特許 7518749 ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-09

(45)【発行日】2024-07-18

(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240710BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 501

B41J2/14 301

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020208065

(22)【出願日】2020-12-16

(65)【公開番号】P2022095000

(43)【公開日】2022-06-28

【審査請求日】2023-10-11

(73)【特許権者】

【識別番号】501167725

【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100165179

【弁理士】

【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡

(74)【代理人】

【識別番号】100126664

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 慎吾

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(72)【発明者】

【氏名】色川 大城

【審査官】小宮山 文男

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０６８３９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平６－９９５９１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体が噴射される噴射孔が形成された噴射孔プレートと、
前記噴射孔プレートに重ね合わされ、前記噴射孔に連通する流路、および前記噴射孔プレートを吸引する吸引孔が形成された流路部材と、
を備え、
前記噴射孔プレートおよび前記流路部材の間には、前記吸引孔に連通する溝部が形成されている、
ヘッドチップ。

【請求項2】

前記溝部は、前記流路および前記噴射孔の間の通液部を囲う、
請求項１に記載のヘッドチップ。

【請求項3】

前記溝部は、前記流路部材に形成されている、
請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。

【請求項4】

前記噴射孔プレートおよび前記流路部材の間に介在し、前記噴射孔プレートおよび前記流路部材のうちいずれか一方に接合された溝形成シートを備え、
前記溝形成シートには、前記噴射孔プレートおよび前記流路部材それぞれの互いに対向し合う面同士の間に前記溝部を画成する貫通孔が形成されている、
請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。

【請求項5】

前記噴射孔プレートおよび前記流路部材の間に配置され、前記溝部を囲うシール部材を備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のヘッドチップ。

【請求項6】

前記流路部材を挟んで前記噴射孔プレートとは反対側に配置されるとともに、前記流路に連通し前記噴射孔から噴射される液体に圧力を印加する噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートを備える請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のヘッドチップ。

【請求項7】

請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のヘッドチップを備えた液体噴射ヘッド。

【請求項8】

請求項７に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。インクジェットヘッドは、チャネルが形成されたヘッドチップと、ヘッドチップに接合されたノズルプレートと、を備えている。この構成によれば、チャネル内の容積が変化することで、チャネル内のインクがノズルプレートに形成されたノズル孔を通じて吐出される。

【0003】

上述したインクジェットヘッドでは、ノズルプレートのノズル孔の目詰まり等が発生した場合にノズルプレートを交換するというニーズがある。そのため、ノズルプレートをヘッドチップから着脱できるように形成する技術がある（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。

【0004】

特許文献１には、ノズルプレートと、ノズルプレート上に存在する流路形成部とを備え、ノズルプレートを吸引により流路形成部に密着させて、ノズルプレートが交換可能になるよう構成された液体噴射装置が開示されている。また、特許文献２には、オリフィスプレートとインク流路部材とを接合することによって構成されるインクジェットヘッドにおいて、インク流路部材を取り囲む押し圧部材の下にオリフィスプレートをはめ込んで、押し圧バネによってインク流路部材とオリフィスプレートを密着させる構成が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００２－６７３１１号公報

【文献】特開２００６－８２４０９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１に開示された構成では、負圧による吸着力がノズルプレートを吸引する吸引孔の近傍に集中して作用する。このため、ノズルプレートまたは流路形成部に反りが生じている場合には、各ノズル孔の周囲でノズルプレートおよび流路形成部の密着が不十分となって液漏れする可能性がある。また、特許文献２に開示された構成では、押し圧部材による押し圧がインク流路部材およびオリフィスプレートの外周部に集中して作用する。このため、インク流路部材およびオリフィスプレートの接合部の中心付近で押し圧が不足し、各ノズル孔の周囲でインク流路部材およびオリフィスプレートの密着が不十分となって液漏れする可能性がある。

【0007】

そこで本発明は、噴射孔プレートを着脱可能に設けた上で、噴射孔プレートの接合部における液漏れを抑制できるヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が噴射される噴射孔が形成された噴射孔プレートと、前記噴射孔プレートに重ね合わされ、前記噴射孔に連通する流路、および前記噴射孔プレートを吸引する吸引孔が形成された流路部材と、を備え、前記噴射孔プレートおよび前記流路部材の間には、前記吸引孔に連通する溝部が形成されている。

【0009】

本態様によれば、噴射孔プレートを流路部材に吸着させて交換可能とした構成において、吸引孔および溝部の負圧により噴射孔プレートを流路部材に吸着させるので、吸引孔の負圧のみにより噴射孔プレートを流路部材に吸着させる構成と比べて、負圧を広範囲に作用させることができる。したがって、噴射孔プレートを着脱可能に設けた上で、流路部材に噴射孔プレートを確実に吸着させて、噴射孔プレートの接合部における液漏れを抑制することができる。

【0010】

（２）上記（１）の態様のヘッドチップにおいて、前記溝部は、前記流路および前記噴射孔の間の通液部を囲っていてもよい。

【0011】

本態様によれば、通液部の周囲に負圧を作用させることができるので、噴射孔プレートおよび流路部材の隙間を伝った漏液を抑制できる。

【0012】

（３）上記（１）または（２）の態様のヘッドチップにおいて、前記溝部は、前記流路部材に形成されていてもよい。

【0013】

本態様によれば、噴射孔プレートに溝部を形成する場合よりも、消耗品である噴射孔プレートを安価に製造でき、ランニングコストを低減できる。
また、噴射孔プレートに溝部を形成する場合よりも、溝部の底壁の厚みを省略できる分、噴射孔プレートを薄く形成できる。このため、噴射孔プレートの孔あけ加工の歩留まりを向上させることができる。さらに、噴射孔の形状が液体の噴射方向に先細るようにテーパ状に設けられる場合には、噴射孔プレートが薄くなるに従い、噴射孔の上流側の開口が小さくなる。これにより、連通孔および噴射孔の位置ずれの許容範囲を大きくすることができる。よって、ヘッドチップを製造容易とすることができる。

【0014】

（４）上記（１）または（２）の態様のヘッドチップにおいて、前記噴射孔プレートおよび前記流路部材の間に介在し、前記噴射孔プレートおよび前記流路部材のうちいずれか一方に接合された溝形成シートを備え、前記溝形成シートには、前記噴射孔プレートおよび前記流路部材それぞれの互いに対向し合う面同士の間に前記溝部を画成する貫通孔が形成されていてもよい。

【0015】

本態様によれば、噴射孔プレートおよび流路部材に溝部が形成されていないヘッドチップに対し、溝形成シートを追加することで噴射孔プレートおよび流路部材の間に溝部を設けることができる。よって従来の噴射孔プレートおよび流路部材を流用できる。また、製造時に流路部材に溝部を形成する工程がないので、工程増加に伴う製造コスト上昇を抑制できる。

【0016】

（５）上記（１）から（４）のいずれかの態様のヘッドチップにおいて、前記噴射孔プレートおよび前記流路部材の間に配置され、前記溝部を囲うシール部材を備えていてもよい。

【0017】

本態様によれば、溝部の気密性が向上するので、流路部材に噴射孔プレートを確実に吸着させることができる。また、噴射孔プレートおよび流路部材の材料選択の自由度を向上させることができる。

【0018】

（６）上記（１）から（５）のいずれかの態様のヘッドチップにおいて、前記流路部材を挟んで前記噴射孔プレートとは反対側に配置されるとともに、前記流路に連通し前記噴射孔から噴射される液体に圧力を印加する噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートを備えていてもよい。

【0019】

本態様によれば、流路部材がアクチュエータプレートである場合と比べて、噴射チャネルの圧力変動が流路部材および噴射孔プレートの吸着面に波及しにくい。したがって、噴射孔プレートを流路部材に安定して吸着できる。

【0020】

（７）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（６）のいずれかの態様に係るヘッドチップを備えている。

【0021】

本態様によれば、上記いずれかの態様に係るヘッドチップを備えているので、噴射孔プレートが着脱可能に設けられた液体噴射ヘッドにおいて、噴射孔プレートの接合部における液漏れを抑制できる。

【0022】

（８）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（７）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。

【0023】

本態様によれば、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えているので、噴射孔プレートが着脱可能に設けられた液体噴射記録装置において、噴射孔プレートの接合部における液漏れを抑制できる。

【発明の効果】

【0024】

本開示の一態様によれば、噴射孔プレートを着脱可能に設けた上で、噴射孔プレートの接合部における液漏れを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】実施形態のプリンタの概略構成図である。

【図2】実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。

【図3】第１実施形態のヘッドチップの斜視図である。

【図4】第１実施形態のヘッドチップの分解斜視図である。

【図5】第１実施形態の中間プレートの底面図である。

【図6】第１実施形態の第１変形例のヘッドチップの分解斜視図である。

【図7】第１実施形態の第２変形例の中間プレートの底面図である。

【図8】第１実施形態の第３変形例の中間プレートの底面図である。

【図9】第２実施形態のヘッドチップの分解斜視図である。

【図10】第３実施形態のヘッドチップにおいて溝部を横断する断面の一部を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。なお以下の説明では、同一または類似の機能を有する構成に同一の符号を付す。そして、それら構成の重複する説明は省略する場合がある。

【0027】

［実施形態］
＜プリンタ＞
各実施形態に共通するプリンタ１について説明する。
図１は、実施形態のプリンタの概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、走査機構６と、を備えている。

【0028】

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構６の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する高さ方向（鉛直方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本実施形態において、＋Ｚ側は鉛直方向の上方に相当し、－Ｚ側は鉛直方向の下方に相当する。

【0029】

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１６と、を備えている。インクタンク１５には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク１５に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。

【0030】

走査機構６は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構６は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。キャリッジ２９には、インクジェットヘッド５が搭載されている。

【0031】

図２は、実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。以下の説明では一のインクジェットヘッド５を例にしてインクジェットヘッド５の詳細について説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に固定されるベースフレーム３１と、ベースフレーム３１に固定されたヘッドチップ３２と、インク供給機構４（インク配管１６）およびヘッドチップ３２間を接続するインク供給部３３と、ヘッドチップ３２に駆動電圧を印加する制御部３４と、を備えている。

【0032】

［第１実施形態］
＜ヘッドチップ＞
第１実施形態のヘッドチップ３２について説明する。
図３は、第１実施形態のヘッドチップの斜視図である。図４は、第１実施形態のヘッドチップの分解斜視図である。
図３および図４に示すヘッドチップ３２は、後述する吐出チャネル５６における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのものである。具体的に、ヘッドチップ３２は、アクチュエータプレート５１と、カバープレート５２と、支持プレート５３と、中間プレート（流路部材）５４と、ノズルプレート（噴射孔プレート）５５と、を備えている。

【0033】

アクチュエータプレート５１は、Ｙ方向を厚み方向とする板状に形成されている。アクチュエータプレート５１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５１には、複数のチャネル５６，５７がＸ方向に間隔をあけて並設されている。上述した複数のチャネル５６，５７は、インクが充填される吐出チャネル５６、およびインクが充填されない非吐出チャネル５７（図４参照）である。吐出チャネル５６および非吐出チャネル５７は、Ｘ方向に交互に並んで配置されている。なお、チャネル５６内面には、図示しない駆動電極が形成されている。

【0034】

カバープレート５２は、Ｙ方向から見た正面視で矩形状に形成されている。カバープレート５２は、アクチュエータプレート５１の上端部（＋Ｚ側端部）を露出させた状態で、アクチュエータプレート５１に対して－Ｙ側から接合されている。

【0035】

カバープレート５２には、共通インク室６１と、複数のスリット６２と、が形成されている。共通インク室６１には、上述したインク供給部３３を通じてインクが流入する。スリット６２は、共通インク室６１のうち、吐出チャネル５６とＹ方向で対向する位置に形成されている。スリット６２は、共通インク室６１内と各吐出チャネル５６内とを各別に連通している。一方、非吐出チャネル５７は、共通インク室６１内には連通していない。

【0036】

支持プレート５３は、アクチュエータプレート５１およびカバープレート５２を支持するともに、中間プレート５４を同時に支持している。支持プレート５３には、Ｚ方向に貫通するとともにＸ方向に沿って延びる嵌合孔５３ａが形成されている。アクチュエータプレート５１およびカバープレート５２は、嵌合孔５３ａ内に嵌め込まれた状態で支持プレート５３に支持されている。

【0037】

中間プレート５４は、アクチュエータプレート５１、カバープレート５２および支持プレート５３の下面（－Ｚ側端面）に重ね合わされて、例えば接着剤等により固定されている。中間プレート５４は、Ｚ方向を厚さ方向とする板状に形成されている。中間プレート５４は、アクチュエータプレート５１と同じ圧電材料により形成されている。

【0038】

中間プレート５４には、連通孔（流路）７１、吸引孔７２および溝部７３が形成されている。連通孔７１は、中間プレート５４をＺ方向に貫通している。連通孔７１は、Ｘ方向に間隔をあけて並設されている。連通孔７１は、各吐出チャネル５６の中間プレート５４側（－Ｚ側）の端部とＺ方向から見て重なり合う。連通孔７１は、アクチュエータプレート５１の下面側において、対応する吐出チャネル５６内に各別に連通している。連通孔７１の吐出チャネル５６側の開口は、吐出チャネル５６の配列方向（Ｘ方向）において、吐出チャネル５６の中間プレート５４側の端部よりも広い。中間プレート５４は、非吐出チャネル５７を下面側から閉塞している。吸引孔７２および溝部７３については後述する。

【0039】

ノズルプレート５５は、中間プレート５４の下面（－Ｚ側端面）に直接重ね合わせて固定されている。ノズルプレート５５は、Ｚ方向を厚さ方向とする板状に形成されている。ノズルプレート５５は、樹脂材料（ポリイミド等）や金属材料（ステンレス鋼やＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造とされている。

【0040】

ノズルプレート５５には、ノズルプレート５５をＺ方向に貫通するノズル孔（噴射孔）１００が形成されている。ノズル孔１００は、Ｚ方向から見た平面視で円形状に形成されるとともに、上方から下方に向かうに従い漸次縮径するテーパ状に形成されている。ただし、ノズル孔１００の形状は適宜変更が可能である。

【0041】

ノズル孔１００は、中間プレート５４の連通孔７１にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。ノズル孔１００は、連通孔７１に各別に連通している。これにより、上述した吐出チャネル５６は、連通孔７１およびノズル孔１００を通して外部に連通している。各ノズル孔１００は、隣り合う吐出チャネル５６同士の間隔と同ピッチでＸ方向に間隔をあけて形成されている。ノズル孔１００の中間プレート５４側の開口は、Ｚ方向から見て、連通孔７１のノズルプレート５５側の開口の内側に形成されている。

【0042】

ここで、中間プレート５４およびノズルプレート５５の固定構造について説明する。
図５は、第１実施形態の中間プレートの底面図である。
図４および図５に示すように、中間プレート５４およびノズルプレート５５の固定構造は、吸引孔７２および溝部７３を備える。吸引孔７２は、中間プレート５４のうちノズルプレート５５側（－Ｚ側）の面に開口し、ノズルプレート５５によって閉塞されている。吸引孔７２は、中間プレート５４を貫通している。本実施形態では、吸引孔７２は、中間プレート５４をＺ方向に貫通している。吸引孔７２は、Ｚ方向から見て中間プレート５４の連通孔７１、およびノズルプレート５５のノズル孔１００に重ならない位置に形成されている。本実施形態では、吸引孔７２は、Ｚ方向から見て支持プレート５３と中間プレート５４との接合部に重なる位置に形成されている。吸引孔７２は、支持プレート５３に形成された接続孔５３ｂに連通している。吸引孔７２内の気体は、接続孔５３ｂを通じて、接続孔５３ｂに接続された図示しないポンプ等によって排気される。これにより、吸引孔７２は、ノズルプレート５５を吸引する。

【0043】

溝部７３は、ノズルプレート５５および中間プレート５４の間に形成されている。本実施形態では、溝部７３は、中間プレート５４のうちノズルプレート５５側の面に形成されている。溝部７３は、吸引孔７２に連通している。溝部７３は、Ｚ方向から見て連通孔７１およびノズル孔１００の間の通液部６６よりも外側に形成されている。連通孔７１およびノズル孔１００の間の通液部６６とは、連通孔７１およびノズル孔１００を含む孔構造における連通孔７１およびノズル孔１００の境界部である。溝部７３は、Ｚ方向から見て通液部６６を囲う包囲部７４と、包囲部７４と吸引孔７２とを接続する接続部７５と、を備える。接続部７５は、吸引孔７２に最も近い通液部６６に向けて吸引孔７２から直線状に延びている。包囲部７４は、複数の通液部６６をまとめて囲うとともに、複数の通液部６６を各別に囲っている。包囲部７４は、Ｘ方向に１列に並ぶ通液部６６をまとめて囲う周辺部７４ａと、Ｚ方向から見てＸ方向に隣り合う一対の通液部６６の間をＹ方向に延びて両端で周辺部７４ａに接続する横断部７４ｂと、を備える。周辺部７４ａは、Ｚ方向から見てＸ方向を長手方向とする矩形枠状に形成されている。横断部７４ｂは、隣り合う一対の連通孔７１の間に１つずつ形成されている。横断部７４ｂは、Ｙ方向に直線状に延びている。

【0044】

上述した中間プレート５４およびノズルプレート５５の固定構造を有するヘッドチップ３２において、吸引孔７２を負圧にすることで、吸引孔７２に連通する溝部７３が負圧となる。これにより、中間プレート５４に重ね合わされたノズルプレート５５を中間プレート５４に吸着させて、中間プレート５４およびノズルプレート５５を固定することができる。また、吸引孔７２を大気圧に戻すことで、中間プレート５４に対するノズルプレート５５の吸着力が低下するので、ノズルプレート５５を中間プレート５４から取り外すことが可能となる。

【0045】

以上に説明したように、本実施形態では、ノズルプレート５５および中間プレート５４の間に、ノズルプレート５５を吸引する吸引孔７２に連通する溝部７３が形成されている。この構成によれば、ノズルプレート５５を中間プレート５４に吸着させて交換可能とした構成において、吸引孔７２および溝部７３の負圧によりノズルプレート５５を中間プレート５４に吸着させるので、吸引孔の負圧のみによりノズルプレートを中間プレートに吸着させる構成と比べて、負圧を広範囲に作用させることができる。したがって、ノズルプレート５５を着脱可能に設けた上で、中間プレート５４にノズルプレート５５を確実に吸着させて、ノズルプレート５５の接合部における液漏れを抑制することができる。

【0046】

溝部７３は、連通孔７１およびノズル孔１００の間の通液部６６を囲う。この構成によれば、通液部６６の周囲に負圧を作用させることができるので、ノズルプレート５５および中間プレート５４の隙間を伝った漏液を抑制できる。

【0047】

溝部７３は、中間プレート５４に形成されている。この構成によれば、ノズルプレートに溝部を形成する場合よりも、消耗品であるノズルプレート５５を安価に製造でき、ランニングコストを低減できる。
また、ノズルプレートに溝部を形成する場合よりも、溝部の底壁の厚みを省略できる分、ノズルプレート５５を薄く形成できる。このため、ノズルプレート５５の孔あけ加工の歩留まりを向上させることができる。さらに、本実施形態のようにノズル孔１００の形状がインクの噴射方向（－Ｚ側）に先細るようにテーパ状に設けられる場合には、ノズルプレート５５が薄くなるに従い、ノズル孔１００の上流側の開口が小さくなる。これにより、連通孔７１およびノズル孔１００の位置ずれの許容範囲を大きくすることができる。よって、ヘッドチップ３２を製造容易とすることができる。

【0048】

また、本実施形態では、中間プレート５４を挟んでノズルプレート５５とは反対側にアクチュエータプレート５１が配置されている。この構成によれば、ノズルプレートがアクチュエータプレートに直接重ね合わされる場合と比べて、吐出チャネル５６の圧力変動が中間プレート５４およびノズルプレート５５の吸着面に波及しにくい。したがって、ノズルプレート５５を中間プレート５４に安定して吸着できる。

【0049】

そして、本実施形態によれば、ノズルプレート５５が着脱可能に設けられたインクジェットヘッド５およびプリンタ１において、ノズルプレート５５の接合部における液漏れを抑制できる。

【0050】

［第１実施形態の第１変形例］
＜ヘッドチップ＞
第１実施形態の第１変形例のヘッドチップ３２Ａについて説明する。
図６は、第１実施形態の第１変形例のヘッドチップの分解斜視図である。
本変形例では、ヘッドチップ３２Ａに支持プレートが設けられていない点で、第１実施形態とは異なる。これにより、中間プレート５４は、アクチュエータプレート５１およびカバープレート５２の下面（－Ｚ側端面）に重ね合わされて、例えば接着剤等により固定されている。なお、以下で説明する以外の構成は、第１実施形態と同様である。

【0051】

図６に示すように、中間プレート５４の吸引孔７２は、アクチュエータプレート５１およびカバープレート５２のうち少なくともいずれか一方に形成された接続孔５８に連通している。接続孔５８は、アクチュエータプレート５１およびカバープレート５２からなる組体を貫通している。図示の例では、接続孔５８は、吸引孔７２に対向する開口からアクチュエータプレート５１およびカバープレート５２の間を＋Ｚ側に延びた後、カバープレート５２をＹ方向に貫通している。接続孔５８には、図示しないポンプ等の吸引手段が接続されている。

【0052】

以上に説明したように、本変形例では吸引孔７２を通じて溝部７３を負圧にすることができるので、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

【0053】

［第１実施形態の第２変形例］
＜ヘッドチップ＞
第１実施形態の第２変形例の中間プレート５４Ａについて説明する。
図７は、第１実施形態の第２変形例の中間プレートの底面図である。
本変形例では、溝部７３が包囲部７４および接続部７５に加えて、外周部７６を備えている点で、第１実施形態とは異なる。なお、以下で説明する以外の構成は、第１実施形態と同様である。

【0054】

図７に示すように、溝部７３は、中間プレート５４Ａの外周縁と包囲部７４との間に外周部７６を備える。外周部７６は、包囲部７４を全周にわたって囲うように延びている。外周部７６は、平面視で中間プレート５４Ａの外周縁に沿って矩形状に延びている。図示の例では、外周部７６は、吸引孔７２から延びている。ただし外周部は、包囲部７４または接続部７５から延びていてもよい。

【0055】

以上に説明したように、本変形例では包囲部７４の周囲に外周部７６が設けられているので、溝部７３の負圧を中間プレート５４Ａおよびノズルプレート５５の重ね合わせ面のより広範囲に作用させることができる。したがって、中間プレート５４Ａにノズルプレート５５をより確実に吸着させることができる。

【0056】

なお、本変形例では、外周部７６が包囲部７４の周囲全周を囲うように形成されているが、この構成に限定されない。例えば外周部は、包囲部７４の周囲の一部を囲うように延びていてもよい。

【0057】

［第１実施形態の第３変形例］
＜ヘッドチップ＞
第１実施形態の第３変形例の中間プレート５４Ｂについて説明する。
図８は、第１実施形態の第３変形例の中間プレートの底面図である。
本変形例では、溝部７３が包囲部７４、接続部７５および外周部７６に加えて、内周部７７を備えている点で、第２変形例とは異なる。なお、以下で説明する以外の構成は、第２変形例と同様である。

【0058】

図８に示すように、溝部７３は、中間プレート５４Ｂの外周縁と包囲部７４との間に外周部７６および内周部７７を備える。内周部７７は、平面視で外周部７６の内側で、包囲部７４を全周にわたって囲うように延びている。内周部７７は、外周部７６の形状に倣い、平面視で矩形状に延びている。図示の例では、内周部７７は、接続部７５から延びている。ただし内周部は、包囲部７４から延びていてもよい。

【0059】

以上に説明したように、本変形例では包囲部７４の周囲に外周部７６および内周部７７が設けられているので、中間プレート５４Ｂにノズルプレート５５をより確実に吸着させることができる。

【0060】

なお、本変形例では、内周部７７が包囲部７４の周囲全周を囲うように形成されているが、この構成に限定されない。例えば内周部は、包囲部７４の周囲の一部を囲うように延びていてもよい。

【0061】

［第２実施形態］
＜ヘッドチップ＞
第２実施形態のヘッドチップ３２Ｂについて説明する。
図９は、第２実施形態のヘッドチップの分解斜視図である。
本実施形態では、中間プレート５４Ｃの基材８０とノズルプレート５５との間に、溝部７３を画成する貫通孔８２が形成された溝形成シート８１が介在している点で、第１実施形態とは異なる。なお、以下で説明する以外の構成は、第１実施形態と同様である。

【0062】

図９に示すように、本実施形態のヘッドチップ３２Ｂは、第１実施形態の中間プレート５４に代えて、中間プレート５４Ｃを備える。中間プレート５４Ｃは、基材（流路部材）８０と、基材８０の下面に接合された溝形成シート８１と、を備えている。ここで、基材８０は、第１実施形態の中間プレート５４に対して溝部７３を形成していない構成を有する。溝形成シート８１は、ノズルプレート５５および基材８０の間に介在している。溝形成シート８１は、基材８０に接着等により接合されている。中間プレート５４Ｃは、第１実施形態の中間プレート５４と同様の形状を有する。連通孔７１および吸引孔７２は、基材８０および溝形成８１シートに跨って形成されている。溝部７３は、溝形成シート８１に形成された貫通孔８２によって画成されている。貫通孔８２は、ノズルプレート５５および基材８０それぞれの互いに対向し合う面同士の間に溝部７３を画成している。

【0063】

本実施形態によれば、ノズルプレート５５および基材８０に溝部が形成されていないヘッドチップに対し、溝形成シート８１を追加することでノズルプレート５５および基材８０の間に溝部７３を設けることができる。よって従来のノズルプレートおよび中間プレートを流用できる。また、ヘッドチップ３２の製造時に中間プレート５４Ｃの基材８０に溝部を形成する工程がないので、工程増加に伴う製造コスト上昇を抑制できる。

【0064】

［第３実施形態］
＜ヘッドチップ＞
第３実施形態のヘッドチップ３２Ｃについて説明する。
図１０は、第３実施形態のヘッドチップにおいて溝部を横断する断面の一部を示す図である。
本実施形態では、ノズルプレート５５および中間プレート５４の間に、溝部７３を囲うシール部材８５が配置されている点で、第１実施形態と異なる。例えば、シール部材８５は、Ｏリングである。シール部材８５は、中間プレート５４に形成された凹部に配置されている。例えば、シール部材８５は、溝部７３の全体を囲うように１つ配置されていてもよいし、溝部７３の両脇で溝部７３に沿って配置されていてもよい。なお、その他の構成は、第１実施形態と同様である。

【0065】

本実施形態によれば、シール部材８５によって溝部７３の気密性が向上するので、中間プレート５４にノズルプレート５５を確実に吸着させることができる。また、ノズルプレート５５および中間プレート５４の材料選択の自由度を向上させることができる。

【0066】

なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。

【0067】

上記実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上記実施形態では、Ｚ方向が鉛直方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。

【0068】

上記実施形態では、エッジシュートのヘッドチップについて説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用してもよい。

【0069】

上記実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上記実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

【0070】

上記実施形態では、中間プレートに溝部７３および吸引孔７２が１つずつ形成されているが、この構成に限られない。中間プレートには、複数の吸引孔それぞれに１つずつ連通する複数の溝部が形成されていてもよいし、溝部が複数の吸引孔に連通していてもよい。また、溝部は、中間プレートの連通孔およびノズルプレートのノズル孔の間の通液部を囲っていなくてもよく、少なくとも吸引孔から延びていればよい。ただし、溝部は、連通孔およびノズル孔の間の通液部からの液漏れを抑制するという観点で、通液部の近傍に形成されていることが望ましい。

【0071】

上記実施形態では、溝部の包囲部が通液部の周囲全周を囲うように形成されているが、この構成に限定されない。例えば包囲部は、通液部の周囲の一部を囲うように延びていてもよいし、隣り合う通液部の間を縫うようにジグザグ状に延びていてもよい。

【0072】

上記実施形態では、溝部が中間プレートに形成されているが、この構成に限らない。溝部はノズルプレートに形成されていてもよいし、中間プレートおよびノズルプレートの両方に形成されていてもよい。また、ノズルプレートがアクチュエータプレートに直接重ね合わされる構成において、溝部がアクチュエータプレートおよびノズルプレートの少なくともいずれか一方に形成されていてもよい。

【0073】

上記実施形態では、中間プレートは圧電材料により形成されているが、この構成に限定されない。中間プレートは圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。さらに、中間プレートは、ゴム等の弾性部材で形成されていてもよい。これにより、中間プレートとノズルプレートとを密着させて、溝部の気密性の向上を図ることができる。

【0074】

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

【符号の説明】

【0075】

１…プリンタ（液体噴射記録装置） ５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド） ３２，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ…ヘッドチップ ５１…アクチュエータプレート ５４，５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃ…中間プレート（流路部材） ５６…吐出チャネル（噴射チャネル） ６６…通液部 ７１…連通孔（流路） ７２…吸引孔 ７３…溝部 ８０…基材（流路部材） ８１…溝形成シート ８２…貫通孔 ８５…シール部材 １００…ノズル孔（噴射孔）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】