（４）被処理物２２が熱処理された後、被処理物２２を冷却する。断熱体蓋５２とタイトボックス蓋７０を開ける。ファン８４を回転させてガスを循環させ、被処理物２２を冷却させる。冷却する際、ガス源２６から容器１２の内部空間１４、断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２８にガスを導入してもよい。

【0037】

被処理物２２が冷却されれば、容器蓋４４、断熱体蓋５２およびタイトボックス蓋７０を開け、被処理物２２を取り出す。

【0038】

以上のように、脱脂の際に排気されるガスの温度を測定することで、脱脂が完了したか否かを判断することができる。脱脂が完了していない段階で次の工程に進むことを防止できる。

【0039】

[実施形態２]
図３の工業炉１００は、実施形態１の第１温度計４０の代わりに第１排気パイプ３４に圧力計１０２を備えている。圧力計１０２は第１排気パイプ３４のガスの圧力を計測する。圧力計１０２はダイアフラム式の圧力計である。圧力計１０２は捕捉装置３８の下流でガスの圧力を計測する。第１排気パイプ３４のガスの圧力はどこで計測しても一定であり、捕捉装置３８の下流で計測することで圧力計が放出物で汚染されることを防止できる。

【0040】

圧力計１０２で計測された圧力は制御装置６４に入力される。ガスに放出物が含まれていれば圧力が高く、含まれていなければ圧力が低い。ガスの圧力を計測することで、ガスに放出物が含まれているか否かを判定できる。被処理物２２のバインダーなどが気化し、膨張するためである。

【0041】

実施形態１と同様に、制御装置６４は入力された圧力に応じてスイッチ６０をオン・オフ制御する。圧力が所定値よりも高ければ、脱脂工程を継続する。ガスに放出物が含まれており、脱脂が完了していない。制御装置６４は断熱体１６の内部空間１８の温度を保つようにスイッチ６０をオン・オフ制御する。脱脂が継続される。圧力が所定値よりも低ければ、脱脂工程を終了して次の工程に進む。ガスに放出物が含まれず、脱脂が完了している。たとえば、熱処理工程のために断熱体１６の内部空間１８を昇温するようにスイッチ６０をオン・オフ制御する。

【0042】

脱脂を開始してから制御装置６４に圧力が入力される。脱脂を開始した後、定期的に圧力が制御装置６４に入力されてもよいし、常に圧力が制御装置６４に入力されてもよい。また、脱脂を開始してから一定時間経過後に圧力が制御装置６４に入力されてもよい。

【0043】

圧力を測定することで、脱脂の完了を判断できる。脱脂が完了していない段階で次の工程に進むことを防止できる。

【0044】

[実施形態３]
図４の工業炉１１０は、第１排気パイプ３４に第１温度計４０と圧力計１０２を備える。第１温度計４０は捕捉装置３８よりも上流でガスの温度を計測し、圧力計１０２は捕捉装置３８よりも下流でガスの圧力を計測する。すなわち、実施形態１と２を組み合わせている。

【0045】

第１温度計４０で測定された温度と圧力計１０２で測定された圧力は制御装置６４に入力される。制御装置６４は、温度が所定値以上、圧力が所定値以上またはその両方である場合に、断熱体１６の内部空間１８の温度が保たれるようにスイッチ６０をオン・オフ制御する。ガスに放出物が含まれているため脱脂工程を継続する。温度が所定値未満かつ圧力が所定値未満の場合に断熱体１６の内部空間１８の温度が変わるようにスイッチ６０をオン・オフ制御する。たとえば、加熱処理のためにヒーター２０の温度が上がるようにスイッチ６０をオン・オフ制御する。

【0046】

脱脂を開始してから制御装置６４に温度と圧力が入力される。脱脂を開始した後、定期的に温度と圧力が制御装置６４に入力されてもよいし、常に温度と圧力が制御装置６４に入力されてもよい。また、脱脂を開始してから一定時間経過後に温度と圧力が制御装置６４に入力されてもよい。

【0047】

温度と圧力を測定することで、脱脂の完了を判断できる。脱脂が完了していない段階で次の工程に進むことを防止できる。

【0048】

（第１項）一態様に係る工業炉は、容器と、前記容器の内部空間に配置された断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ポンプと、前記容器とポンプとをつなげる排気パイプと、前記排気パイプのガスの温度を計測する温度計と、前記温度計で計測された温度によってヒーターの温度を制御する制御装置とを備える。

【0049】

第１項に記載の工業炉によれば、温度計によって排気されるガスの温度を計測することで、脱脂の進み具合を判断することができる。工業炉を誰が操作しても同じタイミングで脱脂の完了を判断することができる。

【0050】

（第２項）前記温度計が排気パイプ内部のガスの温度を計測する。

【0051】

第２項に記載の工業炉によれば、捕捉装置に放出物が捕捉する前のガスの温度を測定することで、ガスに放出物が含まれるか否かを判断することができる。

【0052】

（第３項）前記制御装置が温度計で計測された温度が所定値よりも高ければ断熱体の内部空間の温度を維持するようにヒーターを制御する。

【0053】

第３項に記載の工業炉によれば、ガスの温度が所定値よりも高ければガスに放出物が含まれており、脱脂を継続して行い、次の工程への移行を待機させる。

【0054】

（第４項）一態様に係る工業炉は、容器と、前記容器の内部空間に配置された断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ポンプと、前記容器とポンプとをつなげる排気パイプと、前記排気パイプのガスの圧力を計測する圧力計と、前記圧力計で計測された圧力によってヒーターの温度を制御する制御装置とを備える。

【0055】

第４項に記載の工業炉によれば、圧力計によって排気されるガスの圧力を計測することで、脱脂の進み具合を判断することができる。工業炉を誰が操作しても同じタイミングで脱脂の完了を判断することができる。

【0056】

（第５項）前記圧力計が排気パイプ内部のガスの圧力を計測する。

【0057】

第５項に記載の工業炉によれば、排気パイプのガスの圧力はどこで計測しても同じであり、捕捉装置よりも下流でガスの圧力を測定することで、圧力計が放出物で汚染されることを防止できる。

【0058】

（第６項）前記制御装置が圧力計で計測された圧力が所定値よりも高ければ断熱体の内部空間の温度を維持するようにヒーターを制御する。

【0059】

第６項に記載の工業炉によれば、ガスの圧力が所定値よりも高ければガスに放出物が含まれており、脱脂を継続して行い、次工程への移行を待機させる。

【0060】

（第７項）一態様に係る工業炉は、容器と、前記容器の内部空間に配置された断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、ポンプと、前記容器とポンプとをつなげる排気パイプと、前記排気パイプの途中に設けられ、被処理物から発生した放出物を捕捉する捕捉装置と、前記排気パイプのガスの温度を計測する温度計と、前記排気パイプのガスの圧力を計測する圧力計と、前記温度計で計測された温度および圧力計で計測された圧力によってヒーターの温度を制御する制御装置とを備える。

【0061】

第７項に記載の工業炉によれば、温度計によって排気されるガスの温度および圧力計によって排気されるガスの圧力を計測することで、脱脂の進み具合を判断することができる。工業炉を誰が操作しても同じタイミングで脱脂の完了を判断することができる。

【0062】

（第８項）前記温度計が排気パイプ内部のガスの温度を計測し、前記圧力計が排気パイプ内部のガスの圧力を計測する。

【0063】

第８項に記載の工業炉によれば、捕捉装置に放出物が捕捉する前のガスの温度を測定することで、ガスに放出物が含まれるか否かを判断することができる。また、排気パイプのガスの圧力はどこで計測しても同じであり、捕捉装置よりも下流でガスの圧力を測定することで、圧力計が放出物で汚染されることを防止できる。

【0064】

（第９項）前記制御装置が温度計で計測された温度が所定値よりも高い、圧力計で計測された圧力が所定値よりも高い、またはその両方であれば断熱体の内部空間の温度を維持するようにヒーターを制御する。

【0065】

第９項に記載の工業炉によれば、ガスの温度が所定値よりも高い、ガスの圧力が所定値よりも高い、またはその両方が高ければガスに放出物が含まれており、脱脂を継続して行い、次工程への移行を待機させる。

【0066】

その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。

【符号の説明】

【0067】

１０、１００、１１０：工業炉
１２：容器
１４：容器の内部空間
１６：断熱体
１８：断熱体の内部空間
２０：ヒーター
２２：被処理物
２４：タイトボックス
２６：ガス源
２８：タイトボックスの内部空間
３０：供給パイプ
３２：ポンプ
３４、３６：排気パイプ
３８：捕捉装置
４０：温度計
６４：制御装置
１０２：圧力計

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】