特許 7516651 アクチュエーター

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-05

(45)【発行日】2024-07-16

(54)【発明の名称】アクチュエーター

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/08 20060101AFI20240708BHJP

   H02K 33/16 20060101ALI20240708BHJP

   G02B 26/10 20060101ALN20240708BHJP

【ＦＩ】

G02B26/08 E

H02K33/16 B

G02B26/10 104Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2023501983

(86)(22)【出願日】2021-02-26

(86)【国際出願番号】 JP2021007501

(87)【国際公開番号】W WO2022180822

(87)【国際公開日】2022-09-01

【審査請求日】2023-08-22

(73)【特許権者】

【識別番号】000005016

【氏名又は名称】パイオニア株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】520001073

【氏名又は名称】パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110928

【弁理士】

【氏名又は名称】速水 進治

(74)【代理人】

【識別番号】100127236

【弁理士】

【氏名又は名称】天城 聡

(72)【発明者】

【氏名】岩崎 新吾

(72)【発明者】

【氏名】大島 清朗

(72)【発明者】

【氏名】矢部 友崇

【審査官】所村 陽一

(56)【参考文献】

【文献】特許第５７２０６７３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１０－００６３９９７（ＫＲ，Ａ）

【文献】特許第６０１４２３４（ＪＰ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ２６／０８

Ｈ０２Ｋ ３３／１６

Ｇ０２Ｂ ２６／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

永久磁石が設けられ、基準面に対し、第１の軸と前記第１の軸に非平行な第２の軸とを揺動軸として揺動可能なミラーと、
前記ミラーを、前記第１の軸に対して揺動させる第１の電磁石と、
前記ミラーを、前記第２の軸に対して揺動させる第２の電磁石とを備え、
（Ａ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第１の電磁石は前記第１の軸に対して線対称ではない、および（Ｂ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第２の電磁石は前記第２の軸に対して線対称ではない、の少なくともいずれかが成り立つ
アクチュエーター。

【請求項2】

請求項１に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第１の電磁石および前記第２の電磁石はそれぞれコイルとヨークとを有し、
前記第１の電磁石のヨークの両端は、前記基準面に垂直な方向から見て、前記永久磁石の少なくとも一部を挟んで互いに対向し、
前記第２の電磁石のヨークは、前記基準面に平行な方向から見て、前記第２の電磁石のコイルを基準に、前記基準面側に位置する第１端部と、前記基準面側とは反対側に位置する第２端部とを有する
アクチュエーター。

【請求項3】

請求項２に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第２の電磁石は前記ミラーを共振周波数で揺動するよう駆動する
アクチュエーター。

【請求項4】

請求項２または３に記載のアクチュエーターにおいて、
前記基準面に垂直な方向から見て、前記第１端部の中心と前記ミラーの中心とが重ならない
アクチュエーター。

【請求項5】

請求項２～４のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第１端部および前記第２端部の少なくとも一方には、前記基準面に垂直な方向から見て前記永久磁石側に突き出た突出部が設けられている
アクチュエーター。

【請求項6】

請求項２～５のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第２の電磁石においてコイルが巻かれている部分のヨークの断面は長方形である
アクチュエーター。

【請求項7】

請求項２～６のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第２の電磁石において、コイルは重ね巻きされている
アクチュエーター。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエーターに関する。

【背景技術】

【0002】

光で所定の領域を走査して測定する測定装置等では、光の出射方向を可変とするために可動ミラーが用いられる。

【0003】

特許文献１には、ミラーに固定された永久磁石と、電磁石とを相互作用させて、ミラーに駆動トルクを生じさせる光走査装置が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００９－６９６７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ミラーを駆動するアクチュエーターの小型化が、それを含む測定装置等の全体の小型化のために重要である。一方、ミラーを二軸に対して駆動しようとすると、二組の電磁石が必要となり、アクチュエーターが大型化するという問題があった。

【0006】

本発明が解決しようとする課題としては、ミラーを二軸駆動するアクチュエーターを小型化することが一例として挙げられる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

請求項１に記載の発明は、
永久磁石が設けられ、基準面に対し、第１の軸と前記第１の軸に非平行な第２の軸とを揺動軸として揺動可能なミラーと、
前記ミラーを、前記第１の軸に対して揺動させる第１の電磁石と、
前記ミラーを、前記第２の軸に対して揺動させる第２の電磁石とを備え、
（Ａ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第１の電磁石は前記第１の軸に対して線対称ではない、および（Ｂ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第２の電磁石は前記第２の軸に対して線対称ではない、の少なくともいずれかが成り立つ
アクチュエーターである。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。

【図2】第１の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。

【図3】ミラー、外側フレーム、および内側フレームを含む構造体を例示する平面図である。

【図4】第１の電磁石および第２の電磁石の構造を例示する斜視図である。

【図5】電磁石の配置の比較例を示す図である。

【図6】電磁石の配置の比較例を示す図である。

【図7】第２の電磁石のヨークの断面形状の変形例を示す図である。

【図8】コイルの巻き方の変形例を示す図である。

【図9】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状を例示する図である。

【図10】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。

【図11】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。

【図12】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。

【図13】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。

【図14】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。

【図15】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。

【図16】第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。

【図17】第３の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。

【図18】第４の実施形態に係る第１の電磁石の構造を例示する図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

【0010】

（第１の実施形態）
図１および図２は、第１の実施形態に係るアクチュエーター１０の構成を例示する図である。図１はアクチュエーター１０の平面図であり、図２は、アクチュエーター１０の側面図である。各図には互いに直交する３軸としてｘ軸、ｙ軸、およびｚ軸をあわせて示している。本実施形態において、ｘ軸は第１の軸２０１に平行であり、ｙ軸は第２の軸２０２に平行である。また、図３は、ミラー２０、外側フレーム５０、および内側フレーム６０を含む構造体１２を例示する平面図である。図４は、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０の構造を例示する斜視図である。

【0011】

本実施形態に係るアクチュエーター１０は、ミラー２０、第１の電磁石３０、および第２の電磁石４０を備える。ミラー２０には、永久磁石２１が設けられている。ミラー２０は、基準面１０１に対し、第１の軸２０１と第２の軸２０２とを揺動軸として揺動可能である。第１の軸２０１と第２の軸２０２とは非平行である。第１の電磁石３０は、ミラー２０を、第１の軸２０１に対して揺動させる。第２の電磁石４０は、ミラー２０を、第２の軸２０２に対して揺動させる。そして、アクチュエーター１０において、以下の（Ａ）および（Ｂ）の少なくともいずれかが成り立つ。
（Ａ）基準面１０１に垂直な方向（ｚ軸方向）から見て、第１の電磁石３０は第１の軸２０１に対して線対称ではない。
（Ｂ）基準面１０１に垂直な方向から見て、第２の電磁石４０は第２の軸２０２に対して線対称ではない。
以下に詳しく説明する。

【0012】

ミラー２０は、反射面２２を有し、反射面２２とは反対側の面の中心には永久磁石２１が固定されている。永久磁石２１の一方の極である第１の極２１１がミラー２０側に向き、他方の極である第２の極２１２がミラー２０とは反対側、すなわち、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０が設けられている側に向いている。基準面１０１は、アクチュエーター１０に設けられた全ての電磁石においてコイルに電流が流れていない状態、すなわち、永久磁石２１が力を受けていない基準状態における、ミラー２０の反射面２２を含む平面である。なお、図１および図２はいずれも基準状態を示している。基準面１０１はｘｙ平面に平行である。

【0013】

アクチュエーター１０は２軸アクチュエーターであり、ミラー２０を第１の軸２０１と第２の軸２０２に対して揺動させる事ができる。それにより、ミラー２０の反射面２２で反射された光の方向を２次元的に変化させることができる。本実施形態において、第１の軸２０１と第２の軸２０２とは略垂直または垂直である。

【0014】

第１の電磁石３０では、コイル３２がヨーク３４の少なくとも一部に巻きつけられている。コイル３２に電流が流れることにより、端部３４１と端部３４２との間に磁束が発生する。この磁束が永久磁石２１に作用することにより、ミラー２０を第１の軸２０１に対して揺動させる事ができる。また、第２の電磁石４０では、コイル４２がヨーク４４の少なくとも一部に巻きつけられている。コイル４２に電流が流れることにより、第１端部４４１および第２端部４４２から伸びる磁束が発生する。この磁束が永久磁石２１に作用する事により、ミラー２０を第２の軸２０２に対して揺動させる事ができる。

【0015】

上記した通り、本実施形態のアクチュエーター１０では、上記（Ａ）および（Ｂ）の少なくともいずれかが成り立つ。このように複数の電磁石を非対称に配置することにより、アクチュエーター１０の小型化を実現できる。

【0016】

図５および図６はそれぞれ、電磁石の配置の比較例を示す図である。図５および図６には、それぞれ、ミラー（不図示）を２軸について揺動させるための２つの電磁石が示されている。図５において、電磁石９１は軸９１０を揺動軸としてミラーの駆動を行い、電磁石９２は軸９２０を揺動軸としてミラーの駆動を行う。２つの電磁石をｚ軸方向から見ると、電磁石９１は軸９１０に対して線対称であり、かつ、電磁石９２は軸９２０に対して線対称である。また図６において、電磁石９３は軸９３０を揺動軸としてミラーの駆動を行い、電磁石９４は軸９４０を揺動軸としてミラーの駆動を行う。２つの電磁石をｚ軸方向から見ると、電磁石９３は軸９３０に対して線対称であり、かつ、電磁石９４は軸９４０に対して線対称である。これらの例では、揺動軸に対して磁束発生端部を２つずつ設け、対称的に配置している。その結果、互いの構造的な干渉を避けるために一方の電磁石を他方の電磁石がまたぐ必要が生じる。このような構造では、全体として大型化が避けられない。

【0017】

それに対し、本実施形態に係るアクチュエーター１０では、複数の電磁石を非対称に配置する事により、アクチュエーター１０の大型化を避けることができる。

【0018】

図１、図２、および図４を参照し、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０についてさらに説明する。本実施形態に係るアクチュエーター１０では、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０はそれぞれコイルとヨークとを有する。具体的には、第１の電磁石３０はコイル３２およびヨーク３４を備える。第２の電磁石４０は、コイル４２およびヨーク４４を備える。第１の電磁石３０はＵ字型またはＣ字型であり、第２の電磁石４０はＩ字型である。具体的には、第１の電磁石３０のヨーク３４の両端（端部３４１および端部３４２）は、基準面１０１に垂直な方向から見て、永久磁石２１の少なくとも一部を挟んで互いに対向している。第２の電磁石４０のヨーク４４は、基準面１０１に平行な方向から見て、第２の電磁石４０のコイル４２を基準に、基準面１０１側に位置する第１端部４４１と、基準面１０１側とは反対側に位置する第２端部４４２とを有する。基準面１０１に垂直な方向から見て、第１端部４４１は少なくとも一部が第２端部４４２に重なる。端部３４１、端部３４２、第１端部４４１、および第２端部４４２はいずれも磁束発生端部である。

【0019】

図１の例においては、上記の（Ａ）が成り立たず、（Ｂ）が成り立つ。ただし、（Ａ）が成り立ち、（Ｂ）が成り立たない構成であっても良いし、（Ａ）と（Ｂ）の両方が成り立つ構成であっても良い。

【0020】

本実施形態において、第１の電磁石３０は第２の電磁石４０を囲っていない。具体的には、基準面１０１に平行な少なくともいずれかの方向（たとえばｙ軸方向）から見て、第１の電磁石３０と第２の電磁石４０とは互いに重ならない。本実施形態において、第１の電磁石３０のヨーク３４のうちコイル３２が巻かれている部分は基準面１０１に平行に延在している。基準面１０１に垂直な方向から見て、コイル３２は、第２の軸２０２を基準に第２の電磁石４０とは反対側に位置している。また、端部３４１および端部３４２はコイル３２よりもミラー２０に近い。第２の電磁石４０のヨーク４４は、基準面１０１に垂直な方向に延在しており、ヨーク４４の両端のうち、一方のみがミラー２０に対向している。本図の例において、コイル４２が巻かれている部分のヨーク４４の断面は正方形である。構造体１２に対向する磁束発生端部の数は、第１の電磁石３０と第２の電磁石４０とで異なっている。

【0021】

次に、図１および図３を参照し、ミラー２０、外側フレーム５０、および内側フレーム６０を含む構造体１２について説明する。アクチュエーター１０は、外側フレーム５０、トーションバー５２、内側フレーム６０、およびトーションバー６２をさらに備える。外側フレーム５０と内側フレーム６０は２つのトーションバー５２を介して接続されている。内側フレーム６０とミラー２０とは、２つのトーションバー６２を介して接続されている。外側フレーム５０、トーションバー５２、内側フレーム６０、トーションバー６２およびミラー２０は、たとえば半導体ウエハを微細加工することにより一体に構成されており、アクチュエーター１０はＭＥＭＳアクチュエーターである。本実施形態において、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０は、外側フレーム５０、トーションバー５２、内側フレーム６０、トーションバー６２、およびミラー２０を含む構造体１２の一方の面側に、全体が位置している。

【0022】

たとえば外側フレーム５０は、アクチュエーター１０の筐体（不図示）に対して固定されている。内側フレーム６０は外側フレーム５０に対して第１の軸２０１を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー５２は第１の軸２０１に一致する。すなわち２つのトーションバー５２は第１の軸２０１に沿って重なり、トーションバー５２のねじれを伴って内側フレーム６０が外側フレーム５０に対して揺動する。また、ミラー２０は内側フレーム６０に対して第２の軸２０２を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー６２は第２の軸２０２に一致する。すなわち２つのトーションバー６２は第２の軸２０２に沿って重なり、トーションバー６２のねじれを伴ってミラー２０が内側フレーム６０に対して揺動する。上記した基準状態において、トーションバー５２およびトーションバー６２にはねじれが生じておらず、外側フレーム５０、内側フレーム６０およびミラー２０の一方の面は基準面１０１と同一平面上に位置する。

【0023】

図１および図２を参照し、第１の電磁石３０によるアクチュエーター１０の駆動について以下に説明する。第１の電磁石３０のコイル３２に電流が流れると、端部３４１と端部３４２との間に磁束が発生する。このとき端部３４１と端部３４２とは互いに異なる極となる。そして、端部３４１と端部３４２の内、第２の極２１２とは異極である端部側へ永久磁石２１が向くように、ミラー２０の向きが変化する。コイル３２に流す電流の向きおよび大きさを変化させることによりミラー２０の反射面２２の向きを制御する事ができる。なお、磁束は、端部３４１と端部３４２との互いに向かい合う面（本図の例においてｙ軸に垂直な面）のみならず、端部３４１および端部３４２の各側面（本図の例においてｘ軸に垂直な面）や上面（本図の例においてｚ軸に垂直な面）からも伸びうる。これらの磁束が永久磁石２１に作用してミラー２０を駆動する。

【0024】

第２の電磁石４０によるアクチュエーター１０の駆動について以下に説明する。基準面１０１に垂直な方向から見て、第１端部４４１の中心とミラー２０の中心とは重なっていない。すなわち、第１端部４４１とミラー２０とがずれている。本図の例において、具体的には、第１端部４４１の中心は、ミラー２０の中心から、第２の軸２０２と垂直な方向（ｘ軸方向）にずれている。一方、第１端部４４１の中心は、ミラー２０の中心から、第２の軸２０２と平行な方向（ｙ軸方向）にはずれていない。第２の電磁石４０のコイル４２に電流が流れると、第１端部４４１から伸びる磁束が発生する。この第１端部４４１からの磁束が永久磁石２１に作用する事によりミラー２０を第２の軸２０２に対して揺動させる。具体的には、第１端部４４１の極性が第２の極２１２と異極である場合、永久磁石２１が第１端部４４１側に向くようにミラー２０の向きが変化する。一方、第１端部４４１の極性が第２の極２１２と同極である場合、永久磁石２１が第１端部４４１から離れる方向に向くようにミラー２０の向きが変化する。コイル４２に流す電流の向きおよび大きさを変化させることによりミラー２０の反射面２２の向きを制御する事ができる。なお、磁束は、第１端部４４１の上面（本図の例においてｚ軸に垂直な面）、第２端部４４２の下面（本図の例においてｚ軸に垂直な面）や第１端部４４１および第２端部４４２の側面（本図の例においてｙ軸またはｘ軸に垂直な面）から伸びうる。これらの磁束が永久磁石２１に作用してミラー２０を駆動する。

【0025】

上記した第１の電磁石３０と第２の電磁石４０による駆動を同時に行うことにより、反射面２２を所望の方向へ向ける事ができる。

【0026】

本実施形態において、第２の電磁石４０はミラー２０を共振周波数で揺動するよう駆動する。第２の電磁石４０のように１つの磁束発生端部のみを永久磁石２１側に向けて駆動する場合、第１の電磁石３０のように２つの磁束発生端部を永久磁石２１に向けて駆動する場合よりも、駆動力が小さくなりやすい。それに対し、ミラー２０を共振周波数で揺動するよう駆動することで、小さな力でも十分にミラー２０を駆動する事ができる。

【0027】

図７は、第２の電磁石４０のヨークの断面形状の変形例を示す図である。本図の例では、第２の電磁石４０においてコイル４２が巻かれている部分のヨーク４４の断面は長方形である。そうすることにより、ヨークの断面積を大きくして第２の電磁石４０が発生させる磁力を強める事ができる。その結果、１つの磁束発生端部のみを永久磁石２１側に向けて駆動する場合でも、ミラー２０を十分に駆動することができる。

【0028】

図８は、コイル４２の巻き方の変形例を示す図である。本図の例では、第２の電磁石４０において、コイル４２はヨーク４４に対して重ね巻きされている。そうすることにより、第２の電磁石４０が発生させる磁力を強める事ができる。その結果、１つの磁束発生端部のみを永久磁石２１側に向けて駆動する場合でも、ミラー２０を十分に駆動することができる。

【0029】

以上、本実施形態によれば、上記した（Ａ）および（Ｂ）の少なくともいずれかが成り立つ。そうすることにより、設計における２つの電磁石の配置自由度が増し、アクチュエーター１０を小型化することができる。

【0030】

（第２の実施形態）
図９は、第２の実施形態に係る第２の電磁石４０の形状を例示する図である。本実施形態に係るアクチュエーター１０は、以下に説明する第２の電磁石４０の形状を除いて第１の実施形態に係るアクチュエーター１０と同じである。以下に説明する図９～図１６において、各図の上部分には第２の電磁石４０の平面図を示し、下部分には側面を示している。

【0031】

本実施形態において、第１端部４４１および第２端部４４２の少なくとも一方には、基準面１０１に垂直な方向から見て永久磁石２１側に突き出た突出部４４４が設けられている。突出部４４４が設けられていることにより、ヨーク４４の磁束発生端部と永久磁石２１とをより近づけて、ミラー２０の駆動力を強めることができる。また、コイル４２を重ね巻きした場合、コイル４２が巻かれた部分が太くなり、ヨーク４４の中心軸を永久磁石２１から離す必要が生じる。その場合でも、突出部４４４を設けることにより、永久磁石２１へ十分に磁束を作用させる事ができる。

【0032】

図９の例では、第１端部４４１のみに突出部４４４が設けられている。第１端部４４１に突出部４４４を設ける事により、より効果的に駆動力を強める事ができる。また、第２端部４４２に突出部４４４を設けない事により、設ける場合よりもアクチュエーター１０の小型化および軽量化を図れる。

【0033】

図１０～図１６は、本実施形態に係る第２の電磁石４０の形状の変形例をそれぞれ示す図である。以下に順に説明する。

【0034】

図１０の例では、突出部４４４は永久磁石２１側のみならず、ｙ軸方向側にも突出している。また、図１１の例では、突出部４４４はさらに永久磁石２１側とは反対側へも突出している。突出部４４４を広げる事により、駆動力をより強くする事ができる。

【0035】

図１２の例では、第２端部４４２のみに突出部４４４が設けられている。このような構成でも第２の電磁石４０によるミラー２０の駆動力を強める事ができる。なお、第２端部４４２側の突出部４４４の形状も特に限定されず、たとえば図１０または図１１の様であってもよい。

【0036】

図１３～図１６の例では、第１端部４４１と第２端部４４２の両方に突出部４４４が設けられている。そうすることにより、どちらか一方のみに突出部４４４を設ける場合よりも駆動力を強める事ができる。 図１３～図１５の例では、第１端部４４１側の突出部４４４と第２端部４４２側の突出部４４４とは、同じ形状である。図１６の例では、第１端部４４１側の突出部４４４と第２端部４４２側の突出部４４４とは、形状が異なる。

【0037】

以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。くわえて、第１端部４４１および第２端部４４２の少なくとも一方に、基準面１０１に垂直な方向から見て永久磁石２１側に突き出た突出部４４４が設けられている。そうすることにより、第２の電磁石４０の磁束をより強く永久磁石２１に作用させてミラー２０の駆動力を強めることができる。

【0038】

（第３の実施形態）
図１７は、第３の実施形態に係るアクチュエーター１０の構成を例示する図である。本実施形態に係るアクチュエーター１０は、第１の電磁石３０がミラー２０を共振周波数で揺動するよう駆動する点を除いて、第１および第２の実施形態の少なくともいずれかに係るアクチュエーター１０と同じである。

【0039】

本実施形態において、内側フレーム６０は外側フレーム５０に対して第２の軸２０２を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー５２は第２の軸２０２に一致する。すなわち２つのトーションバー５２は第２の軸２０２に沿って重なり、トーションバー５２のねじれを伴って内側フレーム６０が外側フレーム５０に対して揺動する。また、ミラー２０は内側フレーム６０に対して第１の軸２０１を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー６２は第１の軸２０１に一致する。すなわち２つのトーションバー６２は第１の軸２０１に沿って重なり、トーションバー６２のねじれを伴ってミラー２０が内側フレーム６０に対して揺動する。

【0040】

以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。

【0041】

（第４の実施形態）
図１８は、本実施形態に係る第１の電磁石３０の構造を例示する図である。本実施形態に係るアクチュエーター１０は、以下に説明する点を除いて第１から第３の実施形態の少なくともいずれかに係るアクチュエーター１０と同じである。本図において、永久磁石２１を破線で示している。

【0042】

本実施形態において、第１の電磁石３０は、電磁石７０および電磁石８０の２つの電磁石からなる。言い換えると、第１の電磁石３０のヨーク３４は２つに別れている。第１の電磁石３０は、全体として第１の軸２０１に対し線対称である。電磁石７０および電磁石８０は、それぞれ、基準面１０１に垂直な方向から見て第１の軸２０１に平行に延在している。基準面１０１に垂直な方向から見て、第１の電磁石３０は第１の軸２０１と重なっていない。

【0043】

電磁石７０はコイル７２およびヨーク７４を備え、電磁石８０はコイル８２およびヨーク８４を備える。コイル７２はヨーク７４の少なくとも一部に巻きつけられている。コイル８２はヨーク８４の少なくとも一部に巻きつけられている。本実施形態に係る構成でも、第１の電磁石３０は、第１の実施形態に係る第１の電磁石３０と同様に機能する。具体的には、端部７４１と端部８４１が対向して対を構成する。電磁石７０の端部７４１が第１の実施形態で説明した端部３４１として機能し、電磁石８０の端部８４１が第１の実施形態で説明した端部３４２として機能する。

【0044】

以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。くわえて、第１の電磁石３０のヨーク３４は２つに別れている。そうすることにより、設計における２つの電磁石の配置自由度がさらに増し、アクチュエーター１０をより小型化することができる。

【0045】

以上、図面を参照して実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。たとえばアクチュエーター１０は、図に示した構成要素の他、各構成要素を支持する部分や配線、制御部等をさらに含んでも良い。また、ミラー２０、第１の電磁石３０、第２の電磁石４０、構造体１２等の形状は本実施形態の例に限定されない。

【符号の説明】

【0046】

１０ アクチュエーター
１２ 構造体
２０ ミラー
２１ 永久磁石
２２ 反射面
３０ 第１の電磁石
３２ コイル
３４ ヨーク
４０ 第２の電磁石
４２ コイル
４４ ヨーク
５０ 外側フレーム
５２ トーションバー
６０ 内側フレーム
６２ トーションバー
７０ 電磁石
７２ コイル
７４ ヨーク
８０ 電磁石
８２ コイル
８４ ヨーク
１０１ 基準面
２０１ 第１の軸
２０２ 第２の軸
２１１ 第１の極
２１２ 第２の極
３４１ 端部
３４２ 端部
４４１ 第１端部
４４２ 第２端部
４４４ 突出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】