(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-09
(45)【発行日】2024-07-18
(54)【発明の名称】物品搬送装置および物品搬送方法
(51)【国際特許分類】
B65G 1/00 20060101AFI20240710BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20240710BHJP
【ＦＩ】
B65G1/00 541
H01L21/68 A
【請求項の数】
14
(21)【出願番号】P 2022206293
(22)【出願日】2022-12-23
(65)【公開番号】P2023099326
(43)【公開日】2023-07-12
【審査請求日】2022-12-23
(31)【優先権主張番号】10-2021-0193243
(32)【優先日】2021-12-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(31)【優先権主張番号】10-2022-0065102
(32)【優先日】2022-05-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】598123150
【氏名又は名称】セメス株式会社
【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
(74)【代理人】
【識別番号】110000671
【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】ヨン，ユン サン
(72)【発明者】
【氏名】ジュン，ソン キュン
(72)【発明者】
【氏名】カン，ヒ ジェ
【審査官】八板 直人
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２１－１７８７１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１９５２７９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１８９４４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１４／００５６６７２（ＵＳ，Ａ１）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１６－００１５４９３（ＫＲ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｇ １／００－１／１３３；１／１４－１／２０
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
フレームと、前記フレームに連結され、第１類物品を下で支持する第１移送搭載部と、
前記フレームに連結されて前記第１移送搭載部上に位置して前記第１類物品を下で支持する第２移送搭載部と、
前記フレームに連結されて前記第２移送搭載部上に位置し、前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持する第３移送搭載部を含み、
前記第１移送搭載部は前記第２および前記第３移送搭載部とは独立して駆動し、前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部は同時に駆動し、
前記第２移送搭載部は前記第１類物品を支持し、前記第３移送搭載部は空いている状態で、
前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部それぞれがインターフェース部材の第２支持部と第３支持部に向かって移動され、前記第２移送搭載部は前記第１類物品を前記第２支持部に移動し、
前記第２支持部および前記第３支持部の高さの差は、前記第２移送搭載部および前記第３移送搭載部の高さの差と同一である、物品搬送装置。
【請求項2】
フレームと、
前記フレームに連結され、第１類物品を下で支持する第１移送搭載部と、
前記フレームに連結されて前記第１移送搭載部上に位置して前記第１類物品を下で支持する第２移送搭載部と、
前記フレームに連結されて前記第２移送搭載部上に位置し、前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持する第３移送搭載部を含み、
前記第１移送搭載部は前記第２および前記第３移送搭載部とは独立して駆動し、前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部は同時に駆動し、
前記第２移送搭載部は空いている状態であり、前記第３移送搭載部は前記第２類物品を支持し、
前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部それぞれがインターフェース部材の第２支持部と第３支持部に向かって移動され、前記第３移送搭載部は前記第２類物品を前記第３支持部に移動し、
前記第２支持部および前記第３支持部の高さの差は、前記第２移送搭載部および前記第３移送搭載部の高さの差と同一である、物品搬送装置。
【請求項3】
フレームと、
前記フレームに連結され、第１類物品を下で支持する第１移送搭載部と、
前記フレームに連結されて前記第１移送搭載部上に位置して前記第１類物品を下で支持する第２移送搭載部と、
前記フレームに連結されて前記第２移送搭載部上に位置し、前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持する第３移送搭載部を含み、
前記第１移送搭載部は前記第２および前記第３移送搭載部とは独立して駆動し、前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部は同時に駆動し、
前記第２移送搭載部は前記第１類物品を支持し、前記第３移送搭載部は前記第２類物品を支持し、
前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部それぞれがインターフェース部材の第２支持部と第３支持部に向かって移動され、前記第２移送搭載部は前記第１類物品を前記第２支持部に移動し、前記第３移送搭載部は前記第２類物品を前記第３支持部に移動し、
前記第２支持部および前記第３支持部の高さの差は、前記第２移送搭載部および前記第３移送搭載部の高さの差と同一である、物品搬送装置。
【請求項4】
前記フレームは上下方向に移動し、前記上下方向から見るとき前記第１移送搭載部、前記第２移送搭載部および前記第３移送搭載部は互いに重なるように設置された、請求項１に記載の物品搬送装置。
【請求項5】
前記第１移送搭載部が前記第１類物品を第１支持部上に安着させるための出退動作を行うために必要とされる時間と、前記第３移送搭載部が前記第２類物品を第３支持部上に安着させるための出退動作を行うために必要とされる時間が互いに同じである、請求項１に記載の物品搬送装置。
【請求項6】
前記第１移送搭載部は前記フレームと連結された第１ロボットアームによって動作し、前記第２移送搭載部および前記第３移送搭載部は前記フレームと連結された第２ロボットアームによって動作する、請求項１に記載の物品搬送装置。
【請求項7】
前記第１類物品を積載するための第２支持部と、前記第２類物品を積載するための第３支持部を含むインターフェース部材をさらに含む、請求項１に記載の物品搬送装置。
【請求項8】
前記第２移送搭載部は第１移送プレートと、前記第１移送プレート上に配置された多数の第１位置決めピンを含み、前記第２支持部は第１支持プレートと、前記第１支持プレート上に配置された多数の第２位置決めピンを含み、
前記第１類物品の底面には前記第１位置決めピンおよび前記第２位置決めピンが嵌め込まれるための第１係合溝が形成された、請求項７に記載の物品搬送装置。
【請求項9】
前記第３移送搭載部は第２移送プレートと、前記第２移送プレート上に配置された多数の第３位置決めピンを含み、前記第３支持部は第２支持プレートと、前記第２支持プレート上に配置された多数の第４位置決めピンを含み、
前記第２類物品の底面には前記第３位置決めピンおよび前記第４位置決めピンが嵌め込まれるための第２係合溝が形成された、請求項７に記載の物品搬送装置。
【請求項10】
前記第１類物品はウエハ収納容器であり、前記第２類物品はレチクル収納容器である、請求項１に記載の物品搬送装置。
【請求項11】
請求項１に記載の物品搬送装置によって搬送される物品搬送方法であって、
フレームと、前記フレームに連結され、第１類物品を下で支持する第１移送搭載部と、
前記フレームに連結されて前記第１移送搭載部上に位置して前記第１類物品を下で支持する第２移送搭載部と、前記フレームに連結されて前記第２移送搭載部上に位置し、前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持する第３移送搭載部を含み、前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部は同時に駆動するタワーリフタと、第１支持部、第２支持部および第３支持部を含むインターフェース部材を含む物品搬送装置が提供され、
前記第１移送搭載部は前記第１類物品を下で支持して、前記第１支持部上に安着させるために出退動作を行い、
前記第３移送搭載部は前記第１類物品と異なる前記第２類物品を下で支持して、前記第３支持部上に安着させるために出退動作を行うことを含む、物品搬送方法。
【請求項12】
前記第１移送搭載部の前記出退動作を行うために必要とされる時間と、前記第３移送搭載部が前記出退動作を行うために必要とされる時間は互いに同じである、請求項１１に記載の物品搬送方法。
【請求項13】
前記第３移送搭載部が前記出退動作を行うのは、前記第２移送搭載部が空いている状態で行われる、請求項１１に記載の物品搬送方法。
【請求項14】
前記第１類物品はウエハ収納容器であり、前記第２類物品はレチクル収納容器である、請求項１１に記載の物品搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は物品搬送装置および物品搬送方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体工場内では、物品（例えば、ウエハ収納容器、レチクル収納容器）が自動搬送システムによって移動する。自動搬送システムは例えば、ＯＨＴ（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、ＯＨＳ（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｓｈｕｔｔｌｅ）などを含む。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
一方、搬送物を層間移動するために、タワーリフタ（ｔｏｗｅｒ ｌｉｆｔｅｒ）を用いる。しかし、ＯＨＴのような搬送台車で物品をタワーリフタに移さなければならず、物品をタワーリフタに積載する前に待機する時間などが発生する。すなわち、タワーリフタ区域には多くの物品が密集する。
【0004】
本発明が解決しようとする課題は、多くの物品を効果的に処理できる物品搬送装置を提供することにある。
【0005】
本発明が解決しようとする他の課題は、多くの物品を効果的に処理できる物品搬送方法を提供することにある。
【0006】
本発明の課題は以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記課題を達成するための本発明の物品搬送装置の一面（ａｓｐｅｃｔ）は、フレームと、前記フレームに連結され、第１類物品を下で支持する第１移送搭載部と、前記フレームに連結されて前記第１移送搭載部上に位置して第１類物品を下で支持する第２移送搭載部と、前記フレームに連結されて前記第２移送搭載部上に位置し、前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持する第３移送搭載部を含み、前記第１移送搭載部は前記第２および第３移送搭載部とは独立して駆動し、前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部は同時に駆動する。前記第２移送搭載部は前記第１類物品を支持し、前記第３移送搭載部は空いている状態で、前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部それぞれがインターフェース部材の第２支持部と第３支持部に向かって移動され、前記第２移送搭載部は前記第１類物品を前記第２支持部に移動し、前記第２支持部および前記第３支持部の高さの差は、前記第２移送搭載部および前記第３移送搭載部の高さの差と同一である。
【0008】
前記課題を達成するための本発明の物品搬送装置の他の面は、物品を搬送するタワーリフタと、前記タワーリフタから前記物品の伝達を受けて、前記物品を貯蔵するか他の位置に移送させるためのインターフェース部材を含み、前記タワーリフタは、上下方向に移動するフレームと、前記フレームと連結されたロボットアームと、前記ロボットアームに連結されて第１類物品を下で支持する第１移送搭載部と、前記ロボットアームに連結されて前記第１移送搭載部上に位置し、前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持する第２移送搭載部を含み、前記上下方向から見るとき、前記第１移送搭載部と前記第２移送搭載部は互いに重なるように設置され、前記第１移送搭載部と前記第２移送搭載部は前記ロボットアームの動作に伴って同時に駆動される。
【0009】
前記他の課題を達成するための本発明の物品搬送方法の一面は、フレームと、前記フレームに連結され、第１類物品を下で支持する第１移送搭載部と、前記フレームに連結されて前記第１移送搭載部上に位置して第１類物品を下で支持する第２移送搭載部と、前記フレームに連結されて前記第２移送搭載部上に位置し、前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持する第３移送搭載部を含み、前記第２移送搭載部と前記第３移送搭載部は同時に駆動するタワーリフタと、第１支持部、第２支持部および第３支持部を含むインターフェース部材を含む物品搬送装置が提供され、前記第１移送搭載部は第１類物品を下で支持して、前記第１支持部上に安着させるために出退動作を行い、前記第３移送搭載部は前記第１類物品と異なる第２類物品を下で支持して、前記第３支持部上に安着させるために出退動作を行うことを含む。
【0010】
その他実施形態の具体的な内容は詳細な説明および図面に含まれている。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明のいくつかの実施形態による物品搬送装置を説明するための図である。
【図4】第１移送プレートが第１類物品を伝達するとき、第１移送プレート、第１支持プレートおよび第１類物品の位置関係を説明するための図である。
【図8】本発明の一実施形態による物品搬送装置を説明するための平面図である。
【図10】本発明の他の実施形態による物品搬送装置を説明するための平面図である。
【図11】本発明のいくつかの実施形態による物品搬送方法を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、添付する図面を参照して本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。本発明の利点および特徴、並びにこれらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述する実施形態を参照すると明確になる。しかし、本発明は以下に開示する実施形態に限定されるものではなく互いに異なる多様な形態で実現することができ、本実施形態は単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供するものであり、本発明は請求項の範疇によってのみ定義される。明細書全体にわたって同一参照符号は同一構成要素を指すものとする。
【0013】
空間的に相対的な用語である「下（ｂｅｌｏｗ）」、「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」、「下部（ｌｏｗｅｒ）」、「上（ａｂｏｖｅ）」、「上部（ｕｐｐｅｒ）」などは図面に示されているように一つの素子または構成要素と他の素子または構成要素との相関関係を容易に記述するために使用される。空間的に相対的な用語は図面に示されている方向に加えて使用時または動作時の素子の互いに異なる方向を含む用語として理解されなければならない。例えば、図面に示されている素子をひっくり返す場合、他の素子の「下（ｂｅｌｏｗ）」または「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」と記述された素子は他の素子の「上（ａｂｏｖｅ）」に置かれ得る。したがって、例示的な用語の「下」は下と上の方向をすべて含むことができる。素子は他の方向に配向されてもよく、そのため空間的に相対的な用語は配向によって解釈されることができる。
【0014】
第１、第２などが多様な素子、構成要素および／またはセクションを叙述するために使われるが、これらの素子、構成要素および／またはセクションはこれらの用語によって制限されないのはもちろんである。これらの用語は単に一つの素子、構成要素またはセクションを他の素子、構成要素またはセクションと区別するために使用する。したがって、以下で言及される第１素子、第１構成要素または第１セクションは本発明の技術的思想内で第２素子、第２構成要素または第２セクションであり得るのはもちろんである。
【0015】
以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明し、添付図面を参照して説明するにあたり図面符号に関係なく同一であるかまたは対応する構成要素は同じ参照番号を付与し、これに係る重複する説明は省略する。
【0016】
図１は本発明のいくつかの実施形態による物品搬送装置を説明するための図である。
【0017】
図１を参照すると、本発明のいくつかの実施形態による物品搬送装置はタワーリフタ１、インターフェース部材７０を含む。
【0018】
タワーリフタ１は物品を上下方向（または垂直方向）に移動させる（図面符号ｚ方向を参照）。このようなタワーリフタ１は上下方向に長く延びたガイドレール８１、ガイドレール８１に沿って移動するフレーム８０を含む。
【0019】
また、フレーム８０には第１ロボットアーム１５、第２ロボットアーム２５、第１移送搭載部１０、第２移送搭載部２０および第３移送搭載部３０が設置されている。
【0020】
具体的には、第１ロボットアーム１５および第２ロボットアーム２５それぞれは、出退動作（ｉｎ－ｏｕｔ ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）をすることができる。すなわち、第１ロボットアーム１５および第２ロボットアーム２５それぞれは、前方に伸ばす動作（ｐｒｏｊｅｃｔｉｎｇ ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）と後方に復帰する動作（ｗｉｔｈｄｒａｗｉｎｇ ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）を行うことができる。このような動作を実現するために、第１ロボットアーム１５および第２ロボットアーム２５それぞれはベンディング（ｂｅｎｄｉｎｇ）とストレッチング（ｓｔｒｅｔｃｈｉｎｇ）動作ができるリンク形態であり得るが、これに限定されない。物品をピックアップ（ｐｉｃｋｕｐ）するために移動または変形可能な構成であれば、いかなる構成でも可能である。
【0021】
第１移送搭載部１０は第１ロボットアーム１５の一端（例えば、最後のリンク）に設置される。第１移送搭載部１０は第１ロボットアーム１５のベンディング／ストレッチング動作に伴って、前進または後退することができる（図面符号のｘ方向を参照）。
【0022】
このような第１移送搭載部１０は第１移送プレート１０１、多数の第１位置決めピン１０ａを含む。第１移送プレート１０１は第１ロボットアーム１５の最後のリンクに設置され、第１移送プレート１０１上には第１類物品が安着することができる。第１移送プレート１０１は第１類物品を下で支持する。多数の第１位置決めピン１０ａは物品を安定的に固定させるためのものであり、第１類物品の底面に設置された第１係合溝に嵌め込まれることができる。
【0023】
第２移送搭載部２０と第３移送搭載部３０は第２ロボットアーム２５の一端（例えば、最後のリンク）に連結される。第２移送搭載部２０と第３移送搭載部３０は第２ロボットアーム２５のベンディング／ストレッチング動作に伴って、前進または後退することができる（図面符号のｘ方向を参照）。
【0024】
このような第２移送搭載部２０は第２移送プレート１０２、多数の第２位置決めピン２０ａを含む。第２移送プレート１０２は第２ロボットアーム２５の最後のリンクと連結され、第２移送プレート１０２上には第１類物品が安着することができる。第２移送プレート１０２は第１類物品を下で支持する。多数の第２位置決めピン２０ａは第１類物品を安定的に固定させるためのものであり、第１類物品の底面に設置された第１係合溝に嵌め込まれることができる。
【0025】
このような第３移送搭載部３０は第３移送プレート１０３、多数の第３位置決めピン３０ａを含む。第３移送プレート１０３は第２ロボットアーム２５の最後のリンクと連結され、第３移送プレート１０３上には第２類物品が安着することができる。第３移送プレート１０３は第２類物品を下で支持する。多数の第３位置決めピン３０ａは第２類物品を安定的に固定させるためのものであり、第２類物品の底面に設置された第２係合溝に嵌め込まれることができる。
【0026】
一方、第１類物品と第２類物品は互いに異なる種類の物品である。第１類物品と第２類物品は互いに異なる種類の部材を移動させるための容器であり得、そのため容器の形状や大きさは異なってよい。
【0027】
例えば、第１類物品はウエハ収納容器であり得る。ウエハ収納容器の例はＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）であり得るが、これに限定されない。第２類物品はレチクル収納容器であり得る。レチクル収納容器の例はＰＯＤであり得るが、これに限定されない。このような場合、第１類物品の高さは第２類物品の高さより高くてもよい。
【0028】
第１移送搭載部１０、第２移送搭載部２０および第３移送搭載部３０はフレーム８０の延長方向（すなわち、上下方向（ｚ方向））から見るとき、互いに重なるように設置される。
【0029】
一方、第１ロボットアーム１５には第１移送搭載部１０が設置され、第２ロボットアーム２５には第２および第３移送搭載部２０，３０が設置されているので、第１移送搭載部１０は第２および第３移送搭載部２０，３０とは独立して駆動し、第２および第３移送搭載部２０，３０は同時に駆動される。すなわち、第１移送搭載部１０は第１ロボットアーム１５のベンディング／ストレッチング動作に伴ってｘ方向に移動し、第２および第３移送搭載部２０，３０は第２ロボットアーム２５のベンディング／ストレッチング動作に伴ってｘ方向に移動する。第２移送搭載部２０が移動するときには、第３移送搭載部３０が共に移動することになる。
【0030】
また、前述したように、第１移送搭載部１０および第２移送搭載部２０は第１類物品を下で支持して、第３移送搭載部３０は第２類物品を下で支持する。したがって、第１ないし第３移送搭載部１０，２０，３０は、容器のリッド（ｌｉｄ）をつかんで移動する場合に比べて、安定的でかつ迅速に移動することができる。容器のリッドをつかんで移動させると、容器内部にある物が揺れやすいためゆっくり移動しなければならない。しかし、容器の底面を支持しながら移動させると、容器内部の物が容易に揺れないのでより迅速に移動することができる。結果的に、第１ないし第３移送搭載部１０，２０，３０は第１類／第２類物品を下で支持するので、物品の種類に関係なく一定の速度で移動する。すなわち、第１移送搭載部１０の移動速度と、第２および第３移送搭載部２０，３０の移動速度は互いに実質的に同一であり得る。
【0031】
【0032】
インターフェース部材７０は、多数の支持部７１，７２，７３を含む。例えば、多数の支持部７１，７２，７３は上下方向（図面符号ｚ方向）に配置されるが、これに限定されない。第１支持部７１および第２支持部７２は第１類物品を支持するための領域であり、第３支持部７３は第２類物品を支持するための領域であり得るが、これに限定されない。多数の支持部７１，７２，７３は支柱７９に設置されるが、これに限定されない。
【0033】
インターフェース部材７０は第１類物品または第２類物品を保管する保管装置であり得、第２類物品または第２類物品を移送するコンベア装置でもあり得るが、これに限定されない。
【0034】
図２は図１のタワーリフタの第１移送搭載部の動作を説明するための図である。図３は図１のインターフェース部材を説明するための図である。図４は第１移送プレートが第１類物品を伝達するとき、第１移送プレート、第１支持プレートおよび第１類物品の位置関係を説明するための図である。
【0035】
まず、図２を参照すると、第１移送搭載部１０の第１移送プレート１０１は下で第１類物品Ｔ１を支持している。第１類物品Ｔ１はウエハ収納容器であり得る。例えば、第１類物品Ｔ１の底面には第１係合溝（図４の１９）が形成されており、第１移送プレート１０１の第１位置決めピン（図４の１０ａ）は第１係合溝（図４の１９）に嵌め込まれている。
【0036】
次に、フレーム８０がｚ方向に移動して、第１移送プレート１０１を第１支持部７１に対応する高さに位置させる。
【0037】
次に、第１ロボットアーム１５がｘ方向に延びて、第１移送プレート１０１と第１支持部７１はオーバーラップする。
【0038】
次に、第１移送プレート１０１上に位置する第１類物品Ｔ１が第１支持部７１に移される。
【0039】
具体的に説明すると、図３には支柱７９に設置された第１支持部７１を示した。第１支持部７１は第１支持プレート７１ｂと、第１支持プレート７１ｂ上に形成された多数の第４位置決めピン７１ａを含む。第１支持プレート７１ｂには溝７１ｃが形成されている。第２支持部７２、第３支持部７３は別に図示していないが、第１支持部７１と実質的に同じ形状を有する。
【0040】
図４を参照すると、第１支持プレート７１ｂの溝７１ｃ方向に（すなわち、ｘ方向に）第１移送プレート１０１が進入する。進入するときには、第１移送プレート１０１の高さが第１支持プレート７１ｂの高さより少し高い。次に、第１移送プレート１０１が第１類物品Ｔ１を支持している状態で、第１移送プレート１０１が第１支持プレート７１ｂを交差するように下へ移動する（すなわち、ｚ方向に）。このようにすることで、第１類物品Ｔ１の第１係合溝１９に第１支持プレート７１ｂの多数の第４位置決めピン７１ａが嵌め込まれ、第１係合溝１９から第１移送プレート１０１の多数の第１位置決めピン１０ａは抜けるようになる。したがって、第１類物品Ｔ１は第１移送プレート１０１から第１支持プレート７１ｂに移される。
【0041】
第１支持プレート７１ｂに置かれた第１類物品Ｔ１が、第１移送プレート１０１に移されるときには次のように動作する。
【0042】
第１支持プレート７１ｂの溝７１ｃ方向に（すなわち、ｘ方向に）第１移送プレート１０１が進入する。進入するときには、第１移送プレート１０１の高さが第１支持プレート７１ｂの高さより少し低い。第１移送プレート１０１が第１類物品Ｔ１と衝突しないようにするためである。次に、第１移送プレート１０１が第１支持プレート７１ｂを交差するように上に移動する（すなわち、ｚ方向に）。このようにすることで、第１類物品Ｔ１の第１係合溝１９に第１移送プレート１０１の多数の第１位置決めピン１０ａが嵌め込まれ、第１係合溝１９から第１支持プレート７１ｂの多数の第４位置決めピン７１ａは抜けるようになる。したがって、第１類物品Ｔ１は第１支持プレート７１ｂから第１移送プレート１０１に移される。
【0043】
【0044】
図５を参照すると、第２移送搭載部２０の第２移送プレート１０２は下で第１類物品Ｔ１を支持し、第３移送プレート１０３は空いている。
【0045】
次に、フレーム８０がｚ方向に移動して、第２移送プレート１０２を第２支持部７２に対応する高さに位置させる。
【0046】
次に、第２ロボットアーム２５がｘ方向に延びて、第２移送プレート１０２と第２支持部７２はオーバーラップする。
【0047】
次に、第２移送プレート１０２上に位置する第１類物品Ｔ１が第２支持部７２に移される。
【0048】
図６を参照すると、第２移送搭載部２０の第３移送プレート１０３は下で第２類物品Ｔ２を支持し、第２移送プレート１０２は空いている。第２類物品Ｔ２はレチクル収納容器であり得る。例えば、第２類物品Ｔ２の底面には第２係合溝が形成されており、第３移送プレート１０３の第３位置決めピンは第２係合溝に嵌め込まれている。
【0049】
次に、フレーム８０がｚ方向に移動して、第３移送プレート１０３を第３支持部７３に対応する高さに位置させる。
【0050】
次に、第２ロボットアーム２５がｘ方向に延びて、第３移送プレート１０３と第３支持部７３はオーバーラップする。
【0051】
次に、第３移送プレート１０３上に位置する第２類物品Ｔ２が第３支持部７３に移される。
【0052】
具体的に説明すると、第３支持部７３の第３支持プレートの溝方向に（すなわち、ｘ方向に）第３移送プレート１０３が進入する。進入するときには、第３移送プレート１０３の高さが第３支持プレートの高さより少し高い。次に、第３移送プレートが第２類物品Ｔ２を支持している状態で、第３移送プレートが第３支持プレートを交差するように下へ移動する（すなわち、ｚ方向に）。このようにすることで、第２類物品Ｔ２の第２係合溝に第３支持プレートの多数の第５位置決めピンが嵌め込まれ、第２係合溝から第３移送プレートの多数の第３位置決めピンは抜けるようにる。したがって、第２類物品Ｔ２は第３支持プレートから第３移送プレート１０３に移される。
【0053】
第３支持プレートに置かれた第２類物品Ｔ２が、第３移送プレート１０３に移されるときには次のように動作する。
【0054】
第３支持プレートの溝方向に（すなわち、ｘ方向に）第３移送プレート１０３が進入する。進入するときには、第３移送プレート１０３の高さが第３支持プレートの高さより少し低い。第３移送プレート１０３が第２類物品Ｔ２と衝突しないようにするためである。次に、第３移送プレート１０３が第３支持プレートを交差するように上に移動する（すなわち、ｚ方向に）。このようにすることで、第２類物品Ｔ２の第２係合溝に第３移送プレート１０３の多数の第３位置決めピン３０ａが嵌め込まれ、第２係合溝から第３支持プレートの多数の第５位置決めピンは抜けるようになる。したがって、第２類物品Ｔ２は第３支持プレートから第３移送プレート１０３に移される。
【0055】
図７を参照すると、第２移送搭載部２０の第２移送プレート１０２は下で第１類物品Ｔ１を支持し、第３移送プレート１０３は下で第２類物品Ｔ２を支持する。
【0056】
次に、フレーム８０がｚ方向に移動して、第２移送プレート１０２を第２支持部７２に対応する高さに、第３移送プレート１０３を第３支持部７３に対応する高さに位置させる。
【0057】
次に、第２ロボットアーム２５がｘ方向に延びて、第２移送プレート１０２と第２支持部７２がオーバーラップし、第３移送プレート１０３と第３支持部７３はオーバーラップする。
【0058】
次に、第２移送プレート１０２上に位置する第１類物品Ｔ１が第２支持部７２に移され、第３移送プレート１０３上に位置する第２類物品Ｔ２が第３支持部７３に移される。
【0059】
【0060】
図８を参照すると、ガイドレール８１が上下方向に延びて配置され、フレーム８０はガイドレール８１に沿って移動可能である。フレーム８０には第１移送搭載部１０、第２移送搭載部２０および第３移送搭載部３０が設置されている。第１移送搭載部１０、第２移送搭載部２０および第３移送搭載部３０それぞれには位置決めピン１０ａ，２０ａ，３０ａが設けられる。
【0061】
インターフェース部材７０は多数の支持構成体３ａ，４ａ，５ａ，６ａを含む。図８に示すように、支持構成体３ａ，４ａ，５ａ，６ａがタワーリフタ１の周辺を囲むように配置されることができる。第１支持構成体３ａは上下方向に配置された支持部１１３１，１１３２，１１３３を含み、第２支持構成体４ａは上下方向に配置された支持部１１４１，１１４２，１１４３を含み、第３支持構成体５ａは上下方向に配置された支持部１１５１，１１５２，１１５３を含み、第４支持構成体６ａは上下方向に配置された支持部１１６１，１１６２，１１６３を含む。各支持構成体３ａ，４ａ，５ａ，６ａが３個の支持部を含む場合を示したが、これに限定されない。また、タワーリフタ１の周辺に４個の支持構成体３ａ，４ａ，５ａ，６ａが配置された場合を示したが、これに限定されない。２個、３個、５個以上の支持構成体が配置されることもできる。
【0062】
図８において、支持構成体３ａ，４ａは第１類物品Ｔ１を保管するためのものであり、他の構成体５ａ，６ａは第２類物品Ｔ２を保管するためのものとして示しているが、これに限定されない。例えば、図９の１層、２層に配置された支持部１１３１，１１３２，１１４１，１１４２，１１５１，１１５２，１１６１，１１６２は第１類物品Ｔ１を保管し、３層に配置された支持部１１３３，１１４３，１１５３，１１６３は第２類物品Ｔ２を保管するためのものであり得る。
【0063】
タワーリフタ１はロボットアーム（図１の１５，２５を参照）の動作に伴って、支持構成体３ａ，４ａ，５ａ，６ａの所定の支持部に第１類物品Ｔ１または第２類物品Ｔ２を提供する。逆に、タワーリフタ１はロボットアーム（図１の１５，２５を参照）の動作に伴って、支持構成体３ａ，４ａ，５ａ，６ａの所定の支持部から第１類物品Ｔ１または第２類物品Ｔ２をピックアップすることができる。
【0064】
【0065】
図１０を参照すると、インターフェース部材７０は多数の支持構成体３，４，５，６を含む。支持構成体３，４，５，６それぞれはコンベア形態であり得る。例えば、支持構成体３，４は第１類物品Ｔ１を予め設定した位置に移動させて、他の構成体５，６は第２類物品Ｔ２を他の予め設定した位置に移動させることができる。支持構成体３，４，５，６それぞれは多層で配列されたコンベアで構成されることができる。
【0066】
図１１は本発明のいくつかの実施形態による物品搬送方法を説明するためのフローチャートである。
【0067】
【0068】
具体的には、タワーリフタ１はフレーム８０と、フレーム８０に設置されて第１類物品Ｔ１を下で支持する第１移送搭載部１０と、フレーム８０に設置されて第１移送搭載部１０上に位置して第１類物品Ｔ１を下で支持する第２移送搭載部２０と、フレーム８０に設置されて第２移送搭載部２０上に位置して第１類物品Ｔ１と異なる第２類物品Ｔ２を下で支持する第３移送搭載部３０を含む。また、第２移送搭載部２０と第３移送搭載部３０は同時に駆動する。
【0069】
インターフェース部材７０は第１支持部７１、第２支持部７２および第３支持部７３を含む。
【0070】
【0071】
【0072】
第１移送搭載部１０が出退動作を行うために必要とされる時間と、第３移送搭載部３０が出退動作を行うために必要とされる時間は互いに同一であり得る。
【0073】
前述したように、第１移送搭載部１０ないし第３移送搭載部３０が容器のリッド（ｌｉｄ）をつかんで移動させず、下で支持して移動させるので、第１移送搭載部１０ないし第３移送搭載部３０の出退動作時間は互いに同一であり得る。
【0074】
以上と添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明がその技術的思想や必須の特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できることを理解することができる。したがって、上記一実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
