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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-08
(45)【発行日】2024-07-17
(54)【発明の名称】インダクタ
(51)【国際特許分類】
H01F 17/00 20060101AFI20240709BHJP
H01F 17/04 20060101ALI20240709BHJP
【ＦＩ】
H01F17/00 D
H01F17/04 A
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2021156215
(22)【出願日】2021-09-25
(65)【公開番号】P2023047358
(43)【公開日】2023-04-06
【審査請求日】2023-04-14
(73)【特許権者】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100085143
【弁理士】
【氏名又は名称】小柴 雅昭
(72)【発明者】
【氏名】菊地 星矢
【審査官】井上 健一
(56)【参考文献】
【文献】特開２０００－２８６１２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１３／１０８８６２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開平１０－１７２８３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０５７５８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１９４８０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０２０／１７５４７７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１７－０１７１１６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｆ １７／００
Ｈ０１Ｆ １７／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の非導電性材料層が積層されてなる積層構造を有する、部品本体と、前記部品本体の内部に配置されるものであって、前記非導電性材料層間の界面に沿ってそれぞれ延びる複数のライン導体と、前記非導電性材料層を厚み方向に貫通する複数のビア導体と、をもって構成され、前記ライン導体と前記ビア導体とが交互に接続されることによって螺旋状の軌道に沿って延びる形態とされた、コイルと、
を備え、
前記ビア導体は、前記ライン導体に沿って延びる長手形状の長手ビア導体を含み、
前記長手ビア導体は、曲がりをもって延びる曲がりビア導体を含み、
前記曲がりビア導体は、曲がり角度が１８０度を超えかつ２７０度以下である曲がり部を有するものを含む、
インダクタ。
【請求項2】
前記曲がりビア導体は、曲がり角度が９０度以上かつ１８０度未満である曲がり部を有するものを含む、請求項１に記載のインダクタ。
【請求項3】
複数の非導電性材料層が積層されてなる積層構造を有する、部品本体と、前記部品本体の内部に配置されるものであって、前記非導電性材料層間の界面に沿ってそれぞれ延びる複数のライン導体と、前記非導電性材料層を厚み方向に貫通する複数のビア導体と、をもって構成され、前記ライン導体と前記ビア導体とが交互に接続されることによって螺旋状の軌道に沿って延びる形態とされた、コイルと、
を備え、
前記ビア導体は、前記ライン導体に沿って延びる長手形状の長手ビア導体を含み、
前記長手ビア導体は、曲がりをもって延びる曲がりビア導体を含み、
前記曲がりビア導体は、２箇所以上において、曲がり部を有するものを含む、
インダクタ。
【請求項4】
前記曲がりビア導体は、３箇所以上において、曲がり部を有するものを含む、請求項３に記載のインダクタ。
【請求項5】
前記螺旋状の軌道は、角を形成する角部分を有し、前記曲がりビア導体は、前記角部分に沿って位置する、請求項１ないし４のいずれかに記載のインダクタ。
【請求項6】
前記非導電性材料層間の同一界面内における前記ライン導体のターン数は、０．７ターン以上かつ２ターン未満である、請求項１ないし５のいずれかに記載のインダクタ。
【請求項7】
前記非導電性材料層間の同一界面内における前記ライン導体のターン数は、１ターン未満であり、前記非導電性材料層間の各界面にそれぞれ沿う前記ライン導体のターン数は一定である、請求項１ないし６のいずれかに記載のインダクタ。
【請求項8】
前記非導電性材料層間の同一界面内における前記ライン導体の幅方向寸法は、均一である、請求項１ないし７のいずれかに記載のインダクタ。
【請求項9】
複数の非導電性材料層が積層されてなる積層構造を有する、部品本体と、前記部品本体の内部に配置されるものであって、前記非導電性材料層間の界面に沿ってそれぞれ延びる複数のライン導体と、前記非導電性材料層を厚み方向に貫通する複数のビア導体と、をもって構成され、前記ライン導体と前記ビア導体とが交互に接続されることによって螺旋状の軌道に沿って延びる形態とされた、コイルと、
を備え、
前記ビア導体は、前記ライン導体に沿って延びる長手形状の長手ビア導体を含み、
前記長手ビア導体は、曲がりをもって延びる曲がりビア導体を含み、
前記部品本体は直方体形状を有し、前記非導電性材料層の主面は短辺および長辺を持つ長方形状をなしており、
前記ライン導体は、前記短辺に沿って延びる短辺部分と前記長辺に沿って延びる長辺部分とを有し、前記短辺部分において、前記長辺部分よりも線幅が大きくされ、
前記曲がりビア導体は、前記短辺部分に接続される部分において、前記長辺部分に接続される部分よりも幅広とされる、
インダクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、インダクタに関するもので、特に、複数の非導電性材料層からなる積層構造を有する部品本体の内部にコイルが配置された、インダクタに関するものである。
【背景技術】
【0002】
この発明にとって興味あるインダクタは、複数の非導電性材料層が積層されてなる積層構造を有する、部品本体を備える。部品本体の内部には、コイルが配置される。コイルは、非導電性材料層間の界面に沿ってそれぞれ延びる複数のライン導体と、非導電性材料層を厚み方向に貫通する複数のビア導体と、をもって構成され、ライン導体とビア導体とが交互に接続されることによって全体として螺旋状の軌道に沿って延びる形態とされる。
【0003】
図３２には、上述したインダクタ１が模式的に図示されている。図３２において、インダクタ１に備える部品本体２、および部品本体２の内部に配置されるコイル３が、コイル３の軸線方向（図３２紙面に直交する方向）に透視した状態で図示されている。
【0004】
部品本体２は、図３２紙面方向に延びる、複数の非導電性材料層が積層されてなる積層構造を有する。コイル３は、非導電性材料層間の界面に沿ってそれぞれに延びる複数のライン導体４と、非導電性材料層を厚み方向に貫通する複数のビア導体５と、をもって構成され、ライン導体４とビア導体５とが交互に接続されることによって全体として螺旋状の軌道に沿って延びる形態とされる。部品本体２の外表面上には、コイル３の一方端および他方端にそれぞれ接続される第１外部端子電極６および第２外部端子電極７が設けられる。
【0005】
図３２を参照しながら、コイル３における複数のライン導体４のつながりについて、より具体的に説明する。図示された、たとえば４つのビア導体５を互いに区別するため、４つのビア導体５の各々に、「５－１」、「５－２」、「５－３」、「５－４」の参照符号を付す。また、４つのビア導体５－１、５－２、５－３および５－４の各々を介して接続される５つのライン導体４の各々に、「４－１」、「４－２」、「４－３」、「４－４」、「４－５」の参照符号を付す。ライン導体４－１、４－２、４－３、４－４および４－５は、それぞれ、非導電性材料層間の異なる界面に沿って延びるように設けられているが、ライン導体４－１が設けられる界面と、ライン導体４－２が設けられる界面と、ライン導体４－３が設けられる界面と、ライン導体４－４が設けられる界面と、ライン導体４－５が設けられる界面とは、非導電性材料層の積層方向に並んでいる。
【0006】
第１外部端子電極６に第１引き出し導体８を介して接続されたライン導体４－１は、ビア導体５－１の位置まで時計回り方向に延びる。ビア導体５－１は、ライン導体４－１とライン導体４－２とを接続する。ライン導体４－２は、ビア導体５－１の位置からビア導体５－２の位置まで時計回り方向に延びる。ビア導体５－２は、ライン導体４－２とライン導体４－３とを接続する。ライン導体４－３は、ビア導体５－２の位置からビア導体５－３の位置まで時計回り方向に延びる。ビア導体５－３は、ライン導体４－３とライン導体４－４とを接続する。ライン導体４－４は、ビア導体５－３の位置からビア導体５－４の位置まで時計回り方向に延びる。ビア導体５－４は、ライン導体４－４とライン導体４－５とを接続する。ライン導体４－５は、ビア導体５－４の位置から時計回り方向に延び、第２引き出し導体９を介して第２外部端子電極７に接続される。
【0007】
ライン導体４の各々における、ビア導体５の各々と接続される端部には、パッド部１０が設けられる。パッド部１０は、通常、ビア導体５の断面積より広い面積を有しており、ライン導体４とビア導体５との接続信頼性を確保するものである。また、ビア導体５は、ライン導体４の線幅より大きい直径の円形の断面を有している。
【0008】
たとえば特開２０１８－１８４５８２号公報（特許文献１）には、図３２に示すように、ビア導体５の断面は、ライン導体４の線幅より大きい直径の円形であり、パッド部１０は、ビア導体５の断面積より広く、ビア導体５の断面と同心円の形状である、インダクタ１が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0009】
【文献】特開２０１８－１８４５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
図３２に示したインダクタ１の実使用時において、磁束は、複数のライン導体４が集合して形成する螺旋状の軌道によって囲まれた領域Ｒにおいて、図３２紙面に直交するように通過する。一方、上記領域Ｒには、ライン導体４の内周側から張り出して、ビア導体５の一部、さらにはパッド部１０の一部が存在している。
【0011】
このような状態において、ビア導体５およびパッド部１０は、磁束を遮り、このことによって、インダクタ１の特性、特にＱ値へ影響を及ぼすことが最近わかってきた。
【0012】
そこで、この発明の目的は、上述した課題を解決し得るインダクタを提供しようとすることである。
【課題を解決するための手段】
【0013】
この発明は、複数の非導電性材料層が積層されてなる積層構造を有する、部品本体を備えるとともに、部品本体の内部に配置されるものであって、非導電性材料層間の界面に沿ってそれぞれ延びる複数のライン導体と、非導電性材料層を厚み方向に貫通する複数のビア導体と、をもって構成され、ライン導体とビア導体とが交互に接続されることによって螺旋状の軌道に沿って延びる形態とされた、コイルを備える、インダクタに向けられる。
【0014】
この発明では、上述した技術的課題を解決するため、ビア導体は、ライン導体に沿って延びる長手形状の長手ビア導体を含むことを特徴としている。さらに、この発明では、長手ビア導体は、曲がりをもって延びる曲がりビア導体を含むことを基本的な特徴としている。
上記基本的な特徴に加えて、この発明の第１の局面では、曲がりビア導体は、曲がり角度が１８０度を超えかつ２７０度以下である曲がり部を有するものを含むことをさらなる特徴としている。
この発明の第２の局面では、上記基本的な特徴に加えて、曲がりビア導体は、２箇所以上において、曲がり部を有するものを含むことをさらなる特徴としている。
この発明の第３の局面では、上記基本的な特徴に加えて、部品本体は直方体形状を有し、非導電性材料層の主面は短辺および長辺を持つ長方形状をなしており、ライン導体は、短辺に沿って延びる短辺部分と長辺に沿って延びる長辺部分とを有し、短辺部分において、長辺部分よりも線幅が大きくされ、曲がりビア導体は、短辺部分に接続される部分において、長辺部分に接続される部分よりも幅広とされることをさらなる特徴としている。
上記基本的な特徴に加えて、この発明の第１の局面では、曲がりビア導体は、曲がり角度が１８０度を超えかつ２７０度以下である曲がり部を有するものを含むことをさらなる特徴としている。
この発明の第２の局面では、上記基本的な特徴に加えて、曲がりビア導体は、２箇所以上において、曲がり部を有するものを含むことをさらなる特徴としている。
この発明の第３の局面では、上記基本的な特徴に加えて、部品本体は直方体形状を有し、非導電性材料層の主面は短辺および長辺を持つ長方形状をなしており、ライン導体は、短辺に沿って延びる短辺部分と長辺に沿って延びる長辺部分とを有し、短辺部分において、長辺部分よりも線幅が大きくされ、曲がりビア導体は、短辺部分に接続される部分において、長辺部分に接続される部分よりも幅広とされることをさらなる特徴としている。
【発明の効果】
【0015】
この発明によれば、ビア導体は、ライン導体に沿って延びる長手形状の長手ビア導体を含むので、長手ビア導体は、円形のビア導体に比べて、ライン導体の内周側に張り出す度合いを低減すること、あるいは、ライン導体の内周側に張り出さないようにすることができる。したがって、ビア導体による磁束の遮りを低減したり、なくしたりすることができ、ビア導体が、インダクタの特性、特にＱ値へ影響を及ぼすことを抑制することができる。
【0016】
また、この発明によれば、長手ビア導体は、曲がりをもって延びる曲がりビア導体を含むので、部品本体を得るための積層工程、およびライン導体やビア導体を形成するための露光工程などにおける加工ばらつきの影響を低減することができる。したがって、ライン導体とビア導体との接続信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】この発明の第１の実施形態によるインダクタ１１の外観を示す斜視図である。
【図24】ライン導体２３とビア導体２４とのずれの状態を、（Ａ）ビア導体２４が曲がらずに延びる場合と、（Ｂ）ビア導体２４が曲がりをもって延びる場合と、で比較して模式的に示す図である。
【図25】曲がりビア導体の曲がり角度を説明する図である。
【図32】従来のインダクタ１を、コイル３の軸線方向に透視して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
【0019】
インダクタ１１は、部品本体１２を備える。部品本体１２は、たとえばガラス、樹脂およびフェライトの少なくとも１種を含む非導電性材料からなる。また、部品本体１２が樹脂などの成形体からなる場合は、シリカなどの非磁性フィラーや、フェライトまたは金属磁性体などの磁性フィラーを含有していてもよい。さらに、これらガラス、フェライト、樹脂の複数を組み合わせた構造であってもよい。部品本体１２は直方体形状を有している。直方体形状は、たとえば、稜線部分および角部分に丸みや面取りが付与された形状であってもよい。
【0020】
直方体形状の部品本体１２は、より具体的には、図１に示すように、実装基板側に向く実装面１３と、実装面１３に対向する天面１４と、実装面１３および天面１４間を連結しかつ互いに対向する第１側面１５および第２側面１６と、実装面１３および天面１４間ならびに第１側面１５および第２側面１６間をそれぞれ連結しかつ互いに対向する第１端面１７および第２端面１８と、を有している。
【0021】
部品本体１２は、上述した非導電性材料からなる複数の非導電性材料層１９を積層した積層構造を有している。複数の非導電性材料層１９は、第１側面１５から第２側面１６に向かって積層され、積層方向の各端部に位置する非導電性材料層１９の主面によって、部品本体１２の第１側面１５および第２側面１６がそれぞれ与えられる。
【0022】
部品本体１２の内部には、図２に示すように、コイル２０が配置されている。コイル２０は、螺旋状の軌道に沿って延びる。コイル２０の軸線は、側面１５および１６に直交する方向、すなわち、実装面１３に平行な方向に向けられる。コイル２０は、互いに逆の第１端部２１および第２端部２２を備えるとともに、第１端部２１および第２端部２２間において、複数の非導電性材料層１９のいずれかの界面に沿って延びる複数のライン導体２３と、非導電性材料層１９のいずれかを厚み方向に貫通する複数のビア導体２４と、を備えている。コイル２０において、上述のライン導体２３とビア導体２４とが交互に接続されることによって全体として螺旋状の軌道に沿って延びる形態が与えられる。複数のライン導体２３は、各々の端部において、ビア導体２４と接続されるパッド部２５を有する。
【0023】
図２に示すように、コイル２０の軸線方向に透視したとき、ライン導体２３およびパッド部２５の延びる方向に直交する方向を、ライン導体２３およびパッド部２５の幅方向とする。この実施形態では、ライン導体２３の幅方向寸法が維持されて、パッド部２５の幅方向寸法とされ、ビア導体２４の幅方向寸法は、ライン導体２３の幅方向寸法とほぼ同等とされる。
【0024】
部品本体１２の外表面上には、コイル２０の第１端部２１および第２端部２２にそれぞれ接続される第１外部端子電極２６および第２外部端子電極２７が設けられる。第１外部端子電極２６および第２外部端子電極２７は、部品本体１２の実装面１３とこれに隣接する第１端面１７および第２端面１８の各々との２面にわたって設けられる。このような形態をもって第１外部端子電極２６および第２外部端子電極２７を設ければ、インダクタ１１が実装基板に実装されたとき、適正な形態のはんだフィレットが形成され得るので、電気的接続および機械的接合の双方において信頼性の高い実装状態を得ることができる。第１外部端子電極２６および第２外部端子電極２７は、積層方向での両端部に位置するいくつかの非導電性材料層１９を除く複数の非導電性材料層１９の各々の厚み方向に貫通するように設けられる。
【0025】
上述したコイル２０ならびに外部端子電極２６および２７は、たとえば銀を導電成分として含む導電性ペーストからなる導体膜をパターニングすることによって形成される。また、非導電性材料層１９は、たとえばガラス、樹脂およびフェライトの少なくとも１種を含む非導電性材料を含むペーストからなる非導電性材料膜を必要に応じてパターンニングすることによって形成される。導体膜のパターニングや非導電性材料膜のパターニングには、たとえば、フォトリソグラフィ法、セミアディティブ法、スクリーン印刷法、転写法などが適用される。
【0026】
図示しないが、外部端子電極２６および２７の、部品本体１２から露出している部分にめっき膜が形成されてもよい。めっき膜は、たとえば、Ｎｉめっき層およびその上のＳｎめっき層を含む。
【0027】
ビア導体２４は、ライン導体２３に沿って延びる長手形状の長手ビア導体を含む。この実施形態では、図示されたビア導体２４のすべてが長手ビア導体である。また、この実施形態では、長手ビア導体のすべてが曲がりをもって延びる曲がりビア導体である。
【0028】
ここで、「ビア導体」と「長手ビア導体」と「曲がりビア導体」との関係について確認すると、「ビア導体」は「長手ビア導体」の上位概念であり、「長手ビア導体」は「曲がりビア導体」の上位概念である。したがって、「曲がりビア導体」というときは、それは「長手ビア導体」でもあり、さらに「ビア導体」でもある。また、「長手ビア導体」であるが、「曲がりビア導体」ではないとき、「長手ビア導体」という。
【0029】
【0030】
複数のビア導体２４を互いに区別するため、ビア導体２４の各々の参照符号の末尾に、「－１」、「－２」、…の数字を付す。図２では、曲がりビア導体２４－１、曲がりビア導体２４－２、曲がりビア導体２４－３、…が、反時計回り方向に並んで図示されている。
【0031】
また、複数のビア導体２４の各々を介して接続される複数のライン導体２３の各々に、「２３－１」、「２３－２」、「２３－３」、…の参照符号を付す。ライン導体２３－１、２３－２、２３－３、…は、それぞれ、非導電性材料層１９間の異なる界面に沿って延びるように設けられている。より具体的には、ライン導体２３－１が設けられる界面、ライン導体２３－２が設けられる界面、ライン導体２３－３が設けられる界面、…という順序で、非導電性材料層１９の積層方向に並んでいる。
【0032】
また、ライン導体２３－１、２３－２、２３－３、…の各々の端部が与えるパッド部２５に、「２５－１」、「２５－２」、「２５－３」、…の参照符号を付す。
【0033】
また、ライン導体２３－１、２３－２、２３－３、…の各々を主面上に設けた非導電性材料層１９に、「１９－１」、「１９－２」、「１９－３」、…の参照符号を付す。非導電性材料層１９－１、１９－２、１９－３、…は、この順に下から上へ積層される。
【0034】
コイル２０の第１端部２１および第２端部２２には、それぞれ、第１引き出し導体２８および第２引き出し導体２９が接続される。これら第１引き出し導体２８および第２引き出し導体２９は、コイル２０の第１端部２１および第２端部２２をそれぞれ位置させるライン導体２３－１および２３－１１の延長部分によって与えられる。
【0035】
なお、この明細書において、「ライン導体」、「引き出し導体」および「外部端子電極」は、次にように定義されかつ互いに区別される。「ライン導体」は、コイルの軸線方向に透視した状態で周回している部分を言い、「引き出し導体」は、上記周回している部分から外れて延びる部分を言い、「外部端子電極」は、部品本体から露出している部分を言う。
【0036】
まず、図３に示すように、非導電性材料層１９－１上において、第１外部端子電極２６に第１引き出し導体２８を介して接続されたライン導体２３－１は、パッド部２５－１まで時計回り方向に延びる。
【0037】
次に、図４に示す非導電性材料層１９－２が非導電性材料層１９－１の上に積層される。非導電性材料層１９－２を貫通するように、曲がりビア導体２４－１が設けられる。曲がりビア導体２４－１は、パッド部２５－１を介して、ライン導体２３－１と図５に示すライン導体２３－２とを接続する。
【0038】
次に、図５に示すように、非導電性材料層１９－２上において、ライン導体２３－２は、曲がりビア導体２４－１の位置からパッド部２５－２まで時計回り方向に延びる。
【0039】
次に、図６に示す非導電性材料層１９－３が非導電性材料層１９－２の上に積層される。非導電性材料層１９－３を貫通するように、曲がりビア導体２４－２が設けられる。曲がりビア導体２４－２は、パッド部２５－２を介して、ライン導体２３－２と図７に示すライン導体２３－３とを接続する。
【0040】
次に、図７に示すように、非導電性材料層１９－３上において、ライン導体２３－３は、曲がりビア導体２４－２の位置からパッド部２５－３まで時計回り方向に延びる。
【0041】
次に、図８に示す非導電性材料層１９－４が非導電性材料層１９－３の上に積層される。非導電性材料層１９－４を貫通するように、曲がりビア導体２４－３が設けられる。曲がりビア導体２４－３は、パッド部２５－３を介して、ライン導体２３－３と図９に示すライン導体２３－４とを接続する。
【0042】
次に、図９に示すように、非導電性材料層１９－４上において、ライン導体２３－４は、曲がりビア導体２４－３の位置からパッド部２５－４まで時計回り方向に延びる。
【0043】
次に、図１０に示す非導電性材料層１９－５が非導電性材料層１９－４の上に積層される。非導電性材料層１９－５を貫通するように、曲がりビア導体２４－４が設けられる。曲がりビア導体２４－４は、パッド部２５－４を介して、ライン導体２３－４と図１１に示すライン導体２３－５とを接続する。
【0044】
次に、図１１に示すように、非導電性材料層１９－５上において、ライン導体２３－５は、曲がりビア導体２４－４の位置からパッド部２５－５まで時計回り方向に延びる。
【0045】
次に、図１２に示す非導電性材料層１９－６が非導電性材料層１９－５の上に積層される。非導電性材料層１９－６を貫通するように、曲がりビア導体２４－５が設けられる。曲がりビア導体２４－５は、パッド部２５－５を介して、ライン導体２３－５と図１３に示すライン導体２３－６とを接続する。
【0046】
次に、図１３に示すように、非導電性材料層１９－６上において、ライン導体２３－６は、曲がりビア導体２４－５の位置からパッド部２５－６まで時計回り方向に延びる。
【0047】
次に、図１４に示す非導電性材料層１９－７が非導電性材料層１９－６の上に積層される。非導電性材料層１９－７を貫通するように、曲がりビア導体２４－６が設けられる。曲がりビア導体２４－６は、パッド部２５－６を介して、ライン導体２３－６と図１５に示すライン導体２３－７とを接続する。
【0048】
次に、図１５に示すように、非導電性材料層１９－７上において、ライン導体２３－７は、曲がりビア導体２４－６の位置からパッド部２５－７まで時計回り方向に延びる。
【0049】
次に、図１６に示す非導電性材料層１９－８が非導電性材料層１９－７の上に積層される。非導電性材料層１９－８を貫通するように、曲がりビア導体２４－７が設けられる。曲がりビア導体２４－７は、パッド部２５－７を介して、ライン導体２３－７と図１７に示すライン導体２３－８とを接続する。
【0050】
次に、図１７に示すように、非導電性材料層１９－８上において、ライン導体２３－８は、曲がりビア導体２４－７の位置からパッド部２５－８まで時計回り方向に延びる。
【0051】
次に、図１８に示す非導電性材料層１９－９が非導電性材料層１９－８の上に積層される。非導電性材料層１９－９を貫通するように、曲がりビア導体２４－８が設けられる。曲がりビア導体２４－８は、パッド部２５－８を介して、ライン導体２３－８と図１９に示すライン導体２３－９とを接続する。
【0052】
次に、図１９に示すように、非導電性材料層１９－９上において、ライン導体２３－９は、曲がりビア導体２４－８の位置からパッド部２５－９まで時計回り方向に延びる。
【0053】
次に、図２０に示す非導電性材料層１９－１０が非導電性材料層１９－９の上に積層される。非導電性材料層１９－１０を貫通するように、曲がりビア導体２４－９が設けられる。曲がりビア導体２４－９は、パッド部２５－９を介して、ライン導体２３－９と図２１に示すライン導体２３－１０とを接続する。
【0054】
次に、図２１に示すように、非導電性材料層１９－１０上において、ライン導体２３－１０は、曲がりビア導体２４－９の位置からパッド部２５－１０まで時計回り方向に延びる。
【0055】
次に、図２２に示す非導電性材料層１９－１１が非導電性材料層１９－１０の上に積層される。非導電性材料層１９－１１を貫通するように、曲がりビア導体２４－１０が設けられる。曲がりビア導体２４－１０は、パッド部２５－１０を介して、ライン導体２３－１０と図２３に示すライン導体２３－１１とを接続する。
【0056】
次に、図２３に示すように、非導電性材料層１９－１１上において、ライン導体２３－１１は、曲がりビア導体２４－１０の位置から時計回り方向に延び、第２引き出し導体２９を介して第２外部端子電極２７に接続される。
【0057】
以上、第１の実施形態によれば、ビア導体２４が長手形状を有しているので、コイル２０の軸線方向に透視したとき、ビア導体２４がライン導体２３の内周側に張り出さないようにすることが容易である。したがって、ビア導体２４による磁束の遮りが生じる懸念が減り、ビア導体２４が、インダクタの特性、特にＱ値へ影響を及ぼすことを抑制することができる。
【0058】
また、ビア導体２４が、曲がりをもって延びる長手形状を有しているので、部品本体１２を得るための積層工程、およびライン導体２３やビア導体２４を形成するための露光工程などにおける加工ばらつきの影響を低減することができる。したがって、ライン導体２３とビア導体２４との接続信頼性を向上させることができる。このことを、以下に、図２４を参照して、より具体的に説明する。
【0059】
図２４は、ライン導体２３とビア導体２４とのずれの状態を、（Ａ）ビア導体２４が曲がらずに延びる場合と、（Ｂ）ビア導体２４が曲がりをもって延びる場合と、で比較して模式的に示す図である。図２４において、「Ｙ方向のずれ」とは、曲がらずに延びるビア導体２４の長手方向のずれを言い、「Ｘ方向のずれ」とは、曲がらずに延びるビア導体２４の幅方向のずれを言う。
【0060】
まず、図２４（Ａ）に示すように、ビア導体２４が曲がらずに延びる場合には、「ずれなし」および「Ｙ方向のずれ」のときには、ライン導体２３とビア導体２４とがビア導体２４の全域において互いに接触し、接続状態が維持されているが、「Ｘ方向のずれ」のときには、ライン導体２３とビア導体２４とが互いに離れ、接続状態が維持されない。なお、「Ｘ方向のずれ」が比較的小さいとき、ライン導体２３とビア導体２４とがビア導体２４の一部において互いに接触することもあり得るが、信頼性の高い接続状態とは言い難い。いずれにしても、ビア導体２４の幅方向のずれである「Ｘ方向のずれ」が接続状態に与える影響が大きいことがわかる。
【0061】
他方、図２４（Ｂ）に示すように、ビア導体２４が曲がりをもって延びる場合には、「ずれなし」のときは、当然のことながら、ライン導体２３とビア導体２４とがビア導体２４の全域において互いに接触する。次に、「Ｙ方向のずれ」のときは、曲がりビア導体２４のうち、Ｙ方向に沿って延びる部分の全域において、ライン導体２３と接触し、「Ｘ方向のずれ」のときは、曲がりビア導体２４のうち、Ｘ方向に延びる部分の全域において、ライン導体２３と接触する。したがって、曲がりビア導体２４全体で見たとき、ライン導体２３とビア導体２４との互いの接触が保証され、信頼性の高い接続状態が維持される。
【0062】
なお、図２４に示した曲がりビア導体２４は、９０度の曲がり角度（後述する図２５に示す角度θ１、θ２に相当）を有しているので、「Ｘ方向のずれ」および「Ｙ方向のずれ」の２方向のずれのいずれに対しても、信頼性の高い接続状態を維持することができる。しかし、曲がりビア導体は、その曲がり角度が９０度以外でも、「ずれ」に対する接続状態の維持効果を発揮することができる。すなわち、一般に、曲がりビア導体の曲がり部を介して両側にそれぞれ延びる方向に沿う２方向のずれのいずれに対しても、信頼性の高い接続状態を維持することができることになる。
【0063】
このようなことから、ビア導体２４が、曲がりをもって延びる長手形状を有していると、積層工程および露光工程などにおける加工ばらつきの影響を低減することができ、ライン導体２３とビア導体２４との接続信頼性を向上させることができる。
【0064】
なお、曲がりをもって延びる曲がりビア導体を含む長手ビア導体は、ライン導体に沿って延びる長手形状を有している。見方を変えると、曲がりビア導体と接触するライン導体も、曲がりビア導体と接する部分において、曲がりをもって延びている。したがって、曲がりビア導体は、曲がりをもって延びるライン導体との接触面積を大きくしやすいという利点がある。
【0065】
第１の実施形態において、図２に示すように、ライン導体２３の複数のつながりが形成する螺旋状の軌道は、角を形成する角部分３１、３２、３３、３４、３５および３６を有し、これら角部分３１～３６にそれぞれ沿って、曲がりビア導体２４が位置している。この構成によれば、電流が集中しやすい角部分３１～３６の断面積をビア導体２４によって増大させることができ、電流集中が緩和し、電流集中による損失を抑制することができる。
【0066】
また、曲がりビア導体２４の各々について、曲がり角度を検討する。曲がりビア導体の曲がり角度を、曲がりビア導体の幅方向中心を結ぶ線が交差する角度であって、コイルの内周側から測定した角度と定義する。図２５を参照して、より具体的に説明する。図２５に示した曲がりビア導体は、たとえば図６に示した曲がりビア導体２４－２に相当する。曲がりビア導体２４－２は、２つの曲がり部ＢａおよびＢｂを有する。曲がりビア導体２４－２には、その幅方向中心を結ぶ線として、線ＣＬ１、線ＣＬ２および線ＣＬ３を引くことができる。曲がりビア導体２４－２の曲がり角度としては、線ＣＬ１と線ＣＬ２とがなす角度θ１、および線ＣＬ２と線ＣＬ３とがなす角度θ２がある。
【0067】
上述したθ１は、９０度以上かつ１８０度未満である。このような曲がり角度θ１を有する曲がりビア導体は、コイルにおける電流が集中しやすい角部分での断面積の増大に寄与することにより、電流集中を緩和し、損失を抑制することができる。
【0068】
他方、θ２は、１８０度を超えかつ２７０度以下である。このような大きい曲がり角度を有するビア導体は、信号反射による損失を生じにくくすることができる。
【0069】
図４に示した曲がりビア導体２４－１、図１０に示した曲がりビア導体２４－４、図１２に示した曲がりビア導体２４－５、図１４に示した曲がりビア導体２４－６、図１６に示した曲がりビア導体２４－７および図２２に示した曲がりビア導体２４－１０は、９０度以上かつ１８０度未満の曲がり角度θ１を持つ曲がり部を有している。
【0070】
一方、図６に示した曲がりビア導体２４－２、図８に示した曲がりビア導体２４－３、図１８に示した曲がりビア導体２４－８および図２０に示した曲がりビア導体２４－９は、９０度以上かつ１８０度未満の曲がり角度θ１を持つ曲がり部Ｂａと１８０度を超えかつ２７０度以下の曲がり角度θ２を持つ曲がり部Ｂｂとの双方を有している。このように、２つの曲がり部ＢａおよびＢｂを有する曲がりビア導体は、１つの曲がり部を有する曲がりビア導体に比べて、損失を抑制する効果がより高められる。
【0071】
また、上述した実施形態は、非導電性材料層１９間の同一界面内におけるライン導体２３のターン数は、０．７ターン以上かつ２ターン未満であるという特徴を有している。上記ターン数が０．７ターン以上であれば、漏れ磁束を低減することができ、２ターン未満であれば、磁束の通過エリアを広く確保することができる。
【0072】
なお、上述のターン数に関して、１ターンは、以下のように定義される。ライン導体２３の始端から終端にかけて、ライン導体２３の外周に沿って接線を順次引き、この接線が３６０度回転した段階で１ターンと定義される。
【0073】
第１の実施形態において得られた曲がりビア導体２４による上述した効果は、以下に説明する第２以降の実施形態においても奏される。
【0074】
次に、図２６を参照して、この発明の第２の実施形態によるインダクタ１１ａについて説明する。図２６は、図２に相当する図である。図２６において、図２に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【0075】
前述したように、２つの曲がり部を有する曲がりビア導体は、１つの曲がり部を有する曲がりビア導体に比べて、損失を抑制する効果がより高められる。図２６に示すインダクタ１１ａでは、コイル２０ａにおけるライン導体２３に沿って延びる長手形状の曲がりビア導体２４が、６つの曲がり部Ｂ１～Ｂ６を有している。したがって、損失を抑制する効果がより高められる。
【0076】
次に、図２７を参照して、この発明の第３の実施形態によるインダクタ１１ｂについて説明する。図２７は、図２に相当する図である。図２７において、図２に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【0077】
図２７に示すインダクタ１１ｂでは、コイル２０ｂにおけるライン導体２３に沿って延びる長手形状の曲がりビア導体２４は、２つの曲がり部Ｂ１およびＢ２を有している。また、図２６およびそれより前の図面で示された曲がりビア導体２４の曲がり部は、どちらかと言えば、屈曲した曲がりを呈していたが、図２７で示された曲がりビア導体２４の曲がり部Ｂ１およびＢ２は、どちらかと言えば、湾曲した曲がりを呈している。このことから、「曲がり」は、「屈曲」から「湾曲」まで幅広い意味を有していると理解すべきである。
【0078】
なお、図２７に示したコイル２０ｂの形態は、図２等に示したコイル２０の形態と異なっている。このことは、まず、コイルは種々の形態を取り得ることを示している。また、図２７に示したコイル２０ｂは、軸線方向の透視形状が単純な長円形であるので、その内周縁側で凹凸を少なくすることができる。したがって、電流集中などによる損失を抑制することができる。
【0079】
次に、図２８を参照して、この発明の第４の実施形態によるインダクタ１１ｃについて説明する。図２８は、図２に相当する図である。図２８において、図２に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【0080】
図２８に示すインダクタ１１ｃに備えるコイル２０ｃは、非導電性材料層１９間の同一界面内におけるライン導体２３のターン数が１ターン未満であり、非導電性材料層１９間の各界面にそれぞれ沿うライン導体２３のターン数が一定であるという特徴を有している。この構成によれば、図２８からわかるように、曲がりビア導体２４－１、２４－２、２４－３および２４－４の各々の間隔が等しくなり、コイル２０ｃが与える電流経路における断面積によるボトルネックがなくなり、電流集中などによる損失を生じにくくすることができる。
【0081】
以上説明した第１ないし第４の実施形態は、共通して、非導電性材料層１９間の同一界面内におけるライン導体２３の幅方向寸法は、均一であるという特徴を有している。この構成によれば、コイル２０、２０ａ、２０ｂおよび２０ｃの内周縁側の凹凸を少なくすることができるので、電流集中などによる損失を生じにくくすることができる。
【0082】
次に、図２９を参照して、この発明の第５の実施形態によるインダクタ１１ｄについて説明する。図２９は、図２に相当する図である。図２９において、図２に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【0083】
図２９に示すインダクタ１１ｄは、第１ないし第４の実施形態の場合とは異なり、非導電性材料層１９間の同一界面内におけるライン導体２３の幅方向寸法は、均一ではない。図２９に示すインダクタ１１ｄでは、非導電性材料層１９の主面は短辺３７および長辺３８を持つ長方形をなしており、コイル２０ｄの軸線方向の透視形状がほぼ長方形である。ライン導体２３は、短辺３７に沿って延びる短辺部分２３Ｓと長辺３８に沿って延びる長辺部分２３Ｌとを有し、短辺部分２３Ｓにおいて、長辺部分２３Ｌよりも線幅が大きくされている。
【0084】
このような構成によれば、ライン導体２３において、短辺部分２３Ｓの線幅が長辺部分２３Ｌの線幅より大きくされているので、コイル２０ｄの内周縁形状を正方形により近づけることができ、そのため、磁束の干渉を起こしにくく、すなわち、インダクタンスの取得効率をそれほど落とさず、高いＱ値を取得することができる。
【0085】
また、図２９に示すインダクタ１１ｄでは、曲がりビア導体２４は、ライン導体２３の短辺部分２３Ｓから長辺部分２３Ｌにわたって延び、短辺部分２３Ｓに接続される部分において、長辺部分２３Ｌに接続される部分よりも幅広とされる。このような構成によれば、ライン導体２３とビア導体２４との接触面積が増し、接続信頼性を向上させることができる。
【0086】
次に、図３０を参照して、この発明の第６の実施形態によるインダクタ１１ｅについて説明する。図３０は、図２に相当する図である。図３０において、図２に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【0087】
図３０に示すインダクタ１１ｅにおいても、上述の図２９に示したインダクタ１１ｄの場合と実質的に同様、非導電性材料層１９は短辺３７および長辺３８を持つ長方形をなしており、ライン導体２３は、短辺３７に沿って延びる短辺部分２３Ｓと長辺３８に沿って延びる長辺部分２３Ｌとを有し、短辺部分２３Ｓにおいて、長辺部分２３Ｌよりも線幅が大きくされている。しかし、図３０に示すインダクタ１１ｅでは、図２９に示すインダクタ１１ｄの場合とは異なり、コイル２０ｅの軸線方向の透視形状が長円形である。
【0088】
このような構成によれば、ライン導体２３において、短辺部分２３Ｓの線幅が長辺部分２３Ｌの線幅より大きくされているので、コイル２０ｅの内周縁形状を円形により近づけることができ、そのため、磁束の干渉を起こしにくく、すなわち、インダクタンスの取得効率をそれほど落とさず、高いＱ値を取得することができる。
【0089】
また、図３０に示すインダクタ１１ｅにおいても、曲がりビア導体２４は、ライン導体２３の短辺部分２３Ｓから長辺部分２３Ｌにわたって延び、短辺部分２３Ｓに接続される部分において、長辺部分２３Ｌに接続される部分よりも幅広とされる。このような構成によれば、ライン導体２３とビア導体２４との接触面積が増し、接続信頼性を向上させることができる。
【0090】
【0091】
図３１に示すインダクタ１１ｆは、ビア導体２４の形態を除いて、前述の図２９に示したインダクタ１１ｄの構成と実質的に同様の構成を有している。したがって、図３１において、図２９に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【0092】
図３１に示すインダクタ１１ｆでは、２つの曲がりビア導体２４ａと２つのスポット状ビア導体２４ｂとを備えている。コイル２０ｆの軸線方向の透視形状からは、前述の図２９に示したインダクタ１１ｄにおける曲がりビア導体２４の各々が、曲がりビア導体２４ａとスポット状ビア導体２４ｂとに分割されていると見ることができる。
【0093】
図３１に示すように、曲がりビア導体２４ａは、ライン導体２３の比較的細い長辺部分２３Ｌに接するように設けられ、スポット状ビア導体２４ｂは、ライン導体２３の比較的幅広の短辺部分２３Ｓに接するように設けられる。
【0094】
以上、この発明を図示したいくつかの実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他種々の変形例が可能である。
【0095】
たとえば、図示の実施形態では、コイル２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅおよび２０ｆは、部品本体１２の内部において、その軸線を実装面１３に平行な方向に向けた状態で配置されたが、非導電性材料層の積層方向を変更して、コイルの軸線は実装面に直交する方向に向けられてもよい。また、コイルの軸線が、実装面に平行な方向に向けられながら、部品本体の長手方向（たとえば図２における左右方向）に向けられることもある。
【0096】
また、図示の実施形態では、外部端子電極２６および２７は、部品本体１２の実装面１３とこれに隣接する第１端面１７および第２端面１８の各々との２面にわたって設けられたが、たとえば、天面１４ならびに第１側面１５および第２側面１６にまで延びるように形成されても、あるいは、実装面１３のみに形成されてもよく、外部端子電極の形成領域は、必要に応じて任意に変更することができる。
【0097】
また、コイルに備える複数のライン導体の総ターン数は、ライン導体とビア導体との接続数を変更することにより、任意に変更することができる。
【0098】
また、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能である。
【符号の説明】
【0099】
１１，１１ａ～１１ｆ インダクタ
１２ 部品本体
１９ 非導電性材料層
２０，２０ａ～２０ｆ コイル
２３ ライン導体
２３Ｓ 短辺部分
２３Ｌ 長辺部分
２４，２４ａ，２４ｂ ビア導体
３１～３６ 角部分
３７ 短辺
３８ 長辺
θ１，θ２ 曲がり角度
Ｂａ，Ｂｂ，Ｂ１～Ｂ６ 曲がり部
１２ 部品本体
１９ 非導電性材料層
２０，２０ａ～２０ｆ コイル
２３ ライン導体
２３Ｓ 短辺部分
２３Ｌ 長辺部分
２４，２４ａ，２４ｂ ビア導体
３１～３６ 角部分
３７ 短辺
３８ 長辺
θ１，θ２ 曲がり角度
Ｂａ，Ｂｂ，Ｂ１～Ｂ６ 曲がり部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】