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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-03
(45)【発行日】2024-07-11
(54)【発明の名称】表示装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/336 20060101AFI20240704BHJP
H01L 29/786 20060101ALI20240704BHJP
G09F 9/30 20060101ALI20240704BHJP
H10K 50/10 20230101ALI20240704BHJP
H05B 33/14 20060101ALI20240704BHJP
H05B 33/02 20060101ALI20240704BHJP
H10K 59/10 20230101ALI20240704BHJP
H10K 59/126 20230101ALI20240704BHJP
H10K 59/12 20230101ALI20240704BHJP
H10K 50/115 20230101ALI20240704BHJP
H05B 44/00 20220101ALI20240704BHJP
H01L 27/088 20060101ALI20240704BHJP
H01L 21/8234 20060101ALI20240704BHJP
【ＦＩ】
H01L29/78 619A
G09F9/30 338
G09F9/30 365
G09F9/30 348A
G09F9/30 349C
H05B33/14 A
H05B33/14 Z
H05B33/02
H10K50/10
H10K59/10
H10K59/126
H10K59/12
H10K50/115
H05B44/00
H01L29/78 618B
H01L29/78 618C
H01L29/78 618E
H01L27/088 331E
H01L27/088 E
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2022190081
(22)【出願日】2022-11-29
(62)【分割の表示】P 2019571122の分割
【原出願日】2019-01-28
(65)【公開番号】P2023024481
(43)【公開日】2023-02-16
【審査請求日】2022-12-01
(31)【優先権主張番号】P 2018021216
(32)【優先日】2018-02-08
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2018025658
(32)【優先日】2018-02-16
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000153878
【氏名又は名称】株式会社半導体エネルギー研究所
(72)【発明者】
【氏名】山崎 舜平
(72)【発明者】
【氏名】楠 紘慈
(72)【発明者】
【氏名】及川 欣聡
(72)【発明者】
【氏名】吉住 健輔
【審査官】脇水 佳弘
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１６－２１３４６８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１４４２５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－０６３１９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－０３４０５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１８３３１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１７／００６２５３９（ＵＳ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１６／０３７２４９７（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２０１６－１５７９３７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１４７４４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１７／１４４９９４（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３３６
Ｇ０９Ｆ ９／３０
Ｈ１０Ｋ ５０／１０
Ｈ０５Ｂ ３３／１４
Ｈ０５Ｂ ３３／０２
Ｈ１０Ｋ ５９／１０
Ｈ１０Ｋ ５９／１２６
Ｈ１０Ｋ ５９／１２
Ｈ１０Ｋ ５０／１１５
Ｈ０５Ｂ ４４／００
Ｈ０１Ｌ ２９／７８６
Ｈ０１Ｌ ２７／０８８
Ｈ０１Ｌ ２１／８２３４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１のトランジスタと、ゲートが前記第１のトランジスタのソース又はドレインと電気的に接続される第２のトランジスタと、
前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続される表示素子と、を有する表示装置であって、
酸化物半導体層と、導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、第３の絶縁体と、第４の絶縁体と、を有し、
前記酸化物半導体層は、前記第１のトランジスタのチャネル形成領域を有し、
前記第２のトランジスタは、シリコン半導体を有し、
前記表示素子は、発光素子であり、
前記第１の絶縁体は、前記酸化物半導体層の上方に位置する領域を有し、
前記導電体は、前記第１の絶縁体の上方に位置する領域を有し、
前記第２の絶縁体は、前記酸化物半導体層の上面の一部及び前記酸化物半導体層の側面の一部と接し、
前記第３の絶縁体は、前記第２の絶縁体の上方に位置する領域を有し、
断面視において前記第１の絶縁体の一部は、前記導電体の側面と、前記第３の絶縁体の側面との間に位置する領域を有し、
断面視において前記第２の絶縁体の一部は、前記導電体の側面と、前記第３の絶縁体の側面との間に位置する領域を有し、
前記第４の絶縁体は、前記第１の絶縁体の上面、前記導電体の上面及び前記第３の絶縁体の上面と接し、
前記酸化物半導体層は、第１の領域と、第２の領域と、前記第１の領域と前記第２の領域との間に位置する第３の領域と、を有し、
前記導電体は、前記第３の領域と重なるように配置された領域を有し、
前記第２の絶縁体は、前記第１の領域、および前記第２の領域と接し、
前記酸化物半導体層は、前記表示素子と、前記シリコン半導体との間の領域を有する、表示装置。
【請求項2】
請求項１において、遮光膜を有し、
前記遮光膜は、前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタと重なる領域を有する表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の一態様は、表示装置、及び表示装置の作製方法に関する。本発明の一態様は、トランジスタ、及びトランジスタの作製方法に関する。
【0002】
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法、を一例として挙げることができる。半導体装置は、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。
【背景技術】
【0003】
トランジスタに適用可能な半導体材料として、金属酸化物を用いた酸化物半導体が注目されている。例えば、特許文献１では、複数の酸化物半導体層を積層し、当該複数の酸化物半導体層の中で、チャネルとなる酸化物半導体層がインジウム及びガリウムを含み、且つインジウムの割合をガリウムの割合よりも大きくすることで、電界効果移動度（単に移動度、またはμＦＥと言う場合がある）を高めた半導体装置が開示されている。
【0004】
半導体層に用いることのできる金属酸化物は、スパッタリング法などを用いて形成できるため、大型の表示装置を構成するトランジスタの半導体層に用いることができる。また、多結晶シリコンや非晶質シリコンを用いたトランジスタの生産設備の一部を改良して利用することが可能であるため、設備投資を抑えられる。また、金属酸化物を用いたトランジスタは、非晶質シリコンを用いた場合に比べて高い電界効果移動度を有するため、駆動回路を設けた高機能の表示装置を実現できる。
【0005】
また、拡張現実（ＡＲ：Ａｕｇｍｅｎｔｅｄ Ｒｅａｌｉｔｙ）又は仮想現実（ＶＲ：Ｖｉｒｔｕａｌ Ｒｅａｌｉｔｙ）用の表示装置として、ウェアラブル型の表示装置や、据え置き型の表示装置が普及しつつある。ウェアラブル型の表示装置としては、例えば、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ：Ｈｅａｄ Ｍｏｕｎｔｅｄ Ｄｉｓｐｌａｙ）や眼鏡型の表示装置等がある。据え置き型の表示装置としては、例えば、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ：Ｈｅａｄ－Ｕｐ Ｄｉｓｐｌａｙ）等がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１４－７３９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）等、表示面と使用者の距離が近い表示装置においては使用者が画素を視認しやすく、粒状感を強く感じてしまうことから、ＡＲやＶＲの没入感や臨場感が薄れる場合がある。そのようなことから、使用者に画素を視認されないように精細な画素を備える表示装置が望まれる。
【0008】
上記に鑑み、本発明の一態様は、精細度が高い表示装置を提供することを課題の一とする。または、消費電力が低い表示装置を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、信頼性が高い表示装置を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、新規な表示装置を提供することを課題の一とする。
【0009】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第１のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、第１の導電体と、第２の導電体と、第３の導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、を有する。第１の導電体および第２の導電体は、第１の酸化物の上に、互いに離隔して配置される。第１の絶縁体は、第１の導電体および第２の導電体の上に配置され、かつ開口を有し、該当開口は、第１の導電体と第２の導電体の間に重畳する。第３の導電体は、開口の中に配置され、第２の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第３の導電体と、の間に配置され、第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、の間に配置される。
【0011】
また、本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第１のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、構造体と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、第１の導電体と、第２の導電体と、第３の導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、を有する。第１の導電体および第２の導電体は、第１の酸化物の上に、互いに離隔して配置される。第１の絶縁体は、第１の導電体および第２の導電体の上に配置され、かつ開口を有し、該当開口は、第１の導電体と第２の導電体の間に重畳する。第３の導電体は、開口の中に配置される。第２の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第３の導電体と、の間に配置される。第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、の間に配置される。構造体は、表示素子を有する層と同じ層に配置され、構造体は、第１のトランジスタと重なる領域を有する。
【0012】
また、本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第２のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、第１の導電体と、第２の導電体と、第３の導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、を有する。第１の導電体および第２の導電体は、第１の酸化物の上に、互いに離隔して配置される。第１の絶縁体は、第１の導電体および第２の導電体の上に配置され、かつ開口を有し、該当開口は、第１の導電体と第２の導電体の間に重畳する。第３の導電体は、開口の中に配置される。第２の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第３の導電体と、の間に配置される。第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、の間に配置される。第１のトランジスタを有する層は、表示素子を有する層と、第２のトランジスタが有する層との間に位置する。
【0013】
また、本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第２のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、遮光膜と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、第１の導電体と、第２の導電体と、第３の導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、を有する。第１の導電体および第２の導電体は、第１の酸化物の上に、互いに離隔して配置される。第１の絶縁体は、第１の導電体および第２の導電体の上に配置され、かつ開口を有し、該当開口は、第１の導電体と第２の導電体の間に重畳する。第３の導電体は、開口の中に配置される。第２の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第３の導電体と、の間に配置される。第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、の間に配置される。第１のトランジスタを有する層は、表示素子を有する層と、第２のトランジスタが有する層との間に位置し、遮光膜は、表示素子の上方に位置し、遮光膜、第１のトランジスタ及び第２のトランジスタは、重なる領域を有する。
【0014】
前述の表示装置において、第２のトランジスタは、チャネル形成領域にシリコンを有すると好ましい。
【0015】
また、前述の表示装置において、第２のトランジスタは、ｎチャネル型とすることができる。
【0016】
また、前述の表示装置において、第２のトランジスタは、ｐチャネル型とすることができる。
【0017】
前述の表示装置において、さらに第３の絶縁体を有し、第３の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体、および第２の酸化物と、第１の絶縁体と、の間に配置され、第３の絶縁体は、第１の絶縁体より酸素透過性が低いと好ましい。
【0018】
前述の表示装置において、さらに第３の絶縁体を有し、第３の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、および第２の導電体と、第１の絶縁体と、の間に配置され、第３の絶縁体は、第１の絶縁体より酸素透過性が低く、第２の酸化物は、第１の絶縁体に接すると好ましい。
【0019】
前述の表示装置において、さらに第４の導電体と、第５の導電体と、を有し、第４の導電体は、第１の導電体と第１の酸化物の間に配置され、第５の導電体は、第２の導電体と第１の酸化物の間に配置され、第１の導電体の一部は、第１の酸化物の上面に接し、第２の導電体の一部は、第１の酸化物の上面に接すると好ましい。
【0020】
前述の表示装置において、第１の導電体と第２の導電体の距離は、開口のチャネル長方向の長さより短いと好ましい。
【0021】
また、本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第１のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、第３の絶縁体と、第４の絶縁体と、を有する。第２の酸化物は、第１の酸化物上に位置し、第１の絶縁体は、第２の酸化物上に位置し、導電体は、第１の絶縁体上に位置する。第２の絶縁体は、第１の酸化物の上面の一部、第１の酸化物の側面の一部、及び第２の酸化物の側面の一部と接する。第３の絶縁体は、第２の絶縁体上に位置し、第２の酸化物の一部、及び第１の絶縁体の一部は、導電体の側面と、第３の絶縁体の側面との間に位置する。第４の絶縁体は、第２の酸化物の上面、第１の絶縁体の上面、導電体の上面、及び第３の絶縁体の上面と接する。第１の酸化物は、第１の領域と、第２の領域と、第１の領域と第２の領域との間に位置する第３の領域と、を有し、導電体は、第３の領域と重畳するように、第３の領域の上方に位置し、第２の絶縁体は、第１の領域、および第２の領域と接し、第１の領域、及び第２の領域の抵抗は、第３の領域の抵抗より低い。
【0022】
また、本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第１のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、構造体と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、第３の絶縁体と、第４の絶縁体と、を有する。第２の酸化物は、第１の酸化物上に位置し、第１の絶縁体は、第２の酸化物上に位置し、導電体は、第１の絶縁体上に位置する。第２の絶縁体は、第１の酸化物の上面の一部、第１の酸化物の側面の一部、及び第２の酸化物の側面の一部と接する。第３の絶縁体は、第２の絶縁体上に位置し、第２の酸化物の一部、及び第１の絶縁体の一部は、導電体の側面と、第３の絶縁体の側面との間に位置する。第４の絶縁体は、第２の酸化物の上面、第１の絶縁体の上面、導電体の上面、及び第３の絶縁体の上面と接する。第１の酸化物は、第１の領域と、第２の領域と、第１の領域と第２の領域との間に位置する第３の領域と、を有し、導電体は、第３の領域と重畳するように、第３の領域の上方に位置し、第２の絶縁体は、第１の領域、および第２の領域と接し、第１の領域、及び第２の領域の抵抗は、第３の領域の抵抗より低く、構造体は、表示素子を有する層と同じ層に配置され、構造体は、第１のトランジスタと重なる領域を有する。
【0023】
また、本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第２のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、第３の絶縁体と、第４の絶縁体と、を有する。第２の酸化物は、第１の酸化物上に位置し、第１の絶縁体は、第２の酸化物上に位置し、導電体は、第１の絶縁体上に位置する。第２の絶縁体は、第１の酸化物の上面の一部、第１の酸化物の側面の一部、及び第２の酸化物の側面の一部と接する。第３の絶縁体は、第２の絶縁体上に位置し、第２の酸化物の一部、及び第１の絶縁体の一部は、導電体の側面と、第３の絶縁体の側面との間に位置する。第４の絶縁体は、第２の酸化物の上面、第１の絶縁体の上面、導電体の上面、及び第３の絶縁体の上面と接する。第１の酸化物は、第１の領域と、第２の領域と、第１の領域と第２の領域と間に位置する第３の領域と、を有し、導電体は、第３の領域と重畳するように、第３の領域の上方に位置し、第２の絶縁体は、第１の領域、および第２の領域と接し、第１の領域、及び第２の領域の抵抗は、第３の領域の抵抗より低く、第１のトランジスタを有する層は、表示素子を有する層と、第２のトランジスタが有する層との間に位置する。
【0024】
また、本発明の一態様は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第２のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、遮光膜と、を有する表示装置である。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、第３の絶縁体と、第４の絶縁体と、を有する。第２の酸化物は、第１の酸化物上に位置し、第１の絶縁体は、第２の酸化物上に位置し、導電体は、第１の絶縁体上に位置する。第２の絶縁体は、第２の酸化物の上面の一部、第１の酸化物の側面の一部、及び第２の酸化物の側面の一部と接する。第３の絶縁体は、第２の絶縁体上に位置し、第２の酸化物の一部、及び第１の絶縁体の一部は、導電体の側面と、第３の絶縁体の側面との間に位置する。第４の絶縁体は、第２の酸化物の上面、第１の絶縁体の上面、導電体の上面、及び第３の絶縁体の上面と接する。第１の酸化物は、第１の領域と、第２の領域と、第１の領域と第２の領域と間に位置する第３の領域と、を有し、導電体は、第３の領域と重畳するように、第３の領域の上方に位置し、第２の絶縁体は、第１の領域、および第２の領域と接し、第１の領域、及び第２の領域の抵抗は、第３の領域の抵抗より低く、遮光膜は、表示素子の上方に位置し、遮光膜、第１のトランジスタ及び第２のトランジスタは、重なる領域を有する。
【0025】
また、前述の表示装置において、第２のトランジスタは、チャネル形成領域にシリコンを有すると好ましい。
【0026】
また、前述の表示装置において、第２のトランジスタは、ｎチャネル型とすることができる。
【0027】
また、前述の表示装置において、第２のトランジスタは、ｐチャネル型とすることができる。
【0028】
また、前述の表示装置において、第１の領域、および第２の領域は、リン、およびホウ素のいずれか一以上を有すると好ましい。
【0029】
また、前述の表示装置において、第１の領域、および第２の領域は、第３の領域よりも、水素を多く有すると好ましい。
【0030】
また、前述の表示装置において、第２の酸化物は、第１の領域の一部、および第２の領域の一部と重畳すると好ましい。
【0031】
前述の表示装置において、さらに、第５の絶縁体を有し、第５の絶縁体は、第１の絶縁体の上面、および第２の酸化物の側面の一部と接し、第１の酸化物は、さらに第４の領域と、第５の領域と、を有し、第４の領域は、第１の領域と第３の領域との間に位置し、第５の領域は、第２の領域と第３の領域との間に位置し、第４の領域、及び第５の領域の抵抗は、第３の領域の抵抗より低く、かつ第１の領域、及び第２の領域の抵抗より高いと好ましい。
【0032】
また、前述の表示装置において、第４の領域、および第５の領域は、リン、およびホウ素のいずれか一以上を有すると好ましい。
【0033】
また、前述の表示装置において、第１の領域および第２の領域は、第４の領域および第５の領域よりも、リン、またはホウ素を多く有すると好ましい。
【0034】
前述の表示装置において、第１の領域、第２の領域、第４の領域、および第５の領域は、第３の領域よりも、水素を多く有すると好ましい。
【0035】
また、前述の表示装置において、第１の領域および第２の領域は、第４の領域および第５の領域よりも、水素を多く有すると好ましい。
【0036】
また、前述の表示装置において、第２の酸化物は、第４の領域の一部、および第５の領域の一部と重畳すると好ましい。
【0037】
前述の表示装置において、第１の酸化物および第２の酸化物は、Ｉｎと、元素Ｍ（ＭはＡｌ、Ｇａ、Ｙ、またはＳｎ）と、Ｚｎと、を有すると好ましい。
【0038】
前述の表示装置において、第１の酸化物における元素Ｍに対するＩｎの原子数比は、第２の酸化物おける元素Ｍに対するＩｎの原子数比より大きいと好ましい。
【0039】
前述の表示装置において、さらに第３の酸化物を有し、第３の酸化物は、第１の酸化物の下に配置されると好ましい。
【0040】
前述の表示装置において、第１の酸化物、第２の酸化物、および第３の酸化物は、Ｉｎと、元素Ｍ（ＭはＡｌ、Ｇａ、Ｙ、またはＳｎ）と、Ｚｎと、を有すると好ましい。
【0041】
前述の表示装置において、第１の酸化物における元素Ｍに対するＩｎの原子数比は、第２の酸化物および第３の酸化物における元素Ｍに対するＩｎの原子数比より大きいと好ましい。
【0042】
前述の表示装置において、表示素子は液晶素子とすることができる。
【0043】
前述の表示装置において、表示素子は発光素子とすることができる。
【発明の効果】
【0044】
本発明の一態様により、精細度が高い表示装置を提供できる。また、本発明の一態様により、消費電力が低い表示装置を提供できる。また、本発明の一態様により、信頼性が高い表示装置を提供できる。また、本発明の一態様により、新規な表示装置を提供できる。
【0045】
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】表示装置の上面図。
【図2】表示装置の断面図。
【図3】表示装置の断面図。
【図4】表示装置の断面図。
【図5】表示装置の断面図。
【図6】表示装置の断面図。
【図7】表示装置の断面図。
【図8】表示装置の断面図。
【図9】表示装置の断面図。
【図10】（Ａ）トランジスタの上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの断面図。
【図11】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図12】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図13】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図14】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図15】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図16】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図17】（Ａ）トランジスタの上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの断面図。
【図18】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図19】（Ａ）トランジスタの上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの断面図。
【図20】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図21】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図22】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図23】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図24】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図25】（Ａ）トランジスタの上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの断面図。
【図26】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図27】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図28】（Ａ）トランジスタの上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの断面図。
【図29】トランジスタの断面図。
【図30】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図31】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図32】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図33】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図34】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図35】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図36】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図37】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図38】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図39】（Ａ）トランジスタの上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの断面図。
【図40】トランジスタの断面図。
【図41】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図42】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図43】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図44】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図45】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図46】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図47】（Ａ）トランジスタの作製方法を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの作製方法を示す断面図。
【図48】（Ａ）トランジスタの上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの断面図。
【図49】トランジスタの断面図。
【図50】（Ａ）表示装置のブロック図。（Ｂ）、（Ｃ）表示装置の回路図。
【図51】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）表示装置の回路図。
【図52】（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）表示装置の回路図。（Ｂ）表示装置のタイミングチャート。
【図53】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）発光素子の構造を説明する図。
【図54】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）電子機器の例を示す斜視図。
【図55】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）電子機器の例を示す斜視図。
【図56】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）電子機器の例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【0047】
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【0048】
また、本明細書で説明する各図において、各構成の大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。
【0049】
また、本明細書にて用いる「第１」、「第２」、「第３」という序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではない。
【0050】
また、本明細書において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書で説明した語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
【0051】
また、本明細書等において、トランジスタが有するソースとドレインの機能は、トランジスタの極性や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【0052】
また、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
【0053】
また、本明細書等において、「膜」という用語と、「層」という用語とは、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」や「絶縁層」という用語は、「導電膜」や「絶縁膜」という用語に相互に交換することが可能な場合がある。
【0054】
また、本明細書等において、特に断りがない場合、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態（非導通状態、遮断状態、ともいう）にあるときのドレイン電流をいう。オフ状態とは、特に断りがない場合、ｎチャネル型トランジスタでは、ゲートとソースの間の電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔｈよりも低い（ｐチャネル型トランジスタでは、Ｖｔｈよりも高い）状態をいう。
【0055】
本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示（出力）する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。
【0056】
また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）もしくはＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）などのコネクターが取り付けられたもの、または基板にＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）方式等によりＩＣが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュール、または単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。
【0057】
なお、本明細書等において、表示装置の一態様であるタッチパネルは表示面に画像等を表示する機能と、表示面に指やスタイラスなどの被検知体が触れる、押圧する、または近づくことなどを検出するタッチセンサとしての機能と、を有する。したがってタッチパネルは入出力装置の一態様である。
【0058】
タッチパネルは、例えばタッチセンサ付き表示パネル（または表示装置）、タッチセンサ機能つき表示パネル（または表示装置）とも呼ぶことができる。タッチパネルは、表示パネルとタッチセンサパネルとを有する構成とすることもできる。または、表示パネルの内部または表面にタッチセンサとしての機能を有する構成とすることもできる。
【0059】
また、本明細書等では、タッチパネルの基板に、コネクターやＩＣが実装されたものを、タッチパネルモジュール、表示モジュール、または単にタッチパネルなどと呼ぶ場合がある。
【0060】
（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置及びその作製方法について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置及びその作製方法について説明する。
【0061】
本発明の一態様である表示装置は、第１のトランジスタと、第１のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有する。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、第１の導電体と、第２の導電体と、第３の導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、を有する。第１の導電体および第２の導電体は、第１の酸化物の上に、互いに離隔して配置される。第１の絶縁体は、第１の導電体および第２の導電体の上に配置され、かつ開口を有し、該当開口は、第１の導電体と第２の導電体の間に重畳する。第３の導電体は、該開口の中に配置される。第２の絶縁体は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第３の導電体と、の間に配置される。第２の酸化物は、第１の酸化物、第１の導電体、第２の導電体及び第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、の間に配置される。
【0062】
また、本発明の一態様である表示装置は、第１のトランジスタと、第１のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有する。第１のトランジスタは、第１の酸化物と、第２の酸化物と、導電体と、第１の絶縁体と、第２の絶縁体と、第３の絶縁体と、第４の絶縁体と、を有する。第２の酸化物は、第１の酸化物上に位置し、第１の絶縁体は、第２の酸化物上に位置する。導電体は、第１の絶縁体上に位置する。第２の絶縁体は、第１の酸化物の上面の一部、第１の酸化物の側面の一部、及び第２の酸化物の側面の一部と接する。第３の絶縁体は、第２の絶縁体上に位置する。また、第２の酸化物の一部、及び第１の絶縁体の一部は、導電体の側面と、第３の絶縁体の側面との間に位置する。第４の絶縁体は、第２の酸化物の上面、第１の絶縁体の上面、導電体の上面、及び第３の絶縁体の上面と接する。また、第１の酸化物は、第１の領域と、第２の領域と、第１の領域と第２の領域との間に位置する第３の領域と、を有する。導電体は、第３の領域と重畳するように、第３の領域の上方に位置する。第２の絶縁体は、第１の領域、および第２の領域と接し、第１の領域、及び第２の領域の抵抗は、第３の領域の抵抗より低い。
【0063】
このような構成とすることで、トランジスタが画素内で占める面積が小さくなり、極めて高精細な画像を表示することができる。そのため、表示面と使用者の距離が近い機器、特に携帯型の電子機器、装着型の電子機器（ウェアラブル機器）、及び電子書籍端末などに好適に用いることができる。また、仮想現実（ＶＲ：Ｖｉｒｔｕａｌ Ｒｅａｌｉｔｙ）機器や、拡張現実（ＡＲ：Ａｕｇｍｅｎｔｅｄ Ｒｅａｌｉｔｙ）機器などにも好適に用いることができる。また、消費電力が低い表示装置とすることができる。また、信頼性が高い表示装置とすることができる。
【0064】
＜構成例１＞
図１に、本発明の一態様である表示装置７００の上面図を示す。表示装置７００は、シール材７１２により貼りあわされた第１の基板７０１と第２の基板７０５を有する。また第１の基板７０１、第２の基板７０５、及びシール材７１２で封止される領域において、第１の基板７０１上に画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４、及びゲートドライバ回路部７０６が設けられる。また画素部７０２には、複数の表示素子が設けられる。
図１に、本発明の一態様である表示装置７００の上面図を示す。表示装置７００は、シール材７１２により貼りあわされた第１の基板７０１と第２の基板７０５を有する。また第１の基板７０１、第２の基板７０５、及びシール材７１２で封止される領域において、第１の基板７０１上に画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４、及びゲートドライバ回路部７０６が設けられる。また画素部７０２には、複数の表示素子が設けられる。
【0065】
また、第１の基板７０１の第２の基板７０５と重ならない部分に、ＦＰＣ７１６（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）が接続されるＦＰＣ端子部７０８が設けられている。ＦＰＣ７１６によって、ＦＰＣ端子部７０８及び信号線７１０を介して、画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４、及びゲートドライバ回路部７０６のそれぞれに各種信号等が供給される。
【0066】
ゲートドライバ回路部７０６は、複数設けられていてもよい。また、ゲートドライバ回路部７０６及びソースドライバ回路部７０４は、それぞれ半導体基板等に別途形成され、パッケージされたＩＣチップの形態であってもよい。当該ＩＣチップは、第１の基板７０１上、またはＦＰＣ７１６に実装することができる。
【0067】
画素部７０２に設けられる表示素子としては、液晶素子、発光素子などが挙げられる。液晶素子としては、透過型の液晶素子、反射型の液晶素子、半透過型の液晶素子などを用いることができる。また、発光素子としては、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）、ＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ ＬＥＤ）、ＱＬＥＤ（Ｑｕａｎｔｕｍ－ｄｏｔ ＬＥＤ）、半導体レーザなどの、自発光性の発光素子が挙げられる。また、シャッター方式または光干渉方式のＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）素子や、マイクロカプセル方式、電気泳動方式、エレクトロウェッティング方式、または電子粉流体（登録商標）方式等を適用した表示素子などを用いることもできる。
【0068】
表示素子として液晶素子及びＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子を用いる構成について、図２及び図３を用いて説明する。なお、図２及び図３は、それぞれ図１に示す一点鎖線Ｑ－Ｒにおける断面図である。図２は、表示素子として液晶素子を用いた構成であり、図３は、発光素子を用いた構成である。
【0069】
＜表示装置の共通部分に関する説明＞
図２及び図３に示す表示装置は、引き回し配線部７１１と、画素部７０２と、ソースドライバ回路部７０４と、ＦＰＣ端子部７０８と、を有する。引き回し配線部７１１は、信号線７１０を有する。画素部７０２は、トランジスタ７５０及び容量素子７９０を有する。ソースドライバ回路部７０４は、トランジスタ７５２を有する。図２及び図３では、トランジスタ７５０、およびトランジスタ７５２のチャネル長方向の断面を示している。
図２及び図３に示す表示装置は、引き回し配線部７１１と、画素部７０２と、ソースドライバ回路部７０４と、ＦＰＣ端子部７０８と、を有する。引き回し配線部７１１は、信号線７１０を有する。画素部７０２は、トランジスタ７５０及び容量素子７９０を有する。ソースドライバ回路部７０４は、トランジスタ７５２を有する。図２及び図３では、トランジスタ７５０、およびトランジスタ７５２のチャネル長方向の断面を示している。
【0070】
図２及び図３に示すように、トランジスタ７５０上に絶縁体２８０、絶縁体２７４及び絶縁体２８１が設けられる。絶縁体２８０、絶縁体２７４及び絶縁体２８１中に導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ、導電体３０５ａ及び導電体３０５ｂが埋設されている。導電体３０１ａは、トランジスタ７５０のソース又はドレインの一方と電気的に接続され、導電体３０１ｂは、トランジスタ７５０のソース又はドレインの他方と電気的に接続される。導電体３０５ａは、トランジスタ７５２のソース又はドレインの一方と電気的に接続され、導電体３０５ｂは、トランジスタ７５２のソース又はドレインの他方と電気的に接続される。ここで、導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ、導電体３０５ａ及び導電体３０５ｂの上面の高さと、絶縁体２８１の上面の高さは同程度にできる。
【0071】
導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ、導電体３０５ａ、導電体３０５ｂ及び絶縁体２８１上に絶縁体３６１が設けられる。絶縁体３６１中に導電体３１１、導電体３１３、導電体３３１、容量素子７９０、導電体３３３、導電体３３５、信号線７１０、導電体３１５、導電体３１７及び導電体３３７が埋設されている。導電体３１１は、導電体３０１ａと電気的に接続される。導電体３３１は、導電体３１３を介して導電体３０１ｂと電気的に接続される。導電体３１１及び導電体３１３はトランジスタ７５０と電気的に接続され、配線としての機能を有する。導電体３３３及び導電体３３５は、容量素子７９０と電気的に接続される。導電体３１５は、導電体３０５ａと電気的に接続される。導電体３３７は、導電体３１７を介して導電体３０５ｂと電気的に接続される。導電体３１５及び導電体３１７はトランジスタ７５２と電気的に接続され、配線としての機能を有する。ここで、導電体３３１、導電体３３３、導電体３３５及び導電体３３７の上面の高さと、絶縁体３６１の上面の高さは同程度にできる。
【0072】
導電体３３１、導電体３３３、導電体３３５、導電体３３７及び絶縁体３６１上に絶縁体３６３が設けられる。絶縁体３６３中に導電体３４１、導電体３４３、導電体３４７、導電体３５３、導電体３５５及び導電体３５７が埋設されている。導電体３５１は、導電体３４１を介して導電体３３１と電気的に接続される。導電体３５３、導電体３５５及び導電体３５７は、導電体３４７を介して導電体３３７と電気的に接続される。ここで、導電体３５１、導電体３５３、導電体３５５及び導電体３５７の上面の高さと、絶縁体３６３の上面の高さは同程度にできる。
【0073】
絶縁体２１４、絶縁体２１６、絶縁体２２２、絶縁体２２４、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４、絶縁体２８１、絶縁体３６１及び絶縁体３６３は、層間膜として機能し、それぞれの下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。例えば、絶縁体３６３の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。
【0074】
導電体３５１及び絶縁体３６３上に導電層７７２が設けられる。導電層７７２は、導電体３０１ｂ、導電体３１３、導電体３３１、導電体３４１及び導電体３５１を介してトランジスタ７５０と電気的に接続される。導電層７７２は、表示素子の画素電極としての機能を有する。ここで、導電体３５１の上面の高さと、絶縁体３６３の上面の高さは同程度にでき、また、絶縁体３６３の上面は平坦性が高く形成される。したがって、導電体３５１及び絶縁体３６３上に形成される導電層７７２は、平坦性が高く形成される。導電層７７２の平坦性が高いことにより、表示素子から射出される光を効率良く取り出すことができ、輝度の高い表示装置とすることができる。また、消費電力の低い表示装置とすることができる。
【0075】
導電体３５３、導電体３５５、導電体３５７及び絶縁体３６３上に接続電極７６０が設けられる。接続電極７６０は、導電体３５３、導電体３５５、導電体３５７等を介してトランジスタ７５２と電気的に接続される。なお、図２及び図３では接続電極７６０と導電体３５３の間のプラグとして機能する導電体として、導電体３５３、導電体３５５及び導電体３５７の３つを示しているが本発明の一態様はこれに限られない。プラグとして機能する導電体を１つとしてもよいし、２つとしてもよい。また、４つ以上としてもよい。プラグとして機能する導電体を複数設けることで、接触抵抗を小さくできる。
【0076】
ＦＰＣ端子部７０８は、接続電極７６０、異方性導電膜７８０、及びＦＰＣ７１６を有する。接続電極７６０は、ＦＰＣ７１６が有する端子と異方性導電膜７８０を介して電気的に接続される。
【0077】
本実施の形態で用いるトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いることができる。該トランジスタは、高純度化し、酸素欠損の形成を抑制した酸化物半導体膜を有する。該トランジスタは、オフ電流を低くできる。よって、画像信号等の電気信号の保持時間を長くでき、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度を少なくできるため、消費電力を低減する効果を奏する。
【0078】
また、本実施の形態で用いるトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られるため、高速駆動が可能である。例えば、このような高速駆動が可能なトランジスタを表示装置に用いることで、画素部のスイッチングトランジスタと、駆動回路部に使用するドライバトランジスタを同一基板上に形成することができる。すなわち、シリコンウェハ等により形成された駆動回路を適用しない構成も可能であり、表示装置の部品点数を削減することができる。また、画素部においても、高速駆動が可能なトランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。
【0079】
トランジスタ７５０及びトランジスタ７５２の詳細は、後述する。
【0080】
なお、画素部７０２が有するトランジスタ７５０と、ソースドライバ回路部７０４が有するトランジスタ７５２とは、異なる構造のトランジスタを用いてもよい。例えば、いずれか一方にトップゲート型のトランジスタを適用し、他方にボトムゲート型のトランジスタを適用した構成としてもよい。なお、上記ゲートドライバ回路部７０６についてもソースドライバ回路部７０４と同様である。
【0081】
図２及び図３に示すように、容量素子７９０は下部電極３２１と、上部電極３２５と、を有する。また、下部電極３２１と上部電極３２５との間には、絶縁体３２３が設けられる。すなわち、容量素子７９０は、一対の電極間に誘電体膜として機能する絶縁体３２３が挟持された積層型の構造である。なお、図２及び図３では絶縁体３８１上に容量素子７９０を設ける例を示しているが、本発明の一態様はこれに限られない。絶縁体３８１と異なる絶縁体上に、容量素子７９０を設けてもよい。
【0082】
容量素子７９０上に絶縁体３６１が設けられる。絶縁体３６１中に導電体３３３及び導電体３３５が埋設されている。導電体３３３及び導電体３３５は、容量素子７９０と電気的に接続される。ここで、導電体３３３及び導電体３３５の上面の高さと、絶縁体３６１の上面の高さは同程度にできる。
【0083】
導電体３３３、導電体３３５及び絶縁体３６１上に絶縁体３６３が設けられる。絶縁体３６３中に導電体３４３が埋設されている。導電体３４３は、導電体３３３及び導電体３３５を介して容量素子７９０と電気的に接続され、配線としての機能を有する。また、導電体３４３上に絶縁体３６３が設けられる。なお、図２及び図３ではプラグとして機能する導電体として、導電体３３３及び導電体３３５の２つを示しているが本発明の一態様はこれに限られない。プラグとして機能する導電体を１つとしてもよいし、３つ以上としてもよい。プラグとして機能する導電体を複数設けることで、接触抵抗を小さくできる。
【0084】
容量素子７９０の作製方法の一例について説明する。まず、絶縁体３８１上に、下部電極３２１となる導電膜と、絶縁体３２３となる絶縁膜と、上部電極３２５となる導電膜とを形成する。次に、上部電極３２５を形成する。次に、絶縁体３２３及び下部電極３２１を形成することで、容量素子７９０を作製できる。または、上部電極３２５を形成し、次に絶縁体３２３を形成し、次に下部電極３２１を形成してもよい。または、上部電極３２５及び絶縁体３２３を形成し、次に下部電極３２１を形成してもよい。
【0085】
信号線７１０は、銅元素を含む材料等の低抵抗な材料を用いると、配線抵抗に起因する信号遅延等が少なく、大画面での表示が可能となるため好ましい。
【0086】
図２及び図３において、導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ、導電体３０５ａ及び導電体３０５ｂは同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電体３１１、導電体３１３、下部電極３２１、信号線７１０、導電体３１５及び導電体３１７は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電体３３１、導電体３３３、導電体３３５及び導電体３３７は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電体３４１、導電体３４３及び導電体３４７は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電体３５１、導電体３５３、導電体３５５及び導電体３５７は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電層７７２及び接続電極７６０は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。このような構成とすることで、工程を簡略にすることができる。なお、これらはそれぞれ異なる層に形成されてもよい。また、それぞれは異なる種類の材料を有してもよい。
【0087】
第１の基板７０１及び第２の基板７０５として、例えば、絶縁体基板、半導体基板、または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板（イットリア安定化ジルコニア基板など）、樹脂基板などがある。また、半導体基板としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などがある。さらには、前述の半導体基板内部に絶縁体領域を有する半導体基板、例えば、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板などがある。導電体基板としては、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などがある。または、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設けられた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などがある。または、これらの基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子としては、容量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などがある。
【0088】
また、第１の基板７０１及び第２の基板７０５としては、例えばプラスチック基板等の可撓性を有する基板を用いることができる。第１の基板７０１に可撓性を有する基板を用いる場合には、第１の基板７０１とトランジスタ７５０等との間に、水や水素に対するバリア性を有する絶縁層を設けることが好ましい。
【0089】
第１の基板７０１と第２の基板７０５の間には、構造体７７８が設けられる。構造体７７８は柱状のスペーサであり、第１の基板７０１と第２の基板７０５の間の距離（セルギャップ）を制御するために設けられる。なお、構造体７７８として、球状のスペーサを用いていても良い。図２に示すように、構造体７７８は、液晶素子７７５を有する層と同じ層に配置されると好ましい。また、図３に示すように、構造体７７８は、発光素子７８２の上方に配置されると好ましい。
【0090】
図２及び図３に示すように、トランジスタ７５０及びトランジスタ７５２は、構造体７７８と重なる領域を有することが好ましい。トランジスタ７５０等と構造体７７８が重なる領域を有することで、表示装置に圧力が加えられた場合に該トランジスタに不要な圧力が加わることを抑制でき、機械的強度の高い表示装置とすることができる。また、トランジスタに不要な圧力が加わることを抑制することで、トランジスタの電気特性の変動を抑制でき、信頼性の高い表示装置とすることができる。
【0091】
第２の基板７０５側には、遮光膜７３８と、着色膜７３６と、これらに接する絶縁膜７３４と、が設けられる。遮光膜７３８は、隣接する領域から発せられる光を遮る機能を有する。または、遮光膜７３８は、外光がトランジスタ７５０等に達するのを遮る機能を有する。図２に示すように、遮光膜７３８は、液晶素子７７５の上方に配置されると好ましい。また、図３に示すように、遮光膜７３８は、発光素子７８２の上方に配置されると好ましい。
【0092】
＜液晶素子を用いる表示装置の構成例＞
図２に示す表示装置７００は、液晶素子７７５を有する。液晶素子７７５は、導電層７７２、導電層７７４、及びこれらの間に液晶層７７６を有する。導電層７７４は、第２の基板７０５側に設けられ、共通電極としての機能を有する。また、導電層７７２は、トランジスタ７５０が有するソース電極またはドレイン電極と電気的に接続される。導電層７７２は、絶縁体３６３上に形成され、画素電極として機能する。
図２に示す表示装置７００は、液晶素子７７５を有する。液晶素子７７５は、導電層７７２、導電層７７４、及びこれらの間に液晶層７７６を有する。導電層７７４は、第２の基板７０５側に設けられ、共通電極としての機能を有する。また、導電層７７２は、トランジスタ７５０が有するソース電極またはドレイン電極と電気的に接続される。導電層７７２は、絶縁体３６３上に形成され、画素電極として機能する。
【0093】
導電層７７２には、可視光に対して透光性の材料、または反射性の材料を用いることができる。透光性の材料としては、例えば、インジウム、亜鉛、スズ等を含む酸化物材料を用いるとよい。反射性の材料としては、例えば、アルミニウム、銀等を含む材料を用いるとよい。
【0094】
導電層７７２に反射性の材料を用いると、表示装置７００は反射型の液晶表示装置となる。一方、導電層７７２に透光性の材料を用いると、透過型の液晶表示装置となる。反射型の液晶表示装置の場合、視認側に偏光板を設ける。一方、透過型の液晶表示装置の場合、液晶素子を挟むように一対の偏光板を設ける。
【0095】
また、図２には図示しないが、液晶層７７６と接する配向膜を設ける構成としてもよい。また、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）、及びバックライト、サイドライトなどの光源を適宜設けることができる。
【0096】
液晶層７７６には、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶（ＰＤＬＣ：Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｄｉｓｐｅｒｓｅｄ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）、高分子ネットワーク型液晶（ＰＮＬＣ：Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。また、横電界方式を採用する場合、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。
【0097】
また、液晶素子のモードとしては、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ－Ｐｌａｎｅ－Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ Ｆｉｅｌｄ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ ａｌｉｇｎｅｄ Ｍｉｃｒｏ－ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ゲストホストモードなどを用いることができる。
【0098】
また、液晶層７７６に高分子分散型液晶や、高分子ネットワーク型液晶などを用いた、散乱型の液晶を用いることもできる。このとき、着色膜７３６を設けずに白黒表示を行う構成としてもよいし、着色膜７３６を用いてカラー表示を行う構成としてもよい。
【0099】
また、液晶素子の駆動方法として、継時加法混色法に基づいてカラー表示を行う、時間分割表示方式（フィールドシーケンシャル駆動方式ともいう）を適用してもよい。その場合、着色膜７３６を設けない構成とすることができる。時間分割表示方式を用いた場合、例えばＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のそれぞれの色を呈する副画素を設ける必要がないため、画素の開口率を向上させることや、精細度を高められるなどの利点がある。
【0100】
＜発光素子を用いる表示装置＞
図３に示す表示装置７００は、発光素子７８２を有する。発光素子７８２は、導電層７７２、ＥＬ層７８６、及び導電膜７８８を有する。ＥＬ層７８６は、有機化合物、または量子ドットなどの無機化合物を有する。
図３に示す表示装置７００は、発光素子７８２を有する。発光素子７８２は、導電層７７２、ＥＬ層７８６、及び導電膜７８８を有する。ＥＬ層７８６は、有機化合物、または量子ドットなどの無機化合物を有する。
【0101】
有機化合物に用いることのできる材料としては、蛍光性材料または燐光性材料などが挙げられる。また、量子ドットに用いることのできる材料としては、コロイド状量子ドット材料、合金型量子ドット材料、コア・シェル型量子ドット材料、コア型量子ドット材料、などが挙げられる。
【0102】
図３に示す表示装置７００には、絶縁体３６３上に導電層７７２の一部を覆う絶縁膜７３０が設けられる。ここで、発光素子７８２は透光性の導電膜７８８を有し、トップエミッション型の発光素子である。なお、発光素子７８２は、導電層７７２側に光を射出するボトムエミッション構造や、導電層７７２及び導電膜７８８の双方に光を射出するデュアルエミッション構造としてもよい。
【0103】
また、着色膜７３６は発光素子７８２と重なる位置に設けられ、遮光膜７３８は絶縁膜７３０と重なる位置、引き回し配線部７１１、及びソースドライバ回路部７０４に設けられている。また、着色膜７３６及び遮光膜７３８は、絶縁膜７３４で覆われている。また、発光素子７８２と絶縁膜７３４の間は封止膜７３２で充填されている。なお、ＥＬ層７８６を画素毎に島状または画素列毎に縞状に形成する、すなわち塗り分けにより形成する場合においては、着色膜７３６を設けない構成としてもよい。
【0104】
【0105】
例えばセンサの方式としては、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、光学方式、感圧方式など様々な方式を用いることができる。または、これら２つ以上を組み合わせて用いてもよい。
【0106】
なお、タッチパネルの構成は、入力装置を一対の基板の内側に形成する、所謂インセル型のタッチパネル、入力装置を表示装置７００上に形成する、所謂オンセル型のタッチパネル、または表示装置７００に貼り合わせて用いる、所謂アウトセル型のタッチパネルなどがある。
【0107】
＜構成例２＞
図２及び図３に示した表示装置７００と異なる構成について、図４及び図５を用いて説明する。なお、図４及び図５は、それぞれ図１に示す一点鎖線Ｑ－Ｒにおける断面図である。図４は、表示素子として液晶素子を用いた構成であり、図５は、発光素子を用いた構成である。
図２及び図３に示した表示装置７００と異なる構成について、図４及び図５を用いて説明する。なお、図４及び図５は、それぞれ図１に示す一点鎖線Ｑ－Ｒにおける断面図である。図４は、表示素子として液晶素子を用いた構成であり、図５は、発光素子を用いた構成である。
【0108】
図４及び図５に示す表示装置７００Ａは、図２及び図３に示した表示装置７００と比較して、以下の点で主に相違している。表示装置７００Ａは、トランジスタ７５０に代えてトランジスタ７５０Ａを有し、トランジスタ７５４に代えてトランジスタ７５４Ａを有する。トランジスタ７５０及びトランジスタ７５４と、トランジスタ７５０Ａ及びトランジスタ７５４Ａとはトランジスタの構成が異なる。トランジスタの詳細な説明については、後述する。
【0109】
本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、または図面等と適宜組み合わせて実施することができる。
【0110】
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【0111】
（実施の形態２）
先の実施の形態で示した表示装置と、異なる構成の例について説明する。以下では、先の実施の形態と重複する部分は説明を省略する場合がある。また、以下で示す図面において、先の実施の形態と同様の機能を有する部分についてはハッチングパターンを同じくし、符号を付さない場合もある。
先の実施の形態で示した表示装置と、異なる構成の例について説明する。以下では、先の実施の形態と重複する部分は説明を省略する場合がある。また、以下で示す図面において、先の実施の形態と同様の機能を有する部分についてはハッチングパターンを同じくし、符号を付さない場合もある。
【0112】
表示素子として液晶素子を用いる構成について、図６及び図７を用いて説明する。表示素子として発光素子を用いる構成について、図８及び図９を用いて説明する。なお、図６乃至図９は、それぞれ図１に示す一点鎖線Ｑ－Ｒにおける断面図である。
【0113】
＜変形例１＞
表示素子として液晶素子を用いる構成について、図６及び図７を用いて説明する。図６に示す表示装置７００において、画素部７０２はトランジスタ７５０及び容量素子７９０を有する。ソースドライバ回路部７０４はトランジスタ４４１を有する。図６に示す表示装置７００は、画素部７０２が有するトランジスタと、ソースドライバ回路部７０４が有するトランジスタが、異なる層に形成されている点で、図２に示した表示装置と異なる。図６では、トランジスタ７５０、およびトランジスタ４４１のチャネル長方向の断面を示している。トランジスタ７５０及び容量素子７９０は、先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
表示素子として液晶素子を用いる構成について、図６及び図７を用いて説明する。図６に示す表示装置７００において、画素部７０２はトランジスタ７５０及び容量素子７９０を有する。ソースドライバ回路部７０４はトランジスタ４４１を有する。図６に示す表示装置７００は、画素部７０２が有するトランジスタと、ソースドライバ回路部７０４が有するトランジスタが、異なる層に形成されている点で、図２に示した表示装置と異なる。図６では、トランジスタ７５０、およびトランジスタ４４１のチャネル長方向の断面を示している。トランジスタ７５０及び容量素子７９０は、先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0114】
トランジスタ４４１は、基板４０２上に設けられ、ゲート電極として機能する導電体４４３、ゲート絶縁体として機能する絶縁体４４５、基板４０２の一部からなる半導体領域４４７、およびソース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗領域４４９ａ、および低抵抗領域４４９ｂを有する。トランジスタ４４１は、ｐチャネル型又はｎチャネル型のいずれでもよい。なお、図６では、基板４０２として単結晶半導体基板（例えば、単結晶シリコン基板）を用いる場合を示している。ソースドライバ回路に高速動作が求められる場合は、基板４０２として単結晶半導体基板を用いることが好ましい。トランジスタ４４１は、素子分離層４０３によって他のトランジスタ（図示しない。）と電気的に分離される。素子分離層４０３の形成は、ＬＯＣＯＳ（Ｌｏｃａｌ Ｏｘｉｄａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｉｌｉｃｏｎ）法や、ＳＴＩ（Ｓｈａｌｌｏｗ Ｔｒｅｎｃｈ Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）法などを用いることができる。
【0115】
ここで、図６に示すトランジスタ４４１はチャネルが形成される半導体領域４４７（基板４０２の一部）が凸形状を有する。また、半導体領域４４７の側面および上面を、絶縁体４４５を介して、導電体４４３が覆うように設けられている。なお、導電体４４３は仕事関数を調整する材料を用いてもよい。このようなトランジスタ４４１は半導体基板の凸部を利用していることからフィン型トランジスタとも呼ばれる。なお、凸部の上部に接して、凸部を形成するためのマスクとして機能する絶縁体を有していてもよい。また、ここでは半導体基板の一部を加工して凸部を形成する場合を示したが、ＳＯＩ基板を加工して凸形状を有する半導体膜を形成してもよい。
【0116】
なお、図６に示すトランジスタ４４１は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。例えば、トランジスタ４４１は、プレーナー型トランジスタであってもよい。また、トランジスタ４４１は、薄膜の半導体層を有するトランジスタであってもよい。薄膜の半導体層を有するトランジスタを用いることで、大型ガラス基板のような大面積の基板にも容易に形成することができる。また、薄膜の半導体層としては、例えば、多結晶シリコン、非晶質シリコン、微結晶シリコン、単結晶シリコン、ペンタセン等の有機半導体、または酸化物半導体等を用いることができる。
【0117】
図６に示すように、基板４０２上に絶縁体４０５、絶縁体４０７、絶縁体４０９及び絶縁体４１１が設けられる。絶縁体４０５、絶縁体４０７、絶縁体４０９及び絶縁体４１１中に導電体４５１が埋設されている。導電体４５１は、トランジスタ４４１のソース又はドレインの一方と電気的に接続される。ここで、導電体４５１の上面の高さと、絶縁体４１１の上面の高さは同程度にできる。
【0118】
導電体４５１及び絶縁体４１１上に絶縁体４１３及び絶縁体２１４が設けられる。絶縁体４１３及び絶縁体２１４中に導電体４５３が埋設されている。導電体４５３は、導電体４５１と電気的に接続される。ここで、導電体４５３の上面の高さと、絶縁体２１４の上面の高さは同程度にできる。
【0119】
導電体４５３及び絶縁体２１４上に絶縁体２１６が設けられる。絶縁体２１６中に導電体４５５が埋設されている。導電体４５５は、導電体４５３と電気的に接続される。ここで、導電体４５５の上面の高さと、絶縁体２１６の上面の高さは同程度にできる。
【0120】
導電体４５３及び絶縁体２１６上に絶縁体２２２、絶縁体２２４、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４及び絶縁体２８１が設けられる。絶縁体２２２、絶縁体２２４、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４及び絶縁体２８１中に導電体３０５が埋設されている。導電体３０５は、導電体４５５と電気的に接続される。ここで、導電体３０５の上面の高さと、絶縁体２８１の上面の高さは同程度にできる。
【0121】
導電体３０５及び絶縁体２８１上に絶縁体３６１が設けられる。絶縁体３６１中に導電体３１７及び導電体３３７が埋設されている。導電体３３７は、導電体３１７を介して導電体３０５と電気的に接続される。ここで、導電体３３７の上面の高さと、絶縁体３６１の上面の高さは同程度にできる。
【0122】
絶縁体４０５、絶縁体４０７、絶縁体４０９、絶縁体４１１及び絶縁体４１３は、層間膜として機能し、それぞれの下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。例えば、絶縁体４１１の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨（ＣＭＰ）法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。絶縁体４０５、絶縁体４０７、絶縁体４０９、絶縁体４１１及び絶縁体４１３は、絶縁体２１６等に用いることができる絶縁体を用いることができる。
【0123】
図６において、導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ及び導電体３０５は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。このような構成とすることで、工程を簡略にすることができる。なお、導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ及び導電体３０５はそれぞれ異なる層に形成されてもよい。また、導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ及び導電体３０５はそれぞれ異なる種類の材料を有してもよい。
【0124】
図６に示すように、トランジスタ７５０及びトランジスタ４４１は、遮光膜７３８と重なる領域を有することが好ましい。トランジスタ７５０等と遮光膜７３８が重なる領域を有することで、トランジスタ７５０等に外光が達するのを抑制できる。トランジスタに達する光を抑制することで、トランジスタの電気特性の変動を抑制でき、信頼性の高い表示装置とすることができる。
【0125】
【0126】
図７に示す表示装置７００Ａは、図６に示した表示装置７００と比較して、以下の点で主に相違している。表示装置７００Ａは、トランジスタ７５０に代えてトランジスタ７５０Ａを有する。トランジスタ７５０と、トランジスタ７５０Ａとはトランジスタの構成が異なる。トランジスタの詳細な説明については、後述する。
【0127】
＜変形例２＞
表示素子として発光素子を用いる構成について、図８及び図９を用いて説明する。図８に示す表示装置において、画素部７０２はトランジスタ４２１、トランジスタ７５４及び容量素子７９０を有する。ソースドライバ回路部７０４はトランジスタ４４１を有する。図８に示す表示装置は、画素部７０２が有するトランジスタと、ソースドライバ回路部７０４が有するトランジスタが、異なる層に形成されている点で、図３に示した表示装置と異なる。図８では、トランジスタ４２１、トランジスタ７５４、およびトランジスタ４４１のチャネル長方向の断面を示している。トランジスタ４４１、トランジスタ７５４及び容量素子７９０は、先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
表示素子として発光素子を用いる構成について、図８及び図９を用いて説明する。図８に示す表示装置において、画素部７０２はトランジスタ４２１、トランジスタ７５４及び容量素子７９０を有する。ソースドライバ回路部７０４はトランジスタ４４１を有する。図８に示す表示装置は、画素部７０２が有するトランジスタと、ソースドライバ回路部７０４が有するトランジスタが、異なる層に形成されている点で、図３に示した表示装置と異なる。図８では、トランジスタ４２１、トランジスタ７５４、およびトランジスタ４４１のチャネル長方向の断面を示している。トランジスタ４４１、トランジスタ７５４及び容量素子７９０は、先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0128】
トランジスタ４２１は、基板４０２上に設けられ、ゲート電極として機能する導電体４２３、ゲート絶縁体として機能する絶縁体４２５、基板４０２の一部からなる半導体領域４２７、およびソース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗領域４２９ａ、および低抵抗領域４２９ｂを有する。トランジスタ４４１は、ｐチャネル型又はｎチャネル型のいずれでもよい。
【0129】
ここで、図８ではトランジスタ４４１としてフィン型トランジスタを例示したが、本発明の一態様はこれに限られない。図８に示すトランジスタ４４１は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。例えば、トランジスタ４４１は、プレーナー型トランジスタであってもよい。また、トランジスタ４４１は、薄膜の半導体層を有するトランジスタであってもよい。
【0130】
図８に示すように、基板４０２上に絶縁体４０５、絶縁体４０７、絶縁体４０９及び絶縁体４１１が設けられる。絶縁体４０５、絶縁体４０７、絶縁体４０９及び絶縁体４１１中に導電体４３１が埋設されている。導電体４３１は、トランジスタ４２１のソース又はドレインの一方と電気的に接続される。ここで、導電体４３１の上面の高さと、絶縁体４１１の上面の高さは同程度にできる。
【0131】
導電体４５１及び絶縁体４１１上に絶縁体４１３及び絶縁体２１４が設けられる。絶縁体４１３及び絶縁体２１４中に導電体４３３が埋設されている。導電体４３３は、導電体４３１と電気的に接続される。ここで、導電体４３３の上面の高さと、絶縁体２１４の上面の高さは同程度にできる。
【0132】
導電体４３３及び絶縁体２１４上に絶縁体２１６が設けられる。絶縁体２１６中に導電体４３５が埋設されている。導電体４３５は、導電体４３３と電気的に接続される。ここで、導電体４３５の上面の高さと、絶縁体２１６の上面の高さは同程度にできる。
【0133】
導電体４３３及び絶縁体２１６上に絶縁体２２２、絶縁体２２４、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４及び絶縁体２８１が設けられる。絶縁体２２２、絶縁体２２４、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４及び絶縁体２８１中に導電体３０９が埋設されている。導電体３０９は、導電体４５５と電気的に接続される。ここで、導電体３０９の上面の高さと、絶縁体２８１の上面の高さは同程度にできる。
【0134】
導電体３０９及び絶縁体２８１上に絶縁体３６１が設けられる。絶縁体３６１中に導電体３１９及び導電体３３１が埋設されている。導電体３３１は、導電体３１９を介して導電体３１３と電気的に接続される。ここで、導電体３３１の上面の高さと、絶縁体３６１の上面の高さは同程度にできる。
【0135】
図８において、導電体４３１及び導電体４５１は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電体４３３及び導電体４５３は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示しているまた、導電体４３５及び導電体４５５は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電体３０１ａ、導電体３０１ｂ、導電体３１３及び導電体３０５は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。また、導電体３１１、導電体３１３、導電体３１９、下部電極３２１、信号線７１０及び導電体３１７は同じ層に形成され、同じ種類の材料を有する例を示している。このような構成とすることで、工程を簡略にすることができる。なお、これらはそれぞれ異なる層に形成されてもよい。また、それぞれ異なる種類の材料を有してもよい。
【0136】
図８に示すように、トランジスタ７５４と、トランジスタ４２１は重なる領域を有する。トランジスタ７５４と、トランジスタ４２１が重なる領域を有することで、トランジスタが画素内で占める面積が小さくなり、画素を小さくすることができる。また、高精細な表示装置とすることができる。
【0137】
図８に示すように、トランジスタ７５４、トランジスタ４２１及びトランジスタ４４１は、遮光膜７３８と重なる領域を有することが好ましい。トランジスタ７５４等と遮光膜７３８が重なる領域を有することで、トランジスタ７５４等に外光が達するのを抑制できる。トランジスタに達する光を抑制することで、トランジスタの電気特性の変動を抑制でき、信頼性の高い表示装置とすることができる。
【0138】
【0139】
図９に示す表示装置７００Ａは、図８に示した表示装置７００と比較して、以下の点で主に相違している。表示装置７００Ａは、トランジスタ７５４に代えてトランジスタ７５４Ａを有する。トランジスタ７５４と、トランジスタ７５４Ａとはトランジスタの構成が異なる。トランジスタの詳細な説明については、後述する。
【0140】
本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、または図面等と適宜組み合わせて実施することができる。
【0141】
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【0142】
（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ及びその作製方法について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ及びその作製方法について説明する。
【0143】
＜トランジスタの構成例＞
図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、および図１０（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００、およびトランジスタ２００周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００を適用することができる。
図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、および図１０（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００、およびトランジスタ２００周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００を適用することができる。
【0144】
図１０（Ａ）は、トランジスタ２００の上面図である。また、図１０（Ｂ）、および図１０（Ｃ）は、トランジスタ２００の断面図である。ここで、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）にＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル長方向の断面図でもある。また、図１０（Ｃ）は、図１０（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図１０（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
【0145】
図２、図３、図６及び図８に示す表示装置７００は、トランジスタ７５０、トランジスタ７５２及びトランジスタ７５４として、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、および図１０（Ｃ）に示すトランジスタ２００を適用した例を示している。
【0146】
［トランジスタ２００］
図１０に示すように、トランジスタ２００は、基板（図示しない。）の上に配置された酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａの上に配置された酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂの上に、互いに離隔して配置された導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂと、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂ上に配置され、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間に重畳して開口が形成された絶縁体２８０と、開口の中に配置された導電体２６０と、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、および絶縁体２８０と、導電体２６０と、の間に配置された絶縁体２５０と、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、および絶縁体２８０と、絶縁体２５０と、の間に配置された酸化物２３０ｃと、を有する。ここで、図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）に示すように、導電体２６０の上面は、絶縁体２５０、絶縁体２５４、絶縁体２４４、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２８０の上面と略一致することが好ましい。なお、以下において、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃをまとめて酸化物２３０という場合がある。また、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂをまとめて導電体２４２という場合がある。
図１０に示すように、トランジスタ２００は、基板（図示しない。）の上に配置された酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａの上に配置された酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂの上に、互いに離隔して配置された導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂと、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂ上に配置され、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間に重畳して開口が形成された絶縁体２８０と、開口の中に配置された導電体２６０と、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、および絶縁体２８０と、導電体２６０と、の間に配置された絶縁体２５０と、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、および絶縁体２８０と、絶縁体２５０と、の間に配置された酸化物２３０ｃと、を有する。ここで、図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）に示すように、導電体２６０の上面は、絶縁体２５０、絶縁体２５４、絶縁体２４４、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２８０の上面と略一致することが好ましい。なお、以下において、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃをまとめて酸化物２３０という場合がある。また、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂをまとめて導電体２４２という場合がある。
【0147】
図１０に示すトランジスタ２００では、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの導電体２６０側の側面が、概略垂直な形状を有している。なお、図１０に示すトランジスタ２００は、これに限られるものではなく、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの側面と底面がなす角が、１０°以上８０°以下、好ましくは、３０°以上６０°以下としてもよい。また、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの対向する側面が、複数の面を有していてもよい。
【0148】
また、図１０に示すように、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、および酸化物２３０ｃと、絶縁体２８０と、の間に絶縁体２４４および絶縁体２５４が配置されることが好ましい。ここで、絶縁体２５４は、図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）に示すように、酸化物２３０ｃの側面、導電体２４２ａの上面と側面、導電体２４２ｂの上面と側面、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂの側面、ならびに絶縁体２２４の上面に接することが好ましい。絶縁体２５４は、さらに絶縁体２４１（絶縁体２４１ａ、および絶縁体２４１ｂ）の側面に接することが好ましい。絶縁体２４４は絶縁体２５４の上面に接して配置されることが好ましい。
【0149】
なお、トランジスタ２００では、チャネルが形成される領域（以下、チャネル形成領域ともいう。）と、その近傍において、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの３層を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃの２層構造、または４層以上の積層構造を設ける構成にしてもよい。また、トランジスタ２００では、導電体２６０を２層の積層構造として示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２６０が、単層構造であってもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。また、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃのそれぞれが２層以上の積層構造を有していてもよい。
【0150】
例えば、酸化物２３０ｃが第１の酸化物と、第１の酸化物上の第２の酸化物からなる積層構造を有する場合、第１の酸化物は、酸化物２３０ｂと同様の組成を有し、第２の酸化物は、酸化物２３０ａと同様の組成を有することが好ましい。
【0151】
ここで、導電体２６０は、トランジスタのゲート電極として機能し、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂは、それぞれソース電極またはドレイン電極として機能する。上記のように、導電体２６０は、絶縁体２８０の開口、および導電体２４２ａと導電体２４２ｂに挟まれた領域に埋め込まれるように形成される。ここで、導電体２６０、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの配置は、絶縁体２８０の開口に対して、自己整合的に選択される。つまり、トランジスタ２００において、ゲート電極を、ソース電極とドレイン電極の間に、自己整合的に配置させることができる。よって、導電体２６０を位置合わせのマージンを設けることなく形成することができるので、トランジスタ２００の占有面積の縮小を図ることができる。これにより、表示装置を高精細にすることができる。また、表示装置を狭額縁にすることができる。
【0152】
また、図１０に示すように、導電体２６０は、絶縁体２５０の内側に設けられた導電体２６０ａと、導電体２６０ａの内側に埋め込まれるように設けられた導電体２６０ｂと、を有することが好ましい。
【0153】
また、トランジスタ２００は、基板（図示しない。）の上に配置された絶縁体２１４と、絶縁体２１４の上に配置された絶縁体２１６と、絶縁体２１６に埋め込まれるように配置された導電体２０５と、絶縁体２１６と導電体２０５の上に配置された絶縁体２２２と、絶縁体２２２の上に配置された絶縁体２２４と、を有することが好ましい。絶縁体２２４の上に酸化物２３０ａが配置されることが好ましい。
【0154】
また、トランジスタ２００の上に、層間膜として機能する絶縁体２７４、および絶縁体２８１が配置されることが好ましい。ここで、絶縁体２７４は、導電体２６０、絶縁体２５０、絶縁体２５４、絶縁体２４４、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２８０の上面に接して配置されることが好ましい。
【0155】
絶縁体２２２、絶縁体２５４、絶縁体２４４、および絶縁体２７４は、水素（例えば、水素原子、水素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２２２、絶縁体２５４、絶縁体２４４、および絶縁体２７４は、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および絶縁体２８０より水素透過性が低いことが好ましい。また、絶縁体２２２、絶縁体２５４、絶縁体２４４および絶縁体２７４は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２２２、絶縁体２５４、絶縁体２４４および絶縁体２７４は、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および絶縁体２８０より酸素透過性が低いことが好ましい。
【0156】
ここで、絶縁体２２４、酸化物２３０、および絶縁体２５０は、絶縁体２８０および絶縁体２８１と、絶縁体２５４、絶縁体２４４および絶縁体２７４によって離隔されている。ゆえに、絶縁体２８０および絶縁体２８１に含まれる水素などの不純物や、過剰な酸素が、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および絶縁体２５０に混入するのを抑制することができる。
【0157】
また、トランジスタ２００と電気的に接続し、プラグとして機能する導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）が設けられることが好ましい。なお、プラグとして機能する導電体２４０の側面に接して絶縁体２４１（絶縁体２４１ａ、および絶縁体２４１ｂ）が設けられる。つまり、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４、および絶縁体２８１の開口の内壁に接して絶縁体２４１が設けられる。また、絶縁体２４１の側面に接して導電体２４０の第１の導電体が設けられ、さらに内側に導電体２４０の第２の導電体が設けられる構成にしてもよい。ここで、導電体２４０の上面の高さと、絶縁体２８１の上面の高さは同程度にできる。なお、トランジスタ２００では、導電体２４０の第１の導電体および導電体２４０の第２の導電体を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２４０を単層、または３層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。構造体が積層構造を有する場合、形成順に序数を付与し、区別する場合がある。
【0158】
また、トランジスタ２００は、チャネル形成領域を含む酸化物２３０（酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃ）に、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いることが好ましい。例えば、酸化物２３０のチャネル形成領域となる金属酸化物としては、バンドギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上のものを用いることが好ましい。バンドギャップの大きい酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタ２００は、非導通状態において極めてリーク電流（オフ電流）が小さいため、低消費電力の表示装置を提供できる。
【0159】
例えば、酸化物２３０として、Ｉｎ－Ｍ－Ｚｎ酸化物（元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、錫、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種）等の金属酸化物を用いるとよい。特に、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫を用いるとよい。また、酸化物２３０として、酸化インジウム、酸化亜鉛、Ｉｎ－Ｇａ酸化物、Ｉｎ－Ｚｎ酸化物、Ｇａ－Ｚｎ酸化物、または酸化ガリウムを用いてもよい。
【0160】
また、図１０（Ｂ）に示すように、酸化物２３０ｂは、導電体２４２と重ならない領域の膜厚が、導電体２４２と重なる領域の膜厚より薄くなる場合がある。これは、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成する際に、酸化物２３０ｂの上面の一部を除去することにより形成される。酸化物２３０ｂの上面には、導電体２４２となる導電膜を成膜した際に、当該導電膜との界面近傍に抵抗の低い領域が形成される場合がある。このように、酸化物２３０ｂの上面の導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間に位置する、抵抗の低い領域を除去することにより、当該領域にチャネルが形成されることを防ぐことができる。
【0161】
本発明の一態様により、サイズが小さいトランジスタを有し、精細度が高い表示装置を提供することができる。または、オン電流が大きいトランジスタを有し、輝度が高い表示装置を提供することができる。または、動作が速いトランジスタを有し、動作が速い表示装置を提供することができる。または、電気特性が安定したトランジスタを有し、信頼性が高い表示装置を提供することができる。または、オフ電流が小さいトランジスタを有し、消費電力が低い表示装置を提供することができる。
【0162】
本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００の詳細な構成について説明する。
【0163】
導電体２０５は、酸化物２３０、および導電体２６０と、重なるように配置する。また、導電体２０５は、絶縁体２１６に埋め込まれて設けることが好ましい。ここで、導電体２０５の上面の平坦性を良好にすることが好ましい。例えば、導電体２０５上面の平均面粗さ（Ｒａ）を１ｎｍ以下、好ましくは０．５ｎｍ以下、より好ましくは０．３ｎｍ以下にすればよい。これにより、導電体２０５の上に形成される、絶縁体２２４の平坦性を良好にし、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ｃの結晶性の向上を図ることができる。
【0164】
ここで、導電体２６０は、第１のゲート（トップゲートともいう。）電極として機能する場合がある。また、導電体２０５は、第２のゲート（ボトムゲートともいう。）電極として機能する場合がある。その場合、導電体２０５に印加する電位を、導電体２６０に印加する電位と、連動させず、独立して変化させることで、トランジスタ２００のＶｔｈを制御することができる。特に、導電体２０５に負の電位を印加することにより、トランジスタ２００のＶｔｈを０Ｖより大きくし、オフ電流を低減することが可能となる。したがって、導電体２０５に負の電位を印加したほうが、印加しない場合よりも、導電体２６０に印加する電位が０Ｖのときのドレイン電流を小さくすることができる。
【0165】
また、導電体２０５は、酸化物２３０におけるチャネル形成領域よりも、大きく設けるとよい。特に、図１０（Ｃ）に示すように、導電体２０５は、酸化物２３０のチャネル幅方向と交わる端部よりも外側の領域においても、延伸していることが好ましい。つまり、酸化物２３０のチャネル幅方向における側面の外側において、導電体２０５と、導電体２６０とは、絶縁体を介して重畳していることが好ましい。
【0166】
上記構成を有することで、第１のゲート電極としての機能を有する導電体２６０の電界と、第２のゲート電極としての機能を有する導電体２０５の電界によって、酸化物２３０のチャネル形成領域を電気的に取り囲むことができる。
【0167】
また、図１０（Ｃ）に示すように、導電体２０５は延伸させて、配線としても機能させている。ただし、これに限られることなく、導電体２０５の下に、配線として機能する導電体を設ける構成にしてもよい。また、導電体２０５は、必ずしも各トランジスタに一個ずつ設ける必要はない。例えば、導電体２０５を複数のトランジスタで共有する構成にしてもよい。
【0168】
また、導電体２０５は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。なお、導電体２０５を単層で図示したが、積層構造としてもよく、例えば、チタン、窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。
【0169】
また、導電体２０５の下に水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する（上記不純物が透過しにくい。）導電体を用いてもよい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）導電体を用いることが好ましい。なお、本明細書において、不純物、または酸素の拡散を抑制する機能とは、上記不純物、または上記酸素のいずれか一またはすべての拡散を抑制する機能とする。
【0170】
導電体２０５の下に、酸素の拡散を抑制する機能を有する導電体を用いることにより、導電体２０５が酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電体としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウムまたは酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。したがって、導電体２０５の第１の導電体としては、上記導電性材料を単層または積層とすればよい。
【0171】
絶縁体２１４は、水または水素などの不純物が、基板側からトランジスタ２００に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。したがって、絶縁体２１４は、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する（上記不純物が透過しにくい。）絶縁性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）絶縁性材料を用いることが好ましい。
【0172】
例えば、絶縁体２１４として、酸化アルミニウムまたは窒化シリコンなどを用いることが好ましい。これにより、水または水素などの不純物が絶縁体２１４よりも基板側からトランジスタ２００側に拡散するのを抑制することができる。または、絶縁体２２４などに含まれる酸素が、絶縁体２１４よりも基板側に、拡散するのを抑制することができる。
【0173】
また、層間膜として機能する絶縁体２１６、絶縁体２８０、および絶縁体２８１は、絶縁体２１４よりも誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体２１６、絶縁体２８０、および絶縁体２８１として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、または空孔を有する酸化シリコンなどを適宜用いればよい。
【0174】
また、絶縁体２１６を積層構造にしてもよい。例えば、絶縁体２１６において、少なくとも導電体２０５の側面と接する部分に、絶縁体２１４と同様の絶縁体を設ける構成にしてもよい。このような構成にすることで、絶縁体２１６に含まれる酸素によって、導電体２０５が酸化されることを抑制できる。あるいは、導電体２０５により、絶縁体２１６に含まれる酸素が吸収されるのを抑制することができる。
【0175】
絶縁体２２２および絶縁体２２４は、ゲート絶縁体としての機能を有する。
【0176】
ここで、酸化物２３０と接する絶縁体２２４は、加熱により酸素を脱離することが好ましい。本明細書では、加熱により離脱する酸素を過剰酸素と呼ぶことがある。例えば、絶縁体２２４は、酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンなどを適宜用いればよい。酸素を含む絶縁体を酸化物２３０に接して設けることにより、酸化物２３０中の酸素欠損を低減し、トランジスタ２００の信頼性を向上させることができる。
【0177】
絶縁体２２４として、具体的には、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。加熱により酸素を脱離する酸化物とは、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、酸素原子に換算しての酸素の脱離量が１．０×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、好ましくは１．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、さらに好ましくは２．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、または３．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上である酸化物膜である。なお、上記ＴＤＳ分析時における膜の表面温度としては１００℃以上７００℃以下、または１００℃以上４００℃以下の範囲が好ましい。
【0178】
また、図１０（Ｃ）に示すように、絶縁体２２４は、絶縁体２５４と重ならず、且つ酸化物２３０ｂと重ならない領域の膜厚が、それ以外の領域の膜厚より薄くなる場合がある。絶縁体２２４において、絶縁体２５４と重ならず、且つ酸化物２３０ｂと重ならない領域の膜厚は、上記酸素を十分に拡散できる膜厚であることが好ましい。
【0179】
絶縁体２２２は、絶縁体２１４などと同様に、水または水素などの不純物が、基板側からトランジスタ２００に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。例えば、絶縁体２２２は、絶縁体２２４より水素透過性が低いことが好ましい。絶縁体２２２、絶縁体２５４、絶縁体２４４、および絶縁体２７４によって、絶縁体２２４、酸化物２３０、および絶縁体２５０などを囲むことにより、外方から水または水素などの不純物がトランジスタ２００に侵入することを抑制することができる。
【0180】
さらに、絶縁体２２２は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）ことが好ましい。例えば、絶縁体２２２は、絶縁体２２４より酸素透過性が低いことが好ましい。絶縁体２２２が、酸素や不純物の拡散を抑制する機能を有することで、酸化物２３０が有する酸素が、基板側へ拡散することを低減できるので、好ましい。また、導電体２０５が、絶縁体２２４や、酸化物２３０が有する酸素と反応することを抑制することができる。
【0181】
絶縁体２２２は、絶縁性材料であるアルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。このような材料を用いて絶縁体２２２を形成した場合、絶縁体２２２は、酸化物２３０からの酸素の放出や、トランジスタ２００の周辺部から酸化物２３０への水素等の不純物の混入を抑制する層として機能する。
【0182】
または、これらの絶縁体に、例えば、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。またはこれらの絶縁体を窒化処理してもよい。上記の絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよい。
【0183】
また、絶縁体２２２は、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ３）または（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ３（ＢＳＴ）などを含む絶縁体を単層または積層で用いてもよい。トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体にｈｉｇｈ－ｋ材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減が可能となる。
【0184】
なお、絶縁体２２２、および絶縁体２２４が、２層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。例えば、絶縁体２２２の下に絶縁体２２４と同様の絶縁体を設ける構成にしてもよい。
【0185】
酸化物２３０は、酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａ上の酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂ上の酸化物２３０ｃと、を有する。酸化物２３０ｂ下に酸化物２３０ａを有することで、酸化物２３０ａよりも下方に形成された構造物から、酸化物２３０ｂへの不純物の拡散を抑制することができる。また、酸化物２３０ｂ上に酸化物２３０ｃを有することで、酸化物２３０ｃよりも上方に形成された構造物から、酸化物２３０ｂへの不純物の拡散を抑制することができる。
【0186】
なお、酸化物２３０は、各金属原子の原子数比が異なる酸化物により、積層構造を有することが好ましい。具体的には、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物において、構成元素中の元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、構成元素中の元素Ｍの原子数比より、大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物において、元素Ｍに対するＩｎの原子数比が、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物における、元素Ｍに対するＩｎの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｃは、酸化物２３０ａまたは酸化物２３０ｂに用いることができる金属酸化物を、用いることができる。
【0187】
酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ｃは、結晶性を有することが好ましく、特に、ＣＡＡＣ－ＯＳを用いることが好ましい。ＣＡＡＣ－ＯＳなどの結晶性を有する酸化物は、不純物や欠陥（酸素欠損など）が少なく、結晶性の高い、緻密な構造を有している。よって、ソース電極またはドレイン電極による、酸化物２３０ｂからの酸素の引き抜きを抑制することができる。これにより、熱処理を行っても、酸化物２３０ｂから酸素が引き抜かれることを低減できるので、トランジスタ２００は、製造工程における高い温度（所謂サーマルバジェット）に対して安定である。
【0188】
また、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｃの伝導帯下端のエネルギーが、酸化物２３０ｂの伝導帯下端のエネルギーより高くなることが好ましい。また、言い換えると、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｃの電子親和力が、酸化物２３０ｂの電子親和力より小さいことが好ましい。この場合、酸化物２３０ｃは、酸化物２３０ａに用いることができる金属酸化物を用いることが好ましい。具体的には、酸化物２３０ｃに用いる金属酸化物において、構成元素中の元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、構成元素中の元素Ｍの原子数比より、大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｃに用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物において、元素Ｍに対するＩｎの原子数比が、酸化物２３０ｃに用いる金属酸化物における、元素Ｍに対するＩｎの原子数比より大きいことが好ましい。
【0189】
ここで、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの接合部において、伝導帯下端のエネルギー準位はなだらかに変化する。換言すると、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの接合部における伝導帯下端のエネルギー準位は、連続的に変化または連続接合するともいうことができる。このようにするためには、酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂとの界面、および酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃとの界面において形成される混合層の欠陥準位密度を低くするとよい。
【0190】
具体的には、酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂ、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃが、酸素以外に共通の元素を有する（主成分とする。）ことで、欠陥準位密度が低い混合層を形成することができる。例えば、酸化物２３０ｂがＩｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物の場合、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｃとして、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物、Ｇａ－Ｚｎ酸化物、酸化ガリウムなどを用いてもよい。また、酸化物２３０ｃを積層構造としてもよい。例えば、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物と、当該Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物上のＧａ－Ｚｎ酸化物との積層構造、またはＩｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物と、当該Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物上の酸化ガリウムとの積層構造を用いることができる。別言すると、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物と、Ｉｎを含まない酸化物との積層構造を、酸化物２３０ｃとして用いてもよい。
【0191】
具体的には、酸化物２３０ａとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、または１：１：０．５［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物２３０ｂとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］、または３：１：２［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物２３０ｃとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］、Ｇａ：Ｚｎ＝２：１［原子数比］、またはＧａ：Ｚｎ＝２：５［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物２３０ｃを積層構造とする場合の具体例としては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］と、Ｇａ：Ｚｎ＝２：１［原子数比］との積層構造、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］と、Ｇａ：Ｚｎ＝２：５［原子数比］との積層構造、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］と、酸化ガリウムとの積層構造などが挙げられる。
【0192】
このとき、キャリアの主たる経路は酸化物２３０ｂとなる。酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｃを上述の構成とすることで、酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂとの界面、および酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃとの界面における欠陥準位密度を低くすることができる。そのため、界面散乱によるキャリア伝導への影響が小さくなり、トランジスタ２００は高いオン電流、および高い周波数特性を得ることができる。なお、酸化物２３０ｃを積層構造とした場合、上述の酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃとの界面における欠陥準位密度を低くする効果に加え、酸化物２３０ｃが有する構成元素が、絶縁体２５０側に拡散するのを抑制することが期待される。より具体的には、酸化物２３０ｃを積層構造とし、積層構造の上方にＩｎを含まない酸化物を位置させるため、絶縁体２５０側に拡散しうるＩｎを抑制することができる。絶縁体２５０は、ゲート絶縁体として機能するため、Ｉｎが拡散した場合、トランジスタの特性不良となる。したがって、酸化物２３０ｃを積層構造とすることで、信頼性の高い表示装置を提供することが可能となる。
【0193】
酸化物２３０は、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。例えば、酸化物２３０のチャネル形成領域となる金属酸化物としては、バンドギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上のものを用いることが好ましい。このように、バンドギャップの大きい金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。このようなトランジスタを用いることで、低消費電力の表示装置を提供できる。
【0194】
酸化物２３０ｂ上には、ソース電極、およびドレイン電極として機能する導電体２４２（導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂ）が設けられる。導電体２４２としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。
【0195】
酸化物２３０と接するように上記導電体２４２を設けることで、酸化物２３０の導電体２４２近傍において、酸素濃度が低減する場合がある。また、酸化物２３０の導電体２４２近傍において、導電体２４２に含まれる金属と、酸化物２３０の成分とを含む金属化合物層が形成される場合がある。このような場合、酸化物２３０の導電体２４２近傍の領域において、キャリア密度が増加し、当該領域は、低抵抗領域となる。
【0196】
ここで、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間の領域は、絶縁体２８０の開口に重畳して形成される。これにより、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間に導電体２６０を自己整合的に配置することができる。
【0197】
絶縁体２５０は、ゲート絶縁体として機能する。絶縁体２５０は、酸化物２３０ｃの上面に接して配置することが好ましい。絶縁体２５０は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンを用いることができる。特に、酸化シリコン、および酸化窒化シリコンは熱に対して安定であるため好ましい。
【0198】
絶縁体２５０は、絶縁体２２４と同様に、絶縁体２５０中の水または水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。絶縁体２５０の膜厚は、１ｎｍ以上２０ｎｍ以下とするのが好ましい。
【0199】
また、絶縁体２５０と導電体２６０との間に金属酸化物を設けてもよい。当該金属酸化物は、絶縁体２５０から導電体２６０への酸素拡散を抑制することが好ましい。これにより、絶縁体２５０の酸素による導電体２６０の酸化を抑制することができる。
【0200】
また、当該金属酸化物は、ゲート絶縁体の一部としての機能を有する場合がある。したがって、絶縁体２５０に酸化シリコンや酸化窒化シリコンなどを用いる場合、当該金属酸化物は、比誘電率が高いｈｉｇｈ－ｋ材料である金属酸化物を用いることが好ましい。ゲート絶縁体を、絶縁体２５０と当該金属酸化物との積層構造とすることで、熱に対して安定、かつ比誘電率の高い積層構造とすることができる。したがって、ゲート絶縁体の物理膜厚を保持したまま、トランジスタ動作時に印加するゲート電位の低減化が可能となる。また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体の等価酸化膜厚（ＥＯＴ：Ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ ｏｘｉｄｅ ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ）の薄膜化が可能となる。
【0201】
具体的には、ハフニウム、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、タングステン、チタン、タンタル、ニッケル、ゲルマニウム、または、マグネシウムなどから選ばれた一種、または二種以上が含まれた金属酸化物を用いることができる。特に、アルミニウム、またはハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体である、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。
【0202】
導電体２６０は、図１０では２層構造として示しているが、単層構造でもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。
【0203】
導電体２６０ａは、上述の、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電体を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。
【0204】
また、導電体２６０ａが酸素の拡散を抑制する機能を持つことにより、絶縁体２５０に含まれる酸素により、導電体２６０ｂが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、または酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。
【0205】
また、導電体２６０ｂは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電体２６０は、配線としても機能するため、導電性が高い導電体を用いることが好ましい。例えば、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることができる。また、導電体２６０ｂは積層構造としてもよく、例えば、チタン、窒化チタンと上記導電性材料との積層構造としてもよい。
【0206】
また、図１０（Ａ）及び図１０（Ｃ）に示すように、酸化物２３０ｂの導電体２４２と重ならない領域、言い換えると、酸化物２３０のチャネル形成領域において、酸化物２３０の側面が導電体２６０で覆うように配置されている。これにより、第１のゲート電極としての機能する導電体２６０の電界を、酸化物２３０の側面に作用させやすくなる。よって、トランジスタ２００のオン電流を増大させ、周波数特性を向上させることができる。
【0207】
絶縁体２５４は、絶縁体２１４などと同様に、水または水素などの不純物が、絶縁体２８０側からトランジスタ２００に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。例えば、絶縁体２５４は、絶縁体２２４より水素透過性が低いことが好ましい。さらに、図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）に示すように、絶縁体２５４は、酸化物２３０ｃの側面、導電体２４２ａの上面と側面、導電体２４２ｂの上面と側面、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、ならびに絶縁体２２４の上面に接することが好ましい。このような構成にすることで、絶縁体２８０に含まれる水素が、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび絶縁体２２４の上面または側面から酸化物２３０に侵入するのを抑制することができる。
【0208】
さらに、絶縁体２５４は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）ことが好ましい。例えば、絶縁体２５４は、絶縁体２８０または絶縁体２２４より酸素透過性が低いことが好ましい。
【0209】
絶縁体２５４は、スパッタリング法を用いて成膜されることが好ましい。絶縁体２５４を、酸素を含む雰囲気でスパッタリング法を用いて成膜することで、絶縁体２２４の絶縁体２５４と接する領域近傍に酸素を添加することができる。これにより、当該領域から、絶縁体２２４を介して酸化物２３０中に酸素を供給することができる。ここで、絶縁体２５４が、上方への酸素の拡散を抑制する機能を有することで、酸素が酸化物２３０から絶縁体２８０へ拡散することを防ぐことができる。また、絶縁体２２２が、下方への酸素の拡散を抑制する機能を有することで、酸素が酸化物２３０から基板側へ拡散することを防ぐことができる。このようにして、酸化物２３０のチャネル形成領域に酸素が供給される。これにより、酸化物２３０の酸素欠損を低減し、トランジスタのノーマリーオン化を抑制することができる。
【0210】
絶縁体２５４としては、例えば、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を成膜するとよい。なお、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。
【0211】
絶縁体２４４は、絶縁体２１４などと同様に、水または水素などの不純物が、絶縁体２８０側からトランジスタ２００に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。例えば、絶縁体２４４は、絶縁体２２４より水素透過性が低いことが好ましい。さらに、図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）に示すように、絶縁体２４４は、絶縁体２５４に接するように配置されることが好ましい。この様な構成とすることで、絶縁体２８０に含まれる水素が、導電体２６０、酸化物２３０ｃおよび絶縁体２５０の側面から酸化物２３０に侵入するのを抑制することができる。
【0212】
このように、水素に対してバリア性を有する絶縁体２５４および絶縁体２４４によって、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および酸化物２３０を覆うことで、絶縁体２８０は、絶縁体２５４または絶縁体２４４によって、絶縁体２２４、酸化物２３０、および絶縁体２５０と離隔されている。これにより、トランジスタ２００の外方から水素などの不純物が浸入することを抑制できるので、トランジスタ２００に良好な電気特性および信頼性を与えることができる。
【0213】
さらに、絶縁体２４４は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）ことが好ましい。例えば、絶縁体２４４は、絶縁体２２４より酸素透過性が低いことが好ましい。絶縁体２４４が、酸素の拡散を抑制する機能を有することで、導電体２６０が、絶縁体２８０が有する酸素と反応することを抑制することができる。
【0214】
絶縁体２４４としては、例えば、窒化アルミニウムを含む絶縁体を用いればよい。絶縁体２４４として、組成式がＡｌＮｘ（ｘは０より大きく２以下の実数、好ましくは、ｘは０．５より大きく１．５以下の実数）を満たす窒化物絶縁体を用いることが好ましい。これにより、絶縁性に優れ、且つ熱伝導性に優れた膜とすることができるため、トランジスタ２００を駆動したときに生じる熱の放熱性を高めることができる。また、絶縁体２４４として、窒化アルミニウムチタン、窒化チタンなどを用いることもできる。この場合、スパッタリング法を用いて成膜することで、成膜ガスに酸素またはオゾンなどの酸化性の強いガスを用いずに成膜することができるので、好ましい。また、窒化シリコンまたは窒化酸化シリコンなどを用いることもできる。
【0215】
また、絶縁体２４４としては、例えば、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を成膜するとよい。なお、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。この場合、絶縁体２４４は、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いて成膜されることが好ましい。ＡＬＤ法は、被覆性の良好な成膜法なので、絶縁体２４４の凹凸によって、段切れなどが形成されるのを防ぐことができる。
【0216】
絶縁体２８０は、絶縁体２４４および絶縁体２５４を介して、絶縁体２２４、酸化物２３０、および導電体２４２上に設けられる。例えば、絶縁体２８０として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、または空孔を有する酸化シリコンなどを有することが好ましい。特に、酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため好ましい。特に、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどの材料は、加熱により脱離する酸素を含む領域を容易に形成することができるため好ましい。
【0217】
絶縁体２８０中の水または水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。また、絶縁体２８０の上面は、平坦化されていてもよい。
【0218】
絶縁体２７４は、絶縁体２１４などと同様に、水または水素などの不純物が、上方から絶縁体２８０に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。絶縁体２７４としては、例えば、絶縁体２１４、絶縁体２５４等に用いることができる絶縁体を用いればよい。
【0219】
また、絶縁体２７４の上に、層間膜として機能する絶縁体２８１を設けることが好ましい。絶縁体２８１は、絶縁体２２４などと同様に、膜中の水または水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。
【0220】
また、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、および絶縁体２４４に形成された開口に、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを配置する。導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂは、導電体２６０を挟んで対向して設ける。なお、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂの上面の高さは、絶縁体２８１の上面と、同一平面上としてもよい。
【0221】
なお、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２４４および絶縁体２５４の開口の内壁に接して、絶縁体２４１ａが設けられ、その側面に接して導電体２４０ａの第１の導電体が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には導電体２４２ａが位置しており、導電体２４０ａが導電体２４２ａと接する。同様に、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２４４および絶縁体２５４の開口の内壁に接して、絶縁体２４１ｂが設けられ、その側面に接して導電体２４０ｂの第１の導電体が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には導電体２４２ｂが位置しており、導電体２４０ｂが導電体２４２ｂと接する。
【0222】
導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂは積層構造としてもよい。
【0223】
また、導電体２４０を積層構造とする場合、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体２４２、絶縁体２４４、絶縁体２５４、絶縁体２８０、絶縁体２７４、絶縁体２８１と接する導電体には、上述の、水または水素などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電体を用いることが好ましい。例えば、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、ルテニウム、または酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。また、水または水素などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料は、単層または積層で用いてもよい。当該導電性材料を用いることで、絶縁体２８０に添加された酸素が導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂに吸収されるのを防ぐことができる。また、絶縁体２８１より上層から水または水素などの不純物が、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを通じて酸化物２３０に混入するのを抑制することができる。
【0224】
絶縁体２４１ａおよび絶縁体２４１ｂとしては、例えば、絶縁体２４４等に用いることができる絶縁体を用いればよい。絶縁体２４１ａおよび絶縁体２４１ｂは、絶縁体２５４および絶縁体２４４に接して設けられるので、絶縁体２８０などから水または水素などの不純物が、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを通じて酸化物２３０に混入するのを抑制することができる。また、絶縁体２８０に含まれる酸素が導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂに吸収されるのを防ぐことができる。
【0225】
絶縁体２４１ａおよび絶縁体２４１ｂの形成には、ＡＬＤ法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いることができる。
【0226】
また、図示しないが、導電体２４０ａの上面、および導電体２４０ｂの上面に接して配線として機能する導電体を配置してもよい。配線として機能する導電体は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、当該導電体は、積層構造としてもよく、例えば、チタン、窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。当該導電体は、絶縁体に設けられた開口に埋め込むように形成してもよい。
【0227】
また、図示しないが、当該導電体を覆うように、抵抗率が１．０×１０１３Ωｃｍ以上１．０×１０１５Ωｃｍ以下、好ましくは５．０×１０１３Ωｃｍ以上５．０×１０１４Ωｃｍ以下の絶縁体を設けることが好ましい。当該導電体上に上記のような抵抗率を有する絶縁体を設けることで、当該絶縁体は、絶縁性を維持しつつ、トランジスタ２００Ａ、当該導電体等の配線間に蓄積される電荷を分散し、該電荷によるトランジスタや、該トランジスタを有する電子機器の特性不良や静電破壊を抑制することができ、好ましい。
【0228】
＜トランジスタの構成材料＞
トランジスタに用いることができる構成材料について説明する。
トランジスタに用いることができる構成材料について説明する。
【0229】
＜＜絶縁体＞＞
絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。
絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。
【0230】
例えば、トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体に、ｈｉｇｈ－ｋ材料を用いることで物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時の低電圧化が可能となる。一方、層間膜として機能する絶縁体には、比誘電率が低い材料を用いることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。したがって、絶縁体の機能に応じて、材料を選択するとよい。
【0231】
また、比誘電率の高い絶縁体としては、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物、またはシリコンおよびハフニウムを有する窒化物などがある。
【0232】
また、比誘電率が低い絶縁体としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、または樹脂などがある。
【0233】
また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体（絶縁体２１４、絶縁体２２２、絶縁体２５４、絶縁体２４４、および絶縁体２７４など）で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウム、またはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。具体的には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウム、または酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化アルミニウム、窒化アルミニウムチタン、窒化チタン、窒化酸化シリコンまたは窒化シリコンなどの金属窒化物を用いることができる。
【0234】
また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体は、加熱により脱離する酸素を含む領域を有する絶縁体であることが好ましい。例えば、加熱により脱離する酸素を含む領域を有する酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンを酸化物２３０と接する構造とすることで、酸化物２３０が有する酸素欠損を補償することができる。
【0235】
＜＜導電体＞＞
導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
【0236】
また、上記の材料で形成される導電層を複数積層して用いてもよい。例えば、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。また、前述した金属元素を含む材料と、窒素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。また、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、窒素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。
【0237】
なお、トランジスタのチャネル形成領域に酸化物を用いる場合において、ゲート電極として機能する導電体には、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造を用いることが好ましい。この場合は、酸素を含む導電性材料をチャネル形成領域側に設けるとよい。酸素を含む導電性材料をチャネル形成領域側に設けることで、当該導電性材料から離脱した酸素がチャネル形成領域に供給されやすくなる。
【0238】
特に、ゲート電極として機能する導電体として、チャネルが形成される金属酸化物に含まれる金属元素および酸素を含む導電性材料を用いることが好ましい。また、前述した金属元素および窒素を含む導電性材料を用いてもよい。例えば、窒化チタン、窒化タンタルなどの窒素を含む導電性材料を用いてもよい。また、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、シリコンを添加したインジウム錫酸化物を用いてもよい。また、窒素を含むインジウムガリウム亜鉛酸化物を用いてもよい。このような材料を用いることで、チャネルが形成される金属酸化物に含まれる水素を捕獲することができる場合がある。または、外方の絶縁体などから混入する水素を捕獲することができる場合がある。
【0239】
＜＜金属酸化物＞＞
酸化物２３０として、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう）を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物２３０に適用可能な金属酸化物について説明する。
酸化物２３０として、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう）を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物２３０に適用可能な金属酸化物について説明する。
【0240】
酸化物半導体は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウムまたはスズなどが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
【0241】
ここでは、酸化物半導体が、インジウム、元素Ｍおよび亜鉛を有するＩｎ－Ｍ－Ｚｎ酸化物である場合を考える。なお、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウムまたはスズなどとする。そのほかの元素Ｍに適用可能な元素としては、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどがある。ただし、元素Ｍとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。
【0242】
なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物（ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅ）と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物（ｍｅｔａｌ ｏｘｙｎｉｔｒｉｄｅ）と呼称してもよい。
【0243】
［金属酸化物の構成］
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるＣＡＣ（Ｃｌｏｕｄ－Ａｌｉｇｎｅｄ Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）－ＯＳの構成について説明する。
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるＣＡＣ（Ｃｌｏｕｄ－Ａｌｉｇｎｅｄ Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）－ＯＳの構成について説明する。
【0244】
なお、本明細書等において、ＣＡＡＣ（ｃ－ａｘｉｓ ａｌｉｇｎｅｄ ｃｒｙｓｔａｌ）、及びＣＡＣ（Ｃｌｏｕｄ－Ａｌｉｇｎｅｄ Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）と記載する場合がある。なお、ＣＡＡＣは結晶構造の一例を表し、ＣＡＣは機能、または材料の構成の一例を表す。
【0245】
ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅを、トランジスタの活性層に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子（またはホール）を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能（Ｏｎ／Ｏｆｆさせる機能）をＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅに付与することができる。ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
【0246】
また、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅは、導電性領域、及び絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
【0247】
また、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ０．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは０．５ｎｍ以上３ｎｍ以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
【0248】
また、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅをトランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、及び高い電界効果移動度を得ることができる。
【0249】
すなわち、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅは、マトリックス複合材（ｍａｔｒｉｘ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）、または金属マトリックス複合材（ｍｅｔａｌ ｍａｔｒｉｘ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）と呼称することもできる。
【0250】
［金属酸化物の構造］
酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、ＣＡＡＣ－ＯＳ（ｃ－ａｘｉｓ ａｌｉｇｎｅｄ ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、多結晶酸化物半導体、ｎｃ－ＯＳ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、擬似非晶質酸化物半導体（ａ－ｌｉｋｅ ＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ－ｌｉｋｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）および非晶質酸化物半導体などがある。
酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、ＣＡＡＣ－ＯＳ（ｃ－ａｘｉｓ ａｌｉｇｎｅｄ ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、多結晶酸化物半導体、ｎｃ－ＯＳ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、擬似非晶質酸化物半導体（ａ－ｌｉｋｅ ＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ－ｌｉｋｅ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）および非晶質酸化物半導体などがある。
【0251】
ＣＡＡＣ－ＯＳは、ｃ軸配向性を有し、かつａ－ｂ面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
【0252】
ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形、および七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、ＣＡＡＣ－ＯＳにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界（グレインバウンダリーともいう）を確認することはできない。即ち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、ＣＡＡＣ－ＯＳが、ａ－ｂ面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためと考えられる。
【0253】
また、ＣＡＡＣ－ＯＳは、インジウム、および酸素を有する層（以下、Ｉｎ層）と、元素Ｍ、亜鉛、および酸素を有する層（以下、（Ｍ，Ｚｎ）層）とが積層した、層状の結晶構造（層状構造ともいう）を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Ｍは、互いに置換可能であり、（Ｍ，Ｚｎ）層の元素Ｍがインジウムと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ，Ｚｎ）層と表すこともできる。また、Ｉｎ層のインジウムが元素Ｍと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ）層と表すこともできる。
【0254】
ＣＡＡＣ－ＯＳは結晶性の高い酸化物半導体である。一方、ＣＡＡＣ－ＯＳは、明確な結晶粒界を確認することはできないため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ－ＯＳは不純物や欠陥（酸素欠損など）の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、ＣＡＡＣ－ＯＳを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ－ＯＳを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。
【0255】
ｎｃ－ＯＳは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ－ＯＳは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、ｎｃ－ＯＳは、分析方法によっては、ａ－ｌｉｋｅ ＯＳや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
【0256】
ａ－ｌｉｋｅ ＯＳは、ｎｃ－ＯＳと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。ａ－ｌｉｋｅ ＯＳは、鬆または低密度領域を有する。即ち、ａ－ｌｉｋｅ ＯＳは、ｎｃ－ＯＳおよびＣＡＡＣ－ＯＳと比べて、結晶性が低い。
【0257】
酸化物半導体は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、ａ－ｌｉｋｅ ＯＳ、ｎｃ－ＯＳ、ＣＡＡＣ－ＯＳのうち、二種以上を有していてもよい。
【0258】
［酸化物半導体を有するトランジスタ］
続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
【0259】
なお、上記酸化物半導体をトランジスタに用いることで、高い電界効果移動度のトランジスタを実現することができる。また、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。
【0260】
また、トランジスタには、キャリア密度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。酸化物半導体膜のキャリア密度を低くする場合においては、酸化物半導体膜中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性と言う。例えば、酸化物半導体は、キャリア密度が８×１０１１／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１１／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１０／ｃｍ３未満であり、１×１０－９／ｃｍ３以上とすればよい。
【0261】
また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
【0262】
また、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル形成領域が形成されるトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
【0263】
従って、トランジスタの電気特性を安定にするためには、酸化物半導体中の不純物濃度を低減することが有効である。また、酸化物半導体中の不純物濃度を低減するためには、近接する膜中の不純物濃度も低減することが好ましい。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
【0264】
［不純物］
ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
【0265】
酸化物半導体において、第１４族元素の一つであるシリコンや炭素が含まれると、酸化物半導体において欠陥準位が形成される。このため、酸化物半導体におけるシリコンや炭素の濃度と、酸化物半導体との界面近傍のシリコンや炭素の濃度（二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により得られる濃度）を、２×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは２×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とする。
【0266】
また、酸化物半導体にアルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。従って、アルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を低減することが好ましい。具体的には、ＳＩＭＳにより得られる酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは２×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下にする。
【0267】
また、酸化物半導体において、窒素が含まれると、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、ｎ型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を半導体に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。従って、該酸化物半導体において、窒素はできる限り低減されていることが好ましい、例えば、酸化物半導体中の窒素濃度は、ＳＩＭＳにおいて、５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは５×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とする。
【0268】
また、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、ＳＩＭＳにより得られる水素濃度を、１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、より好ましくは５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満とする。
【0269】
不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
【0270】
［真空ベークの効果］
ここでは、金属酸化物に含まれる、弱いＺｎ－Ｏ結合について説明し、該結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減する方法の一例について示す。
ここでは、金属酸化物に含まれる、弱いＺｎ－Ｏ結合について説明し、該結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減する方法の一例について示す。
【0271】
金属酸化物を用いたトランジスタにおいて、トランジスタの電気特性の不良に繋がる欠陥の一例として酸素欠損がある。例えば、膜中に酸素欠損が含まれている金属酸化物を用いたトランジスタは、閾値電圧がマイナス方向に変動しやすく、ノーマリーオン特性となりやすい。これは、金属酸化物に含まれる酸素欠損に起因したドナーが生成され、キャリア濃度が増加するためである。トランジスタがノーマリーオン特性を有すると、動作時に動作不良が発生しやすくなる、または非動作時の消費電力が高くなるなどの、様々な問題が生じる。
【0272】
また、モジュールを作製するための接続配線を形成する工程における熱処理により、閾値電圧の変動、寄生抵抗の増大、などのトランジスタの電気特性の劣化、該電気特性の劣化に伴う電気特性のばらつきの増大、などの問題がある。これらの問題は、製造歩留りの低下に直結するため、対策の検討は重要である。また、長期間の使用によって起こるトランジスタの特性変化（経年変化）を短時間で評価することができるストレス試験でも電気特性の劣化が生じる。該電気特性の劣化は、製造の過程で行われる高温処理、またはストレス試験時に与えられる電気的なストレスによって金属酸化物中で酸素欠損が形成されることに起因すると推測される。
【0273】
金属酸化物中には、金属原子との結合が弱く、酸素欠損となりやすい酸素原子が存在する。特に、金属酸化物がＩｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物である場合は、亜鉛原子と酸素原子とが弱い結合（弱いＺｎ－Ｏ結合、ともいう）を形成しやすい。ここで、弱いＺｎ－Ｏ結合とは、製造の過程で行われる高温処理、またはストレス試験時に与えられる電気的なストレスによって切断される程度の強さで結合した、亜鉛原子と酸素原子の間に生じる結合である。弱いＺｎ－Ｏ結合が金属酸化物中に存在すると、熱処理または電流ストレスによって、該結合が切断され、酸素欠損が形成される。酸素欠損が形成されることにより、熱処理に対する耐性、ストレス試験における耐性などといった、トランジスタの安定性が低下する。
【0274】
一つの亜鉛原子に複数の酸素原子が結合している場合において、該亜鉛原子と酸素原子との結合（Ｚｎ－Ｏ結合）は弱い場合がある。ガリウム原子と比べて、亜鉛原子は、酸素原子との結合が弱い。したがって、一つの亜鉛原子に結合している酸素原子が多いほど、該亜鉛原子は酸素原子を欠損しやすい。すなわち、亜鉛原子と酸素原子との間に生じる結合は、その他の金属との結合よりも弱いと推測される。
【0275】
また、金属酸化物中に不純物が存在する場合、弱いＺｎ－Ｏ結合が形成されやすいと推測される。金属酸化物中の不純物としては、例えば、水分子や水素がある。金属酸化物中に水分子や水素が存在することで、水素原子が、金属酸化物を構成する酸素原子と結合する（ＯＨ結合ともいう。）場合がある。金属酸化物を構成する酸素原子は、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物が単結晶である場合、金属酸化物を構成する金属原子４つと結合している。しかしながら、水素原子と結合した酸素原子は、２つまたは３つの金属原子と結合している場合がある。酸素原子に結合している金属原子の数が減少することで、該酸素原子は欠損しやすくなる。なお、ＯＨ結合を形成している酸素原子に亜鉛原子が結合している場合、該酸素原子と該亜鉛原子との結合は弱いと推測される。
【0276】
また、弱いＺｎ－Ｏ結合は、複数のナノ結晶が連結する領域に存在する歪みに形成される場合がある。ナノ結晶は六角形を基本とするが、該歪みにおいて、五角形、および七角形などの格子配列を有する。該歪みでは、原子間の結合距離が一様でないため、弱いＺｎ－Ｏ結合が形成されていると推測される。
【0277】
また、弱いＺｎ－Ｏ結合は、金属酸化物の結晶性が低い場合に形成されやすいと推測される。金属酸化物の結晶性が高い場合、金属酸化物を構成する亜鉛原子は、酸素原子４つまたは５つと結合している。しかし、金属酸化物の結晶性が低くなると、亜鉛原子と結合する酸素原子の数が減少する傾向がある。亜鉛原子に結合する酸素原子の数が減少すると、該亜鉛原子は欠損しやすくなる。すなわち、亜鉛原子と酸素原子との間に生じる結合は、単結晶で生じる結合よりも弱いと推測される。
【0278】
上記の弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減することで、熱処理または電流ストレスによる酸素欠損の形成を抑制し、トランジスタの安定性を向上させることができる。なお、弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する酸素原子のみを低減し、弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する亜鉛原子が減少しない場合、該亜鉛原子近傍に酸素原子を供給すると、弱いＺｎ－Ｏ結合が再形成される場合がある。したがって、弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する亜鉛原子および酸素原子を低減することが好ましい。
【0279】
弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減する方法の一つとして、金属酸化物を成膜した後、真空ベークを実施する方法が挙げられる。真空ベークとは、真空雰囲気下で行う加熱処理のことである。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。なお、処理室の圧力は、１×１０－２Ｐａ以下、好ましくは１×１０－３Ｐａ以下とすればよい。また、加熱処理時の基板の温度は、３００℃以上、好ましくは４００℃以上とすればよい。
【0280】
真空ベークを実施することで、弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減することができる。また、真空ベークによって金属酸化物に熱が与えられるため、弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減した後、金属酸化物を構成する原子が再配列することで、４つの金属原子と結合している酸素原子が増える。したがって、弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減するとともに、弱いＺｎ－Ｏ結合が再形成されるのを抑制することができる。
【0281】
また、金属酸化物中に不純物が存在する場合、真空ベークを実施することで、金属酸化物中の水分子または水素を放出し、ＯＨ結合を低減することができる。金属酸化物中のＯＨ結合が減少することで、４つの金属原子と結合している酸素原子の割合が増える。また、水分子または水素が放出される際、金属酸化物を構成する原子が再配列することで、４つの金属原子と結合している酸素原子が増える。したがって、弱いＺｎ－Ｏ結合が再形成されるのを抑制することができる。
【0282】
以上のように、金属酸化物を成膜した後、真空ベークを実施することで、弱いＺｎ－Ｏ結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減することができる。したがって、該工程により、トランジスタの安定性を向上することができる。また、トランジスタの安定性が向上することで、材料や形成方法の選択の自由度が高くなる。
【0283】
＜トランジスタの作製方法１＞
次に、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００について、作製方法を図１１乃至図１６を用いて説明する。また、図１１乃至図１６において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００のチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
次に、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００について、作製方法を図１１乃至図１６を用いて説明する。また、図１１乃至図１６において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００のチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
【0284】
まず、基板（図示しない。）を準備し、当該基板上に絶縁体２１４を成膜する。絶縁体２１４の成膜は、スパッタリング法、化学気相成長（ＣＶＤ）法、分子線エピタキシー（ＭＢＥ：Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｂｅａｍ Ｅｐｉｔａｘｙ）法、パルスレーザ堆積（ＰＬＤ：Ｐｕｌｓｅｄ Ｌａｓｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0285】
なお、ＣＶＤ法は、プラズマを利用するプラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ：Ｐｌａｓｍａ Ｅｎｈａｎｃｅｄ ＣＶＤ）法、熱を利用する熱ＣＶＤ（ＴＣＶＤ：Ｔｈｅｒｍａｌ ＣＶＤ）法、光を利用する光ＣＶＤ（Ｐｈｏｔｏ ＣＶＤ）法などに分類できる。さらに用いる原料ガスによって金属ＣＶＤ（ＭＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ ＣＶＤ）法、有機金属ＣＶＤ（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ Ｏｒｇａｎｉｃ ＣＶＤ）法に分けることができる。
【0286】
プラズマＣＶＤ法は、比較的低温で高品質の膜が得られる。また、熱ＣＶＤ法は、プラズマを用いないため、被処理物へのプラズマダメージを小さくすることが可能な成膜方法である。例えば、表示装置に含まれる配線、電極、素子（トランジスタ、容量素子など）などは、プラズマから電荷を受け取ることでチャージアップする場合がある。このとき、蓄積した電荷によって、表示装置に含まれる配線、電極、素子などが破壊される場合がある。一方、プラズマを用いない熱ＣＶＤ法の場合、こういったプラズマダメージが生じないため、表示装置の歩留まりを高くすることができる。また、熱ＣＶＤ法では、成膜中のプラズマダメージが生じないため、欠陥の少ない膜が得られる。
【0287】
また、ＡＬＤ法は、原子の性質である自己制御性を利用し、一層ずつ原子を堆積することができるので、極薄の成膜が可能、アスペクト比の高い構造への成膜が可能、ピンホールなどの欠陥の少ない成膜が可能、被覆性に優れた成膜が可能、および低温での成膜が可能、などの効果がある。また、ＡＬＤ法には、プラズマを利用した成膜方法ＰＥＡＬＤ（Ｐｌａｓｍａ Ｅｎｈａｎｃｅｄ ＡＬＤ）法も含まれる。プラズマを利用することで、より低温での成膜が可能となり好ましい場合がある。なお、ＡＬＤ法で用いるプリカーサには炭素などの不純物を含むものがある。このため、ＡＬＤ法により設けられた膜は、他の成膜法により設けられた膜と比較して、炭素などの不純物を多く含む場合がある。なお、不純物の定量は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ：Ｘ－ｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて行うことができる。
【0288】
ＣＶＤ法およびＡＬＤ法は、ターゲットなどから放出される粒子が堆積する成膜方法とは異なり、被処理物の表面における反応により膜が形成される成膜方法である。したがって、被処理物の形状の影響を受けにくく、良好な段差被覆性を有する成膜方法である。特に、ＡＬＤ法は、優れた段差被覆性と、優れた厚さの均一性を有するため、アスペクト比の高い開口部の表面を被覆する場合などに好適である。ただし、ＡＬＤ法は、比較的成膜速度が遅いため、成膜速度の速いＣＶＤ法などの他の成膜方法と組み合わせて用いることが好ましい場合もある。
【0289】
ＣＶＤ法およびＡＬＤ法は、原料ガスの流量比によって、得られる膜の組成を制御することができる。例えば、ＣＶＤ法およびＡＬＤ法では、原料ガスの流量比によって、任意の組成の膜を成膜することができる。また、例えば、ＣＶＤ法およびＡＬＤ法では、成膜しながら原料ガスの流量比を変化させることによって、組成が連続的に変化した膜を成膜することができる。原料ガスの流量比を変化させながら成膜する場合、複数の成膜室を用いて成膜する場合と比べて、搬送や圧力調整に掛かる時間を要さない分、成膜に掛かる時間を短くすることができる。したがって、トランジスタの生産性を高めることができる場合がある。
【0290】
本実施の形態では、絶縁体２１４として、スパッタリング法によって酸化アルミニウムを成膜する。また、絶縁体２１４は、多層構造としてもよい。例えば、スパッタリング法によって酸化アルミニウムを成膜し、当該酸化アルミニウム上に、ＡＬＤ法によって酸化アルミニウムを成膜する構造としてもよい。または、ＡＬＤ法によって酸化アルミニウムを成膜し、当該酸化アルミニウム上に、スパッタリング法によって酸化アルミニウムを成膜する構造としてもよい。
【0291】
次に絶縁体２１４上に、導電体２０５となる導電膜を成膜する。導電体２０５となる導電膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。また、導電体２０５となる導電膜は、多層膜とすることができる。本実施の形態では、導電体２０５となる導電膜としてタングステンを成膜する。
【0292】
次に、リソグラフィー法を用いて、導電体２０５となる導電膜を加工し、導電体２０５を形成する。
【0293】
なお、リソグラフィー法では、まず、マスクを介してレジストを露光する。次に、露光された領域を、現像液を用いて除去または残存させてレジストマスクを形成する。次に、当該レジストマスクを介してエッチング処理することで導電体、半導体または絶縁体などを所望の形状に加工することができる。例えば、ＫｒＦエキシマレーザ光、ＡｒＦエキシマレーザ光、ＥＵＶ（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）光などを用いて、レジストを露光することでレジストマスクを形成すればよい。また、基板と投影レンズとの間に液体（例えば水）を満たして露光する、液浸技術を用いてもよい。また、前述した光に代えて、電子ビームやイオンビームを用いてもよい。なお、電子ビームやイオンビームを用いる場合には、マスクは不要となる。なお、レジストマスクの除去には、アッシングなどのドライエッチング処理を行う、ウェットエッチング処理を行う、ドライエッチング処理後にウェットエッチング処理を行う、またはウェットエッチング処理後にドライエッチング処理を行うことができる。
【0294】
また、レジストマスクの代わりに絶縁体や導電体からなるハードマスクを用いてもよい。ハードマスクを用いる場合、導電体２０５となる導電膜上にハードマスク材料となる絶縁膜や導電膜を形成し、その上にレジストマスクを形成し、ハードマスク材料をエッチングすることで所望の形状のハードマスクを形成することができる。導電体２０５となる導電膜のエッチングは、レジストマスクを除去してから行ってもよいし、レジストマスクを残したまま行ってもよい。後者の場合、エッチング中にレジストマスクが消失することがある。導電体２０５となる導電膜のエッチング後にハードマスクをエッチングにより除去してもよい。一方、ハードマスクの材料が後工程に影響が無い、あるいは後工程で利用できる場合、必ずしもハードマスクを除去する必要は無い。
【0295】
ドライエッチング装置としては、平行平板型電極を有する容量結合型プラズマ（ＣＣＰ：Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）エッチング装置を用いることができる。平行平板型電極を有する容量結合型プラズマエッチング装置は、平行平板型電極の一方の電極に高周波電源を印加する構成でもよい。または平行平板型電極の一方の電極に複数の異なった高周波電源を印加する構成でもよい。または平行平板型電極それぞれに同じ周波数の高周波電源を印加する構成でもよい。または平行平板型電極それぞれに周波数の異なる高周波電源を印加する構成でもよい。または高密度プラズマ源を有するドライエッチング装置を用いることができる。高密度プラズマ源を有するドライエッチング装置は、例えば、誘導結合型プラズマ（ＩＣＰ：Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）エッチング装置などを用いることができる。
【0296】
次に、絶縁体２１４上、導電体２０５上に絶縁体２１６となる絶縁膜を成膜する。絶縁体２１６となる絶縁膜は、導電体２０５の上面、および側面と接するように形成する。絶縁体２１６となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。本実施の形態では、絶縁体２１６となる絶縁膜として、ＣＶＤ法によって酸化シリコンを成膜する。
【0297】
ここで、絶縁体２１６となる絶縁膜の膜厚は、導電体２０５の膜厚以上とすることが好ましい。例えば、導電体２０５の膜厚を１とすると、絶縁体２１６となる絶縁膜の膜厚は、１以上３以下とする。本実施の形態では、導電体２０５の膜厚を１５０ｎｍとし、絶縁体２１６となる絶縁膜の膜厚を３５０ｎｍとする。
【0298】
次に、絶縁体２１６となる絶縁膜にＣＭＰ処理を行うことで、絶縁体２１６となる絶縁膜の一部を除去し、導電体２０５の表面を露出させる。これにより、上面が平坦な、絶縁体２１６と、導電体２０５を形成することができる（図１１参照。）。絶縁体２１６と導電体２０５の上面の平坦性を向上させることにより、酸化物２３０ｂ、酸化物２３０ｃを形成するＣＡＡＣ－ＯＳの結晶性を向上させることができる。
【0299】
なお、絶縁体２１６および導電体２０５の作製方法は上記に限られるものではない。例えば、絶縁体２１４の上に絶縁体２１６となる絶縁膜を成膜し、当該絶縁膜に開口を設け、当該開口に埋め込むように導電体２０５を形成してもよい。
【0300】
次に、絶縁体２１６、および導電体２０５上に絶縁体２２２を成膜する。絶縁体２２２として、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を成膜するとよい。なお、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体は、酸素、水素、および水に対するバリア性を有する。絶縁体２２２が、水素および水に対するバリア性を有することで、トランジスタ２００の周辺に設けられた構造体に含まれる水素、および水が、絶縁体２２２を通じてトランジスタ２００の内側へ拡散することが抑制され、酸化物２３０中の酸素欠損の生成を抑制することができる。
【0301】
絶縁体２２２の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0302】
次に、絶縁体２２２上に絶縁体２２４となる絶縁膜を成膜する。絶縁体２２４となる絶縁膜成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0303】
続いて、加熱処理を行うと好ましい。加熱処理は、２５０℃以上６５０℃以下、好ましくは３００℃以上５００℃以下、さらに好ましくは３２０℃以上４５０℃以下で行えばよい。なお、加熱処理は、窒素または不活性ガス雰囲気、または酸化性ガスを１０ｐｐｍ以上、１％以上、もしくは１０％以上含む雰囲気で行う。また、加熱処理は減圧状態で行ってもよい。または、加熱処理は、窒素または不活性ガス雰囲気で加熱処理した後に、脱離した酸素を補うために酸化性ガスを１０ｐｐｍ以上、１％以上、または１０％以上含む雰囲気で加熱処理を行ってもよい。
【0304】
本実施の形態では、加熱処理として、絶縁体２２４の成膜後に窒素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行う。当該加熱処理によって、絶縁体２２４に含まれる水、水素などの不純物を除去することなどができる。また、加熱処理は、絶縁体２２２の成膜後などのタイミングで行うこともできる。
【0305】
ここで、絶縁体２２４に過剰酸素領域を形成するために、減圧状態で酸素を含むプラズマ処理を行ってもよい。酸素を含むプラズマ処理は、例えばマイクロ波を用いた高密度プラズマを発生させる電源を有する装置を用いることが好ましい。または、基板側にＲＦ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）を印加する電源を有してもよい。高密度プラズマを用いることより、高密度の酸素ラジカルを生成することができ、基板側にＲＦを印加することで、高密度プラズマによって生成された酸素ラジカルを効率よく絶縁体２２４内に導くことができる。または、この装置を用いて不活性ガスを含むプラズマ処理を行った後に、脱離した酸素を補うために酸素を含むプラズマ処理を行ってもよい。なお、当該プラズマ処理の条件を適宜選択することにより、絶縁体２２４に含まれる水、水素などの不純物を除去することができる。その場合、加熱処理は行わなくてもよい。
【0306】
次に、絶縁体２２４上に、酸化物２３０ａとなる酸化膜２３０Ａ、酸化物２３０ｂとなる酸化膜２３０Ｂ、および導電体２４２となる導電膜２４２Ａを順に成膜する（図１１参照。）。なお、上記酸化膜は、大気環境にさらさずに連続して成膜することが好ましい。大気開放せずに成膜することで、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂ上に大気環境からの不純物または水分が付着することを防ぐことができ、酸化膜２３０Ａと酸化膜２３０Ｂとの界面近傍を清浄に保つことができる。
【0307】
酸化膜２３０Ａ、酸化膜２３０Ｂおよび導電膜２４２Ａの成膜はスパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0308】
例えば、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂをスパッタリング法によって成膜する場合は、スパッタリングガスとして酸素、または、酸素と希ガスの混合ガスを用いる。スパッタリングガスに含まれる酸素の割合を高めることで、成膜される酸化膜中の過剰酸素を増やすことができる。また、上記の酸化膜をスパッタリング法によって成膜する場合は、上記のＩｎ－Ｍ－Ｚｎ酸化物ターゲットなどを用いることができる。また、ターゲットには、直流（ＤＣ）電源または、高周波（ＲＦ）電源などの交流（ＡＣ）電源が接続され、ターゲットの電気伝導度に応じて、必要な電力を印加することができる。
【0309】
特に、酸化膜２３０Ａの成膜時に、スパッタリングガスに含まれる酸素の一部が絶縁体２２４に供給される場合がある。したがって、酸化膜２３０Ａのスパッタリングガスに含まれる酸素の割合は７０％以上、好ましくは８０％以上、より好ましくは１００％とすればよい。
【0310】
また、酸化膜２３０Ｂをスパッタリング法で形成する場合、スパッタリングガスに含まれる酸素の割合を１％以上３０％以下、好ましくは５％以上２０％以下として成膜すると、酸素欠乏型の酸化物半導体が形成される。酸素欠乏型の酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られる。また、基板を加熱しながら成膜を行うことによって、当該酸化膜の結晶性を向上させることができる。ただし、本発明の一態様はこれに限定されない。酸化物２３０ｂとなる酸化膜２３０Ｂをスパッタリング法で形成する場合、スパッタリングガスに含まれる酸素の割合を、３０％を超えて１００％以下、好ましくは７０％以上１００％以下として成膜すると、酸素過剰型の酸化物半導体が形成される。酸素過剰型の酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、比較的高い信頼性が得られる。
【0311】
本実施の形態では、酸化膜２３０Ａとして、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：０．５［原子数比］（２：２：１［原子数比］）、あるいは１：３：４［原子数比］のターゲットを用いて成膜する。また、酸化膜２３０Ｂとして、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用いて成膜する。なお、各酸化膜は、成膜条件、および原子数比を適宜選択することで、酸化物２３０に求める特性に合わせて形成するとよい。
【0312】
また、酸化膜２３０Ａ及び酸化膜２３０Ｂの成膜において、スパッタリングガスを高純度化することが好ましい。例えば、スパッタリングガスとして用いる酸素ガスや希ガスは、露点が－６０℃以下、好ましくは－１００℃以下にまで高純度化したガスを用いる。高純度化されたスパッタリングガスを用いて成膜することで、酸化物２３０に水分等が取り込まれることを可能な限り防ぐことができる。
【0313】
また、スパッタリング法で酸化膜２３０Ａ及び酸化膜２３０Ｂを成膜する場合、スパッタリング装置が有する成膜室内の水分を可能な限り除去することが好ましい。例えば、クライオポンプのような吸着式の真空排気ポンプを用いて、成膜室内を高真空（５×１０－７Ｐａから１×１０－４Ｐａ程度まで）に排気することが好ましい。特に、スパッタリング装置の待機時における、成膜室内のＨ２Ｏに相当するガス分子（ｍ／ｚ＝１８に相当するガス分子）の分圧を１×１０－４Ｐａ以下とすることが好ましく、５×１０－５Ｐａ以下とすることがより好ましい。
【0314】
ここで、絶縁体２２２、絶縁体２２４、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂを、大気に暴露することなく成膜すると好ましい。例えば、マルチチャンバー方式の成膜装置を用いればよい。
【0315】
次に、加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、上述した加熱処理条件を用いることができる。加熱処理によって、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂ中の水、水素などの不純物を除去することなどができる。本実施の形態では、窒素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行った後に、連続して酸素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行う。
【0316】
次に、酸化膜２３０Ａ、酸化膜２３０Ｂおよび導電膜２４２Ａを島状に加工して、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂを形成する。なお、当該工程において、絶縁体２２４の酸化物２３０ａと重ならない領域の膜厚が薄くなることがある（図１２参照。）。
【0317】
ここで、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂは、少なくとも一部が導電体２０５と重なるように形成する。また、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂと絶縁体２２２の上面のなす角が低い角度になる構成にしてもよい。その場合、酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂの側面と絶縁体２２２の上面のなす角は６０°以上７０°未満が好ましい。この様な形状とすることで、これより後の工程において、絶縁体２５４などの被覆性が向上し、鬆などの欠陥を低減することができる。または、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂの側面は、絶縁体２２２の上面に対し、概略垂直にしてもよい。酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂの側面が、絶縁体２２２の上面に対し、概略垂直であることで、複数のトランジスタ２００を設ける際に、小面積化、高密度化が可能となる。
【0318】
また、導電体層２４２Ｂの側面と導電体層２４２Ｂの上面との間に、湾曲面を有する。つまり、側面の端部と上面の端部は、湾曲していることが好ましい（以下、ラウンド状ともいう）。湾曲面は、例えば、導電体層２４２Ｂ層の端部において、曲率半径が、３ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは、５ｎｍ以上６ｎｍ以下とする。端部に角を有さないことで、以降の成膜工程における膜の被覆性が向上する。
【0319】
なお、酸化膜２３０Ａ、酸化膜２３０Ｂおよび導電膜２４２Ａの加工はリソグラフィー法を用いて行えばよい。また、当該加工はドライエッチング法やウェットエッチング法を用いることができる。ドライエッチング法による加工は微細加工に適している。
【0320】
また、ドライエッチングなどの処理を行うことによって、エッチングガスなどに起因した不純物が酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂなどの表面または内部に付着または拡散することがある。不純物としては、例えば、フッ素または塩素などがある。
【0321】
上記の不純物などを除去するために、洗浄を行う。洗浄方法としては、洗浄液など用いたウェット洗浄、プラズマを用いたプラズマ処理、または熱処理による洗浄などがあり、上記洗浄を適宜組み合わせて行ってもよい。
【0322】
ウェット洗浄としては、シュウ酸、リン酸、またはフッ化水素酸などを炭酸水または純水で希釈した水溶液を用いて洗浄処理を行ってもよい。または、純水または炭酸水を用いた超音波洗浄を行ってもよい。本実施の形態では、純水または炭酸水を用いた超音波洗浄を行う。
【0323】
続いて、加熱処理を行ってもよい。加熱処理の条件は、前述の加熱処理の条件を用いることができる。
【0324】
次に、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂの上に、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜を成膜する。
【0325】
ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜は、加工してダミーゲートとして使用する。ダミーゲートとは、仮のゲート電極のことである。つまり、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜を加工することで、仮のゲート電極を形成し、後の工程において該ダミーゲートを除去し、代わりに導電膜等によるゲート電極を形成する。従って、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜は微細加工が容易であり、かつ、除去も容易な膜を用いることが好ましい。
【0326】
ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。例えば、絶縁体、半導体、または導電体を用いることができる。具体的には、ポリシリコン、微結晶シリコン、アモルファスシリコンなどのシリコン、アルミニウム、チタン、タングステンなどの金属膜などを用いればよい。または、塗布法を用いて、炭素を含む膜、ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）、樹脂膜などを形成してもよい。例えば、フォトレジスト、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド（ナイロン、アラミドなど）、ポリイミド、ポリカーボネートまたはアクリルなどがある。炭素を含む膜、ＳＯＧ、樹脂膜を塗布法によって形成することで、ダミーゲート膜の表面を平坦にすることができる。このように、ダミーゲート膜の表面を平坦にすることで、微細加工が容易となり、さらに、除去も容易である。
【0327】
また、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜は、異なる膜種を用いて多層膜とすることもできる。例えば、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜を導電膜と該導電膜上に樹脂膜を形成する２層構造の膜とすることができる。ダミーゲート膜をこのような構造とすることで、例えば、後のＣＭＰ工程において、該導電膜がＣＭＰ処理のストッパ膜として機能する場合がある。または、ＣＭＰ処理の終点検出が可能となる場合があり、加工ばらつきの低減が可能となる場合がある。
【0328】
次に、リソグラフィー法によって、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜をエッチングし、ダミーゲート層２６２Ａを形成する（図１３参照。）。ダミーゲート層２６２Ａは、少なくとも一部が、導電体２０５および酸化物２３０と重なるように形成する。
【0329】
次に、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体層２４２Ｂおよびダミーゲート層２６２Ａを覆うように、絶縁膜２５４Ａを成膜する。続いて、絶縁膜２５４Ａの上に絶縁膜２４４Ａを成膜してもよい（図１３参照。）。絶縁膜２５４Ａおよび絶縁膜２４４Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて成膜することができる。
【0330】
絶縁膜２５４Ａは、水素などの不純物や、酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁膜を用いることが好ましい。例えば、スパッタリング法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。スパッタリング法によって、酸素を含むガスを用いて酸化アルミニウム膜を成膜することによって、絶縁体２２４中へ酸素を注入することができる。つまり、絶縁体２２４は過剰酸素を有することができる。
【0331】
絶縁膜２４４Ａは、水素などの不純物や、酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁膜を用いることが好ましい。例えば、ＡＬＤ法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。被覆性に優れたＡＬＤ法を用いることで、ダミーゲート層２６２Ａなどにより形成された段差部においても、均一な厚さを有する絶縁膜２４４Ａを形成することができる。また、ＡＬＤ法を用いることで、緻密な薄膜を成膜することができる。このように被覆性に優れ、緻密な薄膜を成膜することが出来るので、例えば、絶縁膜２５４Ａにボイドやピンホールなどの欠陥が生じても、絶縁膜２４４Ａによって覆うことができる。
【0332】
また、絶縁膜２４４Ａとして、窒化アルミニウム、窒化シリコン、窒化酸化シリコンなどを、成膜してもよい。例えば、絶縁膜２４４Ａとして、アルミニウムターゲットを用いた反応性スパッタリングで、窒化アルミニウム膜を成膜する場合、成膜ガスの全流量に対する窒素ガスの流量を３０％以上１００％以下、好ましくは４０％以上１００％以下、より好ましくは５０％以上１００％以下とすることが好ましい。
【0333】
また、絶縁膜２４４Ａとして、高温で基板加熱を行いながら、酸化アルミニウムを成膜してもよい。絶縁膜２４４Ａ成膜時の基板加熱温度は、２００℃以上、好ましくは２５０℃以上、より好ましくは３５０℃以上にすればよい。このとき、絶縁膜２５４ＡとしてＡＬＤ法を用いて酸化アルミニウムを成膜しておくことにより、上記の温度で絶縁膜２４４Ａを成膜したときに、ダミーゲート層２６２Ａが変形することを防ぐことができる。
【0334】
また、絶縁膜２４４Ａまたは絶縁膜２５４Ａのいずれか一方または両方の成膜後に、フッ素の添加を行ってもよい。絶縁膜２４４Ａまたは絶縁膜２５４Ａのいずれか一方または両方へのフッ素の添加は、フッ素系のガス（例えば、ＣＦ４など）を含む雰囲気でプラズマ処理を行う、またはフッ素を含むガスをドーピングすることで、行うことができる。絶縁膜２４４Ａまたは絶縁膜２５４Ａのいずれか一方または両方へフッ素を添加することにより、当該膜中に含まれる水素を、フッ素によって終端化またはゲッタリングすることが期待できる。
【0335】
以上により、絶縁体２２４に含まれる過剰酸素が外方へ拡散することを防止し、また外方から水や水素のような不純物の絶縁体２２４への侵入を防止することができる。尚、絶縁膜２４４Ａの成膜は省略することができる。
【0336】
次に、絶縁膜２４４Ａ上に、絶縁体２８０となる絶縁膜を成膜する。絶縁体２８０となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0337】
次に、絶縁体２８０となる絶縁膜、ダミーゲート層２６２Ａ、絶縁膜２５４Ａ、および絶縁膜２４４Ａの一部を、ダミーゲート層２６２Ａの一部が露出するまで除去し、絶縁体２８０、ダミーゲート２６２、絶縁体２５４および絶縁体２４４を形成する（図１４参照。）。絶縁体２８０、ダミーゲート２６２、絶縁体２５４および絶縁体２４４の形成にはＣＭＰ処理を用いることが好ましい。
【0338】
また、上述のようにダミーゲート層２６２Ａを、例えば、導電膜と該導電膜上に樹脂膜を形成する２層構造の膜とすることで、ＣＭＰ工程において、該導電膜がＣＭＰ処理のストッパ膜として機能する場合がある。または、該導電膜がＣＭＰ処理の終点検出が可能となる場合があり、ダミーゲート２６２の高さのばらつきの低減が可能となる場合がある。図１４（Ｂ）に示すように、ダミーゲート２６２の上面と、絶縁体２５４、絶縁体２４４および絶縁体２８０の上面が略一致する。
【0339】
次に、ダミーゲート２６２を除去し、開口２６３を形成する（図１５参照。）。ダミーゲート２６２の除去は、ウェットエッチング、ドライエッチング、またはアッシングなどを用いて行うことができる。または、適宜、上記の処理を複数組み合わせて行ってもよい。例えば、アッシング処理の後に、ウェットエッチング処理を行うなどがある。ダミーゲート２６２を除去することにより、開口２６３から導電体層２４２Ｂの表面の一部が露出する。
【0340】
次に、導電体層２４２Ｂの開口２６３から露出している部分を除去することで、酸化物２３０ｂの表面の一部が露出し、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成することができる。当該除去は、ウェットエッチングまたはドライエッチングを用いて行うことができる。本実施の形態ではドライエッチングを用いる。ドライエッチングを用いることで微細加工ができるので好ましい。ここで、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間から露出した、酸化物２３０ｂの上面の一部が除去される場合がある。
【0341】
このとき、絶縁体２８０、絶縁体２４４、および絶縁体２５４をマスクとして用いて、導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂを形成する。よって、絶縁体２８０、絶縁体２４４、および絶縁体２５４に形成された開口２６３は、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間の領域に重畳することになる。これにより、後の工程において、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間に導電体２６０を自己整合的に配置することができる。
【0342】
次に、酸化膜２３０Ｃの成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。加熱処理は、１００℃以上４００℃以下で行えばよく、例えば２００℃で行えばよい。あるいは、酸化膜２３０Ｃの成膜温度と同じ温度で行うことが好ましい。ここで、成膜温度とは、成膜中の基板温度に限らず、成膜装置の設定温度の場合を含む。例えば、酸化膜２３０Ｃを３００℃で成膜する場合、当該加熱処理の温度は３００℃とすることが好ましい。当該加熱処理は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空雰囲気で行ってもよい。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。真空雰囲気では、処理室の圧力は、１×１０－２Ｐａ以下、好ましくは１×１０－３Ｐａ以下とすればよい。
【0343】
次に、開口２６３に埋め込むように、酸化膜２３０Ｃを成膜する。
【0344】
また、当該加熱処理後、大気に暴露することなく、連続して酸化膜２３０Ｃの成膜を行うことが好ましい。例えば、マルチチャンバー方式の成膜装置を用いて、加熱処理と成膜処理を異なるチャンバーで、連続して行うことが好ましい。このような処理を行うことによって、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂの表面などに吸着している水分、水素、炭素などの不純物を除去し、さらに酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂ中の水分濃度および水素濃度を低減させることができる。当該加熱処理により除去される不純物には、水素と炭素の結合を有する不純物や、水素と酸素の結合を有する不純物なども含まれる。さらに、外気に曝さず連続で加熱処理と成膜を行うことで、水素などの不純物が酸化物２３０に再侵入することを防ぐことができる。また、後述する絶縁膜２５０Ａの成膜前にも同様の加熱処理を行ってもよい。
【0345】
酸化膜２３０Ｃの成膜はスパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。酸化膜２３０Ｃに求める特性に合わせて、酸化膜２３０Ａ、または酸化膜２３０Ｂと同様の成膜方法を用いて、酸化膜２３０Ｃとなる酸化膜を成膜すればよい。酸化膜２３０Ｃとして、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物や、Ｉｎを含まない酸化物を用いることができる。Ｉｎを含まない酸化物として、Ｇａ－Ｚｎ酸化物や、酸化ガリウムなどを用いることができる。また、酸化膜２３０Ｃとして、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物とＩｎを含まない酸化物の積層構造を用いてもよい。酸化膜２３０Ｃとして、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、４：２：４．１［原子数比］］、Ｇａ：Ｚｎ＝２：１［原子数比］、またはＧａ：Ｚｎ＝２：５［原子数比］のターゲットを用いて成膜することができる。
【0346】
また、酸化膜２３０Ｃは、第１の酸化膜と、第１の酸化膜上の第２の酸化膜からなる積層構造を有していてもよく、酸化膜２３０Ｂの形成に用いたターゲットと同様のターゲットを用いて第１の酸化膜を形成し、酸化膜２３０Ａの形成に用いたターゲットと同様のターゲットを用いて第２の酸化膜を形成してもよい。
【0347】
酸化膜２３０Ｃの成膜は、基板を加熱しながら行うことが好ましい。このとき、基板温度を３００℃以上にすることで、酸化膜２３０Ｂおよび酸化膜２３０Ｃ中の酸素欠損を低減することができる。また、例えば、後述する絶縁膜２５０Ａの成膜温度と同じ温度で成膜してもよい。また、基板を加熱しながら成膜することで、酸化膜２３０Ｃおよび酸化物２３０ｂの結晶性の向上を図ることができる。
【0348】
特に、酸化膜２３０Ｃの成膜時に、スパッタリングガスに含まれる酸素の一部が酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂに供給される場合がある。したがって、酸化膜２３０Ｃのスパッタリングガスに含まれる酸素の割合は７０％以上、好ましくは８０％以上、より好ましくは１００％とすればよい。また、基板を加熱しながら成膜を行うことによって、当該酸化膜の結晶性を向上させることができる。
【0349】
次に、絶縁膜２５０Ａの成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。加熱処理は、１００℃以上４００℃以下で行えばよく、例えば２００℃で行えばよい。あるいは、絶縁膜２５０Ａの成膜温度と同じ温度で行うことが好ましい。ここで、成膜温度とは、成膜中の基板温度に限らず、成膜装置の設定温度の場合を含む。例えば、絶縁膜２５０Ａを３５０℃で成膜する場合、当該加熱処理の温度は３５０℃とすることが好ましい。当該加熱処理は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空雰囲気で行ってもよい。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。真空雰囲気では、処理室の圧力は、１×１０－２Ｐａ以下、好ましくは１×１０－３Ｐａ以下とすればよい。
【0350】
次に、絶縁膜２５０Ａを成膜する。絶縁膜２５０Ａは、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて成膜することができる。絶縁膜２５０Ａとして、ＣＶＤ法により、酸化窒化シリコンを成膜することが好ましい。または、絶縁膜２５０Ａとしては、ＡＬＤ法を用いて、酸化シリコン、酸化ハフニウム、または酸化ガリウムなどを成膜することが好ましい。例えば、絶縁膜２５０Ａとして、酸化シリコンと、酸化シリコン上の酸化ガリウムの積層膜を用いてもよい。なお、絶縁膜２５０Ａを成膜する際の成膜温度は、３００℃以上４５０℃未満、好ましくは３００℃以上４００℃未満、特に３５０℃前後とすることが好ましい。例えば、絶縁膜２５０Ａを、３５０℃で成膜することで、不純物が少ない絶縁体を成膜することができる。
【0351】
なお、マイクロ波で酸素を励起し、高密度な酸素プラズマを発生させ、当該酸素プラズマに絶縁膜２５０Ａを曝すことで、絶縁膜２５０Ａへ酸素を導入することができる。
【0352】
また、加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、前述の加熱処理条件を用いることができる。当該加熱処理によって、絶縁膜２５０Ａの水分濃度および水素濃度を低減させることができる。
【0353】
次に、導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂを成膜する。導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。例えば、ＣＶＤ法を用いることが好ましい。本実施の形態では、ＡＬＤ法を用いて、導電膜２６０Ａａを成膜し、ＣＶＤ法を用いて導電膜２６０Ａｂを成膜する（図１５参照。）。
【0354】
次に、ＣＭＰ処理によって、酸化膜２３０Ｃ、絶縁膜２５０Ａ、導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂを絶縁体２８０が露出するまで研磨することによって、酸化物２３０ｃ、絶縁体２５０および導電体２６０（導電体２６０ａおよび導電体２６０ｂ）を形成する（図１６参照。）。
【0355】
次に加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、前述の加熱処理条件を用いることができる。当該加熱処理によって、絶縁体２８０の水分濃度および水素濃度を低減させることができる。または、絶縁体２７４となる絶縁膜の成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。加熱処理は、１００℃以上４００℃以下で行えばよく、例えば２００℃で行えばよい。
あるいは、該絶縁膜の成膜温度と同じ温度で行うことが好ましい。ここで、成膜温度とは、成膜中の基板温度に限らず、成膜装置の設定温度の場合を含む。例えば、該絶縁膜を２５０℃で成膜する場合、当該加熱処理の温度は２５０℃とすることが好ましい。当該加熱処理は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空雰囲気で行ってもよい。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。真空雰囲気では、処理室の圧力は、１×１０－２Ｐａ以下、好ましくは１×１０－３Ｐａ以下とすればよい。
あるいは、該絶縁膜の成膜温度と同じ温度で行うことが好ましい。ここで、成膜温度とは、成膜中の基板温度に限らず、成膜装置の設定温度の場合を含む。例えば、該絶縁膜を２５０℃で成膜する場合、当該加熱処理の温度は２５０℃とすることが好ましい。当該加熱処理は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空雰囲気で行ってもよい。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。真空雰囲気では、処理室の圧力は、１×１０－２Ｐａ以下、好ましくは１×１０－３Ｐａ以下とすればよい。
【0356】
次に、絶縁体２８０上に、絶縁体２７４となる絶縁膜を形成する（図１６参照。）。絶縁体２７４となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。絶縁体２７４となる絶縁膜としては、例えば、スパッタリング法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。スパッタリング法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することによって、絶縁体２８０が有する水素を酸化物２３０へ拡散することを抑制することができる場合がある。
【0357】
次に加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、前述の加熱処理条件を用いることができる。当該加熱処理によって、絶縁体２８０の水分濃度および水素濃度を低減させることができる。
【0358】
次に絶縁体２７４上に、絶縁体２８１となる絶縁膜を成膜してもよい。絶縁体２８１となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる（図１６参照。）。
【0359】
次に、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４および絶縁体２８１に、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂに達する開口を形成する。当該開口の形成は、リソグラフィー法を用いて行えばよい。
【0360】
次に、絶縁体２４１となる絶縁膜を成膜し、当該絶縁膜を異方性エッチングして絶縁体２４１を形成する。当該絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。絶縁体２４１となる絶縁膜としては、酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁膜を用いることが好ましい。例えば、ＡＬＤ法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。また、ＡＬＤ法やＣＶＤ法を用いて、窒化シリコン膜を成膜してもよい。ＡＬＤ法を用いて窒化シリコン膜を成膜する場合、シリコンおよびハロゲンを含むプリカーサや、アミノシラン類のプリカーサを用いることができる。シリコンおよびハロゲンを含むプリカーサとして、ＳｉＣｌ４、ＳｉＨ２Ｃｌ２、Ｓｉ２Ｃｌ６、Ｓｉ３Ｃｌ８等を用いることができる。また、アミノシラン類のプリカーサとして、１価、２価、または３価のアミノシラン類を用いることができる。また、窒化ガスとしてアンモニアや、ヒドラジンを用いることができる。また、異方性エッチングは、例えばドライエッチング法などを行えばよい。開口の側壁部をこのような構成とすることで、外方からの酸素の透過を抑制し、次に形成する導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂの酸化を防止することができる。また、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂから、水、水素などの不純物が外部に拡散することを防ぐことができる。
【0361】
次に、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜を成膜する。導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜は、水、水素など不純物の拡散を抑制する機能を有する導電体を含む積層構造とすることが望ましい。たとえば、窒化タンタル、窒化チタンなどと、タングステン、モリブデン、銅など、と、の積層とすることができる。導電体２４０となる導電膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0362】
次に、ＣＭＰ処理を行うことで、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜の一部を除去し、絶縁体２８１を露出する。その結果、上記開口のみに、当該導電膜が残存することで上面が平坦な導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを形成することができる（図１０参照。）。なお、当該ＣＭＰ処理により、絶縁体２８１の一部が除去する場合がある。
【0363】
【0364】
本発明の一態様により、サイズが小さいトランジスタを有し、精細度が高い表示装置を提供することができる。または、オン電流が大きいトランジスタを有し、輝度が高い表示装置を提供することができる。または、動作が速いトランジスタを有し、動作が速い表示装置を提供することができる。または、電気特性が安定したトランジスタを有し、信頼性が高い表示装置を提供することができる。または、オフ電流が小さいトランジスタを有し、消費電力が低い表示装置を提供することができる。
【0365】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【0366】
先に示したものとは異なるトランジスタ、およびトランジスタの作製方法の一例について説明する。なお、以降に示す各トランジスタにおいて、＜トランジスタの構成例＞に示したトランジスタ（図１０参照。）を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。なお、各トランジスタの構成材料については＜トランジスタの構成例＞で詳細に説明した材料を用いることができる。
【0367】
＜トランジスタの変形例１－１＞
図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）、および図１７（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ａ、およびトランジスタ２００Ａ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ａを適用することができる。また、トランジスタ２００Ａについて、作製方法を図１８に示す。また、図１７及び図１８において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、図１７（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ａのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、図１７（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ａのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）、および図１７（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ａ、およびトランジスタ２００Ａ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ａを適用することができる。また、トランジスタ２００Ａについて、作製方法を図１８に示す。また、図１７及び図１８において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、図１７（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ａのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、図１７（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ａのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
【0368】
図１７に示すトランジスタ２００Ａは、絶縁体２４４を有しておらず、絶縁体２５４が、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂと、絶縁体２８０と、の間に配置される点において、図１０に示すトランジスタ２００と異なる。つまり、図１７に示すトランジスタ２００Ａでは、酸化物２３０ｃの側面が絶縁体２８０と接する構成になっている。
【0369】
また、図１７に示すトランジスタ２００Ａでは、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの導電体２６０側の側面が、テーパー形状を有している。ここで、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの当該側面と底面がなす角は、１０°以上８０°以下、好ましくは、３０°以上６０°以下にすればよい。これにより、酸化物２３０の導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂ近傍の領域にも、導電体２６０の電界の寄与を大きくし、トランジスタ２００Ａのオン電流および周波数特性の向上を図ることができる。なお、図１７に示すトランジスタ２００Ａは、これに限られるものではなく、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの側面が底面に対して概略垂直でもよい。また、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの対向する側面が、複数の面を有していてもよい。
【0370】
図１７に示すトランジスタ２００Ａは、ダミーゲート２６２を形成せずに作製することができるのでトランジスタの作製工程を簡略化することができて好ましい。
【0371】
図１７に示すトランジスタ２００Ａは、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂを形成するまでは、図１０に示すトランジスタ２００の作製方法と同様である。よって、図１１および図１２に係るトランジスタ２００の作製方法を参酌することができる。
【0372】
次に、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４２Ｂの上に、絶縁体２５４となる絶縁膜を成膜する。
【0373】
次に、絶縁体２５４となる絶縁膜上に、絶縁体２８０となる絶縁膜を成膜する。絶縁体２８０となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。次に、絶縁体２８０となる絶縁膜にＣＭＰ処理を行い、上面が平坦な絶縁体２８０を形成する。
【0374】
次に、絶縁体２８０の一部、絶縁体２５４となる絶縁膜の一部、および導電体層２４２Ｂの一部を除去して、酸化物２３０ｂに達する開口２６４を形成する（図１８参照。）。該開口は、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および導電体２０５と重なるように形成することが好ましい。開口２６４を形成することで、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、および絶縁体２５４が形成される。ここで、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間から露出した、酸化物２３０ｂの上面の一部が除去される場合がある。
【0375】
開口２６４の形成には、ウェットエッチング法を用いてもよいが、微細加工が可能な点からドライエッチング法を用いるほうが好ましい。また、開口２６４の形成は、絶縁体２８０上にハードマスクを形成して行うことが好ましい。当該ハードマスクは、導電体を用いてもよいし、絶縁体を用いてもよい。
【0376】
また、絶縁体２８０の一部、絶縁体２５４となる絶縁膜の一部、および導電体の一部の加工は、それぞれ異なる条件で加工してもよい。例えば、絶縁体２８０の一部をドライエッチング法で加工し、絶縁体２５４となる絶縁膜の一部をウェットエッチング法で加工し、導電体層２４２Ｂの一部をドライエッチング法で加工してもよい。
【0377】
図１７に示すトランジスタ２００Ａの作製方法の、以降の工程については、図１０に示すトランジスタ２００の作製方法と同様である。よって、図１５および図１６に係るトランジスタ２００の作製方法を参酌することができる。
【0378】
＜トランジスタの変形例１－２＞
図１９（Ａ）、図１９（Ｂ）、および図１９（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｂ、およびトランジスタ２００Ｂ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｂを適用することができる。また、トランジスタ２００Ｂについて、作製方法を図２０乃至図２４に示す。また、図１９乃至図２４において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、図１９（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｂのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、図１９（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｂのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
図１９（Ａ）、図１９（Ｂ）、および図１９（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｂ、およびトランジスタ２００Ｂ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｂを適用することができる。また、トランジスタ２００Ｂについて、作製方法を図２０乃至図２４に示す。また、図１９乃至図２４において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、図１９（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｂのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、図１９（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｂのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
【0379】
図１９に示すトランジスタ２００Ｂは、導電体２４２ａと酸化物２３０ｂの間に導電体２４３ａが配置され、導電体２４２ｂと酸化物２３０ｂの間に導電体２４３ｂが配置される点において、図１０に示すトランジスタ２００と異なる。ここで、導電体２４２ａ（導電体２４２ｂ）は、導電体２４３ａ（導電体２４３ｂ）の上面および導電体２６０側の側面と、酸化物２３０ｂの上面に接して設けられている。ここで、導電体２４３は、導電体２４２に用いることができる導電体を用いればよい。さらに、導電体２４３の膜厚は、少なくとも導電体２４２より厚いことが好ましい。
【0380】
また、図１９に示すトランジスタ２００Ｂは、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの距離が、絶縁体２８０、絶縁体２４４、および絶縁体２５４に形成される開口２６３のチャネル長方向の長さより短い点において、図１０に示すトランジスタ２００と異なる。
【0381】
図１９に示すトランジスタ２００Ｂは、上記のような構成を有することにより、酸化物２３０の導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂ近傍の領域にも、導電体２６０の電界の寄与を大きくすることができる。これにより、トランジスタ２００の実質的なチャネル長を短くし、オン電流および周波数特性の向上を図ることができる。
【0382】
また、導電体２４３ａ（導電体２４３ｂ）は、導電体２４０ａ（導電体２４０ｂ）と重畳して設けられることが好ましい。このような構成にすることで、導電体２４０ａ（導電体２４０ｂ）を埋め込む開口を形成するエッチングにおいて、当該開口の底部に導電体２４３ａ（導電体２４３ｂ）が設けられるので、酸化物２３０ｂがオーバーエッチングされるのを防ぐことができる。
【0383】
また、図１９に示すトランジスタ２００Ｂでは、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの導電体２６０側の側面が、概略垂直な形状を有している。なお、図１９に示すトランジスタ２００Ｂは、これに限られるものではなく、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの側面と底面がなす角が、１０°以上８０°以下、好ましくは、３０°以上６０°以下としてもよい。また、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの対向する側面が、複数の面を有していてもよい。
【0384】
図１９に示すトランジスタ２００Ｂは、酸化物２３０ｂとなる酸化膜２３０Ｂを成膜するまでは、図１０に示すトランジスタの作製方法と同様である。よって、図１１に係るトランジスタの作製方法を参酌することができる。
【0385】
次に、酸化膜２３０Ｂの上に、導電体層２４３Ａとなる導電膜を成膜する。導電体層２４３Ａとなる導電膜の成膜はスパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0386】
次に、導電体層２４３Ａとなる導電膜の一部を除去して、導電体層２４３Ａを形成する（図２０参照。）。図２０では、導電体層２４３Ａが開口を有する形状にしたが、本実施の形態はこれに限られるものではない。本工程では、導電体層２４３Ａとなる導電膜から、導電体２４３ａと導電体２４３ｂの間の領域に当たる部分を除去できればよい。例えば、導電体層２４３Ａとなる導電膜を、導電体２４３ａに対応する島状の導電体と、導電体２４３ｂに対応する島状の導電体と、に分割してもよい。
【0387】
導電体層２４３Ａとなる導電膜の加工はリソグラフィー法を用いて行えばよい。また、当該加工はドライエッチング法やウェットエッチング法を用いることができる。ドライエッチング法による加工は微細加工に適している。
【0388】
次に、酸化物２３０ｂおよび導電体層２４３Ａの上に導電膜２４２Ａを成膜する。導電膜２４２Ａの成膜は、図１２に係るトランジスタの作製方法を参酌することができる。
【0389】
以降、ダミーゲート層２６２Ａを形成し、絶縁膜２５４Ａおよび絶縁膜２４４Ａを成膜する（図２１参照。）までは、図１０に示すトランジスタの作製方法と同様である。よって、図１２および図１３に係るトランジスタの作製方法を参酌することができる。
【0390】
例えば、絶縁膜２４４Ａとして、高温で基板加熱を行いながら、酸化アルミニウムを成膜してもよい。絶縁膜２４４Ａ成膜時の基板加熱温度は、２００℃以上、好ましくは２５０℃以上、より好ましくは３５０℃以上にすればよい。このとき、絶縁膜２５４ＡとしてＡＬＤ法を用いて酸化アルミニウムを成膜しておくことにより、上記の温度で絶縁膜２４４Ａを成膜したときに、ダミーゲート層２６２Ａが変形することを防ぐことができる。
【0391】
また、絶縁膜２４４Ａまたは絶縁膜２５４Ａのいずれか一方または両方の成膜後に、フッ素の添加を行ってもよい。絶縁膜２４４Ａまたは絶縁膜２５４Ａのいずれか一方または両方へのフッ素の添加は、フッ素系のガス（例えば、ＣＦ４など）を含む雰囲気でプラズマ処理を行う、またはフッ素を含むガスをドーピングすることで、行うことができる。絶縁膜２４４Ａまたは絶縁膜２５４Ａのいずれか一方または両方へフッ素を添加することにより、当該膜中に含まれる水素を、フッ素によって終端化またはゲッタリングすることが期待できる。
【0392】
次に、絶縁膜２４４Ａ上に、絶縁体２８０となる絶縁膜を成膜する。絶縁体２８０となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0393】
次に、絶縁体２８０となる絶縁膜、ダミーゲート層２６２Ａ、絶縁膜２５４Ａ、および絶縁膜２４４Ａの一部を、ダミーゲート層２６２Ａの一部が露出するまで除去し、絶縁体２８０、ダミーゲート２６２、絶縁体２５４および絶縁体２４４を形成する。絶縁体２８０、ダミーゲート２６２、絶縁体２５４および絶縁体２４４の形成にはＣＭＰ処理を用いることが好ましい。詳細については、図１４に係るトランジスタの作製方法を参酌することができる。
【0394】
次に、ダミーゲート２６２を除去し、開口２６３を形成する（図１５参照。）。ダミーゲート２６２の除去は、ウェットエッチング、ドライエッチング、またはアッシングなどを用いて行うことができる。または、適宜、上記の処理を複数組み合わせて行ってもよい。例えば、アッシング処理の後に、ウェットエッチング処理を行うなどがある。ダミーゲート２６２を除去することにより、開口２６３から導電体層２４２Ｂの表面の一部が露出する。
【0395】
次に、絶縁体２８０、絶縁体２４４、絶縁体２５４、および導電体層２４２Ｂの上に、ダミー膜２６５を成膜する（図２２参照。）。ダミー膜２６５は開口２６３の側壁に成膜される必要があり、ダミー膜の厚さによって、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの距離、つまり実質的なチャネル長が決まる。このため、ダミー膜２６５は、被覆性が高く、膜厚の微調整が比較的容易なＡＬＤ法を用いて成膜することが好ましい。ダミー膜２６５の膜厚は、トランジスタ２００Ｂに求められる電気特性に合わせて適宜設定すればよいが、例えば、５ｎｍに設定することで、チャネル長を実質的に１０ｎｍ縮めることができる。なお、ダミー膜２６５は、最終的には除去されるので、微細加工が容易であり、かつ、除去も容易な膜を用いることが好ましい。
【0396】
次に、ダミー膜２６５に異方性エッチングを行い、ダミー膜２６５の開口２６３の側壁に接する部分のみを残存させる。さらに、残存したダミー膜２６５をマスクとして用いて、導電体層２４２Ｂをエッチングすることで、導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂを形成する（図２３参照。）。なお、ダミー膜２６５のエッチングと導電体層２４２Ｂのエッチングは連続して行ってもよい。また、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間から露出した、酸化物２３０ｂの上面の一部が除去される場合がある。
【0397】
このとき、残存したダミー膜２６５をマスクとして用いて、導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂを形成する。よって、絶縁体２８０、絶縁体２４４、および絶縁体２５４に形成された開口２６３は、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間の領域に重畳することになる。これにより、後の工程において、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間に導電体２６０を自己整合的に配置することができる。
【0398】
次に、残存したダミー膜２６５を、等方性エッチングを用いて、選択的に除去する（図２４参照。）。等方性エッチングとしては、例えば、ウェットエッチングまたは、反応性ガスを用いたエッチングを用いればよい。このようにして、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの距離を、開口２６３のチャネル長方向の長さより短くすることができる。
【0399】
【0400】
＜トランジスタの変形例１－３＞
図２５（Ａ）、図２５（Ｂ）、および図２５（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｃ、およびトランジスタ２００Ｃ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｃを適用することができる。また、トランジスタ２００Ｃについて、作製方法を図２６及び図２７に示す。また、図２５乃至図２７において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、図２５（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｃのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、図２５（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｃのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
図２５（Ａ）、図２５（Ｂ）、および図２５（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｃ、およびトランジスタ２００Ｃ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｃを適用することができる。また、トランジスタ２００Ｃについて、作製方法を図２６及び図２７に示す。また、図２５乃至図２７において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、図２５（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｃのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、図２５（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｃのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
【0401】
図２５に示すトランジスタ２００Ｃは、絶縁体２４４を有しておらず、絶縁体２５４が、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂと、絶縁体２８０と、の間に配置される点において、図１９に示すトランジスタ２００Ｂと異なる。つまり、図２５に示すトランジスタ２００Ｃでは、酸化物２３０ｃの側面が絶縁体２８０と接する構成になっている。
【0402】
また、図２５に示すトランジスタ２００Ｃでは、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの導電体２６０側の側面が、概略垂直な形状を有している。なお、図２５に示すトランジスタ２００Ｃは、これに限られるものではなく、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの側面と底面がなす角が、１０°以上８０°以下、好ましくは、３０°以上６０°以下としてもよい。また、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの対向する側面が、複数の面を有していてもよい。
【0403】
図２５に示すトランジスタ２００Ｃは、ダミーゲート２６２を形成せずに作製することができるのでトランジスタの作製工程を簡略化することができて好ましい。
【0404】
図２５に示すトランジスタ２００Ｃは、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂおよび導電体層２４２Ｂを形成するまでは、図１９に示すトランジスタ２００Ｂの作製方法と同様である。よって、図１１、図１２、および図２０に係るトランジスタの作製方法を参酌することができる。
【0405】
次に、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂおよび導電体層２４２Ｂの上に、絶縁体２５４となる絶縁膜を成膜する。
【0406】
次に、絶縁体２５４となる絶縁膜上に、絶縁体２８０となる絶縁膜を成膜する。絶縁体２８０となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。次に、絶縁体２８０となる絶縁膜にＣＭＰ処理を行い、上面が平坦な絶縁体２８０を形成する。
【0407】
次に、絶縁体２８０の一部、絶縁体２５４となる絶縁膜の一部、および導電体層２４２Ｂの一部を除去して、酸化物２３０ｂに達する開口２６４ａを形成する（図２６参照。）。該開口は、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および導電体２０５と重なるように形成することが好ましい。開口２６４を形成することで、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ、および絶縁体２５４が形成される。ここで、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの間から露出した、酸化物２３０ｂの上面の一部が除去される場合がある。
【0408】
開口２６４の形成には、ウェットエッチング法を用いてもよいが、微細加工が可能な点からドライエッチング法を用いるほうが好ましい。また、開口２６４の形成は、絶縁体２８０上にハードマスクを形成して行うことが好ましい。当該ハードマスクは、導電体を用いてもよいし、絶縁体を用いてもよい。
【0409】
また、絶縁体２８０の一部、絶縁体２５４となる絶縁膜の一部、および導電体の一部の加工は、それぞれ異なる条件で加工してもよい。例えば、絶縁体２８０の一部をドライエッチング法で加工し、絶縁体２５４となる絶縁膜の一部をウェットエッチング法で加工し、導電体層２４２Ｂの一部をドライエッチング法で加工してもよい。
【0410】
次に、絶縁体２８０の開口２６４ａをサイドエッチングして、開口２６４ｂを形成する（図２７参照。）。絶縁体２８０のサイドエッチングには、ウェットエッチングまたは、反応性ガスを用いたエッチングなどの、等方性エッチングを用いればよい。例えば、開口２６４ｂの側壁を開口２６４ａより５ｎｍ後退させることで、導電体２４２ａ（導電体２４２ｂ）を開口２６４ｂの側壁より５ｎｍ突出させることができる。このようにして、導電体２４２ａと導電体２４２ｂの距離を、開口２６４ｂのチャネル長方向の長さより短くすることができる。
【0411】
【0412】
＜トランジスタの変形例２－１＞
図２８（Ａ）、図２８（Ｂ）および図２８（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｄ、およびトランジスタ２００Ｄ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｄを適用することができる。
図２８（Ａ）、図２８（Ｂ）および図２８（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｄ、およびトランジスタ２００Ｄ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｄを適用することができる。
【0413】
図２８（Ａ）は、トランジスタ２００Ｄの上面図である。図２８（Ｂ）および図２８（Ｃ）は、トランジスタ２００Ｄの断面図である。ここで、図２８（Ｂ）は、図２８（Ａ）にＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｄのチャネル長方向の断面図でもある。また、図２８（Ｃ）は、図２８（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｄのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図２８（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、図２９は、図２８（Ｂ）における酸化物２３０ｂおよびその近傍の拡大図である。
【0414】
図４、図５、図７及び図９に示す表示装置７００Ａは、トランジスタ７５０Ａ、トランジスタ７５２Ａ及びトランジスタ７５４Ａとして、図２８（Ａ）、図２８（Ｂ）、および図２８（Ｃ）に示すトランジスタ２００Ｄを適用した例を示している。
【0415】
図２８に示すように、トランジスタ２００Ｄは、基板（図示しない。）の上に配置された酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａの上に配置された酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂの上面に互いに離隔して形成された層２５３ａおよび層２５３ｂと、酸化物２３０ｂ上に配置され、層２５３ａと層２５３ｂの間に重畳して開口が形成された絶縁体２８０と、開口の中に配置された導電体２６０と、酸化物２３０ｂ、および絶縁体２８０と、導電体２６０と、の間に配置された絶縁体２５０と、酸化物２３０ｂ、および絶縁体２８０と、絶縁体２５０と、の間に配置された酸化物２３０ｃと、を有する。ここで、図２８（Ｂ）および図２８（Ｃ）に示すように、導電体２６０の上面は、絶縁体２５０、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２８０の上面と略一致することが好ましい。
【0416】
なお、以下において、層２５３ａおよび層２５３ｂをまとめて層２５３という場合がある。
【0417】
また、図２８に示すように、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂと、絶縁体２８０と、の間に絶縁体２５４が配置されることが好ましい。ここで、絶縁体２５４は、図２８（Ｂ）及び図２８（Ｃ）に示すように、層２５３ａの上面と側面、層２５３ｂの上面と側面、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂの側面、ならびに絶縁体２２４の上面に接することが好ましい。絶縁体２５４は、さらに絶縁体２４１（絶縁体２４１ａ、および絶縁体２４１ｂ）の側面に接することが好ましい。
【0418】
ここで、導電体２６０は、トランジスタのゲート電極として機能し、層２５３ａおよび層２５３ｂは、それぞれソース領域またはドレイン領域として機能する。上記のように、導電体２６０は、絶縁体２８０および絶縁体２５４の開口、および層２５３ａと層２５３ｂに挟まれた領域に埋め込まれるように形成される。ここで、導電体２６０、層２５３ａおよび層２５３ｂの配置は、絶縁体２８０および絶縁体２５４の開口に対して、自己整合的に選択される。つまり、トランジスタ２００Ｄにおいて、ゲート電極を、ソース電極とドレイン電極の間に、自己整合的に配置させることができる。よって、導電体２６０を位置合わせのマージンを設けることなく形成することができるので、トランジスタ２００Ｄの占有面積の縮小を図ることができる。これにより、表示装置を高精細にすることができる。また、表示装置を狭額縁にすることができる。
【0419】
また、トランジスタ２００Ｄの上に、層間膜として機能する絶縁体２７４、および絶縁体２８１が配置されることが好ましい。ここで、絶縁体２７４は、導電体２６０、絶縁体２５０、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２８０の上面に接して配置されることが好ましい。
【0420】
絶縁体２２２、絶縁体２５４、および絶縁体２７４は、水素（例えば、水素原子、水素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２２２、絶縁体２５４、および絶縁体２７４は、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および絶縁体２８０より水素透過性が低いことが好ましい。また、絶縁体２２２、絶縁体２５４および絶縁体２７４は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２２２、絶縁体２５４および絶縁体２７４は、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および絶縁体２８０より酸素透過性が低いことが好ましい。
【0421】
ここで、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および絶縁体２５０は、絶縁体２８０および絶縁体２８１から、絶縁体２５４、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２７４によって離隔されている。ゆえに、絶縁体２８０および絶縁体２８１に含まれる水素などの不純物や、過剰な酸素が、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および絶縁体２５０に、混入するのを抑制することができる。
【0422】
また、トランジスタ２００Ｄと電気的に接続し、プラグとして機能する導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）が設けられることが好ましい。なお、プラグとして機能する導電体２４０の側面に接して絶縁体２４１（絶縁体２４１ａ、および絶縁体２４１ｂ）が設けられる。つまり、絶縁体２５４、絶縁体２８０、絶縁体２７４、および絶縁体２８１の開口の内壁に接して絶縁体２４１が設けられる。
【0423】
また、トランジスタ２００Ｄは、チャネル形成領域を含む酸化物２３０（酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃ）に、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いることが好ましい。
【0424】
ここで、酸化物２３０は、酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素を添加されることで、キャリア密度が増大し、低抵抗化する場合がある。このような元素としては、代表的にはホウ素やリンが挙げられる。また、ホウ素やリン以外にも、水素、炭素、窒素、フッ素、硫黄、塩素、チタン、希ガス等を用いることができる。また、希ガスの代表例としては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、及びキセノン等がある。また、酸化物２３０は、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどの金属元素の中から選ばれるいずれか一つまたは複数の金属元素を添加してもよい。上述した中でも、添加される元素は、ホウ素、及びリンが好ましい。ホウ素およびリンの添加には、アモルファスシリコン、または低温ポリシリコンの製造ラインの装置を使用することができるため、設備投資を抑制することができる。上記元素の濃度は、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）などを用いて測定すればよい。
【0425】
層２５３は、酸化物２３０に上記の元素が添加されて形成された層である。図２８（Ｂ）および図２９に示すように、層２５３ａおよび層２５３ｂは、導電体２６０を挟んで対向して形成されており、上面が絶縁体２５４および酸化物２３０ｃと接することが好ましい。上面視において、層２５３ａおよび層２５３ｂの導電体２６０側の側面は、導電体２６０の側面と略一致する、または、層２５３ａおよび層２５３ｂの一部が導電体２６０と重畳する、ことが好ましい。ここで、層２５３の上記元素の濃度は、酸化物２３０の層２５３が形成されていない部分の上記元素の濃度と、同等、またはそれよりも高いことが好ましい。また、層２５３に含まれる酸素欠損の量は、酸化物２３０の層２５３が形成されていない部分の酸素欠損の量と、同等、またはそれよりも高いことが好ましい。これにより、層２５３は、酸化物２３０の層２５３が形成されていない部分と比較して、キャリア密度が大きく、抵抗が低くなる。
【0426】
酸化物２３０において、導電体２６０と重畳する領域を領域２３４とし、絶縁体２５４と重畳する領域を領域２３１（領域２３１ａ、および領域２３１ｂ）とし、領域２３４と領域２３１の間の領域を領域２３２（領域２３２ａ、および領域２３２ｂ）とする。図２９に示すように、領域２３４は、領域２３１ａと領域２３１ｂの間に位置し、領域２３２ａは領域２３１ａと領域２３４の間に位置し、領域２３２ｂは領域２３１ｂと領域２３４の間に位置する。ここで、領域２３１は、領域２３４と比較して、キャリア密度が高く、低抵抗な領域である。また、領域２３２は、領域２３４と比較して、キャリア密度が高く、低抵抗な領域であり、領域２３１と比較して、キャリア密度が低く、高抵抗な領域である。または、領域２３２は、領域２３１と同等なキャリア密度を有し、同等な抵抗を有していてもよい。よって、領域２３４はトランジスタ２００Ｄのチャネル形成領域として機能し、領域２３１はソース領域またはドレイン領域として機能し、領域２３２は接合領域として機能する。
【0427】
このような構成にすることで、酸化物２３０のチャネル形成領域とソース領域またはドレイン領域との間に、オフセット領域が形成されるのを防ぎ、実効的なチャネル長が導電体２６０の幅より大きくなるのを抑制することができる。これにより、トランジスタ２００Ｄのオン電流を大きく、Ｓ値を良好にすることができる。
【0428】
酸化物２３０にソース領域またはドレイン領域として機能する領域２３１を形成することで、金属で形成されたソース電極およびドレイン電極を設けることなく、領域２３１にプラグとして機能する導電体２４０を接続することができる。酸化物２３０に接して金属で形成されたソース電極およびドレイン電極を設けると、トランジスタ２００Ｄの作製工程または後工程において、高温の熱処理を行った場合、金属で形成されたソース電極およびドレイン電極が酸化し、トランジスタ２００Ｄのオン電流、Ｓ値が劣化する場合がある。しかしながら、本実施の形態に示すトランジスタでは、金属で形成されたソース電極およびドレイン電極を設ける必要がない。よって、トランジスタ２００Ｄの作製工程または後工程において高温の熱処理を行っても、良好なオン電流、Ｓ値を示すトランジスタとすることができる。例えば、本実施の形態に示すトランジスタでは、トランジスタ２００Ｄの作製後に、７５０℃以上８００℃以下程度の高温がかかるプロセスを行うことができる。
【0429】
また、上記のように、層２５３に酸素欠損を形成する元素を添加して、熱処理を行うことで、チャネル形成領域として機能する領域２３４に含まれる水素を、層２５３に含まれる酸素欠損で捕獲できる場合がある。これにより、トランジスタ２００Ｄに安定な電気特性を与え、トランジスタ２００Ｄの信頼性の向上を図ることができる。
【0430】
なお、図２９では、層２５３が、酸化物２３０ｂの膜厚方向において、酸化物２３０ｂと絶縁体２５４、および酸化物２３０ｃの界面近傍に形成されているが、これに限られない。例えば、層２５３は、酸化物２３０ｂの膜厚と概略同じ厚さを有していてもよいし、酸化物２３０ａにも、形成されていてもよい。また、図２９では、層２５３が領域２３１、および領域２３２に形成されているが、これに限らない。例えば、領域２３１のみに形成されていてもよいし、領域２３１と、領域２３２の一部と、に形成されていてもよいし、領域２３１と、領域２３２と、領域２３４の一部と、に形成されていてもよい。
【0431】
また、酸化物２３０において、各領域の境界を明確に検出することが困難な場合がある。各領域内で検出される金属元素、ならびに水素、および窒素などの不純物元素の濃度は、領域ごとの段階的な変化に限らず、各領域内でも連続的に変化（グラデーションともいう。）していてもよい。つまり、チャネル形成領域に近い領域であるほど、金属元素、ならびに水素、および窒素などの不純物元素の濃度が減少していればよい。
【0432】
また、図２８（Ｃ）に示すように、絶縁体２２４は、酸化物２３０ｂと重ならない領域の膜厚が、それ以外の領域の膜厚より薄くなることが好ましい。このような構成にすることで、導電体２６０の下端部をより下側に位置させることができるので、第１のゲート電極としての機能する導電体２６０の電界を、酸化物２３０の側面に作用させやすくなる。よって、トランジスタ２００Ｄのオン電流を増大させることができる。また、絶縁体２２４を、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ａと重畳させて、島状に設ける構成にしてもよい。
【0433】
層２５３ａと層２５３ｂの間の領域は、絶縁体２８０の開口に重畳して形成される。これにより、層２５３ａと層２５３ｂの間に導電体２６０を自己整合的に配置することができる。
【0434】
また、絶縁体２５０と導電体２６０ａの間に、酸化物２３０として用いることができる金属酸化物を設けてもよい。このとき、該金属酸化物は、導電体２６０と同様にゲート電極として機能する。金属酸化物を設けることにより、絶縁体２５０、および酸化物２３０の少なくとも一方に酸素を供給することができ、好ましい。また、該金属酸化物として、酸素の透過を抑制する機能を有する金属酸化物を用いることにより、絶縁体２５０、または絶縁体２８０に含まれる酸素によって、導電体２６０が酸化されることを抑制できる。あるいは、絶縁体２５０に含まれる酸素が、導電体２６０に吸収されることを抑制できる。
【0435】
また、図２８（Ａ）及び図２８（Ｃ）に示すように、酸化物２３０ｂの層２５３と重ならない領域、言い換えると、酸化物２３０のチャネル形成領域において、酸化物２３０の側面を導電体２６０で覆うように配置されている。これにより、第１のゲート電極としての機能する導電体２６０の電界を、酸化物２３０の側面に作用させやすくなる。よって、トランジスタ２００Ｄのオン電流を増大させることができる。
【0436】
絶縁体２５４は、絶縁体２１４などと同様に、水または水素などの不純物が、絶縁体２８０側からトランジスタ２００Ｄに混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。例えば、絶縁体２５４は、絶縁体２２４より水素透過性が低いことが好ましい。さらに、図２８（Ｂ）及び図２８（Ｃ）に示すように、絶縁体２５４は、酸化物２３０ｃの側面の一部、層２５３ａの上面と側面、層２５３ｂの上面と側面、すなわち、酸化物２３０ｂの上面の一部と、側面の一部、酸化物２３０ａの側面、ならびに絶縁体２２４の上面に接することが好ましい。このような構成にすることで、絶縁体２８０に含まれる水素が、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび絶縁体２２４の上面または側面から酸化物２３０に侵入するのを抑制することができる。
【0437】
また、絶縁体２５４は、積層構造としてもよい。絶縁体２５４を積層構造とする場合、スパッタリング法を用いて形成された第１の絶縁体上にＡＬＤ法を用いて第２の絶縁体を形成してもよい。このとき、第１の絶縁体と、第２の絶縁体は上述した材料から選ばれた、同じ材料を用いてもよいし、異なる材料を用いてもよい。例えば、第１の絶縁体として、スパッタリング法により形成された酸化アルミニウムを用い、第２の絶縁体として、ＡＬＤ法により形成された酸化アルミニウムを用いてもよい。ＡＬＤ法により形成される膜は被覆性が高く、酸化物２３０などの構造体による段差部にも高い均一性を有する膜を形成することができる。また、スパッタリング法により形成された第１の絶縁膜における成膜不良を補てんすることができ、好ましい。
【0438】
このように、水素に対してバリア性を有する絶縁体２５４によって、絶縁体２２４、および酸化物２３０を覆うことで、絶縁体２８０は、絶縁体２２４、および酸化物２３０と離隔されている。これにより、トランジスタ２００Ｄの外方から水素などの不純物が浸入することを抑制できるので、トランジスタ２００Ｄに良好な電気特性および信頼性を与えることができる。
【0439】
また、絶縁体２５４としては、例えば、窒化アルミニウムを含む絶縁体を用いればよい。絶縁体２５４として、組成式がＡｌＮｘ（ｘは０より大きく２以下の実数、好ましくは、ｘは０．５より大きく１．５以下の実数）を満たす窒化物絶縁体を用いることが好ましい。これにより、絶縁性に優れ、且つ熱伝導性に優れた膜とすることができるため、トランジスタ２００Ｄを駆動したときに生じる熱の放熱性を高めることができる。また、絶縁体２５４として、窒化アルミニウムチタン、窒化チタンなどを用いることもできる。この場合、スパッタリング法を用いて成膜することで、成膜ガスに酸素またはオゾンなどの酸化性の強いガスを用いずに成膜することができるので、好ましい。また、窒化シリコンまたは窒化酸化シリコンなどを用いることもできる。
【0440】
また、後述するが、絶縁体２５４は、層２５３ａ、および層２５３ｂを形成する際の保護膜としての機能を有してもよい。層２５３ａ、および層２５３ｂの形成にイオンインプランテーション法やイオンドーピング法を用いる場合、保護膜として絶縁体２５４を設けることで、酸化物２３０の表面がイオンやプラズマに直接曝されることが無く、層２５３ａ、および層２５３ｂの形成における酸化物２３０のダメージを抑制できるため、好ましい。ここで、酸化物２３０のダメージとは、酸化物２３０中における、過度の酸素欠損の形成や、過度の酸化物２３０の結晶性の低下などをいう。例えば、絶縁体２５４として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、または空孔を有する酸化シリコンなどを用いることができる。
【0441】
絶縁体２８０は、絶縁体２５４を介して、絶縁体２２４、および酸化物２３０上に設けられる。
【0442】
また、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、および絶縁体２５４に形成された開口に、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを配置する。導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂは、導電体２６０を挟んで対向して設ける。なお、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂの上面の高さは、絶縁体２８１の上面と、同一平面上としてもよい。
【0443】
なお、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、および絶縁体２５４の開口の内壁に接して、絶縁体２４１ａが設けられ、その側面に接して導電体２４０ａの第１の導電体が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には層２５３ａが位置しており、導電体２４０ａが層２５３ａと接する。同様に、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、および絶縁体２５４の開口の内壁に接して、絶縁体２４１ｂが設けられ、その側面に接して導電体２４０ｂの第１の導電体が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には層２５３ｂが位置しており、導電体２４０ｂが層２５３ｂと接する。
【0444】
また、導電体２４０を積層構造とする場合、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、絶縁体２５４、絶縁体２８０、絶縁体２７４、絶縁体２８１と接する導電体には、上述の、水または水素などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電体を用いることが好ましい。
【0445】
＜トランジスタの作製方法２＞
次に、図２８に示す、本発明の一態様に係るトランジスタ２００Ｄについて、作製方法を図３０乃至図３８を用いて説明する。また、図３０乃至図３８において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、（Ａ）にＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｄのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｄのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、＜トランジスタの作製方法１＞に示すトランジスタ２００と同符号を付記した構成要素は、＜トランジスタの作製方法１＞を参酌することができる。
次に、図２８に示す、本発明の一態様に係るトランジスタ２００Ｄについて、作製方法を図３０乃至図３８を用いて説明する。また、図３０乃至図３８において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、（Ａ）にＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｄのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｄのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、＜トランジスタの作製方法１＞に示すトランジスタ２００と同符号を付記した構成要素は、＜トランジスタの作製方法１＞を参酌することができる。
【0446】
【0447】
次に、絶縁体２２４上に、酸化物２３０ａとなる酸化膜２３０Ａ、および酸化物２３０ｂとなる酸化膜２３０Ｂを順に成膜する（図３０参照。）。
【0448】
次に、加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、上述した加熱処理条件を用いることができる。
【0449】
次に、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂを島状に加工して、酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂを形成する。なお、当該工程において、絶縁体２２４の酸化物２３０ａと重ならない領域の膜厚が薄くなることがある（図３１参照。）。
【0450】
ここで、酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂは、少なくとも一部が導電体２０５と重なるように形成する。
【0451】
また、酸化物２３０ｂの側面と酸化物２３０ｂの上面との間に、湾曲面を有する。つまり、側面の端部と上面の端部は、湾曲していることが好ましい（以下、ラウンド状ともいう）。湾曲面は、例えば、酸化物２３０ｂ層の端部において、曲率半径が、３ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは、５ｎｍ以上６ｎｍ以下とする。端部に角を有さないことで、以降の成膜工程における膜の被覆性が向上する。
【0452】
また、ドライエッチングなどの処理によって付着または拡散した不純物などを除去するために、洗浄を行う。洗浄方法としては、洗浄液など用いたウェット洗浄、プラズマを用いたプラズマ処理、または熱処理による洗浄などがあり、上記洗浄を適宜組み合わせて行ってもよい。
【0453】
続いて、加熱処理を行ってもよい。加熱処理の条件は、前述の加熱処理の条件を用いることができる。または、絶縁膜２５４Ａの成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。加熱処理は、１００℃以上４００℃以下で行えばよく、例えば２００℃で行えばよい。あるいは、絶縁膜２５４Ａの成膜温度と同じ温度で行うことが好ましい。ここで、成膜温度とは、成膜中の基板温度に限らず、成膜装置の設定温度の場合を含む。例えば、絶縁膜２５４Ａを２００℃で成膜する場合、当該加熱処理の温度は２００℃とすることが好ましい。当該加熱処理は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空雰囲気で行ってもよい。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。真空雰囲気では、処理室の圧力は、１×１０－２Ｐａ以下、好ましくは１×１０－３Ｐａ以下とすればよい。
【0454】
次に、酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂを覆って、絶縁体２５４となる絶縁膜２５４Ａを成膜する（図３２参照。）。絶縁膜２５４Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて成膜することができる。
【0455】
絶縁膜２５４Ａは、水素などの不純物や、酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁膜を用いることが好ましい。例えば、スパッタリング法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。スパッタリング法によって、酸素を含むガスを用いて酸化アルミニウム膜を成膜することによって、絶縁体２２４中へ酸素を注入することができる。つまり、絶縁体２２４は過剰酸素を有することができる。また、絶縁膜２５４Ａとして、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）、窒化アルミニウムを含む絶縁体、窒化アルミニウムチタン、窒化チタン、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、または空孔を有する酸化シリコンなどを用いることができる。
【0456】
また、絶縁膜２５４Ａとして、高温で基板加熱を行いながら、酸化アルミニウムを成膜してもよい。絶縁膜２５４Ａ成膜時の基板加熱温度は、２００℃以上、好ましくは２５０℃以上、より好ましくは３５０℃以上にすればよい。
【0457】
また、絶縁膜２５４Ａは、積層構造としてもよい。
【0458】
次に、絶縁膜２５４Ａの上に、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜を成膜する。
【0459】
次に、リソグラフィー法によって、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜をエッチングし、ダミーゲート層２６２Ａを形成する（図３３参照。）。ダミーゲート層２６２Ａは、少なくとも一部が、導電体２０５および酸化物２３０と重なるように形成する。
【0460】
次に、ダミーゲート層２６２Ａをマスクとして、酸化物２３０ｂにドーパント２５７を添加する（図３３参照。）。これにより、酸化物２３０ｂのダミーゲート層２６２Ａと重畳していない領域に、ドーパント２５７を含む、層２５３ａおよび層２５３ｂが形成される。なお、図３３において、ドーパント２５７が、酸化物２３０ｂのダミーゲート層２６２Ａと重畳する領域に拡散して添加される様子を示している。このため、層２５３ａおよび層２５３ｂの一部は、ダミーゲート層２６２Ａと重畳する領域にも形成されている。このように、ダミーゲート層２６２Ａのチャネル長方向の長さによって、層２５３ａと層２５３ｂの間の距離、つまりチャネル長を制御することができる。
【0461】
ドーパント２５７の添加方法としては、イオン化された原料ガスを質量分離して添加するイオン注入法、イオン化された原料ガスを質量分離せずに添加するイオンドーピング法、プラズマイマージョンイオンインプランテーション法などを用いることができる。質量分離を行う場合、添加するイオン種およびその濃度を厳密に制御することができる。一方、質量分離を行わない場合、短時間で高濃度のイオンを添加することができる。また、原子または分子のクラスターを生成してイオン化するイオンドーピング法を用いてもよい。なお、ドーパントを、イオン、ドナー、アクセプター、不純物または元素などと言い換えてもよい。
【0462】
ドーパント２５７としては、上述の酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素などを用いればよい。このような元素としては、代表的には、ホウ素、またはリンが挙げられる。また、水素、炭素、窒素、フッ素、硫黄、塩素、チタン、希ガス等を用いてもよい。また、希ガスの代表例としては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、及びキセノン等がある。また、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどの金属元素の中から選ばれるいずれか一つまたは複数の金属元素を添加してもよい。上述した中でもドーパント２５７としては、ホウ素、及びリンが好ましい。ホウ素、リンをドーパント２５７として用いる場合、アモルファスシリコン、または低温ポリシリコンの製造ラインの装置を使用することができるため、設備投資を抑制することができる。
【0463】
また、図３３では、ドーパント２５７を絶縁体２１４の上面に略垂直に添加しているが、これに限られず、ドーパント２５７の添加を絶縁体２１４の上面に対して傾斜させて行ってもよい。絶縁体２１４の上面に対して傾斜させてドーパントを添加させることにより、ダミーゲート層２６２Ａと重畳する領域の一部に層２５３ａおよび層２５３ｂを形成することが容易になる。
【0464】
また、本実施の形態の作成方法では、ドーパント２５７は、絶縁膜２５４Ａを介して酸化物２３０に添加される。当該作成方法とすることで、絶縁膜２５４Ａにもドーパント２５７が添加される。すなわち、酸化物２３０、及び絶縁膜２５４Ａの双方がドーパント２５７に含まれる元素を有する。また、絶縁膜２５４Ａが過剰酸素を有する場合、ドーパント２５７によって、外部への過剰酸素の拡散を抑制できる場合がある。
【0465】
以上のように、層２５３を形成することにより、後の工程で形成する導電体２６０を、層２５３ａと層２５３ｂの間に自己整合的に配置することができる。
【0466】
次に、絶縁膜２５４Ａ、およびダミーゲート層２６２Ａ上に、絶縁膜２８０Ａを成膜する（図３４参照。）。絶縁膜２８０Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【0467】
次に、絶縁膜２８０Ａ、およびダミーゲート層２６２Ａの一部を、ダミーゲート層２６２Ａの一部が露出するまで除去し、絶縁体２８０、およびダミーゲート２６２を形成する（図３５参照。）。絶縁体２８０、およびダミーゲート２６２の形成にはＣＭＰ処理を用いることが好ましい。
【0468】
また、上述のようにダミーゲート層２６２Ａを、例えば、導電膜と該導電膜上に樹脂膜を形成する２層構造の膜とすることで、ＣＭＰ工程において、該導電膜がＣＭＰ処理のストッパ膜として機能する場合がある。または、該導電膜がＣＭＰ処理の終点検出が可能となる場合があり、ダミーゲート２６２の高さのばらつきの低減が可能となる場合がある。図３５（Ｂ）に示すように、ダミーゲート２６２の上面と、絶縁体２８０の上面が略一致する。
【0469】
次に、ダミーゲート２６２、およびダミーゲート２６２と重畳する絶縁膜２５４Ａの一部を除去し、開口２６３を形成する（図３６参照。）。ダミーゲート２６２、および絶縁膜２５４Ａの除去は、ウェットエッチング、ドライエッチング、またはアッシングなどを用いて行うことができる。または、適宜、上記の処理を複数組み合わせて行ってもよい。例えば、アッシング処理の後に、ウェットエッチング処理を行うなどがある。絶縁膜２５４Ａの一部を除去することにより、絶縁体２５４を形成する。ダミーゲート２６２、および絶縁膜２５４Ａを除去することにより、開口２６３から酸化物２３０ｂの表面の一部が露出する。このとき、開口２６３から層２５３の表面の一部が露出する場合がある。
【0470】
次に、酸化膜２３０Ｃの成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。加熱処理は、１００℃以上４００℃以下で行えばよく、例えば２００℃で行えばよい。あるいは、酸化膜２３０Ｃの成膜温度と同じ温度で行うことが好ましい。ここで、成膜温度とは、成膜中の基板温度に限らず、成膜装置の設定温度の場合を含む。例えば、酸化膜２３０Ｃを３００℃で成膜する場合、当該加熱処理の温度は３００℃とすることが好ましい。当該加熱処理は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空雰囲気で行ってもよい。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。真空雰囲気では、処理室の圧力は、１×１０－２Ｐａ以下、好ましくは１×１０－３Ｐａ以下とすればよい。
【0471】
次に、開口２６３に埋め込むように、酸化膜２３０Ｃを成膜する。
【0472】
次に、絶縁膜２５０Ａの成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。加熱処理は、上述した加熱処理条件を用いることができる。
【0473】
次に、絶縁膜２５０Ａを成膜する。絶縁膜２５０Ａの成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0474】
また、加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、上述した加熱処理条件を用いることができる。
【0475】
次に、導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂを成膜する（図３７参照。）。
【0476】
次に、ＣＭＰ処理によって、酸化膜２３０Ｃ、絶縁膜２５０Ａ、導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂを絶縁体２８０が露出するまで研磨することによって、酸化物２３０ｃ、絶縁体２５０および導電体２６０（導電体２６０ａおよび導電体２６０ｂ）を形成する（図３８参照。）。
【0477】
次に加熱処理を行っても良い。加熱処理は、上述した加熱処理条件を用いることができる。
【0478】
次に、絶縁体２８０上に、絶縁体２７４となる絶縁膜を形成する（図３８参照。）。絶縁体２７４の成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0479】
次に加熱処理を行っても良い。加熱処理は、上述した加熱処理条件を用いることができる。
【0480】
次に絶縁体２７４上に、絶縁体２８１となる絶縁体を成膜してもよい。絶縁体２８１となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる（図３８参照。）。
【0481】
次に、絶縁体２５４、絶縁体２８０、絶縁体２７４および絶縁体２８１に、層２５３ａおよび層２５３ｂに達する開口を形成する。当該開口の形成は、リソグラフィー法を用いて行えばよい。
【0482】
次に、絶縁体２４１となる絶縁膜を成膜し、当該絶縁膜を異方性エッチングして絶縁体２４１を形成する。
【0483】
次に、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜を成膜する。
【0484】
次に、ＣＭＰ処理を行うことで、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜の一部を除去し、絶縁体２８１を露出する。その結果、上記開口のみに、当該導電膜が残存することで上面が平坦な導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを形成することができる（図２８参照。）。なお、当該ＣＭＰ処理により、絶縁体２８１の一部が除去する場合がある。
【0485】
以上により、図２８に示すトランジスタ２００Ｄを作製することができる。
【0486】
先の＜トランジスタの変形例２＞で示したものとは異なるトランジスタ、およびトランジスタの作製方法の一例について説明する。
【0487】
＜トランジスタの変形例２－２＞
図３９（Ａ）、図３９（Ｂ）、および図３９（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｅ、およびトランジスタ２００Ｅ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｅを適用することができる。図３９（Ａ）は、トランジスタ２００Ｅの上面図である。図３９（Ｂ）は、図３９（Ａ）にＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｅのチャネル長方向の断面図でもある。また、図３９（Ｃ）は、図３９（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｅのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図３９（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、図４０は、図３９（Ｂ）における酸化物２３０ｂおよびその近傍の拡大図である。
図３９（Ａ）、図３９（Ｂ）、および図３９（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｅ、およびトランジスタ２００Ｅ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｅを適用することができる。図３９（Ａ）は、トランジスタ２００Ｅの上面図である。図３９（Ｂ）は、図３９（Ａ）にＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｅのチャネル長方向の断面図でもある。また、図３９（Ｃ）は、図３９（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｅのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図３９（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、図４０は、図３９（Ｂ）における酸化物２３０ｂおよびその近傍の拡大図である。
【0488】
図３９に示すように、トランジスタ２００Ｅは、基板（図示しない。）の上に配置された酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａの上に配置された酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂの上面に、互いに離隔して形成された層２５２ａ、および層２５２ｂと、酸化物２３０ｂ上に配置され、層２５２ａと層２５２ｂの間に重畳して開口が形成された絶縁体２８０と、開口の中に配置された導電体２６０と、酸化物２３０ｂ、および絶縁体２８０と、導電体２６０と、の間に配置された絶縁体２５０と、酸化物２３０ｂ、および絶縁体２８０と、絶縁体２５０と、の間に配置された酸化物２３０ｃと、を有する。ここで、図３９（Ｂ）及び図３９（Ｃ）に示すように、導電体２６０の上面は、絶縁体２５０、絶縁体２４４、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２８０の上面と略一致することが好ましい。また、層２５２ａの、酸化物２３０ｃと重畳しない領域に層２５３ａが形成されることが好ましい。また、層２５２ｂの、酸化物２３０ｃと重畳しない領域に層２５３ｂが形成されることが好ましい。なお、層２５２ａおよび層２５２ｂをまとめて層２５２という場合がある。
【0489】
また、図３９に示すように、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃと、絶縁体２８０と、の間に絶縁体２４４および絶縁体２５４が配置されることが好ましい。ここで、絶縁体２５４は、図３９（Ｂ）及び図３９（Ｃ）に示すように、酸化物２３０ｃの側面、層２５２ａの上面と側面、層２５２ｂの上面と側面、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂの側面、ならびに絶縁体２２４の上面に接することが好ましい。絶縁体２４４は絶縁体２５４の上面、および酸化物２３０ｃの側面に接して配置されることが好ましい。絶縁体２５４は、さらに絶縁体２４１（絶縁体２４１ａ、および絶縁体２４１ｂ）の側面に接することが好ましい。
【0490】
ここで、導電体２６０は、トランジスタのゲート電極として機能し、層２５２ａおよび層２５３ａ、ならびに層２５２ｂおよび層２５３ｂは、それぞれソース領域またはドレイン領域として機能する。上記のように、導電体２６０は、絶縁体２８０の開口、および層２５２ａと層２５２ｂに挟まれた領域に埋め込まれるように形成される。ここで、導電体２６０、層２５２ａおよび層２５２ｂの配置は、絶縁体２８０の開口に対して、自己整合的に選択される。つまり、トランジスタ２００Ｅにおいて、ゲート電極を、ソース電極とドレイン電極の間に、自己整合的に配置させることができる。
【0491】
また、層間膜として機能する絶縁体２７４は、導電体２６０、絶縁体２５０、絶縁体２４４、酸化物２３０ｃ、および絶縁体２８０の上面に接して配置されることが好ましい。
【0492】
絶縁体２５４及び絶縁体２４４は、水素（例えば、水素原子、水素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２５４及び絶縁体２４４は、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および絶縁体２８０より水素透過性が低いことが好ましい。また、絶縁体２５４および絶縁体２４４は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２５４および絶縁体２４４は、絶縁体２２４、絶縁体２５０および絶縁体２８０より酸素透過性が低いことが好ましい。
【0493】
ここで、絶縁体２２４、酸化物２３０、および絶縁体２５０は、絶縁体２８０および絶縁体２８１から、絶縁体２５４、絶縁体２４４および絶縁体２７４によって離隔されている。ゆえに、絶縁体２８０および絶縁体２８１に含まれる水素などの不純物や、過剰な酸素が、絶縁体２２４、酸化物２３０、および絶縁体２５０に、混入するのを抑制することができる。
【0494】
また、トランジスタ２００Ｅと電気的に接続し、プラグとして機能する導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）が設けられることが好ましい。なお、導電体２４０の側面に接して絶縁体２４１（絶縁体２４１ａ、および絶縁体２４１ｂ）が設けられる。つまり、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４、および絶縁体２８１の開口の内壁に接して、絶縁体２４１が設けられる。
【0495】
ここで、酸化物２３０は、酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素を添加されることで、キャリア密度が増大し、低抵抗化する場合がある。このような元素としては、先の＜トランジスタの作製方法＞に示した元素を用いることができる。
【0496】
層２５２は、酸化物２３０に上記の元素が添加されて形成された層である。図３９（Ｂ）および図４０に示すように、層２５２ａおよび層２５２ｂは、導電体２６０を挟んで対向して形成されており、上面が絶縁体２５４および酸化物２３０ｃと接することが好ましい。上面視において、層２５２ａおよび層２５２ｂの導電体２６０側の側面は、導電体２６０の側面と略一致する、または、層２５２ａおよび層２５２ｂの一部が導電体２６０と重畳する、ことが好ましい。ここで、層２５２の上記元素の濃度は、酸化物２３０の層２５２および層２５３が形成されていない部分の上記元素の濃度と、同等、またはそれよりも高いことが好ましい。また、層２５２に含まれる酸素欠損の量は、酸化物２３０の層２５２および層２５３が形成されていない部分の酸素欠損の量と、同等、またはそれよりも高いことが好ましい。これにより、層２５２は、酸化物２３０の層２５２および層２５３が形成されていない部分と比較して、キャリア密度が大きく、抵抗が低くなる。
【0497】
層２５３は、層２５２の一部にさらに上記の元素が添加されて形成された層である。図３９（Ｂ）および図４０に示すように、層２５３は上面が絶縁体２５４と接することが好ましい。ここで、層２５３の上記元素の濃度は、層２５２の上記元素の濃度と、同等、またはそれよりも高いことが好ましい。また、層２５３に含まれる酸素欠損の量は、層２５２に含まれる酸素欠損の量と、同等、またはそれよりも高いことが好ましい。これにより、層２５３は、層２５２と比較して、キャリア密度が大きく、抵抗が低くなる。
【0498】
酸化物２３０において、導電体２６０と重畳する領域を領域２３４とし、層２５３と重畳する領域を領域２３１（領域２３１ａ、および領域２３１ｂ）とし、層２５２と重畳し、かつ層２５３と重畳しない領域を領域２３２（領域２３２ａ、および領域２３２ｂ）とする。図４０に示すように、領域２３４は、領域２３１ａと領域２３１ｂの間に位置し、領域２３２ａは領域２３１ａと領域２３４の間に位置し、領域２３２ｂは領域２３１ｂと領域２３４の間に位置する。ここで、領域２３１は、領域２３４と比較して、キャリア密度が高く、低抵抗な領域である。また、領域２３２は、領域２３４と比較して、キャリア密度が高く、低抵抗な領域であり、領域２３１と比較して、キャリア密度が低く、高抵抗な領域である。よって、領域２３４はトランジスタ２００Ｅのチャネル形成領域として機能し、領域２３１はソース領域またはドレイン領域として機能し、領域２３２は接合領域として機能する。
【0499】
また、上記のように、層２５２および層２５３に酸素欠損を形成する元素を添加して、熱処理を行うことで、チャネル形成領域として機能する領域２３４に含まれる水素を、層２５２および層２５３に含まれる酸素欠損で捕獲できる場合がある。これにより、トランジスタ２００Ｅに安定な電気特性を与え、信頼性の向上を図ることができる。
【0500】
なお、図４０では、層２５２が、酸化物２３０ｂの膜厚方向において、酸化物２３０ｂと絶縁体２５４の界面近傍に形成されているが、これに限られない。例えば、層２５２は、酸化物２３０ｂの膜厚と概略同じ厚さを有していてもよいし、酸化物２３０ａにも、形成されていてもよい。また、図４０では、層２５２が領域２３１、および領域２３２に形成されているが、これに限らない。例えば、領域２３１のみに形成されていてもよいし、領域２３１と、領域２３２の一部と、に形成されていてもよいし、領域２３１と、領域２３２と、領域２３４の一部と、に形成されていてもよい。
【0501】
層２５２ａと層２５２ｂの間の領域は、絶縁体２８０の開口に重畳して形成される。これにより、層２５２ａと層２５２ｂの間に導電体２６０を自己整合的に配置することができる。
【0502】
絶縁体２５４については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0503】
絶縁体２４４は、絶縁体２１４などと同様に、水または水素などの不純物が、絶縁体２８０側からトランジスタ２００Ｅに混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。例えば、絶縁体２４４は、絶縁体２２４より水素透過性が低いことが好ましい。さらに、図３９（Ｂ）及び図３９（Ｃ）に示すように、絶縁体２４４は、絶縁体２５４の上面、および酸化物２３０ｃの側面に接するように配置されることが好ましい。この様な構成とすることで、絶縁体２８０に含まれる水素が、導電体２６０、酸化物２３０ｃおよび絶縁体２５０の側面から酸化物２３０に侵入するのを抑制することができる。
【0504】
このように、水素に対してバリア性を有する絶縁体２５４および絶縁体２４４によって、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および酸化物２３０を覆うことで、絶縁体２８０は、絶縁体２２４、酸化物２３０、および絶縁体２５０と離隔されている。これにより、トランジスタ２００Ｅの外方から水素などの不純物が浸入することを抑制できるので、トランジスタ２００Ｅに良好な電気特性および信頼性を与えることができる。
【0505】
さらに、絶縁体２４４は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）ことが好ましい。例えば、絶縁体２４４は、絶縁体２２４より酸素透過性が低いことが好ましい。絶縁体２４４が、酸素の拡散を抑制する機能を有することで、導電体２６０が、絶縁体２８０が有する酸素と反応することを抑制することができる。
【0506】
絶縁体２４４としては、絶縁体２５４に用いることができる材料を用いることができる。絶縁体２４４としては、例えば、窒化アルミニウムを含む絶縁体を用いればよい。また、絶縁体２４４として、窒化アルミニウムチタン、窒化チタンなどを用いることもできる。また、窒化シリコンまたは窒化酸化シリコンなどを用いることもできる。
【0507】
また、絶縁体２４４は、ＡＬＤ法を用いて成膜されることが好ましい。ＡＬＤ法は、被覆性の良好な成膜法なので、絶縁体２５４の凹凸によって、段切れなどが形成されるのを防ぐことができる。
【0508】
絶縁体２８０は、絶縁体２４４および絶縁体２５４を介して、絶縁体２２４、および酸化物２３０上に設けられる。
【0509】
また、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、および絶縁体２４４に形成された開口に、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを配置する。
【0510】
なお、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２４４および絶縁体２５４の開口の内壁に接して、絶縁体２４１ａが設けられ、その側面に接して導電体２４０ａの第１の導電体が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には層２５３ａが位置しており、導電体２４０ａが層２５３ａと接する。同様に、絶縁体２８１、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２４４および絶縁体２５４の開口の内壁に接して、絶縁体２４１ｂが設けられ、その側面に接して導電体２４０ｂの第１の導電体が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には層２５３ｂが位置しており、導電体２４０ｂが層２５３ｂと接する。
【0511】
また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体（絶縁体２１４、絶縁体２２２、絶縁体２５４、絶縁体２４４、および絶縁体２７４など）で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。
【0512】
図３９に示すトランジスタ２００Ｅについて、作製方法を図４１乃至図４７を用いて説明する。また、図４１乃至図４７において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｅのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００Ｅのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。図３９に示すトランジスタ２００Ｅは、酸化物２３０ａ及び酸化物２３０ｂを形成するまでは、図２８に示すトランジスタ２００Ｄの作製方法と同様である。よって、図３０および図３１に係るトランジスタ２００Ｄの作製方法を参酌することができる。
【0513】
次に、絶縁体２２４、酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂの上に、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜を成膜する。ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜の成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0514】
次に、リソグラフィー法によって、ダミーゲート層２６２Ａとなるダミーゲート膜をエッチングし、ダミーゲート層２６２Ａを形成する（図４１参照。）。ダミーゲート層２６２Ａは、少なくとも一部が、導電体２０５および酸化物２３０と重なるように形成する。
【0515】
次に、ダミーゲート層２６２Ａをマスクとして、酸化物２３０ｂにドーパント２５６を添加する（図４１参照。）。これにより、酸化物２３０ｂのダミーゲート層２６２Ａと重畳していない領域に、ドーパント２５６を含む、層２５２ａおよび層２５２ｂが形成される。このように、ダミーゲート層２６２Ａのチャネル長方向の長さによって、層２５２ａと層２５２ｂの間の距離、つまりチャネル長を制御することができる。
【0516】
ドーパント２５６の添加方法については、＜トランジスタの作製方法＞に示したドーパント２５７の添加方法の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0517】
また、図４１では、ドーパント２５６を絶縁体２１４の上面に略垂直に添加しているが、これに限られず、ドーパント２５６の添加を絶縁体２１４の上面に対して傾斜させて行ってもよい。絶縁体２１４の上面に対して傾斜させてドーパントを添加させることにより、ダミーゲート層２６２Ａと重畳する領域の一部にも層２５２ａおよび層２５２ｂを形成することができる場合がある。
【0518】
次に、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、およびダミーゲート層２６２Ａを覆って、絶縁膜２５４Ａを成膜する（図４２参照。）。絶縁膜２５４Ａの成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0519】
次に、ダミーゲート層２６２Ａおよび絶縁膜２５４Ａのダミーゲート層２６２Ａと接する部分をマスクとして、酸化物２３０ｂにドーパント２５７を添加する（図４２参照。）。これにより、酸化物２３０ｂの該マスクと重畳していない領域に、ドーパント２５７を含む、層２５３ａおよび層２５３ｂが形成される。このように、絶縁膜２５４Ａの膜厚によって、層２５２の中で層２５３が形成されていない部分（図４０に示す領域２３２ａおよび領域２３２ｂに相当する。）のチャネル長方向の長さを制御することができる。
【0520】
ドーパント２５７の添加方法は、上記のドーパント２５６の添加方法と同様の方法を用いることができる。このとき、ドーパント２５７が、絶縁膜２５４Ａのダミーゲート層２６２Ａと接していない部分を貫通できるように、十分なエネルギーを与えることが好ましい。また、ドーパント２５７としては、ドーパント２５６と同様に、上述の酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素などを用いればよい。
【0521】
また、図４２では、ドーパント２５７を絶縁体２１４の上面に略垂直に添加しているが、これに限られず、ドーパント２５７の添加を絶縁体２１４の上面に対して傾斜させて行ってもよい。絶縁体２１４の上面に対して傾斜させてドーパントを添加させることにより、絶縁膜２５４Ａのダミーゲート層２６２Ａと接する部分と重畳する領域の一部にも層２５３ａおよび層２５３ｂを形成することができる場合がある。
【0522】
また、本実施の形態の作成方法では、ドーパント２５７は、絶縁膜２５４Ａを介して酸化物２３０に添加される。当該作成方法とすることで、絶縁膜２５４Ａにもドーパント２５７が添加される。すなわち、酸化物２３０、及び絶縁膜２５４Ａの双方がドーパント２５７に含まれる元素を有する。また、絶縁膜２５４Ａが過剰酸素を有する場合、ドーパント２５７によって、外部への過剰酸素の拡散を抑制できる場合がある。
【0523】
なお、本実施の形態においては、ドーパント２５７の添加を絶縁膜２５４Ａの成膜後に行ったが、これに限られるものではない。例えば、後述する絶縁膜２４４Ａの成膜後にドーパント２５７の添加を行ってもよい。これにより、酸化物２３０ｂのダミーゲート層２６２Ａ、絶縁膜２５４Ａの基板垂直方向に延伸する部分、および絶縁膜２４４Ａの基板垂直方向に延伸する部分と重畳していない領域に、ドーパント２５７を含む、層２５３ａおよび層２５３ｂが形成される。
【0524】
以上のように、層２５２および層２５３を形成することにより、後の工程で形成する導電体２６０を、層２５２ａおよび層２５３ａと、層２５２ｂおよび層２５３ｂと、の間に自己整合的に配置することができる。
【0525】
次に、絶縁膜２５４Ａの上に絶縁膜２４４Ａを成膜する（図４３参照。）。絶縁膜２４４Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて成膜することができる。
【0526】
絶縁膜２４４Ａは、水素などの不純物や、酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁膜を用いることが好ましい。例えば、ＡＬＤ法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。被覆性に優れたＡＬＤ法を用いることで、ダミーゲート層２６２Ａなどにより形成された段差部においても、均一な厚さを有する絶縁膜２４４Ａを形成することができる。また、ＡＬＤ法を用いることで、緻密な薄膜を成膜することができる。このように被覆性に優れ、緻密な薄膜を成膜することが出来るので、例えば、絶縁膜２５４Ａにボイドやピンホールなどの欠陥が生じても、絶縁膜２４４Ａによって覆うことができる。
【0527】
また、絶縁膜２４４Ａとして、窒化アルミニウム、窒化シリコン、窒化酸化シリコンなどを、成膜してもよい。例えば、絶縁膜２４４Ａとして、アルミニウムターゲットを用いた反応性スパッタリングで、窒化アルミニウム膜を成膜する場合、成膜ガスの全流量に対する窒素ガスの流量を３０％以上１００％以下、好ましくは４０％以上１００％以下、より好ましくは５０％以上１００％以下とすることが好ましい。
【0528】
以上により、絶縁体２２４に含まれる過剰酸素が外方へ拡散することを防止し、また外方から水や水素のような不純物の絶縁体２２４への侵入を防止することができる。尚、絶縁膜２４４Ａの成膜は省略することができる場合がある。
【0529】
次に、絶縁膜２４４Ａ上に、絶縁体２８０となる絶縁膜を成膜する。
【0530】
次に、絶縁体２８０となる絶縁膜、ダミーゲート層２６２Ａ、絶縁膜２５４Ａ、および絶縁膜２４４Ａの一部を、ダミーゲート層２６２Ａの一部が露出するまで除去し、絶縁体２８０、ダミーゲート２６２、絶縁体２５４Ｂおよび絶縁体２４４を形成する（図４４参照。）。絶縁体２８０、ダミーゲート２６２、絶縁体２５４Ｂおよび絶縁体２４４の形成にはＣＭＰ処理を用いることが好ましい。
【0531】
また、上述のようにダミーゲート層２６２Ａを、例えば、導電膜と該導電膜上に樹脂膜を形成する２層構造の膜とすることで、ＣＭＰ工程において、該導電膜がＣＭＰ処理のストッパ膜として機能する場合がある。または、該導電膜がＣＭＰ処理の終点検出が可能となる場合があり、ダミーゲート２６２の高さのばらつきの低減が可能となる場合がある。図４４（Ｂ）に示すように、ダミーゲート２６２の上面と、絶縁体２５４Ｂ、絶縁体２４４および絶縁体２８０の上面が略一致する。
【0532】
次に、ダミーゲート２６２を除去し、開口２６３を形成する（図４５参照。）。ダミーゲート２６２の除去は、ウェットエッチング、ドライエッチング、またはアッシングなどを用いて行うことができる。または、適宜、上記の処理を複数組み合わせて行ってもよい。例えば、アッシング処理の後に、ウェットエッチング処理を行うなどがある。ダミーゲート２６２を除去することにより、開口２６３から酸化物２３０ｂの表面の一部が露出する。
【0533】
次に、絶縁体２５４Ｂのダミーゲート２６２と接していた部分を、等方性エッチングを用いて、選択的に除去し、絶縁体２５４を形成する（図４５参照。）。ここで、上面視において、絶縁体２５４の側面と、絶縁体２４４の側面は概略一致することが好ましく、これらの側面が、開口２６３の側壁になる。等方性エッチングとしては、例えば、ウェットエッチングまたは、反応性ガスを用いたエッチングを用いればよい。絶縁体２５４Ｂの一部をエッチングする際に、絶縁体２４４は、エッチングストッパーとして機能することが好ましい。これにより、絶縁体２５４Ｂの一部をエッチングしたときに、絶縁体２８０までエッチングされるのを防ぐことができる。絶縁体２５４Ｂの一部を除去することにより、開口２６３から層２５２の表面の一部が露出する場合がある。
【0534】
次に、酸化膜２３０Ｃの成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。該加熱処理については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0535】
次に、開口２６３に埋め込むように、酸化膜２３０Ｃを成膜する。酸化膜２３０Ｃの成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0536】
次に、絶縁膜２５０Ａの成膜前に加熱処理を行うことが好ましい。該加熱処理については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0537】
次に、絶縁膜２５０Ａを成膜する。絶縁膜２５０Ａの成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0538】
次に、導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂを成膜する（図４６参照。）。導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂの成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0539】
次に、ＣＭＰ処理によって、酸化膜２３０Ｃ、絶縁膜２５０Ａ、導電膜２６０Ａａおよび導電膜２６０Ａｂを絶縁体２８０が露出するまで研磨することによって、酸化物２３０ｃ、絶縁体２５０および導電体２６０（導電体２６０ａおよび導電体２６０ｂ）を形成する（図４７参照。）。
【0540】
次に、絶縁体２８０上に、絶縁体２７４となる絶縁膜を形成する（図４７参照。）。絶縁体２７４となる絶縁膜の成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0541】
次に絶縁体２７４上に、絶縁体２８１となる絶縁体を成膜してもよい（図４７参照。）。絶縁体２８１となる絶縁膜の成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0542】
次に、絶縁体２５４、絶縁体２４４、絶縁体２８０、絶縁体２７４および絶縁体２８１に、層２５３ａおよび層２５３ｂに達する開口を形成する。当該開口の形成は、リソグラフィー法を用いて行えばよい。
【0543】
次に、絶縁体２４１となる絶縁膜を成膜し、当該絶縁膜を異方性エッチングして絶縁体２４１を形成する。絶縁体２４１となる絶縁膜を成膜、及び絶縁体２４１の形成については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0544】
次に、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜を成膜する。導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜の成膜については先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
【0545】
次に、ＣＭＰ処理を行うことで、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜の一部を除去し、絶縁体２８１を露出する。その結果、上記開口のみに、当該導電膜が残存することで上面が平坦な導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを形成することができる（図３９参照。）。なお、当該ＣＭＰ処理により、絶縁体２８１の一部が除去する場合がある。
【0546】
以上により、図３９に示すトランジスタ２００Ｅを作製することができる。
【0547】
＜トランジスタの変形例２－３＞
図４８（Ａ）、図４８（Ｂ）、および図４８（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｆ、およびトランジスタ２００Ｆ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｆを適用することができる。図４８（Ａ）は、トランジスタ２００Ｆの上面図である。また、図４８（Ｂ）は、図４８（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｆのチャネル長方向の断面図でもある。また、図４８（Ｃ）は、図４８（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｆのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図４８（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、図４９は、図４８（Ｂ）における酸化物２３０ｂおよびその近傍の拡大図である。
図４８（Ａ）、図４８（Ｂ）、および図４８（Ｃ）は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ２００Ｆ、およびトランジスタ２００Ｆ周辺の上面図および断面図である。画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、トランジスタ２００Ｆを適用することができる。図４８（Ａ）は、トランジスタ２００Ｆの上面図である。また、図４８（Ｂ）は、図４８（Ａ）に示すＡ１－Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｆのチャネル長方向の断面図でもある。また、図４８（Ｃ）は、図４８（Ａ）にＡ３－Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００Ｆのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図４８（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、図４９は、図４８（Ｂ）における酸化物２３０ｂおよびその近傍の拡大図である。
【0548】
図４８及び図４９に示すトランジスタ２００Ｆは、層２５２ａの一部、および層２５２ｂの一部が導電体２６０と重畳している点において、図３９に示すトランジスタ２００Ｅと異なる。図４９に示すように、層２５２ａの一部、および層２５２ｂの一部は、領域２３２ａ及び領域２３２ｂに形成されており、導電体２６０と重畳している。層２５２の導電体２６０と重畳する部分を形成することで、酸化物２３０のチャネル形成領域とソース領域またはドレイン領域との間に、オフセット領域が形成されるのをより確実に防ぎ、実効的なチャネル長が導電体２６０の幅より大きくなるのを抑制することができる。これにより、トランジスタ２００Ｆのオン電流を大きくし、Ｓ値を良好にすることができる。
【0549】
上記の通り、絶縁膜２５４Ａの膜厚によって、層２５２の中で層２５３が形成されていない部分（図４９に示す領域２３２ａおよび領域２３２ｂに相当する。）のチャネル長方向の長さを制御することができる。よって、層２５２ａの一部、および層２５２ｂの一部を導電体２６０と重畳させる場合、絶縁膜２５４Ａの膜厚を大きくすればよい。例えば、絶縁膜２５４Ａの膜厚を、酸化膜２３０Ｃと絶縁膜２５０Ａの膜厚の和より大きくすればよい。
【0550】
以上、本実施の形態に示す構成、構造、方法などは、他の実施の形態など示す構成、構造、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【0551】
（実施の形態４）
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置について、説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置について、説明する。
【0552】
図５０（Ａ）に示す表示装置は、画素部５０２と、駆動回路部５０４と、保護回路５０６と、端子部５０７と、を有する。なお、保護回路５０６は、設けない構成としてもよい。
【0553】
画素部５０２や駆動回路部５０４が有するトランジスタに、本発明の一態様のトランジスタを適用することができる。また保護回路５０６にも、本発明の一態様のトランジスタを適用してもよい。
【0554】
画素部５０２は、Ｘ行Ｙ列（Ｘ、Ｙはそれぞれ独立に２以上の自然数）に配置された複数の表示素子を駆動する複数の画素回路５０１を有する。
【0555】
駆動回路部５０４は、ゲート線ＧＬ＿１乃至ＧＬ＿Ｘに走査信号を出力するゲートドライバ５０４ａ、データ線ＤＬ＿１乃至ＤＬ＿Ｙにデータ信号を供給するソースドライバ５０４ｂなどの駆動回路を有する。ゲートドライバ５０４ａは、少なくともシフトレジスタを有する構成とすればよい。またソースドライバ５０４ｂは、例えば複数のアナログスイッチなどを用いて構成される。また、シフトレジスタなどを用いてソースドライバ５０４ｂを構成してもよい。
【0556】
端子部５０７は、外部の回路から表示装置に電源、制御信号、及び画像信号等を入力するための端子が設けられた部分をいう。
【0557】
保護回路５０６は、自身が接続する配線に一定の範囲外の電位が与えられたときに、該配線と別の配線とを導通状態にする回路である。図５０（Ａ）に示す保護回路５０６は、例えば、ゲートドライバ５０４ａと画素回路５０１の間の配線である走査線ＧＬ、またはソースドライバ５０４ｂと画素回路５０１の間の配線であるデータ線ＤＬ等の各種配線に接続される。
【0558】
また、ゲートドライバ５０４ａとソースドライバ５０４ｂは、それぞれ画素部５０２と同じ基板上に設けられていてもよいし、ゲートドライバ回路またはソースドライバ回路が別途形成された基板（例えば、単結晶半導体膜、多結晶半導体膜で形成された駆動回路基板）をＣＯＧやＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）によって基板に実装する構成としてもよい。
【0559】
【0560】
図５０（Ｂ）に示す画素回路５０１は、液晶素子５７０と、トランジスタ５５０と、容量素子５６０と、を有する。また画素回路５０１には、データ線ＤＬ＿ｎ、走査線ＧＬ＿ｍ、電位供給線ＶＬ等が接続されている。
【0561】
液晶素子５７０の一対の電極の一方の電位は、画素回路５０１の仕様に応じて適宜設定される。液晶素子５７０は、書き込まれるデータにより配向状態が設定される。なお、複数の画素回路５０１のそれぞれが有する液晶素子５７０の一対の電極の一方に共通の電位（コモン電位）を与えてもよい。また、各行の画素回路５０１の液晶素子５７０の一対の電極の一方に異なる電位を与えてもよい。
【0562】
また、図５０（Ｃ）に示す画素回路５０１は、トランジスタ５５２と、トランジスタ５５４と、容量素子５６２と、発光素子５７２と、を有する。また画素回路５０１には、データ線ＤＬ＿ｎ、走査線ＧＬ＿ｍ、電位供給線ＶＬ＿ａ、電位供給線ＶＬ＿ｂ等が接続されている。
【0563】
なお、電位供給線ＶＬ＿ａ及び電位供給線ＶＬ＿ｂの一方には、高電源電位ＶＤＤが与えられ、他方には、低電源電位ＶＳＳが与えられる。トランジスタ５５４のゲートに与えられる電位に応じて、発光素子５７２に流れる電流が制御されることにより、発光素子５７２からの発光輝度が制御される。
【0564】
図５０（Ｃ）に示した画素回路５０１中のトランジスタ５５４として、ｎチャネル型のトランジスタを用いる例を、図５１（Ａ）に示す。図５１（Ａ）に示す画素回路５０１は、トランジスタ５５２と、トランジスタ５５４ａと、容量素子５６２と、発光素子５７２ａと、を有する。トランジスタ５５２はｎチャネル型のトランジスタ、トランジスタ５５４ａはｎチャネル型のトランジスタである。例えば、トランジスタ５５２として、先の実施の形態に示したチャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタを適用し、トランジスタ５５４ａとしてチャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタを適用できる。
【0565】
また、例えば、トランジスタ５５２及びトランジスタ５５４ａとして、先の実施の形態に示したチャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタを適用できる。このような構成とすることで、トランジスタが画素内で占める面積が小さくなり、極めて高精細な画像を表示することができる。
【0566】
図５１（Ａ）に示す画素回路５０１において、トランジスタ５５２のソースまたはドレインの一方は、データ線ＤＬ＿ｎと電気的に接続される。トランジスタ５５２のソースまたはドレインの他方は、容量素子５６２の一方の電極、およびトランジスタ５５４ａのゲートと電気的に接続される。容量素子５６２の他方の電極は、電位供給線ＶＬ＿ａと電気的に接続される。トランジスタ５５２のゲートは、走査線ＧＬ＿ｍと電気的に接続される。トランジスタ５５４ａのソースまたはドレインの一方は、電位供給線ＶＬ＿ａと電気的に接続される。トランジスタ５５４ａのソースまたはドレインの他方は、発光素子５７２ａの一方の電極と電気的に接続される。発光素子５７２ａの他方の電極は、電位供給線ＶＬ＿ｂと電気的に接続される。電位供給線ＶＬ＿ａには低電源電位ＶＳＳが与えられ、電位供給線ＶＬ＿ｂには高電源電位ＶＤＤが与えられる。
【0567】
図５１（Ａ）に示す画素回路５０１と異なる構成を図５１（Ｂ）に示す。図５１（Ｂ）に示す画素回路５０１において、トランジスタ５５２のソースまたはドレインの一方は、データ線ＤＬ＿ｎと電気的に接続される。トランジスタ５５２のソースまたはドレインの他方は、容量素子５６２の一方の電極、およびトランジスタ５５４ａのゲートと電気的に接続される。トランジスタ５５２のゲートは、走査線ＧＬ＿ｍと電気的に接続される。トランジスタ５５４ａのソースまたはドレインの一方は、電位供給線ＶＬ＿ａと電気的に接続される。トランジスタ５５４ａのソースまたはドレインの他方は、容量素子５６２の他方の電極、および発光素子５７２ａの一方の電極と電気的に接続される。発光素子５７２ａの他方の電極は、電位供給線ＶＬ＿ｂと電気的に接続される。電位供給線ＶＬ＿ａには高電源電位ＶＤＤが与えられ、電位供給線ＶＬ＿ｂには低電源電位ＶＳＳが与えられる。
【0568】
図５０（Ｃ）に示した画素回路５０１中のトランジスタ５５４として、ｐチャネル型のトランジスタを用いる例を、図５１（Ｃ）に示す。図５１（Ｃ）に示す画素回路５０１は、トランジスタ５５２と、トランジスタ５５４ｂと、容量素子５６２と、発光素子５７２ａと、を有する。トランジスタ５５２はｎチャネル型のトランジスタ、トランジスタ５５４ｂはｐチャネル型のトランジスタである。例えば、トランジスタ５５２として、先の実施の形態に示したチャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタを適用し、トランジスタ５５４ｂとして、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタを適用できる。
【0569】
図５１（Ｃ）に示す画素回路５０１において、トランジスタ５５２のソースまたはドレインの一方は、データ線ＤＬ＿ｎと電気的に接続される。トランジスタ５５２のソースまたはドレインの他方は、容量素子５６２の一方の電極、およびトランジスタ５５４ｂのゲートと電気的に接続される。容量素子５６２の他方の電極は、電位供給線ＶＬ＿ａと電気的に接続される。トランジスタ５５２のゲートは、走査線ＧＬ＿ｍと電気的に接続される。トランジスタ５５４ｂのソースまたはドレインの一方は、電位供給線ＶＬ＿ａと電気的に接続される。トランジスタ５５４ａのソースまたはドレインの他方は、発光素子５７２ａの一方の電極と電気的に接続される。発光素子５７２ａの他方の電極は、電位供給線ＶＬ＿ｂと電気的に接続される。電位供給線ＶＬ＿ａには高電源電位ＶＤＤが与えられ、電位供給線ＶＬ＿ｂには低電源電位ＶＳＳが与えられる。
【0570】
本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、または図面等と適宜組み合わせて実施することができる。
【0571】
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【0572】
（実施の形態５）
画素に表示される階調を補正するためのメモリを備える画素回路と、これを有する表示装置について説明する。先の実施の形態で例示したトランジスタは、以下で例示する画素回路に用いられるトランジスタに適用することができる。
画素に表示される階調を補正するためのメモリを備える画素回路と、これを有する表示装置について説明する。先の実施の形態で例示したトランジスタは、以下で例示する画素回路に用いられるトランジスタに適用することができる。
【0573】
＜回路構成＞
図５２（Ａ）に、画素回路４００の回路図を示す。画素回路４００は、トランジスタＭ１、トランジスタＭ２、容量Ｃ１、及び回路４０１を有する。また画素回路４００には、配線Ｓ１、配線Ｓ２、配線Ｇ１、及び配線Ｇ２が接続される。
図５２（Ａ）に、画素回路４００の回路図を示す。画素回路４００は、トランジスタＭ１、トランジスタＭ２、容量Ｃ１、及び回路４０１を有する。また画素回路４００には、配線Ｓ１、配線Ｓ２、配線Ｇ１、及び配線Ｇ２が接続される。
【0574】
トランジスタＭ１は、ゲートが配線Ｇ１と、ソース及びドレインの一方が配線Ｓ１と、他方が容量Ｃ１の一方の電極と、それぞれ接続する。トランジスタＭ２は、ゲートが配線Ｇ２と、ソース及びドレインの一方が配線Ｓ２と、他方が容量Ｃ１の他方の電極、及び回路４０１と、それぞれ接続する。
【0575】
回路４０１は、少なくとも一の表示素子を含む回路である。表示素子としては様々な素子を用いることができるが、代表的には有機発光素子やＬＥＤ素子などの発光素子、液晶素子、またはＭＥＭＳ素子等を適用することができる。
【0576】
トランジスタＭ１と容量Ｃ１とを接続するノードをＮ１、トランジスタＭ２と回路４０１とを接続するノードをＮ２とする。
【0577】
画素回路４００は、トランジスタＭ１をオフ状態とすることで、ノードＮ１の電位を保持することができる。また、トランジスタＭ２をオフ状態とすることで、ノードＮ２の電位を保持することができる。また、トランジスタＭ２をオフ状態とした状態で、トランジスタＭ１を介してノードＮ１に所定の電位を書き込むことで、容量Ｃ１を介した容量結合により、ノードＮ１の電位の変位に応じてノードＮ２の電位を変化させることができる。
【0578】
ここで、トランジスタＭ１、トランジスタＭ２のうちの一方または両方に、前述の実施の形態で例示した、酸化物半導体が適用されたトランジスタを適用することができる。そのため極めて低いオフ電流により、ノードＮ１及びノードＮ２の電位を長期間に亘って保持することができる。なお、各ノードの電位を保持する期間が短い場合（具体的には、フレーム周波数が３０Ｈｚ以上である場合等）には、シリコン等の半導体を適用したトランジスタを用いてもよい。
【0579】
＜駆動方法例＞
続いて、図５２（Ｂ）を用いて、画素回路４００の動作方法の一例を説明する。図５２（Ｂ）は、画素回路４００の動作に係るタイミングチャートである。なおここでは説明を容易にするため、配線抵抗などの各種抵抗や、トランジスタや配線などの寄生容量、及びトランジスタのしきい値電圧などの影響は考慮しない。
続いて、図５２（Ｂ）を用いて、画素回路４００の動作方法の一例を説明する。図５２（Ｂ）は、画素回路４００の動作に係るタイミングチャートである。なおここでは説明を容易にするため、配線抵抗などの各種抵抗や、トランジスタや配線などの寄生容量、及びトランジスタのしきい値電圧などの影響は考慮しない。
【0580】
図５２（Ｂ）に示す動作では、１フレーム期間を期間Ｔ１と期間Ｔ２とに分ける。期間Ｔ１はノードＮ２に電位を書き込む期間であり、期間Ｔ２はノードＮ１に電位を書き込む期間である。
【0581】
〔期間Ｔ１〕
期間Ｔ１では、配線Ｇ１と配線Ｇ２の両方に、トランジスタをオン状態にする電位を与える。また、配線Ｓ１には固定電位である電位Ｖｒｅｆを供給し、配線Ｓ２には第１データ電位Ｖｗを供給する。
期間Ｔ１では、配線Ｇ１と配線Ｇ２の両方に、トランジスタをオン状態にする電位を与える。また、配線Ｓ１には固定電位である電位Ｖｒｅｆを供給し、配線Ｓ２には第１データ電位Ｖｗを供給する。
【0582】
ノードＮ１には、トランジスタＭ１を介して配線Ｓ１から電位Ｖｒｅｆが与えられる。また、ノードＮ２には、トランジスタＭ２を介して第１データ電位Ｖｗが与えられる。したがって、容量Ｃ１には電位差Ｖｗ－Ｖｒｅｆが保持された状態となる。
【0583】
〔期間Ｔ２〕
続いて期間Ｔ２では、配線Ｇ１にはトランジスタＭ１をオン状態とする電位を与え、配線Ｇ２にはトランジスタＭ２をオフ状態とする電位を与える。また、配線Ｓ１には第２データ電位Ｖｄａｔａを供給する。配線Ｓ２には所定の定電位を与える、またはフローティングとしてもよい。
続いて期間Ｔ２では、配線Ｇ１にはトランジスタＭ１をオン状態とする電位を与え、配線Ｇ２にはトランジスタＭ２をオフ状態とする電位を与える。また、配線Ｓ１には第２データ電位Ｖｄａｔａを供給する。配線Ｓ２には所定の定電位を与える、またはフローティングとしてもよい。
【0584】
ノードＮ１には、トランジスタＭ１を介して第２データ電位Ｖｄａｔａが与えられる。このとき、容量Ｃ１による容量結合により、第２データ電位Ｖｄａｔａに応じてノードＮ２の電位が電位ｄＶだけ変化する。すなわち、回路４０１には、第１データ電位Ｖｗと電位ｄＶを足した電位が入力されることとなる。なお、図５２（Ｂ）ではｄＶが正の値であるように示しているが、負の値であってもよい。すなわち、電位Ｖｄａｔａが電位Ｖｒｅｆより低くてもよい。
【0585】
ここで、電位ｄＶは、容量Ｃ１の容量値と、回路４０１の容量値によって概ね決定される。容量Ｃ１の容量値が回路４０１の容量値よりも十分に大きい場合、電位ｄＶは第２データ電位Ｖｄａｔａに近い電位となる。
【0586】
このように、画素回路４００は、２種類のデータ信号を組み合わせて表示素子を含む回路４０１に供給する電位を生成することができるため、画素回路４００内で階調の補正を行うことが可能となる。
【0587】
また画素回路４００は、配線Ｓ１及び配線Ｓ２に供給可能な最大電位を超える電位を生成することも可能となる。例えば発光素子を用いた場合では、ハイダイナミックレンジ（ＨＤＲ）表示等を行うことができる。また、液晶素子を用いた場合では、オーバードライブ駆動等を実現できる。
【0588】
【0589】
液晶素子ＬＣは、一方の電極がノードＮ２及び容量Ｃ２の一方の電極と、他方の電極が電位Ｖｃｏｍ２が与えられる配線と接続する。容量Ｃ２は、他方の電極が電位Ｖｃｏｍ１が与えられる配線と接続する。
【0590】
容量Ｃ２は保持容量として機能する。なお、容量Ｃ２は不要であれば省略することができる。
【0591】
画素回路４００ＬＣは、液晶素子ＬＣに高い電圧を供給することができるため、例えばオーバードライブ駆動により高速な表示を実現すること、駆動電圧の高い液晶材料を適用することなどができる。また、配線Ｓ１または配線Ｓ２に補正信号を供給することで、使用温度や液晶素子ＬＣの劣化状態等に応じて階調を補正することもできる。
【0592】
〔発光素子を用いた例〕
図５２（Ｄ）に示す画素回路４００ＥＬは、回路４０１ＥＬを有する。回路４０１ＥＬは、発光素子ＥＬ、トランジスタＭ３、及び容量Ｃ２を有する。
図５２（Ｄ）に示す画素回路４００ＥＬは、回路４０１ＥＬを有する。回路４０１ＥＬは、発光素子ＥＬ、トランジスタＭ３、及び容量Ｃ２を有する。
【0593】
トランジスタＭ３は、ゲートがノードＮ２及び容量Ｃ２の一方の電極と、ソース及びドレインの一方が電位ＶＨが与えられる配線と、他方が発光素子ＥＬの一方の電極と、それぞれ接続される。容量Ｃ２は、他方の電極が電位Ｖｃｏｍが与えられる配線と接続する。発光素子ＥＬは、他方の電極が電位ＶＬが与えられる配線と接続する。
【0594】
トランジスタＭ３は、発光素子ＥＬに供給する電流を制御する機能を有する。容量Ｃ２は保持容量として機能する。容量Ｃ２は不要であれば省略することができる。
【0595】
なお、ここでは発光素子ＥＬのアノード側がトランジスタＭ３と接続する構成を示しているが、カソード側にトランジスタＭ３を接続してもよい。そのとき、電位ＶＨと電位ＶＬの値を適宜変更することができる。
【0596】
画素回路４００ＥＬは、トランジスタＭ３のゲートに高い電位を与えることで、発光素子ＥＬに大きな電流を流すことができるため、例えばＨＤＲ表示などを実現することができる。また、また、配線Ｓ１または配線Ｓ２に補正信号を供給することで、トランジスタＭ３や発光素子ＥＬの電気特性のばらつきの補正を行うこともできる。
【0597】
【0598】
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【0599】
（実施の形態６）
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置に用いることができる発光素子について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置に用いることができる発光素子について説明する。
【0600】
≪発光素子の基本的な構造≫
図５３（Ａ）には、一対の電極間にＥＬ層を挟んでなる発光素子を示す。具体的には、第１の電極１１０１と第２の電極１１０２との間に発光層を含むＥＬ層１１０３が挟まれた構造を有する。
図５３（Ａ）には、一対の電極間にＥＬ層を挟んでなる発光素子を示す。具体的には、第１の電極１１０１と第２の電極１１０２との間に発光層を含むＥＬ層１１０３が挟まれた構造を有する。
【0601】
図５３（Ｂ）には、一対の電極間に複数（図５３（Ｂ）では、２層）のＥＬ層（１１０３ａ、１１０３ｂ）を有し、ＥＬ層の間に電荷発生層１１０４を挟んでなる積層構造（タンデム構造）の発光素子を示す。このようなタンデム構造の発光素子は、低電圧駆動が可能で消費電力が低い発光装置を実現することができる。
【0602】
なお、電荷発生層１１０４は、第１の電極１１０１と第２の電極１１０２に電圧を印加したときに、一方のＥＬ層（１１０３ａまたは１１０３ｂ）に電子を注入し、他方のＥＬ層（１１０３ｂまたは１１０３ａ）に正孔を注入する機能を有する。従って、図５３（Ｂ）において、第１の電極１１０１に第２の電極１１０２よりも電位が高くなるように電圧を印加すると、電荷発生層１１０４からＥＬ層１１０３ａに電子が注入され、ＥＬ層１１０３ｂに正孔が注入される。
【0603】
電荷発生層１１０４は、光の取り出し効率の点から、可視光に対して透光性を有する（具体的には、電荷発生層１１０４に対する可視光の透過率が、４０％以上）ことが好ましい。また、電荷発生層１１０４は、第１の電極１１０１や第２の電極１１０２よりも低い導電率であっても機能する。
【0604】
図５３（Ｃ）には、ＥＬ層１１０３の積層構造について示す。図５３（Ｃ）において、第１の電極１１０１が陽極として機能する場合、ＥＬ層１１０３は、第１の電極１１０１上に、正孔（ホール）注入層１１１１、正孔（ホール）輸送層１１１２、発光層１１１３、電子輸送層１１１４、電子注入層１１１５が順次積層された構造を有する。図５３（Ｂ）に示すタンデム構造のように複数のＥＬ層を有する場合も、各ＥＬ層が、陽極側から上記のように順次積層される構造とする。なお、第１の電極１１０１が陰極で、第２の電極１１０２が陽極の場合は、積層順は逆になる。
【0605】
ＥＬ層（１１０３、１１０３ａ、１１０３ｂ）に含まれる発光層１１１３は、それぞれ発光物質や複数の物質を適宜組み合わせて有しており、所望の発光色を呈する蛍光発光や燐光発光が得られる構成とすることができる。また、発光層１１１３を発光色の異なる積層構造としてもよい。なお、この場合、積層された各発光層に用いる発光物質やその他の物質は、それぞれ異なる材料を用いればよい。また、図５３（Ｂ）に示す複数のＥＬ層（１１０３ａ、１１０３ｂ）から、それぞれ異なる発光色が得られる構成としてもよい。この場合も各発光層に用いる発光物質やその他の物質を異なる材料とすればよい。
【0606】
また、発光素子において、ＥＬ層（１１０３、１１０３ａ、１１０３ｂ）で得られた発光を両電極間で共振させることにより、得られる発光を強める構成としてもよい。例えば、図５３（Ｃ）において、第１の電極１１０１を反射電極とし、第２の電極１１０２を半透過・半反射電極とすることにより微小光共振器（マイクロキャビティ）構造を形成し、ＥＬ層１１０３から得られる発光を強めることができる。
【0607】
なお、発光素子の第１の電極１１０１が、反射性を有する導電性材料と透光性を有する導電性材料（透明導電膜）との積層構造からなる反射電極である場合、透明導電膜の膜厚を制御することにより光学調整を行うことができる。具体的には、発光層１１１３から得られる光の波長λに対して、第１の電極１１０１と、第２の電極１１０２との電極間距離がｍλ／２（ただし、ｍは自然数）近傍となるように調整するのが好ましい。
【0608】
また、発光層１１１３から得られる所望の光（波長：λ）を増幅させるために、第１の電極１１０１から発光層１１１３の所望の光が得られる領域（発光領域）までの光学距離と、第２の電極１１０２から発光層１１１３の所望の光が得られる領域（発光領域）までの光学距離と、をそれぞれ（２ｍ’＋１）λ／４（ただし、ｍ’は自然数）近傍となるように調節するのが好ましい。なお、ここでいう発光領域とは、発光層１１１３における正孔（ホール）と電子との再結合領域を示す。
【0609】
このような光学調整を行うことにより、発光層１１１３から得られる特定の単色光のスペクトルを狭線化させ、色純度の良い発光を得ることができる。
【0610】
但し、上記の場合、第１の電極１１０１と第２の電極１１０２との光学距離は、厳密には第１の電極１１０１における反射領域から第２の電極１１０２における反射領域までの総厚ということができる。しかし、第１の電極１１０１や第２の電極１１０２における反射領域を厳密に決定することは困難であるため、第１の電極１１０１と第２の電極１１０２の任意の位置を反射領域と仮定することで充分に上述の効果を得ることができるものとする。また、第１の電極１１０１と、所望の光が得られる発光層との光学距離は、厳密には第１の電極１１０１における反射領域と、所望の光が得られる発光層における発光領域との光学距離であるということができる。しかし、第１の電極１１０１における反射領域や、所望の光が得られる発光層における発光領域を厳密に決定することは困難であるため、第１の電極１１０１の任意の位置を反射領域、所望の光が得られる発光層の任意の位置を発光領域と仮定することで充分に上述の効果を得ることができるものとする。
【0611】
図５３（Ｃ）に示す発光素子が、マイクロキャビティ構造を有する場合、ＥＬ層が共通であっても異なる波長の光（単色光）を取り出すことができる。従って、異なる発光色を得るための塗り分け（例えば、ＲＧＢ）が不要となり、高精細化が可能となる。また、着色層（カラーフィルタ）との組み合わせも可能である。また、特定波長の正面方向の発光強度を強めることが可能なため、低消費電力化を図ることができる。
【0612】
なお、第１の電極１１０１と第２の電極１１０２の少なくとも一方は、透光性を有する電極（透明電極、半透過・半反射電極など）とする。透光性を有する電極が透明電極の場合、透明電極の可視光の透過率は、４０％以上とする。また、半透過・半反射電極の場合、半透過・半反射電極の可視光の反射率は、２０％以上８０％以下、好ましくは４０％以上７０％以下とする。また、これらの電極は、抵抗率が１×１０－２Ωｃｍ以下とするのが好ましい。
【0613】
また、第１の電極１１０１と第２の電極１１０２の一方が、反射性を有する電極（反射電極）である場合、反射性を有する電極の可視光の反射率は、４０％以上１００％以下、好ましくは７０％以上１００％以下とする。また、この電極は、抵抗率が１×１０－２Ωｃｍ以下とするのが好ましい。
【0614】
【0615】
＜第１の電極および第２の電極＞
第１の電極１１０１および第２の電極１１０２を形成する材料としては、上述した素子構造における両電極の機能が満たせるのであれば、以下に示す材料を適宜組み合わせて用いることができる。例えば、金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを適宜用いることができる。
第１の電極１１０１および第２の電極１１０２を形成する材料としては、上述した素子構造における両電極の機能が満たせるのであれば、以下に示す材料を適宜組み合わせて用いることができる。例えば、金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを適宜用いることができる。
【0616】
図５３に示す発光素子において、図５３（Ｃ）のように積層構造を有するＥＬ層１１０３を有し、第１の電極１１０１が陽極である場合、第１の電極１１０１上にＥＬ層１１０３の正孔注入層１１１１、正孔輸送層１１１２が真空蒸着法により順次積層形成される。また、図５３（Ｄ）のように、積層構造を有する複数のＥＬ層（１１０３ａ、１１０３ｂ）が電荷発生層１１０４を挟んで積層され、第１の電極１１０１が陽極である場合、第１の電極１１０１上にＥＬ層１１０３ａの正孔注入層１１１１ａ、正孔輸送層１１１２ａが真空蒸着法により順次積層形成されるだけでなく、ＥＬ層１１０３ａ、電荷発生層１１０４が順次積層形成された後、電荷発生層１１０４上にＥＬ層１１０３ｂの正孔注入層１１１１ｂ、正孔輸送層１１１２ｂが同様に順次積層形成される。
【0617】
＜正孔注入層および正孔輸送層＞
正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）は、陽極である第１の電極１１０１や電荷発生層（１１０４）からＥＬ層（１１０３、１１０３ａ、１１０３ｂ）に正孔（ホール）を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。
正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）は、陽極である第１の電極１１０１や電荷発生層（１１０４）からＥＬ層（１１０３、１１０３ａ、１１０３ｂ）に正孔（ホール）を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。
【0618】
正孔注入性の高い材料としては、モリブデン酸化物やバナジウム酸化物等の遷移金属酸化物が挙げられる。この他、フタロシアニン（略称：Ｈ２Ｐｃ）や銅フタロシアニン（略称：ＣｕＰｃ）等のフタロシアニン系の化合物、等を用いることができる。また、低分子化合物である、４，４’，４’’－トリス（Ｎ，Ｎ－ジフェニルアミノ）トリフェニルアミン（略称：ＴＤＡＴＡ）等の芳香族アミン化合物、等を用いることができる。また、高分子化合物（オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等）である、ポリ（Ｎ－ビニルカルバゾール）（略称：ＰＶＫ）、ポリ（４－ビニルトリフェニルアミン）（略称：ＰＶＴＰＡ）等を用いることができる。または、ポリ（３，４－エチレンジオキシチオフェン）／ポリ（スチレンスルホン酸）（略称：ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）等の酸を添加した高分子系化合物、等を用いることもできる。
【0619】
また、正孔注入性の高い材料としては、正孔輸送性材料とアクセプター性材料（電子受容性材料）を含む複合材料を用いることもできる。この場合、アクセプター性材料により正孔輸送性材料から電子が引き抜かれて正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）で正孔が発生し、正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）を介して発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）に正孔が注入される。なお、正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）は、正孔輸送性材料とアクセプター性材料（電子受容性材料）を含む複合材料からなる単層で形成しても良いが、正孔輸送性材料とアクセプター性材料（電子受容性材料）とをそれぞれ別の層で積層して形成してもよい。
【0620】
正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）は、正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）によって、第１の電極１１０１や電荷発生層１１０４から注入された正孔を発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）に輸送する層である。なお、正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）に用いる正孔輸送性材料は、特に正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）のＨＯＭＯ準位と同じ、あるいは近いＨＯＭＯ準位を有するものを用いることが好ましい。
【0621】
正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）に用いるアクセプター性材料としては、元素周期表における第４族乃至第８族に属する金属の酸化物を用いることができる。具体的には、酸化モリブデン、酸化バナジウム等が挙げられる。中でも特に、酸化モリブデンは大気中でも安定であり、吸湿性が低く、扱いやすいため好ましい。その他、キノジメタン誘導体やクロラニル誘導体などの有機アクセプターを用いることができる。特に、２，３，６，７，１０，１１－ヘキサシアノ－１，４，５，８，９，１２－ヘキサアザトリフェニレン（略称：ＨＡＴ－ＣＮ）のように複素原子を複数有する縮合芳香環に電子吸引基が結合している化合物が、熱的に安定であり好ましい。また、電子吸引基（特にフルオロ基のようなハロゲン基やシアノ基）を有する［３］ラジアレン誘導体は、電子受容性が非常に高いため好ましい。
【0622】
正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）および正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）に用いる正孔輸送性材料としては、１×１０－６ｃｍ２／Ｖｓ以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いることができる。
【0623】
正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物（例えばカルバゾール骨格を有する化合物やフラン骨格を有する化合物）や芳香族アミン骨格を有する化合物等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。さらに、ポリ（Ｎ－ビニルカルバゾール）（略称：ＰＶＫ）などの高分子化合物を用いることもできる。
【0624】
但し、正孔輸送性材料は、上記に限られることなく公知の様々な材料を１種または複数種組み合わせて正孔輸送性材料として正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）および正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）に用いることができる。なお、正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）は、各々複数の層から形成されていてもよい。すなわち、例えば第１の正孔輸送層と第２の正孔輸送層とが積層されていてもよい。
【0625】
図５３（Ｄ）に示す発光素子において、ＥＬ層１１０３ａの正孔輸送層１１１２ａ上に発光層１１１３ａが真空蒸着法により形成される。また、ＥＬ層１１０３ａおよび電荷発生層１１０４が形成された後、ＥＬ層１１０３ｂの正孔輸送層１１１２ｂ上に発光層１１１３ｂが真空蒸着法により形成される。
【0626】
＜発光層＞
発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）は、発光物質を含む層である。なお、発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、複数の発光層（１１１３ａ、１１１３ｂ）に異なる発光物質を用いることにより異なる発光色を呈する構成（例えば、補色の関係にある発光色を組み合わせて得られる白色発光）とすることができる。さらに、一つの発光層が異なる発光物質を有する積層構造であってもよい。
発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）は、発光物質を含む層である。なお、発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、複数の発光層（１１１３ａ、１１１３ｂ）に異なる発光物質を用いることにより異なる発光色を呈する構成（例えば、補色の関係にある発光色を組み合わせて得られる白色発光）とすることができる。さらに、一つの発光層が異なる発光物質を有する積層構造であってもよい。
【0627】
また、発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）は、発光物質（ゲスト材料）に加えて、１種または複数種の有機化合物（ホスト材料、アシスト材料）を有していてもよい。
【0628】
発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）に用いることができる発光物質としては、特に限定は無く、一重項励起エネルギーを可視光領域の発光に変える発光物質、または三重項励起エネルギーを可視光領域の発光に変える発光物質を用いることができる。なお、上記発光物質としては、例えば、以下のようなものが挙げられる。
【0629】
一重項励起エネルギーを発光に変える発光物質としては、蛍光を発する物質（蛍光材料）が挙げられ、例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、ナフタレン誘導体などが挙げられる。特にピレン誘導体は発光量子収率が高いので好ましい。
【0630】
また、三重項励起エネルギーを発光に変える発光物質としては、例えば、燐光を発する物質（燐光材料）や熱活性化遅延蛍光を示す熱活性化遅延蛍光（Ｔｈｅｒｍａｌｌｙ ａｃｔｉｖａｔｅｄ ｄｅｌａｙｅｄ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ：ＴＡＤＦ）材料が挙げられる。
【0631】
燐光材料としては、有機金属錯体、金属錯体（白金錯体）、希土類金属錯体等が挙げられる。これらは、物質ごとに異なる発光色（発光ピーク）を示すため、必要に応じて適宜選択して用いる。
【0632】
青色または緑色を呈し、発光スペクトルのピーク波長が４５０ｎｍ以上５７０ｎｍ以下である燐光材料としては、以下のような物質が挙げられる。例えば、トリス｛２－［５－（２－メチルフェニル）－４－（２，６－ジメチルフェニル）－４Ｈ－１，２，４－トリアゾール－３－イル－κＮ２］フェニル－κＣ｝イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（ｍｐｐｔｚ－ｄｍｐ）３］）のような４Ｈ－トリアゾール骨格を有する有機金属錯体、トリス［３－メチル－１－（２－メチルフェニル）－５－フェニル－１Ｈ－１，２，４－トリアゾラト］イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（Ｍｐｔｚ１－ｍｐ）３］）のような１Ｈ－トリアゾール骨格を有する有機金属錯体、ｆａｃ－トリス［１－（２，６－ジイソプロピルフェニル）－２－フェニル－１Ｈ－イミダゾール］イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（ｉＰｒｐｍｉ）３］）のようなイミダゾール骨格を有する有機金属錯体、ビス［２－（４’，６’－ジフルオロフェニル）ピリジナト－Ｎ，Ｃ２’］イリジウム（ＩＩＩ）テトラキス（１－ピラゾリル）ボラート（略称：ＦＩｒ６）のように電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体等が挙げられる。
【0633】
緑色または黄色を呈し、発光スペクトルのピーク波長が４９５ｎｍ以上５９０ｎｍ以下である燐光材料としては、以下のような物質が挙げられる。例えば、トリス（４－メチル－６－フェニルピリミジナト）イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（ｍｐｐｍ）３］）のようなピリミジン骨格を有する有機金属錯体、（アセチルアセトナト）ビス（３，５－ジメチル－２－フェニルピラジナト）イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（ｍｐｐｒ－Ｍｅ）２（ａｃａｃ）］）のようなピラジン骨格を有する有機金属錯体、トリス（２－フェニルピリジナト－Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（ｐｐｙ）３］）のようなピリジン骨格を有する有機金属錯体、ビス（２，４－ジフェニル－１，３－オキサゾラト－Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（ＩＩＩ）アセチルアセトナート（略称：［Ｉｒ（ｄｐｏ）２（ａｃａｃ）］）などの有機金属錯体の他、トリス（アセチルアセトナト）（モノフェナントロリン）テルビウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｔｂ（ａｃａｃ）３（Ｐｈｅｎ）］）のような希土類金属錯体が挙げられる。
【0634】
黄色または赤色を呈し、発光スペクトルのピーク波長が５７０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下である燐光材料としては、以下のような物質が挙げられる。例えば、（ジイソブチリルメタナト）ビス［４，６－ビス（３－メチルフェニル）ピリミジナト］イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（５ｍｄｐｐｍ）２（ｄｉｂｍ）］）のようなピリミジン骨格を有する有機金属錯体、（アセチルアセトナト）ビス（２，３，５－トリフェニルピラジナト）イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（ｔｐｐｒ）２（ａｃａｃ）］）のようなピラジン骨格を有する有機金属錯体や、トリス（１－フェニルイソキノリナト－Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｉｒ（ｐｉｑ）３］）、ビス（１－フェニルイソキノリナト－Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（ＩＩＩ）アセチルアセトナート（略称：［Ｉｒ（ｐｉｑ）２（ａｃａｃ）］）のようなピリジン骨格を有する有機金属錯体、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８－オクタエチル－２１Ｈ，２３Ｈ－ポルフィリン白金（ＩＩ）（略称：［ＰｔＯＥＰ］）のような白金錯体、トリス（１，３－ジフェニル－１，３－プロパンジオナト）（モノフェナントロリン）ユーロピウム（ＩＩＩ）（略称：［Ｅｕ（ＤＢＭ）３（Ｐｈｅｎ）］）のような希土類金属錯体が挙げられる。
【0635】
発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）に用いる有機化合物（ホスト材料、アシスト材料）としては、発光物質（ゲスト材料）のエネルギーギャップより大きなエネルギーギャップを有する物質を、一種もしくは複数種選択して用いればよい。なお、上述した正孔輸送性材料として挙げたものや、後述する電子輸送性材料として挙げられる材料をこのような有機化合物（ホスト材料、アシスト材料）として用いることもできる。
【0636】
発光物質が蛍光材料である場合、ホスト材料としては一重項励起状態のエネルギー準位が大きく、三重項励起状態のエネルギー準位が小さい有機化合物を用いるのが好ましい。例えば、アントラセン誘導体やテトラセン誘導体なども好適である。
【0637】
発光物質が燐光材料である場合、ホスト材料としては発光物質の三重項励起エネルギー（基底状態と三重項励起状態とのエネルギー差）よりも三重項励起エネルギーの大きい有機化合物を選択すれば良い。例えば、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、ピレン誘導体、クリセン誘導体、ジベンゾ［ｇ，ｐ］クリセン誘導体等の縮合多環芳香族化合物なども好適である。
【0638】
また、発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）に複数の有機化合物を用いる場合、励起錯体を形成する化合物を燐光発光物質と混合して用いることが好ましい。なお、このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質へのエネルギー移動であるＥｘＴＥＴ（Ｅｘｃｉｐｌｅｘ－Ｔｒｉｐｌｅｔ Ｅｎｅｒｇｙ Ｔｒａｎｓｆｅｒ）を用いた発光を得ることができる。この場合、様々な有機化合物を適宜組み合わせて用いることができるが、効率よく励起錯体を形成するためには、正孔を受け取りやすい化合物（正孔輸送性材料）と、電子を受け取りやすい化合物（電子輸送性材料）とを組み合わせることが特に好ましい。
【0639】
ＴＡＤＦ材料とは、三重項励起状態をわずかな熱エネルギーによって一重項励起状態にアップコンバート（逆項間交差）が可能で、一重項励起状態からの発光（蛍光）を効率よく呈する材料のことである。また、熱活性化遅延蛍光が効率良く得られる条件としては、三重項励起準位と一重項励起準位のエネルギー差が０ｅＶ以上０．２ｅＶ以下、好ましくは０ｅＶ以上０．１ｅＶ以下であることが挙げられる。また、ＴＡＤＦ材料における遅延蛍光とは、通常の蛍光と同様のスペクトルを持ちながら、寿命が著しく長い発光をいう。その寿命は、１０－６秒以上、好ましくは１０－３秒以上である。
【0640】
ＴＡＤＦ材料としては、例えば、フラーレンやその誘導体、プロフラビン等のアクリジン誘導体、エオシン等が挙げられる。また、マグネシウム（Ｍｇ）、亜鉛（Ｚｎ）、カドミウム（Ｃｄ）、スズ（Ｓｎ）、白金（Ｐｔ）、インジウム（Ｉｎ）、もしくはパラジウム（Ｐｄ）等を含む金属含有ポルフィリンが挙げられる。その他のＴＡＤＦ材料としては、２－（ビフェニル－４－イル）－４，６－ビス（１２－フェニルインドロ［２，３－ａ］カルバゾール－１１－イル）－１，３，５－トリアジン（ＰＩＣ－ＴＲＺ）等のπ電子過剰型複素芳香環及びπ電子不足型複素芳香環を有する複素環化合物を用いることができる。なお、π電子過剰型複素芳香環とπ電子不足型複素芳香環とが直接結合した物質は、π電子過剰型複素芳香環のドナー性とπ電子不足型複素芳香環のアクセプター性が共に強くなり、一重項励起状態と三重項励起状態のエネルギー差が小さくなるため、特に好ましい。
【0641】
なお、ＴＡＤＦ材料を用いる場合、他の有機化合物と組み合わせて用いることもできる。
【0642】
上記の材料を適宜用いることにより、発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）を形成することができる。また、上記の材料は、低分子材料や高分子材料と組み合わせることにより発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）の形成に用いることができる。
【0643】
図５３（Ｄ）に示す発光素子においては、ＥＬ層１１０３ａの発光層１１１３ａ上に電子輸送層１１１４ａが形成される。また、ＥＬ層１１０３ａおよび電荷発生層１１０４が形成された後、ＥＬ層１１０３ｂの発光層１１１３ｂ上に電子輸送層１１１４ｂが形成される。
【0644】
＜電子輸送層＞
電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）は、電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）によって、第２の電極１１０２から注入された電子を発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）に輸送する層である。なお、電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）に用いる電子輸送性材料は、１×１０－６ｃｍ２／Ｖｓ以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いることができる。
電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）は、電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）によって、第２の電極１１０２から注入された電子を発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）に輸送する層である。なお、電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）に用いる電子輸送性材料は、１×１０－６ｃｍ２／Ｖｓ以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いることができる。
【0645】
電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。また、ポリ（２，５－ピリジンジイル）（略称：ＰＰｙ）のような高分子化合物を用いることもできる。
【0646】
また、電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が２層以上積層した構造であってもよい。
【0647】
次に、図５３（Ｄ）に示す発光素子において、ＥＬ層１１０３ａの電子輸送層１１１４ａ上に電子注入層１１１５ａが真空蒸着法により形成される。その後、ＥＬ層１１０３ａおよび電荷発生層１１０４が形成され、ＥＬ層１１０３ｂの電子輸送層１１１４ｂまで形成された後、上に電子注入層１１１５ｂが真空蒸着法により形成される。
【0648】
＜電子注入層＞
電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）は、電子注入性の高い物質を含む層である。電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）には、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）、リチウム酸化物（ＬｉＯｘ）等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。また、フッ化エルビウム（ＥｒＦ３）のような希土類金属化合物を用いることができる。また、電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）にエレクトライドを用いてもよい。エレクトライドとしては、例えば、カルシウムとアルミニウムの混合酸化物に電子を高濃度添加した物質等が挙げられる。なお、上述した電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）を構成する物質を用いることもできる。
電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）は、電子注入性の高い物質を含む層である。電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）には、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）、リチウム酸化物（ＬｉＯｘ）等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。また、フッ化エルビウム（ＥｒＦ３）のような希土類金属化合物を用いることができる。また、電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）にエレクトライドを用いてもよい。エレクトライドとしては、例えば、カルシウムとアルミニウムの混合酸化物に電子を高濃度添加した物質等が挙げられる。なお、上述した電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）を構成する物質を用いることもできる。
【0649】
また、電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ）に、有機化合物と電子供与体（ドナー）とを混合してなる複合材料を用いてもよい。このような複合材料は、電子供与体によって有機化合物に電子が発生するため、電子注入性および電子輸送性に優れている。この場合、有機化合物としては、発生した電子の輸送に優れた材料であることが好ましく、具体的には、例えば上述した電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）に用いる電子輸送性材料（金属錯体や複素芳香族化合物等）を用いることができる。電子供与体としては、有機化合物に対し電子供与性を示す物質であればよい。具体的には、アルカリ金属やアルカリ土類金属や希土類金属が好ましく、リチウム、セシウム、マグネシウム、カルシウム、エルビウム、イッテルビウム等が挙げられる。また、アルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸化物が好ましく、リチウム酸化物、カルシウム酸化物、バリウム酸化物等が挙げられる。また、酸化マグネシウムのようなルイス塩基を用いることもできる。また、テトラチアフルバレン（略称：ＴＴＦ）等の有機化合物を用いることもできる。
【0650】
なお、図５３（Ｄ）に示す発光素子において、発光層１１１３ｂから得られる光を増幅させる場合には、第２の電極１１０２と、発光層１１１３ｂとの光学距離が、発光層１１１３ｂが呈する光の波長λの１／４未満となるように形成するのが好ましい。この場合、電子輸送層１１１４ｂまたは電子注入層１１１５ｂの膜厚を変えることにより、調整することができる。
【0651】
＜電荷発生層＞
図５３（Ｄ）に示す発光素子において、電荷発生層１１０４は、第１の電極（陽極）１１０１と第２の電極（陰極）１１０２との間に電圧を印加したときに、ＥＬ層１１０３ａに電子を注入し、ＥＬ層１１０３ｂに正孔を注入する機能を有する。なお、電荷発生層１１０４は、正孔輸送性材料に電子受容体（アクセプター）が添加された構成であっても、電子輸送性材料に電子供与体（ドナー）が添加された構成であってもよい。また、これらの両方の構成が積層されていてもよい。なお、上述した材料を用いて電荷発生層１１０４を形成することにより、ＥＬ層が積層された場合における駆動電圧の上昇を抑制することができる。
図５３（Ｄ）に示す発光素子において、電荷発生層１１０４は、第１の電極（陽極）１１０１と第２の電極（陰極）１１０２との間に電圧を印加したときに、ＥＬ層１１０３ａに電子を注入し、ＥＬ層１１０３ｂに正孔を注入する機能を有する。なお、電荷発生層１１０４は、正孔輸送性材料に電子受容体（アクセプター）が添加された構成であっても、電子輸送性材料に電子供与体（ドナー）が添加された構成であってもよい。また、これらの両方の構成が積層されていてもよい。なお、上述した材料を用いて電荷発生層１１０４を形成することにより、ＥＬ層が積層された場合における駆動電圧の上昇を抑制することができる。
【0652】
電子受容体としては、７，７，８，８－テトラシアノ－２，３，５，６－テトラフルオロキノジメタン（略称：Ｆ４－ＴＣＮＱ）、クロラニル等を挙げることができる。また元素周期表における第４族乃至第８族に属する金属の酸化物を挙げることができる。
【0653】
電子供与体としては、アルカリ金属またはアルカリ土類金属または希土類金属または元素周期表における第２、第１３族に属する金属およびその酸化物、炭酸塩を用いることができる。また、テトラチアナフタセンのような有機化合物を電子供与体として用いてもよい。
【0654】
なお、本実施の形態で示す発光素子の作製には、蒸着法などの真空プロセスや、スピンコート法やインクジェット法などの溶液プロセスを用いることができる。
【0655】
なお、本実施の形態で示す発光素子のＥＬ層（１１０３、１１０３ａ、１１０３ｂ）を構成する各機能層（正孔注入層（１１１１、１１１１ａ、１１１１ｂ）、正孔輸送層（１１１２、１１１２ａ、１１１２ｂ）、発光層（１１１３、１１１３ａ、１１１３ｂ）、電子輸送層（１１１４、１１１４ａ、１１１４ｂ）、電子注入層（１１１５、１１１５ａ、１１１５ｂ））や電荷発生層１１０４は、上述した材料に限られることはなく、それ以外の材料であっても各層の機能を満たせるものであれば組み合わせて用いることができる。一例としては、高分子化合物（オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等）、中分子化合物（低分子と高分子の中間領域の化合物：分子量４００～４０００）、無機化合物（量子ドット材料等）等を用いることができる。また、量子ドット材料としては、コロイド状量子ドット材料、合金型量子ドット材料、コア・シェル型量子ドット材料、コア型量子ドット材料などを用いることができる。
【0656】
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いることができるものとする。
【0657】
（実施の形態７）
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置を備える電子機器について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置を備える電子機器について説明する。
【0658】
図５４（Ａ）は、ファインダー８１００を取り付けた状態のカメラ８０００の外観を示す図である。
【0659】
カメラ８０００は、筐体８００１、表示部８００２、操作ボタン８００３、シャッターボタン８００４等を有する。またカメラ８０００には、着脱可能なレンズ８００６が取り付けられている。
【0660】
ここではカメラ８０００として、レンズ８００６を筐体８００１から取り外して交換することが可能な構成としたが、レンズ８００６と筐体８００１が一体となっていてもよい。
【0661】
カメラ８０００は、シャッターボタン８００４を押すことにより、撮像することができる。また、表示部８００２はタッチパネルとしての機能を有し、表示部８００２をタッチすることにより撮像することも可能である。
【0662】
カメラ８０００の筐体８００１は、電極を有するマウントを有し、ファインダー８１００のほか、ストロボ装置等を接続することができる。
【0663】
ファインダー８１００は、筐体８１０１、表示部８１０２、ボタン８１０３等を有する。
【0664】
筐体８１０１は、カメラ８０００のマウントと係合するマウントを有しており、ファインダー８１００をカメラ８０００に取り付けることができる。また当該マウントには電極を有し、当該電極を介してカメラ８０００から受信した映像等を表示部８１０２に表示させることができる。
【0665】
ボタン８１０３は、電源ボタンとしての機能を有する。ボタン８１０３により、表示部８１０２の表示のオン・オフを切り替えることができる。
【0666】
カメラ８０００の表示部８００２、及びファインダー８１００の表示部８１０２に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
【0667】
なお、図５４（Ａ）では、カメラ８０００とファインダー８１００とを別の電子機器とし、これらを脱着可能な構成としたが、カメラ８０００の筐体８００１に、表示装置を備えるファインダーが内蔵されていてもよい。
【0668】
図５４（Ｂ）は、ヘッドマウントディスプレイ８２００の外観を示す図である。
【0669】
ヘッドマウントディスプレイ８２００は、装着部８２０１、レンズ８２０２、本体８２０３、表示部８２０４、ケーブル８２０５等を有している。また装着部８２０１には、バッテリ８２０６が内蔵されている。
【0670】
ケーブル８２０５は、バッテリ８２０６から本体８２０３に電力を供給する。本体８２０３は無線受信機等を備え、受信した画像データ等の映像情報を表示部８２０４に表示させることができる。また、本体８２０３に設けられたカメラで使用者の眼球やまぶたの動きを捉え、その情報をもとに使用者の視線の座標を算出することにより、使用者の視線を入力手段として用いることができる。
【0671】
また、装着部８２０１には、使用者に触れる位置に複数の電極が設けられていてもよい。本体８２０３は使用者の眼球の動きに伴って電極に流れる電流を検知することにより、使用者の視線を認識する機能を有していてもよい。また、当該電極に流れる電流を検知することにより、使用者の脈拍をモニタする機能を有していてもよい。また、装着部８２０１には、温度センサ、圧力センサ、加速度センサ等の各種センサを有していてもよく、使用者の生体情報を表示部８２０４に表示する機能を有していてもよい。また、使用者の頭部の動きなどを検出し、表示部８２０４に表示する映像をその動きに合わせて変化させてもよい。
【0672】
表示部８２０４に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
【0673】
図５４（Ｃ）、図５４（Ｄ）及び図５４（Ｅ）は、ヘッドマウントディスプレイ８３００の外観を示す図である。ヘッドマウントディスプレイ８３００は、筐体８３０１と、表示部８３０２と、バンド状の固定具８３０４と、一対のレンズ８３０５と、を有する。
【0674】
使用者は、レンズ８３０５を通して、表示部８３０２の表示を視認することができる。なお、表示部８３０２を湾曲して配置させると好適である。表示部８３０２を湾曲して配置することで、使用者が高い臨場感を感じることができる。なお、本実施の形態においては、表示部８３０２を１つ設ける構成について例示したが、これに限定されず、例えば、表示部８３０２を２つ設ける構成としてもよい。この場合、使用者の片方の目に１つの表示部が配置されるような構成とすると、視差を用いた３次元表示等を行うことも可能となる。
【0675】
なお、表示部８３０２に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。本発明の一態様の表示装置は、極めて精細度が高いため、図５４（Ｅ）のようにレンズ８３０５を用いて拡大したとしても、使用者に画素が視認されることなく、より臨場感の高い映像を表示することができる。
【0676】
【0677】
図５５（Ａ）乃至図５５（Ｇ）に示す電子機器は、筐体９０００、表示部９００１、スピーカ９００３、操作キー９００５（電源スイッチ、又は操作スイッチを含む）、接続端子９００６、センサ９００７（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの）、マイクロフォン９００８、等を有する。
【0678】
図５５（Ａ）乃至図５５（Ｇ）に示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）によって処理を制御する機能、無線通信機能、無線通信機能を用いて様々なコンピュータネットワークに接続する機能、無線通信機能を用いて様々なデータの送信又は受信を行う機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出して表示部に表示する機能、等を有することができる。なお、図５５（Ａ）乃至図５５（Ｇ）に示す電子機器が有することのできる機能はこれらに限定されず、様々な機能を有することができる。また、図５５（Ａ）乃至図５５（Ｇ）には図示していないが、電子機器には、複数の表示部を有する構成としてもよい。また、該電子機器にカメラ等を設け、静止画を撮影する機能、動画を撮影する機能、撮影した画像を記録媒体（外部またはカメラに内蔵）に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
【0679】
【0680】
図５５（Ａ）は、テレビジョン装置９１００を示す斜視図である。テレビジョン装置９１００は、大画面、例えば、５０インチ以上、又は１００インチ以上の表示部９００１を組み込むことが可能である。
【0681】
図５５（Ｂ）は、携帯情報端末９１０１を示す斜視図である。携帯情報端末９１０１は、例えば電話機、手帳又は情報閲覧装置等から選ばれた一つ又は複数の機能を有する。具体的には、スマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末９１０１は、スピーカ９００３、接続端子９００６、センサ９００７等を設けてもよい。また、携帯情報端末９１０１は、文字や画像情報をその複数の面に表示することができる。例えば、３つの操作ボタン９０５０（操作アイコン又は単にアイコンともいう）を表示部９００１の一の面に表示することができる。また、破線の矩形で示す情報９０５１を表示部９００１の他の面に表示することができる。なお、情報９０５１の一例としては、電子メールやＳＮＳ（ソーシャル・ネットワーキング・サービス）や電話などの着信を知らせる表示、電子メールやＳＮＳなどの題名、電子メールやＳＮＳなどの送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、アンテナ受信の強度などがある。又は、情報９０５１が表示されている位置に、情報９０５１の代わりに、操作ボタン９０５０などを表示してもよい。
【0682】
図５５（Ｃ）は、携帯情報端末９１０２を示す斜視図である。携帯情報端末９１０２は、表示部９００１の３面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報９０５２、情報９０５３、情報９０５４がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えば、携帯情報端末９１０２の使用者は、洋服の胸ポケットに携帯情報端末９１０２を収納した状態で、その表示（ここでは情報９０５３）を確認することができる。具体的には、着信した電話の発信者の電話番号又は氏名等を、携帯情報端末９１０２の上方から観察できる位置に表示する。使用者は、携帯情報端末９１０２をポケットから取り出すことなく、表示を確認し、電話を受けるか否かを判断できる。
【0683】
図５５（Ｄ）は、腕時計型の携帯情報端末９２００を示す斜視図である。携帯情報端末９２００は、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、インターネット通信、コンピュータゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができる。また、表示部９００１はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末９２００は、通信規格された近距離無線通信を実行することが可能である。例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末９２００は、接続端子９００６を有し、他の情報端末とコネクターを介して直接データのやりとりを行うことができる。また接続端子９００６を介して充電を行うこともできる。なお、充電動作は接続端子９００６を介さずに無線給電により行ってもよい。
【0684】
図５５（Ｅ）、図５５（Ｆ）及び図５５（Ｇ）は、折り畳み可能な携帯情報端末９２０１を示す斜視図である。また、図５５（Ｅ）が携帯情報端末９２０１を展開した状態の斜視図であり、図５５（Ｆ）が携帯情報端末９２０１を展開した状態又は折り畳んだ状態の一方から他方に変化する途中の状態の斜視図であり、図５５（Ｇ）が携帯情報端末９２０１を折り畳んだ状態の斜視図である。携帯情報端末９２０１は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では、継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末９２０１が有する表示部９００１は、ヒンジ９０５５によって連結された３つの筐体９０００に支持されている。ヒンジ９０５５を介して２つの筐体９０００間を屈曲させることにより、携帯情報端末９２０１を展開した状態から折りたたんだ状態に可逆的に変形させることができる。例えば、携帯情報端末９２０１は、曲率半径１ｍｍ以上１５０ｍｍ以下で曲げることができる。
【0685】
本実施の形態において述べた電子機器は、何らかの情報を表示するための表示部を有する。ただし、本発明の一態様の半導体装置は、表示部を有さない電子機器にも適用することができる。
【0686】
本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、又は図面等と適宜組み合わせて実施することができる。
【0687】
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【0688】
（実施の形態８）
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置を備える電子機器について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置を備える電子機器について説明する。
【0689】
以下で例示する電子機器は、表示部に本発明の一態様の表示装置を備えるものである。従って、高い解像度が実現された電子機器である。また高い解像度と、大きな画面が両立された電子機器とすることができる。
【0690】
本発明の一態様の電子機器の表示部には、例えばフルハイビジョン、４Ｋ２Ｋ、８Ｋ４Ｋ、１６Ｋ８Ｋ、又はそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。また、表示部の画面サイズとしては、対角２０インチ以上、対角３０インチ以上、対角５０インチ以上、対角６０インチ以上、又は対角７０インチ以上とすることもできる。
【0691】
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｇｅ：電子看板）、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
【0692】
本発明の一態様の電子機器又は照明装置は、家屋もしくはビルの内壁もしくは外壁、又は、自動車の内装もしくは外装の曲面に沿って組み込むことができる。
【0693】
本発明の一態様の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で映像や情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい。
【0694】
本発明の一態様の電子機器は、センサ（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの）を有していてもよい。
【0695】
本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出す機能等を有することができる。
【0696】
図５６（Ａ）にテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置７１００は、筐体７１０１に表示部７５００が組み込まれている。ここでは、スタンド７１０３により筐体７１０１を支持した構成を示している。
【0697】
表示部７５００に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
【0698】
図５６（Ａ）に示すテレビジョン装置７１００の操作は、筐体７１０１が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機７１１１により行うことができる。又は、表示部７５００にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部７５００に触れることで操作してもよい。リモコン操作機７１１１は、当該リモコン操作機７１１１から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機７１１１が備える操作キー又はタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部７５００に表示される映像を操作することができる。
【0699】
なお、テレビジョン装置７１００は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線又は無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向（送信者から受信者）又は双方向（送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など）の情報通信を行うことも可能である。
【0700】
図５６（Ｂ）に、ノート型パーソナルコンピュータ７２００を示す。ノート型パーソナルコンピュータ７２００は、筐体７２１１、キーボード７２１２、ポインティングデバイス７２１３、外部接続ポート７２１４等を有する。筐体７２１１に、表示部７５００が組み込まれている。
【0701】
表示部７５００に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
【0702】
【0703】
図５６（Ｃ）に示すデジタルサイネージ７３００は、筐体７３０１、表示部７５００、及びスピーカ７３０３等を有する。さらに、ＬＥＤランプ、操作キー（電源スイッチ、又は操作スイッチを含む）、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
【0704】
また、図５６（Ｄ）は円柱状の柱７４０１に取り付けられたデジタルサイネージ７４００である。デジタルサイネージ７４００は、柱７４０１の曲面に沿って設けられた表示部７５００を有する。
【0705】
【0706】
表示部７５００が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部７５００が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
【0707】
表示部７５００にタッチパネルを適用することで、表示部７５００に画像又は動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
【0708】
また、図５６（Ｃ）及び図５６（Ｄ）に示すように、デジタルサイネージ７３００又はデジタルサイネージ７４００は、ユーザが所持するスマートフォン等の情報端末機７３１１又は情報端末機７４１１と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部７５００に表示される広告の情報を、情報端末機７３１１又は情報端末機７４１１の画面に表示させることができる。また、情報端末機７３１１又は情報端末機７４１１を操作することで、表示部７５００の表示を切り替えることができる。
【0709】
また、デジタルサイネージ７３００又はデジタルサイネージ７４００に、情報端末機７３１１又は情報端末機７４１１の画面を操作手段（コントローラ）としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
【0710】
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【0711】
２１４、２１６、２２２、２２４、２４４、２５４、２８０、２７４、２８１：絶縁体、３０１ａ、３０１ｂ、３０５ａ、３０５ｂ、３１１、３１３、３１５、３１７：導電体、３２１：下部電極、３２３：絶縁体、３２５：上部電極、３３１、３３３、３３５、３３７、３４１、３４３、３４７、３５１、３５３、３５５、３５７：導電体、３６１、３６３：絶縁体、４２１、４４１：トランジスタ、７００、７００Ａ：表示装置、７０１、７０５：基板、７０２：画素部、７０４：ソースドライバ回路部、７０８：ＦＰＣ端子部、７１１：引き回し配線部、７１２：シール材、７１６：ＦＰＣ、７３０：絶縁膜、７３２：封止膜、７３４：絶縁膜、７３６：着色膜、７５０、７５０Ａ、７５２、７５２Ａ、７５４、７５４Ａ：トランジスタ、７６０：接続電極、７７２：導電層、７７５：液晶素子、７７８：構造体、７８０：異方性導電膜、７８２：発光素子、７８６：ＥＬ層、７８８：導電膜、７９０：容量素子
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】
【図43】
【図44】
【図45】
【図46】
【図47】
【図48】
【図49】
【図50】
【図51】
【図52】
【図53】
【図54】
【図55】
【図56】