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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-03
(45)【発行日】2024-07-11
(54)【発明の名称】メモリシステム及びその動作方法
(51)【国際特許分類】
   G11C 11/56 20060101AFI20240704BHJP
   G11C 16/10 20060101ALI20240704BHJP
【FI】
G11C11/56 210
G11C16/10 140
【請求項の数】 20
(21)【出願番号】P 2020097558
(22)【出願日】2020-06-04
(65)【公開番号】P2021034116
(43)【公開日】2021-03-01
【審査請求日】2023-04-06
(31)【優先権主張番号】10-2019-0105004
(32)【優先日】2019-08-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】390019839
【氏名又は名称】三星電子株式会社
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】129,Samsung-ro,Yeongtong-gu,Suwon-si,Gyeonggi-do,Republic of Korea
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(74)【代理人】
【識別番号】100135079
【弁理士】
【氏名又は名称】宮崎 修
(72)【発明者】
【氏名】柳 載悳
(72)【発明者】
【氏名】任 ▲ぼん▼淳
(72)【発明者】
【氏名】崔 容赫
【審査官】小林 紀和
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第2017/0092366(US,A1)
【文献】特開2001-357683(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2016/0372185(US,A1)
【文献】米国特許出願公開第2016/0147482(US,A1)
【文献】特開2021-128582(JP,A)
【文献】特開2015-228484(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G11C 11/56
G06F 12/00
G11C 16/10
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
不揮発性メモリを含むメモリシステムの動作方法であって、
前記不揮発性メモリに含まれたメモリグループの消去時点からプログラム時点までの時間を示すEPI(erase program interval)を検出する段階と、
前記EPIを基に、前記メモリグループに関するプログラムモードを、各メモリセルに保存するデータビット数により、既定義の複数のプログラムモードのうち一つに決定する段階と、
決定された前記プログラムモードで、前記メモリグループに対するプログラム動作を遂行する段階と、を含み、
前記プログラム動作を遂行する段階は、選択された前記プログラムモードを基に、前記プログラム動作の少なくとも1つの電圧レベルを調節する段階を含む方法。
【請求項2】
前記複数のプログラムモードは、QLC(quadruple level cell)モード、TLC(triple level cell)モード、MLC(multi level cell)モード、SLC(single level cell)モードのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項3】
前記メモリグループは、メモリブロック、メモリスタックまたはサブメモリブロックであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項4】
前記メモリグループは、メモリブロックであり、
前記決定する段階は、
前記EPIが、基準時間以下であるならば、前記メモリブロックに対するプログラムモードを、各メモリセルにNビットデータを書き込む第1プログラムモードに決定する段階と、
前記EPIが、基準時間を超えるならば、前記メモリブロックに対する前記プログラムモードを、各メモリセルにMビットデータを書き込む第2プログラムモードに決定する段階と、を含み、
NとMは、正の整数であり、Mは、Nより小さいことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記不揮発性メモリは、複数のメモリブロックを含み、各メモリブロックは、基板に対して垂直方向に積層された複数のメモリスタックを含み、
前記メモリグループは、メモリスタックであり、
前記EPIを検出する段階は、
第1メモリスタックの第1EPIを検出する段階と、
前記第1メモリスタックに対して前記垂直方向に上部に配置された第2メモリスタックの第2EPIを検出する段階と、を含み、
前記決定する段階は、
前記第1EPIを基に、前記第1メモリスタックに関するプログラムモードを、QLCモード、TLCモード、MLCモード、SLCモードのうち少なくとも一つに決定する段階と、
前記第2EPIを基に、前記第2メモリスタックに関するプログラムモードを、前記QLCモード、前記TLCモード、前記MLCモード、前記SLCモードのうち少なくとも一つに決定する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項6】
前記第1メモリスタックに対するプログラム動作において、前記第1EPIが、基準時間を超えれば、前記第2メモリスタックに関するプログラムモードを、前記QLCモード、前記TLCモード、前記MLCモード、前記SLCモードのうち少なくとも一つに決定する段階をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の方法。
【請求項7】
前記不揮発性メモリは、複数のメモリブロックを含み、各メモリブロックは、独立して消去可能な複数のサブメモリブロックを含み、
前記EPIを検出する段階は、
第1サブメモリブロックの第1EPIを検出する段階と、
前記第1サブメモリブロックに隣接した第2サブメモリブロックの第2EPIを検出する段階と、を含み、
前記決定する段階は、
前記第1EPIを基に、前記第1サブメモリブロックに対するプログラムモードを、QLCモード、TLCモード、MLCモード、SLCモードのうち少なくとも一つに決定する段階と、
前記第2EPIを基に、前記第2サブメモリブロックに対するプログラムモードを、前記QLCモード、前記TLCモード、前記MLCモード、前記SLCモードのうち少なくとも一つに決定する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項8】
前記第1サブメモリブロックに対する前記プログラム動作において、前記第1EPIが、基準時間を超えれば、前記第2サブメモリブロックに対するプログラムモードを、前記QLCモード、前記TLCモード、前記MLCモード、前記SLCモードのうち少なくとも一つに決定する段階をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項9】
前記不揮発性メモリは、各メモリグループに対応するEPIを保存したEPIテーブルを保存するメタ領域を含み、
前記EPIを検出する段階は、前記メタ領域に保存された前記EPIテーブルを基に、前記メモリグループに対応する前記EPIを検出することを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項10】
SPO(sudden power off)発生後、前記メモリグループに対する前記プログラムモードをデフォルトプログラムモードに決定する段階をさらに含み、
前記デフォルトプログラムモードは、MLCモードまたはSLCモードであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項11】
前記EPIを検出する段階は、
ホストから受信した書き込み要請に応答し、ユーザデータプログラム動作時、前記EPIを検出する段階と、
メタデータプログラム動作時、前記EPIを検出する段階と、
ガベージコレクション動作時、前記EPIを検出する段階と、のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項12】
前記メモリグループに対する読み取り要請に応答し、各メモリグループに対応するプログラムモードが保存されたプログラムモードテーブルを基に、メモリブロックに対応する前記プログラムモードを判断する段階と、
判断された前記プログラムモードを基に、前記メモリグループに対する読み取り条件を調節する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項13】
不揮発性メモリを含むメモリシステムの動作方法であって、
ホストから受信した書き込み要請に応答し、メモリブロックの消去時点からプログラム時点までの時間を示すEPI(erase program interval)を検出する段階と、
検出された前記EPIが、第1基準時間以下であるならば、各メモリセルにNビットデータを書き込む第1プログラムモードで、前記メモリブロックに対するプログラム動作を遂行する段階と、
検出された前記EPIが前記第1基準時間を超えれば、各メモリセルにMビットデータを書き込む第2プログラムモードで、前記メモリブロックに対するプログラム動作を遂行する段階と、を含み、
前記第1プログラムモードで、前記プログラム動作を遂行する段階は、前記第1プログラムモードを基に、前記プログラム動作の少なくとも1つの電圧レベルを調節する段階を含み、
前記第2プログラムモードで、前記プログラム動作を遂行する段階は、前記第2プログラムモードを基に、前記プログラム動作の少なくとも1つの電圧レベルを調節する段階を含み、
NとMは、正の整数であり、Mは、Nより小さいことを特徴とする方法。
【請求項14】
検出された前記EPIが前記第1基準時間より長い第2基準時間を超えれば、各メモリセルにLビットデータを書き込む第3プログラムモードで、前記メモリブロックに対するプログラム動作を遂行する段階をさらに含み、
Lは、Mより小さい正の整数であることを特徴とする請求項13に記載の方法。
【請求項15】
検出された前記EPIが前記第2基準時間より長い第3基準時間を超えれば、各メモリセルにKビットデータを書き込む第4プログラムモードで、前記メモリブロックに対するプログラム動作を遂行する段階をさらに含み、
Kは、Lより小さい正の整数であることを特徴とする請求項14に記載の方法。
【請求項16】
前記EPIを検出する段階は、前記不揮発性メモリのメタ領域に保存されたEPIテーブルから、前記EPIを読み取る段階を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。
【請求項17】
前記メモリブロックに対する読み取り要請に応答し、各メモリブロックに対応するプログラムモードが保存されたプログラムモードテーブルを基に、前記メモリブロックに対応する前記プログラムモードを判断する段階と、
判断された前記プログラムモードを基に、前記メモリブロックに対する読み取り条件を調節する段階と、をさらに含み、
前記読み取り条件を調節する段階は、前記メモリブロックの前記プログラムモードを基に、前記読み取り条件に関する少なくとも1つの電圧レベルを調節する段階を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。
【請求項18】
複数のメモリグループを含む不揮発性メモリと、
前記不揮発性メモリを制御するメモリコントローラと、を含み、
前記メモリコントローラは、
前記複数のメモリグループのうち第1メモリグループの消去時点からプログラム時点までの時間を示すEPI(erase program interval)を検出し、
検出された前記EPIを基に、前記第1メモリグループに関するプログラムモードを、各メモリセルに保存するデータビット数により、既定義の複数のプログラムモードのうち一つに決定し、
決定された前記プログラムモードにより、前記第1メモリグループに対するプログラム動作を制御し、
前記プログラム動作の制御は、選択された前記プログラムモードにより、前記プログラム動作と係わる少なくとも1つの電圧レベルを調節することを特徴とするメモリシステム。
【請求項19】
前記複数のプログラムモードは、QLC(quadruple level cell)モード、TLC(triple level cell)モード、MLC(multi level cell)モード、SLC(single level cell)モードのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項18に記載のメモリシステム。
【請求項20】
前記メモリグループは、メモリブロック、メモリスタックまたはサブメモリブロックであることを特徴とする請求項18に記載のメモリシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、メモリシステムに関し、さらに詳細には、閾値電圧散布特性を改善させたメモリシステム、及びその動作方法に関する。
【背景技術】
【0002】
メモリシステムは、メモリコントローラとメモリ装置とを含み、メモリ装置は、不揮発性メモリ装置でもある。不揮発性メモリ装置の一例として、フラッシュメモリ装置は、携帯電話、デジタルカメラ、携帯用情報端末機(PDA)、移動式コンピュータ装置、固定式コンピュータ装置及びその他装置においても使用される。フラッシュメモリ装置は、多数のブロックを含み、それぞれのブロックは、多数のページを含む。フラッシュメモリ装置において、ブロックに対して消去が行われた後、プログラムが遂行されるまでの時間として、EPI(erase program interval)が定義され得る。フラッシュメモリ装置の特性上、データ記録が行われるとき、EPIが長い場合には、その閾値電圧散布特性が低下し、それにより、データの信頼性が低下してしまうという問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本開示の技術的思想は、EPIが相対的に長い場合にも、データ信頼性低下を抑えたり防止したりするメモリシステム及びその動作方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本開示の技術的思想による、不揮発性メモリを含むメモリシステムの動作方法は、前記不揮発性メモリに含まれたメモリグループの消去時点からプログラム時点までの時間を示すEPIを検出する段階、前記EPIを基に、前記メモリグループに関するプログラムモードを、各メモリセルに保存するデータビット数により、既定義の複数のプログラムモードのうち一つに決定する段階、及び決定された前記プログラムモードで、前記メモリグループに対するプログラム動作を遂行する段階を含み、前記プログラム動作を遂行する段階は、選択された前記プログラムモードを基に、前記プログラム動作の少なくとも1つの電圧レベルを調節する段階を含む。
【0005】
また、本開示の技術的思想による、不揮発性メモリを含むメモリシステムの動作方法は、ホストから受信した書き込み要請に応答し、メモリブロックの消去時点からプログラム時点までの時間を示すEPIを検出する段階、検出された前記EPIが、第1基準時間以下であるならば、各メモリセルにNビットデータを書き込む第1プログラムモードで、前記メモリブロックに対するプログラム動作を遂行する段階、及び検出された前記EPIが前記第1基準時間を超えれば、各メモリセルにMビットデータを書き込む第2プログラムモードで、前記メモリブロックに対するプログラム動作を遂行する段階を含み、前記第1プログラムモードで、前記プログラム動作を遂行する段階は、前記第1プログラムモードを基に、前記プログラム動作の少なくとも1つの電圧レベルを調節する段階を含み、前記第2プログラムモードで、前記プログラム動作を遂行する段階は、前記第2プログラムモードを基に、前記プログラム動作の少なくとも1つの電圧レベルを調節する段階を含み、NとMは、正の整数であり、Mは、Nより小さい。
【0006】
また、本開示の技術的思想によるメモリシステムは、複数のメモリグループを含む不揮発性メモリ、及び前記不揮発性メモリを制御するメモリコントローラを含み、前記メモリコントローラは、前記複数のメモリグループのうち第1メモリグループの消去時点からプログラム時点までの時間を示すEPIを検出し、検出された前記EPIを基に、前記第1メモリグループに対するプログラムモードを、各メモリセルに保存するデータビット数により、既定義の複数のプログラムモードのうち一つに決定し、決定された前記プログラムモードにより、前記第1メモリグループに対するプログラム動作を制御し、前記プログラム動作の制御は、選択された前記プログラムモードにより、前記プログラム動作と係わる少なくとも1つの電圧レベルを調節する。
【発明の効果】
【0007】
本開示の技術的思想によれば、EPI情報により、QLCモード、TLCモード、MLCモード、SLCモードのうち少なくとも一つを含む複数のプログラムモードのうち一つを適用し、データを記録したり読み取ったりすることにより、EPIが長い状態でデータがプログラムされても、データの信頼性を向上させることができる効果がある。
【0008】
また、本発明の技術的思想によれば、データを保存するための空間を効率的に使用することができ、頻繁なガベージコレクション動作を防止することができるので、メモリシステムの寿命低下を抑えることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1】本開示の一実施形態によるメモリシステムを示すブロック図である。
図2図1の不揮発性メモリのEPIに起因した閾値電圧散布特性を例示的に示す図面である。
図3】本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。
図4A】SLCモードでプログラムされたメモリセルの閾値電圧散布を例示的に示す図面である。
図4B】MLCモードでプログラムされたメモリセルの閾値電圧散布を例示的に示す図面である。
図4C】TLCモードでプログラムされたメモリセルの閾値電圧散布を例示的に示す図面である。
図4D】QLCモードでプログラムされたメモリセルの閾値電圧散布を例示的に示す図面である。
図5図1のメモリコントローラの一具現化例を示すブロック図である。
図6図1の不揮発性メモリの一具現化例を示すブロック図である。
図7】本開示の一実施形態によるEPIテーブルを例示的に示す図面である。
図8】本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。
図9図8の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
図10】本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。
図11図10の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
図12】本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。
図13図12の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
図14】本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。
図15図14の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
図16A】本開示の一部実施形態によるプログラムモードテーブルを例示的に示す図面である。
図16B】本開示の一部実施形態によるプログラムモードテーブルを例示的に示す図面である。
図17】本開示の一実施形態による、EPI情報を保存するメモリブロックを例示的に示す図面である。
図18A】本開示の一実施形態による、EPIテーブル及びプログラムモードテーブルを例示的に示す図面である。
図18B】本開示の一実施形態による、EPIテーブル及びプログラムモードテーブルを例示的に示す図面である。
図19】本開示の一実施形態によるメモリブロックの断面の一部を示す図面である。
図20】本開示の一実施形態による、スタックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
図21】本開示の一実施形態による、スタックに対するプログラム動作の他の例を示す概念図である。
図22A】本開示の一実施形態による、EPIテーブル及びプログラムモードテーブルを例示的に示す図面である。
図22B】本開示の一実施形態による、EPIテーブル及びプログラムモードテーブルを例示的に示す図面である。
図23】本開示の一実施形態による、サブブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
図24】本開示の一実施形態による、サブブロックに対するプログラム動作の他の例を示す概念図である。
図25】本開示の一実施形態による、ホスト、メモリコントローラ及び不揮発性メモリ間のデータ書き込み動作を示すフローチャートである。
図26】本開示の一実施形態による、ホスト、メモリコントローラ及び不揮発性メモリ間のデータ読み取り動作を示すフローチャートである。
図27】本開示の一実施形態による、メモリコントローラ及び不揮発性メモリ間のガベージコレクション動作を示すフローチャートである。
図28】本開示の一部実施形態による、図1のメモリシステムの変形例を示すブロック図である。
図29】本開示の一部実施形態による、図1のメモリシステムの変形例を示すブロック図である。
図30】本開示の一部実施形態による、図1のメモリシステムの変形例を示すブロック図である。
図31】本開示の実施形態によるメモリシステムをSSDシステムに適用した例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
【0011】
図1は、本開示の一実施形態によるメモリシステム10を示すブロック図である。図1を参照すれば、メモリシステム10は、メモリコントローラ100及び不揮発性メモリ(NVM:non-volatile memory)200を含んでもよい。一実施形態において、不揮発性メモリ200は、メモリチップによっても具現化され、メモリシステム10は、複数のメモリチップを含んでもよい。一実施形態において、メモリコントローラ100は、複数のチャネルを介して、複数のメモリチップにもそれぞれ連結される。例えば、メモリシステム10は、SSD(solid state drive)のようなストレージ装置によっても具現化される。
【0012】
メモリコントローラ100は、ホスト(host)からの書き込み/読み取り要請に応答し、不揮発性メモリ200にデータをプログラムしたり、不揮発性メモリ200に保存されたデータを読み取ったりするように、不揮発性メモリ200を制御することができる。具体的には、メモリコントローラ100は、不揮発性メモリ200に、コマンドCMD及びアドレスADDRを提供することにより、不揮発性メモリ200に対するプログラム、読み取り及び消去の動作を制御することができる。また、プログラムするためのデータDATAと、読み取られたデータDATAとが、メモリコントローラ100と不揮発性メモリ200との間でも送受信される。一実施形態において、コマンドCMD及びアドレスADDRは、データDATAと同一入出力チャネルを利用し、メモリコントローラ100から不揮発性メモリ200にも送信される。一実施形態において、コマンドCMD及びアドレスADDRは、第1入出力チャネルを利用し、メモリコントローラ100から不揮発性メモリ200に送信され、データDATAは、第2入出力チャネルを利用し、メモリコントローラ100から不揮発性メモリ200にも送信される。また、メモリコントローラ100は、不揮発性メモリ200に制御信号CTRLをさらに提供することができる。
【0013】
不揮発性メモリ200は、メモリセルアレイ210及び制御回路220を含んでもよい。メモリセルアレイ210は、複数のメモリセルを含み得、例えば、複数のメモリセルは、フラッシュメモリセルでもある。以下では、メモリセルが、NANDフラッシュメモリセルである実施形態を中心に説明する。しかし、本発明は、それに限定されるものではなく、該メモリセルは、ReRAM(resistive random access memory)、PRAM(phase-change random access memory)またはMRAM(magnetic random access memory)のような抵抗型メモリセルでもある。メモリセルアレイ210は、複数のブロックを含み、各ブロックは、複数のページを含み、各ページは、複数のメモリセルを含んでもよい。メモリセルアレイ210において、データ消去動作は、ブロック単位でも行われ、データの書き込み動作及び読み取り動作は、ページ単位でも行うことができる。
【0014】
制御回路220は、メモリ動作に関して、不揮発性メモリ200の全般的な動作を制御することができる。制御回路220は、メモリコントローラ100から受信したコマンドCMD及びアドレスADDRを基に、メモリセルアレイ210にデータをプログラムしたり、メモリセルアレイ210からデータを読み取ったり、メモリセルアレイ210に保存されたデータを消去したりするための各種制御信号を出力することができる。一部実施形態において、制御回路220は、ロジック回路を含むハードウェア、またはソフトウェアを実行するプロセッサのようなハードウェア/ソフトウェアの組み合わせによっても具現化される。例えば、制御回路220は、CPU(central processing unit)、ALU(arithmetic logic unit)、デジタルシグナルプロセッサ、マイクロコンピュータ、FPGA(field-programmable gate array)、SOC(system on chip)、プログラム可能なロジックユニット、マイクロプロセッサ、ASIC(application specific integrated circuit)などを含んでもよいが、それらに限定されるものではない。
【0015】
フラッシュメモリ装置において、ブロックに対する消去時点からプログラム時点までの時間を示すEPI(erase program interval)が定義され得る。フラッシュメモリ装置、特に、三次元構造のブロックを含む垂直型NANDフラッシュメモリ(VNAND)の特性上、EPIが長くなれば、データの信頼性が低下してしまう。例えば、消去が行われた後、プログラムが遂行されるまでの時間の間、隣接したメモリセル間のスペース(space)領域において、ホール拡散(hole spreading)が発生し、相対的に長いEPI状態でデータがプログラムされる場合には、プログラムが遂行された後、電子とホールとが再結合される。それにより、メモリセルの閾値電圧散布がシフトされるが、それについては、図2を参照して詳細に説明する。
【0016】
図2は、図1の不揮発性メモリ200のEPIに起因した閾値電圧散布特性を例示的に示す。図2を参照すれば、横軸は、閾値電圧を示し、縦軸は、メモリセルの個数を示す。ブロックの消去直後、プログラム動作を遂行した第1ケース21、すなわち、EPIがほとんど0である場合、メモリセルは、閾値電圧により、消去状態E、及び第1プログラム状態P1ないし第nプログラム状態Pnのうち一つを有することができる。例えば、第1プログラム状態P1及び第2プログラム状態P2に関する読み取り電圧レベルは、それぞれVr1、Vr2と前もって定義されている。
【0017】
ブロックの消去後、第1時間後にプログラムを遂行した第2ケース22、すなわち、EPIが相対的に短い場合、第1ケース21に比べ、閾値電圧散布が全般的に左側(または、閾値電圧レベルが低くなる方向)にもシフトされる。ブロックの消去後、第1時間より長い第2時間後にプログラムを遂行した第3ケース23、すなわち、EPIが相対的に長い場合、第2ケース22に比べ、閾値電圧散布が全般的にさらに左側(または、閾値電圧レベルが低くなる方向)にもシフトされる。
【0018】
このように、相対的に長いEPI状態でデータがプログラムされた場合、相対的に短いEPI状態でデータがプログラムされた場合に比べ、閾値電圧散布特性が低下してしまう。このとき、既定義の読み取り電圧レベルVr1,Vr2,…,Vrnを利用し、メモリセルに対する読み取り動作を遂行する場合、読み取りエラーが発生し、それにより、メモリセルに保存されたデータの信頼性が低下してしまう。一方、前述のようなEPIに起因した信頼性低下を防止するために、長いEPIを有することによって検出されたブロックを利用しない場合には、不揮発性メモリ200の保存空間を効率的に利用することができず、頻繁なガベージコレクション(garbage collection)動作を誘発することにより、不揮発性メモリ200の寿命を低下させてしまう。
【0019】
再び図1を参照すれば、前述の問題点を解決するために、メモリコントローラ100は、EPI検出器回路110及びプログラムモード制御回路120を含んでもよい。EPI検出器回路110は、ユーザデータまたはメタデータのようなデータの書き込み動作時、メモリグループのEPIを検出することができる。また、EPI検出器回路110は、ガベージコレクション動作時、メモリグループのEPIを検出することができる。例えば、該メモリグループは、メモリセルアレイ210に含まれたメモリブロック、メモリスタックまたはサブメモリブロックなどでもある。しかし、本発明は、それらに限定されるものではなく、EPI検出器回路110は、メモリグループに対するプログラム動作が要求される多様な状況において、メモリグループのEPIを検出することができる。一部実施形態において、EPI検出器回路110は、ロジック回路を含むハードウェア、またはソフトウェアを実行するプロセッサのようなハードウェア/ソフトウェアの組み合わせによっても具現化される。例えば、EPI検出器回路110は、CPU、ALU、デジタルシグナルプロセッサ、マイクロコンピュータ、FPGA、SoC、プログラム可能なロジックユニット、マイクロプロセッサ、ASICなどを含んでもよいが、それらに限定されるものではない。
【0020】
プログラムモード制御回路120は、検出されたEPIにより、複数のプログラムモードのうち一つを、メモリグループに対するプログラムモードに決定することができる。複数のプログラムモードは、各メモリセルに保存するデータビット数により、前もって定義されている。例えば、複数のプログラムモードは、QLC(quadruple level cell)モード、TLC(triple level cell)モード、MLC(multi level cell)モード、SLC(single level cell)モードのうち少なくとも一つを含んでもよい。複数のプログラムモードについては、図4Aないし図4Dを参照して後述する。また、プログラムモード制御回路120は、決定されたプログラムモードで、メモリグループに対するプログラム動作を制御することができる。それにより、長いEPIを有するメモリグループにデータが書き込まれても、データ信頼性低下を抑えたり防止したりすることができる。一部実施形態において、プログラムモード制御回路120は、ロジック回路を含むハードウェア、またはソフトウェアを実行するプロセッサのようなハードウェア/ソフトウェアの組み合わせによっても具現化される。例えば、プログラムモード制御回路120は、CPU、ALU、デジタルシグナルプロセッサ、マイクロコンピュータ、FPGA、SoC、プログラム可能なロジックユニット、マイクロプロセッサ、ASICなどを含んでもよいが、それらに限定されるものではない。
【0021】
一部実施形態において、メモリシステム10は、電子装置に内蔵される内部メモリでもある。例えば、メモリシステム10は、SSD、埋め込みUFS(Universal Flash Storage)メモリ装置またはeMMC(embedded multi-media card)でもある。一部実施形態において、メモリシステム10は、電子装置に着脱可能な外装メモリでもある。例えば、メモリシステム10は、UFSメモリカード、CF(compact flash)、SD(secure digital)、Micro-SD(micro secure digital)、Mini-SD(mini secure digital)、xD(extreme digital)またはメモリスティック(memory stick)でもある。
【0022】
メモリシステム10及びホストは、ストレージシステムを構成することができ、該ストレージシステムは、例えば、PC(personal computer)、データサーバ、ネットワーク-結合ストレージ、IoT(internet of things)装置、または携帯用電子機器によっても具現化される。該携帯用電子機器は、ラップトップコンピュータ、移動電話機、スマートフォン、タブレットPC、PDA(personal digital assistant)、EDA(enterprise digital assistant)、デジタルスチールカメラ、デジタルビデオカメラ、オーディオ装置、PMP(portable multimedia player)、PND(personal navigation device)、MP3プレーヤ、携帯用ゲームコンソール(handheld game console)、電子書籍(e-book)、ウェアラブル機器などでもある。
【0023】
図3は、本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。図3を参照すれば、本実施形態による動作方法は、閾値電圧散布特性を向上させるためのメモリシステムのプログラム方法でもあり、例えば、図1のメモリシステム10において、時系列的に遂行される段階を含んでもよい。
【0024】
段階S110において、メモリコントローラ100は、メモリグループのEPIを検出する。例えば、EPI検出器回路110は、タイマ(timer)を含み、該タイマは、メモリグループに対して消去が行われた時点からプログラムが遂行される時点までの時間を、EPIとして検出することができる。段階S120において、メモリコントローラ100は、検出されたEPIを基に、プログラムモードを、QLCモード、TLCモード、MLCモード及びSLCモードのうち少なくとも一つを含む複数のプログラムモードのうち一つに決定する。例えば、プログラムモード制御回路120は、検出されたEPIを、既定義の基準時間と比較することにより、複数のプログラムモードのうち一つを選択することができる。段階S130において、メモリコントローラ100は、決定されたプログラムモードで、メモリグループに対するプログラム動作を遂行する。
【0025】
図4Aないし図4Dは、それぞれSLCモード、MLCモード、TLCモード、QLCモードでプログラムされたメモリセルの閾値電圧散布を例示的に示す。図4Aないし図4Dにおいて、横軸は、閾値電圧を示し、縦軸は、メモリセルの個数を示す。
【0026】
図4Aを参照すれば、SLCモードは、各メモリセルに1ビットデータを保存するプログラムモードであり、メモリセルは、閾値電圧分布により、2個の状態(states)のうち一つを有することができるSLCモードによってもプログラムされる。例えば、データ「1」を保存するメモリセルは、消去状態Eであり、データ「0」を保存するメモリセルは、プログラム状態Pでもある。
【0027】
図4Bを参照すれば、MLCモードは、各メモリセルに2ビットデータを保存するプログラムモードであり、メモリセルは、閾値電圧分布により、4個の状態のうち一つを有することができるMLCモードによってもプログラムされる。例えば、データ「11」を保存するメモリセルは、消去状態Eであり、データ「10」、「01」、「00」をそれぞれ保存するメモリセルは、それぞれ第1プログラム状態P1ないし第3プログラム状態P3でもある。
【0028】
図4Cを参照すれば、TLCモードは、各メモリセルに3ビットデータを保存するプログラムモードであり、メモリセルは、閾値電圧分布により、8個の状態のうち一つを有することができるTLCモードによってもプログラムされる。例えば、データ「111」を保存するメモリセルは、消去状態Eであり、データ「110」、「101」、「100」、「011」、「010」、「001」、「000」をそれぞれ保存するメモリセルは、それぞれ第1プログラム状態P1ないし第7プログラム状態P7でもある。
【0029】
図4Dを参照すれば、QLCモードは、各メモリセルに4ビットデータを保存するプログラムモードであり、メモリセルは、閾値電圧分布により、16個の状態のうち一つを有することができるQLCモードによってもプログラムされる。例えば、データ「1111」を保存するメモリセルは、消去状態Eであり、データ「1110」、「1101」、「1100」、「1011」、「1010」、「1001」、「1000」、「0111」、「0110」、「0101」、「0100」、「0011」、「0010」、「0001」、「0000」をそれぞれ保存するメモリセルは、それぞれ第1プログラム状態P1ないし第15プログラム状態P15でもある。
【0030】
図4Aないし図4Dを共に参照すれば、隣接した2つの状態、すなわち、2つのバレー(valleys:谷部)間の間隔を「バレーマージン(valley margin)」と定義することができる。SLCモードでプログラムされたセルの場合、消去状態Eとプログラム状態Pとの間に、第1バレーマージンVM1があることになる。MLCモードでプログラムされたセルの場合、第1プログラム状態P1と第2プログラム状態P2との間に、第1バレーマージンVM1より小さい第2バレーマージンVM2があることになる。TLCモードでプログラムされたセルの場合、第1プログラム状態P1と第2プログラム状態P2との間に、第2バレーマージンVM2より小さい第3バレーマージンVM3があることになる。QLCモードでプログラムされたセルの場合、第1プログラム状態P1と第2プログラム状態P2との間に、第3バレーマージンVM3より小さい第4バレーマージンVM4があることになる。このように、SLCモードからQLCモードに行くほど、バレーマージンが低減される。
【0031】
図2を参照して説明したように、EPIによってプログラムされたメモリセルの閾値電圧散布が左側にもシフトされる。従って、本実施形態によれば、EPIが短いブロックに対するプログラム動作時、バレーマージンが相対的に小さいプログラムモード、例えば、QLCモードでプログラムを遂行し、EPIが長いブロックに対するプログラム動作時、バレーマージンが相対的に大きいプログラムモード、例えば、SLCモードでプログラムを遂行することができる。それについては、図8ないし図13を参照して後述する。
【0032】
図5は、図1のメモリコントローラの一具現化例を示すブロック図である。図5を参照すれば、メモリコントローラ100aは、EPI検出器回路110、プログラムモード制御回路120、プロセッシング回路130、ホストインターフェース140、バッファ150及び不揮発性メモリインターフェース160を含み得、それらは、バス170を介して、互いに通信することができる。図1を参照して説明された内容は、本実施形態にも適用されるが、重複説明は、省略する。
【0033】
EPI検出器回路110は、1以上のタイマを含み得、不揮発性メモリ200のメモリセルアレイ210に含まれるメモリグループそれぞれのEPIを検出することができる。一実施形態において、EPI検出器回路110に含まれたタイマは、多数のメモリグループに対しても共有される。一実施形態において、EPI検出器回路110は、多数のメモリグループそれぞれに対応するタイマを含んでもよい。しかし、本発明は、それに限定されるものではなく、EPI検出器回路110は、時間を測定することができる他の多様な構成を含むと定義されている。例えば、EPI検出器回路110がクロックカウンティングに基づいて時間を測定する場合、EPI検出器回路110は、カウンタを含んでもよい。
【0034】
プログラムモード制御回路120は、EPI検出器回路110の検出結果に基づいて、QLCモード、TLCモード、MLCモード及びSLCモードのうち少なくとも一つを含む複数のプログラムモードのうち一つに、メモリグループに関するプログラムモードを決定することができる。一実施形態において、プログラムモード制御回路120は、ソフトウェアまたはファームウェアによっても具現化され、メモリコントローラ100a内のメモリにローディングされ、プロセッシング回路130によっても実行される。一実施形態において、プログラムモード制御回路120は、ハードウェアによっても具現化される。
【0035】
プロセッシング回路130は、中央処理装置やマイクロプロセッシング回路などを含み得、メモリコントローラ100aの全般的な動作を制御することができる。一実施形態において、プロセッシング回路130は、マルチコアプロセッシング回路によっても具現化され、例えば、デュアルコアプロセッシング回路またはクワッドコアプロセッシング回路によっても具現化される。
【0036】
ホストインターフェース140は、ホストとメモリコントローラ100との物理的連結を提供する。例えば、ホストインターフェース140は、ATA(advanced technology attachment)、SATA(serial ATA)、e-SATA(external SATA)、SCSI(small computer small interface)、SAS(serial attached SCSI)、PCI(peripheral component interconnection)、PCI-E(PCI express)、IEEE 1394、USB(universal serial bus)、SD(secure digital)カード、MMC(multi-media card)、eMMC(embedded multi-media card)、CF(compact flash)カードインターフェースのような多様なインターフェース方式を含んでもよい。
【0037】
メモリインターフェース160は、メモリコントローラ100と不揮発性メモリ200との物理的連結を提供する。例えば、コマンドCMD、アドレスADDR及びデータDATAなどが、メモリインターフェース160を介して、メモリコントローラ100と不揮発性メモリ200との間においても送受信される。ホストから書き込み要請されるデータと、不揮発性メモリ200から読み取られたデータは、バッファ150に一時的に保存され得る。
【0038】
図6は、図1の不揮発性メモリの一具現化例を示すブロック図である。図6を参照すれば、不揮発性メモリ200aは、メモリセルアレイ210、制御回路220、電圧生成器230、ロウデコーダ240及びページバッファ250を含んでもよい。図6に図示されていないが、不揮発性メモリ200aは、データ入出力回路または入出力インターフェースのような、メモリ動作に関する他の多様な構成要素をさらに含んでもよい。
【0039】
メモリセルアレイ210は、複数のブロックBLK1ないしBLKzを含み、ブロックBLK1ないしBLKzのメモリセルは、ワードラインWL、ストリング選択ラインSSL、接地選択ラインGSL及びビットラインBLにも連結される。メモリセルアレイ210は、ワードラインWL、ストリング選択ラインSSL及び接地選択ラインGSLを介して、ロウデコーダ240に連結され、ビットラインBLを介して、ページバッファ250にも連結される。各メモリセルは、1またはそれ以上のビットを保存することができ、一例として、各メモリセルは、SLC、MLC、TLCまたはQLCに該当する。
【0040】
一実施形態において、メモリセルアレイ210は、二次元メモリセルアレイを含んでもよく、該二次元メモリセルアレイは、行方向及び熱方向に沿って配置された複数のセルストリングを含んでもよい。また、一実施形態により、メモリセルアレイ210は、三次元メモリセルアレイを含んでもよく、該三次元メモリセルアレイは、複数のセルストリングを含んでもよく、各セルストリングは、基板上に垂直に積層されたワードラインにそれぞれ連結されたメモリセルを含んでもよい。米国特許公開公報第7,679,133号、米国特許公開公報第8,553,466号、米国特許公開公報第8,654,587号、米国特許公開公報第8,559,235号及び米国特許出願公開公報第2011/0233648号は、三次元メモリセルアレイが複数レベルで構成され、ワードライン及び/またはビットラインがレベル間に共有されている三次元メモリセルアレイに関する適切な構成を説明するものであり、それらの文献は本明細書に引用形式として組み込まれる。
【0041】
制御回路220は、メモリコントローラ100から受信したコマンドCMD、アドレスADDR及び制御信号CTRLを基に、メモリセルアレイ210にデータをプログラムしたり、メモリセルアレイ210からデータを読み取ったりするための各種内部制御信号を出力することができる。一例として、制御回路220は、電圧生成器230で生成される各種電圧のレベルを制御するための電圧制御信号CTRL_volを出力することができ、ロウデコーダ240にローアドレスX-ADDRを提供することができ、ページバッファ250にカラムアドレスY-ADDRを提供することができる。
【0042】
電圧生成器230は、電圧制御信号CTRL_volを基にし、メモリセルアレイ210に対するプログラム、読み取り及び消去動作を遂行するための多種の電圧を生成することができる。具体的には、電圧生成器230は、ワードライン電圧VWL、例えば、プログラム電圧、読み取り電圧、プログラム検証電圧などを生成することができる。ロウデコーダ240は、ローアドレスX-ADDRに応答し、複数のワードラインWLのうち1本を選択することができ、複数のストリング選択ラインSSLのうち1本を選択することができる。ページバッファ250は、カラムアドレスY-ADDRに応答し、ビットラインBLのうち一部のビットラインを選択することができる。具体的には、ページバッファ250は、動作モードにより、書き込みドライバまたは感知増幅器として動作する。
【0043】
一実施形態において、制御回路220は、メモリグループに対応するプログラムモードにより、当該メモリグループに対するプログラム動作を遂行するために、電圧制御信号CTRL_volを生成することができる。例えば、プログラムモードがMLCモードである場合、制御回路220は、図4Bに例示されているように、メモリセルを、第1プログラム状態P1ないし第3プログラム状態P3のうち一つによってプログラムするように、プログラム電圧、プログラム検証電圧などを生成するための電圧制御信号CTRL_volを生成することができる。例えば、プログラムモードがQLCモードである場合、制御回路220は、図4Dに例示されているように、メモリセルを、第1プログラム状態P1ないし第15プログラム状態P15のうち一つによってプログラムするように、プログラム電圧、プログラム検証電圧などを生成するための電圧制御信号CTRL_volを生成することができる。
【0044】
一実施形態において、制御回路220は、メモリグループに対応するプログラムモードにより、当該メモリグループに対する読み取り動作を遂行するために電圧制御信号CTRL_volを生成することができる。例えば、プログラムモードがTLCモードである場合、制御回路220は、図4Cに例示されているように、第1プログラム状態P1ないし第7プログラム状態P7を読み取るための読み取り電圧に対する電圧制御信号CTRL_volを生成することができる。例えば、プログラムモードがQLCモードである場合、制御回路220は、図4Dに例示されているように、第1プログラム状態P1ないし第15プログラム状態P15を読み取るための読み取り電圧に対する電圧制御信号CTRL_volを生成することができる。
【0045】
図7は、本開示の一実施形態によるEPIテーブルET1を例示的に示す。図7を参照すれば、EPIテーブルET1は、複数のメモリブロックそれぞれに対応するEPI情報を保存することができる。以下では、便宜上、メモリブロックをブロックと称する。例えば、第1ブロックBLK1に対するEPI情報は、t1として、第2ブロックBLK2に対するEPI情報は、t2として保存することができる。一実施形態において、EPIテーブルET1は、不揮発性メモリ100のメタ領域にも保存される。一実施形態において、EPIテーブルET1は、メモリシステム10内のDRAMにも保存される。一実施形態において、EPIテーブルET1は、メモリコントローラ100内のSRAMにも保存される。以下では、図8ないし図16を参照し、ブロック別にEPI情報を管理する実施形態を中心に説明する。
【0046】
図8は、本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。図9は、図8の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
【0047】
図1図8及び図9を共に参照すれば、段階S200において、メモリシステム10は、メモリブロックのEPIを検出する。例えば、第1ブロックBLK1に対するデータ書き込み要請が受信されれば、メモリシステム10は、第1ブロックBLK1のEPIを検出することができる。段階S210において、メモリシステム10は、検出されたEPIが、基準時間tREF以下であるか否かということを判断する。判断結果から、検出されたEPIが、基準時間tREF以下であるならば、段階S240を遂行し、そうでなければ、段階S250を遂行する。
【0048】
検出されたEPIが、基準時間tREF以下であるならば、段階S240において、メモリシステム10は、メモリセルにNビットデータを書き込む第1プログラムモードでプログラム動作を遂行する(Nは、正の整数である)。例えば、Nは、4でもあり、第1プログラムモードは、QLCモードでもある。例えば、第1ブロックBLK1のEPIが、基準時間tREF以下であるならば、第1ブロックBLK1の一部ページについては、QLCモードでプログラム動作を遂行することができる。
【0049】
一方、検出されたEPIが、基準時間tREFを超えれば、段階S250において、メモリシステム10は、メモリセルにMビットデータを書き込む第2プログラムモードでプログラム動作を遂行する(Mは、Nより小さい正の整数である)。例えば、Mは、3でもあり、第1プログラムモードは、TLCモードでもある。例えば、第1ブロックBLK1のEPIが、基準時間tREFを超えれば、第1ブロックBLK1の残りの一部のページについては、TLCモードでプログラム動作を遂行することができる。
【0050】
一実施形態において、第1ブロックBLK1の一部ページに対し、QLCモードでプログラム動作が遂行された後、時間経過後、第1ブロックBLK1に対する記録が再び要請され得る。それにより、第1ブロックBLK1のEPIがさらに検出され、EPIがさらに検出される時点において、EPIは、基準時間tREFを経過する。このとき、第1ブロックBLK1の残りの一部のページについては、TLCモードでプログラム動作を遂行することができる。
【0051】
図10は、本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。図11は、図10の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
【0052】
図1図10及び図11を共に参照すれば、本実施形態による動作方法は、図8に例示された動作方法の変形実施形態に対応し、重複説明は、省略する。段階S210aにおいて、メモリシステム10は、検出されたEPIが、第1基準時間tREF1以下であるか否かということを判断する。例えば、第1基準時間tREF1は、25分でもある。判断結果から、検出されたEPIが、第1基準時間tREF1を超えれば、段階S220において、メモリシステム10は、検出されたEPIが、第2基準時間tREF2以下であるか否かということを判断する。例えば、第2基準時間tREF2は、3時間でもある。判断結果から、検出されたEPIが、第2基準時間tREF2以下であるならば、段階S250を遂行し、そうでなければ、段階S260を遂行する。
【0053】
段階S250において、メモリシステム10は、メモリセルにMビットデータを書き込む第2プログラムモードでプログラム動作を遂行する。段階S260において、メモリシステム10は、メモリセルにLビットデータを書き込む第3プログラムモードでプログラム動作を遂行する(Lは、Mより小さい正の整数である)。例えば、Lは、2でもあり、第3プログラムモードは、MLCモードでもある。例えば、第1ブロックBLK1のEPIが、第2基準時間tREF2を超えれば、第1ブロックBLK1の残りの一部のページについては、MLCモードでプログラム動作を遂行することができる。
【0054】
図12は、本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。図13は、図12の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
【0055】
図1図12及び図13を共に参照すれば、本実施形態による動作方法は、図10に例示された動作方法の変形実施形態に対応し、重複説明は、省略する。段階S220において、メモリシステム10は、検出されたEPIが、第2基準時間tREF2以下であるか否かということを判断する。判断結果から、検出されたEPIが、第2基準時間tREF2を超えれば、段階S230において、メモリシステム10は、検出されたEPIが、第3基準時間tREF3以下であるか否かということを判断する。例えば、第3基準時間tREF3は、24時間でもある。判断結果から、検出されたEPIが、第3基準時間tREF3以下であるならば、段階S260を遂行し、そうでなければ、段階S270を遂行する。
【0056】
段階S260において、メモリシステム10は、メモリセルにLビットデータを書き込む第3プログラムモードでプログラム動作を遂行する。段階S270において、メモリシステム10は、メモリセルにKビットデータを書き込む第4プログラムモードでプログラム動作を遂行する(Kは、Lより小さい正の整数である)。例えば、Kは、1でもあり、第4プログラムモードは、SLCモードでもある。例えば、第1ブロックBLK1のEPIが、第3基準時間tREF3を超えれば、第1ブロックBLK1の残りの一部のページについては、SLCモードでプログラム動作を遂行することができる。
【0057】
図14は、本開示の一実施形態によるメモリシステムの動作方法を示すフローチャートである。図15は、図14の動作方法によるメモリブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
【0058】
図1図14及び図15を参照すれば、本実施形態による動作方法は、図8に例示された動作方法の変形実施形態に対応し、図8及び図9を参照して説明された内容は、本実施形態にも適用される。具体的には、本実施形態による動作方法は、図8の動作方法に比べ、段階S280及び段階S290をさらに含んでもよい。しかし、本発明は、それに限定されるものではなく、一部実施形態は、図10または、図12の動作方法に比べ、段階S280及び段階S290をさらに含んでもよい。
【0059】
段階S280において、メモリシステム10は、サドゥンパワーオフ(SPO:sudden power off:突然の電源オフ)を検出する。段階S290において、メモリシステム10は、デフォルトプログラムモードでプログラム動作を遂行する。例えば、第1ブロックBLK1に対するプログラム最中、SPO発生後、再び電源が印加されれば、第1ブロックBLK1の残りの一部のページについては、デフォルトプログラムモード、例えば、SLCモードでプログラム動作を遂行することができる。
【0060】
SPO発生により、メモリグループのEPIを検出するためのタイマがリセットされるか、あるいはメモリグループの消去時刻を示す情報が削除されるというような理由により、EPI情報の正確度が低くなってしまう。従って、SPO発生後、メモリグループに対するプログラム動作を遂行する場合には、当該メモリブロックの消去時点から長時間が経過したと仮定し、当該メモリブロックに対し、デフォルトプログラムモードでプログラム動作を遂行することができる。例えば、デフォルトプログラムモードは、バレーマージンが相対的に大きいSLCモードまたはMLCモードでもある。
【0061】
図16A及び図16Bは、本開示の一部実施形態によるプログラム(PGM)モードテーブルPMT1,PMT1’を例示的に示す。
【0062】
図16Aを参照すれば、プログラムモードテーブルPMT1は、複数のLPN(logical page number)にそれぞれ対応するプログラムモードを保存することができる。一部実施形態において、プログラムモードテーブルPMT1は、開始LPNと終了LPNとを記載したLPNグループ別に、プログラムモードを保存することもできる。例えば、第1LPN LPN1に関するプログラムモードは、QLCモードと決定され、第2LPN LPN2に関するプログラムモードは、MLCとも決定される。
【0063】
図16Bを参照すれば、プログラムモードテーブルPMT1’は、複数のPPN(physical page number)にそれぞれ対応するプログラムモードを保存することができる。一部実施形態において、プログラムモードテーブルPMT1’は、開始PPNと終了PPNとを記載したPPNグループ別に、プログラムモードを保存することもできる。例えば、第1PPN PPN1に関するプログラムモードは、QLCモードと決定され、第2PPN PPN2に関するプログラムモードは、MLCとも決定される。
【0064】
図1図16A及び図16Bを共に参照すれば、メモリコントローラ100は、EPIによってプログラムモードを決定した後、または決定されたプログラムモードで、不揮発性メモリ200に対するプログラム動作を遂行した後、プログラムモードテーブルPMT1またはPMT2をアップデートすることができる。一実施形態において、メモリコントローラ100は、プログラムモードテーブルPMT1またはPMT2を、不揮発性メモリ200のメタ領域に保存することができる。一実施形態において、メモリコントローラ100は、プログラムモードテーブルPMT1またはPMT2を、メモリコントローラ100内のメモリ(例えば、SRAM)、またはメモリシステム10内のメモリ(例えば、DRAM)に保存することもできる。
【0065】
図17は、本開示の一実施形態による、EPI情報を保存するメモリブロックBLKzを例示的に示す。図17を参照すれば、ブロックBLKzの第1ページpage 1ないし第3ページpage 3に関するメタ領域に、第1ページpage 1ないし第3ページpage 3に関するEPI情報またはプログラムモード情報が保存され得る。また、ブロックBLKzの他のページpage (k-1)ないしpage kに関するメタ領域に、当該ページpage (k-1)ないしpage kに関するEPI情報またはプログラムモード情報が保存され得る。
【0066】
データ書き込み要請が受信されれば、メモリコントローラ100は、ブロックBLKzのメタ領域に保存されたEPI情報を読み取り、読み取られたEPI情報を基に、ブロックBLKzのプログラムモードを決定することができる。一方、データ読み取り要請が受信されれば、メモリコントローラ100は、ブロックBLKzのメタ領域に保存されたプログラムモード情報を読み取り、読み取られたプログラムモード情報を基に、ブロックBLKzに関する読み取り電圧レベルのような読み取り条件を調節することができる。
【0067】
図18A及び図18Bは、本開示の一実施形態によるEPIテーブルET2及びプログラムモードテーブルPMT2を例示的に示す。
【0068】
図18Aを参照すれば、EPIテーブルET2は、複数のメモリスタックそれぞれに対応するEPI情報を保存することができる。以下においては、便宜上、サブメモリスタックをスタックと称する。例えば、第1スタックSTK1に関するEPI情報は、t1’として、第2スタックSTK2に関するEPI情報は、t2’として保存することができる。
【0069】
図18Bを参照すれば、プログラムモードテーブルPMT2は、複数のスタックにそれぞれ対応するプログラムモードを保存することができる。一部実施形態において、プログラムモードテーブルPMT2は、開始スタックと終了スタックとを記載したスタックグループ別に、プログラムモードを保存することもできる。例えば、第1スタックSTK1に関するプログラムモードは、QLCモードと決定され、第2スタックSTK2に関するプログラムモードは、MLCとも決定される。以下では、スタックの構造及び定義については、図19を参照して説明する。
【0070】
図19は、本開示の一実施形態によるメモリブロックBLKの断面の一部を示す。図19を参照すれば、垂直型メモリ装置の場合、三次元構造のメモリブロックにおいて、チャネル構造を形成するために、チャネルホール(hole)を形成するエッチング工程が遂行され、メモリブロックの高さにより、チャネルホールの直径は、互いに異なりもする。例えば、該チャネルホールは、三次元構造のメモリブロックにおいて、上部から下部に行くほどその直径が小さくなってしまう。三次元構造のメモリブロックにおいて、チャネルホールの直径が非常に小さくなることを防止するために、チャネルホールを形成するエッチング工程が少なくとも2回遂行される。具体的には、基板上に、第1スタック(すなわち、第1積層構造体)STK1が形成された後、エッチング工程が遂行され、その後、第1スタックSTK1上に第2スタック(すなわち、第2積層構造体)が形成されてもよい。また、第2スタックSTK2に対し、エッチング工程が遂行される。
【0071】
一例として、三次元構造のメモリブロックBLKは、第1スタックSTK1は、垂直方向に相互に配置されるゲート電極310と絶縁膜320とを含んでもよい。また、第1スタックSTK1の上部に積層される第2スタックSTK2は、垂直方向に相互に配置されるゲート電極340と絶縁膜350とを含んでもよい。一実施形態により、第1スタックSTK1と第2スタックSTK2との間には、構造体間層330が配置されてもよい。また、チャネル構造360は、チャネル362、チャネル362の外側壁を取り囲む誘電膜構造物363、及び前記チャネル362内部に配置されるチャネル埋め込み膜パターン361を含んでもよい。前述のような構造は、一実施形態に過ぎないものであり、本発明の実施形態による三次元構造のメモリブロックBLKは、少なくとも2回のエッチング工程が遂行される他の多様な構造を有することも可能であろう。
【0072】
図20は、本開示の一実施形態によるスタックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
【0073】
図1図18Aないし図20を共に参照すれば、メモリグループは、スタックに対応し、メモリシステム10は、スタック単位でEPIを管理し、プログラムモードを決定することができる。例えば、ブロックBLKは、基板に対して垂直方向に積層された少なくとも第1スタックSTK1及び第2スタックSTK2を含んでもよい。例えば、第1スタックSTK1及び第2スタックSTK2は、それぞれ図19に例示された第1スタックSTK1及び第2スタックSTK2の概略化された構造でもある。図8ないし図15に例示された動作方法は、本実施形態にも適用される。
【0074】
一実施形態において、ブロックBLKに対するデータ書き込み要請が受信されれば、メモリシステム10は、EPIテーブルET2を基に、第1スタックSTK1の第1EPI t1’を検出することができる。次に、メモリシステム10は、検出された第1EPI t1’が第1基準時間(例えば、図12のtREF1)以下であるか否かということを判断する。判断結果、検出された第1EPI t1’が第1基準時間tREF1以下であるならば、メモリシステム10は、メモリセルにNビットデータを書き込む第1プログラムモードで、第1スタックSTK1に対するプログラム動作を遂行することができる。例えば、Nは、4でもあり、第1プログラムモードは、QLCモードでもある。
【0075】
一実施形態において、メモリシステム10は、EPIテーブルET2を基に、第2スタックSTK2に対する第2EPI t2’を検出することができる。次に、メモリシステム10は、検出された第2EPI t2’を、例えば、第1基準時間tREF1、第2基準時間tREF2及び第3基準時間tREF3(図12)と比較することができる。検出された第2EPI t2’が第2基準時間tREF2を超えれば、メモリシステム10は、メモリセルにLビットデータを書き込む第3プログラムモードで、第2スタックSTK2に対するプログラム動作を遂行する。例えば、Lは、2でもあり、第3プログラムモードは、MLCモードでもある。
【0076】
図21は、本開示の一実施形態によるスタックに対するプログラム動作の他の例を示す概念図である。
【0077】
図1及び図21を共に参照すれば、本実施形態によるプログラム動作は、図20に例示されたプログラム動作の変形例に対応する。一実施形態において、第1スタックSTK1に対する第1EPI t1’が、例えば、第1基準時間tREF1(図12)以下であるならば、メモリシステム10は、第1スタックSTK1の一部ページに対して、例えば、QLCモードでプログラム動作を遂行することができる。第1スタックSTK1の一部ページに対するプログラム動作後、第1EPI t1’が第1基準時間tREF1を超えれば、メモリシステム10は、第1スタックSTK1の残りページに対し、ダミーデータを書き込むダミープログラムを遂行することができる。このように、1つのスタックについては、複数のプログラムモードではない、1つのプログラムモードだけ適用させることができる。
【0078】
また、一部実施形態によれば、第1スタックSTK1に対するプログラム動作において、第1スタックSTK1に対応するEPIが、第1基準時間tREF1を超えれば、第2スタックSTK2に関するプログラムモードをQLCモード、TLCモード、MLCモード、SLCモードのうち少なくとも一つに決定することができる。このとき、第2スタックSTK2については、ダミーデータを書き込むダミープログラムを遂行しない。それにより、メモリブロックより小さい単位であるスタック別に、プログラム動作を効率的に遂行することができる。
【0079】
図22A及び図22Bは、本開示の一実施形態によるEPIテーブルET3及びプログラムモードテーブルPMT3を例示的に示す。
【0080】
図22Aを参照すれば、EPIテーブルET3は、複数のサブメモリブロックそれぞれに対応するEPI情報を保存することができる。以下では、便宜上、サブメモリブロックをサブブロックと称する。例えば、第1サブブロックSBLK1に関するEPI情報は、t1”として、第2サブブロックSBLK2に関するEPI情報は、t2”として保存することができる。
【0081】
図22Bを参照すれば、プログラムモードテーブルPMT3は、複数のサブブロックにそれぞれ対応するプログラムモードを保存することができる。一部実施形態において、プログラムモードテーブルPMT3は、開始サブブロックと終了サブブロックとを記載したサブブロックグループ別に、プログラムモードを保存することもできる。例えば、第1サブブロックSBLK1に関するプログラムモードは、QLCモードと決定され、第2サブブロックSBLK2に関するプログラムモードは、MLCとも決定される。以下では、図23及び図24を参照し、サブブロック別にEPI情報を管理する実施形態を中心に説明する。
【0082】
図23は、本開示の一実施形態によるサブブロックに対するプログラム動作の一例を示す概念図である。
【0083】
図1図22Aないし図23を共に参照すれば、メモリグループは、サブブロックに対応し、メモリシステム10は、サブブロック単位でEPIを管理し、プログラムモードを決定することができる。ここで、該サブブロックは、独立して消去可能な単位でもあり、部分ブロックまたはパーシャルブロック(partial block)とも称する。例えば、ブロックBLK’は、少なくとも第1サブブロックSBLK1及び第2サブブロックSBLK2を含んでもよい。
【0084】
第1サブブロックSBLK1は、第0ワードラインWLないし第iワードラインWLを含みんでもよく、第2サブブロックSBLK2は、第(i+1)ワードラインWLi+1ないし第mワードラインWLを含んでもよい。ブロックBLK’のサイズが増大するにつれ、ブロック管理の容易性のために、ブロックBLK’は、第1サブブロックSBLK1及び第2サブブロックSBLK2を含む複数のサブブロックにも分けられる。このとき、サブブロック別に消去動作が遂行され、メモリブロックBLK’は、同時に消去可能な最大メモリ単位でもある。
【0085】
一実施形態において、ブロックBLK’に対するデータ書き込み要請が受信されれば、メモリシステム10は、EPIテーブルET3を基に、第1サブブロックSBLK1の第1EPI t1”を検出することができる。次に、メモリシステム10は、検出された第1EPI t1”が、例えば、第1基準時間tREF1(図12)以下であるか否かということを判断する。判断結果、検出された第1EPI t1”が第1基準時間tREF1以下であるならば、メモリシステム10は、メモリセルにNビットデータを書き込む第1プログラムモードで、第1サブブロックSBLK1に対するプログラム動作を遂行することができる。例えば、Nは、4でもあり、第1プログラムモードは、QLCモードでもある。
【0086】
一実施形態において、メモリシステム10は、EPIテーブルET3を基に、第2サブブロックSBLK2に対する第2EPI t2”を検出することができる。次に、メモリシステム10は、検出された第2EPI t2”を、例えば、第1基準時間tREF1、第2基準時間tREF2及び第3基準時間tREF3(図12)と比較することができる。検出された第2EPI t2”が第2基準時間tREF2を超えれば、メモリシステム10は、メモリセルにLビットデータを書き込む第3プログラムモードで、第2サブブロックSBLK2に対するプログラム動作を遂行する。例えば、Lは、2でもあり、第3プログラムモードは、MLCモードでもある。
【0087】
図24は、本開示の一実施形態によるサブブロックに対するプログラム動作の他の例を示す概念図である。
【0088】
図1及び図24を共に参照すれば、本実施形態によるプログラム動作は、図23に例示されたプログラム動作の変形例に対応する。一実施形態において、第1サブブロックSBLK1に対する第1EPI t1’が、例えば、第1基準時間tREF1(図12)以下であるならば、メモリシステム10は、第1サブブロックSBLK1の一部ページに対して、例えば、QLCモードでプログラム動作を遂行することができる。第1サブブロックSBLK1の一部ページに対するプログラム動作後、第1EPI t1’が第1基準時間tREF1を超えれば、メモリシステム10は、第1サブブロックSBLK1の残りページに対し、ダミーデータを書き込むダミープログラムを遂行することができる。このように、1つのサブブロックについては、複数のプログラムモードではない、1つのプログラムモードだけ適用することができる。
【0089】
また、一部実施形態によれば、第1サブブロックSBLK1に対するプログラム動作において、第1サブブロックSBLK1に対応するEPIが、第1基準時間tREF1を超えれば、第2サブブロックSBLK2に関するプログラムモードを、QLCモード、TLCモード、MLCモード、SLCモードのうち少なくとも一つに決定することができる。このとき、第2サブブロックSBLK2については、ダミーデータを書き込むダミープログラムを遂行しない。それにより、メモリブロックより小さい単位であるサブブロック別に、プログラム動作を効率的に遂行することができる。
【0090】
図25は、本開示の一実施形態によるホスト400、メモリコントローラ100及び不揮発性メモリ200の間のデータ書き込み動作を示すフローチャートである。図25を参照すれば、段階S310において、ホスト400は、データ書き込み要請を発行する。段階S320において、ホスト400は、データ書き込み要請とアドレスADDRとを、メモリコントローラ100に伝送する。段階S330において、メモリコントローラ100は、受信したアドレスに対応するメモリグループのEPIを検出する。例えば、メモリコントローラ100は、EPIテーブルET1(図7),ET2(図18A),ET3(図22A)を基に、メモリグループのEPIを検出することができる。
【0091】
段階S340において、メモリコントローラ100は、検出されたEPIを基に、メモリグループに関するプログラムモードを決定する。段階S350において、メモリコントローラ100は、決定されたプログラムモードにより、プログラムコマンドを発行する。段階S360において、メモリコントローラ100は、プログラムモードと共に、プログラムコマンドを不揮発性メモリ200に伝送する。このとき、メモリコントローラ100は、書き込むユーザデータまたはメタデータを、不揮発性メモリ200に共に伝送することができる。段階S370において、不揮発性メモリ200は、プログラムモードで、メモリグループに対するプログラム動作を遂行する。段階S380において、不揮発性メモリ200は、プログラム動作が遂行完了したことを示す応答メッセージを、メモリコントローラ100に伝送する。段階S390において、メモリコントローラ100は、データ書き込み動作が遂行完了したことを示す応答メッセージを、ホスト400に伝送する。
【0092】
図26は、本開示の一実施形態によるホスト400、メモリコントローラ100及び不揮発性メモリ200の間のデータ読み取り動作を示すフローチャートである。図26を参照すれば、段階S410において、ホスト400は、データ読み取り要請を発行する。段階S420において、ホスト400は、データ読み取り要請とアドレスADDRとを、メモリコントローラ100に伝送する。段階S430において、メモリコントローラ100は、受信したアドレスに対応するメモリグループのEPIまたはプログラムモードを検出する。例えば、メモリコントローラ100は、EPIテーブルのET1(図7),ET2(図18A),ET3(図22A)を基に、メモリグループのEPIを検出することができる。例えば、メモリコントローラ100は、プログラムモードテーブルPMT1(図16A),PMT1’(図16B),PMT2(図18B),PMT3(図22B)を基に、メモリグループのEPIを検出することができる。
【0093】
段階S440において、メモリコントローラ100は、検出されたEPIまたはプログラムモードを基に、メモリグループに対する読み取り条件を調節する。例えば、読み取り条件は、読み取り電圧レベルまたは読み取り時間などを含んでもよい。段階S450において、メモリコントローラ100は、調節された読み取り条件により、読み取りコマンドを発行する。段階S460において、メモリコントローラ100は、読み取り条件と共に、読み取りコマンドを不揮発性メモリ200に伝送する。段階S470において、不揮発性メモリ200は、調節された読み取り条件で、メモリグループに対する読み取り動作を遂行する。段階S480において、不揮発性メモリ200は、読み取られたデータを、メモリコントローラ100に伝送する。段階S490において、メモリコントローラ100は、読み取られたデータをホスト400に伝送する。
【0094】
図27は、本開示の一実施形態によるメモリコントローラ100と不揮発性メモリ200とのガベージコレクション動作を示すフローチャートである。図27を参照すれば、段階S510において、メモリコントローラ100は、ガベージコレクション動作を開始する。ガベージコレクション動作は、ソースブロックに含まれた有効データをターゲットブロックにプログラムすることにより、ソースブロックをフリーブロックにする動作を指すことができる。例えば、メモリコントローラ100は、バックグラウンド動作として、ガベージコレクション動作を遂行することができる。段階S520において、メモリコントローラ100は、ターゲットブロックのEPIを検出する。段階S530において、メモリコントローラ100は、検出されたEPIを基に、ターゲットブロックに対するプログラムモードを決定する。段階S540において、メモリコントローラ100は、決定されたプログラムモードにより、プログラムコマンドを発行する。
【0095】
段階S550において、メモリコントローラ100は、プログラムモードと共に、プログラムコマンドを不揮発性メモリ200に伝送する。段階S560において、不揮発性メモリ200は、受信したプログラムモードでターゲットブロックに対するプログラム動作を遂行する。段階S570において、不揮発性メモリ200は、ターゲットブロックに対するプログラム動作が遂行完了したことを示す応答メッセージをメモリコントローラ100に伝送する。
【0096】
図28は、本開示の一実施形態による、図1のメモリシステムの一変形例を示すブロック図である。図28を参照すれば、メモリシステム10aは、メモリコントローラ100a及び不揮発性メモリ200を含み、メモリコントローラ100aは、EPI検出器回路110a及びプログラムモード制御回路120を含んでもよい。また、不揮発性メモリ200は、多数のブロックBLK1ないしBLKzを含むメモリセルアレイ210と、制御回路220とを含んでもよい。本実施形態によるメモリシステム10aは、図1のメモリシステム10の変形例に対応し、図1ないし図27を参照して説明された内容は、本実施形態にも適用される。
【0097】
EPI検出器回路110aは、多数個のタイマ111,112を含み得、タイマ111,112の個数は、ブロックBLK1ないしBLKzの個数に相応する。メモリコントローラ100aは、ホストからデータの書き込みが要請されるブロックの位置を判断することができ、EPI検出器回路110aは、判断されたブロックに対応するタイマの値を参照することにより、当該ブロックのEPIを検出することができる。タイマ111,112それぞれは、対応するブロックの消去時点と記録時点との間の時間を判断することに基づき、EPIを検出することができる。一例として、第1ブロックBLK1に対応する第1タイマ111は、第1ブロックBLK1の消去時点からプログラム時点までの時間経過を判断することにより、第1ブロックBLK1のEPIを検出することができる。
【0098】
図29は、本開示の一実施形態による、図1のメモリシステムの一変形例を示すブロック図である。図29を参照すれば、メモリシステム10bは、メモリコントローラ100b及び不揮発性メモリ200を含み、メモリコントローラ100bは、EPI検出器回路110b、プログラムモード制御回路120及び消去時間保存回路180を含んでもよい。本実施形態によるメモリシステム10bは、図1のメモリシステム10の変形例に対応し、図1ないし図27を参照して説明された内容は、本実施形態にも適用される。
【0099】
EPI検出器回路110bは、タイマ111を含み得、タイマ111は、少なくとも2つのブロックにも共有される。例えば、EPI検出器回路110b内のタイマ111は、第1ブロックBLK1及び第2ブロックBLK2のEPIを検出することができる。タイマ111は、第1ブロックBLK1に対して消去動作が遂行された時刻と、第2ブロックBLK2に対して消去動作が遂行された時刻とを判断することができる。一例として、第1ブロックBLK1の消去時刻と、第2ブロックBLK2の消去時刻は、異なり、判断された消去時刻は、消去時刻保存回路180またはメモリセルアレイ210のメタ領域にも保存される。
【0100】
その後、タイマ111は、続けて、時間経過を判断し、第1ブロックBLK1に対して書き込み要請が受信されることにより、第1ブロックBLK1の書き込み時点を判断することができる。EPI検出器回路110bは、既に保存した第1ブロックBLK1の消去時刻を示す情報を確認し、記録時点から消去時刻までの時間を示すEPIを検出することができ、検出されたEPIに基づき、前述の実施形態により、多数のプログラムモードのうちいずれか一つにより、第1ブロックBLK1に対するプログラム動作を遂行することができる。それと類似して、タイマ111は、第2ブロックBLK2の書き込み時点を判断し、既に保存した第2ブロックBLK2の消去時刻を示す情報と、第2ブロックBLK2の記録時点とに基づいて、第2ブロックBLK2のEPIが検出され得る。
【0101】
図30は、本開示の一実施形態による、図1のメモリシステムの一変形例を示すブロック図である。図30を参照すれば、メモリシステム10cは、メモリコントローラ100c及び不揮発性メモリ200cを含み、不揮発性メモリ200cは、メモリセルアレイ210、制御回路220及びEPI検出器回路260を含んでもよい。不揮発性メモリ200cは、メモリコントローラ100cから、プログラムコマンドと共に提供されたアドレスADDRに基づいて、データが書き込まれるブロックを判断することができる。一例として、アドレスADDRは、メモリセルアレイ210の多数のブロックBLK1ないしBLKzのうちいずれか1つのブロックを指示するブロックアドレスを含んでもよい。
【0102】
EPI検出器回路260は、ブロックアドレスによって選択されるブロックのEPIを検出することができる。前述の実施形態と類似して、EPI検出器回路260は、1以上のタイマ261を含み得、一例として、メモリセルアレイ210に含まれたブロックBLK1ないしBLKzと同一個数のタイマを含むか、あるいは前記ブロックBLK1ないしBLKzより少ない個数のタイマを含んでもよいのである。
【0103】
例えば、第1ブロックBLK1は、メモリコントローラ100cから受信された消去コマンドによって消去動作が遂行されるか、あるいは不揮発性メモリ200c内でのガベージコレクション動作のような内部動作を介して消去動作が遂行される。EPI検出器回路260は、第1ブロックBLK1の消去時点を判断することができ、消去動作が遂行された後、プログラム動作が遂行されるまでの経過時間を判断することにより、第1ブロックBLK1のEPIを検出することができる。
【0104】
制御回路220は、EPI検出器回路260からEPI情報を受信することができ、受信されたEPI情報を基に、プログラムモードを決定することができ、決定されたプログラムモードにより、メモリセルアレイ210に対するプログラム動作を制御することができる。また、制御回路220は、EPI検出器回路260からEPI情報を受信することができ、受信されたEPI情報を基に、読み取り条件(例えば、読み取り電圧レベルなど)を決定することができ、決定された読み取り条件により、メモリセルアレイ210に対する読み取り動作を制御することができる。
【0105】
図31は、本開示の実施形態によるメモリシステムをSSDシステム1000に適用した例を示すブロック図である。図31を参照すれば、SSDシステム1000は、ホスト1100及びSSD1200を含んでもよい。SSD1200は、信号コネクタを介して、ホスト1100と信号SIGを送受信し、電源コネクタを介して、電源PWRを入力される。SSD1200は、SSDコントローラ1210、補助電源装置1220及びメモリ装置1230,1240,1250(MEM)を含んでもよい。メモリ装置1230,1240,1250は、チャネルCh1,Ch2、Chnを介して、SSDコントローラ1210にもそれぞれ連結される。
【0106】
SSDコントローラ1210は、図1ないし図30を参照して説明されたメモリコントローラ100,100a,100b,100cを利用しても具現化される。具体的には、SSDコントローラ1210は、メモリグループのEPIを基に、メモリグループに対応するプログラムモードを決定することができる。また、SSDコントローラ1210は、メモリグループに対応するEPI情報またはプログラムモードを基に、メモリグループに対応する読み取り条件を調節することができる。
【0107】
メモリ装置1230,1240,1250は、図1ないし図30を参照して説明された不揮発性メモリ装置200,200a,200b,200cを利用しても具現化される。具体的には、各メモリ装置1230,1240,1250は、決定されたプログラムモードにより、メモリグループに対するプログラム動作を遂行したり、調節された読み取り条件により、メモリグループに対する読み取り動作を遂行したりすることができる。
【0108】
以上のように、図面と明細書とでもって、例示的な実施形態が開示された。本明細書において、特定用語を使用して実施形態について説明されたが、それらは、単に本開示の技術的思想を説明するための目的で使用されたものであり、意味的な限定や、特許請求の範囲に記載された本開示の範囲制限のために使用されたものではない。従って、本技術分野の当業者であるならば、それらから多様な変形、及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解するであろう。従って、本開示の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって定められるものである。
【符号の説明】
【0109】
10,10a,10b,10c メモリシステム
100,100a,100b,100c メモリコントローラ
110,110a,110b,260 EPI検出器回路
111,112,261 タイマ
120 プログラムモード制御回路
130 プロセッシング回路
140 ホストインターフェース
150 バッファ
160 不揮発性メモリインターフェース
170 バス
180 消去時間保存回路
200,200a,200c 不揮発性メモリ
210 メモリセルアレイ
220 制御回路
230 電圧生成器
240 ロウデコーダ
250 ページバッファ
310,340 ゲート電極
320 絶縁膜
330 構造体間層
350 絶縁膜
360 チャネル構造
361 チャネル埋め込み膜パターン
362 チャネル
363 誘電膜構造物
400 ホスト
1000 SSDシステム
1100 ホスト
1200 SSD
1210 SSDコントローラ
1220 補助電源装置
1230,1240,1250 メモリ装置
図1
図2
図3
図4A
図4B
図4C
図4D
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13
図14
図15
図16A
図16B
図17
図18A
図18B
図19
図20
図21
図22A
図22B
図23
図24
図25
図26
図27
図28
図29
図30
図31